JP7506920B2

JP7506920B2 - Suction nozzle

Info

Publication number: JP7506920B2
Application number: JP2020156100A
Authority: JP
Inventors: 壽夫吉岡; 洋志吉岡
Original assignee: Sanwa System Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanwa System Engineering Co Ltd
Priority date: 2020-09-17
Filing date: 2020-09-17
Publication date: 2024-06-27
Anticipated expiration: 2040-09-17
Also published as: JP2022049846A

Description

本発明は、例えば二次電池用電極板の表面に付着した数μｍないし数十μｍ程度の塵埃などの微細な異物（コンタミネーション：コンタミ）を吸引するためのノズルに関する。 The present invention relates to a nozzle for sucking up fine foreign matter (contamination), such as dust particles of a few μm to a few tens of μm in size, that is attached to the surface of an electrode plate for a secondary battery, for example.

各種の高精度製品では、数μｍないし数十μｍの異物（コンタミ）が表面粗さの低下、擦り傷、電気的短絡などの欠陥の原因になることがある。この種の製品をクリーンルームで製造することにより、外部からの塵埃による影響を回避できるが、製造過程で生じる塵埃もしくは異物は、その製造過程で除去する必要がある。製造の過程で製品表面に付着した塵埃を除去する場合、製品表面の損傷を回避するために非接触で除去することが望ましく、この種の非接触で異物を除去する装置として、吸引式の集塵機が知られている。 In various high-precision products, foreign matter (contamination) of a few microns to a few tens of microns can cause defects such as reduced surface roughness, scratches, and electrical short circuits. By manufacturing this type of product in a clean room, the effects of dust from outside can be avoided, but dust or foreign matter generated during the manufacturing process must be removed during that process. When removing dust that has adhered to the product surface during the manufacturing process, it is desirable to remove it without contact in order to avoid damaging the product surface. Suction-type dust collectors are known as devices for removing foreign matter without contact.

吸引式の集塵機もしくは清掃装置として、異物もしくは塵埃を吸入した空気を螺旋流とすることにより、異物もしくは塵埃を遠心力によって空気から分離するように構成された装置が広く知られている。また、吸引式の集塵機あるいは清掃装置を使用する場合、その吸引口に向けて異物を吹き飛ばすためのブロアを併用することも従来行われている。 As a suction type dust collector or cleaning device, a device that is configured to make the air that has sucked in foreign objects or dust into a spiral flow and separate the foreign objects or dust from the air by centrifugal force is widely known. In addition, when using a suction type dust collector or cleaning device, it has been conventional to use a blower in combination to blow foreign objects toward the suction port.

吸引式の集塵機もしくは清掃装置は、吸引ファンなどの負圧源に接続したホースの先端部に吸引ノズルを取り付け、その吸引ノズルを異物に近づけることにより、吸引ノズルに吸い込まれる空気流を異物に当て、その空気流によって異物を、製品表面から運び去るように構成された装置である。その空気流から異物を分離する手段として、フィルタやサイクロンなどが用いられている。 A suction type dust collector or cleaning device is a device that is configured to attach a suction nozzle to the end of a hose connected to a negative pressure source such as a suction fan, bring the suction nozzle close to the foreign object, and direct the airflow sucked into the suction nozzle at the foreign object, thereby carrying the foreign object away from the product surface. Filters, cyclones, etc. are used as a means of separating the foreign object from the airflow.

また一方、特許文献１には、円筒状の排出体の下端開口部から空気を吹き込んで螺旋流を生じさせ、それに伴う吸引作用によって、排出体の下端中央部に設けた流入口からごみを吸入するように構成した集塵機が記載されている。その排出体の下端開口縁と流入口との間の隙間が空気の流入部になっており、その周囲には螺旋羽が設けられていて、排出体の内部に吹き込まれる空気流が螺旋流となるように構成されている。空気を上記のように排出体の内部に吹き込むことにより、排出体の内部には上昇流が生じ、その上昇流によってごみを吸い上げて集塵作業車両の荷台に載せるようになっている。 On the other hand, Patent Document 1 describes a dust collector that blows air into the opening at the bottom of a cylindrical discharge body to generate a spiral flow, and the resulting suction action draws in dirt from an inlet located in the center of the bottom of the discharge body. The gap between the edge of the opening at the bottom of the discharge body and the inlet serves as the air inlet, and spiral blades are provided around it, so that the air flow blown into the inside of the discharge body becomes a spiral flow. Blowing air into the inside of the discharge body as described above generates an upward flow inside the discharge body, and the upward flow sucks up the dirt and places it on the bed of the dust collection vehicle.

特開２００５－２３８０４７号公報JP 2005-238047 A

上述した一般的な吸引式の集塵機は、例えば家庭用掃除機としては充分な吸引力を発揮する。しかしながら、例えば精密製品の表面に付着している粒径もしくは長さが数μｍないし数十μｍ程度の微細な異物をもれなく吸引して除去することは困難である。その理由は、以下のように考えられる。 The typical suction-type dust collectors mentioned above have sufficient suction power for use as, for example, a household vacuum cleaner. However, it is difficult to completely suck up and remove minute foreign matter with a particle size or length of a few to several tens of microns that is attached to the surface of a precision product. The reasons for this are thought to be as follows.

負圧源に接続されている吸引ノズルの開口端部における内外の圧力差は、吸引ノズルを負圧源に接続しているホースでの圧力損失などが要因となって０．１ＭＰａより小さくなる。すなわち、吸引ノズルの内部の圧力が外気圧（大気圧）に近くなる。そのため、吸引ノズルの内部に向けて流れ込む空気流の流速が必ずしも速くならない。 The pressure difference between the inside and outside of the opening end of the suction nozzle connected to the negative pressure source is less than 0.1 MPa due to factors such as pressure loss in the hose connecting the suction nozzle to the negative pressure source. In other words, the pressure inside the suction nozzle becomes close to the outside air pressure (atmospheric pressure). As a result, the flow rate of the air flowing into the inside of the suction nozzle does not necessarily increase.

また、吸引ノズルに流入する空気流は、吸引ノズルの中心に向けて直線的に流れ込もうとする。さらに、吸引ノズルの外部から吸引ノズルの中心に向けて流れる空気流の一部は、吸引ノズルの開口端の外面に突き当たり、その部分で空気流の乱れが生じ、空気の一部が吸引ノズルに対して外向きの流れや下向きもしくは上向きの流れになる。 In addition, the air flow entering the suction nozzle tends to flow in a straight line toward the center of the suction nozzle. Furthermore, part of the air flowing from the outside of the suction nozzle toward the center of the suction nozzle hits the outer surface of the opening end of the suction nozzle, causing turbulence in the air flow at that point, with part of the air flowing outward or downward or upward relative to the suction nozzle.

このように、負圧源に接続された吸引ノズルによって塵埃などを吸引する方式の集塵機では、吸引ノズルの中心に向けた空気流の流速が必ずしも速くないうえに、上記のような空気流の乱れが生じることにより、製品の表面に付着している異物を吸い込めなかったり、あるいは製品の表面に付着している異物の一部を吹き飛ばしてしまって、当該製品の他の部分あるいは他の製品に付着させてしまったりする場合がある。 In this way, in dust collectors that suck up dust and other particles using a suction nozzle connected to a negative pressure source, the speed of the airflow toward the center of the suction nozzle is not necessarily fast, and turbulence in the airflow as described above can occur, which can result in the foreign matter adhering to the surface of the product not being sucked in, or in some of the foreign matter adhering to the surface of the product being blown away and adhering to other parts of the product or to other products.

このような事情は、特許文献１に記載されている集塵機においても同様である。すなわち、特許文献１に記載されている集塵機は、排出体の下端外周部に設けられている螺旋翼によって螺旋流を生じさせ、これを排出体の下端部からその内部に流入させるように構成されているが、排出体の内部に吹き込まれた空気流が螺旋流を維持することはなく，少なくとも螺旋流を維持する手段が設けられていないので、螺旋流は単なる直線的な流れになってしまう。したがって、排出体の中心部に、ごみの吸引に充分な負圧部が生じることがなく、万が一、負圧部が生じるとしても圧力が特には低くなく、ごみの吸引を充分には行い得ない可能性がある。そして、特許文献１に記載された集塵機は、排出体の内部に空気を吹き込むように構成されているのに対して、排出体の流入口側の開口部とこれとは反対の上端側の開口部とにおける圧力は共に大気圧であるから、排出体の内部に吹き込んだ空気の全量が必ずしも上端側に流れるとは言い得ず、空気が流入口から噴き出したり、乱流となって渦巻いたりし、その結果、吸引するべきごみを吹き飛ばして、ごみの収集を確実には行い得ない可能性がある。 The same situation applies to the dust collector described in Patent Document 1. That is, the dust collector described in Patent Document 1 is configured to generate a spiral flow by a spiral blade provided on the outer periphery of the lower end of the discharge body, and to flow this into the inside of the discharge body from the lower end. However, the air flow blown into the inside of the discharge body does not maintain the spiral flow, and since there is no means for maintaining the spiral flow, the spiral flow becomes a simple linear flow. Therefore, no negative pressure area sufficient for sucking in dirt is generated in the center of the discharge body, and even if a negative pressure area does occur, the pressure is not particularly low, and there is a possibility that dirt cannot be sufficiently sucked in. Furthermore, while the dust collector described in Patent Document 1 is configured to blow air into the inside of the discharge body, the pressure at the opening on the inlet side of the discharge body and the opening on the opposite side at the top end are both atmospheric pressure, so it cannot be said that all of the air blown into the inside of the discharge body necessarily flows to the top end side, and the air may be ejected from the inlet or become turbulent and swirl, which may result in the dust that should be sucked being blown away and dust not being collected reliably.

本発明は上記の技術的課題に着目してなされたものであり、微細な異物などの対象物であっても確実に吸引し、あるいは吸入することのできるノズルを提供することを目的とするものである。 The present invention was made with a focus on the above technical problems, and aims to provide a nozzle that can reliably suck in or suction even minute foreign objects.

本発明は、上記の目的を達成するために、吸引するべき対象物が存在する面に接触することなく前記対象物を吸引する吸引ノズルであって、前記対象物に向けられる吸引口が、筒状本体部の先端部に形成されるとともに、前記筒状本体部における中心軸線の方向で前記吸引口とは反対側に、所定の捕捉部に連通される排出口が形成され、前記筒状本体部の内周面には、前記内周面の接線に対して斜め内向きでかつ斜め上向きに傾斜して開口している複数の噴気孔が、前記中心軸線を中心とした円周方向および前記中心軸線の方向のそれぞれに所定の間隔をあけて配列されて形成され、前記噴気孔から加圧した気体を噴射して前記筒状本体部の内部に前記気体の螺旋流を生じさせて前記吸引口によって前記対象物を吸引するように構成されていることを特徴としている。
In order to achieve the above-mentioned object, the present invention provides a suction nozzle which sucks in an object to be sucked in without coming into contact with a surface on which the object is located, wherein a suction port directed toward the object is formed at the tip of a cylindrical main body, and an outlet port connected to a predetermined capture section is formed on the opposite side of the suction port in the direction of the central axis of the cylindrical main body , and a plurality of blowholes are formed on the inner surface of the cylindrical main body, the blowholes opening at an angle diagonally inward and diagonally upward with respect to a tangent to the inner surface, and are arranged at predetermined intervals in both the circumferential direction centered on the central axis and in the direction of the central axis, and the nozzle is configured to spray pressurized gas from the blowholes to generate a spiral flow of the gas inside the cylindrical main body, thereby sucking in the object by the suction port.

また、本発明では、前記複数の噴気孔は、前記中心軸線を中心としかつ前記中心軸線の方向に互いにずれている複数条の螺旋線の上に位置するように配列されていてよい。 In addition, in the present invention, the multiple blowholes may be arranged so as to be located on multiple spiral lines that are centered on the central axis and offset from one another in the direction of the central axis.

本発明では、所定の一条の螺旋線上に位置する前記噴気孔と前記所定の一条の螺旋線に隣接する他の螺旋線上に位置する前記噴気孔とは、前記中心軸線を中心とした円周方向において互いにずれて位置していてよい。 In the present invention, the fumarole located on a specific spiral line and the fumarole located on another spiral line adjacent to the specific spiral line may be positioned offset from each other in the circumferential direction around the central axis.

本発明では、前記複数の噴気孔のうち最も前記吸引口側に位置する噴気孔は、前記吸引口の開口端から前記排出口側に所定寸法後退して配置されていてよい。 In the present invention, the blowhole that is located closest to the suction port among the plurality of blowholes may be positioned a predetermined distance back from the open end of the suction port toward the discharge port.

本発明では、前記筒状本体部は、前記噴気孔が形成されている内筒と、前記内筒の外周面との間に所定の空間をあけて前記内筒と同心円上に配置された外筒とを備え、前記噴気孔は、前記内筒を貫通して前記空間に開口し、前記空間は、前記加圧した気体が供給される圧力室とされていてよい。 In the present invention, the cylindrical main body includes an inner cylinder in which the blowhole is formed, and an outer cylinder arranged concentrically with the inner cylinder with a predetermined space between the inner cylinder and the outer peripheral surface of the inner cylinder, and the blowhole penetrates the inner cylinder and opens into the space, which may be a pressure chamber to which the pressurized gas is supplied.

本発明に係る吸引ノズルにおいては、空気などの加圧した気体を噴気孔から噴射させると、筒状本体部の内部に、吸引口から排出口に向けた螺旋流が生成される。その気体の圧力は、螺旋流が生じる範囲で特には制約がなく、大気圧の数倍の圧力に設定することができる。本発明では、気体の圧力をこのように高くすることができることにより、螺旋流の流速が、真空引きして生じさせた螺旋流の流速より格段に速くなる。また、各噴気孔がそれぞれ螺旋方向を向いているので、所定の一つの噴気孔から噴射された気体流は、当該一つの噴気孔の前方の他の噴気孔から噴射された気体流に巻き込まれて流速が維持もしくは増大させられる。すなわち、各噴気孔から噴射された気体は、噴射された直後に運動量を失い始めるが、前方側の噴気孔から噴射された気体の流れに乗って継続して流動する。すなわち、本発明では、高速でかつ安定した螺旋流を筒状本体部の内部に生成しかつ維持できる。 In the suction nozzle according to the present invention, when pressurized gas such as air is sprayed from the blowhole, a spiral flow is generated inside the cylindrical main body from the suction port toward the exhaust port. The pressure of the gas is not particularly limited within the range in which the spiral flow is generated, and can be set to a pressure several times the atmospheric pressure. In the present invention, the gas pressure can be increased in this way, so that the flow rate of the spiral flow is much faster than the flow rate of the spiral flow generated by vacuum drawing. In addition, since each blowhole faces in a spiral direction, the gas flow sprayed from a specific blowhole is caught up in the gas flow sprayed from the other blowholes in front of the one blowhole, and the flow rate is maintained or increased. In other words, the gas sprayed from each blowhole begins to lose momentum immediately after being sprayed, but continues to flow by riding on the flow of the gas sprayed from the blowhole in front. In other words, in the present invention, a high-speed and stable spiral flow can be generated and maintained inside the cylindrical main body.

その状態で吸引口を塵埃などの吸引対象物に接近させると、筒状本体部の内部の螺旋流が塵埃などの異物を巻き上げて排出口に向けて搬送する。また、筒状本体部の外気を吸引口から筒状本体部の内部に吸い込み、その外気の流れに乗せて異物を排出口に向けて搬送する。その場合、吸引口の開口端においても螺旋流が生じていてその流速が速いから、吸引口の開口端における乱流やそれに起因する外向きの流れが生じることが殆どない。そのため、除去すべき塵埃などの異物を吹き飛ばすなどのことがなく、確実に吸引口の内部に引き寄せることができる。すなわち、数ミクロンメータあるいは数十ミクロンメータ程度の微細な異物をも確実に吸引でき、また排出することができる。 In this state, when the suction port is brought close to an object to be sucked, such as dust, the spiral flow inside the cylindrical main body picks up the dust and other foreign objects and carries them toward the exhaust port. In addition, outside air from the cylindrical main body is sucked into the inside of the cylindrical main body from the suction port, and the foreign objects are carried toward the exhaust port on the flow of outside air. In this case, a spiral flow is also generated at the open end of the suction port, and the flow rate is fast, so there is almost no turbulence at the open end of the suction port or the resulting outward flow. Therefore, the dust and other foreign objects to be removed can be reliably drawn into the inside of the suction port without being blown away. In other words, even very fine foreign objects of a few microns or tens of microns in size can be reliably sucked in and discharged.

本発明に係る吸引ノズルの一例を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of a suction nozzle according to the present invention. 内筒の円周方向における噴気孔の配列位置を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing the arrangement of blowholes in the circumferential direction of the inner cylinder. 噴気孔の一つを示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing one of the blowholes. 噴気孔の配列状態を説明するための、内筒の内面の展開図である。FIG. 2 is a development of the inner surface of the inner cylinder to explain the arrangement of the blowholes. 吸引口付近における空気流の速度分布を測定した結果を矢印（ベクトル）で示す図である。11 is a diagram showing the results of measuring the velocity distribution of airflow near the suction port using arrows (vectors). FIG. 内筒の上下方向での中央部付近における空気流の上昇速度分布を測定した結果を矢印（ベクトル）で示す図である。1 is a diagram showing, with arrows (vectors), the results of measuring the upward velocity distribution of airflow near the center in the vertical direction of the inner cylinder. FIG.

本発明を図に示す実施形態に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明を実施した場合の一例に過ぎず、本発明を限定するものではない。 The present invention will be described based on the embodiment shown in the figures. Note that the embodiment described below is merely one example of how the present invention can be implemented and does not limit the present invention.

本発明に係る吸引ノズル１は、空気などの気体の螺旋上昇流（以下、螺旋流と記す）を生じさせることに伴う負圧によって対象物を吸引し、その対象物を吸入した場合には螺旋流に乗せて系外に排出するように構成されている。吸引ノズル１は図１に示すように、そのような螺旋流を生じさせるために筒状本体部（以下、本体部と記す）２を有しており、その本体部２の一方の端部（具体的には下端部）が吸引口３となっている。本発明においては、本体部２の内部から気体を吸引することにより螺旋流を生じさせるのではなく、本体部２の内部に空気などの気体を吹き込んで螺旋流を生じさせるように構成されている。 The suction nozzle 1 according to the present invention is configured to suck in an object by the negative pressure caused by generating a spiral upward flow of gas such as air (hereinafter referred to as a spiral flow), and when the object is sucked in, it is discharged outside the system on the spiral flow. As shown in FIG. 1, the suction nozzle 1 has a cylindrical main body portion (hereinafter referred to as a main body portion) 2 in order to generate such a spiral flow, and one end (specifically the lower end) of the main body portion 2 serves as a suction port 3. In the present invention, the spiral flow is not generated by sucking in gas from inside the main body portion 2, but is generated by blowing a gas such as air into the main body portion 2.

そのための構成を具体的に説明すると、図１に示す例では、本体部２は、内筒４と外筒５との二重管構造になっている。内筒４および外筒５は共に同じ長さの円筒体であり、内筒４の外径に対して外筒５の内径が所定寸法大きく、したがって内筒４と外筒５とは、両者の間に所定の隙間（空間）をあけた状態で、同一軸線上（同心円上）に配置されている。これら内筒４と外筒５とは、図１での下端部に取り付けられた環状のロアープレート６と、図１での上端部に取り付けられた環状のアッパープレート７とによって一体化されている。したがって、内筒４の外周面と外筒５の内周面との間の隙間（空間）の部分は、ロアープレート６とアッパープレート７とによって閉じられており、この空間部分が本発明における圧力室８となっている。 To explain the specific configuration, in the example shown in FIG. 1, the main body 2 has a double tube structure of an inner tube 4 and an outer tube 5. The inner tube 4 and the outer tube 5 are both cylindrical bodies of the same length, and the inner diameter of the outer tube 5 is a predetermined dimension larger than the outer diameter of the inner tube 4. Therefore, the inner tube 4 and the outer tube 5 are arranged on the same axis (concentrically) with a predetermined gap (space) between them. The inner tube 4 and the outer tube 5 are integrated by an annular lower plate 6 attached to the lower end in FIG. 1 and an annular upper plate 7 attached to the upper end in FIG. 1. Therefore, the gap (space) between the outer peripheral surface of the inner tube 4 and the inner peripheral surface of the outer tube 5 is closed by the lower plate 6 and the upper plate 7, and this space portion is the pressure chamber 8 in the present invention.

ロアープレート６は、外径が外筒５の外径とほぼ等しく、内径が内筒４の内径とほぼ等しい環状の板状部材であり、中心側の貫通孔は、本体部２の下端側に向けて内径が大きくなるようにテーパ状に形成され、このテーパ状の貫通孔が吸引口３になっている。上記の圧力室８に空気などの加圧した気体を供給する給気ポート９は、上記の外筒５の外周面の適宜の箇所やアッパープレート７あるいはロアープレート６などに設けることができ、図１に示す例では、ロアープレート６の外周部の所定箇所（単数もしくは複数の箇所）に、給気ポート９が設けられている。給気ポート９は、要は、可撓性ホースなどの適宜の給気パイプ１０を接続する部分であり、図１に示すように、ロアープレート６の外周部の所定箇所が外側に突き出ており、給気ポート９はその突き出ている突出部１１に、図１の上向きに開口するように設けられている。その突出部１１の内部には、圧力室８に繋がっている給気路１２が形成されている。したがって、給気ポート９に接続した給気パイプ１０から給気路１２を介して圧力室８に加圧した気体（例えば、０．３ＭＰａ程度の空気）を供給するように構成されている。 The lower plate 6 is an annular plate member whose outer diameter is approximately equal to that of the outer tube 5 and whose inner diameter is approximately equal to that of the inner tube 4. The through hole on the center side is tapered so that the inner diameter increases toward the lower end of the main body 2, and this tapered through hole serves as the suction port 3. An air supply port 9 for supplying pressurized gas such as air to the pressure chamber 8 can be provided at an appropriate location on the outer periphery of the outer tube 5, the upper plate 7, or the lower plate 6. In the example shown in FIG. 1, the air supply port 9 is provided at a predetermined location (single or multiple locations) on the outer periphery of the lower plate 6. The air supply port 9 is essentially a part for connecting an appropriate air supply pipe 10 such as a flexible hose. As shown in FIG. 1, a predetermined location on the outer periphery of the lower plate 6 protrudes outward, and the air supply port 9 is provided on the protruding protrusion 11 so as to open upward in FIG. 1. An air supply passage 12 connected to the pressure chamber 8 is formed inside the protrusion 11. Therefore, it is configured to supply pressurized gas (e.g., air at about 0.3 MPa) to the pressure chamber 8 through the air supply passage 12 from the air supply pipe 10 connected to the air supply port 9.

一方、アッパープレート７は、上記の圧力室８の上側の端部を密閉する板状の部材であり、したがって内筒４の内径程度の半径の貫通孔が中心部に形成された環状をなしている。このアッパープレート７における中心側の貫通孔が本発明における排出口１３になっている。 On the other hand, the upper plate 7 is a plate-like member that seals the upper end of the pressure chamber 8, and is therefore annular with a through hole in the center with a radius approximately equal to the inner diameter of the inner cylinder 4. The through hole on the center side of this upper plate 7 serves as the exhaust port 13 in the present invention.

圧力室８に供給された気体（以下、空気とする）を本体部２の内部に噴射して螺旋流を生じさせる複数の噴気孔１４が、内筒４をその内外周に貫通して設けられている。本発明における螺旋流は、本体部２（内筒４）の中心軸線Ｇを中心とした旋回流であって、かつ吸引口３から排出口１３に向けて上昇する空気の流れである。このような螺旋流を生じさせるために、噴気孔１４は、図２に示すように、内筒４の内周側に向けた噴気孔１４の開口端における内筒４の内周面での接線よりも幾分内向きに開口し、また図３に示すように、前記吸引口３から排出口１３の方向に斜め上向きに傾斜して開口している。このように斜め内向きおよび斜め上向きに形成された複数の噴気孔１４は、図２に示すように、前記中心軸線Ｇを中心とした円周方向には所定の間隔をあけて配列され、また図１に示すように、中心軸線Ｇの方向（上下方向）には所定の間隔をあけて配置されている。 A plurality of blowholes 14 are provided penetrating the inner and outer periphery of the inner cylinder 4, which blow the gas (hereinafter referred to as air) supplied to the pressure chamber 8 into the inside of the main body 2 to generate a spiral flow. The spiral flow in the present invention is a swirling flow centered on the central axis G of the main body 2 (inner cylinder 4), and is an air flow rising from the suction port 3 to the discharge port 13. In order to generate such a spiral flow, the blowholes 14 open slightly inward from the tangent line on the inner peripheral surface of the inner cylinder 4 at the opening end of the blowhole 14 facing the inner peripheral side of the inner cylinder 4, as shown in FIG. 2, and open obliquely upward from the suction port 3 toward the discharge port 13, as shown in FIG. 3. The plurality of blowholes 14 formed obliquely inward and obliquely upward in this way are arranged at a predetermined interval in the circumferential direction centered on the central axis G, as shown in FIG. 2, and are arranged at a predetermined interval in the direction of the central axis G (vertical direction), as shown in FIG. 1.

図２に示す例では、円周方向に６つの噴気孔１４が等間隔に配置されており、各噴気孔１４の中心線ｌ1と、その開口端を通る内筒４の半径線ｌ2とのなす角度θ1は、２π／ｎ（ｎは、円周方向に等間隔に設けられた噴気孔１４の数）であり、したがって開口端における接線ｌ3との角度θ2は、「π／２－２π／ｎ＝（ｎ－４）・π／２ｎ」である。 In the example shown in Figure 2, six blowholes 14 are arranged at equal intervals in the circumferential direction, and the angle θ1 between the center line l1 of each blowhole 14 and the radial line l2 of the inner cylinder 4 passing through its opening end is 2π/n (n is the number of blowholes 14 arranged at equal intervals in the circumferential direction), and therefore the angle θ2 with the tangent l3 at the opening end is "π/2 - 2π/n = (n - 4) x π/2n".

また、各噴気孔１４の斜め上向きの角度（中心軸線Ｇに垂直な平面に対する傾斜角度）θ3は、一例として３０度程度である。この傾斜角度θ3は、本体部２の内部に生成する螺旋流に影響し、小さい角度では空気の流れの上昇成分が不足して螺旋流が生じずに、旋回流あるいはそれに近い流れとなることが考えられる。なお、その場合、排出口１３側から低圧で吸引すれば、必要充分な螺旋流を生じさせることが可能である。また反対に噴気孔１４の傾斜角度θ3が大きい場合には、空気流の上昇速度成分が過剰になって、螺旋流が生じずに、上昇流もしくはそれに近い流れになってしまう可能性がある。さらに、空気流の運動量は噴射速度に影響されることも考えられる。したがって、噴気孔１４の好ましい傾斜角度θ3は、内筒４の内径、軸線方向の長さ、圧力室８の空気圧（空気の噴射圧力)、噴気孔１４の内筒４の内周側に向けた開口角度（前記中心線ｌ1の接線ｌ3に対する角度θ2）などに応じて、実験やシミュレーションなどによって求めることができる。 The upward diagonal angle θ3 of each blower hole 14 (the angle of inclination with respect to a plane perpendicular to the central axis G) is, for example, about 30 degrees. This angle of inclination θ3 affects the spiral flow generated inside the main body 2, and it is considered that a small angle will result in a lack of upward components in the air flow, and a spiral flow will not be generated, but a swirling flow or a flow similar to it. In that case, if the air is sucked in at low pressure from the exhaust port 13 side, it is possible to generate a sufficient spiral flow. Conversely, if the angle of inclination θ3 of the blower hole 14 is large, the upward velocity component of the air flow will be excessive, and a spiral flow will not be generated, and an upward flow or a flow similar to it will be generated. Furthermore, it is considered that the momentum of the air flow is affected by the injection speed. Therefore, the preferred inclination angle θ3 of the blowhole 14 can be determined by experiment or simulation depending on the inner diameter of the inner cylinder 4, the axial length, the air pressure (air injection pressure) in the pressure chamber 8, and the opening angle of the blowhole 14 toward the inner circumference of the inner cylinder 4 (angle θ2 with respect to the tangent l3 of the center line l1).

図４は上記の複数の噴気孔１４の配列状態の一例を示す展開図である。ここに示す例は、６つの噴気孔１４を設けた例であり、噴気孔１４の位置は内筒４の内周面における開口端の位置として丸印で示し、その内筒４の内周面の一部を軸線方向に切断して平面に展開してある。これら６つの噴気孔１４は、それぞれ３つずつを一群とした二群に分けることかでき、第１の一群の噴気孔１４_ａ１，１４_ａ２，１４_ａ３は、内筒４の円周方向および上下方向（中心軸線Ｇに沿う方向）に等間隔に配置されている。したがってこれら３つの噴気孔１４_ａ１，１４_ａ２，１４_ａ３は、所定の螺旋線（図４では傾斜線）Ｌ_１の上に配列されている。第２の一群の噴気孔１４_ｂ１，１４_ｂ２，１４_ｂ３は、第１の一群の噴気孔１４_ａ１，１４_ａ２，１４_ａ３に対して内筒４の円周方向に１８０度ずれて配置されている。なお、第２の一群の噴気孔１４_ｂ１，１４_ｂ２，１４_ｂ３の配列の形態は第１の一群の噴気孔１４_ａ１，１４_ａ２，１４_ａ３の配列の形態と同じであり、第２の一群の噴気孔１４_ｂ１，１４_ｂ２，１４_ｂ３は、内筒４の円周方向および中心軸線Ｇに沿う方向に一定の間隔をあけて配列されている。これらの噴気孔１４_ｂ１，１４_ｂ２，１４_ｂ３を結んだ線は、第１の一群の噴気孔１４_ａ１，１４_ａ２，１４_ａ３が並んでいる上記の螺旋線Ｌ_１に対して内筒４の円周方向に所定寸法（中心軸線Ｇを中心とした開き角度では１８０度）ずれている螺旋線（図４では傾斜線）Ｌ_２になっている。これら各螺旋線Ｌ_１，Ｌ_２のリード角（図４では傾斜角）は、各噴気孔１４の斜め上向きの傾斜角度と同角度、もしくはその角度に近い角度であってよい。 Fig. 4 is a development view showing an example of the arrangement of the above-mentioned multiple blast holes 14. In the example shown here, six blast holes 14 are provided, and the positions of the blast holes 14 are indicated by circles as the positions of the opening ends on the inner peripheral surface of the inner cylinder 4, and a part of the inner peripheral surface of the inner cylinder 4 is cut in the axial direction and developed on a plane. These six blast holes 14 can be divided into two groups, each of which has three blast holes, and the blast holes _14a1 , _14a2 , and _14a3 of the first group are arranged at equal intervals in the circumferential direction and the vertical direction (direction along the central axis G) of the inner cylinder 4. Therefore, these three blast holes _14a1 , _14a2 , and _14a3 are arranged on a predetermined spiral line (an inclined line in Fig. 4) _L1 . The second group of fumaroles _14b1 , _14b2 , _14b3 are arranged 180 degrees offset from the first group of fumaroles _14a1 , _14a2 , _14a3 in the circumferential direction of the inner cylinder 4. The arrangement of the second group of fumaroles _14b1 , _14b2 , _14b3 is the same as the arrangement of the first group of fumaroles _14a1 , _14a2 , _14a3 , and the second group of fumaroles _14b1 , _14b2 , _14b3 are arranged at regular intervals in the circumferential direction of the inner cylinder 4 and in the direction along the central axis G. The line connecting these fumaroles _14b1 , _14b2 , _14b3 is a spiral line (inclined line in Fig. 4 ₎ L2 that is shifted a predetermined distance (180 degrees in terms of opening angle from the central axis G) in the circumferential direction of the inner cylinder ₄ from the above-mentioned spiral line _L1 along which the first group of fumaroles _14a1 , _14a2 , 14a3 are aligned. The lead angle (inclined angle in Fig. 4) of each of these spiral lines _L1 , _L2 may be the same angle as the upward inclination angle of each fumarole 14, or an angle close to that angle.

なお、後述するように、内筒４の内部における空気流の上方向の速度成分は内筒４の上側で次第に速くなるので、各噴気孔１４の上下方向での間隔は、内筒４の上側では下側におけるよりも大きくしてよい。その場合、各噴気孔１４は螺旋線上には並ばず、上側の噴気孔１４は下側の２つの噴気孔１４を結んだ螺旋線に対して上側にずれて位置することになる。 As described below, the upward velocity component of the airflow inside the inner cylinder 4 becomes gradually faster at the upper side of the inner cylinder 4, so the vertical spacing between each blower hole 14 may be made larger at the upper side of the inner cylinder 4 than at the lower side. In that case, the blower holes 14 will not be aligned on a spiral line, and the upper blower hole 14 will be positioned above the spiral line connecting the two lower blower holes 14.

そして、各噴気孔１４のうちで最も下側（吸引口３側）に位置する噴気孔１４_ａ１（もしくは１４_ｂ１）は、吸引口３の開口端縁（本体部２の最下端縁）から排出口１３側に所定寸法後退した位置に設けられている。これは、当該噴気孔１４_ａ１（もしくは１４_ｂ１）から噴射した空気が、吸引するべき対象物を吹き飛ばさないようにするためである。 Among the blowholes 14, the blowhole _14a1 (or _14b1 ) located at the lowest position (on the suction port 3 side) is provided at a position set back a predetermined distance from the opening edge of the suction port 3 (the lowest edge of the main body 2) toward the exhaust port 13. This is to prevent the air sprayed from the blowhole _14a1 (or _14b1 ) from blowing away the object to be sucked in.

また、各噴気孔１４の形状は、内筒４の外周側では大径で、内筒４の内周側では小径になる形状である。図３に示す例では、内径が二段に変化する形状としてあるが、これに限らず、先細りのテーパ形状であってもよい。これは、内筒４の内部に向けて噴射する空気の流速を速くするためである。 The shape of each blower hole 14 is such that it has a large diameter on the outer periphery of the inner cylinder 4 and a small diameter on the inner periphery of the inner cylinder 4. In the example shown in FIG. 3, the inner diameter changes in two steps, but this is not limited to this and it may have a tapered shape. This is to increase the flow speed of the air that is sprayed toward the inside of the inner cylinder 4.

上述した排出口１３は、適宜のフレキシブルパイプもしくはフレキシブルダクトなどの排気管路１５を介して捕捉部１６に接続するように構成されている。捕捉部１６は、吸引口３から吸入した異物などの対象物１７を、本体部２から排出される空気流から分離させて収集する部分であり、フィルタによって対象物１７を捕捉するように構成された装置、あるいはサイクロン式の収集装置などであってよい。 The exhaust port 13 is configured to be connected to the capture unit 16 via an exhaust pipe 15 such as a suitable flexible pipe or flexible duct. The capture unit 16 is a part that separates and collects objects 17, such as foreign matter sucked in from the suction port 3, from the airflow discharged from the main body 2, and may be a device configured to capture the objects 17 using a filter, or a cyclone-type collection device.

つぎに上述した吸引ノズル１の作用について説明する。前述したように排出口１３に排気管路１５を接続し、かつ給気ポート９に給気パイプ１０を接続して、本体部２に加圧した空気を供給する。給気パイプ１０から供給された空気は圧力室８に送られ、その加圧空気はこの圧力室８をいわゆるヘッダとして各噴気孔１４に分散されて各噴気孔１４から内筒４の内部に噴射される。 Next, the operation of the suction nozzle 1 described above will be explained. As described above, the exhaust pipe 15 is connected to the exhaust port 13, and the air supply pipe 10 is connected to the air supply port 9, and pressurized air is supplied to the main body 2. The air supplied from the air supply pipe 10 is sent to the pressure chamber 8, and the pressurized air is dispersed to each blower hole 14 using the pressure chamber 8 as a so-called header, and is sprayed from each blower hole 14 into the inside of the inner cylinder 4.

供給する空気の圧力は大気圧より数倍高い圧力とすることができ、これに加えて、各噴気孔１４は先細りになって空気流が絞られるので、内筒４の内部には高速で空気が噴射される。その場合、内筒４の内周面が円形に湾曲しているだけでなく、噴気孔１４が内筒４の内周面の接線よりも内向きに開口しているので、空気流が内筒４の内面に接触して速度が減衰することが抑制される。言い換えれば、噴気孔１４から噴射した空気流は、より積極的に、内筒４の中心軸線Ｇを中心とした螺旋流となる。 The pressure of the supplied air can be several times higher than atmospheric pressure, and in addition, each blower hole 14 tapers to restrict the airflow, so that air is sprayed into the inner cylinder 4 at high speed. In this case, not only is the inner surface of the inner cylinder 4 curved into a circular shape, but the blower holes 14 open inward from the tangent to the inner surface of the inner cylinder 4, so that the airflow is prevented from coming into contact with the inner surface of the inner cylinder 4 and losing speed. In other words, the airflow sprayed from the blower holes 14 more actively becomes a spiral flow centered on the central axis G of the inner cylinder 4.

また、所定の一つの噴気孔１４から噴射した空気流は、内筒４の内部の広い空間で流速や圧力を急速に失うが、当該一つの噴気孔１４に隣接する他の噴気孔１４からもほぼ同方向で同圧力で空気が噴射されて螺旋流となっているから、当該他の噴気孔１４から噴射された空気流と混ざり合って螺旋流としての流動を継続する。内筒４に設けてある噴気孔１４は前述したように、螺旋方向に向けて開口し、かつ螺旋線Ｌ_１，Ｌ_２に沿って配列されているから、連続しかつ安定した空気の螺旋流を内筒４の内部に生じさせることができる。 Furthermore, the air flow injected from one given blower hole 14 rapidly loses flow velocity and pressure in the wide space inside the inner cylinder 4, but since air is injected from other blowers 14 adjacent to that one blower hole 14 in approximately the same direction and with the same pressure to form a spiral flow, the air flow mixes with the air flow injected from the other blowers 14 and continues to flow as a spiral flow. As described above, the blowers 14 provided in the inner cylinder 4 open in the spiral direction and are arranged along the spiral lines _L1 and _L2 , a continuous and stable spiral flow of air can be generated inside the inner cylinder 4.

内筒４の内部に高速で安定した螺旋流が生じることにより、吸引口３から外気を吸い込む作用が生じる。吸い込まれた外気は、内筒４の内部の螺旋流に巻き込まれて旋回しながら上昇する。その場合の外気の流速は、噴気孔１４から噴射した空気による螺旋流の速度程度になる。しかも、内筒４の内周面に沿った空気流となる。そのため、吸引口３の開口端縁部における吸入される外気の流れは、内筒４の内周面方向に沿った整流となる。したがって、吸引口３を所定の製品面１８上の対象物１７に近づけると、その対象物１７は、吸引口３に吸い込まれる空気流によって吸引口３の中心部に向けてあたかも掃き集められるようにして内筒４の内部に吸い上げられる。すなわち、吸引口３の開口端縁の付近に外気の乱流が生じたり、そのために対象物１７を吹き飛ばして吸入できなかったりすることが回避され、製品面１８上の対象物を確実に吸引・吸入することができる。 The high-speed and stable spiral flow generated inside the inner cylinder 4 causes the outside air to be sucked in through the suction port 3. The sucked-in outside air is caught in the spiral flow inside the inner cylinder 4 and rises while swirling. In this case, the flow speed of the outside air is about the same as the speed of the spiral flow caused by the air ejected from the blower hole 14. Moreover, the air flows along the inner circumferential surface of the inner cylinder 4. Therefore, the flow of the outside air sucked in at the opening edge of the suction port 3 is straightened along the direction of the inner circumferential surface of the inner cylinder 4. Therefore, when the suction port 3 is brought close to an object 17 on a given product surface 18, the object 17 is sucked up into the inner cylinder 4 as if it is being swept toward the center of the suction port 3 by the air flow sucked into the suction port 3. In other words, it is possible to avoid the occurrence of turbulent outside air near the opening edge of the suction port 3, which causes the object 17 to be blown away and unable to be sucked in, and the object on the product surface 18 can be reliably sucked in and inhaled.

図５および図６に、本発明品の作用を確認するために行った実験の結果を示してある。この実験で使用した吸引ノズルは、内筒の内径（直径）が１９ｍｍ、高さ（軸線方向の長さ）が７０ｍｍ、噴気孔の数は６個、各噴気孔の開口径は０．６ｍｍであり、圧力室の空気圧は０．３ＭＰａとした。図５は、吸引口付近における空気流の水平方向および上下方向の二次元での速度分布の測定結果を示している。なお、速度は、対象物１７を微細な粉粒体とし、空気流で運ばれる粉粒体にレーザ光を照射して高速度カメラでその動きを連続的に撮影し、その画像から速度を算出した。図５から知られるように、製品面１８に近い箇所では、流速が遅いが、中心部に向けた整流となっている。したがって、煙のように振る舞う粉粒体は、中心部に向けて掃き集められ、その中心部で吸い上げられている。そして、製品面１８から離れるほど（高い位置ほど）、上昇方向の流速が速くなっている。この結果から、本発明品によれば、対象物である粉粒体を確実に吸入し、かつ排出口から捕捉部に向けて送ることが可能なことが認められた。 5 and 6 show the results of an experiment conducted to confirm the action of the present invention. The suction nozzle used in this experiment had an inner cylinder with an inner diameter of 19 mm, a height (length in the axial direction) of 70 mm, six blowholes, each with an opening diameter of 0.6 mm, and an air pressure of 0.3 MPa in the pressure chamber. FIG. 5 shows the results of measuring the two-dimensional velocity distribution of the air flow in the horizontal and vertical directions near the suction port. The velocity was calculated by irradiating the target object 17 with fine powder and granules carried by the air flow with a laser beam and continuously photographing the movement with a high-speed camera, and then calculating the velocity from the images. As can be seen from FIG. 5, the flow velocity is slow near the product surface 18, but the flow is rectified toward the center. Therefore, the powder and granules that behave like smoke are swept toward the center and sucked up at the center. The flow velocity in the upward direction is faster the further away from the product surface 18 (the higher the position). These results demonstrate that the product of the present invention can reliably suck in the target powder and granular material and send it from the outlet toward the capture section.

図６は、本体部２の上下方向での中間部における円周方向の速度分布を測定した結果を示している。図６に示すように、速度ベクトルが内筒４の内周面に沿った方向に揃っており、上記の図５で得られた上下方向の速度ベクトルを考慮すると、安定した螺旋流が生じていることが認められた。なお、円周方向の流速は、中心部側で遅く、外周側ほど、速くなっていた。したがって、螺旋流に乗っている粉粒体が内筒４の内周面に接触するとしても、その部分での空気流が高速であるから、粉粒体は空気流から脱落することなく排出口１３側に運ばれるものと考えられ、この点においても粉粒体（すなわち塵埃などの対象物１７）を確実に吸入して製品面１８から排除することが可能である。 Figure 6 shows the results of measuring the circumferential velocity distribution at the middle part in the vertical direction of the main body 2. As shown in Figure 6, the velocity vectors are aligned along the inner surface of the inner tube 4, and considering the vertical velocity vectors obtained in Figure 5 above, it was confirmed that a stable spiral flow was generated. The circumferential flow velocity was slower at the center and faster toward the outer periphery. Therefore, even if the powder particles riding on the spiral flow come into contact with the inner surface of the inner tube 4, the air flow in that area is fast, so the powder particles are thought to be carried to the outlet 13 side without falling out of the air flow. In this respect, it is possible to reliably suck in the powder particles (i.e., objects 17 such as dust) and remove them from the product surface 18.

なお、本発明では、負圧源で吸引して螺旋流を生じさせるものではなく、空気などの気体を本体部２の内部に高速で吹き込んで螺旋流を生じさせ、それに伴う負圧で吸引口３から外気を引き込み、かつその外気の流れによって対象物を吸引するように構成されている。したがって、上述した内筒４の内部にはその中心軸線Ｇを中心とした螺旋流が生じるものの、これと併せて、部分的に、また一時的に竜巻に類似した現象が生じる可能性がある。その現象による渦流の下端部が製品面１８あるいは対象物１７にまで達すると（下降すると）、対象物１７はその渦流によっても内筒４の内部に巻き上げられ、ついには前述した螺旋流に乗って排出口１３から外部に運び去られる。このような渦流は、螺旋流の一部に一時的に発生し、かつ消滅するものと思われ、したがって螺旋流に対して乱流を生じさせる要因になるものと思われる。しかしながら、その渦流は、内筒４の内部を吸引口３側から排出口１３側に吸い上げる作用を行うものであるから、対象物１７の吸引・吸入には特には支障とならず、むしろ吸引を補助する付加的な作用を行う。 In addition, in the present invention, the spiral flow is not generated by suction with a negative pressure source, but by blowing gas such as air into the inside of the main body 2 at high speed to generate a spiral flow, and the resulting negative pressure draws in outside air from the suction port 3, and the flow of the outside air sucks in the object. Therefore, a spiral flow centered on the central axis G is generated inside the inner tube 4 described above, but in addition to this, a phenomenon similar to a tornado may occur partially and temporarily. When the lower end of the vortex flow caused by this phenomenon reaches the product surface 18 or the object 17 (when it descends), the object 17 is also lifted up inside the inner tube 4 by the vortex flow, and is finally carried away by the above-mentioned spiral flow from the discharge port 13 to the outside. It is believed that such a vortex flow temporarily appears and disappears in part of the spiral flow, and therefore is believed to be a factor that causes turbulence in the spiral flow. However, the vortex current acts to suck up the inside of the inner cylinder 4 from the suction port 3 side to the exhaust port 13 side, so it does not particularly interfere with the suction and intake of the object 17, but rather acts as an additional aid to the suction.

以上、実施形態に基づいて本発明を説明したが、本発明は上述した実施形態の構成に限られないのであり、例えば、圧力室は、本体部を二重管構造にせずに、本体部の外周部に適宜のジャケットを取り付けて形成してもよい。また、噴気孔の数は、上述した実施形態で示した数以上もしくは以下であってもよく、またそれらの噴気孔を配列する螺旋線は二条である必要はなく、三条以上であってもよい。さらに、噴気孔同士の間隔は必ずしも等間隔である必要はなく、適宜の間隔に設定してよい。さらに、本発明の吸引ノズルは、吸引口の中心部に向けて適宜の対象物を吸引する機能を備えるものの、その内部には吸入しないように構成されていてもよい。そして、本発明における気体は空気に限られないのであって、窒素ガスなどの他の気体であってもよく、それらの気体は水蒸気を可及的に含まない乾燥気体であることが好ましい。 Although the present invention has been described above based on the embodiments, the present invention is not limited to the configuration of the above-mentioned embodiments. For example, the pressure chamber may be formed by attaching an appropriate jacket to the outer periphery of the main body, rather than making the main body a double-tube structure. The number of blowholes may be more or less than the number shown in the above-mentioned embodiments, and the number of spiral lines arranging the blowholes does not have to be two, but may be three or more. Furthermore, the intervals between the blowholes do not necessarily have to be equal, and may be set to an appropriate interval. Furthermore, the suction nozzle of the present invention may be configured to suck in an appropriate object toward the center of the suction port, but not to suck it into the inside. The gas in the present invention is not limited to air, but may be other gases such as nitrogen gas, and it is preferable that the gas is a dry gas that contains as little water vapor as possible.

１吸引ノズル
２本体部
３吸引口
４内筒
５外筒
６ロアープレート
７アッパープレート
８圧力室
９給気ポート
１０給気パイプ
１１突出部
１２給気路
１３排出口
１４噴気孔
１５排気管路
１６捕捉部
１７対象物
１８製品面
Ｇ中心軸線
Ｌ１，Ｌ２螺旋線 REFERENCE SIGNS LIST 1 suction nozzle 2 main body 3 suction port 4 inner cylinder 5 outer cylinder 6 lower plate 7 upper plate 8 pressure chamber 9 air supply port 10 air supply pipe 11 protrusion 12 air supply passage 13 exhaust port 14 blower hole 15 exhaust pipe 16 capture portion 17 object 18 product surface G central axis L1, L2 spiral line

Claims

A suction nozzle that sucks an object to be sucked without contacting a surface on which the object is present,
A suction port directed toward the object is formed at a tip of the cylindrical main body,
a discharge port communicating with a predetermined capture portion is formed on the opposite side of the suction port in the direction of the central axis of the cylindrical main body;
a plurality of blowholes are formed on an inner peripheral surface of the cylindrical main body, the blowholes opening at an angle obliquely inward and upward with respect to a tangent to the inner peripheral surface , and are arranged at predetermined intervals in both a circumferential direction centered on the central axis and in the direction of the central axis ,
A suction nozzle configured to inject pressurized gas from the blowhole to generate a spiral flow of the gas inside the cylindrical main body, thereby sucking in the target object through the suction port.

The suction nozzle according to claim 1 ,
A suction nozzle characterized in that the multiple blowholes are arranged so as to be located on a multiple number of spiral lines centered on the central axis and offset from each other in the direction of the central axis.

The suction nozzle according to claim 2 ,
A suction nozzle characterized in that the blowhole located on a predetermined spiral line and the blowhole located on another spiral line adjacent to the predetermined spiral line are positioned offset from each other in a circumferential direction around the central axis.

The suction nozzle according to any one of claims 1 to 3 ,
A suction nozzle characterized in that the blowhole located closest to the suction port among the plurality of blowholes is arranged a predetermined distance back from the open end of the suction port toward the discharge port.

The suction nozzle according to any one of claims 1 to 4 ,
the cylindrical main body includes an inner cylinder in which the blowhole is formed, and an outer cylinder arranged concentrically with the inner cylinder with a predetermined space between the inner cylinder and an outer peripheral surface of the inner cylinder,
The blowhole penetrates the inner cylinder and opens into the space,
The suction nozzle is characterized in that the space serves as a pressure chamber to which the pressurized gas is supplied.