JP7516605B2 - Manufacturing method for multilayer ceramic electronic components - Google Patents

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Description

本発明は、積層セラミック電子部品の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing multilayer ceramic electronic components.

近年、電子機器の小型化及び高性能化に伴い、電子機器に用いられる積層セラミックコンデンサに対する小型化及び大容量化の要望がますます強くなってきている。この要望に応えるために、セラミック素体における内部電極の周囲のマージン部の厚みをより薄く形成し、内部電極の交差面積及び積層数を増やす試みがなされている。
例えば、特許文献1には、サイドマージン部の平均厚さが18μm以下で形成された積層セラミックキャパシタが記載されている。
In recent years, with the miniaturization and high performance of electronic devices, there has been an increasing demand for miniaturization and high capacitance of multilayer ceramic capacitors used in electronic devices. In order to meet this demand, attempts have been made to make the margins around the internal electrodes in the ceramic body thinner and to increase the crossing area of the internal electrodes and the number of layers.
For example, Patent Document 1 describes a multilayer ceramic capacitor in which the average thickness of the side margin portion is 18 μm or less.

特開2014-204114号公報JP 2014-204114 A

一方で、積層セラミック電子部品のマージン部の厚みが薄くなるに従い、外力に対する機械的な強度が低下し、信頼性を十分に確保できないという問題があった。 However, as the thickness of the margins of multilayer ceramic electronic components becomes thinner, the mechanical strength against external forces decreases, and there is a problem in that reliability cannot be sufficiently ensured.

以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、小型でかつ信頼性の高い積層セラミック電子部品の製造方法を提供することにある。 In view of the above circumstances, the object of the present invention is to provide a method for manufacturing small, highly reliable multilayer ceramic electronic components.

上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る積層セラミック電子部品は、容量形成部と、周縁部と、を具備する。
上記容量形成部は、第1方向にセラミック層を介して積層された複数の内部電極を有する。
上記周縁部は、カバー部と、サイドマージン部と、粒成長領域と、を有し、上記容量形成部の周囲に設けられ絶縁性セラミックスにより形成される。
上記カバー部は、上記容量形成部の上記第1方向外方に設けられる。
上記サイドマージン部は、上記容量形成部の上記第1方向に直交する第2方向外方に設けられる。
上記粒成長領域は、上記カバー部と上記サイドマージン部との境界部に形成され、上記サイドマージン部の中央部よりも上記絶縁性セラミックスの結晶粒の平均粒径が大きい。
In order to achieve the above object, a multilayer ceramic electronic component according to one aspect of the present invention includes a capacitance forming portion and a peripheral portion.
The capacitance forming portion has a plurality of internal electrodes laminated in a first direction with ceramic layers interposed therebetween.
The peripheral portion has a cover portion, a side margin portion, and a grain growth region, is provided around the capacitance forming portion, and is made of insulating ceramics.
The cover portion is provided outwardly of the capacitance generating portion in the first direction.
The side margin portion is provided outward in a second direction perpendicular to the first direction of the capacitance generating portion.
The grain growth region is formed in the boundary between the cover portion and the side margin portion, and has an average grain size of the insulating ceramic crystal grains larger than that of the central portion of the side margin portion.

上記積層セラミック電子部品は、上記カバー部と上記サイドマージン部との境界部にセラミックス結晶粒の平均粒径が大きい粒成長領域を有するため、当該領域において、クラックの起点となり得る結晶粒界を少なくすることができる。これにより、上記積層セラミック電子部品に外力が付加された場合に、上記カバー部と上記サイドマージン部との境界部におけるクラックの発生及び進行を抑制することができる。したがって、上記周縁部を薄く構成する場合にも、上記積層セラミック電子部品における外力に対する機械的強度を高めることができ、小型でかつ信頼性の高い積層セラミック電子部品を提供することができる。 The laminated ceramic electronic component has a grain growth region in which the average grain size of the ceramic crystal grains is large at the boundary between the cover portion and the side margin portion, so that the number of grain boundaries that can be the starting point of cracks can be reduced in that region. This makes it possible to suppress the occurrence and progression of cracks at the boundary between the cover portion and the side margin portion when an external force is applied to the laminated ceramic electronic component. Therefore, even when the peripheral portion is configured to be thin, the mechanical strength of the laminated ceramic electronic component against external forces can be increased, and a compact and highly reliable laminated ceramic electronic component can be provided.

具体的には、上記粒成長領域の上記絶縁性セラミックスの結晶粒の平均粒径は300nm以上であってもよい。
これにより、上記積層セラミック電子部品において、外力に対する機械的強度を十分に高めることができる。
Specifically, the average grain size of the crystal grains of the insulating ceramic in the grain growth region may be 300 nm or more.
This makes it possible to sufficiently increase the mechanical strength of the multilayer ceramic electronic component against external forces.

上記周縁部は非常に薄く構成されてもよく、例えば、上記サイドマージン部の上記第2方向における厚み寸法は、20μm以下であってもよい。
また、上記カバー部の上記第1方向における厚み寸法は、20μm以下であってもよい。
このように周縁部を薄くした場合にも、外力に対する機械的強度を十分に確保することができる。
The peripheral portion may be configured to be very thin, and for example, the thickness dimension of the side margin portion in the second direction may be 20 μm or less.
The cover portion may have a thickness dimension in the first direction of 20 μm or less.
Even when the peripheral portion is thinned in this manner, sufficient mechanical strength against external forces can be ensured.

さらに、上記粒成長領域は、上記カバー部の中央部よりも上記絶縁性セラミックスの結晶粒の平均粒径が大きくてもよい。
これにより、上記積層セラミック電子部品における外力に対する機械的強度をさらに高めることができる。
Furthermore, the grain growth region may have a larger average grain size of the crystal grains of the insulating ceramic than the central portion of the cover portion.
This makes it possible to further increase the mechanical strength of the multilayer ceramic electronic component against external forces.

上記複数の内部電極は、上記第1方向と直交する第2方向の端部の位置が上記第2方向に0.5μmの範囲内に相互に揃っていてもよい。
これにより、上記積層セラミック電子部品内における複数の内部電極の交差面積を大きくすることができ、小型でありつつ、高性能の積層セラミック電子部品を提供することができる。
The internal electrodes may have ends aligned in a second direction perpendicular to the first direction so as to be aligned to within a range of 0.5 μm in the second direction.
This makes it possible to increase the area over which the internal electrodes intersect within the multilayer ceramic electronic component, thereby providing a multilayer ceramic electronic component that is small in size yet has high performance.

以上のように、本発明によれば、小型でかつ信頼性の高い積層セラミック電子部品を提供することができる。 As described above, the present invention can provide a small, highly reliable multilayer ceramic electronic component.

本発明の第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。1 is a perspective view of a multilayer ceramic capacitor in accordance with a first embodiment of the present invention; 上記積層セラミックコンデンサの図1のA-A’線に沿った断面図である。2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor taken along line A-A' in FIG. 1. 上記積層セラミックコンデンサの図1のB-B’線に沿った断面図である。2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor taken along line B-B' in FIG. 1. 上記積層セラミックコンデンサの図3の領域IVを示す拡大図である。4 is an enlarged view showing a region IV of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 3. 上記積層セラミックコンデンサの製造方法を示すフローチャートである。4 is a flowchart showing a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す斜視図である。3A to 3C are perspective views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す斜視図である。3A to 3C are perspective views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す断面図である。3A to 3C are cross-sectional views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す断面図である。3A to 3C are cross-sectional views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す断面図である。3A to 3C are cross-sectional views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor. 本発明の第2実施形態に係る積層セラミックコンデンサの断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view of a multilayer ceramic capacitor according to a second embodiment of the present invention. 上記積層セラミックコンデンサの図11の領域XIIを示す拡大図である。12 is an enlarged view showing region XII of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 11. 上記積層セラミックコンデンサの製造過程を示す斜視図である。3A to 3C are perspective views showing a manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
図面には、適宜相互に直交するX軸、Y軸、及びZ軸が示されている。X軸、Y軸、及びZ軸は全図において共通である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the drawings, an X-axis, a Y-axis, and a Z-axis that are mutually orthogonal are shown as appropriate. The X-axis, the Y-axis, and the Z-axis are common to all the drawings.

<第1実施形態>
[積層セラミックコンデンサ10の基本構成]
図1~3は、本発明の第1実施形態に係る積層セラミックコンデンサ10を示す図である。図1は、積層セラミックコンデンサ10の斜視図である。図2は、積層セラミックコンデンサ10の図1のA-A’線に沿った断面図である。図3は、積層セラミックコンデンサ10の図1のB-B’線に沿った断面図である。
First Embodiment
[Basic Configuration of Multilayer Ceramic Capacitor 10]
1 to 3 are diagrams showing a multilayer ceramic capacitor 10 according to a first embodiment of the present invention. Fig. 1 is a perspective view of the multilayer ceramic capacitor 10. Fig. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line AA' in Fig. 1. Fig. 3 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor 10 taken along line BB' in Fig. 1.

積層セラミックコンデンサ10は、セラミック素体11と、第1外部電極14と、第2外部電極15と、を備える。 The multilayer ceramic capacitor 10 comprises a ceramic body 11, a first external electrode 14, and a second external electrode 15.

セラミック素体11は、例えば、X軸方向を向いた2つの端面11aと、端面11aと接続された周面11eと、を有する。周面11eは、Y軸方向を向いた2つの側面11bと、Z軸方向を向いた2つの主面11cと、側面11b及び主面11cを接続する湾曲面11dと、を含む。端面11a,側面11b及び主面11cは、いずれも略平坦な面で構成されている。端面11aと周面11eとを接続する稜部は、湾曲面11dと同様に曲面で構成されていてもよい。なお、セラミック素体11は、図1~3に示すような直方体形状に限定されない。 The ceramic body 11 has, for example, two end faces 11a facing the X-axis direction and a peripheral surface 11e connected to the end faces 11a. The peripheral surface 11e includes two side faces 11b facing the Y-axis direction, two main faces 11c facing the Z-axis direction, and a curved surface 11d connecting the side faces 11b and the main faces 11c. The end faces 11a, the side faces 11b, and the main faces 11c are all configured as substantially flat surfaces. The ridges connecting the end faces 11a and the peripheral surface 11e may be configured as curved surfaces, similar to the curved surfaces 11d. The ceramic body 11 is not limited to a rectangular parallelepiped shape as shown in Figures 1 to 3.

外部電極14,15は、端面11aに設けられ、セラミック素体11を挟んでX軸方向に相互に対向している。外部電極14,15は、それぞれ、セラミック素体11の端面11aから周面11eまで延出している。これにより、外部電極14,15では、X-Z平面に平行な断面、及びX-Y平面に平行な断面がいずれもU字状となっている。 The external electrodes 14, 15 are provided on the end surface 11a and face each other in the X-axis direction with the ceramic body 11 in between. The external electrodes 14, 15 each extend from the end surface 11a of the ceramic body 11 to the peripheral surface 11e. As a result, the cross sections of the external electrodes 14, 15 parallel to the X-Z plane and the cross sections parallel to the X-Y plane are both U-shaped.

セラミック素体11は、容量形成部16と、容量形成部16の周囲に設けられた周縁部17と、を有する。 The ceramic body 11 has a capacitance forming portion 16 and a peripheral portion 17 provided around the capacitance forming portion 16.

容量形成部16は、複数のセラミック層18(図2参照)を介してZ軸方向に交互に積層された内部電極12,13を有し、略直方体状の積層体として構成される。容量形成部16の最外層の内部電極12,13のY軸方向及びZ軸方向の端部を、端部16dとする。 The capacitance forming portion 16 has internal electrodes 12, 13 that are alternately stacked in the Z-axis direction via a plurality of ceramic layers 18 (see FIG. 2), and is configured as a laminated body having a substantially rectangular parallelepiped shape. The ends of the internal electrodes 12, 13 in the outermost layer of the capacitance forming portion 16 in the Y-axis direction and the Z-axis direction are referred to as ends 16d.

内部電極12,13は、X-Y平面に沿って延び、容量形成部16のY軸方向の全幅にわたって形成される。内部電極12,13のY軸方向の端部の位置は、例えば、Y軸方向に0.5μmの範囲内に相互に揃っている。内部電極12,13は、電気の良導体により形成されている。内部電極12,13を形成する電気の良導体としては、典型的にはニッケル(Ni)が挙げられ、この他にも銅(Cu)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、銀(Ag)、金(Au)などを主成分とする金属又は合金が挙げられる。 The internal electrodes 12, 13 extend along the X-Y plane and are formed across the entire width of the capacitance forming portion 16 in the Y-axis direction. The positions of the ends of the internal electrodes 12, 13 in the Y-axis direction are aligned with each other within a range of, for example, 0.5 μm in the Y-axis direction. The internal electrodes 12, 13 are formed from a good electrical conductor. Typical examples of good electrical conductors that form the internal electrodes 12, 13 include nickel (Ni), as well as metals or alloys whose main components are copper (Cu), palladium (Pd), platinum (Pt), silver (Ag), gold (Au), etc.

第1内部電極12は、第1外部電極14に接する端面11aまでX軸方向に延び、かつ第2外部電極15からは離間している。第2内部電極13は、第2外部電極15に接する端面11aまでX軸方向に延び、かつ、第1外部電極14からは離間している。これにより、第1内部電極12は、第1外部電極14のみに接続され、第2内部電極13は、第2外部電極15のみに接続される。 The first internal electrode 12 extends in the X-axis direction to the end face 11a that contacts the first external electrode 14, and is spaced apart from the second external electrode 15. The second internal electrode 13 extends in the X-axis direction to the end face 11a that contacts the second external electrode 15, and is spaced apart from the first external electrode 14. As a result, the first internal electrode 12 is connected only to the first external electrode 14, and the second internal electrode 13 is connected only to the second external electrode 15.

このような構成により、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間に電圧が印加されると、第1内部電極12と第2内部電極13との間の複数のセラミック層18に電圧が加わる。これにより、積層セラミックコンデンサ10では、第1外部電極14と第2外部電極15との間の電圧に応じた電荷が蓄えられる。 With this configuration, when a voltage is applied between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 in the multilayer ceramic capacitor 10, the voltage is applied to the multiple ceramic layers 18 between the first internal electrode 12 and the second internal electrode 13. As a result, a charge corresponding to the voltage between the first external electrode 14 and the second external electrode 15 is stored in the multilayer ceramic capacitor 10.

セラミック層18は、例えば、高誘電率の誘電体セラミックスで構成される。これにより、各セラミック層18の容量を大きくすることができる。高誘電率の誘電体セラミックスとしては、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)に代表される、バリウム(Ba)及びチタン(Ti)を含むペロブスカイト構造の材料が挙げられる。 The ceramic layers 18 are made of, for example, a dielectric ceramic having a high dielectric constant, which can increase the capacitance of each ceramic layer 18. Examples of dielectric ceramics having a high dielectric constant include materials having a perovskite structure containing barium (Ba) and titanium (Ti), such as barium titanate (BaTiO 3 ).

なお、セラミック層18は、チタン酸ストロンチウム(SrTiO)系、チタン酸カルシウム(CaTiO)系、チタン酸マグネシウム(MgTiO)系、ジルコン酸カルシウム(CaZrO)系、チタン酸ジルコン酸カルシウム(Ca(Zr,Ti)O)系、ジルコン酸バリウム(BaZrO)系、酸化チタン(TiO)系などで構成してもよい。 The ceramic layer 18 may be composed of a strontium titanate ( SrTiO3 )-based, calcium titanate ( CaTiO3 )-based, magnesium titanate ( MgTiO3 )-based, calcium zirconate ( CaZrO3 )-based, calcium zirconate titanate (Ca(Zr,Ti) O3 )-based, barium zirconate ( BaZrO3 )-based, titanium oxide ( TiO2 )-based, or the like.

[周縁部17の詳細な構成]
図4は、図3の領域IVの拡大図であり、カバー部19とサイドマージン部20の境界部付近を拡大して示す断面図である。
[Detailed configuration of peripheral portion 17]
FIG. 4 is an enlarged view of region IV in FIG. 3, and is an enlarged cross-sectional view showing the vicinity of the boundary between the cover portion 19 and the side margin portion 20. As shown in FIG.

周縁部17は、容量形成部16を保護し、内部電極12,13の絶縁性を確保する機能を有する。周縁部17は、セラミック焼結体として構成され、絶縁性セラミックスの複数の結晶粒17rを含む。周縁部17は、セラミック層18と異なる絶縁性セラミックスで形成されてもよいが、セラミック素体11における内部応力を抑制する観点から、好ましくはセラミック層18と同様の誘電体セラミックスで形成される。 The peripheral portion 17 has the function of protecting the capacitance forming portion 16 and ensuring the insulation of the internal electrodes 12, 13. The peripheral portion 17 is configured as a ceramic sintered body and includes a plurality of crystal grains 17r of insulating ceramic. The peripheral portion 17 may be formed of an insulating ceramic different from that of the ceramic layer 18, but from the viewpoint of suppressing internal stress in the ceramic body 11, it is preferably formed of the same dielectric ceramic as that of the ceramic layer 18.

周縁部17は、カバー部19と、サイドマージン部20と、粒成長領域Rと、を有する。周縁部17の表面は、セラミック素体11の周面11eを構成する。 The peripheral portion 17 has a cover portion 19, a side margin portion 20, and a grain growth region R. The surface of the peripheral portion 17 constitutes the peripheral surface 11e of the ceramic body 11.

カバー部19は、容量形成部16のZ軸方向外方に設けられ、容量形成部16の最外層をZ軸方向から覆う。図4に示すように、カバー部19のZ軸方向に沿った厚み寸法D1は、例えば20μm以下であり、好ましくは10μm以上20μm以下である。厚み寸法D1は、主面11cのX軸方向及びY軸方向における中央部から容量形成部16までのZ軸方向に沿った寸法とする。 The cover portion 19 is provided outside the capacitance forming portion 16 in the Z-axis direction, and covers the outermost layer of the capacitance forming portion 16 from the Z-axis direction. As shown in FIG. 4, the thickness dimension D1 of the cover portion 19 along the Z-axis direction is, for example, 20 μm or less, and preferably 10 μm or more and 20 μm or less. The thickness dimension D1 is the dimension along the Z-axis direction from the center of the main surface 11c in the X-axis and Y-axis directions to the capacitance forming portion 16.

サイドマージン部20は、容量形成部16のY軸方向外方に設けられ、本実施形態において、容量形成部16及びカバー部19をY軸方向から覆う。図4に示すように、サイドマージン部20のY軸方向に沿った厚み寸法D2は、例えば20μm以下であり、好ましくは10μm以上20μm以下である。厚み寸法D2は、側面11bのX軸方向及びZ軸方向における中央部から容量形成部16までのY軸方向に沿った寸法とする。 The side margin portion 20 is provided outside the capacitance forming portion 16 in the Y-axis direction, and in this embodiment, covers the capacitance forming portion 16 and the cover portion 19 from the Y-axis direction. As shown in FIG. 4, the thickness dimension D2 along the Y-axis direction of the side margin portion 20 is, for example, 20 μm or less, and preferably 10 μm or more and 20 μm or less. The thickness dimension D2 is the dimension along the Y-axis direction from the center of the side surface 11b in the X-axis direction and Z-axis direction to the capacitance forming portion 16.

粒成長領域Rは、カバー部19のY軸方向中央部よりも絶縁性セラミックスの結晶粒17rの平均結晶粒径が大きい領域である。粒成長領域Rの平均結晶粒径は、好ましくは300nm以上であり、より好ましくは500nm以上である。また、粒成長領域Rの平均結晶粒径は、カバー部19の中央部の平均結晶粒径に対して、例えば50%以上大きく形成される。カバー部19の中央部とは、カバー部19のX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向における中央部をいう。カバー部19の中央部の平均結晶粒径は特に限定されないが、例えば100nm~300nmである。 The grain growth region R is a region in which the average crystal grain size of the insulating ceramic crystal grains 17r is larger than that of the central portion of the cover portion 19 in the Y-axis direction. The average crystal grain size of the grain growth region R is preferably 300 nm or more, and more preferably 500 nm or more. The average crystal grain size of the grain growth region R is formed to be, for example, 50% or more larger than the average crystal grain size of the central portion of the cover portion 19. The central portion of the cover portion 19 refers to the central portion of the cover portion 19 in the X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction. The average crystal grain size of the central portion of the cover portion 19 is not particularly limited, but is, for example, 100 nm to 300 nm.

さらに、粒成長領域Rは、サイドマージン部20の中央部よりもセラミック結晶粒17rの平均結晶粒径が大きくてもよい。サイドマージン部20の中央部とは、サイドマージン部20の、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向における中央部をいう。 Furthermore, the grain growth region R may have a larger average crystal grain size of the ceramic crystal grains 17r than the central portion of the side margin portion 20. The central portion of the side margin portion 20 refers to the central portion of the side margin portion 20 in the X-axis direction, the Y-axis direction, and the Z-axis direction.

平均結晶粒径は、以下のように算出される。まず、走査型電子顕微鏡又は透過型電子顕微鏡を用いて粒成長領域Rの断面を撮像する。このとき、1つの画像に1000~3000個程度の結晶粒17rが撮像できるように倍率を調整して撮像し、複数の画像を用いて合計で10000個以上の結晶粒17rの結晶粒径を計測する。結晶粒径は、結晶粒の断面積を計測し、同じ断面積をもつ円の直径として算出する。計測された10000個以上の結晶粒17rの結晶粒径の中央値を、平均結晶粒径とする。 The average crystal grain size is calculated as follows. First, a scanning electron microscope or a transmission electron microscope is used to image the cross section of the grain growth region R. At this time, the magnification is adjusted so that approximately 1,000 to 3,000 crystal grains 17r can be imaged in one image, and the crystal grain sizes of a total of 10,000 or more crystal grains 17r are measured using multiple images. The crystal grain size is calculated as the diameter of a circle having the same cross-sectional area by measuring the cross-sectional area of the crystal grain. The median crystal grain size of the measured 10,000 or more crystal grains 17r is taken as the average crystal grain size.

粒成長領域Rは、例えば、容量形成部16の端部16dとセラミック素体11の周面11eとの間に形成される。粒成長領域Rは、端部16dと湾曲面11dとの間に形成されてもよい。粒成長領域Rは、典型的には端部16dから周面11eに達するように形成されるが、周面11eまで達していなくてもよいし、端部16dから離間していてもよい。 The grain growth region R is formed, for example, between the end 16d of the capacitance forming portion 16 and the peripheral surface 11e of the ceramic body 11. The grain growth region R may be formed between the end 16d and the curved surface 11d. The grain growth region R is typically formed so as to reach the peripheral surface 11e from the end 16d, but it does not have to reach the peripheral surface 11e and may be spaced apart from the end 16d.

粒成長領域Rは、X軸方向から見た場合に、例えば、端部16dから延びるZ軸方向に平行な直線Lzと0度以上45度以下の鋭角αをなす直線Laに沿って延びる。直線Laは、直線Lzからカバー部19側に鋭角αをなす直線でもよいし、直線Lzからサイドマージン部20側に鋭角αをなす直線でもよい。 When viewed from the X-axis direction, the grain growth region R extends, for example, along a straight line La that forms an acute angle α of 0 degrees or more and 45 degrees or less with a straight line Lz that extends from the end portion 16d and is parallel to the Z-axis direction. The straight line La may be a straight line that forms an acute angle α from the straight line Lz toward the cover portion 19, or a straight line that forms an acute angle α from the straight line Lz toward the side margin portion 20.

粒成長領域RのX軸方向から見た断面形状は、略同一の幅で延びる帯状に限定されず、端部16dと周面11eとの間の中間部分でカバー部19側及びサイドマージン部20側に広がっていてもよい。あるいは、周面11e側及び端部16d側の少なくとも一方に向かって膨出した形状でもよい。 The cross-sectional shape of the grain growth region R as viewed in the X-axis direction is not limited to a band extending with approximately the same width, but may extend toward the cover portion 19 side and the side margin portion 20 side in the intermediate portion between the end portion 16d and the peripheral surface 11e. Alternatively, it may be a shape that bulges toward at least one of the peripheral surface 11e side and the end portion 16d side.

ここで、セラミック結晶粒17r間の結晶粒界は、結晶粒17r内よりも機械的な強度が低い。つまり、積層セラミックコンデンサ10が外力を受けた場合、結晶粒界がクラックの起点となりやすく、クラックが発生した場合、結晶粒界に沿ってクラックが進行しやすい。 Here, the grain boundaries between the ceramic crystal grains 17r have a lower mechanical strength than the grains 17r themselves. In other words, when the multilayer ceramic capacitor 10 is subjected to an external force, the grain boundaries are likely to become the starting points for cracks, and when cracks occur, they tend to progress along the grain boundaries.

粒成長領域Rでは、結晶粒17rが大きいため、クラックの起点となりうる結晶粒界も少なく、クラックの発生及び進行を抑制することができる。 In the grain growth region R, the crystal grains 17r are large, so there are few grain boundaries that could be the starting point of cracks, and the occurrence and progression of cracks can be suppressed.

さらに、粒成長領域R及びその近傍には、湾曲面11dが存在する。湾曲面11dには外力が付加されやすく、特にクラックが発生しやすい。本実施形態では、湾曲面11d及びその近傍に粒成長領域Rを設けることで、クラックの発生を効果的に防止することができる。 Furthermore, a curved surface 11d is present in and near the grain growth region R. External forces are easily applied to the curved surface 11d, and cracks are particularly likely to occur on the curved surface 11d. In this embodiment, by providing the grain growth region R on and near the curved surface 11d, it is possible to effectively prevent cracks from occurring.

カバー部19及びサイドマージン部20の少なくとも一方が20μm以下と非常に薄く構成された場合、クラックが容量形成部16まで容易に到達する。クラックが容量形成部16に到達した場合、積層セラミックコンデンサ10の絶縁性や耐環境性を低下させ、ショートを引き起こすこともある。粒成長領域Rを周縁部17に設けることにより、周縁部17が薄い場合でも、クラックが容量形成部16まで到達することを防止することができる。したがって、積層セラミックコンデンサ10の小型化と信頼性の向上とを両立させることができる。 If at least one of the cover portion 19 and the side margin portion 20 is configured to be very thin, at 20 μm or less, cracks will easily reach the capacitance forming portion 16. If cracks reach the capacitance forming portion 16, they will reduce the insulation and environmental resistance of the multilayer ceramic capacitor 10 and may cause a short circuit. By providing the grain growth region R in the peripheral portion 17, it is possible to prevent cracks from reaching the capacitance forming portion 16 even if the peripheral portion 17 is thin. Therefore, it is possible to achieve both miniaturization of the multilayer ceramic capacitor 10 and improved reliability.

また、周縁部17において、容量形成部16の端部16d近傍の厚みは特に薄くなりやすい。そこで、湾曲面11dが、端部16dよりもY軸方向内方まで延出し主面11cからZ軸方向に盛り上がって形成された延出部11fを含んでいてもよい。これにより、容量形成部16の端部16d近傍における周縁部17の厚みを十分に確保でき、積層セラミックコンデンサ10の絶縁性及び耐環境性を確保することができる。 The thickness of the peripheral portion 17 near the end 16d of the capacitance forming portion 16 tends to be particularly thin. Therefore, the curved surface 11d may include an extension portion 11f that extends inward in the Y-axis direction beyond the end 16d and rises from the main surface 11c in the Z-axis direction. This ensures a sufficient thickness of the peripheral portion 17 near the end 16d of the capacitance forming portion 16, and ensures the insulation and environmental resistance of the multilayer ceramic capacitor 10.

湾曲面11dが延出部11fを含む場合、粒成長領域Rは、湾曲面11dの延出部11fに達するように形成されてもよい。これにより、端部16d近傍におけるクラックの発生及び進行を抑制し、積層セラミックコンデンサ10の絶縁性及び耐環境性を向上させることができる。 When the curved surface 11d includes the extension 11f, the grain growth region R may be formed to reach the extension 11f of the curved surface 11d. This can suppress the occurrence and progression of cracks near the end 16d, and improve the insulation and environmental resistance of the multilayer ceramic capacitor 10.

以上より、本実施形態によれば、小型で、かつ絶縁性及び耐環境性の高い積層セラミックコンデンサ10を提供することができる。すなわち、積層セラミックコンデンサ10の信頼性を高めるとともに、寿命を向上させることができる。 As described above, according to this embodiment, it is possible to provide a multilayer ceramic capacitor 10 that is small and has high insulation and environmental resistance. In other words, it is possible to improve the reliability of the multilayer ceramic capacitor 10 and to extend its lifespan.

[積層セラミックコンデンサ10の製造方法]
図5は、積層セラミックコンデンサ10の製造方法を示すフローチャートである。図6~10は積層セラミックコンデンサ10の製造過程を模式的に示す図である。以下、積層セラミックコンデンサ10の製造方法について、図5に沿って、図6~10を適宜参照しながら説明する。
[Method of Manufacturing Multilayer Ceramic Capacitor 10]
Fig. 5 is a flowchart showing a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10. Figs. 6 to 10 are diagrams that typically show the manufacturing process of the multilayer ceramic capacitor 10. The method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor 10 will be described below along Fig. 5 with appropriate reference to Figs. 6 to 10.

(ステップS01:積層チップ作製)
ステップS01では、容量形成部16を形成するための第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102と、カバー部19を形成するための第3セラミックシート103と、を準備し、これらを図6に示すように積層して切断し、図7に示す未焼成の積層チップ21を作製する。
(Step S01: Fabricating stacked chips)
In step S01, a first ceramic sheet 101 and a second ceramic sheet 102 for forming the capacitance forming portion 16 and a third ceramic sheet 103 for forming the cover portion 19 are prepared, and these are stacked and cut as shown in Figure 6 to produce the unsintered laminated chip 21 shown in Figure 7.

セラミックシート101,102,103は、誘電体セラミックスを主成分とする未焼成の誘電体グリーンシートであり、複数の積層チップ21を作製するための大判のシートである。第1セラミックシート101には、未焼成の第1内部電極12が形成される。第2セラミックシート102には未焼成の第2内部電極13が形成される。第3セラミックシート103には内部電極が形成されていない。 The ceramic sheets 101, 102, and 103 are unsintered dielectric green sheets whose main component is dielectric ceramics, and are large sheets for producing multiple laminated chips 21. An unsintered first internal electrode 12 is formed on the first ceramic sheet 101. An unsintered second internal electrode 13 is formed on the second ceramic sheet 102. No internal electrode is formed on the third ceramic sheet 103.

ステップS01では、第1セラミックシート101及び第2セラミックシート102が交互に積層され、かつセラミックシート101,102の積層体のZ軸方向上下面に第3セラミックシート103が積層される。第3セラミックシート103の枚数は、図6で示す例に限定されず、例えば、焼成後のカバー部19のZ軸方向に沿った厚み寸法が20μm以下となるように調整することができる。 In step S01, the first ceramic sheet 101 and the second ceramic sheet 102 are alternately stacked, and the third ceramic sheet 103 is stacked on the top and bottom surfaces in the Z-axis direction of the stack of the ceramic sheets 101 and 102. The number of third ceramic sheets 103 is not limited to the example shown in FIG. 6, and can be adjusted, for example, so that the thickness dimension in the Z-axis direction of the cover portion 19 after firing is 20 μm or less.

続いて、積層された各セラミックシート101,102,103が圧着され、圧着されたシートを切断して個片化する。これにより、図7に示すように、未焼成の容量形成部16及びカバー部19を備えた積層チップ21が得られる。 Next, the stacked ceramic sheets 101, 102, and 103 are pressed together, and the pressed sheets are cut into individual pieces. This results in a stacked chip 21 with an unfired capacitance forming portion 16 and a cover portion 19, as shown in FIG. 7.

(ステップS02:サイドマージン部形成)
ステップS02では、ステップS01で作製された積層チップ21の側面Sに未焼成のサイドマージン部20を設けることにより、未焼成のセラミック素体11を作製する。以下、ステップS02において、積層チップ21の側面Sに未焼成のサイドマージン部20を設ける方法の一例について説明する。
(Step S02: Forming side margins)
In step S02, unsintered side margin portions 20 are provided on side surfaces S of the laminated chips 21 produced in step S01, thereby producing unsintered ceramic body 11. Hereinafter, an example of a method for providing unsintered side margin portions 20 on side surfaces S of laminated chips 21 in step S02 will be described.

まず、図8に示すように、平板状のベース部材Eの上にセラミックシート20sを配置し、テープTで一方の側面Sを保持した積層チップ21の他方の側面Sをセラミックシート20sに対向させる。ベース部材Eは、例えば、シリコーン系エラストマーなどのヤング率が低く柔らかい材料で形成される。 First, as shown in FIG. 8, a ceramic sheet 20s is placed on a flat base member E, and the other side S of the laminated chip 21, one side S of which is held by tape T, is placed opposite the ceramic sheet 20s. The base member E is made of a soft material with a low Young's modulus, such as a silicone-based elastomer.

セラミックシート20sに対向するカバー部19の側面には、酸化チタン(TiO)を含有したペーストPが塗布されている。酸化チタン含有ペーストPは、セラミックシート20sと積層チップ21との接着性を高めるとともに、後述するように、粒成長領域Rの形成を促す。 A paste P containing titanium oxide (TiO 2 ) is applied to the side of the cover portion 19 facing the ceramic sheet 20s. The titanium oxide-containing paste P enhances the adhesion between the ceramic sheet 20s and the laminated chip 21 and promotes the formation of grain growth regions R, as described later.

セラミックシート20sは、未焼成のサイドマージン部20を形成するための大判の誘電体グリーンシートとして構成される。セラミックシート20sは、例えば、ロールコーターやドクターブレードなどを用いることにより、均一な厚さの平坦なシートとして成形することができる。セラミックシート20sの厚み寸法は、例えば、焼成後のサイドマージン部20の厚み寸法が20μm以下になるように調整される。 The ceramic sheet 20s is configured as a large dielectric green sheet for forming the unsintered side margin portion 20. The ceramic sheet 20s can be formed into a flat sheet of uniform thickness, for example, by using a roll coater or a doctor blade. The thickness dimension of the ceramic sheet 20s is adjusted, for example, so that the thickness dimension of the side margin portion 20 after firing is 20 μm or less.

次に、図9に示すように、積層チップ21の側面Sでセラミックシート20sを押圧する。積層チップ21は、セラミックシート20sとともにベース部材Eに局所的に深く沈み込む。これにより、セラミックシート20sの積層チップ21とともに沈み込んだ部分がサイドマージン部20として切り離され、未焼成の容量形成部16及び未焼成の周縁部17(カバー部19及びサイドマージン部20)を備えた未焼成のセラミック素体11が作製される。 Next, as shown in FIG. 9, the side surface S of the laminated chip 21 presses against the ceramic sheet 20s. The laminated chip 21 sinks deeply locally into the base member E together with the ceramic sheet 20s. As a result, the portion of the ceramic sheet 20s that sinks together with the laminated chip 21 is separated as the side margin portion 20, and an unfired ceramic body 11 is produced that includes an unfired capacitance forming portion 16 and an unfired peripheral portion 17 (cover portion 19 and side margin portion 20).

また、ベース部材Eとして柔らかい材料を用いることにより、積層チップ21がセラミックシート20sに深く沈み込み、ベース部材Eから押圧力を受けてサイドマージン部20の端部の角が潰れる。これにより、サイドマージン部20の端部が丸みを帯び、湾曲面11dが形成される。また、湾曲面11dの端部は、セラミックシート20sから切り離される際に、積層チップ21に沿って引き延ばされ、延出部11fが形成される。 In addition, by using a soft material for the base member E, the stacked chip 21 sinks deeply into the ceramic sheet 20s, and the corners of the ends of the side margin portion 20 are crushed by the pressing force from the base member E. This causes the ends of the side margin portion 20 to become rounded, forming a curved surface 11d. Furthermore, when the end of the curved surface 11d is cut off from the ceramic sheet 20s, it is stretched along the stacked chip 21, forming an extension portion 11f.

(ステップS03:焼成)
ステップS03では、ステップS02で得られた未焼成のセラミック素体11を焼成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10のセラミック素体11を作製する。
(Step S03: Firing)
In step S03, the green ceramic body 11 obtained in step S02 is fired to produce the ceramic body 11 of the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIGS.

ステップS03における焼成温度は、セラミック素体11の焼結温度に基づいて決定することができる。例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)系材料を用いる場合には、焼成温度は1000~1300℃程度とすることができる。また、焼成は、例えば、還元雰囲気下、又は低酸素分圧雰囲気下において行うことができる。 The firing temperature in step S03 can be determined based on the sintering temperature of the ceramic body 11. For example, when a barium titanate (BaTiO 3 ) based material is used, the firing temperature can be about 1000 to 1300° C. Furthermore, the firing can be performed, for example, in a reducing atmosphere or a low oxygen partial pressure atmosphere.

焼成により、セラミック素体11ではセラミック結晶粒の粒成長が進むとともに緻密化する。カバー部19とサイドマージン部20の境界部付近では、塗布された酸化チタン含有ペーストPに含まれるチタン(Ti)及び酸素(O)が拡散する。これにより、セラミック結晶粒がこれらの原子を取り込んで特に粒成長が促され、当該境界部に粒成長領域Rが形成される。 Firing causes the ceramic crystal grains to grow and become denser in the ceramic body 11. Titanium (Ti) and oxygen ( O2 ) contained in the applied titanium oxide-containing paste P diffuse near the boundary between the cover portion 19 and the side margin portion 20. As a result, the ceramic crystal grains take in these atoms, promoting grain growth in particular, and a grain growth region R is formed at the boundary.

粒成長領域Rの形成方法は酸化チタン含有ペーストPの塗布に限定されない。例えばカバー部19とサイドマージン部20の焼成時の収縮挙動を制御し、これらの境界部に内部応力を付加すること等によって粒成長を促すこともできる。 The method of forming the grain growth region R is not limited to applying the titanium oxide-containing paste P. For example, grain growth can be promoted by controlling the shrinkage behavior of the cover portion 19 and the side margin portion 20 during firing and applying internal stress to the boundary between them.

(ステップS04:外部電極形成)
ステップS04では、ステップS03で得られたセラミック素体11のX軸方向両端部に外部電極14,15を形成することにより、図1~3に示す積層セラミックコンデンサ10を作製する。ステップS04における外部電極14,15の形成方法は、公知の方法から任意に選択可能である。
(Step S04: Forming external electrodes)
In step S04, external electrodes 14, 15 are formed on both ends in the X-axis direction of the ceramic body 11 obtained in step S03, thereby producing the multilayer ceramic capacitor 10 shown in Figures 1 to 3. The method for forming the external electrodes 14, 15 in step S04 can be arbitrarily selected from known methods.

なお、外部電極14,15は、未焼成のセラミック素体11と同時焼成してもよい。すなわち、ステップS02の後に未焼成のセラミック素体11のX軸方向両端部に未焼成の外部電極を形成し、ステップS03で未焼成のセラミック素体11と同時に焼成することで外部電極14,15を形成することも可能である。 The external electrodes 14, 15 may be fired simultaneously with the unfired ceramic body 11. That is, after step S02, unfired external electrodes may be formed on both ends of the unfired ceramic body 11 in the X-axis direction, and then in step S03, the external electrodes 14, 15 may be formed by firing them simultaneously with the unfired ceramic body 11.

以上により、積層セラミックコンデンサ10が完成する。この製造方法では、内部電極12,13が露出した積層チップ21の側面Sにサイドマージン部20が後付けされるため、セラミック素体11における複数の内部電極12,13の端部のY軸方向の位置が、0.5μm以内のばらつきでZ軸方向に沿って揃う。 The multilayer ceramic capacitor 10 is thus completed. In this manufacturing method, the side margin portion 20 is attached to the side surface S of the multilayer chip 21 where the internal electrodes 12, 13 are exposed, so that the Y-axis positions of the ends of the multiple internal electrodes 12, 13 in the ceramic body 11 are aligned along the Z-axis with a variation of less than 0.5 μm.

積層セラミックコンデンサ10が実際に高い機械的強度を有することを確認するため、実施例及び比較例として以下の2種類のサンプルを作製した。 To confirm that the multilayer ceramic capacitor 10 actually has high mechanical strength, the following two types of samples were produced as examples and comparative examples.

まず、実施例として、上記製造方法に基づいて粒成長領域が形成された積層セラミックコンデンサのサンプルを作製した。このサンプルは、焼成後のセラミック素体のX軸方向の寸法が1mm、Y軸方向及びZ軸方向の寸法が0.5mm、カバー部の厚み寸法D1は20μm、サイドマージン部の厚み寸法D2は20μmとなるように設計された。また、粒成長領域の平均結晶粒径は500nm、カバー部19の中央部の平均結晶粒径は200nmであった。 First, as an example, a sample of a multilayer ceramic capacitor in which a grain growth region was formed based on the above manufacturing method was produced. This sample was designed so that the dimension of the ceramic body in the X-axis direction after firing was 1 mm, the dimensions in the Y-axis direction and the Z-axis direction were 0.5 mm, the thickness dimension D1 of the cover portion was 20 μm, and the thickness dimension D2 of the side margin portion was 20 μm. In addition, the average crystal grain size of the grain growth region was 500 nm, and the average crystal grain size of the central portion of the cover portion 19 was 200 nm.

比較例として、実施例に係る積層セラミックコンデンサのサンプルと同一のサイズ及び基本構成を有し、かつ、粒成長領域を有さないサンプルを作製した。 As a comparative example, a sample was produced that had the same size and basic structure as the multilayer ceramic capacitor sample according to the embodiment, but did not have a grain growth region.

上記実施例及び比較例のサンプルをそれぞれ1000個ずつ用いて落下試験を行い、境界部におけるクラックの発生率を算出した。落下試験は、0.5mの高さから、サンプルを1個ずつ落下させることにより行った。クラックの発生は、目視にて確認した。 A drop test was conducted using 1,000 samples each from the above examples and comparative examples, and the occurrence rate of cracks at the boundary was calculated. The drop test was conducted by dropping the samples one by one from a height of 0.5 m. The occurrence of cracks was confirmed visually.

この結果、実施例のサンプルでは、1000個中クラックが発生したサンプルが0個であったのに対し、比較例のサンプルでは、1000個中3個のサンプルでクラックが発生していた。これにより、カバー部とサイドマージン部の境界部に粒成長領域を形成することによって、積層セラミックコンデンサの機械的強度が高まり、信頼性が向上することが確認された。 As a result, in the example samples, cracks occurred in 0 out of 1000 samples, whereas in the comparative example samples, cracks occurred in 3 out of 1000 samples. This confirmed that by forming a grain growth region at the boundary between the cover portion and the side margin portion, the mechanical strength of the multilayer ceramic capacitor is increased, improving its reliability.

<第2実施形態>
以上の第1実施形態では、サイドマージン部20がカバー部19と容量形成部16とをY軸方向から覆う構成について説明したが、この構成に限定されない。なお、以下の説明において、第1実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
Second Embodiment
In the above first embodiment, the configuration in which the side margin portion 20 covers the cover portion 19 and the capacitance forming portion 16 from the Y-axis direction has been described, but the present invention is not limited to this configuration. In the following description, the same components as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.

図11及び12は、第2実施形態に係る積層セラミックコンデンサ30を示す図である。図11は、図3と同様の位置で切断した断面図である。図12は、図11の領域XIIの拡大図であり、図4と同様の位置の拡大断面図である。 Figures 11 and 12 are diagrams showing a multilayer ceramic capacitor 30 according to a second embodiment. Figure 11 is a cross-sectional view taken at the same position as in Figure 3. Figure 12 is an enlarged view of region XII in Figure 11, and is an enlarged cross-sectional view taken at the same position as in Figure 4.

積層セラミックコンデンサ30は、容量形成部16と、カバー部39及びサイドマージン部40を有する周縁部37と、を備え、カバー部39が、容量形成部16とサイドマージン部40とをZ軸方向から覆っている。 The multilayer ceramic capacitor 30 has a capacitance forming portion 16 and a peripheral portion 37 having a cover portion 39 and a side margin portion 40, and the cover portion 39 covers the capacitance forming portion 16 and the side margin portion 40 from the Z-axis direction.

図12に示す例では、カバー部39及びサイドマージン部40の境界部に形成された粒成長領域Rが、端部16dからY軸方向に平行な直線Lyと45度以下の鋭角βをなす直線Lbに沿って延びている。直線Lbは、直線Lyよりもサイドマージン部40側に延びる直線でもよいし、直線Lyよりもカバー部39側に延びる直線でもよい。粒成長領域Rの断面形状については第1実施形態で説明したような種々の形状を採り得る。 In the example shown in FIG. 12, the grain growth region R formed at the boundary between the cover portion 39 and the side margin portion 40 extends from the end portion 16d along a straight line Lb that forms an acute angle β of 45 degrees or less with a straight line Ly parallel to the Y-axis direction. The straight line Lb may be a straight line that extends closer to the side margin portion 40 than the straight line Ly, or a straight line that extends closer to the cover portion 39 than the straight line Ly. The cross-sectional shape of the grain growth region R may take on various shapes as described in the first embodiment.

図13は、積層セラミックコンデンサ30の製造過程を示す図であり、未焼成のセラミック素体31の積層構造を示す斜視図である。
同図に示すように、Y軸方向両端部にサイドマージン部Mを有するように内部電極12,13がパターンニングされたセラミックシート301,302を積層し、この積層体304のZ軸方向上下面にカバー部39を形成するセラミックシート303が積層される。これにより、未焼成のセラミック素体31が作製される。この場合も、実際は大判のシートとして構成された積層シートが形成され、1個のセラミック素体31に対応する積層体ごとに個片化される。
FIG. 13 is a diagram showing a manufacturing process of a multilayer ceramic capacitor 30, and is a perspective view showing a laminated structure of an unfired ceramic body 31.
As shown in the figure, ceramic sheets 301, 302 on which internal electrodes 12, 13 are patterned so as to have side margins M at both ends in the Y-axis direction are laminated, and ceramic sheets 303 forming cover portions 39 are laminated on the top and bottom surfaces in the Z-axis direction of this laminate 304. In this way, an unsintered ceramic body 31 is produced. In this case, too, a laminate sheet configured as a large sheet is actually formed, and the laminate is separated into individual laminates corresponding to each ceramic body 31.

本実施形態では、例えば、セラミックシート301,302の積層体304における最外層のセラミックシート301,302のサイドマージン部Mに、酸化チタン含有ペーストを塗布する。これにより、焼成工程において、第1実施形態と同様に、サイドマージン部40とカバー部39との境界部のセラミック結晶粒の粒成長が促され、粒成長領域Rが形成される。 In this embodiment, for example, a titanium oxide-containing paste is applied to the side margin portion M of the outermost ceramic sheets 301, 302 in the laminate 304 of the ceramic sheets 301, 302. As a result, in the firing process, grain growth of the ceramic crystal grains in the boundary portion between the side margin portion 40 and the cover portion 39 is promoted, and a grain growth region R is formed, as in the first embodiment.

以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。 Although the above describes various embodiments of the present invention, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

例えば、上記実施形態では積層セラミック電子部品の一例として積層セラミックコンデンサ10について説明したが、本発明は積層セラミック電子部品全般に適用可能である。このような積層セラミック電子部品としては、例えば、チップバリスタ、チップサーミスタ、積層インダクタなどが挙げられる。 For example, in the above embodiment, the multilayer ceramic capacitor 10 is described as an example of a multilayer ceramic electronic component, but the present invention is applicable to multilayer ceramic electronic components in general. Examples of such multilayer ceramic electronic components include chip varistors, chip thermistors, and multilayer inductors.

10,30…積層セラミックコンデンサ(積層セラミック電子部品)
11,31…セラミック素体
12,13…内部電極
16…容量形成部
17,37…周縁部
18…セラミック層
19,39…カバー部
20,40…サイドマージン部
R…粒成長領域
10, 30...Multilayer ceramic capacitor (multilayer ceramic electronic component)
REFERENCE SIGNS LIST 11, 31: ceramic body 12, 13: internal electrodes 16: capacitance forming portion 17, 37: peripheral portion 18: ceramic layer 19, 39: cover portion 20, 40: side margin portion R: grain growth region

Claims (3)

第1セラミックシート、第2セラミックシートおよび第3セラミックシートを用意する工程と、
前記第1セラミックシートおよび前記第2セラミックシート上に内部電極パターンを形成する工程と、
前記内部電極パターンを形成した前記第1セラミックシートおよび前記第2セラミックシートを積層する工程と、
積層した前記第1セラミックシートおよび前記第2セラミックシートの上下面に前記第3セラミックシートを積層して積層体を得る工程と、
前記積層体を個片化する工程と、
前記積層体の前記第1セラミックシートの側面および前記第2セラミックシートの側面にはセラミックペーストを塗布せず、前記第3セラミックシートの側面にセラミックペーストを塗布する工程と、
前記積層体の側面にサイドマージンを形成する工程と、
前記積層体を焼成して素体を得る工程と、
前記素体に外部電極を形成する工程と、を含む積層セラミック電子部品の製造方法。
providing a first ceramic sheet, a second ceramic sheet and a third ceramic sheet;
forming an internal electrode pattern on the first ceramic sheet and the second ceramic sheet;
laminating the first ceramic sheet and the second ceramic sheet on which the internal electrode pattern is formed;
laminating the third ceramic sheet on top and bottom surfaces of the first ceramic sheet and the second ceramic sheet to obtain a laminate;
singulating the laminate;
applying ceramic paste to a side surface of the third ceramic sheet of the laminate, while leaving the side surfaces of the first ceramic sheet and the second ceramic sheet unapplied ;
forming a side margin on a side surface of the laminate;
sintering the laminate to obtain an element body;
and forming external electrodes on the element body.
前記第3セラミックシートの側面に塗布する前記セラミックペーストは、酸化チタンを含む請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。 2. The method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the ceramic paste applied to the side surface of the third ceramic sheet contains titanium oxide. 前記外部電極を形成する工程は、前記積層体に未焼成の外部電極を形成した後、前記積層体を焼成して前記素体を得る工程において前記積層体と同時に焼成する請求項1に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。 The method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 1, wherein the step of forming the external electrodes comprises forming unfired external electrodes on the laminate and then firing the laminate to obtain the element body, and then firing the external electrodes simultaneously with the laminate.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012054411A (en) 2010-09-01 2012-03-15 Tdk Corp Multilayer capacitor, and mounting structure thereof
JP2012209539A (en) 2011-03-14 2012-10-25 Murata Mfg Co Ltd Manufacturing method of laminated ceramic electronic component
WO2018159838A1 (en) 2017-03-03 2018-09-07 株式会社村田製作所 Laminated ceramic capacitor and method for manufacturing same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101141434B1 (en) * 2010-12-15 2012-05-04 삼성전기주식회사 Multi-layer ceramic condenser and fabricating method using thereof
KR101681358B1 (en) * 2013-04-08 2016-11-30 삼성전기주식회사 A multilayer ceramic capacitor and a method for manufactuaring the same
JP6469899B2 (en) * 2018-01-15 2019-02-13 太陽誘電株式会社 Multilayer capacitor
JP7028416B2 (en) * 2018-05-25 2022-03-02 太陽誘電株式会社 Multilayer ceramic electronic components

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012054411A (en) 2010-09-01 2012-03-15 Tdk Corp Multilayer capacitor, and mounting structure thereof
JP2012209539A (en) 2011-03-14 2012-10-25 Murata Mfg Co Ltd Manufacturing method of laminated ceramic electronic component
WO2018159838A1 (en) 2017-03-03 2018-09-07 株式会社村田製作所 Laminated ceramic capacitor and method for manufacturing same

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