JP7621674B2 - Ball screw shaft support structure and actuator - Google Patents

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Description

本発明は、ボールねじ軸サポート構造とアクチュエータに係り、特に、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止することができ、振動や騒音を抑制して高速化に対応することができるように工夫したものに関する。 The present invention relates to a ball screw shaft support structure and actuator, and in particular to a simple and compact configuration that can prevent bending of the ball screw shaft, suppress vibration and noise, and accommodate higher speeds.

ボールねじ軸サポート構造とアクチュエータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１と特許文献２がある。
特許文献１に記載された長尺リードスクリューの防振安定装置は、アクチュエータの長尺リードスクリュー（ボールねじ軸）を支持ローラによって支持することでその撓みを防止して振動を抑制している。
上記支持ローラは支持部品に回転可能に取り付けられていて、その支持部品は常時はスプリングによって上記アクチュエータのスライダ側に付勢されている。上記支持部品の幅方向両側には下圧ローラがそれぞれ回転可能に取り付けられている。また、上記スライダの進行方向両側には傾斜面がそれぞれ設けられている。
上記スライダが上記支持部品に接近すると、上記スライダの傾斜面により上記下圧ローラを介して上記支持部品ひいては上記支持ローラが上記スプリングの弾性力に抗して下側に退避される。 For example, Patent Documents 1 and 2 disclose ball screw shaft support structures and actuator configurations.
The anti-vibration stabilization device for a long lead screw described in Patent Document 1 supports the long lead screw (ball screw shaft) of the actuator with support rollers to prevent bending of the lead screw and suppress vibration.
The support roller is rotatably attached to a support part, which is normally biased by a spring toward the slider of the actuator. Lower pressure rollers are rotatably attached to both sides of the support part in the width direction. In addition, an inclined surface is provided on both sides of the slider in the moving direction.
When the slider approaches the support part, the inclined surface of the slider causes the support part and, ultimately, the support roller to retreat downward against the elastic force of the spring via the lower pressure roller.

また、特許文献２に記載された工作機械等の駆動部材移動機構では、ボールねじ軸の横に軸振れ防止装置が設けられている。この軸振れ防止装置は、回動可能に設置された作動アームと、この作動アームの先端に設けられた軸受部とから構成されている。上記作動アームは常時はコイルバネによって上記ボールねじ軸側に付勢されていて、上記軸受部によってボールねじ軸が支持されている。上記軸受部にはローラが設置されており、上記ボールねじ軸によって駆動される駆動ブロックには案内板が設置されている。上記駆動ブロックが上記軸振れ防止装置に接近すると、上記案内板に上記ローラが当接されて上記軸受部が上記コイルバネの弾性力に抗して上記ボールねじ軸から離間する方向に移動される。 In addition, in the driving member moving mechanism of a machine tool or the like described in Patent Document 2, an anti-shake device is provided next to the ball screw shaft. This anti-shake device is composed of a rotatably installed operating arm and a bearing portion provided at the tip of the operating arm. The operating arm is normally biased toward the ball screw shaft by a coil spring, and the ball screw shaft is supported by the bearing portion. A roller is installed in the bearing portion, and a guide plate is installed on a drive block driven by the ball screw shaft. When the drive block approaches the anti-shake device, the roller abuts against the guide plate and the bearing portion is moved in a direction away from the ball screw shaft against the elastic force of the coil spring.

実開平７－３９３６号公報Japanese Utility Model Application Publication No. 7-3936 実公平３－４００３８号公報Publication No. 3-40038

しかしながら、上記従来の構成では次のような問題があった。
すなわち、特許文献１に記載された長尺リードスクリューの防振安定装置では、支持部品に長尺リードスクリューを支持するために支持ローラが回転可能に取り付けられているだけでなく、スライダの傾斜面に摺接する下圧ローラも取り付けられた構成になっており、支持部品及びその周囲の構成が複雑であるという問題があった。
また、特許文献２に記載された工作機械等の駆動部材移動機構には、軸振れ防止装置がボールねじ軸の横であって移動する駆動ブロックとの緩衝を避けることができる位置に設置されているため、駆動部材移動機構近傍の構成が横方向に大型化してしまうという問題があった。 However, the above conventional configuration has the following problems.
In other words, in the anti-vibration stabilization device for a long lead screw described in Patent Document 1, not only is a support roller rotatably attached to the support part to support the long lead screw, but a pressure roller that slides against the inclined surface of the slider is also attached, resulting in the problem that the support part and its surrounding structure are complex.
Furthermore, in the drive member moving mechanism of a machine tool or the like described in Patent Document 2, the shaft vibration prevention device is installed to the side of the ball screw shaft in a position where it can avoid interference with the moving drive block, which causes the configuration near the drive member moving mechanism to become larger in the lateral direction, which is a problem.

本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止することができ、振動や騒音を抑制して高速化に対応することができるボールねじ軸サポート構造とアクチュエータを提供することにある。 The present invention was made based on these points, and its purpose is to provide a ball screw shaft support structure and actuator that can prevent bending of the ball screw shaft with a simple and compact configuration, suppress vibration and noise, and accommodate higher speeds.

上記課題を解決するべく本願発明の請求項１によるボールねじ軸サポート構造は、ボールねじ軸と、上記ボールねじ軸に移動可能に螺合されたボールねじナットと、上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記ボールねじナットの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、を具備し、上記サポート部材はサポート部材本体と、上記ボールねじ軸を受ける受け部材と、から構成され、上記サポート部材本体には上記ボールねじ軸の軸方向に沿った上記受け部材の両側にサポート部材側傾斜面が設けられていて、上記サポート部材側傾斜面にはサポート部材側傾斜面用緩衝材が設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項２によるボールねじ軸サポート構造は、請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、上記ボールねじナット側にボールねじナット側ローラが設置されていて、上記ボールねじナット側ローラが上記サポート部材側傾斜面に沿って転動することにより上記サポート部材が上記ボールねじ軸に離接することを特徴とするものである。
又、請求項３によるボールねじ軸サポート構造は、ボールねじ軸と、上記ボールねじ軸に移動可能に螺合されたボールねじナットと、上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記ボールねじナットの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、を具備し、上記サポート部材はサポート部材本体と、上記ボールねじ軸を受ける受け部材と、から構成され、上記サポート部材本体には上記ボールねじ軸の軸方向に沿った上記受け部材の両側にサポート部材側傾斜面が設けられていて、上記ボールねじナット側の上記ボールねじ軸の軸方向に沿った両側にボールねじナット側傾斜面が設けられていて、上記ボールねじナット側傾斜面が上記サポート部材側傾斜面に沿って摺動することにより上記サポート部材が上記ボールねじ軸に離接することを特徴とするものである。
又、請求項４によるボールねじ軸サポート構造は、請求項３記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材側傾斜面又は上記ボールねじナット側傾斜面の少なくとも一方に傾斜面用緩衝材が設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項５によるボールねじ軸サポート構造は、請求項１～請求項４の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材本体と上記受け部材との間に受け部材用緩衝材が介挿されることを特徴とするものである。
又、請求項６によるボールねじ軸サポート構造は、請求項１～請求項５の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材の上記ボールねじ軸に対する接近動作を緩衝する緩衝機構が設けられていることを特徴とするものである。
又、請求項７によるアクチュエータは、請求項１～請求項６の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造のサポート部材が１個設置されていることを特徴とするものである。
又、請求項８によるアクチュエータは、 請求項１～請求項６の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造のサポート部材が複数個設置されていることを特徴とするものである。 In order to solve the above problem, the ball screw shaft support structure according to claim 1 of the present invention comprises a ball screw shaft, a ball screw nut movably screwed onto the ball screw shaft, and a support member that is installed so as to be able to be attached to and detached from the ball screw shaft, pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means as the ball screw nut approaches, wherein the support member is composed of a support member main body and a receiving member that receives the ball screw shaft, and the support member main body is provided with support member side inclined surfaces on both sides of the receiving member along the axial direction of the ball screw shaft, and a cushioning material for support member side inclined surfaces is installed on the support member side inclined surfaces .
The ball screw shaft support structure according to claim 2 is the ball screw shaft support structure according to claim 1, characterized in that a ball screw nut side roller is provided on the ball screw nut side, and the support member moves toward and away from the ball screw shaft by the ball screw nut side roller rolling along the support member side inclined surface .
A ball screw shaft support structure according to claim 3 comprises a ball screw shaft, a ball screw nut movably screwed onto the ball screw shaft, and a support member installed so as to be able to be brought into contact with and separated from the ball screw shaft, pressed against the ball screw shaft by elastic means, and moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means as the ball screw nut approaches, wherein the support member is composed of a support member main body and a receiving member that receives the ball screw shaft, and the support member main body is provided with support member-side inclined surfaces on both sides of the receiving member along the axial direction of the ball screw shaft, and ball screw nut-side inclined surfaces are provided on both sides along the axial direction of the ball screw shaft on the ball screw nut side, and the support member is brought into contact with and separated from the ball screw shaft by the ball screw nut-side inclined surfaces sliding along the support member-side inclined surfaces .
Furthermore, the ball screw shaft support structure according to claim 4 is characterized in that, in the ball screw shaft support structure described in claim 3 , a cushioning material for an inclined surface is provided on at least one of the support member side inclined surface or the ball screw nut side inclined surface .
Furthermore, the ball screw shaft support structure according to claim 5 is a ball screw shaft support structure according to any one of claims 1 to 4, characterized in that a cushioning material for the receiving member is interposed between the support member main body and the receiving member .
Furthermore, the ball screw shaft support structure according to claim 6 is a ball screw shaft support structure according to any one of claims 1 to 5, characterized in that a buffer mechanism is provided for buffering the approaching movement of the support member toward the ball screw shaft .
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided an actuator including one support member of the ball screw shaft support structure according to any one of the first to sixth aspects .
According to an eighth aspect of the present invention, there is provided an actuator comprising a plurality of support members of the ball screw shaft support structure according to any one of the first to sixth aspects .

以上述べたように、本願発明の請求項１記載のボールねじ軸サポート構造によると、ボールねじ軸と、上記ボールねじ軸に移動可能に螺合されたボールねじナットと、上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記ボールねじナットの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、を具備し、上記サポート部材はサポート部材本体と、上記ボールねじ軸を受ける受け部材と、から構成され、上記サポート部材本体には上記ボールねじ軸の軸方向に沿った上記受け部材の両側にサポート部材側傾斜面が設けられているので、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作させることができる。特に、上記受け部材が上記ボールねじ軸に衝突した際の衝撃を簡易な構成により緩和することができ、上記サポート部材側傾斜面を利用することで上記サポート部材の離接動作を円滑なものとすることができる。
又、請求項２記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材側傾斜面にはサポート部材側傾斜面用緩衝材が設置されているので、簡易な構成により上記サポート部材側傾斜面に対する衝突の衝撃を抑制し、騒音を防止することができる。
又、請求項３記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１又は請求項２記載のボールねじ軸サポート構造において、上記ボールねじナット側にボールねじナット側ローラが設置されていて、上記ボールねじナット側ローラが上記サポート部材側傾斜面に沿って転動することにより上記サポート部材が上記ボールねじ軸に離接するので、上記サポート部材の動作を円滑なものとすることができる。
又、請求項４記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、上記ボールねじナット側の上記ボールねじ軸の軸方向に沿った両側にボールねじナット側傾斜面が設けられていて、上記ボールねじナット側傾斜面が上記サポート部材側傾斜面に沿って摺動することにより上記サポート部材が上記ボールねじ軸に離接するので、より簡易な構成とすることができる。
又、請求項５記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項４記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材側傾斜面又は上記ボールねじナット側傾斜面の少なくとも一方に傾斜面用緩衝材が設置されているので、簡易な構成により上記サポート部材側傾斜面又は上記ボールねじナット側傾斜面に対する衝突の衝撃を抑制し、騒音を防止することができる。
又、請求項６記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１～請求項５の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材本体と上記受け部材との間に受け部材用緩衝材が介挿されるので、上記受け部材が上記ボールねじ軸に衝突した際の衝撃を簡易な構成により緩和することができる。
又、請求項７記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項６記載のボールねじ軸サポート構造において、上記受け部材は着脱可能に設置されているので、交換が容易である。
又、請求項８記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項６又は請求項７記載のボールねじ軸サポート構造において、上記受け部材用緩衝材はフェルトであるので、簡易な構成により上記受け部材が上記ボールねじ軸に衝突した際の衝撃を抑制及び衝撃音を吸音することができる。
又、請求項９記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１～請求項８の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造において、上記サポート部材の上記ボールねじ軸に対する接近動作を緩衝する緩衝機構が設けられているので簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作させることができる。特に、上記緩衝機構により、上記サポート部材の急激な移動を抑え、騒音を防止することができる。
又、請求項１０記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項９記載のボールねじ軸サポート構造において、上記緩衝機構は板バネと上記板バネに当接される当接部材からなるので、簡易な構成により上記サポート部材の急激な移動を抑え、騒音を防止することができる。
又、請求項１１記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項９記載のボールねじ軸サポート構造において、上記緩衝機構はダンパであるので、簡易な構成により上記サポート部材の急激な移動を抑え、騒音を防止することができる。
又、請求項１２記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１～請求項１１の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造のサポート部材が１個設置されているので、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作させることができる。
又、請求項１３記載のボールねじ軸サポート構造によると、請求項１～請求項１１の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造のサポート部材が複数個設置されているので、上記ボールねじ軸が長い場合であっても簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作させることができる。 As described above, the ball screw shaft support structure according to claim 1 of the present invention includes a ball screw shaft, a ball screw nut movably screwed to the ball screw shaft, and a support member that is detachably attached to the ball screw shaft, is pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and is separated from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means when the ball screw nut approaches, and the support member is composed of a support member main body and a receiving member that receives the ball screw shaft, and the support member main body is provided with support member-side inclined surfaces on both sides of the receiving member along the axial direction of the ball screw shaft, so that the ball screw shaft can be prevented from bending with a simple and compact structure, vibrations and noises can be suppressed, and the ball screw shaft can be operated at high speed. In particular, the impact when the receiving member collides with the ball screw shaft can be mitigated with a simple structure, and the support member-side inclined surfaces can be used to smoothly engage and disengage the support member.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure described in claim 2, in the ball screw shaft support structure described in claim 1, a cushioning material for the support member side inclined surface is provided on the support member side inclined surface, so that the impact of a collision against the support member side inclined surface can be suppressed with a simple configuration, and noise can be prevented.
According to the ball screw shaft support structure of claim 3, in the ball screw shaft support structure of claim 1 or 2, a ball screw nut side roller is provided on the ball screw nut side, and the support member moves toward and away from the ball screw shaft as the ball screw nut side roller rolls along the support member side inclined surface, thereby making it possible to smooth the operation of the support member.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure of claim 4, in the ball screw shaft support structure of claim 1, a ball screw nut side inclined surface is provided on both sides along the axial direction of the ball screw shaft on the ball screw nut side, and the support member moves in and out of contact with the ball screw shaft by the ball screw nut side inclined surface sliding along the support member side inclined surface, thereby making it possible to achieve a simpler configuration.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure described in claim 5, in the ball screw shaft support structure described in claim 4, a cushioning material for the inclined surface is provided on at least one of the support member side inclined surface or the ball screw nut side inclined surface, so that the impact of a collision with the support member side inclined surface or the ball screw nut side inclined surface can be suppressed with a simple configuration, and noise can be prevented.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure described in claim 6, in the ball screw shaft support structure described in any one of claims 1 to 5, a cushioning material for the receiving member is interposed between the support member main body and the receiving member, so that the impact when the receiving member collides with the ball screw shaft can be mitigated by a simple configuration.
According to the seventh aspect of the present invention, in the ball screw shaft support structure of the sixth aspect, the receiving member is detachably installed, so that it can be easily replaced.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure of claim 8, in the ball screw shaft support structure of claim 6 or claim 7, the cushioning material for the receiving member is felt, so that the simple structure can suppress the impact and absorb the impact noise when the receiving member collides with the ball screw shaft.
According to the ball screw shaft support structure of claim 9, in the ball screw shaft support structure of any one of claims 1 to 8, a buffer mechanism is provided that buffers the approaching movement of the support member to the ball screw shaft, so that the ball screw shaft can be prevented from bending with a simple and compact configuration, thereby suppressing vibrations and noise and enabling high-speed operation. In particular, the buffer mechanism can suppress sudden movement of the support member and prevent noise.
According to the ball screw shaft support structure of claim 10, in the ball screw shaft support structure of claim 9, the buffer mechanism comprises a leaf spring and an abutment member that abuts against the leaf spring, so that a simple configuration can be used to suppress sudden movement of the support member and prevent noise.
According to the ball screw shaft support structure of claim 11, in the ball screw shaft support structure of claim 9, the buffer mechanism is a damper, so that sudden movement of the support member can be suppressed with a simple configuration, thereby preventing noise.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure described in claim 12, one support member of the ball screw shaft support structure described in any one of claims 1 to 11 is installed, so that the simple and compact configuration prevents bending of the ball screw shaft, suppresses vibration and noise, and enables high-speed operation.
Furthermore, according to the ball screw shaft support structure of claim 13, a plurality of support members of the ball screw shaft support structure of any of claims 1 to 11 are installed, so that even if the ball screw shaft is long, the simple and compact configuration prevents the ball screw shaft from bending, suppresses vibration and noise, and enables high-speed operation.

本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of an actuator according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、サポート部材付近を拡大した図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, and is a partial vertical cross-sectional view of an actuator, with an enlarged view of the vicinity of a support member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG. 2, showing the first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータのサポート部材付近を拡大した一部斜視図である。FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, and is a partial perspective view showing an enlarged view of the vicinity of a support member of an actuator. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、ボールねじ軸サポート構造の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a ball screw shaft support structure according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、スライダがサポート部材に接近したときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, a partial vertical cross-sectional view of an actuator, and an enlarged view of the vicinity of a support member when a slider approaches the support member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部を除去した状態の一部斜視図であり、スライダがサポート部材に接近したときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, a partial perspective view with a part of an actuator removed, and an enlarged view of the vicinity of a support member when a slider approaches the support member. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、ボールねじナット側のローラがサポート部材側の傾斜面に乗り上げて、上記サポート部材がボールねじ軸から離れ始めたときのサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 shows the first embodiment of the present invention, and is a partial longitudinal cross-sectional view of the actuator, and is an enlarged view of the vicinity of the support member when the roller on the ball screw nut side rides up onto the inclined surface on the support member side and the support member begins to move away from the ball screw shaft. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、上記サポート部材がボールねじ軸から離れ、受け部材とスライダの下面側に設けられた下面側摺動部材が摺接している状態のサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing the first embodiment of the present invention, a partial longitudinal cross-sectional view of the actuator, and an enlarged view of the vicinity of the support member in a state where the support member is separated from the ball screw shaft and the receiving member and the lower surface side sliding member provided on the lower surface side of the slider are in sliding contact with each other. 本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの一部縦断面図であり、スライダがサポート部材を通過した直後の状態のサポート部材付近の拡大図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention, a partial vertical cross-sectional view of an actuator, and an enlarged view of the vicinity of a support member in a state immediately after a slider has passed the support member. 本発明の第２の実施の形態を示す図で、図１１（ａ）はアクチュエータの一部を除去した状態の一部斜視図であり、図１１（ｂ）は図１１（ａ）のＸＩｂ－ＸＩｂ断面図である。11A is a partial perspective view showing a state in which a part of an actuator is removed, and FIG. 11B is a cross-sectional view taken along line XIb-XIb of FIG. 11A, showing a second embodiment of the present invention. 本発明の第３の実施の形態を示す図で、図１２（ａ）はアクチュエータの一部を除去した状態の一部斜視図であり、図１２（ｂ）は図１２（ａ）のＸＩＩｂ－ＸＩＩｂ断面図である。12A and 12B are diagrams showing a third embodiment of the present invention, and are a partial perspective view with a part of the actuator removed, and FIG. 12B is a cross-sectional view taken along line XIIb-XIIb of FIG. 12A. 本発明の第４の実施の形態を示す図で、図１３（ａ）はボールねじ軸サポート構造の斜視図、図１３（ｂ）はボールねじ軸サポート構造の一部を除去した図、図１３（ｃ）は図１３（ａ）のＸＩＩＩｃ－ＸＩＩＩｃ断面図である。13A is a perspective view of a ball screw shaft support structure according to a fourth embodiment of the present invention, FIG. 13B is a view of the ball screw shaft support structure with a portion thereof removed, and FIG. 13C is a cross-sectional view taken along line XIIIc-XIIIc of FIG. 13A. 本発明の第５の実施の形態を示す図で、図１４（ａ）はボールねじ軸サポート構造の斜視図、図１４（ｂ）は図１４（ａ）のＸＩＶｂ－ＸＩＶｂ断面図である。14A and 14B are diagrams showing a fifth embodiment of the present invention, and are a perspective view of a ball screw shaft support structure, and a cross-sectional view taken along line XIVb-XIVb of FIG. 14A. 本発明の第６の実施の形態を示す図で、図１５（ａ）はボールねじ軸サポート構造の斜視図、図１５（ｂ）は図１５（ａ）のＸＶｂ－ＸＶｂ断面図である。15A is a perspective view of a ball screw shaft support structure according to a sixth embodiment of the present invention, and FIG. 15B is a cross-sectional view taken along line XVb-XVb of FIG. 15A. 本発明の第７の実施の形態を示す図で、アクチュエータの斜視図である。FIG. 13 is a perspective view of an actuator according to a seventh embodiment of the present invention.

以下、図１乃至図１０を参照しながら、本発明の第１の実施の形態について説明する。図１はこの第１の実施の形態によるアクチュエータ１の全体構成を示す斜視図であり、図２は要部縦断面図、図３は図２のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。図１～図３に示すように、略Ｕ字型の断面形状を成すベース３がある。上記ベース３の左右両内側面にはガイドレール５、５が設置されている。上記ガイドレール５、５にはガイド溝７、７がそれぞれ形成されている。 The first embodiment of the present invention will be described below with reference to Figs. 1 to 10. Fig. 1 is a perspective view showing the overall configuration of an actuator 1 according to this first embodiment, Fig. 2 is a longitudinal cross-sectional view of the main parts, and Fig. 3 is a cross-sectional view taken along III-III in Fig. 2. As shown in Figs. 1 to 3, there is a base 3 having a substantially U-shaped cross-section. Guide rails 5, 5 are provided on both the left and right inner surfaces of the base 3. Guide grooves 7, 7 are formed in the guide rails 5, 5, respectively.

また、上記ベース３内にはボールねじ軸９が内装されている。また、図１に示すように、上記ベース３の前端側（図１中左下側）には軸受部８ａがあり、上記ベース３の後端側（図２中右上側）には軸受部８ｂがある。上記ボールねじ軸９はこれら軸受け部８ａ、８ｂによって軸支されている。上記ボールねじ軸９には螺旋溝９ａが形成されている。 A ball screw shaft 9 is mounted inside the base 3. As shown in FIG. 1, the base 3 has a bearing 8a at its front end (lower left in FIG. 1) and a bearing 8b at its rear end (upper right in FIG. 2). The ball screw shaft 9 is supported by the bearings 8a and 8b. The ball screw shaft 9 has a spiral groove 9a formed in it.

図１、図２に示すように、上記ベース３にはスライダ１１が左右方向に移動可能に設置されている。上記スライダ１１の幅方向の一方側（図１中左上側）であって前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）両端にはそれぞれエンドキャップ１３、１３が設置されている。また、上記スライダ１１の幅方向の他方側（図１中右下側）であって前後方向（図１中左下から右上に向かう方向）両端にはそれぞれエンドキャップ１５、１５が設置されている（後端側のエンドキャップは図示せず。）。上記エンドキャップ１３、１５内には図示しないリターン路が形成されている。上記スライダ１１内の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両側にはそれぞれ図示しない無負荷循環路が形成されている。また、上記スライダ１１の幅方向（図１中左上から右下に向かう方向）両側面には図示しないガイド溝が形成されている。 1 and 2, the slider 11 is installed on the base 3 so as to be movable in the left-right direction. End caps 13, 13 are installed on one side of the width direction of the slider 11 (upper left side in FIG. 1) at both ends in the front-rear direction (direction from lower left to upper right in FIG. 1). End caps 15, 15 are installed on the other side of the width direction of the slider 11 (lower right side in FIG. 1) at both ends in the front-rear direction (direction from lower left to upper right in FIG. 1) (the end cap on the rear end side is not shown). A return path (not shown) is formed in the end caps 13, 15. Unloaded circulation paths (not shown) are formed on both sides of the width direction of the slider 11 (direction from upper left to lower right in FIG. 1). Also, guide grooves (not shown) are formed on both sides of the width direction of the slider 11 (direction from upper left to lower right in FIG. 1).

上記スライダ１１内の図示しない一方の無負荷循環路と、上記一方のエンドキャップ１３のリターン路、上記他方のエンドキャップ１３のリターン路、及び、上記一方のガイドレール５のガイド溝７と上記スライダ１１の図示しない一方のガイド溝の間の空間には、図示しない鋼球が転動・循環されている。また、上記スライダ１１内の図示しない他方の無負荷循環路と、上記一方のエンドキャップ１５のリターン路、上記他方のエンドキャップ１５のリターン路、及び、上記他方のガイドレール５のガイド溝７と上記スライダ１１の図示しない他方のガイド溝の間の空間にも、図示しない鋼球が転動・循環されている。このような構成により、上記スライダ１１は上記ベース３に対して移動可能となっている。 Steel balls (not shown) roll and circulate in one unloaded circulation path (not shown) in the slider 11, the return path of the one end cap 13, the return path of the other end cap 13, and the space between the guide groove 7 of the one guide rail 5 and one guide groove (not shown) of the slider 11. Steel balls (not shown) roll and circulate in the other unloaded circulation path (not shown) in the slider 11, the return path of the one end cap 15, the return path of the other end cap 15, and the space between the guide groove 7 of the other guide rail 5 and the other guide groove (not shown) of the slider 11. With this configuration, the slider 11 is movable relative to the base 3.

また、図２に示すように、上記スライダ１１には、ボールねじナット収容部材２７があり、このボールねじナット収容部材２７内にはボールねじナット３１が固着されている。上記ボールねじナット３１にはボールねじナット本体３３と、前端側（図２中左側）のエンドキャップ３５と、後端側（図２中右側）のエンドキャップ３７がある。上記ボールねじ軸９は上記ボールねじナット３１を貫通している。上記ボールねじナット本体３３の内周面には螺旋溝３９が形成されている。また、上記ボールねじナット本体３３内には図示しない無負荷循環路が形成されていて、上記エンドキャップ３５、３７内には図示しないリターン路が形成されている。 As shown in FIG. 2, the slider 11 has a ball screw nut housing member 27, and a ball screw nut 31 is fixed inside the ball screw nut housing member 27. The ball screw nut 31 has a ball screw nut body 33, an end cap 35 on the front end side (left side in FIG. 2), and an end cap 37 on the rear end side (right side in FIG. 2). The ball screw shaft 9 passes through the ball screw nut 31. A spiral groove 39 is formed on the inner peripheral surface of the ball screw nut body 33. An unloaded circulation path (not shown) is formed inside the ball screw nut body 33, and a return path (not shown) is formed inside the end caps 35 and 37.

上記ボールねじナット本体３３の図示しない無負荷循環路内、上記エンドキャップ３５、３７の図示しないリターン路、及び、上記ボールねじナット本体３３の螺旋溝３９と上記ボールねじ軸９の螺旋溝９ａの間の空間には鋼球４１が転動・循環されている。また、図１に示すように、上記ベース３の後端側（図１中右上側）にはモータ４３が設置されている。このモータ４３によって、上記ボールねじ軸９が回転・駆動される。上記ボールねじ軸９が回転・駆動されると、上記スライダ１１が前後方向（図２中左右方向）に移動される。 Steel balls 41 roll and circulate in the unloaded circulation path (not shown) of the ball screw nut body 33, the return path (not shown) of the end caps 35 and 37, and the space between the spiral groove 39 of the ball screw nut body 33 and the spiral groove 9a of the ball screw shaft 9. As shown in FIG. 1, a motor 43 is installed on the rear end side of the base 3 (upper right side in FIG. 1). The motor 43 rotates and drives the ball screw shaft 9. When the ball screw shaft 9 rotates and drives, the slider 11 moves in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2).

また、図２に示すように、上記スライダ１１の下側の前端側（図２中左側）の幅方向両側（図２中紙面方向両側）にはボールねじナット側ローラとして樹脂製の前方ローラ２１、２１が回転可能に設置されている（図２中手前側の前方ローラ２１は図示せず。）。また、上記スライダ１１の下側の後端側（図２中右側）の幅方向両側（図２中紙面方向両側）にはボールねじナット側ローラとして樹脂製の後方ローラ２３、２３が回転可能に設置されている（図２中手前側の後方ローラ２３は図示せず。）。また、上記スライダ１１の下側の幅方向両端側（図２中紙面方向両側）には、板状の下面側摺動部材２５、２５が設置されている（図２中手前側の下面側摺動部材２５は図示せず。）。 As shown in FIG. 2, resin front rollers 21, 21 are rotatably installed as ball screw nut side rollers on both sides in the width direction (both sides in the paper direction in FIG. 2) of the lower front end side (left side in FIG. 2) of the slider 11 (the front roller 21 on the front side in FIG. 2 is not shown). Resin rear rollers 23, 23 are rotatably installed as ball screw nut side rollers on both sides in the width direction (both sides in the paper direction in FIG. 2) of the lower rear end side (right side in FIG. 2) of the slider 11 (the rear roller 23 on the front side in FIG. 2 is not shown). Plate-shaped lower surface side sliding members 25, 25 are installed on both sides in the width direction (both sides in the paper direction in FIG. 2) of the lower side of the slider 11 (the lower surface side sliding member 25 on the front side in FIG. 2 is not shown).

また、例えば、図２、図４に示すように、上記ベース３にはサポート部材収容凹部５１が形成されている。このサポート部材収容凹部５１内には、ボールねじ軸サポート構造４７が設置されている。上記ボールねじ軸サポート構造４７には、まず、サポート部材支持部材５０がある。このサポート部材支持部材５０にはサポート部材用ベース５３がある。上記サポート部材用ベース５３の前後両端側にはサポート部材用ベース取付板５４、５４が固着されている。上記サポート部材用ベース取付板５４の両端には貫通孔５２、５２が形成されている。上記サポート部材用ベース取付板５４、５４は固定用ねじ５８によって上記サポート部材用ベース５３に固定されている。上記サポート部材支持部材５０にはサポート部材ガイド用支柱５５、５５がある。上記サポート部材ガイド用支柱５５、５５は、上記サポート部材用ベース５３の前後方向（図２中左右方向）両端に立設されている。上記ガイド用支柱５５、５５は固定用ねじ５６、５６によって上記サポート部材用ベース５３に固定されている。
上記サポート部材収容凹部５１の底部には、図２に示すように、サポート部材用ベース収容孔４９が形成されていて、上記サポート部材用ベース５３は上記サポート部材用ベース収容孔４９内に設置されている。
固定用ねじ５９を上記サポート部材用ベース取付板５４の貫通孔５２に貫通させて上記ベース３に螺合させることで、上記サポート部材用ベース５３、ひいては、上記サポート部材支持部材５０が上記ベース３に固定されている。
また、上記サポート部材支持部材５０には弾性手段としてのコイルバネ６５がある。上記コイルバネ６５は、後述するサポート部材６１と上記サポート部材用ベース５３との間に張置されている。
また、上記サポート部材用ベース５３の前後方向（図２中左右方向）中央には後述する緩衝機構の一部であるＵ字型の板バネ５７が設置されている。 2 and 4, the base 3 is formed with a support member accommodating recess 51. The ball screw shaft support structure 47 is installed in the support member accommodating recess 51. The ball screw shaft support structure 47 includes a support member support member 50. The support member support member 50 includes a support member base 53. Support member base mounting plates 54, 54 are fixed to both front and rear ends of the support member base 53. Through holes 52, 52 are formed at both ends of the support member base mounting plate 54. The support member base mounting plates 54, 54 are fixed to the support member base 53 by fixing screws 58. The support member support member 50 includes support member guide pillars 55, 55. The support member guide pillars 55, 55 are erected at both ends of the support member base 53 in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2). The guide posts 55, 55 are fixed to the support member base 53 by fixing screws 56, 56.
As shown in FIG. 2, a support member base accommodating hole 49 is formed in the bottom of the support member accommodating recess 51, and the support member base 53 is placed in the support member base accommodating hole 49.
The support member base 53 and, ultimately, the support member support member 50 are fixed to the base 3 by passing a fixing screw 59 through the through hole 52 of the support member base mounting plate 54 and screwing it into the base 3.
Further, the support member supporting member 50 has a coil spring 65 as an elastic means. The coil spring 65 is stretched between a support member 61 (to be described later) and the support member base 53.
A U-shaped leaf spring 57 which is part of a shock-absorbing mechanism (described later) is provided at the center of the support member base 53 in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2).

上記ボールねじ軸サポート構造４７にはサポート部材６１がある。上記サポート部材６１は、上記サポート部材収容凹部５１内であって上記サポート部材用ベース５３の上側に設置されている。図５に示すように、上記サポート部材６１にサポート部材本体６２があり、上記サポート部材本体６２の前後方向（図５中左下から右上に向かう方向）両端側には、ガイド用貫通孔６３、６３が形成されている。上記ガイド用貫通孔６３、６３には滑り軸受６４、６４が圧入されていて、上記サポート部材ガイド用支柱５５、５５はこれら滑り軸受６４、６４を貫通するように配置され、上記滑り軸受６４、６４と摺接するようになっている。上記サポート部材６１は上記サポート部材ガイド用支柱５５、５５に沿って上下方向に移動可能になっている。また、図２に示すように、上記サポート部材６１と上記サポート部材用ベース５３の間には、前記した弾性手段としてのコイルバネ６５が張設されている。上記コイルバネ６５により上記サポート部材６１は上記ボールねじ軸９側（図２中上側）に常時押圧・付勢されている。
上記のように、上記サポート部材支持部材５０は上記サポート部材用ベース５３と上記サポート部材用ベース５３に固着される上記サポート部材用ベース取付板５４、５４と上記サポート部材ガイド用支柱５５、５５と上記サポート部材本体６２を弾性支持しているコイルバネ６５により構成されている。 The ball screw shaft support structure 47 includes a support member 61. The support member 61 is installed in the support member accommodating recess 51 and above the support member base 53. As shown in FIG. 5, the support member 61 includes a support member body 62, and guide through holes 63, 63 are formed on both ends of the support member body 62 in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 5). Slide bearings 64, 64 are press-fitted into the guide through holes 63, 63, and the support member guide pillars 55, 55 are arranged to penetrate these slide bearings 64, 64 and are in sliding contact with the slide bearings 64, 64. The support member 61 is movable in the up-down direction along the support member guide pillars 55, 55. In addition, as shown in FIG. 2, a coil spring 65 is stretched between the support member 61 and the support member base 53 as the elastic means. The support member 61 is constantly pressed and urged toward the ball screw shaft 9 (upper side in FIG. 2) by the coil spring 65 .
As described above, the support member support member 50 is composed of the support member base 53, the support member base mounting plates 54, 54 fixed to the support member base 53, the support member guide pillars 55, 55, and a coil spring 65 that elastically supports the support member main body 62.

上記サポート部材本体６２の上面側の前方（図５中左下）の幅方向（図５中左上から右下に向かう方向）両側にはサポート部材側傾斜面としての前方側傾斜面７１、７１が形成されていて、上記サポート部材本体６２の上面側の後方（図５中右上）の幅方向（図５中左上から右下に向かう方向）両側にはサポート部材側傾斜面としての後方側傾斜面７３、７３が形成されている。上記サポート部材６１には、サポート部材側傾斜面用緩衝材として、例えば、低反発のゴム製の前方側緩衝材７５、７５と後方側緩衝材７７、７７がある。上記前方側緩衝材７５、７５は上記前方側傾斜面７１、７１に設置されていて、上記後方側緩衝材７７、７７は上記後方側傾斜面７３、７３に設置されている。 Front inclined surfaces 71, 71 are formed on both sides of the front (lower left in FIG. 5) of the upper surface of the support member main body 62 in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 5) as support member side inclined surfaces, and rear inclined surfaces 73, 73 are formed on both sides of the rear (upper right in FIG. 5) of the upper surface of the support member main body 62 in the width direction (direction from upper left to lower right in FIG. 5) as support member side inclined surfaces. The support member 61 has, for example, front side cushioning materials 75, 75 and rear side cushioning materials 77, 77 made of low-resilience rubber as cushioning materials for the support member side inclined surfaces. The front side cushioning materials 75, 75 are installed on the front side inclined surfaces 71, 71, and the rear side cushioning materials 77, 77 are installed on the rear side inclined surfaces 73, 73.

図２に示すように、上記スライダ１１が上記サポート部材６１側へ移動して、上記前方ローラ２１、２１が上記後方側傾斜面７３、７３の後方側緩衝材７７、７７に転動していくと、上記サポート部材６１が上記コイルバネ６５の弾性力に抗して図６中下側に押圧・付勢される。また、上記スライダ１１が図２に示す方向とは反対側から上記サポート部材６１側へ移動して、後方ローラ２３、２３が上記前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５に転動していく場合も、上記サポート部材６１が上記コイルバネ６５の弾性力に抗して図６中下側に押圧され付勢される。 2, when the slider 11 moves toward the support member 61 and the front rollers 21, 21 roll against the rear cushioning materials 77, 77 of the rear inclined surfaces 73, 73, the support member 61 is pressed and urged downward in FIG. 6 against the elastic force of the coil spring 65. Also, when the slider 11 moves toward the support member 61 from the opposite side to the direction shown in FIG. 2 and the rear rollers 23, 23 roll against the front cushioning materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71, the support member 61 is pressed and urged downward in FIG. 6 against the elastic force of the coil spring 65.

また、上記サポート部材６１にはサポート部８１がある。上記サポート部材本体６２の上面側の中央にはサポート部用凹部７９が形成されていて、上記サポート部８１はこのサポート部用凹部７９に設置されている。上記サポート部８１には、例えば、ＰＯＭ（ポリオキシメチレン）製の受け部材８３と、例えば、フェルト製の受け部材用緩衝材８７がある。上記受け部材８３は上面側に配置されていて上記ボールねじ軸９を受けるようになっている。上記受け部材８３は上記受け部材用緩衝材８７を介して上記サポート部用凹部７９内に着脱可能に設置されている。
上記受け部材８３には座グリ付きの貫通孔８８、８８が形成されていて、上記受け部材８３はボルト８９、８９を上記貫通孔８８、８８に貫通させて上記サポート部用凹部７９に形成された雌ねじ部６７、６７に螺合させることで上記サポート部材本体６２に固定されている。上記受け部材用緩衝材８７は上記ボルト８９、８９により、上記受け部材８３と共締め固定されている。また、上記サポート部用凹部７９に形成された雌ねじ部６７、６７の上記サポート部材本体６２の下面側からセットスクリュー８４、８４を螺合させており、上記セットスクリュー８４、８４の螺合位置を調整することで、上記受け部材用緩衝材８７の必要以上のつぶれを防止するとともに、上記受け部材８３の高さを調整している。
上記受け部材８３の上面側には上記ボールねじ軸９を受けるための凹部８５が形成されている。上記受け部材８３の上記凹部８５の幅方向両側（図５中）は平面状の摺動部８６、８６となっている。図２に示すように、上記サポート部材６１が上記コイルバネ６５の弾性力により図２中上側に押圧・付勢されると、上記サポート部８１の受け部材８３の凹部８５によって上記ボールねじ軸９の中央付近が支持されて、上記ボールねじ軸９の撓みが防止される。
また、上記受け部材８３の前方には上記サポート部材本体６２の前方側傾斜面７１、７１と略連続する前方側傾斜面８２ａが形成されていて、上記受け部材８３の後方には上記サポート部材本体６２の後方側傾斜面７３、７３と略連続する後方側傾斜面８２ｂが形成されている。 The support member 61 also has a support portion 81. A support portion recess 79 is formed in the center of the upper surface side of the support member main body 62, and the support portion 81 is installed in this support portion recess 79. The support portion 81 has a receiving member 83 made of, for example, POM (polyoxymethylene) and a receiving member cushioning material 87 made of, for example, felt. The receiving member 83 is disposed on the upper surface side and is adapted to receive the ball screw shaft 9. The receiving member 83 is detachably installed in the support portion recess 79 via the receiving member cushioning material 87.
The receiving member 83 has through holes 88, 88 with countersunk holes, and the receiving member 83 is fixed to the support member main body 62 by passing bolts 89, 89 through the through holes 88, 88 and screwing them into the female threaded portions 67, 67 formed in the support portion recess 79. The receiving member cushioning material 87 is fastened and fixed together with the receiving member 83 by the bolts 89, 89. In addition, set screws 84, 84 are screwed into the female threaded portions 67, 67 formed in the support portion recess 79 from the lower surface side of the support member main body 62, and by adjusting the screwing positions of the set screws 84, 84, the receiving member cushioning material 87 is prevented from being crushed more than necessary and the height of the receiving member 83 is adjusted.
A recess 85 for receiving the ball screw shaft 9 is formed on the upper surface side of the receiving member 83. Both sides in the width direction (in FIG. 5) of the recess 85 of the receiving member 83 are planar sliding portions 86, 86. As shown in FIG. 2, when the support member 61 is pressed and urged upward in FIG. 2 by the elastic force of the coil spring 65, the recess 85 of the receiving member 83 of the support portion 81 supports the vicinity of the center of the ball screw shaft 9, preventing the ball screw shaft 9 from bending.
In addition, a front side inclined surface 82a that is approximately continuous with the front side inclined surfaces 71, 71 of the support member main body 62 is formed in front of the receiving member 83, and a rear side inclined surface 82b that is approximately continuous with the rear side inclined surfaces 73, 73 of the support member main body 62 is formed behind the receiving member 83.

上記フェルト製の受け部材用緩衝材８７は上記受け部材８３の上記ボールねじ軸９への衝突時の衝撃を緩和させるためのものであり、また、上記サポート部材本体６２の下面側にも、例えば、低反発のゴム製のサポート部材用緩衝材９１、９１が設置されている。これらサポート部材用緩衝材９１、９１によって、上記サポート部材６１が上記サポート部材用ベース５３に衝突する際の衝撃を緩和する。
上記のように、上記サポート部材６１は上記サポート部材本体６２と上記サポート部材本体６２に設置される上記サポート部８１と上記サポート部材本体６２の上記前方側傾斜面７１、７１および上記後方側傾斜面７３、７３に設置される上記前方側緩衝材７５、７５と上記後方側緩衝材７７、７７により構成されている。 The felt cushioning material 87 for receiving member is intended to reduce the impact when the receiving member 83 collides with the ball screw shaft 9, and also, for example, cushioning materials 91, 91 for supporting member made of low-resilience rubber are provided on the lower surface side of the support member main body 62. These cushioning materials 91, 91 for supporting member reduce the impact when the support member 61 collides with the support member base 53.
As described above, the support member 61 is composed of the support member main body 62, the support portion 81 installed on the support member main body 62, and the front side cushioning materials 75, 75 and rear side cushioning materials 77, 77 installed on the front side inclined surfaces 71, 71 and the rear side inclined surfaces 73, 73 of the support member main body 62.

また、図２に示すように、上記サポート部材用ベース５３の前後方向（図２中左右方向）中央には後述する緩衝機構の一部であるＵ字型の板バネ５７が設置され、固定用ねじ９６、９６によって上記サポート部材用ベース５３に固定されている。また、図３、図５に示すように、上記サポート部材６１の幅方向（図３中左右方向）両側には、後述する緩衝機構の一部である当接部材９３、９３が固着されている。上記サポート部材６１は上記当接部材９３、９３を介して上記板バネ５７の両端の間に介挿されている。上記板バネ５７と上記当接部材９３、９３によって緩衝機構９５が構成されている。上記緩衝機構９５によって上記サポート部材６１の上方向の移動、すなわち、上記ボールねじ軸９に接近する動作が緩衝される。 As shown in FIG. 2, a U-shaped leaf spring 57, which is part of a cushioning mechanism described later, is installed in the center of the support member base 53 in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2), and is fixed to the support member base 53 by fixing screws 96, 96. As shown in FIG. 3 and FIG. 5, abutment members 93, 93, which are part of a cushioning mechanism described later, are fixed to both sides of the support member 61 in the width direction (left-right direction in FIG. 3). The support member 61 is inserted between both ends of the leaf spring 57 via the abutment members 93, 93. The leaf spring 57 and the abutment members 93, 93 form a cushioning mechanism 95. The cushioning mechanism 95 cushions the upward movement of the support member 61, i.e., the movement of the support member 61 toward the ball screw shaft 9.

次に、この第１の実施の形態による作用について説明する。モータ４３によってボールねじ軸９が回転・駆動されると、スライダ１１が前後方向に進退される。上記スライダ１１がサポート部材６１と離間している状態では、図２に示すように、上記サポート部材６１はコイルバネ６５の弾性力により図２中上側に押圧・付勢されていて、サポート部８１の受け部材８３の凹部８５によって上記ボールねじ軸９の中央付近が支持されて、上記ボールねじ軸９の撓みが防止されている。 Next, the operation of this first embodiment will be described. When the ball screw shaft 9 is rotated and driven by the motor 43, the slider 11 advances and retreats in the front-rear direction. When the slider 11 is separated from the support member 61, as shown in FIG. 2, the support member 61 is pressed and urged upward in FIG. 2 by the elastic force of the coil spring 65, and the center of the ball screw shaft 9 is supported by the recess 85 of the receiving member 83 of the support portion 81, preventing the ball screw shaft 9 from bending.

図６、図７に示すように、上記スライダ１１が図６中右側から上記サポート部材６１に接近すると、前方ローラ２１、２１が上記後方側傾斜面７３、７３の後方側緩衝材７７、７７に当接して転動し始める。それによって、上記サポート部材６１は上記コイルバネ６５の弾性力に抗して反ボールねじ軸９側（図６中下側）に押圧・付勢され、上記受け部材８３の凹部８５による上記ボールねじ軸９の支持は解除される。上記前方ローラ２１、２１が上記後方側緩衝材７７、７７に衝突する際の衝撃は上記後方側緩衝材７７、７７によって緩和される。図８は上記スライダ１１がさらに上記サポート部材６１側に接近した状態を示しており、上記サポート部材６１が反ボールねじ軸９側（図８中下側）にさらに押圧・付勢されている。
上記スライダ１１が更に図８中左側に移動すると、上記前方ローラ２１、２１は上記受け部材８３の後方側傾斜面８２ｂ、８２ｂに当接して転動し、その後上記受け部材８３の摺動部８６、８６に当接して転動し、更に上記受け部材８３の前方側傾斜面８２ａ、８２ａに当接して転動する。 As shown in Figures 6 and 7, when the slider 11 approaches the support member 61 from the right side in Figure 6, the front rollers 21, 21 come into contact with the rear buffer materials 77, 77 of the rear inclined surfaces 73, 73 and start rolling. As a result, the support member 61 is pressed and urged toward the side opposite to the ball screw shaft 9 (lower side in Figure 6) against the elastic force of the coil spring 65, and the support of the ball screw shaft 9 by the recess 85 of the receiving member 83 is released. The impact when the front rollers 21, 21 collide with the rear buffer materials 77, 77 is mitigated by the rear buffer materials 77, 77. Figure 8 shows a state in which the slider 11 approaches further toward the support member 61, and the support member 61 is further pressed and urged toward the side opposite to the ball screw shaft 9 (lower side in Figure 8).
When the slider 11 moves further to the left in Figure 8, the front rollers 21, 21 abut against the rear inclined surfaces 82b, 82b of the receiving member 83 and roll, then abut against the sliding portions 86, 86 of the receiving member 83 and roll, and further abut against the front inclined surfaces 82a, 82a of the receiving member 83 and roll.

図９に示すように、上記スライダ１１が上記サポート部材６１の真上に移動すると、上記前方ローラ２１、２１は上記受け部材８３から離れるが、上記サポート部材６１の受け部材８３の摺動部８６、８６が、上記スライダ１１の下面側摺動部材２５、２５に摺接される。このとき、上記サポート部材６１は最も下側に押圧・付勢されている。上記サポート部材６１が上記サポート部材用ベース５３に衝突する際の衝撃はサポート部材用緩衝材９１、９１によって緩和される。 As shown in FIG. 9, when the slider 11 moves directly above the support member 61, the front rollers 21, 21 move away from the receiving member 83, but the sliding parts 86, 86 of the receiving member 83 of the support member 61 slide against the lower side sliding members 25, 25 of the slider 11. At this time, the support member 61 is pressed and urged to the lowest side. The impact when the support member 61 collides with the support member base 53 is mitigated by the support member cushioning materials 91, 91.

次に、上記スライダ１１が上記サポート部材６１の上側を通過していくと、上記スライダ１１の後方ローラ２３、２３が、上記受け部材８３の後方側傾斜面８２ｂ、８２ｂ、摺動部８６、８６、及び、前方側傾斜面８２ａ、８２ａに当接して転動された後、前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５を介して上記サポート部材６１を上記コイルバネ６５の弾性力に抗して反ボールねじ軸９側（図１０中下側）に押圧・付勢した状態になるが、上記スライダ１１の移動によりその押圧・付勢は徐々に解除されていく。そして、図１０に示すように、上記スライダ１１が図１０中左側に移動されると、再び上記サポート部材６１はコイルバネ６５の弾性力により図１０中上側に押圧・付勢され、サポート部８１の受け部材８３の凹部８５によって上記ボールねじ軸９の中央付近が支持されて、上記ボールねじ軸９の撓みが防止される状態となる。上記受け部材８３が上記ボールねじ軸９に再び当接される際の衝撃は受け部材用緩衝材８７によって緩衝される。
また、上記サポート部材６１が上側に復帰する際の急激な上昇は緩衝機構９５の上記板バネ５７と上記当接部材９３とが接触し抵抗となることによって緩和され、それによって騒音の発生を防止している。 Next, as the slider 11 passes above the support member 61, the rear rollers 23, 23 of the slider 11 roll against the rear inclined surfaces 82b, 82b, sliding portions 86, 86, and front inclined surfaces 82a, 82a of the receiving member 83, and then press and urge the support member 61 toward the anti-ball screw shaft 9 side (lower side in Figure 10) against the elastic force of the coil spring 65 via the front cushioning materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71. However, as the slider 11 moves, this pressing and urging is gradually released. 10, when the slider 11 is moved to the left in Fig. 10, the support member 61 is again pressed and urged upward in Fig. 10 by the elastic force of the coil spring 65, and the vicinity of the center of the ball screw shaft 9 is supported by the recess 85 of the receiving member 83 of the support portion 81, thereby preventing the ball screw shaft 9 from bending. The impact when the receiving member 83 comes into contact with the ball screw shaft 9 again is buffered by the receiving member buffer material 87.
Furthermore, the sudden rise of the support member 61 when it returns to the upper side is mitigated by the leaf spring 57 of the buffer mechanism 95 coming into contact with the abutment member 93 and providing resistance, thereby preventing the generation of noise.

また、スライダ１１が図２に示す方向とは反対側からサポート部材６１に接近して通過していく場合も同様である。この場合には、スライダ１１の後方ローラ２３、２３がサポート部材６１の前方側傾斜面７１、７１の前方側緩衝材７５、７５に当接して転動していくことによりサポート部材６１がコイルバネ６５の付勢力に抗して押し下げられることになる。
また、上記ボールねじ軸サポート構造４７は１つのユニットとして上記サポート部材収容凹部５１に着脱できる構造となっている。 The same applies to the case where the slider 11 approaches and passes over the support member 61 from the opposite direction to the direction shown in Fig. 2. In this case, the rear rollers 23, 23 of the slider 11 abut against the front cushioning materials 75, 75 of the front inclined surfaces 71, 71 of the support member 61 and roll, so that the support member 61 is pressed down against the biasing force of the coil spring 65.
Moreover, the ball screw shaft support structure 47 is structured so as to be detachable from the support member accommodating recess 51 as a single unit.

次に、この第１の実施の形態による効果について説明する。
まず、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸９の撓みを防止することができ、振動や騒音を抑制して高速化に対応することができる。すなわち、ボールねじ軸９を支持する受け部材８３を備えたサポート部材６１をコイルバネ６５によって常時ボールねじ軸９側に付勢する構成とし、それをスライダ１１の前方ローラ２１、２１及び後方ローラ２３、２３、上記サポート部材６１の前方側傾斜面７１、７１と後方側傾斜面７３、７３の協働によって適宜押し下げるように構成したからである。
また、上記受け部材８３とサポート部材本体６２との間には受け部材用緩衝材８７が介挿されているので、上記受け部材８３が上記ボールねじ軸９に衝突した際の衝撃を簡易な構成により緩和することができる。
また、上記受け部材８３は着脱可能に設置されているので、交換が容易である。
また、上記受け部材用緩衝材８７はフェルト製であるので構成は簡単でありその緩衝効果及び吸音効果も高い。
また、上記サポート部材６１の下面側にも、サポート部材用緩衝材９１、９１が設置されているので、上記サポート部材６１が上記サポート部材用ベース５３に衝突する際の衝撃を緩和することができる。
また、前方ローラ２１、後方ローラ２３、上記前方側傾斜面７１、７１、後方側傾斜面７３、７３の協働によって上記サポート部材６１を昇降させるようにしているので、サポート部材６１の昇降動作を円滑なものとすることができる。
また、上記前方側傾斜面７１、７１と後方側傾斜面７３、７３には、前方側緩衝材７５、７５と後方側緩衝材７７、７７が設置されているので、前方ローラ２１や後方ローラ２３が衝突した際の衝撃を緩和することができる。
上記サポート部材用緩衝材９１、９１、上記前方側緩衝材７５、７５、及び、後方側緩衝材７７、７７は、例えば低反発のゴム製であるので、簡単な構成で高い緩衝効果を得ることができる。
また、緩衝機構９５が設けられているので、上記サポート部材６１の急激な上昇を抑え、上記ボールねじ軸９への衝撃を緩和するとともに騒音を防止することができる。また、上記緩衝機構９５は上記板バネ５７と上記当接部材９３、９３によって構成されているので、その構成も簡単である。
また、アクチュエータ１には一つの上記サポート部材６１が設置されているので、その構成も簡単である。 Next, the effects of the first embodiment will be described.
First, the simple and compact configuration can prevent bending of the ball screw shaft 9, suppressing vibration and noise and enabling higher speeds to be accommodated. That is, the support member 61 having the receiving member 83 that supports the ball screw shaft 9 is constantly biased toward the ball screw shaft 9 by the coil spring 65, and is appropriately pressed down by cooperation of the front rollers 21, 21 and rear rollers 23, 23 of the slider 11 and the front inclined surfaces 71, 71 and rear inclined surfaces 73, 73 of the support member 61.
In addition, since a cushioning material 87 for the receiving member is interposed between the receiving member 83 and the support member main body 62, the impact when the receiving member 83 collides with the ball screw shaft 9 can be mitigated with a simple structure.
Moreover, since the receiving member 83 is detachably installed, it can be easily replaced.
Moreover, since the cushioning material 87 for the receiving member is made of felt, the structure is simple and the cushioning effect and sound absorbing effect are high.
In addition, since support member cushioning materials 91, 91 are also provided on the lower surface side of the support member 61, it is possible to reduce the impact when the support member 61 collides with the support member base 53.
In addition, since the support member 61 is raised and lowered by cooperation of the front roller 21, the rear roller 23, the front inclined surfaces 71, 71, and the rear inclined surfaces 73, 73, the raising and lowering operation of the support member 61 can be made smooth.
In addition, front cushioning materials 75, 75 and rear cushioning materials 77, 77 are provided on the front inclined surfaces 71, 71 and rear inclined surfaces 73, 73, so that the impact when the front roller 21 or the rear roller 23 collides can be mitigated.
The support member cushioning materials 91, 91, the front side cushioning materials 75, 75 and the rear side cushioning materials 77, 77 are made of, for example, low-resilience rubber, and therefore a high cushioning effect can be obtained with a simple structure.
In addition, since a buffer mechanism 95 is provided, it is possible to suppress a sudden rise of the support member 61, reduce the impact on the ball screw shaft 9, and prevent noise. In addition, since the buffer mechanism 95 is composed of the leaf spring 57 and the abutment members 93, 93, the configuration is also simple.
Furthermore, since the actuator 1 is provided with one support member 61, the structure is simple.

次に、図１１を参照しながら、本発明の第２の実施の形態について説明する。
図１１に示すように、この第２の実施の形態によるアクチュエータ１０１には、前記した第１の実施の形態の場合と同様にボールねじ軸サポート構造４７が設けられているが、スライダ１１の下側には前方ローラ２１、２１の代わりに前方側傾斜面部材１０３、１０３が設けられていて、後方ローラ２３、２３の代わりに、後方側傾斜面部材１０５、１０５が設けられている。 Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in FIG. 11, the actuator 101 according to the second embodiment is provided with a ball screw shaft support structure 47 similar to the first embodiment described above, but front inclined surface members 103, 103 are provided under the slider 11 in place of the front rollers 21, 21, and rear inclined surface members 105, 105 are provided in place of the rear rollers 23, 23.

上記前方側傾斜面部材１０３は、例えば、図１１（ｂ）に示すように、サポート部材本体６２の後方側傾斜面７３と平行なボールねじナット側傾斜面１０７が設けられた部材である。また、上記後方側傾斜面部材１０５は、上記サポート部材本体６２の前方側傾斜面７１と平行なボールねじナット側傾斜面１０９が設けられた部材である。 The front side inclined surface member 103 is a member provided with a ball screw nut side inclined surface 107 that is parallel to the rear side inclined surface 73 of the support member main body 62, as shown in FIG. 11(b), for example. The rear side inclined surface member 105 is a member provided with a ball screw nut side inclined surface 109 that is parallel to the front side inclined surface 71 of the support member main body 62.

この第２の実施の形態の場合は、上記前方側傾斜面部材１０３のボールねじナット側傾斜面１０７が上記サポート部材本体６２の後方側傾斜面７３に当接する、または、上記後方側傾斜面部材１０５のボールねじナット側傾斜面１０９が上記サポート部材本体６２の前方側傾斜面７１に当接することで、サポート部材６１が下側に押し下げられる。
また、図５に示すように、上記サポート部材本体６２の上記前方側傾斜面７１と上記後方側傾斜面７３には前方側緩衝材７５と後方側緩衝材７７が設置されているが、上記傾斜面１０７や上記傾斜面１０９にも図示しない緩衝材を設置してもよい。
また、上記サポート部材本体６２の上記前方側傾斜面７１と上記後方側傾斜面７３に緩衝材を設置せず、上記傾斜面１０７や上記傾斜面１０９に図示しない緩衝材を設置する場合も考えられる。
なお、前記第１の実施の形態の場合と共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略する。 In the case of this second embodiment, the ball screw nut side inclined surface 107 of the front side inclined surface member 103 abuts against the rear side inclined surface 73 of the support member main body 62, or the ball screw nut side inclined surface 109 of the rear side inclined surface member 105 abuts against the front side inclined surface 71 of the support member main body 62, thereby pushing the support member 61 downward.
As shown in FIG. 5, a front cushioning material 75 and a rear cushioning material 77 are provided on the front inclined surface 71 and the rear inclined surface 73 of the support member main body 62, but cushioning materials (not shown) may also be provided on the inclined surface 107 and the inclined surface 109.
Further, it is also possible to consider a case where no cushioning material is provided on the front inclined surface 71 and the rear inclined surface 73 of the support member main body 62, but a cushioning material (not shown) is provided on the inclined surface 107 and the inclined surface 109.
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

次に、図１２を参照しながら、本発明の第３の実施の形態について説明する。
図１２に示すように、アクチュエータ２０１は、前記した第２の実施の形態の場合と同様に、スライダ１１の下側に前方側傾斜面部材１０３、１０３と後方側傾斜面部材１０５、１０５が設置されているが、ベース３のサポート部材収容凹部５１内にはボールねじ軸サポート構造２０３が設置されている。 Next, a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
As shown in Figure 12, the actuator 201 has front side inclined surface members 103, 103 and rear side inclined surface members 105, 105 installed on the underside of the slider 11, as in the case of the second embodiment described above, but a ball screw shaft support structure 203 is installed within the support member accommodating recess 51 of the base 3.

上記ボールねじ軸サポート構造２０３には、サポート部材２０４とサポート部材支持部材５０がある。上記サポート部材２０４にはサポート部材本体２０５がある。上記サポート部材本体２０５の前後方向（図１２（ａ）中左下から右上に向かう方向）両端には、ガイド用貫通孔２０７、２０７が形成されている。上記ガイド用貫通孔２０７、２０７には滑り軸受２０９、２０９が圧入されていて、サポート部材ガイド用支柱５５、５５はこれら滑り軸受２０９、２０９を貫通するように配置され、上記滑り軸受２０９、２０９と摺接するようになっている。 The ball screw shaft support structure 203 includes a support member 204 and a support member support member 50. The support member 204 includes a support member body 205. Guide through holes 207, 207 are formed at both ends of the support member body 205 in the front-rear direction (the direction from the lower left to the upper right in FIG. 12(a)). Slide bearings 209, 209 are pressed into the guide through holes 207, 207, and the support member guide pillars 55, 55 are arranged to pass through these slide bearings 209, 209 and are in sliding contact with the slide bearings 209, 209.

上記サポート部材本体２０５の幅方向（図１２（ａ）中左上から右下に向かう方向）両端にはサポート部材側ローラ２１１、２１１が回転可能に設置されている。この第３の実施の形態の場合は、上記サポート部材側ローラ２１１、２１１が上記スライダ１１に設置された前方側傾斜面部材１０３の傾斜面１０７や後方側傾斜面部材１０５の傾斜面１０９に当接して転動されることで、上記サポート部材２０４が下側に押圧され付勢されるようになっている。
また、上記傾斜面１０７や上記傾斜面１０９に図示しない緩衝材を設置する場合も考えられる。
なお、前記第１の実施の形態の場合と共通する構成には同一符号を付して示しその説明を省略する。 Support member side rollers 211, 211 are rotatably installed on both ends in the width direction (the direction from the upper left to the lower right in FIG. 12(a)) of the support member main body 205. In the case of the third embodiment, the support member side rollers 211, 211 abut against the inclined surface 107 of the front side inclined surface member 103 and the inclined surface 109 of the rear side inclined surface member 105 installed on the slider 11 and roll, so that the support member 204 is pressed downward and urged.
Further, a buffer material (not shown) may be provided on the inclined surface 107 and the inclined surface 109 .
The same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.

次に、図１３を参照しながら、本発明の第４の実施の形態について説明する。
この第４の実施の形態では、図１３に示すようなボールねじ軸サポート構造３０１が用いられている。このボールねじ軸サポート構造３０１は、前記した第１の実施の形態や第２の実施の形態におけるボールねじ軸サポート構造４７と略同様の構成であるが、緩衝機構９５の代わりに緩衝機構３０３が設けられている。 Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the fourth embodiment, a ball screw shaft support structure 301 as shown in Fig. 13 is used. This ball screw shaft support structure 301 has a configuration substantially similar to the ball screw shaft support structure 47 in the first and second embodiments described above, but a buffer mechanism 303 is provided instead of the buffer mechanism 95.

上記緩衝機構３０３は、サポート部材用ベース５３に固定された略Ｕ字型の横断面形状を成す当接部材３０５と、サポート部材本体６２の幅方向（図１３（ｃ）中左右方向）両側に設置された板バネ３０７、３０７とから構成される。
例えば図１３（ａ）に示すようにサポート部材６１は上記当接部材３０５の内側に配置されていて、上記板バネ３０７、３０７の先端側は図１３（ｂ）や図１３（ｃ）に示すように上記当接部材３０５の内側の側面に当接して付勢している。 The buffer mechanism 303 is composed of a contact member 305 having an approximately U-shaped cross-sectional shape fixed to the support member base 53, and leaf springs 307, 307 installed on both sides of the width direction (left and right direction in Figure 13 (c)) of the support member main body 62.
For example, as shown in FIG. 13(a), the support member 61 is disposed inside the abutment member 305, and the tip sides of the leaf springs 307, 307 abut against the inner side surface of the abutment member 305 to bias it, as shown in FIG. 13(b) and FIG. 13(c).

上記緩衝機構３０３によると、前記した第１の実施の形態の場合の緩衝機構９５と同様、上記サポート部材６１の上方向の移動、すなわち、上記ボールねじ軸９に接近する動作が緩衝される。 The buffer mechanism 303, like the buffer mechanism 95 in the first embodiment described above, buffers the upward movement of the support member 61, i.e., the movement toward the ball screw shaft 9.

次に、図１４を参照しながら、本発明の第５の実施の形態について説明する。
この第５の実施の形態では、図１４に示すようなボールねじ軸サポート構造４０１が用いられている。このボールねじ軸サポート構造４０１は、前記した第１の実施の形態や第２の実施の形態におけるボールねじ軸サポート構造４７と略同様の構成であるが、サポート部材本体６２の幅方向（図１４（ｂ）中左右方向）両側に緩衝機構４０３、４０３が設けられている。 Next, a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the fifth embodiment, a ball screw shaft support structure 401 as shown in Fig. 14 is used. This ball screw shaft support structure 401 has a configuration substantially similar to the ball screw shaft support structure 47 in the first and second embodiments described above, but buffer mechanisms 403, 403 are provided on both sides in the width direction (left and right direction in Fig. 14(b)) of the support member main body 62.

上記緩衝機構４０３にはダンパ取付部材４０５がある。図１４（ａ）にしめすように、ダンパ取付部材４０５の中央には段付き貫通孔４０７、４０７が設けられている。上記ダンパ取付部材４０５は、固定用ねじ４０９、４０９を上記段付き貫通孔４０７、４０７に貫通させてサポート部材本体６２に螺合させることで、上記サポート部材本体６２に固定されている。
また、図１４（ａ）にしめすように、上記ダンパ取付部材４０５の前後方向両端にはダンパ４１１、４１１が設置されている。上記ダンパ４１１にはシリンダ４１３とロッド４１５がある。上記シリンダ４１３内には図示しないオイルが封入されていて、上記ロッド４１５の上記シリンダ４１３内部側の端部には図示しないピストンが固着されている。上記ロッド４１５の図１４中下端は図示しないアクチュエータのベースに固着されている。よって、サポート部材６１が図１４中上下方向に移動されると、上記シリンダ４１３が上記ロッド４１５に対して相対的に移動されることになる。このとき、上記シリンダ４１３内の図示しないオイルの抵抗により上記シリンダ４１３、ひいては、上記サポート部材６１の移動が緩衝される。 The buffer mechanism 403 has a damper mounting member 405. As shown in Fig. 14(a), stepped through holes 407, 407 are provided in the center of the damper mounting member 405. The damper mounting member 405 is fixed to the support member main body 62 by passing fixing screws 409, 409 through the stepped through holes 407, 407 and screwing them into the support member main body 62.
14(a), dampers 411, 411 are provided at both front and rear ends of the damper mounting member 405. The damper 411 has a cylinder 413 and a rod 415. Oil (not shown) is sealed in the cylinder 413, and a piston (not shown) is fixed to the end of the rod 415 on the inside side of the cylinder 413. The lower end of the rod 415 in FIG. 14 is fixed to the base of an actuator (not shown). Therefore, when the support member 61 is moved in the vertical direction in FIG. 14, the cylinder 413 is moved relative to the rod 415. At this time, the movement of the cylinder 413 and, by extension, the support member 61 is buffered by the resistance of the oil (not shown) in the cylinder 413.

次に、図１５を参照しながら、本発明の第６の実施の形態について説明する。
この第６の実施の形態では、図１５に示すようなボールねじ軸サポート構造５０１が用いられている。このボールねじ軸サポート構造５０１は、前記した第１の実施の形態や第２の実施の形態におけるボールねじ軸サポート構造４７と略同様の構成であるが、サポート部材用ベース５３に緩衝機構５０３が設置されている。
上記緩衝機構５０３には上記サポート部材用ベース５３に固着された長方形のプレート５０５がある。このプレート５０５の各角部にはダンパ５０７、５０７、５０７、５０７（図１５（ａ）中左端のダンパ５０７は図示されていない）が設置されている。上記ダンパ５０７は前記した第５の実施の形態のダンパ４１１と同様の構成であり、シリンダ５０９とロッド５１１がある。上記シリンダ５０９は上記プレート５０５に固着されており、上記ロッド５１１の図１５中上端がサポート部材本体６２の底面に固着されている。
上記ダンパ５０７によってサポート部材６１の図１５中上下方向の移動が緩衝される。 Next, a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the sixth embodiment, a ball screw shaft support structure 501 as shown in Fig. 15 is used. This ball screw shaft support structure 501 has a configuration substantially similar to the ball screw shaft support structure 47 in the first and second embodiments described above, but a buffer mechanism 503 is provided on a support member base 53.
The buffer mechanism 503 has a rectangular plate 505 fixed to the support member base 53. Dampers 507, 507, 507, 507 (the damper 507 at the left end in FIG. 15(a) is not shown) are provided at each corner of this plate 505. The damper 507 has a similar structure to the damper 411 in the fifth embodiment described above, and has a cylinder 509 and a rod 511. The cylinder 509 is fixed to the plate 505, and the upper end of the rod 511 in FIG. 15 is fixed to the bottom surface of the support member main body 62.
The damper 507 damps the movement of the support member 61 in the vertical direction in FIG.

次に、図１６を参照しながら、本発明の第７の実施の形態について説明する。
前記第１の実施の形態の場合は、軸方向の中央一箇所に１個のボールねじ軸サポート構造４７が設けられた構成を例に挙げて説明したが、この第７の実施の形態によるアクチュエータ７０１の場合には、軸方向の二箇所にボールねじ軸サポート構造４７、４７をそれぞれ設置した構成になっている。
なお、その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、図中同一部分には同一符号を付して示しその説明を省略する。 Next, a seventh embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
In the first embodiment described above, a configuration was given in which one ball screw shaft support structure 47 was provided at one central location in the axial direction, but in the actuator 701 according to the seventh embodiment, ball screw shaft support structures 47, 47 are provided at two locations in the axial direction.
Other configurations are the same as those in the first embodiment, and the same parts in the drawings are given the same reference numerals and their explanation is omitted.

この第７の実施の形態の場合も前記第１の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏するが、この第７の実施の形態の場合では前記第１の実施の形態の場合よりも長いボールねじ軸９であっても、上記ボールねじ軸９の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作させることができる。 The seventh embodiment has the same action and effect as the first embodiment, but even if the ball screw shaft 9 is longer than in the first embodiment, the seventh embodiment prevents the ball screw shaft 9 from bending, suppresses vibration and noise, and allows high-speed operation.

なお、本発明は前記第１～第７の実施の形態に限定されない。
まず、前記第１～第７の実施の形態の場合にはサポート部材を１個、２個設けた場合を説明したが、それに限定されるものではなく、３個以上設ける場合も考えられる。
また、受け部材の材質は、ＰＯＭの他に含油焼結材料等摺動性が良好な様々な場合が考えられる。
また、緩衝材の材質は、フェルトや低反発のゴムの他に、その他の布、ゴム、樹脂、ゲル状材料、スポンジ等の多孔質材料等様々な場合が考えられる。
また、ローラの材質は、樹脂の他にゴム、含油焼結材料等様々な場合が考えられる。
また、サポート部材用ベースをアクチュエータのベースと一体とし、サポート部材ガイド用支柱を直接ベースに固着することもできる。
その他、図示した構成はあくまで一例である。 The present invention is not limited to the first to seventh embodiments.
First, in the first to seventh embodiments, the case where one or two support members are provided has been described, but the present invention is not limited to this, and three or more support members may also be provided.
Moreover, the material of the receiving member may be various other materials having good sliding properties, such as oil-impregnated sintered materials, in addition to POM.
The material of the cushioning material may be various, such as felt or low-resilience rubber, other cloth, rubber, resin, gel material, sponge or other porous material.
The roller may be made of various materials such as rubber, oil-impregnated sintered material, etc., in addition to resin.
Also, the support member base can be integrated with the actuator base, and the support member guide posts can be fixed directly to the base.
Additionally, the configurations shown in the drawings are merely examples.

本発明は、ボールねじ軸サポート構造とアクチュエータに係り、特に、簡易且つコンパクトな構成によりボールねじ軸の撓みを防止して振動や騒音を抑制し高速に動作できるように工夫したものに関し、例えば、産業用ロボットに好適である。 The present invention relates to a ball screw shaft support structure and actuator, and in particular to a simple and compact configuration that prevents the ball screw shaft from bending, suppresses vibration and noise, and enables high-speed operation, making it suitable for industrial robots, for example.

１ アクチュエータ
９ ボールねじ軸
１１ スライダ
２１ 前方ローラ
２３ 後方ローラ
３１ ボールねじナット
５７ 板バネ（緩衝機構の一部）
６１ サポート部材
６５ コイルバネ（弾性手段）
７１ 前方側傾斜面
７３ 後方側傾斜面
８１ サポート部
８３ 受け部材
８７ 受け部材用緩衝材
９５ 緩衝機構
１０１ アクチュエータ
２０１ アクチュエータ
３０３ 緩衝機構
４０３ 緩衝機構
５０３ 緩衝機構
７０１ アクチュエータ REFERENCE SIGNS LIST 1 Actuator 9 Ball screw shaft 11 Slider 21 Front roller 23 Rear roller 31 Ball screw nut 57 Leaf spring (part of the buffer mechanism)
61 Support member 65 Coil spring (elastic means)
71 Front inclined surface 73 Rear inclined surface 81 Support portion 83 Receiving member 87 Cushioning material for receiving member 95 Cushioning mechanism 101 Actuator 201 Actuator 303 Cushioning mechanism 403 Cushioning mechanism 503 Cushioning mechanism 701 Actuator

Claims (8)

ボールねじ軸と、
上記ボールねじ軸に移動可能に螺合されたボールねじナットと、
上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記ボールねじナットの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、
を具備し、
上記サポート部材はサポート部材本体と、上記ボールねじ軸を受ける受け部材と、から構成され、
上記サポート部材本体には上記ボールねじ軸の軸方向に沿った上記受け部材の両側にサポート部材側傾斜面が設けられていて、
上記サポート部材側傾斜面にはサポート部材側傾斜面用緩衝材が設置されていることを特徴とするボールねじ軸サポート構造。 A ball screw shaft,
a ball screw nut movably screwed to the ball screw shaft;
a support member that is detachably disposed on the ball screw shaft, that is pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and that is moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means when the ball screw nut approaches;
Equipped with
The support member is composed of a support member body and a receiving member that receives the ball screw shaft,
The support member body is provided with support member-side inclined surfaces on both sides of the receiving member along the axial direction of the ball screw shaft ,
A ball screw shaft support structure characterized in that a cushioning material for the support member side inclined surface is installed on the support member side inclined surface . 請求項１記載のボールねじ軸サポート構造において、
上記ボールねじナット側にボールねじナット側ローラが設置されていて、上記ボールねじナット側ローラが上記サポート部材側傾斜面に沿って転動することにより上記サポート部材が上記ボールねじ軸に離接することを特徴とするボールねじ軸サポート構造。 2. The ball screw shaft support structure according to claim 1,
a ball screw nut side roller is provided on the ball screw nut side, and the support member moves toward and away from the ball screw shaft by the ball screw nut side roller rolling along the support member side inclined surface . ボールねじ軸と、
上記ボールねじ軸に移動可能に螺合されたボールねじナットと、
上記ボールねじ軸に離接可能に設置され弾性手段により上記ボールねじ軸に圧接されているとともに上記ボールねじナットの接近により上記弾性手段の付勢力に抗して上記ボールねじ軸から離間されるサポート部材と、
を具備し、
上記サポート部材はサポート部材本体と、上記ボールねじ軸を受ける受け部材と、から構成され、
上記サポート部材本体には上記ボールねじ軸の軸方向に沿った上記受け部材の両側にサポート部材側傾斜面が設けられていて、
上記ボールねじナット側の上記ボールねじ軸の軸方向に沿った両側にボールねじナット側傾斜面が設けられていて、
上記ボールねじナット側傾斜面が上記サポート部材側傾斜面に沿って摺動することにより上記サポート部材が上記ボールねじ軸に離接することを特徴とするボールねじ軸サポート構造。 A ball screw shaft,
a ball screw nut movably screwed to the ball screw shaft;
a support member that is detachably disposed on the ball screw shaft, that is pressed against the ball screw shaft by an elastic means, and that is moved away from the ball screw shaft against the biasing force of the elastic means when the ball screw nut approaches;
Equipped with
The support member is composed of a support member body and a receiving member that receives the ball screw shaft,
The support member body is provided with support member-side inclined surfaces on both sides of the receiving member along the axial direction of the ball screw shaft,
a ball screw nut side inclined surface is provided on both sides along the axial direction of the ball screw shaft on the ball screw nut side ,
a support member that moves in contact with and away from the ball screw shaft by sliding the inclined surface on the ball screw nut side along the inclined surface on the support member side . 請求項３記載のボールねじ軸サポート構造において、
上記サポート部材側傾斜面又は上記ボールねじナット側傾斜面の少なくとも一方に傾斜面用緩衝材が設置されていることを特徴とするボールねじ軸サポート構造。 4. The ball screw shaft support structure according to claim 3 ,
A ball screw shaft support structure, characterized in that a cushioning material for an inclined surface is installed on at least one of the inclined surface on the support member side or the inclined surface on the ball screw nut side . 請求項１～請求項４の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造において、
上記サポート部材本体と上記受け部材との間に受け部材用緩衝材が介挿されることを特徴とするボールねじ軸サポート構造。 In the ball screw shaft support structure according to any one of claims 1 to 4,
A ball screw shaft support structure, characterized in that a cushioning material for the receiving member is interposed between the support member body and the receiving member . 請求項１～請求項５の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造において、
上記サポート部材の上記ボールねじ軸に対する接近動作を緩衝する緩衝機構が設けられていることを特徴とするボールねじ軸サポート構造。 In the ball screw shaft support structure according to any one of claims 1 to 5,
a shock absorbing mechanism for absorbing the approaching movement of the support member to the ball screw shaft , 請求項１～請求項６の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造のサポート部材が１個設置されていることを特徴とするアクチュエータ。 An actuator comprising one support member of the ball screw shaft support structure according to any one of claims 1 to 6. 請求項１～請求項６の何れかに記載のボールねじ軸サポート構造のサポート部材が複数個設置されていることを特徴とするアクチュエータ。 7. An actuator comprising a plurality of support members of the ball screw shaft support structure according to claim 1.
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