JP7534614B2 - Manufacturing method of coil substrate and manufacturing method of coil substrate for motor - Google Patents
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Description
本発明は、コイル基板の製造方法とモータ用コイル基板の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a coil substrate and a method for manufacturing a coil substrate for a motor.
特許文献1は、コイル部品を開示している。そのコイル部品は、第1面と第1面と対向する第2面とを有する素体と第1面上の第1導体パターンと第2面上の第2導体パターンと第1導体パターンと第2導体パターンとを接続する金属ピンで形成されている。 Patent Document 1 discloses a coil component. The coil component is formed of an element body having a first surface and a second surface opposite the first surface, a first conductor pattern on the first surface, a second conductor pattern on the second surface, and a metal pin that connects the first conductor pattern and the second conductor pattern.
[特許文献の課題]
特許文献1は、第1導体パターンと第2導体パターンとを金属ピンで接続する。そのため、コイル部品の厚みを薄くすることが難しいと考えられる。
[Problems with patent documents]
In the technique disclosed in Patent Document 1, the first conductor pattern and the second conductor pattern are connected by a metal pin, which makes it difficult to reduce the thickness of the coil component.
本発明に係るコイル基板の製造方法は、第1面と前記第1面と反対側の第2面とを有するフレキシブル材と前記第1面上に形成されている第1導体層と前記第2面上に形成されている第2導体層とからなるフレキシブル基板を準備することと、前記第1導体層を貫通し前記フレキシブル材を露出する複数の開口を前記第1導体層に形成することと、それぞれの前記開口により露出される前記フレキシブル材を除去することで、前記第2導体層に至る貫通孔を前記フレキシブル材に形成することと、前記第1導体層上に導体層を形成することで、前記第1導体層と前記導体層とからなる第3導体層を形成することと、それぞれの前記貫通孔に前記第2導体層と前記第3導体層とを接続するビア導体を形成することと、前記第3導体層から前記第1面上に複数の第1回路を形成することと、前記第2導体層から前記第2面上に複数の第2回路を形成することで、前記第1回路と前記第2回路と前記ビア導体で渦巻き状のコイルを形成すること、とを有する。 The method for manufacturing a coil substrate according to the present invention includes preparing a flexible substrate including a flexible material having a first surface and a second surface opposite to the first surface, a first conductor layer formed on the first surface, and a second conductor layer formed on the second surface; forming a plurality of openings in the first conductor layer that penetrate the first conductor layer and expose the flexible material; forming through holes in the flexible material that reach the second conductor layer by removing the flexible material exposed by each of the openings; forming a conductor layer on the first conductor layer to form a third conductor layer consisting of the first conductor layer and the conductor layer; forming via conductors in each of the through holes that connect the second conductor layer and the third conductor layer; forming a plurality of first circuits on the first surface from the third conductor layer; and forming a plurality of second circuits on the second surface from the second conductor layer to form a spiral coil with the first circuit, the second circuit, and the via conductors.
[実施形態の効果]
本発明の実施形態によれば、フレキシブル材の第1面上の第1回路と第2面上の第2回路がフレキシブル材を貫通するビア導体で接続される。そのため、コイル基板を薄くすることができる。フレキシブル材を露出する複数の開口が第1導体層に形成される。そして、それぞれの開口により露出されるフレキシブル材を除去することで、第2導体層に至る貫通孔がフレキシブル材に形成される。貫通孔にビア導体が形成される。第1導体層に形成される開口の平面形状は自由である。そのため、様々な形状を有するビア導体を形成することができる。ビア導体の形状は第1面上の形状で代表される。例えば、第1面上でのビア導体の面積を大きくすることができる。ビア導体を覆う導体回路の形状に応じて、ビア導体の形状を形成することができる。ビア導体とビア導体を覆う導体回路間の接続信頼性が向上する。高い占積率と高い配線密度を有するコイルを提供することができる。
[Effects of the embodiment]
According to an embodiment of the present invention, a first circuit on a first surface of a flexible material and a second circuit on a second surface of the flexible material are connected by a via conductor penetrating the flexible material. Therefore, the coil substrate can be made thin. A plurality of openings exposing the flexible material are formed in the first conductor layer. Then, by removing the flexible material exposed by each opening, a through hole leading to the second conductor layer is formed in the flexible material. A via conductor is formed in the through hole. The planar shape of the opening formed in the first conductor layer is free. Therefore, via conductors having various shapes can be formed. The shape of the via conductor is represented by the shape on the first surface. For example, the area of the via conductor on the first surface can be increased. The shape of the via conductor can be formed according to the shape of the conductor circuit covering the via conductor. The connection reliability between the via conductor and the conductor circuit covering the via conductor is improved. A coil having a high space factor and high wiring density can be provided.
図2(A)と図2(B)に示されるコイル基板201が準備される。図2(A)は実施形態のコイル基板201の第1面Fの平面図であり、図2(B)はコイル基板201の第2面Sの平面図である。コイル基板201は、第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有するフレキシブル材22を含む。さらに、コイル基板201はフレキシブル材22の第1面Fと第2面S上にコイルC(C1~C6)を有する。コイル基板201を巻くことで、図1(B)に示されるモータ用コイル基板20が得られる。例えば、コイル基板201は筒状に巻かれる。モータ用コイル基板20は空洞AHの周りに巻かれる。例えば、モータ用コイル基板20の形状は円筒である。巻く回数Nは、2以上、3以下である。図1(B)は模式図である。
The
図1(A)に示されるように、モータ用コイル基板20内に磁石48を配置することで、モータ10が得られる。図1(A)は模式図である。モータ用コイル基板20は、空洞AHを介し磁石48の周りに配置されている。図1(B)中の矢印MRはモータ10の回転方向を示す。モータ10の例は、ブラシレスモータである。実施形態では、磁石48が回転するが、モータ用コイル基板20が回転してもよい。
As shown in FIG. 1(A), a
図2(A)と図2(B)に示されるように、フレキシブル材22は、短辺20Sと長辺20Lとを有することが好ましい。フレキシブル材22は、一端22Lと一端22Lと反対側の他端22Rを有する。一端22Lは短辺20Sを兼ねる。長辺20Lは上辺20LUと上辺20LUと反対側の下辺20LDを有する。コイルC(C1~C6)は、フレキシブル材22の長辺20Lに沿って並んでいる。フレキシブル材22の一端22Lから他端22Rに向かって、コイルCは一列に並んでいる。コイルCの数はM(数M)である。一端22Lに最も近いコイルは第1コイルC1である。他端22Rに最も近いコイルは第MコイルCMである。第1コイルC1から第MコイルCMまでコイルCは順に並んでいる。図2(A)と図2(B)の例では、コイルの数は6である。
As shown in Figures 2(A) and 2(B), the
コイルCの数Mは以下の関係1を満足する。
関係1:M=N×L
例えば、Lは3以上、12以下である。Lは3の倍数である。
The number M of coils C satisfies the following relationship 1.
Relationship 1: M = N x L
For example, L is equal to or greater than 3 and equal to or less than 12. L is a multiple of 3.
フレキシブル材22上に形成されている複数のコイルCは同時に形成される。例えば、共通のアライメントマークを用いることで、複数のコイルCはフレキシブル材22上に形成される。そのため、各コイルCの位置は関連している。
The multiple coils C formed on the
図1(C)にコイルCの例が示される。コイルCは中央スペースSCと中央スペースSCを囲む配線wで形成される。そして、配線wは外端OEと内端IEを有する。配線wは外端OEと内端IEとの間に形成されている。コイルCを形成する配線wは渦巻き状に形成されている。 An example of coil C is shown in FIG. 1(C). Coil C is formed of a central space SC and wiring w surrounding the central space SC. The wiring w has an outer end OE and an inner end IE. The wiring w is formed between the outer end OE and the inner end IE. The wiring w forming coil C is formed in a spiral shape.
図1(C)に示されるように、配線wは、複数の第1回路51と複数の第2回路52と複数のビア導体VAを含む。第1回路51は第1面F上に形成されている。第2回路52は第2面S上に形成されている。ビア導体VAはフレキシブル材22を貫通している。第1回路51と第2回路52はビア導体VAを介して接続されている。1つの第1回路51と1つの第2回路52と1つのビア導体VAは、ほぼ1ターンのコイルを形成する。1ターンを形成する配線wの内、第1回路51は一端22Lに近く、第2回路52は他端22Rに近い。複数のビア導体VAは第1ビア導体VA1と第2ビア導体VA2に分けられる。第1ビア導体VA1は上辺20LUに近く、第2ビア導体VA2は下辺20LDに近い。第1回路51と第2回路52とビア導体VAは、第1回路51、第2ビア導体VA2、第2回路52、第1ビア導体VA1の順で繋がっている。第1ビア導体VA1を介し隣接するターンを形成する配線wが接続される。
As shown in FIG. 1(C), the wiring w includes a plurality of
図2(D)に示されるように、第1回路51は第1側壁X1と第1側壁X1と反対側の第2側壁X2を有する。一つの第1回路51の側壁(第1側壁X1と第2側壁X2)の内、第1側壁X1は中央スペースSCに近い。
第2回路52は第3側壁X3と第3側壁X3と反対側の第4側壁X4を有する。一つの第2回路52の側壁(第3側壁X3と第4側壁X4)の内、第3側壁X3は中央スペースSCに近い。
2D, the
The
図2(A)と図2(B)では、配線wが纏められている。第1回路51を纏めることで、第1回路群51gが形成される。第2回路52を纏めることで、第2回路群52gが形成される。
In FIG. 2(A) and FIG. 2(B), the wiring w is grouped together. By grouping the
実施形態のコイルCはプリント配線板の技術で形成されている。コイルCを形成する配線wはめっきにより形成されている。あるいは、コイルCを形成する配線wは銅箔をエッチングすることで形成される。コイルCを形成する配線wは、セミアディティブ法やM-Sap法やサブトラクティブ法で形成される。 The coil C in this embodiment is formed using printed wiring board technology. The wiring w that forms the coil C is formed by plating. Alternatively, the wiring w that forms the coil C is formed by etching copper foil. The wiring w that forms the coil C is formed by a semi-additive method, an M-Sap method, or a subtractive method.
コイルCを形成する配線wはプリント配線板の技術で形成されている。そのため、配線wの断面形状は略矩形である。実施形態によれば、コイルの占積率を高くすることができる。 The wiring w that forms the coil C is formed using printed wiring board technology. Therefore, the cross-sectional shape of the wiring w is approximately rectangular. According to the embodiment, the space factor of the coil can be increased.
図2(A)と図2(B)に示されるコイル基板201は6のコイルCを有する。その6のコイルは、一端22Lから他端22Rに向かって並べられている。コイルCはU相コイルCUとV相コイルCVとW相コイルCWを含む。U相コイルCUとV相コイルCVとW相コイルCWは、U相コイルCU、V相コイルCV、W相コイルCWの順で並んでいる。一端22Lに最も近いコイルCはU相コイルCUである。
The
図2(C)は、m番目のコイルCmと(m+1)番目のコイルCm+1の重なりを示す。mは1以上の整数である。mが1の時、m番目のコイルCmは第1コイルC1であり、(m+1)番目のコイルCm+1は第2コイルC2である。図3(A)の例では、mは1である。
m番目のコイルの中央スペースSC上に(m+1)番目のコイルの第1回路群51gが位置する。コイルCを形成する配線wの密度を高くすることができる。コイルCの占積率を高くすることができる。モータのトルクを大きくすることができる。
Fig. 2C shows the overlap of the mth coil Cm and the (m+1)th coil Cm+1. m is an integer equal to or greater than 1. When m is 1, the mth coil Cm is the first coil C1, and the (m+1)th coil Cm+1 is the second coil C2. In the example of Fig. 3A, m is 1.
The
図2(D)はビア導体VAを覆う導体回路(ビアランド)VRの模式図である。
ビアランドVRは第1面F上のビアランド(第1ランド)VRFと第2面S上のビアランド(第2ランド)VRSを有する。第1回路51と第2回路52は、第1ランドVRFとビア導体VA(VA1)と第2面ランドVRSを介して接続される。第1回路51は第1ランドVRFを含む。第2回路52は第2ランドVRSを含む。
第1ランドVRFの平面形状の例は、5角形である。平面形状が5角形の場合、2つの頂点(第1頂点A1、第2頂点A2)の内角(第1内角、第2内角)は略90度である。第1頂点A1と第2頂点A2以外の頂点(第3頂点A3、第4頂点A4、第5頂点A5)の内角は90度ではない。5つの頂点は、第1頂点A1、第2頂点A2、第3頂点A3、第4頂点A4、第5頂点A5の順で並んでいる。第1頂点A1と第2頂点A2との間の辺は第1辺L1である。第2頂点A2と第3頂点A3との間の辺は第2辺L2である。第3頂点A3と第4頂点A4との間の辺は第3辺L3である。第4頂点A4と第5頂点A5との間の辺は第4辺L4である。第5頂点A5と第1頂点A1との間の辺は第5辺L5である。第1辺L1と長辺20Lは略平行である。第1辺L1の長さは、第2辺L2の長さと第5辺L5の長さより長い。第2辺L2の長さと第5辺L5の長さは略等しい。第1回路51と第1ランドVRF間の接続信頼性が向上する。第2回路52と第2ランドVRS間の接続信頼性が向上する。第1ランドVRFの平面形状と第2ランドVRSの平面形状は同様である。第3辺L3は、第1回路51の第1側壁X1の延長線上にある。第3辺L3は、第1側壁X1を含む面に含まれる。このため、第1回路51とビアランドVR間の接続信頼性が向上する。第1回路51と第1ランドVRF間の接続信頼性が向上する。第4辺L4は、第2回路52の第3側壁X3の延長線上にある。第4辺L4は、第3側壁X3を含む面に含まれる。このため、第2回路52とビアランドVR間の接続信頼性が向上する。第2回路52と第2ランドVRS間の接続信頼性が向上する。
FIG. 2D is a schematic diagram of a conductor circuit (via land) VR covering a via conductor VA.
The via land VR has a via land (first land) VRF on the first surface F and a via land (second land) VRS on the second surface S. The
An example of the planar shape of the first land VRF is a pentagon. When the planar shape is a pentagon, the interior angles (first interior angle, second interior angle) of two vertices (first vertex A1, second vertex A2) are approximately 90 degrees. The interior angles of vertices other than the first vertex A1 and the second vertex A2 (third vertex A3, fourth vertex A4, fifth vertex A5) are not 90 degrees. The five vertices are arranged in the order of the first vertex A1, the second vertex A2, the third vertex A3, the fourth vertex A4, and the fifth vertex A5. The side between the first vertex A1 and the second vertex A2 is the first side L1. The side between the second vertex A2 and the third vertex A3 is the second side L2. The side between the third vertex A3 and the fourth vertex A4 is the third side L3. The side between the fourth vertex A4 and the fifth vertex A5 is the fourth side L4. The side between the fifth vertex A5 and the first vertex A1 is the fifth side L5. The first side L1 and the
第1面F上のビア導体VAの形状と第1ランドVRFの平面形状は相似である。第1面F上のビア導体VAの形と第1面F上の第1ランドVRFの形は同じである。第1面F上のビア導体VAの形が拡大されると、第1面F上の第1ランドVRFの形が得られる。第2面F上のビア導体VAの形状と第2ランドVRSの平面形状は相似である。第2面F上のビア導体VAの形と第2面F上の第2ランドVRSの形は同じである。第2面F上のビア導体VAの形が拡大されると、第2面F上の第2ランドVRSの形が得られる。このため、ビア導体VAとビアランドVR間の接続信頼性が向上する。ビアランドVRと第1回路51と第2回路52を高密度に配置することができる。
第1面F上のビア導体VAの形状と第1ランドVRFの平面形状は多角形である。第2面S上のビア導体VAの形状と第2ランドVRSの平面形状は多角形である。ビア導体VAとビアランドVR間の接触面積を大きくすることができる。
ビアランドVRの平面形状は多角形である。形状の例は、三角形や四角形や5角形や六角形である。ビア導体VAの平面形状は第1面上Fの形である。もしくは、ビア導体VAの平面形状は第2面上Sの形である。
The shape of the via conductor VA on the first surface F and the planar shape of the first land VRF are similar. The shape of the via conductor VA on the first surface F and the shape of the first land VRF on the first surface F are the same. When the shape of the via conductor VA on the first surface F is enlarged, the shape of the first land VRF on the first surface F is obtained. The shape of the via conductor VA on the second surface F and the planar shape of the second land VRS are similar. The shape of the via conductor VA on the second surface F and the shape of the second land VRS on the second surface F are the same. When the shape of the via conductor VA on the second surface F is enlarged, the shape of the second land VRS on the second surface F is obtained. This improves the connection reliability between the via conductor VA and the via land VR. The via land VR, the
The shape of the via conductor VA and the planar shape of the first land VRF on the first surface F are polygonal. The shape of the via conductor VA and the planar shape of the second land VRS on the second surface S are polygonal. The contact area between the via conductor VA and the via land VR can be increased.
The planar shape of the via land VR is a polygon. Examples of the shape are a triangle, a rectangle, a pentagon, and a hexagon. The planar shape of the via conductor VA is a shape of F on the first surface. Or, the planar shape of the via conductor VA is a shape of S on the second surface.
[製造方法]
図3は実施形態のコイル基板201の製造方法を示す。
第1面Fと第1面Fと反対側の第2面Sとを有するフレキシブル材22と第1面F上に形成されている第1導体層31と第2面S上に形成されている第2導体層32とからなるフレキシブル基板22zが準備される(図3(A))。例えば、フレキシブル材22はポリイミドで形成されている。
[Manufacturing method]
FIG. 3 shows a method for manufacturing the
A
第1導体層31を貫通しフレキシブル材22を露出する複数の開口31aが第1導体層31に形成される(図3(B))。開口31aの形成方法の例はサブトラクティブ法である。図3(F)は開口31aの平面形状を示す。
開口31aの平面形状は、5角形である。開口31aによりフレキシブル材22が露出される。それぞれの開口31aにより露出されるフレキシブル材22を除去することで、第2導体層32に至る貫通孔22aがフレキシブル材22に形成される(図3(C))。例えば、開口31aにより露出されるフレキシブル材22を溶解することで、貫通孔22aが形成される。貫通孔22aを形成するための溶液の例は、強いアルカリ性の溶液である。図3(G)は貫通孔22aの平面図である。図3(G)は第1面F上での貫通孔22aの形状を示している。貫通孔22aの形状は、5角形である。貫通孔22aにより第2導体層32が露出される。
A plurality of
The planar shape of the
第1導体層31上に導体層34を形成することで、第1導体層31と導体層34とからなる第3導体層33が形成される。それぞれの貫通孔22aに第2導体層32と第3導体層33とを接続するビア導体VAが形成される(図3(D))。第3導体層33から第1面F上に複数の第1回路51と第1ランドVRFが形成される。第2導体層32から第2面S上に複数の第2回路52と第2ランドVRSが形成される(図3(E))。第1回路51と第2回路52とビア導体VAとビアランドVRで形成されるコイルCが形成される。
By forming a
実施形態の製造方法によれば、第1導体層31に多角形の開口31aが形成される。そして、第1導体層31をマスクに用いることで、フレキシブル材22に貫通孔22aが形成される。このため、任意な形状の貫通孔22aを形成することができる。任意な形状のビア導体VAを形成することができる。実施形態のコイル基板201の製造方法では、ビア導体VAとビアランドVR間の接触面積を大きくすることができる。第1回路51とビアランドVR間の接触面積を大きくすることができる。第2回路52とビアランドVR間の接触面積を大きくすることができる。
According to the manufacturing method of the embodiment, a
20 モータ用コイル基板
22 フレキシブル材
48 磁石
51 第1回路
52 第2回路
201 コイル基板
C コイル
SC 中央スペース
VA ビア導体
20
201 coil substrate C coil SC central space VA via conductor
Claims (9)
前記第1導体層を貫通し前記フレキシブル材を露出する複数の開口を前記第1導体層に形成することと、
それぞれの前記開口により露出される前記フレキシブル材を除去することで、前記第2導体層に至る貫通孔を前記フレキシブル材に形成することと、
前記第1導体層上の全面を覆う導体層を形成することで、前記第1導体層と前記導体層とからなる第3導体層を形成することと、
それぞれの前記貫通孔に前記第2導体層と前記第3導体層とを接続するビア導体を形成することと、
前記第3導体層から前記第1面上に複数の第1回路を形成することと、
前記第2導体層から前記第2面上に複数の第2回路を形成することで、前記第1回路と前記第2回路と前記ビア導体で渦巻き状のコイルを形成すること、とを有するコイル基板の製造方法。 preparing a flexible substrate including a flexible material having a first surface and a second surface opposite to the first surface, a first conductor layer formed on the first surface, and a second conductor layer formed on the second surface;
forming a plurality of openings in the first conductor layer penetrating the first conductor layer and exposing the flexible material;
removing the flexible material exposed by each of the openings to form through holes in the flexible material leading to the second conductor layer;
forming a conductor layer covering the entire surface of the first conductor layer to form a third conductor layer including the first conductor layer and the conductor layer;
forming a via conductor in each of the through holes to connect the second conductor layer and the third conductor layer;
forming a plurality of first circuits on the first surface from the third conductor layer;
forming a plurality of second circuits on the second surface from the second conductor layer, thereby forming a spiral coil with the first circuits, the second circuits, and the via conductors.
前記配線は第1の側壁と第2の側壁を有し、the wiring has a first sidewall and a second sidewall;
前記ビアランドから延びる前記配線の第1の側壁は、多角形の前記ビアランドの一辺の延長上にある。A first sidewall of the wiring extending from the via land is on an extension of one side of the polygonal via land.
前記多角形は5角形である。The polygon is a pentagon.
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