JP7842727B2 - Sheet material application device and sheet material application method - Google Patents

Sheet material application device and sheet material application method

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JP7842727B2 JP2023210124A JP2023210124A JP7842727B2 JP 7842727 B2 JP7842727 B2 JP 7842727B2 JP 2023210124 A JP2023210124 A JP 2023210124A JP 2023210124 A JP2023210124 A JP 2023210124A JP 7842727 B2 JP7842727 B2 JP 7842727B2
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Description

本発明は、曲面を有するワークに対して、粘着テープまたは粘着フィルムなどを例とするシート材を貼り付けるために用いるシート材貼付け装置およびシート材貼付け方法に関する。 This invention relates to a sheet material application apparatus and a sheet material application method used for applying sheet materials, such as adhesive tape or adhesive film, to a workpiece having a curved surface.

従来、回路保護などを目的とするシート材を貼り付ける対象となるワークとして、平坦なウエハまたは基板などが用いられていた。これに対し、近年ではワークの形状が多様化しており、凹状を例とする曲面を有するワークの当該曲面に対してシート材を貼り付ける場合がある。 Traditionally, flat wafers or substrates were used as workpieces to which sheet materials, intended for circuit protection and other purposes, were attached. However, in recent years, workpiece shapes have diversified, and sheet materials are sometimes attached to curved surfaces, such as concave surfaces.

ワークの曲面にシート材を貼り付ける場合、曲面の外周部に対して先にシート材が接触することなどに起因して、シート材に皺が発生するという事態またはワークとシート材との間に気泡(ボイド)が混入するという事態が発生する。一例として凹状の曲面のうち中央部における凹みが深い部分にシート材が接触する前に曲面の外周部における凹みが浅い部分へシート材が接触すると、シート材をワークの曲面全体に貼り付ける際に皺または気泡が発生する。このような皺の発生または気泡の混入によってワークに対するシート材の密着精度が低下することを回避するため、棒状の変形部材を用いてシート材を変形させるシート材貼付け装置が提案されている(特許文献1を参照)。 When applying a sheet material to a curved surface of a workpiece, wrinkles may form in the sheet material or air bubbles (voids) may be introduced between the workpiece and the sheet material, due to factors such as the sheet material contacting the outer periphery of the curved surface first. For example, if the sheet material contacts the shallower recessed areas on the outer periphery of a concave curved surface before contacting the deeper recessed areas in the center, wrinkles or air bubbles will form when the sheet material is applied to the entire curved surface of the workpiece. To avoid a decrease in the adhesion accuracy of the sheet material to the workpiece due to such wrinkle formation or air bubble incorporation, a sheet material application device that deforms the sheet material using a rod-shaped deformation member has been proposed (see Patent Document 1).

このような装置では、真空チャンバの内部で棒状の突起部材をシート材の一部に当接させ、ワークの曲面に向かう突起部を形成させる。突起部が形成された状態で突起部材をワークに近づけることにより、一例としてワークの曲面における深い部分に当該突起部を接触させる。そしてシート材によって仕切られた真空チャンバ内の上空間と下空間との間に差圧を形成させることにより、突起部が接触した部分から周囲に拡がるようにシート材がワークの曲面に貼り付けられる。この場合、ワークのうち凹みが深い部分に対して先にシート材が貼り付けられるので、皺または気泡が発生することをより確実に回避できる。 In this type of apparatus, a rod-shaped projection is brought into contact with a portion of the sheet material inside a vacuum chamber, forming a projection that extends toward the curved surface of the workpiece. By bringing the projection closer to the workpiece with the projection formed, the projection is brought into contact with, for example, a deep portion of the workpiece's curved surface. Then, by creating a pressure difference between the upper and lower spaces within the vacuum chamber, which is separated by the sheet material, the sheet material is adhered to the curved surface of the workpiece, spreading outwards from the point of contact with the projection. In this case, since the sheet material is adhered first to the deeper recessed areas of the workpiece, the formation of wrinkles or air bubbles can be more reliably avoided.

特開2020-188216号公報Japanese Patent Publication No. 2020-188216

しかしながら、上記従来装置では次のような問題がある。すなわち、曲面を有するワークにシート材を貼り付けた場合において、ワーク全体においてシート材に一様な特性を発揮させることが困難であるという問題が新たに発見された。すなわち、ワーク全体においてシート材の特性にバラツキが発生することが分かった。 However, the conventional device described above has the following problem: Specifically, when a sheet material is attached to a curved workpiece, it is difficult to ensure uniform properties of the sheet material across the entire workpiece. In other words, it was found that variations in the sheet material's properties occur across the entire workpiece.

このようなシート材の特性にバラツキが発生する原因として、以下のようなものが考えられる。すなわち特許文献1に係る従来の構成では、細い棒状の突起部材を当接させてシート材の一部に突起部を形成させると、突起部が形成された部分のシート材は延伸されて薄くなる。つまり、当該突起部が形成された部分と突起部が形成されていない部分との間で、シート材の延伸率が著しく異なることとなる。シート材において、延伸率が異なるとシート材の特性が変化する場合がある。すなわち、突起部が形成された部分のシート材が貼り付けられたワークの領域と、突起部が形成されていない部分のシート材が貼り付けられたワークの領域とでは、延伸率のバラツキに起因して貼り付けられたシート材の特性が著しく異なることとなる。その結果、皺または気泡の発生を防止するという要求は満たすことができる一方で、シート材が貼り付けられたワーク全体において一様な特性を発揮させるという要求を満たすことが困難となる。 The following are possible causes for variations in the properties of such sheet materials. Specifically, in the conventional configuration described in Patent Document 1, when a thin, rod-shaped projection member is applied to form a projection on a portion of the sheet material, the sheet material in the area where the projection is formed is stretched and thinned. In other words, the stretching rate of the sheet material differs significantly between the area where the projection is formed and the area where the projection is not formed. In sheet materials, differences in stretching rate can change the properties of the sheet material. That is, the properties of the attached sheet material will differ significantly between the area of the workpiece to which the sheet material with the projection is attached and the area to which the sheet material without the projection is attached, due to variations in stretching rate. As a result, while the requirement to prevent the occurrence of wrinkles or air bubbles can be met, it becomes difficult to meet the requirement of achieving uniform properties throughout the entire workpiece to which the sheet material is attached.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、曲面を有するワークに対して高い精度でシート材を貼り付けるとともに、ワークの全面におけるシート材の特性のバラツキを低減できるシート材貼付け方法およびシート状貼付け装置を提供することを主たる目的とする。 This invention has been made in view of these circumstances, and its main objective is to provide a sheet material application method and sheet material application apparatus that can apply a sheet material to a curved workpiece with high precision and reduce variations in the properties of the sheet material across the entire surface of the workpiece.

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、 曲面を有するワークにおける前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け装置であって、
前記ワークを、前記曲面を有する側を上向きにさせた状態で保持する保持テーブルと、
上チャンバと下チャンバによって前記シート材を挟み込むことにより、前記シート材を介して上空間と下空間とに区画され、前記下空間に前記保持テーブルを収納するチャンバと、
前記シート材を供給する供給機構と、
当接面を有し、前記当接面を前記シート材に当接させることによって前記シート材を変形させる変形部材と、
前記変形部材が前記シート材に当接した状態で前記変形部材を前記保持テーブルに近接移動させ、前記変形部材によって変形した前記シート材を前記ワークの前記曲面の少なくとも一部に近接または当接させる変形部材移動機構と、
前記上空間および前記下空間のうち少なくとも前記下空間を真空減圧化させる減圧機構と、
前記下空間が真空減圧化されているとともに前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材が近接または当接された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け機構と、
を備え、
前記変形部材における前記当接面の曲率は、前記ワークにおける前記曲面の曲率よりも大きくなるように構成されていることを特徴とするものである。
To achieve this objective, this invention has the following configuration.
That is, a sheet material application device for applying a sheet material to a curved surface of a workpiece having a curved surface,
A holding table that holds the workpiece with the side having the curved surface facing upward,
The sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers, thereby dividing the space into an upper space and a lower space via the sheet material, with the lower space containing a chamber for housing the holding table,
A supply mechanism for supplying the sheet material,
A deformation member having a contact surface, which deforms the sheet material by bringing the contact surface into contact with the sheet material,
A deformation member moving mechanism moves the deformation member closer to the holding table while the deformation member is in contact with the sheet material, and brings the sheet material, which has been deformed by the deformation member, closer to or in contact with at least a part of the curved surface of the workpiece.
A vacuum mechanism for reducing the pressure of at least the lower space among the upper and lower spaces,
The lower space is depressurized by vacuum, and the sheet material is in close proximity to or in contact with a part of the curved surface of the workpiece. The attachment mechanism attaches the sheet material to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed between the upper space and the lower space within the chamber partitioned by the sheet material.
Equipped with,
The deformable member is characterized in that the curvature of the contact surface is greater than the curvature of the curved surface in the workpiece.

(作用・効果)この構成によれば、曲面を有するワークの当該曲面にシート材を貼り付けるシート材貼付け装置において、チャンバと変形部材とを備えている。すなわち、曲面を有するワークを保持テーブルで保持した状態で上チャンバと下チャンバによってシート材を挟み込むことにより、シート材を介してチャンバの内部空間を上空間と下空間とに区画させる。このとき、ワークを保持している保持テーブルはチャンバの下空間に収納されている。上チャンバと下チャンバによって挟み込まれたシート材は、変形部材の当接面が当接することによって変形される。変形部材によって変形されたシート材はワークの曲面の一部に近接または当接し、さらにチャンバ内において形成された差圧によってワークの曲面に貼り付けられる。 (Function and Effect) This configuration provides a sheet material application device for attaching a sheet material to the curved surface of a workpiece, comprising a chamber and a deformation member. Specifically, the sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers while the workpiece with the curved surface is held by a holding table, thereby dividing the internal space of the chamber into an upper and lower space via the sheet material. At this time, the holding table holding the workpiece is housed in the lower space of the chamber. The sheet material sandwiched between the upper and lower chambers is deformed by contact with the contact surface of the deformation member. The sheet material, deformed by the deformation member, approaches or contacts a portion of the curved surface of the workpiece, and is further adhered to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed within the chamber.

このとき、変形部材における当接面の曲率はワークにおける曲面の曲率よりも大きくなるように構成されている。そのため、変形部材によって変形させたシート材をワークの曲面に貼り付ける際に、ワークの端部を例とする予期しない部分にシート材が接触することに起因してテンションが発生することを防止できる。当該テンションは、シート材を曲面に貼りつける際に皺や気泡が発生する原因になる。従って、ワークの曲面に貼りつけられるシート材に皺や気泡が形成されることを回避できるので、ワークの曲面に精度よくシート材を密着させることができる。 In this configuration, the curvature of the contact surface of the deformable member is configured to be greater than the curvature of the curved surface of the workpiece. Therefore, when attaching the sheet material deformed by the deformable member to the curved surface of the workpiece, tension caused by unexpected contact of the sheet material with the workpiece's edges, for example, can be prevented. This tension can cause wrinkles and air bubbles when attaching the sheet material to the curved surface. Consequently, the formation of wrinkles and air bubbles in the sheet material attached to the curved surface of the workpiece can be avoided, allowing for precise and tight adhesion of the sheet material to the workpiece's curved surface.

また、変形部材における当接面の曲率をワークにおける曲面の曲率よりも大きくすることにより、シート材のうち当接面に当接して変形する領域が広くなるので、当該領域の単位面積あたりにおいてシート材が延伸する程度を低減できる。その結果、シート材ワークの曲面に貼り付けられるシート材の全体について、シート材の延伸率のバラツキが低減されるので、シート材が貼り付けられたワーク全体において一様な特性を発揮させることも可能となる。 Furthermore, by making the curvature of the contact surface of the deformable member greater than the curvature of the curved surface of the workpiece, the area of the sheet material that contacts the contact surface and deforms becomes larger. This reduces the degree of stretching of the sheet material per unit area in that region. As a result, the variation in the stretching rate of the sheet material is reduced across the entire sheet material attached to the curved surface of the workpiece, making it possible to achieve uniform characteristics throughout the entire workpiece to which the sheet material is attached.

また、上述した発明において、
前記変形部材における前記当接面の断面幅aと前記ワークにおける前記曲面の断面幅bとが、
の条件を満たすことが好ましい。
Furthermore, in the invention described above,
The cross-sectional width a of the contact surface in the deformable member and the cross-sectional width b of the curved surface in the workpiece are
It is preferable that the following conditions be met.

(作用・効果)この構成によれば、変形部材における当接面の断面幅aとワークにおける曲面の断面幅bとは、a≧0.3×bの条件を満たすように構成されている。断面幅が当該条件を満たすように変形部材が構成されていることにより、シート材のうち当接面に当接して変形する領域がさらに広くなるので、当該領域の単位面積あたりにおいてシート材が延伸する程度を低減できる。その結果、シート材ワークの曲面に貼り付けられるシート材の全体について、シート材の延伸率のバラツキが低減されるので、シート材が貼り付けられたワーク全体において一様な特性を発揮させることも可能となる。 (Effects) With this configuration, the cross-sectional width a of the contact surface in the deformable member and the cross-sectional width b of the curved surface in the workpiece are configured to satisfy the condition a ≥ 0.3 × b. Because the deformable member is configured so that its cross-sectional width satisfies this condition, the area of the sheet material that contacts the contact surface and deforms is further widened, thus reducing the degree of stretching of the sheet material per unit area in that region. As a result, the variation in the stretching rate of the sheet material is reduced across the entire sheet material attached to the curved surface of the workpiece, making it possible to achieve uniform characteristics throughout the entire workpiece to which the sheet material is attached.

また、上述した発明において、前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整する気圧調整機構を備え、前記気圧調整機構によって前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整されている状態で、前記変形部材移動機構は前記変形部材によって変形した前記シート材を前記ワークの前記曲面の少なくとも一部に近接または当接させることが好ましい。 Furthermore, in the invention described above, it is preferable to provide a pressure adjustment mechanism that adjusts the air pressure in the lower space to be higher than the air pressure in the upper space, and, while the pressure adjustment mechanism is adjusting the air pressure in the lower space to be higher than the air pressure in the upper space, the deformation member moving mechanism brings the sheet material, which has been deformed by the deformation member, close to or in contact with at least a portion of the curved surface of the workpiece.

(作用・効果)この構成によれば、下空間を上空間より気圧を高くするように調整することによって、シート材をワークからより確実に離間させることができる。そのため、変形部材でシート材を変形させる過程および変形されたシート材をワークの曲面に近接または当接させる過程において、シート材が予期せずワークの周辺部などに接触する、という事態をより確実に回避できる。そのため、予期しないシート材とワークとの接触に起因する皺や気泡などの発生を確実に防止できるので、ワークの曲面に対するシート材の密着精度をより向上させることが可能となる。 (Function/Effect) This configuration allows for more reliable separation of the sheet material from the workpiece by adjusting the air pressure in the lower space to be higher than that in the upper space. Therefore, during the process of deforming the sheet material with the deformation member and the process of bringing the deformed sheet material close to or into contact with the curved surface of the workpiece, the unintended contact of the sheet material with the workpiece's periphery can be more reliably avoided. This ensures that the formation of wrinkles and bubbles caused by unexpected contact between the sheet material and the workpiece is reliably prevented, thereby improving the adhesion accuracy of the sheet material to the curved surface of the workpiece.

また、上述した発明において、前記貼付け機構は、前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材が当接された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付けることが好ましい。 Furthermore, in the invention described above, it is preferable that the attachment mechanism adheres the sheet material to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed between the upper and lower spaces within the chamber partitioned by the sheet material, while the sheet material is in contact with a portion of the curved surface of the workpiece.

(作用・効果)この構成によれば、シート材のうち変形部材によって変形した部分が、ワークの曲面に接触された後に差圧が発生される。この場合、差圧によってチャンバ内のシート材全体が変形するタイミングは確実に、変形部材によって変形したシート材がワークの曲面に接触するタイミングの後となる。よって、シート材のうち変形部材によって変形した部分がワークの曲面に接触する前に、当該変形した部分以外のシート材が予期せずワークの曲面に接触するという事態をより確実に回避できる。そのため、予期しないシート材の接触に起因する皺や気泡などの発生をより確実に防止できる。 (Function/Effect) With this configuration, differential pressure is generated after the portion of the sheet material deformed by the deformation member contacts the curved surface of the workpiece. In this case, the timing of the deformation of the entire sheet material within the chamber due to the differential pressure is reliably after the timing of contact between the sheet material deformed by the deformation member and the curved surface of the workpiece. Therefore, it is possible to more reliably avoid situations where the sheet material other than the deformed portion contacts the curved surface of the workpiece before the deformed portion contacts the curved surface of the workpiece. This thus more reliably prevents the occurrence of wrinkles, bubbles, and other defects caused by unexpected contact of the sheet material.

また、上述した発明において、前記変形部材は前記当接面に弾性体を備えており、前記弾性体を前記シート材に当接させることによって前記シート材を変形させることが好ましい。 Furthermore, in the invention described above, it is preferable that the deformable member has an elastic body on its contact surface, and that the sheet material is deformed by bringing the elastic body into contact with the sheet material.

(作用・効果)この構成によれば、当接面が当接して変形した部分のシート材がワークの曲面に当接する際に、当接面に備えられた弾性体がワークの曲面の形状に応じて適宜弾性変形する。当該弾性変形により、変形部材がワークを保持する保持テーブルへ近接移動する際に変形部材からワークに対して作用する押圧力が過剰になることを防止できる。よって、変形部材が過剰にワーク押圧することに起因してワークが変形または破損するという事態をより確実に回避できる。 (Function and Effect) With this configuration, when the sheet material in the deformed portion of the contact surface comes into contact with the curved surface of the workpiece, the elastic body provided on the contact surface appropriately deforms elastically according to the shape of the curved surface of the workpiece. This elastic deformation prevents excessive pressing force from being applied from the deformed member to the workpiece when the deformed member moves closer to the holding table that holds the workpiece. Therefore, it is possible to more reliably avoid situations in which the workpiece is deformed or damaged due to excessive pressure on the workpiece by the deformed member.

また、上述した発明において、前記ワークは凹状の曲面を有しており、変形部材移動機構は、前記凹状の曲面における最も深い部分を含む領域に、前記変形部材によって変形した前記シート材を近接または当接させることが好ましい。 Furthermore, in the invention described above, the workpiece has a concave curved surface, and it is preferable that the deformation member movement mechanism brings the sheet material, deformed by the deformation member, into proximity to or contact with the region including the deepest part of the concave curved surface.

(作用・効果)この構成によれば、シート材のうち変形部材によって変形した部分は、ワークが有する凹状の曲面のうち最も深い部分を含む領域に近接または当接する。従来の構成において、凹状曲面の最深部はシート材が最後に貼り付けられる位置であり、気泡などが発生し易くかつシート材を精度良く貼り付けることが困難な部分である。本発明に係る構成では凹状曲面の最深部にシート材の変形部分が近接または当接されるので、貼付け過程では当該最深部から放射状に広がるようにシート材がワークの曲面に貼り付けられる。よって、従来では貼り付けエラーが発生しやすい部分における気泡などの発生を確実に回避できるので、シート材をワークの曲面に精度よく密着させることができる。 (Effects) In this configuration, the portion of the sheet material deformed by the deformation member approaches or contacts the region containing the deepest part of the concave curved surface of the workpiece. In conventional configurations, the deepest part of the concave curved surface is the last place the sheet material is attached, and it is a part where air bubbles and other defects are likely to occur, and where it is difficult to attach the sheet material accurately. In the configuration according to the present invention, since the deformed portion of the sheet material approaches or contacts the deepest part of the concave curved surface, the sheet material is attached to the curved surface of the workpiece in a way that it radiates outward from the deepest part during the attachment process. Therefore, it is possible to reliably avoid the occurrence of air bubbles and other defects in areas where attachment errors are likely to occur in conventional methods, and the sheet material can be attached to the curved surface of the workpiece with high precision.

また、上述した発明において、前記シート材は、前記ワークの形状に応じた所定の形状を有するシート片と前記シート片を保持する長尺状のキャリアテープを備えていることが好ましい。 Furthermore, in the invention described above, it is preferable that the sheet material comprises a sheet piece having a predetermined shape corresponding to the shape of the workpiece and a long carrier tape for holding the sheet piece.

(作用・効果)この構成によれば、ワークの形状に応じた所定の形状を有するシート片と当該シート片を保持する長尺状のキャリアテープをシート材は備えている。この場合、接触過程においてシート片およびキャリアテープの一部が変形部材によって変形し、当該変形された部分のシート材がワークの曲面に接触する。 (Function/Effect) In this configuration, the sheet material comprises a sheet piece having a predetermined shape corresponding to the shape of the workpiece, and a long carrier tape that holds the sheet piece. In this case, during the contact process, a portion of the sheet piece and the carrier tape are deformed by the deformation member, and the deformed portion of the sheet material comes into contact with the curved surface of the workpiece.

このとき、シート片には変形部材によって変形した部分に限定して大きな力が作用するので、シート材をワークに近づける際にシート片が変位することを防止できる。よって、シート材のシート片はワークの曲面における目標となる位置へ正確に接触させることができるので、シート片がワークの曲面に貼り付けられる位置の精度をより向上させることができる。 In this case, a large force acts only on the deformed portion of the sheet piece, preventing displacement of the sheet piece when bringing the sheet material closer to the workpiece. Therefore, the sheet piece can be precisely brought into contact with the target position on the curved surface of the workpiece, thereby improving the accuracy of the position where the sheet piece is attached to the curved surface of the workpiece.

この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとってもよい。
すなわち、 上チャンバと下チャンバとを備えたチャンバの内部空間で、曲面を有するワークにおける前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け方法であって、
前記ワークを、前記曲面を有する側を上向きにさせた状態で保持テーブルに保持させるワーク保持過程と、
前記保持テーブルを収納し、前記上チャンバと前記下チャンバとによって前記シート材を挟み込むことにより、前記チャンバの内部空間を、前記曲面を有する側を上向きにした状態の前記ワークが配置される下空間と、前記シート材を介在して前記下空間と対向する上空間とに区画する上下空間形成過程と、
前記シート材を供給する供給過程と、
当接面が設けられている変形部材を前記シート材に当接させることによって前記シート材を変形させる変形過程と、
前記変形部材が前記シート材に当接した状態で前記変形部材を前記保持テーブルに近接移動させ、前記変形部材によって変形した前記シート材を前記ワークの前記曲面の少なくとも一部に近接または当接させる変形部材移動過程と、
前記上空間および前記下空間のうち少なくとも前記下空間を真空減圧化させる減圧過程と、
前記下空間が真空減圧化されているとともに前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材が近接または当接された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け過程と、
を備え、
前記変形部材における前記当接面の曲率は、前記ワークにおける前記曲面の曲率よりも大きくなるように構成されており、前記変形部材における前記当接面の断面幅aと前記ワークにおける前記曲面の断面幅bとが、

の条件を満たすことを特徴とするものである。
To achieve this objective, this invention may have the following configuration.
In other words, a method for attaching a sheet material to a curved surface of a workpiece having a curved surface, in the internal space of a chamber comprising an upper chamber and a lower chamber,
A workpiece holding process in which the workpiece is held on a holding table with the side having the curved surface facing upwards,
A process of forming upper and lower spaces, wherein the holding table is housed and the sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers, thereby dividing the internal space of the chamber into a lower space where the workpiece is placed with the curved side facing upward, and an upper space facing the lower space with the sheet material in between.
The supply process for supplying the aforementioned sheet material,
A deformation process in which a deformable member having a contact surface is brought into contact with the sheet material to deform the sheet material,
A deformation member movement process in which the deformation member is moved closer to the holding table while the deformation member is in contact with the sheet material, and the sheet material deformed by the deformation member is moved closer to or in contact with at least a part of the curved surface of the workpiece,
A depressurization process that reduces the pressure of at least the lower space of the upper space and the lower space to a vacuum,
The lower space is depressurized by vacuum, and the sheet material is in close proximity to or in contact with a part of the curved surface of the workpiece. The application process involves attaching the sheet material to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed between the upper space and the lower space within the chamber partitioned by the sheet material.
Equipped with,
The curvature of the contact surface in the deformable member is configured to be greater than the curvature of the curved surface in the workpiece.Therefore, the cross-sectional width a of the contact surface in the deformable member and the cross-sectional width b of the curved surface in the workpiece are

The conditionsIt is characterized by the following features.

(作用・効果)この構成によれば、曲面を有するワークの当該曲面にシート材を貼り付けるシート材貼付け装置において、曲面を有するワークを保持テーブルで保持した状態で上チャンバと下チャンバによってシート材を挟み込むことにより、シート材を介してチャンバの内部空間を上空間と下空間とに区画させる。このとき、ワークを保持している保持テーブルはチャンバの下空間に収納されている。上チャンバと下チャンバによって挟み込まれたシート材は、変形部材の当接面が当接することによって変形される。変形部材によって変形されたシート材はワークの曲面の一部に近接または当接し、さらにチャンバ内において形成された差圧によってワークの曲面に貼り付けられる。 (Function and Effect) According to this configuration, in a sheet material application device for attaching a sheet material to the curved surface of a workpiece, the sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers while the workpiece is held on a holding table, thereby dividing the internal space of the chamber into an upper and lower space via the sheet material. At this time, the holding table that holds the workpiece is housed in the lower space of the chamber. The sheet material sandwiched between the upper and lower chambers is deformed by the contact surface of the deformation member. The sheet material, deformed by the deformation member, approaches or contacts a portion of the curved surface of the workpiece, and is further attached to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed within the chamber.

このとき、変形部材における当接面の曲率はワークにおける曲面の曲率よりも大きくなるように構成されている。そのため、変形部材によって変形させたシート材をワークの曲面に貼り付ける際に、ワークの端部を例とする予期しない部分にシート材が接触することに起因してテンションが発生することを防止できる。当該テンションは、シート材を曲面に貼りつける際に皺や気泡が発生する原因になる。従って、ワークの曲面に貼りつけられるシート材に皺や気泡が形成されることを回避できるので、ワークの曲面に精度よくシート材を密着させることができる。 In this configuration, the curvature of the contact surface of the deformable member is configured to be greater than the curvature of the curved surface of the workpiece. Therefore, when attaching the sheet material deformed by the deformable member to the curved surface of the workpiece, tension caused by unexpected contact of the sheet material with the workpiece's edges, for example, can be prevented. This tension can cause wrinkles and air bubbles when attaching the sheet material to the curved surface. Consequently, the formation of wrinkles and air bubbles in the sheet material attached to the curved surface of the workpiece can be avoided, allowing for precise and tight adhesion of the sheet material to the workpiece's curved surface.

また、変形部材における当接面の曲率をワークにおける曲面の曲率よりも大きくすることにより、シート材のうち当接面に当接して変形する領域が広くなるので、当該領域の単位面積あたりにおいてシート材が延伸する程度を低減できる。その結果、シート材ワークの曲面に貼り付けられるシート材の全体について、シート材の延伸率のバラツキが低減されるので、シート材が貼り付けられたワーク全体において一様な特性を発揮させることも可能となる。 Furthermore, by making the curvature of the contact surface of the deformable member greater than the curvature of the curved surface of the workpiece, the area of the sheet material that contacts the contact surface and deforms becomes larger. This reduces the degree of stretching of the sheet material per unit area in that region. As a result, the variation in the stretching rate of the sheet material is reduced across the entire sheet material attached to the curved surface of the workpiece, making it possible to achieve uniform characteristics throughout the entire workpiece to which the sheet material is attached.

本発明のシート材貼付け装置およびシート材貼付け方法によれば、曲面を有するワークの当該曲面にシート材を貼り付けるシート材貼付け装置において、チャンバと変形部材とを備えている。すなわち、曲面を有するワークを保持テーブルで保持した状態で上チャンバと下チャンバによってシート材を挟み込むことにより、シート材を介してチャンバの内部空間を上空間と下空間とに区画させる。このとき、ワークを保持している保持テーブルはチャンバの下空間に収納されている。上チャンバと下チャンバによって挟み込まれたシート材は、変形部材の当接面が当接することによって変形される。変形部材によって変形されたシート材はワークの曲面の一部に近接または当接し、さらにチャンバ内において形成された差圧によってワークの曲面に貼り付けられる。 According to the sheet material application apparatus and method of the present invention, a sheet material application apparatus for applying a sheet material to the curved surface of a workpiece comprises a chamber and a deformation member. Specifically, while the workpiece with a curved surface is held on a holding table, the sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers, thereby dividing the internal space of the chamber into an upper and lower space via the sheet material. At this time, the holding table holding the workpiece is housed in the lower space of the chamber. The sheet material sandwiched between the upper and lower chambers is deformed by contact with the contact surface of the deformation member. The sheet material deformed by the deformation member approaches or contacts a portion of the curved surface of the workpiece, and is further applied to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed within the chamber.

このとき、変形部材における当接面の曲率はワークにおける曲面の曲率よりも大きくなるように構成されている。そのため、変形部材によって変形させたシート材をワークの曲面に貼り付ける際に、ワークの端部を例とする予期しない部分にシート材が接触することに起因してテンションが発生することを防止できる。当該テンションは、シート材を曲面に貼りつける際に皺や気泡が発生する原因になる。従って、ワークの曲面に貼りつけられるシート材に皺や気泡が形成されることを回避できるので、ワークの曲面に精度よくシート材を密着させることができる。 In this configuration, the curvature of the contact surface of the deformable member is configured to be greater than the curvature of the curved surface of the workpiece. Therefore, when attaching the sheet material deformed by the deformable member to the curved surface of the workpiece, tension caused by unexpected contact of the sheet material with the workpiece's edges, for example, can be prevented. This tension can cause wrinkles and air bubbles when attaching the sheet material to the curved surface. Consequently, the formation of wrinkles and air bubbles in the sheet material attached to the curved surface of the workpiece can be avoided, allowing for precise and tight adhesion of the sheet material to the workpiece's curved surface.

また、変形部材における当接面の曲率をワークにおける曲面の曲率よりも大きくすることにより、シート材のうち当接面に当接して変形する領域が広くなるので、当該領域の単位面積あたりにおいてシート材が延伸する程度を低減できる。その結果、シート材ワークの曲面に貼り付けられるシート材の全体について、シート材の延伸率のバラツキが低減されるので、シート材が貼り付けられたワーク全体において一様な特性を発揮させることも可能となる。すなわち、曲面を有するワークに対して高い精度でシート材を貼り付けるとともに、ワークの全面におけるシート材の特性のバラツキを低減できる。 Furthermore, by making the curvature of the contact surface of the deformable member greater than the curvature of the curved surface of the workpiece, the area of the sheet material that contacts the contact surface and deforms becomes larger, thus reducing the degree of stretching of the sheet material per unit area in that region. As a result, the variation in the stretching rate of the sheet material is reduced across the entire sheet material attached to the curved surface of the workpiece, making it possible to achieve uniform characteristics across the entire workpiece to which the sheet material is attached. In other words, it is possible to attach the sheet material to a workpiece with a curved surface with high precision while reducing variations in the characteristics of the sheet material across the entire surface of the workpiece.

実施例1に係るシート材貼付け装置の基本構成を示す正面図である。This is a front view showing the basic configuration of the sheet material application device according to Example 1. 実施例1に係るワークを示す斜視図である。 (a)は実施例1に係る、曲面を有するワークの形状を示す斜視図であり、(b)は実施例1に係る、曲面を有するワークの形状を示す縦断面図であり、(c)は曲面を有するワークの別例を示す斜視図である。This is a perspective view showing a workpiece according to Example 1. (a) is a perspective view showing the shape of a workpiece having a curved surface according to Example 1, (b) is a longitudinal cross-sectional view showing the shape of a workpiece having a curved surface according to Example 1, and (c) is a perspective view showing another example of a workpiece having a curved surface. 実施例1に係るシート材の構成を示す断面図である。This is a cross-sectional view showing the structure of the sheet material according to Example 1. 実施例1に係るシート材貼付け装置の要部を説明する側面図である。This is a side view illustrating the main parts of the sheet material application device according to Example 1. 実施例1に係るシート材貼付け装置の要部を説明する平面図である。This is a plan view illustrating the main parts of the sheet material application device according to Example 1. 実施例1に係るシート材貼付け装置の要部を説明する側面図である。This is a side view illustrating the main parts of the sheet material application device according to Example 1. 実施例1に係るチャンバの構成を説明する図である。This diagram illustrates the configuration of the chamber according to Example 1. 実施例1に係る変形部材における当接面の断面幅とワークにおける曲面の断面幅との関係を説明する縦断面図である。This is a longitudinal cross-sectional view illustrating the relationship between the cross-sectional width of the contact surface in the deformable member according to Example 1 and the cross-sectional width of the curved surface in the workpiece. 実施例1に係る変形部材における当接面の曲率とワークにおける曲面の曲率との関係を説明する縦断面図である。This is a longitudinal cross-sectional view illustrating the relationship between the curvature of the contact surface in the deformable member according to Example 1 and the curvature of the curved surface in the workpiece. 実施例に係るシート材貼付け装置の動作を示すフローチャートである。(a)は実施例1に係る動作のフローチャートであり、(b)は実施例2に係る動作のフローチャートである。This is a flowchart illustrating the operation of the sheet material application device according to the embodiment. (a) is a flowchart of the operation according to Embodiment 1, and (b) is a flowchart of the operation according to Embodiment 2. 実施例1に係るステップS1を説明する図である。This is a diagram illustrating step S1 according to Example 1. 実施例1に係るステップS2を説明する図である。This is a diagram illustrating step S2 in Example 1. 実施例1に係るステップS2を説明する図である。This is a diagram illustrating step S2 in Example 1. 実施例1に係るステップS3を説明する図である。This is a diagram illustrating step S3 in Example 1. 実施例1に係るステップS3を説明する図である。This is a diagram illustrating step S3 in Example 1. 実施例1に係るステップS4を説明する図である。This is a diagram illustrating step S4 according to Example 1. 実施例1に係るステップS4を説明する図である。This is a diagram illustrating step S4 according to Example 1. 実施例1に係るステップS5を説明する図である。This is a diagram illustrating step S5 in Example 1. 実施例1に係るステップS5を説明する図である。This is a diagram illustrating step S5 in Example 1. 従来例の問題点を説明する図である。(a)は一般的な従来例に係るシート材貼付け装置の構成を説明する図であり、(b)はワークに対してシート材が接触してテンションが発生する状態を示す図であり、(c)はシート材とワークの間に気泡が発生する問題を示す図であり、(d)は目的となる部位と異なる部位にシート材が接触する状態を示す図であり、(e)はシート材に皺が発生する問題を示す図である。This diagram illustrates the problems of conventional methods. (a) is a diagram illustrating the configuration of a sheet material application device in a typical conventional example, (b) is a diagram showing the state in which tension is generated when the sheet material comes into contact with the workpiece, (c) is a diagram showing the problem of air bubbles being generated between the sheet material and the workpiece, (d) is a diagram showing the state in which the sheet material comes into contact with a part other than the intended part, and (e) is a diagram showing the problem of wrinkles being generated in the sheet material. 従来例の問題点を説明する図である。(a)は特許文献1に係るシート材貼付け装置の構成を説明する図であり、(b)は特許文献1に係るシート材貼付け装置を用いてシート材を貼り付ける過程を説明する図であり、(c)は特許文献1に係るシート材貼付け装置を用いてワークに貼り付けられたシート材の状態を示す図である。This diagram illustrates the problems of conventional methods. (a) is a diagram illustrating the configuration of a sheet material attachment device according to Patent Document 1, (b) is a diagram illustrating the process of attaching a sheet material using the sheet material attachment device according to Patent Document 1, and (c) is a diagram showing the state of the sheet material attached to a workpiece using the sheet material attachment device according to Patent Document 1. 実施例1におけるシート材の延伸率を説明する図である。(a)は実施例1におけるシート材の延伸率を算出する方法の第1の例を説明する図であり、(b)は実施例1におけるシート材の延伸率を算出する方法の第1の例を説明する図である。This figure illustrates the elongation ratio of the sheet material in Example 1. (a) is a figure illustrating a first example of a method for calculating the elongation ratio of the sheet material in Example 1, and (b) is a figure illustrating a first example of a method for calculating the elongation ratio of the sheet material in Example 1. 実施例1における構成の効果を説明する図である。(a)は変形部材における当接面の形状がワークにおける曲面の形状と一致する比較例の構成を説明する図であり、(b)は当該比較例において変形部材とワークとが位置ズレが発生した場合において、変形部材とワークとが接触する位置を示す図であり、(c)は実施例1において変形部材とワークとが位置ズレした場合において、変形部材とワークとが接触する位置を示す図である。This figure illustrates the effects of the configuration in Example 1. (a) is a diagram illustrating the configuration of a comparative example in which the shape of the contact surface of the deformable member matches the shape of the curved surface of the workpiece. (b) is a diagram showing the position where the deformable member and the workpiece come into contact when a misalignment occurs between them in the comparative example. (c) is a diagram showing the position where the deformable member and the workpiece come into contact when a misalignment occurs between them in Example 1. 実施例2に係るシート材の構成を示す斜視図である。This is a perspective view showing the configuration of the sheet material according to Example 2. 実施例2に係るステップS2を説明する図である。This is a diagram illustrating step S2 in Example 2. 実施例2に係るステップS3を説明する図である。This is a diagram illustrating step S3 in Example 2. 実施例2に係るステップS3を説明する図である。This is a diagram illustrating step S3 in Example 2. 実施例2に係るステップS4を説明する図である。This is a diagram illustrating step S4 in Example 2. 実施例2に係るステップS5を説明する図である。This is a diagram illustrating step S5 in Example 2. 変形例に係る構成を説明する図である。This is a diagram illustrating the configuration of a modified example. 変形例に係る構成を説明する図である。This is a diagram illustrating the configuration of a modified example. 変形例に係る構成のステップS3を説明する図である。(a)は上向きの差圧によってシート材がワークから遠ざかるように変形する状態を示す図であり、(b)はシート材を変形させた状態で突起部をワーク上の目的となる位置に接触させる状態を示す図である。This diagram illustrates step S3 of the modified configuration. (a) shows the state in which the sheet material deforms so as to move away from the workpiece due to an upward differential pressure, and (b) shows the state in which the sheet material is deformed and the projection is brought into contact with the desired position on the workpiece. 変形例に係る構成を説明する図である。This is a diagram illustrating the configuration of a modified example. 変形例に係る構成を説明する図である。This is a diagram illustrating the configuration of a modified example. 変形例に係るワークの形状を説明する図である。(a)はワークの中央部が曲面と平面とを有する構成を例示する図であり、(b)はワークの中央部が曲面と、当該曲面より凹んでいる凹み部とを有する構成を例示する図であり、(c)はワークの中央部が曲面と、当該曲面より突出している凸状部とを有する構成を例示する図である。These figures illustrate the shapes of the workpieces in modified forms. (a) is a diagram illustrating a configuration in which the central part of the workpiece has a curved surface and a flat surface, (b) is a diagram illustrating a configuration in which the central part of the workpiece has a curved surface and a recessed portion that is recessed from the curved surface, and (c) is a diagram illustrating a configuration in which the central part of the workpiece has a curved surface and a convex portion that protrudes from the curved surface. 変形例に係るワークの形状を説明する図である。This is a diagram illustrating the shape of the workpiece in a modified example.

以下、図面を参照して本発明の実施例1を説明する。図1は、実施例1に係るシート材貼付け装置1の基本構成を示す図である。なおシート材貼付け装置1を示す各図において、各種構成を支持する支持手段、および各種構成を駆動させる駆動手段などについては適宜図示を省略している。 The following describes Embodiment 1 of the present invention with reference to the drawings. Figure 1 shows the basic configuration of the sheet material application device 1 according to Embodiment 1. Note that in each figure showing the sheet material application device 1, support means for supporting various components and driving means for driving various components are omitted from the illustration as appropriate.

本実施例に係るシート材貼付け装置1では、本実施例ではシート材PTを貼り付ける対象であるワークとして、図2(a)および図2(b)に示されるような皿状のワークWを用いるものとする。ワークWは、表面W1のうち周縁部Waは平坦となっている一方、回路が形成されている中央部Cpは凹状の曲面Wbを有している。なお、曲面Wbを有するワークWの形状としては皿状に限られることはなく、図2(c)に示されるような瓦状などが他の例として挙げられる。シート材貼付け装置1は、ワークWのうち少なくとも中央部Cpにシート材PTを貼り付けることを目的とする。シート材PTの例として、粘着性を有するフィルムまたは回路保護用の粘着テープなどが挙げられる。 In this embodiment, the sheet material application apparatus 1 uses a dish-shaped workpiece W, as shown in Figures 2(a) and 2(b), as the workpiece to which the sheet material PT is applied. The workpiece W has a flat peripheral edge Wa on its surface W1, while the central part Cp where the circuit is formed has a concave curved surface Wb. Note that the shape of the workpiece W with the curved surface Wb is not limited to a dish shape; other examples include a tile-shaped workpiece as shown in Figure 2(c). The sheet material application apparatus 1 aims to apply the sheet material PT to at least the central part Cp of the workpiece W. Examples of the sheet material PT include adhesive films or adhesive tapes for circuit protection.

本実施例に用いられるシート材PTは図3に示すように、非粘着性の基材Taと、粘着性を有する粘着材Tbとが積層した長尺状の構造を備えている。粘着材TbにはセパレータSが添設されている。すなわちシート材PTの粘着面にセパレータSが添設されており、セパレータSをシート材PTから剥離することによってシート材PTの粘着面が露出する。 As shown in Figure 3, the sheet material PT used in this embodiment has a long, laminated structure consisting of a non-adhesive base material Ta and an adhesive material Tb. A separator S is attached to the adhesive material Tb. That is, the separator S is attached to the adhesive surface of the sheet material PT, and the adhesive surface of the sheet material PT is exposed by peeling off the separator S from the sheet material PT.

基材Taを構成する材料の例として、ポリオレフィン、ポリエチレン、エチレン-ビニル酢酸共重合体、ポリエステル、ポリイミド、ポリウレタン、塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレナフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリエチレンメタアクリル酸共重合体、ポリプロピレン、メタアクリル酸テレフタレート、ポリアミドイミド、ポリウレタンエラストマーなどが挙げられる。なお、上述した材料を複数組み合わせたものを基材Taとして用いてもよい。また、基材Taは単層でもよいし、複数の層を積層させた構成でもよい。 Examples of materials constituting the base material Ta include polyolefins, polyethylene, ethylene-vinyl acetate copolymers, polyesters, polyimides, polyurethanes, vinyl chloride, polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene terenaphthalate, polyvinylidene chloride, polyethylene methacrylic acid copolymers, polypropylene, methacrylic acid terephthalate, polyamide-imide, and polyurethane elastomers. A combination of multiple of the above materials may also be used as the base material Ta. Furthermore, the base material Ta may be a single layer or a structure consisting of multiple layers laminated together.

粘着材Tbは、ワークWを保護する機能と、シート材PTがワークWに貼り付く状態を保持できる機能とを担保できる材料で構成されることが好ましい。粘着材Tbを構成する材料の例として、アクリル酸エステル共重合体、シリコーン、オレフィン、天然ゴム、ブタジエンゴム、セルロースなどが挙げられる。また粘着材Tbはエネルギー線照射または熱エネルギーにより硬化する材料を適宜選択することが好ましい。この場合、エネルギー線または熱エネルギーを加えることにより、シート材PTをワークWから剥離させることが容易となる。セパレータSの例として、長尺状の紙材やプラスチックなどが挙げられる。 The adhesive Tb is preferably composed of a material that can ensure both the function of protecting the workpiece W and the function of maintaining the sheet material PT's adhesion to the workpiece W. Examples of materials constituting the adhesive Tb include acrylic ester copolymers, silicones, olefins, natural rubber, butadiene rubber, and cellulose. Furthermore, it is preferable to appropriately select an adhesive Tb that hardens by energy ray irradiation or thermal energy. In this case, applying energy rays or thermal energy makes it easier to peel the sheet material PT from the workpiece W. Examples of separators S include long sheets of paper or plastic.

<全体構成の説明>
シート材貼付け装置1は、シート供給部2と、セパレータ回収部3と、シート貼付けユニット4と、シート回収部5とを備えている。シート供給部2は、供給ボビン6、引張機構7、および剥離ローラ8などを備えている。供給ボビン6にはシート材PTが巻回された原反ロールが装填されている。
<Explanation of the overall structure>
The sheet material application device 1 comprises a sheet supply unit 2, a separator recovery unit 3, a sheet application unit 4, and a sheet recovery unit 5. The sheet supply unit 2 includes a supply bobbin 6, a tensioning mechanism 7, and a peeling roller 8, etc. A roll of raw material with sheet material PT wound around it is loaded into the supply bobbin 6.

供給ボビン6は、電磁ブレーキ9に連動連結されて適度の回転抵抗がかけられている。そのため、供給ボビン6から過剰にシート材PTが繰り出されることを防止できる。引張機構7は、揺動アーム10を揺動させるシリンダ11を備えている。揺動アーム10は、固定端の支軸に遊転ローラ12が軸支されており、自由端側にダンサローラ13を備えている。 The supply bobbin 6 is linked to the electromagnetic brake 9, applying appropriate rotational resistance. This prevents excessive dispensing of the sheet material PT from the supply bobbin 6. The tensioning mechanism 7 includes a cylinder 11 that oscillates the swing arm 10. The swing arm 10 has a free-rotating roller 12 pivotally supported on a pivot shaft at its fixed end, and a dancer roller 13 at its free end.

従って、シリンダ11の作動に連動して揺動する揺動アーム10の自由端側のダンサローラ13が下降し、シート材PTを下方に押し下げてテンションを付与するように構成されている。原反ロール6から繰り出されたシート材PTは、ガイドローラ14などによって繰り出し方向にテンションが付与されており、皺が発生しないよう調整されている。 Therefore, the free-end side of the swinging arm 10, which swings in conjunction with the operation of the cylinder 11, is configured to descend, pushing the sheet material PT downward and applying tension. The sheet material PT, fed out from the raw material roll 6, is tensioned in the feeding direction by the guide roller 14 and the like, and is adjusted to prevent wrinkles from forming.

剥離ローラ8は、シート材PTからセパレータSを剥離し、セパレータ回収部3へと導くように構成される。セパレータ回収部3は、シート材PTから剥離されたセパレータSを巻き取る回収ボビン15が備えられている。回収ボビン15は、図示しないモータなどによって正逆に回転駆動制御される。 The peeling roller 8 is configured to peel the separator S from the sheet material PT and guide it to the separator recovery unit 3. The separator recovery unit 3 is equipped with a recovery bobbin 15 for winding the separator S peeled from the sheet material PT. The recovery bobbin 15 is rotated in both forward and reverse directions by a motor (not shown).

シート貼付けユニット4は、チャンバ17、シート貼付け機構18、ニップローラ19、シート切断機構21を備えている。チャンバ17は、シート材PTの幅より小さい内径を有する上下一対のハウジング、すなわち上ハウジング20と下ハウジング22とによって構成される。本実施例に係るシート材貼付け装置1は、1つの上ハウジング20と2つの下ハウジング22を備えている。2つの下ハウジング22のうち、一方を下ハウジング22A、他方を下ハウジング22Bとして区別する。 The sheet application unit 4 comprises a chamber 17, a sheet application mechanism 18, a nip roller 19, and a sheet cutting mechanism 21. The chamber 17 is composed of a pair of upper and lower housings, namely an upper housing 20 and a lower housing 22, each having an inner diameter smaller than the width of the sheet material PT. The sheet application device 1 according to this embodiment comprises one upper housing 20 and two lower housings 22. Of the two lower housings 22, one is distinguished as lower housing 22A and the other as lower housing 22B.

下ハウジング22A、22Bは図4に示すように、旋回アーム23の両端にそれぞれ備えられている。旋回アーム23は、回転駆動装置25の回転軸27に連結固定されている。すなわち、例えば一方の下ハウジング22Aが貼付け領域P1へ移動して上ハウジング20とチャンバ17を形成する場合、他方の下ハウジング22Bは退避領域P2に移動するように構成されている。図1および図4などに示すように、貼付け領域P1において、上ハウジング20と下ハウジング22との間にシート材PTが繰り出されるように調整されている。 As shown in Figure 4, the lower housings 22A and 22B are provided at both ends of the swivel arm 23. The swivel arm 23 is connected and fixed to the rotation shaft 27 of the rotary drive device 25. That is, for example, when one lower housing 22A moves to the adhesive area P1 to form a chamber 17 with the upper housing 20, the other lower housing 22B is configured to move to the retraction area P2. As shown in Figures 1 and 4, the sheet material PT is fed out between the upper housing 20 and the lower housing 22 in the adhesive area P1.

また、下ハウジング22Aおよび22Bの上面には接合部29が形成されており、上ハウジング20の下面には接合部30が形成されている。接合部29および接合部30を介して上ハウジング20と下ハウジング22とが接合することによって、チャンバ17が形成される。接合部29および接合部30の接合面は、フッ素加工を一例とする離型処理が施されている。 Furthermore, joint portions 29 are formed on the upper surfaces of the lower housings 22A and 22B, and joint portion 30 is formed on the lower surface of the upper housing 20. The chamber 17 is formed by joining the upper housing 20 and the lower housing 22 via joint portions 29 and 30. The joining surfaces of joint portions 29 and 30 are subjected to a release treatment, such as fluorine coating.

図4ないし図6に示すように、下ハウジング22Aおよび下ハウジング22Bの各々には保持テーブル31が収納されている。保持テーブル31は昇降可能となるように構成されており、ワークWを保持するワーク保持部33を備えている。ワーク保持部33の中央部にはワーク載置面35が形成されている。ワーク載置面35は、ワークWの下面に沿った形状となっている。本実施例において、ワーク載置面35は平面視で円型となっており、断面視で凹型となる形状を有している。ワーク載置面35にワークWを載置させることにより、ワークWをより安定に保持できる。 As shown in Figures 4 to 6, a holding table 31 is housed in each of the lower housings 22A and 22B. The holding table 31 is configured to be vertically movable and includes a workpiece holding section 33 for holding the workpiece W. A workpiece mounting surface 35 is formed in the center of the workpiece holding section 33. The workpiece mounting surface 35 is shaped to conform to the lower surface of the workpiece W. In this embodiment, the workpiece mounting surface 35 is circular in plan view and concave in cross-sectional view. By placing the workpiece W on the workpiece mounting surface 35, the workpiece W can be held more stably.

なお、ワーク載置面35にワークWを載置させた状態において、ワークWの周縁部Waの高さが保持テーブル31の上面の高さより高くなるようにワーク載置面35の形状が予め定められていることが好ましい(図7を参照)。ワークWの周縁部Waの高さを保持テーブル31の上面より高くすることにより、シート材PTを貼り付けた後のワークWを保持テーブル31から離隔させることがより容易となる。 Furthermore, it is preferable that the shape of the workpiece mounting surface 35 is predetermined such that, when the workpiece W is placed on the workpiece mounting surface 35, the height of the peripheral edge Wa of the workpiece W is higher than the height of the upper surface of the holding table 31 (see Figure 7). By making the height of the peripheral edge Wa of the workpiece W higher than the upper surface of the holding table 31, it becomes easier to separate the workpiece W from the holding table 31 after the sheet material PT has been attached.

保持テーブル31は、下ハウジング22を貫通するロッド37と連結されている。ロッド37の他端はモータなどを備えるアクチュエータ39に駆動連結されている。そのため、保持テーブル31は下ハウジング22の内部で昇降移動が可能となっている。 The holding table 31 is connected to a rod 37 that passes through the lower housing 22. The other end of the rod 37 is driven by an actuator 39 equipped with a motor or similar device. Therefore, the holding table 31 can move up and down within the lower housing 22.

保持テーブル31には複数本の支持ピン41が内蔵されている。支持ピン41は上下移動可能となるように構成されており、その先端をワーク保持部33の保持面より高く突き上げることができる。また保持テーブル31にはヒータ43が埋設されている。 The holding table 31 has multiple support pins 41 built into it. The support pins 41 are configured to move vertically, allowing their tips to protrude higher than the holding surface of the workpiece holding section 33. A heater 43 is also embedded in the holding table 31.

上ハウジング20は図6に示すように、駆動機構44に備えられている。駆動機構44は、縦壁45の背部に縦向きに配置されたレール46に沿って昇降可能な可動台47と、可動台47に高さ調節可能となるよう支持されている可動枠48と、可動枠48から前方に向けて延出されたアーム49とを備えている。アーム49の先端部から下方に延出する支軸50に上ハウジング20が装着されている。 As shown in Figure 6, the upper housing 20 is mounted on the drive mechanism 44. The drive mechanism 44 includes a movable platform 47 that can move up and down along a rail 46 vertically positioned on the back of the vertical wall 45, a movable frame 48 supported on the movable platform 47 so as to be height-adjustable, and an arm 49 extending forward from the movable frame 48. The upper housing 20 is mounted on a support shaft 50 extending downward from the tip of the arm 49.

可動台47は、ネジ軸51をモータ52によって正逆転することによってねじ送り昇降されるように構成されている。さらに、上ハウジング20は可動台47の回転またはアーム49の伸縮を例とする動作により、適宜のタイミングで貼付け領域P1から退避できるように構成されている。 The movable base 47 is configured to be raised and lowered by rotating the screw shaft 51 in forward and reverse directions using a motor 52. Furthermore, the upper housing 20 is configured to retract from the attachment area P1 at appropriate timings, for example, by the rotation of the movable base 47 or the extension and retraction of the arm 49.

上ハウジング20および下ハウジング22は、図7に示すように、流路53を介して真空装置55に連通接続されている。真空装置55側の流路53には電磁バルブ56が備えられている。また、上ハウジング20および下ハウジング22には、大気開放用の電磁バルブ57、58を備えた流路59がそれぞれ連通接続されている。さらに、上ハウジング20には、一旦減圧した内圧をリークにより調整する電磁バルブ60を備えた流路61が連通接続されている。 As shown in Figure 7, the upper housing 20 and the lower housing 22 are connected to the vacuum device 55 via a passage 53. A solenoid valve 56 is provided in the passage 53 on the vacuum device 55 side. Furthermore, passages 59 equipped with solenoid valves 57 and 58 for venting to the atmosphere are connected to both the upper housing 20 and the lower housing 22, respectively. Additionally, the upper housing 20 is connected to a passage 61 equipped with a solenoid valve 60 for adjusting the internal pressure, which has been reduced, through leakage.

なお、電磁バルブ56、57、58、60の開閉操作および真空装置55の作動は、制御部62によって行われている。制御部62はCPU(中央演算処理装置)などを備えており、シート材貼付け装置1に設けられている構成の各々について、各種動作などを統括制御できるように構成されている。 The opening and closing operations of the electromagnetic valves 56, 57, 58, and 60, and the operation of the vacuum device 55, are performed by the control unit 62. The control unit 62 is equipped with a CPU (Central Processing Unit) and is configured to provide comprehensive control over various operations of each component of the sheet material application device 1.

シート貼付け機構18は図4などに示すように、上ハウジング20の内部に変形部材63を備えている。変形部材63の上部にはシリンダ65が連結されており、シリンダ65の動作によって変形部材63はチャンバ17の内部で昇降できる。上ハウジング20と下ハウジング22とによってシート材PTを挟み込んだ状態で変形部材63を下降させることにより、変形部材63はシート材PTを変形させる。変形部材63を構成する材料の好ましい例としては弾性体が挙げられ、弾性体の一例としてはゴム、ウレタン、エラストマーなどが挙げられる。変形部材63が弾性体である場合、変形部材63がシート材PTを介してワークWに接触する際に、変形部材63はワークWの曲面Wbの形状に応じて弾性変形する。シート材PTをワークWへ好適に密着できるとともにシート材PTまたはワークWが損傷を受けることを防止できる。 As shown in Figure 4 and other figures, the sheet application mechanism 18 includes a deformation member 63 inside the upper housing 20. A cylinder 65 is connected to the upper part of the deformation member 63, and the deformation member 63 can be raised and lowered inside the chamber 17 by the operation of the cylinder 65. By lowering the deformation member 63 while the sheet material PT is sandwiched between the upper housing 20 and the lower housing 22, the deformation member 63 deforms the sheet material PT. A preferred material for the deformation member 63 is an elastic body, and examples of elastic bodies include rubber, urethane, and elastomer. When the deformation member 63 is an elastic body, when the deformation member 63 contacts the workpiece W via the sheet material PT, the deformation member 63 elastically deforms according to the shape of the curved surface Wb of the workpiece W. This allows the sheet material PT to adhere well to the workpiece W and prevents damage to the sheet material PT or the workpiece W.

ニップローラ19は、モータによって駆動する送りローラ67と、シリンダによって昇降するピンチローラ68とを備えている。ニップローラ19は、案内レール69に沿って左右に移動可能に構成される。案内レール69は、チャンバ17を挟んで装置基台70に立設された一対の支持フレーム71に架設されている。 The nip roller 19 comprises a feed roller 67 driven by a motor and a pinch roller 68 that moves up and down by a cylinder. The nip roller 19 is configured to move left and right along a guide rail 69. The guide rail 69 is mounted on a pair of support frames 71 erected on the device base 70, flanking the chamber 17.

シート切断機構21は貼付け領域P1の上方に配設されており、図1に示すように、支持アーム73の先端に設けられているカッタユニット75を備えている。支持アーム73は、可動台77から片持ち支持されたアームの先端下部で径方向に伸びている。可動台77はフレーム79に沿って昇降可能に構成される。 The sheet cutting mechanism 21 is positioned above the application area P1 and, as shown in Figure 1, includes a cutter unit 75 located at the tip of a support arm 73. The support arm 73 extends radially from the lower end of an arm cantilevered from a movable base 77. The movable base 77 is configured to be vertically movable along a frame 79.

カッタユニット75には、刃先を下向きにしたカッタ81がカッタホルダを介して装着されている。なお、カッタユニット75は、支持アーム73を介して旋回半径を調整可能になっている。シート切断機構21は、ワークWに貼り付けられたシート材PTを、ワークWの周縁部Waと略同じ形状および大きさとなるように切断する。 The cutter unit 75 is equipped with a cutter 81 with its cutting edge facing downwards, mounted via a cutter holder. The cutter unit 75's rotation radius can be adjusted via a support arm 73. The sheet cutting mechanism 21 cuts the sheet material PT attached to the workpiece W so that it is approximately the same shape and size as the peripheral edge Wa of the workpiece W.

シート回収部5は図1に示すように、切断後に剥離された不要なシート材PTを巻き取り回収する回収ボビン83を備えている。回収ボビン83は、図示されていないモータによって正逆に回転駆動制御されるように構成されている。 As shown in Figure 1, the sheet recovery unit 5 is equipped with a recovery bobbin 83 for winding and recovering the unwanted sheet material PT that has been peeled off after cutting. The recovery bobbin 83 is configured to be rotated in both forward and reverse directions by a motor (not shown).

変形部材63は図7および図8などに示すように、基端部91と先端部93とを備えている。実施例1において、基端部91は略円柱状の部材であり、先端部93は下面が球面となった形状の部材が用いられる。言い換えると、先端部93は球体の一部を切り取った形状の部材が用いられる。先端部93は基端部91の下部に接続されており、先端部93の下面側に当接面95が形成されている。当接面95は曲面を有しており、変形部材63が下降することによって当接面95がシート材PTに当接する。実施例1において、当接面95は球面の一部を構成するような曲面を有している。 As shown in Figures 7 and 8, the deformable member 63 comprises a base portion 91 and a tip portion 93. In Embodiment 1, the base portion 91 is a substantially cylindrical member, and the tip portion 93 is a member with a spherical lower surface. In other words, the tip portion 93 is a member with a shape resembling a part of a sphere. The tip portion 93 is connected to the lower part of the base portion 91, and a contact surface 95 is formed on the lower surface side of the tip portion 93. The contact surface 95 has a curved surface, and as the deformable member 63 descends, the contact surface 95 comes into contact with the sheet material PT. In Embodiment 1, the contact surface 95 has a curved surface that constitutes a part of a sphere.

図8および図9は、変形部材63における当接面95の形状とワークWにおける曲面Wbの形状との関係を示している。図8に示すように、当接面95の縦断面における幅を当接面95の断面幅aとし、ワークWの縦断面における曲面Wbの幅を曲面Wbの断面幅bとする。すなわち本実施例において、当接面95の断面幅aはx方向における当接面95の長さに相当する。また曲面Wbの断面幅bは、x方向における曲面Wbの長さに相当する。実施例1に係るシート材貼付け装置1において、当接面95の断面幅aと曲面Wbの断面幅bとは、以下の(1)に示す条件を満たすように構成される。
a≧0.3×b ……(1)
Figures 8 and 9 show the relationship between the shape of the contact surface 95 on the deformable member 63 and the shape of the curved surface Wb on the workpiece W. As shown in Figure 8, the width of the contact surface 95 in the longitudinal section is defined as the cross-sectional width a of the contact surface 95, and the width of the curved surface Wb in the longitudinal section of the workpiece W is defined as the cross-sectional width b of the curved surface Wb. In other words, in this embodiment, the cross-sectional width a of the contact surface 95 corresponds to the length of the contact surface 95 in the x direction. Similarly, the cross-sectional width b of the curved surface Wb corresponds to the length of the curved surface Wb in the x direction. In the sheet material application device 1 according to Embodiment 1, the cross-sectional width a of the contact surface 95 and the cross-sectional width b of the curved surface Wb are configured to satisfy the following condition (1).
a ≥ 0.3 × b ……(1)

すなわち当接面95の断面幅aは、曲面Wbの幅bの0.3倍以上となるように構成される。このように、断面幅bに対する断面幅aの比が0.3以上になるように変形部材63の構成を定めることにより、後述するように、変形部材63を用いてシート材PTを変形させる場合において、当接面95が当接して変形された部分におけるシート材PTの延伸率と、当接面95が当接していない部分におけるシート材PTの延伸率の比を低減できる。言い換えると、変形部材63によってシート材PTを変形させた場合において、シート材PTの全体における延伸率のバラツキを抑えることができる。 In other words, the cross-sectional width a of the contact surface 95 is configured to be at least 0.3 times the width b of the curved surface Wb. By configuring the deformation member 63 such that the ratio of cross-sectional width a to cross-sectional width b is 0.3 or more, as described later, when the sheet material PT is deformed using the deformation member 63, the ratio of the elongation rate of the sheet material PT in the portion deformed by contact with the contact surface 95 to the elongation rate of the sheet material PT in the portion not in contact with the contact surface 95 can be reduced. In other words, when the sheet material PT is deformed by the deformation member 63, variations in the overall elongation rate of the sheet material PT can be suppressed.

また実施例1に係るシート材貼付け装置1において、変形部材63における当接面95の曲率は、ワークWにおける曲面Wbの曲率よりも大きくなるように構成される。ここで図9を用いて、当接面95の曲率と曲面Wbの曲率について説明する。図9は図8と同様に、変形部材63およびワークWの縦断面を示している。 Furthermore, in the sheet material application apparatus 1 according to Embodiment 1, the curvature of the contact surface 95 of the deformation member 63 is configured to be greater than the curvature of the curved surface Wb of the workpiece W. Here, the curvature of the contact surface 95 and the curvature of the curved surface Wb will be explained using Figure 9. Figure 9, like Figure 8, shows a longitudinal cross-section of the deformation member 63 and the workpiece W.

図9において、変形部材63の当接面95における所定の点を符号NPで示しており、点NPにおける当接面95の法線を符号T1で示している。また変形部材63の幅方向(ここではx方向)における当接面95の一端部を符号NLで示しており、当接面95の他端部を符号NRで示している。曲面となっている当接面95の曲率は、円弧状となっている当接面95に沿って点NPが一端部NLから他端部NRまで移動する間における法線T1の傾きの変化量に相当する。 In Figure 9, a predetermined point on the contact surface 95 of the deformable member 63 is indicated by the symbol NP, and the normal to the contact surface 95 at point NP is indicated by the symbol T1. Furthermore, one end of the contact surface 95 in the width direction (here, the x-direction) of the deformable member 63 is indicated by the symbol NL, and the other end of the contact surface 95 is indicated by the symbol NR. The curvature of the curved contact surface 95 corresponds to the change in the slope of the normal T1 as point NP moves along the arc-shaped contact surface 95 from one end NL to the other end NR.

また図9において、ワークWの曲面Wbにおける所定の点を符号WPで示しており、点WPにおける曲面Wbの法線を符号T2で示している。また曲面Wbの幅方向(ここではx方向)における曲面Wbの一端部を符号WLで示しており、曲面Wbの他端部を符号WRで示している。ワークWにおける曲面Wbの曲率は、円弧状となっている曲面Wbに沿って点WPが一端部WLから他端部WRまで移動する間における法線T2の傾きの変化量に相当する。 In Figure 9, a predetermined point on the curved surface Wb of the workpiece W is indicated by the symbol WP, and the normal to the curved surface Wb at point WP is indicated by the symbol T2. Furthermore, one end of the curved surface Wb in the width direction (here, the x-direction) is indicated by the symbol WL, and the other end of the curved surface Wb is indicated by the symbol WR. The curvature of the curved surface Wb in the workpiece W corresponds to the change in the slope of the normal T2 as point WP moves along the arc-shaped curved surface Wb from one end WL to the other end WR.

<動作の概要>
ここで、実施例1に係るシート材貼付け装置1の基本動作を説明する。図10(a)は、シート材貼付け装置1を用いて、ワークWにシート材PTを貼り付ける工程を説明するフローチャートである。なお初期状態において、下ハウジング22のうち、下ハウジング22Aは退避領域P2に配置されており、下ハウジング22Bは上ハウジング20とともに貼付け領域P1に配置されているものとする。
<Princess Overview>
Here, the basic operation of the sheet material application device 1 according to Embodiment 1 will be explained. Figure 10(a) is a flowchart illustrating the process of applying sheet material PT to workpiece W using the sheet material application device 1. In the initial state, the lower housing 22A of the lower housing 22 is positioned in the retraction area P2, and the lower housing 22B is positioned in the application area P1 together with the upper housing 20.

ステップS1(ワークの供給)
貼付け指令が出されると、図示しない搬送装置によって、ワークWが保持テーブル31に搬送される。このとき、退避位置P2に配置されている下ハウジング22(本実施例では下ハウジング22A)の内部にある保持テーブル31へとワークWが搬送される。搬送装置の例としては、真空吸着式のロボットアームなどが挙げられる。
Step S1 (Workpiece supply)
When an attachment command is issued, the workpiece W is transported to the holding table 31 by a transport device (not shown). At this time, the workpiece W is transported to the holding table 31 located inside the lower housing 22 (lower housing 22A in this embodiment) which is positioned in the retracted position P2. An example of a transport device is a vacuum suction type robot arm.

また、適宜のタイミングにおいてヒータ43による加熱を開始する。ヒータ43が保持テーブル31を加熱することによって、後の工程においてワークWとともにシート材PTが加熱される。その結果、シート材PTを構成する材料が柔らかくなるので、シート材PTをより変形しやすくすることができる。 Furthermore, heating by the heater 43 is started at an appropriate timing. The heater 43 heats the holding table 31, which in turn heats the sheet material PT along with the workpiece W in subsequent processes. As a result, the material constituting the sheet material PT becomes softer, making it easier to deform.

ワークWが搬送されると、保持テーブル31が適宜上昇するとともに、保持テーブル31に内蔵されている支持ピン41がワーク保持部33から突出して受け取り位置へと上昇する。そして図11に示すように、下ハウジング22Aの上面より高い位置に突き上げられた支持ピン41の先端部にワークWが受け渡される。 When the workpiece W is transported, the holding table 31 rises appropriately, and the support pin 41 built into the holding table 31 protrudes from the workpiece holding section 33 and rises to the receiving position. Then, as shown in Figure 11, the workpiece W is handed over to the tip of the support pin 41, which is pushed up to a position higher than the upper surface of the lower housing 22A.

ワークWが受け渡されると支持ピン41は下降して初期位置へと復帰し、ワーク保持部33のワーク載置面35にワークWが載置される。このとき、ワーク載置面35を介して保持テーブル31に保持されているワークWの周縁部Waの高さは、下ハウジング22Aの上面の高さより低い位置となるように保持テーブル31の高さが調整される。なお、ワークWをより安定に保持すべく、図示しない真空装置などによって保持テーブル31がワーク載置面35を介してワークWの裏面を真空吸着してもよい。ステップS1の工程により、裏面W2が下向きとなっており、曲面Wbを有する表面W1が上向きとなっている状態で、ワークWは保持テーブル31によって保持される。 When the workpiece W is handed over, the support pin 41 descends and returns to its initial position, and the workpiece W is placed on the workpiece mounting surface 35 of the workpiece holding section 33. At this time, the height of the holding table 31 is adjusted so that the height of the peripheral edge Wa of the workpiece W held by the holding table 31 via the workpiece mounting surface 35 is lower than the height of the upper surface of the lower housing 22A. Furthermore, to hold the workpiece W more stably, the holding table 31 may use a vacuum device (not shown) to vacuum-suction the back surface of the workpiece W via the workpiece mounting surface 35. As a result of step S1, the workpiece W is held by the holding table 31 with the back surface W2 facing downwards and the curved surface W1 facing upwards.

なおこのとき、ピンチローラ68を上昇させて送りローラ67との協働によりシート材PTをニップするとともに、ダンサローラ13を所定高さまで揺動下降させ、シート材PTの長手方向に予め決められたテンションを付与している。 At this time, the pinch roller 68 is raised and, in cooperation with the feed roller 67, nip the sheet material PT, while the dancer roller 13 is swung down to a predetermined height, applying a predetermined tension to the sheet material PT in the longitudinal direction.

ステップS2(チャンバの形成)
保持テーブル31によってワークWが保持されると、図12に示すように、回転駆動装置25を作動させて旋回アーム23を旋回させる。旋回アーム23の旋回により、下ハウジング22Aを退避領域P2から貼付け領域P1へと移動させる。下ハウジング22Aの移動に連動して、下ハウジング22Bは貼付け領域P1から退避領域P2へと移動する。下ハウジング22Aが貼付け領域P1へ移動した状態において、保持テーブル31に保持されているワークWは、シート材PTから所定のクリアランスを有している。
Step S2 (Cambodia formation)
When the workpiece W is held by the holding table 31, the rotary drive device 25 is activated to rotate the swivel arm 23, as shown in Figure 12. The rotation of the swivel arm 23 moves the lower housing 22A from the retraction area P2 to the attachment area P1. In conjunction with the movement of the lower housing 22A, the lower housing 22B moves from the attachment area P1 to the retraction area P2. When the lower housing 22A has moved to the attachment area P1, the workpiece W held by the holding table 31 has a predetermined clearance from the sheet material PT.

下ハウジング22Aを貼付け領域P1へ移動させた後、図13に示すように、上ハウジング20を下降させる。当該下降に伴って、上ハウジング20および下ハウジング22Aはシート材PTを挟み込んでチャンバ17を形成する。 After moving the lower housing 22A to the attachment area P1, the upper housing 20 is lowered as shown in Figure 13. As it lowers, the upper housing 20 and the lower housing 22A sandwich the sheet material PT, forming a chamber 17.

形成されたチャンバ17の内部空間は、シート材PTによって2つの空間に区画されている。すなわち、シート材PTおよび下ハウジング22Aによって囲まれる下空間H1と、シート材PTおよび上ハウジング20によって囲まれる上空間H2とに区画される。ワークWおよび保持テーブル31は下空間H1に配置され、上空間H2はシート材PTを介在して下空間H1に対向している。 The internal space of the formed chamber 17 is divided into two spaces by the sheet material PT. Specifically, it is divided into a lower space H1 surrounded by the sheet material PT and the lower housing 22A, and an upper space H2 surrounded by the sheet material PT and the upper housing 20. The workpiece W and the holding table 31 are placed in the lower space H1, and the upper space H2 faces the lower space H1 with the sheet material PT in between.

ステップS3(シート材の変形)
チャンバ17を形成させた後、リーク用の電磁バルブ60を閉じるとともに、電磁バルブ56、57、58を開いて真空装置53を作動させ、下空間H1および上空間H2の減圧を行う。このとき、下空間H1および上空間H2が同じ速度で減圧するように、電磁バルブ57および58の開度を調整する。下空間H1および上空間H2の気圧が、所定の気圧(一例として真空状態)に減圧されると、制御部62は電磁バルブ56-58を閉じるとともに真空装置53の作動を停止させる。
Step S3 (Deformation of the sheet material)
After forming the chamber 17, the leak-proof electromagnetic valve 60 is closed, and electromagnetic valves 56, 57, and 58 are opened to activate the vacuum device 53 and reduce the pressure in the lower space H1 and the upper space H2. At this time, the openings of electromagnetic valves 57 and 58 are adjusted so that the pressure in the lower space H1 and the upper space H2 is reduced at the same rate. When the pressure in the lower space H1 and the upper space H2 is reduced to a predetermined pressure (for example, a vacuum), the control unit 62 closes electromagnetic valves 56-58 and stops the operation of the vacuum device 53.

下空間H1および上空間H2を所定の気圧にまで減圧させた後、制御部62はシート貼付機構18を作動させる。すなわち、制御部62は変形部材63を下降させる。変形部材63が下降することにより、図14に示すように、変形部材63の先端部93がシート材PTに接触して押圧していく。当該押圧によりシート材PTの一部は先端部93に設けられている当接面95の形状に応じて変形され、ワークWに向かう形状を有する突出部Vがシート材PTに形成される。本実施例ではワークWが下空間H1に収納されているので、突出部Vは下空間H1へ向かう形状となる。 After reducing the pressure in the lower space H1 and the upper space H2 to a predetermined level, the control unit 62 activates the sheet application mechanism 18. That is, the control unit 62 lowers the deformation member 63. As the deformation member 63 descends, as shown in Figure 14, the tip 93 of the deformation member 63 contacts and presses against the sheet material PT. This pressing causes a portion of the sheet material PT to deform according to the shape of the contact surface 95 provided on the tip 93, forming a protruding portion V on the sheet material PT that faces the workpiece W. In this embodiment, since the workpiece W is housed in the lower space H1, the protruding portion V faces the lower space H1.

制御部62はさらに変形部材63を下降させる。変形部材63の下降を続けることによってシート材PTは先端部93によって押し下げられる。その結果、図15に示すように、シート材PTのうち突出部Vとして変形されている部分が、ワークWの曲面Wbの一部に接触する。図15などでは、曲面Wbのうち突出部Vが接触する領域を接触領域M1として示している。本実施例において、接触領域M1は曲面Wbの最深部Wcを含む領域となるように変形部材63の配設位置が調整されている。変形部材63が突出部Vを介して曲面Wbに接触することにより、制御部62は変形部材63の下降を停止させる。 The control unit 62 further lowers the deformation member 63. As the deformation member 63 continues to descend, the sheet material PT is pushed down by the tip portion 93. As a result, as shown in Figure 15, the portion of the sheet material PT that has been deformed into a protruding portion V comes into contact with a part of the curved surface Wb of the workpiece W. In Figure 15 and other figures, the area of the curved surface Wb that the protruding portion V contacts is shown as the contact area M1. In this embodiment, the position of the deformation member 63 is adjusted so that the contact area M1 includes the deepest part Wc of the curved surface Wb. When the deformation member 63 comes into contact with the curved surface Wb via the protruding portion V, the control unit 62 stops the descent of the deformation member 63.

ステップS4(シート材の貼付け)
突出部VをワークWの曲面Wbの一部に接触させた後、シート材をワークに貼り付ける工程を開始する。すなわち突出部Vが曲面Wbに接触している状態で、制御部62は電磁バルブ60の開度を調整してリークさせながら、予め設定された目標値となるように上空間H2の気圧を徐々に高める。
Step S4 (Attaching the sheet material)
After bringing the protruding portion V into contact with a part of the curved surface Wb of the workpiece W, the process of attaching the sheet material to the workpiece is started. That is, while the protruding portion V is in contact with the curved surface Wb, the control unit 62 adjusts the opening of the electromagnetic valve 60 to allow leakage and gradually increases the air pressure in the upper space H2 to a preset target value.

電磁バルブ60の調整により、上空間H2の気圧は下空間H1の気圧より高くなり、両空間の間に差圧Fが形成される。そして上空間H2と下空間H1との差圧Fによって、シート材PTが下ハウジング22Aへと徐々に引き込まれる。 By adjusting the electromagnetic valve 60, the air pressure in the upper space H2 becomes higher than the air pressure in the lower space H1, creating a differential pressure F between the two spaces. This differential pressure F then gradually draws the seat material PT into the lower housing 22A.

差圧Fが形成される時点において、シート材PTの一部である突出部Vは既に曲面Wbのうち接触領域M1に接触している。そのため図16に示すように、シート材PTはワークWの曲面Wbに、接触領域M1から外周に向けて放射状に貼り付けられていく。そして図17に示すように、シート材PTは曲面Wbの全面にわたって貼り付けられて密着する。すなわち、ワークWのうち表面W1の中央部Cpの全面にわたってシート材PTが貼り付けられる。本実施例では、中央部Cpにシート材PTが貼り付けられた後、さらに差圧Fを維持し、表面W1の周縁部Waにもシート材PTが貼り付けられる。 At the point when the differential pressure F is formed, the protruding portion V, which is part of the sheet material PT, is already in contact with the contact region M1 on the curved surface Wb. Therefore, as shown in Figure 16, the sheet material PT is attached radially to the curved surface Wb of the workpiece W, from the contact region M1 toward the outer circumference. Then, as shown in Figure 17, the sheet material PT is attached and adheres tightly to the entire surface of the curved surface Wb. That is, the sheet material PT is attached to the entire central portion Cp of the surface W1 of the workpiece W. In this embodiment, after the sheet material PT is attached to the central portion Cp, the differential pressure F is maintained, and the sheet material PT is also attached to the peripheral portion Wa of the surface W1.

制御部62は、所定時間経過後に電磁バルブ57、58を開き、下空間H1の気圧と上空間H2の気圧とが同じとなるように調整する。下空間H1および上空間H2の気圧が等しくなると、制御部62は電磁バルブ60の開度を調整しながら下空間H1の気圧と上空間H2の気圧とを大気圧にまで戻す。その後、上ハウジング20を上昇させて大気開放する。 The control unit 62 opens the electromagnetic valves 57 and 58 after a predetermined time has elapsed, adjusting them so that the atmospheric pressure in the lower space H1 and the upper space H2 are equal. Once the atmospheric pressures in the lower space H1 and the upper space H2 are equal, the control unit 62 adjusts the opening of the electromagnetic valve 60 to return the atmospheric pressures in the lower space H1 and the upper space H2 to atmospheric pressure. Afterward, the upper housing 20 is raised to release the space into the atmosphere.

なお、チャンバ17内でシート材PTをワークWに貼り付けている間に、退避領域P2へ移動していた下ハウジング22BにおいてステップS1の工程を行うことができる。下ハウジング22を複数設けて交互にシート材PTをワークWに貼り付ける工程を行うことにより、ワークWに対するシート材PTの貼付け効率を向上できる。 Furthermore, while the sheet material PT is being attached to the workpiece W within the chamber 17, the process of step S1 can be performed in the lower housing 22B, which has moved to the retraction area P2. By providing multiple lower housings 22 and performing the process of attaching the sheet material PT to the workpiece W alternately, the efficiency of attaching the sheet material PT to the workpiece W can be improved.

ステップS5(シート材の切断)
シート材PTがワークWに貼り付けられると、シート材PTの切断工程を開始する。すなわち、上ハウジング20を貼付け領域P1から適切な位置へと退避させる。このとき、保持テーブル31を適宜上昇させてもよい。本実施例では、ワークWの周縁部Waの表面と下ハウジング22Aの上面とが面一となる高さまで保持テーブル31を上昇させるものとする。
Step S5 (Cutting the sheet material)
Once the sheet material PT is attached to the workpiece W, the cutting process of the sheet material PT is started. That is, the upper housing 20 is moved away from the attachment area P1 to an appropriate position. At this time, the holding table 31 may be raised as appropriate. In this embodiment, the holding table 31 is raised to a height where the surface of the peripheral edge Wa of the workpiece W and the upper surface of the lower housing 22A are flush.

さらにシート切断機構21のカッタユニット75を、所定の高さまで下降させる。保持テーブル31およびシート切断機構21の昇降移動により、図18に示すように、ワークWの周縁部Waから外側へわずかに離れた部分において、カッタ81がシート材PTに突き刺される。 Furthermore, the cutter unit 75 of the sheet cutting mechanism 21 is lowered to a predetermined height. Due to the vertical movement of the holding table 31 and the sheet cutting mechanism 21, as shown in Figure 18, the cutter 81 penetrates the sheet material PT at a point slightly away from the peripheral edge Wa of the workpiece W.

カッタ81がシート材PTに突き刺されると、支持アーム73が縦軸心Pを旋回中心として旋回する。本実施例において、縦軸心Pは保持テーブル31の中心およびワークWの中心を通る軸であるものとする。支持アーム73の旋回に伴ってカッタ81がワークWの周縁部Waの外周に沿って旋回移動し、シート材PTは周縁部Waと略同じ形状および大きさに切断される。シート材PTの切断が完了すると、カッタユニット75は上昇して待機位置に戻る。 When the cutter 81 is inserted into the sheet material PT, the support arm 73 rotates around the vertical axis P as its pivot point. In this embodiment, the vertical axis P is assumed to be an axis passing through the center of the holding table 31 and the center of the workpiece W. As the support arm 73 rotates, the cutter 81 moves along the outer circumference of the peripheral edge Wa of the workpiece W, and the sheet material PT is cut to approximately the same shape and size as the peripheral edge Wa. Once the cutting of the sheet material PT is complete, the cutter unit 75 rises and returns to its standby position.

さらに、ニップローラ19に設けられているピンチローラ68を下降させてシート材PTのニップを解除する。そして図19に示すように、テープ供給部2に向けてニップローラ19を案内レール69に沿って移動させることにより、シート材PTのうち、周縁部Waの外形に沿って切り抜かれた部分のシート材PTwと、シート材PTw以外の部分のシート材PTaとを分離させる。 Furthermore, the pinch roller 68 provided on the nip roller 19 is lowered to release the nip of the sheet material PT. Then, as shown in Figure 19, the nip roller 19 is moved along the guide rail 69 toward the tape supply unit 2, thereby separating the sheet material PTw, which is the portion of the sheet material PT cut out along the outer shape of the peripheral edge Wa, from the sheet material PTTa, which is the portion of the sheet material PT other than PTw.

ステップS6(ワークの回収)
シート材PTの切断および分離が完了すると、回転駆動装置25を作動させて旋回アーム23を旋回させる。旋回アーム23の旋回により、下ハウジング22Aを貼付け領域P1から退避領域P2へと移動させる。下ハウジング22Aの移動に連動して、下ハウジング22Bは貼付け領域P1へと移動する。そしてシート材PTwが曲面Wbに貼り付けられたワークWは図示しない搬送機構によって搬出され、図示しないワーク収納部へと回収される。
Step S6 (Workpiece retrieval)
Once the cutting and separation of the sheet material PT is complete, the rotary drive device 25 is activated to rotate the swivel arm 23. The rotation of the swivel arm 23 moves the lower housing 22A from the attachment area P1 to the retraction area P2. In conjunction with the movement of the lower housing 22A, the lower housing 22B moves back to the attachment area P1. The workpiece W, with the sheet material PTw attached to the curved surface Wb, is then transported out by a transport mechanism (not shown) and collected in a workpiece storage section (not shown).

シート材PTwから分離されたシート材PTaは、シート回収部5の回収ボビン83によって巻き取り回収される。シート材PTaが回収されるとともに、シート供給部2から所定量のシート材PTが繰り出される。 The sheet material PTa, separated from the sheet material PTw, is wound up and recovered by the recovery bobbin 83 of the sheet recovery unit 5. As the sheet material PTa is recovered, a predetermined amount of sheet material PT is dispensed from the sheet supply unit 2.

以上で一巡の動作が終了し、以後、ステップS1からステップS6までの動作を順次繰返してゆく。 This completes one cycle of operations. From here on, the operations from step S1 to step S6 are repeated sequentially.

<実施例1の構成による効果>
上記実施例1に係る装置によれば、曲面Wbを有するワークWに対してシート材PTを精度良く貼り付けることができる。ここで実施例1の構成による効果について、従来の構成と比較しつつ説明する。
<Effects of the configuration in Example 1>
According to the apparatus of the above-described embodiment 1, a sheet material PT can be accurately attached to a workpiece W having a curved surface Wb. The effects of the configuration of embodiment 1 will now be explained in comparison with the conventional configuration.

特許文献1または特許文献2に開示されるような従来の貼付け装置では、平坦な形状のワークに対してシート材PTを貼り付ける工程を想定している。そのため、ワークが曲面を有する場合、従来の貼付け装置では、当該ワークにシート材PTを精度良く貼り付けることが困難となるという知見が新たに得られた。 Conventional adhesive application devices, such as those disclosed in Patent Document 1 or Patent Document 2, are designed for the process of applying sheet material PT to flat workpieces. Therefore, it has been newly discovered that when a workpiece has a curved surface, it is difficult to accurately apply the sheet material PT to the workpiece using conventional adhesive application devices.

精度良く貼り付けることが困難となる原因について、次のようなものが考えられる。すなわち差圧を用いてシート材をワークに貼り付ける一般的な従来の構成では図20(a)に示すように、シート材PTが平坦な状態でチャンバTyの内部に差圧Fを発生させ、当該差圧Fを用いてシート材PTをワークWに貼り付ける。このような一般的な従来の構成では、チャンバTy内部のシート材PT全体が一様に差圧Fによって変形していく。よって、ワークWのうちシート材PTとの距離が遠い部分と比べて、シート材PTとの距離が近い部分の方が先にシート材PTと接触することとなる。 The following are possible reasons why precise adhesion becomes difficult. Specifically, in a typical conventional configuration where differential pressure is used to adhere the sheet material to the workpiece, as shown in Figure 20(a), a differential pressure F is generated inside the chamber Ty while the sheet material PT is flat, and this differential pressure F is used to adhere the sheet material PT to the workpiece W. In this typical conventional configuration, the entire sheet material PT inside the chamber Ty deforms uniformly due to the differential pressure F. Therefore, parts of the workpiece W that are closer to the sheet material PT will come into contact with the sheet material PT before parts that are further away.

そのため曲面Wbを有するワークWをワークとして用いる場合、図20(b)に示すように、シート材PTは凹状となっておりz方向に低い位置にあるワークWの曲面Wbより先に、平坦かつz方向に高い位置にあるワークWの周縁部Waへ接触する。このようにシート材PTが周縁部Waに接触することによって、シート材PTにテンションTxが発生する。 Therefore, when using a workpiece W with a curved surface Wb, as shown in Figure 20(b), the sheet material PT is concave and contacts the flat peripheral edge Wa of the workpiece W, which is higher in the z-direction, before the curved surface Wb of the workpiece W, which is lower in the z-direction. This contact between the sheet material PT and the peripheral edge Wa generates tension Tx in the sheet material PT.

この場合、シート材PTが周縁部Waに接触した状態からさらにシート材PTの中央部が曲面Wbに追従しようと変形していく。しかし、シート材PTにテンションTxが発生しており、当該テンションTxは追従変形するにつれて徐々に大きくなるので、シート材PTがこれ以上変形しきれず、シート材PTの一部が曲面Wbに追従できない事態が発生する。 In this case, the sheet material PT, after contacting the peripheral edge Wa, deforms further as the central part of the sheet material PT attempts to follow the curved surface Wb. However, tension Tx is generated in the sheet material PT, and this tension Tx gradually increases as the deformation progresses. As a result, the sheet material PT can no longer deform completely, and a portion of the sheet material PT fails to follow the curved surface Wb.

このような事態が発生した場合、曲面Wbに追従した変形ができない部分のシート材PTは曲面Wbに密着できないので、図20(c)に示すように、シート材PTとワークWの曲面Wbとの間に気泡Voが発生する。特に曲面Wbのうち最も深い部分である最深部Wcは、差圧によって変形するシート材PTが最後に接触する部分であるので気泡Voが高頻度で発生する。そのため、曲面Wbのうち特に深い部分においてシート材PTの密着精度が低くなる。 When this situation occurs, the sheet material PT in the portion that cannot deform to follow the curved surface Wb cannot adhere to the curved surface Wb, resulting in the formation of air bubbles Vo between the sheet material PT and the curved surface Wb of the workpiece W, as shown in Figure 20(c). In particular, the deepest part Wc of the curved surface Wb is the last part that the sheet material PT, deformed by differential pressure, contacts, so air bubbles Vo occur frequently there. Therefore, the adhesion accuracy of the sheet material PT becomes low, especially in the deepest part of the curved surface Wb.

シート材PTが先に周縁部Waへ接触することによって発生するテンションTxは、別の問題も引き起こすと考えられる。すなわち、テンションTxが発生している状態で曲面Wbに追従変形すると、シート材PTが不均一に変形してしまい、結果として図20(d)に示すように、曲面Wbのうち予期していない領域Wbxにシート材PTの一部が先に貼り付いてしまう事態が発生する。このような事態が発生すると、シート材PTは密着するように曲面Wbへ貼り付くことができず、図20(e)に示すように、領域Wbxに接触したシート材PTの部分が皺Swとなる。 The tension Tx generated when the sheet material PT first contacts the peripheral edge Wa is thought to cause another problem. Specifically, when the sheet material PT deforms to follow the curved surface Wb while tension Tx is present, it deforms unevenly. As a result, as shown in Figure 20(d), a portion of the sheet material PT adheres prematurely to an unexpected region Wbx within the curved surface Wb. When this occurs, the sheet material PT cannot adhere tightly to the curved surface Wb, and as shown in Figure 20(e), the portion of the sheet material PT in contact with region Wbx becomes wrinkled Sw.

また、テンションTxが発生している状態でシート材PTが曲面Wbに貼り付けたとしても、テンションTxに起因して強い引張応力がシート材PTに蓄積する。そのため、時間経過とともにシート材PTは引張応力によって曲面Wbから剥がれてしまい、気泡Voや皺Swが発生することも考えられる。 Furthermore, even if the sheet material PT is attached to a curved surface Wb while tension Tx is present, strong tensile stress will accumulate in the sheet material PT due to the tension Tx. Therefore, over time, the sheet material PT may peel off the curved surface Wb due to the tensile stress, potentially causing air bubbles Vo and wrinkles Sw to form.

ワークWの曲面Wbにシート材PTを貼り付ける際に、曲面Wbより先に周縁部Waへシート材PTが接触する事態を回避する構成として、特許文献1の構成では図21(a)に示すように、チャンバTyの内部に細い棒状の突起部材101を配設させる。そして図21(b)に示すように突起部材101を下降させ、シート材PTの中央部分Q1を押圧部材Kで押圧してワークWに貼り付けた後に、差圧を発生させてシート材PTを中央部分から放射状に拡がるようにワークWの全面に密着させる。 To avoid the sheet material PT contacting the peripheral edge Wa before the curved surface Wb when attaching it to the curved surface Wb, the configuration in Patent Document 1, as shown in Figure 21(a), involves arranging a thin rod-shaped projection member 101 inside the chamber Ty. Then, as shown in Figure 21(b), the projection member 101 is lowered, and the central portion Q1 of the sheet material PT is pressed with the pressing member K to attach it to the workpiece W. Afterward, a differential pressure is generated to ensure the sheet material PT adheres tightly to the entire surface of the workpiece W, spreading radially from the central portion.

しかしながら特許文献1の構成では新たに以下のような問題が発生することが分かった。すなわち図21(b)に示すように、突起部材101は細い棒状部材であるので、シート材PTのうち非常に狭い領域Q1に当接して押圧する。そのため、狭い領域Q1に対して非常に大きい押圧力が作用するので、シート材PTのうち領域Q1の部分は当該押圧力によって大きく延伸する。すなわち領域Q1におけるシート材PTの延伸率が非常に高くなる。またシート材PTは延伸すると薄くなる。すなわちシート材PTのうち領域Q1の部分は厚みが薄くなる。 However, it was found that the configuration described in Patent Document 1 presents the following new problems. Specifically, as shown in Figure 21(b), the projection member 101 is a thin, rod-shaped member, and therefore contacts and presses against a very narrow region Q1 of the sheet material PT. As a result, a very large pressing force acts on this narrow region Q1, causing the portion of the sheet material PT in region Q1 to stretch significantly due to this force. In other words, the stretching rate of the sheet material PT in region Q1 becomes very high. Furthermore, the sheet material PT becomes thinner when stretched. That is, the thickness of the portion of the sheet material PT in region Q1 decreases.

一方、シート材PTのうち突起部材101が当接しない領域Q2では突起部材101によって作用する押圧力が非常に弱いので、領域Q2におけるシート材PTの延伸率は低くなる。また領域Q2におけるシート材PTは領域Q1におけるシート材PTと比べて厚みが大きい。すなわち特許文献1の構成では突起部材101に起因して、シート材PTの位置に応じて延伸率のバラツキおよび厚みのバラツキが発生する。 On the other hand, in region Q2 of the sheet material PT where the projection member 101 does not come into contact, the pressing force applied by the projection member 101 is very weak, resulting in a lower elongation rate of the sheet material PT in region Q2. Furthermore, the sheet material PT in region Q2 is thicker than that in region Q1. In other words, in the configuration of Patent Document 1, variations in elongation rate and thickness occur depending on the position of the sheet material PT due to the projection member 101.

このような延伸率のバラツキおよび厚みのバラツキが発生した状態でシート材PTがワークWの曲面Wbに貼り付けられると、曲面Wbに貼り付けられたシート材PTは図21(c)に示すような状態となる。すなわち曲面Wbの中央部にはシート材PTのうち領域Q1の部分が貼り付けられ、曲面Wbの周縁部にはシート材PTのうち領域Q2の部分が貼り付けられる。そのため、曲面Wbのうち中央部では貼り付けられているシート材PTの厚みが比較的薄く、曲面Wbのうち周縁部では貼り付けられているシート材PTの厚みが比較的厚くなる。 When sheet material PT is attached to the curved surface Wb of workpiece W with such variations in stretch ratio and thickness, the sheet material PT attached to the curved surface Wb will be in the state shown in Figure 21(c). That is, region Q1 of the sheet material PT is attached to the central part of the curved surface Wb, and region Q2 is attached to the peripheral part of the curved surface Wb. Therefore, the thickness of the sheet material PT attached to the curved surface Wb is relatively thin in the central part, and relatively thick in the peripheral part of the curved surface Wb.

光透過性を例とするシート材PTの特性は、シート材PTの厚みに応じて大きく異なる。その結果、曲面Wbの中央部に貼り付けられたシート材PTの特性と曲面Wbの周縁部に貼り付けられたシート材PTの特性とが大きく異なることとなる。従って、特許文献1に係る従来のシート材貼付け装置では曲面Wbの全体においてシート材PTの特性を均一に発揮させることが困難となると考えられる。 The properties of sheet material PT, such as light transmittance, vary significantly depending on the thickness of the sheet material PT. As a result, the properties of sheet material PT attached to the center of a curved surface Wb differ greatly from those attached to the periphery of the curved surface Wb. Therefore, it is considered difficult to uniformly exhibit the properties of sheet material PT across the entire curved surface Wb using the conventional sheet material application device described in Patent Document 1.

一方、実施例1に係るシート材貼付け装置1では、変形部材63の当接面95を用いてシート材PTを変形させ、当該変形した部分のシート材PTをワークWの曲面Wbに当接させる。そして変形した部分のシート材PTをワークWの曲面Wbに当接させた状態で、差圧Fを発生させてシート材PTを曲面Wbの全体へ貼り付けていく。変形部材63の当接面95は、その曲率がワークWの曲面Wbの曲率より大きくなるように構成される。また当接面95の断面幅aと曲面Wbの断面幅bとがa≧0.3×bの条件を満たすように、ワークWの曲面Wbに対する当接面95の構成が定められる。 On the other hand, in the sheet material application device 1 according to Embodiment 1, the sheet material PT is deformed using the contact surface 95 of the deformation member 63, and the deformed portion of the sheet material PT is brought into contact with the curved surface Wb of the workpiece W. While the deformed portion of the sheet material PT is in contact with the curved surface Wb of the workpiece W, a differential pressure F is generated to apply the sheet material PT to the entire curved surface Wb. The contact surface 95 of the deformation member 63 is configured such that its curvature is greater than the curvature of the curved surface Wb of the workpiece W. Furthermore, the configuration of the contact surface 95 relative to the curved surface Wb of the workpiece W is determined such that the cross-sectional width a of the contact surface 95 and the cross-sectional width b of the curved surface Wb satisfy the condition a ≥ 0.3 × b.

変形部材63において当接面95の断面幅または曲率が当該条件を満たすように構成されることで、変形部材63をシート材PTに当接させた場合において当接面95が当接するシート材PTの範囲をより大きくできる。その結果、変形部材63がシート材PTを変形させる工程において、シート材PTの単位面積あたりに作用する押圧力を低減できるので、当接面95が当接する領域においてシート材PTの延伸率が過度に増大することを抑制できる。従って、シート材PTのうち当接面95が当接する領域と当接面95が当接しない領域とにおける延伸率の差が小さくなるので、ワークWの曲面Wbに貼り付けられたシート材PTの全体における延伸率のバラツキを低減できる。すなわち曲面Wb上においてシート材PTの厚みのバラツキを低減できるので、曲面Wbに貼り付けられたシート材PTの全体において、より均一にシート材の特性を発揮させることができる。 By configuring the deformation member 63 so that the cross-sectional width or curvature of the contact surface 95 satisfies the condition, the area of the sheet material PT that the contact surface 95 contacts can be made larger when the deformation member 63 is brought into contact with the sheet material PT. As a result, the pressing force acting per unit area of the sheet material PT can be reduced during the process of the deformation member 63 deforming the sheet material PT, thereby suppressing an excessive increase in the elongation rate of the sheet material PT in the area where the contact surface 95 contacts. Therefore, the difference in elongation rate between the area of the sheet material PT that the contact surface 95 contacts and the area that the contact surface 95 does not contact becomes smaller, thus reducing the variation in elongation rate of the sheet material PT as a whole attached to the curved surface Wb of the workpiece W. In other words, the variation in the thickness of the sheet material PT on the curved surface Wb can be reduced, allowing the sheet material's properties to be exhibited more uniformly throughout the entire sheet material PT attached to the curved surface Wb.

なお本実施例において、シート材PTの延伸率は一例として以下の方法で算出される。図22(a)は延伸率を算出する第1の例を示している。図22(a)の左図は、変形部材63の当接面95がシート材PTに当接していない状態における、変形部材63およびシート材PTを示している。この状態において、シート材PTのうち当接面95に対向する部分Jの長さをF1とする。図22(a)の左図では当接面95がシート材PTに当接していないので、長さF1は当接面95の断面幅aに等しい。 In this embodiment, the elongation ratio of the sheet material PT is calculated as follows, as an example. Figure 22(a) shows a first example of calculating the elongation ratio. The left diagram in Figure 22(a) shows the deformation member 63 and the sheet material PT when the contact surface 95 of the deformation member 63 is not in contact with the sheet material PT. In this state, the length of the portion J of the sheet material PT facing the contact surface 95 is denoted as F1. In the left diagram of Figure 22(a), since the contact surface 95 is not in contact with the sheet material PT, the length F1 is equal to the cross-sectional width a of the contact surface 95.

次に、図22(a)の右図は、変形部材63の当接面95がシート材PTに当接している状態における、変形部材63およびシート材PTを示している。この状態において、シート材PTのうち当接面95に対向する部分(当接面95が当接している部分)の長さをF2とする。図22(a)の右図では当接面95に沿ってシート材PTが変形しているので、長さF2は当接面95の表面に沿った長さである。当該第1の例において、変形部材63を当接させることによるシート材PTの延伸率Exは、シート材PTの変形前における長さF1とシート材PTの変形後における長さF2とを用いて以下の(3)に示す数式によって算出される。
Ex=(F2-F1)/F1 ……(3)
Next, the right-hand diagram of Figure 22(a) shows the deformation member 63 and the sheet material PT in a state where the contact surface 95 of the deformation member 63 is in contact with the sheet material PT. In this state, let F2 be the length of the portion of the sheet material PT that faces the contact surface 95 (the portion in contact with the contact surface 95). In the right-hand diagram of Figure 22(a), the sheet material PT is deformed along the contact surface 95, so the length F2 is the length along the surface of the contact surface 95. In this first example, the elongation ratio Ex of the sheet material PT due to contact with the deformation member 63 is calculated using the formula shown in (3) below, with respect to the length F1 of the sheet material PT before deformation and the length F2 of the sheet material PT after deformation.
Ex=(F2-F1)/F1...(3)

上述した(3)の式において、F1は当初における対向部分Jの長さに相当し、(F2-F1)は対向部分Jにおいて変形部材63によって延伸した分の長さに相当する。そのため(3)の数式によってシート材PTの延伸率Exを算出することができる。 In equation (3) above, F1 corresponds to the initial length of the opposing portion J, and (F2 - F1) corresponds to the length of the opposing portion J stretched by the deformation member 63. Therefore, the elongation ratio Ex of the sheet material PT can be calculated using equation (3).

次に、図22(b)は延伸率を算出する第2の例を示している。図22(b)の左図は、変形部材63を当接させる前におけるシート材PTの平面図を示している。また図22(b)の右図は、変形部材63を当接させた後におけるシート材PTの平面図を示している。すなわち変形部材63の当接面95をシート材PTに当接させることにより、x方向におけるシート材PTの長さはX1からX2へと変化しており、y方向におけるシート材PTの長さはY1からY2へと変化しているものとする。当該第2の例において、変形部材63を当接させることによるシート材PTの延伸率Exは、長さX1と長さX2と長さY1と長さY2とを用いて、以下の(4)に示す数式によって算出されることも可能である。なお(X1・Y1)の項は、長さX1と長さY1との積に相当する。
Next, Figure 22(b) shows a second example of calculating the elongation ratio. The left side of Figure 22(b) shows a plan view of the sheet material PT before the deformation member 63 is brought into contact with it. The right side of Figure 22(b) shows a plan view of the sheet material PT after the deformation member 63 is brought into contact with it. That is, by bringing the contact surface 95 of the deformation member 63 into contact with the sheet material PT, the length of the sheet material PT in the x direction changes from X1 to X2, and the length of the sheet material PT in the y direction changes from Y1 to Y2. In this second example, the elongation ratio Ex of the sheet material PT due to contact with the deformation member 63 can also be calculated using the formula shown in (4) below, with respect to lengths X1, X2, Y1, and Y2. The term (X1・Y1) corresponds to the product of length X1 and length Y1.

また実施例1に係る構成において、変形部材63における当接面95の曲率はワークWにおける曲面Wbの曲率よりも大きくなるように構成されている。そのため当接面95によって変形させたシート材PTを変形部材63とともにワークWの曲面Wbへ近接させることにより、曲面Wbのうち最も深い部分である最深部Wcに対して、最初にシート材PTを接触させることが容易となる。そのため差圧によってシート材PTを曲面Wbに貼りつける工程において、シート材PTは最深部Wcから外側へ向けて放射状に貼りつけられていくこととなる。よって、従来では気泡が特に発生し易い部分と考えられる最深部Wcにおいて気泡が巻き込まれることを確実に回避できるので、曲面Wbに対するシート材PTの密着性を更に向上させることができる。 Furthermore, in the configuration according to Embodiment 1, the curvature of the contact surface 95 of the deformation member 63 is configured to be greater than the curvature of the curved surface Wb of the workpiece W. Therefore, by bringing the sheet material PT, deformed by the contact surface 95, closer to the curved surface Wb of the workpiece W together with the deformation member 63, it becomes easy to bring the sheet material PT into contact with the deepest part Wc of the curved surface Wb first. Therefore, in the process of attaching the sheet material PT to the curved surface Wb using differential pressure, the sheet material PT is attached radially from the deepest part Wc outwards. Thus, it is possible to reliably avoid the trapping of air bubbles in the deepest part Wc, which is considered to be a particularly prone area for air bubble formation in conventional methods, and further improve the adhesion of the sheet material PT to the curved surface Wb.

また当接面95の曲率をワークWにおける曲面Wbの曲率よりも大きくすることにより、変形部材63の位置とワークWの位置との間にズレが発生した場合であってもシート材PTを精度良く貼り付けられるという新たな効果が得られることが分かった。図23の各図を用いて当該効果について説明する。 Furthermore, it was found that by making the curvature of the contact surface 95 greater than the curvature of the curved surface Wb on the workpiece W, a new effect can be obtained: even if a misalignment occurs between the position of the deformable member 63 and the position of the workpiece W, the sheet material PT can be attached with high precision. This effect will be explained using the figures in Figure 23.

図23(a)は、当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成を示している。この場合、当接面95の曲率および断面幅は、ワークWにおける曲面Wbの曲率および断面幅と等しい。このような、当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成では、x方向およびy方向における変形部材63の位置とワークWの位置とが精度良く一致している場合はシート材PTを精度良く曲面Wbの全体に貼り付けることができる。すなわち当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置が一致している場合、変形部材63を下降させることによって当接面95がワークWの曲面Wbの全体と嵌合するように当接するので、シート材PTを精度良く曲面Wbの全体に貼り付けることができる。 Figure 23(a) shows a configuration in which the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb of the workpiece W. In this case, the curvature and cross-sectional width of the contact surface 95 are equal to the curvature and cross-sectional width of the curved surface Wb on the workpiece W. In such a configuration in which the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb of the workpiece W, if the position of the deformation member 63 and the position of the workpiece W are accurately matched in the x and y directions, the sheet material PT can be accurately attached to the entire curved surface Wb. That is, when the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb are at the same position, the contact surface 95 will come into contact with the entire curved surface Wb of the workpiece W by lowering the deformation member 63, so that the sheet material PT can be accurately attached to the entire curved surface Wb.

しかしながら、当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成では、当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置が僅かにズレることに起因して、シート材PTの貼り付け精度が大きく低下する。図23(a)は当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成において、当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置がx方向へ僅かにズレている状態を示している。 However, in a configuration where the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb of the workpiece W, the adhesion accuracy of the sheet material PT is significantly reduced due to a slight misalignment between the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb. Figure 23(a) shows a configuration where the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb of the workpiece W, and the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb are slightly misaligned in the x-direction.

図23(a)に示す状態で変形部材63を下降させた場合、変形部材63とワークWとの位置関係は図23(b)に示すような状態となる。当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置がズレると、位置がズレる距離(位置ズレ量)が僅かであったとしても当接面95は曲面Wbに当接することができなくなる。すなわち当接面95はシート材PTを介して、平坦な周縁部Wa、または周縁部Waと曲面Wbとの境界部分(一例として一端部WLまたは他端部WR)に接触することとなる。 When the deformation member 63 is lowered in the state shown in Figure 23(a), the positional relationship between the deformation member 63 and the workpiece W becomes as shown in Figure 23(b). If the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb are misaligned, even if the misalignment is slight, the contact surface 95 will no longer be able to contact the curved surface Wb. That is, the contact surface 95 will contact the flat peripheral edge Wa, or the boundary between the peripheral edge Wa and the curved surface Wb (for example, one end WL or the other end WR), via the sheet material PT.

図23(b)に示すような状態では当接面95が曲面Wbに嵌合していないため、変形部材63をさらに下降させてもシート材PTを曲面Wbへ精度良く貼り付けることができない。また図23(b)に示すような状態で差圧Fを発生させた場合であっても、ワークWの曲面Wbより先に周縁部Waにシート材PTが貼り付けられるので、シート材PTとワークWとの間に気泡Voが混入する事態またはワークWに貼り付けられたシート材PTに皺Wbxが形成される事態が高頻度で発生する(図20(b)~(d)を参照)。 In the state shown in Figure 23(b), the contact surface 95 is not fitted to the curved surface Wb. Therefore, even if the deformation member 63 is further lowered, the sheet material PT cannot be accurately attached to the curved surface Wb. Furthermore, even when a differential pressure F is generated in the state shown in Figure 23(b), the sheet material PT is attached to the peripheral portion Wa of the workpiece W before the curved surface Wb. This frequently results in the formation of air bubbles Vo between the sheet material PT and the workpiece W, or the formation of wrinkles Wbx on the sheet material PT attached to the workpiece W (see Figures 20(b) to (d)).

そのため、当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成では、水平方向(x方向およびy方向)における変形部材63の位置とワークWの位置とを非常に高い精度で一致させる必要があり、僅かな位置ズレが発生することによってシート材PTの貼り付け精度が大きく低下することとなる。 Therefore, in a configuration where the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb of the workpiece W, it is necessary to match the position of the deformation member 63 and the position of the workpiece W with very high precision in the horizontal direction (x and y directions). Even a slight misalignment will significantly reduce the adhesion accuracy of the sheet material PT.

一方、変形部材63における当接面95の曲率がワークWにおける曲面Wbの曲率より大きい場合、変形部材63とワークWとの位置ズレが発生した場合であってもシート材PTを精度良く貼り付けることができる。図23(c)は、当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置がx方向にズレている場合において、変形部材63を下降させてワークWに接触させた状態を示している。 On the other hand, if the curvature of the contact surface 95 of the deformable member 63 is greater than the curvature of the curved surface Wb of the workpiece W, the sheet material PT can be accurately attached even if a misalignment occurs between the deformable member 63 and the workpiece W. Figure 23(c) shows the state in which the deformable member 63 is lowered and in contact with the workpiece W when the positions of the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb are misaligned in the x direction.

当接面95の曲率が曲面Wbの曲率より大きい場合、当接面95の中央部とワークWの曲面Wbとの距離は、確実に当接面95の周縁部とワークWの曲面Wbとの距離より大きくなる。そのため当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置が水平方向にズレた場合であっても、図23(c)に示すように、曲面となっている当接面95の部分が確実にワークWの曲面Wbと当接することになる。 If the curvature of the contact surface 95 is greater than the curvature of the curved surface Wb, the distance between the center of the contact surface 95 and the curved surface Wb of the workpiece W will be significantly greater than the distance between the periphery of the contact surface 95 and the curved surface Wb of the workpiece W. Therefore, even if the positions of the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb are misaligned horizontally, as shown in Figure 23(c), the curved portion of the contact surface 95 will reliably come into contact with the curved surface Wb of the workpiece W.

また位置ズレが発生した場合において当接面95と曲面Wbとが接触する領域M2の位置は、位置ズレが発生しない場合における接触領域M1の位置(一例として最深部Wcの位置)から近い。そのため、当接面95がシート材PTを介して曲面Wbにおける接触領域M2に接触している状態で差圧Fを発生させる場合において、シート材PTは接触領域M1(最深部Wc)から近い接触領域M2を起点として放射状に拡がるように曲面Wbの全体へと貼り付けられていく。 Furthermore, when misalignment occurs, the location of the contact region M2 between the contact surface 95 and the curved surface Wb is close to the location of the contact region M1 when no misalignment occurs (for example, the location of the deepest part Wc). Therefore, when a differential pressure F is generated while the contact surface 95 is in contact with the contact region M2 on the curved surface Wb via the sheet material PT, the sheet material PT is attached to the entire curved surface Wb, starting from the contact region M2 closest to the contact region M1 (deepest part Wc) and spreading radially.

その結果、気泡Voが混入する事態または皺Wbxが発生する事態を確実に防止できる。すなわち当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成と異なり、当接面95の曲率が曲面Wbの曲率より大きい構成では水平方向における変形部材63とワークWとの位置ズレに対する許容量が非常に大きくなる。言い換えると、当接面95の曲率が曲面Wbの曲率より大きい構成では、当接面95の中心線Knと曲面Wbの中心線Kwの位置が水平方向にズレた場合であっても、シート材PTをワークWの曲面Wbへ精度よく貼り付けることができる。 As a result, the occurrence of air bubbles Vo or wrinkles Wbx can be reliably prevented. In other words, unlike a configuration where the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb of the workpiece W, a configuration where the curvature of the contact surface 95 is greater than the curvature of the curved surface Wb allows for a much larger tolerance for positional misalignment between the deformation member 63 and the workpiece W in the horizontal direction. In other words, in a configuration where the curvature of the contact surface 95 is greater than the curvature of the curved surface Wb, the sheet material PT can be accurately attached to the curved surface Wb of the workpiece W even if the positions of the center line Kn of the contact surface 95 and the center line Kw of the curved surface Wb are misaligned in the horizontal direction.

次に、本発明の実施例2を説明する。実施例1では曲面Wbを有するワークWに対して、長尺状のシート材PTを貼り付ける構成を例にとって説明した。実施例2では、ワークWの形状に応じた所定形状の断片となっているシート材PTを、曲面Wbを含む所定の領域に貼り付ける構成を例にとって説明する。すなわち、実施例2ではプリカット粘着テープをワークに貼り付ける構成を例として説明する。なお、実施例1に係るシート材貼付け装置1と同一構成については同一符号を付すに留め、異なる構成部分について詳述する。 Next, we will describe Embodiment 2 of the present invention. Embodiment 1 described an example of a configuration in which a long sheet material PT is attached to a workpiece W having a curved surface Wb. Embodiment 2 describes an example of a configuration in which sheet material PT, which is in the form of a predetermined shape according to the shape of the workpiece W, is attached to a predetermined area including the curved surface Wb. That is, Embodiment 2 describes an example of a configuration in which pre-cut adhesive tape is attached to a workpiece. Note that components identical to those in the sheet material attachment device 1 of Embodiment 1 are denoted by the same reference numerals, and different components will be described in detail.

図24に示すように、実施例2に係るシート材PTは予め所定の形状に切り抜かれており、各々のシート材PTは長尺状のキャリアテープCTによって保持されている。すなわち実施例2に係るシート材貼付け装置1Aにおいて、所定形状の断片となっているシート材PTがキャリアテープCTの上で所定の距離ごとに配置されており、当該キャリアテープCTがシート材PTとともにシート供給部2から繰り出し供給される。シート貼付けユニット4は断片状のシート材PTを、曲面Wbを有するワークWの回路形成面に貼りつける。シート回収部5は、シート材PTから剥離されたキャリアテープCTを巻き取り回収する。 As shown in Figure 24, the sheet material PT in Embodiment 2 is pre-cut into a predetermined shape, and each sheet material PT is held by a long carrier tape CT. That is, in the sheet material application device 1A according to Embodiment 2, the sheet material PT fragments of a predetermined shape are arranged on the carrier tape CT at predetermined distances, and the carrier tape CT is fed from the sheet supply unit 2 together with the sheet material PT. The sheet application unit 4 applies the fragmented sheet material PT to the circuit-forming surface of the workpiece W having a curved surface Wb. The sheet recovery unit 5 winds up and recovers the carrier tape CT peeled off from the sheet material PT.

なお本実施例において、シート材PTの形状は円形であるものとする。また、シート材PTは既にワークWの外形に応じた形状となっているため、シート材貼付け装置1Aではシート切断機構21を省略できる。 In this embodiment, the sheet material PT is assumed to be circular in shape. Furthermore, since the sheet material PT already conforms to the outer shape of the workpiece W, the sheet cutting mechanism 21 can be omitted in the sheet material application device 1A.

実施例2に係るシート材貼付け装置1Aの動作について、実施例1と相違する点を図示しつつ説明する。シート材貼付け装置1Aの動作のフローチャートは、図10(b)に示される通りである。実施例2に係るシート材貼付け工程の概要は、実施例1に係る工程と同様であるので、細部については適宜説明を省略する。 The operation of the sheet material application device 1A according to Example 2 will be explained with illustrations showing the differences from Example 1. The flowchart of the operation of the sheet material application device 1A is shown in Figure 10(b). The outline of the sheet material application process according to Example 2 is the same as that according to Example 1, so details will be omitted as appropriate.

ステップS1(ワークの供給)
ステップS1において、曲面Wbを有するワークWを退避領域P2に配置されている下ハウジング22Aへと搬送する。そして下ハウジング22Aに収納されている保持テーブル31にワークWを載置させ、保持テーブル31のワーク載置面35を介してワークWを保持する。ワークWは、曲面Wbを有する表面W1の側を上向きにした状態で保持される。
Step S1 (Workpiece supply)
In step S1, the workpiece W having a curved surface Wb is transported to the lower housing 22A located in the retraction area P2. The workpiece W is then placed on the holding table 31 housed in the lower housing 22A, and the workpiece W is held via the workpiece placement surface 35 of the holding table 31. The workpiece W is held with the side of the surface W1 having the curved surface Wb facing upward.

ステップS2(チャンバの形成)
次にステップS2において、下ハウジング22Aを貼付け領域P1へと移動させる。なおこのとき、繰り出されているシート材PTの位置はワークWの曲面Wbの上方となるように予め調整される。下ハウジング22Aを移動させた後、上ハウジング20を下降させる。図25に示すように、上ハウジング20および下ハウジング22AがキャリアテープCTを挟み込んで接合することによってチャンバ17が形成される。
Step S2 (Cambodia formation)
Next, in step S2, the lower housing 22A is moved to the adhesive area P1. At this time, the position of the unwound sheet material PT is adjusted in advance so that it is above the curved surface Wb of the workpiece W. After moving the lower housing 22A, the upper housing 20 is lowered. As shown in Figure 25, the upper housing 20 and the lower housing 22A are joined together, sandwiching the carrier tape CT, to form the chamber 17.

形成されたチャンバ17の内部空間は、キャリアテープCTによって2つの空間に区画される。すなわち、キャリアテープCTおよび下ハウジング22Aによって囲まれる下空間H1と、キャリアテープCTおよび上ハウジング20によって囲まれる上空間H2とに区画される。 The internal space of the formed chamber 17 is divided into two spaces by the carrier tape CT. Specifically, it is divided into a lower space H1 surrounded by the carrier tape CT and the lower housing 22A, and an upper space H2 surrounded by the carrier tape CT and the upper housing 20.

ステップS3(シート材の変形)
チャンバ17を形成させた後、真空装置53を作動させ、下空間H1および上空間H2を同じ速度で減圧させる。下空間H1および上空間H2の気圧が所定の気圧にまで減圧されると、シート貼付機構18の作動を開始して変形部材63を下降させる。変形部材63を下降させることによって、図26に示すように、変形部材63の先端部93に設けられている当接面95がキャリアテープCTを介してシート材PTに接触し、シート材PTを押圧していく。当該押圧によりシート材PTの一部は当接面95の形状に応じて変形され、突出部Vが形成される。
Step S3 (Deformation of the sheet material)
After forming the chamber 17, the vacuum device 53 is activated to reduce the pressure in the lower space H1 and the upper space H2 at the same rate. When the air pressure in the lower space H1 and the upper space H2 is reduced to a predetermined pressure, the sheet application mechanism 18 is activated to lower the deformation member 63. As the deformation member 63 is lowered, as shown in Figure 26, the contact surface 95 provided at the tip 93 of the deformation member 63 comes into contact with the sheet material PT via the carrier tape CT, pressing down on the sheet material PT. Due to this pressing, a part of the sheet material PT is deformed according to the shape of the contact surface 95, and a protrusion V is formed.

当接面95によってシート材PTを変形させた後、制御部62はさらに変形部材63を下降させる。変形部材63の下降を続けることによって、図27に示すように、突出部VはワークWの曲面Wbの一部に接触する。実施例1と同様に、曲面Wbのうち突出部Vが接触する接触領域M1は、曲面Wbの最深部Wcを含む領域となるように変形部材63の配設位置が調整されることが好ましい。変形部材63が突出部Vを介して曲面Wbに接触することにより、制御部62は変形部材63の下降を停止させる。 After the sheet material PT is deformed by the contact surface 95, the control unit 62 further lowers the deformation member 63. As the deformation member 63 continues to descend, the protruding portion V contacts a part of the curved surface Wb of the workpiece W, as shown in Figure 27. Similar to Embodiment 1, it is preferable that the position of the deformation member 63 is adjusted so that the contact region M1 on the curved surface Wb, where the protruding portion V contacts, includes the deepest part Wc of the curved surface Wb. When the deformation member 63 contacts the curved surface Wb via the protruding portion V, the control unit 62 stops the descent of the deformation member 63.

ステップS4(シート材の貼付け)
突出部VをワークWの曲面Wbの一部に接触させた後、突出部Vが曲面Wbに接触している状態で、上空間H2と下空間H1との間に差圧を形成させる。上空間H2と下空間H1との差圧によって、シート材PTが下ハウジング22Aへと徐々に引き込まれていく。そして接触領域M1から周縁部に向けて放射状に拡がるように、ワークWの曲面Wbにシート材PTが貼り付けられていく。その結果、図28に示すように曲面Wbの全面にわたってシート材PTが貼り付けられる。
Step S4 (Attaching the sheet material)
After bringing the protruding portion V into contact with a part of the curved surface Wb of the workpiece W, a differential pressure is formed between the upper space H2 and the lower space H1 while the protruding portion V is in contact with the curved surface Wb. Due to the differential pressure between the upper space H2 and the lower space H1, the sheet material PT is gradually drawn into the lower housing 22A. The sheet material PT is then attached to the curved surface Wb of the workpiece W so as to spread radially from the contact area M1 toward the periphery. As a result, the sheet material PT is attached to the entire surface of the curved surface Wb, as shown in Figure 28.

所定時間経過後、制御部62は変形部材63を上昇させて初期位置へ復帰させるとともに、下空間H1の気圧と上空間H2の気圧とが同じとなるように調整する。その後、下空間H1および上空間H2の気圧を大気圧にまで戻し、上ハウジング20を上昇させて大気開放する。 After a predetermined time has elapsed, the control unit 62 raises the deformation member 63 to return it to its initial position and adjusts the air pressure in the lower space H1 and the upper space H2 to be the same. Then, it returns the air pressure in both the lower space H1 and the upper space H2 to atmospheric pressure and raises the upper housing 20 to open it to the atmosphere.

ステップS5(キャリアテープの剥離)
実施例2に係るシート材PTは既にワークWの外形に応じた形状の断片となっているので、シート材PTを切断する工程を省略できる。そのため、実施例2ではワークWにシート材PTを貼りつけた後、キャリアテープCTをシート材PTから剥離する工程を行う。すなわち、上ハウジング20を貼付け領域P1から適切な位置へと退避させる。実施例2ではこのとき、実施例1と同様に保持テーブル31を上昇させるものとする。
Step S5 (Removal of carrier tape)
Since the sheet material PT in Example 2 is already in the form of a fragment shaped to match the outer shape of the workpiece W, the step of cutting the sheet material PT can be omitted. Therefore, in Example 2, after attaching the sheet material PT to the workpiece W, the carrier tape CT is peeled off from the sheet material PT. That is, the upper housing 20 is moved away from the attachment area P1 to an appropriate position. In Example 2, at this time, the holding table 31 is raised in the same manner as in Example 1.

次に、ニップローラ19に設けられているピンチローラ68を下降させてシート材PTのニップを解除する。そして図29に示すように、テープ供給部2に向けてニップローラ19を案内レール69に沿って移動させることによりキャリアテープCTが巻き上げられ、ワークWに貼りつけられたシート材PTからキャリアテープCTが剥離される。 Next, the pinch roller 68 on the nip roller 19 is lowered to release the nip on the sheet material PT. Then, as shown in Figure 29, the nip roller 19 is moved along the guide rail 69 toward the tape supply unit 2, causing the carrier tape CT to be wound up and peeled away from the sheet material PT attached to the workpiece W.

ステップS6(ワークの回収)
キャリアテープCTの剥離が完了すると、旋回アーム23を旋回させ、下ハウジング22Aを貼付け領域P1から退避領域P2へと移動させる。そしてシート材PTが曲面Wbに貼り付けられたワークWは、図示しない搬送機構によって搬出され、図示しないワーク収納部へと回収される。シート材PTから分離されたキャリアテープCTは、シート回収部5の回収ボビン83によって巻き取り回収される。
Step S6 (Workpiece retrieval)
Once the peeling of the carrier tape CT is complete, the swivel arm 23 is rotated to move the lower housing 22A from the application area P1 to the retraction area P2. The workpiece W, with the sheet material PT attached to the curved surface Wb, is then transported away by a transport mechanism (not shown) and collected in a workpiece storage section (not shown). The carrier tape CT separated from the sheet material PT is wound up and collected by the collection bobbin 83 in the sheet collection section 5.

以上で一巡の動作が終了し、以後、ステップS1からステップS6までの動作を順次繰返してゆく。 This completes one cycle of operations. From here on, the operations from step S1 to step S6 are repeated sequentially.

<実施例2の構成による効果>
実施例2に係る装置によれば、ワークWに対してプリカット粘着テープ状のシート材PTを、曲面Wbを備えるワークWに貼り付ける場合において、シート材PTを曲面Wbに精度良く貼りつけることができる。すなわち実施例1と同様に、シート材PTの一部を変形させて突出部Vを形成させ、先に当該突出部Vを曲面Wbの一部に接触させる。そして突出部Vを曲面Wbに接触させた後、チャンバ17内部における下空間H1と上空間H2との差圧によってシート材PTを曲面Wb全体に貼りつける。
<Effects of the configuration in Example 2>
According to the apparatus of Embodiment 2, when a pre-cut adhesive tape-like sheet material PT is attached to a workpiece W having a curved surface Wb, the sheet material PT can be attached to the curved surface Wb with high precision. That is, similar to Embodiment 1, a part of the sheet material PT is deformed to form a protrusion V, and this protrusion V is first brought into contact with a part of the curved surface Wb. After the protrusion V is brought into contact with the curved surface Wb, the sheet material PT is attached to the entire curved surface Wb by the differential pressure between the lower space H1 and the upper space H2 inside the chamber 17.

そのため実施例2の構成においても、シート材PTが先に周縁部Waへ接触することに起因するテンションTxの発生を回避できる。従って、曲面Wbを有するワークWにシート材PTを貼り付ける場合であっても、シート材PTに皺が発生する事態またはシート材PTと曲面Wbとの間に気泡が発生するといった事態を回避できる。よって、当該曲面Wbの全面に密着するよう精度よくシート材PTを貼りつけることができる。 Therefore, even in the configuration of Example 2, the generation of tension Tx caused by the sheet material PT contacting the peripheral edge Wa first can be avoided. Consequently, even when attaching the sheet material PT to a workpiece W having a curved surface Wb, situations such as wrinkles forming in the sheet material PT or air bubbles forming between the sheet material PT and the curved surface Wb can be avoided. Thus, the sheet material PT can be attached with high precision to adhere closely to the entire surface of the curved surface Wb.

また実施例2では実施例1と同様に、変形部材63の当接面95は、その曲率がワークWの曲面Wbの曲率より大きくなるように構成される。また当接面95の断面幅aと曲面Wbの断面幅bとがa≧0.3×bの条件を満たすように、ワークWの曲面Wbに対する当接面95の構成が定められる。 Furthermore, in Example 2, similar to Example 1, the contact surface 95 of the deformable member 63 is configured such that its curvature is greater than the curvature of the curved surface Wb of the workpiece W. The configuration of the contact surface 95 with respect to the curved surface Wb of the workpiece W is determined such that the cross-sectional width a of the contact surface 95 and the cross-sectional width b of the curved surface Wb satisfy the condition a ≥ 0.3 × b.

変形部材63において当接面95の断面幅および曲率が当該条件を満たすように構成されることで、変形部材63をシート材PTに当接させた場合において当接面95が当接するシート材PTの範囲をより大きくできる。その結果、変形部材63がシート材PTを変形させる工程において、シート材PTの単位面積あたりに作用する押圧力を低減できるので、当接面95が当接する領域においてシート材PTの延伸率が過度に増大することを抑制できる。従って、シート材PTのうち当接面95が当接する領域と当接面95が当接しない領域とにおける延伸率の差が小さくなるので、ワークWの曲面Wbに貼り付けられたシート材PTの全体における延伸率のバラツキを低減できる。すなわち曲面Wb上においてシート材PTの厚みのバラツキを低減できるので、曲面Wbに貼り付けられたシート材PTの全体において、より均一にシート材の特性を発揮させることができる。 By configuring the deformation member 63 so that the cross-sectional width and curvature of the contact surface 95 satisfy the conditions, the area of the sheet material PT that the contact surface 95 contacts can be made larger when the deformation member 63 is brought into contact with the sheet material PT. As a result, the pressing force acting per unit area of the sheet material PT can be reduced during the process of the deformation member 63 deforming the sheet material PT, thereby suppressing an excessive increase in the elongation rate of the sheet material PT in the area where the contact surface 95 contacts. Therefore, the difference in elongation rate between the area of the sheet material PT that the contact surface 95 contacts and the area that the contact surface 95 does not contact becomes smaller, thus reducing the variation in elongation rate of the sheet material PT as a whole attached to the curved surface Wb of the workpiece W. In other words, the variation in the thickness of the sheet material PT on the curved surface Wb can be reduced, allowing the sheet material's properties to be exhibited more uniformly throughout the entire sheet material PT attached to the curved surface Wb.

また当接面95の曲率をワークWにおける曲面Wbの曲率よりも大きくすることにより、変形部材63の位置とワークWの位置との間にズレが発生した場合であってもシート材PTを精度良く貼り付けることができる。すなわち当接面95の形状がワークWの曲面Wbの形状と一致している構成と異なり、当接面95の曲率が曲面Wbの曲率より大きい構成では水平方向における変形部材63とワークWとの位置ズレに対する許容量が非常に大きくすることができる。 Furthermore, by making the curvature of the contact surface 95 greater than the curvature of the curved surface Wb on the workpiece W, the sheet material PT can be accurately attached even if a misalignment occurs between the position of the deformation member 63 and the position of the workpiece W. In other words, unlike a configuration where the shape of the contact surface 95 matches the shape of the curved surface Wb on the workpiece W, a configuration where the curvature of the contact surface 95 is greater than the curvature of the curved surface Wb allows for a much larger tolerance for positional misalignment between the deformation member 63 and the workpiece W in the horizontal direction.

さらに実施例2に係る構成では、プリカットされているシート材PTの一部に対して変形部材63が押圧することで、当該部分をワークWに向かう方向に突出する形状に変形させ、突出部Vを形成させる。当該突出部Vが形成された状態では、シート材PTの位置が水平方向へズレることが抑制される。そのためステップS3において、ワークWの曲面Wbにおける所望の位置(接触領域M1)へとシート材PTの突出部Vを精度良く接触させることができる。その結果、ステップS4に係る貼付け工程においてシート材PTが貼り付けられる位置の精度を従来と比べて大きく向上できるので、差圧を用いてプリカットされたシート材PTをワークWに貼り付ける方法において、シート材PTをより正確な位置に貼り付けることができる。 Furthermore, in the configuration according to Embodiment 2, the deformation member 63 presses against a portion of the pre-cut sheet material PT, deforming that portion into a shape that protrudes toward the workpiece W, thereby forming a protruding portion V. When this protruding portion V is formed, horizontal displacement of the sheet material PT is suppressed. Therefore, in step S3, the protruding portion V of the sheet material PT can be accurately brought into contact with the desired position (contact area M1) on the curved surface Wb of the workpiece W. As a result, the accuracy of the position where the sheet material PT is attached in the attachment process in step S4 can be greatly improved compared to the conventional method, allowing the sheet material PT to be attached to the workpiece W with greater precision using differential pressure.

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。例として、本発明は下記のように変形実施することができる。 The embodiments disclosed herein are illustrative and not restrictive in all respects. The scope of the present invention is defined by the claims rather than the above-described embodiments, and includes all modifications (exceptions) within the meaning and scope of the claims. For example, the present invention can be modified as follows:

(1)各々の実施例において、ワークWに貼りつけるためのシート材の例として、シート材PTを例に挙げて説明したが、シート材はこれに限ることはない。回路面保護用の粘着テープの他に、支持用粘着テープ(ダイシングテープ)など他の用途に用いられる粘着テープを用いてもよい。本発明ではシート材として、粘着力を有する粘着材または接着力を有する接着材を備える、シート、テープ、またはフィルムなどを適用できる。 (1) In each embodiment, sheet material PT was used as an example of a sheet material to be attached to the workpiece W, but the sheet material is not limited to this. In addition to adhesive tape for protecting the circuit surface, adhesive tapes used for other purposes, such as support adhesive tape (dicing tape), may also be used. In this invention, the sheet material can be a sheet, tape, or film, etc., equipped with an adhesive or bonding material having adhesive properties.

なお、シート材の構造としては図3に示される基材Taの一方の面に粘着材Tbが積層された構造に限ることもなく、接着材と基材との積層構造でもよい。また、基材を有さない、粘着材または接着材の単層構造の他、基材Taの両面に粘着材または接着材を備える構造などが好適な例として挙げられる。さらに、シート材がワークWに密着できる構成であれば、基材Taのみからなるシート材を用いてもよい。 Furthermore, the structure of the sheet material is not limited to the structure shown in Figure 3, in which an adhesive material Tb is laminated on one side of the base material Ta; a laminated structure of adhesive and base material is also acceptable. In addition, a single-layer structure of adhesive or bonding material without a base material, or a structure with adhesive or bonding material on both sides of the base material Ta, are also suitable examples. Moreover, a sheet material consisting only of the base material Ta may be used, as long as the sheet material can adhere closely to the workpiece W.

本実施例ではシート状粘着材TにセパレータSを添設させた構成を例示したが、シート材貼付け装置1またはシート材などの構造に応じて、セパレータSを省略してもよい。 In this embodiment, a configuration in which a separator S is attached to a sheet-like adhesive material T is illustrated. However, depending on the structure of the sheet material application device 1 or the sheet material, the separator S may be omitted.

(2)各々の実施例において、シート材を貼りつける対象となるワークとして、凹状の曲面Wbを備えるワークWを例示したが、ワークの形状および材料はこれに限られない。本実施例に係る構成は、基板、パネル、ウエハを例とする各種半導体用部材に用いられる材料の他、陶磁器を例とするセラミックス、樹脂、金属、ガラス、木材、石材、紙材、または上述の材料の混合物などをワークの材料として適用することができる。またワークの形状としては円形状の他、矩形状、多角形状、略円形状などであってもよい。 (2) In each embodiment, a workpiece W having a concave curved surface Wb was exemplified as the workpiece to which the sheet material is to be attached, but the shape and material of the workpiece are not limited thereto. The configuration according to this embodiment can be applied to workpiece materials such as materials used in various semiconductor components, such as substrates, panels, and wafers, as well as ceramics, such as porcelain, resins, metals, glass, wood, stone, paper, or mixtures of the above materials. Furthermore, the shape of the workpiece may be circular, rectangular, polygonal, or substantially circular.

(3)各々の実施例において、ワークWは凹状の曲面Wbを有する場合を例示したが、曲面は凹状に限ることはなく、例えば凸状であってもよい。ワークWに設けられている凸状の曲面Wdにシート材PTを貼りつける場合、図30に示すように、シート材PTの一部を変形させて突出部Vを形成させ、突出部Vを凸状の曲面Wdの一部に接触させてから差圧による貼付け工程を開始する。 (3) In each embodiment, the workpiece W is shown as having a concave curved surface Wb, but the curved surface is not limited to concave; for example, it may be convex. When attaching the sheet material PT to a convex curved surface Wd provided on the workpiece W, as shown in Figure 30, a part of the sheet material PT is deformed to form a protrusion V, and the attachment process using differential pressure is started after the protrusion V is brought into contact with a part of the convex curved surface Wd.

この場合、突出部Vを接触させる接触領域M1は、凸状の曲面Wdのうち最も高い部分である頂部Weを含む領域であることが好ましい。頂部Weに突出部Vを接触させた状態で差圧による貼付け工程を開始することにより、シート材PTとワークWとの間に気泡が巻き込まれる事態、およびシート材PTに皺が発生する事態をより確実に回避できる。 In this case, the contact area M1 to which the protrusion V makes contact is preferably the area including the highest point, the apex We, of the convex curved surface Wd. By starting the adhesive bonding process using differential pressure with the protrusion V in contact with the apex We, it is possible to more reliably avoid situations where air bubbles are trapped between the sheet material PT and the workpiece W, and where wrinkles occur in the sheet material PT.

(4)各々の実施例において、変形部材63が突出部Vを介して曲面Wbに接触している状態で差圧による貼付け工程、すなわちステップS4に係る工程を開始しているがこれに限られない。すなわち、シート材PTの突出部Vが曲面Wbに対して安定に貼りついているならば、図31に示すように、変形部材63を上昇させてから差圧による貼付け工程を開始してもよい。当該変形例に係る構成であっても、シート材PTを曲面Wbの一部に接触させた状態で差圧による貼付けを開始する。そのため、シート材PTにテンションTxを発生させること無く、シート材PTを接触領域M1から放射状にワークWの曲面Wbへ貼りつけることができる。よって、曲面Wbの全面にシート材PTを精度よく密着させることができる。 (4) In each embodiment, the differential pressure bonding process, i.e., the process related to step S4, is started with the deformable member 63 in contact with the curved surface Wb via the protruding portion V, but this is not limited to this. That is, if the protruding portion V of the sheet material PT is stably attached to the curved surface Wb, the differential pressure bonding process may be started after raising the deformable member 63, as shown in Figure 31. Even in the configuration according to this modified example, the differential pressure bonding is started with the sheet material PT in contact with a part of the curved surface Wb. Therefore, the sheet material PT can be attached radially from the contact area M1 to the curved surface Wb of the workpiece W without generating tension Tx in the sheet material PT. Thus, the sheet material PT can be precisely adhered to the entire surface of the curved surface Wb.

(5)各々の実施例において、変形部材63の形状は適宜変更してよい。変形部材63における基端部91の形状として、円柱状の他に円錐状、角錐状、直方体状、円錐台状、角錐台状などが例として挙げられる。また変形部材63のうち先端部93の形状としては球体(真球)の一部を切り取った形状の他に、楕円体の一部を切り取った形状などが挙げられる。 (5) In each embodiment, the shape of the deformable member 63 may be changed as appropriate. Examples of the base end portion 91 of the deformable member 63 include, in addition to a cylindrical shape, a cone shape, a pyramidal shape, a rectangular parallelepiped shape, a frustocone shape, and a frustocone shape. Furthermore, examples of the tip portion 93 of the deformable member 63 include a shape obtained by cutting off a part of a sphere (perfect sphere), as well as a shape obtained by cutting off a part of an ellipsoid.

(6)各々の実施例において、変形部材63が突出部Vを介して曲面Wbに接触させた後、下空間H1と上空間H2との間に差圧Fを発生させる制御を開始しているが、突出部Vを曲面Wbに接触させるタイミングはこれに限られない。すなわち変形部材63の当接面95によって形成されたシート材PTの突出部VをワークWの曲面Wbに近接させた状態で(非接触の状態で)差圧Fを発生させてもよい。 (6) In each embodiment, control is initiated to generate a differential pressure F between the lower space H1 and the upper space H2 after the deformation member 63 has contacted the curved surface Wb via the protrusion V. However, the timing of contacting the protrusion V with the curved surface Wb is not limited to this. That is, the differential pressure F may be generated when the protrusion V of the sheet material PT formed by the contact surface 95 of the deformation member 63 is close to the curved surface Wb of the workpiece W (in a non-contact state).

この場合、下空間H1と上空間H2とを真空状態に減圧させた後、変形部材63の当接面95をシート材PTに当接させて変形させ、突出部Vを形成させる。そして変形部材63を下降させてワークWの曲面Wbに向けて近接移動させる。このとき、突出部Vと曲面Wbとの間に僅かな間隙が形成される位置に先端部93が移動した状態で、制御部62は変形部材63の下降を停止させる。そして突出部Vが曲面Wbに近接している状態で、制御部62は下空間H1と上空間H2との間に差圧Fを発生させる制御を開始する。 In this case, after reducing the pressure in the lower space H1 and the upper space H2 to a vacuum state, the contact surface 95 of the deformable member 63 is brought into contact with the sheet material PT and deformed to form a protrusion V. Then, the deformable member 63 is lowered and moved closer to the curved surface Wb of the workpiece W. At this point, when the tip 93 has moved to a position where a small gap is formed between the protrusion V and the curved surface Wb, the control unit 62 stops the lowering of the deformable member 63. Then, with the protrusion V in close proximity to the curved surface Wb, the control unit 62 starts control to generate a differential pressure F between the lower space H1 and the upper space H2.

差圧Fが発生することにより、突出部Vを構成するシート材PTは差圧Fによって接触領域M1に貼り付けられる。そして当該接触領域M1を起点として、放射状に拡がるようにシート材PTが曲面Wbの全体へと貼り付けられる。このような突出部Vが曲面Wbに近接している状態で差圧Fを発生させてシート材PTをワークWの曲面Wbに貼り付けることにより、ワークWとシート材PTとの間に気泡Voが巻き込まれることをより確実に防止できる。 When a differential pressure F is generated, the sheet material PT constituting the protruding portion V is adhered to the contact area M1 by the differential pressure F. Then, starting from this contact area M1, the sheet material PT is adhered to the entire curved surface Wb in a radial manner. By generating a differential pressure F while the protruding portion V is in close proximity to the curved surface Wb, and adhering the sheet material PT to the curved surface Wb of the workpiece W, it is possible to more reliably prevent air bubbles Vo from being trapped between the workpiece W and the sheet material PT.

(7)各々の実施例について、ステップS3において変形部材63を下降させて突出部Vを形成させる前に下空間H1の気圧を上空間H2の気圧より高くする制御を行ってもよい。すなわち、ステップS3を開始させて下空間H1および上空間H2を所定の気圧まで等速度で減圧させた後、制御部62は上空間H2の気圧より下空間H1の気圧の方が高くなるよう、電磁バルブの各々の開度を調整する。 (7) In each embodiment, before lowering the deformation member 63 in step S3 to form the protrusion V, control may be performed to make the air pressure in the lower space H1 higher than the air pressure in the upper space H2. That is, after starting step S3 and reducing the pressure in the lower space H1 and the upper space H2 to a predetermined air pressure at a constant rate, the control unit 62 adjusts the opening degree of each electromagnetic valve so that the air pressure in the lower space H1 is higher than the air pressure in the upper space H2.

上空間H2の気圧より下空間H1の気圧の方が高くなることにより、図32(a)に示すように、両空間の間に差圧Fbが発生する。そして差圧Fbによって、シート材PTはワークWから遠ざかるように変形する。シート材PTを差圧Fbで変形させた後、変形部材63を下降させて突出部Vを形成させる。 As the atmospheric pressure in the lower space H1 is higher than that in the upper space H2, a differential pressure Fb is generated between the two spaces, as shown in Figure 32(a). This differential pressure Fb causes the sheet material PT to deform, moving away from the workpiece W. After the sheet material PT is deformed by the differential pressure Fb, the deformation member 63 is lowered to form the protruding portion V.

当該変形例では差圧Fbを発生させた状態で突出部Vの形成を行うので、突出部Vを形成させて当該突出部Vを曲面Wbに接触させる工程において、突出部V以外の部分のシート材PTはワークWから遠ざかるように変形する(図32(b))。従って、突出部Vを曲面Wbに接触させる工程において、突出部V以外の部分のシート材PTが先にワークWへ接触してしまうという事態を回避できる。 In this modified example, the protrusion V is formed while a differential pressure Fb is generated. Therefore, in the process of forming the protrusion V and bringing it into contact with the curved surface Wb, the sheet material PT in the portion other than the protrusion V deforms to move away from the workpiece W (Figure 32(b)). Consequently, in the process of bringing the protrusion V into contact with the curved surface Wb, the situation where the sheet material PT in the portion other than the protrusion V comes into contact with the workpiece W before the protrusion V is avoided.

つまり、突出部Vを曲面Wbの接触領域M1に接触させる際に、曲面Wbのうち意図していない部分または周縁部Waの部分に突出部V以外のシート材PTが接触することを防止できる。その結果、シート材PTを曲面Wbに貼りつける際に皺または気泡が発生することを防止できる。 In other words, when bringing the protruding portion V into contact with the contact area M1 of the curved surface Wb, it is possible to prevent the sheet material PT other than the protruding portion V from coming into contact with unintended parts of the curved surface Wb or the peripheral portion Wa. As a result, it is possible to prevent wrinkles or air bubbles from forming when attaching the sheet material PT to the curved surface Wb.

突出部Vを曲面Wbに接触させた後、制御部62は下空間H1の気圧より上空間H2の気圧の方が高くなるよう、電磁バルブの各々の開度を調整させる。当該調整により差圧Fが発生し、差圧Fによってシート材PTは接触領域M1から外側に向けて放射状に曲面Wbに貼りつけられていく。なお、差圧Fbを発生させる本変形例において、差圧Fbによって変形部材63にシート材PTを押圧させることによって突出部Vを形成させてもよい。 After the protrusion V is brought into contact with the curved surface Wb, the control unit 62 adjusts the opening of each electromagnetic valve so that the air pressure in the upper space H2 is higher than the air pressure in the lower space H1. This adjustment generates a differential pressure F, which causes the sheet material PT to adhere to the curved surface Wb radially from the contact area M1 outward. In this modified example, where a differential pressure Fb is generated, the protrusion V may be formed by pressing the sheet material PT against the deformation member 63 using the differential pressure Fb.

(8)各々の実施例において、チャンバ17の内部に1つのワークWを収納させてシート材PTを貼りつけているがこれに限られない。すなわち、チャンバ17の内部に複数のワークWを収納させた状態でシート材PTを貼りつけてもよい。本変形例では、ワークWの数に応じて複数の保持テーブル31を下ハウジング22の内部に配設し、さらにワークWの数に応じて複数の変形部材63を上ハウジング20の内部に配設する。本変形例では図33に示すように、2つの保持テーブル31A、31Bが下ハウジング22に配設され、2つの変形部材63A、63Bが上ハウジング20に配設されるものとする。 (8) In each embodiment, one workpiece W is housed inside the chamber 17 and the sheet material PT is attached to it, but this is not limited to this. That is, the sheet material PT may be attached with multiple workpieces W housed inside the chamber 17. In this modified example, multiple holding tables 31 are arranged inside the lower housing 22 according to the number of workpieces W, and multiple deformation members 63 are arranged inside the upper housing 20 according to the number of workpieces W. In this modified example, as shown in Figure 33, two holding tables 31A and 31B are arranged in the lower housing 22, and two deformation members 63A and 63B are arranged in the upper housing 20.

本変形例ではチャンバ17が形成された場合において、保持テーブル31の各々の上方に変形部材63がそれぞれ配置されるよう、保持テーブル31が配設される位置および変形部材63が配設される位置が予め調整されている。具体的には保持テーブル31Aに保持されるワークWの最深部Wcに対して変形部材63Aが接触し、保持テーブル31Bに保持されるワークWの最深部Wcに対して変形部材63Bが接触するよう、各々の配設位置が調整されることが好ましい。本変形例では複数のワークWに対して同時にシート材PTを貼りつけることができるので、貼付け効率を向上できる。 In this modified example, when the chamber 17 is formed, the positions of the holding tables 31 and the deformation members 63 are pre-adjusted so that each deformation member 63 is positioned above each of the holding tables 31. Specifically, it is preferable that the positions of the deformation members 63A contact the deepest part Wc of the workpiece W held by the holding table 31A, and the deformation member 63B contacts the deepest part Wc of the workpiece W held by the holding table 31B. In this modified example, sheet material PT can be attached to multiple workpieces W simultaneously, thus improving attachment efficiency.

(9)各々の実施例において、ワークWは曲面Wbを1つ有する構成を例示したがこれに限られない。すなわち、複数の曲面Wbを備えるワークWについても本発明の構成を適用できる。本変形例では図34に示すように、ワークWは3つの曲面Wbを有するものとする。各々の曲面Wbについては左側から曲面Wb1、Wb2、およびWb3として区別する。 (9) In each embodiment, the workpiece W is shown to have one curved surface Wb, but the present invention is not limited to this configuration. That is, the configuration of the present invention can also be applied to workpiece W having multiple curved surfaces Wb. In this modified example, as shown in Figure 34, the workpiece W has three curved surfaces Wb. Each of the curved surfaces Wb is distinguished from left to right as curved surface Wb1, Wb2, and Wb3.

複数の曲面Wbを有するワークWにおいて、曲面Wb同士を接続する部分を曲面接続部Gとする。本変形例において、曲面Wb1と曲面Wb2とを接続する曲面接続部Gについては符号G1を付し、曲面Wb2と曲面Wb3とを接続する曲面接続部Gについては符号G2を付して両者を区別する。 In a workpiece W having multiple curved surfaces Wb, the portions connecting the curved surfaces Wb are defined as curved surface connection portions G. In this modified example, the curved surface connection portion G connecting curved surface Wb1 and curved surface Wb2 is denoted with reference numeral G1, and the curved surface connection portion G connecting curved surface Wb2 and curved surface Wb3 is denoted with reference numeral G2 to distinguish between the two.

本変形例では、3つの曲面Wbを有するワークWの形状に応じてワーク載置面35の形状を調整されている。また、曲面Wbの数に応じた複数の変形部材63、すなわち変形部材63A、63B、63Cが上ハウジング20に配設されている。 In this modified example, the shape of the workpiece mounting surface 35 is adjusted according to the shape of the workpiece W, which has three curved surfaces Wb. Furthermore, multiple deformation members 63, namely deformation members 63A, 63B, and 63C, corresponding to the number of curved surfaces Wb, are arranged on the upper housing 20.

本変形例では、チャンバ17が形成された場合において、曲面Wbの各々の上方に変形部材63がそれぞれ配置されるよう、ワーク載置面35の位置および変形部材63が配設される位置が予め調整されている。すなわち変形部材63Aは曲面Wb1に接触できる位置に配設され、変形部材63Bは曲面Wb2に接触できる位置に配設され、変形部材63Cは曲面Wb3に接触できる位置に配設される。 In this modified example, when the chamber 17 is formed, the position of the workpiece mounting surface 35 and the position where the deformation members 63 are arranged are pre-adjusted so that each deformation member 63 is positioned above each of the curved surfaces Wb. Specifically, deformation member 63A is positioned to contact curved surface Wb1, deformation member 63B is positioned to contact curved surface Wb2, and deformation member 63C is positioned to contact curved surface Wb3.

具体的には曲面Wb1において最も深い部分である最深部Wc1に対して変形部材63Aが接触し、曲面Wb2の最深部Wc2に対して変形部材63Bが接触し、曲面Wb3の最深部Wc3に対して変形部材63Cが接触するよう、各々の配設位置が調整されることが好ましい。当該構成を備えることにより、変形部材63の各々によって形成される突出部Vは、それぞれ最深部Wcの各々に接触する。当該接触が行われた状態で差圧Fによる貼付け工程を行うことにより、シート材PTとワークWとの間に空気が巻き込まれることをより確実に防止できる。その結果、シート材PTに皺や気泡が発生する事態を回避し、精度良くシート材PTを曲面Wbに密着できる。 Specifically, it is preferable that the placement positions of the deformation members 63A contact the deepest part Wc1 of the curved surface Wb1, the deformation member 63B contacts the deepest part Wc2 of the curved surface Wb2, and the deformation member 63C contacts the deepest part Wc3 of the curved surface Wb3. With this configuration, the protrusions V formed by each of the deformation members 63 contact the respective deepest parts Wc. By performing the bonding process using differential pressure F while this contact is occurring, it is possible to more reliably prevent air from being trapped between the sheet material PT and the workpiece W. As a result, wrinkles and air bubbles in the sheet material PT can be avoided, and the sheet material PT can be adhered to the curved surface Wb with high precision.

また本変形例では、保持テーブル31でワークWを保持した状態において、曲面接続部Gの各々の高さはいずれも周縁部Waの高さより低くなるように構成されることが好ましい。当該構成を有することにより、突出部Vの各々を曲面Wbの各々に接触させる際に、突出部V以外の部分のシート材PTが曲面接続部Gに接触してしまい、当該接触によってシート材PTにテンションが発生する事態をより確実に回避できる。 Furthermore, in this modified example, when the workpiece W is held by the holding table 31, it is preferable that the height of each of the curved surface connection portions G is lower than the height of the peripheral edge Wa. This configuration makes it possible to more reliably avoid the situation where, when each of the protrusions V is brought into contact with each of the curved surfaces Wb, the sheet material PT other than the protrusions V comes into contact with the curved surface connection portion G, resulting in tension being generated in the sheet material PT due to such contact.

なお本変形例では、(7)に係る変形例で上述したような、上空間H2の気圧より下空間H1の気圧の方を高くして差圧Fbを発生させた状態で、突出部Vの各々を曲面Wbの各々に接触させることが好ましい。差圧Fbの発生によりシート材PTをワークWから遠ざけるように変形させるので、突出部Vを曲面Wbに接触させる工程においてシート材PTが周縁部Waまたは曲面接続部Gに接触することをより確実に回避できる。 In this modified example, it is preferable to make each of the protrusions V contact each of the curved surfaces Wb while generating a differential pressure Fb by making the atmospheric pressure in the lower space H1 higher than the atmospheric pressure in the upper space H2, as described above in the modified example related to (7). Since the generation of the differential pressure Fb deforms the sheet material PT so as to move it away from the workpiece W, it is possible to more reliably avoid contact between the sheet material PT and the peripheral edge Wa or the curved surface connection G during the process of bringing the protrusions V into contact with the curved surface Wb.

(10)各々の実施例において、変形部材63を下降させることによって突出部Vを曲面Wbに接触させる構成に限られない。すなわち、ワークWを保持している状態の保持テーブル31を上昇させることによって、突出部Vを曲面Wbに接触させてもよい。 (10) In each embodiment, the configuration is not limited to bringing the protruding portion V into contact with the curved surface Wb by lowering the deformation member 63. That is, the protruding portion V may be brought into contact with the curved surface Wb by raising the holding table 31 while it is holding the workpiece W.

(11)各々の実施例において、ヒータ43を配設させる位置はワーク保持部33の内部に限ることはなく、ワークWまたはシート材PTを加熱する限りにおいて適宜変更できる。またヒータ43による加熱を行う時期は適宜変更できる。 (11) In each embodiment, the position where the heater 43 is installed is not limited to the inside of the workpiece holding section 33, but can be changed as appropriate as long as it heats the workpiece W or sheet material PT. The timing of heating by the heater 43 can also be changed as appropriate.

なお、ステップS3に係る接触過程およびステップS4に係る貼付け過程のうち少なくとも一方において、ヒータによる加熱を行うことが好ましい。当該過程においてシート材PTを変形させる操作が行われる。シート材PTが加熱されることによって基材Taおよび粘着材Tbなどが柔らかくなり変形しやすくなる。従って、接触過程または貼付け過程をより好適に実行できる。 Furthermore, it is preferable to perform heating with a heater in at least one of the contact process in step S3 and the bonding process in step S4. During this process, the sheet material PT is deformed. Heating the sheet material PT softens the base material Ta and adhesive Tb, making them easier to deform. Therefore, the contact process or the bonding process can be performed more effectively.

(12)各々の実施例において、ワークWの表面W1における中央部Cpの全体が曲面Wbとなっている構成を例示したがこれに限ることはない。中央部Cpの形状の他の例として、中央部Cpの一部が曲面となっていている構成が挙げられる。すなわち図35(a)に示すように、表面W1の中央部Cpが、曲面Wbと平面Stとを有するようなワークWであっても本発明に係る構成を適用できる。当該変形例の場合、表面W1の中央部Cpのうち少なくとも一部に対して突出部Vを接触させた状態で、ステップS4に係るシート材PTの貼付け過程を開始させる。すなわちステップS3において、曲面Wbの一部に突出部Vを接触させてもよいし、平面Stの一部に突出部Vを接触させてもよい。また曲面Wbの一部および平面Stの一部に突出部Vを接触させてもよい。 (12) In each embodiment, the configuration is illustrated in which the entire central portion Cp of the surface W1 of the workpiece W is a curved surface Wb, but the invention is not limited to this. Another example of the shape of the central portion Cp is a configuration in which a part of the central portion Cp is a curved surface. That is, as shown in Figure 35(a), the configuration according to the present invention can be applied even to a workpiece W in which the central portion Cp of the surface W1 has both a curved surface Wb and a flat surface St. In this modified example, the process of attaching the sheet material PT in step S4 is started with the protruding portion V in contact with at least a part of the central portion Cp of the surface W1. That is, in step S3, the protruding portion V may be in contact with a part of the curved surface Wb, or with a part of the flat surface St. Alternatively, the protruding portion V may be in contact with a part of the curved surface Wb and a part of the flat surface St.

さらに中央部Cpの形状として、単一の曲面Wbのみを有する構成に限られない。すなわち図33(b)に示すように、中央部Cpは凹状の曲面Wbと凹み部Htとを有してもよい。凹み部Htの形状としては、図35(b)に示すような、曲面Wbと異なる曲率を有する略半球状曲面に限ることはなく任意の形状であってよい。凹み部Htの形状の例として、円錐状の凹部、角錐状の凹部、円柱状の凹部、角柱状の凹部などが挙げられる。 Furthermore, the shape of the central portion Cp is not limited to a configuration having only a single curved surface Wb. That is, as shown in Figure 33(b), the central portion Cp may have a concave curved surface Wb and a recessed portion Ht. The shape of the recessed portion Ht is not limited to a substantially hemispherical curved surface with a different curvature from the curved surface Wb, as shown in Figure 35(b), but can be any shape. Examples of the shape of the recessed portion Ht include a conical recess, a pyramidal recess, a cylindrical recess, and a prismatic recess.

中央部Cpの形状としては図35(c)に示すように、凹状の曲面Wbと凸状部Gtとを有してもよい。凸状部Gtの形状は任意の形状であってよい。凸状部Gtの形状の例として、略半球状、円錐状、角錐状、円柱状、角柱状などが挙げられる。また中央部Cpは曲面Wbと凹み部Htと凸状部Gtとを有していてもよい。 The shape of the central portion Cp may include a concave curved surface Wb and a convex portion Gt, as shown in Figure 35(c). The shape of the convex portion Gt may be any shape. Examples of the shape of the convex portion Gt include a roughly hemispherical, conical, pyramidal, cylindrical, and prismatic shapes. Furthermore, the central portion Cp may also have a curved surface Wb, a concave portion Ht, and a convex portion Gt.

(13)各々の実施例において、ワークWの表面W1および裏面W2は共に曲面を有している構成を例示したが、これに限られない。すなわち図36に示すように、裏面W2は平坦な形状であってもよい。裏面W2が平坦である場合、ワークWをより安定な状態で保持テーブル31に保持できる。よって、曲面Wbを有する表面W1の側に対して、シート材PTをより好適に貼り付けることができる。 (13) In each embodiment, the configuration is illustrated in which both the front surface W1 and the back surface W2 of the workpiece W have curved surfaces, but the invention is not limited to this. That is, as shown in Figure 36, the back surface W2 may have a flat shape. When the back surface W2 is flat, the workpiece W can be held more stably on the holding table 31. Therefore, the sheet material PT can be more suitably attached to the side of the front surface W1 which has a curved surface Wb.

1 … シート材貼付け装置
2 … シート供給部
3 … セパレータ回収部
4 … シート貼付けユニット
5 … シート回収部
6 … 供給ボビン
7 … 引張機構
13 … ダンサローラ
14 … ガイドローラ
15 … 回収ボビン
17 … チャンバ
18 … シート貼付機構
19 … ニップローラ
20 … 上ハウジング
21 … シート切断機構
22 … 下ハウジング
29 … 接合部
30 … 接合部
31 … 保持テーブル
33 … ワーク保持部
35 … ワーク載置面
41 … 支持ピン
43 … ヒータ
55 … 真空装置
62 … 制御部
63 … 変形部材
65 … シリンダ
67 … 送りローラ
68 … ピンチローラ
69 … 案内レール
75 … カッタユニット
81 … カッタ
83 … 回収ボビン
91 … 基端部
93 … 先端部
95 … 当接面



1… Sheet material application device 2… Sheet supply unit 3… Separator recovery unit 4… Sheet application unit 5… Sheet recovery unit 6… Supply bobbin 7… Tension mechanism 13… Dancer roller 14… Guide roller 15… Recovery bobbin 17… Chamber 18… Sheet application mechanism 19… Nip roller 20… Upper housing 21… Sheet cutting mechanism 22… Lower housing 29… Joint 30… Joint 31… Holding table 33… Workpiece holding unit 35… Workpiece mounting surface 41… Support pin 43… Heater 55… Vacuum device 62… Control unit 63… Deformable member 65… Cylinder 67… Feed roller 68… Pinch roller 69… Guide rail 75… Cutter unit 81… Cutter 83… Recovery bobbin 91… Base end part 93... Tip part 95... Contact surface



Claims (7)

曲面を有するワークにおける前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け装置であって、
前記ワークを、前記曲面を有する側を上向きにさせた状態で保持する保持テーブルと、
上チャンバと下チャンバによって前記シート材を挟み込むことにより、前記シート材を介して上空間と下空間とに区画され、前記下空間に前記保持テーブルを収納するチャンバと、
前記シート材を供給する供給機構と、
当接面を有し、前記当接面を前記シート材に当接させることによって前記シート材を変形させる変形部材と、
前記変形部材が前記シート材に当接した状態で前記変形部材を前記保持テーブルに近接移動させ、前記変形部材によって変形した前記シート材を前記ワークの前記曲面の少なくとも一部に近接または当接させる変形部材移動機構と、
前記上空間および前記下空間のうち少なくとも前記下空間を真空減圧化させる減圧機構と、
前記下空間が真空減圧化されているとともに前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材が近接または当接された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け機構と、
を備え、
前記変形部材における前記当接面の曲率は、前記ワークにおける前記曲面の曲率よりも大きくなるように構成されており、
前記変形部材における前記当接面の断面幅aと前記ワークにおける前記曲面の断面幅bとが、

の条件を満たす
ことを特徴とするシート材貼付け装置。
A sheet material application device for applying a sheet material to a curved surface of a workpiece having a curved surface,
A holding table that holds the workpiece with the side having the curved surface facing upward,
The sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers, thereby dividing the space into an upper and lower space via the sheet material, with the lower space containing the chamber that houses the holding table,
A supply mechanism for supplying the aforementioned sheet material,
A deformation member having a contact surface, which deforms the sheet material by bringing the contact surface into contact with the sheet material,
A deformation member moving mechanism moves the deformation member closer to the holding table while the deformation member is in contact with the sheet material, and brings the sheet material, which has been deformed by the deformation member, closer to or in contact with at least a part of the curved surface of the workpiece.
A vacuum mechanism for reducing the pressure of at least the lower space of the upper and lower spaces,
A bonding mechanism that, with the lower space being reduced by vacuum and the sheet material in close proximity to or in contact with a part of the curved surface of the workpiece, attaches the sheet material to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed between the upper space and the lower space within the chamber partitioned by the sheet material,
Equipped with,
The curvature of the contact surface in the deformable member is configured to be greater than the curvature of the curved surface in the workpiece.Occasionally,
The cross-sectional width a of the contact surface in the deformable member and the cross-sectional width b of the curved surface in the workpiece are

The conditions
A sheet material application device characterized by the following:
請求項1に記載のシート材貼付け装置において、
前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整する気圧調整機構を備え、
前記気圧調整機構によって前記下空間の気圧が前記上空間の気圧より高くなるように調整されている状態で、前記変形部材移動機構は前記変形部材によって変形した前記シート材を前記ワークの前記曲面の少なくとも一部に近接または当接させる
ことを特徴とするシート材貼付け装置。
In the sheet material application device according to claim 1 ,
The system includes a pressure adjustment mechanism that adjusts the pressure in the lower space to be higher than the pressure in the upper space.
A sheet material application device characterized in that, while the pressure adjustment mechanism adjusts the pressure in the lower space to be higher than the pressure in the upper space, the deformation member moving mechanism brings the sheet material deformed by the deformation member close to or in contact with at least a part of the curved surface of the workpiece.
請求項1に記載のシート材貼付け装置において、
前記貼付け機構は、前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材が当接された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける
ことを特徴とするシート材貼付け装置。
In the sheet material application device according to claim 1 ,
The aforementioned attachment mechanism is a sheet material attachment device characterized in that, with the sheet material in contact with a part of the curved surface of the workpiece, the sheet material is attached to the curved surface of the workpiece by differential pressure formed between the upper space and the lower space within the chamber partitioned by the sheet material.
請求項1に記載のシート材貼付け装置において、
前記変形部材は前記当接面に弾性体を備えており、前記弾性体を前記シート材に当接させることによって前記シート材を変形させる
ことを特徴とするシート材貼付け装置。
In the sheet material application device according to claim 1 ,
The deformable member is provided with an elastic body on the contact surface, and the sheet material is deformed by bringing the elastic body into contact with the sheet material, characterized in that the sheet material is attached to the deformable member.
請求項1に記載のシート材貼付け装置において、
前記ワークは凹状の曲面を有しており、
前記変形部材移動機構は、
前記凹状の曲面における最も深い部分を含む領域に、前記変形部材によって変形した前記シート材を近接または当接させる
ことを特徴とするシート材貼付け装置。
In the sheet material application device according to claim 1 ,
The workpiece has a concave curved surface,
The aforementioned deformation member movement mechanism is
A sheet material application device characterized by bringing the sheet material, deformed by the deformation member, into proximity to or in contact with the region including the deepest part of the concave curved surface.
請求項1に記載のシート材貼付け装置において、
前記シート材は、前記ワークの形状に応じた所定の形状を有するシート片と前記シート片を保持する長尺状のキャリアテープを備えている
ことを特徴とするシート材貼付け装置。
In the sheet material application device according to claim 1 ,
The sheet material application device is characterized in that the sheet material comprises a sheet piece having a predetermined shape according to the shape of the workpiece and a long carrier tape that holds the sheet piece.
上チャンバと下チャンバとを備えたチャンバの内部空間で、曲面を有するワークにおける前記曲面に対してシート材を貼り付けるシート材貼付け方法であって、
前記ワークを、前記曲面を有する側を上向きにさせた状態で保持テーブルに保持させるワーク保持過程と、
前記保持テーブルを収納し、前記上チャンバと前記下チャンバとによって前記シート材を挟み込むことにより、前記チャンバの内部空間を、前記曲面を有する側を上向きにした状態の前記ワークが配置される下空間と、前記シート材を介在して前記下空間と対向する上空間とに区画する上下空間形成過程と、
前記シート材を供給する供給過程と、
当接面が設けられている変形部材を前記シート材に当接させることによって前記シート材を変形させる変形過程と、
前記変形部材が前記シート材に当接した状態で前記変形部材を前記保持テーブルに近接移動させ、前記変形部材によって変形した前記シート材を前記ワークの前記曲面の少なくとも一部に近接または当接させる変形部材移動過程と、
前記上空間および前記下空間のうち少なくとも前記下空間を真空減圧化させる減圧過程と、
前記下空間が真空減圧化されているとともに前記ワークのうち前記曲面の一部に前記シート材が近接または当接された状態で、前記シート材によって仕切られた前記チャンバ内の上空間と下空間との間に形成された差圧によって前記シート材を前記ワークの前記曲面に貼り付ける貼付け過程と、
を備え、
前記変形部材における前記当接面の曲率は、前記ワークにおける前記曲面の曲率よりも大きくなるように構成されており、
前記変形部材における前記当接面の断面幅aと前記ワークにおける前記曲面の断面幅bとが、

の条件を満たす
ことを特徴とするシート材貼付け方法。
A method for attaching a sheet material to a curved surface of a workpiece, comprising an upper chamber and a lower chamber, in the internal space of the chamber,
A workpiece holding process in which the workpiece is held on a holding table with the side having the curved surface facing upwards,
A process of forming upper and lower spaces, wherein the holding table is housed and the sheet material is sandwiched between the upper and lower chambers, thereby dividing the internal space of the chamber into a lower space where the workpiece is placed with the curved side facing upward, and an upper space facing the lower space with the sheet material in between.
The supply process for supplying the aforementioned sheet material,
A deformation process in which a deformable member having a contact surface is brought into contact with the sheet material to deform the sheet material,
A deformation member movement process in which the deformation member is moved closer to the holding table while the deformation member is in contact with the sheet material, and the sheet material deformed by the deformation member is moved closer to or in contact with at least a part of the curved surface of the workpiece,
A depressurization process that reduces the pressure of at least the lower space of the upper space and the lower space to a vacuum,
The lower space is depressurized by vacuum, and the sheet material is in close proximity to or in contact with a part of the curved surface of the workpiece. The application process involves attaching the sheet material to the curved surface of the workpiece by the differential pressure formed between the upper space and the lower space within the chamber partitioned by the sheet material.
Equipped with,
The curvature of the contact surface in the deformable member is configured to be greater than the curvature of the curved surface in the workpiece.Occasionally,
The cross-sectional width a of the contact surface in the deformable member and the cross-sectional width b of the curved surface in the workpiece are

The conditions
A method for attaching sheet material characterized by the following:
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