JPH01107851A - Method and device for blowing and exhausting in draft chamber - Google Patents

Method and device for blowing and exhausting in draft chamber

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JPH01107851A
JPH01107851A JP62264954A JP26495487A JPH01107851A JP H01107851 A JPH01107851 A JP H01107851A JP 62264954 A JP62264954 A JP 62264954A JP 26495487 A JP26495487 A JP 26495487A JP H01107851 A JPH01107851 A JP H01107851A
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air
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exhaust
processing chamber
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清光 伊藤
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Abstract

PURPOSE:To eliminate the need for considering wind area velocity in the case of introducing air through the aperture face of a treatment chamber and to extremely inhibit discharge of air-conditioned air and to make work environment comfortable by performing air lock with an air curtain device. CONSTITUTION:The passage system of a chamber main body 1 is constituted of a draft air duct 16 for air-locking the front aperture face of a treatment chamber 2, a suction path 10, a first air feed path 12 for returning one part of air to the chamber 2, a second air feed path 15 for discharging the residual part of air to an exhauxt path 14 and this exhaust path 14. When total amount discharged from the exhaust path 14 is regulated to 100, blowing amount via the draft air duct 16 is regulated to 50-80 and suction amount sucked through the suction path 10 is regulated to introduction amount in a range within both 50-80 via the duct 16 and 10-35 from an outside 21. 25-75 of this suction amount is returned to the chamber 2 via the air feed path 12 and also when the residual amount of suction amount discharged via the air feed path 15 is defined as A, amount obtained by subtracting A from total exhaust amount 100 is discharged through the exhaust port 8 of the chamber 2 as exhaust amount to the path 14.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、ドラフトチャンバーにおける送風排気力法及
びその装置に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to an air exhaust force method in a draft chamber and an apparatus therefor.

[従来の技術] トラフトチャンバーは1作業者の安全衛生を確保する必
要から化学実験室などに設置される装置であり、これに
より、化学実験等によって生ずる臭気や有毒ガスなどを
実験室内に拡散させることなく室外に効率よく排出させ
ることができる。
[Prior art] Traft chambers are devices installed in chemical laboratories to ensure the safety and health of workers, and are used to diffuse odors and toxic gases generated by chemical experiments into the laboratory. It can be efficiently discharged outdoors without any waste.

第2図と第3図とは、従来から用いられているトラフト
チャンバーの構造例を示すものである。
FIGS. 2 and 3 show structural examples of conventionally used raft chambers.

このうち、第2図に示すものは、チャンバー本体30内
に化学実験環、各種実験を行なうための処理室31をそ
の前面に開口部32を配して設けるとともに、この処理
室31の天井部にダンパ34を備えた排気口33を設け
、その一方で、前記処理室3Iの背面側に処理室31と
その下部にて連通させた排気路35を配設し、この排気
路35と前記排気口33とから排気される空気が合流す
る上方空間部36を介することで図示しない送風機によ
り処理室31内の汚染空気を強制排気することができる
構造となっている。したがって、実験室等の外部空間と
通じている処理室31の開口部32からは、排出される
べき空気の全量が所定の面風速で取り入れられることに
なり、処理室31内で実験等により生ずる汚染空気とも
ども強制排気されるものであった。
Among these, the one shown in FIG. 2 has a chemical experiment ring and a processing chamber 31 for conducting various experiments in the chamber main body 30 with an opening 32 arranged in the front thereof, and also has a ceiling section of the processing chamber 31. An exhaust port 33 equipped with a damper 34 is provided at the rear side of the processing chamber 3I, and an exhaust path 35 communicating with the processing chamber 31 at its lower part is provided on the back side of the processing chamber 3I. The structure is such that contaminated air within the processing chamber 31 can be forcibly exhausted by a blower (not shown) through an upper space 36 where air exhausted from the port 33 joins. Therefore, the entire amount of air to be discharged is taken in at a predetermined surface wind velocity from the opening 32 of the processing chamber 31 that communicates with the external space such as the laboratory, and the air generated in the processing chamber 31 due to experiments, etc. Both the contaminated air and the contaminated air were forced out.

一方、第3図に示すものは、第2図に示す従来構造を基
調とし、さらに、チャンバー本体30の前面外側の上部
に下方に向けた開口部38を有するエアーカーテン装!
Ff37を配設した構造となっている。このため、開口
部38から圧送されてくる空気により排気量の一部を外
気で補うことができるので、処理室31の開口面32を
介して取り込まれる実験室等の外部空間からの空調され
た空気の取込み量をそれだけ減することができた。
On the other hand, the one shown in FIG. 3 is an air curtain system based on the conventional structure shown in FIG. 2, and further includes an opening 38 facing downward at the upper part of the outer front surface of the chamber body 30!
It has a structure in which Ff37 is installed. Therefore, part of the exhaust volume can be supplemented with outside air by the air pumped through the opening 38, so that the air conditioned from the external space such as the laboratory that is taken in through the opening 32 of the processing chamber 31 is reduced. The amount of air intake could be reduced accordingly.

[発明の解決しようとする問題点] ところで、上記従来装置のうち、第2図に示した構造の
装置については、実験の際に用いられる溶剤等の性質に
応じ、予め定められている所定の面風速で処理室31の
開口面32がら空気を取り入れ、これを強制排気しなけ
ればならず、したがって、所望する面風速を得るために
は、これに即応し得る能力のある送風機が必要になり、
空調された高価な空気の排出量が増大し、省エネルギ一
対策上問題であるのみならず、施設設備の設置にも多額
の費用がかかってしまうという問題があった。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, among the above-mentioned conventional devices, the device having the structure shown in FIG. It is necessary to take in air through the opening surface 32 of the processing chamber 31 at a surface wind speed and forcefully exhaust it. Therefore, in order to obtain the desired surface wind speed, a blower capable of quickly responding to this is required. ,
The amount of expensive air conditioned air discharged increases, which not only poses a problem in terms of energy conservation, but also requires a large amount of cost to install facility equipment.

また、第3図に示した構造の装置については、エアーカ
ーテン装置37を配設したことから、第2図の構造の装
置にみられた上記問題点を相当程度改善することはでき
るものの、作業者が前記処理室31を利用して実験作業
を行なう場合、エアーカーテン装置37の開口部38か
ら噴出する外気を頭上から浴びることになる。このため
、特に室内気温と室外気温との温度差が大きな夏や冬に
おいては、その温度差の故に作業者は不快な作業環境の
もとての実験作業を強いられるという問題があった。
Furthermore, since the device with the structure shown in FIG. 3 is equipped with an air curtain device 37, the above-mentioned problems found in the device with the structure in FIG. 2 can be improved to a considerable extent; When a person performs experimental work using the processing chamber 31, the person is exposed to the outside air blown out from the opening 38 of the air curtain device 37 from above. Therefore, especially in summer and winter when there is a large temperature difference between the indoor temperature and the outdoor temperature, there is a problem in that the worker is forced to perform experimental work in an uncomfortable working environment because of the temperature difference.

[発明の目的] 本発明は、従来装置にみられた上記問題点に鑑みてなさ
れたものであり、その目的は、エアーカーテン装置によ
りエアーロックすることで、処理室の開口面から空気を
取り込む際の面風速を考慮する必要をなくし、しかも、
空調された空気の排出を極力抑制し、かつ、実験のため
の作業環境を好ましいものにすることができるできるト
ラフトチャンバーを提供することにある。
[Object of the Invention] The present invention has been made in view of the above-mentioned problems observed in conventional devices, and its purpose is to take in air from the opening surface of the processing chamber by air locking with an air curtain device. Eliminates the need to consider the actual surface wind speed, and
It is an object of the present invention to provide a tray chamber capable of suppressing the discharge of conditioned air as much as possible and providing a preferable working environment for experiments.

[問題点を解決するための手段] 本発明は、上記目的を達成するためなされたものであり
、そのうちの第1の発明は、チャンバー本体における流
路系は、処理室の前面開口面をエアーロックするための
送風路と、この送風路から圧送されてくる空気を主とし
て吸気するための吸気路と、この吸気路から送出される
空気の一部を前記処理室に還流させるための第1送気路
と、前記吸気路から送出される空気の残部を排気路へと
導出する第2送気路と、前記処理室と排気口を介して連
通している排気路とで構成し、この排気路からの総排出
量を■0とするとき、前記送風路を介しての処理室の前
面開口面への送風用は50〜80とし、前記吸気路から
の吸気量は、前記送風路から50〜80、外部から10
〜35の範囲での取込量とし、この吸気量の25〜75
を前記第1送気路を介して処理室に還流させるとともに
、前記排気路に対する排気量は、第2送気路を介して導
出される吸気量の残量をAとするとき、処理室の排気口
からは総排気量である前記100からAを減じた量の空
気を排出することで行なうことに構成上の特徴がある。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to achieve the above objects, and a first aspect of the present invention is that the flow passage system in the chamber body connects the front opening surface of the processing chamber with air. An air blowing passage for locking, an air intake passage for mainly sucking in the air that is pressurized from this air blowing passage, and a first air passage for circulating a part of the air sent from this air intake passage back to the processing chamber. an air passage, a second air passage that guides the remainder of the air sent out from the intake passage to an exhaust passage, and an exhaust passage that communicates with the processing chamber via an exhaust port, and this exhaust When the total amount of air discharged from the air passage is 0, the amount of air blown to the front opening of the processing chamber via the air passage is 50 to 80, and the amount of air intake from the intake passage is 50 to 80. ~80, 10 from outside
The intake amount is in the range of ~35, and the intake amount is 25 to 75.
is returned to the processing chamber via the first air supply path, and the exhaust amount to the exhaust path is equal to The configuration is characterized in that air is discharged from the exhaust port in an amount equal to the total exhaust amount, which is 100 minus A.

また、第2の発明は、チャンバー本体に配設された前面
に開口面を有してなる処理室には、上側排気口と下側排
気口と前記開口面における内側をその作業台方向に向け
てエアーロック可能としたエアーカーテン装置とを設け
、前記作業台により区画される処理室の下方には、送風
機の吸気側が前記作業台の前側部に開設した吸気口を有
する吸気路と接続され、送気側が前記処理室内に開設し
た送気口を有する第1送気路と、処理室と連通している
排気路に導通される第2送気路とに接続されている流路
系を配設したことに構成上の特徴がある。
Further, the second invention provides a processing chamber having an opening surface on the front surface disposed in the chamber main body, an upper exhaust port, a lower exhaust port, and an inner side of the opening surface facing toward the workbench. and an air curtain device capable of air locking, and below the processing chamber partitioned by the workbench, the intake side of the blower is connected to an intake path having an intake port opened at the front side of the workbench, A flow path system is arranged in which the air supply side is connected to a first air supply path having an air supply port opened in the processing chamber and a second air supply path connected to an exhaust path communicating with the processing chamber. There is a structural feature in the fact that it was established.

[実施例] 以下、図面に基づいて本発明の詳細な説明する。[Example] Hereinafter, the present invention will be described in detail based on the drawings.

第1図は、本発明に係る一実施例としてドラフトチャン
バーの概略構成を示す断面図であり、チャンバー本体1
内には、前面に開口面5を有してなる処理室2と、この
処理室2における作業台4により区画されて下方位置と
なる流路系3とが配設されている。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a draft chamber as an embodiment of the present invention.
A processing chamber 2 having an opening surface 5 on the front surface and a flow path system 3 located at a lower position and partitioned by a work table 4 in the processing chamber 2 are disposed therein.

このうち、前記処理室2は、開口面5をエアーロック可
能としたエアーカーテン装置6と上側排気口8と下側排
気口13とを備えており、前記エアーカーテン装置6は
、下方に向けて開口させた噴出ロアを介することで、図
示しない送風機により送風路16に圧送されてくる外気
を噴出させ、処理室2の前面に配されている開口面5を
エアーロック可能としており、その流路中には空気流の
整流と浄化のためフィルター22を配設しておくのが望
ましい。また、必要により、処理室5に空気を送るため
のダンパー23をその開閉を可能にして付設しておくこ
ともできる。処理室2に設けられている前記上側排気口
8は、処理室2内で発生する比較的軽いガスを主に排出
するために設けられ、また、前記下側排気口13は、処
理室2内で発生する比較的重いガスを主に排出するため
に設けられるものであり、処理室2の背側に設けた排気
路14とそれぞれ連通し、かつ、そのそれぞれにはダン
パーが18.19が付設されている。
Of these, the processing chamber 2 includes an air curtain device 6 that can air lock the opening surface 5, an upper exhaust port 8, and a lower exhaust port 13. By passing through the opened blow-out lower, outside air that is forced into the air passage 16 by a blower (not shown) is blown out, and the opening surface 5 arranged at the front of the processing chamber 2 can be air-locked, and the flow passage Preferably, a filter 22 is disposed therein for rectifying and purifying the air flow. Further, if necessary, a damper 23 for sending air into the processing chamber 5 may be provided so as to be able to open and close. The upper exhaust port 8 provided in the processing chamber 2 is provided to mainly discharge relatively light gas generated within the processing chamber 2, and the lower exhaust port 13 is provided to discharge relatively light gas generated within the processing chamber 2. These are provided mainly to discharge relatively heavy gas generated in the processing chamber 2, and are connected to the exhaust passages 14 provided on the back side of the processing chamber 2, and dampers 18 and 19 are attached to each of them. has been done.

また、処理室2における前記作業台4の前側部には、後
述する流路系3を構成している吸気路10と連通させた
吸気口9が、処理室2の左右の側壁部には、後述する流
路系3の第1送気路12と連通させた風向制御板17を
有する送気口11がそれぞれ開設されている。
Further, on the front side of the workbench 4 in the processing chamber 2, an intake port 9 communicating with an air intake passage 10 forming a flow path system 3, which will be described later, is provided on the left and right side walls of the processing chamber 2. Air supply ports 11 each have a wind direction control plate 17 that communicates with a first air supply path 12 of a flow path system 3 to be described later.

なお、図中の符合20は前面扉を、24は排気路14の
終端部に配設されているダンパーを示す。
In addition, the reference numeral 20 in the figure indicates a front door, and the reference numeral 24 indicates a damper disposed at the terminal end of the exhaust path 14.

一方、前記流路系3は、介在させた送風機Fの吸気側が
前記作業台の前側部に開設した吸気口9を有する吸気路
10と接続されており、この吸気口9を介することでエ
アーカーテン装置6からの噴出空気を空調された実験室
等の外部空間2!内の空気と処理室2内の空気とを一部
取り込みながら効果的に吸い込ませ、処理室2の開口面
5をエアーロックすることができる(以下、このような
エアーロック方式を「プッシュプル構造」という)。ま
た、送風機Fの送気側は、前記処理室2内に開設した送
気口11とその流路中に設けられた風量制御板25とを
有する第1送気路12と、前記排気路12に導通され、
かつ、その流路中に風量制御板26を有する第2送気路
15とに分岐させて接続されており、前記送気口1!を
介することで前記吸気口9から吸い込まれた空気の一部
を処理室2内に送気可能とし、排気路12に接続してい
る第2送気路15を介することで、処理室2内の効率良
い換気を促進するための一部ともしている。
On the other hand, in the flow path system 3, the air intake side of the interposed blower F is connected to an air intake path 10 having an air intake port 9 opened at the front side of the workbench, and the air curtain is External space 2 such as a laboratory that is air-conditioned with the air blown out from the device 6! The air inside the processing chamber 2 can be effectively sucked in while partially taking in the air inside the processing chamber 2, and the opening surface 5 of the processing chamber 2 can be air-locked (hereinafter, such an air lock method is referred to as a "push-pull structure"). ). Further, the air supply side of the blower F includes a first air supply path 12 having an air supply port 11 opened in the processing chamber 2 and an air volume control plate 25 provided in the flow path, and the exhaust path 12. is conducted to,
Moreover, it is branched and connected to a second air supply path 15 having an air volume control plate 26 in the flow path, and the air supply port 1! A part of the air sucked from the intake port 9 can be sent into the processing chamber 2 through the second air supply path 15 connected to the exhaust path 12. It is also used in part to promote efficient ventilation.

なお、本発明装置においては、処理室2内に設けられる
送気口11を図示例のように処理室2の左右両側壁部に
配設するほか、背側等、所望する適宜の部位に設けるこ
ともできる。また、吸気路10等の流路系3には、必要
により適宜構造のダンパーを配設することもできる。
In addition, in the apparatus of the present invention, the air inlet 11 provided in the processing chamber 2 is provided not only on the left and right side walls of the processing chamber 2 as shown in the illustrated example, but also at a desired appropriate location such as the back side. You can also do that. Further, a damper having an appropriately structured structure may be provided in the flow path system 3 such as the intake path 10, if necessary.

次に、このようにして構成されているトラフトチャンバ
ーにおける一実施例としての送風排気方法について説明
する。
Next, a method for blowing and exhausting air as an example in the thus configured raft chamber will be described.

チャンバー本体l内における全流路系は、処理室2の前
面に設けられた開口面5をエアーロックするための送風
路16と、この送風路16から圧送されてくる空気を主
として吸気するための吸気路10と、この吸気路10か
ら送出される空気の一部を前記処理室2に還流させるた
めの第1送気路12と、前記吸気路10から送出される
空気の残部を排気路I4へと導出する第2送気路15と
、前記上側排気口8と前記下側排気口13とを介して処
理室2と連通している排気路14とで構成されている。
The entire flow path system in the chamber body 1 includes an air passage 16 for air-locking the opening surface 5 provided at the front of the processing chamber 2, and an air passage 16 for mainly inhaling the air pressure-fed from this air passage 16. An air intake passage 10, a first air supply passage 12 for recirculating a part of the air sent from the intake passage 10 to the processing chamber 2, and an exhaust passage I4 for discharging the remainder of the air sent from the intake passage 10. and an exhaust path 14 communicating with the processing chamber 2 via the upper exhaust port 8 and the lower exhaust port 13.

そして、この排気路14からの総排出量を100とする
とき。
When the total amount of exhaust from this exhaust path 14 is assumed to be 100.

前記送風路16を介しての処理室2の開口面5への送風
量は50〜80.より好ましくは70を送風する。
The amount of air blown to the opening surface 5 of the processing chamber 2 through the air duct 16 is 50 to 80. More preferably, 70 is blown.

また、プッシュプル構造を構成している前記吸気路10
からの吸気量は、前記送風路16から50〜60、実験
室等の外部空間21か610〜35の範囲、より好まし
くは、送風路16から70、外部空間21から30をそ
の取込量として吸気させる。この吸気量の25〜75、
より好ましくは40を前記第1送気路12を介して処理
室2に還流させる。
Furthermore, the intake passage 10 has a push-pull structure.
The amount of air taken in from the air passage 16 is in the range of 50 to 60, the external space 21 such as a laboratory, or 610 to 35, more preferably, the intake amount is from the air passage 16 to 70, and the external space 21 to 30. Inhale. 25 to 75 of this intake air amount,
More preferably, the gas 40 is returned to the processing chamber 2 via the first air supply path 12.

また、排気路14に対し送出される総排出量(既に10
0として設定している)については、第2送気路15を
介して導出される吸気量の残量をAとするとき、処理室
2の上側排気口8と下側排気口I3とからは100から
Aを減じた量の空気を排出することにより排気する。
In addition, the total amount of exhaust sent to the exhaust path 14 (already 10
0), when the remaining amount of intake air drawn out via the second air supply path 15 is A, the amount from the upper exhaust port 8 and the lower exhaust port I3 of the processing chamber 2 is Exhaust by discharging an amount of air equal to 100 minus A.

本発明は、上記したようにプッシュプル構造を採用して
いるので、吸気口9の近傍に到達した噴出ロアからの噴
出空気を効率よく吸気口9から吸い込ませることができ
るので、処理室2の前面に位置し、エアーカーテンによ
り遮断されている開口面5を介することで、チャンバー
本体lが設置されている実験室等の外部空間21と処理
室2との間の空気の出入を効果的にエアーロックするこ
とができ、実験室内の空調された高価な空気を不必要に
外部に排出することを防止することができる。
Since the present invention employs the push-pull structure as described above, the air ejected from the ejection lower that has reached the vicinity of the inlet 9 can be efficiently sucked in from the inlet 9. Air can effectively flow in and out between the processing chamber 2 and an external space 21 such as a laboratory where the chamber main body l is installed, through the opening surface 5 located at the front and blocked by an air curtain. It can be air-locked to prevent expensive, conditioned air inside the laboratory from being discharged to the outside unnecessarily.

また、プッシュプル構造であることから、処理室2内か
らの空気の排出は1行なわれる実験の種類と処理室2の
開口面5を介して流入する外部空間21からの空気流の
速さ(面風速)との関係を考慮することなく、常に一律
に設定して行なうことができるので、図示しない排風機
の選定も画一的に行なうことができる。また、プッシュ
プル構造により処理室2の開口面5がエアーロック状態
におかれているとはいいながらも、外部空間21の側と
処理室2の側とにおける空気の一部も同時に取り込むこ
とができ、これにより、空気の乱れを少なくしたエアー
カーテンを形成することもできる。
In addition, since it has a push-pull structure, the air discharge from the processing chamber 2 depends on the type of experiment being conducted and the speed of the air flow from the external space 21 flowing in through the opening surface 5 of the processing chamber 2. Since the settings can be made uniformly at all times without considering the relationship with surface wind speed), the selection of the blower (not shown) can also be made uniformly. Furthermore, although it is said that the opening surface 5 of the processing chamber 2 is placed in an airlock state due to the push-pull structure, a portion of the air from the external space 21 side and the processing chamber 2 side may be taken in at the same time. This also makes it possible to form an air curtain with less air turbulence.

さらには、吸気路10を経てきた吸入空気の一部は、第
1送気路12を介して風向制御板17を有する送気口口
から処理室2内の所望する方向へと還流させることがで
きるので、この還流されてくる空気流に乗せながら実験
等により発生する汚染されたガスを含む空気を従来にも
増して効率的に上側排気口8から、また、場合によって
は下側排気口13から排出させることができる。しかも
、吸気路10を経てきた吸入空気の残部は、第2送気路
15を介して排気路12へと送り出すことができ、処理
室2内の換気回数の促進を図ることもできる。
Furthermore, a part of the intake air that has passed through the intake path 10 can be returned to a desired direction inside the processing chamber 2 through the first air path 12 and from the air inlet port having the wind direction control plate 17. As a result, air containing contaminated gases generated from experiments, etc., is carried along with this recirculated air flow and is more efficiently carried out from the upper exhaust port 8 and, in some cases, from the lower exhaust port 13. It can be discharged from Furthermore, the remainder of the intake air that has passed through the intake path 10 can be sent out to the exhaust path 12 via the second air supply path 15, so that the number of ventilations in the processing chamber 2 can be increased.

[発明の効果] 以上述べたように本発明によれば、チャンバー本体内に
プッシュプル構造を構成する流路系を設けたことにより
、エアーカーテン装置からの噴出空気を吸気させること
で処理室の開口面をエアーロックすることができるので
、実験室等の外部空間の空調された空気の取込み、放出
を大幅に少なくし、かつ、排風機に対する負荷を軽減す
ることができ、省エネルギー化のより一層の促進を図る
ことができるのみならず、吸気口から吸入させた空気の
一部は処理室内に還流させることで、処理室内の汚染空
気ともども効率よく排出させることができ、かつ、残部
は排気路を介して排気させることで、処理室内の空気の
換気回数を高めてやることもできる。また、前記エアー
カーテン装置は、チャンバー本体の内側に設けたので、
作業者に対し頭上から外気を直接吹き付けることもない
ので、実験を好ましい環境条件のもとで行なうことがで
きる。
[Effects of the Invention] As described above, according to the present invention, by providing a flow path system having a push-pull structure in the chamber main body, the processing chamber can be opened by sucking air blown out from the air curtain device. Since the opening surface can be air-locked, the intake and release of conditioned air from outside spaces such as laboratories can be significantly reduced, and the load on the exhaust fan can be reduced, resulting in even greater energy savings. In addition to this, a part of the air taken in through the intake port can be recirculated into the processing chamber, allowing it to be efficiently discharged together with the contaminated air inside the processing chamber, and the remainder can be removed from the exhaust path. It is also possible to increase the number of times the air in the processing chamber is ventilated by exhausting the air through the process chamber. Furthermore, since the air curtain device is provided inside the chamber main body,
Since outside air is not blown directly over the worker's head, experiments can be conducted under favorable environmental conditions.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は、本発明装置の一例を示す概略構成断面図、第
2図と第3図とは、従来装置例を示す概略構成断面図で
ある。 l・・・チャンバー本体、2・・・処理室、3・・・流
路系、     4・・・作業台、5・・・開口面、 6・・・エアーカーテン装置、 7・・・噴出口、    8・・・上側排気口、9・・
・吸気口、     10・・・吸気路。 11・・・送気口、    12・・・第1送気路、I
3・・・下側排気口、  14・・・排気路、15・・
・第2送気路、  16・・・送風路、17・・・風向
制御板、  18.19・・・ダンパー。 20・・・前面扉、    21・・・外部空間、22
・・・フィルター、   23.24−・・ダンパー、
25、26・・・風量制御板、F・・・送風機第1図 1・ チャンバー本体     2 処理室6 流路系
         4 作業台5 開口面    6 
エアーカーテン装置7・ 噴出口    8 上側排気
口  9 吸気口10・・・吸気路   11  送気
口    12・・第1送気路16・ 下側排気口  
14  排気路   15・・第2送気路第2図 第3図
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the device of the present invention, and FIGS. 2 and 3 are schematic cross-sectional views showing an example of a conventional device. l... Chamber body, 2... Processing chamber, 3... Channel system, 4... Work table, 5... Opening surface, 6... Air curtain device, 7... Spout port , 8... Upper exhaust port, 9...
-Intake port, 10...Intake path. 11... Air supply port, 12... First air supply path, I
3...Lower exhaust port, 14...Exhaust path, 15...
-Second air supply path, 16...Air supply path, 17...Wind direction control board, 18.19...Damper. 20...Front door, 21...External space, 22
...Filter, 23.24-...Damper,
25, 26... Air volume control board, F... Blower Figure 1 1 Chamber body 2 Processing chamber 6 Channel system 4 Workbench 5 Opening surface 6
Air curtain device 7, blowout port 8, upper exhaust port 9, intake port 10...intake path 11, air supply port 12, first air supply path 16, and lower exhaust port
14 Exhaust passage 15...Second air supply passage Fig. 2 Fig. 3

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、チャンバー本体における流路系は、処理室の前面開
口面をエアーロックするための送風路と、この送風路か
ら圧送されてくる空気を主として吸気するための吸気路
と、この吸気路から送出される空気の一部を前記処理室
に還流させるための第1送気路と、前記吸気路から送出
される空気の残部を排気路へと導出する第2送気路と、
前記処理室と排気口を介して連通している排気路とで構
成し、この排気路からの総排出量を100とするとき、
前記送風路を介しての処理室の前面開口面への送風量は
50〜80とし、前記吸気路からの吸気量は、前記送風
路から50〜80、外部から10〜35の範囲での取込
量とし、この吸気量の25〜75を前記第1送気路を介
して処理室に還流させるとともに、前記排気路に対する
排気量は、第2送気路を介して導出される吸気量の残量
をAとするとき、処理室の排気口からは総排気量である
前記100からAを減じた量の空気を排出することで行
なうことを特徴とするドラフトチャンバーにおける送風
排気方法。 2、チャンバー本体に配設された前面に開口面を有して
なる処理室には、上側排気口と下側排気口と前記開口面
における内側をその作業台方向に向けてエアーロック可
能としたエアーカーテン装置とを設け、前記作業台によ
り区画される処理室の下方には、送風機の吸気側が前記
作業台の前側部に開設した吸気口を有する吸気路と接続
され、送気側が前記処理室内に開設した送気口を有する
第1送気路と、処理室と連通している排気路に導通され
る第2送気路とに接続されている流路系を配設したこと
を特徴とするドラフトチャンバー。
[Claims] 1. The flow path system in the chamber main body includes an air blowing path for airlocking the front opening surface of the processing chamber, and an air intake path for mainly sucking the air pressure-fed from this air blowing path. , a first air supply path for causing a part of the air sent out from the intake path to flow back into the processing chamber, and a second air supply path for leading the remainder of the air sent out from the intake path to an exhaust path. and,
Consisting of an exhaust path communicating with the processing chamber via an exhaust port, and when the total amount of exhaust from this exhaust path is 100,
The amount of air blown to the front opening of the processing chamber through the air duct is 50 to 80, and the amount of air taken in from the air intake path is 50 to 80 from the air duct and 10 to 35 from the outside. 25 to 75 of this intake air amount is returned to the processing chamber through the first air supply path, and the exhaust amount to the exhaust path is equal to the intake air amount derived through the second air supply path. A method for blowing and exhausting air in a draft chamber, characterized in that when the remaining amount is A, air is exhausted from the exhaust port of the processing chamber in an amount obtained by subtracting A from the total exhaust amount of 100. 2. The processing chamber, which is arranged in the chamber body and has an opening surface on the front side, has an upper exhaust port, a lower exhaust port, and an air lock that allows the inside of the opening surface to be turned toward the workbench. An air curtain device is provided, and an air intake side of a blower is connected to an air intake path having an intake port opened at the front side of the work bench, and an air supply side is connected to the lower part of the processing chamber divided by the work bench, and the air supply side is connected to an air intake passage having an intake port opened in the front side of the work bench. A flow path system is provided that is connected to a first air supply path having an air supply port opened in the process chamber and a second air supply path connected to an exhaust path communicating with the processing chamber. draft chamber.
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