JP7481132B2 - 欠陥検出方法、欠陥検出装置及び造形装置 - Google Patents
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Description
対象物に対して、パルスレーザ光を照射して前記対象物中に継続的に超音波を発生させるステップと、
前記対象物の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物の前記内部欠陥の有無を検出するステップと、
を含む。
対象物に対して、パルスレーザ光を照射して前記対象物中に継続的に超音波を発生させるためのパルスレーザ照射装置と、
前記超音波に基づく前記対象物の表面の振動を検出し、前記超音波の共振の有無を検出し、前記対象物の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物の前記内部欠陥の有無を検出するように構成された検出装置と、
を備える。
対象物を3D造形するためのビーム照射装置と、
上記の欠陥検出装置と、
を備える。
例えば、「ある方向に」、「ある方向に沿って」、「平行」、「直交」、「中心」、「同心」或いは「同軸」等の相対的或いは絶対的な配置を表す表現は、厳密にそのような配置を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の角度や距離をもって相対的に変位している状態も表すものとする。
例えば、「同一」、「等しい」及び「均質」等の物事が等しい状態であることを表す表現は、厳密に等しい状態を表すのみならず、公差、若しくは、同じ機能が得られる程度の差が存在している状態も表すものとする。
例えば、四角形状や円筒形状等の形状を表す表現は、幾何学的に厳密な意味での四角形状や円筒形状等の形状を表すのみならず、同じ効果が得られる範囲で、凹凸部や面取り部等を含む形状も表すものとする。
一方、一の構成要素を「備える」、「具える」、「具備する」、「含む」、又は、「有する」という表現は、他の構成要素の存在を除外する排他的な表現ではない。
以下、一実施形態に係る造形装置300について説明する。図1は、一実施形態に係る造形装置300の構成を概略的に示す図である。なお、図1において、コリメートレンズや集光レンズなどの光学系は省略する。以下の説明では、欠陥検出装置200を備える造形装置300について説明するが、欠陥検出装置200は造形装置300から独立した装置であってもよい。
以下、幾つかの実施形態に係る欠陥検出方法について説明する。以下に説明する欠陥検出方法は、制御装置203の制御処理によって自動的に実行されてもよいし、一部の手順については制御装置203ではなくユーザの手動操作によって実行されてもよい。一実施形態に係る欠陥検出方法は、例えば、パウダーベッド方式の付加造形(AM)に適用される。なお、欠陥検出方法は、LMD方式等の他の方法で造形する場合の対象物に適用することも可能である。
上記各実施形態に記載の内容は、例えば以下のように把握される。
対象物(T)に対して、パルスレーザ光(B2)を照射して前記対象物(T)中に継続的に超音波を発生させるステップと、
前記対象物(T)の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物(T)の前記内部欠陥の有無を検出するステップと、
を含む。
レーザ干渉計又はドップラ振動計によって前記超音波に基づく前記対象物(T)の表面の振動を検出し、前記超音波の共振の有無を検出するステップを含む。
前記共振の有無を検出するステップでは、前記対象物(T)における前記パルスレーザ光(B2)の照射位置と同じ位置に前記レーザ干渉計のレーザ光(B3)を照射する。
付加造形の積層によって3D造形される造形中の前記対象物(T)について前記内部欠陥を検出した場合に、前記内部欠陥の直上位置で次層を形成するときに前記内部欠陥を修復するように前記次層と前記次層の直下層を溶融するステップを含む。
前記対象物(T)の表面の振動の検出信号を取得するステップと、
前記内部欠陥が存在しないと推定される位置で前記パルスレーザ光(B2)を照射した場合に得られた前記対象物(T)の表面の振動を示す参照信号と前記検出信号とを比較するステップと、
前記比較するステップの比較結果に応じて、前記内部欠陥の有無を検出するステップと、
を含む。
前記パルスレーザ光(B2)の繰り返し周波数を掃引しながら、前記対象物(T)の表面の振動の検出信号を取得するステップと、
前記検出信号が示す振幅に前記繰り返し周波数の変化に応じた極大値が存在するか否かに基づいて、前記内部欠陥の有無を検出するステップと、
を含む。
前記極大値に対応する前記繰り返し周波数に基づいて、前記内部欠陥の深さ位置を特定するステップを含む。
前記対象物(T)の探傷対象の深さ範囲に対応する半波長以下の波長となる周波数範囲内で前記パルスレーザ光(B2)の繰り返し周波数を設定するステップを含む。
前記対象物(T)に3D造形するためのエネルギービーム(B1)を照射するステップと、
前記エネルギービーム(B1)が照射されていない位置において、前記対象物(T)について前記内部欠陥の有無を検出する。
付加造形によって3D造形する場合において、前記対象物(T)の探傷対象の深さ範囲に相当する複数の層が積層されるごとに、前記対象物(T)について前記内部欠陥の有無を検出するステップを含む。
前記対象物(T)における振動が基準値以下である場合に、前記超音波を発生させるステップを実行する。
付加造形によって3D造形する場合において、エネルギービーム(B1)の軌跡に沿って後追いするように、前記パルスレーザ光(B2)を走査して、前記内部欠陥を検出する。
対象物(T)に対して、パルスレーザ光(B2)を照射して前記対象物(T)中に継続的に超音波を発生させるためのパルスレーザ照射装置(201)と、
前記超音波に基づく前記対象物(T)の表面の振動を検出し、前記超音波の共振の有無を検出し、前記対象物(T)の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物(T)の前記内部欠陥の有無を検出するように構成された検出装置(202)と、
を備える。
対象物(T)を3D造形するためのビーム照射装置(100)と、
上記(17)に記載の欠陥検出装置(200)と、
を備える。
101,204 ガルバノミラー
200 欠陥検出装置
201 パルスレーザ照射装置
202 検出装置
203 制御装置
205 ハーフミラー
300 造形装置
B1 エネルギービーム
B2 パルスレーザ光
B3 レーザ光
T 対象物
Claims (15)
- 対象物に対してパルスレーザ光を照射し、前記対象物の表面を局所的に加熱して前記対象物中に継続的に超音波を発生させるステップと、
前記対象物の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物の前記内部欠陥の有無を検出するステップと、
前記対象物の表面から所定深さまでの範囲として規定される探傷対象の深さ範囲から前記パルスレーザ光の繰り返し周波数の設定範囲を求めるステップと、
前記繰り返し周波数の前記設定範囲内で前記パルスレーザ光の繰り返し周波数を設定するステップと、を含み、
前記設定範囲は、前記所定深さを2倍した波長の前記超音波の周波数以上である前記周波数の範囲である
欠陥検出方法。 - レーザ干渉計又はドップラ振動計によって前記超音波に基づく前記対象物の表面の振動を検出し、前記超音波の共振の有無を検出するステップを含む
請求項1に記載の欠陥検出方法。 - 前記共振の有無を検出するステップでは、前記対象物における前記パルスレーザ光の照射位置と同じ位置に前記レーザ干渉計のレーザ光を照射する
請求項2に記載の欠陥検出方法。 - 付加造形によって3D造形される途中の前記対象物について前記内部欠陥の有無を検出する
請求項1乃至3の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 前記対象物の表面から200μm以内の表層に位置する前記内部欠陥を検出する
請求項1乃至4の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 付加造形の積層によって3D造形される造形中の前記対象物について前記内部欠陥を検出した場合に、前記内部欠陥の直上位置で次層を形成するときに前記内部欠陥を修復するように前記次層と前記次層の直下層を溶融するステップを含む
請求項1乃至5の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 前記内部欠陥が検出された場合に、前記共振が発生したときの前記パルスレーザ光の繰り返し周波数に基づいて、前記内部欠陥の深さ位置を特定するステップと、
を含む請求項1乃至6の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 前記対象物の表面の振動の検出信号を取得するステップと、
前記内部欠陥が存在しないと推定される位置で前記パルスレーザ光を照射した場合に得られた前記対象物の表面の振動を示す参照信号と前記検出信号とを比較するステップと、
を含み、
前記比較するステップの比較結果に応じて、前記内部欠陥の有無を検出する
請求項1乃至7の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 対象物に対して、パルスレーザ光を照射して前記対象物中に継続的に超音波を発生させるステップと、
前記対象物の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物の前記内部欠陥の有無を検出するステップと、
前記パルスレーザ光の繰り返し周波数を掃引しながら、前記対象物の表面の振動の検出信号を取得するステップと、
を含み、
前記検出信号が示す振幅に前記繰り返し周波数の変化に応じた極大値が存在するか否かに基づいて、前記内部欠陥の有無を検出するとともに、
前記極大値に対応する前記繰り返し周波数に基づいて、前記内部欠陥の深さ位置を特定するステップを含む
欠陥検出方法。 - 前記対象物に3D造形するためのエネルギービームを照射するステップを備え、
前記エネルギービームが照射されていない位置に前記パルスレーザ光を照射し、該位置において、前記対象物について前記内部欠陥の有無を検出する
請求項1又は9に記載の欠陥検出方法。 - 前記欠陥検出方法は、付加造形によって前記対象物を3D造形する際に実行され、前記対象物の探傷対象の深さ範囲に相当する複数の層が積層されるごとに、前記対象物について前記内部欠陥の有無を検出する
請求項1乃至10の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 前記対象物における振動が基準値以下である場合に、前記超音波を発生させるステップを実行する
請求項1乃至11の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 前記欠陥検出方法は、前記対象物に対するエネルギービームの照射を行う付加造形によって前記対象物を3D造形する際に実行され、前記超音波を発生させるステップにおいて、前記パルスレーザ光を前記エネルギービームの軌跡に沿って後追いするように走査する
請求項1乃至12の何れか一項に記載の欠陥検出方法。 - 対象物に対してパルスレーザ光を照射し、前記対象物の表面を局所的に加熱して前記対象物中に継続的に超音波を発生させるためのパルスレーザ照射装置と、
前記超音波に基づく前記対象物の表面の振動を検出し、前記超音波の共振の有無を検出し、前記対象物の表面と内部欠陥との間で発生する前記超音波の共振の有無に基づいて、前記対象物の前記内部欠陥の有無を検出するように構成された検出装置と、
前記パルスレーザ照射装置及び前記検出装置を制御するための制御装置と、
を備え、
前記制御装置は、前記対象物の表面から所定深さまでの範囲として規定される探傷対象の深さ範囲から、前記パルスレーザ光の繰り返し周波数の設定範囲を、前記所定深さを2倍した波長の前記超音波の周波数以上である前記周波数の範囲に決定する
欠陥検出装置。 - 対象物を3D造形するためのビーム照射装置と、
請求項14に記載の欠陥検出装置と、
を備える造形装置。
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