JP7487340B2 - Sheet and method for manufacturing the sheet - Google Patents

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Description

本発明は、シート及びシートの製造方法に関する。 The present invention relates to a sheet and a method for manufacturing the sheet.

フッ素樹脂は優れた耐熱性、電気絶縁性、非粘着性、耐候性を備えた合成樹脂であり、シート状に成形してフッ素樹脂シートとしたものが、化学材料、電気電子部品、半導体、自動車等の産業分野において広く利用されている(例えば特許文献1~4)。 Fluoropolymers are synthetic resins with excellent heat resistance, electrical insulation, non-stickiness, and weather resistance, and fluoropolymer sheets formed into sheets are widely used in industrial fields such as chemical materials, electrical and electronic components, semiconductors, and automobiles (for example, Patent Documents 1 to 4).

例えば、ポリテトラフルオロエチレン(以下、PTFEと称する。)などは溶融粘度が著しく高いため、一般的な熱可塑性樹脂で行われているような、押出成形等の溶融成形を行うことが困難である。
このような溶融成形が困難な樹脂のシートの製法としては、原料粉末を圧縮成形して円筒状のブロック(ビレット)を成形した後、ブロック表面を薄いフィルム状に削り出す、スカイブ加工と呼ばれる方法が採用されている。
For example, polytetrafluoroethylene (hereinafter referred to as PTFE) has an extremely high melt viscosity, so it is difficult to subject it to melt molding such as extrusion molding, which is carried out with general thermoplastic resins.
To manufacture sheets of such resins that are difficult to melt mold, a method known as skiving is used, in which the raw material powder is compression molded to form a cylindrical block (billet), and then the surface of the block is carved out into a thin film.

例えば特許文献1には、PTFEシートの製造方法に関して、スカイブ加工前のブロック体を、所定の条件で加熱処理及び温度低下処理することで、ブロック体の歪みを抑制する技術が開示されている。For example, Patent Document 1 discloses a technology for manufacturing PTFE sheets in which the block body before skiving is subjected to a heat treatment and temperature reduction treatment under specified conditions to suppress distortion of the block body.

フッ素樹脂等の合成樹脂の応用例として、例えば非粘着性で離型性に優れる特性を生かした、離型シートとしての利用が知られている。しかしながら、前述したスカイブ加工を経て得られた合成樹脂フィルムを離型シートとして用いると、離型される側のシートの表面に、スカイブ痕と呼ばれる縦筋が転写することがある。
フッ素樹脂フィルムの表面を平滑化する技術として、例えば特許文献2には、スカイブ法により得られたフィルムを加熱プレス処理する技術が開示されている。特許文献2の技術によれば、離型シートの表面を平滑化しているが、一部の縦筋(スカイブ痕)を低減できる可能性があるものの縦筋を実質的に除去することはできず、また、スカイブ加工後のフィルムに加熱プレス処理を行うと、温度変化等による熱変形が生じ得る。
As an application example of synthetic resins such as fluororesins, for example, their use as release sheets is known, taking advantage of their non-adhesive and excellent releasability properties. However, when a synthetic resin film obtained through the above-mentioned skive processing is used as a release sheet, vertical lines called skive marks may be transferred to the surface of the sheet to be released.
As a technique for smoothing the surface of a fluororesin film, for example, Patent Document 2 discloses a technique for hot pressing a film obtained by a skive method. According to the technique of Patent Document 2, the surface of the release sheet is smoothed, and although it may be possible to reduce some vertical streaks (skive marks), it is not possible to substantially remove the vertical streaks, and further, when a hot press treatment is performed on a film after skive processing, thermal deformation due to temperature change or the like may occur.

また、フッ素樹脂は耐熱性、絶縁性に優れるため、例えば耐熱絶縁テープ等の耐熱材料やプリント基板材料としての応用も期待されている。
しかしながら、スカイブ加工により製造したフッ素樹脂シートは、加熱等により熱収縮し易く、寸法安定性が悪いため、例えば他の材料との接合等の加工処理を行いにくいという問題が指摘されている。
Furthermore, because fluororesins have excellent heat resistance and insulating properties, they are expected to be used as heat-resistant materials such as heat-resistant insulating tape and as materials for printed circuit boards.
However, it has been pointed out that fluororesin sheets produced by skiving are prone to thermal shrinkage when heated or the like and have poor dimensional stability, making them difficult to process, for example, when bonded to other materials.

特開2013-027983号公報JP 2013-027983 A 特開2015-189934号公報JP 2015-189934 A 特開2014-231562号公報JP 2014-231562 A 特開2010-201649号公報JP 2010-201649 A

本発明の目的は、熱変形を抑制でき、寸法安定性に優れたシートを提供することである。 The object of the present invention is to provide a sheet that can suppress thermal deformation and has excellent dimensional stability.

本発明によれば、以下のシートが提供される。
1.スカイブ加工により得られた、合成樹脂製のシートであって、シート内部の強度と同等の表面強度を有するシート。
2.前記合成樹脂がフッ素樹脂を含有する1に記載のシート。
3.前記シートのスカイブ加工面におけるマイクロスラリージェットエロージョン試験により得られる、前記スカイブ加工面の最表面におけるエロージョン率を表層強度Xとし、前記スカイブ加工面の最表面を基準とする深さ0.5μmから深さ0.8μmまでの位置におけるエロージョン率の算術平均値を内部強度Yとしたとき、下記式(a)で表される強度比が500%以下である、1又は2に記載のシート。
強度比(%)=(表層強度X/内部強度Y)×100 …(a)
4.前記シートの表面改質したスカイブ加工面における接着強度が0.2N/mmを超える、1~3のいずれかに記載のシート。
5.180℃での加熱後、放冷したときの、スカイブ加工方向の収縮率が1.5%未満である、1~4のいずれかに記載のシート。
6.前記フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレン(PTFE)又は変性PTFEである、2~5のいずれかに記載のシート。
7.1~6のいずれかに記載のシートを含む、プリント基板用材料。
8.1~6のいずれかに記載のシートを製造する方法であって、スカイブ加工により得られた、合成樹脂製のシートの少なくとも一面に対して、当該一面がシート内部の強度と同等の表面強度を有するように、前記シートのスカイブ加工面を含む表層を除去する処理を行う工程を含む、シートの製造方法。
According to the present invention, the following sheet is provided.
1. A synthetic resin sheet obtained by skiving, which has a surface strength equivalent to the strength of the inside of the sheet.
2. The sheet according to 1, wherein the synthetic resin contains a fluororesin.
3. The sheet according to 1 or 2, wherein the erosion rate at the outermost surface of the skived surface obtained by a microslurry jet erosion test on the skived surface of the sheet is defined as surface strength X, and the arithmetic average value of the erosion rates at positions from a depth of 0.5 μm to a depth of 0.8 μm based on the outermost surface of the skived surface is defined as internal strength Y, the strength ratio represented by the following formula (a) is 500% or less.
Strength ratio (%) = (surface strength X / internal strength Y) x 100 ... (a)
4. The sheet according to any one of 1 to 3, wherein the adhesive strength of the surface-modified skived surface of the sheet exceeds 0.2 N/mm.
5. The sheet according to any one of 1 to 4, which has a shrinkage rate in the skive processing direction when cooled after heating at 180 ° C. of less than 1.5%.
6. The sheet according to any one of 2 to 5, wherein the fluororesin is polytetrafluoroethylene (PTFE) or modified PTFE.
7. A material for printed circuit boards comprising the sheet according to any one of 1 to 6.
8. A method for producing the sheet according to any one of 1 to 6, comprising the step of removing a surface layer including the skived surface of the synthetic resin sheet obtained by skiving so that the surface has a surface strength equivalent to the strength of the inside of the sheet. A method for producing a sheet.

本発明によれば、熱変形を抑制でき、寸法安定性に優れたシートが提供できる。 According to the present invention, a sheet can be provided that can suppress thermal deformation and has excellent dimensional stability.

焼成した成形体(ビレット)の長手方向外周表面を切削してシート状にするスカイブ工程を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a skiving process in which the outer peripheral surface in the longitudinal direction of a sintered compact (billet) is cut into a sheet shape. 成形体の内部構造を説明するための概念図である。FIG. 2 is a conceptual diagram for explaining the internal structure of a molded body. 加工痕を有するスカイブ加工面の走査型電子顕微鏡画像である。1 is a scanning electron microscope image of a skived surface having machining marks. 加工痕を有しないスカイブ加工面の走査型電子顕微鏡画像である。1 is a scanning electron microscope image of a skived surface without machining marks. マイクロスラリージェットエロージョン試験により得られるエロージョン率とエロージョン深さとの関係を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing the relationship between the erosion rate and the erosion depth obtained by a micro-slurry jet erosion test. 実施例1で得られたシート表面の走査型電子顕微鏡画像である。1 is a scanning electron microscope image of the surface of the sheet obtained in Example 1. 実施例2で得られたシート表面の走査型電子顕微鏡画像である。1 is a scanning electron microscope image of the surface of the sheet obtained in Example 2. 比較例1で得られたシート表面の走査型電子顕微鏡画像である。1 is a scanning electron microscope image of the surface of the sheet obtained in Comparative Example 1. 比較例2で得られたシート表面の走査型電子顕微鏡画像である。1 is a scanning electron microscope image of the surface of the sheet obtained in Comparative Example 2.

以下、本発明に係るシート及びシートの製造方法について説明する。本明細書において、「x~y」は「x以上、y以下」の数値範囲を表すものとする。一の技術的事項に関して、「x以上」等の下限値が複数存在する場合、又は「y以下」等の上限値が複数存在する場合、当該上限値及び下限値から任意に選択して組み合わせることができるものとする。 The sheet and sheet manufacturing method according to the present invention are described below. In this specification, "x to y" represents a numerical range of "greater than or equal to x, and less than or equal to y." When there are multiple lower limit values, such as "greater than or equal to x," or multiple upper limit values, such as "less than or equal to y," for a single technical item, any combination of upper and lower limit values may be selected at will.

[シート]
本発明の一態様に係るシートは、スカイブ加工により得られた、合成樹脂製のシートであって、シート内部の強度と同等の表面強度を有するシートである。
シートとは、厚みに関わらず、平面をなす一面とその裏面である他面を有しており、帯状、平板状等の形状で構成されることができ、例えば、フィルム、テープを含む。合成樹脂製のシートとは、合成樹脂を含有するシートを意味する。
また、以下の説明において、合成樹脂を含有する樹脂片を単に合成樹脂の樹脂片と示す。
[Sheet]
A sheet according to one embodiment of the present invention is a synthetic resin sheet obtained by skiving, and has a surface strength equivalent to the strength of the inside of the sheet.
The sheet has one flat surface and the other reverse surface, regardless of thickness, and can be configured in a belt-like, flat plate-like shape, etc., and includes, for example, a film and a tape. The synthetic resin sheet means a sheet containing a synthetic resin.
In the following description, a resin piece containing a synthetic resin will simply be referred to as a resin piece made of synthetic resin.

スカイブ加工とは、図1に示すように、樹脂粉末の圧縮成形体を焼成したビレット10を回転させながら、ビレット10の表面に切削刃20を当てて薄く連続的にシートを削り出す方法をいう。
スカイブ加工面とは、スカイブ加工により削り出されたシートにおいて、切削刃により切削された面30A、30Bをいう。ビレット10の外周面を一面に有して切り出された部分は、通常、製品としては除かれることに鑑み、スカイブ加工面とは典型的にはシートの両平面をいう。またスカイブ加工方向とは、図1中矢印Aで示す方向をいう。なお、スカイブ加工面は、前記の切削刃により切削された面のみならず、当該面から後述の加工痕や脆弱層を除去した後のシート表面をも含む概念とする。
また、以下の説明において、加工痕とは、スカイブ加工面に形成された、スジ形状の合成樹脂の樹脂片をいう。具体的には、加工痕は、スカイブ加工面において、合成樹脂の樹脂片が後述する空隙に架設された態様をいい、当該空隙上の樹脂片と、当該樹脂片により画定される空隙とをいう。
なお、スカイブ加工方向について詳説すると、シート平面に加工痕が残っている場合は、スカイブ加工方向は、当該加工痕の形成方向(具体的には、シート平面において、空隙上に前述した樹脂片(加工痕)が跨って延設されている方向、又は当該樹脂片(加工痕)によりその一部が覆われて長尺状をなす空隙の長手方向)として特定できる。換言すれば、加工痕とは、スカイブ加工面の空隙上において加工方向に伸長するスジ形状の合成樹脂の樹脂片と、当該樹脂片により画定される空隙をいう。
一方、シート平面に加工痕(又は後述の脆弱層)が残っていない場合は、スカイブ加工方向は、当該シートの熱処理後の収縮方向として特定できる。具体的には、スカイブ加工により得られたシートは、スカイブ加工による応力特性上、熱処理後、放冷したとき(より詳細には、後述する実施例の「加熱寸法変化率の測定」における項目1~項目5の処理をしたとき)に、その平面寸法は、シート平面方向においてスカイブ加工方向である所定方向に沿って収縮し、当該所定方向と直交する方向に沿って膨張する。即ち、熱処理後、放冷したときにシートの平面寸法が収縮する方向を、スカイブ加工方向として特定できる。
Skiving is a method of cutting a thin, continuous sheet by applying a cutting blade 20 to the surface of a billet 10, which is a sintered compression molded body of resin powder, while rotating the billet 10, as shown in FIG.
The skived surface refers to the surfaces 30A and 30B cut by the cutting blade in the sheet cut out by skiving. Considering that the cut-out portion having the outer peripheral surface of the billet 10 on one side is usually removed as a product, the skived surface typically refers to both flat surfaces of the sheet. The skived direction refers to the direction indicated by the arrow A in FIG. 1. The skived surface is a concept that includes not only the surface cut by the cutting blade, but also the sheet surface after the processing marks and brittle layer described below have been removed from the surface.
In the following description, the processing marks refer to streak-shaped pieces of synthetic resin formed on the skived surface. Specifically, the processing marks refer to the state in which the pieces of synthetic resin are installed in the gaps described later on the skived surface, and refer to the resin pieces on the gaps and the gaps defined by the resin pieces.
To explain the skive processing direction in detail, when processing marks remain on the sheet plane, the skive processing direction can be specified as the formation direction of the processing marks (specifically, the direction in which the above-mentioned resin pieces (processing marks) extend across the gaps on the sheet plane, or the longitudinal direction of the gaps that are partially covered by the resin pieces (processing marks) to form elongated shapes). In other words, the processing marks refer to the streak-shaped synthetic resin pieces that extend in the processing direction on the gaps on the skive processed surface, and the gaps defined by the resin pieces.
On the other hand, when no processing marks (or a fragile layer described later) remain on the sheet plane, the skive processing direction can be identified as the shrinkage direction of the sheet after heat treatment. Specifically, due to the stress characteristics caused by the skive processing, when the sheet obtained by the skive processing is allowed to cool after heat treatment (more specifically, when the processing of items 1 to 5 in the "Measurement of the rate of dimensional change due to heating" in the examples described later is performed), its planar dimensions shrink along a predetermined direction, which is the skive processing direction, in the sheet plane direction, and expand along a direction perpendicular to the predetermined direction. In other words, the direction in which the planar dimensions of the sheet shrink when allowed to cool after heat treatment can be identified as the skive processing direction.

本発明者らは、スカイブ加工を経て得られた合成樹脂製のシートが熱変形し易く、寸法安定性に劣る原因について鋭意研究した結果、スカイブ加工を経て得られた合成樹脂製のシートのスカイブ加工面が脆弱であり、シートの表面特性が、シートの内部の特性と異なることで、シートの熱変化が生じ易くなり寸法安定性が悪化することを見出した。 The inventors conducted extensive research into the reasons why synthetic resin sheets obtained through skive processing are susceptible to thermal deformation and have poor dimensional stability, and discovered that the skive-processed surface of synthetic resin sheets obtained through skive processing is fragile and the surface properties of the sheet differ from the internal properties of the sheet, making the sheet susceptible to thermal changes and deteriorating dimensional stability.

本態様のシートは、シート表面が、シート内部の強度と同等の強度を有するため、温度変化に伴う変形が抑制されており、寸法安定性に優れる。
また、本態様のシートは、シート表面が、シート内部の強度と同等の強度を有するため、当該シートを他部材(例えば銅等の金属材料や、その他の材料)と接着させる場合に、プラズマ処理等の表面改質による効果を得やすくなることで、他部材との接着強度を向上させることができる。
In the sheet of this embodiment, the surface of the sheet has a strength equivalent to that of the inside of the sheet, so deformation due to temperature changes is suppressed and the sheet has excellent dimensional stability.
Furthermore, since the surface of the sheet of this embodiment has a strength equivalent to that of the interior of the sheet, when the sheet is adhered to other members (e.g., metal materials such as copper, or other materials), it becomes easier to obtain the effects of surface modification such as plasma treatment, thereby improving the adhesive strength with the other members.

シートの表面強度と内部強度の差は、例えばマイクロスラリージェットエロージョン試験により確認できる。
一実施形態に係るシートは、スカイブ加工面におけるマイクロスラリージェットエロージョン試験により得られる、スカイブ加工面の最表面におけるエロージョン率を表層強度Xとし、スカイブ加工面の最表面を基準とする深さ0.5μmから深さ0.8μmまでの位置におけるエロージョン率の算術平均値を内部強度Yとしたとき、下記式(a)で表される強度比が500%以下である。
強度比(%)=(表層強度X/内部強度Y)×100 …(a)
The difference between the surface strength and the internal strength of the sheet can be confirmed, for example, by a micro-slurry jet erosion test.
In one embodiment, the sheet has a strength ratio represented by the following formula (a) of 500% or less, where X is the erosion rate at the outermost surface of the skived surface obtained by a microslurry jet erosion test on the skived surface, and Y is the arithmetic average value of the erosion rates at positions from a depth of 0.5 μm to a depth of 0.8 μm based on the outermost surface of the skived surface.
Strength ratio (%) = (surface strength X / internal strength Y) x 100 ... (a)

エロージョン率は、材料強度の指標となる値であり、エロージョン率の値が大きい程、粒子投射位置における材料強度が低く、エロージョン率の値が小さい程、粒子投射位置における材料強度が高いことを示す。
例えば、横軸をエロージョン率とし、縦軸をエロージョン深さとしてプロットしたグラフ図(例えば、図5参照)は、測定対象物の最表層位置からシート内部に向けた強度分布を示す。
エロージョン率は、具体的には実施例に記載のマイクロスラリージェットエロージョン試験方法により測定する。また、表層強度X及び内部強度Yは、具体的には実施例に記載の方法により算出する。
The erosion rate is a value that serves as an index of material strength. A larger erosion rate value indicates a lower material strength at the particle projection position, and a smaller erosion rate value indicates a higher material strength at the particle projection position.
For example, a graph plotting the erosion rate on the horizontal axis and the erosion depth on the vertical axis (eg, see FIG. 5) shows the intensity distribution from the outermost layer position of the measurement object toward the inside of the sheet.
The erosion rate is specifically measured by a micro-slurry jet erosion test method described in the Examples. The surface strength X and the internal strength Y are specifically calculated by the method described in the Examples.

一実施形態において、例えば上記式(a)で表される表層強度Xと内部強度Yとの強度比が500%以下であることで、シート表面の表面強度と、シート内部の内部強度との差が小さくなり、温度変化に伴う変形が抑制され、寸法安定性を向上させる効果、及び表面改質を行ったときに強度が弱い部位で破断するのが抑制され、接着強度を向上させる効果を共に奏し得る。
式(a)で表される強度比の上限値は、450%以下、300%以下、250%以下、245%以下、220%以下、又は200%以下であってもよい。これらの上限値以下である場合には、前記の寸法安定性を向上させる効果、及び接着強度を向上させる効果を共により向上させて奏し得る。
式(a)で表される強度比の下限値は特に限定されないが、通常、50%以上である。
In one embodiment, for example, by making the strength ratio of the surface strength X to the internal strength Y represented by the above formula (a) 500% or less, the difference between the surface strength of the sheet surface and the internal strength of the sheet interior is small, and deformation due to temperature changes is suppressed, which has the effect of improving dimensional stability, and the effect of suppressing breakage at weak strength sites when surface modification is performed, which has the effect of improving adhesive strength.
The upper limit of the strength ratio represented by formula (a) may be 450% or less, 300% or less, 250% or less, 245% or less, 220% or less, or 200% or less. When it is less than these upper limit values, the effect of improving the dimensional stability and the effect of improving the adhesive strength can be improved.
The lower limit of the intensity ratio represented by the formula (a) is not particularly limited, but is usually 50% or more.

一実施形態に係るシートは、前述した加工痕を実質的に有しない。ここで、スカイブ加工面における加工痕を有する層を脆弱層という。すなわち、脆弱層とは、スカイブ加工によりシートの表層が切削刃によって加工方向に引き伸ばされて形成された一定の厚みのある層をいう。脆弱層は、機械的に脆く、熱変化等の影響を受けやすいと推定される。
加工痕(脆弱層)を実質的に有しないことで、温度変化に伴う変形がより効果的に抑制されており、優れた寸法安定性を得られる。その他にも、前述した加工痕(脆弱層)を実質的に有しないことで、当該シートを離型シートとして用いる場合に、離型される側のシートへの加工痕の転写を低減できる。また当該シートを他部材(例えば銅等の金属材料や、その他の材料)と接着させる場合には、プラズマ処理等の表面改質を効果的に行うことができるので、他部材との接着強度を向上させることができる。
The sheet according to one embodiment does not substantially have the above-mentioned processing marks. Here, the layer having the processing marks on the skived surface is called a fragile layer. That is, the fragile layer is a layer having a certain thickness formed by the surface layer of the sheet being stretched in the processing direction by the cutting blade by skiving. It is presumed that the fragile layer is mechanically fragile and easily affected by thermal changes, etc.
By substantially not having any processing marks (weak layer), deformation due to temperature changes is more effectively suppressed, and excellent dimensional stability can be obtained. In addition, by substantially not having any processing marks (weak layer) described above, when the sheet is used as a release sheet, the transfer of processing marks to the sheet to be released can be reduced. In addition, when the sheet is bonded to other members (for example, metal materials such as copper, or other materials), surface modification such as plasma treatment can be effectively performed, thereby improving the adhesive strength with other members.

上述のように、スカイブ加工は、原料粉末の圧縮成形体を焼成したビレット(成形体)に対して行われる。この場合、被加工体であるビレットの内部には、圧縮粉末間に存在するボイド10aと呼ばれる空隙が、全体に分散して存在する(図2参照)。このため、スカイブ加工により削り出されたシートの表面には、ビレット内部のボイドの一部が陥没部となって顕れる。
スカイブ加工面に加工痕を有する場合、樹脂片の少なくとも一部は、陥没部(前述した空隙に相当する)を跨いで、スカイブ加工方向に伸びて存在する(図3中の領域α)。このため、スカイブ加工面において識別される陥没部(前述した空隙に相当する)の形状は、樹脂片によりその一部が覆われることで、スカイブ加工方向に細長く伸長したもの(スジ形状部)が多くなる。
一方、スカイブ加工面に加工痕を実質的に有しない場合、スカイブ加工面において識別される陥没部の形状は、前述したボイド自体の形状に近いため、スカイブ加工方向の伸長度は低いものが多くなる(図4参照)。
典型的な加工痕はスジ形状に見えるため、加工痕の有無は顕微鏡画像により確認できる(図3)。本願において「加工痕を実質的に有しない」とは、シートのスカイブ加工面において、加工痕が実質的に除去され、内部構造が露出してなることをいう。
具体的には、「加工痕を実質的に有しない」とは、以下の状態を意味する。まず、走査型電子顕微鏡(株式会社日立ハイテク製、「SU3500」)の試料台にカーボンテープを添付し、測定試料(シート中心部の平面寸法3mm×3mm部位)のスカイブ加工面が観察面となるように設置する。次いで、スカイブ加工面に白金蒸着し、走査型電子顕微鏡(株式会社日立ハイテク製、「SU3500」)を用いて加速電圧5kV、6000倍の倍率で、横20μm×縦15μmの範囲で観察した走査型電子顕微鏡画像中に、スジ形状部が実質的に視認されないことを意味しており、スジ形状部が画像上において全く視認されない場合はもとより、本発明の目的等に照らし、本発明の本質に反しない範囲内で残存するスジ形状部が画像上において視認される場合も含む。
As described above, skiving is performed on a billet (a compact) obtained by sintering a compressed compact of raw material powder. In this case, inside the billet, which is the processed body, there are gaps called voids 10a that exist between the compressed powder and are dispersed throughout (see FIG. 2). Therefore, on the surface of the sheet cut out by skiving, some of the voids inside the billet appear as depressions.
When the skived surface has a processing mark, at least a part of the resin piece is present extending in the skived processing direction across the depression (corresponding to the above-mentioned void) (region α in FIG. 3). Therefore, the shape of the depression (corresponding to the above-mentioned void) identified on the skived surface is often elongated and elongated in the skived processing direction (streaky portion) because part of it is covered by the resin piece.
On the other hand, when the skive-processed surface has substantially no processing marks, the shape of the depression identified on the skive-processed surface is close to the shape of the void itself described above, so that the degree of elongation in the skive processing direction is often low (see FIG. 4).
Since typical processing marks appear as streaks, the presence or absence of processing marks can be confirmed by a microscope image (Figure 3). In this application, "substantially free of processing marks" means that the processing marks are substantially removed from the skived surface of the sheet, exposing the internal structure.
Specifically, "substantially no processing marks" means the following state. First, carbon tape is attached to the sample stage of a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Tech Corporation, "SU3500"), and the measurement sample (planar dimension 3 mm x 3 mm part in the center of the sheet) is set so that the skived surface is the observation surface. Next, platinum is evaporated onto the skived surface, and a scanning electron microscope image is observed using a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Tech Corporation, "SU3500") at an acceleration voltage of 5 kV and a magnification of 6000 times in a range of 20 μm horizontal x 15 μm vertical. This means that the streak-shaped portion is not substantially visible in the image, and includes not only the case where the streak-shaped portion is not visible at all in the image, but also the case where the streak-shaped portion remaining within a range that does not contradict the essence of the present invention in light of the purpose of the present invention, etc. is visible in the image.

(接着強度)
一実施形態において、シートのスカイブ加工面にプラズマ処理等の表面改質を行った後の、当該スカイブ加工面における接着強度は、0.2N/mm超であってもよく、0.5N/mm以上であってもよい。接着強度は、具体的には実施例に記載の方法により評価する。
(Adhesive strength)
In one embodiment, the adhesive strength of the skived surface of the sheet after surface modification such as plasma treatment may be greater than 0.2 N/mm, or may be 0.5 N/mm or more. The adhesive strength is specifically evaluated by the method described in the Examples.

(加熱寸法変化率)
一実施形態に係るシートは、180℃での加熱処理後、放冷したときの、シート平面方向におけるスカイブ加工方向の収縮率(加熱寸法変化率)が1.5%未満であってもよく、1.3%以下、又は1.1%以下であってもよい。加熱寸法変化率は、具体的には実施例に記載の方法により評価する。
(Rate of dimensional change upon heating)
The sheet according to one embodiment may have a shrinkage rate (thermal dimensional change rate) in the skive processing direction in the sheet plane direction when allowed to cool after heat treatment at 180° C. of less than 1.5%, or may be 1.3% or less, or 1.1% or less. The thermal dimensional change rate is specifically evaluated by the method described in the examples.

[合成樹脂]
合成樹脂としては、一般に用いられているものを特に限定なく使用できるが、例えばポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。これらの中でも、フッ素樹脂を好適に使用できる。
[Synthetic resin]
As the synthetic resin, any commonly used one can be used without any particular limitation, and examples thereof include polyolefins such as polyethylene and polypropylene, fluororesins, polyester resins, urethane resins, etc. Among these, fluororesins are preferably used.

フッ素樹脂としては、一般に用いられているものを特に限定なく使用できるが、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)が好ましい。ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)は、テトラフルオロエチレンの単独重合体である。 As the fluororesin, any commonly used resin can be used without any particular limitations, but polytetrafluoroethylene (PTFE) is preferred. Polytetrafluoroethylene (PTFE) is a homopolymer of tetrafluoroethylene.

また、フッ素樹脂としては、変性ポリテトラフルオロエチレン(変性PTFE)を用いてもよい。変性ポリテトラフルオロエチレン(変性PTFE)は、パーフルオロアルキルビニルエーテルで変性されたポリテトラフルオロエチレンである。
上記パーフルオロアルキルビニルエーテルとしては、下記式(1)で表されるパーフルオロアルキルビニルエーテルが挙げられる。
CF=CF-OR (1)
(式(1)中、Rは炭素数1~10(好ましくは炭素数1~5)のパーフルオロアルキル基、又は下記式(2)で表されるパーフルオロ有機基である。)

Figure 0007487340000001
(式(2)中、nは1~4の整数である。) The fluororesin may be modified polytetrafluoroethylene (modified PTFE), which is polytetrafluoroethylene modified with perfluoroalkyl vinyl ether.
The perfluoroalkyl vinyl ether may be represented by the following formula (1).
CF 2 ═CF-OR f (1)
(In formula (1), Rf is a perfluoroalkyl group having 1 to 10 carbon atoms (preferably 1 to 5 carbon atoms) or a perfluoroorganic group represented by the following formula (2).)
Figure 0007487340000001
(In formula (2), n is an integer from 1 to 4.)

式(1)の炭素数1~10のパーフルオロアルキル基としては、例えばパーフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、パーフルオロプロピル基、パーフルオロブチル基、パーフルオロペンチル基、パーフルオロヘキシル基等が挙げられ、好ましくはパーフルオロプロピル基である。Examples of perfluoroalkyl groups having 1 to 10 carbon atoms in formula (1) include perfluoromethyl groups, perfluoroethyl groups, perfluoropropyl groups, perfluorobutyl groups, perfluoropentyl groups, and perfluorohexyl groups, and are preferably perfluoropropyl groups.

[その他充填材]
一実施形態において、シートはさらに充填材を含んでもよい。当該充填材としては、アルミナ、酸化チタン、シリカ、硫酸バリウム、炭化珪素、窒化珪素、ガラスファイバー、ガラスビーズ、マイカが挙げられる。これら充填材は、1種又は2種以上を使用できる。
[Other fillers]
In one embodiment, the sheet may further include a filler, such as alumina, titanium oxide, silica, barium sulfate, silicon carbide, silicon nitride, glass fiber, glass beads, and mica. These fillers may be used alone or in combination.

シート中におけるアルミナ、酸化チタン、シリカ、硫酸バリウム、炭化珪素、窒化珪素、ガラスファイバー、ガラスビーズ及びマイカから選択される1種以上の充填材を含む場合、その含有量は、例えば0.5~50質量%であり、好ましくは1~35質量%である。なお、シート中には必ずしも充填剤を含んでいなくてもよい。 When the sheet contains one or more fillers selected from alumina, titanium oxide, silica, barium sulfate, silicon carbide, silicon nitride, glass fiber, glass beads, and mica, the content is, for example, 0.5 to 50 mass%, and preferably 1 to 35 mass%. Note that the sheet does not necessarily need to contain a filler.

一実施形態において、シートは、例えば、85質量%以上、90質量%以上、95質量%以上、98質量%以上、99質量%以上、99.5質量%以上、99.9質量%以上、又は100質量%が、
ポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレン;
及び任意にアルミナ、酸化チタン、シリカ、ガラスファイバー、ガラスビーズ及びマイカから選択される1種類以上の充填材からなってもよい。
In one embodiment, the sheet is, for example, 85% by weight or more, 90% by weight or more, 95% by weight or more, 98% by weight or more, 99% by weight or more, 99.5% by weight or more, 99.9% by weight or more, or 100% by weight
Polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene;
and optionally one or more fillers selected from alumina, titanium dioxide, silica, glass fibers, glass beads and mica.

[シートの製造方法]
本発明の一態様に係るシートの製造方法は、スカイブ加工により得られた、合成樹脂製のシートの少なくとも一面に対して、当該一面がシート内部の強度と同等の表面強度を有するように、シートのスカイブ加工面を含む表層を除去する処理を行う工程を含む。
[Sheet manufacturing method]
A method for manufacturing a sheet according to one embodiment of the present invention includes a process for removing a surface layer including a skived surface of a synthetic resin sheet obtained by skiving, so that the surface has a surface strength equivalent to the strength of the interior of the sheet.

一実施形態に係るシートの製造方法は、下記(1)~(4)の工程を含む:
(1)合成樹脂を含む原料を金型に充填し、圧縮成形して成形体を形成する工程
(2)成形体を焼成する工程
(3)焼成した成形体の表面を切削してシート状にするスカイブ加工処理を行う工程
(4)シート状にした成形体の表面から加工痕(具体的には、加工痕を含む一定厚の表層である脆弱層)を除去する工程
A method for producing a sheet according to one embodiment includes the following steps (1) to (4):
(1) A process of filling a mold with raw materials containing a synthetic resin and compressing and molding the raw material to form a molded body. (2) A process of sintering the molded body. (3) A process of performing a skiving process to cut the surface of the sintered molded body into a sheet shape. (4) A process of removing the processing marks (specifically, the brittle layer, which is a surface layer of a certain thickness that includes the processing marks) from the surface of the sheet-shaped molded body.

合成樹脂としては、前述したシートの項目で説明した樹脂を用いることができる。
圧縮成形する原料は、合成樹脂としてフッ素樹脂(例えばポリテトラフルオロエチレン又は変性ポリテトラフルオロエチレン)を80~100質量%含む原料が好適なものとして挙げられる。
圧縮する原料が、アルミナ、酸化チタン、シリカ、ガラスファイバー、ガラスビーズ、マイカから選択される1種類以上の充填材を含む場合、当該充填材の配合量はフッ素樹脂(例えばポリテトラフルオロエチレン、変性ポリテトラフルオロエチレン又はこれらの混合物)に対して1~50質量%である。
As the synthetic resin, the resin explained in the above-mentioned section regarding the sheet can be used.
The raw material to be compression molded is preferably a synthetic resin containing 80 to 100% by mass of a fluororesin (eg, polytetrafluoroethylene or modified polytetrafluoroethylene).
When the raw material to be compressed contains one or more fillers selected from alumina, titanium oxide, silica, glass fiber, glass beads, and mica, the blending amount of the filler is 1 to 50 mass % relative to the fluororesin (e.g., polytetrafluoroethylene, modified polytetrafluoroethylene, or a mixture thereof).

上記原料を金型に充填して、圧縮成形して圧縮成形体を形成する。面圧は、10~100MPaであってもよく、20~60MPaであってもよく、30~50MPaであってもよい。The above raw materials are filled into a mold and compression molded to form a compression molded body. The surface pressure may be 10 to 100 MPa, 20 to 60 MPa, or 30 to 50 MPa.

得られた圧縮成形体を焼成し、ビレットを得る。焼成温度は100~400℃であってもよく、350~370℃であってもよく、360~370℃であってもよい。The resulting compression molded body is sintered to obtain a billet. The sintering temperature may be 100 to 400°C, 350 to 370°C, or 360 to 370°C.

後述するスカイブ加工の行い易さの点から、ビレット(成形体)の形状は、好ましくは円筒状である。ビレット(成形体)が円筒体である場合、当該円筒体の直径は、例えば100~500mmであってもよく、150~500mmであってもよい。From the viewpoint of ease of performing the skiving process described below, the shape of the billet (formed body) is preferably cylindrical. When the billet (formed body) is a cylindrical body, the diameter of the cylindrical body may be, for example, 100 to 500 mm, or 150 to 500 mm.

次に、焼成した成形体であるビレットの表面を切削してシート状にするスカイブ加工処理を行う。
ビレット(成形体)が円筒体である場合、焼成した円筒体の長手方向外周表面に切削刃を当てて切削してシート状にする。
Next, a skiving process is performed in which the surface of the billet, which is the sintered compact, is cut into a sheet shape.
When the billet (formed body) is a cylinder, a cutting blade is applied to the outer circumferential surface of the sintered cylinder in the longitudinal direction to cut it into a sheet.

ビレット(成形体)が円筒体である場合、焼成した円筒体の長手方向外周表面を切削してシート状にする工程を実施する前に、焼成した円筒体の外周表面、内周表面及び端面表面をそれぞれ表面外側から3mmまでの厚みを除去してもよい。If the billet (molded body) is a cylinder, the outer peripheral surface, inner peripheral surface and end surface of the sintered cylinder may each be removed to a thickness of up to 3 mm from the outside of the surface before carrying out the process of cutting the longitudinal outer peripheral surface of the sintered cylinder into a sheet.

焼成した円筒体の長手方向外周表面を切削してシート状にするスカイブ加工工程は図1に示す装置を用いて実施できる。切削して得られるシートの厚さは、例えば0.01~1mmであってよく、0.01~0.5mmであってもよい。
図1において、焼成したビレット(円筒体)10を回転させ、切削刃(バイト)20で切削してシート30とする。
The skiving process in which the outer circumferential surface of the fired cylinder in the longitudinal direction is cut into a sheet shape can be carried out using the device shown in Fig. 1. The thickness of the sheet obtained by cutting may be, for example, 0.01 to 1 mm, or may be 0.01 to 0.5 mm.
In FIG. 1, a sintered billet (cylinder) 10 is rotated and cut into a sheet 30 by a cutting blade (bite) 20 .

次いで、シートの表面に粒子を投射することで、シートの表面に存在する加工痕(具体的には、脆弱層)を除去する。これにより、当該シート表面が加工痕を実質的に有しないようにすることができる。
粒子投射によって加工痕を除去する方法としては、当該粒子投射によってシート表面が引き伸ばされて新に加工痕(スカイブ加工による加工痕とは異なる痕)を発生させないように調整できる方法であれば、特に限定されない。加工痕を除去する方法としては、例えば、投射粒子としてドライアイスを用いるドライアイスブラスト処理、水に粒子を分散させたスラリーを投射する処理が挙げられるが、これに限定されない。
Next, particles are projected onto the surface of the sheet to remove the processing marks (specifically, the fragile layer) present on the surface of the sheet, thereby making it possible to make the surface of the sheet substantially free of processing marks.
The method for removing the processing marks by particle projection is not particularly limited as long as it is a method that can adjust the sheet surface not to be stretched by the particle projection and not to generate new processing marks (marks different from the processing marks by skiving). Examples of the method for removing the processing marks include, but are not limited to, a dry ice blasting process using dry ice as projection particles and a process of projecting a slurry in which particles are dispersed in water.

粒子投射による加工痕の除去は、シート表面の加工痕を除去して当該シート表面が加工痕を実質的に有しないものすることができるように、且つ、粒子投射によってシート表面が引き伸ばされて新に加工痕を発生させることがないように、投射粒子の種類(粒子の材質、形状、粒径)や、投射条件(投射角度、投射距離、投射圧)を適宜調整することより行うことができる。 Removal of processing marks by particle projection can be achieved by appropriately adjusting the type of projected particles (particle material, shape, particle size) and projection conditions (projection angle, projection distance, projection pressure) so as to remove the processing marks on the sheet surface and render the sheet surface substantially free of processing marks, and so as to prevent the sheet surface from being stretched by particle projection and creating new processing marks.

以上説明した本態様のシートは、例えばプリント基板用材料として好適に用いられる。The sheet of the present invention described above is suitable for use, for example, as a material for printed circuit boards.

実施例1
<ビレットの作製>
ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)のパウダーを金型に充填して、上下からプレス圧力20MPaで0.5時間圧縮成形し、円筒状の予備成形体(外径245mm×内径75mm×高さ300mm)を得た。得られた予備成形体を焼成炉に投入して365℃で5時間焼成した。
Example 1
<Preparation of billet>
A powder of polytetrafluoroethylene (PTFE) was filled into a mold and compressed from above and below at a pressure of 20 MPa for 0.5 hours to obtain a cylindrical preform (outer diameter 245 mm × inner diameter 75 mm × height 300 mm). The preform was placed in a firing furnace and fired at 365° C. for 5 hours.

<スカイブ加工>
得られた円筒状焼成体(外径245mm×内径75mm×高さ300mm)を図1に示す装置でスカイブ加工し、0.05mm厚のシートを製造した。
<Skib processing>
The obtained cylindrical fired body (outer diameter 245 mm×inner diameter 75 mm×height 300 mm) was skived using the device shown in FIG. 1 to produce a sheet with a thickness of 0.05 mm.

<加工痕(具体的には、脆弱層)の除去>
得られたシートのスカイブ加工面に向けて投射粒子として研磨剤を分散させたスラリー(研磨液)を投射する処理を行った。
なお、本実施例においては、加工痕の除去工程の一例として、研磨液を投射する処理を採用したが、本発明における加工痕の除去工程では、例えば粒子投射により加工痕を除去できる方法であれば、異なる方法を適宜採用可能である。
加工痕の除去は、以下の条件で行った。
(粒子投射条件)
・スラリー(研磨液):
溶媒:純水
研磨剤:アルミナ(Al)、多角形粒子、平均粒子径(D50)6.7μm
研磨剤含有量:1.9体積%
・投射角度:90°
・投射距離:20mm
・エア圧:0.2MPa
<Removal of processing marks (specifically, brittle layers)>
A process was carried out in which a slurry (abrasive liquid) in which an abrasive was dispersed was projected as projection particles onto the skived surface of the obtained sheet.
In this embodiment, a process of projecting a polishing liquid was adopted as an example of a process for removing processing marks, but in the process for removing processing marks in the present invention, a different method can be appropriately adopted as long as the method can remove processing marks, for example, by projecting particles.
The removal of the processing marks was carried out under the following conditions.
(Particle projection conditions)
・Slurry (polishing liquid):
Solvent: Pure water Abrasive: Alumina (Al 2 O 3 ), polygonal particles, average particle size (D50) 6.7 μm
Abrasive content: 1.9% by volume
Projection angle: 90°
Projection distance: 20mm
Air pressure: 0.2MPa

実施例2、比較例2
加工痕の除去に用いるスラリー(研磨液)の研磨剤濃度を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にしてシートを作製した。
Example 2, Comparative Example 2
A sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that the abrasive concentration of the slurry (polishing liquid) used to remove the processing marks was changed as shown in Table 1.

比較例1
加工痕の除去工程を行わなかったこと以外は、実施例1と同様にしてシートを作製した。
Comparative Example 1
A sheet was produced in the same manner as in Example 1, except that the process for removing the processing marks was not carried out.

Figure 0007487340000002
Figure 0007487340000002

[マイクロスラリージェットエロージョン(MSE)試験]
実施例1~2及び比較例1~2で得られた各シートについて、MSE試験装置(株式会社パルメソ製、「MSE-A」)を用いてマイクロスラリージェットエロージョン試験(以下、MSE試験という。)を行った。測定条件を表2に示す。
[Micro Slurry Jet Erosion (MSE) Test]
A micro slurry jet erosion test (hereinafter referred to as MSE test) was performed on each of the sheets obtained in Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 using an MSE tester (manufactured by Palmeso Co., Ltd., "MSE-A"). The measurement conditions are shown in Table 2.

Figure 0007487340000003
Figure 0007487340000003

なお、表2に示す「投射力設定」は、投射圧力流量設定により調整される投射条件であり、表2において、「Siウェハ:0.24μm/g」は、基準物質としてのSiウエハーに対して、表2に示す多角アルミナ粒子を1g投射した際にエロージョン率0.24μm/gを示す投射条件であることを示しており、「PMMA:1.48μm/g」は、基準物質としてのPMMAに対して、表2に示す多角アルミナ粒子を1g投射した際にエロージョン率1.48μm/gを示す投射圧力であることを示している。The "projection force settings" shown in Table 2 are projection conditions adjusted by the projection pressure flow rate settings, and in Table 2, "Si wafer: 0.24 μm/g" indicates projection conditions that result in an erosion rate of 0.24 μm/g when 1 g of polygonal alumina particles shown in Table 2 are projected onto a Si wafer as a reference material, and "PMMA: 1.48 μm/g" indicates a projection pressure that results in an erosion rate of 1.48 μm/g when 1 g of polygonal alumina particles shown in Table 2 are projected onto PMMA as a reference material.

MSE試験は、具体的には以下のようにして行った。
先ず、MSE試験装置(株式会社パルメソ製、「MSE-A」)に、実施例1~2及び比較例1~2で得られた各シートのスカイブ加工面側を噴射ノズルと対面させて、表2に示す投射距離となるように設置した。
次いで、表2に示す粒子を水に混合した所定の濃度のスラリーを、表2に示す投射力設定にて、噴射ノズルから各シートのスカイブ加工面に投射して衝突させることにより、表2に示す面積にてエロージョン痕を形成した。そして、エロージョン痕の中央部分の深さを、触針式形状計測機(PU-EU1)を用いて表2に示す測定条件で測定した。
上述した粒子投射によるエロージョン痕の形成、及びエロージョン痕の中央部分の深さの測定を、スカイブ加工面の最表面を基準として、深さ0.8μmまでの間の任意の深さ位置(以下の説明において、粒子投射時点における、スカイブ加工面の最表面を基準とするシート内部の深さ位置を「エロージョン深さ」と示す。)において、繰り返して行った。
各エロージョン深さにおける、単位面積当たりの微細粒子の投射量v(g/mm)及びエロージョン痕の中央部分の深さd(μm)から、下記式(b)によりエロージョン率を算出した。
エロージョン率(μm/g)=d/v …(b)
上記のようにして得られた各エロージョン率(μm/g)と、エロージョン深さ(μm)との関係を図5に示す。
図5において、横軸はエロージョン率(μm/g)を示し、縦軸はエロージョン深さ(μm)を示す。
Specifically, the MSE test was carried out as follows.
First, the skived surface of each sheet obtained in Examples 1-2 and Comparative Examples 1-2 was placed in an MSE tester (manufactured by Palmeso Co., Ltd., "MSE-A") facing the spray nozzle at the projection distance shown in Table 2.
Next, a slurry of a predetermined concentration, in which the particles shown in Table 2 were mixed with water, was projected from a spray nozzle onto the skived surface of each sheet with a projection force setting shown in Table 2, and allowed to collide, forming an erosion mark with an area shown in Table 2. The depth of the central portion of the erosion mark was then measured under the measurement conditions shown in Table 2 using a stylus-type shape measuring instrument (PU-EU1).
The formation of erosion marks by particle projection as described above and the measurement of the depth of the central part of the erosion marks were repeatedly performed at any depth position within a depth of 0.8 μm based on the outermost surface of the skived surface (in the following description, the depth position inside the sheet based on the outermost surface of the skived surface at the time of particle projection is referred to as the "erosion depth").
The erosion rate was calculated from the projection amount v (g/mm 2 ) of fine particles per unit area and the depth d (μm) of the central portion of the erosion mark at each erosion depth according to the following formula (b).
Erosion rate (μm/g)=d/v ... (b)
The relationship between the erosion rate (μm/g) and the erosion depth (μm) obtained as described above is shown in FIG.
In FIG. 5, the horizontal axis indicates the erosion rate (μm/g), and the vertical axis indicates the erosion depth (μm).

実施例1~2、比較例1~2の各シートについて、図5中、エロージョン深さ0μm(最表面)におけるプロットのエロージョン率を表層強度Xとし、エロージョン深さ0.5μm~0.8μmにおけるプロットのエロージョン率の算術平均値を内部強度Yとして、下記式(a)により、表層強度Xと内部強度Yの強度比(%)を算出した。
強度比(%)=(表層強度X/内部強度Y)×100 …(a)
結果を表3に示す。
For each sheet of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2, the erosion rate of the plot at an erosion depth of 0 μm (outermost surface) in FIG. 5 was defined as the surface strength X, and the arithmetic average value of the erosion rates of the plot at an erosion depth of 0.5 μm to 0.8 μm was defined as the internal strength Y. The strength ratio (%) of the surface strength X to the internal strength Y was calculated by the following formula (a).
Strength ratio (%) = (surface strength X / internal strength Y) x 100 ... (a)
The results are shown in Table 3.

Figure 0007487340000004
Figure 0007487340000004

[加熱寸法変化率の測定]
実施例2及び比較例1で得られたシートの加熱前後の寸法変化(加熱寸法変化率)を以下の手順により評価した。結果を表4に示す。
1. シートを110mm×130mmの寸法にカットし、23℃の恒温室に15時間静置した。
2. 1.の静置後のシートに、50mm×50mmの標線を描き、スカイブ加工方向(以下、MD方向ともいう。)とその直交する方向(以下、CD方向ともいう。)の標線間距離をデジタルマイクロスコープ(株式会社キーエンス製、「VHX5000」)で測定し、加熱前寸法とした。
3. 2.の寸法測定後のシートのMD方向の両端をクリップで挟み、熱風循環式ギアオーブン(タバイエスペック株式会社製、「PHH-100」)内に吊るして設置した。
4. 3.の熱風循環式ギアオーブンを常温から180℃まで昇温し、180℃到達後に1時間保持し、常温まで放冷した。
5. 4.の放冷後、クリップを取り外し、23℃の恒温室に15時間静置した。
6. 5.の静置後に、再びデジタルマイクロスコープで標線間距離を測定し、加熱後寸法とした。
7. 2.で得られた加熱前寸法及び6.で得られた加熱後寸法から、加熱寸法変化率を下記式(i)により算出した。
加熱寸法変化率=(加熱後寸法-加熱前寸法)/加熱前寸法・・(i)
[Measurement of dimensional change rate due to heating]
The sheets obtained in Example 2 and Comparative Example 1 were evaluated for dimensional change before and after heating (rate of dimensional change upon heating) by the following procedure. The results are shown in Table 4.
1. The sheet was cut to a size of 110 mm x 130 mm and left to stand in a constant temperature room at 23°C for 15 hours.
2. On the sheet after leaving in 1, a 50 mm x 50 mm marking was drawn, and the distance between the markings in the skive processing direction (hereinafter also referred to as the MD direction) and the direction perpendicular to the MD direction (hereinafter also referred to as the CD direction) was measured with a digital microscope (manufactured by Keyence Corporation, "VHX5000") to determine the dimensions before heating.
3. After the dimensions of 2. were measured, both ends of the sheet in the MD direction were clipped with clips and the sheet was hung and placed in a hot air circulation gear oven (manufactured by Tabai Espec Corporation, "PHH-100").
4. The temperature of the hot air circulation type gear oven of 3. was raised from room temperature to 180°C, and after reaching 180°C, it was maintained at that temperature for 1 hour and then allowed to cool to room temperature.
5. After cooling as in 4, the clips were removed and the sample was left to stand in a thermostatic chamber at 23° C. for 15 hours.
6. After leaving it as it was in 5., the gauge length was measured again with a digital microscope and this was taken as the post-heating dimension.
7. From the pre-heating dimensions obtained in 2. and the post-heating dimensions obtained in 6., the rate of dimensional change upon heating was calculated according to the following formula (i).
Heat dimensional change rate=(dimension after heating−dimension before heating)/dimension before heating (i)

[表面改質後のシートの接着性評価]
実施例2、比較例1のシートを100mm×100mmに切り出し、下記に示すプラズマ処理を行った後、下記に示す接着性評価を行った。結果を表5に示す。
[Evaluation of Adhesion of Sheet after Surface Modification]
The sheets of Example 2 and Comparative Example 1 were cut into 100 mm x 100 mm pieces, and were subjected to the plasma treatment described below, and then the adhesiveness was evaluated as described below. The results are shown in Table 5.

(プラズマ処理)
真空プラズマ装置にシートを設置して真空引きを行い、窒素ガス及び水素ガスの混合ガス雰囲気下で、2.45GHzのマイクロ波を用いてプラズマ処理を10秒間施した。
(Plasma Treatment)
The sheet was placed in a vacuum plasma device, a vacuum was drawn, and plasma treatment was performed for 10 seconds using 2.45 GHz microwaves in an atmosphere of a mixed gas of nitrogen gas and hydrogen gas.

(接着強度測定)
プラズマ処理済のシート、ハロゲンフリー低誘電接着剤(半硬化)シート(ニッカン工業株式会社製、「SAFY」、厚さ25μm)、及び電解銅箔(三井金属鉱業株式会社製、「TQ-M4-VSP」、厚さ18μm)をこの順で重ね合わせ、熱プレス(温度:160℃、プレス時間:1時間、プレス荷重:4MPa)で圧着させて、接着強度測定用の試料を作製した。この試料に10mm幅に切れ込みを入れ、銅箔を30mm剥がした。剥がした銅箔付きの試料を小型卓上試験機(株式会社島津製作所製、「EZ-LX」)を用いて、引張速度50mm/minで90°剥離試験を行い、接着強度を測定した。
(Adhesive strength measurement)
A plasma-treated sheet, a halogen-free low dielectric adhesive (semi-cured) sheet (manufactured by Nikkan Industries Co., Ltd., "SAFY", thickness 25 μm), and an electrolytic copper foil (manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., "TQ-M4-VSP", thickness 18 μm) were stacked in this order and pressed together by a hot press (temperature: 160°C, press time: 1 hour, press load: 4 MPa) to prepare a sample for measuring adhesive strength. A 10 mm wide cut was made in this sample, and 30 mm of the copper foil was peeled off. The peeled sample with the copper foil was subjected to a 90° peel test at a tensile speed of 50 mm/min using a small tabletop tester (manufactured by Shimadzu Corporation, "EZ-LX") to measure the adhesive strength.

走査型電子顕微鏡(株式会社日立ハイテク製、「SU3500」)の試料台にカーボンテープを添付し、実施例1~2、比較例1~2から採取した測定試料(シート中心部の平面寸法3mm×3mm部位)のスカイブ加工面が観察面となるように設置した。次いで、測定試料のスカイブ加工面に白金蒸着し、走査型電子顕微鏡(株式会社日立ハイテク製、「SU3500」)を用いて加速電圧5kV、6000倍の倍率で、横20μm×縦15μmの範囲で観察した走査型電子顕微鏡画像を取得した。
上述した方法により、実施例1~2、比較例1~2の各シートについて得られた電子顕微鏡画像を図6~9に示す。
Carbon tape was attached to the sample stage of a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Tech Corporation, "SU3500"), and the measurement samples (planar dimensions 3 mm x 3 mm part at the center of the sheet) taken from Examples 1-2 and Comparative Examples 1-2 were placed so that the skived surface was the observation surface. Next, platinum was vapor-deposited on the skived surface of the measurement sample, and a scanning electron microscope image was obtained by observing the area of 20 μm horizontal x 15 μm vertical at an acceleration voltage of 5 kV and a magnification of 6000 times using a scanning electron microscope (manufactured by Hitachi High-Tech Corporation, "SU3500")
Electron microscope images obtained by the above-mentioned method for each of the sheets of Examples 1 and 2 and Comparative Examples 1 and 2 are shown in FIGS.

Figure 0007487340000005
Figure 0007487340000005

Figure 0007487340000006
Figure 0007487340000006

本発明のシートは、耐熱絶縁テープ等の耐熱材料、プリント基板用材料、離型シートとして好適に使用されるが、これに限定されるものではない。 The sheets of the present invention are suitable for use as heat-resistant materials such as heat-resistant insulating tape, materials for printed circuit boards, and release sheets, but are not limited to these.

上記に本発明の実施形態及び/又は実施例を幾つか詳細に説明したが、当業者は、本発明の新規な教示及び効果から実質的に離れることなく、これら例示である実施形態及び/又は実施例に多くの変更を加えることが容易である。従って、これらの多くの変更は本発明の範囲に含まれる。
この明細書に記載の文献、及び本願のパリ条約による優先権の基礎となる出願の内容を全て援用する。
Although some embodiments and/or examples of the present invention have been described in detail above, those skilled in the art can easily make many modifications to these exemplary embodiments and/or examples without substantially departing from the novel teachings and advantages of the present invention, and therefore many such modifications are within the scope of the present invention.
The contents of all documents cited in this specification and of the application from which this application claims priority under the Paris Convention are incorporated by reference in their entirety.

Claims (7)

スカイブ加工により得られた、合成樹脂製のシートであって、
シート内部の強度と同等の表面強度を有し、
前記シートのスカイブ加工面におけるマイクロスラリージェットエロージョン試験により得られる、前記スカイブ加工面の最表面におけるエロージョン率を表層強度Xとし、前記スカイブ加工面の最表面を基準とする深さ0.5μmから深さ0.8μmまでの位置におけるエロージョン率の算術平均値を内部強度Yとしたとき、下記式(a)で表される強度比が500%以下である、シート。
強度比(%)=(表層強度X/内部強度Y)×100 …(a)
A synthetic resin sheet obtained by skiving,
The sheet has surface strength equivalent to its internal strength,
The sheet has a strength ratio of 500% or less, as expressed by the following formula (a), where the erosion rate at the outermost surface of the skived surface, obtained by a microslurry jet erosion test on the skived surface of the sheet, is defined as surface strength X, and the arithmetic average value of the erosion rates at positions from a depth of 0.5 μm to a depth of 0.8 μm based on the outermost surface of the skived surface is defined as internal strength Y.
Strength ratio (%) = (surface strength X / internal strength Y) x 100 ... (a)
前記合成樹脂がフッ素樹脂を含有する請求項1に記載のシート。 The sheet according to claim 1, wherein the synthetic resin contains a fluororesin. 前記シートの表面改質したスカイブ加工面における接着強度が0.2N/mmを超える、請求項1又は2に記載のシート。 3. The sheet of claim 1 or 2 , wherein the adhesive strength of the surface-modified skived surface of the sheet is greater than 0.2 N/mm. 180℃での加熱後、放冷したときの、スカイブ加工方向の収縮率が1.5%未満である、請求項1~のいずれかに記載のシート。 The sheet according to any one of claims 1 to 3 , which has a shrinkage rate in the skive processing direction when cooled after heating at 180°C of less than 1.5%. 前記フッ素樹脂がポリテトラフルオロエチレン(PTFE)又は変性PTFEである、請求項2~のいずれかに記載のシート。 The sheet according to any one of claims 2 to 4 , wherein the fluororesin is polytetrafluoroethylene (PTFE) or modified PTFE. 請求項1~のいずれかに記載のシートを含む、プリント基板用材料。 A material for printed circuit boards, comprising the sheet according to any one of claims 1 to 5 . 請求項1~のいずれかに記載のシートを製造する方法であって、
スカイブ加工により得られた、合成樹脂製のシートの少なくとも一面に対して、当該一面がシート内部の強度と同等の表面強度を有するように、前記シートのスカイブ加工痕を含む表層を除去する処理を行う工程を含む、シートの製造方法。
A method for producing the sheet according to any one of claims 1 to 5 , comprising the steps of:
A method for manufacturing a sheet, comprising a step of performing a process for removing a surface layer, including skive processing marks , of at least one surface of a synthetic resin sheet obtained by skiving, so that the surface has a surface strength equivalent to the strength of the interior of the sheet.
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