JPH01125537U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01125537U JPH01125537U JP2060388U JP2060388U JPH01125537U JP H01125537 U JPH01125537 U JP H01125537U JP 2060388 U JP2060388 U JP 2060388U JP 2060388 U JP2060388 U JP 2060388U JP H01125537 U JPH01125537 U JP H01125537U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cover
- work stage
- covers
- oxidation
- entire
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第1図は本考案の実施例1を示す縦断面図、第
2図は本考案の実施例2を示す縦断面図、第3図
は従来例を示す縦断面図である。 1……マウントステージ、2,2′……開口部
、3……内部カバー、4,4′……ガス送り込み
パイプ、5……外部カバー、6……ソルダー、7
……ステム、8……ガス吸い込みパイプ。
2図は本考案の実施例2を示す縦断面図、第3図
は従来例を示す縦断面図である。 1……マウントステージ、2,2′……開口部
、3……内部カバー、4,4′……ガス送り込み
パイプ、5……外部カバー、6……ソルダー、7
……ステム、8……ガス吸い込みパイプ。
Claims (1)
- 酸化防止用ガスカバー本体を、作業ステージ全
体を覆い、作業ステージ直上に開口部を有する内
部カバーと、前記内部カバー全体を覆いかつ作業
ステージ直上に開口部を有する外部カバーとから
なる内外二重構造としたことを特徴とする酸化防
止用ガスカバー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2060388U JPH01125537U (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2060388U JPH01125537U (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01125537U true JPH01125537U (ja) | 1989-08-28 |
Family
ID=31237110
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2060388U Pending JPH01125537U (ja) | 1988-02-18 | 1988-02-18 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01125537U (ja) |
-
1988
- 1988-02-18 JP JP2060388U patent/JPH01125537U/ja active Pending