JP7564005B2 - In-building ceiling transport system and method for constructing an in-building ceiling transport rail - Google Patents

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Description

本発明は、建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法に関する。 The present invention relates to an in-building ceiling transport system and a method for installing an in-building ceiling transport rail.

従来、半導体工場におけるクリーンルームでは、半導体装置同士の間をウェハーが移動する際に収納される保管部を天井面に設置した天井搬送レールを軌道にして自動搬送する天井搬送設備が知られている。 Conventionally, in clean rooms in semiconductor factories, ceiling transport equipment is known that automatically transports wafers using a ceiling transport rail installed on the ceiling surface as a track to store the wafers as they move between semiconductor devices.

ここで、クリーンルーム等の建物の天井として、吊り天井が多用されている。このような吊り天井は、水平の一方向に所定の間隔をあけて並設される複数の野縁と、野縁に直交し、水平の他方向に所定の間隔をあけて並設され、複数の野縁に一体に接続して設けられる複数の野縁受けと、下端を野縁受けに接続し、上端を上階の床材等の上部構造(建物躯体)に固着して配設される複数の吊りボルト(吊り部材)と、野縁の下面にビス留めなどによって一体に取り付けられ、下階の天井面を形成する天井パネルと、を備えて構成されている(例えば、特許文献1参照)。 Here, suspended ceilings are often used as ceilings for buildings such as clean rooms. Such suspended ceilings are comprised of a number of rafters arranged in parallel at a given interval in one horizontal direction, a number of rafter supports arranged in parallel at a given interval in the other horizontal direction perpendicular to the rafters and integrally connected to the rafters, a number of hanging bolts (hanging members) whose lower ends are connected to the rafter supports and whose upper ends are fixed to the upper structure (building frame) such as flooring on the upper floor, and a ceiling panel that is integrally attached to the underside of the rafters by screws or the like and forms the ceiling surface of the lower floor (see, for example, Patent Document 1).

特開2013-177801号公報JP 2013-177801 A

しかしながら、特許文献1に示されるような従来の天井構造に対する天井搬送設備の設置方法では、以下のような問題があった。
すなわち、従来の天井搬送レールは、天井パネルに設置したり、天井パネルの下地材等天井フレームの躯体天面に対して天井搬送レール専用の吊り元を別に設置している。そのため、天井搬送設備を設置する施工は、天井パネルや専用の吊り元の施工が完了した後で開始することとなり、工期が長くなるという問題があった。例えば、上述したように半導体工場におけるクリーンルームに採用される場合には、半導体装置の稼働時期が天井搬送設備の完成よりも早くなるケースがある。つまり、天井搬送設備が完成するまでの間は、作業員が台車等で搬送を行う対応となり生産効率が低下することから、その点で改善の余地があった。
However, the conventional method of installing ceiling transport equipment in a ceiling structure as disclosed in Patent Document 1 has the following problems.
That is, conventional ceiling conveyor rails are installed on ceiling panels, or a dedicated suspension point for the ceiling conveyor rail is separately installed on the top surface of the ceiling frame such as the ceiling panel base material. Therefore, the construction of the ceiling conveyor equipment starts after the construction of the ceiling panel and the dedicated suspension point is completed, which causes a problem of a long construction period. For example, as mentioned above, when it is adopted in a clean room in a semiconductor factory, there are cases where the operation time of semiconductor devices is earlier than the completion of the ceiling conveyor equipment. In other words, until the ceiling conveyor equipment is completed, workers have to transport using carts, etc., which reduces production efficiency, and there is room for improvement in this respect.

また、従来の場合の施工では、半導体装置に対する保管部の設置位置に高い精度が要求されることから、天井搬送設備の天井搬送レールの設置にも高い精度が必要となっている。そのため、吊り元となる天井フレームと吊りボルトの位置関係により天井搬送レールの精度を出すことから、位置調整に多大な時間を要している。しかも、天井搬送レールの施工と同時に位置調整の作業を行う必要があることから、1工程の作業に要する時間の短縮が困難となっていた。 In addition, in conventional construction, high precision is required for the installation position of the storage unit relative to the semiconductor device, so high precision is also required for the installation of the ceiling transport rail of the ceiling transport equipment. As a result, the precision of the ceiling transport rail is determined by the positional relationship between the ceiling frame from which it is suspended and the hanging bolts, and position adjustment takes a lot of time. Moreover, because the position adjustment work needs to be done at the same time as the construction of the ceiling transport rail, it has been difficult to reduce the time required for one work process.

また、半導体工場の天井搬送設備の場合には、半導体装置の装置レイアウトが変更されることが多く、そのレイアウト変更に合わせてレール軌道の修正と精密な調整が必要となっていた。すなわち、天井搬送レールの位置を変更するためには天井フレームに取り付けたレースウェイの固定ボルトを緩め、位置調整後に改めてすべてを締め直して固定する必要がある。
さらに、大幅なレイアウト変更となる場合には、レースウェイそのものから取り外して対応する必要があり、調整作業を含め、より大規模な工事が必要になるという問題があった。
In addition, in the case of overhead transport equipment in semiconductor factories, the layout of the semiconductor device is often changed, and the rail tracks must be corrected and precisely adjusted to match the layout change. In other words, to change the position of the overhead transport rail, it is necessary to loosen the fixing bolts of the raceway attached to the ceiling frame, adjust the position, and then retighten all the bolts to fix them in place.
Furthermore, if major changes were to be made to the layout, the system would need to be removed from the raceway itself, necessitating larger-scale construction work, including adjustment work.

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置することができ、工期を短縮できる建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法を提供することを目的とする。
また、本発明の別の目的は、天井搬送レールの軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行うことができる建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法を提供することである。
さらにまた、本発明の別の目的は、装置レイアウトの変更を容易に行うことができる建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法を提供することである。
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned problems, and aims to provide an in-building ceiling conveying system and an in-building ceiling conveying rail construction method that eliminate the need for a dedicated hanging point for the ceiling conveying rail, and that allows the ceiling conveying rail to be installed without the need for a dedicated hanging point or the construction of a ceiling panel, thereby shortening the construction period.
Another object of the present invention is to provide an in-building ceiling conveying system and an installation method for an in-building ceiling conveying rail that can efficiently and simply correct the trajectory of the ceiling conveying rail and adjust its position with high precision.
It is still another object of the present invention to provide an in-building ceiling transport system and an in-building ceiling transport rail installation method that allow easy changes to the equipment layout.

上記目的を達成するため、本発明に係る建物内天井搬送システムは、建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを備えた建物内天井搬送システムであって、前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの延在方向である第1方向に直交する第2方向に延び前記第1方向に間隔をあけて設けられる複数のサイドバーと、前記天井搬送レールを上方から連結した状態でユニット化して前記第1方向に延びるユニットフレームと、を備え、前記ユニットフレームは、前記複数のサイドバーに対して前記第1方向、前記第2方向、及び上下方向に移動可能に設けられ、位置調整された所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持されていることを特徴としている。 To achieve the above object, the in-building ceiling transport system of the present invention is an in-building ceiling transport system equipped with a ceiling transport rail for transporting items to the top surface of the building structure, and is equipped with a plurality of side bars supported on the top surface of the structure, extending in a second direction perpendicular to a first direction in which the ceiling transport rail extends, and spaced apart in the first direction, and a unit frame in which the ceiling transport rails are connected from above to form a unit and extend in the first direction, the unit frame is provided so as to be movable in the first direction, the second direction, and the up-down direction relative to the plurality of side bars, and is supported in a state in which it is suspended from the side bars at a predetermined position that has been adjusted.

また、本発明に係る建物内天井搬送レールの施工方法は、建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを設置する建物内天井搬送レールの施工方法であって、前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの第1方向に直交する第2方向に延び前記第1方向に間隔をあけて複数のサイドバーを設ける工程と、前記天井搬送レールに対して前記第1方向に延びるユニットフレームによって上方から連結した状態でユニット化した搬送レールユニットを設ける工程と、前記天井搬送レールを備えた前記ユニットフレームを、前記複数のサイドバーの上側に配置して前記第1方向、前記第2方向、及び上下方向に移動させることで位置調整し、所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持する工程と、を有することを特徴としている。 The method for constructing an in-building ceiling conveyor rail according to the present invention is a method for constructing an in-building ceiling conveyor rail for conveying goods on the top surface of the building's framework, and is characterized by comprising the steps of: providing a plurality of side bars that are supported on the top surface of the framework and extend in a second direction perpendicular to the first direction of the ceiling conveyor rail and spaced apart in the first direction; providing a conveyor rail unit that is unitized by connecting the ceiling conveyor rail from above with a unit frame that extends in the first direction; and placing the unit frame equipped with the ceiling conveyor rail above the plurality of side bars and moving it in the first direction, the second direction, and up and down to adjust its position, and supporting it in a suspended state relative to the side bars at a predetermined position.

本発明では、天井搬送レールをユニット化したユニットフレームを吊り下げた状態で支持するサイドバーが躯体天面に支持されることから、躯体天面の施工が完成した段階で、その躯体天面に対してサイドバーを取り付け、ユニットフレームとともに天井搬送レールを施工することができる。そのため、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置することができる。すなわち、専用の吊り元や天井パネルの完成前に天井搬送レールを施工することができ、工期を短縮できる。 In this invention, the side bars that support the unit frame that unitizes the ceiling transport rail in a suspended state are supported on the top surface of the structure, so that once construction of the top surface of the structure is completed, the side bars can be attached to the top surface of the structure and the ceiling transport rail can be constructed together with the unit frame. This eliminates the need for a dedicated suspension point for the ceiling transport rail, and the ceiling transport rail can be installed regardless of the construction of a dedicated suspension point or ceiling panel. In other words, the ceiling transport rail can be constructed before the completion of the dedicated suspension point and ceiling panel, shortening the construction period.

また、本発明では、複数のサイドバーに対して案内可能な状態でユニットフレームが配置されるため、サイドバーに対してユニットフレームを第1方向及び第2方向に容易に移動させることができ、かつ上下方向にも移動させることが可能となる。このように、ユニットフレームを効率よく簡単な作業により高い精度で位置調整を行うことができ、工期の短縮を図ることができる。 In addition, in the present invention, the unit frame is positioned in a state in which it can be guided relative to multiple side bars, so that the unit frame can be easily moved in the first and second directions relative to the side bars, and can also be moved in the vertical direction. In this way, the position of the unit frame can be adjusted efficiently and with high precision through simple work, and the construction period can be shortened.

また、本発明では、軽微な装置レイアウトの変更の場合には、ユニットフレームにおけるサイドバーに対する固定を解除することで、ユニットフレームを第1方向、第2方向、及び上下方向の位置を調整することができる。また、サイドバーに対するユニットフレームの移動範囲を超えた大幅なレイアウト変更を行う場合であっても、天井搬送レールの施工を前倒しすることによって装置レイアウトの変更にかかる工事期間をより長く確保することができる。このように本発明では、装置レイアウト変更に対する高い追従性をもたせることができる。 Furthermore, in the present invention, in the case of minor changes to the equipment layout, the unit frame can be released from its fixation to the side bar, allowing the position of the unit frame to be adjusted in the first direction, second direction, and up and down direction. Even in the case of major layout changes that exceed the range of movement of the unit frame relative to the side bar, the construction period required for changing the equipment layout can be extended by bringing forward the installation of the ceiling transport rails. In this way, the present invention can provide high adaptability to changes in the equipment layout.

さらに、本発明では、サイドバーを躯体の天井や天井空間である躯体天面に対して設ける構成であるので、従来のように天井パネルや専用の吊り元に天井搬送レールを設ける場合に比べて、サイドバーを上下方向の任意の高さに設置することができる。そのため、例えば、天井懐のデッドスペースがある場合に、このデッドスペースにサイドバーと天井搬送レールを配置することも可能となり、スペースを有効的に利用できる。 Furthermore, in this invention, the sidebars are attached to the ceiling of the structure or to the top surface of the structure, which is the ceiling space. This means that the sidebars can be installed at any desired height in the vertical direction, compared to the conventional method of installing ceiling transport rails on a ceiling panel or dedicated hanging point. Therefore, for example, if there is dead space in the ceiling, it is possible to place the sidebars and ceiling transport rails in this dead space, making effective use of the space.

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記躯体天面には、吊り下げられた下地フレームによって支持された天井パネルを備えた吊り天井が設けられ、前記サイドバーは、前記下地フレームに支持されていることを特徴としてもよい。 The in-building ceiling transport system according to the present invention may also be characterized in that the top surface of the structure is provided with a suspended ceiling having ceiling panels supported by a suspended base frame, and the side bars are supported by the base frame.

この場合には、サイドバーが躯体天面である下地フレームに支持されているので、下地フレームの施工が完成した段階で、その下地フレームに対してサイドバーの取り付け作業を行うことができる。そのため、サイドバーにユニットフレームを介して天井搬送レールを施工することができ、下地フレームに設けられる天井パネルの完成前に天井搬送レールの施工を行うことができ、工期を短縮することができる。 In this case, since the side bars are supported by the base frame, which is the top surface of the structure, the side bars can be attached to the base frame once construction of the base frame is complete. This allows the ceiling transport rails to be installed on the side bars via the unit frame, and the ceiling transport rails can be installed before the ceiling panels installed on the base frame are completed, shortening the construction period.

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記サイドバーには、前記躯体天面に対する上下方向の高さを調整する高さ調整部材が設けられていることを特徴としてもよい。 The in-building ceiling transport system according to the present invention may also be characterized in that the side bars are provided with height adjustment members for adjusting the vertical height relative to the ceiling surface of the building structure.

この場合、ユニットフレームをサイドバーに対して吊り下げて支持させる際に、ユニットフレームの上下方向の位置を、高さ調整部材を使用して容易に調整することができる。 In this case, when the unit frame is suspended and supported on the side bar, the vertical position of the unit frame can be easily adjusted using the height adjustment member.

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記ユニットフレームは、水平面内で枠状に形成されていることを特徴としてもよい。 The in-building ceiling transport system according to the present invention may also be characterized in that the unit frame is formed in a frame shape within a horizontal plane.

この場合には、複数のサイドバーに対して枠状のユニットフレームが安定した姿勢で載置されるので、ユニットフレームを位置調整する際にサイドバーに案内させることで精度よく移動させることができる。 In this case, the frame-shaped unit frame is placed in a stable position relative to the multiple side bars, so the unit frame can be moved with precision by being guided by the side bars when adjusting its position.

また、本発明に係る建物内天井搬送システムは、前記サイドバーは、上下方向に複数段に設けられ、下段側のサイドバーは、直上の上段側のサイドバー、又は前記躯体天面からガイド吊り材によって吊り下げられ、前記下段側のサイドバーには、前記天井搬送レールが設けられていることを特徴としてもよい。 The in-building ceiling transport system according to the present invention may also be characterized in that the side bars are arranged in multiple levels in the vertical direction, the lower level side bars are suspended from the upper level side bars directly above them or from the top surface of the structure by guide hanging materials, and the ceiling transport rails are provided on the lower level side bars.

この場合には、天井搬送レールを上下方向に複層化することが可能となる。
また、上述したように、天井懐のデッドスペースにサイドバーと天井搬送レールを配置して天井搬送レールを複層化する場合には、従来のように上段の天井搬送レールの位置まで天井パネルを上げて天井パネルを設置する必要がなくなるため、階高の増大を抑えることができる。
In this case, it is possible to provide multiple layers of ceiling transport rails in the vertical direction.
Furthermore, as mentioned above, when the side bars and ceiling conveying rails are arranged in the dead space in the ceiling pocket to make the ceiling conveying rails multi-layered, there is no need to raise the ceiling panel to the position of the upper ceiling conveying rail as in the past, and then install the ceiling panel, thereby suppressing the increase in floor height.

また、本発明に係る工場内天井搬送システムの施工方法は、前記建物の躯体天面に下地フレームを吊り下げ、前記下地フレームに支持された天井パネルを備えて吊り天井を設ける工程を有し、前記下地フレームに前記複数のサイドバーを設けるようにしてもよい。 The construction method for the in-factory ceiling transport system according to the present invention may also include a step of suspending a base frame from the top surface of the building's structure and providing a suspended ceiling with ceiling panels supported by the base frame, and may also include providing the plurality of side bars on the base frame.

また、本発明に係る工場内天井搬送システムの施工方法は、前記搬送レールユニットを搭載可能で、床上を走行可能な運搬用台車が設けられ、前記運搬用台車によって前記搬送レールユニットが設置位置の前記サイドバーの下方に搬送されることを特徴としてもよい。 The construction method for the in-factory ceiling transport system according to the present invention may also be characterized in that a transport cart capable of mounting the transport rail unit and running on the floor is provided, and the transport cart transports the transport rail unit to below the side bar at the installation position.

この場合には、搬送レールユニットを天井の所定位置に設置する際に、運搬用台車に搬送レールユニットを搭載して搬送することができ、設置位置のサイドバーの下方に容易に搬送できるので、施工効率を向上することができる。 In this case, when installing the transport rail unit in a designated position on the ceiling, the transport rail unit can be loaded onto a transport cart and transported, and can be easily transported below the side bar at the installation position, improving construction efficiency.

本発明の建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法によれば、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レールを設置することができ、工期を短縮できる。
また、本発明によれば、天井搬送レールの軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行うことができる。
さらに、本発明によれば、装置レイアウトの変更を容易に行うことができる。
According to the in-building ceiling conveying system and in-building ceiling conveying rail construction method of the present invention, a dedicated suspension point for the ceiling conveying rail is not required, and the ceiling conveying rail can be installed without the need for a dedicated suspension point or the construction of a ceiling panel, thereby shortening the construction period.
Furthermore, according to the present invention, trajectory correction and highly accurate position adjustment of the ceiling transport rail can be performed efficiently and with simple operations.
Furthermore, according to the present invention, the layout of the device can be easily changed.

本発明の第1実施形態による建物内天井搬送システムの構成を示す側面図である。1 is a side view showing the configuration of an indoor ceiling transportation system according to a first embodiment of the present invention; 搬送レールユニットをサイドバーに組み付ける施工状態を示す斜視図である。13 is a perspective view showing a construction state in which the transport rail unit is assembled to the side bar. FIG. 搬送レールユニットを運搬用台車を使用して搬送している状態を示す斜視図である。11 is a perspective view showing a state in which the transport rail unit is being transported using a transport cart. FIG. 運搬用台車の構成を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a configuration of a transport cart. 搬送レールユニットの位置調整方法を示す斜視図であって、(a)は移動前の図、(b)は第2方向Yに移動させた状態を示す図、(c)は第1方向Xに移動させた状態を示す図である。11A and 11B are perspective views showing a method for adjusting the position of a conveying rail unit, in which (a) is a diagram before movement, (b) is a diagram showing the state after it has been moved in the second direction Y, and (c) is a diagram showing the state after it has been moved in the first direction X. 第2実施形態による建物内天井搬送システムの構成を示す側面図である。A side view showing the configuration of the indoor ceiling transportation system according to the second embodiment.

以下、本発明の実施形態による建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法について、図面に基づいて説明する。 Below, an embodiment of the in-building ceiling transport system and an in-building ceiling transport rail installation method according to the present invention will be described with reference to the drawings.

(第1実施形態)
本実施形態による建物内天井搬送システム1は、図1に示すように、クリーンルーム等の半導体工場(建物)の天井に採用され、建物の天井に物品(ここでは、ウェハー)が収容された収容部2Aを搬送するための天井搬送レール2を備えた自動搬送設備である。
First Embodiment
The in-building ceiling transport system 1 according to this embodiment is an automatic transport equipment that is adopted in the ceiling of a semiconductor factory (building) such as a clean room, as shown in FIG. 1, and is equipped with ceiling transport rails 2 for transporting a storage section 2A that contains items (here, wafers) to the ceiling of the building.

建物内天井搬送システム1、建物の不図示の天井(躯体天面)に吊り下げられた下地フレーム11によって支持された天井パネル12を備えた吊り天井10と、下地フレーム11に支持され天井搬送レール2の延在方向である第1方向Xに直交する第2方向Yに延び第1方向Xに間隔をあけて設けられる複数のサイドバー3と、天井搬送レール2を上方から連結した状態でユニット化して第1方向Xに延びるユニットフレーム4と、を備えている。 The building ceiling transport system 1 comprises a suspended ceiling 10 having a ceiling panel 12 supported by a base frame 11 suspended from the building ceiling (top surface of the building structure) (not shown), a plurality of side bars 3 supported by the base frame 11 and extending in a second direction Y perpendicular to the first direction X, which is the extension direction of the ceiling transport rail 2, and spaced apart in the first direction X, and a unit frame 4 in which the ceiling transport rail 2 is connected from above to form a unit and extends in the first direction X.

ここで、本実施形態の天井搬送レール2は、半導体装置のレイアウトによって適宜な配置に設置されるものであり、天井搬送レール2の延在方向を示す第1方向X(第2方向Yも同様)は特定の向きであることに限定されない。また、天井搬送レール2は、半導体装置のレイアウト変更に合わせて変更可能に設けられている。
また、躯体天面とは、躯体の天井、天井空間、天井空間に設けられた下地材等を含めた領域をいう。
Here, the ceiling conveying rail 2 of this embodiment is installed in an appropriate position depending on the layout of the semiconductor device, and the first direction X (as well as the second direction Y) indicating the extension direction of the ceiling conveying rail 2 is not limited to a specific direction. Moreover, the ceiling conveying rail 2 is provided so as to be changeable in accordance with changes in the layout of the semiconductor device.
In addition, the top surface of the structure refers to the area including the ceiling of the structure, the ceiling space, and the base materials installed in the ceiling space.

吊り天井10は、躯体天面から吊り下げられた複数の吊り部材13と、吊り部材13を介して支持される野縁受けや野縁からなる下地フレーム11と、下地フレーム11の下方に取り付けられた天井パネル12と、を有している。 The suspended ceiling 10 has a number of hanging members 13 suspended from the top surface of the structure, a base frame 11 consisting of rafters and rafters supported via the hanging members 13, and a ceiling panel 12 attached below the base frame 11.

吊り部材13は、例えばL型鋼材などの上下方向に延びる長尺部材が採用され、上端部が躯体天面に定着されて垂下され、下端部が連結治具等を用いて下地フレーム11に接続している。吊り部材13は、横方向に所定の間隔をあけて配置されている。 The hanging members 13 are long members that extend in the vertical direction, such as L-shaped steel members, with their upper ends fixed to and hanging down from the top surface of the structure, and their lower ends connected to the base frame 11 using a connecting jig or the like. The hanging members 13 are arranged at predetermined intervals in the horizontal direction.

下地フレーム11は、水平面内で縦横に所定の間隔をあけて平行に延設されている。下地フレーム11の下側には、接続治具14や吊りボルト15を使用して天井パネル12が吊り下げられた状態で設けられている。 The base frame 11 is installed in parallel at a predetermined interval in both the vertical and horizontal directions in a horizontal plane. The ceiling panel 12 is suspended from the underside of the base frame 11 using a connecting jig 14 and a hanging bolt 15.

天井パネル12は、上述したように複数の下地フレーム11に対して接続治具14や吊りボルト15を介して天井面を形成している。
本実施形態の天井パネル12は、天井搬送レール2が配置される領域において、天井面が高くなるように凹状部12Aが形成されている。ここで、凹状部12Aは、天面部121と、互いに対向する内側面部122と、を有している。
As described above, the ceiling panel 12 forms a ceiling surface by connecting to a plurality of base frames 11 via connecting jigs 14 and hanging bolts 15 .
In the present embodiment, the ceiling panel 12 is formed with a recessed portion 12A so that the ceiling surface is elevated in the region where the ceiling transport rail 2 is disposed. Here, the recessed portion 12A has a top surface portion 121 and inner side surface portions 122 opposed to each other.

天井搬送レール2は、図1乃至図3に示すように、下側に開口する凹断面で一方向(第1方向X)に延在し、物品を収容し保持可能な収容部2Aを案内する。天井搬送レール2は、図3に示すように、天壁21と、両側壁22と、から形成されている。
両側壁22の外面上部には、第2方向の外側に張り出した凸部23が天井搬送レール2の長さ方向に所定間隔をあけて設けられている。複数の凸部23は、天井搬送レール2において同じ高さに配置されている。そして、凸部23の上面23aには、後述する上下昇降部材43の下端が固定される。天井搬送レール2は、上述したようにユニットフレーム4とともにユニット化されて一体的に設けられている。
1 to 3, the ceiling transport rail 2 extends in one direction (first direction X) with a concave cross section that opens downward, and guides the storage section 2A capable of storing and holding articles. The ceiling transport rail 2 is formed of a top wall 21 and both side walls 22 as shown in FIG.
Convex portions 23 that protrude outward in the second direction are provided at a predetermined interval along the length of the ceiling transport rail 2 on the upper outer surfaces of both side walls 22. The multiple convex portions 23 are arranged at the same height on the ceiling transport rail 2. The lower ends of the vertical lifting members 43, which will be described later, are fixed to the upper surfaces 23a of the convex portions 23. The ceiling transport rail 2 is provided integrally with the unit frame 4 as a unit, as described above.

サイドバー3は、図1に示すように、例えばレースウェイ、H形鋼、L形鋼、溝型鋼等の長尺の鋼材が採用され、平面部分(被摺動面3a)を上に向けた状態で配置されている。サイドバー3は、天井パネル12の凹状部12A内において、第2方向Yに延在するように配置され、吊りボルト15によって下地フレーム11から吊り下げられている(図2参照)。サイドバー3は、凹状部12Aの天面部121に寄りの高さに不図示の高さ調整部材を使用して配置され、サイドバー3に吊り下げられた天井搬送レール2の下端2aが天井パネル12の下面12aより上方に位置するように高さが決定されている。
第2方向Yに延びるサイドバー3は、1つの天井搬送レール2(ユニットフレーム4)に対して複数本が第1方向Xに間隔をあけて設けられている。
As shown in Fig. 1, the side bar 3 is made of a long steel material such as a raceway, an H-shaped steel, an L-shaped steel, or a channel steel, and is arranged with its flat surface (sliding surface 3a) facing upward. The side bar 3 is arranged to extend in the second direction Y in the recessed portion 12A of the ceiling panel 12, and is suspended from the base frame 11 by a suspension bolt 15 (see Fig. 2). The side bar 3 is arranged at a height close to the top surface portion 121 of the recessed portion 12A using a height adjustment member (not shown), and the height is determined so that the lower end 2a of the ceiling transport rail 2 suspended from the side bar 3 is located above the lower surface 12a of the ceiling panel 12.
A plurality of side bars 3 extending in the second direction Y are provided at intervals in the first direction X for one ceiling transport rail 2 (unit frame 4).

ユニットフレーム4は、図2に示すように、複数のサイドバー3の上面である被摺動面3aに載置させた状態で位置し、第1方向X、第2方向Y、及び上下方向Zに移動可能に設けられ、位置調整された所定位置でサイドバー3に対して吊り下げられた状態で支持されている。ユニットフレーム4は、図3に示すように、例えばレースウェイ、H形鋼、L形鋼、溝型鋼等の長尺の鋼材からなり、水平面内で枠状に形成されている。 As shown in FIG. 2, the unit frame 4 is placed on the sliding surface 3a, which is the upper surface of the side bars 3, and is movable in the first direction X, the second direction Y, and the up-down direction Z, and is supported in a suspended state relative to the side bars 3 at a predetermined position that has been adjusted. As shown in FIG. 3, the unit frame 4 is made of long steel material such as a raceway, H-shaped steel, L-shaped steel, or channel steel, and is formed into a frame shape in a horizontal plane.

具体的にユニットフレーム4は、図3に示すように、間隔をあけて平行に配置される一対の縦部材41と、縦部材41同士を連結する3本の横部材42と、を有している。ユニットフレーム4は、縦部材41を天井搬送レール2の長手方向(第1方向X)と平行にして、後述する上下昇降部材43を介して天井搬送レール2とともにユニット化されている。ここで、天井搬送レール2に対して第1方向Xに延びるユニットフレーム4によって上方から連結した状態でユニット化したものを搬送レールユニット40とする。 Specifically, as shown in FIG. 3, the unit frame 4 has a pair of vertical members 41 arranged in parallel with a gap between them, and three horizontal members 42 that connect the vertical members 41 to each other. The unit frame 4 is unitized with the ceiling conveyor rail 2 via the up-down lifting member 43 described below, with the vertical members 41 parallel to the longitudinal direction (first direction X) of the ceiling conveyor rail 2. Here, the unitized state in which the ceiling conveyor rail 2 is connected from above by the unit frame 4 extending in the first direction X is called the conveyor rail unit 40.

ユニットフレーム4は、図3に示すように、天井搬送レール2の左右両側から上方に突出した上下昇降部材43に固定されている。上下昇降部材43は、天井搬送レール2とユニットフレーム4との間において上下方向Zの長さを調整して固定可能に設けられている。上下昇降部材43は、ボルト材であり、ユニットフレーム4に形成されるボルト穴(図示省略)を使用してナット(図示省略)を締結することでユニットフレーム4に固定する構成とすることができる。そして、上下昇降部材43に対してナットの位置を調整することで、天井搬送レール2とユニットフレーム4との離間、すなわち双方の高さを調整することができる。 As shown in FIG. 3, the unit frame 4 is fixed to vertical lifting members 43 that protrude upward from both the left and right sides of the ceiling conveyor rail 2. The vertical lifting members 43 are provided between the ceiling conveyor rail 2 and the unit frame 4 so that their length in the vertical direction Z can be adjusted and fixed. The vertical lifting members 43 are bolt materials, and can be fixed to the unit frame 4 by fastening nuts (not shown) using bolt holes (not shown) formed in the unit frame 4. The position of the nuts relative to the vertical lifting members 43 can be adjusted to adjust the distance between the ceiling conveyor rail 2 and the unit frame 4, i.e., the heights of both.

図3及び図4に示すように、搬送レールユニット40をサイドバー3に組み付ける施工時には、搬送レールユニット40を搭載可能で、床上を走行可能な運搬用台車5が使用される。運搬用台車5は、車輪51を有する走行台52と、走行台52の左右から上方に立設された一対の支柱53と、これら支柱53の上端同士を連結して第2方向Yに延びる載置横材54と、を備えている。支柱53は、一対の斜め支持材55によって走行台52に支持されている。載置横材54にはユニットフレーム4が載置される。図3に示すように、複数(ここでは3台)の運搬用台車5を第1方向Xに並べて使用することで、長尺な搬送レールユニット40を搬送することができる。 As shown in Figures 3 and 4, when assembling the transport rail unit 40 to the side bar 3, a transport cart 5 capable of mounting the transport rail unit 40 and running on the floor is used. The transport cart 5 includes a running platform 52 having wheels 51, a pair of support pillars 53 erected upward from the left and right sides of the running platform 52, and a horizontal support member 54 that connects the upper ends of the support pillars 53 and extends in the second direction Y. The support pillars 53 are supported by the running platform 52 through a pair of diagonal supports 55. The unit frame 4 is placed on the horizontal support member 54. As shown in Figure 3, a long transport rail unit 40 can be transported by arranging multiple (here, three) transport carts 5 in the first direction X.

次に、上述した建物内天井搬送システム1の天井搬送レール2を設置する施工方法について、図面を用いて具体的に説明する。
先ず、図1に示すように、建物の躯体天面に吊り下げられた下地フレーム11によって支持された天井パネル12を備えた吊り天井10を設ける。そして、本実施形態では、下地フレーム11の設置が完了したタイミングで、下地フレーム11にサイドバー3を設ける作業を開始する。
Next, a construction method for installing the ceiling transport rails 2 of the above-mentioned in-building ceiling transport system 1 will be specifically described with reference to the drawings.
First, as shown in Fig. 1, a suspended ceiling 10 is provided that includes a ceiling panel 12 supported by a base frame 11 suspended from the top surface of the building's framework. In this embodiment, once the installation of the base frame 11 is complete, the work of providing the side bars 3 on the base frame 11 begins.

図2に示すように、下地フレーム11に複数の吊りボルト15を設け、これら吊りボルト15を使用して複数のサイドバー3を所定高さで水平方向に延びるように設ける。このときのサイドバー3は、天井搬送レール2の第1方向Xに直交する第2方向Yに延び第1方向Xに間隔をあけて配置される。なお、吊りボルト15は、天井パネル12を吊り下げ支持するために使用されるが、サイドバー3を設置する部分の吊りボルト15を先行して施工するようにしてもよい。 As shown in FIG. 2, multiple hanging bolts 15 are provided on the base frame 11, and multiple side bars 3 are installed to extend horizontally at a predetermined height using these hanging bolts 15. At this time, the side bars 3 extend in a second direction Y perpendicular to the first direction X of the ceiling transport rail 2, and are arranged at intervals in the first direction X. Note that the hanging bolts 15 are used to suspend and support the ceiling panel 12, but the hanging bolts 15 in the area where the side bars 3 are to be installed may be installed first.

次に、上記作業と並行して、図3に示すように、天井搬送レール2に対して第1方向Xに延びるユニットフレーム4によって上方から連結した状態でユニット化した搬送レールユニット40を形成しておく。搬送レールユニット40は、天井搬送レール2の左右両側の側壁22に第1方向Xに間隔をあけて複数の凸部23を取り付け、この凸部23の上面に対して上下昇降部材43を介してユニットフレーム4を固定することにより一体的に組み立てられる。
そして、一体化された搬送レールユニット40は、複数の運搬用台車5に搭載し、床上を走行させて搬送レールユニット40を設置する位置のサイドバー3の下方まで搬送される。
Next, in parallel with the above work, as shown in Fig. 3, a unitized transport rail unit 40 is formed in a state in which the ceiling transport rail 2 is connected from above by a unit frame 4 extending in the first direction X. The transport rail unit 40 is integrally assembled by attaching a plurality of protrusions 23 to the side walls 22 on both the left and right sides of the ceiling transport rail 2 at intervals in the first direction X, and fixing the unit frame 4 to the upper surfaces of the protrusions 23 via vertical lifting members 43.
The integrated transport rail unit 40 is then loaded onto a number of transport carts 5 and transported along the floor to a position below the side bar 3 where the transport rail unit 40 is to be installed.

その後、図3に示すように、搬送レールユニット40を複数の運搬用台車5から取り外し、高所作業車6を使用して搬送レールユニット40をユニットフレーム4が複数のサイドバー3の上側となるように上昇させ、これらサイドバー3の上面(被摺動面3a)上にユニットフレーム4を載置した状態で配置する。
なお、搬送レールユニット40を運搬用台車5に取り付けた状態のまま、サイドバー3上に配置する施工であってもよい。
Then, as shown in Figure 3, the conveying rail unit 40 is removed from the multiple transport carts 5, and the conveying rail unit 40 is raised using an aerial work vehicle 6 so that the unit frame 4 is above the multiple side bars 3, and the unit frame 4 is placed on the upper surfaces (sliding surfaces 3a) of these side bars 3.
In addition, the transport rail unit 40 may be placed on the side bar 3 while still attached to the transport cart 5.

続いて、図5(a)、(b)、(c)に示すように、搬送レールユニット40の位置調整を行う。具体的には、図5(c)に示すように第1方向X、及び図5(b)に示すように第2方向Yへの位置調整は、サイドバー3の被摺動面3a上をユニットフレーム4を摺動させて調整する。そして、図5(a)に示すように上下方向Zの位置調整は、上下昇降部材43の不図示のナットの位置を調整することで位置調整する。搬送レールユニット40は、所定位置でサイドバー3に対して所定の固定手段によって固定されて吊り下げられた状態で支持される。
これによって、天井搬送レール2の設置が完了となる。なお、天井搬送レール2は、所定の長さに設定されたものであるので、第1方向Xを適宜な方向に向けて連結されることにより施工される。
Next, the position of the transport rail unit 40 is adjusted as shown in Figures 5(a), (b), and (c). Specifically, the position adjustment in the first direction X as shown in Figure 5(c) and the second direction Y as shown in Figure 5(b) is performed by sliding the unit frame 4 on the sliding surface 3a of the side bar 3. Then, the position adjustment in the vertical direction Z as shown in Figure 5(a) is performed by adjusting the position of a nut (not shown) of the vertical lift member 43. The transport rail unit 40 is supported in a suspended state, fixed to the side bar 3 at a predetermined position by a predetermined fixing means.
This completes the installation of the ceiling transport rail 2. Since the ceiling transport rail 2 is set to a predetermined length, it is installed by connecting the first direction X in an appropriate direction.

次に、上述した建物内天井搬送システム1、及び建物内天井搬送レールの施工方法の作用について、図面に基づいて詳細に説明する。
本実施形態では、図4に示すように、天井搬送レール2をユニット化したユニットフレーム4を吊り下げた状態で支持するサイドバー3が吊り天井10の下地フレーム11に支持されることから、下地フレーム11の施工が完成した段階で、その下地フレーム11に対してサイドバー3の取り付け作業を行って、ユニットフレーム4とともに天井搬送レール2を施工することができる。
そのため、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レール2を設置することができる。すなわち、専用の吊り元や天井パネルの完成前に天井搬送レール2を施工することができ、工期を短縮できる。
Next, the operation of the above-mentioned indoor ceiling transport system 1 and the method of installing the indoor ceiling transport rail will be described in detail with reference to the drawings.
In this embodiment, as shown in Figure 4, the side bars 3 that support the unit frame 4, which is a unitized version of the ceiling transport rail 2, in a suspended state are supported by the base frame 11 of the suspended ceiling 10.Therefore, once the construction of the base frame 11 is completed, the side bars 3 can be attached to the base frame 11, and the ceiling transport rail 2 can be constructed together with the unit frame 4.
Therefore, a dedicated suspension point for the ceiling conveyor rail is not required, and the ceiling conveyor rail 2 can be installed regardless of the construction of the dedicated suspension point or ceiling panel. In other words, the ceiling conveyor rail 2 can be installed before the dedicated suspension point or ceiling panel is completed, thereby shortening the construction period.

また、本実施形態では、複数のサイドバー3に対して案内可能な状態でユニットフレーム4が配置されるため、サイドバー3の上面の被摺動面3aに案内させることでユニットフレーム4を図5(c)に示す第1方向X及び図5(b)に示す第2方向Yに容易に移動させることができ、かつ図5(c)に示す上下方向Zにも移動させることが可能となる。このように、ユニットフレーム4を効率よく簡単な作業により高い精度で位置調整を行うことができ、工期の短縮を図ることができる。 In addition, in this embodiment, the unit frame 4 is arranged in a state in which it can be guided relative to the multiple side bars 3, so that by guiding it along the sliding surface 3a on the upper surface of the side bar 3, the unit frame 4 can be easily moved in the first direction X shown in FIG. 5(c) and the second direction Y shown in FIG. 5(b), and can also be moved in the vertical direction Z shown in FIG. 5(c). In this way, the position of the unit frame 4 can be adjusted efficiently and with high accuracy through simple work, and the construction period can be shortened.

また、本実施形態では、軽微な装置レイアウトの変更の場合には、ユニットフレーム4におけるサイドバー3に対する固定を解除することで、ユニットフレーム4を第1方向X、第2方向Y、及び上下方向Zの位置を調整することができる。
また、サイドバー3に対するユニットフレーム4の移動範囲を超えた大幅なレイアウト変更を行う場合であっても、天井搬送レール2の施工を前倒しすることによって装置レイアウトの変更にかかる工事期間をより長く確保することができる。このように本実施形態では、装置レイアウト変更に対する高い追従性をもたせることができる。
In addition, in this embodiment, in the case of minor changes to the device layout, the position of the unit frame 4 in the first direction X, the second direction Y, and the up-down direction Z can be adjusted by releasing the unit frame 4 from its fixed position relative to the side bar 3.
Furthermore, even when making a major layout change that exceeds the range of movement of the unit frame 4 relative to the side bar 3, it is possible to secure a longer construction period for changing the device layout by advancing the construction of the ceiling conveyor rails 2. In this manner, this embodiment can provide high adaptability to changes in the device layout.

さらに、本実施形態では、サイドバー3を躯体の天井や天井空間である躯体天面に対して設ける構成であるので、従来のように天井パネルや専用の吊り元に天井搬送レールを設ける場合に比べて、サイドバー3を上下方向Zの任意の高さに設置することができる。そのため、例えば、本実施形態のように天井懐のデッドスペースがある場合に、このデッドスペースにサイドバー3と天井搬送レール2を配置することも可能となり、スペースを有効的に利用できる。 Furthermore, in this embodiment, the side bar 3 is attached to the ceiling of the structure or to the top surface of the structure, which is the ceiling space. Therefore, compared to the conventional case where the ceiling transport rail is attached to a ceiling panel or a dedicated hanging point, the side bar 3 can be installed at any height in the vertical direction Z. Therefore, for example, if there is dead space in the ceiling pocket as in this embodiment, it is possible to place the side bar 3 and ceiling transport rail 2 in this dead space, making effective use of the space.

また、本実施形態では、ユニットフレーム4をサイドバー3に対して吊り下げて支持させる際に、ユニットフレーム4の上下方向Zの位置を、サイドバー3に設けられる高さ調整部材(図示省略)を使用して容易に調整することができる。 In addition, in this embodiment, when the unit frame 4 is suspended and supported by the side bar 3, the position of the unit frame 4 in the up-down direction Z can be easily adjusted using a height adjustment member (not shown) provided on the side bar 3.

さらに、本実施形態では、ユニットフレーム4が水平面内で枠状に形成され、複数のサイドバー3に対して枠状のユニットフレーム4が安定した姿勢で載置されるので、ユニットフレーム4を位置調整する際にサイドバー3の上面の被摺動面3aに案内させることで精度よく移動させることができる。 Furthermore, in this embodiment, the unit frame 4 is formed in a frame shape in a horizontal plane, and the frame-shaped unit frame 4 is placed in a stable position relative to the multiple side bars 3, so that when adjusting the position of the unit frame 4, it can be moved with precision by being guided by the sliding surface 3a on the upper surface of the side bar 3.

また、本実施形態では、搬送レールユニット40を天井の所定位置に設置する際に、運搬用台車5に搬送レールユニット40を搭載して搬送することができ、設置位置のサイドバー3の下方に容易に搬送できるので、施工効率を向上することができる。 In addition, in this embodiment, when installing the transport rail unit 40 at a specified position on the ceiling, the transport rail unit 40 can be loaded onto the transport cart 5 and transported, and can be easily transported below the side bar 3 at the installation position, thereby improving construction efficiency.

また、上述したように、天井パネル12の施工前に天井搬送レール2を設置する工事に着工することができるので、本実施形態のような半導体製造工場の場合のように、半導体製造装置の稼働時期とほぼ同時期に天井搬送レール2の使用開始が可能となり、生産効率を向上させることができる。すなわち、半導体製造装置の稼働時には天井搬送レール2の施工を完了させることが可能なため、天井搬送レール2の施工と同時期に半導体製造装置を設置・稼働する場合のような施工に対する清浄度管理が不要となりクリーンルームの汚染対策を低減することができ、施工効率を向上することが可能となる。例えば、天井搬送レール2の施工が半導体製造装置設置・半導体製造と同時期とならないので、作業員は通常の作業着で施工することができ作業環境が向上し、また発塵防止措置が不要のため作業効率を重視した機材の使用が可能となり、さらに天井搬送レール2への養生材が一重で済み、開梱作業にかかる手間とコストを低減することができる。 As described above, the construction of the ceiling conveyor rail 2 can be started before the construction of the ceiling panel 12, so that the use of the ceiling conveyor rail 2 can be started almost at the same time as the operation of the semiconductor manufacturing equipment, as in the case of a semiconductor manufacturing factory such as this embodiment, and production efficiency can be improved. In other words, since the construction of the ceiling conveyor rail 2 can be completed when the semiconductor manufacturing equipment is in operation, cleanliness control for construction, as in the case of installing and operating the semiconductor manufacturing equipment at the same time as the construction of the ceiling conveyor rail 2, is not required, and it is possible to reduce contamination measures for the clean room and improve construction efficiency. For example, since the construction of the ceiling conveyor rail 2 is not performed at the same time as the installation of the semiconductor manufacturing equipment and semiconductor manufacturing, workers can work in normal work clothes, improving the work environment, and since dust prevention measures are not required, equipment that emphasizes work efficiency can be used. Furthermore, only one layer of protective material is required for the ceiling conveyor rail 2, which reduces the effort and cost required for unpacking work.

なお、天井面の凹状部12Aに通気口を設けることで、その形状とクリーンルームと天井裏(天井チャンバー内)の圧力差を利用して天井搬送レール2をビーグルが通過した際の塵埃を効率的に天井裏に誘引しクリーンルームへの汚染を防止することができる。 In addition, by providing an air vent in the recessed portion 12A of the ceiling surface, the shape and the pressure difference between the clean room and the ceiling space (inside the ceiling chamber) can be used to efficiently attract dust into the ceiling space when the vehicle passes over the ceiling transport rail 2, preventing contamination of the clean room.

上述のように本実施形態による建物内天井搬送システム1、及び建物内天井搬送レールの施工方法では、天井搬送レール専用の吊り元が不要となり、専用の吊り元や天井パネルの施工に関わらずに天井搬送レール2を設置することができ、工期を短縮できる。
また、本実施形態では、天井搬送レール2の軌道修正や精度の高い位置調整を効率よく簡単な作業により行うことができる。
さらに、本実施形態では、装置レイアウトの変更を容易に行うことができる。
As described above, the building interior ceiling conveying system 1 and the construction method for the building interior ceiling conveying rail according to this embodiment eliminate the need for a dedicated hanging point for the ceiling conveying rail, and the ceiling conveying rail 2 can be installed without the need for a dedicated hanging point or the construction of a ceiling panel, thereby shortening the construction period.
Furthermore, in this embodiment, trajectory correction and highly accurate position adjustment of the ceiling transport rail 2 can be performed efficiently and simply.
Furthermore, in this embodiment, the layout of the device can be easily changed.

(第2実施形態)
図6に示すように、第2実施形態における建物内天井搬送システム1Aは、搬送レールユニット40を上下に2層化に配置した構成となっている。なお、上述した第1実施形態は、天井パネル12より上方となる位置(凹状部12A)に1層の天井搬送レール2を設置した一例である。
Second Embodiment
As shown in Fig. 6, the in-building ceiling transport system 1A in the second embodiment is configured with two layers of transport rail units 40 arranged above and below. Note that the above-mentioned first embodiment is an example in which one layer of ceiling transport rails 2 is installed at a position (recessed portion 12A) above the ceiling panel 12.

第2実施形態における建物内天井搬送システム1Aでは、サイドバー3が上下方向Zに2段で設けられている。下段側サイドバー3Bは、直上の上段側サイドバー3Aにガイド吊り材31によって吊り下げられている。 In the second embodiment of the building ceiling transport system 1A, the side bars 3 are arranged in two tiers in the vertical direction Z. The lower tier side bar 3B is suspended from the upper tier side bar 3A directly above it by a guide hanging material 31.

上段側サイドバー3Aには、ユニットフレーム4に天井搬送レール2がユニット化された搬送レールユニット40が設けられている。下段側サイドバー3Bは、上段側サイドバー3Aに設けられる搬送レールユニット40で搬送する収容部2A(物品)より低い位置に配置されている。下段側サイドバー3Bには、天井搬送レール2が固定されている。下段側の天井搬送レール2は、ユニットフレーム4を設けずに、固定具24を介して下段側サイドバー3Bに吊り下げられている。 The upper side bar 3A is provided with a transport rail unit 40 in which the ceiling transport rail 2 is unitized with a unit frame 4. The lower side bar 3B is positioned lower than the storage section 2A (item) transported by the transport rail unit 40 provided on the upper side bar 3A. The ceiling transport rail 2 is fixed to the lower side bar 3B. The lower ceiling transport rail 2 is suspended from the lower side bar 3B via a fixture 24 without a unit frame 4.

第2実施形態の場合には、天井搬送レール2を上下方向Zに複層化することが可能となる。また、本実施形態のように、天井懐のデッドスペースに上段側サイドバー3Aと天井搬送レール2を配置して天井搬送レール2を複層化する場合には、従来のように上段の天井搬送レールの位置まで天井パネルを上げて天井パネルを設置する必要がなくなるため、階高の増大を抑えることができる。 In the case of the second embodiment, it is possible to make the ceiling conveying rail 2 multi-layered in the vertical direction Z. Also, when the ceiling conveying rail 2 is multi-layered by arranging the upper side bar 3A and the ceiling conveying rail 2 in the dead space of the ceiling pocket as in this embodiment, there is no need to raise the ceiling panel to the position of the upper ceiling conveying rail and install the ceiling panel as in the conventional case, so the increase in floor height can be suppressed.

また、第2実施形態では、天井パネル12にクリーンルーム内に吹き出す空調機71が設けられ、凹状部12Aの天面部121の左右中央に排気口72を設けている。排気口72の位置は上段の天井搬送レール2の上部に位置している。これにより、空調機71より吹き出された空気Eが排気口72側に向けて流れることから、天井搬送レール2を収容部2Aが走行する際に発生した塵埃Fを天井チャンバー16内に誘引し、クリーンルームへの汚染を防止することができ、クリーンルーム内の清浄度を保つことができる。
なお、排気口72の取り付け位置は、本実施形態では天井搬送レール2の上部としているが、この位置に限定されることはなく、例えば凹状部12Aの側面に配置することも可能である。
In the second embodiment, an air conditioner 71 that blows air into the clean room is provided on the ceiling panel 12, and an exhaust port 72 is provided in the center of the left and right of the top surface 121 of the recessed portion 12A. The exhaust port 72 is located above the upper ceiling transport rail 2. As a result, air E blown out from the air conditioner 71 flows toward the exhaust port 72, so that dust F generated when the storage section 2A travels on the ceiling transport rail 2 is attracted into the ceiling chamber 16, preventing contamination of the clean room and maintaining the cleanliness of the clean room.
In this embodiment, the exhaust port 72 is attached to the upper part of the ceiling transport rail 2, but is not limited to this position and can also be disposed, for example, on the side surface of the recessed portion 12A.

以上、本発明による建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。 The above describes an embodiment of the in-building ceiling transport system and the in-building ceiling transport rail installation method according to the present invention, but the present invention is not limited to the above embodiment and can be modified as appropriate without departing from the spirit of the invention.

例えば、本実施形態では、躯体天面に吊り天井10を設け、釣り天井10の下地フレーム11に対してサイドバー3を支持させた構成としているが、吊り天井10が設けられる構成に限定されることはない。例えば、サイドバー3を直接、躯体天面に設ける構成であってもよい。 For example, in this embodiment, a suspended ceiling 10 is provided on the top surface of the structure, and the side bars 3 are supported by the base frame 11 of the suspended ceiling 10, but the configuration is not limited to a suspended ceiling 10. For example, the side bars 3 may be provided directly on the top surface of the structure.

また、本実施形態では、ユニットフレーム4を複数のサイドバー3の上側に載置した状態で第1方向X、第2方向Y、及び上下方向Zに移動可能に設けられているが、サイドバー3の上側にユニットフレーム4を設けることに限定されることはない。例えば、サイドバー3の下側にユニットフレーム4を設けて、サイドバー3の下面に沿って案内させることで第1方向X及び第2方向に移動可能な構成としてもよい。 In addition, in this embodiment, the unit frame 4 is placed on the upper side of the multiple side bars 3 and is movable in the first direction X, the second direction Y, and the up-down direction Z, but the unit frame 4 is not limited to being provided on the upper side of the side bars 3. For example, the unit frame 4 may be provided on the lower side of the side bars 3 and guided along the lower surface of the side bars 3, allowing it to move in the first direction X and the second direction.

また、本実施形態では、ユニットフレーム4(搬送レールユニット40)の上下方向Zの高さ調整方法として、ユニットフレーム4と天井搬送レール2との間に設けられる上下昇降部材43で行う構成としているが、このような上下昇降部材43による高さ調整方法に限定されることはない。例えば、下地フレーム11からサイドバー3を吊り下げる吊りボルト15のボルト固定位置を調整することにより、サイドバー3自体の高さを調整する方法としてもよい。 In addition, in this embodiment, the height adjustment method in the up-down direction Z of the unit frame 4 (transport rail unit 40) is performed using the up-down lifting member 43 provided between the unit frame 4 and the ceiling transport rail 2, but the height adjustment method is not limited to this type of up-down lifting member 43. For example, the height of the side bar 3 itself may be adjusted by adjusting the bolt fixing position of the hanging bolt 15 that suspends the side bar 3 from the base frame 11.

また、ユニットフレーム4として、本実施形態では水平面内で枠状に形成された構成としているが、ユニットフレーム4の大きさ、形状等の構成はとくに限定されることはなく、天井搬送レール2の形状等に対応して適宜設定することができる。 In addition, in this embodiment, the unit frame 4 is configured to be frame-shaped within a horizontal plane, but the size, shape, and other configurations of the unit frame 4 are not particularly limited and can be set appropriately in accordance with the shape, etc., of the ceiling conveying rail 2.

さらに、本実施形態では、搬送レールユニット40をサイドバー3に設置する際に、運搬用台車5に搬送レールユニット40を搭載して床上を走行し、サイドバー3の下方に配置した後に、高所作業車6によって搬送レールユニット40のユニットフレーム4をサイドバー3に載置する作業を行っているが、運搬用台車5を使用することに制限されることはない。また、高所作業車6でなく、足場を設置して施工するようにしてもかまわない。 Furthermore, in this embodiment, when installing the transport rail unit 40 on the side bar 3, the transport rail unit 40 is loaded onto the transport cart 5 and driven along the floor, and then placed below the side bar 3, and the unit frame 4 of the transport rail unit 40 is placed on the side bar 3 using the aerial work vehicle 6, but this is not limited to using the transport cart 5. Also, instead of using the aerial work vehicle 6, scaffolding may be installed for construction.

また、天井搬送レール2の長さ、サイドバー3の本数、形状、配置間隔等は、適宜変更可能である。 In addition, the length of the ceiling transport rail 2, the number of side bars 3, their shape, spacing, etc. can be changed as appropriate.

その他、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、上記した実施形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能である。 In addition, the components in the above-described embodiments may be replaced with well-known components as appropriate without departing from the spirit of the present invention.

1、1A 建物内天井搬送システム
2 天井搬送レール
2A 収容部
2a 下端
3 サイドバー
3a 被摺動面
4 ユニットフレーム
5 運搬用台車
10 吊り天井
11 下地フレーム
12 天井パネル
12a 下面
12A 凹状部
13 吊り部材
23 凸部
40 搬送レールユニット
X 第1方向
Y 第2方向
Z 上下方向
REFERENCE SIGNS LIST 1, 1A In-building ceiling transport system 2 Ceiling transport rail 2A Storage section 2a Lower end 3 Side bar 3a Sliding surface 4 Unit frame 5 Transport cart 10 Suspended ceiling 11 Base frame 12 Ceiling panel 12a Lower surface 12A Concave section 13 Suspension member 23 Convex section 40 Transport rail unit X First direction Y Second direction Z Up-down direction

Claims (8)

建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを備えた建物内天井搬送システムであって、
前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの延在方向である第1方向に直交する第2方向に延び前記第1方向に間隔をあけて設けられる複数のサイドバーと、
前記天井搬送レールを上方から連結した状態でユニット化して前記第1方向に延びるユニットフレームと、
を備え、
前記ユニットフレームは、前記複数のサイドバーに対して前記第1方向、前記第2方向、及び上下方向に移動可能に設けられ、位置調整された所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持されていることを特徴とする建物内天井搬送システム。
A building ceiling transport system having a ceiling transport rail for transporting an article to a ceiling surface of a building frame,
A plurality of side bars supported on the top surface of the building body, extending in a second direction perpendicular to the first direction in which the ceiling transport rail extends, and spaced apart in the first direction;
a unit frame that is unitized by connecting the ceiling transport rails from above and extends in the first direction;
Equipped with
An indoor ceiling transportation system characterized in that the unit frame is movable in the first direction, the second direction, and the upward and downward directions relative to the multiple side bars, and is supported in a suspended state relative to the side bars at a predetermined position that has been adjusted.
前記躯体天面には、吊り下げられた下地フレームによって支持された天井パネルを備えた吊り天井が設けられ、
前記サイドバーは、前記下地フレームに支持されていることを特徴とする請求項1に記載の建物内天井搬送システム。
A suspended ceiling having ceiling panels supported by a suspended base frame is provided on the top surface of the structure,
2. The intra-building ceiling transport system according to claim 1, wherein the side bars are supported by the base frame.
前記サイドバーには、前記躯体天面に対する上下方向の高さを調整する高さ調整部材が設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の建物内天井搬送システム。 The building ceiling transport system according to claim 1 or 2, characterized in that the side bars are provided with height adjustment members for adjusting the vertical height relative to the top surface of the building structure. 前記ユニットフレームは、水平面内で枠状に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の建物内天井搬送システム。 The building ceiling transport system according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the unit frame is formed in a frame shape in a horizontal plane. 前記サイドバーは、上下方向に複数段に設けられ、
下段側のサイドバーは、直上の上段側のサイドバー、又は前記躯体天面からガイド吊り材によって吊り下げられ、
前記下段側のサイドバーには、前記天井搬送レールが設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の建物内天井搬送システム。
The side bars are provided in a plurality of stages in the vertical direction,
The lower side bar is suspended from the upper side bar directly above it or from the top surface of the structure by a guide suspension material,
5. The in-building ceiling transport system according to claim 1, wherein the ceiling transport rail is provided on the lower side bar.
建物の躯体天面に物品を搬送するための天井搬送レールを設置する建物内天井搬送レールの施工方法であって、
前記躯体天面に支持され前記天井搬送レールの延在方向である第1方向に直交する第2方向に延び前記第1方向に間隔をあけて複数のサイドバーを設ける工程と、
前記天井搬送レールに対して前記第1方向に延びるユニットフレームによって上方から連結した状態でユニット化した搬送レールユニットを設ける工程と、
前記天井搬送レールを備えた前記ユニットフレームを、前記複数のサイドバーに対して前記第1方向、前記第2方向、及び上下方向に移動させることで位置調整し、所定位置で前記サイドバーに対して吊り下げられた状態で支持する工程と、
を有することを特徴とする建物内天井搬送レールの施工方法。
A method for installing a ceiling conveyor rail for conveying goods on the ceiling surface of a building, comprising:
a step of providing a plurality of side bars supported on the top surface of the frame, extending in a second direction perpendicular to the first direction in which the ceiling transport rail extends, and spaced apart in the first direction;
providing a unitized transport rail unit in a state where the transport rail unit is connected from above to the ceiling transport rail by a unit frame extending in the first direction;
a step of adjusting a position of the unit frame including the ceiling transport rail by moving the unit frame in the first direction, the second direction, and the up-down direction relative to the plurality of side bars, and supporting the unit frame in a suspended state relative to the side bars at a predetermined position;
A method for installing an in-building ceiling transport rail, comprising:
前記建物の躯体天面に下地フレームを吊り下げ、前記下地フレームに支持された天井パネルを備えて吊り天井を設ける工程を有し、
前記下地フレームに前記複数のサイドバーを設けるようにしたことを特徴とする請求項6に記載の建物内天井搬送レールの施工方法。
A step of suspending a base frame from the top surface of the building frame and providing a suspended ceiling with ceiling panels supported by the base frame,
7. The method for installing an in-building ceiling transport rail according to claim 6, wherein the plurality of side bars are provided on the base frame.
前記搬送レールユニットを搭載可能で、床上を走行可能な運搬用台車が設けられ、
前記運搬用台車によって前記搬送レールユニットが設置位置の前記サイドバーの下方に搬送されることを特徴とする請求項6又は7に記載の建物内天井搬送レールの施工方法。
a transport cart capable of mounting the transport rail unit and running on a floor is provided;
8. The method for installing an in-building ceiling transport rail according to claim 6 or 7, wherein the transport rail unit is transported to an installation position below the side bar by the transport cart.
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