JP7846801B1 - 保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】載置面内における温度分布の均一性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】保持装置であって、対象物が載置される載置面を有し、内部には冷媒が流れる流路が形成された板状部材を備え、流路が形成されている位置での板状部材の横断面において、流路には、流路の幅が広い幅広区間を内包しつつ流路を９０度以上湾曲させた幅広湾曲区間が含まれており、幅広区間における流路の幅は、幅広湾曲区間の一端の位置における流路の幅および幅広湾曲区間の他端の位置における流路の幅のいずれよりも広いことを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、保持装置に関する。

従来から、対象物が載置される載置面と冷媒が流れる流路とを有する板状部材を備えた保持装置が知られている（例えば、特許文献１，２）。

特許第７１１１４６０号公報 国際公開第２０２３／１６６８６６号

しかしながら、特許文献１，２のような保持装置において、載置面内における温度分布の均一性を向上させる技術については、なお、改善の余地があった。

本発明は、上述した課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、載置面内における温度分布の均一性を向上させる技術を提供することを目的とする。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現できる。

（１）本発明の一形態によれば、保持装置が提供される。この保持装置は、保持装置であって、対象物が載置される載置面を有し、内部には冷媒が流れる流路が形成された板状部材を備え、前記流路が形成されている位置での前記板状部材の横断面において、前記流路には、前記流路の幅が広い幅広区間を内包しつつ前記流路を９０度以上湾曲させた幅広湾曲区間が含まれており、前記幅広区間における前記流路の幅は、前記幅広湾曲区間の一端の位置における前記流路の幅および前記幅広湾曲区間の他端の位置における前記流路の幅のいずれよりも広い。

この構成によれば、冷媒が流れる流路に含まれる幅広湾曲区間には幅広区間が内包されていることから、幅広湾曲区間における乱流の発生を抑制することができる。その結果、幅広湾曲区間での乱流が発生することによる冷却効果が緩和されることから、対象物が載置される載置面内における温度分布の均一性を向上させることができる。

なお、本発明は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、保持装置の製造方法、保持装置を含むシステム、これら装置およびシステムの制御方法、これら装置およびシステムにおいて対象物の処理を実行させるコンピュータプログラム、そのコンピュータプログラムを配布するためのサーバ装置、そのコンピュータプログラムを記憶した一時的でない記憶媒体等の形態で実現することができる。

実施形態の保持装置の斜視図である。 保持装置の第１の断面図である。 保持装置の第２の断面図である。 幅広湾曲区間の１例の拡大図である。 ２本の接線のなす角度の説明図である。 幅広湾曲区間の１例の拡大図である。 比較例の接合体を示した説明図である。 隔離湾曲区間の１例の拡大図である。 隔離湾曲区間の１例の拡大図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本実施形態の保持装置１の斜視図である。図２は、本実施形態の保持装置１の第１の断面図である。本実施形態の保持装置１は、基板Ｗを静電引力によって吸着して保持する静電チャックである。静電チャックは、例えば、静電チャックを備えるチャンバー内でプラズマを用いたエッチングプロセスにおいて、基板Ｗを載置するテーブルとして使用される。本実施形態の保持装置１は、基台１０と、セラミックス基材２０と、図示しない接合部と、を備える。保持装置１では、図１に示すように、基台１０、セラミックス基材２０の順に積層されている。保持装置１は、セラミックス基材２０の外周に設置されるフォーカスリングＦＲを用いることで、保持装置１に対する基板Ｗの位置決めを行う。図１および図２には、便宜的に、基台１０とセラミックス基材２０との積層方向をｚ軸方向とし、ｚ軸に対して垂直に交差する方向をｘ軸方向とし、ｚ軸とｘ軸とに対して垂直に交差する方向をｙ軸方向として示している。なお、説明の便宜上、図１および図２における、基台１０、セラミックス基材２０、基板Ｗ、および、フォーカスリングＦＲのそれぞれの大きさの関係は、実際の関係とは異なっている。

基台１０は、炭化珪素（ＳｉＣ）を主成分とする焼結体であって、保持装置１のベースとなる部分である略円柱形状の部材である。ここで、「主成分」とは、含有割合の最も多い成分を意味する。なお、基台１０を形成する材料は、炭化珪素を主成分とする材料に限定されない。基台１０は、アルミニウム（Ａｌ）、チタン（Ｔｉ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）、これらの合金、ＳＵＳ、Ａｌ－ＳｉＣのような金属とセラミックスとの複合体、または、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）やアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）などのセラミックスを主成分とする材料などにより形成されていてもよい。

基台１０は、第１基台１１と、第２基台１２と、を有する。第１基台１１と第２基台１２とは、図示しない接着層によって接合されている。なお、基台１０は、第１基台１１と第２基台１２とのように２層からなる構造に限定されず、単層からなる構造であってもよいし、３層以上からなる構造であってもよい。

第１基台１１は、図２に示すように、保持装置１において、ｚ軸方向の最もマイナス側に位置する。第１基台１１は、略円形状の板状部材であって、一対の主面１１ａ，１１ｂを有する。第２基台１２は、第１基台１１のｚ軸方向のプラス側において、第１基台１１に積層されている。第２基台１２は、第１基台１１とほぼ同じ大きさの略円形状の板状部材であって、一対の主面１２ａ，１２ｂを有する。第２基台１２の一対の主面１２ａ，１２ｂのうち、ｚ軸方向のマイナス側の主面１２ｂには、冷媒が流れる流路３０となる溝１３が形成されている。第２基台１２に形成されている溝１３は、第１基台１１と第２基台１２とが接合されるとき、第１基台１１が溝１３の蓋となることで、流路３０となる。基台１０には、保持装置１のｚ軸方向に沿って形成される複数の穴１４が形成されている。流路３０の詳細な形状は、後述する。

セラミックス基材２０は、基台１０のｚ軸方向のプラス側に配置される板状部材である。セラミックス基材２０は、セラミックスを主成分とする。本実施形態のセラミックス基材２０は、酸化アルミニウムを主成分とする材料により形成されている。なお、セラミックス基材２０は、窒化アルミニウム、炭化珪素などの他のセラミックスにより形成されていてもよい。セラミックス基材２０は、一対の主面２０ａ，２０ｂを有する。

セラミックス基材２０は、一対の主面２０ａ，２０ｂのうちの基台１０とは反対側の一方の主面２０ａに、基板Ｗが載置される載置面２１が形成されている。セラミックス基材２０の一方の主面２０ａの外周には、フォーカスリングＦＲが載置されるフォーカスリング用載置面２２が形成されている。セラミックス基材２０が有する一対の主面２０ａ，２０ｂのうちの他方の主面２０ｂは、図示しない接合部によって第２基台１２に接合されている。セラミックス基材２０には、基台１０に形成されている複数の穴１４のそれぞれに連通する穴２３が形成されている。なお、基台１０とセラミックス基材２０とを接合する方法は、金属接合、樹脂接合、無機材料による接合などが例示されるが、これらに限定されない。

本実施形態のセラミックス基材２０は、電極２４を有する。電極２４は、セラミックス基材２０の内部に配置されている。電極２４は、例えば、タングステン、モリブデンなどの導電性材料により形成されている。電極２４は、穴１４，２３に挿通される図示しない電極端子を介して、外部の電源に接続されている。電極２４としては、高周波電極、チャック電極、ヒータ電極などが例示される。

本実施形態の保持装置１は、基台１０に形成されている穴１４とセラミックス基材２０に形成されている穴２３とによって、基台１０とセラミックス基材２０とからなる接合体５をｚ軸方向に貫通する穴５ａを有する。接合体５が有する穴５ａは、セラミックス基材２０が有する電極２４に給電するための図示しない給電端子を挿通する端子穴、基板Ｗの裏面にヘリウムガスを供給するためのガス穴、基板Ｗをセラミックス基材２０から持ち上げる図示しないリフトピンを挿通するためのリフトピン穴、載置面２１の温度を測定するための図示しない温度センサを挿通するセンサ穴などとして使用される。なお、本実施形態の接合体５が有する穴５ａは、接合体５をｚ軸方向に貫通するとしたが、接合体５を貫通していなくてもよい。具体的には、穴５ａは、例えば、基台１０を貫通している穴１４と、セラミックス基材２０の他方の主面２０ｂ、または、他方の主面２０ｂに形成された底面を有する穴とを組み合わせた構成であってもよい。この場合、セラミックス基材２０の他方の主面２０ｂ、または、他方の主面２０ｂに形成された底面が、穴５ａの底面となる。また、穴１４が底面を有する貫通していない穴であってもよい。

接合体５は、特許請求の範囲の「板状部材」に相当する。すなわち、接合体５は、対象物である基板Ｗが載置される載置面２１を有し、内部には冷媒が流れる流路３０が形成された板状部材である。

図３は、保持装置１の第２の断面図である。図３は、図２のＡ－Ａ線断面図である。図３は、溝１３（流路３０）が形成されている位置での接合体５の横断面を示した図である。流路３０は、図３に示すように、略渦巻き状に形成されている。流路３０には、流路３０に冷媒が流入する流路入口ＩＮと、流路３０から冷媒が流出する流路出口ＯＵＴと、が含まれている。横断面における流路入口ＩＮの形状および流路出口ＯＵＴの形状は、円形状である。また、流路３０には、流路３０が２本の流路に分岐しているとともにそれら流路が１本の流路に合流している複数の分岐合流部が含まれていてもよい。

流路３０には、流路入口ＩＮ、流路出口ＯＵＴの他に、幅広湾曲区間および隔離湾曲区間が含まれている。この幅広湾曲区間および隔離湾曲区間のうち、まず初めに、幅広湾曲区間について説明する。図３にハッチングで示された区間ＷＣ１は、幅広湾曲区間の１例である。図３に示したような横断面において、幅広湾曲区間は、流路３０の幅が広い幅広区間（図４に幅広区間ＷＤとして例示）を内包しつつ流路３０を９０度以上湾曲させた区間である。本実施形態では、幅広湾曲区間の長さは、図３に示すような横断面における流路３０の全長のうちの１割以下の長さである。すなわち、区間ＷＣ１の長さは、流路３０の全長のうちの１割以下の長さである。なお、図３で示された区間ＳＣ１の詳細は、後述の図８を用いて説明する。

図４は、図３において幅広湾曲区間の１例として示した区間ＷＣ１の拡大図である。図４には、中央線Ｌｗと、一端Ｅｗ１と、他端Ｅｗ２と、が示されている。中央線Ｌｗは、幅広湾曲区間内の流路３０の中央線である。すなわち、中央線Ｌｗは、幅広湾曲区間内の流路３０の各位置における幅の二等分線である。一端Ｅｗ１および他端Ｅｗ２は、幅広湾曲区間の一端と他端である。

図４を用いて、幅広湾曲区間とみなされる区間が満たしている２つの要件について説明する。まず１つ目の要件について説明する。区間ＷＣ１において、一端Ｅｗ１の位置における中央線Ｌｗの接線Ｔｗ１と、他端Ｅｗ２の位置における中央線Ｌｗの接線Ｔｗ２と、のなす角度は９０度以上となっている。図５には、図４に示した接線Ｔｗ１と接線Ｔｗ２とのなす角度αが示されている。角度αは、区間ＷＣ１における流路３０の湾曲度合を示していることから、区間ＷＣ１は、流路３０を９０度以上湾曲させた区間である。このように、流路３０のうち幅広湾曲区間とみなされる区間は、流路３０を９０度以上湾曲させた区間（湾曲区間）であることを満たしている。

次に２つ目の要件について説明する。図４に密なハッチングで示された幅広区間ＷＤにおける流路３０の幅は、一端Ｅｗ１の位置における流路３０の幅Ｗｓ１および他端Ｅｗ２の位置における流路３０の幅Ｗｓ２のいずれよりも広くなっている。ここでいう流路３０の幅とは、中央線Ｌｗの各位置での接線と直交する方向における流路３０の長さのことである。区間ＷＣ１は、このような幅広区間ＷＤを内包している。このように、流路３０のうち幅広湾曲区間とみなされる区間は、２つの要件として、湾曲区間であること、および、幅広区間を内包していることのいずれも満たしている。

図６は、流路３０に含まれる区間ＷＣ２が示されている。区間ＷＣ２は、図３に示した区間ＷＣ１とは異なる幅広湾曲区間であることを説明する。流路３０に含まれる区間のうち、長さが流路３０の全長のうちの１割以下の長さであって、且つ、上述した２つの要件を満たす区間は、いずれも流路３０に含まれる幅広湾曲区間とみなされる。例えば、区間ＷＣ２（図６に図示）は、区間ＷＣ１（図３に図示）とは長さが異なる区間であるものの、上述した２つの要件を満たしていることから、区間ＷＣ１と同じく幅広湾曲区間とみなされる。このように、流路３０には、位置や長さが異なる無数の幅広湾曲区間が含まれている。

流路入口ＩＮの位置および流路出口ＯＵＴの位置は、チャンバー内の他の部材との位置関係により決まるため、流路３０には、湾曲区間（流路３０を９０度以上湾曲させた区間）を設けざるを得ないことがある。このとき、基板Ｗが載置される載置面２１（図１，２参照）のうち湾曲区間に対応した部位の温度分布が周囲の部位よりも低温となることがある。図７は、比較例の接合体５ｃを示した説明図である。比較例の接合体５ｃに形成された流路３０ｃは、区間ＷＣ１（図３参照）に相当する部分の形状が異なる点のみ流路３０と異なる。図７に示す区間ＷＣｃは、流路３０ｃにおいて、流路３０の区間ＷＣ１（図３参照）に相当する部分の区間である。区間ＷＣｃは、流路３０ｃを９０度以上湾曲させた区間ではあるが、幅広区間を内包していないため、幅広湾曲区間ではなく単なる湾曲区間とみなされる。区間ＷＣｃのような幅広区間を内包していない単なる湾曲区間では、冷媒の乱流が発生しやすくなっている。このような乱流は冷却効果を生じさせるため、乱流が発生した位置周辺の領域は低温となることから、基板Ｗが載置される載置面２１（図１，２参照）における温度分布の不均一化を助長する。

この点、本実施形態の保持装置１における幅広湾曲区間（例えば図４の区間ＷＣ１）には幅広区間（例えば図４の幅広区間ＷＤ）が内包されていることから、幅広湾曲区間における乱流の発生を抑制することができる。その結果、幅広湾曲区間での乱流が発生することによる冷却効果が緩和されることから、基板Ｗが載置される載置面２１内における温度分布の均一性を向上させることができる。

流路３０に含まれる幅広湾曲区間および隔離湾曲区間のうち、次に、隔離湾曲区間について説明する。図３にハッチングで示された区間ＳＣ１は、隔離湾曲区間の１例である。図３に示したような横断面において、隔離湾曲区間は、流路３０を９０度以上湾曲させた区間であり、その区間の一端と他端との間における流路３０が形成されていない非形成部分（図８に非形成部分ＮＦとして例示）の長さ（図８に長さＳＰとして例示）が設定距離以上である区間である。詳細は、図８を用いて説明する。なお本実施形態では、隔離湾曲区間の長さは、図３に示すような横断面における流路３０の全長のうちの１割以下の長さである。すなわち、区間ＳＣ１の長さは、流路３０の全長のうちの１割以下の長さである。

図８は、図３に示した区間ＳＣ１の拡大図である。図８には、中央線Ｌｓと、一端Ｅｓ１と、他端Ｅｓ２と、が示されている。中央線Ｌｓは、隔離湾曲区間内の流路３０の中央線である。すなわち、中央線Ｌｓは、隔離湾曲区間内の流路３０の各位置における幅の二等分線である。一端Ｅｓ１および他端Ｅｓ２は、隔離湾曲区間の一端と他端である。

図８を用いて、隔離湾曲区間とみなされる区間が満たしている２つの要件について説明する。まず１つ目の要件について説明する。区間ＳＣ１において、一端Ｅｓ１の位置における中央線Ｌｓの接線Ｔｓ１と、他端Ｅｓ２の位置における中央線Ｌｓの接線Ｔｓ２と、のなす角度は、上述した幅広湾曲区間と同様に、９０度以上となっている（図５参照）。すなわち、区間ＳＣ１は、流路３０を９０度以上湾曲させた区間である。このように、流路３０のうち隔離湾曲区間とみなされる区間は、上述した幅広湾曲区間と同様に、湾曲区間であることを満たしている。

次に２つ目の要件について説明する。区間ＳＣ１において、一端Ｅｓ１と他端Ｅｓ２との間における流路３０が形成されていない非形成部分ＮＦの長さＳＰは設定距離以上となっている。設定距離とは、一端Ｅｓ１の位置における流路の幅Ｓｓ１と他端Ｅｓ２の位置における流路の幅Ｓｓ２とを合わせた長さのことである。ここでいう流路３０の幅とは、中央線Ｌｓの各位置での接線と直交する方向における流路３０の長さのことである。このように、流路３０のうち隔離湾曲区間とみなされる区間は、２つの要件として、湾曲区間であること、および、非形成部分の長さが設定距離以上となっていることのいずれも満たしている。

図９には、流路３０に含まれる区間ＳＣ２を示している。区間ＳＣ２は、図３，８に示した区間ＳＣ１とは異なる隔離湾曲区間であることを説明する。流路３０に含まれる区間のうち、長さが流路３０の全長のうちの１割以下の長さであって、且つ、上述した２つの要件を満たす区間は、いずれも流路３０に含まれる隔離湾曲区間とみなされる。例えば、区間ＳＣ２（図９に図示）は、区間ＳＣ１（図８に図示）とは異なる区間であるものの、上述した２つの要件を満たすことから、区間ＳＣ１と同じく幅広湾曲区間とみなされる。このように、流路３０には、位置や長さが異なる無数の隔離湾曲区間が含まれている。なお、区間ＳＣ２においては、他端Ｅｓ４の位置における流路の幅Ｓｓ４は限りなく０に近い長さであるため、設定距離は、一端Ｅｓ３の位置における流路の幅Ｓｓ３にほぼ等しくなっている。

図９に示した区間ＳＣ２は、流路出口ＯＵＴを内包した隔離湾曲区間でもある。また、隔離湾曲区間に内包されている流路出口ＯＵＴと、当該隔離湾曲区間に内包されていない流路入口ＩＮと、の間には、流路３０が配置されている（図３参照）。なお、上述したように、隔離湾曲区間の長さは、横断面における流路３０の全長のうちの１割以下の長さであるため、本実施形態において、流路入口ＩＮと流路出口ＯＵＴとのうちいずれも内包した隔離湾曲区間は存在しない。

上述したように、湾曲区間は流路３０の中でも冷媒の乱流が発生しやすい区間であり、その乱流の発生は冷却効果を生じさせることから、湾曲区間は温度が比較的低くなる傾向にある。一方、接合体５のうち流路３０が形成されていない非形成部分ＮＦは温度が比較的高くなる傾向にある。以上説明した実施形態の保持装置１における隔離湾曲区間（例えば図８の区間ＳＣ１、図９の区間ＳＣ２）では、一端と他端との間における非形成部分の長さが設定距離以上となっている。すなわち、そのような隔離湾曲区間の内側には、隔離湾曲区間を温めるための非形成部分ＮＦが十分な広さで確保されていることから、基板Ｗが載置される載置面２１内における温度分布の均一性を向上させることができる。

流路出口ＯＵＴは、流路３０の全長を通過して熱を十分に吸収した状態の冷媒が到達する位置であるため、その温度は比較的高くなる傾向にある。このように、流路出口ＯＵＴは、接合体５全体の平均温度からある程度外れた温度特異点となりやすい。そのため、流路出口ＯＵＴが隔離湾曲区間（例えば図８の区間ＳＣ１、図９の区間ＳＣ２）に含まれていることで、隔離湾曲区間における乱流の発生による冷却効果と、非形成部分ＮＦの長さを設定距離以上とすることの調整により、基板Ｗが載置される載置面２１内における温度分布の均一性を一層向上させることができる。

流路入口ＩＮは、これから接合体５の熱を吸収し始める状態の冷媒が到達する位置であるため、その温度は比較的低くなる傾向にあることから、接合体５全体の平均温度からある程度外れた温度特異点となりやすい。上述した実施形態の保持装置１では、隔離湾曲区間（例えば図８の区間ＳＣ１、図９の区間ＳＣ２）に内包されている流路出口ＯＵＴと、当該隔離湾曲区間に内包されていない流路入口ＩＮと、の間には、流路３０が配置されている。このため、温度が比較的低くなる傾向にある流路入口ＩＮと、温度が比較的高くなる傾向にある流路出口ＯＵＴと、の間は流路３０を隔てて離れていることから、流路出口ＯＵＴから流路入口ＩＮへ熱伝達が行われるのを抑制することができる。したがって、流路出口ＯＵＴからの熱伝達によって流路入口ＩＮにおける冷媒が温められるのを抑制できることから、流路入口ＩＮから流路出口ＯＵＴに至るまでの冷媒による接合体５への冷却効果を確保することができる。流路入口ＩＮと流路出口ＯＵＴとの間が比較的近くに配置される場合、上述したように両者の間に流路３０を配置することによって、両者の距離を離すようにするのが好ましい。

図３等に示された接合体５の横断面において、上述したように、流路３０が形成されていない非形成部分では温度が比較的高くなる傾向にある。したがって、横断面の各位置における非形成部分の面積が大きくならないように、当該横断面の各位置において湾曲区間を配置することが好ましい。また、当該横断面のうち外周側の部分では外縁までの面積が限られているために放熱に用いることのできる面積が限られていることから、外周側の部分においても、湾曲区間を配置することが好ましい。

＜本実施形態の変形例＞
本発明は上記の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。

上記実施形態では、幅広湾曲区間の長さおよび隔離湾曲区間の長さは、接合体５の横断面における流路３０の全長のうちの１割以下の長さであるとしていたが、これに限られない。例えば、接合体５の横断面において、上記実施形態のように１本の流路３０（１組の流路入口ＩＮおよび流路出口ＯＵＴ）が設けられているのではなく、複数本の流路（複数組の流路入口ＩＮおよび流路出口ＯＵＴ）が設けられている場合には、幅広湾曲区間の長さおよび隔離湾曲区間の長さは、接合体５の横断面に形成された複数本の流路の長さの合計の長さの１割以下の長さであってもよい。

上記実施形態では、流路３０には、幅広湾曲区間および隔離湾曲区間の各々が含まれていたが、これに限られない。流路３０には、幅広湾曲区間であって、且つ、隔離湾曲区間でもある区間が含まれていてもよい。換言すれば、流路３０には、湾曲区間であること、幅広区間を内包していること、および、非形成部分の長さが設定距離以上となっていることのいずれも満たしている区間が含まれていてもよい。また、流路３０には、幅広湾曲区間と隔離湾曲区間とのうちいずれか一方だけが含まれていてもよい。

上記実施形態では、流路３０には、流路出口ＯＵＴを内包した隔離湾曲区間が含まれていたが、これに限られない。流路３０には、流路入口ＩＮを内包した隔離湾曲区間が含まれていてもよい。すなわち、流路３０には、流路入口ＩＮと流路出口ＯＵＴとのうちいずれかを内包した隔離湾曲区間が含まれていてもよい。また、流路３０に流路入口ＩＮを内包した隔離湾曲区間が含まれている場合、流路入口ＩＮから流路出口ＯＵＴに至るまでの冷媒による接合体５への冷却効果を確保する観点から、隔離湾曲区間に内包されている流路入口ＩＮと、当該隔離湾曲区間に内包されていない流路出口ＯＵＴと、の間には、流路３０が配置されている方が好ましい。

以上、実施形態、変形例に基づき本態様について説明してきたが、上記した態様の実施の形態は、本態様の理解を容易にするためのものであり、本態様を限定するものではない。本態様は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本態様にはその等価物が含まれる。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することができる。

１…保持装置
５…接合体
５ａ…穴
１０…基台
１１…第１基台
１１ａ，１１ｂ…（第１基台の）主面
１２…第２基台
１２ａ，１２ｂ…（第２基台の）主面
１２ｂ…主面
１４…穴
２０…セラミックス基材
２０ａ，２０ｂ…（セラミックス基材の）主面
２１…載置面
２２…フォーカスリング用載置面
２３…穴
２４…電極
３０…流路
ＦＲ…フォーカスリング
ＩＮ…流路入口
ＮＦ…非形成部分
ＯＵＴ…流路出口

Claims (1)

1. 保持装置であって、
   対象物が載置される載置面を有し、内部には冷媒が流れる流路が形成された板状部材を備え、
   前記流路が形成されている位置での前記板状部材の横断面において、前記流路には、前記流路の幅が広い幅広区間を内包しつつ前記流路を９０度以上湾曲させた幅広湾曲区間が含まれており、
   前記幅広区間における前記流路の幅は、前記幅広湾曲区間の一端の位置における前記流路の幅および前記幅広湾曲区間の他端の位置における前記流路の幅のいずれよりも広く、
   前記横断面において、前記幅広湾曲区間に内包されている前記幅広区間の内側を画定している流路壁の形状は丸みを帯びた形状であることを特徴とする、保持装置。