JP7522678B2 - Tuning fork crystal unit - Google Patents
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Description
本発明は、3本腕構造の音叉型水晶振動子に関する。 The present invention relates to a tuning fork type quartz crystal resonator with a three-arm structure.
小型化に有利な音叉型水晶振動子として、いわゆる3本腕構造の音叉型水晶振動子がある。3本腕構造の音叉型水晶振動子の一例が、例えば特許文献1に開示されている。図6はこの音叉型水晶振動子10の概要を説明する図である。特に図6(A)は、この音叉型水晶振動子10を配線の展開図の体裁で示した平面図、図6(B)は、音叉型水晶振動子10の、図6(A)中のP-P線に沿った断面図である。図6中に示したX,Y′、Zは、水晶の結晶軸であるX軸、Y′軸、Z軸である。なお、Y′軸とは、音叉の設計に起因して決まる所定の切断角度分、本来のY軸からずれていることを示している。
A tuning fork type crystal resonator that is advantageous for miniaturization is a so-called three-arm tuning fork type crystal resonator. An example of a tuning fork type crystal resonator with a three-arm structure is disclosed in, for example, Patent Document 1. FIG. 6 is a diagram for explaining the outline of this tuning fork
この音叉型水晶振動子10は、基部11と、第1の振動腕13a及び第2の振動腕13bと、支持腕15と、溝13c(図6(B)のみで図示)と、第1の励振用電極17a及び第2の励振用電極17bと、を具えている。
第1の振動腕13a及び第2の振動腕13bは、基部11から互いに平行に延びている。支持腕15は、第1の振動腕13aと、第2の振動腕13bとの間に、基部11から、これら振動腕13a、13bに平行な状態で延びている。溝13cは、第1の振動腕13a、第2の振動腕13b各々の表裏両面に、所定の深さで設けてある。溝13cは、振動腕13a、13bに駆動信号の電界を効率的に印加するためのものである。
This tuning fork type
The first vibrating
第1の励振用電極17a及び第2の励振用電極17bは、各振動腕13a、13baの合計8個の面に、所定関係で引き回してある。しかも、第1の励振用電極17a及び第2の励振用電極17bの一部を、支持腕15に引き回してあり、この引き回した部分の一部分が、パッケージ(図示せず)と接続するための第1の接続パッド17ax、第2の接続パッド17bxとなっている。
The
また、支持腕15の長手方向の途中に、支持腕15の幅方向に沿って支持腕の両側から一対の切欠き15c、15dを設けてある。特許文献1の段落68,70,71、74等に、切欠き15c、15dの機能が記載されている。
すなわち、励振用電極17a,17bや接続パッド17ax、17bxを形成する場合、音叉の外形形成が済んだウエハ全面に金属膜を形成し、そのウエハにレジストを塗布し、このレジストを所定のホトマスクを介して露光し現像してレジストパタンを得る。そして、金属膜の、レジストパタンで覆われていない部分を、除去して、上記励振用電極や接続パッドを形成する。ところが、支持腕の側面のレジストは露光されにくいため、支持腕側面の金属膜は除去できず残存し易い。支持腕側面に金属膜が残存した場合は、第1の接続パッド17axと第2の接続パッド17bxとを、分割できない。しかし、切欠き15c、15dを設けてあると、切欠きの箇所に斜面が生じるためレジストは露光がされ易くなるため、上記短絡を防止できる。
Further, a pair of
That is, when forming the
特許文献1に記載されている切欠きは、支持腕側面における金属膜の短絡を防止する効果を示すが、それでも改善の余地はまだある。
この出願はこの点に着目してなされたものであり、従ってこの発明の目的は、3本腕構造の音叉型水晶振動子の支持腕における電極分割が従来に比べ確実にできる新規な構造とその製造方法を提供することにある。
Although the notch described in Patent Document 1 is effective in preventing short-circuiting of the metal film on the side surface of the support arm, there is still room for improvement.
This application was made with attention to this point, and therefore an object of the present invention is to provide a new structure and a manufacturing method thereof that can more reliably separate electrodes in the supporting arms of a three-arm tuning-fork type quartz crystal resonator than in the past.
この目的の達成を図るため、この発明の音叉型水晶振動子は、基部と、前記基部から互いに平行に延びている第1及び第2の振動腕と、これら振動腕の間に前記基部から延びている支持腕と、前記第1及び第2の振動腕に配置された第1の励振用電極及び第2の励振用電極と、これら第1の励振用電極及び第2の励振用電極を外部と接続するため、前記支持腕の先端側に設けた第1の接続パッド及び前記支持腕の前記基部側に設けた第2の接続パッドと、前記支持腕の長手方向途中に幅方向に沿って両側から設けた少なくとも1対の切欠きと、を具える音叉型水晶振動子において、
前記1対の切欠きのうちの、少なくとも水晶の結晶軸の-X側に位置する切欠きを、当該支持腕の厚さ方向に向かって2段以上の段差状となった複数段の切欠きとしてあることを特徴とするものである。
In order to achieve this object, a tuning-fork type crystal resonator of the present invention comprises a base, first and second vibrating arms extending parallel to each other from the base, a support arm extending from the base between the vibrating arms, a first excitation electrode and a second excitation electrode disposed on the first and second vibrating arms, a first connection pad provided on a tip side of the support arm and a second connection pad provided on the base side of the support arm in order to connect the first excitation electrode and the second excitation electrode to an outside, and at least a pair of notches provided on both sides along a width direction midway in a longitudinal direction of the support arm,
Of the pair of notches, at least the notch located on the -X side of the crystal axis of the quartz is a multi-stage notch having two or more steps in the thickness direction of the support arm.
この音叉型水晶振動子の発明を実施するに当たり、前記複数段の切欠きは、水晶のX面に当たる面を見たとき、水晶のR面と水晶のr面とが、水晶のY′軸に沿って連なる結晶面構造を含むものであることが好ましい。
この音叉型水晶振動子の発明を実施するに当たり、前記複数段の切欠きは、水晶のX面に当たる面を水晶のZ軸方向に沿って見たとき、垂壁が非連続で散在する結晶面構造を含むものであることが好ましい。
上記のいずれの結晶面構造も、音叉型水晶振動子の側面に生じる垂壁の面積を減少させる効果を生むので、露光されにくい面を減少できるため、電極間短絡の危険性を低減できる。
In carrying out the invention of this tuning fork type quartz crystal resonator, it is preferable that the multiple-stage cutouts include a crystal plane structure in which the R plane of the quartz crystal and the r plane of the quartz crystal are connected along the Y' axis of the quartz crystal when viewed on the surface corresponding to the X plane of the quartz crystal.
In carrying out the invention of this tuning-fork type quartz crystal resonator, it is preferable that the multiple-stage notches include a crystal plane structure in which vertical walls are discontinuously scattered when the surface corresponding to the X-plane of the quartz crystal is viewed along the Z-axis direction of the quartz crystal.
Any of the above crystal plane structures has the effect of reducing the area of the vertical walls generated on the side surfaces of the tuning fork type quartz crystal resonator, so that the surface area that is difficult to expose can be reduced, thereby reducing the risk of short-circuiting between electrodes.
また、この発明の音叉型水晶振動子の製造方法は、基部と、前記基部から互いに平行に延びている第1及び第2の振動腕と、これら振動腕の間に前記基部から延びている支持腕と、前記第1及び第2の振動腕に配置された第1の励振用電極及び第2の励振用電極と、これら第1の励振用電極及び第2の励振用電極を外部と接続するため、前記支持腕の先端側に設けた第1の接続パッド及び前記支持腕の前記基部側に設けた第2の接続パッドと、前記支持腕の長手方向途中に幅方向に沿って両側から設けた少なくとも1対の切欠きであって、少なくとも水晶の結晶軸の-X側に位置する切欠きは当該支持腕の厚さ方向に向かって2段以上の段差状となった複数段の切欠きとなっている1対の切欠きと、を具える音叉型水晶振動子を製造するに当たり、
水晶ウエハに、前記基部、前記第1及び第2の振動腕、前記支持腕並びに前記複数段の切欠きの1段目の切欠きから成る当該音叉型水晶振動子の外形を形成する第1エッチング工程と、
前記第1エッチング工程が済んだ水晶ウエハに、前記複数段の切欠きの2段目の切欠きを形成する第2エッチング工程と、
前記第2エッチング工程が済んだ水晶ウエハ全面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜をパターニングして、前記第1の励振用電極及び第2の励振用電極と、前記第1の接続パッド及び第2の接続パッドを形成する工程と、
を含むことを特徴とする。
Further, a manufacturing method of a tuning-fork type quartz crystal resonator of the present invention includes a base, first and second vibrating arms extending from the base in parallel to each other, a support arm extending from the base between the vibrating arms, a first excitation electrode and a second excitation electrode disposed on the first and second vibrating arms, a first connection pad provided on a tip side of the support arm and a second connection pad provided on the base side of the support arm in order to connect the first excitation electrode and the second excitation electrode to an outside, and at least a pair of notches provided on both sides along a width direction midway in a longitudinal direction of the support arm, wherein at least a notch located on a −X side of a crystal axis of quartz crystal is a multi-step notch with two or more steps toward a thickness direction of the support arm,
a first etching process for forming an outer shape of the tuning-fork type quartz crystal resonator, which is composed of the base portion, the first and second vibrating arms, the support arms, and a first cutout of the multiple cutouts, on a quartz crystal wafer;
a second etching step of forming a second notch of the multiple notches in the quartz crystal wafer that has been subjected to the first etching step;
forming a metal film on the entire surface of the quartz crystal wafer after the second etching process;
a step of patterning the metal film to form the first excitation electrode, the second excitation electrode, the first connection pad, and the second connection pad;
The present invention is characterized by comprising:
この音叉型水晶振動子の製造方法を実施するに当たり、前記2段目の切欠きの平面的な大きさは、前記1段目の切欠きより大きくすることが好ましい。 When carrying out this method of manufacturing a tuning fork type quartz crystal resonator, it is preferable that the planar size of the second notch be larger than the first notch.
この音叉型水晶振動子の製造方法を実施するに当たり、当該音叉型水晶振動子は、前記第1の振動腕及び第2の振動腕各々に、溝を備え、前記第2エッチング工程は、前記溝を形成するエッチング工程を兼ねるものとすることが好ましい。 When carrying out this manufacturing method for a tuning fork type quartz crystal resonator, it is preferable that the tuning fork type quartz crystal resonator has a groove in each of the first vibrating arm and the second vibrating arm, and that the second etching process also serves as the etching process for forming the groove.
音叉型水晶振動子の分野では小型化や複雑化が著しい。そのため、音叉型水晶振動子を製造する際は、フォトリソグラフィ技術及びウエットエッチングが使用される。従って、ウエットエッチングに対する水晶の結晶異方性が顕著になり、外形エッチングが済んだ音叉の特に水晶の-X面に当たる部分が垂壁になり、露光光が当たりにくくなる。これに対し、この発明の音叉型水晶振動子の場合、1対の切欠きのうちの少なくとも水晶の結晶軸の-X側に位置する切欠きを、複数段の切欠きとしてあるため、単純な切欠きを設ける場合に比べ、垂壁を減少でき、切欠きでの露光を促進できる。このため、第1の接続パッドと第2の接続パッドとの短絡を、従来に比べ、低減できる。
また、この発明の音叉型水晶振動子の製造方法によれば、複数段の切欠きを容易に製造できるため、複数段の切欠きを備えた音叉型水晶振動子を容易に製造できる。
In the field of tuning fork type quartz crystal resonators, miniaturization and complication are remarkable. Therefore, photolithography technology and wet etching are used when manufacturing tuning fork type quartz crystal resonators. Therefore, the crystal anisotropy of quartz crystal against wet etching becomes prominent, and the part of the tuning fork that has been etched, especially the part that corresponds to the -X face of the quartz crystal, becomes a vertical wall, making it difficult for exposure light to hit it. In contrast, in the case of the tuning fork type quartz crystal resonator of this invention, at least the notch located on the -X side of the crystal axis of the quartz crystal of the pair of notches is a multi-stage notch, so that the vertical wall can be reduced and exposure at the notch can be promoted compared to the case where a simple notch is provided. Therefore, short-circuiting between the first connection pad and the second connection pad can be reduced compared to the conventional case.
Furthermore, according to the method of manufacturing a tuning-fork type crystal resonator of the present invention, since multiple notches can be easily manufactured, a tuning-fork type crystal resonator having multiple notches can be easily manufactured.
以下、図面を参照してこの発明の音叉型水晶振動子及びその製造方法の実施形態について説明する。なお、説明に用いる各図はこれらの発明を理解できる程度に概略的に示してあるにすぎない。また、説明に用いる各図において、また従来図に対して同様な構成成分については同一の番号を付して示し、その説明を省略する場合もある。また、以下の説明中で述べる形状、寸法、材質等はこの発明の範囲内の好適例に過ぎない。従って、本発明は以下の実施形態のみに限定されるものではない。 Below, an embodiment of the tuning fork type crystal resonator and its manufacturing method of the present invention will be described with reference to the drawings. Note that each figure used in the description is merely a schematic illustration to the extent that these inventions can be understood. In addition, in each figure used in the description, components that are similar to those in the conventional drawings are given the same numbers, and their explanation may be omitted. Furthermore, the shapes, dimensions, materials, etc. described in the following description are merely preferred examples within the scope of this invention. Therefore, the present invention is not limited to only the following embodiments.
1.音叉型水晶振動子の構造
図1は、実施形態の音叉型水晶振動子100の説明図であり、特に(A)図はその平面図、(B)図は(A)図のP-P線に沿った断面図である。
実施形態の音叉型水晶振動子100は、基部11と、第1の振動腕13a及び第2の振動腕13bと、支持腕15と、溝13c((B)図のみで図示)と、第1の励振用電極17a及び第2の励振用電極17bと、第1の接続パッド17ax及び第2の接続パッド17bxとを具えている。これらは構成成分は、図6を用いて説明した既知の音叉型水晶振動子のものと同様であるので、その説明は省略する。
1. Structure of a Tuning-Fork-Type Crystal Resonator FIG. 1 is an explanatory diagram of a tuning-fork-
The tuning fork
実施形態の音叉型水晶振動子100において特徴となるものは、支持腕15に設けた1対の切欠き101、15dのうち水晶のX軸の-X側に当たる位置にする切欠き101である。すなわち、支持腕15に設けた切欠きのうち水晶のX軸の-X側に当たる位置にする切欠き101は、支持腕15の厚さ方向、すなわち水晶のZ軸方向に向かって2段以上の段差状となった複数段の切欠き101としてあることが特徴である。
複数段の切欠き101での切欠きの段数は、2段以上の任意で良いが、本発明の目的や製造の容易さを考量すれば、2段又は3段が好ましい。実施形態の場合は、複数段の切欠き101は、1段目の切欠き101aと2段目の切欠き101bとの2段構成としてある。また、この実施形態の場合、水晶の+X側に位置する切欠きは、従来と同様に通常の切欠き15dとしてあるが、水晶の+X側に位置する切欠きも、複数段の切欠き101で構成する場合があっても良い。
A characteristic feature of the tuning fork type
The number of notches in the
また、この実施形態の場合、複数段の切欠き101と切欠き15dとは、X方向に直線状に並ぶように支持腕15に設けているが、複数段の切欠き101と切欠き15dとを、Y′方向に沿ってずらして設ける場合があっても良い。また、切欠きは1対以上設ける場合があっても良い。
また、図1に示した例では、複数段の切欠きの平面形状を、1段目が右向き三角形状、2段目が左空きのコの字形状としてあるが、平面形状は、短絡防止効果が図り易い任意の形状に変更できる。
In this embodiment, the
In addition, in the example shown in FIG. 1, the planar shape of the multi-stage cutout is a right-facing triangular shape for the first stage and a U-shape with an open left side for the second stage, but the planar shape can be changed to any shape that can easily achieve the short circuit prevention effect.
2.実施例及び比較例
次に、実施例及び比較例により、本発明の音叉型水晶振動子における複数段の切欠き101について詳細に説明する。
図2は実施例の説明図である。具体的には、図2(A)は、本発明の思想に従い試作した音叉型水晶振動子の支持腕15の1対の切欠きの部分に着目して、上方から撮影したSEM写真である。図2(B)は、複数段の切欠き101に着目して側面から撮影したSEM写真であって、各面の状態や結晶面を補足をしたものである。図2(C)は、複数段の切欠き101に着目して上方から撮影したSEM写真であって、各面の状態や結晶面を補足をしたものである
図3は比較例の説明図である。具体的には、複数段の切欠きを設けない従来の音叉型水晶振動子の支持腕15の切欠き15c、15dに着目して上方から撮影したSEM写真である。図3(B)は、切欠き15cに着目して側面から撮影したSEM写真であって、各面の状態や結晶面をしたものである。図3(C)は、切欠き15cに着目して上方から撮影したSEM写真であって、各面の状態や結晶面を補足をしたものである。
2. Examples and Comparative Examples Next, the
FIG. 2 is an explanatory diagram of an embodiment. Specifically, FIG. 2(A) is an SEM photograph taken from above, focusing on a pair of notches in the
図2及び図3を比較することで明らかなように、実施例と比較例とでは、垂壁Vの位置、形状および面積に違いがあり、然も、水晶のr面及び水晶のR面の配置や形状に違いがあることが分かる。以下、具体的に説明する。
図2(A)~(C)のSEM写真及び結晶面の補足から理解できるように、実施例の音叉型水晶振動子の複数段の切欠き101の場合は、垂壁Vは、連続する面積が比較的狭く、かつ、散在していることが分かる。しかも、特に、図2(C)から理解できるように、水晶のr面およびR面は、水晶のY′軸方向に連なる結晶面構造を有していることが分かる。
すなわち、複数段の切欠き101は、水晶のX面に当たる面を水晶のZ軸方向に沿って見たとき、垂壁Vが非連続で散在する結晶面構造を含むものとなっている。従って、本発明に係る複数段の切欠き101によれば、露光されにくい垂壁の面積を減少でき、かつ、連続性を低減できる効果が得られる。
これに対し、比較例の場合は、図3(A)~(C)のSEM写真及び結晶面の補足から理解できるように、特に、図3(C)から理解できるように、垂壁Vは、支持腕15の側面を支持腕の表裏に渡って広い面積で存在している。しかも、水晶のr面およびR面は、垂壁Vによって分断されて、互いに離れた位置に存在していて、かつ、面積も比較的狭い。
2 and 3, it is clear that the position, shape and area of the vertical wall V are different between the embodiment and the comparative example, and further, the arrangement and shape of the r-plane of the quartz crystal and the R-plane of the quartz crystal are different.
As can be understood from the SEM photographs and supplementary notes on crystal planes in Figures 2(A) to 2(C), in the case of the
That is, when the surface of the
In contrast, in the case of the comparative example, as can be seen from the SEM photographs and crystal plane supplements in Figures 3(A) to 3(C), and particularly from Figure 3(C), the vertical wall V exists over a wide area on the side of the
支持腕の側面において、垂壁が連続したり、垂壁の面積が広いと、支持腕15の側面に金属膜が残存し易くなり、その分、第1の接続パッド17axと第2の接続パッド17bx(図1参照)とが短絡する危険が増す。また、水晶のr面及びR面が散在したり、面積が狭いと、支持腕側面の斜面の面積が少なくなり、露光がされにくくなるから、支持腕15の側面に金属膜が残存し易くなり、その分、第1の接続パッド17axと第2の接続パッド17bx(図1参照)とが短絡する危険が増す。
このような短絡のメカニズムを考えた場合、実施例の音叉型水晶振動子のような複数段の切欠き101の構造は、第1の接続パッド17axと第2の接続パッド17bx(図1参照)との短絡不良の軽減に好ましいことが分かる。
If the vertical walls are continuous or have a large area on the side of the support arm, the metal film is likely to remain on the side of the
When considering the mechanism of such a short circuit, it can be seen that the structure of the multiple-
3.実製品の例
次に、この発明の理解を深めるための一例として、本発明の音叉型水晶振動子100を用いた実製品20の例を説明する。図4はそのための図であり、特に図4(A)は平面図、図4(B)は図4(A)中のP-P線断面図、図4(C)は背面図である。
実製品20は、音叉片を収容する凹部21aを有したセラミック製容器21を用いた例である。凹部21aの底面に、容器側の接着パッド21bを具えている。容器21の外側底面に、外部実装端子21cを具えている。接着パッド21bと外部実装端子21cとは、図示しないビア配線によって接続されている。
音叉型水晶振動子100は、容器21に、支持腕15の第1の接着パッド17ax及び第2の接着パッド17bxと、容器側の接着パッド21bとの位置で、導電性接着剤23によって接続固定してある。容器21の天面に蓋部材25が接合されて、音叉型水晶振動子100を容器21内に封止してある。
3. Example of Actual Product Next, as an example for deepening understanding of the present invention, an example of an
The
The tuning-fork
4.製造方法の実施形態
次に、この出願の製造方法の発明の実施形態について説明する。図5(A)、(B)はそのための説明図である。
本願の音叉型水晶振動子の製造方法の発明では、先ず、図5(A)に示したように、水晶ウエハW1に、上記の基部、第1及び第2の振動腕、支持腕並びに前記複数段の切欠きの1段目の切欠き101x、15xから成る当該音叉型水晶振動子の外形11aを形成する第1エッチング工程を実施する。具体的には、ウエハW1の全面に金属膜を形成し、次に、このウエハ上に、外形11aと桟となる部分とは被覆するレジストパタンを形成し、次いで、このレジストパタンをマスクとして金属膜を選択的にエッチングする。その後、このウエハをフッ酸系のエッチャントに浸漬して、外形11aに対応する音叉片がマトリクス状に配置されたウエハを得る。
4. Embodiment of the Manufacturing Method Next, an embodiment of the manufacturing method of the present invention will be described.
In the present invention of the manufacturing method of the tuning fork type crystal resonator, first, as shown in Fig. 5 (A), a first etching step is performed to form the
次に、図5(B)に示したように、第1エッチングが済んだ水晶ウエハに、前記複数段の切欠きの2段目の切欠きを形成する第2エッチング工程を実施する。具体的には、第1エッチングが済んだ水晶ウエハW2に、その残存する金属膜の2段目の切欠きに当たる領域を露出する窓101yを有したレジストパタンを形成し、その後、このウエハをフッ酸系のエッチャントに浸漬する。この工程は、振動腕に溝を形成するための窓13caを形成する工程と併せて行うことが好ましく、この実施形態ではそうしている。第2エッチング工程が済むと、図1、図2等に示した複数段の切欠き101を有した音叉型水晶片の要部が完成する。なお、第2段目の切欠きを形成するためのパタンは、第1の切欠きより少なくとも水晶のX軸方向においては平面的に大きい方が好ましい。
次に、第2エッチング工程が済んだ水晶ウエハ全面に励振用電極形成用の金属膜を形成し、次いで、この金属膜をパターニングして、第1の励振用電極及び第2の励振用電極と、第1の接続パッド及び第2の接続パッドを形成する。
上記した実施形態の製造方法によれば、複数段の切欠き101を容易に形成できる。しかも、振動腕の溝を形成する工程で同時に形成できるので、好ましい。
Next, as shown in FIG. 5B, a second etching process is performed to form the second notch of the multi-stage notch on the quartz wafer after the first etching. Specifically, a resist pattern having a
Next, a metal film for forming excitation electrodes is formed on the entire surface of the quartz crystal wafer that has undergone the second etching process, and then this metal film is patterned to form first and second excitation electrodes, as well as first and second connection pads.
According to the manufacturing method of the embodiment described above, it is possible to easily form the
100:実施形態の音叉型水晶振動子 11:基部
13a:第1の振動腕 13b:第2の振動腕
13c:溝 15:支持腕
17a:第1の励振用電極 17b:第2の励振用電極
17ax:第1の接続パッド 17bx:第2の接続パッド
101:15c:1対の切欠き 101:複数段の切欠き
V:垂壁 r:水晶のr面
R:水晶のR面
100: tuning fork type crystal unit of the embodiment 11:
Claims (3)
前記1対の切欠きのうちの、水晶の結晶軸の-X側に位置する切欠きを、当該支持腕の厚さ方向に向かって2段の段差状となった切欠きとしてあり、
前記2段の段差状となった切欠きは、水晶のX面に当たる面を見たとき、水晶のR面と水晶のr面とが、水晶のY′軸に沿って連なる結晶面構造を含み、かつ、水晶のZ軸方向に沿って垂壁が非連続で散在する結晶面構造を含むものであることを特徴とする音叉型水晶振動子。 a tuning-fork type crystal resonator including a base, first and second vibrating arms extending from the base in parallel to each other, a support arm extending from the base between the vibrating arms, a first excitation electrode and a second excitation electrode disposed on the first and second vibrating arms, a first connection pad provided on a tip side of the support arm and a second connection pad provided on the base side of the support arm in order to connect the first excitation electrode and the second excitation electrode to an outside, and at least one pair of notches provided on both sides along a width direction midway in a longitudinal direction of the support arm,
Of the pair of notches , the notch located on the −X side of the crystal axis of the quartz crystal is a two-step notch in the thickness direction of the support arm,
The two-step notch includes a crystal plane structure in which the R plane and the r plane of the quartz crystal are connected along the Y' axis of the quartz crystal when viewed from the surface corresponding to the X plane of the quartz crystal, and includes a crystal plane structure in which vertical walls are discontinuously scattered along the Z axis direction of the quartz crystal .
水晶ウエハに、前記基部、前記第1及び第2の振動腕、前記支持腕並びに前記1対の切欠きの1段目の切欠きから成る当該音叉型水晶振動子の外形を形成する第1エッチング工程と、
前記第1エッチング工程が済んだ水晶ウエハに、前記2段の段差状となった切欠きの2段目の切欠きを形成するため、当該2段目の切欠きの平面的な大きさを、前記1段目の切欠きより大きくする第2エッチング工程と、
前記第2エッチング工程が済んだ水晶ウエハ全面に金属膜を形成する工程と、
前記金属膜をパターニングして、前記第1の励振用電極及び第2の励振用電極と、前記第1の接続パッド及び第2の接続パッドを形成する工程と、
を含むことを特徴とする音叉型水晶振動子の製造方法。 a first excitation electrode and a second excitation electrode disposed on the first and second vibration arms; a first connection pad provided on a tip side of the support arm and a second connection pad provided on the base side of the support arm in order to connect the first excitation electrode and the second excitation electrode to an outside; and at least a pair of notches provided on both sides along a width direction midway in a longitudinal direction of the support arm , the notch located on the -X side of a crystal axis of quartz being a two-step stepped notch toward a thickness direction of the support arm,
a first etching process for forming an outer shape of the tuning-fork type quartz crystal resonator, which is composed of the base portion, the first and second vibrating arms, the support arms, and the first notch of the pair of notches, on a quartz crystal wafer;
a second etching step for forming a second notch of the two-stage notch in the quartz crystal wafer after the first etching step, the second notch being larger in plan view than the first notch;
forming a metal film on the entire surface of the quartz crystal wafer after the second etching process;
a step of patterning the metal film to form the first excitation electrode, the second excitation electrode, the first connection pad, and the second connection pad;
A method for manufacturing a tuning fork type crystal resonator comprising the steps of:
以 上 3. The method for manufacturing a tuning-fork type quartz crystal resonator according to claim 2, wherein the tuning-fork type quartz crystal resonator has grooves in each of the first vibrating arm and the second vibrating arm, and the second etching process also serves as an etching process for forming the grooves.
that's all
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