以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。
なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分又は同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する。また、同様の機能を指す場合には、ハッチングパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。
なお、本明細書で説明する各図において、各構成要素の大きさ、層の厚さ、又は領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。
なお、本明細書等における「第1」、「第2」等の序数詞は、構成要素の混同を避けるために付すものであり、数的に限定するものではない。
また、本明細書等において、「膜」という用語と、「層」という用語とは、互いに入れ替えることが可能である。例えば、「導電層」又は「絶縁層」という用語は、「導電膜」又は「絶縁膜」という用語に相互に交換することが可能な場合がある。
なお、本明細書等において、EL層とは発光素子の一対の電極間に設けられ、少なくとも発光性の物質を含む層(発光層とも呼ぶ。)、又は発光層を含む積層体を指すものとする。
本明細書等において、表示装置の一態様である表示パネルは表示面に画像等を表示(出力)する機能を有するものである。したがって表示パネルは出力装置の一態様である。
また、本明細書等では、表示パネルの基板に、例えばFPC(Flexible Printed Circuit)又はTCP(Tape Carrier Package)などのコネクターが取り付けられたもの、又は基板にCOG(Chip On Glass)方式等によりICが実装されたものを、表示パネルモジュール、表示モジュール、又は単に表示パネルなどと呼ぶ場合がある。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の構成例、及び表示装置の作製方法例について説明する。
本発明の一態様は、発光素子(発光デバイスともいう。)と、受光素子(受光デバイスともいう。)を有する表示装置である。発光素子は、一対の電極と、その間にEL層を有する。受光素子は、一対の電極と、その間に光電変換層を有する。発光素子は、有機EL素子(有機電界発光素子)であることが好ましい。受光素子は、有機フォトダイオード(有機光電変換素子)であることが好ましい。
また、表示装置は、異なる色を発する2つ以上の発光素子を有することが好ましい。異なる色を発する発光素子は、それぞれ異なる材料を含むEL層を有する。例えば、それぞれ赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の光を発する3種類の発光素子を有することで、フルカラーの表示装置を実現することができる。
本発明の一態様は、複数の受光素子によって撮像することができるため、撮像装置として機能する。このとき、発光素子は、撮像のための光源として用いることができる。また、本発明の一態様は、複数の発光素子によって画像を表示することが可能なため、表示装置として機能する。したがって、本発明の一態様は、撮像機能を有する表示装置、又は表示機能を有する撮像装置ということができる。
例えば、本発明の一態様の表示装置は、表示部に発光素子がマトリクス状に配置され、さらに表示部には、受光素子がマトリクス状に配置される。そのため、表示部は、画像を表示する機能と、受光部としての機能を有する。表示部に設けられる複数の受光素子により画像を撮像することができるため、表示装置は、イメージセンサ又はタッチパネルなどとして機能することができる。すなわち、表示部で画像を撮像すること、又は対象物が近づくこと、又は接触することを検出することなどができる。さらに、表示部に設けられる発光素子は、受光の際の光源として利用することができるため、表示装置とは別に光源を設ける必要がなく、電子部品の部品点数を増やすことなく機能性の高い表示装置を実現することができる。
本発明の一態様は、表示部が有する発光素子の発光を対象物が反射した際に、受光素子がその反射光を検出できるため、暗い環境でも撮像又はタッチ(非接触を含む。)の検出などを行うことができる。
また、本発明の一態様の表示装置は、表示部に指、掌などを接触させた場合に、指紋又は掌紋を撮像することができる。そのため、本発明の一態様の表示装置を備える電子機器は、撮像した指紋、又は掌紋などの画像を用いて、個人認証を実行することができる。これにより、指紋認証又は掌紋認証などのための撮像装置を別途設ける必要がなく、電子機器の部品点数を削減することができる。また、表示部にはマトリクス状に受光素子が配置されているため、表示部のどの場所であっても指紋又は掌紋などの撮像を行うことができ、利便性に優れた電子機器を実現することができる。
他の生体認証方法として、顔認証があるが、マスクをした状態では認証精度が著しく低下するなど、状況に応じて認証の精度に差が生じる恐れがある。一方、指紋、掌紋、又は静脈などを用いた認証方法は、測定環境などによる認証精度の差はほとんどないため、より精度の高い認証方法といえる。
受光素子によって指紋などの撮像を行う際、表示部が有する発光素子の発光を光源として用いることができる。このとき、発光素子を瞬間的(例えば100μs以上、100ms以下)に発光させることが好ましい。発光時間を短くすることで、高輝度で発光させたとしても発光素子の劣化を抑制することができる。また、瞬間的かつ高輝度な発光を用いて撮像することにより、コントラスト(陰影)が強調された像を得ることができるため、指紋などの凹凸形状をより鮮明に撮像することができる。
ここで、異なる色の発光素子間で、EL層の一部又は全部を作り分ける場合、ファインメタルマスク(以下、FMM:Fine Metal Maskとも表記する。)などのシャドーマスクを用いた蒸着法により形成することが知られている。しかしながら、この方法では、FMMの精度、FMMと基板との位置ずれ、FMMのたわみ、及び蒸気の散乱などによる成膜される膜の輪郭の広がりなど、様々な影響により、島状の有機膜の形状及び位置に設計からのずれが生じるため、高精細化、及び高開口率化が困難である。そのため、ペンタイル配列などの特殊な画素配列方式を適用することなどにより、疑似的に精細度(画素密度ともいう。)を高める対策が取られていた。
なお、本明細書等において、島状とは、同一工程で形成された同一材料を用いた2以上の層が物理的に分離されている状態であることを示す。例えば、島状の発光層とは、当該発光層と、隣接する発光層とが、物理的に分離されている状態であることを示す。
FMMを用いた作製方法において、少しでも高精細化、高開口率化を達成するために、隣接する2つの島状の有機膜の一部が重なるように形成することができる。これにより、2つの島状の有機膜を重ねない場合に比べて、発光領域間の距離を格段に縮めることができる。しかしながら、隣接する2つの島状の有機膜を重ねて形成した場合、隣接する2つの発光素子間において、重ねて形成した有機膜を介して電流のリークが生じ、意図しない発光が生じてしまう場合がある。これにより、輝度の低下、コントラストの低下などが生じ、表示品位が低下してしまう。また、リーク電流によって電力効率、消費電力などが悪化してしまう。
また、発光素子と受光素子との間に、同様のリーク電流が生じる場合には、当該リーク電流が、受光素子で撮像を行う際のノイズの要因となるため、撮像の感度(シグナル-ノイズ比(S/N比))が低下してしまう恐れがある。
そこで本発明の一態様では、発光素子の一対の電極間に位置する有機層の一部又は全部、及び、受光素子の一対の電極間に位置する有機層の一部又は全部を、フォトリソグラフィ法により加工する。このとき、隣接する発光素子間、及び隣接する発光素子と受光素子間において、有機層同士が分離し、接触しないように加工することが好ましい。これにより、隣接する発光素子間、及び隣接する発光素子と受光素子との間の、有機層を介した電流のリーク経路(リークパス)を分断することができる。
発光素子と受光素子との間のリーク電流(サイドリーク、サイドリーク電流ともいう。)が抑制されることで、S/N比の高い高精度な撮像を行うことができる。そのため、微弱な光を検出する場合であっても、鮮明な撮像を行うことができる。そのため、撮像時に光源として用いる発光素子の輝度を低くすることができ、消費電力を低減することができる。
また隣接する2つの発光素子間で、電流のリーク経路(リークパス)が分断されることで、発光素子の輝度を高めること、コントラストを高めること、電力効率を高めること、又は消費電力を低減すること、などを同時に実現することができる。
さらに、エッチングにより露出した有機積層膜の側面を保護するために、絶縁層を形成することが好ましい。これにより、表示装置の信頼性を高めることができる。
隣接する2つの発光素子間、及び互いに隣接する発光素子と受光素子との間には、受光素子及び発光素子の有機層が設けられない領域を有する。当該領域を覆って共通電極、又は共通電極及び共通層を形成する場合、共通電極がEL層の端部の段差により分断されてしまう現象(段切れともいう。)が生じ、EL層上の共通電極が絶縁してしまう場合がある。そこで、隣接する2つの発光素子間、及び互いに隣接する発光素子と受光素子との間に位置する局所的な段差を、平坦化膜として機能する樹脂層により埋める構成(LFP:Local Filling Planarizationともいう。)とすることが好ましい。これにより、共通層又は共通電極の段切れを抑制し、信頼性の高い表示装置を実現することができる。
上記樹脂層は、EL層と接して設けると、樹脂層の形成時に用いる溶媒などで、EL層が溶解してしまう恐れがある。そこで、上記EL層の側面を保護する絶縁層を、EL層と樹脂層との間に設けることが好ましい。すなわち、EL層の端部において、EL層の側面及び上面に接して無機絶縁層を設け、当該無機絶縁層上に、樹脂層を設ける構成とすることが好ましい。
また、互いに隣接する発光素子と受光素子との間、例えば上述の平坦化膜として機能する樹脂層上又は樹脂層と重なる領域に、遮光性の材料を含む遮光層を形成することが好ましい。こうすることにより、発光素子から受光素子に拡散する光(迷光ともいう。)の経路を、当該遮光層によって遮断することができる。迷光は、受光素子で撮像を行う際のノイズの要因となるため、迷光を遮断する構成とすることで、撮像の感度(シグナル-ノイズ比(S/N比))を高めることができる。
このように、発光素子から、隣接する受光素子へ、迷光が入射するのを遮断する構成とすることで、撮像時のノイズの影響を極めて低く抑えることが可能となり、撮像の感度を極めて高くすることができる。
また、本発明の一態様では、白色発光の発光素子と、カラーフィルタとを組み合わせた表示装置とすることもできる。この場合、異なる色の光を呈する画素(副画素)に設けられる発光素子に、それぞれ同じ構成の発光素子を適用することができ、それぞれの発光素子が有する全ての層を、それぞれの発光素子間で同じ材料を用いて形成することができる。さらに、それぞれの発光素子の間に位置するEL層の一部又は全部を、フォトリソグラフィ法により分断することにより、それぞれの発光素子の間に位置するEL層を介したリーク電流が抑制され、コントラストの高い表示装置を実現することができる。特に導電性の高い中間層を介して、複数の発光層を積層したタンデム構造を有する素子では、当該中間層を介したリーク電流を効果的に防ぐことができるため、高い輝度、高い精細度、及び高いコントラストを兼ね備えた表示装置を実現することができる。
以下では、本発明の一態様の表示装置の、より具体的な構成例及び作製方法例について、図面を参照して説明する。
[構成例]
図1Aに、表示装置100の上面概略図を示す。表示装置100は、赤色を呈する発光素子110R、緑色を呈する発光素子110G、青色を呈する発光素子110B、及び受光素子110Sを、それぞれ複数有する。図1Aでは、各発光素子又は受光素子の区別を簡単にするため、各発光素子の発光領域内又は受光素子の受光領域内にR、G、B、Sの符号を付している。
発光素子110R、発光素子110G、発光素子110B、及び受光素子110Sは、それぞれマトリクス状に配列している。図1Aは、一方向(行方向、列方向、又は斜め方向)に2種類の素子が交互に配列する構成を示している。なお、発光素子及び受光素子の配列方法はこれに限られず、ストライプ配列、Sストライプ配列、デルタ配列、ベイヤー配列、ジグザグ配列などの配列方法を適用してもよいし、ペンタイル配列、ダイヤモンド配列などを用いることもできる。
発光素子110R、発光素子110G、及び発光素子110Bとしては、OLED(Organic Light Emitting Diode)、又はQLED(Quantum-dot Light Emitting Diode)などのEL素子を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質としては、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(Thermally Activated Delayed Fluorescence:TADF)材料)、無機化合物(量子ドット材料など)などが挙げられる。
受光素子110Sとしては、例えば、pn型又はpin型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子110Sは、受光素子110Sに入射する光を検出し、電荷を発生させる光電変換素子として機能する。光電変換素子は、入射する光量に応じて、発生する電荷量が決まる。特に、受光素子110Sとしては、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードを用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な装置に適用できる。
また、図1Aには、共通電極113と電気的に接続する接続電極111Cを示している。接続電極111Cには、共通電極113に供給するための電位(例えばアノード電位、又はカソード電位)が与えられる。接続電極111Cは、発光素子110Rなどが配列する表示領域の外に設けられる。なお、図1Aでは、共通電極113を破線で示している。
接続電極111Cは、表示領域の外周に沿って設けることができる。例えば、表示領域の外周の一辺に沿って設けられていてもよいし、表示領域の外周の二辺以上にわたって設けられていてもよい。すなわち、表示領域の上面形状が長方形である場合には、接続電極111Cの上面形状は、帯状、L字状、コの字状(角括弧状)、又は四角形などとすることができる。
図1B、図1Cは、それぞれ、図1A中の一点鎖線A1-A2、一点鎖線B1-B2に対応する断面概略図である。図1Bには、発光素子110B、受光素子110S、及び発光素子110Gの断面概略図を示し、図1Cには、接続電極111Cと共通電極113とが電気的に接続される接続部140の断面概略図を示している。
図1Bには、発光素子110B、受光素子110S、及び発光素子110Gの断面を示している。発光素子110R(図示しない。)、発光素子110G、発光素子110B、及び受光素子110Sは、それぞれ基板101上に設けられている。また、発光素子110R、発光素子110G、発光素子110B、及び受光素子110Sを覆って、接着層171及び基板170を有する。
発光素子110R(図示しない。)は、画素電極111R、有機層112R(いずれも図示しない。)、共通層114、及び共通電極113を有する。発光素子110Gは、画素電極111G、有機層112G、共通層114、及び共通電極113を有する。発光素子110Bは、画素電極111B、有機層112B、共通層114、及び共通電極113を有する。受光素子110Sは、画素電極111S、有機層155、共通層114、及び共通電極113を有する。共通層114と共通電極113は、発光素子110R、発光素子110G、発光素子110B、及び受光素子110Sに共通に設けられる。
発光素子110R(図示しない。)が有する有機層112R(図示しない。)は、少なくとも赤色の波長域に強度を有する光を発する発光性の有機化合物を有する。発光素子110Gが有する有機層112Gは、少なくとも緑色の波長域に強度を有する光を発する発光性の有機化合物を有する。発光素子110Bが有する有機層112Bは、少なくとも青色の波長域に強度を有する光を発する発光性の有機化合物を有する。有機層112R、有機層112G、及び有機層112Bは、それぞれ発光層を有する層とも呼ぶことができる。
受光素子110Sが有する有機層155は、可視光又は赤外光の波長域に感度を有する光電変換材料を有する。有機層155が有する光電変換材料は、発光素子110Rが発する光の波長域、発光素子110Gが発する光の波長域、又は発光素子110Bが発する光の波長域のうち、1以上に対して感度を有することが好ましい。又は、発光素子110Rが発する光の波長域よりも長波長の赤外光に感度を有する光電変換材料を用いてもよい。有機層155は、活性層、又は光電変換層とも呼ぶことができる。
以下では、発光素子110R、発光素子110G、及び発光素子110Bに共通する事項を説明する場合には、発光素子110と呼称して説明する場合がある。同様に、画素電極111R、画素電極111G、画素電極111B、あるいは、有機層112R、有機層112G、有機層112Bなど、アルファベットで区別する構成要素についても、これらに共通する事項を説明する場合には、アルファベットを省略した符号を用いて説明する場合がある。
各発光素子110において、画素電極111と、共通電極113との間に位置する積層膜(有機層112及び共通層114)を、EL層と呼ぶことができる。また受光素子110Sにおいて、画素電極111Sと、共通電極113との間に位置する積層膜(有機層155及び共通層114)をPD層と呼ぶことができる。
有機層112、及び共通層114は、それぞれ独立に電子注入層、電子輸送層、正孔注入層、及び正孔輸送層のうち、1以上を有することができる。また、有機層112は発光層を有する。例えば、有機層112が、画素電極111側から正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層の積層構造を有し、共通層114が電子注入層を有する構成とすることができる。また例えば、共通層114には有機化合物を含まず、無機化合物又は無機物のみを含む膜を用いる構成とすることもできる。
画素電極111R(図示しない。)、画素電極111G、及び画素電極111Bは、それぞれ発光素子110R(図示しない。)、発光素子110G、及び発光素子110Bに設けられている。また、共通層114及び共通電極113は、各発光素子110及び受光素子110Sに共通の一続きの層として設けられている。各画素電極111と共通電極113のいずれか一方には、可視光に対して透光性を有する導電膜を用い、他方には、反射性を有する導電膜を用いる。各画素電極111を透光性、共通電極113を反射性とした場合、下面射出型(ボトムエミッション型)の表示装置とすることができる。反対に、各画素電極111を反射性、共通電極113を透光性とした場合、上面射出型(トップエミッション型)の表示装置とすることができる。また、各画素電極111と共通電極113の双方を透光性とすることで、両面射出型(デュアルエミッション型)の表示装置とすることもできる。
共通電極113上には、各発光素子110及び受光素子110Sを覆って、保護層121が設けられている。保護層121は、上方(基板170側)から各発光素子110及び受光素子110Sに水などの不純物が拡散することを防ぐ機能を有する。
画素電極111の端部はテーパ形状を有することが好ましい。画素電極111の端部がテーパ形状を有する場合、画素電極111の側面に沿って設けられる有機層112又は有機層155の側面も、テーパ形状を有する。画素電極111の側面をテーパ形状とすることで、画素電極111の側面に沿って設けられる有機層112又は有機層155の被覆性を高めることができる。また、画素電極111の側面をテーパ形状とすることで、作製工程中に生じ得る異物(例えば、ゴミ、又はパーティクルなどともいう。)を、洗浄などの処理により除去することが容易となり好ましい。
なお、本明細書等において、テーパ形状とは、構造物の側面の少なくとも一部が、基板面(又は被形成面)に対して傾斜して設けられている形状のことを指す。例えば、傾斜した側面と基板面(又は被形成面)とがなす角(テーパ角ともいう。)が90度未満である領域を有する形状のことを指す。なお、構造物の側面及び基板面(又は被形成面)は、必ずしも完全に平坦である必要はなく、微細な曲率を有する略平面状、又は微細な凹凸を有する略平面状であってもよい。
有機層112及び有機層155は、フォトリソグラフィ法により島状に加工されている。そのため、有機層112及び有機層155は、その端部において、上面と側面とのなす角が90度に近い形状となる。一方、FMMなどを用いて形成された有機膜は、その厚さが端部に近いほど徐々に薄くなる傾向があり、例えば1μm以上10μm以下の範囲にわたって、上面がスロープ状に形成されるため、上面と側面の区別が困難な形状となる場合がある。有機層112及び有機層155は、側面と底面(基板面)とのなす角(テーパ角)が10度以上120度以下、好ましくは20度以上100度以下、より好ましくは30度以上95度以下、さらに好ましくは45度以上90度以下である領域を有するように、加工されていることが好ましい。
図1Bに示すように、互いに隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間には、絶縁層125、樹脂層126、及び遮光層123を有する。
互いに隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間において、有機層112の側面と有機層155の側面とが、樹脂層126を挟んで対向して設けられている。
樹脂層126は、有機層112又は有機層155の端部の段差を緩和するための平坦化膜として機能する。樹脂層126を設けることにより、共通電極113が有機層112又は有機層155の端部の段差により分断されてしまう現象(段切れともいう。)が生じ、有機層112又は有機層155上の共通電極113が絶縁してしまうことを防ぐことができる。樹脂層126は、LFPともいうことができる。
樹脂層126としては、有機材料を有する絶縁層を好適に用いることができる。例えば、樹脂層126として、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、イミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シリコーン樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、これら樹脂の前駆体等を適用することができる。また、樹脂層126として、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルブチラール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリグリセリン、プルラン、水溶性のセルロース、又はアルコール可溶性のポリアミド樹脂などの有機材料を用いてもよい。
また、樹脂層126として、感光性の樹脂を用いることができる。感光性の樹脂としてはフォトレジストを用いてもよい。感光性の樹脂は、ポジ型の材料、又はネガ型の材料を用いることができる。
樹脂層126は、可視光を吸収する材料を含んでいてもよい。例えば、樹脂層126自体が可視光を吸収する材料により構成されていてもよいし、樹脂層126が、可視光を吸収する顔料を含んでいてもよい。樹脂層126としては、例えば、赤色、青色、又は緑色の光を透過し、他の光を吸収するカラーフィルタとして用いることのできる樹脂、又はカーボンブラックを顔料として含み、ブラックマトリクスとして機能する樹脂などを用いることができる。
樹脂層126上には、共通層114、共通電極113、及び保護層121が設けられている。共通層114、共通電極113、及び保護層121は、それぞれ有機層112を介して画素電極111と重なる部分と、有機層155を介して画素電極111Sと重なる部分と、樹脂層126と重なる部分と、を有する。
樹脂層126の上面(基板170側)は、略平坦な形状を有している。当該上面上には、共通層114、共通電極113、及び保護層121を介して、遮光層123が設けられている。遮光層123は、発光素子110が発する光が、表示装置100の外部に出ることなく、隣接する受光素子110Sに入射するのを防ぐ(迷光防止)機能を有する。
また、保護層121及び遮光層123を覆うように接着層171が設けられ、接着層171上には基板170が設けられている。基板170の基板101と対向する側には、平面視にて、樹脂層126と重なる領域を有するように遮光層172が設けられている。
遮光層172は、平面視において、互いに隣接する発光素子110間、及び、互いに隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間に設けられている。
遮光層172のうち、平面視において、受光素子110Sを囲うように設けられる遮光層172は、受光素子110Sに入射される光を絞る機能を有する。これにより、鮮明な像を撮像することが可能となる。
また遮光層172は、非発光領域及び非受光領域に配置される配線、電極などの構造物が、ユーザから視認されないように隠す機能を有する。これにより、当該領域における反射光によるコントラストの低下を防ぎ、表示品位を高めることができる。
なお遮光層172は、平面視において、互いに隣接する発光素子110間には配置せず、互いに隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間にのみ配置する構成としてもよい。こうすることで、斜め方向から見たときの明るさ及び色度の変化(視野角依存性)が小さく、かつ鮮明な像を撮像可能な表示装置を実現することができる。
遮光層172の基板101と対向する面上には、前述した樹脂層126上同様、迷光防止機能を有する遮光層123が設けられている。
遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた遮光層123は、保護層121上の遮光層123と同じ材料で形成することができる。また、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた遮光層123は、遮光層172と同じ材料で形成してもよい。
なお、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた遮光層123と、保護層121上の遮光層123は、平面視において、互いの間に隙間を有するように互い違い(櫛歯状)に設けられることが好ましい。このように、本発明の一態様では、隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間に遮光層123を櫛歯状に設けることによって、遮光層123を有さない場合よりも、撮像時のノイズの影響が抑えられた撮像感度の高い表示装置を実現することができる。
なお図1Bでは、遮光層123が、全て同一の形状、大きさで示されているが、この限りではない。本発明の一態様では、表示装置100が有する複数の遮光層123は、それぞれ異なる形状、大きさを有していてもよい。
また、図1Bには示していないが、遮光層123は、隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間だけでなく、互いに隣接する発光素子110間に設けてもよい。こうすることで、隣接する発光素子110間において、それぞれが発する異なる色の光同士が混ざり合い、当該混ざり合った光が、発光素子110からの発光として、表示装置100の外部に射出するのを防ぐことができる。これにより、発光素子110から発せられる光の色純度の低下、及び、これに起因する表示装置100の表示品位の低下を抑制することができる。
遮光層123は、少なくとも可視光の一部を吸収する材料を含むことが好ましい。例えば、発光素子110R、発光素子110G、及び発光素子110Bが発する光のうち、少なくとも1以上の光を吸収する材料を含むことが好ましい。例えば、遮光層123自体が可視光を吸収する材料(例えば、有色の有機材料又は無機材料)により構成されていてもよいし、遮光層123が、可視光を吸収する顔料を含んでいてもよい。遮光層123としては、例えば、カーボンブラックを顔料として含み、ブラックマトリクスとして機能する樹脂、又は赤色、青色、若しくは緑色の光を透過し、他の光を吸収するカラーフィルタとして用いることのできる樹脂などを用いることができる。
遮光層172は、遮光層123と同じ材料(上記)を用いて形成することができる。
絶縁層125は、有機層112又は有機層155の側面に接して設けられている。また、絶縁層125は、有機層112又は有機層155の上端部を覆って設けられている。また絶縁層125の一部は、基板101の上面に接して設けられている。
絶縁層125の一部は、有機層112又は有機層155と、樹脂層126との間に位置し、樹脂層126が有機層112又は有機層155と接することを防ぐための保護層として機能する。有機層112又は有機層155と樹脂層126とが接すると、樹脂層126の形成時に用いられる有機溶媒などにより、有機層112又は有機層155が溶解する可能性がある。そのため、このような絶縁層125を設けることで、有機層112又は有機層155の側面を保護することが可能となる。また、絶縁層125により、有機層112又は有機層155の側面が大気に曝されることを防ぐことができる。これにより、信頼性の高い発光素子110及び受光素子110Sを作製することができる。
絶縁層125は、無機材料を有する絶縁層とすることができる。絶縁層125には、例えば、酸化絶縁膜、窒化絶縁膜、酸化窒化絶縁膜、窒化酸化絶縁膜などの無機絶縁膜を用いることができる。絶縁層125は単層構造であってもよく、積層構造であってもよい。酸化絶縁膜としては、酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化マグネシウム膜、インジウムガリウム亜鉛酸化物膜、酸化ガリウム膜、酸化ゲルマニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ランタン膜、酸化ネオジム膜、酸化ハフニウム膜、酸化タンタル膜などが挙げられる。窒化絶縁膜としては、窒化シリコン膜、窒化アルミニウム膜などが挙げられる。酸化窒化絶縁膜としては、酸化窒化シリコン膜、酸化窒化アルミニウム膜などが挙げられる。窒化酸化絶縁膜としては、窒化酸化シリコン膜、窒化酸化アルミニウム膜などが挙げられる。特に、原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法により形成した酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などの酸化金属膜、又は酸化シリコン膜などの無機絶縁膜を絶縁層125に適用することで、ピンホールが少なく、EL層を保護する機能に優れた絶縁層125を形成することができる。
なお、本明細書等において、酸化窒化物とは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化物とは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を指す。例えば、酸化窒化シリコンと記載した場合は、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多い材料を指し、窒化酸化シリコンと記載した場合は、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多い材料を指す。
絶縁層125の形成は、スパッタリング法、化学気相堆積(CVD:Chemical Vapor Deposition)法、パルスレーザー堆積(PLD:Pulsed Laser Deposition)法、ALD法などを用いることができる。絶縁層125は、被覆性が良好なALD法を用いて形成することが好ましい。
樹脂層126は、有機層112又は有機層155の上端部及び側面を覆って設けられている。また、有機層112又は有機層155の上端部と、樹脂層126との間に、層128、及び絶縁層125の一部がこの順に積層されている。層128は、有機層112又は有機層155の上端部に接して設けられている。
層128は、有機層112又は有機層155のエッチング時に、有機層112又は有機層155を保護するための保護層(マスク層、犠牲層ともいう。)の一部が残存したものである。層128には、上述した絶縁層125に用いることのできる材料を用いることができる。特に、層128と絶縁層125とに同じ材料を用いると、加工のための装置等を共通に用いることができるため、好ましい。
特に、ALD法により形成した酸化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などの酸化金属膜、又は酸化シリコン膜などの無機絶縁膜は、ピンホールが少ない。そのため、これらの膜を層128の材料に適用することで、後の工程で、EL層を保護する機能に優れた絶縁層125を形成することができる。
特に、層128には、ウェットエッチング法により加工することのできる絶縁膜を用いることが好ましい。層128は、有機層112又は有機層155の上端部に接する膜であるため、より被形成面に対するダメージの少ないウェットエッチング法を加工に用いることで、ドライエッチング法を用いる場合よりも発光素子110及び受光素子110Sの信頼性を向上させることができる。
保護層121は、共通電極113を覆うように設けられている。保護層121は、少なくとも無機絶縁膜を含む単層構造又は積層構造とすることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、酸化窒化アルミニウム膜、酸化ハフニウム膜などの酸化物膜又は窒化物膜が挙げられる。又は、保護層121として、インジウムガリウム酸化物、インジウム亜鉛酸化物、インジウムスズ酸化物、インジウムガリウム亜鉛酸化物などの半導体材料又は導電材料を用いてもよい。
図1Cには、接続電極111Cと共通電極113とが電気的に接続する接続部140を示している。接続部140では、接続電極111C上において、層128、絶縁層125、及び樹脂層126に開口部が設けられる。当該開口部において、接続電極111Cと共通電極113とが電気的に接続されている。
なお、図1Cには、接続電極111Cと共通電極113とが電気的に接続する接続部140を示しているが、接続電極111C上に共通層114を介して共通電極113が設けられていてもよい。特に、共通層114にキャリア注入層を用いる場合などでは、共通層114に電気抵抗率が十分に低い材料を用いることができる上、厚さも薄く形成することができる。そのため、共通層114が接続部140に位置していても、問題ない場合が多い。この構成の場合、共通電極113と共通層114とを、同じ遮蔽マスクを用いて形成することができるため、製造コストを低減することができる。
図2A及び図2Bは、本発明の一態様の表示装置100に設けられる遮光層123の効果について説明する図である。なお、図2Aでは、遮光層123を有さない場合の断面図を、図2Bでは、遮光層123を有する場合の断面図を、それぞれ示している。
図2Aは、表示装置が遮光層123を有さない場合の、発光素子110が発する光の経路を簡易的に示した図である。
図2Aに示すように、発光素子110B及び発光素子110G(図示していないが、発光素子110Rについても同様。)が基板170側に発する光のうち、当該発光素子110と隣接する受光素子110S寄りに拡散する光の一部(光180)は、当該発光素子110と受光素子110Sとの間に設けられた遮光層172に向かって直進する。
前述したように、遮光層172は、可視光を吸収する材料又は可視光を吸収する顔料を含む材料で形成することができる。そのため、遮光層172に入射する光180は、その一部が遮光層172に吸収され、強度を弱める。しかし、遮光層172が吸収しきれなかった残りの光については、遮光層172で反射され、基板101側へと進行方向を変える。
遮光層172で反射された光の一部は、隣接する受光素子110Sに入射する。また、これとは別の反射光は、遮光層172と対向する保護層121で反射され、基板170側へと進行方法を変える。当該反射光は、前述の遮光層172に再度入射し、その一部が吸収され、残りが反射される。そして、反射された光の一部は、隣接する受光素子110Sに入射する。
受光素子110Sに入射しなかった光についても、上記挙動を繰り返すことで、最終的にはその一部が受光素子110Sに入射する。図2Aでは、一例として、発光素子110が発する光のうち、遮光層172で1回反射して隣接する受光素子110Sに入射する光の経路と、遮光層172と保護層121とで計3回反射して隣接する受光素子110Sに入射する光の経路について示している。
以上のように、表示装置が遮光層123を有さない場合、受光素子110Sが、隣接する発光素子110が発する光の一部を迷光として受光してしまう可能性がある。当該迷光は、表示装置が受光素子110Sで撮像を行う際のノイズ要因になり得るため、受光素子110Sが迷光を受光することで、表示装置の撮像感度(S/N比)が低下してしまう。したがって、表示装置の撮像感度を高めるためには、迷光等のノイズ要因を可能な限り除去することが好ましい。
図2Bは、表示装置が遮光層123を有する場合の、発光素子110が発する光の経路を簡易的に示した図である。
光180のうち、図2Aで3回の反射によって受光素子110Sに入射していた光については、図2Bでは、遮光層172に設けられた2つの遮光層123のうち、発光素子110に近い側の遮光層123の側面に入射している。前述したように、遮光層123は、可視光を吸収する材料又は可視光を吸収する顔料を含む材料で形成することができる。そのため、遮光層123に入射する光の一部については、遮光層123に吸収される。そして、遮光層123が吸収しきれなかった残りの光については、遮光層123で反射され、基板170側へと進行方向を変える。当該光の進行経路は遮光層172で遮られていないため、最終的に、当該光は基板170を透過して外部に射出される(図示しない。)。
また、光180のうち、図2Aで1回の反射によって受光素子110Sに入射していた光については、図2Bでは、遮光層172に設けられた2つの遮光層123のうち、発光素子110に近い側の遮光層123の底面でその一部が反射される。そして、当該反射光は、保護層121上に設けられた遮光層123の側面に向かって入射する。当該入射光の一部は、遮光層123によって吸収され、強度を弱める。残りの光は、遮光層123によって基板101側に反射される。
なお本発明の一態様では、表示装置100は、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた2つの遮光層123を有しており、保護層121上に設けられた1つの遮光層123との間に、平面視にて隙間を有するように櫛歯状に配置されている。そのため、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた、発光素子110に近い側の遮光層123と、保護層121上に設けられた遮光層123と、の間に侵入する光(図示しない。)があったとしても、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられたもう1つの遮光層123によって進路が遮断され、当該光が受光素子110Sに入射するのを防ぐことができる。
なお、図1B及び図2Bでは、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた遮光層123を2つ、保護層121上に遮光層123を1つ設けた構成を例示しているが、この限りではない。本発明の一態様では、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた遮光層123は1つであってもよいし、3つ以上であってもよい。また、保護層121上の遮光層123は2つ以上であってもよい。
以上のように、本発明の一態様の表示装置100は、互いに隣接する発光素子110と、受光素子110Sと、の間に櫛歯状の遮光層123を有することによって、発光素子110が発する光の一部が、迷光として、隣接する受光素子110Sに入射してしまうのを防ぐことができる。これにより、撮像時のノイズを低減することができる。また、S/N比の高い、高感度な撮像を行う表示装置を実現することができる。
[変形例1]
以下では、上記構成例の変形例について説明する。なお、上記と重複する部分はこれを参照し、説明を省略する場合がある。
図3Aは、図1Bに示す表示装置100が有する、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた2つの遮光層123のうち、受光素子110Sに近い側に位置する1つを取り除いた構成例である。図3Aでは、2つの遮光層123の配置が、全体的に受光素子110Sよりも発光素子110に近い構成となっているが、この限りではない。本発明の一態様では、2つの遮光層123は受光素子110Sに近い位置に配置していてもよい。又は、2つの遮光層123は、隣り合う発光素子110と受光素子110Sとの間の、ちょうど中間に位置していてもよい。当該構成により、表示装置の作製工程(後述する。)において、基板101側に設ける構造物と、基板170側に設ける構造物と、を貼り合わせる際の位置合わせ精度が、図1Bに示す表示装置100の場合ほど求められなくなるため、表示装置の作製しやすさの観点から好適である。
図3Bは、図1Bに示す表示装置100が有する、遮光層172の基板101と対向する面上に設けられた2つの遮光層123のうち、発光素子110に近い側に位置する1つを取り除いた構成例である。図3Bでは、2つの遮光層123の配置が、全体的に発光素子110よりも受光素子110Sに近い構成となっているが、この限りではない。本発明の一態様では、2つの遮光層123が発光素子110に近い位置に配置していてもよい。又は、2つの遮光層123は、隣り合う発光素子110と受光素子110Sとの間の、ちょうど中間に位置していてもよい。当該構成により、上述した図3Aと同じ利点を享受することができる。
図3Cは、図3Aと同様に、遮光層172の基板101と対向する面上と保護層121上とに、それぞれ1つずつ遮光層123を有する構成例である。図3Cに示す構成例では、当該2つの遮光層123の大きさが、図3Aに示す構成例よりも大きい。また、当該2つの遮光層123の間の中間が、隣り合う発光素子110と受光素子110Sとの間の、ちょうど中間に位置している点が、図3Aに示す構成例と異なる。遮光層123の大きさを大きくすることで、発光素子110から隣接する受光素子110S側に拡散する光の進路を狭めることができ、好適である。
図4Aは、遮光層172の基板101と対向する面上における遮光層123の位置と、保護層121上における遮光層123の位置とが、図3Cと異なる構成例である。具体的には、図3Cに示す構成例では、遮光層172の基板101と対向する面上の遮光層123が発光素子110の近くに配置され、保護層121上の遮光層123が受光素子110Sの近くに配置されていたが、図4Aに示す構成例では、遮光層172の基板101と対向する面上の遮光層123が受光素子110Sの近くに配置され、保護層121上の遮光層123が発光素子110の近くに配置されている。
図4Bは、遮光層172の基板101と対向する面上と、保護層121上とに、それぞれ1つずつ遮光層123を有し、かつ、当該2つの遮光層123が互いに接している構成例である。このような構成とすることで、基板170と保護層121との間において、発光素子110が発する光が隣接する受光素子110Sへ到達するための経路が、2つの遮光層123によって遮断されるため好適である。また、2つの遮光層123の厚さを調整することにより、基板101と基板170との距離(ギャップともいう。)を制御することができるため、ギャップのばらつきを低減できるという副次的な効果も奏する。
図4Cは、遮光層172の基板101と対向する面上に1つの遮光層123が設けられ、保護層121上に2つの遮光層123が設けられている構成例である。
図5Aは、図1Bに示す表示装置100が、発光素子110上にレンズ173を有する場合の例である。
レンズ173は、保護層121上に接して設けられ、保護層121を介して発光素子110の画素電極111と重なる領域を有する。
レンズ173には、少なくとも可視光に対する屈折率が、レンズ173のレンズ面(凸状の表面)と接する層(ここでは、接着層171)よりも高い材料を用いることが好ましい。また、赤外光を用いて撮像を行う場合(この場合の発光素子の構成例については、実施の形態3で後述する。)には、レンズ173に、赤外光に対する屈折率が、レンズ面と接する層よりも高い材料を用いることが好ましい。
レンズ173としては、基板170と対向する側に凸形状を有する凸レンズを用いることが好ましい。発光素子110上にレンズ173を設けることで、光取り出し効率を向上させ、より高輝度な表示装置を実現することができる。また、光取り出し効率が向上するため、より低電力で所望の輝度を得ることができ、低消費電力の表示装置を実現することができる。
図5Bは、図1Bに示す表示装置100が、受光素子110S上にレンズ173を有する場合の例である。
レンズ173は、保護層121上に接して設けられ、保護層121を介して受光素子110Sの画素電極111Sと重なる領域を有する。
受光素子110S上にレンズ173を設けることにより、受光素子110Sに入射される光の量を増大させることができる。これにより、レンズ173を有さない場合よりも高感度な撮像を行うことができるため、撮像のための照明の輝度を抑え、撮像時の消費電力を低減することができる。
図5Cは、図1Bに示す表示装置100が、発光素子110上と、受光素子110S上の双方に、レンズ173を有する場合の例である。
本発明の一態様の表示装置を当該構成とすることにより、図5Aで示した構成例の利点と、図5Bで示した構成例の利点の、双方を享受することができる。
図6Aは、図5Aに示す構成において、レンズ173を基板170側に配置した場合の例である。図6Aでは、当該レンズをレンズ175としている。レンズ175は、基板101と対向する側に凸形状を有する凸レンズを用いることが好ましい。このような構成とした場合も、図5Aと同様に、発光素子110の光取り出し効率の向上が見込めるため好ましい。
図6Bは、図5Bに示す構成において、レンズ173を基板170側に配置した場合の例である。図6Bでは、当該レンズをレンズ175としている。レンズ175は、基板101と対向する側に凸形状を有する凸レンズを用いることが好ましい。このような構成とした場合も、図5Bと同様に、受光素子110Sへの入射光の光量の増大が見込めるため好ましい。
図6Cは、図6Aと図6Bの双方の構成を取り入れる場合の例である。
本発明の一態様の表示装置を当該構成とすることにより、図6Aで示した構成例の利点と、図6Bで示した構成例の利点の、双方を享受することができる。
図7Aは、図5Aに示す構成において、レンズ173の形状が異なる場合の例である。具体的には、図5Aに示す構成では、レンズ173として、断面の一部が略半球型の凸レンズを用いているが、図7Aに示す構成では、断面が略台形型のレンズを用いている。
レンズ173として、断面の一部が略半球型の凸レンズを用いる場合、当該レンズの幅と厚みがほぼ比例することから、画素サイズによっては配置できない恐れがある。これに対して、レンズ173として、断面が略台形型のレンズを用いる場合、当該レンズの幅によらず厚みを調整することが可能であるため、微小なサイズの画素に対しても配置することができ、好適である。また、基板101と基板170との距離を縮めることができるため、表示装置全体の薄膜化を図ることができる。
図7Bは、図5Bに示す構成において、断面が略台形型のレンズをレンズ173に用いる場合の例である。
図7Cは、図5Cに示す構成において、断面が略台形型のレンズをレンズ173に用いる場合の例である。
図8Aは、図6Aに示す構成において、断面が略台形型のレンズをレンズ175に用いる場合の例である。
図8Bは、図6Bに示す構成において、断面が略台形型のレンズをレンズ175に用いる場合の例である。
図8Cは、図6Cに示す構成において、断面が略台形型のレンズをレンズ175に用いる場合の例である。
図9Aは、図5Cに示す構成と図6Cに示す構成の双方を組み合わせた例である。このような構成とすることで、図5Cに示す構成のみ、又は、図6Cに示す構成のみを適用する場合よりも、発光素子110からの光取り出し効率を向上させることができる。また、受光素子110Sに入射される光の量を増大させることができる。
図9Bは、図5Cに示す構成と図8Cに示す構成の双方を組み合わせた例である。このような構成とすることで、図5Cに示す構成のみ、又は、図8Cに示す構成のみを適用する場合よりも、発光素子110からの光取り出し効率を向上させることができる。また、受光素子110Sに入射される光の量を増大させることができる。さらに、図9Aに示す構成よりも基板101と基板170との距離を縮めることができるため、表示装置全体の薄膜化を図ることができる。
図10Aは、図6Cに示す構成と図7Cに示す構成の双方を組み合わせた例である。このような構成とすることで、図6Cに示す構成のみ、又は、図7Cに示す構成のみを適用する場合よりも、発光素子110からの光取り出し効率を向上させることができる。また、受光素子110Sに入射される光の量を増大させることができる。さらに、図9B同様に、図9Aに示す構成よりも基板101と基板170との距離を縮めることができるため、表示装置全体の薄膜化を図ることができる。
図10Bは、図7Cに示す構成と図8Cに示す構成の双方を組み合わせた例である。このような構成とすることで、図7Cに示す構成のみ、又は、図8Cに示す構成のみを適用する場合よりも、発光素子110からの光取り出し効率を向上させることができる。また、受光素子110Sに入射される光の量を増大させることができる。さらに、図9B及び図10Aに示す構成よりも基板101と基板170との距離を縮めることができるため、表示装置全体の薄膜化を図ることができる。
[変形例2]
以下では、白色発光の発光素子を用いた場合の例について説明する。
図11Aは、図1Bで例示した構成において、発光素子110R(図示しない。)、発光素子110G、及び発光素子110Bに代えて、白色発光を呈する発光素子110Wを適用した場合の例である。
発光素子110Wは、画素電極111Wと、共通電極113との間に、有機層112Wと共通層114とを有する。有機層112Wは、白色光を呈する発光層を有する。例えば、補色の関係となる2種類の発光材料を有する構成とすることができる。
基板170上(基板101と対向する側)の発光素子110Wと重なる領域に、着色層174R(図示しない。)、着色層174G、又は着色層174Bを有する。着色層174Rは、赤色の光を透過し、他の色の光を吸収する機能を有する。着色層174Gは、緑色の光を透過し、他の色の光を吸収する機能を有する。着色層174Bは、青色の光を透過し、他の色の光を吸収する機能を有する。これにより、フルカラーの表示を行うことができる。
ここで、有機層112Wは、フォトリソグラフィ法により加工され、互いに隣接する発光素子110Wの間で分断されている。これにより、有機層112Wを介して各発光素子110W間にリーク電流が流れることによる混色を抑制することができる。
平面視において、互いに隣接する着色層174の間には、遮光層172を設けることが好ましい。これにより、発光素子110Wからの光が、各着色層174の間を抜けることを防止し、コントラストの低下を抑制することができる。なお、遮光層172を設けずに、2以上の着色層174を重ねることで、遮光層172の機能を兼ねる構成としてもよい。
図11Aに示すように、基板170上(基板101と対向する側)の受光素子110Sと重なる領域には、着色層174を設けない構成とすることが好ましい。これにより、着色層174を設ける場合よりも受光素子110Sに入射する光の量を多くすることができる。なお、受光素子110Sで検出する光の波長を選択したい場合には、所定の波長の光を透過する着色層を、受光素子110Sに入射する光の経路上に配置すればよい。また、このとき、赤外光を透過し、可視光を遮光する着色層を用いてもよい。
図11Bは、図11Aに示す構成において、着色層174を保護層121上に配置した場合の例である。このような構成とすることで、発光素子110Wと着色層174との距離を縮めることが可能なため、発光素子110Wからの光が、隣の着色層174に意図せず入射してしまうことによる混色を抑制でき、色再現性の高い表示装置を実現することができる。
なお、ここで示した白色発光の発光素子を用いた構成例に対して、上記変形例1で示した遮光層123の各種構成、及びレンズ173とレンズ175の各種構成を適用することができる。
[変形例3]
以下では、発光素子110及び受光素子110Sの形状等が、図1乃至図11に示す構成とは異なる表示装置の例について説明する。
図12Aに示す構成では、画素電極111の側面が基板面に対して略垂直であり、テーパ形状を有していない点が、図1乃至図11に示す構成と異なる。また、有機層112及び有機層155の端部が、画素電極111の端部を覆っていない点が、図1乃至図11に示す構成と異なる。また、互いに隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間に、層128、絶縁層125、及び樹脂層126を有しておらず、代わりに絶縁層131を有している点が、図1乃至図11に示す構成と異なる。
図12Aに示す構成では、隣り合う発光素子110と受光素子110Sとの間、及び隣り合う発光素子110同士の間(図示しない。)が、絶縁層131で隔離されている。絶縁層131の上面は、略平坦な領域を有しており、端部は、画素電極111の上端部及び側面を覆っている。画素電極111の上面の一部と、絶縁層131の端部とを覆うように有機層112又は有機層155が設けられ、有機層112又は有機層155の上面及び側面と、絶縁層131の上面の一部(略平坦な領域)とを覆うように、共通層114、共通電極113、及び保護層121が、この順で積層されている。
保護層121の絶縁層131と重なる領域の一部は、上面が略平坦な形状を有しており、当該領域上に遮光層123が設けられている。また、保護層121を覆うように接着層171が設けられており、接着層171上には、基板170が設けられている。基板170の基板101と対向する側には、絶縁層131と重なる領域に遮光層172が設けられており、遮光層172の基板101と対向する面上には、平面視にて、保護層121上の遮光層123との間に隙間を有するように、2つの遮光層123が設けられている。
図12Aに示す構成は、図1乃至図11に示す構成よりも、発光素子110の発光面のサイズが大きい。すなわち、画素電極111、有機層112、共通層114、及び共通電極113が積層している部分の面のサイズが大きい。受光素子110Sの受光面のサイズについても、同様のことがいえる。
この場合、有機層112及び有機層155を、図1乃至図11に示す構成よりも大きいサイズで作り分けることが可能となるため、図1乃至図11に示す構成を作製する場合よりも作製時の加工精度を求められない。よって、図12Aに示す構成では、発光素子110又は受光素子110Sを、例えば、FMMなどのシャドーマスクを用いた蒸着法で形成することもできる。このように、図12Aに示す構成は、図1乃至図11に示す構成よりも発光素子110又は受光素子110Sの形成方法の選択肢が増えるため、好適である。
図12Bは、図12Aに示す構成において、白色光を呈する発光素子110Wを有し、かつ、図11Aに示す着色層174を用いる場合の例である。
なお、図12A及び図12Bで示した構成例に対して、上記変形例1で示した遮光層123の各種構成、レンズ173とレンズ175の各種構成、及び、上記変形例2で示した着色層174の各種構成を適用することができる。
[作製方法例]
以下では、本発明の一態様の表示装置の作製方法の一例について説明する。ここでは、図1Bに示す表示装置100の作製方法の一例について説明する。
表示装置を構成する薄膜(絶縁膜、半導体膜、導電膜等)は、スパッタリング法、CVD法、真空蒸着法、PLD法、ALD法等を用いて形成することができる。CVD法としては、プラズマ化学気相堆積(PECVD:Plasma Enhanced CVD)法、又は熱CVD法などがある。また、熱CVD法の1つに、有機金属化学気相堆積(MOCVD:Metal Organic CVD)法がある。
また、表示装置を構成する薄膜(絶縁膜、半導体膜、導電膜等)は、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、インクジェット、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ法、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコート等の方法により形成することができる。
特に、発光素子の作製には、蒸着法などの真空プロセス、及び、スピンコート法、インクジェット法などの溶液プロセスを用いることができる。蒸着法としては、スパッタ法、イオンプレーティング法、イオンビーム蒸着法、分子線蒸着法、真空蒸着法などの物理蒸着法(PVD法)、化学蒸着法(CVD法)等が挙げられる。特にEL層に含まれる機能層(正孔注入層、正孔輸送層、正孔ブロック層、発光層、電子ブロック層、電子輸送層、電子注入層、電荷発生層など)については、蒸着法(真空蒸着法等)、塗布法(ディップコート法、ダイコート法、バーコート法、スピンコート法、スプレーコート法等)、印刷法(インクジェット法、スクリーン(孔版印刷)法、オフセット(平版印刷)法、フレキソ(凸版印刷)法、グラビア法、又は、マイクロコンタクト法等)などの方法により形成することができる。
また、表示装置を構成する薄膜を加工する際には、フォトリソグラフィ法等を用いることができる。それ以外に、ナノインプリント法、サンドブラスト法、リフトオフ法などにより薄膜を加工してもよい。また、メタルマスクなどの遮蔽マスクを用いた成膜方法により、島状の薄膜を直接形成してもよい。
フォトリソグラフィ法としては、代表的には以下の2つの方法がある。1つは、加工したい薄膜上にレジストマスクを形成して、エッチング等により当該薄膜を加工し、レジストマスクを除去する方法である。もう1つは、感光性を有する薄膜を成膜した後に、露光、現像を行って、当該薄膜を所望の形状に加工する方法である。
フォトリソグラフィ法において、露光に用いる光は、例えばi線(波長365nm)、g線(波長436nm)、h線(波長405nm)、又はこれらを混合させた光を用いることができる。その他、紫外線、KrFレーザ光(波長248nm)、又はArFレーザ光(波長193nm)等を用いることもできる。また、液浸露光技術により露光を行ってもよい。また、露光に用いる光として、波長10nm以上100nm以下の極端紫外(EUV:Extreme Ultra-Violet)光、又はX線を用いてもよい。また、露光に用いる光に換えて、電子ビームを用いることもできる。極端紫外光、X線又は電子ビーム等を用いると、極めて微細な加工が可能となるため好ましい。なお、電子ビームなどのビームを走査することにより露光を行う場合には、フォトマスクは不要となる。
薄膜のエッチングには、ドライエッチング法、ウェットエッチング法、サンドブラスト法などを用いることができる。
まず、基板101上に、画素電極111を形成する。
基板101としては、少なくとも後の熱処理に耐え得る程度の耐熱性を有する基板を用いることができる。基板101として、絶縁性基板を用いる場合には、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、セラミック基板、有機樹脂基板などを用いることができる。また、シリコン、又は炭化シリコンなどを材料とした単結晶半導体基板、多結晶半導体基板、シリコンゲルマニウム等の化合物半導体基板、SOI基板などの半導体基板を用いることができる。
特に、基板101として、上記半導体基板又は絶縁性基板上に、トランジスタなどの半導体素子を含む半導体回路が形成された基板を用いることが好ましい。当該半導体回路は、例えば画素回路、ゲート線駆動回路(ゲートドライバ)、ソース線駆動回路(ソースドライバ)などを構成していることが好ましい。また、上記に加えて演算回路、記憶回路などが構成されていてもよい。
また、画素電極111としては、可視光に対して反射性を有する導電膜を用いる場合、可視光の波長域全域での反射率ができるだけ高い材料(例えば、銀又はアルミニウムなど)を適用することが好ましい。これにより、発光素子110からの光取り出し効率を高められるだけでなく、色再現性を高めることができる。また、反射性を有する導電膜上に、透光性を有する導電膜を積層してもよく、さらに当該透光性を有する導電膜の厚さを、発光素子毎に異ならせてもよい。
画素電極111の形成には、例えば、スパッタリング法又は真空蒸着法を用いることができる。
続いて、画素電極111上に、有機層112又は有機層155を形成する。
有機層112は、少なくとも、発光性の化合物を含む膜を有する。この他に、電子注入層、電子輸送層、電荷発生層、正孔輸送層、又は正孔注入層として機能する膜のうち、1以上が積層された構成としてもよい。有機層112は、例えば蒸着法、スパッタリング法、又はインクジェット法等により形成することができる。なおこれに限られず、上述した成膜方法を適宜用いることができる。有機層155は、可視光又は赤外光の波長域に感度を有する光電変換材料を含む膜を有する。有機層155についても、有機層112と同様の方法で形成することができる。
続いて、隣り合う発光素子110間、及び、隣り合う発光素子110と受光素子110Sとの間に位置する層128、絶縁層125、樹脂層126等を形成する。
層128としては、例えば、金属膜、合金膜、金属酸化物膜、半導体膜、無機絶縁膜などの無機膜を好適に用いることができる。層128は、スパッタリング法、蒸着法、CVD法、ALD法などの各種成膜方法により形成することができる。特に、ALD法は被形成層に対する成膜ダメージが小さいため、有機層112又は有機層155上に直接形成する層128は、ALD法を用いて形成することが好ましい。
特に、層128としては、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化シリコンなどの酸化物、窒化シリコン、窒化アルミニウムなどの窒化物、又は酸化窒化シリコンなどの酸化窒化物を用いることができる。このような無機絶縁材料は、スパッタリング法、CVD法、又はALD法等の成膜方法を用いて形成することができるが、特に、ALD法を用いることが好ましい。
また、層128としては、例えば、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、チタン、アルミニウム、イットリウム、ジルコニウム、タンタルなどの金属材料、又は当該金属材料を含む合金材料を用いることができる。特に、アルミニウム又は銀などの低融点材料を用いることが好ましい。
また、層128としては、インジウムガリウム亜鉛酸化物(In-Ga-Zn酸化物、IGZOとも表記する。)などの金属酸化物を用いることができる。さらに、酸化インジウム、インジウム亜鉛酸化物(In-Zn酸化物)、インジウムスズ酸化物(In-Sn酸化物)、インジウムチタン酸化物(In-Ti酸化物)、インジウムスズ亜鉛酸化物(In-Sn-Zn酸化物)、インジウムチタン亜鉛酸化物(In-Ti-Zn酸化物)、インジウムガリウムスズ亜鉛酸化物(In-Ga-Sn-Zn酸化物)などを用いることができる。又はシリコンを含むインジウムスズ酸化物などを用いることもできる。
また、層128として、化学的に安定な溶媒に溶解し得る材料を用いてもよい。特に、水又はアルコールに溶解する材料を、層128に好適に用いることができる。層128を成膜する際には、水又はアルコールなどの溶媒に溶解させた状態で、湿式の成膜方法で塗布した後に、溶媒を蒸発させるための加熱処理を行うことが好ましい。このとき、減圧雰囲気下での加熱処理を行うことで、低温かつ短時間で溶媒を除去できるため、有機層112又は有機層155への熱的なダメージを低減することができ、好ましい。
層128の形成に用いることのできる湿式の成膜方法としては、スピンコート、ディップ、スプレー塗布、インクジェット、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ法、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコートなどがある。
層128としては、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルブチラール、ポリビニルピロリドン、ポリエチレングリコール、ポリグリセリン、プルラン、水溶性のセルロース、又はアルコール可溶性のポリアミド樹脂などの有機材料を用いることができる。
絶縁層125の材料としては、層128と同じ材料を用いることが好ましい。例えば、ALD法を用いて、酸化アルミニウム膜を形成することが好ましい。ALD法を用いることで、被形成面への成膜ダメージを小さくすることができ、また、被覆性の高い膜を成膜可能なため好ましい。絶縁層125の膜厚は、3nm以上、5nm以上、又は、10nm以上、かつ、200nm以下、150nm以下、100nm以下、又は、50nm以下にすることが好ましい。
絶縁層125は、EL層及び光電変換層の側面に接して形成されるため、EL層及び光電変換層へのダメージが少ない形成方法で成膜されることが好ましい。また、絶縁層125は、EL層の耐熱温度よりも低い温度で形成する。絶縁層125を形成する際の基板温度としては、代表的には、200℃以下、好ましくは180℃以下、より好ましくは160℃以下、より好ましくは140℃以下、より好ましくは120℃以下、より好ましくは100℃以下とする。
樹脂層126としては、感光性の有機樹脂を用いることが好ましい。特に、感光性のアクリル樹脂を用いることが好ましい。なお、本明細書等において、アクリル樹脂とは、ポリメタクリル酸エステル、又はメタクリル樹脂だけを指すものではなく、広義のアクリル系ポリマー全体を指す場合がある。
樹脂層126は、例えば、スピンコート法、又はインクジェット法などにより形成することが好ましい。なお、これに限られず、例えば、ディップ、スプレー塗布、ディスペンス、スクリーン印刷、オフセット印刷、ドクターナイフ法、スリットコート、ロールコート、カーテンコート、ナイフコートなどの湿式の成膜方法を用いて形成することができる。
続いて、各有機層112、有機層155、及び樹脂層126を覆って、共通層114を形成する。共通層114は、例えば、スパッタリング法又は真空蒸着法などにより形成することができる。
続いて、共通層114を覆って共通電極113を形成する。共通電極113は、例えば、スパッタリング法又は真空蒸着法などにより形成することができる。
共通層114及び共通電極113は、それぞれ基板101の全面に成膜するのではなく、成膜エリアを規定するための遮蔽マスク(メタルマスク、ラフメタルマスクともいう。)を用いて形成することが好ましい。共通層114は、各発光素子110及び受光素子110Sが設けられる領域に成膜し、共通電極113は、各発光素子110及び受光素子110Sが設けられる領域、及び共通電極113と電気的に接続する電極が設けられる領域を含む所定の領域に成膜することが好ましい。
以上の工程により、発光素子110及び受光素子110Sを作製することができる。
続いて、共通電極113上に、保護層121を形成する。保護層121に用いる無機絶縁膜の成膜には、スパッタリング法、PECVD法、又はALD法を用いることが好ましい。特にALD法は、段差被覆性に優れ、ピンホールなどの欠陥が生じにくいため、好ましい。また、有機絶縁膜の成膜には、インクジェット法を用いると、所望の領域に均一な膜を形成できるため好ましい。
これ以降の工程については、図面を参照しながら説明する。図13乃至図15は、本発明の一態様の表示装置100が有する遮光層123の作製工程における断面概略図である。このうち図13及び図14は、基板101上の構造物上に遮光層123を作製する工程の断面図である。また図15は、基板170上の構造物上に遮光層123を作製する工程の断面図である。当該断面図は、図1Aに示す一点鎖線A1-A2間の断面を示している。
保護層121上に、後に遮光層123となる遮光膜123aを形成する(図13A)。遮光膜123aには、少なくとも可視光の一部を吸収する材料を含むことが好ましい。例えば、発光素子110R(図示しない。)、発光素子110G、及び発光素子110Bが発する光のうち、少なくとも1以上の光を吸収する材料を含むことが好ましい。例えば、遮光膜123a自体が可視光を吸収する材料(例えば、有色の有機材料又は無機材料)により構成されていてもよいし、遮光膜123aが、可視光を吸収する顔料を含んでいてもよい。遮光膜123aとしては、例えば、カーボンブラックを顔料として含み、ブラックマトリクスとして機能する樹脂、又は赤色、青色、又は緑色の光を透過し、他の光を吸収するカラーフィルタとして用いることのできる樹脂などを用いることができる。
遮光膜123aの成膜方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法、ALD法等が挙げられる。
続いて、遮光膜123a上にレジストマスク190aを形成する。レジストマスク190aには、ポジ型のレジスト材料、又はネガ型のレジスト材料など、感光性の樹脂を含むレジスト材料を用いることができる。ここで、レジストマスク190aにポジ型のアクリル樹脂を用いる場合、後の工程で遮光層123を形成しない領域に、マスク136を用いて可視光線又は紫外線を照射する(図13B)。
続いて、現像を行い、レジストマスク190aの露光させた領域を除去し、レジストマスク190bを形成する(図13C)。ここで、レジストマスク190aにアクリル樹脂を用いる場合、現像液として、アルカリ性の溶液を用いることが好ましく、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)を用いることができる。
続いて、現像時の残渣(いわゆるスカム)を除去してもよい。例えば、酸素プラズマを用いたアッシングを行うことで、残渣を除去することができる。
続いて、レジストマスク190bをマスクとして、遮光膜123aのエッチング処理を行い、遮光層123を形成する(図14A)。エッチング処理は、ドライエッチング法又はウェットエッチング法によって行うことができる。なお、当該エッチング処理により、レジストマスク190bの膜厚、又は、保護層121の遮光層123と重ならない領域の膜厚が薄くなる場合がある。
続いて、レジストマスク190bを除去し、遮光層123を露出させる(図14B)。レジストマスク190bの除去は、ウェットエッチング法又はドライエッチング法により行うことができる。特に、酸素ガスをエッチングガスに用いたドライエッチング法(プラズマアッシングともいう。)により、レジストマスク190bを除去することが好ましい。なお、当該エッチング処理により、遮光層123の膜厚、又は、保護層121の遮光層123と重ならない領域の膜厚が薄くなる場合がある。
以上が、基板101上の構造物上における、遮光層123の作製方法の一例である。
次に、基板170上の構造物上における、遮光層123の作製方法の一例について説明する。
まず、基板170上に遮光層172を形成する。
基板170としては、透光性の高い材料を用いることが好ましい。例えば、ガラス材料、又は樹脂材料などを用いることができる。また、基板170として、偏光板、光拡散フィルムなどの光学機能材料を用いることもできる。
遮光層172は、表示装置100の平面視(図1A)において、互いに隣接する発光素子110間、及び、互いに隣接する発光素子110と受光素子110Sとの間に位置するように、基板170上に設ける。
遮光層172としては、前述した遮光層123と同じ材料を用いることができる。また、遮光層172は、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法、ALD法等で形成することができる。
続いて、遮光層172を形成した基板170上に、後に遮光層123となる遮光膜123bを形成する(図15A)。
遮光膜123bとしては、前述した遮光膜123aと同じ材料を用いることができる。また、遮光膜123bの成膜方法としては、真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法、ALD法等が挙げられる。
続いて、遮光膜123b上にレジストマスク191aを形成する。レジストマスク191aとしては、前述したレジストマスク190aと同じ材料を用いることができる。レジストマスク191aにポジ型のアクリル樹脂を用いる場合、後の工程で遮光層123を形成しない領域に、マスク137を用いて可視光線又は紫外線を照射する(図15B)。
続いて、現像を行い、レジストマスク191aの露光させた領域を除去し、レジストマスク191bを形成する(図15C)。ここで、レジストマスク191aにアクリル樹脂を用いる場合、現像液として、アルカリ性の溶液を用いることが好ましく、例えば、水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)を用いることができる。
続いて、現像時の残渣(いわゆるスカム)を除去してもよい。例えば、酸素プラズマを用いたアッシングを行うことで、残渣を除去することができる。
続いて、レジストマスク191bをマスクとして、遮光膜123bのエッチング処理を行い、遮光層123を形成する(図15D)。エッチング処理は、前述した遮光膜123aと同じ処理を用いることができる。なお、当該エッチング処理により、レジストマスク191bの膜厚、又は、遮光層172の遮光層123と重ならない領域の膜厚が薄くなる場合がある。
続いて、レジストマスク191bを除去し、遮光層123を露出させる(図15E)。レジストマスク191bの除去には、前述したレジストマスク190bの除去時と同じエッチング法を用いることができる。なお、当該エッチング処理により、遮光層123の膜厚、又は、遮光層172の遮光層123と重ならない領域の膜厚が薄くなる場合がある。
以上が、基板170上の構造物上における、遮光層123の作製方法の一例である。
続いて、基板101上の構造物(図14B)と、基板170上の構造物(図15E)とを、接着層171を用いて貼り合わせる。
接着層171としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。
以上により、本発明の一態様の表示装置100を作製することができる(図1B)。
以上が、表示装置の作製方法例についての説明である。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置の構成例について説明する。ここでは画像を表示可能な表示装置として説明するが、発光素子を光源として用いることで、表示装置として使用することができる。
また、本実施の形態の表示装置は、高解像度の表示装置又は大型の表示装置とすることができる。したがって、本実施の形態の表示装置は、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型又はノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、スマートフォン、腕時計型端末、タブレット端末、携帯情報端末、音響再生装置の表示部に用いることもできる。
[表示装置400]
図16に、表示装置400の斜視図を示し、図17Aに、表示装置400の断面図を示す。
表示装置400は、基板452と基板451とが貼り合わされた構成を有する。図16では、基板452を破線で明示している。
表示装置400は、表示部462、回路464、配線465等を有する。図16では表示装置400にIC473及びFPC472が実装されている例を示している。そのため、図16に示す構成は、表示装置400、IC(集積回路)、及びFPCを有する表示モジュールということもできる。
回路464としては、例えば、走査線駆動回路を用いることができる。
配線465は、表示部462及び回路464に信号及び電力を供給する機能を有する。当該信号及び電力は、FPC472を介して外部から配線465に入力されるか、又はIC473から配線465に入力される。
図16では、COG方式又はCOF(Chip On Film)方式等により、基板451にIC473が設けられている例を示す。IC473は、例えば、走査線駆動回路又は信号線駆動回路などを有するICを適用できる。なお、表示装置400及び表示モジュールは、ICを設けない構成としてもよい。また、ICを、COF方式等により、FPCに実装してもよい。
図17Aに、表示装置400の、FPC472を含む領域の一部、回路464の一部、表示部462の一部、及び、接続部を含む領域の一部をそれぞれ切断したときの断面の一例を示す。図17Aでは、表示部462のうち、特に、緑色の光(G)を発する発光素子430bと、反射光(L)を受光する受光素子440を含む領域を切断したときの断面の一例を示す。
図17Aに示す表示装置400は、基板451と基板452の間に、トランジスタ252、トランジスタ260、トランジスタ258、発光素子430b、受光素子440等を有する。
発光素子430b、及び受光素子440には、上記で例示した発光素子又は受光素子を適用することができる。
ここで、表示装置の画素が、互いに異なる色を発する発光素子を有する副画素を3種類有する場合、当該3つの副画素としては、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3色の副画素、黄色(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)の3色の副画素などが挙げられる。当該副画素を4つ有する場合、当該4つの副画素としては、R、G、B、白色(W)の4色の副画素、R、G、B、Yの4色の副画素などが挙げられる。又は、副画素が赤外光を発する発光素子を備えていてもよい。
また、受光素子440としては、赤色、緑色、又は青色の波長域の光に感度を有する光電変換素子、又は、赤外の波長域の光に感度を有する光電変換素子を用いることができる。
基板452の基板451側の面には、基板451上の樹脂層422と重なる領域を有するように、遮光層419が設けられている。また、発光素子430bと受光素子440との間に挟まれて樹脂層422が設けられており、当該樹脂層422と対向する遮光層419上には、2つの遮光層417が設けられている。基板452と、保護層416とは、接着層442を介して接着されている。接着層442は、発光素子430b及び受光素子440のそれぞれと重ねて設けられており、表示装置400には、固体封止構造が適用されている。
発光素子430b、受光素子440は、画素電極として、導電層411a、導電層411b、及び導電層411cを有する。導電層411bは、可視光に対して反射性を有し、反射電極として機能する。導電層411cは、可視光に対して透過性を有し、光学調整層として機能する。
発光素子430bが有する導電層411aは、絶縁層294に設けられた開口を介して、トランジスタ260が有する導電層272bと電気的に接続されている。トランジスタ260は、発光素子の駆動を制御する機能を有する。一方、受光素子440が有する導電層411aは、絶縁層294に設けられた開口を介して、トランジスタ258が有する導電層272bと電気的に接続されている。トランジスタ258は、受光素子440を用いた露光のタイミングなどを制御する機能を有する。
画素電極を覆って、有機層412G又は有機層412Sが設けられている。有機層412Gの側面、及び有機層412Sの側面に接して、絶縁層421が設けられ、絶縁層421上に、樹脂層422が設けられている。有機層412G及び有機層412Sを覆って、共通層414、共通電極413、及び保護層416が設けられている。発光素子を覆う保護層416を設けることで、発光素子に水などの不純物が入り込むことを抑制し、発光素子の信頼性を高めることができる。樹脂層422の上面は、略平坦な形状を有しており、発光素子430bと受光素子440の間に位置する樹脂層422の平坦な領域上には、1つの遮光層417が設けられている。樹脂層422上の遮光層417と、遮光層419上の2つの遮光層417とは、平面視にて、互いの間に隙間を有するように櫛歯状に配置されている。遮光層417をこのように配置することで、発光素子430bが発する光の一部が、迷光として、隣接する受光素子440に入射してしまうのを防ぐことができる。これにより、撮像時のノイズを低減することができる。また、S/N比の高い、高感度な撮像を行う表示装置を実現することができる。
発光素子430bが発する光Gは、基板452側に射出される。受光素子440は、基板452を介して入射した光Lを受光し、電気信号に変換する。基板452には、可視光に対する透過性が高い材料を用いることが好ましい。
トランジスタ252、トランジスタ260、及びトランジスタ258は、いずれも基板451上に形成されている。これらのトランジスタは、同一の材料及び同一の工程により作製することができる。
なお、トランジスタ252、トランジスタ260、及びトランジスタ258は、異なる構成を有するように、作り分けられていてもよい。例えば、ボトムゲートの有無が異なるトランジスタを作り分けてもよいし、半導体、ゲート電極、ゲート絶縁層、ソース電極及びドレイン電極について、材料又は厚さの一方又は双方が異なるトランジスタを作り分けてもよい。
基板451と、絶縁層262とは、接着層455によって貼り合わされている。
表示装置400の作製方法としては、まず、絶縁層262、各トランジスタ、各発光素子、受光素子等が設けられた作製基板と、遮光層419及び遮光層417が設けられた基板452とを、接着層442によって貼り合わせる。そして、作製基板を剥離し露出した面に基板451を貼ることで、作製基板上に形成した各構成要素を、基板451に転置する。基板451及び基板452は、それぞれ、可撓性を有することが好ましい。これにより、表示装置400の可撓性を高めることができる。
基板451の、基板452が重ならない領域には、接続部254が設けられている。接続部254では、配線465が導電層466及び接続層292を介して、FPC472と電気的に接続されている。導電層466は、画素電極と同一の導電膜を加工して得ることができる。これにより、接続部254と、FPC472とを、接続層292を介して電気的に接続することができる。
トランジスタ252、トランジスタ260及びトランジスタ258は、ゲート電極として機能する導電層271、ゲート絶縁層として機能する絶縁層261、チャネル形成領域281i及び一対の低抵抗領域281nを有する半導体層281、一対の低抵抗領域281nの一方と接続する導電層272a、一対の低抵抗領域281nの他方と接続する導電層272b、ゲート絶縁層として機能する絶縁層275、ゲート電極として機能する導電層273、及び、導電層273を覆う絶縁層265を有する。絶縁層261は、導電層271とチャネル形成領域281iとの間に位置する。絶縁層275は、導電層273とチャネル形成領域281iとの間に位置する。
導電層272a及び導電層272bは、それぞれ、絶縁層275及び絶縁層265に設けられた開口を介して低抵抗領域281nと接続される。導電層272a及び導電層272bのうち、一方はソース電極として機能し、他方はドレイン電極として機能する。
図17Aでは、絶縁層275が半導体層281の上面及び側面を覆う例を示す。導電層272a及び導電層272bは、それぞれ、絶縁層275及び絶縁層265に設けられた開口を介して低抵抗領域281nと接続される。
一方、図17Bに示すトランジスタ259では、絶縁層275は、半導体層281のチャネル形成領域281iと重なり、低抵抗領域281nとは重ならない。例えば、導電層273をマスクとして絶縁層275を加工することで、図17Bに示す構造を作製できる。図17Bでは、絶縁層275及び導電層273を覆って絶縁層265が設けられ、絶縁層265の開口を介して、導電層272a及び導電層272bがそれぞれ低抵抗領域281nと接続されている。さらに、トランジスタを覆う絶縁層268を設けてもよい。
本実施の形態の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタ、スタガ型のトランジスタ、逆スタガ型のトランジスタ等を用いることができる。また、トップゲート型又はボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。又は、チャネルが形成される半導体層の上下にゲートが設けられていてもよい。
トランジスタ252、トランジスタ260、及びトランジスタ258には、チャネルが形成される半導体層を2つのゲートで挟持する構成が適用されている。2つのゲートを接続し、これらに同一の信号を供給することによりトランジスタを駆動してもよい。又は、2つのゲートのうち、一方に閾値電圧を制御するための電位を与え、他方に駆動のための電位を与えることで、トランジスタの閾値電圧を制御してもよい。
トランジスタの半導体層に用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、単結晶半導体、又は単結晶以外の結晶性を有する半導体、(微結晶半導体、多結晶半導体、又は一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。単結晶半導体又は結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
トランジスタの半導体層は、金属酸化物(酸化物半導体ともいう。)を有することが好ましい。つまり、本実施の形態の表示装置は、金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタ(以下、OSトランジスタ)を用いることが好ましい。
トランジスタの半導体層に用いる金属酸化物のバンドギャップは、2eV以上が好ましく、2.5eV以上がより好ましい。バンドギャップの大きい金属酸化物を用いることで、OSトランジスタのオフ電流を低減することができる。
金属酸化物は、少なくともインジウム又は亜鉛を有することが好ましく、インジウム及び亜鉛を有することがより好ましい。例えば、金属酸化物は、インジウムと、M(Mは、ガリウム、アルミニウム、イットリウム、スズ、アンチモン、シリコン、ホウ素、銅、バナジウム、ベリリウム、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウム、及びコバルトから選ばれた一種又は複数種)と、亜鉛と、を有することが好ましい。特に、Mは、ガリウム、アルミニウム、イットリウム、及びスズから選ばれた一種又は複数種であることが好ましく、ガリウムがより好ましい。なお、インジウムと、Mと、亜鉛とを有する金属酸化物を、以降ではIn-M-Zn酸化物と呼ぶ場合がある。
例えば、In-Ga-Zn酸化物、In-Sn-Zn酸化物、又はSnを含むIn-Ga-Zn酸化物などを用いることが好ましい。
又は、トランジスタの半導体層は、シリコンを有していてもよい。シリコンとしては、アモルファスシリコン、結晶性のシリコン(低温ポリシリコン(LTPSともいう。)、単結晶シリコンなど)などが挙げられる。
特に、低温ポリシリコンは比較的移動度が高く、ガラス基板上に形成可能であるため、表示装置に好適に用いることができる。例えば、駆動回路が有するトランジスタ252などに低温ポリシリコンを半導体層に用いたトランジスタ(LTPSトランジスタ)を適用し、画素に設けられるトランジスタ260、トランジスタ258などに、酸化物半導体を半導体層に用いたトランジスタ(OSトランジスタ)を適用することができる。LTPSトランジスタとOSトランジスタとの双方を用いることで、消費電力が低く、駆動能力の高い表示装置を実現することができる。また、LTPSトランジスタと、OSトランジスタとを、組み合わせる構成をLTPOと呼称する場合がある。なお、より好適な例としては、配線間の導通、非導通を制御するためのスイッチとして機能するトランジスタ等にOSトランジスタを適用し、電流を制御するトランジスタ等にLTPSトランジスタを適用することが好ましい。
なお、図17Aに示す表示装置は、OSトランジスタを有し、かつ発光素子間の有機層が分離された構成である。当該構成とすることで、トランジスタに流れ得るリーク電流、隣接する発光素子間に流れ得るリーク電流、及び隣接する発光素子と受光素子間に流れ得るリーク電流(横リーク電流、サイドリーク電流などともいう。)を、極めて低くすることができる。また、上記構成とすることで、表示装置に画像を表示した場合に、観察者が画像のきれ、画像のするどさ、高い彩度及び高いコントラスト比のいずれか一又は複数を観測できる。なお、トランジスタに流れ得るリーク電流、及び発光素子間の横リーク電流が極めて低い構成とすることで、黒表示時に生じ得る光漏れ(いわゆる黒浮き)などが限りなく少ない表示(真黒表示ともいう。)とすることができる。
回路464が有するトランジスタと、表示部462が有するトランジスタは、同じ構造であってもよく、異なる構造であってもよい。回路464が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。同様に、表示部462が有する複数のトランジスタの構造は、全て同じであってもよく、2種類以上あってもよい。
トランジスタを覆う絶縁層の少なくとも一層に、水及び水素などの不純物が拡散しにくい材料を用いることが好ましい。これにより、当該絶縁層をバリア層として機能させることができる。このような構成とすることで、トランジスタに外部から不純物が拡散することを効果的に抑制でき、表示装置の信頼性を高めることができる。
絶縁層261、絶縁層262、絶縁層265、絶縁層268、及び絶縁層275としては、それぞれ、無機絶縁膜を用いることが好ましい。無機絶縁膜としては、例えば、窒化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜、酸化アルミニウム膜、窒化アルミニウム膜などを用いることができる。また、酸化ハフニウム膜、酸化イットリウム膜、酸化ジルコニウム膜、酸化ガリウム膜、酸化タンタル膜、酸化マグネシウム膜、酸化ランタン膜、酸化セリウム膜、酸化ネオジム膜等を用いてもよい。また、上述の無機絶縁膜を2以上積層して用いてもよい。
ここで、有機絶縁膜は、無機絶縁膜に比べてバリア性が低いことが多い。そのため、有機絶縁膜は、表示装置400の端部近傍に開口を有することが好ましい。これにより、表示装置400の端部から有機絶縁膜を介して、不純物が入り込むことを抑制することができる。又は、有機絶縁膜の端部が表示装置400の端部よりも内側にくるように有機絶縁膜を形成し、表示装置400の端部に有機絶縁膜が露出しないようにしてもよい。
平坦化層として機能する絶縁層294には、有機絶縁膜が好適である。有機絶縁膜に用いることができる材料としては、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミドアミド樹脂、シロキサン樹脂、ベンゾシクロブテン系樹脂、フェノール樹脂、これら樹脂の前駆体等が挙げられる。
基板452の基板451側の面には、遮光層419を設けることが好ましい。また、基板452の外側(基板451と反対側)には、各種光学部材を配置することができる。光学部材としては、偏光板、位相差板、光拡散層(拡散フィルムなど)、反射防止層、集光フィルム等が挙げられる。また、基板452の外側には、ゴミの付着を抑制する帯電防止膜、汚れを付着しにくくする撥水性の膜、使用に伴う傷の発生を抑制するハードコート膜、衝撃吸収層等を配置してもよい。
図17Aには、接続部278を示している。接続部278において、共通電極413と配線とが電気的に接続する。図17Aでは、当該配線として、画素電極と同一の積層構造を適用した場合の例を示している。
基板451及び基板452には、それぞれ、ガラス、石英、セラミック、サファイア、樹脂、金属、合金、半導体などを用いることができる。発光素子からの光を取り出す側の基板には、当該光を透過する材料を用いる。基板451及び基板452に可撓性を有する材料を用いると、表示装置の可撓性を高めることができる。また、基板451又は基板452として偏光板を用いてもよい。
基板451及び基板452としては、それぞれ、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂(ナイロン、アラミド等)、ポリシロキサン樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリ塩化ビニリデン樹脂、ポリプロピレン樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂、ABS樹脂、セルロースナノファイバー等を用いることができる。基板451及び基板452の一方又は双方に、可撓性を有する程度の厚さのガラスを用いてもよい。
なお、表示装置に円偏光板を重ねる場合、表示装置が有する基板には、光学等方性の高い基板を用いることが好ましい。光学等方性が高い基板は、複屈折が小さい(複屈折量が小さい、ともいえる。)。
光学等方性が高い基板のリタデーション(位相差)値の絶対値は、30nm以下が好ましく、20nm以下がより好ましく、10nm以下がさらに好ましい。
光学等方性が高いフィルムとしては、トリアセチルセルロース(TAC、セルローストリアセテートともいう。)フィルム、シクロオレフィンポリマー(COP)フィルム、シクロオレフィンコポリマー(COC)フィルム、アクリルフィルム等が挙げられる。
また、基板としてフィルムを用いる場合、フィルムが吸水することで、表示パネルにしわが発生するなどの形状変化が生じる恐れがある。そのため、基板には、吸水率の低いフィルムを用いることが好ましい。例えば、吸水率が1%以下のフィルムを用いることが好ましく、0.1%以下のフィルムを用いることがより好ましく、0.01%以下のフィルムを用いることがさらに好ましい。
接着層としては、紫外線硬化型等の光硬化型接着剤、反応硬化型接着剤、熱硬化型接着剤、嫌気型接着剤などの各種硬化型接着剤を用いることができる。これら接着剤としてはエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、イミド樹脂、PVC(ポリビニルクロライド)樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)樹脂、EVA(エチレンビニルアセテート)樹脂等が挙げられる。特に、エポキシ樹脂等の透湿性が低い材料が好ましい。また、二液混合型の樹脂を用いてもよい。また、接着シート等を用いてもよい。
接続層292としては、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)、異方性導電ペースト(ACP:Anisotropic Conductive Paste)などを用いることができる。
トランジスタのゲート電極、ソース電極及びドレイン電極の他、表示装置を構成する各種配線、電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、タングステンなどの金属、当該金属を主成分とする合金などが挙げられる。これらの材料を含む膜を単層で、又は積層構造として用いることができる。
また、透光性を有する導電材料としては、酸化インジウム、インジウムスズ酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを含む酸化亜鉛などの導電性酸化物又はグラフェンを用いることができる。又は、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、チタンなどの金属材料、又は、当該金属材料を含む合金材料を用いることができる。又は、当該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、又は、合金材料(又はそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすることが好ましい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線、電極などの導電層、及び、発光素子が有する導電層(画素電極又は共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などの樹脂、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料が挙げられる。
本実施の形態で例示した構成例、それらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、又は図面等と適宜組み合わせることができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、本発明の一態様の表示装置について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、受光素子(受光デバイスともいう。)と発光素子(発光デバイスともいう。)を有する。又は、本発明の一態様の表示装置は、受発光素子(受発光デバイスともいう。)と発光素子とを有する構成としてもよい。
まず、受光素子と発光素子とを有する表示装置について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、受発光部に、受光素子と発光素子とを有する。本発明の一態様の表示装置は、受発光部に、発光素子がマトリクス状に配置されており、当該受発光部で画像を表示することができる。また、当該受発光部には、受光素子がマトリクス状に配置されており、受発光部は、撮像機能及びセンシング機能の一方又は双方も有する。受発光部は、イメージセンサ、タッチセンサなどに用いることができる。つまり、受発光部で光を検出することで、画像を撮像すること、対象物(指、ペンなど)のタッチ操作を検出することができる。さらに、本発明の一態様の表示装置は、発光素子をセンサの光源として利用することができる。したがって、表示装置と別に受光部及び光源を設けなくてよく、電子機器の部品点数を削減することができる。
本発明の一態様の表示装置では、受発光部が有する発光素子が発した光を対象物が反射(又は散乱)した際、受光素子がその反射光(又は散乱光)を検出できるため、暗い場所でも、撮像、タッチ操作の検出などが可能である。
本発明の一態様の表示装置が有する発光素子は、表示素子(表示デバイスともいう。)として機能する。
発光素子としては、OLED、QLEDなどのEL素子(ELデバイスともいう。)を用いることが好ましい。EL素子が有する発光物質としては、蛍光を発する物質(蛍光材料)、燐光を発する物質(燐光材料)、無機化合物(量子ドット材料など)、熱活性化遅延蛍光を示す物質(熱活性化遅延蛍光(TADF)材料)などが挙げられる。また、発光素子として、マイクロLEDなどのLEDを用いることもできる。
本発明の一態様の表示装置は、受光素子を用いて、光を検出する機能を有する。
受光素子をイメージセンサに用いる場合、表示装置は、受光素子を用いて、画像を撮像することができる。例えば、表示装置は、スキャナとして用いることができる。
本発明の一態様の表示装置が適用された電子機器は、イメージセンサとしての機能を用いて、指紋、掌紋などの生体情報に係るデータを取得することができる。つまり、表示装置に、生体認証用センサを内蔵させることができる。表示装置が生体認証用センサを内蔵することで、表示装置とは別に生体認証用センサを設ける場合に比べて、電子機器の部品点数を少なくでき、電子機器の小型化及び軽量化が可能である。
また、受光素子をタッチセンサに用いる場合、表示装置は、受光素子を用いて、対象物のタッチ操作を検出することができる。
受光素子としては、例えば、pn型又はpin型のフォトダイオードを用いることができる。受光素子は、受光素子に入射する光を検出し電荷を発生させる光電変換素子(光電変換デバイスともいう。)として機能する。受光素子に入射する光量に基づき、受光素子から発生する電荷量が決まる。
特に、受光素子として、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードを用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な装置に適用できる。
本発明の一態様では、発光素子として有機EL素子(有機ELデバイスともいう。)を用い、受光素子として有機フォトダイオードを用いる。有機EL素子及び有機フォトダイオードは、同一基板上に形成することができる。したがって、有機EL素子を用いた表示装置に有機フォトダイオードを内蔵することができる。
有機EL素子及び有機フォトダイオードを構成する全ての層を作り分ける場合、成膜工程数が膨大になってしまう。しかしながら有機フォトダイオードは、有機EL素子と共通の構成にできる層が多いため、共通の構成にできる層は一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受光素子及び発光素子で共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受光素子及び発光素子で共通の層としてもよい。このように、受光素子及び発光素子が共通の層を有することで、成膜回数及びマスクの数を減らすことができ、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。また、表示装置の既存の製造装置及び製造方法を用いて、受光素子を有する表示装置を作製することができる。
次に、受発光素子と発光素子を有する表示装置について説明する。なお、上記と同様の機能、作用、効果等については、説明を省略することがある。
本発明の一態様の表示装置において、いずれかの色を呈する副画素は、発光素子の代わりに受発光素子を有し、その他の色を呈する副画素は、発光素子を有する。受発光素子は、光を発する機能(発光機能)と、受光する機能(受光機能)と、の双方を有する。例えば、画素が、赤色の副画素、緑色の副画素、青色の副画素の3つの副画素を有する場合、少なくとも1つの副画素が受発光素子を有し、他の副画素は発光素子を有する構成とする。したがって、本発明の一態様の表示装置の受発光部は、受発光素子と発光素子との双方を用いて画像を表示する機能を有する。
受発光素子が、発光素子と受光素子を兼ねることで、画素に含まれる副画素の数を増やさずに、画素に受光機能を付与することができる。これにより、画素の開口率(各副画素の開口率)、及び、表示装置の精細度を維持したまま、表示装置の受発光部に、撮像機能及びセンシング機能の一方又は双方を付加することができる。したがって、本発明の一態様の表示装置は、発光素子を有する副画素とは別に、受光素子を有する副画素を設ける場合に比べ、画素の開口率を高くでき、また、高精細化が容易である。
本発明の一態様の表示装置は、受発光部に、受発光素子と発光素子がマトリクス状に配置されており、当該受発光部で画像を表示することができる。また、受発光部は、イメージセンサ、タッチセンサなどに用いることができる。本発明の一態様の表示装置は、発光素子をセンサの光源として利用することができる。そのため暗い場所でも、撮像、タッチ操作の検出などが可能である。
受発光素子は、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製することができる。例えば、有機EL素子の積層構造に、有機フォトダイオードの活性層を追加することで、受発光素子を作製することができる。さらに、有機EL素子と有機フォトダイオードを組み合わせて作製する受発光素子は、有機EL素子と共通の構成にできる層を一括で成膜することで、成膜工程の増加を抑制することができる。
例えば、一対の電極のうち一方(共通電極)を、受発光素子及び発光素子で共通の層とすることができる。また、例えば、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層の少なくとも1つを、受発光素子及び発光素子で共通の層としてもよい。
なお、受発光素子が有する層は、受発光素子が、受光素子として機能する場合と、発光素子として機能する場合と、で、機能が異なることがある。本明細書中では、受発光素子が発光素子として機能する場合における機能に基づいて構成要素を呼称する。
本実施の形態の表示装置は、発光素子及び受発光素子を用いて、画像を表示する機能を有する。つまり、発光素子及び受発光素子は、表示素子として機能する。
本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、光を検出する機能を有する。受発光素子は、受発光素子自身が発する光よりも短波長の光を検出することができる。
受発光素子をイメージセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、画像を撮像することができる。また、受発光素子をタッチセンサに用いる場合、本実施の形態の表示装置は、受発光素子を用いて、対象物のタッチ操作を検出することができる。
受発光素子は、光電変換素子として機能する。受発光素子は、上記発光素子の構成に、受光素子の活性層を追加することで作製することができる。受発光素子には、例えば、pn型又はpin型のフォトダイオードの活性層を用いることができる。
特に、受発光素子には、有機化合物を含む層を有する有機フォトダイオードの活性層を用いることが好ましい。有機フォトダイオードは、薄型化、軽量化、及び大面積化が容易であり、また、形状及びデザインの自由度が高いため、様々な装置に適用できる。
以下では、本発明の一態様の表示装置の一例である表示装置について、図面を用いてより具体的に説明する。
[表示装置の構成例]
〔構成例1〕
図18Aに、表示パネル200の模式図を示す。表示パネル200は、基板201、基板202、受光素子212、発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、機能層203等を有する。
発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、及び受光素子212は、基板201と基板202の間に設けられている。発光素子211R、発光素子211G、発光素子211Bは、それぞれ赤色(R)、緑色(G)、又は青色(B)の光を発する。なお以下では、発光素子211R、発光素子211G、及び発光素子211Bを区別しない場合に、発光素子211と表記する場合がある。
表示パネル200は、マトリクス状に配置された複数の画素を有する。1つの画素は、1つ以上の副画素を有する。1つの副画素は、1つの発光素子を有する。例えば、画素には、副画素を3つ有する構成(R、G、Bの3色、又は、黄色(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)の3色など)、又は、副画素を4つ有する構成(R、G、B、白色(W)の4色、又は、R、G、B、Yの4色など)を適用できる。さらに、画素は、受光素子212を有する。受光素子212は、全ての画素に設けられていてもよく、一部の画素に設けられていてもよい。また、1つの画素が複数の受光素子212を有していてもよい。
図18Aには、基板202の表面に指220が触れる様子を示している。発光素子211Gが発する光の一部は、基板202と指220との接触部で反射される。そして、反射光の一部が、受光素子212に入射されることにより、指220が基板202に接触したことを検出することができる。すなわち、表示パネル200はタッチパネルとして機能することができる。
機能層203は、発光素子211R、発光素子211G、発光素子211Bを駆動する回路、及び、受光素子212を駆動する回路を有する。機能層203には、スイッチ、トランジスタ、容量、配線などが設けられる。なお、発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、及び受光素子212をパッシブマトリクス方式で駆動させる場合には、スイッチ、トランジスタなどを設けない構成としてもよい。
表示パネル200は、指220の指紋を検出する機能を有することが好ましい。図18Bには、基板202に指220が触れている状態における接触部の拡大図を模式的に示している。また、図18Bには、交互に配列した発光素子211と受光素子212を示している。
指220は凹部及び凸部により指紋が形成されている。そのため、図18Bに示すように指紋の凸部が基板202に触れている。
ある表面、界面などから反射される光には、正反射光と拡散反射光とがある。正反射光は入射角と反射角が一致する、指向性の高い光であり、拡散反射光は、強度の角度依存性が低い、指向性の低い光である。指220の表面から反射される光は、正反射光と拡散反射光のうち拡散反射光の成分が支配的となる。一方、基板202と大気との界面から反射される光は、正反射光の成分が支配的となる。
指220と基板202との接触面又は非接触面で反射され、これらの直下に位置する受光素子212に入射される光の強度は、正反射光と拡散反射光とを足し合わせたものとなる。上述のように指220の凹部では基板202と指220が接触しないため、正反射光(実線矢印で示す。)が支配的となり、凸部ではこれらが接触するため、指220からの拡散反射光(破線矢印で示す。)が支配的となる。したがって、凹部の直下に位置する受光素子212で受光する光の強度は、凸部の直下に位置する受光素子212よりも高くなる。これにより、指220の指紋を撮像することができる。
受光素子212の配列間隔は、指紋の2つの凸部間の距離、好ましくは隣接する凹部と凸部間の距離よりも小さい間隔とすることで、鮮明な指紋の画像を取得することができる。人の指紋の凹部と凸部の間隔は概ね200μmであることから、例えば受光素子212の配列間隔は、400μm以下、好ましくは200μm以下、より好ましくは150μm以下、さらに好ましくは100μm以下、さらに好ましくは50μm以下であって、1μm以上、好ましくは10μm以上、より好ましくは20μm以上とする。
表示パネル200で撮像した指紋の画像の例を図18Cに示す。図18Cには、撮像範囲223内に、指220の輪郭を破線で、接触部221の輪郭を一点鎖線で示している。接触部221内において、受光素子212に入射する光量の違いによって、コントラストの高い指紋222を撮像することができる。
表示パネル200は、タッチパネル、ペンタブレットとしても機能させることができる。図18Dには、スタイラス225の先端を基板202に接触させた状態で、破線矢印の方向に滑らせている様子を示している。
図18Dに示すように、スタイラス225の先端と、基板202の接触面で拡散される拡散反射光が、当該接触面と重なる部分に位置する受光素子212に入射することで、スタイラス225の先端の位置を高精度に検出することができる。
図18Eには、表示パネル200で検出したスタイラス225の軌跡226の例を示している。表示パネル200は、高い位置精度でスタイラス225等の被検出体の位置検出が可能であるため、描画アプリケーション等において、高精細な描画を行うことも可能である。また、静電容量式のタッチセンサ、電磁誘導型のタッチペン等を用いた場合とは異なり、絶縁性の高い被検出体であっても位置検出が可能であるため、スタイラス225の先端部の材料は問われず、様々な筆記用具(例えば、筆、ガラスペン、羽ペンなど)を用いることもできる。
ここで、図18F乃至図18Hに、表示パネル200に適用可能な画素の一例を示す。
図18F、及び図18Gに示す画素は、それぞれ赤色(R)の発光素子211R、緑色(G)の発光素子211G、青色(B)の発光素子211Bと、受光素子212を有する。画素は、それぞれ発光素子211R、発光素子211G、発光素子211B、及び受光素子212を駆動するための画素回路を有する。
図18Fは、2×2のマトリクス状に、3つの発光素子と1つの受光素子が配置されている例である。図18Gは、3つの発光素子が一列に配列し、その下側に、横長の1つの受光素子212が配置されている例である。
図18Hに示す画素は、白色(W)の発光素子211Wを有する例である。ここでは、4つの発光素子が一列に配置され、その下側に受光素子212が配置されている。
なお、画素の構成は上記に限られず、様々な配置方法を採用することができる。
〔構成例2〕
以下では、可視光を呈する発光素子と、赤外光を呈する発光素子と、受光素子と、を備える構成の例について説明する。
図19Aに示す表示パネル200Aは、図18Aで例示した構成に加えて、発光素子211IRを有する。発光素子211IRは、赤外光IRを発する発光素子である。またこのとき、受光素子212には、少なくとも発光素子211IRが発する赤外光IRを受光することのできる素子を用いることが好ましい。また、受光素子212として、可視光と赤外光の両方を受光することのできる素子を用いることがより好ましい。
図19Aに示すように、基板202に指220が触れると、発光素子211IRから発せられた赤外光IRが指220により反射され、当該反射光の一部が受光素子212に入射されることにより、指220の位置情報を取得することができる。
図19B乃至図19Dに、表示パネル200Aに適用可能な画素の一例を示す。
図19Bは、3つの発光素子(発光素子211R、発光素子211G、及び発光素子211B)が一列に配列し、その下側に、発光素子211IRと、受光素子212とが横に並んで配置されている例である。また、図19Cは、発光素子211IRを含む4つの発光素子が一列に配列し、その下側に、受光素子212が配置されている例である。
また、図19Dは、発光素子211IRを中心にして、四方に3つの発光素子(発光素子211R、発光素子211G、及び発光素子211B)と、受光素子212が配置されている例である。
なお、図19B乃至図19Dに示す画素において、発光素子同士、及び発光素子と受光素子とは、それぞれの位置を交換可能である。
〔構成例3〕
以下では、可視光を呈する発光素子と、可視光を呈し、かつ可視光を受光する受発光素子と、を備える構成の例について説明する。
図20Aに示す表示パネル200Bは、発光素子211B、発光素子211G、及び受発光素子213Rを有する。受発光素子213Rは、赤色(R)の光を発する発光素子としての機能と、可視光を受光する光電変換素子としての機能と、を有する。図20Aでは、受発光素子213Rが、発光素子211Gが発する緑色(G)の光を受光する例を示している。なお、受発光素子213Rは、発光素子211Bが発する青色(B)の光を受光してもよい。また、受発光素子213Rは、緑色の光と青色の光の両方を受光してもよい。
例えば、受発光素子213Rは、自身が発する光よりも短波長の光を受光することが好ましい。又は、受発光素子213Rは、自身が発する光よりも長波長の光(例えば、赤外光)を受光する構成としてもよい。受発光素子213Rは、自身が発する光と同程度の波長を受光する構成としてもよいが、その場合は自身が発する光をも受光してしまい、発光効率が低下してしまう恐れがある。そのため、受発光素子213Rは、発光スペクトルのピークと、吸収スペクトルのピークとができるだけ重ならないように構成されることが好ましい。
また、ここでは受発光素子が発する光は、赤色の光に限られない。また、発光素子が発する光も、緑色の光と青色の光の組み合わせに限定されない。例えば受発光素子として、緑色又は青色の光を発し、かつ、自身が発する光とは異なる波長の光を受光する素子とすることができる。
このように、受発光素子213Rが、発光素子と受光素子とを兼ねることにより、一画素に配置する素子の数を減らすことができる。そのため、高精細化、高開口率化、高解像度化などが容易となる。
図20B乃至図20Iに、表示パネル200Bに適用可能な画素の一例を示す。
図20Bは、受発光素子213R、発光素子211G、及び発光素子211Bが一列に配列されている例である。図20Cは、発光素子211Gと発光素子211Bが縦方向に交互に配列し、これらの横に受発光素子213Rが配置されている例である。
図20Dは、2×2のマトリクス状に、3つの発光素子(発光素子211G、発光素子211B、及び発光素子211X)と、1つの受発光素子213Rが配置されている例である。発光素子211Xは、R、G、B以外の光を呈する素子である。R、G、B以外の光としては、白色(W)、黄色(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、赤外光(IR)、紫外光(UV)等の光が挙げられる。発光素子211Xが赤外光を呈する場合、受発光素子は、赤外光を検出する機能、又は、可視光及び赤外光の双方を検出する機能を有することが好ましい。センサの用途に応じて、受発光素子が検出する光の波長を決定することができる。
図20Eには、2つ分の画素を示している。点線で囲まれた3つの素子を含む領域が1つの画素に相当する。画素はそれぞれ発光素子211G、発光素子211B、及び受発光素子213Rを有する。図20Eに示す左の画素では、受発光素子213Rと同じ行に発光素子211Gが配置され、受発光素子213Rと同じ列に発光素子211Bが配置されている。図20Eに示す右の画素では、受発光素子213Rと同じ行に発光素子211Gが配置され、発光素子211Gと同じ列に発光素子211Bが配置されている。図20Eに示す画素レイアウトでは、奇数行と偶数行のいずれにおいても、受発光素子213R、発光素子211G、及び発光素子211Bが繰り返し配置されており、かつ、各列において、奇数行と偶数行では互いに異なる色の発光素子又は受発光素子が配置される。
図20Fには、ペンタイル配列が適用された4つの画素を示しており、隣接する2つの画素は組み合わせの異なる2色の光を呈する発光素子又は受発光素子を有する。なお、図20Fでは、発光素子又は受発光素子の上面形状を示している。
図20Fに示す左上の画素と右下の画素は、受発光素子213Rと発光素子211Gを有する。また右上の画素と左下の画素は、発光素子211Gと発光素子211Bを有する。すなわち、図20Fに示す例では、各画素に発光素子211Gが設けられている。
発光素子及び受発光素子の上面形状は特に限定されず、円、楕円、多角形、角の丸い多角形等とすることができる。図20F等では、発光素子及び受発光素子の上面形状として、略45度傾いた正方形(ひし形)である例を示している。なお、各色の発光素子及び受発光素子の上面形状は、互いに異なっていてもよく、一部又は全ての色で同じであってもよい。
また、各色の発光素子及び受発光素子の発光領域(又は受発光領域)のサイズは、互いに異なっていてもよく、一部又は全ての色で同じであってもよい。例えば図20Fにおいて、各画素に設けられる発光素子211Gの発光領域の面積を他の素子の発光領域(又は受発光領域)よりも小さくしてもよい。
図20Gは、図20Fに示す画素配列の変形例である。具体的には、図20Gの構成は、図20Fの構成を45度回転させることで得られる。図20Fでは、1つの画素に2つの素子を有するとして説明したが、図20Gに示すように、4つの素子により1つの画素が構成されていると捉えることもできる。
図20Hは、図20Fに示す画素配列の変形例である。図20Hに示す左上の画素と右下の画素は、受発光素子213Rと発光素子211Gを有する。また右上の画素と左下の画素は、受発光素子213Rと発光素子211Bを有する。すなわち、図20Hに示す例では、各画素に受発光素子213Rが設けられている。各画素に受発光素子213Rが設けられているため、図20Hに示す構成は、図20Fに示す構成に比べて、高い精細度で撮像を行うことができる。これにより、例えば、生体認証の精度を高めることができる。
図20Iは、図20Hに示す画素配列の変形例であり、当該画素配列を45度回転させることで得られる構成である。
図20Iでは、4つの素子(2つの発光素子と2つの受発光素子)により1つの画素が構成されることとして説明を行う。このように、1つの画素が、受光機能を有する受発光素子を複数有することで、高い精細度で撮像を行うことができる。したがって、生体認証の精度を高めることができる。例えば、撮像の精細度を、表示の精細度のルート2倍とすることができる。
図20H又は図20Iに示す構成が適用された表示装置は、p個(pは2以上の整数)の第1の発光素子と、q個(qは2以上の整数)の第2の発光素子と、r個(rはpより大きく、qより大きい整数)の受発光素子と、を有する。pとrはr=2pを満たす。また、p、q、rはr=p+qを満たす。第1の発光素子と第2の発光素子のうち一方が緑色の光を発し、他方が青色の光を発する。受発光素子は、赤色の光を発し、かつ、受光機能を有する。
例えば、受発光素子を用いて、タッチ操作の検出を行う場合、光源からの発光がユーザに視認されにくいことが好ましい。青色の光は、緑色の光よりも視認性が低いため、青色の光を発する発光素子を光源とすることが好ましい。したがって、受発光素子は、青色の光を受光する機能を有することが好ましい。なお、これに限られず、受発光素子の感度に応じて、光源とする発光素子を適宜選択することができる。
以上のように、本実施の形態の表示装置には、様々な配列の画素を適用することができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様である受発光装置に用いることができる発光素子(発光デバイスともいう。)、及び受光素子(受光デバイスともいう。)について説明する。
本明細書等において、メタルマスク、又はFMM(ファインメタルマスク、高精細なメタルマスク)を用いて作製されるデバイスをMM(メタルマスク)構造のデバイスと呼称する場合がある。また、本明細書等において、メタルマスク、又はFMMを用いることなく作製されるデバイスをMML(メタルマスクレス)構造のデバイスと呼称する場合がある。
なお、本明細書等において、各色の発光デバイス(ここでは青(B)、緑(G)、及び赤(R))で、発光層を作り分ける、又は発光層を塗り分ける構造をSBS(Side By Side)構造と呼ぶ場合がある。また、本明細書等において、白色光を発することのできる発光デバイスを白色発光デバイスと呼ぶ場合がある。なお、白色発光デバイスは、着色層(例えば、カラーフィルタ)と組み合わせることで、フルカラー表示の表示装置を実現することができる。
また、発光デバイスは、シングル構造と、タンデム構造とに大別することができる。シングル構造のデバイスは、一対の電極間に1つの発光ユニットを有し、当該発光ユニットは、1以上の発光層を含む構成とすることが好ましい。シングル構造で白色発光を得るには、2以上の発光層の各々の発光が補色の関係となるような発光層を選択すればよい。例えば、第1の発光層の発光色と第2の発光層の発光色を補色の関係になるようにすることで、発光デバイス全体として白色発光する構成を得ることができる。また、発光層を3つ以上有する発光デバイスの場合も同様である。
タンデム構造のデバイスは、一対の電極間に2以上の複数の発光ユニットを有し、各発光ユニットは、1以上の発光層を含む構成とすることが好ましい。各発光ユニットにおいて、同じ色の光を発する発光層を用いることで、所定の電流当たりの輝度が高められ、かつ、シングル構造と比較して信頼性の高い発光デバイスとすることができる。タンデム構造で白色発光を得るには、複数の発光ユニットの発光層からの光を合わせて白色発光が得られる構成とすればよい。なお、白色発光が得られる発光色の組み合わせについては、シングル構造の構成と同様である。なお、タンデム構造のデバイスにおいて、複数の発光ユニットの間には、電荷発生層などの中間層を設けると好適である。
また、上述の白色発光デバイス(シングル構造又はタンデム構造)と、SBS構造の発光デバイスと、を比較した場合、SBS構造の発光デバイスは、白色発光デバイスよりも消費電力を低くすることができる。消費電力を低く抑えたい場合は、SBS構造の発光デバイスを用いると好適である。一方で、白色発光デバイスは、製造プロセスがSBS構造の発光デバイスよりも簡単であるため、製造コストを低くすることができる、又は製造歩留まりを高くすることができ、好適である。
[デバイス構造]
次に、本発明の一態様の表示装置に用いることができる、発光素子、受光素子、及び受発光素子の詳細な構成について説明する。
本発明の一態様の表示装置は、発光素子が形成されている基板とは反対方向に光を射出するトップエミッション型、発光素子が形成されている基板側に光を射出するボトムエミッション型、両面に光を射出するデュアルエミッション型のいずれであってもよい。
本実施の形態では、トップエミッション型の表示装置を例に挙げて説明する。
なお、本明細書等において、特に説明のない限り、要素(発光素子、発光層など)を複数有する構成を説明する場合であっても、各々の要素に共通する事項を説明する場合には、アルファベットを省略して説明する。例えば、発光層383R、発光層383G等に共通する事項を説明する場合に、発光層383と記す場合がある。
図21Aに示す表示装置380Aは、受光素子370PD、赤色(R)の光を発する発光素子370R、緑色(G)の光を発する発光素子370G、及び、青色(B)の光を発する発光素子370Bを有する。
各発光素子は、画素電極371、正孔注入層381、正孔輸送層382、発光層383(発光層383R、発光層383G、及び発光層383B)、電子輸送層384、電子注入層385、及び共通電極375を、この順で積層して有する。発光素子370Rは、発光層383Rを有し、発光素子370Gは、発光層383Gを有し、発光素子370Bは、発光層383Bを有する。発光層383Rは、赤色の光を発する発光物質を有し、発光層383Gは、緑色の光を発する発光物質を有し、発光層383Bは、青色の光を発する発光物質を有する。
発光素子は、画素電極371と共通電極375との間に電圧を印加することで、共通電極375側に光を射出する電界発光素子である。
受光素子370PDは、画素電極371、正孔注入層381、正孔輸送層382、活性層373、電子輸送層384、電子注入層385、及び共通電極375を、この順で積層して有する。
受光素子370PDは、表示装置380Aの外部から入射される光を受光し、電気信号に変換する、光電変換素子である。
本実施の形態では、発光素子及び受光素子のいずれにおいても、画素電極371が陽極として機能し、共通電極375が陰極として機能するものとして説明する。つまり、受光素子は、画素電極371と共通電極375との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受光素子に入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
本実施の形態の表示装置では、受光素子370PDの活性層373に有機化合物を用いる。受光素子370PDは、活性層373以外の層を、発光素子と共通の構成にすることができる。そのため、発光素子の作製工程に、活性層373を成膜する工程を追加するのみで、発光素子の形成と並行して受光素子370PDを形成することができる。また、発光素子と受光素子370PDとを同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子370PDを内蔵することができる。
表示装置380Aでは、受光素子370PDの活性層373と、発光素子の発光層383と、を作り分ける以外は、受光素子370PDと発光素子が共通の構成である例を示す。ただし、受光素子370PDと発光素子の構成はこれに限定されない。受光素子370PDと発光素子は、活性層373と発光層383の他にも、互いに作り分ける層を有していてもよい。受光素子370PDと発光素子は、共通で用いられる層(共通層)を1層以上有することが好ましい。これにより、作製工程を大幅に増やすことなく、表示装置に受光素子370PDを内蔵することができる。
画素電極371と共通電極375のうち、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
本実施の形態の表示装置が有する発光素子には、微小光共振器(マイクロキャビティ)構造が適用されていることが好ましい。したがって、発光素子が有する一対の電極の一方は、可視光に対する透過性及び反射性を有する電極(半透過・半反射電極)を有することが好ましく、他方は、可視光に対する反射性を有する電極(反射電極)を有することが好ましい。発光素子がマイクロキャビティ構造を有することで、発光層から得られる発光を両電極間で共振させ、発光素子から射出される光を強めることができる。
なお、半透過・半反射電極は、反射電極と可視光に対する透過性を有する電極(透明電極ともいう。)との積層構造とすることができる。
透明電極の光の透過率は、40%以上とする。例えば、発光素子には、可視光(波長400nm以上750nm未満の光)の透過率が40%以上である電極を用いることが好ましい。半透過・半反射電極の可視光の反射率は、10%以上95%以下、好ましくは30%以上80%以下とする。反射電極の可視光の反射率は、40%以上100%以下、好ましくは70%以上100%以下とする。また、これらの電極の抵抗率は、1×10-2Ωcm以下が好ましい。なお、発光素子が近赤外光(波長750nm以上1300nm以下の光)を発する場合、これらの電極の近赤外光の透過率又は反射率は、可視光の透過率又は反射率と同様に、上記の数値範囲を満たすことが好ましい。
発光素子は少なくとも発光層383を有する。発光素子は、発光層383以外の層として、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、電子ブロック材料、又はバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)等を含む層をさらに有していてもよい。
例えば、発光素子及び受光素子は、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を共通の構成とすることができる。また、発光素子及び受光素子は、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、及び電子注入層のうち1層以上を互いに作り分けることができる。
正孔注入層は、陽極から正孔輸送層に正孔を注入する層であり、正孔注入性の高い材料を含む層である。正孔注入性の高い材料としては、芳香族アミン化合物、又は正孔輸送性材料とアクセプター性材料(電子受容性材料)とを含む複合材料を用いることができる。
正孔輸送性材料としては、後述の、正孔輸送層に用いることができる正孔輸送性の高い材料を用いることができる。
アクセプター性材料としては、例えば、元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物を用いることができる。具体的には、酸化モリブデン、酸化バナジウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化クロム、酸化タングステン、酸化マンガン、及び、酸化レニウムが挙げられる。中でも特に、酸化モリブデンは大気中でも安定であり、吸湿性が低く、扱いやすいため好ましい。また、フッ素を含む有機アクセプター性材料を用いることもできる。また、キノジメタン誘導体、クロラニル誘導体、ヘキサアザトリフェニレン誘導体などの有機アクセプター性材料を用いることもできる。なお、正孔注入性の高い材料としては、上述の元素周期表における第4族乃至第8族に属する金属の酸化物(代表的には、酸化モリブデン)と、有機材料と、を混合した混合材料を用いてもよい。
正孔輸送層は、正孔注入層によって、陽極から注入された正孔を発光層に輸送する層である。受光素子において、正孔輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した正孔を陽極に輸送する層である。正孔輸送層は、正孔輸送性材料を含む層である。正孔輸送性材料としては、1×10-6cm2/Vs以上の正孔移動度を有する物質が好ましい。なお、電子よりも正孔の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。正孔輸送性材料としては、π電子過剰型複素芳香族化合物(例えば、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体など)、芳香族アミン(芳香族アミン骨格を有する化合物)等の正孔輸送性の高い材料が好ましい。
電子輸送層は、電子注入層によって、陰極から注入された電子を発光層に輸送する層である。受光素子において、電子輸送層は、活性層において入射した光に基づき発生した電子を陰極に輸送する層である。電子輸送層は、電子輸送性材料を含む層である。電子輸送性材料としては、1×10-6cm2/Vs以上の電子移動度を有する物質が好ましい。なお、正孔よりも電子の輸送性の高い物質であれば、これら以外のものも用いることができる。電子輸送性材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体等の他、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン配位子を有するキノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、その他含窒素複素芳香族化合物を含むπ電子不足型複素芳香族化合物等の電子輸送性の高い材料を用いることができる。
電子注入層は、陰極から電子輸送層に電子を注入する層であり、電子注入性の高い材料を含む層である。電子注入性の高い材料としては、アルカリ金属、アルカリ土類金属、又はそれらの化合物を用いることができる。電子注入性の高い材料としては、電子輸送性材料とドナー性材料(電子供与性材料)とを含む複合材料を用いることもできる。
発光層383は、発光物質を含む層である。発光層383は、一種又は複数種の発光物質を有することができる。発光物質としては、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの発光色を呈する物質を適宜用いる。また、発光物質として、近赤外光を発する物質を用いることもできる。
発光物質としては、蛍光材料、燐光材料、TADF材料、量子ドット材料などが挙げられる。
蛍光材料としては、例えば、ピレン誘導体、アントラセン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、カルバゾール誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、キノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、フェナントレン誘導体、ナフタレン誘導体などが挙げられる。
燐光材料としては、例えば、4H-トリアゾール骨格、1H-トリアゾール骨格、イミダゾール骨格、ピリミジン骨格、ピラジン骨格、又はピリジン骨格を有する有機金属錯体(特に、イリジウム錯体)、電子吸引基を有するフェニルピリジン誘導体を配位子とする有機金属錯体(特に、イリジウム錯体)、白金錯体、希土類金属錯体等が挙げられる。
発光層383は、発光物質(ゲスト材料)に加えて、一種又は複数種の有機化合物(ホスト材料、アシスト材料等)を有していてもよい。一種又は複数種の有機化合物としては、正孔輸送性材料及び電子輸送性材料の一方又は双方を用いることができる。また、一種又は複数種の有機化合物として、バイポーラ性材料、又はTADF材料を用いてもよい。
発光層383は、例えば、燐光材料と、励起錯体を形成しやすい組み合わせである正孔輸送性材料及び電子輸送性材料と、を有することが好ましい。このような構成とすることにより、励起錯体から発光物質(燐光材料)へのエネルギー移動であるExTET(Exciplex-Triplet Energy Transfer)を用いた発光を効率よく得ることができる。発光物質の最も低エネルギー側の吸収帯の波長と重なるような発光を呈する励起錯体を形成するような組み合わせを選択することで、エネルギー移動がスムーズとなり、効率よく発光を得ることができる。この構成により、発光素子の高効率、低電圧駆動、長寿命を同時に実現できる。
励起錯体を形成する材料の組み合わせとしては、正孔輸送性材料のHOMO準位(最高被占有軌道準位)が電子輸送性材料のHOMO準位以上の値であると好ましい。正孔輸送性材料のLUMO準位(最低空軌道準位)が電子輸送性材料のLUMO準位以上の値であると好ましい。材料のLUMO準位及びHOMO準位は、サイクリックボルタンメトリ(CV)測定によって測定される材料の電気化学特性(還元電位及び酸化電位)から導出することができる。
励起錯体の形成は、例えば正孔輸送性材料の発光スペクトル、電子輸送性材料の発光スペクトル、及びこれら材料を混合した混合膜の発光スペクトルを比較し、混合膜の発光スペクトルが、各材料の発光スペクトルよりも長波長シフトする(又は長波長側に新たなピークを持つ。)現象を観測することにより確認することができる。又は、正孔輸送性材料の過渡フォトルミネッセンス(PL)、電子輸送性材料の過渡PL、及びこれら材料を混合した混合膜の過渡PLを比較し、混合膜の過渡PL寿命が、各材料の過渡PL寿命よりも長寿命成分を有する、又は遅延成分の割合が大きくなるなどの過渡応答の違いを観測することにより、確認することができる。また、上述の過渡PLは過渡エレクトロルミネッセンス(EL)と読み替えても構わない。すなわち、正孔輸送性材料の過渡EL、電子輸送性を有する材料の過渡EL、及びこれらの混合膜の過渡ELを比較し、過渡応答の違いを観測することによっても、励起錯体の形成を確認することができる。
活性層373は、半導体を含む。当該半導体としては、シリコンなどの無機半導体、及び、有機化合物を含む有機半導体が挙げられる。本実施の形態では、活性層373が有する半導体として、有機半導体を用いる例を示す。有機半導体を用いることで、発光層383と、活性層373と、を同じ方法(例えば、真空蒸着法)で形成することができ、製造装置を共通化できるため好ましい。
活性層373が有するn型半導体の材料としては、フラーレン(例えば、C60、C70等)、フラーレン誘導体等の電子受容性の有機半導体材料が挙げられる。フラーレンは、サッカーボールのような形状を有し、当該形状はエネルギー的に安定である。フラーレンは、HOMO準位及びLUMO準位の双方が深い(低い)。フラーレンは、LUMO準位が深いため、電子受容性(アクセプター性)が極めて高い。通常、ベンゼンのように、平面にπ電子共役(共鳴)が広がると、電子供与性(ドナー性)が高くなるが、フラーレンは球体形状であるため、π電子共役が大きく広がっているにも関わらず、電子受容性が高くなる。電子受容性が高いと、電荷分離を高速に効率よく起こすため、受光素子として有益である。C60、C70ともに可視光領域に広い吸収帯を有しており、特にC70はC60に比べてπ電子共役系が大きく、長波長領域にも広い吸収帯を有するため好ましい。その他、フラーレン誘導体としては、[6,6]-Phenyl-C71-butyric acid methyl ester(略称:PC70BM)、[6,6]-Phenyl-C61-butyric acid methyl ester(略称:PC60BM)、1’,1’’,4’,4’’-Tetrahydro-di[1,4]methanonaphthaleno[1,2:2’,3’,56,60:2’’,3’’][5,6]fullerene-C60(略称:ICBA)などが挙げられる。
また、n型半導体の材料としては、例えば、N,N’-ジメチル-3,4,9,10-ペリレンテトラカルボン酸ジイミド(略称:Me-PTCDI)などのペリレンテトラカルボン酸誘導体が挙げられる。
また、n型半導体の材料としては、例えば、2,2’-(5,5’-(チエノ[3,2-b]チオフェン-2,5-ジイル)ビス(チオフェン-5,2-ジイル))ビス(メタン-1-イル-1-イリデン)ジマロノニトリル(略称:FT2TDMN)が挙げられる。
また、n型半導体の材料としては、キノリン骨格を有する金属錯体、ベンゾキノリン骨格を有する金属錯体、オキサゾール骨格を有する金属錯体、チアゾール骨格を有する金属錯体、オキサジアゾール誘導体、トリアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、オキサゾール誘導体、チアゾール誘導体、フェナントロリン誘導体、キノリン誘導体、ベンゾキノリン誘導体、キノキサリン誘導体、ジベンゾキノキサリン誘導体、ピリジン誘導体、ビピリジン誘導体、ピリミジン誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、クマリン誘導体、ローダミン誘導体、トリアジン誘導体、キノン誘導体等が挙げられる。
活性層373が有するp型半導体の材料としては、銅(II)フタロシアニン(Copper(II) phthalocyanine;CuPc)、テトラフェニルジベンゾペリフランテン(Tetraphenyldibenzoperiflanthene;DBP)、亜鉛フタロシアニン(Zinc Phthalocyanine;ZnPc)、スズフタロシアニン(SnPc)、キナクリドン、ルブレン等の電子供与性の有機半導体材料が挙げられる。
また、p型半導体の材料としては、カルバゾール誘導体、チオフェン誘導体、フラン誘導体、芳香族アミン骨格を有する化合物等が挙げられる。さらに、p型半導体の材料としては、ナフタレン誘導体、アントラセン誘導体、ピレン誘導体、トリフェニレン誘導体、フルオレン誘導体、ピロール誘導体、ベンゾフラン誘導体、ベンゾチオフェン誘導体、インドール誘導体、ジベンゾフラン誘導体、ジベンゾチオフェン誘導体、インドロカルバゾール誘導体、ポルフィリン誘導体、フタロシアニン誘導体、ナフタロシアニン誘導体、キナクリドン誘導体、ルブレン誘導体、テトラセン誘導体、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリパラフェニレン誘導体、ポリフルオレン誘導体、ポリビニルカルバゾール誘導体、ポリチオフェン誘導体等が挙げられる。
電子供与性の有機半導体材料のHOMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のHOMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。電子供与性の有機半導体材料のLUMO準位は、電子受容性の有機半導体材料のLUMO準位よりも浅い(高い)ことが好ましい。
電子受容性の有機半導体材料として、球状のフラーレンを用い、電子供与性の有機半導体材料として、平面に近い形状の有機半導体材料を用いることが好ましい。似た形状の分子同士は集まりやすい傾向にあり、同種の分子が凝集すると、分子軌道のエネルギー準位が近いため、キャリア輸送性を高めることができる。
例えば、活性層373は、n型半導体とp型半導体とを共蒸着して形成することが好ましい。又は、活性層373は、n型半導体とp型半導体とを積層して形成してもよい。
発光素子及び受光素子には低分子系化合物及び高分子系化合物のいずれを用いることもでき、無機化合物を含んでいてもよい。発光素子及び受光素子を構成する層は、それぞれ、蒸着法(真空蒸着法を含む。)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法等の方法で形成することができる。
例えば、正孔輸送性材料又は電子ブロック材料として、ポリ(3,4-エチレンジオキシチオフェン)/ポリ(スチレンスルホン酸)(PEDOT/PSS)などの高分子化合物、及び、モリブデン酸化物、ヨウ化銅(CuI)などの無機化合物を用いることができる。また、電子輸送性材料又は正孔ブロック材料として、酸化亜鉛(ZnO)などの無機化合物、ポリエチレンイミンエトキシレート(PEIE)などの有機化合物を用いることができる。受光デバイスは、例えば、PEIEとZnOとの混合膜を有していてもよい。
また、活性層373に、ドナーとして機能するPoly[[4,8-bis[5-(2-ethylhexyl)-2-thienyl]benzo[1,2-b:4,5-b’]dithiophene-2,6-diyl]-2,5-thiophenediyl[5,7-bis(2-ethylhexyl)-4,8-dioxo-4H,8H-benzo[1,2-c:4,5-c’]dithiophene-1,3-diyl]]polymer(略称:PBDB-T)、又は、PBDB-T誘導体などの高分子化合物を用いることができる。例えば、PBDB-T又はPBDB-T誘導体にアクセプター材料を分散させる方法などが使用できる。
図21Bに示す表示装置380Bは、受光素子370PDと発光素子370Rが同一の構成である点で、表示装置380Aと異なる。
受光素子370PDと発光素子370Rは、活性層373と発光層383Rを共通して有する。
ここで、受光素子370PDは、検出したい光よりも長波長の光を発する発光素子と共通の構成にすることが好ましい。例えば、青色の光を検出する構成の受光素子370PDは、発光素子370R及び発光素子370Gの一方又は双方と同様の構成にすることができる。例えば、緑色の光を検出する構成の受光素子370PDは、発光素子370Rと同様の構成にすることができる。
受光素子370PDと、発光素子370Rと、を共通の構成にすることで、受光素子370PDと、発光素子370Rと、が互いに作り分ける層を有する構成に比べて、成膜工程の数及びマスクの数を削減することができる。したがって、表示装置の作製工程及び作製コストを削減することができる。
また、受光素子370PDと、発光素子370Rと、を共通の構成にすることで、受光素子370PDと、発光素子370Rと、が互いに作り分ける層を有する構成に比べて、位置ずれに対するマージンを狭くできる。これにより、画素の開口率を高めることができ、表示装置の光取り出し効率を高めることができる。これにより、発光素子の寿命を延ばすことができる。また、表示装置は、高い輝度を表現することができる。また、表示装置の高精細度化も可能である。
発光層383Rは、赤色の光を発する発光材料を有する。活性層373は、赤色よりも短波長の光(例えば、緑色の光及び青色の光の一方又は双方)を吸収する有機化合物を有する。活性層373は、赤色の光を吸収しにくく、かつ、赤色よりも短波長の光を吸収する有機化合物を有することが好ましい。これにより、発光素子370Rからは赤色の光が効率よく取り出され、受光素子370PDは、高い精度で赤色よりも短波長の光を検出することができる。
また、表示装置380Bでは、発光素子370R及び受光素子370PDが同一の構成である例を示すが、発光素子370R及び受光素子370PDは、それぞれ異なる厚さの光学調整層を有していてもよい。
図22A及び図22Bに示す表示装置380Cは、赤色(R)の光を発し、かつ、受光機能を有する受発光素子370SR、発光素子370G、及び、発光素子370Bを有する。発光素子370Gと発光素子370Bの構成は、上記表示装置380A等を参照できる。
受発光素子370SRは、画素電極371、正孔注入層381、正孔輸送層382、活性層373、発光層383R、電子輸送層384、電子注入層385、及び共通電極375を、この順で積層して有する。受発光素子370SRは、上記表示装置380Bで例示した発光素子370R及び受光素子370PDと同一の構成である。
図22Aでは、受発光素子370SRが発光素子として機能する場合を示す。図22Aでは、発光素子370Bが青色の光を発し、発光素子370Gが緑色の光を発し、受発光素子370SRが赤色の光を発している例を示す。
図22Bでは、受発光素子370SRが受光素子として機能する場合を示す。図22Bでは、受発光素子370SRが、発光素子370Bが発する青色の光と、発光素子370Gが発する緑色の光を受光している例を示す。
発光素子370B、発光素子370G、及び受発光素子370SRは、それぞれ、画素電極371及び共通電極375を有する。本実施の形態では、画素電極371が陽極として機能し、共通電極375が陰極として機能する場合を例に挙げて説明する。受発光素子370SRは、画素電極371と共通電極375との間に逆バイアスをかけて駆動することで、受発光素子370SRに入射する光を検出し、電荷を発生させ、電流として取り出すことができる。
受発光素子370SRは、発光素子に、活性層373を追加した構成ということができる。つまり、発光素子の作製工程に、活性層373を成膜する工程を追加するのみで、発光素子の形成と並行して受発光素子370SRを形成することができる。また、発光素子と、受発光素子とを、同一基板上に形成することができる。したがって、作製工程を大幅に増やすことなく、表示部に撮像機能及びセンシング機能の一方又は双方を付与することができる。
発光層383Rと活性層373との積層順は限定されない。図22A及び図22Bでは、正孔輸送層382上に活性層373が設けられ、活性層373上に発光層383Rが設けられている例を示す。発光層383Rと活性層373の積層順を入れ替えてもよい。
また、受発光素子は、正孔注入層381、正孔輸送層382、電子輸送層384、及び電子注入層385のうち少なくとも1層を有していなくてもよい。また、受発光素子は、正孔ブロック層、電子ブロック層など、他の機能層を有していてもよい。
受発光素子において、光を取り出す側の電極には、可視光を透過する導電膜を用いる。また、光を取り出さない側の電極には、可視光を反射する導電膜を用いることが好ましい。
受発光素子を構成する各層の機能及び材料は、発光素子及び受光素子を構成する各層の機能及び材料と同様であるため、詳細な説明は省略する。
図22C乃至図22Gに、受発光素子の積層構造の例を示す。
図22Cに示す受発光素子は、第1の電極377、正孔注入層381、正孔輸送層382、発光層383R、活性層373、電子輸送層384、電子注入層385、及び第2の電極378を有する。
図22Cは、正孔輸送層382上に発光層383Rが設けられ、発光層383R上に活性層373が積層された例である。
図22A乃至図22C、及び図22Fに示すように、活性層373と発光層383Rとは、互いに接していてもよい。
また、活性層373と発光層383Rとの間には、バッファ層が設けられることが好ましい。このとき、バッファ層は、正孔輸送性及び電子輸送性を有することが好ましい。例えば、バッファ層には、バイポーラ性の物質を用いることが好ましい。又は、バッファ層として、正孔注入層、正孔輸送層、電子輸送層、電子注入層、正孔ブロック層、電子ブロック層等のうち少なくとも1層を用いることができる。図22Dには、バッファ層として正孔輸送層382を用いる例を示す。
活性層373と発光層383Rとの間にバッファ層を設けることで、発光層383Rから活性層373に励起エネルギーが移動することを抑制できる。また、バッファ層を用いて、マイクロキャビティ構造の光路長(キャビティ長)を調整することもできる。したがって、活性層373と発光層383Rとの間にバッファ層を有する受発光素子は、高い発光効率を得ることができる。
図22Eは、正孔注入層381上に正孔輸送層382-1、活性層373、正孔輸送層382-2、発光層383Rの順で積層された積層構造を有する例である。正孔輸送層382-2は、バッファ層として機能する。正孔輸送層382-1と正孔輸送層382-2とは、同じ材料を含んでいてもよいし、異なる材料を含んでいてもよい。また、正孔輸送層382-2の代わりに、上述したバッファ層に用いることのできる層を用いてもよい。また、活性層373と、発光層383Rの位置を入れ替えてもよい。
図22Fに示す受発光素子は、正孔輸送層382を有さない点で、図22Aに示す受発光素子と異なる。このように、受発光素子は、正孔注入層381、正孔輸送層382、電子輸送層384、及び電子注入層385のうち少なくとも1層を有していなくてもよい。また、受発光素子は、正孔ブロック層、電子ブロック層など、他の機能層を有していてもよい。
図22Gに示す受発光素子は、活性層373及び発光層383Rを有さず、発光層と活性層を兼ねる層389を有する点で、図22Aに示す受発光素子と異なる。
発光層と活性層を兼ねる層としては、例えば、活性層373に用いることができるn型半導体と、活性層373に用いることができるp型半導体と、発光層383Rに用いることができる発光物質と、の3つの材料を含む層を用いることができる。
なお、n型半導体とp型半導体との混合材料の吸収スペクトルの最も低エネルギー側の吸収帯と、発光物質の発光スペクトル(PLスペクトル)の最大ピークと、は互いに重ならないことが好ましく、十分に離れていることがより好ましい。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態5)
本実施の形態では、本発明の一態様の受光デバイス等を有する表示装置の例について説明する。
本実施の形態の表示装置において、画素は、互いに異なる色を発する発光デバイスを有する副画素を、複数種有する構成とすることができる。例えば、画素は、副画素を3種類有する構成とすることができる。当該3つの副画素としては、赤色(R)、緑色(G)、青色(B)の3色の副画素、黄色(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)の3色の副画素などが挙げられる。又は、画素は副画素を4種類有する構成とすることができる。当該4つの副画素としては、R、G、B、白色(W)の4色の副画素、R、G、B、Yの4色の副画素などが挙げられる。
副画素の配列に特に限定はなく、様々な方法を適用することができる。副画素の配列としては、例えば、ストライプ配列、Sストライプ配列、マトリクス配列、デルタ配列、ベイヤー配列、ペンタイル配列などが挙げられる。
また、副画素の上面形状としては、例えば、三角形、四角形(長方形、正方形を含む。)、五角形などの多角形、これら多角形の角が丸い形状、楕円形、又は円形などが挙げられる。ここでいう副画素の上面形状は、発光デバイスの発光領域の上面形状に相当する。
画素に、発光デバイス及び受光デバイスを有する表示装置では、画素が受光機能を有するため、画像を表示しながら、対象物の接触又は近接を検出することができる。例えば、表示装置が有する副画素全てで画像を表示するだけでなく、一部の副画素は、光源としての光を呈し、残りの副画素で画像を表示することもできる。
図23A、図23B、図23Cに示す画素は、副画素G、副画素B、副画素R、及び、副画素PSを有する。
図23Aに示す画素には、ストライプ配列が適用されている。図23Bに示す画素には、マトリクス配列が適用されている。
図23Cに示す画素の配列は、1つの副画素(副画素B)の隣に、3つの副画素(副画素R、副画素G、副画素PS)が縦に3つ並んだ構成を有する。
図23D、図23E、図23Fに示す画素は、副画素G、副画素B、副画素R、副画素IR、及び副画素PSを有する。
図23D、図23E、図23Fでは、1つの画素が、2行にわたって設けられている例を示す。上の行(1行目)には、3つの副画素(副画素G、副画素B、副画素R)が設けられ、下の行(2行目)には2つの副画素(1つの副画素PSと、1つの副画素IR)が設けられている。
図23Dでは、縦長の副画素G、副画素B、副画素Rが横に3つ並び、その下側に副画素PSと、横長の副画素IRと、が横に並んだ構成を有する。図23Eでは、横長の副画素G及び副画素Rが縦方向に2つ並び、その横に縦長の副画素Bが並び、それらの下側に、横長の副画素IRと、縦長の副画素PSが横に並んだ構成を有する。図23Fでは、縦長の副画素R、副画素G、副画素Bが横に3つ並び、それらの下側に横長の副画素IRと縦長の副画素PSが横に並んだ構成を有する。図23E及び図23Fでは、副画素IRの面積が最も大きく、副画素PSの面積が副画素R、副画素G、副画素Bと同程度である場合を示している。
なお、副画素のレイアウトは図23A乃至図23Fの構成に限られない。
副画素Rは、赤色の光を発する発光デバイスを有する。副画素Gは、緑色の光を発する発光デバイスを有する。副画素Bは、青色の光を発する発光デバイスを有する。副画素IRは、赤外光を発する発光デバイスを有する。副画素PSは、受光デバイスを有する。副画素PSが検出する光の波長は特に限定されないが、副画素PSが有する受光デバイスは、副画素R、副画素G、副画素B、又は副画素IRが有する発光デバイスが発する光に感度を有することが好ましい。例えば、青色、紫色、青紫色、緑色、黄緑色、黄色、橙色、赤色などの波長域の光、及び、赤外の波長域の光のうち、1つ又は複数を検出することが好ましい。
副画素PSの受光面積は、他の副画素の発光面積よりも小さい。受光面積が小さいほど、撮像範囲が狭くなり、撮像結果のボケの抑制、及び、解像度の向上が可能となる。そのため、副画素PSを用いることで、高精細又は高解像度の撮像を行うことができる。例えば、副画素PSを用いて、指紋、掌紋、虹彩、脈形状(静脈形状、動脈形状を含む。)、又は顔などを用いた個人認証のための撮像を行うことができる。
また、副画素PSは、タッチセンサ(ダイレクトタッチセンサともいう。)又はニアタッチセンサ(ホバーセンサ、ホバータッチセンサ、非接触センサ、タッチレスセンサともいう。)などに用いることができる。例えば、副画素PSは、赤外光を検出することが好ましい。これにより、暗い場所でも、タッチ検出が可能となる。
ここで、タッチセンサ又はニアタッチセンサは、対象物(指、手、又はペンなど)の近接又は接触を検出することができる。タッチセンサは、表示装置と、対象物とが、直接接することで、対象物を検出できる。また、ニアタッチセンサは、対象物が表示装置に接触しなくても、当該対象物を検出することができる。例えば、表示装置と、対象物との間の距離が0.1mm以上300mm以下、好ましくは3mm以上50mm以下の範囲で表示装置が当該対象物を検出できる構成であると好ましい。当該構成とすることで、表示装置に対象物が直接触れずに操作することが可能となる、別言すると非接触(タッチレス)で表示装置を操作することが可能となる。上記構成とすることで、表示装置に汚れ、又は傷がつくリスクを低減することができる、又は対象物が表示装置に付着した汚れ(例えば、ゴミ、又はウィルスなど)に直接触れずに、表示装置を操作することが可能となる。
なお、高精細な撮像を行うため、副画素PSは、表示装置が有する全ての画素に設けられていることが好ましい。一方で、副画素PSは、タッチセンサ又はニアタッチセンサなどに用いる場合は、指紋などを撮像する場合と比較して高い精度が求められないため、表示装置が有する一部の画素に設けられていればよい。表示装置が有する副画素PSの数を、副画素R等の数よりも少なくすることで、検出速度を高めることができる。
図23Gに、受光デバイスを有する副画素の画素回路の一例を示し、図23Hに、発光デバイスを有する副画素の画素回路の一例を示す。
図23Gに示す画素回路PIX1は、受光デバイスPD、トランジスタM11、トランジスタM12、トランジスタM13、トランジスタM14、及び容量素子C2を有する。ここでは、受光デバイスPDとして、フォトダイオードを用いた例を示している。
受光デバイスPDは、アノードが配線V1と電気的に接続し、カソードがトランジスタM11のソース又はドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM11は、ゲートが配線TXと電気的に接続し、ソース又はドレインの他方が容量素子C2の一方の電極、トランジスタM12のソース又はドレインの一方、及びトランジスタM13のゲートと電気的に接続する。トランジスタM12は、ゲートが配線RESと電気的に接続し、ソース又はドレインの他方が配線V2と電気的に接続する。トランジスタM13は、ソース又はドレインの一方が配線V3と電気的に接続し、ソース又はドレインの他方がトランジスタM14のソース又はドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM14は、ゲートが配線SEと電気的に接続し、ソース又はドレインの他方が配線OUT1と電気的に接続する。
配線V1、配線V2、及び配線V3には、それぞれ定電位が供給される。受光デバイスPDを逆バイアスで駆動させる場合には、配線V2に、配線V1の電位よりも高い電位を供給する。トランジスタM12は、配線RESに供給される信号により制御され、トランジスタM13のゲートに接続するノードの電位を、配線V2に供給される電位にリセットする機能を有する。トランジスタM11は、配線TXに供給される信号により制御され、受光デバイスPDに流れる電流に応じて上記ノードの電位が変化するタイミングを制御する機能を有する。トランジスタM13は、上記ノードの電位に応じた出力を行う増幅トランジスタとして機能する。トランジスタM14は、配線SEに供給される信号により制御され、上記ノードの電位に応じた出力を配線OUT1に接続する外部回路で読み出すための選択トランジスタとして機能する。
図23Hに示す画素回路PIX2は、発光デバイスEL、トランジスタM15、トランジスタM16、トランジスタM17、及び容量素子C3を有する。ここでは、発光デバイスELとして、発光ダイオードを用いた例を示している。特に、発光デバイスELとして、有機EL素子を用いることが好ましい。
トランジスタM15は、ゲートが配線VGと電気的に接続し、ソース又はドレインの一方が配線VSと電気的に接続し、ソース又はドレインの他方が、容量素子C3の一方の電極、及びトランジスタM16のゲートと電気的に接続する。トランジスタM16のソース又はドレインの一方は配線V4と電気的に接続し、他方は、発光デバイスELのアノード、及びトランジスタM17のソース又はドレインの一方と電気的に接続する。トランジスタM17は、ゲートが配線MSと電気的に接続し、ソース又はドレインの他方が配線OUT2と電気的に接続する。発光デバイスELのカソードは、配線V5と電気的に接続する。
配線V4及び配線V5には、それぞれ定電位が供給される。発光デバイスELのアノード側を高電位に、カソード側をアノード側よりも低電位にすることができる。トランジスタM15は、配線VGに供給される信号により制御され、画素回路PIX2の選択状態を制御するための選択トランジスタとして機能する。また、トランジスタM16は、ゲートに供給される電位に応じて発光デバイスELに流れる電流を制御する駆動トランジスタとして機能する。トランジスタM15が導通状態のとき、配線VSに供給される電位がトランジスタM16のゲートに供給され、その電位に応じて発光デバイスELの発光輝度を制御することができる。トランジスタM17は配線MSに供給される信号により制御され、トランジスタM16と発光デバイスELとの間の電位を、配線OUT2を介して外部に出力する機能を有する。
ここで、画素回路PIX1が有するトランジスタM11、トランジスタM12、トランジスタM13、及びトランジスタM14、並びに、画素回路PIX2が有するトランジスタM15、トランジスタM16、及びトランジスタM17には、それぞれチャネルが形成される半導体層に金属酸化物(酸化物半導体)を用いたトランジスタを適用することが好ましい。
シリコンよりもバンドギャップが広く、かつキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、極めて小さいオフ電流を実現することができる。そのため、その小さいオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間にわたって保持することが可能である。そのため、特に容量素子C2又は容量素子C3に直列に接続されるトランジスタM11、トランジスタM12、及びトランジスタM15には、酸化物半導体が適用されたトランジスタを用いることが好ましい。また、これ以外のトランジスタも同様に酸化物半導体を適用したトランジスタを用いることで、作製コストを低減することができる。
例えば、室温下における、チャネル幅1μmあたりのOSトランジスタのオフ電流値は、1aA(1×10-18A)以下、1zA(1×10-21A)以下、又は1yA(1×10-24A)以下とすることができる。なお、室温下における、チャネル幅1μmあたりのSiトランジスタのオフ電流値は、1fA(1×10-15A)以上1pA(1×10-12A)以下である。したがって、OSトランジスタのオフ電流は、Siトランジスタのオフ電流よりも10桁程度低いともいえる。
また、トランジスタM11乃至トランジスタM17に、チャネルが形成される半導体にシリコンを適用したトランジスタを用いることもできる。特に単結晶シリコン又は多結晶シリコンなどの結晶性の高いシリコンを用いることで、高い電界効果移動度を実現することができ、より高速な動作が可能となるため好ましい。
また、トランジスタM11乃至トランジスタM17のうち、1以上に酸化物半導体を適用したトランジスタを用い、それ以外にシリコンを適用したトランジスタを用いる構成としてもよい。
なお、図23G、図23Hにおいて、トランジスタをnチャネル型のトランジスタとして表記しているが、pチャネル型のトランジスタを用いることもできる。
画素回路PIX1が有するトランジスタと画素回路PIX2が有するトランジスタは、同一基板上に並べて形成されることが好ましい。特に、画素回路PIX1が有するトランジスタと画素回路PIX2が有するトランジスタとを1つの領域内に混在させて周期的に配列する構成とすることが好ましい。
また、受光デバイスPD又は発光デバイスELと重なる位置に、トランジスタ及び容量素子の一方又は双方を有する層を1つ又は複数設けることが好ましい。これにより、各画素回路の実効的な占有面積を小さくでき、高精細な受光部又は表示部を実現できる。
画素回路に含まれる発光デバイスELの発光輝度を高くする場合、発光デバイスELに流す電流量を大きくする必要がある。そのためには、画素回路に含まれている駆動トランジスタのソース-ドレイン間電圧を高くする必要がある。OSトランジスタは、Siトランジスタと比較して、ソース-ドレイン間における耐圧が高いため、OSトランジスタのソース-ドレイン間には高い電圧を印加することができる。そのため、画素回路に含まれる駆動トランジスタをOSトランジスタとすることで、発光デバイスELに流れる電流量を大きくし、発光デバイスELの発光輝度を高くすることができる。
また、トランジスタが飽和領域で動作する場合において、OSトランジスタは、Siトランジスタよりも、ゲート-ソース間電圧の変化に対して、ソース-ドレイン間電流の変化を小さくすることができる。このため、画素回路に含まれる駆動トランジスタとしてOSトランジスタを適用することによって、ゲート-ソース間電圧の変化によって、ソース-ドレイン間に流れる電流を細かく定めることができ、発光デバイスに流れる電流量を制御することができる。このため、画素回路における階調を大きくすることができる。
また、トランジスタが飽和領域で動作するときに流れる電流の飽和特性において、OSトランジスタは、ソース-ドレイン間電圧が徐々に高くなった場合においても、Siトランジスタよりも安定した電流(飽和電流)を流すことができる。そのため、OSトランジスタを駆動トランジスタとして用いることで、例えば、EL材料が含まれる発光デバイスの電流-電圧特性にばらつきが生じた場合においても、発光デバイスに安定した電流を流すことができる。つまり、OSトランジスタは、飽和領域で動作する場合において、ソース-ドレイン間電圧を高くしても、ソース-ドレイン間電流がほぼ変化しないため、発光デバイスの発光輝度を安定させることができる。
上記のとおり、画素回路に含まれる駆動トランジスタにOSトランジスタを用いることで、「黒浮きの抑制」、「発光輝度の上昇」、「多階調化」、「発光デバイスのばらつきの抑制」などを図ることができる。
また、本発明の一態様の表示装置は、リフレッシュレートを可変にすることができる。例えば、表示装置に表示されるコンテンツに応じてリフレッシュレートを調整(例えば、0.01Hz以上240Hz以下の範囲で調整)して消費電力を低減させることができる。また、リフレッシュレートを低下させた駆動により、表示装置の消費電力を低減する駆動をアイドリングストップ(IDS)駆動と呼称してもよい。
また、上記のリフレッシュレートに応じて、タッチセンサ、又はニアタッチセンサの駆動周波数を変化させてもよい。例えば、表示装置のリフレッシュレートが120Hzの場合、タッチセンサ、又はニアタッチセンサの駆動周波数を120Hzよりも高い周波数(代表的には、240Hz)とする構成とすることができる。当該構成とすることで、低消費電力が実現でき、かつタッチセンサ、又はニアタッチセンサの応答速度を高めることが可能となる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態6)
本実施の形態では、本発明の一態様の電子機器について図24乃至図27を用いて説明する。
本実施の形態の電子機器は、本発明の一態様の表示装置を有する。本発明の一態様の表示装置は、高精細化、高解像度化、大型化のそれぞれが容易である。したがって、本発明の一態様の表示装置は、様々な電子機器の表示部に用いることができる。
また、本発明の一態様の表示装置は、低いコストで作製できるため、電子機器の製造コストを低減することができる。
電子機器としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型又はノート型のパーソナルコンピュータ、コンピュータ用などのモニタ、デジタルサイネージ、大型ゲーム機(例えば、パチンコ機)などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。
特に、本発明の一態様の表示装置は、精細度を高めることが可能なため、比較的小さな表示部を有する電子機器に好適に用いることができる。このような電子機器としては、例えば腕時計型、ブレスレット型などの情報端末機(ウェアラブル機器)、ヘッドマウントディスプレイなどのVR(Virtual Reality)向け機器、メガネ型のAR(Augmented Reality)向け機器など、頭部に装着可能なウェアラブル機器等が挙げられる。また、ウェアラブル機器としては、SR(Substitutional Reality)向け機器、及び、MR(Mixed Reality)向け機器も挙げられる。
本発明の一態様の表示装置は、HD(画素数1280×720)、FHD(画素数1920×1080)、WQHD(画素数2560×1440)、WQXGA(画素数2560×1600)、4K2K(画素数3840×2160)、8K4K(画素数7680×4320)といった極めて高い解像度を有していることが好ましい。特に4K2K、8K4K、又はそれ以上の解像度とすることが好ましい。また、本発明の一態様の表示装置における画素密度(精細度)は、300ppi以上が好ましく、500ppi以上がより好ましく、1000ppi以上がより好ましく、2000ppi以上がより好ましく、3000ppi以上がより好ましく、5000ppi以上がより好ましく、7000ppi以上がさらに好ましい。このように高い解像度又は高い精細度を有する表示装置を用いることで、臨場感及び奥行き感などをより高めることが可能となる。
本実施の形態の電子機器は、家屋又はビルの内壁又は外壁、又は、自動車の内装又は外装の曲面に沿って組み込むことができる。
本実施の形態の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像及び情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。
本実施の形態の電子機器は、センサ(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を検知、検出、又は測定する機能を含むもの)を有していてもよい。
本実施の形態の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出す機能等を有することができる。
図24Aに示す電子機器6500は、スマートフォンとして用いることのできる携帯情報端末機である。
電子機器6500は、筐体6501、表示部6502、電源ボタン6503、ボタン6504、スピーカ6505、マイク6506、カメラ6507、光源6508等を有する。表示部6502はタッチパネル機能を備える。
表示部6502に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図24Bは、筐体6501のマイク6506側の端部を含む断面概略図である。
筐体6501の表示面側には透光性を有する保護部材6510が設けられ、筐体6501と保護部材6510に囲まれた空間内に、表示パネル6511、光学部材6512、タッチセンサパネル6513、プリント基板6517、バッテリ6518等が配置されている。
保護部材6510には、表示パネル6511、光学部材6512、及びタッチセンサパネル6513が接着層(図示しない。)により固定されている。
表示部6502よりも外側の領域において、表示パネル6511の一部が折り返されており、当該折り返された部分にFPC6515が接続されている。FPC6515には、IC6516が実装されている。FPC6515は、プリント基板6517に設けられた端子に接続されている。
表示パネル6511には、本発明の一態様の可撓性を有する表示装置を適用することができる。そのため、極めて軽量な電子機器を実現できる。また、表示パネル6511が極めて薄いため、電子機器の厚さを抑えつつ、大容量のバッテリ6518を搭載することもできる。また、表示パネル6511の一部を折り返して、表示部6502の裏側にFPC6515との接続部を配置することにより、狭額縁の電子機器を実現できる。
図25Aにテレビジョン装置の一例を示す。テレビジョン装置7100は、筐体7101に表示部7000が組み込まれている。ここでは、スタンド7103により筐体7101を支持した構成を示している。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図25Aに示すテレビジョン装置7100の操作は、筐体7101が備える操作スイッチ、及び、別体のリモコン操作機7111により行うことができる。又は、表示部7000にタッチセンサを備えていてもよく、指等で表示部7000に触れることでテレビジョン装置7100を操作してもよい。リモコン操作機7111は、当該リモコン操作機7111から出力する情報を表示する表示部を有していてもよい。リモコン操作機7111が備える操作キー又はタッチパネルにより、チャンネル及び音量の操作を行うことができ、表示部7000に表示される映像を操作することができる。
なお、テレビジョン装置7100は、受信機及びモデムなどを備えた構成とする。受信機により一般のテレビ放送の受信を行うことができる。また、モデムを介して有線又は無線による通信ネットワークに接続することにより、一方向(送信者から受信者)又は双方向(送信者と受信者間、あるいは受信者間同士など)の情報通信を行うことも可能である。
図25Bに、ノート型パーソナルコンピュータの一例を示す。ノート型パーソナルコンピュータ7200は、筐体7211、キーボード7212、ポインティングデバイス7213、外部接続ポート7214等を有する。筐体7211に、表示部7000が組み込まれている。
表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図25C及び図25Dに、デジタルサイネージの一例を示す。
図25Cに示すデジタルサイネージ7300は、筐体7301、表示部7000、スピーカ7303等を有する。さらに、LEDランプ、操作キー(電源スイッチ、又は操作スイッチを含む。)、接続端子、各種センサ、マイクロフォン等を有することができる。
図25Dは円柱状の柱7401に取り付けられたデジタルサイネージ7400である。デジタルサイネージ7400は、柱7401の曲面に沿って設けられた表示部7000を有する。
図25C及び図25Dにおいて、表示部7000に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
表示部7000が広いほど、一度に提供できる情報量を増やすことができる。また、表示部7000が広いほど、人の目につきやすく、例えば、広告の宣伝効果を高めることができる。
表示部7000にタッチパネルを適用することで、表示部7000に画像又は動画を表示するだけでなく、使用者が直感的に操作することができ、好ましい。また、路線情報又は交通情報などの情報を提供するための用途に用いる場合には、直感的な操作によりユーザビリティを高めることができる。
また、図25C及び図25Dに示すように、デジタルサイネージ7300又はデジタルサイネージ7400は、ユーザが所持するスマートフォン等の情報端末機7311又は情報端末機7411と無線通信により連携可能であることが好ましい。例えば、表示部7000に表示される広告の情報を、情報端末機7311又は情報端末機7411の画面に表示させることができる。また、情報端末機7311又は情報端末機7411を操作することで、表示部7000の表示を切り替えることができる。
また、デジタルサイネージ7300又はデジタルサイネージ7400に、情報端末機7311又は情報端末機7411の画面を操作手段(コントローラ)としたゲームを実行させることもできる。これにより、不特定多数のユーザが同時にゲームに参加し、楽しむことができる。
図26Aは、ファインダー8100を取り付けた状態のカメラ8000の外観を示す図である。
カメラ8000は、筐体8001、表示部8002、操作ボタン8003、シャッターボタン8004等を有する。またカメラ8000には、着脱可能なレンズ8006が取り付けられている。なお、カメラ8000は、レンズ8006と筐体8001とが一体となっていてもよい。
カメラ8000は、シャッターボタン8004を押す、又はタッチパネルとして機能する表示部8002をタッチすることにより撮像することができる。
筐体8001は、電極を有するマウントを有し、ファインダー8100の他、ストロボ装置等を接続することができる。
ファインダー8100は、筐体8101、表示部8102、ボタン8103等を有する。
筐体8101は、カメラ8000のマウントと係合するマウントにより、カメラ8000に取り付けられている。ファインダー8100はカメラ8000から受信した映像等を表示部8102に表示させることができる。
ボタン8103は、電源ボタン等としての機能を有する。
カメラ8000の表示部8002、及びファインダー8100の表示部8102に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。なお、ファインダーが内蔵されたカメラ8000であってもよい。
図26Bは、ヘッドマウントディスプレイ8200の外観を示す図である。
ヘッドマウントディスプレイ8200は、装着部8201、レンズ8202、本体8203、表示部8204、ケーブル8205等を有している。また装着部8201には、バッテリ8206が内蔵されている。
ケーブル8205は、バッテリ8206から本体8203に電力を供給する。本体8203は無線受信機等を備え、受信した映像情報を表示部8204に表示させることができる。また、本体8203はカメラを備え、使用者の眼球又はまぶたの動きの情報を入力手段として用いることができる。
また、装着部8201には、使用者に触れる位置に、使用者の眼球の動きに伴って流れる電流を検知可能な複数の電極が設けられ、視線を認識する機能を有していてもよい。また、当該電極に流れる電流により、使用者の脈拍をモニタする機能を有していてもよい。また、装着部8201は、温度センサ、圧力センサ、加速度センサ等の各種センサを有していてもよく、使用者の生体情報を表示部8204に表示する機能、使用者の頭部の動きに合わせて表示部8204に表示する映像を変化させる機能などを有していてもよい。
表示部8204に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図26C乃至図26Eは、ヘッドマウントディスプレイ8300の外観を示す図である。ヘッドマウントディスプレイ8300は、筐体8301と、表示部8302と、バンド状の固定具8304と、一対のレンズ8305と、を有する。
使用者は、レンズ8305を通して、表示部8302の表示を視認することができる。なお、表示部8302を湾曲して配置させると、使用者が高い臨場感を感じることができるため好ましい。また、表示部8302の異なる領域に表示された別の画像を、レンズ8305を通して視認することで、視差を用いた3次元表示等を行うこともできる。なお、表示部8302を1つ設ける構成に限られず、表示部8302を2つ設け、使用者の片方の目につき1つの表示部8302を配置してもよい。
表示部8302に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。本発明の一態様の表示装置は、極めて高い精細度を実現することも可能である。例えば、図26Eのように、レンズ8305を用いて表示を拡大して視認される場合でも、使用者に画素が視認されにくい。つまり、表示部8302を用いて、使用者に現実感の高い映像を視認させることができる。
図26Fは、ゴーグル型のヘッドマウントディスプレイ8400の外観を示す図である。ヘッドマウントディスプレイ8400は、一対の筐体8401と、装着部8402と、緩衝部材8403と、を有する。一対の筐体8401内には、それぞれ、表示部8404及びレンズ8405が設けられる。一対の表示部8404に互いに異なる画像を表示させることで、視差を用いた3次元表示を行うことができる。
使用者は、レンズ8405を通して表示部8404を視認することができる。レンズ8405はピント調整機構を有し、使用者の視力に応じて位置を調整することができる。表示部8404は、正方形又は横長の長方形であることが好ましい。これにより、臨場感を高めることができる。
表示部8404に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
装着部8402は、使用者の顔のサイズに応じて調整でき、かつ、ずれ落ちることのないよう、可塑性及び弾性を有することが好ましい。また、装着部8402の一部は、骨伝導イヤフォンとして機能する振動機構を有していることが好ましい。これにより、別途イヤフォン、スピーカなどの音響機器を必要とせず、装着しただけで映像と音声を楽しむことができる。なお、筐体8401内に、無線通信により音声データを出力する機能を有していてもよい。
装着部8402と緩衝部材8403は、使用者の顔(額、頬など)に接触する部分である。緩衝部材8403が使用者の顔と密着することにより、光漏れを防ぐことができ、より没入感を高めることができる。緩衝部材8403は、使用者がヘッドマウントディスプレイ8400を装着した際に使用者の顔に密着するよう、柔らかな素材を用いることが好ましい。例えば、ゴム、シリコーンゴム、ウレタン、スポンジなどの素材を用いることができる。また、スポンジ等の表面を布、革(天然皮革又は合成皮革)、などで覆ったものを用いると、使用者の顔と緩衝部材8403との間に隙間が生じにくく光漏れを好適に防ぐことができる。また、このような素材を用いると、肌触りが良いことに加え、寒い季節などに装着した際に、使用者に冷たさを感じさせないため好ましい。緩衝部材8403又は装着部8402などの、使用者の肌に触れる部材は、取り外し可能な構成とすると、クリーニング又は交換が容易となるため好ましい。
図27A乃至図27Fに示す電子機器は、筐体9000、表示部9001、スピーカ9003、操作キー9005(電源スイッチ、又は操作スイッチを含む。)、接続端子9006、センサ9007(力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、におい又は赤外線を検知、検出、又は測定する機能を含むもの)、マイクロフォン9008等を有する。
図27A乃至図27Fに示す電子機器は、様々な機能を有する。例えば、様々な情報(静止画、動画、テキスト画像など)を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付又は時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア(プログラム)によって処理を制御する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラム又はデータを読み出して処理する機能、等を有することができる。なお、電子機器の機能はこれらに限られず、様々な機能を有することができる。電子機器は、複数の表示部を有していてもよい。また、電子機器にカメラ等を設け、静止画又は動画を撮影し、記録媒体(外部又はカメラに内蔵)に保存する機能、撮影した画像を表示部に表示する機能、等を有していてもよい。
表示部9001に、本発明の一態様の表示装置を適用することができる。
図27A乃至図27Fに示す電子機器の詳細について、以下、説明を行う。
図27Aは、携帯情報端末9101を示す斜視図である。携帯情報端末9101は、例えばスマートフォンとして用いることができる。なお、携帯情報端末9101は、スピーカ9003、接続端子9006、センサ9007等を設けてもよい。また、携帯情報端末9101は、文字及び画像情報をその複数の面に表示することができる。図27Aでは3つのアイコン9050を表示した例を示している。また、破線の矩形で示す情報9051を表示部9001の他の面に表示することもできる。情報9051の一例としては、電子メール、SNS、電話などの着信の通知、電子メール、SNSなどの題名、送信者名、日時、時刻、バッテリの残量、アンテナ受信の強度などがある。又は、情報9051が表示されている位置にはアイコン9050などを表示してもよい。
図27Bは、携帯情報端末9102を示す斜視図である。携帯情報端末9102は、表示部9001の3面以上に情報を表示する機能を有する。ここでは、情報9052、情報9053、情報9054が、それぞれ異なる面に表示されている例を示す。例えば、使用者は、洋服の胸ポケットに携帯情報端末9102を収納した状態で、携帯情報端末9102の上方から観察できる位置に表示された情報9053を確認することもできる。使用者は、携帯情報端末9102をポケットから取り出すことなく表示を確認し、例えば電話を受けるか否かを判断できる。
図27Cは、腕時計型の携帯情報端末9200を示す斜視図である。携帯情報端末9200は、例えばスマートウォッチ(登録商標)として用いることができる。また、表示部9001はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、携帯情報端末9200を、例えば、無線通信可能なヘッドセットと相互通信させることによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末9200は、接続端子9006により、他の情報端末と相互にデータ伝送を行うこと、及び、充電を行うこともできる。なお、充電動作は無線給電により行ってもよい。
図27D乃至図27Fは、折り畳み可能な携帯情報端末9201を示す斜視図である。また、図27Dは携帯情報端末9201を展開した状態、図27Fは折り畳んだ状態、図27Eは図27Dと図27Fの一方から他方に変化する途中の状態の斜視図である。携帯情報端末9201は、折り畳んだ状態では可搬性に優れ、展開した状態では継ぎ目のない広い表示領域により表示の一覧性に優れる。携帯情報端末9201が有する表示部9001は、ヒンジ9055によって連結された3つの筐体9000に支持されている。例えば、表示部9001は、曲率半径0.1mm以上150mm以下で曲げることができる。
本実施の形態で例示した構成例、それらに対応する図面等は、少なくともその一部を他の構成例、又は図面等と適宜組み合わせることができる。
本実施の形態は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。