JPH01125607U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01125607U JPH01125607U JP1590388U JP1590388U JPH01125607U JP H01125607 U JPH01125607 U JP H01125607U JP 1590388 U JP1590388 U JP 1590388U JP 1590388 U JP1590388 U JP 1590388U JP H01125607 U JPH01125607 U JP H01125607U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- cutting
- slit
- cooling liquid
- cutting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims description 4
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 3
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Description
第１〜３図は本考案による切断装置の冷却液飛
散防止構造の一実施例を示す図であり、第１図は
ダイシングマシンの一部側面図、第２図は第１図
における―線矢視断面図、第３図はその平面
図である。 ２……スピンドル部、３……ブレード（切断刃
具）、５……クーラントカバー、６……第一通路
、７……第二通路、８……第三通路、８ａ……開
口溝、１０〜１２……クーラントノズル、１３…
…スリツト、１５……半導体ウエハー（ワーク）
、１７……チヤツクテーブル。
散防止構造の一実施例を示す図であり、第１図は
ダイシングマシンの一部側面図、第２図は第１図
における―線矢視断面図、第３図はその平面
図である。 ２……スピンドル部、３……ブレード（切断刃
具）、５……クーラントカバー、６……第一通路
、７……第二通路、８……第三通路、８ａ……開
口溝、１０〜１２……クーラントノズル、１３…
…スリツト、１５……半導体ウエハー（ワーク）
、１７……チヤツクテーブル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ワークを切断する切断刃具と、この切断時
に切断刃具に冷却液を供給する冷却液供給手段と
を備えた切断装置において、前記切断刃具の周囲
を囲むようにカバーを設けると共に、このカバー
の下面にカバーの壁板長手方向に沿つて開口する
スリツトを設け、このスリツトからワーク上に冷
却液をカーテン状に流すようにしたことを特徴と
する切断装置の冷却液飛散防止構造。 (2) 前記スリツトのさらに外側に開口を設け、
この開口から負圧により外気を吸引するようにし
たことを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載の切断装置の冷却液飛散防止構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1590388U JPH01125607U (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1590388U JPH01125607U (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125607U true JPH01125607U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31228365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1590388U Pending JPH01125607U (ja) | 1988-02-09 | 1988-02-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01125607U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0566991U (ja) * | 1992-02-10 | 1993-09-03 | 株式会社ディスコ | ダイシング装置 |
-
1988
- 1988-02-09 JP JP1590388U patent/JPH01125607U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0566991U (ja) * | 1992-02-10 | 1993-09-03 | 株式会社ディスコ | ダイシング装置 |