JP7841871B2 - 調心方法、調心方法決定装置、及び製造方法 - Google Patents
調心方法、調心方法決定装置、及び製造方法Info
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- JP7841871B2 JP7841871B2 JP2021175722A JP2021175722A JP7841871B2 JP 7841871 B2 JP7841871 B2 JP 7841871B2 JP 2021175722 A JP2021175722 A JP 2021175722A JP 2021175722 A JP2021175722 A JP 2021175722A JP 7841871 B2 JP7841871 B2 JP 7841871B2
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Description
ことを特徴とする請求項1に記載の調心方法。
本発明の一実施形態に係る調心方法S1の適用対象となる光学装置1の構成について、図1を参照して説明する。図1において、(a)は、光学装置1の上面図であり、(b)は、光学装置1の側面図である。
本発明の一実施形態に係る調心方法S1について、図2を参照して説明する。図2は、調心方法S1の流れを示すフロー図である。
(2)移動方向=y軸方向と移動量=Δyとの組み合わせ、
(3)移動方向=z軸方向と移動量=Δzとの組み合わせ、
(4)回転軸=x軸と回転量(ピッチ角)=θxとの組み合わせ、
(5)回転軸=y軸と回転量(ヨー角)=θyとの組み合わせ、
(6)回転軸=z軸と回転量(ロール角)=θzとの組み合わせ。
選択処理S12の第1の具体例について、図3を参照して説明する。図3は、選択処理S12の第1の具体例を示す模式図である。
(2)移動方向=y軸方向と移動量=Δyとの組み合わせ、
(3)移動方向=z軸方向と移動量=Δzとの組み合わせ、
(4)回転軸=x軸と回転量(ピッチ角)=θxとの組み合わせ、
(5)回転軸=y軸と回転量(ヨー角)=θyとの組み合わせ、
(6)回転軸=z軸と回転量(ロール角)=θzとの組み合わせ。
選択処理S12の第2の具体例について、図4を参照して説明する。図4は、選択処理S12の第2の具体例を示す模式図である。
(2)ビーム幅、
(3)ビーム拡がり角、
(4)ビーム伝搬角、
(5)ビーム対称性、
(6)ビーム回転角。
(2)移動方向=y軸方向と移動量=Δyとの組み合わせ、
(3)移動方向=z軸方向と移動量=Δzとの組み合わせ、
(4)回転軸=x軸と回転量(ピッチ角)=θxとの組み合わせ、
(5)回転軸=y軸と回転量(ヨー角)=θyとの組み合わせ、
(6)回転軸=z軸と回転量(ロール角)=θzとの組み合わせ。
上述した各種パラメータの算出方法について、図5~図7を参照して補足する。図5~図7は、それぞれ、レンズ12を透過したレーザビームの2次元強度分布を表す画像である。これらの画像において、白い領域は、強度がピーク強度の予め定められた割合(例えば50%)以上である領域であり、黒い領域は、強度がピーク強度の予め定められた割合(例えば、50%)未満である領域である。
本発明の一実施形態に係る調心方法決定装置2の構成について、図8を参照して説明する。図8は、調心方法決定装置2の構成を示すブロック図である。
選択処理S12の第1の変形例(以下、選択処理S12Aと記載する)について、図9を参照して説明する。図9は、選択処理S12Aの流れを示すフロー図である。
(2)移動方向=y軸方向と移動量=Δyとの組み合わせ、
(3)移動方向=z軸方向と移動量=Δzとの組み合わせ、
(4)回転軸=x軸と回転量(ピッチ角)=θxとの組み合わせ、
(5)回転軸=y軸と回転量(ヨー角)=θyとの組み合わせ、
(6)回転軸=z軸と回転量(ロール角)=θzとの組み合わせ。
選択処理S12の第2の変形例(以下、選択処理S12Bと記載する)について、図10を参照して説明する。図10は、選択処理S12Bの流れを示すフロー図である。
(2)ビーム幅、
(3)ビーム拡がり角、
(4)ビーム伝搬角、
(5)ビーム対称性、
(6)ビーム回転角、
(7)ビーム尖度。
選択処理S12の第3の変形例(以下、選択処理S12Cと記載する)について、図11を参照して説明する。図11は、選択処理S12Cの流れを示すフロー図である。
ビーム特性を表すパラメータ(ビーム強度、ビーム幅、ビーム拡がり角、ビーム伝搬角、ビーム対称性、ビーム回転角、又はビーム尖度)は、画像全体を参照して算出してもよいし、画像を複数の区間に分割したうえで、各区間を参照して算出してもよい。例えば、図12には、画像を6つの区間に分割した様子を示している。6つの区間の各々、又は、6つの区間から、両端に位置する2つの区間を除いた4つの区間の各々を参照してパラメータを算出する。
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能である。異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても、本発明の技術的範囲に含まれる。
S11 生成処理
S12 選択処理
S121 特定工程
S122 選択工程
S13 並進/回転処理
1 光学装置
11 レーザ光源
12 レンズ
M1,M2 ハーフミラー
C1,C2,C3 CCDカメラ
N ニューラルネットワーク
P ポリシー
2 調心方法決定装置
21 メモリ
22 プロセッサ
23 ストレージ
Claims (12)
- レーザ光源から出力されたレーザ光の光路上に配置されたレンズの調心方法であって、
前記レンズを透過したレーザ光の2次元強度分布を表す一又は複数の画像を生成する生成処理と、
前記レンズを並進する移動方向と移動量との組み合わせ、及び、前記レンズを回転する回転軸と回転量との組み合わせの全部又は一部を含む複数の選択候補の中から1つの組み合わせを、機械学習によって構築されたモデルであって、前記一又は複数の画像、又は、前記レンズを透過したレーザ光のビーム特性を表す、前記一又は複数の画像から特定した一又は複数のパラメータを入力とし、前記移動方向と前記移動量との組み合わせ、又は、前記回転軸と前記回転量との組み合わせを出力とするモデルを用いて選択する選択処理と、
前記選択処理にて選択された組み合わせが移動方向と移動量との組み合わせである場合、当該移動方向に前記レンズを当該移動量だけ並進させ、前記選択処理にて選択された組み合わせが回転軸と回転量との組み合わせである場合、当該回転軸まわりに前記レンズを当該回転量だけ回転させる並進/回転処理と、を含み、
前記モデルは、機械学習により構築されたニューラルネットワーク、強化学習により構築された方策関数若しくは状態行動価値関数、又は、強化学習により構築されたマップであり、
前記生成処理、前記選択処理、及び前記並進/回転処理を繰り返すことによって前記レンズを調心する、
ことを特徴とする調心方法。 - 前記モデルは、前記一又は複数の画像を入力とし、前記移動方向と前記移動量との組み合わせ、又は、前記回転軸と前記回転量との組み合わせを出力とするニューラルネットワークであって、機械学習により構築されたニューラルネットワークである、
ことを特徴とする請求項1に記載の調心方法。 - 前記選択処理は、前記一又は複数の画像から、前記一又は複数のパラメータを特定する特定工程を含み、
前記モデルは、前記一又は複数のパラメータを入力とし、前記移動方向と前記移動量との組み合わせ、又は、前記回転軸と前記回転量との組み合わせを出力とする方策関数又は状態行動価値関数であって、強化学習によって構築された方策関数又は状態行動価値関数である、
ことを特徴とする請求項1に記載の調心方法。 - 前記一又は複数のパラメータは、ビーム強度、ビーム幅、ビーム拡がり角、ビーム伝搬角、ビーム対称性、及びビーム回転角の一部又は全部を含む、
ことを特徴とする請求項3に記載の調心方法。 - 前記モデルは、前記一又は複数の画像を入力とし、前記移動方向と前記移動量との組み合わせ、又は、前記回転軸と前記回転量との組み合わせを出力とする方策関数又は状態行動価値関数であって、強化学習によって構築された方策関数又は状態行動価値関数である、
ことを特徴とする請求項1に記載の調心方法。 - 前記モデルは、前記一又は複数の画像を入力とし、前記移動方向と前記移動量との組み合わせ、又は、前記回転軸と前記回転量との組み合わせを出力とするマップであって、強化学習によって構築されたマップである、
ことを特徴とする請求項1に記載の調心方法。 - 前記選択処理は、前記一又は複数の画像から、前記レンズを透過したレーザ光のビーム特性を表す一又は複数のパラメータを特定する特定工程を含み、
前記モデルは、前記一又は複数のパラメータを入力とするか、又は、前記一又は複数の画像及び前記一又は複数のパラメータを入力とし、前記回転軸と前記回転量との組み合わせを出力とするマップであって、強化学習によって構築されたマップである、
ことを特徴とする請求項1に記載の調心方法。 - 前記一又は複数のパラメータは、ビーム強度、ビーム幅、ビーム拡がり角、ビーム伝搬角、ビーム対称性、ビーム回転角、及びビーム尖度の一部又は全部を含む、
ことを特徴とする請求項7に記載の調心方法。 - 前記一又は複数のパラメータの全部又は一部は、前記一又は複数の画像を複数の区間に分割したうえで、各区間を参照して算出された複数の値、又は、前記複数の値から算出された単一の値である、
ことを特徴とする請求項7又は8に記載の調心方法。 - 前記一又は複数の画像は、前記レンズを透過したレーザ光の、異なる位置における2次元強度分布を表す複数の画像である、
ことを特徴とする請求項1~9の何れか一項に記載の調心方法。 - 請求項1~10の何れか一項に記載の調心方法を実施するために用いられる調心方法決定装置であって、
前記選択処理を実行する一又は複数のプロセッサを備えている、
ことを特徴とする調心方法決定装置。 - レーザ光源と、前記レーザ光源から出力されたレーザ光の光路上に配置されたレンズと、を備えた光学装置の製造方法であって、
請求項1~10の何れか一項に記載の調心方法を用いて前記レンズを調心する工程を含んでいる、
ことを特徴とする製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021067964 | 2021-04-13 | ||
| JP2021067964 | 2021-04-13 |
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|---|---|
| JP2022162957A JP2022162957A (ja) | 2022-10-25 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021175722A Active JP7841871B2 (ja) | 2021-04-13 | 2021-10-27 | 調心方法、調心方法決定装置、及び製造方法 |
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Citations (4)
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| JP2001196669A (ja) | 2000-01-17 | 2001-07-19 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 光学装置、光学装置の調整方法、およびその調整方法で実行する処理プログラムを記録した記録媒体 |
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- 2021-10-27 JP JP2021175722A patent/JP7841871B2/ja active Active
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