JPH01105791A - Optical recorder and manufacture thereof - Google Patents

Optical recorder and manufacture thereof

Info

Publication number
JPH01105791A
JPH01105791A JP62238659A JP23865987A JPH01105791A JP H01105791 A JPH01105791 A JP H01105791A JP 62238659 A JP62238659 A JP 62238659A JP 23865987 A JP23865987 A JP 23865987A JP H01105791 A JPH01105791 A JP H01105791A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical recording
information recording
roughened
low reflectance
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP62238659A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JPH0764141B2 (en
Inventor
Kazuo Umeda
和夫 梅田
Masaaki Asano
雅朗 浅野
Minoru Uchiumi
内海 実
Takuya Hamaguchi
卓也 浜口
Takeshi Matsumoto
武司 松本
Yuji Kondo
祐司 近藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dai Nippon Printing Co Ltd filed Critical Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority to JP62238659A priority Critical patent/JPH0764141B2/en
Publication of JPH01105791A publication Critical patent/JPH01105791A/en
Publication of JPH0764141B2 publication Critical patent/JPH0764141B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
  • Credit Cards Or The Like (AREA)
  • Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)

Abstract

PURPOSE: To obtain an optical recording member effectively used for massreproduction in industrial scale by forming a part of low reflectivity by the roughening treatment when an information recording pattern is formed on a base with a part of high reflectivity and the part of low reflectivity formed by the coarsened part having the light scattering property. CONSTITUTION: A photoresist layer 11 of 4000-20000 Å thickness is uniformly formed on a light transmittable substrate 10, and a photomask 12 formed corresponding to the information recording pattern is overlapped to the same to perform the patterning exposure. Then the coarsening exposure is performed with a glass plate 17 of which one face is coarsened with the fine irregularity. Then the photoresist layer 11 is developed, and the pattern of the photomask 12 is transferred onto the light transmittable substrate 10. Then a thin film layer of the light reflective material or optical recording material 13 is deposited, and a substrate 15 made of polyvinyl chloride or the like is adhered to the same to obtain the optical recording member having the part of high reflectivity 13b and the part of low reflectivity 13c.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は光学的な情報記録が可能な光記録体に関し、さ
らに詳しくは、レーザ光により情報ビットを読取るリー
ド・オンリー・メモリ(ROM)タイプ、レーザ光によ
る情報の書込みが可能なダイレクトφリード・アフター
・ライト(DRAWタイプ、あるいは消去ならびに書込
みが可能なタイプの光記録体およびその製造方法に関す
る。
[Detailed Description of the Invention] [Field of Industrial Application] The present invention relates to an optical recording medium capable of optically recording information, and more specifically to a read-only memory (ROM) type in which information bits are read by laser light. The present invention relates to a direct φ read-after-write (DRAW type) or erasable and writable type optical recording medium in which information can be written using a laser beam, and a method for manufacturing the same.

〔発明の背景〕[Background of the invention]

従来、クレジットカード、バンクカード等のカード類に
埋設される記録材料としては、磁気記録材料が主として
用いられている。この磁気記録材料は、情報の書込みな
らびに読出しが容易に行なえるという利点があるが、そ
の反面、情報の数置が比較的容易であり、しかも高密度
の情報記録ができないという問題がある。
Conventionally, magnetic recording materials have been mainly used as recording materials embedded in cards such as credit cards and bank cards. This magnetic recording material has the advantage that information can be written and read easily, but on the other hand, it has the problem that it is relatively easy to store information, and it is not possible to record information at a high density.

近年、高密度情報の記録再生の観点からICカードや光
カードの開発が進められている。なかでも光学的な記録
再生方式による光カードによれば記録される情報密度が
従来の磁気方式によるものやIC方式によるものに比べ
て飛躍的に高いという利点がある。
In recent years, IC cards and optical cards have been developed from the viewpoint of recording and reproducing high-density information. Among these, an optical card using an optical recording/reproducing method has the advantage that the recorded information density is dramatically higher than that using a conventional magnetic method or an IC method.

ところで、このような光カードに用いられる光記録体な
いし光記録材料としては、従来以下のようなものが提案
されている。
By the way, as optical recording bodies or optical recording materials used in such optical cards, the following have been proposed so far.

たとえば、第18A図に示す例はいわゆるROM (リ
ード・オンリー・メモリ)型の光記録体の例であり、こ
の場合は光カード50上に、高反射率部分51と低反射
率部分52によって構成される光記録体が形成されてお
り、低反射率部分52によって情報記録ビットが構成さ
れている。
For example, the example shown in FIG. 18A is an example of a so-called ROM (read only memory) type optical recording medium. An optical recording medium is formed, and the low reflectance portions 52 constitute information recording bits.

第18B図は該光カード50の断面図であり透明基板5
4上に写真製版法(フォトリソグラフィ)によって情報
記録パターンに応じた光反射材料55を形成し、一方、
基材58上に黒色の印刷層57が形成されたものを接着
剤層56を介して接合することによって光カード50が
形成されている。したがって、この場合は、光反射材料
55と印刷層57との光反射率の差異を検知することに
よって情報の読取りが行われる。
FIG. 18B is a sectional view of the optical card 50, and the transparent substrate 5
A light-reflecting material 55 corresponding to the information recording pattern is formed on 4 by photolithography, and on the other hand,
The optical card 50 is formed by bonding a base material 58 on which a black printed layer 57 is formed via an adhesive layer 56. Therefore, in this case, information is read by detecting the difference in light reflectance between the light reflective material 55 and the printed layer 57.

また、第19図は、特公昭58−48357号公報に開
示されたROM型の光記録体の例でありこの例の場合は
、一定の基材上に形成されたハロゲン化銀乳剤の膜60
に対して記録情報に応じたパターン露光ならびに現像を
行うことにによって周囲の部分61と光反射率の異なる
情報記録ビット62が形成されている。
FIG. 19 shows an example of a ROM type optical recording medium disclosed in Japanese Patent Publication No. 58-48357. In this example, a silver halide emulsion film 60 formed on a certain base material
An information recording bit 62 having a different light reflectance from the surrounding portion 61 is formed by performing pattern exposure and development in accordance with recorded information.

一方、第20図に示す例は、情報の書込みの後に現像処
理などの必要はなく、「書いた後に直読する」ことので
きる、いわゆるDRAW型(ダイレクト・リード・アフ
ター・ライト・タイプ)の光記録体の例であり、この場
合は、フォトポリマー71の片面を凹凸状に形成し、こ
の凹凸面に沿ってTe等の光記録材料72の薄膜を設け
これを接着剤73により基板74に接着するとともに、
フォトポリマー71の上面には光透過性のアクリル樹脂
75等を積層することによって光記録体が構成されてい
る。そしてこの光記録体への情報の書込みは、第21図
に示すように、照射されたレーザービーム76により光
記録材料72の凹凸部を走査して、たとえば凸部に焦点
を合せて位置を確認した後、光記録材料72の凸部にビ
ット情報を書き込んでいくことによって行われる。
On the other hand, the example shown in Fig. 20 is a so-called DRAW type (direct read after write type) light that does not require any development processing after writing information and can be read directly after writing. This is an example of a recording medium. In this case, one side of a photopolymer 71 is formed into an uneven shape, and a thin film of an optical recording material 72 such as Te is provided along this uneven surface and is bonded to a substrate 74 with an adhesive 73. At the same time,
An optical recording medium is constructed by laminating a light-transmitting acrylic resin 75 or the like on the upper surface of the photopolymer 71. As shown in FIG. 21, information is written on the optical recording medium by scanning the uneven portions of the optical recording material 72 with the irradiated laser beam 76, and checking the position by focusing on a convex portion, for example. After that, bit information is written on the convex portions of the optical recording material 72.

また、特公昭58−48357号公報に開示された従来
のDRAW型の光記録体を第22図により説明すると、
この場合は基材上にハロゲン化銀乳剤の膜80を形成し
、この膜80に対してパターン露光と現像を行うことに
よって光反射率の異なる81および82を形成し、光反
射率の相違により部分81の位置を確認して、部分81
上にビット情報を書き込むものである。
Further, the conventional DRAW type optical recording medium disclosed in Japanese Patent Publication No. 58-48357 will be explained with reference to FIG.
In this case, a film 80 of silver halide emulsion is formed on the base material, and patterns 81 and 82 having different light reflectances are formed by pattern exposure and development on this film 80. Check the position of part 81 and
Bit information is written on top.

しかしながら、本発明者らの知見によれば、上述した従
来の光記録体は、いずれも製造工程が比較的繁雑であり
、大量に製造、複製を行う場合、必ずしも経済的な方法
であるとはいえず、また得られる光記録体の経時的な保
存性、耐久性の点ても未だ十分満足のいくものではない
However, according to the findings of the present inventors, all of the conventional optical recording media described above have relatively complicated manufacturing processes, and are not necessarily an economical method when mass-produced or reproduced. Moreover, the storage stability and durability of the obtained optical recording medium over time are still not fully satisfactory.

たとえば、上記第18図に示した光記録体においては、
光反射材料のバターニングを強酸等による湿式エツチン
グにより行うため、エツチング液の洗浄ならびに乾燥工
程が繁雑で長時間を要し、また洗浄が不十分の場合には
、完成後において経時的に腐蝕が進行し光記録体の寿命
を短くする。
For example, in the optical recording medium shown in FIG. 18 above,
Since buttering of light-reflecting materials is carried out by wet etching using strong acids, etc., the process of cleaning the etching solution and drying is complicated and takes a long time, and if the cleaning is insufficient, corrosion may occur over time after completion. This progresses and shortens the life of the optical recording medium.

また、エツチング液のpH管理は通常困難であって、さ
らにエツチング液中の異物による障害が発生する等の問
題もある。
Furthermore, it is usually difficult to control the pH of the etching solution, and there are also problems such as troubles caused by foreign substances in the etching solution.

また、第19図に示す光記録体においては、凸面の形成
においてその高さならびに幅に一定以上の制度が要求さ
れることから、その制御方法がいきおい困難になるとい
う問題を有し、またそのために製造工程が複雑化しコス
トも増大するという問題がある。
In addition, in the optical recording medium shown in FIG. 19, since the height and width of the convex surface are required to have a certain level of accuracy, there is a problem in that the control method becomes extremely difficult. However, there are problems in that the manufacturing process becomes complicated and costs increase.

また、上記第22図に示された光記録体においては、ト
ラックの幅のみにおいて精度が要求される点で、上記第
20図の光記録体よりも製造が容易であると言えるもの
の特殊なハロゲン化銀乳剤等の特定の写真材料を必要と
するため、製造コストが増大するという問題を有してい
る。
The optical recording medium shown in FIG. 22 above is easier to manufacture than the optical recording medium shown in FIG. 20 above in that precision is required only in the width of the track; Since it requires a specific photographic material such as a silver oxide emulsion, it has the problem of increased manufacturing costs.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本発明は上述した従来技術の問題点に鑑みてなされたも
のであり、以下の点を目的とするものである。・ (イ)製造工程の簡便化ならびに迅速化が図られ、特に
工業的規模での大量複製に適した光記録体ならびにその
ための製造方法を提供すること。
The present invention has been made in view of the problems of the prior art described above, and aims at the following points. - (a) To provide an optical recording medium that simplifies and speeds up the manufacturing process and is particularly suitable for mass duplication on an industrial scale, as well as a manufacturing method therefor.

(ロ)製造原料が特定の光記録材料に限定されることな
く、比較的多様性のある材料選択を可能とし、さらに製
造コストの低減化が図られた光記録体ならびにそのため
の製造方法を提供すること(ハ)保存性、耐久性ならび
に経時的な安定性にすぐれた光記録体ならびにそのため
の製造方法を提供すること。
(b) To provide an optical recording medium whose manufacturing raw materials are not limited to specific optical recording materials, which enables a relatively diverse selection of materials, and which further reduces manufacturing costs, as well as a manufacturing method therefor. (c) To provide an optical recording medium with excellent preservability, durability, and stability over time, and a manufacturing method therefor.

本発明者らは上記の目的を達成するために鋭意研究した
結果、光反射率の差異によって記録情報の検知を行う光
記録体において、低反射率部分を粗面化した部分で構成
するという比較的簡単な手段によって、予想外に精密か
つ良好な光記録情報となし得、しかも工業的規模での大
量複製においても極めて有利であることを見出し、本発
明を完成するに至ったものである。
As a result of intensive research to achieve the above object, the present inventors found that in an optical recording medium that detects recorded information based on the difference in light reflectance, a comparison is made in which the low reflectance area is composed of a roughened area. The present invention was completed based on the discovery that unexpectedly precise and good optical recording information can be obtained by a simple means, and that it is also extremely advantageous in mass duplication on an industrial scale.

すなわち、本発明に係る光記録体は、基材上に光反射率
の差異によって識別され得る情報記録パターンが形成さ
れてなる光記録体であって、前記情報記録パターンが高
反射率部分と低反射率部分とから構成され、該低反射率
部分が、光散乱性を有する粗面化部分からなることを特
徴としている。
That is, the optical recording medium according to the present invention is an optical recording medium in which an information recording pattern that can be identified by a difference in light reflectance is formed on a base material, and the information recording pattern has a high reflectance portion and a low reflectance portion. The low reflectance portion is characterized by comprising a roughened portion having light scattering properties.

また、上記本発明の光)己録体の特定の態様においては
、上記基材上に形成された粗面化部分を覆うようにして
基材の全面もしくは一部に光反射材料層または光記録材
料層が積層されていてもよい。
Further, in a specific embodiment of the optical recording medium of the present invention, a light reflective material layer or an optical recording layer is provided on the entire surface or a part of the substrate so as to cover the roughened portion formed on the substrate. Material layers may be laminated.

一方、本発明に係る光記録体の製造方法は、高反射率部
分と低反射率部分とから構成される情報記録パターンが
基材上に形成された光記録体を製造するにあたり、前記
低反射率部分を、情報記録パターンに応じた粗面化処理
によって形成することを特徴としている。
On the other hand, in the method for manufacturing an optical recording medium according to the present invention, in manufacturing an optical recording medium in which an information recording pattern consisting of a high reflectance portion and a low reflectance portion is formed on a base material, the low reflection It is characterized in that the ratio portion is formed by roughening treatment according to the information recording pattern.

〔発明の詳細な説明〕[Detailed description of the invention]

以下、本発明を、図面に示す具体例を参照しながら詳細
に説明する。
Hereinafter, the present invention will be explained in detail with reference to specific examples shown in the drawings.

第1図は本発明の光記録体の1実施態様であるROMタ
イプの光カードを示す図であり、第1A図は平面図、第
1B図は斜視図である。第2図は本発明の光記録体の他
の実施例であるDRAWタイプの光カードを示す図、第
3図は同じく他の実施例であるROMタイプ、DRAW
タイプ併用の光カードを示す図、第4図は本発明の光記
録体の製造方法の1実施例を説明するための図、第5図
、第6図、第7図、第8図、第9図、第10図および第
11図は本発明の光記録体の製造方法の他の実施例を説
明するための図、第12図は本発明の光記録体の書き込
み方式を説明するための図である。
FIG. 1 is a view showing a ROM type optical card which is one embodiment of the optical recording medium of the present invention, FIG. 1A is a plan view, and FIG. 1B is a perspective view. FIG. 2 is a diagram showing a DRAW type optical card which is another embodiment of the optical recording medium of the present invention, and FIG. 3 is a diagram showing a ROM type and DRAW type optical card which are also another embodiment.
FIG. 4 is a diagram for explaining one embodiment of the method for manufacturing an optical recording medium of the present invention, FIG. 5, FIG. 6, FIG. 7, FIG. 8, and FIG. 9, FIG. 10, and FIG. 11 are diagrams for explaining other embodiments of the method for manufacturing an optical recording medium of the present invention, and FIG. 12 is a diagram for explaining the writing method of the optical recording medium of the present invention. It is a diagram.

第1図は本発明の光記録体をROMタイプの光カードと
して構成した場合の例を示す図であり、光カード1上に
は、高反射部分2に対して低反射部分3からなる情報記
録ビット4が形成されている。該光カード1は、第1B
図に示すように透明基材5とカード基板6との間に光反
射材料層7を形成することができ該光反射材料層7上に
は表面が粗面化(微小な凹凸形状)された情報記録ビッ
ト4が形成されている。
FIG. 1 is a diagram showing an example in which the optical recording medium of the present invention is configured as a ROM type optical card.On the optical card 1, there is information recording consisting of a high reflection area 2 and a low reflection area 3. Bit 4 is formed. The optical card 1 is the 1st B
As shown in the figure, a light-reflecting material layer 7 can be formed between the transparent base material 5 and the card substrate 6, and the surface of the light-reflecting material layer 7 is roughened (microscopic irregularities). Information recording bit 4 is formed.

第2図は本発明の光記録体のDRAWタイプの光カード
を示す図であり、光カード1上には、高反射部分を形成
し光により書き込み可能な光記録トラック8と、低反射
部分を形成し案内トラック9が形成されている。なお、
上記実施例においては、光記録トラック8と案内トラッ
ク9が交互に形成されているが、案内トラック9の本数
を減少させることも可能である。また、低反射率部分を
ビットとしたプレフォーマットを形成しておいてもよい
FIG. 2 is a diagram showing a DRAW type optical card of the optical recording medium of the present invention. On the optical card 1, there is an optical recording track 8 which forms a high reflection part and can be written with light, and a low reflection part. A guide track 9 is formed. In addition,
In the above embodiment, the optical recording tracks 8 and the guide tracks 9 are formed alternately, but it is also possible to reduce the number of guide tracks 9. Alternatively, a preformat may be formed in which the low reflectance portion is used as a bit.

第3図は第1図のROMタイプならびに第2図のDRA
Wタイプ併用の光カードを示す図でありたとえば光カー
ド1の左右に情報記録ビット4゜4が形成され、中央部
に光記録トラック8および案内トラック9が形成されて
いる。なお、情報記録ビット4および光記録トラック8
の位置は任意に設定可能である。
Figure 3 shows the ROM type in Figure 1 and the DRA type in Figure 2.
This is a diagram showing a W-type optical card, in which information recording bits 4.4 are formed on the left and right sides of an optical card 1, and an optical recording track 8 and a guide track 9 are formed in the center. Note that information recording bit 4 and optical recording track 8
The position of can be set arbitrarily.

第4図ないし第11図は上記ROMタイプ或いはDRA
Wタイプの光記録体の製造方法の1実施例を示している
。図中、高反射率部分13bと低反射率部分13cは凹
凸状に図示されているが、これらの凹凸差は通常、10
00八〜数μm程度であり、実際上はほぼ平面或いは同
一平面として形成されるものである。
Figures 4 to 11 are for the above ROM type or DRA.
An example of a method for manufacturing a W-type optical recording medium is shown. In the figure, the high reflectance portion 13b and the low reflectance portion 13c are shown as uneven, but the difference between these unevenness is usually 10
The thickness is approximately 0.08 to several μm, and is actually formed as a substantially flat or coplanar surface.

以上述べた第2図ないし第3図に示す例は、いずれも本
発明の光記録体を光カードとして構成した場合の例であ
るが、本発明に係る光記録体は、第13図にその概念断
面図を示すように、基本的には、一定の基材上100上
に形成された高反射率部分101と低反射率部分102
によって情報記録パターンが形成されている。そして情
報の読取りに際しては、上記各部分の光反射率の差異を
検知することによって、記録情報の識別が行なわれ、こ
の場合は低反射率部分102はその表面が粗面化されて
おり光散乱性を有しているので、光反射率の差異は良好
に検知される。また、高反射率部分101は、基材10
0自体が光反射性を有していれば特に問題はないが、高
反射性を付与するために、基材100上に別途光反射材
料層(図示せず)を設けることができる。
The examples shown in FIGS. 2 and 3 described above are all examples in which the optical recording medium of the present invention is configured as an optical card, but the optical recording medium according to the present invention is shown in FIG. As shown in the conceptual cross-sectional view, basically, a high reflectance portion 101 and a low reflectance portion 102 are formed on a certain base material 100.
An information recording pattern is formed. When reading information, the recorded information is identified by detecting the difference in the light reflectance of each part. In this case, the low reflectance part 102 has a roughened surface and scatters light. Therefore, differences in light reflectance can be easily detected. Further, the high reflectance portion 101 is formed on the base material 10
There is no particular problem as long as 0 itself has light reflectivity, but in order to provide high reflectivity, a light reflective material layer (not shown) can be separately provided on the base material 100.

第14図に示す断面図は、光透過性の基材100aの下
方側に低反射率部分(粗面化部分)102が形成されて
おり、情報読取りのためのレーザー光は、上方側から照
射される。そしてこの場合は、上記粗面化部分102を
覆うようにして基材100aの全面もしくは一部に光反
射材料層(ないし光記録材料層)103を形成すること
ができ、この光反射材料層103が高反射率部分を構成
する。
In the cross-sectional view shown in FIG. 14, a low reflectance portion (roughened surface) 102 is formed on the lower side of a light-transmissive base material 100a, and a laser beam for reading information is irradiated from the upper side. be done. In this case, a light reflective material layer (or optical recording material layer) 103 can be formed on the entire surface or a part of the base material 100a so as to cover the roughened portion 102, and this light reflective material layer 103 constitutes the high reflectance part.

第15A図に示す例は、上記第14図の光記録体を光カ
ードとして構成した場合の断面図であり、光透過性の基
材100aの粗面化された低反射部分102とこの低反
射部分を覆うようにして基材100aの表面に光反射材
料層または光記録材材層103が積層形成されており、
さらにこの表面には接着剤層104、印刷層105およ
びカード基材106が積層され、一方、反対側には、プ
ライマー層107を介して透明基材層(保護層)108
ならびに表面硬化層109が積層形成されている。
The example shown in FIG. 15A is a cross-sectional view of the optical recording medium shown in FIG. A light reflecting material layer or an optical recording material layer 103 is laminated on the surface of the base material 100a so as to cover the portion,
Furthermore, an adhesive layer 104, a printing layer 105, and a card base material 106 are laminated on this surface, while a transparent base material layer (protective layer) 108 is placed on the opposite side with a primer layer 107 interposed therebetween.
In addition, a surface hardening layer 109 is formed in a laminated manner.

さらに、第15Bは、上記第15Aの場合において光透
過性基材100aが光カードの保護層をも兼ねた態様で
形成された場合の例である。上記光透過性基材100a
としては、用途、最終目的製品に応じて所望の材料、例
えばプラスチックのシート、フィルムを選択することが
できる。さらに、この基材100aには、他の記録手段
、たとえば磁気ストライブ、ホログラム、インプリント
、写真、バーコード、一般の印刷が形成されていてもよ
い。
Further, No. 15B is an example in which the light-transmitting base material 100a is formed in a manner that it also serves as a protective layer of the optical card in the case of No. 15A. The above light-transmitting base material 100a
The desired material, such as a plastic sheet or film, can be selected depending on the application and end product. Furthermore, other recording means such as magnetic stripes, holograms, imprints, photographs, bar codes, and general printing may be formed on this base material 100a.

上記の第15A、、15B図の構成においては、光記録
材料層103がカードの端部に露出しておらず、全体と
して空隙がない密閉型なので経時的な安定性に特にすぐ
れている。
In the structure shown in FIGS. 15A and 15B, the optical recording material layer 103 is not exposed at the edge of the card, and since it is a closed type with no voids as a whole, it has particularly excellent stability over time.

次に、上記本発明の光記録体の主たる構成材料について
説明する。
Next, the main constituent materials of the optical recording medium of the present invention will be explained.

基材 基材としては、従来公知の材料が適宜用いられ得る。特
に光透過性の材料としては、ポリメチルメタクリレート
(PMMA) 、ポリカーボネート、ポリエステル、エ
ポキシ樹脂、ポリオレフィン、ポリスチレンなどの樹脂
やガラスが用いられ得る。
Base material As the base material, conventionally known materials can be used as appropriate. In particular, as the light-transmitting material, resins such as polymethyl methacrylate (PMMA), polycarbonate, polyester, epoxy resin, polyolefin, polystyrene, and glass can be used.

これらの基材の詳細については、後述する製造方法(1
)〜(X)においても詳述する。
For details of these base materials, please refer to the manufacturing method (1) described below.
) to (X) will also be explained in detail.

光反射材料 上記ROMタイプに用いる光反射材料としては基材と屈
折率が異なる材料であればいずれの材料でも使用可能で
あり、例えば、A D ST iSM nF e SC
OSN t SCu SZ n s S e SM O
%Ag5CtL In5Sns Sb、Te5PtsA
u等の金属及びこれらの合金、化合物、その他TiO2
、TiN等に代表される酸化物、窒化物有機系色素薄膜
等光反射率の高い材料が使用され得る。
Light Reflective Material As the light reflective material used in the above ROM type, any material can be used as long as it has a refractive index different from that of the base material. For example, A D ST iSM nF e SC
OSN t SCu SZ n s S e SM O
%Ag5CtL In5Sns Sb, Te5PtsA
Metals such as u and their alloys, compounds, and other TiO2
Materials with high light reflectance, such as oxides such as , TiN, etc., and nitride organic dye thin films, can be used.

光記録材料 上記DRAWROMタイプる光記録材料としては、例え
ば、金属系(Ta、BiS In、Al、C/Al 、
Cr/Afl 、Zn/Al s S t、GeSm5
等)、カルボン系CTe5Te−AssTe−8e、T
e−3e−AsSTe−C82、Te−C,Te複合物
、As−8e−3−Ge等酸化物系(T e OSG 
e Os M o Osx          x  
        XV O2等)、有機物系(色素薄膜
+樹脂、Ag+ポリマー、熱可塑性樹脂、Cu −P 
c / T e等)が用いられる。
Optical recording materials Examples of optical recording materials for the above-mentioned DRAWROM type include metal-based materials (Ta, BiS In, Al, C/Al,
Cr/Afl, Zn/AlsSt, GeSm5
etc.), carbon-based CTe5Te-AssTe-8e, T
Oxide systems such as e-3e-AsSTe-C82, Te-C, Te composites, As-8e-3-Ge (T e OSG
e Os M o Osx x
XV O2, etc.), organic materials (dye thin film + resin, Ag + polymer, thermoplastic resin, Cu -P
c / T e etc.) are used.

なお、消去、書き込みが可能なタイプに用いる光記録材
料としては、光照射により膜を構成する原子間の秩序状
態が可逆的に変化し、かつ、両者間の光反射率が異なる
材料として、例えば、Te−As5Te−8es Te
−3e−AsSTe−C82、Te−C,As−8e−
S−Ge等の材料が用いられる。
In addition, as optical recording materials used for erasable and writable types, there are materials in which the ordered state between atoms constituting the film changes reversibly upon irradiation with light, and the light reflectance between the two differs, for example. , Te-As5Te-8es Te
-3e-AsSTe-C82, Te-C, As-8e-
Materials such as S-Ge are used.

上記のうちでも、本発明において、DRAW型の光記録
材料としては、一般式TeO(xは正の実数)で表され
るテルルの酸化物からなる第1の層と、一般式7eO(
yは正の実数)で表されるテルルの酸化物からなる第2
の層とが積層されてなり、上記一般式においてx<yな
る関係を有するものが特に好ましく用いられ得る。通常
、上記一般式において、0<x≦、5であり、0.5≦
y≦2の範囲である。
Among the above, in the present invention, the DRAW type optical recording material includes a first layer made of tellurium oxide represented by the general formula TeO (x is a positive real number) and a first layer made of a tellurium oxide represented by the general formula 7eO (
y is a positive real number)
It is particularly preferable to use a layer in which x<y in the above general formula. Usually, in the above general formula, 0<x≦, 5, and 0.5≦
The range is y≦2.

上記のようなテルルの酸化物からなる光記録材料層は、
DRAW型記録層としての安定性、耐候性に特にすぐれ
、光記録体を密閉型の光カードとして構成する場合の記
録感度、再生感度にすぐれている。
The optical recording material layer made of tellurium oxide as described above is
It has particularly excellent stability and weather resistance as a DRAW type recording layer, and has excellent recording sensitivity and reproduction sensitivity when the optical recording medium is configured as a sealed optical card.

上記のような光記録材料層を製造するにあたっては、上
記第1ならびに第2の層を反応性スパッタリング法によ
り容易に作製することができる。
In producing the optical recording material layer as described above, the first and second layers can be easily produced by a reactive sputtering method.

あるいはその他の方法としては、基材上に真空蒸着によ
りテルルを蒸発させると同時に含酸素ガスからなるイオ
ンビームを該基材上に照射することによって上記のよう
な組成を有する各層を作製することができ、いずれにし
ても簡易かつ迅速な方法により比較的安価に光記録材料
層を作製することができる。
Alternatively, as another method, each layer having the above-mentioned composition can be fabricated by evaporating tellurium onto a substrate by vacuum evaporation and simultaneously irradiating the substrate with an ion beam made of an oxygen-containing gas. In any case, the optical recording material layer can be produced relatively inexpensively by a simple and rapid method.

次に、本発明の光記録体の製造方法について具体的に説
明する。
Next, the method for manufacturing the optical recording medium of the present invention will be specifically explained.

製造方法(1) 本発明の第1の態様に係る製造方法においては基材上に
、高反射率部分と低反射率部分とから構成される情報記
録パターンが形成された光記録体を製造するにあたり、
前記低反射率部分を、情報記録パターンに応じた粗面化
処理によって形成するものであり、この情報記録パター
ンに応じて粗面化された低反射率部分の形成工程が、以
下の工程からなる。
Manufacturing method (1) In the manufacturing method according to the first aspect of the present invention, an optical recording medium is manufactured in which an information recording pattern consisting of a high reflectance area and a low reflectance area is formed on a base material. Hits the,
The low reflectance portion is formed by roughening treatment according to the information recording pattern, and the process of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern consists of the following steps. .

(イ)基材上にフォトレジスト層を形成する工程、 (ロ)情報記録パターンに応じたマ、スクを介して上記
フォトレジスト層に対して第1の露光(バターニング露
光)を行なう工程、 (ハ)次いで、上記第1の露光が行なわれたフォトレジ
スト層に対して、微細な明暗パターンが形成された透明
体を介して第2の露光(粗面化露光)を行なう工程、 (ニ)上記第2の露光が行なわれたフォトレジスト層に
対して現像を行なうことによって、表面が粗面化された
低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程。
(a) a step of forming a photoresist layer on the base material; (b) a step of performing a first exposure (buttering exposure) on the photoresist layer through a mask according to an information recording pattern; (c) Next, a step of performing a second exposure (roughening exposure) on the photoresist layer subjected to the first exposure through a transparent body on which a fine light and dark pattern is formed; ) A step of obtaining an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface by developing the photoresist layer subjected to the second exposure.

さらに、本発明の方法においては、上記工程で得られた
低反射率部分を覆うようにして基材の全面または一部に
前述した光反射材料層または光記録材料層を積層する工
程を含んでいてもよい。
Furthermore, the method of the present invention includes the step of laminating the above-described light reflective material layer or optical recording material layer on the entire surface or part of the base material so as to cover the low reflectance portion obtained in the above step. You can stay there.

第4図は、上記製造方法の具体例を示す工程断面図であ
り、この図に従って具体的に説明するとまず、光透過性
の基材10上に回転式フォトレジスト塗布機によりフォ
トレジスト層11を4000〜20000人の厚さで均
一に塗布する次にマスク合わせ装置を用いて、情報記録
パターンに応じて形成したフォトマスク12をフォトレ
ジスト層11に重ね合わせた後、第1の露光(パターニ
ング露光)を行なう。
FIG. 4 is a process cross-sectional view showing a specific example of the above manufacturing method. To explain in detail according to this diagram, first, a photoresist layer 11 is coated on a light-transmitting base material 10 using a rotary photoresist coating machine. After coating the photoresist layer 11 uniformly to a thickness of 4,000 to 20,000 layers, a photomask 12 formed according to the information recording pattern is overlaid on the photoresist layer 11 using a mask alignment device, and then a first exposure (patterning exposure) is performed. ).

次に、第4図(b)に示すように、片面が微細凹凸状に
粗面化されたガラス板17を用いて、再び露光(粗面化
露光)する。この場合は、ガラス板17の粗面化面を、
なるべくレジスト層の表面に近接させることが、得られ
る粗面化部分の光散乱性を向上させる上で好ましい。ま
た、この例においては第2露光用のマスクとして粗面化
されたガラスを用いたが、これに限定されるものではな
く、微細な明暗パターンを有する透明体であって露光に
よってレジスト層表面に、現像後において微細な凹凸が
形成(すなわち粗面化)されるようなものであれば足り
る。
Next, as shown in FIG. 4(b), exposure is carried out again (roughening exposure) using a glass plate 17 whose one side is roughened to have fine irregularities. In this case, the roughened surface of the glass plate 17 is
It is preferable to place the layer as close to the surface of the resist layer as possible in order to improve the light scattering properties of the resulting roughened portion. In addition, in this example, a roughened glass was used as the mask for the second exposure, but the mask is not limited to this, and it is a transparent material with a fine light and dark pattern that is formed on the surface of the resist layer by exposure. It is sufficient that the material has fine irregularities (that is, the surface is roughened) after development.

次いで、第4図(C)に示すように、フォトレジスト層
11を現像すると、ポジタイプのレジストを用いた場合
では、紫外線の当たったところのフォトレジストは流れ
去り、当たらない部分のレジストが残り、フォトマクス
12のパターンが光透過性の基材10上に転写される。
Next, as shown in FIG. 4(C), when the photoresist layer 11 is developed, if a positive type resist is used, the photoresist in the areas exposed to the ultraviolet rays flows away, and the resist in the areas not exposed to the ultraviolet rays remains. The pattern of the photomax 12 is transferred onto a light-transmissive base material 10.

これにより、表面が粗面化されたフォトレジスト層11
が、第1図で示した情報記録ビット4或いは第2図で示
した案内トラック9の形状として、例えば、幅5μ程度
、ピッチ15μ程度で形成される。
As a result, the surface of the photoresist layer 11 is roughened.
However, the shape of the information recording bit 4 shown in FIG. 1 or the guide track 9 shown in FIG. 2 is formed, for example, with a width of about 5 μm and a pitch of about 15 μm.

次に、第4図(d)に示すように、光反射材料または光
記録材料13の薄膜層を蒸着、スパッタリング或いは化
学的方法等により形成する。
Next, as shown in FIG. 4(d), a thin film layer of a light reflecting material or optical recording material 13 is formed by vapor deposition, sputtering, a chemical method, or the like.

次に、第4図(e)に示すように、ポリ塩化ビニール等
の基板15を接着し、高反射率部分13bと低反射率部
分13cを有する光記録体を得る。なお、上記露光工程
(a)および(b)の間に現像工程を設け、−旦フオド
レジストを残した後該フォトレジストに粗面化のための
露光をするようにしてもよいし、露光工程(a)および
(b)の順序を逆にしてもよい。また、上記例において
は、基材10が光透過性材料からなっているが、基板1
5を光透過性にして基板15側から光を照射して読み取
ることも可能であり、この場合、基材10は光透過性材
料でなくてもよい。
Next, as shown in FIG. 4(e), a substrate 15 made of polyvinyl chloride or the like is adhered to obtain an optical recording medium having a high reflectance portion 13b and a low reflectance portion 13c. Note that a developing step may be provided between the above exposure steps (a) and (b), and after the photoresist is left, the photoresist may be exposed to light for roughening, or the exposure step ( The order of a) and (b) may be reversed. Further, in the above example, the base material 10 is made of a light-transmitting material, but the substrate 1
It is also possible to make the substrate 5 light-transmissive and read it by irradiating light from the substrate 15 side. In this case, the base material 10 does not need to be a light-transmissive material.

この光記録体は、光透過性の基材10から光が入射され
ると、例えば、高反射率部分13bにおいては光が強く
反射され、低反射率部分13cにおいては表面が粗面化
されたフォトレジストの存在により、反射率が低下する
ことになる。そしてROMタイプのカードを製造する場
合には、層13として前述した光反射材料を採用するこ
とにより、低反射率部分13cに第1図で示した情報記
録ビット4を形成し、一方、DRAWタイプのカードを
製造する場合には、層13として前記光記録材料を採用
することにより、高反射率部分13bに第2図で示した
光記録トラック8を形成し、低反射率部分13cに案内
トラック9を形成することができる。
In this optical recording medium, when light is incident from the light-transmitting base material 10, the light is strongly reflected in the high reflectance portion 13b, and the surface of the low reflectance portion 13c is roughened. The presence of photoresist will reduce the reflectance. When manufacturing a ROM type card, the above-described light-reflecting material is used as the layer 13 to form the information recording bit 4 shown in FIG. 1 in the low reflectance portion 13c. When manufacturing a card, by employing the optical recording material as the layer 13, the optical recording track 8 shown in FIG. 2 is formed in the high reflectance part 13b, and the guide track is formed in the low reflectance part 13c. 9 can be formed.

上記方法で使用するフォトレジスト11としては、オル
ソキノンジアジド/ノボラック系、アジド/ゴム系、p
−ジアゾジフェニルアミン・パラホルムアルデヒド縮合
系、アジドポリマー系、ポリケイ皮酸ビニル系、ポリシ
ンナミリデン酢酸ビニル系等の材料が用いられる。
The photoresist 11 used in the above method includes orthoquinone diazide/novolac type, azide/rubber type, p
- Materials such as diazodiphenylamine/paraformaldehyde condensation type, azide polymer type, polyvinyl cinnamate type, and polycinnamylidene vinyl acetate type are used.

そして、上記のようにして製造したROMタイプの光記
録体においては、低光反射率の情報記録ビットをライン
センサ(例えばCCDラインセンサ)或いはレーザビー
ムにより読み取ることになる。なお、ROMタイプの光
記録体においては、案内トラックは必ずしも必要でなく
、情報記録ビット列を案内トラックとして使用できる。
In the ROM type optical recording medium manufactured as described above, the information recording bits with low light reflectance are read by a line sensor (for example, a CCD line sensor) or a laser beam. Note that in a ROM type optical recording medium, a guide track is not necessarily required, and an information recording bit string can be used as a guide track.

また、上記のようにして製造したDRAWタイプの光記
録体においては、光記録トラック13bと案内トラック
13cとの光反射率を、400〜700nmの白色光ラ
ンプを用いて測定した結果、例えば、光記録トラック1
3bは50%程度、案内トラック13cは10%程度の
光反射率となった。光記録体にビット情報を書き込む場
合には、2ビーム或いは3ビームを用いるが、3ビーム
を用いる例においては第12図に示すように、両側のビ
ームASCにより案内トラック13cと光記録トラック
13bの反射率の差を検出することにより、案内トラッ
ク13C,13cの位置を確認して左右にずれないよう
にして、真中のビームBにより光記録トラック13bに
ビット情報を書き込むもので、制御方式が1ビームのも
のと比較して簡単となる。なお、案内トラック13cは
必ずしも光記録トラック13bと交互に形成することな
く、案内トラックの本数を間引いてもよい。この場合に
は、案内トラック13cの距離を演算して光記録トラッ
ク13bの位置を決め、ビット情報を書き込むものであ
る。
In addition, in the DRAW type optical recording medium manufactured as described above, the light reflectance of the optical recording track 13b and the guide track 13c was measured using a white light lamp of 400 to 700 nm. recording track 1
3b had a light reflectance of about 50%, and guide track 13c had a light reflectance of about 10%. When writing bit information on an optical recording medium, two or three beams are used. In an example using three beams, as shown in FIG. 12, the guide track 13c and the optical recording track 13b are By detecting the difference in reflectance, the positions of the guide tracks 13C, 13c are checked to prevent them from shifting to the left or right, and bit information is written to the optical recording track 13b using the beam B in the middle. It is simpler than the beam one. Note that the guide tracks 13c are not necessarily formed alternately with the optical recording tracks 13b, and the number of guide tracks may be thinned out. In this case, the distance of the guide track 13c is calculated, the position of the optical recording track 13b is determined, and bit information is written.

製造方法(n) 本発明の第2の態様に係る製造方法においては基材上に
、高反射率部分と低反射率部分とから構成される情報記
録パターンが形成された光記録体を製造するにあたり、
前記低反射率部分を、情報記録パターンに応じた粗面化
処理によって形成するものであり、この情報記録パター
ンに応じて粗面化された低反射率部分の形成工程が、以
下の工程からなる。
Manufacturing method (n) In the manufacturing method according to the second aspect of the present invention, an optical recording medium is manufactured in which an information recording pattern consisting of a high reflectance part and a low reflectance part is formed on a base material. Hits the,
The low reflectance portion is formed by roughening treatment according to the information recording pattern, and the process of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern consists of the following steps. .

(イ)表面に微細な凹凸が形成された原版基材上にフォ
トレジスト層を形成する工程、(ロ)情報記録パターン
に応じたマスクを介して上記フォトレジスト層に対して
バターニング露光を行なう工程、 (ハ)上記パターニング露光が行なわれたフォトレジス
ト層に対して現像を行なうことによって微細な凹凸面を
有する基材の表面を情報記録パターンに応じて露出させ
て、情報記録パターンが形成された光記録体を得る工程
(b) Step of forming a photoresist layer on the original base material with fine irregularities formed on the surface; (b) Performing patterning exposure on the photoresist layer through a mask according to the information recording pattern. Step (c) The photoresist layer subjected to the patterning exposure is developed to expose the surface of the base material having a finely uneven surface in accordance with the information recording pattern, thereby forming the information recording pattern. A process of obtaining an optical recording medium.

さらに、本発明の方法においては、上記工程で得られた
低反射率部分を覆うようにして基材の全面または一部に
前述した光反射材料層または光記録材料層を積層する工
程を含んでいてもよい。
Furthermore, the method of the present invention includes the step of laminating the above-described light reflective material layer or optical recording material layer on the entire surface or part of the base material so as to cover the low reflectance portion obtained in the above step. You can stay there.

第5図は、上記製造方法の具体例を示す工程断面図であ
り、この図に従って具体的に説明するとまず、第5図(
a)に示すように、微細に粗面化したガラス板17上に
、回転式フォトレジスト塗布機によりフォトレジスト層
11を40oO〜20000人の厚さで均一に塗布した
後、マスク合わせ装置を用いてフォトマスク12をフォ
トレジスト層11に重ね合わせた後、露光する。次に第
5図(b)に示すように、フォトレジスト層11を現像
すると、ポジタイプのレジストでは、紫外線が照射され
たところのフォトレジストは流れ去り、当たらない部分
のレジストが残り、フォトマスク12のパターンがガラ
ス板17上に転写される。これにより、フォトレジスト
層11に幅5μ程度、ピッチ15μ程度の開口が形成さ
れてガラス板17の粗面がパターン状に露出することに
よって本発明の光記録体を得る。
FIG. 5 is a process sectional view showing a specific example of the above manufacturing method.
As shown in a), a photoresist layer 11 is uniformly coated on a finely roughened glass plate 17 using a rotary photoresist coating machine to a thickness of 40 to 20,000 coats, and then a mask alignment device is used to coat the photoresist layer 11 uniformly. After superimposing the photomask 12 on the photoresist layer 11, it is exposed to light. Next, as shown in FIG. 5(b), when the photoresist layer 11 is developed, in the case of a positive type resist, the photoresist in the areas irradiated with ultraviolet rays flows away, and the resist in the areas not irradiated remains, and the photomask 11 is The pattern is transferred onto the glass plate 17. As a result, openings with a width of about 5 μm and a pitch of about 15 μm are formed in the photoresist layer 11, and the rough surface of the glass plate 17 is exposed in a pattern, thereby obtaining the optical recording medium of the present invention.

さらに、本発明においては、上記光記録体を原版として
さらに光記録体を複製することができる。
Furthermore, in the present invention, the optical recording medium can be further reproduced using the optical recording medium as an original.

すなわち、第5図(c)に示すように、光透過性の基材
10上に、例えば?!!雌性放射線硬化樹脂或いは熱硬
化樹脂の成型樹脂からなる型取り剤16を介して第5図
(b)で作った原版を積層してプレス機でプレスを行な
った後、第5図(d)に示すように、原版と型取り剤1
6とを剥離、硬化または、第5図(c)の状態で所定の
硬化手段にて硬化後剥離させることにより、型取り剤1
6上に突部の表面が粗面化された例えば情報記録ビット
が幅5μ程度、長さ20μ程度で形成される。
That is, as shown in FIG. 5(c), for example, ? ! ! After laminating the master plates made in FIG. 5(b) through a molding agent 16 made of a female radiation-curing resin or a thermosetting resin and pressing with a press machine, as shown in FIG. 5(d). As shown, the original plate and molding agent 1
The molding agent 1 can be removed by peeling and curing the molding agent 6, or by peeling it off after curing with a predetermined curing means in the state shown in FIG. 5(c).
For example, an information recording bit having a roughened protrusion surface is formed on the protrusion 6 with a width of about 5 μm and a length of about 20 μm.

次いで、第5図(e)に示すように、膜厚500〜10
00人の光反射材料または光記録材料13の薄膜層を蒸
着、スパッタリング或いは化学的方法等により形成させ
る。次に、第5図(f)に示すように、ポリ塩化ビニル
等の基板15を接着剤等を使用して接着し、高反射率部
分13bと低反射率部分13cを有する光記録体を製造
するそして、第4図の具体例と同様に、ROMタイプの
カードを製造する場合には、層13として光反射材料を
採用することにより、低反射率部分13cに第1図で示
した情報記録ビット4を形成し、一方、DRAWROM
タイプドを製造する場合には、層13として光記録材料
を採用することにより、高反射率部分13bに第2図で
示した光記録トラック8を形成し、低反射率部分13c
に案内トラック9を形成するものである。
Next, as shown in FIG. 5(e), the film thickness is 500 to 10
A thin film layer of a light reflecting material or an optical recording material 13 is formed by vapor deposition, sputtering, chemical methods, or the like. Next, as shown in FIG. 5(f), a substrate 15 made of polyvinyl chloride or the like is bonded using an adhesive or the like to produce an optical recording medium having a high reflectance portion 13b and a low reflectance portion 13c. Then, similarly to the specific example shown in FIG. 4, when manufacturing a ROM type card, by employing a light-reflecting material as the layer 13, the information shown in FIG. 1 can be recorded in the low reflectance portion 13c. bit 4, while DRAWROM
In the case of manufacturing a typed type, by employing an optical recording material as the layer 13, the optical recording track 8 shown in FIG. 2 is formed in the high reflectance part 13b, and the low reflectance part 13c
A guide track 9 is formed therein.

なお、上記具体例において、光反射率部分13bには図
示のように樹脂部分16が存在しているが、これは必ず
しも必要ではなく、低反射率部分13cに粗面化された
樹脂が存在していれば足りる。
In the above specific example, the resin portion 16 is present in the light reflectance portion 13b as shown in the figure, but this is not necessarily necessary, and a roughened resin is present in the low reflectance portion 13c. That's enough.

上記方法において用いる型取り用樹脂としては以下のよ
うなものが用いられ得る。
As the molding resin used in the above method, the following may be used.

(A)電離性放射線光樹脂 ■電子線硬化型樹脂 ウレタンアクリレート、オリゴエステルアクリレート、
トリメチロールプロパントリアクリレート、ネオペンチ
ルゲルコールジアクリレート、エポキシアクリレートポ
リエステルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、
メラミンアクリレート等アクリロイル基をもつ重合性オ
リゴマーもしくはモノマー、または、これらオリゴマー
、モノマーとアクリル酸、アクリルアミド、アクリロニ
トリル、スチレン等重合性ビニル基を含む単官能もしく
は多官能モノマーとを配合したもの。
(A) Ionizing radiation photoresin ■Electron beam curable resin urethane acrylate, oligoester acrylate,
Trimethylolpropane triacrylate, neopentyl gelcol diacrylate, epoxy acrylate polyester acrylate, polyether acrylate,
A polymerizable oligomer or monomer having an acryloyl group such as melamine acrylate, or a blend of these oligomers or monomers with a monofunctional or polyfunctional monomer containing a polymerizable vinyl group such as acrylic acid, acrylamide, acrylonitrile, or styrene.

■紫外線硬化樹脂 上記■の樹脂組成に光重合開始剤、増感剤もしくは所望
の添加剤を添加したもの。
(2) Ultraviolet curable resin A photopolymerization initiator, sensitizer, or desired additives added to the resin composition of (1) above.

(B)熱硬化性樹脂 エポキシ樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂
、ウレタン樹脂、ユリア樹脂、アミド樹脂、フェノール
/フォルマリン樹脂。
(B) Thermosetting resin epoxy resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, urethane resin, urea resin, amide resin, phenol/formalin resin.

製造方法(III) 第3の態様に係る製造方法においては、情報記録パター
ンの形成は次のように行われ得る。
Manufacturing method (III) In the manufacturing method according to the third aspect, the formation of the information recording pattern may be performed as follows.

(イ)表面が平滑または微細な凹凸が形成された基材上
にフォトレジスト層を形成する工程、(ロ)情報パター
ンに応じたマスクを介して上記フォトレジスト層に対し
てパターニング露光を行う工程、 (ハ)次いで、現像ならびにエツチングを行うことによ
って、基材のレジスト層が存在しない部分を選択的に粗
面化もしくは平面化することによって、情報記録パター
ンが形成された光記録体を得る。
(a) A step of forming a photoresist layer on a base material with a smooth surface or fine irregularities, (b) A step of patterning and exposing the photoresist layer through a mask according to the information pattern. (c) Next, by performing development and etching, the portion of the base material where the resist layer is not present is selectively roughened or flattened, thereby obtaining an optical recording medium on which an information recording pattern is formed.

第6図および第7図は、上記第5図の具体例と同様の型
取りタイプの他の例を示している。これらの具体例にお
いてはプレス型の耐久性が向上するメリットを有する。
6 and 7 show other examples of the molding type similar to the specific example shown in FIG. 5 above. These specific examples have the advantage of improving the durability of the press mold.

第6図において、微細に粗面化したガラス板17上に、
フォトレジスト層11を塗布した後、フォトマスク12
をフォトレジスト層11に重ね合わせたのち露光しく第
6図(a)) 、次に、フォトレジスト層11を現像(
第6図(b))後、フッ化アンモニウム/硝酸の水溶液
等のガラスのエツチング液にて湿式エツチングを1分〜
1時間行ない(第6図(C)) 、ガラス板17のフォ
トレジストがない開口部分の粗面を平滑化する。この際
、ガラスのエツチング液はエツチング面が平滑化される
ものであれば他のものでもよく、エツチング深さも平面
化されるまで行ないとくに規定されない。この状態で光
記録体として使用し得る。
In FIG. 6, on a finely roughened glass plate 17,
After applying the photoresist layer 11, a photomask 12 is applied.
After superimposing the photoresist layer 11 on the photoresist layer 11, the photoresist layer 11 is exposed (FIG. 6(a)), and then the photoresist layer 11 is developed (Fig. 6(a)).
After Figure 6(b)), wet etching is performed for 1 minute using a glass etching solution such as an aqueous solution of ammonium fluoride/nitric acid.
The process is continued for one hour (FIG. 6(C)), and the rough surface of the opening portion of the glass plate 17 where there is no photoresist is smoothed. At this time, the glass etching solution may be any other solution as long as the etched surface is smoothed, and the depth of etching is not particularly specified, as long as the etching surface is smoothed. In this state, it can be used as an optical recording medium.

さらに本発明においては、第6図(d)に示すように、
レジストを除去した後、第6図(e)に示すように、光
透過性の基材10上に、後述する電離性放射線硬化樹脂
或いは熱硬化樹脂からなる型取り剤16を介して第6図
(d)で作った原版を積層してプレス機でプレスを行な
った後、電子線、紫外線を照射または加熱上、硬化後、
第6図(f)に示すように、原版と型取り剤16とを剥
離させることにより、型取り剤16上の一部に表面が粗
面化された例えば情報記録ビットが形成され、その後、
第5図(e)および(f)の工程と同様にして光記録体
を製造する。
Furthermore, in the present invention, as shown in FIG. 6(d),
After removing the resist, as shown in FIG. 6(e), a molding agent 16 made of an ionizing radiation-curable resin or a thermosetting resin, which will be described later, is applied onto the light-transmitting base material 10, as shown in FIG. 6(e). After laminating the original plates made in (d) and pressing them with a press machine, after curing by irradiating or heating with electron beams or ultraviolet rays,
As shown in FIG. 6(f), by peeling off the original and the molding agent 16, an information recording bit with a roughened surface, for example, is formed on a part of the molding agent 16, and then,
An optical recording medium is manufactured in the same manner as the steps shown in FIGS. 5(e) and 5(f).

前記型取り剤16の例を下記に示す。Examples of the molding agent 16 are shown below.

(A)電離性放射線光樹脂 ■電子線硬化型樹脂 ウレタンアクリレート、エポキシアクリレートポリエス
テルアクリレート、ポリエーテルアクリレート、メラミ
ンアクリレート等アクリロイル基をもつ重合性オリゴマ
ー、モノマーと、アクリル酸、アクリルアミド、アクリ
ロニトリル、スチレン等重合性ビニル基を含む単官能又
は多官能モノマーを配合したもの。
(A) Ionizing radiation photoresin ■ Electron beam curable resin Polymerizable oligomers and monomers with acryloyl groups such as urethane acrylate, epoxy acrylate, polyester acrylate, polyether acrylate, and melamine acrylate, and acrylic acid, acrylamide, acrylonitrile, styrene, etc. Contains monofunctional or polyfunctional monomers containing vinyl groups.

■紫外線硬化樹脂 上記■の樹脂組成に光重合開始剤を添加したもの。■Ultraviolet curing resin A photopolymerization initiator is added to the resin composition of (1) above.

(B)熱硬化性樹脂 エポキシ樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂
、ウレタン樹脂、ユリア樹脂、アミド樹脂、フェノール
/フォルマリン樹脂。
(B) Thermosetting resin epoxy resin, melamine resin, unsaturated polyester resin, urethane resin, urea resin, amide resin, phenol/formalin resin.

第7図に示す具体例が上記第6図の具体例と相違する点
は、第7図(C)のエツチングによりガラス板17上に
、粗面を形成し、情報記録ビットまたは案内トラック部
分を形成する点である。この場合のエツチングとしては
、ドライエツチング、湿式エツチングのいずれもが用い
られ得る。ドライエツチング法としては、CF4プラズ
マ、HFガス等を用いてガラスのエツチング面が粗面化
する様にエツチングすることにより行なわれ得る。
The specific example shown in FIG. 7 is different from the specific example shown in FIG. 6 above in that a rough surface is formed on the glass plate 17 by etching as shown in FIG. It is a point of formation. In this case, either dry etching or wet etching can be used. The dry etching method can be carried out by etching the glass using CF4 plasma, HF gas, etc. so that the etched surface of the glass is roughened.

さらに、湿式エツチングとしては、上記第6図の例で用
いたエツチング液の他に高濃度のフッ酸溶液、たとえば
、酸性フッ化アンモニウム/鉱酸系溶液が用いられ得る
Further, for wet etching, in addition to the etching solution used in the example shown in FIG. 6, a highly concentrated hydrofluoric acid solution, such as an acidic ammonium fluoride/mineral acid solution, may be used.

第8図の具体例は、第5図〜7図の具体例が光反射材料
または光記録材料13を型取り剤16上に形成したのに
対して、基材10上に光反射材料または光記録材料13
を蒸着、スパッタリング、メツキ法により形成し、粗面
を形成した型取り剤16および基板15を積層したもの
の例である。
In the specific example of FIG. 8, the light reflective material or optical recording material 13 is formed on the molding agent 16 in the specific examples of FIGS. Recording material 13
This is an example of a structure in which a roughened molding agent 16 and a substrate 15 are laminated together by vapor deposition, sputtering, or plating.

第5図〜7図、第9図および第10図の具体例において
は、基材10、基板15のどちら側からでも読み込み、
書き込みが可能であるが、本具体例においては、基板1
5側からのみ読み込み、書き込みを行なう。
In the specific examples shown in FIGS. 5 to 7, 9 and 10, reading can be done from either side of the base material 10 or the substrate 15.
Although writing is possible, in this specific example, the board 1
Reading and writing are performed only from the 5 side.

製造方法(IV) 次に、第9図に示した具体例について説明する。Manufacturing method (IV) Next, a specific example shown in FIG. 9 will be explained.

本具体例においては、第5図(C)の型取り工程の前に
、第9図(C)に示すように、メツキ工程を設はフォト
レジスト層11を覆うように金属メツキ層18を形成し
た後、該金属メツキ層18を剥離して、金属メツキ層1
8上に表面が粗面化された情報記録ビットまたは案内ト
ラックのパターンを形成する。次いでこれを原版として
第9図(d)に示すように、成型樹脂19にプレスを行
なった後、同(e)に示すように、原版と成型樹脂19
とを剥離、硬化させることにより、成型樹脂19上に表
面が粗面化された情報記録パターンが形成され、次いで
、光反射材料または光記録材料13の薄膜層を形成させ
るものである。
In this specific example, as shown in FIG. 9(C), a plating step is performed before the molding step of FIG. 5(C), and a metal plating layer 18 is formed to cover the photoresist layer 11. After that, the metal plating layer 18 is peeled off and the metal plating layer 1 is removed.
8, a pattern of information recording bits or guide tracks with a roughened surface is formed. Next, using this as an original plate, as shown in FIG. 9(d), after pressing the molding resin 19, as shown in FIG. 9(e), the original plate and the molding resin 19 are pressed.
By peeling off and curing the molded resin 19, an information recording pattern with a roughened surface is formed on the molded resin 19, and then a thin film layer of the light reflecting material or the optical recording material 13 is formed.

なお、上記具体例においては、プレスの原版として金属
メツキ18を用いているが、精密エッチングされた金板
をプレス型として用いてもよい。
In the above specific example, the metal plating 18 is used as the original plate for the press, but a precisely etched metal plate may also be used as the press mold.

また、上記金板を金型に応用し射出成形により、表面に
粗面化された情報記録パターンが形成された成型樹脂を
得ることもできる。さらに、第10図に示すように、基
材10に光反射材料または光記録材料13を蒸着、スパ
ッタリング、メツキ法により形成し、前記金板をプレス
型としてパターンを型押した後、基板15を積層するよ
うにしてもよい。
Furthermore, a molded resin having a roughened information recording pattern formed on the surface can also be obtained by injection molding using the above-mentioned metal plate as a mold. Further, as shown in FIG. 10, a light reflective material or an optical recording material 13 is formed on the base material 10 by vapor deposition, sputtering, or plating, and a pattern is embossed using the metal plate as a press mold, and then a substrate 15 is formed. They may be laminated.

製造方法(V) 次に、第11図に示す具体例について説明する。Manufacturing method (V) Next, a specific example shown in FIG. 11 will be explained.

まず、光透過性の基材10上に材料20を塗布した後、
フォトマスク12を材料層20に重ね合わせた後、紫外
線を照射する(第11図(a))材料20は紫外線を照
射したのち加熱処理すると露光部と非露光部とで光の透
過性が変化する材料である。これは露光、加熱処理する
と、第11図(b)に示すように、紫外線の当たった部
分で窒素ガス等の気泡が生じることにより光が散乱する
か、或いは第11図(b′)に示すように、発生した窒
素ガスの気泡が膨張、破裂して外部に発散して、材料層
20の内部に気泡が生じたり表面が微細凹凸状に変化す
ることにより、光が散乱して反射率が低下することによ
るものと推定される。
First, after applying the material 20 on the light-transmitting base material 10,
After superimposing the photomask 12 on the material layer 20, ultraviolet rays are irradiated (FIG. 11(a)) When the material 20 is irradiated with ultraviolet rays and then heat-treated, the light transmittance changes between exposed and non-exposed areas. It is a material that When exposed to light and heated, the light is scattered due to the formation of nitrogen gas bubbles in the area hit by the ultraviolet rays, as shown in Figure 11(b), or the light is scattered as shown in Figure 11(b'). As a result, the generated nitrogen gas bubbles expand, burst, and radiate to the outside, causing bubbles to form inside the material layer 20 and the surface to become microscopically uneven, scattering light and reducing the reflectance. It is presumed that this is due to a decrease in

そして、第4図の具体例と同様にして光反射材料または
光記録材料13のスパッタリングを行ない光記録体を製
造し得る本具体例によれば、製造工程がさらに簡単とな
るメリットをも有するものである。
According to this specific example, in which an optical recording medium can be manufactured by sputtering the light reflecting material or optical recording material 13 in the same manner as the specific example shown in FIG. 4, there is also the advantage that the manufacturing process is further simplified. It is.

本具体例においては、上記材料20として例えば、カル
バ−社のカルバ−フィルム(商品名)が使用され得るが
、その組成はサラン(塩化ビニリデンとアクリルニトリ
ルのコポリマー)、PMMA、、P−ジアゾ−N、N−
ジメチルアニリンBF4−塩からなる。またその他に、
例えば、ジアゾニウム化合物、アジド化合物、ビスアジ
ド化合物等の感光材料を、スチレン系、ロジン系、ポリ
エステル系等の熱可塑性樹脂中1こ分散させたものを使
用してもよい。
In this specific example, for example, Culver Film (trade name) manufactured by Culver Co., Ltd. may be used as the material 20, and its composition is Saran (a copolymer of vinylidene chloride and acrylonitrile), PMMA, P-diazo- N, N-
Consists of dimethylaniline BF4-salt. In addition,
For example, a photosensitive material such as a diazonium compound, an azide compound, or a bisazide compound may be dispersed in a thermoplastic resin such as a styrene type, a rosin type, or a polyester type.

製造方法(Vl) 本発明においては、情報パターンに応じて粗面化された
低反射率部分の形成工程を、第11B図に示すように、
以下の工程に従って行うことができる。
Manufacturing method (Vl) In the present invention, the process of forming the low reflectance portion roughened according to the information pattern is performed as shown in FIG. 11B.
It can be carried out according to the following steps.

(イ)光透過性基材30上に情報記録パターンに応じた
マスクパターン31を形成する工程(第11B図(a)
)、 (ロ)前記光透過性基材30のマスクパターン31が形
成されていない部分の表面をエツチングにより粗面化す
る工程(第11B図(b))、(ハ)基材32上にフォ
トレジスト層33を形成する工程(第11B図(C))
、 (ニ)前記工程(ロ)で得られたものを粗面化露光用マ
スクとし、該粗面化露光用マスクを介して、前記工程(
ハ)で得られた基材32のフォトレジスト層33に対し
て、粗面化露光を行う工程(第11B図(d))、 (ホ)前記粗面化露光が行われたフォトレジスト層33
に対して現像を行うことによって、表面が粗面化された
低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程(第
11B図(e))。
(a) Step of forming a mask pattern 31 corresponding to the information recording pattern on the light-transmissive base material 30 (FIG. 11B(a))
), (b) roughening the surface of the portion of the light-transmissive base material 30 where the mask pattern 31 is not formed by etching (FIG. 11B (b)), (c) photocoating on the base material 32 Step of forming resist layer 33 (FIG. 11B (C))
(d) The material obtained in the step (b) is used as a mask for roughening exposure, and the step (b) is carried out through the roughening exposure mask.
A step of subjecting the photoresist layer 33 of the base material 32 obtained in c) to roughening exposure (FIG. 11B (d)); (e) the photoresist layer 33 subjected to the roughening exposure;
A step of developing an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface (FIG. 11B (e)).

また、上記の態様においては、上記工程(ロ)で得られ
たものの透明体表面に形成されたマスクパターンを除去
することによって、これをそのまま光記録体(もしくは
その原版)として用いることができる。
Further, in the above embodiment, by removing the mask pattern formed on the surface of the transparent body obtained in the above step (b), the transparent body can be used as it is as an optical recording medium (or its original).

上記の光透過性基材としては、ガラス等の光透過性材料
が用いられ、また、マスクパターン材料としてはOrな
どの金属が用いられ得るが、その他の材料も適宜用いる
ことができる。
As the above-mentioned light-transmitting base material, a light-transmitting material such as glass may be used, and as the mask pattern material, metal such as Or may be used, but other materials may also be used as appropriate.

上記工程(ロ)のエツチング工程で用いるエツチング液
は微粒子を含有するものであることができる。具体的に
は、透明体がガラスでマスクパターンがCrの場合、公
知のガラスエツチング剤、または酸性フッ化アンモニウ
ムおよび濃硫酸の混合物に、αアルミナ(粒径約1μ)
、ガラス粒子、SiC粒子、酸化セリウム等の無機微粒
子を配合したものが用いられ得る。この場合の無機微粒
子の種類や粒径は目的に応じて選択され得る。これらの
条件を選択することによって、得られる粗面状態を制御
することも可能である。
The etching solution used in the etching step (b) above may contain fine particles. Specifically, when the transparent body is glass and the mask pattern is Cr, alpha alumina (particle size of about 1μ) is added to a known glass etching agent or a mixture of acidic ammonium fluoride and concentrated sulfuric acid.
, glass particles, SiC particles, cerium oxide, and other inorganic fine particles may be used. In this case, the type and particle size of the inorganic fine particles can be selected depending on the purpose. By selecting these conditions, it is also possible to control the rough surface state obtained.

上記エツチング剤ならびに処理条件の一例を示すと以下
の通りである。
An example of the above-mentioned etching agent and processing conditions are as follows.

まず、C「マスクパターン上にガラスエツチング液(レ
ライト5X−20(フランス:5EPPIC社製)50
gに、95% H2S0420gを混合したもの)を塗布し、保護フィ
ルム(たとえばPETフィルム)を介してローラーにて
均一に広げ、数十秒ないし2分程度放置し、保護フィル
ムを除去した後、水で洗浄し乾燥することによって粗面
化された低反射率部分からなる情報パターンが形成され
た光記録体(原版)を得ることができる。
First, apply 50 ml of glass etching liquid (Relite 5X-20 (France: 5EPPIC)) onto the C mask pattern.
95% H2S0 mixed with 420 g of 95% H2S0), spread it evenly with a roller through a protective film (for example, PET film), leave it for several tens of seconds to 2 minutes, remove the protective film, and then apply water. By washing and drying, it is possible to obtain an optical recording medium (original plate) on which an information pattern consisting of roughened low reflectance areas is formed.

製造方法(■) 本発明においては、情報パターン:こ応じて粗面化され
た低反射率部分の形成工程を、第11C図に示すように
、以下の工程に従って行うことができる。
Manufacturing method (■) In the present invention, the step of forming the information pattern: the correspondingly roughened low reflectance portion can be carried out according to the following steps, as shown in FIG. 11C.

(イ)光透過性基材30上に情報記録パターンに応じた
マスクパターン31を形成する工程(第11C図(a)
)、 (ロ)上記光透過性基材30の表面に、前記マスクパタ
ーン31を覆うようにしてフォトレジスト層33を形成
する工程(第11C図(b))、(ハ)上記光透過性基
材30のフォトレジスト層33と反対側の面から第1の
露光(パターニング露光)を行う工程(同(b))、 (ニ)次いで、上記第1の露光が行われたフォトレジス
ト層33に対して、微細な明暗パターンが形成された透
明体40を介して、該フォトレジスト層33側からW4
2の露光(粗面化露光)を行う工程(同(C))、 (ホ)上記第2の露光が行われたフォトレジスト層33
に対して現像を行うことによって表面が粗面化された低
反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程(同(
d))。
(a) Step of forming a mask pattern 31 corresponding to the information recording pattern on the light-transmitting base material 30 (FIG. 11C(a))
), (b) forming a photoresist layer 33 on the surface of the light-transmitting substrate 30 so as to cover the mask pattern 31 (FIG. 11C (b)); (c) forming the light-transmitting base Step (b) of performing a first exposure (patterning exposure) from the surface of the material 30 opposite to the photoresist layer 33; (d) Next, the photoresist layer 33 subjected to the first exposure is On the other hand, from the photoresist layer 33 side through the transparent body 40 on which a fine light and dark pattern is formed, W4 is
Step (C) of performing the second exposure (roughening exposure); (e) the photoresist layer 33 subjected to the second exposure;
The process of obtaining an information recording pattern consisting of a low reflectance area with a roughened surface by developing the
d)).

上記方法をさらに具体例に基づいて説明すると、たとえ
ばガラス等の光透過性基板の表面に、常法に従って、所
望の金属、たとえばC「薄膜のパターンからなるCr製
マスクパターンを形成する。
To further explain the above method based on a specific example, a Cr mask pattern consisting of a thin film pattern of a desired metal such as C is formed on the surface of a light-transmissive substrate such as glass in accordance with a conventional method.

さらにこのCrマスクパターン上に、ポジ型フォトレジ
ストをスピンナーによってコートし、90〜100℃で
300分程プリベークする。
Furthermore, a positive photoresist is coated on this Cr mask pattern using a spinner, and prebaked at 90 to 100° C. for about 300 minutes.

次に、このようにして形成されたフォトレジスト層に対
して、裏面の光透過性基板側から超高圧水銀灯(4kW
)によって80cm/cmの距離から8秒間露光する(
パターニング露光)。次いで、フォトレジスト層側の表
面にスリガラス板(#4000)を密着させて第2露光
(粗面化露光)を行なう。この場合の露光は上記超高圧
水銀灯で1秒程度である。さらに、所定の現像液(たと
えばアルカリ現像液)を用いて300分程で現像処理を
施して、Crマスクパターン上に粗面化された表面を有
するレジスト層が積層された構造の情報パターンを得る
ことができる。
Next, an ultra-high pressure mercury lamp (4 kW
) for 8 seconds from a distance of 80 cm/cm (
patterning exposure). Next, a ground glass plate (#4000) is brought into close contact with the surface on the photoresist layer side, and second exposure (roughening exposure) is performed. Exposure in this case is about 1 second using the ultra-high pressure mercury lamp. Further, a development process is performed for about 300 minutes using a predetermined developer (for example, an alkaline developer) to obtain an information pattern having a structure in which a resist layer having a roughened surface is laminated on the Cr mask pattern. be able to.

上記の方法は、パターニングの際の密着むらが解消され
る点で極めてすぐれている。すなわち、上記の方法によ
れば、粗面化露光がレジスト層パターンの精度を上げる
と共にレジスト層の表面を良好な粗面化状態に仕上げる
ことが可能となる。
The above method is extremely superior in that it eliminates uneven adhesion during patterning. That is, according to the above method, the roughening exposure improves the accuracy of the resist layer pattern and makes it possible to finish the surface of the resist layer in a favorable roughened state.

製造方法(■) 本発明においては、情報パターンに応じて粗面化された
低反射率部分の形成工程を、第11D図に示すように、
以下の工程で行うことができる。
Manufacturing method (■) In the present invention, the process of forming the low reflectance portion roughened according to the information pattern is performed as shown in FIG. 11D.
This can be done through the following steps.

(イ)光透過性基材30上に金属マスク層31を形成す
る工程(第11D図(a))、(ロ)上記金属マスク層
31の表面にフォトレジスト層33を形成する工程(同
(b))、(ハ)上記フォトレジスト層33の側からフ
ォトマスク12を介して第1の露光(パターニング露光
)を行う工程(同(C))、 (ニ)次いで、上記第1の露光が行われたフォトレジス
ト層33に対して現像を行うことによって情報記録パタ
ーンに応じたフォトレジスト層33を形成する工程(同
(d))、 (ホ)更に、金属マスク層31をエツチングすることに
よって、情報記録パターンに応じたフォトレジスト層3
3と金属マスク層31の積層物を形成する工程(同(e
))、 (へ)フォトレジスト層33に対して、微細な明暗パタ
ーンが形成された透明体40を介して、第2の露光(粗
面化露光)を行う工程 (同(f))、 (ト)上記第2の露光が行われたフォトレジスト層33
に対して更に現像を行うことによって表面が粗面化され
た低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程(
同(g))。
(b) Forming a metal mask layer 31 on the light-transmitting base material 30 (FIG. 11D (a)); (B) Forming a photoresist layer 33 on the surface of the metal mask layer 31 (FIG. 11D (a)); b)), (c) performing a first exposure (patterning exposure) from the photoresist layer 33 side through the photomask 12 (same (C)); (d) then the first exposure Step (d) of forming a photoresist layer 33 according to the information recording pattern by developing the photoresist layer 33 that has been etched; (e) Further, by etching the metal mask layer 31 , photoresist layer 3 according to the information recording pattern
3 and metal mask layer 31 (same (e)
)), (f) A step of performing a second exposure (roughening exposure) on the photoresist layer 33 through the transparent body 40 on which a fine light and dark pattern is formed ((f)), ( g) Photoresist layer 33 subjected to the second exposure
A process of obtaining an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface by further developing the
Same (g)).

なお、上記光透過性基材、マスク層等の材料としては、
前記製造方法(VI)、(■)の材料が同様に用いられ
得る。
In addition, the materials for the above-mentioned light-transmissive base material, mask layer, etc. are as follows:
The materials of the manufacturing method (VI) and (■) above can be used similarly.

製造方法(IX) 本発明に係る光記録体は、それ自体、製造工程の簡略化
においてすぐれているが、本発明においては次のような
方法を採用することによって、工業的規模における大量
生産、大量複製に一層適したものとなる。
Manufacturing method (IX) The optical recording medium according to the present invention is itself excellent in simplifying the manufacturing process, but in the present invention, by adopting the following method, mass production on an industrial scale, This makes it more suitable for mass duplication.

たとえば、この態様における製造方法においては、前記
製造方法(I)ないしく■)において得られたところの
、表面が粗面化された低反射率部分からなる情報記録パ
ターンが形成されてなる光記録体を粗面化用原版とし、
さらにこの粗面化用原版から型取りプレス等の方法によ
り光記録体を複製することができる。
For example, in the manufacturing method in this aspect, an optical record in which an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface is formed, obtained in the manufacturing method (I) to (ii) above, is used. The body is used as an original plate for surface roughening,
Furthermore, an optical recording medium can be reproduced from this roughening original plate by a method such as a mold press.

さらに、本発明においては、上記粗面化原版から1旦マ
ザーマスクを作製し、このマザーマスクを大量複製用の
複製原版として用いて、型取りによって光記録体を得る
ことができる。
Furthermore, in the present invention, a mother mask is once produced from the roughened original plate, and this mother mask is used as a reproduction original plate for mass duplication, and an optical recording medium can be obtained by molding.

このようなマザーマスクを介した光記録体の製造方法は
、粗面化用原版が機械的ないし化学的に弱い材料によっ
て形成される場合において特に有効である。
This method of manufacturing an optical recording medium using a mother mask is particularly effective when the surface roughening original is made of a mechanically or chemically weak material.

上記のようなマザーマスクを複製用原版として用いて型
取りによって得られた光記録体は、さらに光記録体の低
反射率部分を覆うようにして基材の全面または一部に光
反射材料層または光記録材料層を積層することができる
The optical recording medium obtained by molding using the above-mentioned mother mask as a reproduction master is further coated with a light-reflecting material layer on the entire surface or part of the base material so as to cover the low-reflectance portion of the optical recording medium. Alternatively, optical recording material layers can be laminated.

また、大量複製に関して言えば、後述する製造例4なら
びに第17図に示すように、マザーマスクを円筒形ロー
ルに設置して、たとえばROM型の光カードを、巻き取
り方式で連続的に大量に製造することが可能となる。
Regarding mass duplication, as shown in Manufacturing Example 4 and FIG. It becomes possible to manufacture.

製造方法(X) 本発明においては、上記製造方法(I)〜(IX)で得
られた各々の光記録体を原版として、この原版からメツ
キ、プレス法等によりスタンバ−を作成し、このスタン
バ−を用いて、さらにインジェクション法、熱圧ブレス
法あるいは前述したような樹脂型取り法により、光記録
体を複製することができる。
Manufacturing method (X) In the present invention, each optical recording medium obtained by the above manufacturing methods (I) to (IX) is used as an original plate, and a standbar is created from this original plate by plating, pressing, etc. -, the optical recording medium can be further reproduced by an injection method, a thermopressure pressing method, or a resin molding method as described above.

この場合に用いるスタンバ−の材質としては、Ni5A
l、CuSCrなどの金属が挙げられる。
The material of the stand bar used in this case is Ni5A
Examples include metals such as L, CuSCr, and the like.

一方、複製用の樹脂としては、特に限定されるものでは
ないが、特に熱圧ブレス法においては熱可塑性樹脂が好
ましく用いられる。
On the other hand, the resin for replication is not particularly limited, but thermoplastic resins are preferably used, particularly in the hot press method.

〔実施例〕〔Example〕

以下、本発明を、実際の製造例に基づいて更に具体的に
説明するが、本発明はこれら製造例の記載に制限される
ものではない。
Hereinafter, the present invention will be explained in more detail based on actual production examples, but the present invention is not limited to the description of these production examples.

製造例1 前記第4図に示した方法に従って、下記の工程により光
記録体を製造した。
Manufacturing Example 1 An optical recording medium was manufactured by the following steps according to the method shown in FIG. 4 above.

■ 厚さ0.4m+g、サイズ10100X100のP
MMA基材を使用し、 ■ 基材表面にフォトレジストを以下の条件で塗布した
■ Thickness 0.4m+g, size 10100X100 P
Using an MMA base material, (1) a photoresist was applied to the surface of the base material under the following conditions.

スピンナーコート: 3000rpm 、 20sec
レジストニジブレーマイクロボジット 厚み: 5000人 ■ 塗布後ブレベークを90度0120分で行なった。
Spinner coat: 3000rpm, 20sec
Resist Nijibrai Microbosit Thickness: 5,000 people ■ After coating, a brebake was performed at 90 degrees for 120 minutes.

■ 次に、パターン露光を以下の条件で行なったマスク
二Crスパッタマスク パターン:DRAWROM タイプラック幅5μm 情報トラック幅10μm ROMタイプ 情報記録ビット幅5μm 長さ5〜20μm 超高圧水銀灯: 4KV% 8sec ■ 次に、スリガラス露光(全面密着露光)を以下の条
件で行なった。
■ Next, pattern exposure was carried out under the following conditions using a two-mask Cr sputter mask pattern: DRAWROM type rack width 5μm information track width 10μm ROM type information recording bit width 5μm length 5-20μm ultra-high pressure mercury lamp: 4KV% 8sec ■Next Next, ground glass exposure (full-surface contact exposure) was carried out under the following conditions.

スリガラス:平均粗さ0. 3μm 超高圧水銀灯: 4KV% 6sec ■ 露光後現像を以下の条件で行なった。Ground glass: average roughness 0. 3μm Ultra-high pressure mercury lamp: 4KV% 6sec ■ Post-exposure development was performed under the following conditions.

シブレーマイクロボジットデベロッパーに60sec、
水洗 ■ ボストベークは90度℃、20分で行ない、これに
より基材に粗面を有するレジスト層が形成された。
60sec to Sibley Microbosit Developer,
Washing with water (2) Bost baking was performed at 90° C. for 20 minutes, thereby forming a resist layer with a rough surface on the base material.

■ 次に、記録層(光反射材料層ないし光記録材料層)
の形成を以下の条件で形成した。
■ Next, the recording layer (light reflective material layer or optical recording material layer)
was formed under the following conditions.

直流2極スパツタリング装置を用いて厚さ500人の層
を形成。
A layer of 500 people thick was formed using a DC two-pole sputtering device.

DRAWタイプ:Teスパッタリング ROMタイプ:AfIスパッタリング ■ 基板と基材の接着は、接着剤として東し製ハイソー
ルを用いて、基板の塩ビ0.3關厚を上記で得られた基
材にラミネートして一体化し、[相] カードのサイズ
に打ち抜いて、本発明の光記録体の1例である光カード
を得た。
DRAW type: Te sputtering ROM type: AfI sputtering■ For adhesion between the substrate and the base material, use Toshi Hi-Sole as the adhesive and laminate the PVC 0.3 thickness of the board onto the base material obtained above. They were integrated and punched out to the size of a [phase] card to obtain an optical card, which is an example of the optical recording medium of the present invention.

なお、上記製造例において、DRAWSROM併用カー
ドを製造する場合には、上記工程■、■において適宜D
RAWとROMの工程を組み合わせる。
In addition, in the above manufacturing example, when manufacturing a DRAWSROM combination card, D
Combines RAW and ROM processes.

製造例2 上記製造例1で説明した工程■〜■を同様に実施し、さ
らに、 ■ オリゴエステルアクリレート(東亜合成製、アロエ
ックスM−8030)15部、ネオペンチルグリコール
ジアクリレート5部(日本化薬製、NPOD  A)、
2−ヒドロキシエチルアクリレート3部(共栄社油脂O
H)、トリメチロールプロパントリアクリレート2部(
日本化薬製、TMPTA) 、ベンゾフェノン(純正化
学型)、25部の組成からなるUV樹脂を厚み0.4龍
のポリカーボネートシートと原版の間に挟み、エアープ
レスにて4 kg/ cjs 30 secプレスした
後、UV照射により硬化させた。
Production Example 2 Steps ① to ③ described in Production Example 1 above were carried out in the same manner, and ① 15 parts of oligoester acrylate (Aroex M-8030 manufactured by Toagosei Co., Ltd.) and 5 parts of neopentyl glycol diacrylate (manufactured by Nippon Kasei Co., Ltd.) were added. Pharmaceutical, NPOD A),
3 parts of 2-hydroxyethyl acrylate (Kyoeisha Yushi O
H), 2 parts of trimethylolpropane triacrylate (
A UV resin consisting of Nippon Kayaku Co., Ltd., TMPTA), benzophenone (genuine chemical type), and 25 parts was sandwiched between a 0.4-thick polycarbonate sheet and an original plate, and pressed with an air press at 4 kg/cjs for 30 sec. After that, it was cured by UV irradiation.

UV照射条件は以下の通りである。The UV irradiation conditions are as follows.

高圧水銀灯:80W/cdにて30sec露光後硬化 ■ 樹脂が硬化した後、原版より剥離し、表面に粗面化
されたパターン部を有する硬化樹脂を得た。
High-pressure mercury lamp: Curing after exposure for 30 seconds at 80 W/cd ■ After the resin was cured, it was peeled off from the original plate to obtain a cured resin having a roughened pattern portion on the surface.

[株] 得られた硬化樹脂に製造例1で説明した工程■
〜[相]を同様に実施して、本発明の光記録体の1例で
ある光カードを得た。
[Co., Ltd.] The process described in Production Example 1 is applied to the obtained cured resin.
- [Phase] was carried out in the same manner to obtain an optical card which is an example of the optical recording medium of the present invention.

製造例3 第16図に示すプロセスにしたがって、第15図に示す
ような光カードを作製した。各構成部材ならびに製造条
件は以下の通りである。
Manufacturing Example 3 According to the process shown in FIG. 16, an optical card as shown in FIG. 15 was manufactured. Each component and manufacturing conditions are as follows.

(1) まず、透明基材の両面に表面硬化層およびブラ
イマー層を形成した。
(1) First, a surface hardening layer and a brimer layer were formed on both sides of a transparent substrate.

透明基材 0.4m厚のアクリル板(他に、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリカーボネート、エポキシ、ポリオレフィン
、ポリエステルも用いられ得る)表面硬化層 材料:Uv硬化性ハードコート剤(東し製、UH−00
1)、他1:UV硬化性CオI)ゴマ−、モノマー開始
剤)樹脂、熱硬化性樹脂等が使用可能。
Transparent base 0.4 m thick acrylic plate (polyethylene terephthalate, polycarbonate, epoxy, polyolefin, polyester may also be used) Surface hardening layer material: UV curable hard coating agent (manufactured by Toshi, UH-00)
1), others 1: UV curable CO, I) sesame, monomer initiator) resin, thermosetting resin, etc. can be used.

コーティング:スピンナーコート、3000rpIls
 20sec −。
Coating: spinner coat, 3000rpIls
20sec-.

厚み1000〜2000OA キュアー;80W/(!11高圧水銀灯、コンベアスピ
ード10m/gin 3回照射(距離150mm) ブライマーコート 材料:Uv硬化性ブライマー(スリーボンドR−428
−20) 、他にUv硬化性樹脂熱可塑性樹脂等が使用
可能。
Thickness 1000-2000OA Cure: 80W/(!11 High pressure mercury lamp, conveyor speed 10m/gin 3 times irradiation (distance 150mm) Brimer coat material: UV curable brimer (Three Bond R-428)
-20) In addition, UV curable resins, thermoplastic resins, etc. can be used.

コーティング:スピンナーコート、3000rpm s
 20sec 厚み0.5〜50μ キュアー:80W/cm、高圧水銀灯、コンベアスピー
ド10i/sin 3回照射(距離150m/+g) (2) レジスト粗面化原版の作製 基材 0、4m/lsアクリル板(特に、平面性を有するもの
であれば厚さ、材質は限定されない)レジストコート 材料:ポジ型レジスト(キノンジアジド系)シブレー製
マイクロポジット1400 (解像性等が良好であれば他のレジストでも可能である
) コーティング:スピンナーコート、3000Ppm 、
 20sec s厚さ5000人ブレベーク=90℃、
20分 パターニング露光 マスク:C「スパッタマスク使用 パターンnDRAWタイプ・・・案内上ラック3μm 情報トラック9μ ROMタイプ・・・情報記録ビット幅5μ、長さ5〜2
0μ 露光:超高圧水銀灯4Kvs 8sec粗面化露光(全
面露光) スリガラス:平均粗さ0.3μm (#3000研摩ガ
ラス) 露光:超高圧水銀灯4Kvs 6sec現像、水洗 現像液:諸層インキ製、アルカリ現像液(MR−D) 現像時間:30sec (3) マザーマスク複製 材料 基材:透明性のある平面性の良い基板、12m/mアク
リル板(上記の他、上記特性のあるものであれば特に材
質は問わない。)マザーマスク樹脂: UV硬化性樹脂(諸層インキ製、5EL−XA)(ポリ
エステルアクリレートオリゴマーとネオペンチルグリコ
ールジアクリレートモノマーを主体とし、光重合開始剤
(イルガキュアー184を添加したもの。) 粘度100cps(低粘度50cps 〜1000ep
S程度であれば他のUV硬化性樹脂でも可能である。離
型性によっては離型剤等を添加する。) 複製方法 上記透明基材と、(2)で作製したレジスト粗面化原版
の間にマザーマスク樹脂をはさみ込み、プレス5 kg
 / cシ、30sec後、U V 2 Kv高圧水銀
灯距# 4’ 00 l1etaで1分間照射後レジス
ト粗面化原版と透明基材を離型し透明基材側にパターン
を複製する。
Coating: spinner coat, 3000 rpms
20sec Thickness 0.5~50μ Cure: 80W/cm, high pressure mercury lamp, conveyor speed 10i/sin 3 times irradiation (distance 150m/+g) (2) Preparation of resist roughening original plate Base material 0, 4m/ls acrylic plate ( In particular, the thickness and material are not limited as long as it has flatness) Resist coating material: Positive resist (quinone diazide type) Microposite 1400 made by Sibley (Other resists can be used as long as they have good resolution etc.) Coating: spinner coat, 3000Ppm,
20sec s thickness 5000 people brebake = 90℃,
20 minutes patterning exposure mask: C "Sputter mask used pattern nDRAW type...Guiding rack 3μm Information track 9μROM type...Information recording bit width 5μ, length 5~2
0μ Exposure: Ultra-high pressure mercury lamp 4K vs 8 seconds roughening exposure (full surface exposure) Ground glass: Average roughness 0.3 μm (#3000 polished glass) Exposure: Ultra-high pressure mercury lamp 4K vs 6 seconds Development, water washing Developer: Made by Multilayer Ink, alkaline development Solution (MR-D) Development time: 30 sec (3) Mother mask duplication material base material: Transparent substrate with good flatness, 12 m/m acrylic plate (in addition to the above, especially if the material has the above characteristics) ) Mother mask resin: UV curable resin (manufactured by Moroya Ink, 5EL-XA) (mainly composed of polyester acrylate oligomer and neopentyl glycol diacrylate monomer, with addition of photopolymerization initiator (Irgacure 184) ) Viscosity 100cps (low viscosity 50cps ~1000ep
Other UV curable resins can be used as long as they are about S. Depending on the mold releasability, a mold release agent or the like is added. ) Replication method: Sandwich the mother mask resin between the above transparent base material and the roughened resist original plate prepared in (2), press 5 kg.
After 30 seconds, UV 2 Kv high-pressure mercury lamp #4'00 l1eta was irradiated for 1 minute, and the resist roughening original plate and transparent substrate were released from the mold, and the pattern was replicated on the transparent substrate side.

このようにして得られた情報記録パターンにおけるレジ
スト層の粗面化部分の形状は、以下の通りであった。
The shape of the roughened portion of the resist layer in the information recording pattern thus obtained was as follows.

レジスト層の高さ:約5000人〜1μm粗面化表面の
開口部の直径:約2000〜5000A 粗面化表面の開口部の深さ:約500〜2000人 (4) 複製 材料 複製用樹脂としてUV硬化性樹脂(スリーボンド用、5
S−120、ウレタンアクリレート系)を使用。
Height of resist layer: Approx. 5000 ~ 1 μm Diameter of opening on roughened surface: Approx. 2000 ~ 5000A Depth of opening on roughened surface: Approx. 500 ~ 2000 (4) Replication material As a resin for replication UV curable resin (for Three Bond, 5
S-120, urethane acrylate type) is used.

粘度80〜100cps(低粘度であれば他のUV硬化
性樹脂でも可能である。) 複製方法 (1)で作製した透明基材のプライマー側と、(3)で
作製したマザーマスクのUV硬化樹脂側の間に複製用樹
脂(SS−120)をはさみ込み、プレス5kg/cI
#、30sec後、UV(2Kw高圧水銀灯)距離40
Dtx/lxで1分間照射後、透明基材とマザーマスク
を離型し透明基材側にパターンを複製した。
Viscosity: 80 to 100 cps (Other UV-curable resins can be used as long as they have low viscosity.) The primer side of the transparent base material produced by replication method (1) and the UV-curable resin of the mother mask produced by (3) Sandwich the duplication resin (SS-120) between the sides and press 5kg/cI.
#, after 30 seconds, UV (2Kw high pressure mercury lamp) distance 40
After irradiation with Dtx/lx for 1 minute, the transparent base material and the mother mask were released, and the pattern was replicated on the transparent base material side.

(5) 光記録材料層 TeO膜とTeO膜(但し、x−0,5、x     
     y y−1,8’)との積層膜を形成した。
(5) Optical recording material layer TeO film and TeO film (however, x-0, 5, x
A laminated film was formed with y y-1,8').

上記積層膜の形成悼下記の条件で行なった。Formation of the above laminated film was carried out under the following conditions.

例えば、反応性スペッタリング装置を用いた。For example, a reactive sputtering device was used.

(イ)TeO膜 X ■ チャンバー内をI X 10−5Torr程度の真
空度まで排気する。
(a) TeO film

■ Arと02ガスを以下の流量でチャンバー内に導入
し、真空度を5X10−3に調整する。
(2) Introduce Ar and 02 gases into the chamber at the following flow rates and adjust the degree of vacuum to 5X10-3.

A r : 3cc/gin 、 02 : 0.5c
c/win■ スパッタリング開始 投入電力 100W 成膜時間 20秒 (ロ)TeO膜 ■ 同上 ■ A r 2: 2cc/win 。
Ar: 3cc/gin, 02: 0.5c
c/win ■ Sputtering start input power 100 W Film forming time 20 seconds (b) TeO film ■ Same as above ■ Ar 2: 2 cc/win.

02: 、5cc/gin ■ 投入電力 100W 成膜時間 20秒 (6) 接着ラミネート 材料 接着剤(二液硬化タイプ、ウレタン系、東し製UH−1
260C) ラミネート方法 塩化ビニル、PET等0. 3a+/mの基材に印刷さ
れたカード基材と上記(5)で作製した記録層を設けた
基材に接着剤を介してラミネートを行なった。
02: , 5cc/gin ■ Input power 100W Film forming time 20 seconds (6) Adhesive laminate material adhesive (two-component curing type, urethane type, Toshi UH-1)
260C) Lamination method: Vinyl chloride, PET, etc. The card base material printed on the 3a+/m base material and the base material provided with the recording layer prepared in (5) above were laminated via an adhesive.

製造例4(ガラスエツチングタイプ) 上記製造例3において、粗面化原版の作成を下記の方法
で行なった。
Production Example 4 (Glass Etching Type) In Production Example 3 above, a roughened original plate was prepared in the following manner.

■ ガラス板上に、案内トラック巾5μm1情報トラッ
ク幅10μmからなるCrスパッタマスクパターンをフ
ォトリングラフイー法により形成した。
(2) A Cr sputter mask pattern consisting of a guide track width of 5 μm and an information track width of 10 μm was formed on a glass plate by photophosphorography.

■ 上記マスクパターン上に、下記の組成のガラスエツ
チング液を塗布し、保護フィルム(PETフィルム)を
介してローラーにて均一に広げた。
(2) A glass etching solution having the composition shown below was applied onto the above mask pattern and spread uniformly with a roller through a protective film (PET film).

レライト5X−20(7−yシス5EPP I CAL
)・・・50゜ 95%H2SO4・・・20゜ ■ 上記エツチング液を塗布後、10秒間、放置し、水
洗して、粗面化原版を作成した。
Relight 5X-20 (7-y cis 5EPP I CAL
)...50° 95% H2SO4...20°■ After applying the above etching solution, it was left to stand for 10 seconds and washed with water to prepare a roughened original plate.

実施例5(マスク上にレジストの粗面化パターンを形成
する方法) 上記製造例3において、粗面化原版の作成を下記の方法
で行なった。
Example 5 (Method of forming a roughened pattern of resist on a mask) In the above Manufacturing Example 3, the roughened original plate was prepared by the following method.

■ ガラス板上に案内トラック幅5μm1情報トラック
幅10μmの所定のパターンをフォトリソグラフィ法に
より形成したCrスパッタマスクに、ポジ型フォトレジ
ストを以下の条件で塗布した。
(2) A positive photoresist was applied under the following conditions to a Cr sputter mask in which a predetermined pattern with a guide track width of 5 μm and an information track width of 10 μm was formed by photolithography on a glass plate.

スピンコード: 2000rpo+ 、20秒レジスト
  ニジブレーマイクロポジット厚   み   = 
、5μm ■ 塗布後、ブレベークを90℃で20分間行った。
Spin code: 2000rpo+, 20 seconds resist Nijibrae Microposite thickness =
, 5 .mu.m (1) After coating, a brebake was performed at 90.degree. C. for 20 minutes.

■ 次に、Crマスクのガラス側よりパターン露光を以
下の条件で行った。
(2) Next, pattern exposure was performed from the glass side of the Cr mask under the following conditions.

超高圧水銀灯: 4kv (80w/cm) 、8D■
 次に、スリガラス(#4000)を用い、Crマスク
のレジスト側にこれを密着させ、粗面化露光を下記の条
件で行った。
Ultra-high pressure mercury lamp: 4kv (80w/cm), 8D■
Next, using ground glass (#4000), this was brought into close contact with the resist side of the Cr mask, and surface roughening exposure was performed under the following conditions.

超高圧水銀灯: 4kw (80w/cm) 、2秒■
 露光後、現像を以下の条件で行った。
Ultra-high pressure mercury lamp: 4kW (80w/cm), 2 seconds■
After exposure, development was performed under the following conditions.

シブレーマイクロボジットデベロッパーに60秒浸漬し
、水洗。
Dip in Sibley Microbojit developer for 60 seconds and wash with water.

■ ボストベークは90℃20分行ない、これにより粗
面化原版が得られた。
(2) Bost baking was performed at 90° C. for 20 minutes, thereby obtaining a roughened original plate.

製造例6 上記製造例3で作製したマザーマスク(セカンドマスク
)210を、第17図に示す装置の中心ドラム200の
円周に貼り付けて固定し、次いでドラム200を回転さ
せながらインキパン201より複製用のUV硬化性樹脂
202を、ドクター203により調整しながらマザーマ
スク210に供給した。一方、ポリカーボネート204
を送って、ニップロール205によってポリカーボネー
トを順次圧着させていく。次いで、UVランプ206か
ら紫外線(2Kw)を照射し、樹脂を硬化させるととも
に、ガイドロール207aによる巻き上げ時のテンショ
ンを利用して、マザーマスク210と樹脂層を剥離させ
て、さらに必要に応じてUVランプ208により紫外線
を照射して巻き上げる。
Production Example 6 The mother mask (second mask) 210 produced in Production Example 3 above is pasted and fixed on the circumference of the center drum 200 of the apparatus shown in FIG. 17, and then duplicated from the ink pan 201 while rotating the drum 200. UV curable resin 202 was supplied to the mother mask 210 while being adjusted by a doctor 203. On the other hand, polycarbonate 204
is sent, and the polycarbonate is successively crimped by the nip rolls 205. Next, ultraviolet rays (2Kw) are irradiated from the UV lamp 206 to harden the resin, and the resin layer is separated from the mother mask 210 using the tension of the guide roll 207a during winding. It is irradiated with ultraviolet light by a lamp 208 and wound up.

このようにして巻き取られた光記録体の樹脂層側に、巻
き取り蒸着装置(図示せず)を用いてアルミニウムを1
0m/分の速度で蒸着させて、さらにこの蒸着面にスク
リーン印刷によりレジストインキを印刷してエツチング
によって不要部分を取り除き、次いで接着剤を介してカ
ード基材をラミネートして、打抜いてカード形状にする
ことによってROM型ないしDRAW型光カードを連続
的に製造することができた。
A layer of aluminum is applied to the resin layer side of the optical recording medium wound up in this manner using a winding vapor deposition device (not shown).
Vapor deposition is carried out at a speed of 0 m/min, resist ink is printed on this vapor deposition surface by screen printing, unnecessary parts are removed by etching, and then a card base material is laminated with adhesive and punched to form a card shape. By doing so, it was possible to continuously manufacture ROM type or DRAW type optical cards.

用途 本発明の光記録体はフレキシブルディスク、カード、テ
ープ等の様々な形態の光記録材料として利用することが
でき、例えば以下の用途に適用される。
Applications The optical recording medium of the present invention can be used as optical recording materials in various forms such as flexible disks, cards, tapes, etc., and is applied, for example, to the following applications.

(1)金融流通産業:キャッシングカード、クレジット
カード、プリペイドカード。
(1) Financial distribution industry: cash advance cards, credit cards, prepaid cards.

(2)医療健康産業:健康証書、カルテ、医療カード、
緊急カード。
(2) Medical and health industry: health certificates, medical records, medical cards,
emergency card.

(3)娯楽産業:ソフトウェア媒体、会員カード、入場
券、遊戯機械制御媒体、テレビゲーム用媒体カラオケ用
媒体、ゴルフスコアカード。
(3) Entertainment industry: software media, membership cards, admission tickets, game machine control media, video game media, karaoke media, golf scorecards.

(4)運輸旅行産業:旅行者カード、免許証、定期券、
パスポート。
(4) Transportation and travel industry: traveler cards, licenses, commuter passes,
passport.

(5)出版産業:電子出版。(5) Publishing industry: electronic publishing.

(6)情報処理産業:電子機械の外部記録装置、ファイ
リング。
(6) Information processing industry: External recording devices and filing for electronic machines.

(7)教育産業:教材プログラム、成績管理カード図書
館の人出管理および書籍管理。
(7) Educational industry: educational material programs, performance management cards, library attendance management, and book management.

(8)自動車産業:整備記録、運行管理。(8) Automobile industry: maintenance records, operation management.

(9)FA :MC,NC,ロボット等のプログラム記
録媒体。
(9) FA: Program recording medium for MC, NC, robot, etc.

(10)その他:ビルコントロール、ホームコントロー
ル、IDカード、自動販売機用媒体、住所録カード。
(10) Others: Building control, home control, ID cards, media for vending machines, address book cards.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

以上説明したように、本発明に係る光記録体は基材上に
周囲に対して光反射率の異なる情報記録パターンを形成
してなる光記録体であって、低反射率部分が光散乱性を
有する粗面化部分で構成されているため、エツチング等
による工程の繁雑化を極力避けることができ、製造工程
が簡易化しかつ、原料に関しても特定の光記録材料に限
定されることがなく、更に工業的規模での大量複製にも
適しているので製造コストの低減化の点でもすぐれた効
果を有している。
As explained above, the optical recording medium according to the present invention is an optical recording medium formed by forming an information recording pattern having a different light reflectance with respect to the surroundings on a base material, and the low reflectance portion has a light scattering property. Since it is composed of a roughened part with a roughened surface, it is possible to avoid complicating the process due to etching, etc. as much as possible, simplifying the manufacturing process, and not being limited to a specific optical recording material with respect to raw materials. Furthermore, since it is suitable for mass reproduction on an industrial scale, it has an excellent effect in reducing manufacturing costs.

さらに本発明に係る光記録体は上記のような構成を有し
ているので、保存性、耐久性ならびに経時的な安定性の
点でもすぐれている。
Furthermore, since the optical recording medium according to the present invention has the above-described configuration, it is excellent in storage stability, durability, and stability over time.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の光記録体の1実施例であるROMタイ
プの光カードを示す図で第1A図は平面図、第1B図は
斜視図、第2図は本発明の光記録体の他の実施例である
DRAWROMタイプードを示す図、第3図は同じく他
の実施例であるROMタイプ、DRAWROMタイプ併
用−ドを示す図第4図は本発明の光記録体の製造方法の
1実施例を説明するための図、第5図、第6図、第7図
、第8図、第9図、第10図および第11図は本発明の
光記録体の製造方法の他の実施例を説明するための図、
第12図は本発明の光記録体の書き込み方式を説明する
ための図、第13図、第14図は各々本発明に係る光記
録体の概念断面図、第15図は本発明の光記録体の実施
例に係る光カードの断面図、第16図は光カードの製造
工程を示す説明図、第17図は本発明の光記録体の製造
工程で用い得る装置の断面図、第18図は従来の光カー
ドの1例を示し、第18A図は平面図、第18B図は断
面図、第19図は従来の光カードの他例を示す斜視図、
第20図は従来の光カードの他例を示す断面図、第21
図は第20図の書き込み方式を説明するための図、第2
2図は従来の光記録体の他例を示す斜視図である。 1・・・光カード、4・・・情報記録ビット、8・・・
光記録トラック、9・・・案内トラック、10・・・基
材、11・・・フォトレジスト層、12・・・フォトマ
スク、13・・・光反射材料または光記録材料、13b
・・・高反射率部分、13c・・・低反射率部分、15
・・・基板16・・・型取り剤、17・・・ガラス板、
18・・・金属メツキ、19・・・成型樹脂、20・・
・材料。 出願人代理人  佐  藤  −雄 FIG、1A FIG、1B FIG、  2 FIG、 3 N)tilI 1llll FIG、 4 FIG、 5 ++111 FIG、  6 +1111 FIG、 7 FIG、8 FIG、10 FIG、 9 /   \ FIG、1IA FIG、llB !  1 1  ! v hし FIG、llC FIG、IID FIG、 12 FIG、 13 hν FIG、14 FIG、15A FIG、 158 FIG、 +6 FIG、17 FIG、l8A hν FIG、 188 FIG、19 FIG、20
FIG. 1 shows a ROM type optical card which is an embodiment of the optical recording medium of the present invention, FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a perspective view, and FIG. 2 is a diagram showing the optical recording medium of the present invention. FIG. 3 is a diagram showing a DRAWROM type board as another embodiment, and FIG. 4 is a diagram showing a ROM type and DRAWROM type combination board as another embodiment. FIG. 4 is an embodiment of the method for manufacturing an optical recording medium of the present invention. Figures 5, 6, 7, 8, 9, 10, and 11 for explaining examples are other embodiments of the method for manufacturing an optical recording medium of the present invention. Diagram to explain,
FIG. 12 is a diagram for explaining the writing method of the optical recording medium of the present invention, FIGS. 13 and 14 are conceptual cross-sectional views of the optical recording medium according to the present invention, and FIG. 15 is an optical recording medium of the present invention. 16 is an explanatory diagram showing the manufacturing process of the optical card; FIG. 17 is a sectional view of an apparatus that can be used in the manufacturing process of the optical recording medium of the present invention; FIG. 18 shows one example of a conventional optical card, FIG. 18A is a plan view, FIG. 18B is a sectional view, and FIG. 19 is a perspective view showing another example of the conventional optical card.
FIG. 20 is a sectional view showing another example of a conventional optical card;
The figure is a diagram for explaining the writing method in Figure 20.
FIG. 2 is a perspective view showing another example of a conventional optical recording medium. 1... Optical card, 4... Information recording bit, 8...
Optical recording track, 9... Guide track, 10... Base material, 11... Photoresist layer, 12... Photomask, 13... Light reflective material or optical recording material, 13b
...High reflectance part, 13c...Low reflectance part, 15
... Substrate 16 ... molding agent, 17 ... glass plate,
18...Metal plating, 19...Molded resin, 20...
·material. Applicant's representative Sato - Yu FIG, 1A FIG, 1B FIG, 2 FIG, 3 N) tilI 1llll FIG, 4 FIG, 5 ++111 FIG, 6 +1111 FIG, 7 FIG, 8 FIG, 10 FIG, 9 / \ FIG , 1IA FIG, llB! 1 1! v hshiFIG, llC FIG, IID FIG, 12 FIG, 13 hν FIG, 14 FIG, 15A FIG, 158 FIG, +6 FIG, 17 FIG, l8A hν FIG, 188 FIG, 19 FIG, 20

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、基材上に、光反射率の差異によって識別され得る情
報記録パターンが形成されてなる光記録体であって、前
記情報記録パターンが高反射率部分と低反射率部分とか
ら構成され、該低反射率部分が、光散乱性を有する粗面
化部分からなることを特徴とする、光記録体。 2、粗面化部分を覆うようにして基材の全面もしくは一
部に光反射材料層が積層されてなる、特許請求の範囲第
1項に記載の光記録体。 3、粗面化部分を覆うようにして基材の全面もしくは一
部に更に光記録材料層が積層されてなる、特許請求の範
囲第1項に記載の光記録体。 4、低反射率部分がフォトレジストからなる特許請求の
範囲第1項に記載の光記録体。 5、低反射率部分が樹脂からなる、特許請求の範囲第1
項に記載の光記録体。 6、低反射率部分が電離放射線硬化樹脂からなる、特許
請求の範囲第1項に記載の光記録体。 7、低反射率部分が熱硬化性樹脂からなる、特許請求の
範囲第1項に記載の光記録体。 8、低反射率部分が、エネルギーの印加によりガスを発
生させる材料によって形成されてなる特許請求の範囲第
1項に記載の光記録体。 9、情報記録パターンがビット情報からなる特許請求の
範囲第1項に記載の光記録体。 10、情報記録パターンが、複数組の光記録トラックと
案内トラックからなる、特許請求の範囲第1項に記載の
光記録体。 11、情報記録パターンが、ビット情報、ならびに複数
組の光記録トラックと案内トラックからなる、特許請求
の範囲第1項に記載の光記録体。 12、光記録体の前記光反射材料層側の表面には、接着
剤層を介してカード基材が積層されており、一方、光記
録体の前記光反射材料層が設けられた側と反対側の表面
には、透明保護層が積層されてなる、特許請求の範囲第
2項に記載の光記録体。 13、光記録体の前記光記録材料層側の表面には、接着
剤層を介してカード基材が積層されており、一方、光記
録体の前記光記録材料層が設けられた側と反対側の表面
には、透明保護層が積層されてなる、特許請求の範囲第
3項に記載の光記録体。 14、基材がガラスからなり、前記低反射率部分が該ガ
ラス基材表面の粗面化部分からなり、高反射率部分がフ
ォトレジスト層からなる、特許請求の範囲第1項に記載
の光記録体。 15、基材上に、高反射率部分と低反射率部分とから構
成される情報記録パターンが形成された光記録体を製造
するにあたり、前記低反射率部分を、情報記録パターン
に応じた粗面化処理によつて形成することを特徴とする
、光記録体の製造方法。 16、前記粗面化処理を写真製版法によって行う、特許
請求の範囲第15項に記載の方法。 17、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第15項に記載の方法。 (イ)基材上にフォトレジスト層を形成する工程、 (ロ)情報記録パターンに応じたマスクを介して上記フ
ォトレジスト層に対して第1の露光(パターニング露光
)を行う工程、 (ハ)次いで、上記第1の露光が行われたフォトレジス
ト層に対して、微細な明暗パターンが形成された透明体
を介して第2の露光(粗面化露光)を行う工程、 (ニ)上記第2の露光が行われたフォトレジスト層に対
して現像を行うことによって、表面が粗面化された低反
射率部分からなる情報記録パターンを得る工程。 18、前記工程(ハ)において用いる微細な明暗パター
ンを有する透明体が、表面に微細な凹凸が形成された透
明体である、特許請求の範囲第18項に記載の方法。 19、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第15項に記載の方法。 (イ)表面に微細な凹凸が形成された基材上にフォトレ
ジスト層を形成する工程、 (ロ)情報記録パターンに応じたマスクを介して上記フ
ォトレジスト層に対してパターニング露光を行う工程、 (ハ)上記パターニング露光が行われたフォトレジスト
層に対して現像を行うことによって、微細な凹凸を有す
る基材の表面を情報記録パターンに応じて露出させて、
表面が粗面化された情報記録パターンを得る工程。 20、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第17項または第19項に記載の方法。 (イ)前記工程(ハ)で得られたところの、表面が粗面
化された低反射率部分からなる情報記録パターンが形成
されてなる光記録体を粗面化原版とし、 (ロ)未硬化の樹脂層を介して、基材と該粗面化原版の
情報記録パターン側とを押圧下または非押圧下で重ねて
型取ることによって、原版のパターン状の粗面を上記樹
脂層に転写する工程、(ハ)上記工程(ロ)で型取りさ
れた樹脂層を硬化させることによって、表面が粗面化さ
れた低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程
。 21、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第15に記載の方法。 (イ)エネルギーの印加によってガスを発生させる材料
層を基材上に形成する工程、 (ロ)情報記録パターンに応じたマスクを介して上記材
料層に対してパターニング露光を行う工程、 (ハ)さらにこの材料層に対してエネルギーを印加する
ことによつて該材料層中にガスを生じさせて、光散乱性
の材料層を得る工程、 (ニ)上記材料層に対して現像を行うことによって、表
面が粗面化された低反射率部分からなる情報記録パター
ンを得る工程。 22、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第21項に記載の方法。 (イ)前記工程(ニ)で得られたところの、表面が粗面
化された低反射率部分からなる情報記録パターンが形成
されてなる光記録体を粗面化原版とし、 (ロ)未硬化の樹脂層を介して、基材と該粗面化原版の
情報記録パターン側とを押圧下または非押圧下で重ねて
型取ることによって、原版のパターン状の粗面を上記樹
脂層に転写する工程、(ハ)上記工程(ロ)で型取りさ
れた樹脂層を硬化させることによって、表面が粗面化さ
れた低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程
。 23、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第15項に記載の方法。 (イ)基材上にフォトレジスト層を形成する工程、 (ロ)情報記録パターンに応じたマスクを介して上記フ
ォトレジスト層に対してパターン露光を行う工程、 (ハ)次いで、フォトレジスト層に対する現像を行い、
さらにエッチングを行うことによって、表面が粗面化さ
れた低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程
。 24、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第23項に記載の方法。 (イ)前記工程(ロ)で得られたところの、表面が粗面
化された低反射率部分からなる情報記録パターンが形成
されてなる光記録体を粗面化原版とし、 (ロ)未硬化の樹脂層を介して、基材と該粗面化原版の
情報記録パターン側とを押圧下または非押圧下で重ねて
型取ることによって、原版のパターン状の粗面を上記樹
脂層に転写する工程、(ハ)上記工程(ロ)で型取りさ
れた樹脂層を硬化させることによって、表面が粗面化さ
れた低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程
。 25、最終的に得られたところの、表面が粗面化された
低反射率部分からなる情報記録パターンが形成されてな
る光記録体を粗面化用原版(マザーマスク)とし、さら
にこのマザーマスクを大量複製用の複製原版として用い
て型取りによって光記録体を得る、特許請求の範囲第第
20項、第22項、または第24項のいずれか1項に記
載の方法。 26、得られた光記録体の低反射率部分を覆うようにし
て基材の全面または一部に光反射材料層または光記録材
料層を積層する工程を含む、特許請求の範囲第17項〜
第25項のいずれか1項に記載の方法。 27、情報パターンに応じて粗面化された低反射率部分
の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範囲第
15項に記載の方法。 (イ)透明体上に情報記録パターンに応じたマスクパタ
ーンを形成する工程、 (ロ)前記透明体のマスクパターンが形成されていない
部分の表面をエッチングにより粗面化する工程、 (ハ)基材上にフォトレジスト層を形成する工程、 (ホ)前記工程(ロ)で得られたものを粗面化露光用マ
スクとして、該粗面化露光用マスクを介して、前記工程
(ハ)で得られた基材のフォトレジスト層に対して、粗
面化露光を行う工程、(ヘ)前記粗面化露光が行われた
フォトレジスト層に対して現像を行うことによって、表
面が粗面化された低反射率部分からなる情報記録パター
ンを得る工程。 28、情報パターンに応じて粗面化された低反射率部分
の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範囲第
15項に記載の方法。 (イ)透明体上に情報記録パターンに応じたマスクパタ
ーンを形成する工程、 (ロ)前記透明体のマスクパターンが形成されていない
部分の表面をエッチングにより粗面化する工程、 (ハ)透明体表面に形成されたマスクパターンを除去す
ることによって、表面が粗面化された低反射率部分から
なる情報パターンを得る工程。 29、前記工程(ロ)のエッチング工程で用いるエッチ
ング液が微粒子を含有する、特許請求の範囲第27項ま
たは第28項の方法。 30、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第27項に記載の方法。 (イ)前記工程(ロ)で得られたところの、表面が粗面
化された低反射率部分からなる情報記録パターンが形成
されてなる光記録体を粗面化原版とし、 (ロ)未硬化の樹脂層を介して、基材と該粗面化原版の
情報記録パターン側とを押圧下または非押圧下で重ねて
型取ることによって、原版のパターン状の粗面を上記樹
脂層に転写する工程、(ハ)上記工程(ロ)で型取りさ
れた樹脂層を硬化させることによって、表面が粗面化さ
れた低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程
。 31、最終的に得られたところの、表面が粗面化された
低反射率部分からなる情報記録パターンが形成されてな
る光記録体を粗面化用原版(マザーマスク)とし、さら
にこのマザーマスクを大量複製用の複製原版として用い
て型取りによって光記録体を得る、特許請求の範囲第3
0項に記載の方法。 32、得られた光記録体の低反射率部分を覆うようにし
て基材の全面または一部に光反射材料層または光記録材
料層を積層する工程を含む、特許請求の範囲第27項〜
第31項のいずれか1項に記載の方法。 33、情報パターンに応じて粗面化された低反射率部分
の形成工程が、以下の工程に従って行われる、特許請求
の範囲第15項に記載の方法。 (イ)光透過性基材上に情報記録パターンに応じたマス
クパターンを形成する工程、 (ロ)上記光透過性基材の表面に、前記マスクパターン
を覆うようにしてフォトレジスト層を形成する工程、 (ハ)上記光透過性基材のフォトレジスト層と反対側の
面から第1の露光(パターニング露光)を行う工程、 (ニ)次いで、上記第1の露光が行われたフォトレジス
ト層に対して、微細な明暗パターンが形成された透明体
を介して、該フォトレジスト層側から第2の露光(粗面
化露光)を行う工程、(ホ)上記第2の露光が行われた
フォトレジスト層に対して現像を行うことに表面が粗面
化された低反射率部分からなる情報記録パターンを得る
工程。 34、情報記録パターンに応じて粗面化された低反射率
部分の形成工程が、以下の工程からなる、特許請求の範
囲第33項に記載の方法。 (イ)前記工程(ホ)で得られたところの、表面が粗面
化された低反射率部分からなる情報記録パターンが形成
されてなる光記録体を粗面化原版とし、 (ロ)未硬化の樹脂層を介して、基材と該粗面化原版の
情報記録パターン側とを押圧下または非押圧下で重ねて
型取ることによって、原版のパターン状の粗面を上記樹
脂層に転写する工程、(ハ)上記工程(ロ)で型取りさ
れた樹脂層を硬化させることによって、表面が粗面化さ
れた低反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程
。 35、最終的に得られたところの、表面が粗面化された
低反射率部分からなる情報記録パターンが形成されてな
る光記録体を粗面化用原版(マザーマスク)とし、さら
にこのマザーマスクを大量複製用の複製原版として用い
て型取りによって光記録体を得る、特許請求の範囲第第
34項に記載の方法。 36、得られた光記録体の低反射率部分を覆うようにし
て基材の全面または一部に光反射材料層または光記録材
料層を積層する工程を含む、特許請求の範囲第33項〜
第35項のいずれか1項に記載の方法。 37、情報パターンに応じて粗面化された低反射率部分
の形成工程が、以下の工程に従って行われる、特許請求
の範囲第15項に記載の方法。 (イ)光透過性基材上に金属マスク層を形成する工程、 (ロ)上記金属マスク層の表面にフォトレジスト層を形
成する工程、 (ハ)上記フォトレジスト層の側からフォトマスクを介
して第1の露光(パターニング露光)を行う工程、 (ニ)次いで、上記第1の露光が行われたフォトレジス
ト層に対して現像を行うことによって情報記録パターン
に応じたフォトレジス層を形成する工程、 (ホ)更に、金属マスク層をエッチングすることによっ
て、情報記録パターンに応じたフォトレジスト層と金属
マスク層の積層物を形成する工程、(ヘ)上記フォトレ
ジスト層に対して、微細な明暗パターンが形成された透
明体を介して、第2の露光(粗面化露光)を行う工程、 (ト)上記第2の露光が行われたフォトレジスト層に対
して更に現像を行うことによって表面が粗面化された低
反射率部分からなる情報記録パターンを得る工程。
[Scope of Claims] 1. An optical recording medium in which an information recording pattern that can be identified by a difference in light reflectance is formed on a base material, wherein the information recording pattern has a high reflectance part and a low reflectance part. 1. An optical recording medium, characterized in that the low reflectance portion is comprised of a roughened portion having light scattering properties. 2. The optical recording medium according to claim 1, wherein a light-reflecting material layer is laminated on the entire surface or a part of the base material so as to cover the roughened portion. 3. The optical recording medium according to claim 1, further comprising an optical recording material layer laminated on the entire surface or a part of the base material so as to cover the roughened portion. 4. The optical recording medium according to claim 1, wherein the low reflectance portion is made of photoresist. 5. Claim 1 in which the low reflectance portion is made of resin
Optical recording medium as described in section. 6. The optical recording medium according to claim 1, wherein the low reflectance portion is made of an ionizing radiation-cured resin. 7. The optical recording medium according to claim 1, wherein the low reflectance portion is made of a thermosetting resin. 8. The optical recording medium according to claim 1, wherein the low reflectance portion is formed of a material that generates gas upon application of energy. 9. The optical recording medium according to claim 1, wherein the information recording pattern consists of bit information. 10. The optical recording medium according to claim 1, wherein the information recording pattern consists of a plurality of sets of optical recording tracks and guide tracks. 11. The optical recording medium according to claim 1, wherein the information recording pattern consists of bit information and a plurality of sets of optical recording tracks and guide tracks. 12. A card base material is laminated on the surface of the optical recording body on the light reflective material layer side through an adhesive layer, and on the other hand, the card base material is laminated on the surface of the optical recording body on the side where the light reflective material layer is provided. The optical recording medium according to claim 2, wherein a transparent protective layer is laminated on the side surface. 13. A card base material is laminated on the surface of the optical recording material layer side of the optical recording material via an adhesive layer, and on the other hand, a card base material is laminated on the surface of the optical recording material layer on the side opposite to the surface on which the optical recording material layer is provided. The optical recording medium according to claim 3, wherein a transparent protective layer is laminated on the side surface. 14. The light according to claim 1, wherein the base material is made of glass, the low reflectance part is made of a roughened part of the surface of the glass base material, and the high reflectance part is made of a photoresist layer. record body. 15. When manufacturing an optical recording medium in which an information recording pattern consisting of a high reflectance part and a low reflectance part is formed on a base material, the low reflectance part is roughened according to the information recording pattern. A method for producing an optical recording medium, characterized in that it is formed by surface treatment. 16. The method according to claim 15, wherein the surface roughening treatment is performed by photolithography. 17. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (B) Forming a photoresist layer on the base material; (B) Performing first exposure (patterning exposure) to the photoresist layer through a mask corresponding to the information recording pattern; (C) Next, a step of performing a second exposure (roughening exposure) on the photoresist layer subjected to the first exposure through a transparent body in which a fine light and dark pattern is formed; A step of developing an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface by developing the photoresist layer exposed in Step 2. 18. The method according to claim 18, wherein the transparent body having a fine light-dark pattern used in the step (c) is a transparent body having fine irregularities formed on its surface. 19. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (a) a step of forming a photoresist layer on a base material having fine irregularities formed on its surface; (b) a step of patterning exposure to the photoresist layer through a mask corresponding to an information recording pattern; (c) By developing the photoresist layer subjected to the patterning exposure, the surface of the base material having fine irregularities is exposed according to the information recording pattern,
A process of obtaining an information recording pattern with a roughened surface. 20. The method according to claim 17 or 19, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (b) Use the optical recording medium obtained in step (c) above, on which an information recording pattern consisting of low reflectance portions with a roughened surface is formed, as a roughened original plate; The patterned rough surface of the original plate is transferred to the resin layer by overlapping the base material and the information recording pattern side of the roughened original plate with or without pressure through a cured resin layer and making a mold. (c) a step of curing the resin layer molded in step (b) above to obtain an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface. 21. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (B) A step of forming a material layer on a base material that generates gas by applying energy; (B) A step of subjecting the material layer to patterning exposure through a mask corresponding to an information recording pattern; (C) Further, a step of generating a gas in the material layer by applying energy to the material layer to obtain a light-scattering material layer; (d) developing the material layer; , a step of obtaining an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface. 22. The method according to claim 21, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (b) Use the optical recording medium obtained in step (d) above, on which an information recording pattern consisting of low reflectance portions with a roughened surface is formed, as a roughened master; The patterned rough surface of the original plate is transferred to the resin layer by overlapping the base material and the information recording pattern side of the roughened original plate with or without pressure through a cured resin layer and making a mold. (c) a step of curing the resin layer molded in step (b) above to obtain an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface. 23. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (b) forming a photoresist layer on the base material; (b) exposing the photoresist layer to pattern light through a mask corresponding to the information recording pattern; (c) then forming a photoresist layer on the photoresist layer. Perform development,
A step of obtaining an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface by further etching. 24. The method according to claim 23, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (b) The optical recording medium obtained in the step (b), on which an information recording pattern consisting of low reflectance portions with a roughened surface is formed, is used as a roughened master plate; The patterned rough surface of the original plate is transferred to the resin layer by overlapping the base material and the information recording pattern side of the roughened original plate with or without pressure through a cured resin layer and making a mold. (c) a step of curing the resin layer molded in step (b) above to obtain an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface. 25. The finally obtained optical recording medium on which an information recording pattern consisting of low reflectance areas with a roughened surface is formed is used as a roughening original plate (mother mask), and this mother mask is used as a roughening original plate (mother mask). 25. The method according to claim 20, 22, or 24, wherein an optical recording medium is obtained by molding using a mask as a reproduction master for mass reproduction. 26. Claims 17 to 26 include the step of laminating a light reflective material layer or an optical recording material layer on the entire surface or a part of the base material so as to cover the low reflectance portion of the obtained optical recording medium.
The method according to any one of paragraph 25. 27. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information pattern comprises the following steps. (b) forming a mask pattern in accordance with the information recording pattern on the transparent body; (b) roughening the surface of the portion of the transparent body where the mask pattern is not formed; (c) roughening the surface of the transparent body on which the mask pattern is not formed; a step of forming a photoresist layer on the material; A step of performing roughening exposure on the photoresist layer of the obtained base material, (f) developing the photoresist layer that has been subjected to the roughening exposure to roughen the surface. A process of obtaining an information recording pattern consisting of low reflectance portions. 28. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information pattern comprises the following steps. (b) forming a mask pattern in accordance with the information recording pattern on the transparent body; (b) roughening the surface of the portion of the transparent body where the mask pattern is not formed; (c) making the transparent body rough. A step of removing a mask pattern formed on the body surface to obtain an information pattern consisting of a roughened surface with low reflectance. 29. The method according to claim 27 or 28, wherein the etching solution used in the etching step of step (b) contains fine particles. 30. The method according to claim 27, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (b) The optical recording medium obtained in the step (b), on which an information recording pattern consisting of low reflectance portions with a roughened surface is formed, is used as a roughened master plate; The patterned rough surface of the original plate is transferred to the resin layer by overlapping the base material and the information recording pattern side of the roughened original plate with or without pressure through a cured resin layer and making a mold. (c) a step of curing the resin layer molded in step (b) above to obtain an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface. 31. The finally obtained optical recording medium on which an information recording pattern consisting of low reflectance areas with a roughened surface is formed is used as a roughening original plate (mother mask), and this mother mask is used as a roughening original plate (mother mask). Claim 3: An optical recording medium is obtained by molding using a mask as a reproduction master for mass reproduction.
The method described in item 0. 32. Claims 27 to 32 include the step of laminating a light reflective material layer or an optical recording material layer on the entire surface or a part of the base material so as to cover the low reflectance portion of the obtained optical recording medium.
The method according to any one of paragraph 31. 33. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information pattern is performed according to the following steps. (b) Forming a mask pattern corresponding to the information recording pattern on the light-transmissive base material; (B) Forming a photoresist layer on the surface of the light-transmissive base material so as to cover the mask pattern. (c) performing a first exposure (patterning exposure) from the surface of the light-transmissive base material opposite to the photoresist layer; (d) then the photoresist layer on which the first exposure has been performed; (e) performing a second exposure (roughening exposure) from the photoresist layer side through a transparent body on which a fine light-dark pattern is formed; (e) the second exposure is performed; A step of developing the photoresist layer to obtain an information recording pattern consisting of low reflectance areas with a roughened surface. 34. The method according to claim 33, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information recording pattern comprises the following steps. (b) The optical recording medium obtained in the step (e), on which an information recording pattern consisting of low reflectance portions with a roughened surface is formed, is used as a roughened master plate; The patterned rough surface of the original plate is transferred to the resin layer by overlapping the base material and the information recording pattern side of the roughened original plate with or without pressure through a cured resin layer and making a mold. (c) a step of curing the resin layer molded in step (b) above to obtain an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface. 35. The finally obtained optical recording medium on which an information recording pattern consisting of low reflectance areas with a roughened surface is formed is used as a roughening original plate (mother mask), and this mother mask is used as a roughening original plate (mother mask). 35. The method according to claim 34, wherein an optical recording medium is obtained by molding using a mask as a reproduction master for mass reproduction. 36. Claims 33 to 36 include the step of laminating a light reflective material layer or an optical recording material layer on the entire surface or part of the base material so as to cover the low reflectance portion of the obtained optical recording medium.
36. The method according to any one of paragraphs 35. 37. The method according to claim 15, wherein the step of forming the low reflectance portion roughened according to the information pattern is performed according to the following steps. (b) Forming a metal mask layer on the light-transmitting substrate; (b) Forming a photoresist layer on the surface of the metal mask layer; (c) Forming a photoresist layer from the side of the photoresist layer through the photomask. (d) Next, the photoresist layer subjected to the first exposure is developed to form a photoresist layer corresponding to the information recording pattern. (e) further etching the metal mask layer to form a laminate of a photoresist layer and a metal mask layer according to the information recording pattern; (f) etching the photoresist layer with fine particles. A step of performing a second exposure (roughening exposure) through a transparent body on which a light and dark pattern is formed; (g) further developing the photoresist layer that has been subjected to the second exposure; A process of obtaining an information recording pattern consisting of a low reflectance portion with a roughened surface.
JP62238659A 1987-01-24 1987-09-25 Optical recording body and manufacturing method thereof Expired - Fee Related JPH0764141B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62238659A JPH0764141B2 (en) 1987-01-24 1987-09-25 Optical recording body and manufacturing method thereof

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1484087 1987-01-24
JP62-14840 1987-01-24
JP62-66751 1987-03-20
JP6675187 1987-03-20
JP14301087 1987-06-08
JP62-143010 1987-06-08
JP62238659A JPH0764141B2 (en) 1987-01-24 1987-09-25 Optical recording body and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01105791A true JPH01105791A (en) 1989-04-24
JPH0764141B2 JPH0764141B2 (en) 1995-07-12

Family

ID=27456289

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62238659A Expired - Fee Related JPH0764141B2 (en) 1987-01-24 1987-09-25 Optical recording body and manufacturing method thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0764141B2 (en)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01229439A (en) * 1988-03-09 1989-09-13 Toppan Printing Co Ltd Optical recording medium and its production
JPH01290139A (en) * 1988-05-17 1989-11-22 Kuraray Co Ltd Stamper for optical recording medium and its production
JPH10282482A (en) * 1997-04-01 1998-10-23 Dainippon Printing Co Ltd Reflecting type liquid crystal display device and its manufacture
JP2001193698A (en) * 1999-12-03 2001-07-17 Electrolux:Ab Leaf blower
KR100667774B1 (en) * 2004-11-16 2007-01-11 삼성전자주식회사 Read only information storage medium and method for manufacturing the same
CN112236842A (en) * 2018-06-12 2021-01-15 东京毅力科创株式会社 Substrate processing method, modifying apparatus, and substrate processing system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52143838A (en) * 1976-05-25 1977-11-30 Ricoh Co Ltd Recording method by laser beam
JPS59158055A (en) * 1983-02-28 1984-09-07 Fujitsu Ltd Formation of reflection preventive film
JPS6180631A (en) * 1984-09-28 1986-04-24 Kyodo Printing Co Ltd Optical read card and its manufacture
JPS61278054A (en) * 1985-05-31 1986-12-08 Toshiba Corp Recording/reproducing device for optical card

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52143838A (en) * 1976-05-25 1977-11-30 Ricoh Co Ltd Recording method by laser beam
JPS59158055A (en) * 1983-02-28 1984-09-07 Fujitsu Ltd Formation of reflection preventive film
JPS6180631A (en) * 1984-09-28 1986-04-24 Kyodo Printing Co Ltd Optical read card and its manufacture
JPS61278054A (en) * 1985-05-31 1986-12-08 Toshiba Corp Recording/reproducing device for optical card

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01229439A (en) * 1988-03-09 1989-09-13 Toppan Printing Co Ltd Optical recording medium and its production
JPH01290139A (en) * 1988-05-17 1989-11-22 Kuraray Co Ltd Stamper for optical recording medium and its production
JPH10282482A (en) * 1997-04-01 1998-10-23 Dainippon Printing Co Ltd Reflecting type liquid crystal display device and its manufacture
JP2001193698A (en) * 1999-12-03 2001-07-17 Electrolux:Ab Leaf blower
KR100667774B1 (en) * 2004-11-16 2007-01-11 삼성전자주식회사 Read only information storage medium and method for manufacturing the same
CN112236842A (en) * 2018-06-12 2021-01-15 东京毅力科创株式会社 Substrate processing method, modifying apparatus, and substrate processing system

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0764141B2 (en) 1995-07-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0374256B1 (en) Optical recording medium and method of manufacturing same
US5224090A (en) Optical recording members and method for production thereof
JPH01105791A (en) Optical recorder and manufacture thereof
AU607943B2 (en) Optical recording members and production thereof
US5979772A (en) Optical card
TW480475B (en) Recording medium and process for manufacturing the medium
JP2812758B2 (en) Optical recording medium and method for manufacturing the same
JP2686667B2 (en) Micro image data recording card
JPH02156433A (en) Information recording medium and its manufacture
JP3314243B2 (en) Optical card
JP3059786B2 (en) Optical card
JP3149266B2 (en) Optical card manufacturing method
JPS62141658A (en) Optical card and its production
JP3271020B2 (en) Method of manufacturing optical card
JPH02210632A (en) Production of stamper for optical card
JP2505804B2 (en) Optical recording medium and manufacturing method thereof
JP3314244B2 (en) Optical card
JP3297940B2 (en) Method of manufacturing optical card
JPH0660436A (en) Production of optical disk
JP2754373B2 (en) Optical recording medium and manufacturing method thereof
JPH0250331A (en) Production of stamper for optical card
JPS63239630A (en) Optical recording medium and its production
JP3724862B2 (en) Optical card master, method for manufacturing the same, and optical card
JPH06155972A (en) Manufacture of optical card
JPH01260650A (en) Manufacture of optical recording medium

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees