JP7514128B2

JP7514128B2 - Industrial Robots

Info

Publication number: JP7514128B2
Application number: JP2020119166A
Authority: JP
Inventors: 保栗林; 俊道風間
Original assignee: Nidec Instruments Corp
Current assignee: Nidec Instruments Corp
Filing date: 2020-07-10
Publication date: 2024-07-10
Anticipated expiration: 2040-07-10

Description

本発明は、水平多関節型の産業用ロボットに関する。 The present invention relates to a horizontal articulated industrial robot.

従来、半導体ウエハを搬送するための水平多関節型の産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、半導体ウエハが搭載される２個のハンドと、２個のハンドが先端側に回動可能に連結されるアームと、アームの基端側が回動可能に連結される本体部とを備えている。また、特許文献１に記載の産業用ロボットは、２個のハンドのうちの一方のハンドを回動させる第１ハンド駆動機構と、他方のハンドを回動させる第２ハンド駆動機構とを備えている。 Conventionally, horizontal articulated industrial robots for transporting semiconductor wafers are known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 includes two hands on which semiconductor wafers are mounted, an arm to which the two hands are rotatably connected at their tip ends, and a main body to which the base end of the arm is rotatably connected. The industrial robot described in Patent Document 1 also includes a first hand drive mechanism that rotates one of the two hands, and a second hand drive mechanism that rotates the other hand.

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、アームは、第１アーム部と第２アーム部と第３アーム部とから構成されている。本体部には、第１アーム部の基端側が回動可能に連結され、第１アーム部の先端側には、第２アーム部の基端側が回動可能に連結されている。第２アーム部の先端側には、第３アーム部の基端側が回動可能に連結され、第３アーム部の先端側には、２個のハンドが回動可能に連結されている。２個のハンドは、上下方向を回動の軸方向として回動する。２個のハンドの回動中心は一致している。 In the industrial robot described in Patent Document 1, the arm is composed of a first arm section, a second arm section, and a third arm section. The base end of the first arm section is rotatably connected to the main body section, and the base end of the second arm section is rotatably connected to the tip side of the first arm section. The base end of the third arm section is rotatably connected to the tip side of the second arm section, and two hands are rotatably connected to the tip side of the third arm section. The two hands rotate with the vertical direction as the axis of rotation. The centers of rotation of the two hands are aligned.

第１ハンド駆動機構および第２ハンド駆動機構は、中空状に形成される第３アーム部の内部に配置されている。第１ハンド駆動機構は、駆動源となる第１モータと、第１モータに連結される第１減速機と、第１減速機の出力軸に取り付けられる第１駆動プーリと、一方のハンド側に固定される第１従動プーリと、第１駆動プーリと第１従動プーリとに掛け渡される第１ベルトとを備えている。第２ハンド駆動機構は、駆動源となる第２モータと、第２モータに連結される第２減速機と、第２減速機の出力軸に取り付けられる第２駆動プーリと、他方のハンド側に固定される第２従動プーリと、第２駆動プーリと第２従動プーリとに掛け渡される第２ベルトとを備えている。 The first hand drive mechanism and the second hand drive mechanism are disposed inside the third arm portion formed in a hollow shape. The first hand drive mechanism includes a first motor serving as a drive source, a first reducer connected to the first motor, a first drive pulley attached to the output shaft of the first reducer, a first driven pulley fixed to one hand side, and a first belt stretched between the first drive pulley and the first driven pulley. The second hand drive mechanism includes a second motor serving as a drive source, a second reducer connected to the second motor, a second drive pulley attached to the output shaft of the second reducer, a second driven pulley fixed to the other hand side, and a second belt stretched between the second drive pulley and the second driven pulley.

第１従動プーリと第２従動プーリとは、上下方向で重なっており、第１従動プーリの軸心と第２従動プーリの軸心とは一致している。第１モータ、第１減速機および第１駆動プーリは、第２モータ、第２減速機および第２駆動プーリよりも第３アーム部の先端側に配置されている。第２ベルトは、第１ベルトよりも上側に配置されている。第２ベルトの一部は、第１減速機の側方に配置されている。 The first driven pulley and the second driven pulley overlap in the vertical direction, and the axis of the first driven pulley and the axis of the second driven pulley are aligned. The first motor, the first reducer, and the first driving pulley are disposed closer to the tip of the third arm than the second motor, the second reducer, and the second driving pulley. The second belt is disposed above the first belt. A portion of the second belt is disposed to the side of the first reducer.

特開２０１１－２３０２５６号公報JP 2011-230256 A

特許文献１に記載の産業用ロボットでは、第２ベルトの一部が第１減速機の側方に配置されているため、第２ベルトと第１減速機との隙間を確保して、第２ベルトと第１減速機との干渉を防止する必要がある。一方で、図７の概略平面図に示すように、第２アーム部に対する第３アーム部の回動中心と第２アーム部に対するハンドの回動中心との距離を保ちつつ、第２ベルト１０１と第１減速機１０２との隙間を広げていくと、第２従動プーリ１０３のピッチ円径が大きくなる（図７の破線参照）。そのため、第２ベルト１０１と第１減速機１０２との隙間を確保しようとすると、第２従動プーリ１０３が配置される第３アーム部の先端部の幅が広くなるおそれがある。なお、図７において、第２ベルト１０１は、第２駆動プーリ１０４と第２従動プーリ１０３とに掛け渡されている。 In the industrial robot described in Patent Document 1, a part of the second belt is disposed to the side of the first reducer, so it is necessary to secure a gap between the second belt and the first reducer to prevent interference between the second belt and the first reducer. On the other hand, as shown in the schematic plan view of FIG. 7, if the gap between the second belt 101 and the first reducer 102 is widened while maintaining the distance between the rotation center of the third arm part relative to the second arm part and the rotation center of the hand relative to the second arm part, the pitch circle diameter of the second driven pulley 103 becomes large (see the dashed line in FIG. 7). Therefore, if an attempt is made to secure a gap between the second belt 101 and the first reducer 102, there is a risk that the width of the tip of the third arm part where the second driven pulley 103 is disposed will become wide. In FIG. 7, the second belt 101 is stretched between the second driving pulley 104 and the second driven pulley 103.

そこで、本発明の課題は、アーム部の先端部に回動可能に連結される２個のハンド等の２個の回動部と、２個の回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備える水平多関節型の産業用ロボットにおいて、中空状に形成されるアーム部の内部に、ベルトを有する２個の駆動機構が配置されていても、一方の駆動機構のベルトと他方の駆動機構との干渉を確実に防止しつつ、アーム部の先端部の幅を狭めることが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, the object of the present invention is to provide an industrial robot of a horizontally articulated type having two rotating parts, such as two hands, rotatably connected to the tip of an arm part, and two drive mechanisms for rotating each of the two rotating parts, which is capable of narrowing the width of the tip of the arm part while reliably preventing interference between the belt of one drive mechanism and the other drive mechanism, even if two drive mechanisms having belts are arranged inside the arm part which is formed hollow.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、水平多関節型の産業用ロボットにおいて、アームの一部を構成する中空状のアーム部と、アーム部の先端部に回動可能に連結される２個の回動部と、２個の回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備え、２個の回動部は、上下方向を回動の軸方向として回動し、２個の回動部の回動中心は、一致しており、２個の駆動機構のそれぞれは、駆動源としてのモータとモータ側に固定される駆動プーリとを含む駆動部と、回動部側に固定される従動プーリと、駆動プーリと従動プーリとに掛け渡されるベルトとを備えるとともに、アーム部の内部に配置され、２個の従動プーリは、上下方向で重なり、２個の従動プーリの軸心は、回動部の回動中心と一致しており、２個の駆動部は、上下方向に直交するアーム部の長手方向において互いにずれた位置に配置され、２個のベルトは、上下方向において互いにずれた位置に配置され、２個の駆動機構のうちの、最もアーム部の先端側に配置される駆動部を有する駆動機構を第１駆動機構とし、第１駆動機構を除いた残りの駆動機構を第２駆動機構とすると、第２駆動機構は、第１駆動機構の駆動部と、第２駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリを備え、複数のアイドルプーリは、ベルトの内周側に配置され、アーム部の長手方向と上下方向とに直交するアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げているとともに、アーム部の長手方向において、第１駆動機構の駆動部と従動プーリとの間に配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention is a horizontally articulated industrial robot comprising a hollow arm portion constituting a part of an arm, two rotating portions rotatably connected to the tip portion of the arm portion, and two drive mechanisms for rotating each of the two rotating portions, the two rotating portions rotate with the vertical direction as the axial direction of rotation, the rotation centers of the two rotating portions coincide, each of the two drive mechanisms comprises a drive portion including a motor as a drive source and a drive pulley fixed to the motor side, a driven pulley fixed to the rotating portion side, and a belt stretched between the drive pulley and the driven pulley, and is disposed inside the arm portion, the two driven pulleys overlap in the vertical direction, the axis centers of the two driven pulleys coincide with the rotation center of the rotating portion, the two drive portions are disposed at positions offset from each other in the longitudinal direction of the arm portion perpendicular to the vertical direction, and the two belts are disposed at positions offset from each other in the vertical direction, Of the two drive mechanisms, the drive mechanism having a drive part that is located closest to the tip of the arm portion is defined as the first drive mechanism, and the remaining drive mechanisms excluding the first drive mechanism are defined as the second drive mechanism. The second drive mechanism is characterized in that it has a plurality of idle pulleys for ensuring a gap between the drive part of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism, and the plurality of idle pulleys are positioned on the inner side of the belt, widening the gap between the belt in the width direction of the arm portion that is perpendicular to the longitudinal direction and the up-down direction of the arm portion, and are positioned between the drive part and driven pulley of the first drive mechanism in the longitudinal direction of the arm portion .

本発明の産業用ロボットでは、中空状のアーム部の内部に配置される２個の駆動機構のうちの、最もアーム部の先端側に配置される駆動部を有する駆動機構を第１駆動機構とし、第１駆動機構を除いた残りの駆動機構を第２駆動機構とすると、第２駆動機構は、第１駆動機構の駆動部と、第２駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリを備えており、ベルトの内周側に配置される複数のアイドルプーリは、アーム部の長手方向と上下方向とに直交するアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げている。 In the industrial robot of the present invention, of the two drive mechanisms arranged inside the hollow arm section, the drive mechanism having a drive part arranged closest to the tip of the arm section is designated as the first drive mechanism, and the remaining drive mechanisms excluding the first drive mechanism are designated as the second drive mechanism. The second drive mechanism is equipped with a plurality of idle pulleys to ensure a gap between the drive part of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism, and the multiple idle pulleys arranged on the inner side of the belt widen the spacing of the belt in the width direction of the arm section, which is perpendicular to the longitudinal direction and the up-down direction of the arm section.

したがって、本発明では、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保するために、アイドルプーリによってアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げつつ、アイドルプーリよりもアーム部の先端側では、アイドルプーリが配置されていない場合よりも、アーム部の幅方向におけるベルトの間隔を狭めていく度合いを大きくすることが可能になる。 Therefore, in the present invention , in order to ensure a gap between the drive part of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism, the idle pulley widens the belt spacing in the width direction of the arm part, while the degree to which the belt spacing in the width direction of the arm part is narrowed can be made greater toward the tip side of the arm part closer to the idle pulley than when the idle pulley is not positioned.

そのため、本発明では、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保しつつ、アーム部の先端部に配置される第２駆動機構の従動プーリのピッチ円径を小さくすることが可能になる。その結果、本発明では、中空状のアーム部の内部に、ベルトを有する２個の駆動機構が配置されていても、一方の駆動機構のベルトと他方の駆動機構との干渉を確実に防止しつつ、アーム部の先端部の幅を狭めることが可能になる。また、本発明では、アイドルプーリは、アーム部の長手方向において、第１駆動機構の駆動部と従動プーリとの間に配置されているため、アイドルプーリが、アーム部の長手方向において、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構の駆動部との間に配置されている場合と比較して、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保しやすくなる。 Therefore, in the present invention , it is possible to reduce the pitch circle diameter of the driven pulley of the second drive mechanism arranged at the tip of the arm while ensuring a gap between the drive part of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism. As a result, in the present invention, even if two drive mechanisms having belts are arranged inside the hollow arm, it is possible to narrow the width of the tip of the arm while reliably preventing interference between the belt of one drive mechanism and the other drive mechanism. In addition, in the present invention, since the idle pulley is arranged between the drive part and the driven pulley of the first drive mechanism in the longitudinal direction of the arm, it is easier to ensure a gap between the drive part of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism compared to a case in which the idle pulley is arranged between the drive part of the first drive mechanism and the drive part of the second drive mechanism in the longitudinal direction of the arm.

本発明において、第２駆動機構は、２個のアイドルプーリを備え、２個のアイドルプーリは、アーム部の幅方向の外側に向かって互いに異なる方向へベルトを押していることが好ましい。このように構成すると、２個のアイドルプーリを用いた簡易な構成でアーム部の幅方向におけるベルトの間隔を広げることが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the second drive mechanism includes two idle pulleys, and the two idle pulleys push the belt in different directions toward the outside of the width direction of the arm portion. In this manner, it is possible to increase the belt spacing in the width direction of the arm portion with a simple configuration using two idle pulleys.

本発明において、たとえば、回動部は、搬送対象物が搭載されるハンドである。 In the present invention, for example, the rotating portion is a hand on which an object to be transported is placed.

本発明において、第２駆動機構の駆動プーリのピッチ円径は、第１駆動機構の駆動プーリのピッチ円径よりも大きくなっていることが好ましい。このように構成すると、第２駆動機構の駆動プーリのピッチ円径が比較的大きくなるため、第１駆動機構の駆動部と第２駆動機構のベルトとの隙間を確保しやすくなる。 In the present invention, it is preferable that the pitch circle diameter of the drive pulley of the second drive mechanism is larger than the pitch circle diameter of the drive pulley of the first drive mechanism. With this configuration, the pitch circle diameter of the drive pulley of the second drive mechanism is relatively large, making it easier to ensure a gap between the drive part of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism.

以上のように、本発明では、アーム部の先端部に回動可能に連結される２個のハンド等の２個の回動部と、２個の回動部のそれぞれを回動させる２個の駆動機構とを備える水平多関節型の産業用ロボットにおいて、中空状に形成されるアーム部の内部に、ベルトを有する２個の駆動機構が配置されていても、一方の駆動機構のベルトと他方の駆動機構との干渉を確実に防止しつつ、アーム部の先端部の幅を狭めることが可能になる。 As described above, in the present invention, in a horizontally articulated industrial robot having two rotating parts, such as two hands, rotatably connected to the tip of an arm section, and two drive mechanisms for rotating each of the two rotating parts, even if two drive mechanisms having belts are arranged inside the arm section which is formed hollow, it is possible to narrow the width of the tip of the arm section while reliably preventing interference between the belt of one drive mechanism and the other drive mechanism.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの側面図である。1 is a side view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention. 図１に示す産業用ロボットの平面図である。FIG. 2 is a plan view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示すアーム部の内部の構成を説明するための断面図である。2 is a cross-sectional view for explaining the internal configuration of the arm portion shown in FIG. 1 . 図１に示すアーム部の内部の構成を説明するための平面図である。2 is a plan view for explaining the internal configuration of the arm portion shown in FIG. 1 . 図４のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。5 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the E-E cross section of FIG. 4. 図１に示す産業用ロボットの効果を説明するための平面図である。FIG. 2 is a plan view for explaining an effect of the industrial robot shown in FIG. 1 . 従来技術の問題点を説明するための概略平面図である。FIG. 1 is a schematic plan view for explaining problems with the conventional technology.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 The following describes an embodiment of the present invention with reference to the drawings.

（産業用ロボットの概略構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の側面図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図３は、図１に示すアーム部１２の内部の構成を説明するための断面図である。 (General configuration of industrial robot)
Fig. 1 is a side view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. Fig. 2 is a plan view of the industrial robot 1 shown in Fig. 1. Fig. 3 is a cross-sectional view for explaining the internal configuration of an arm unit 12 shown in Fig. 1.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２を搬送するための水平多関節型のロボットであり、半導体製造システムに組み込まれて使用される。ロボット１は、半導体ウエハ２が搭載される２個のハンド４、５と、ハンド４、５が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に動作するアーム６と、アーム６の基端側が回動可能に連結される本体部７とを備えている。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is a horizontal articulated robot for transporting a semiconductor wafer 2, which is an object to be transported, and is incorporated into a semiconductor manufacturing system for use. The robot 1 is equipped with two hands 4, 5 on which the semiconductor wafer 2 is mounted, an arm 6 to which the hands 4, 5 are rotatably connected at their tip ends and which operates in a horizontal direction, and a main body 7 to which the base end of the arm 6 is rotatably connected.

アーム６は、３個のアーム部１０～１２によって構成されている。アーム部１０の基端部は、本体部７に回動可能に連結されている。アーム部１１の基端部は、アーム部１０の先端部に回動可能に連結されている。アーム部１２の基端部は、アーム部１１の先端部に回動可能に連結されている。アーム部１０～１２は、上下方向を回動の軸方向として回動する。アーム部１０～１２は、中空状に形成されている。本体部７とアーム部１０とアーム部１１とアーム部１２とは、上下方向において、下側からこの順番で配置されている。 The arm 6 is composed of three arm sections 10 to 12. The base end of the arm section 10 is rotatably connected to the main body section 7. The base end of the arm section 11 is rotatably connected to the tip section of the arm section 10. The base end of the arm section 12 is rotatably connected to the tip section of the arm section 11. The arm sections 10 to 12 rotate about the vertical direction as the axis of rotation. The arm sections 10 to 12 are formed hollow. The main body section 7, the arm section 10, the arm section 11, and the arm section 12 are arranged in this order from the bottom up in the vertical direction.

ハンド４、５は、上下方向から見たときの形状が略Ｙ形状となるように形成されている。ハンド４、５の基端部は、アーム部１２の先端部に回動可能に連結されている。ハンド４、５は、上下方向を回動の軸方向として回動する。ハンド４の基端部とハンド５の基端部とは上下方向で重なっている。本形態では、ハンド４が上側に配置され、ハンド５が下側に配置されている。ハンド４の回動中心とハンド５の回動中心とは一致している。すなわち、２個のハンド４、５の回動中心は一致している。ハンド４、５は、アーム部１２よりも上側に配置されている。本形態のハンド４、５は、アーム部１２の先端部に回動可能に連結される回動部であり、ロボット１は、２個の回動部を備えている。 The hands 4 and 5 are formed so that their shape when viewed from the top and bottom is approximately Y-shaped. The base ends of the hands 4 and 5 are rotatably connected to the tip of the arm unit 12. The hands 4 and 5 rotate with the vertical direction as the axis of rotation. The base ends of the hands 4 and 5 overlap in the vertical direction. In this embodiment, the hand 4 is disposed on the upper side, and the hand 5 is disposed on the lower side. The rotation center of the hand 4 and the rotation center of the hand 5 are the same. In other words, the rotation centers of the two hands 4 and 5 are the same. The hands 4 and 5 are disposed above the arm unit 12. In this embodiment, the hands 4 and 5 are rotating parts that are rotatably connected to the tip of the arm unit 12, and the robot 1 has two rotating parts.

本体部７は、筐体１３と、アーム部１０の基端部が回動可能に連結される柱状部材（図示省略）とを備えている。アーム部１０の基端部は、柱状部材の上端部に回動可能に連結されている。筐体１３の内部には、柱状部材を昇降させるアーム昇降機構（図示省略）が収納されている。アーム昇降機構は、柱状部材が筐体１３に収容される位置と、柱状部材が筐体１３から上側に突出する位置との間で、アーム６および柱状部材を昇降させる。 The main body 7 includes a housing 13 and a columnar member (not shown) to which the base end of the arm 10 is rotatably connected. The base end of the arm 10 is rotatably connected to the upper end of the columnar member. An arm lifting mechanism (not shown) that raises and lowers the columnar member is housed inside the housing 13. The arm lifting mechanism raises and lowers the arm 6 and columnar member between a position where the columnar member is housed in the housing 13 and a position where the columnar member protrudes upward from the housing 13.

また、ロボット１は、アーム部１０、１１を回動させてアーム部１０とアーム部１１とからなるアーム６の一部を伸縮させるアーム駆動機構（図示省略）と、アーム部１１に対してアーム部１２を回動させるアーム回動機構（図示省略）とを備えている。さらに、ロボット１は、アーム部１２に対してハンド４を回動させるハンド駆動機構１６と、アーム部１２に対してハンド５を回動させるハンド駆動機構１７とを備えている。すなわち、ロボット１は、２個のハンド４、５のそれぞれを回動させる２個のハンド駆動機構１６、１７を備えている。以下、アーム部１２およびハンド駆動機構１６、１７の具体的な構成について説明する。 The robot 1 also includes an arm drive mechanism (not shown) that rotates the arm sections 10 and 11 to extend and retract a portion of the arm 6 consisting of the arm sections 10 and 11, and an arm rotation mechanism (not shown) that rotates the arm section 12 relative to the arm section 11. The robot 1 also includes a hand drive mechanism 16 that rotates the hand 4 relative to the arm section 12, and a hand drive mechanism 17 that rotates the hand 5 relative to the arm section 12. That is, the robot 1 includes two hand drive mechanisms 16 and 17 that rotate the two hands 4 and 5, respectively. The specific configurations of the arm section 12 and the hand drive mechanisms 16 and 17 are described below.

（アーム部およびハンド駆動機構の構成）
図４は、図１に示すアーム部１２の内部の構成を説明するための平面図である。図５は、図４のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。 (Arm and hand drive mechanism configuration)
Fig. 4 is a plan view for explaining the internal configuration of the arm portion 12 shown in Fig. 1. Fig. 5 is a cross-sectional view for explaining the configuration of the cross section taken along the line E-E in Fig. 4.

アーム部１２は、上下方向から見たときの形状が略長円形状となる箱状に形成されている。また、アーム部１２は、上下方向の厚さが薄い扁平な箱状に形成されている。アーム部１２は、上下の両面に開口部が形成されるアーム部本体２０と、アーム部本体２０の上面の開口部を塞ぐ上カバー２１と、アーム部本体２０の下面の開口部を塞ぐ下カバー２２とを備えている。図４では、上カバー２１が取り外された状態のアーム部１２が図示されている。 The arm section 12 is formed in a box shape that is approximately oval when viewed from the top and bottom. The arm section 12 is also formed in a flat box shape that is thin in the top and bottom directions. The arm section 12 includes an arm section main body 20 with openings formed on both the top and bottom surfaces, an upper cover 21 that covers the opening on the top surface of the arm section main body 20, and a lower cover 22 that covers the opening on the bottom surface of the arm section main body 20. Figure 4 shows the arm section 12 with the upper cover 21 removed.

以下では、説明の便宜上、上下方向に直交する方向のうちの、略長円形状をなすアーム部１２の長手方向（図４等のＸ方向）を「左右方向」とし、上下方向と左右方向とに直交するアーム部１２の幅方向（アーム部１２の短手方向、図４等のＹ方向）を「前後方向」とする。また、以下の説明では、左右方向の一方側である図４等のＸ１方向側を「右」側とし、その反対側である図４等のＸ２方向側を「左」側とする。本形態では、右側（Ｘ１方向側）がアーム部１２の基端側となっており、左側（Ｘ２方向側）がアーム部１２の先端側となっている。 For ease of explanation, in the following, the longitudinal direction (X direction in FIG. 4, etc.) of the arm portion 12, which has a substantially oval shape, among the directions perpendicular to the up-down direction, is referred to as the "left-right direction", and the width direction of the arm portion 12 (short side direction of the arm portion 12, Y direction in FIG. 4, etc.) perpendicular to the up-down direction and the left-right direction is referred to as the "front-rear direction". In addition, in the following explanation, one side of the left-right direction, that is, the X1 direction side in FIG. 4, etc., is referred to as the "right" side, and the opposite side, that is, the X2 direction side in FIG. 4, etc., is referred to as the "left" side. In this embodiment, the right side (X1 direction side) is the base end side of the arm portion 12, and the left side (X2 direction side) is the tip side of the arm portion 12.

ハンド駆動機構１６は、アーム部１２の内部に配置されている。ハンド駆動機構１６は、駆動源としてのモータ２５と、モータ２５側に固定される駆動プーリ２６と、ハンド４側に固定される従動プーリ２７と、駆動プーリ２６と従動プーリ２７とに掛け渡されるベルト２８とを備えている。また、ハンド駆動機構１６は、モータ２５の出力軸に連結される減速機２９を備えている。 The hand drive mechanism 16 is disposed inside the arm portion 12. The hand drive mechanism 16 includes a motor 25 as a drive source, a drive pulley 26 fixed to the motor 25, a driven pulley 27 fixed to the hand 4, and a belt 28 stretched between the drive pulley 26 and the driven pulley 27. The hand drive mechanism 16 also includes a reducer 29 connected to the output shaft of the motor 25.

ハンド駆動機構１７は、アーム部１２の内部に配置されている。ハンド駆動機構１７は、ハンド駆動機構１６と同様に、駆動源としてのモータ３０と、モータ３０側に固定される駆動プーリ３１と、ハンド５側に固定される従動プーリ３２と、駆動プーリ３１と従動プーリ３２とに掛け渡されるベルト３３とを備えている。また、ハンド駆動機構１７は、モータ３０の出力軸に連結される減速機３４を備えている。 The hand drive mechanism 17 is disposed inside the arm portion 12. Like the hand drive mechanism 16, the hand drive mechanism 17 includes a motor 30 as a drive source, a drive pulley 31 fixed to the motor 30, a driven pulley 32 fixed to the hand 5, and a belt 33 stretched between the drive pulley 31 and the driven pulley 32. The hand drive mechanism 17 also includes a reducer 34 connected to the output shaft of the motor 30.

従動プーリ２７、３２は、アーム部１２の先端部の内部に配置されている。従動プーリ２７と従動プーリ３２とは、上下方向で重なっている。本形態では、従動プーリ２７が従動プーリ３２の下側に配置されている。従動プーリ２７の軸心と従動プーリ３２の軸心とは一致している。また、従動プーリ２７、３２の軸心は、ハンド４、５の回動中心と一致している。従動プーリ２７のピッチ円径（ピッチ円外径）と従動プーリ３２のピッチ円径とは等しくなっている。 The driven pulleys 27 and 32 are disposed inside the tip of the arm portion 12. The driven pulleys 27 and 32 overlap in the vertical direction. In this embodiment, the driven pulley 27 is disposed below the driven pulley 32. The axis of the driven pulley 27 and the axis of the driven pulley 32 coincide. The axis of the driven pulleys 27 and 32 also coincide with the rotation center of the hands 4 and 5. The pitch circle diameter (pitch circle outer diameter) of the driven pulley 27 and the pitch circle diameter of the driven pulley 32 are equal.

従動プーリ２７は、中空状の回動軸３５の下端部に固定されている。回動軸３５の上端部は、ハンド４の基端部の下側に固定されている。すなわち、従動プーリ２７は、回動軸３５を介してハンド４に固定されている。従動プーリ３２は、中空状の回動軸３６の下端部に固定されている。回動軸３６は、回動軸３５の外周側に配置されている。回動軸３６の上端部は、ハンド５の基端部の下側に固定されている。すなわち、従動プーリ３２は、回動軸３６を介してハンド５に固定されている。 The driven pulley 27 is fixed to the lower end of a hollow rotating shaft 35. The upper end of the rotating shaft 35 is fixed to the lower side of the base end of the hand 4. That is, the driven pulley 27 is fixed to the hand 4 via the rotating shaft 35. The driven pulley 32 is fixed to the lower end of a hollow rotating shaft 36. The rotating shaft 36 is disposed on the outer periphery of the rotating shaft 35. The upper end of the rotating shaft 36 is fixed to the lower side of the base end of the hand 5. That is, the driven pulley 32 is fixed to the hand 5 via the rotating shaft 36.

モータ２５は、アーム部本体２０に固定されている。具体的には、図５に示すように、モータ２５は、アーム部本体２０に固定されるモータ固定部材３９に固定されている。すなわち、モータ２５は、モータ固定部材３９を介してアーム部本体２０に固定されている。同様に、モータ３０は、アーム部本体２０に固定されるモータ固定部材４０（図４参照）に固定されており、モータ３０は、モータ固定部材４０を介してアーム部本体２０に固定されている。モータ２５、３０の出力軸は、下側に向かって突出している。モータ２５とモータ３０とは、同じモータである。 The motor 25 is fixed to the arm body 20. Specifically, as shown in FIG. 5, the motor 25 is fixed to a motor fixing member 39 that is fixed to the arm body 20. That is, the motor 25 is fixed to the arm body 20 via the motor fixing member 39. Similarly, the motor 30 is fixed to a motor fixing member 40 (see FIG. 4) that is fixed to the arm body 20, and the motor 30 is fixed to the arm body 20 via the motor fixing member 40. The output shafts of the motors 25 and 30 protrude downward. The motors 25 and 30 are the same motor.

減速機２９、３４は、径方向の中心に貫通孔が形成された中空減速機である。具体的には、減速機２９、３４は、中空状に形成される中空波動歯車装置（ハーモニックドライブ（登録商標））である。減速機２９と減速機３４とは、同じ減速機である。減速機２９の入力軸は、モータ２５の出力軸に連結されている。モータ２５の出力軸と減速機２９の入力軸とは同軸上に配置されている。同様に、減速機３４の入力軸は、モータ３０の出力軸に連結されている。モータ３０の出力軸と減速機３４の入力軸とは同軸上に配置されている。 The reducers 29 and 34 are hollow reducers with a through hole formed in the radial center. Specifically, the reducers 29 and 34 are hollow wave gear devices (Harmonic Drive (registered trademark)) formed in a hollow shape. The reducers 29 and 34 are the same reducer. The input shaft of the reducer 29 is connected to the output shaft of the motor 25. The output shaft of the motor 25 and the input shaft of the reducer 29 are arranged coaxially. Similarly, the input shaft of the reducer 34 is connected to the output shaft of the motor 30. The output shaft of the motor 30 and the input shaft of the reducer 34 are arranged coaxially.

駆動プーリ２６は、減速機２９の出力軸に固定されている。モータ２５の出力軸と駆動プーリ２６とは同軸上に配置されている。同様に、駆動プーリ３１は、減速機３４の出力軸に固定されている。モータ３０の出力軸と駆動プーリ３１とは同軸上に配置されている。駆動プーリ３１のピッチ円径（ピッチ円外径）は、駆動プーリ２６のピッチ円径よりも大きくなっている。また、駆動プーリ２６のピッチ円径および駆動プーリ３１のピッチ円径は、従動プーリ２７、３２のピッチ円径よりも大きくなっている。 The drive pulley 26 is fixed to the output shaft of the reducer 29. The output shaft of the motor 25 and the drive pulley 26 are arranged coaxially. Similarly, the drive pulley 31 is fixed to the output shaft of the reducer 34. The output shaft of the motor 30 and the drive pulley 31 are arranged coaxially. The pitch circle diameter (pitch circle outer diameter) of the drive pulley 31 is larger than the pitch circle diameter of the drive pulley 26. In addition, the pitch circle diameters of the drive pulley 26 and the drive pulley 31 are larger than the pitch circle diameters of the driven pulleys 27 and 32.

本形態では、モータ２５、駆動プーリ２６、減速機２９およびモータ固定部材３９等によって、モータ２５および駆動プーリ２６を含む駆動部４２が構成されている。また、本形態では、モータ３０、駆動プーリ３１、減速機３４およびモータ固定部材４０等によって、モータ３０および駆動プーリ３１を含む駆動部４３が構成されている。 In this embodiment, the motor 25, the drive pulley 26, the reducer 29, the motor fixing member 39, etc. constitute a drive unit 42 including the motor 25 and the drive pulley 26. In this embodiment, the motor 30, the drive pulley 31, the reducer 34, the motor fixing member 40, etc. constitute a drive unit 43 including the motor 30 and the drive pulley 31.

２個の駆動部４２、４３は、左右方向（アーム部１２の長手方向）において互いにずれた位置に配置されている。具体的には、駆動部４２は、駆動部４３よりも左側に配置されている。すなわち、駆動部４２は、駆動部４３よりもアーム部１２の先端側に配置されている。駆動部４２と駆動部４３は、上下方向において同じ位置に配置されている。また、駆動部４２と駆動部４３は、前後方向において同じ位置に配置されている。 The two drive units 42, 43 are arranged at positions offset from each other in the left-right direction (the longitudinal direction of the arm unit 12). Specifically, the drive unit 42 is arranged to the left of the drive unit 43. In other words, the drive unit 42 is arranged closer to the tip of the arm unit 12 than the drive unit 43. The drive units 42 and 43 are arranged at the same position in the up-down direction. In addition, the drive units 42 and 43 are arranged at the same position in the front-rear direction.

本形態のハンド駆動機構１６、１７は、２個のハンド４、５のそれぞれを回動させる駆動機構であり、ロボット１は、２個の駆動機構を備えている。また、本形態のハンド駆動機構１６は、２個の駆動機構（ハンド駆動機構１６、１７）のうちの、最もアーム部１２の先端側に配置される駆動部４２を有する駆動機構である第１駆動機構となっており、
ハンド駆動機構１７は、第１駆動機構であるハンド駆動機構１６を除いた残りの駆動機構である第２駆動機構となっている。 The hand driving mechanisms 16 and 17 in this embodiment are driving mechanisms that rotate the two hands 4 and 5, respectively, and the robot 1 is provided with two driving mechanisms. The hand driving mechanism 16 in this embodiment is a first driving mechanism that is a driving mechanism having a driving unit 42 that is disposed closest to the tip of the arm unit 12 among the two driving mechanisms (hand driving mechanisms 16 and 17),
The hand driving mechanism 17 serves as a second driving mechanism which is the remaining driving mechanism excluding the hand driving mechanism 16 which is the first driving mechanism.

ベルト２８、３３は、環状に形成される無端ベルトである。また、ベルト２８、３３は、内周側に歯が形成される歯付きベルトである。２個のベルト２８、３３は、上下方向において互いにずれた位置に配置されている。具体的には、ベルト２８がベルト３３よりも下側に配置されている。すなわち、駆動プーリ２６の、ベルト２８が係合する部分は、駆動プーリ３１の、ベルト３３が係合する部分よりも下側に配置されている。ベルト３３の一部は、駆動部４２の側方に配置されている。具体的には、ベルト３３の一部は、モータ固定部材３９の前後方向の外側に配置されている（図５参照）。 The belts 28 and 33 are endless belts formed in a ring shape. The belts 28 and 33 are toothed belts with teeth formed on the inner circumference. The two belts 28 and 33 are arranged at positions offset from each other in the up-down direction. Specifically, the belt 28 is arranged below the belt 33. That is, the portion of the drive pulley 26 with which the belt 28 engages is arranged below the portion of the drive pulley 31 with which the belt 33 engages. A portion of the belt 33 is arranged to the side of the drive unit 42. Specifically, a portion of the belt 33 is arranged outside the motor fixing member 39 in the front-rear direction (see FIG. 5).

ハンド駆動機構１７は、上記の構成に加えて、駆動部４２とベルト３３との隙間（具体的には、モータ固定部材３９とベルト３３との隙間）を確保するための複数のアイドルプーリ４５を備えている。すなわち、ハンド駆動機構１７は、ハンド駆動機構１７の駆動部４３よりもアーム部１２の先端側に配置される駆動部４２を有するハンド駆動機構１６の駆動部４２と、ハンド駆動機構１７のベルト３３との隙間を確保するための複数のアイドルプーリ４５を備えている。本形態のハンド駆動機構１７は、２個のアイドルプーリ４５を備えている。アイドルプーリ４５は、アーム部本体２０に回転可能に保持されている。アイドルプーリ４５は、上下方向を回転の軸方向として回転可能になっている。 In addition to the above configuration, the hand drive mechanism 17 includes a plurality of idle pulleys 45 for ensuring a gap between the drive unit 42 and the belt 33 (specifically, the gap between the motor fixing member 39 and the belt 33). That is, the hand drive mechanism 17 includes the drive unit 42 of the hand drive mechanism 16 having the drive unit 42 arranged on the tip side of the arm unit 12 relative to the drive unit 43 of the hand drive mechanism 17, and a plurality of idle pulleys 45 for ensuring a gap between the belt 33 of the hand drive mechanism 17 and the drive unit 42. The hand drive mechanism 17 of this embodiment includes two idle pulleys 45. The idle pulleys 45 are rotatably held by the arm unit main body 20. The idle pulleys 45 are rotatable with the vertical direction as the axis of rotation.

図４に示すように、２個のアイドルプーリ４５は、ベルト３３の内周側に配置されている。また、２個のアイドルプーリ４５は、左右方向において同じ位置に配置されている。さらに、２個のアイドルプーリ４５は、前後方向において間隔をあけた状態で配置されており、前後方向（アーム部１２の幅方向）におけるベルト３３の間隔を広げている。すなわち、前側に配置されるアイドルプーリ４５の前端および後ろ側に配置されるアイドルプーリ４５の後端は、２個のアイドルプーリ４５が配置されていない状態で駆動プーリ３１と従動プーリ３２とに掛け渡されているとした場合のベルト３３の内周面の位置よりも前後方向の外側に配置されており、２個のアイドルプーリ４５は、前後方向の外側に向かって互いに異なる方向へベルト３３を押している。 As shown in FIG. 4, the two idle pulleys 45 are disposed on the inner periphery of the belt 33. The two idle pulleys 45 are disposed at the same position in the left-right direction. The two idle pulleys 45 are disposed at a distance in the front-rear direction, widening the distance of the belt 33 in the front-rear direction (width direction of the arm portion 12). That is, the front end of the idle pulley 45 disposed at the front side and the rear end of the idle pulley 45 disposed at the rear side are disposed outward in the front-rear direction from the position of the inner periphery of the belt 33 when the belt 33 is stretched over the driving pulley 31 and the driven pulley 32 without the two idle pulleys 45 being disposed, and the two idle pulleys 45 push the belt 33 in different directions toward the outside in the front-rear direction.

また、アイドルプーリ４５は、左右方向において、駆動部４２と従動プーリ３２との間に配置されている。具体的には、アイドルプーリ４５は、駆動部４２と従動プーリ３２との間の左右方向の中心位置よりも右側に配置されている。すなわち、アイドルプーリ４５は、駆動部４２と従動プーリ３２との間の左右方向の中心位置より駆動部４２側に配置されている。前側に配置されるアイドルプーリ４５の前端と、後ろ側に配置されるアイドルプーリ４５の後端との前後方向の距離は、駆動プーリ３１のピッチ円径よりも短くなっている。 The idle pulley 45 is disposed between the drive unit 42 and the driven pulley 32 in the left-right direction. Specifically, the idle pulley 45 is disposed to the right of the center position in the left-right direction between the drive unit 42 and the driven pulley 32. In other words, the idle pulley 45 is disposed on the drive unit 42 side of the center position in the left-right direction between the drive unit 42 and the driven pulley 32. The front-rear distance between the front end of the idle pulley 45 disposed on the front side and the rear end of the idle pulley 45 disposed on the rear side is shorter than the pitch circle diameter of the drive pulley 31.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ハンド駆動機構１７は、ハンド駆動機構１７の駆動部４３よりもアーム部１２の先端側に配置される駆動部４２を有するハンド駆動機構１６の駆動部４２と、ハンド駆動機構１７のベルト３３との隙間を確保するための２個のアイドルプーリ４５を備えており、ベルト３３の内周側に配置される２個のアイドルプーリ４５がアーム部１２の幅方向（前後方向）におけるベルト３３の間隔を広げている。 (Main effects of this embodiment)
As described above, in this embodiment, the hand driving mechanism 17 is equipped with the driving unit 42 of the hand driving mechanism 16 having the driving unit 42 arranged closer to the tip of the arm portion 12 than the driving unit 43 of the hand driving mechanism 17, and two idle pulleys 45 for ensuring a gap between the driving unit 42 and the belt 33 of the hand driving mechanism 17, and the two idle pulleys 45 arranged on the inner side of the belt 33 widen the spacing of the belt 33 in the width direction (front-to-back direction) of the arm portion 12.

したがって、本形態では、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保するために、アイドルプーリ４５によってアーム部１２の幅方向におけるベルト３３の間隔を広げつつ、アイドルプーリ４５よりもアーム部１２の先端側では、アイドルプーリ４５が配置されていない場合よりも、アーム部１２の幅方向におけるベルト３３の間隔を狭めていく度合いを大きくすることが可能になる。そのため、本形態では、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しつつ、従動プーリ３２のピッチ円径を小さくすることが可能になる。 Therefore, in this embodiment, in order to secure a gap between the drive unit 42 and the belt 33, the idle pulley 45 widens the gap of the belt 33 in the width direction of the arm unit 12, while the degree to which the gap of the belt 33 in the width direction of the arm unit 12 is narrowed can be increased on the tip side of the arm unit 12 from the idle pulley 45 compared to when the idle pulley 45 is not disposed. Therefore, in this embodiment, it is possible to reduce the pitch circle diameter of the driven pulley 32 while securing a gap between the drive unit 42 and the belt 33.

すなわち、アイドルプーリ４５を使用せずに、駆動部４２とベルト３３との間に、アイドルプーリ４５を使用した場合と同程度の隙間を確保しようとすると、アーム部１２の先端側において、図６の二点鎖線で示すように、アイドルプーリ４５が配置されている場合よりも、アーム部１２の幅方向におけるベルト３３の間隔を狭めていく度合いが小さくなり、その結果、従動プーリ３２のピッチ円径が大きくなる。 In other words, if one were to try to secure a gap between the drive unit 42 and the belt 33 without using the idle pulley 45, the degree to which the gap of the belt 33 in the width direction of the arm unit 12 would be narrowed would be smaller than when the idle pulley 45 is placed at the tip side of the arm unit 12, as shown by the two-dot chain line in Figure 6, and as a result, the pitch circle diameter of the driven pulley 32 would be larger.

これに対して、本形態では、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しつつ、アーム部１２の先端部に配置される従動プーリ３２のピッチ円径を小さくすることが可能になる。したがって、本形態では、中空状のアーム部１２の内部に２個のハンド駆動機構１６、１７が配置されていても、ハンド駆動機構１７のベルト３３とハンド駆動機構１６との干渉を確実に防止しつつ、アーム部１２の先端部の幅を狭めることが可能になる。 In contrast, in this embodiment, it is possible to reduce the pitch circle diameter of the driven pulley 32 arranged at the tip of the arm section 12 while ensuring a gap between the drive section 42 and the belt 33. Therefore, in this embodiment, even if two hand drive mechanisms 16, 17 are arranged inside the hollow arm section 12, it is possible to narrow the width of the tip of the arm section 12 while reliably preventing interference between the belt 33 of the hand drive mechanism 17 and the hand drive mechanism 16.

本形態では、アイドルプーリ４５は、左右方向（アーム部１２の長手方向）において駆動部４２と従動プーリ３２との間に配置されている。そのため、本形態では、アイドルプーリ４５が左右方向において駆動部４２と駆動部４３との間に配置されている場合と比較して、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しやすくなる。また、本形態では、駆動プーリ３１のピッチ円径が駆動プーリ２６のピッチ円径よりも大きくなっており、駆動プーリ３１のピッチ円径が比較的大きくなっているため、駆動部４２とベルト３３との隙間を確保しやすくなる。 In this embodiment, the idle pulley 45 is disposed between the drive unit 42 and the driven pulley 32 in the left-right direction (the longitudinal direction of the arm portion 12). Therefore, in this embodiment, it is easier to ensure a gap between the drive unit 42 and the belt 33 compared to when the idle pulley 45 is disposed between the drive unit 42 and the drive unit 43 in the left-right direction. Also, in this embodiment, the pitch circle diameter of the drive pulley 31 is larger than the pitch circle diameter of the drive pulley 26, and the pitch circle diameter of the drive pulley 31 is relatively large, so it is easier to ensure a gap between the drive unit 42 and the belt 33.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 Other Embodiments
The above-described embodiment is one example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this embodiment and various modifications can be made without departing from the spirit and scope of the present invention.

上述した形態において、駆動プーリ２６は、減速機２９を介さずにモータ２５の出力軸に連結されていても良い。すなわち、駆動部４２は、減速機２９を備えていなくても良い。同様に、駆動プーリ３１は、減速機３４を介さずにモータ３０の出力軸に連結定されていても良い。すなわち、駆動部４３は、減速機３４を備えていなくても良い。また、上述した形態において、モータ２５は、アーム部本体２０に直接固定されていても良い。すなわち、駆動部４２は、モータ固定部材３９を備えていなくても良い。同様に、モータ３０は、アーム部本体２０に直接固定されていても良い。すなわち、駆動部４３は、モータ固定部材４０を備えていなくても良い。 In the above-mentioned embodiment, the drive pulley 26 may be connected to the output shaft of the motor 25 without the reduction gear 29. That is, the drive unit 42 may not have the reduction gear 29. Similarly, the drive pulley 31 may be connected to the output shaft of the motor 30 without the reduction gear 34. That is, the drive unit 43 may not have the reduction gear 34. Also, in the above-mentioned embodiment, the motor 25 may be directly fixed to the arm body 20. That is, the drive unit 42 may not have the motor fixing member 39. Similarly, the motor 30 may be directly fixed to the arm body 20. That is, the drive unit 43 may not have the motor fixing member 40.

上述した形態において、２個のアイドルプーリ４５は、左右方向において互いにずれた位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、アイドルプーリ４５は、左右方向において駆動部４２と駆動部４３との間に配置されていても良い。また、上述した形態において、駆動プーリ３１のピッチ円径は、駆動プーリ２６のピッチ円径以下となっていても良い。さらに、上述した形態において、ハンド駆動機構１７は、３個以上のアイドルプーリ４５を備えていても良い。ただし、上述した形態のように、ハンド駆動機構１７が有するアイドルプーリ４５の数が２個である場合には、２個のアイドルプーリ４５を用いた簡易な構成で前後方向におけるベルト３３の間隔を広げることが可能になる。 In the above-mentioned embodiment, the two idle pulleys 45 may be arranged at positions offset from each other in the left-right direction. Also, in the above-mentioned embodiment, the idle pulley 45 may be arranged between the drive unit 42 and the drive unit 43 in the left-right direction. Also, in the above-mentioned embodiment, the pitch circle diameter of the drive pulley 31 may be equal to or smaller than the pitch circle diameter of the drive pulley 26. Furthermore, in the above-mentioned embodiment, the hand drive mechanism 17 may include three or more idle pulleys 45. However, as in the above-mentioned embodiment, when the number of idle pulleys 45 that the hand drive mechanism 17 has is two, it is possible to widen the spacing of the belt 33 in the front-rear direction with a simple configuration using two idle pulleys 45.

上述した形態において、ロボット１は、回動中心が一致する３個以上のハンドと、３個以上のハンドのそれぞれを回動させる３個以上のハンド駆動機構とを備えていても良い。たとえば、ロボット１は、回動中心が一致する３個のハンドと、３個のハンドのそれぞれを回動させる３個のハンド駆動機構とを備えていても良い。この場合には、３個のハンド駆動機構の駆動部が左右方向において互いにずれた位置に配置され、３本のベルトが上下方向において互いにずれた位置に配置されている。 In the above-described embodiment, the robot 1 may have three or more hands with the same rotation center, and three or more hand drive mechanisms for rotating each of the three or more hands. For example, the robot 1 may have three hands with the same rotation center, and three hand drive mechanisms for rotating each of the three hands. In this case, the drive units of the three hand drive mechanisms are arranged at positions offset from each other in the left-right direction, and the three belts are arranged at positions offset from each other in the up-down direction.

また、この場合には、３個のハンド駆動機構のうちの、最も左側（アーム部１２の先端側）に配置される駆動部を有するハンド駆動機構が第１駆動機構となり、残りの２個のハンド駆動機構が第２駆動機構となる。３個のハンド駆動機構のうちで、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構は、最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部と、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリ（たとえば、２個のアイドルプーリ）を備えている。 In this case, the hand drive mechanism having the drive unit located on the far left (the tip side of the arm portion 12) of the three hand drive mechanisms becomes the first drive mechanism, and the remaining two hand drive mechanisms become the second drive mechanisms. Of the three hand drive mechanisms, the hand drive mechanism having the drive unit located second from the left is equipped with a plurality of idle pulleys (e.g., two idle pulleys) to ensure a gap between the drive unit of the hand drive mechanism having the drive unit located on the far left and the belt of the hand drive mechanism having the drive unit located second from the left.

また、３個のハンド駆動機構のうちで、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構は、最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部と、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトとの隙間、および、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部と、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトとの隙間を確保するための複数のアイドルプーリ（たとえば、２個のアイドルプーリ）を備えている。 Of the three hand drive mechanisms, the hand drive mechanism having the drive unit located on the far right side is provided with a number of idle pulleys (e.g., two idle pulleys) to ensure a gap between the drive unit of the hand drive mechanism having the drive unit located on the far left side and the belt of the hand drive mechanism having the drive unit located on the far right side, and a gap between the drive unit of the hand drive mechanism having the drive unit located second from the left and the belt of the hand drive mechanism having the drive unit located on the far right side.

この場合には、左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトと最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部との干渉、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトと最も左側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部との干渉、および、最も右側に配置される駆動部を有するハンド駆動機構のベルトと左から２番目に配置される駆動部を有するハンド駆動機構の駆動部との干渉を確実に防止しつつ、アーム部１２の先端部の幅を狭めることが可能になる。 In this case, it is possible to narrow the width of the tip of the arm portion 12 while reliably preventing interference between the belt of the hand drive mechanism having the drive part located second from the left and the drive part of the hand drive mechanism having the drive part located on the leftmost side, between the belt of the hand drive mechanism having the drive part located on the rightmost side and the drive part of the hand drive mechanism having the drive part located on the leftmost side, and between the belt of the hand drive mechanism having the drive part located on the rightmost side and the drive part of the hand drive mechanism having the drive part located second from the left.

上述した形態において、２個のハンド４、５に代えて、アーム部１２の先端部に２個のアーム部が回動可能に連結されていても良い。この場合には、２個のアーム部の回動中心は一致している。また、この場合には、ロボット１は、２個のアーム部のうちの一方のアーム部を回動させる第１駆動機構と、他方のアーム部を回動させる第２駆動機構とを備えており、第１駆動機構は、ハンド駆動機構１６と同様に構成され、第２駆動機構は、ハンド駆動機構１７と同様に構成されている。また、この場合には、アーム部１２の先端部に連結されるアーム部が回動部となる。 In the above-described embodiment, instead of the two hands 4, 5, two arms may be rotatably connected to the tip of the arm 12. In this case, the centers of rotation of the two arms are the same. In this case, the robot 1 is equipped with a first drive mechanism that rotates one of the two arms and a second drive mechanism that rotates the other arm, the first drive mechanism being configured similarly to the hand drive mechanism 16, and the second drive mechanism being configured similarly to the hand drive mechanism 17. In this case, the arm connected to the tip of the arm 12 becomes the rotating part.

上述した形態において、アーム６は、２個のアーム部によって構成されても良いし、４個以上のアーム部によって構成されても良い。また、上述した形態において、ロボット１は、半導体ウエハ２以外の搬送対象物を搬送するためのロボットであっても良いし、その他の用途で使用される水平多関節型のロボットであっても良い。 In the above-mentioned embodiment, the arm 6 may be composed of two arm portions, or may be composed of four or more arm portions. Also, in the above-mentioned embodiment, the robot 1 may be a robot for transporting objects other than the semiconductor wafer 2, or may be a horizontal articulated robot used for other purposes.

１ロボット（産業用ロボット）
２ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
４、５ハンド（回動部）
６アーム
１２アーム部
１６ハンド駆動機構（駆動機構、第１駆動機構）
１７ハンド駆動機構（駆動機構、第２駆動機構）
２５、３０モータ
２６、３１駆動プーリ
２７、３２従動プーリ
２８、３３ベルト
４２、４３駆動部
４５アイドルプーリ
Ｘアーム部の長手方向
Ｙアーム部の幅方向 1. Robots (industrial robots)
2 Wafer (semiconductor wafer, transport object)
4, 5 Hand (rotating part)
6 Arm 12 Arm portion 16 Hand driving mechanism (driving mechanism, first driving mechanism)
17 Hand drive mechanism (drive mechanism, second drive mechanism)
25, 30 Motor 26, 31 Drive pulley 27, 32 Driven pulley 28, 33 Belt 42, 43 Drive section 45 Idle pulley X Longitudinal direction of arm section Y Width direction of arm section

Claims

In horizontal articulated industrial robots,
The arm includes a hollow arm portion constituting a part of the arm, two rotating portions rotatably connected to the tip end of the arm portion, and two drive mechanisms for rotating the two rotating portions, respectively.
The two rotating parts rotate about an axis of rotation in the up-down direction,
The rotation centers of the two rotating parts are aligned,
each of the two drive mechanisms includes a drive unit including a motor as a drive source and a drive pulley fixed to the motor side, a driven pulley fixed to the rotating unit side, and a belt stretched between the drive pulley and the driven pulley, and is disposed inside the arm unit;
The two driven pulleys are overlapped in the vertical direction,
The shaft centers of the two driven pulleys coincide with the rotation center of the rotating part,
The two drive units are disposed at positions offset from each other in a longitudinal direction of the arm unit perpendicular to the up-down direction,
The two belts are arranged at positions offset from each other in the vertical direction,
Of the two drive mechanisms, the drive mechanism having the drive unit disposed closest to the tip of the arm portion is defined as a first drive mechanism, and the remaining drive mechanisms excluding the first drive mechanism are defined as a second drive mechanism.
the second drive mechanism includes a plurality of idle pulleys for ensuring a gap between the drive portion of the first drive mechanism and the belt of the second drive mechanism;
the idle pulleys are arranged on an inner peripheral side of the belt, widening the spacing of the belt in a width direction of the arm section perpendicular to the longitudinal direction and the up- down direction of the arm section, and are arranged between the drive section and the driven pulley of the first drive mechanism in the longitudinal direction of the arm section .

The second drive mechanism includes two of the idle pulleys.
2. The industrial robot according to claim 1, wherein the two idle pulleys push the belt in mutually different directions toward the outside of the width direction of the arm portion.

3. The industrial robot according to claim 1 , wherein the rotating part is a hand on which an object to be transferred is placed.

4. The industrial robot according to claim 1 , wherein a pitch circle diameter of the drive pulley of the second drive mechanism is larger than a pitch circle diameter of the drive pulley of the first drive mechanism.