JPH01122042A - Waveguide type optical head - Google Patents
Waveguide type optical headInfo
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- JPH01122042A JPH01122042A JP62279247A JP27924787A JPH01122042A JP H01122042 A JPH01122042 A JP H01122042A JP 62279247 A JP62279247 A JP 62279247A JP 27924787 A JP27924787 A JP 27924787A JP H01122042 A JPH01122042 A JP H01122042A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野」
本発明は、光記録媒体の情報を読み取ることのできる、
光導波路全使用し友導波路形光ヘッドに係るものである
。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention is directed to an optical recording medium that can read information from an optical recording medium.
This relates to a companion waveguide type optical head that uses all optical waveguides.
光ヘッドは、レーザ光VCよる微小スポット?用いて、
高密度な光記録もしくは光磁気記録や、光記録媒体の情
報の高速な読取り全行なうことができるものである。た
とえば、読取り専用としては、ビデオディスク、デジタ
ルオーディオディスクとして実用化されている。ま几、
追加書込みのでさる光デイスクシステム、光磁気システ
ムも開発段階にある。Is the optical head a tiny spot created by laser beam VC? make use of,
It is capable of high-density optical recording or magneto-optical recording and high-speed reading of information on optical recording media. For example, read-only discs have been put into practical use as video discs and digital audio discs. Well done,
Optical disk systems and magneto-optical systems that allow additional writing are also in the development stage.
この種、光記憶媒体の情報を読取ることがでさる光ヘッ
ドは、レンズ、プリズム、ビームスグリツタなどの光学
部品を使用するものが知られている。第4図は、従来の
光ヘッドの−例全示′j略示構成図である。この第4図
において、1は半導体レーザ、2は、この半導体レーザ
1からの放射光を平行光にすることができるコリメータ
レンズ、3はビームスプリッタ、4は、このビームスプ
リッタ3からの光を、光記録媒体6上へ集光させること
ができる集光レンズ、5は光検出器である。This type of optical head that can read information from an optical storage medium is known to use optical components such as lenses, prisms, and beam slits. FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a conventional optical head. In this FIG. 4, 1 is a semiconductor laser, 2 is a collimator lens that can convert the emitted light from this semiconductor laser 1 into parallel light, 3 is a beam splitter, and 4 is a light beam from this beam splitter 3. A condensing lens that can condense light onto the optical recording medium 6, and 5 a photodetector.
このように構成し友光ヘッドにおいて、半導体レーザ1
からの放射光音、コリメータレンズ2によってコリメー
トし、ビームスグリツタ3を通過せしめ、ざらに集光レ
ンズ4によって光記録媒体6上にスポットとして形成さ
せる。このスポットからの反射光を集光レンズ4、ビー
ムス1リツタ5全通して光検出器5により検出すること
により。In the Yuko head configured in this way, the semiconductor laser 1
The emitted light is collimated by the collimator lens 2, passed through the beam sinter 3, and roughly formed as a spot on the optical recording medium 6 by the condenser lens 4. By passing the reflected light from this spot through the condensing lens 4 and the beam 1 ritter 5 and detecting it with the photodetector 5.
iI′U記光記録謀体6上の情報を読取る。iI'U Read the information on the optical recording system 6.
しかし、この工うな光学系では、それぞれの光学部品の
位置を正確に調整する必要がめるtめ、その調整に長時
間全必要とする。また光学部品をめま9小さくでさない
几め、光ヘツド全体の小型化にも限度がある。However, in this unconventional optical system, it is necessary to accurately adjust the position of each optical component, and the adjustment requires a long time. Furthermore, there are limits to the reduction in size of the optical head as a whole, as well as the reduction in size of the optical components.
このような、前記第4図に係る光ヘッドの問題点全解消
するものとして、光導波路全使用しt導波路形光ヘッド
が提案されている(友とえは、特開昭61−24824
4号公報)。In order to solve all of the problems of the optical head shown in FIG.
Publication No. 4).
第5図は、従来の導波路形光ヘッドの一例を示す啓示正
面図である。第5図において、8は基板7上に形成され
友薄膜の光導波路、10.11はそれぞれこの先導波路
8上に形成され7’C噂膜のビームスプリッタおよび導
波路レンズ、9は先導波路に4波きれた先金光導波面か
ら上方に出射し、かつ出射した光を集光きせる作用を有
する集光形グレーティングカップラ、1,5はそれぞれ
光導波の端面に設けられた半導体レーザ、光検出器であ
る。FIG. 5 is a front view showing an example of a conventional waveguide type optical head. In FIG. 5, 8 is a thin film optical waveguide formed on the substrate 7, 10.11 is a beam splitter and a waveguide lens formed on the leading waveguide 8 and is a 7'C thin film, and 9 is a leading waveguide. A condensing type grating coupler that emits light upward from the tip metal optical waveguide surface with four waves and condenses the emitted light, 1 and 5 are semiconductor lasers and photodetectors respectively provided on the end face of the optical waveguide. It is.
このように構成し7t%のにおいて、光4?8!路8の
端面から、半導体レーザ1の光を入射し、ビームスプリ
ッタ10によって進行方向を変化させ、集光形グレーテ
ィングカップラ9によって出射させて、光ディスク6の
光記録媒体(図示せず)上ニスホラH形成する。そして
このスポットからの反射光は集光形グレーティングカッ
グラに工つて再ひ光導波路内に導波され、ビームスプリ
ッタ全直進して、導波路レンズ11で集光されて光検出
器へ導くことに=9、前記光記@謀体上の情報音読み取
ることができる。With this configuration and 7t%, the light is 4?8! The light from the semiconductor laser 1 is incident from the end face of the path 8, its traveling direction is changed by the beam splitter 10, and the light is emitted by the condensing grating coupler 9, so that the light is applied to the varnish hole H on the optical recording medium (not shown) of the optical disk 6. Form. The reflected light from this spot is then guided into the optical waveguide again using a condensing grating, travels straight through the beam splitter, is focused by the waveguide lens 11, and is guided to the photodetector. =9, I can read the information sound on the light record @ plot.
従来の導波路形光ヘッドには、下記の製造上および特性
上の問題点がある。すなわち製造上の問題点に、集光形
グレーティングカッグラ(以下FGCと略丁)に関する
ものである。FGCの形状パターンは一般的に双曲線で
あり、該双曲線は光導波路とは異なる屈折率金有した物
質にエフ形成され、各双曲線間の間隔の平均的値すなわ
ちグレーティングの格子間隔Aは(1)式で与えられる
。ここでAは、−収約な材料にてFGCi形成した場合
、A=a/(N−008ψ)(1)
ψ:導波光の先導波面に対する出射角
N:光導波路の実効屈折率
λ:空気中の光の波長
2jm以下の値となり、よって双曲線の線幅はAの半分
すなわち1μm以下となpFGcの能率的な形成が困難
となる。例えばSiO□系のN、= 1.5ガラス導波
路を用い、−を30.Aをα7μmとした一般的な光ヘ
ッドの場合、Aは1.1βmとなり、Aの半分即ち05
5月の双曲線全形成しなければならない。Conventional waveguide optical heads have the following manufacturing and characteristic problems. That is, the manufacturing problem relates to condensing grating type Kagura (hereinafter referred to as FGC). The shape pattern of an FGC is generally a hyperbola, and the hyperbola is formed in a material with a refractive index different from that of the optical waveguide, and the average value of the spacing between each hyperbola, that is, the lattice spacing A of the grating, is (1) It is given by Eq. Here, A is - When FGCi is formed using a convergent material, A=a/(N-008ψ) (1) ψ: Output angle of guided light with respect to the leading wavefront N: Effective refractive index of optical waveguide λ: Air The wavelength of the light inside is 2 jm or less, and therefore the hyperbolic line width is half of A, that is, 1 μm or less, making it difficult to efficiently form pFGc. For example, using a SiO□-based N=1.5 glass waveguide, -30. In the case of a general optical head where A is α7μm, A is 1.1βm, which is half of A, or 05μm.
The hyperbola in May must be fully formed.
サブミクロンの双曲at影形成る技術として゛1子ビー
ム描画装置があるが、これ全周いると、作業性が悪く、
約1000本の双曲線群からなるFGCを形成するのに
長時間を要するため、量産性に乏しいという問題があっ
九。There is a single-beam lithography system as a technology for forming submicron hyperbolic AT shadows, but the workability is poor when the device is used all around.
Since it takes a long time to form an FGC consisting of about 1,000 hyperbolic groups, there is a problem that it is not suitable for mass production.
一方特性上以下に述べる様な問題点がめる。すなわち上
記の様にして形成しfcFGCは、その出射角i90’
にして、光ディスクに対して垂直に光を入射することが
原理的にできない。即ち(1)式の成立する範囲は9呻
90°の条件であり、出射角が光ディスクに対して傾斜
している九め、スポットの形が光デイスク面で変形して
、情報が正確に読み取ることが出来ないという間廟がめ
った。On the other hand, there are problems with the characteristics as described below. That is, the fcFGC formed as described above has an emission angle i90'
Therefore, in principle, it is not possible to make light incident perpendicularly to the optical disc. In other words, the range in which equation (1) holds true is the condition of 90 degrees, and when the emission angle is inclined with respect to the optical disk, the shape of the spot is deformed on the optical disk surface, and the information can be read accurately. There were many times when I was unable to do so.
上記問題点?解決する九めに、本発明の4′IB1.路
形光ヘッドは、F’GCからの出射光は害波路囲に対し
て斜め下方すなわち、基板側に出射するようにすること
にエリ格子間隔Aを大きくし、ま友、FCCからの出射
光が光ディスクに入射する前に反射鏡を設けて光の進行
方向全曲げて、光ディスクに対して垂直に光が入射する
ようし友。The above problem? Ninthly, the present invention's 4'IB1. The path-shaped optical head is designed so that the light emitted from the F'GC is emitted diagonally downward with respect to the harmful wave path surroundings, that is, toward the substrate side, by increasing the grid spacing A, and the light emitted from the FCC is Before the light enters the optical disc, a reflector is installed to bend the entire direction of travel of the light so that the light enters the optical disc perpendicularly.
FCCからの出射光を基板側に出すことにより、FGC
の格子間隔Aは、2式のようになる。例えばA寓λ/
(N −n0oo8q ) (2)no:基
板の屈折率
SiO□糸のN −1,5のガラス導波路を用い、基板
としてnotm1.47 の石英基板を用い、pi30
°、λf117smとした−収約な光ヘッドの場合、A
は五〇8μmとなり、線@1.54amの双曲線を形成
すれば良い。このaは、前記のFCCからの出射光を空
気側に出す従来方式に比較してAが大となり、電子ビー
ム描画装置を用いず、ホトリソ工程でFGCが形成でき
るレベルの機幅であり、ぶって能率良(FGCを形成す
ることができる工うになる。By outputting the light emitted from the FCC to the board side, the FGC
The lattice spacing A is as shown in the following equation. For example, A fable λ/
(N -n0oo8q) (2) no: A glass waveguide with a substrate refractive index of SiO
°, λf117sm - In the case of a convergent optical head, A
is 508 μm, and it is sufficient to form a hyperbola of line @1.54 am. This a is larger than the conventional method of emitting the light emitted from the FCC to the air side, and the machine width is at a level that allows FGC to be formed in the photolithography process without using an electron beam lithography device. This makes it possible to form FGC efficiently.
不発明の効果は、基板として屈折率n0の高い材料全周
いることにエリ、エリ効果的なものになる。The advantageous effect of this invention is that the entire circumference of the substrate is made of a material with a high refractive index n0.
一方反射鏡は、光導波路面に対しての角度#金?−1−
Tとなるように設置することKより、光ディスクに対し
て垂直に光が入射させることができる@〔実施例〕
第1図は、本発明の一実施例に係る導波路形光ヘッド金
示す概略図、第2図はこの導波路形光ヘッドの断面図、
第5図はこの4波路形光ヘツドの光導波路面金示す斜視
図である。On the other hand, the angle of the reflecting mirror with respect to the optical waveguide surface is #gold? -1-
By installing the optical disk so that it is T, the light can be incident perpendicularly to the optical disk. Figure 2 is a cross-sectional view of this waveguide type optical head.
FIG. 5 is a perspective view showing the optical waveguide surface of this four-wavelength optical head.
この導波路形光ヘッドの概要を説明すると、基板7上に
光導波路を設け、半導体レーザ1から該光導波路へ導波
し友レーザ光に工つて光ディスク6の情報を読み取るこ
とができるようにし友ものである。第5図において、そ
の端面に光検出器5を取付け、半導体レーザ1からの光
を光4波路8に結合し、4波され次光を集光形グレーテ
ィングカップラ(FGC)9に4さ、FGClcよって
、4波光が基板内に回折されて、基板湖面から出射し、
かつ光デイスク面で焦点を結ひ、光デイスク面からの反
射光が該FGCにもどり、再ひ導波路にもどり、グレー
ティングレンズ11に工って先金2分割して、かつ2分
割され九光が集光されて光検出器5に入ることに工って
情報が読み取られる。To explain the outline of this waveguide type optical head, an optical waveguide is provided on the substrate 7, and the information on the optical disk 6 can be read by guiding the wave from the semiconductor laser 1 to the optical waveguide and converting it into a laser beam. It is something. In FIG. 5, a photodetector 5 is attached to the end face of the semiconductor laser 1, and the light from the semiconductor laser 1 is coupled to a 4-wave path 8. Therefore, the four-wave light is diffracted into the substrate and emitted from the surface of the substrate,
The light is focused on the optical disk surface, and the reflected light from the optical disk surface returns to the FGC, returns to the waveguide again, and is cut into two parts by the grating lens 11, and is divided into nine beams. The information is read by condensing the light and entering the photodetector 5.
ここで第2図に示したようにF’GOからの出射光は、
斜めに切断研磨され九基板端面から出射し友のみ、ケー
ス15の表面に形成され九反射@12に工って反射され
て光デイスク面に垂直に入射する。Here, as shown in Figure 2, the light emitted from F'GO is
The light emitted from the end face of the nine substrates cut and polished diagonally is formed on the surface of the case 15, is reflected by nine reflections @12, and enters the optical disk surface perpendicularly.
第6図は、導波光の出射角、基板端面の角度、反射鏡の
先導波路面に対する角度を示しtものである。FIG. 6 shows the emission angle of the guided light, the angle of the substrate end face, and the angle of the reflecting mirror with respect to the leading waveguide surface.
ここでFGCの中心からの回折光が光4e、路面となす
角度を−とすると、基板端面の切断、研磨面の角度αに
、6 wt T −9とする。この工うにすることKよ
り、FGCからの出射光は、基板湖面から垂直に出射す
るようにでさる。ま九光導波路面に対する反射鏡の傾斜
角度#は、−一τ十丁とする。Here, if the angle that the diffracted light from the center of the FGC makes with the light 4e and the road surface is -, then the angle α of the cutting and polishing surface of the substrate end face is 6 wt T −9. Due to this construction, the light emitted from the FGC is emitted perpendicularly from the surface of the substrate. The inclination angle # of the reflecting mirror with respect to the optical waveguide surface is -1τ10.
この工うにすることにエフ、光導波路面に対して平行に
直かれた光ディスクに対して、垂直に先金入射させるこ
とかでさる。To do this, the first step is to first make the light incident perpendicularly to the optical disk, which is oriented parallel to the optical waveguide surface.
1’GCの形状、導波路レンズの形状は、文献(裏升吾
、栖原敏明、西原浩、小山次部:電子通信学会誌、Vo
lJ68−C,No1111.1985.P805〜8
11)K記載の方法にエリ形成することができる。・本
発明の反射鏡7は、アルミhるいは金などの金属を真空
蒸着することに19容易に形成することができる。該反
射鏡は、特別に設は次反射鏡形成用基板上に金属博膜を
形成し、これをケース15に貼り合わせても良いし、ケ
ースに直接金属t−蒸着して形成することもできる。The shape of the 1'GC and the shape of the waveguide lens can be found in the literature (Shogo Ura, Toshiaki Suhara, Hiroshi Nishihara, Tsugube Koyama: Journal of the Institute of Electronics and Communication Engineers, Vol.
lJ68-C, No. 1111.1985. P805~8
11) An edge can be formed by the method described in K. - The reflecting mirror 7 of the present invention can be easily formed by vacuum deposition of metal such as aluminum or gold. The reflecting mirror may be formed by forming a metal film on a specially prepared reflecting mirror forming substrate and bonding this to the case 15, or by directly vapor depositing metal onto the case. .
本発明のケース15は、各種の金属を切断研磨したもの
めるいはグラスチック形成して得たものが使用できる。The case 15 of the present invention can be made by cutting and polishing various metals or by forming a glass material.
グラスチック成形したものは、I量が軽く、また製造が
容易であることから特に本発明の光ヘッドに適し友もの
である。A glass molded material is particularly suitable for the optical head of the present invention because it has a light I content and is easy to manufacture.
この様にして構成し次光ヘッドは、厚さが数mm程度の
薄型軽量なものであるので、これを焦点方向(上下方向
)とトラック直交方向に振動可能なアクチュエータ上に
搭載することに工9、光ディスクの位置変動に対して容
易に追従することができるものである。The optical head constructed in this way is thin and lightweight, with a thickness of several millimeters, so we designed it to be mounted on an actuator that can vibrate in the focal direction (vertical direction) and in the direction orthogonal to the track. 9. It is possible to easily follow positional fluctuations of the optical disc.
ここで、導波路形光ヘッドをONにすると、半導体レー
ザから出射し次光は、光導波路に入射し、先導波路に形
成し光導波路レンズを通過して、FGCに入射される。Here, when the waveguide type optical head is turned on, the subsequent light emitted from the semiconductor laser enters the optical waveguide, forms a leading waveguide, passes through the optical waveguide lens, and enters the FGC.
FGCKより回折され友光は基板にもぐり込み、所定の
角度に切断研磨された基板端面から切断研磨面に対して
垂直に出射される。The friendly light is diffracted by the FGCK and sinks into the substrate, and is emitted perpendicularly to the cut and polished surface from the end surface of the substrate that has been cut and polished at a predetermined angle.
出射光は、反射鏡で反射されて、方向を変換されて、光
ディスクに対して垂直に入射される。光デイスク上の情
報記録媒体で反射し次光は1反射鏡で反射されて、基板
端面からFGCに入射して光導波路に入る。光導波路に
入射したもどり先は、導波路レンズで2分割され、かつ
それぞれが集光されて光検出器に入射することにLf)
、情報が読み取られる。読み取られ九信号は、アクチュ
エータの振動へフィードバックされ、光紀録謀への入射
光が合焦点になる工うに追従される。The emitted light is reflected by a reflecting mirror, has its direction changed, and enters the optical disc perpendicularly. The light reflected by the information recording medium on the optical disk is reflected by one reflecting mirror, enters the FGC from the end face of the substrate, and enters the optical waveguide. The return destination that enters the optical waveguide is divided into two parts by the waveguide lens, and each part is focused and enters the photodetector (Lf).
, the information is read. The nine signals read are fed back to the vibration of the actuator and tracked as the incident light on the optical recorder comes into focus.
以下本発明で使用する基板、薄膜の材料、製造法に関し
て説明する。まず基板材料としては、石英、光学ガラス
及びSlなど半導体、LiNb(1,等の光学結晶を用
いることができる。光4e、路としては、5in2糸ガ
ラス、石英など全スパッタリングあるいは真空蒸着等で
成膜し友厚さ1〜2μm程度の4膜を用いる。ここで基
板として81等屈折率の高い材料ケ用いた場合には、光
4gi路と基板の間に、光4波路エリも屈折率の小さい
薄膜層を形成して光の損失を小さくする。導波路レンズ
、お工びFGCは、TiO2,Ta、O,など屈折率の
比較的高い材料を用いるのが、効率の点で好ましい。但
し、5102系ガラス薄膜も使用可能である。The substrate, thin film materials, and manufacturing method used in the present invention will be explained below. First, as the substrate material, semiconductors such as quartz, optical glass and Sl, and optical crystals such as LiNb (1, etc.) can be used.As the optical path, 5in2 thread glass, quartz, etc. can be used. A 4-layer film with a thickness of about 1 to 2 μm is used.If a material with a high refractive index such as 81 is used as the substrate, the 4-wave path area also has a refractive index between the 4-wavelength optical path and the substrate. Form a small thin film layer to reduce optical loss. For the waveguide lens and manufactured FGC, it is preferable to use a material with a relatively high refractive index such as TiO2, Ta, O, etc. from the viewpoint of efficiency. However, from the viewpoint of efficiency. , 5102 series glass thin films can also be used.
導波路レンズおよびF’GCは、該光素子形成用薄膜上
にホトレジストtm布し、ホトマスクを介して露光し友
後、現像することにより光素子のレジストハターンを形
成し、しかる後にこのレジストパターン全マスクとして
該薄膜ヲエッチングすることにエフ形成することかでさ
る。なおF’GCおよび導波路レンズは、西原、春名、
栖原共者:光巣槓回路P279 、オーム社(1985
年)に記載された方法に従って設計すれば艮い。The waveguide lens and F'GC are formed by disposing a photoresist tm on the thin film for forming an optical element, exposing it to light through a photomask, and developing it to form a resist pattern for the optical element, and then removing the entire resist pattern. It is possible to form a mask by etching the thin film. The F'GC and waveguide lens were manufactured by Nishihara, Haruna,
Co-author Suhara: Hikarisu Kikaku P279, Ohmsha (1985
If you design it according to the method described in
以上説明した様に本発明に工れば、FCCパターンの間
かくが大でるることから、半導体プロセス技術における
ホトリソグラフィ工程で光素子を形成でき、効率良く光
ヘッドが生産出来るばかりでなく 、 F’GCからの
出射光が反射鏡を用いることにより、光デイスク面に対
して垂直に入射することから、読み取り誤差の少ない光
ヘッドが生産できる様になる。As explained above, if the present invention is implemented, since the gap between the FCC patterns is large, optical elements can be formed in the photolithography process in semiconductor process technology, and optical heads can be efficiently produced. 'By using a reflecting mirror, the light emitted from the GC is incident perpendicularly to the optical disk surface, making it possible to produce an optical head with fewer reading errors.
第1図は本発明の一実施例に係る導波路形光ヘッド金示
す斜視図、第2図は第1図の導波路形光ヘッドの断面を
示す断面図、第3図は第1図の導波路形ヘッドの光導波
路面金示す斜視図、第4図は従来のバルク形光ヘッドを
示す構成図、第5図は従来の導波路形光ヘッドを示す概
略図、第6図は、本発明の一実施例に係る導波路形光ヘ
ッドの基板端面の切断研磨角、FGC出射角、反射鏡設
置角を示す説明図である。
符号の説明
1:半導体レーザ、 58光検出器、 6:光ディスク
、 7:基板、 8:光導波路、 9:集光形グレー
ティングカップラ、 11:導波路レンズ、 12
:反射鏡、 13:ケースjて1 is a perspective view showing a waveguide type optical head according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a sectional view showing a cross section of the waveguide type optical head shown in FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a configuration diagram showing a conventional bulk type optical head, FIG. 5 is a schematic diagram showing a conventional waveguide type optical head, and FIG. 6 is a perspective view showing the optical waveguide surface of the waveguide type head. FIG. 3 is an explanatory diagram showing a cutting and polishing angle, an FGC emission angle, and a reflecting mirror installation angle of a substrate end face of a waveguide type optical head according to an embodiment of the invention. Explanation of symbols 1: Semiconductor laser, 58 photodetector, 6: Optical disk, 7: Substrate, 8: Optical waveguide, 9: Concentrating grating coupler, 11: Waveguide lens, 12
:Reflector, 13:Case
Claims (1)
波路へ導波したレーザ光によって、光記録媒体の情報を
読み取ることができるようにした導波路形光ヘッドにお
いて、光導波路の端面に半導体レーザおよび光検出器を
取付け、上記光導波路上面に光導波層とは異なる屈折率
を有した薄膜を不等間隔曲線状に形成してなり基板端面
からレーザ光を出射しかつ情報記録面上の一点に上記レ
ーザ光を収束させる機能を有した集光形グレーティング
カップラと、該基板端面から出射した光が光ディスクに
対して垂直に入射するように傾斜角を設定した反射鏡と
、光ディスクからのもどり光を2分割し、かつそれぞれ
を集光させる機能を有したグレーティングレンズを有し
、前記光ディスク面と直交方向およびトラック直交方向
へ振動可能なアクチュエータ上に、基板を搭載したこと
を特徴とする導波路形光ヘッド。1. In a waveguide-type optical head in which an optical waveguide is provided on a substrate and information on an optical recording medium can be read by laser light guided from a semiconductor laser to the optical waveguide, a semiconductor is provided on the end face of the optical waveguide. A laser and a photodetector are attached, and a thin film having a refractive index different from that of the optical waveguide layer is formed on the top surface of the optical waveguide in an unevenly spaced curved shape. A condensing grating coupler that has the function of converging the laser beam to one point, a reflecting mirror whose inclination angle is set so that the light emitted from the end face of the substrate is incident perpendicularly to the optical disk, and a reflection mirror that has the function of converging the laser beam to one point, A guide characterized in that a substrate is mounted on an actuator that has a grating lens that has a function of dividing light into two parts and focusing each part, and can vibrate in a direction perpendicular to the optical disk surface and in a direction perpendicular to the track. Wave-shaped optical head.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62279247A JPH0652584B2 (en) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | Waveguide type optical head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62279247A JPH0652584B2 (en) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | Waveguide type optical head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01122042A true JPH01122042A (en) | 1989-05-15 |
JPH0652584B2 JPH0652584B2 (en) | 1994-07-06 |
Family
ID=17608486
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62279247A Expired - Lifetime JPH0652584B2 (en) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | Waveguide type optical head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0652584B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03132932A (en) * | 1989-10-17 | 1991-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical head device |
-
1987
- 1987-11-06 JP JP62279247A patent/JPH0652584B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03132932A (en) * | 1989-10-17 | 1991-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical head device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0652584B2 (en) | 1994-07-06 |
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