JP7466773B1 - Optical Modules - Google Patents

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JP7466773B1
JP7466773B1 JP2023525029A JP2023525029A JP7466773B1 JP 7466773 B1 JP7466773 B1 JP 7466773B1 JP 2023525029 A JP2023525029 A JP 2023525029A JP 2023525029 A JP2023525029 A JP 2023525029A JP 7466773 B1 JP7466773 B1 JP 7466773B1
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Abstract

本開示の光モジュールは、ステム(1)と、ステムの表面(1a)側に配置され、ステムの表面(1a)に対向する底面部(20a)と、ステムの表面(1a)に垂直な方向に沿った側面部(20b)とを有する台座部(20)と、台座部の側面部(20b)に設置されたサブマウント(30)と、サブマウント(30)上に設置され、ステムの表面(1a)側から、半導体レーザ部(50a)、光変調器部(50b)、及び光増幅器部(50c)のそれぞれ電気的に独立した各部からなる半導体光集積素子(50)と、半導体レーザ部(50a)に接続される半導体レーザ部用コンデンサ(60)と、光変調器部(50b)に接続される光変調器部用コンデンサ(61)と、光増幅器部(50c)に接続される光増幅器部用コンデンサ(62)と、を備える。The optical module of the present disclosure comprises a stem (1), a base portion (20) arranged on the surface (1a) side of the stem and having a bottom portion (20a) facing the stem surface (1a) and a side portion (20b) along a direction perpendicular to the stem surface (1a), a submount (30) installed on the side portion (20b) of the base portion, a semiconductor optical integrated device (50) installed on the submount (30) and consisting of electrically independent portions, from the surface (1a) side of the stem, a semiconductor laser portion (50a), an optical modulator portion (50b), and an optical amplifier portion (50c), a capacitor (60) for the semiconductor laser portion connected to the semiconductor laser portion (50a), a capacitor (61) for the optical modulator portion connected to the optical modulator portion (50b), and a capacitor (62) for the optical amplifier portion connected to the optical amplifier portion (50c).

Description

本開示は、光モジュールに関する。 The present disclosure relates to an optical module.

近年の各種情報端末の普及、情報のクラウド化などにともない、データ通信量が増大する傾向にある。増大するデータ通信量の需要に対応するため、光ファイバ通信の基地局内の伝送速度の高速化及び大容量化が進行している。 In recent years, the spread of various information terminals and the cloudification of information have led to a trend of increasing data traffic. To meet the growing demand for data traffic, efforts are underway to increase the transmission speed and capacity within optical fiber communication base stations.

光ファイバ通信のような長距離光通信用の光源として、半導体レーザ部と、光変調器部と、光増幅器部とをモノリシックに集積した半導体光集積素子が用いられている(特許文献1)。光変調器部は外部変調器の一種であり、レーザ光強度を直接変調する直接変調方式と比較して信号波形の劣化が少ないため、高速かつ長距離の光ファイバ伝送が可能となる。また、光増幅器部は、変調された光を増幅させるように機能する。 As a light source for long-distance optical communications such as optical fiber communications, a semiconductor optical integrated device that monolithically integrates a semiconductor laser section, an optical modulator section, and an optical amplifier section is used (Patent Document 1). The optical modulator section is a type of external modulator, and since there is less degradation of the signal waveform compared to the direct modulation method that directly modulates the laser light intensity, high-speed and long-distance optical fiber transmission is possible. In addition, the optical amplifier section functions to amplify the modulated light.

特開2022-099537号公報JP 2022-099537 A

特許文献1に記載の光モジュールでは、半導体レーザ部用コンデンサと光増幅部用コンデンサは共通化され、1個のみが配置されている。また、半導体光集積素子はステムの表面に垂直な方向に対して、斜め方向に実装されている。In the optical module described in Patent Document 1, the capacitor for the semiconductor laser section and the capacitor for the optical amplifier section are shared, and only one capacitor is arranged. In addition, the semiconductor optical integrated element is mounted in an oblique direction with respect to the direction perpendicular to the surface of the stem.

特許文献1に記載の光モジュールでは、半導体レーザ部と光増幅部とは電気的に並列に接続されているため、半導体レーザ部と光増幅部に同じ電流が流れるので、両者を独立に制御することが困難であるという実用上の問題があった。In the optical module described in Patent Document 1, the semiconductor laser section and the optical amplifier section are electrically connected in parallel, so the same current flows through the semiconductor laser section and the optical amplifier section, which creates a practical problem in that it is difficult to control the two sections independently.

本開示は上記のような問題点を解消するためになされたもので、電流の制御性が高く、かつ、小型化が可能な光モジュールを得ることを目的とする。 This disclosure has been made to resolve the problems described above, and aims to provide an optical module that has high current controllability and can be miniaturized.

本開示に係る光モジュールは、
CANパッケージと、
前記CANパッケージを構成する部品の1つであるステムと、
前記ステムの表面側に配置され、前記ステムの表面に対向する底面部と、前記ステムの表面に垂直な方向に沿った側面部とを有する台座部と、
前記台座部の側面部に設置されたサブマウントと、
前記サブマウント上に設置され、前記ステムの表面側から、半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部のそれぞれ電気的に独立した各部からなる半導体光集積素子と、
前記半導体光集積素子の半導体レーザ部にワイヤを介して電気的に接続される半導体レーザ部用コンデンサと、
前記半導体光集積素子の光変調器部にワイヤを介して電気的に接続される光変調器部用コンデンサと、
前記半導体光集積素子の光増幅器部にワイヤを介して電気的に接続される光増幅器部用コンデンサと、
を備え、
前記サブマウントは直方体状であり、前記光変調器部用コンデンサは前記サブマウント上に配置され、前記半導体レーザ部用コンデンサ及び前記光増幅器部用コンデンサは、前記台座部の前記サブマウントが設置された側面部に沿った他の側面部上に設置されることを特徴とする。

The optical module according to the present disclosure comprises:
A CAN package;
A stem which is one of the components constituting the CAN package;
a base portion disposed on a surface side of the stem, the base portion having a bottom surface facing the surface of the stem and a side surface extending in a direction perpendicular to the surface of the stem;
A submount disposed on a side surface of the base;
a semiconductor optical integrated device mounted on the submount and including, from a front surface side of the stem, a semiconductor laser section, an optical modulator section, and an optical amplifier section, each of which is electrically independent from the other;
a capacitor for a semiconductor laser portion electrically connected to the semiconductor laser portion of the semiconductor optical integrated device via a wire;
an optical modulator capacitor electrically connected to the optical modulator of the semiconductor optical integrated device via a wire;
an optical amplifier section capacitor electrically connected to the optical amplifier section of the semiconductor optical integrated device via a wire;
Equipped with
The submount is rectangular, the capacitor for the optical modulator section is disposed on the submount, and the capacitor for the semiconductor laser section and the capacitor for the optical amplifier section are disposed on another side portion of the base section along the side portion on which the submount is disposed .

本開示に係る光モジュールによれば、搭載される半導体光集積素子の半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部にそれぞれ電気的に接続されたコンデンサを介して独立に電流を流すので、電流の制御性が高く、かつ、小型化が可能な光モジュールが得られるという効果を奏する。 According to the optical module of the present disclosure, current flows independently through capacitors that are electrically connected to the semiconductor laser section, optical modulator section, and optical amplifier section of the semiconductor optical integrated device mounted thereon, thereby achieving the effect of obtaining an optical module that has high current controllability and can be made compact.

実施の形態1に係る光モジュールの概観図である。1 is a schematic view of an optical module according to a first embodiment; 実施の形態1に係る光モジュールの側面図である。1 is a side view of an optical module according to a first embodiment; 実施の形態1に係る光モジュールの側面図である。1 is a side view of an optical module according to a first embodiment; 実施の形態1に係る光モジュールの一部である半導体光集積素子の断面図である。1 is a cross-sectional view of a semiconductor optical integrated device that is a part of an optical module according to a first embodiment. 実施の形態1に係る光モジュールの一部であるCANパッケージの概観図である。1 is a schematic view of a CAN package which is a part of an optical module according to a first embodiment. 実施の形態2に係る光モジュールの概観図である。FIG. 11 is a schematic view of an optical module according to a second embodiment. 実施の形態2に係る光モジュールの側面図である。FIG. 11 is a side view of an optical module according to a second embodiment. 実施の形態2に係る光モジュールの側面図である。FIG. 11 is a side view of an optical module according to a second embodiment. 実施の形態3に係る光モジュールの概観図である。FIG. 11 is a schematic view of an optical module according to a third embodiment. 実施の形態3に係る光モジュールの側面図である。FIG. 11 is a side view of an optical module according to a third embodiment. 実施の形態3に係る光モジュールの側面図である。FIG. 11 is a side view of an optical module according to a third embodiment. 実施の形態4に係る光モジュールの概観図である。FIG. 13 is a schematic view of an optical module according to a fourth embodiment. 実施の形態4に係る光モジュールの側面図である。FIG. 13 is a side view of an optical module according to a fourth embodiment. 実施の形態4に係る光モジュールの側面図である。FIG. 13 is a side view of an optical module according to a fourth embodiment. 実施の形態5に係る光モジュールの概観図である。FIG. 13 is a schematic view of an optical module according to a fifth embodiment. 実施の形態5に係る光モジュールの側面図である。FIG. 13 is a side view of an optical module according to a fifth embodiment. 実施の形態5に係る光モジュールの側面図である。FIG. 13 is a side view of an optical module according to a fifth embodiment.

実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係る光モジュール100の概観図である。また、図2及び図3は、実施の形態1に係る光モジュール100の側面図である。
Embodiment 1.
Fig. 1 is a schematic view of an optical module 100 according to the first embodiment. Fig. 2 and Fig. 3 are side views of the optical module 100 according to the first embodiment.

ステム1は概ね円形の板状を呈する。ステム1は、例えば銅(Cu)などの熱伝導率の高い材料の表面にAuメッキなどが施されている。ステム1には、複数のリードピン2a~2fがステム1を貫通するように設けられている。 Stem 1 is generally circular and plate-like. Stem 1 is made of a material with high thermal conductivity, such as copper (Cu), with its surface plated with Au. Stem 1 is provided with a number of lead pins 2a to 2f that penetrate the stem 1.

ステム1にリードピン2a~2fを固定するために、一般的にガラス3が用いられる。インピーダンス不整合になると信号の多重反射によって周波数応答特性が劣化し、高速変調が困難となる。したがって、ガラス3は低誘電率の材料で構成されている。 Glass 3 is generally used to secure lead pins 2a to 2f to stem 1. If impedance mismatch occurs, multiple reflections of the signal will cause degradation of frequency response characteristics, making high-speed modulation difficult. Therefore, glass 3 is made of a material with a low dielectric constant.

ステムの表面1aに、温度制御モジュール10が配置されている。なお、ステムの表面1aとは、円形の板状を呈するステム1において、リードピン2a~2fが一部突出している側の平坦面を指す。温度制御モジュール10は、例えばテルル化ビスマス(BiTe)などの材料からなる複数の熱電素子を、窒化アルミニウム(AlN)などの材料からなる下側基板と上側基板で挟むように構成されている。温度制御モジュール10の下側基板は上側基板よりもステムの表面1aに平行な方向に突出した突出部を有し、この突出部に、熱電素子(図示せず)に電力供給するための電極パターン10a、10bが設けられている。温度制御モジュール10は、後述する半導体光集積素子50の温度を制御するために設けられている。なお、実施の形態1に係る光モジュール100において、温度制御モジュール10は省略しても良い。A temperature control module 10 is disposed on the surface 1a of the stem. The surface 1a of the stem refers to the flat surface of the stem 1, which has a circular plate shape, from which the lead pins 2a to 2f protrude. The temperature control module 10 is configured to sandwich a plurality of thermoelectric elements made of a material such as bismuth telluride (BiTe) between a lower substrate and an upper substrate made of a material such as aluminum nitride (AlN). The lower substrate of the temperature control module 10 has a protruding portion that protrudes in a direction parallel to the surface 1a of the stem more than the upper substrate, and electrode patterns 10a and 10b for supplying power to the thermoelectric elements (not shown) are provided on the protruding portion. The temperature control module 10 is provided to control the temperature of the semiconductor optical integrated element 50, which will be described later. In the optical module 100 according to the first embodiment, the temperature control module 10 may be omitted.

温度制御モジュール10の表面に、台座部20が設置されている。台座部の底面部20aは、温度制御モジュール10を介してステムの表面1aと対向する。台座部の底面部20aと温度制御モジュール10の表面とは、例えば、SnAgCuハンダまたはAuSnハンダなどの接合部材によって接合されている。A pedestal 20 is installed on the surface of the temperature control module 10. The bottom surface 20a of the pedestal faces the surface 1a of the stem via the temperature control module 10. The bottom surface 20a of the pedestal and the surface of the temperature control module 10 are joined by a joining material such as SnAgCu solder or AuSn solder.

台座部20は台座部の側面部20b、20cを有する。台座部20は、例えばCuなどの熱伝導率の高い材料の表面にAuメッキなどが施された金属材料のブロックからなる。ステム1とは別部品である台座部20をステム1に実装してもよいし、あるいは、ステム1と台座部20を一体成形しても良い。The base 20 has side portions 20b and 20c. The base 20 is made of a block of metal material, for example, Cu or other material with high thermal conductivity, with Au plating applied to the surface. The base 20, which is a separate part from the stem 1, may be mounted on the stem 1, or the stem 1 and the base 20 may be molded integrally.

台座部の側面部20bに、サブマウント30が設置されている。サブマウント30は、例えば、誘電体からなる直方体状の板状部材である。サブマウント30は、例えばAlNなどのセラミック材料からなり、電気絶縁機能及び熱伝達機能を有する。サブマウント30は、互いに反対側の主面及び裏面と、4つの側面とを有する。サブマウント30の裏面は、台座部の側面部20bに設置されている。サブマウント30の主面には、金属パターンがパターニングされている。The submount 30 is mounted on the side portion 20b of the base. The submount 30 is, for example, a rectangular parallelepiped plate-like member made of a dielectric material. The submount 30 is made of a ceramic material such as AlN, and has electrical insulation and heat transfer functions. The submount 30 has a main surface and a back surface opposite each other, and four side surfaces. The back surface of the submount 30 is mounted on the side portion 20b of the base. A metal pattern is patterned on the main surface of the submount 30.

サブマウント30の主面側に、半導体光集積素子50が設置されている。半導体光集積素子50は、図4の断面図に示すように、半導体レーザ部50a、光変調器部50b、及び光増幅器部50cの各部からなる。各部は、台座部の底面部20a側から、半導体レーザ部50a、光変調器部50b、及び光増幅器部50cとなるように設置されている。半導体レーザ部50a、光変調器部50b、及び光増幅器部50cの各部はそれぞれ電気的に独立している。また、半導体光集積素子50は、ステムの表面1aに垂直な方向に対して、斜め方向に実装されている。 A semiconductor optical integrated element 50 is installed on the main surface side of the submount 30. As shown in the cross-sectional view of FIG. 4, the semiconductor optical integrated element 50 is composed of a semiconductor laser section 50a, an optical modulator section 50b, and an optical amplifier section 50c. The sections are installed from the bottom surface section 20a side of the base section so that the semiconductor laser section 50a, the optical modulator section 50b, and the optical amplifier section 50c are arranged in the order of the semiconductor laser section 50a, the optical modulator section 50b, and the optical amplifier section 50c. The semiconductor laser section 50a, the optical modulator section 50b, and the optical amplifier section 50c are each electrically independent. The semiconductor optical integrated element 50 is also mounted in an oblique direction with respect to the direction perpendicular to the surface 1a of the stem.

半導体光集積素子50の半導体レーザ部50aは、例えば、分布帰還型半導体レーザ(DFBレーザ)からなる。また、半導体光集積素子50の光変調器部50bは、例えば、InGaAsP系量子井戸吸収層を用いた電界吸収型光変調器からなる。半導体光集積素子50の光増幅器部50cは、例えば、InGaAsP系の光増幅器からなる。The semiconductor laser section 50a of the semiconductor optical integrated device 50 is, for example, a distributed feedback semiconductor laser (DFB laser). The optical modulator section 50b of the semiconductor optical integrated device 50 is, for example, an electroabsorption optical modulator using an InGaAsP-based quantum well absorption layer. The optical amplifier section 50c of the semiconductor optical integrated device 50 is, for example, an InGaAsP-based optical amplifier.

半導体光集積素子50の発振波長は温度の変化によって変動するため、半導体光集積素子50の温度をなるべく一定に保持する必要がある。半導体光集積素子50の温度が上昇した場合は温度制御モジュール10が冷却する一方、半導体光集積素子50の温度が低下した場合は温度制御モジュール10が発熱することにより、半導体光集積素子50の温度を一定に保持する。 Because the oscillation wavelength of the semiconductor optical integrated element 50 varies with changes in temperature, it is necessary to keep the temperature of the semiconductor optical integrated element 50 as constant as possible. When the temperature of the semiconductor optical integrated element 50 rises, the temperature control module 10 cools it, while when the temperature of the semiconductor optical integrated element 50 drops, the temperature control module 10 generates heat to keep the temperature of the semiconductor optical integrated element 50 constant.

半導体光集積素子50の駆動により発生した熱は、サブマウント30を介して温度制御モジュール10の上側基板に伝熱する。温度制御モジュール10は、半導体光集積素子50で発生した熱を吸熱する。温度制御モジュール10が吸熱した熱は、温度制御モジュール10の下側基板からステム1を介して、ステム1の裏面側のヒートシンク(図示せず)に放熱される。Heat generated by the operation of the semiconductor optical integrated element 50 is transferred to the upper substrate of the temperature control module 10 via the submount 30. The temperature control module 10 absorbs the heat generated by the semiconductor optical integrated element 50. The heat absorbed by the temperature control module 10 is dissipated from the lower substrate of the temperature control module 10 through the stem 1 to a heat sink (not shown) on the back side of the stem 1.

半導体光集積素子50では、台座部の側面部20bに設置されたサブマウント30のステムの表面1aに垂直な方向の側面に沿って、台座部の底面部20a側から半導体レーザ部用コンデンサ60、光変調器部用コンデンサ61、及び光増幅器部用コンデンサ62が台座部の側面部20bに、順に配置されている。In the semiconductor optical integrated element 50, a capacitor 60 for the semiconductor laser section, a capacitor 61 for the optical modulator section, and a capacitor 62 for the optical amplifier section are arranged in that order on the side surface 20b of the base from the bottom surface 20a side of the base along the side perpendicular to the surface 1a of the stem of the submount 30 mounted on the side surface 20b of the base.

サーミスタ55は、サブマウント30が設置された台座部の側面部20bとは反対側の台座部の側面部20cに設置されている。サーミスタ55は温度センサの一種であり、半導体光集積素子50の温度を間接的に測定する。サーミスタ55が測定した温度は温度制御モジュール10にフィードバックされる。サーミスタ55が測定した温度に基づき、温度制御モジュール10が半導体光集積素子50を温度制御することにより、半導体光集積素子50の温度を安定化することができる。この結果、一定の発振波長が安定して得られる。The thermistor 55 is installed on the side surface 20c of the pedestal opposite to the side surface 20b of the pedestal on which the submount 30 is installed. The thermistor 55 is a type of temperature sensor, and indirectly measures the temperature of the semiconductor optical integrated element 50. The temperature measured by the thermistor 55 is fed back to the temperature control module 10. The temperature control module 10 controls the temperature of the semiconductor optical integrated element 50 based on the temperature measured by the thermistor 55, thereby stabilizing the temperature of the semiconductor optical integrated element 50. As a result, a constant oscillation wavelength is stably obtained.

リードピン2aは、導電性ワイヤW1を介してサーミスタ55に電気的に接続されている。リードピン2bは、導電性ワイヤW2を介して半導体レーザ部用コンデンサ60に電気的に接続されている。リードピン2cは、導電性ワイヤW3を介して光増幅器部用コンデンサ62に電気的に接続されている。リードピン2dは、導電性ワイヤW4を介して温度制御モジュール10の電極パターン10aに電気的に接続されている。リードピン2eは、導電性ワイヤW5を介して温度制御モジュール10の電極パターン10bに電気的に接続されている。リードピン2fは、補助ブロック79の側面に固定された補助基板80の電極パターン80aに一旦電気的に接続され、サブマウント30上の電極パターン30eを介して、半導体光集積素子50の光変調器部50bに電気的に接続されている。なお、図2及び図3において、導電性ワイヤ及び電極パターンの配置は図1と同様なので、煩雑さを避けるため導電性ワイヤ及び電極パターンの符号の記入は省略している。The lead pin 2a is electrically connected to the thermistor 55 via a conductive wire W1. The lead pin 2b is electrically connected to the semiconductor laser capacitor 60 via a conductive wire W2. The lead pin 2c is electrically connected to the optical amplifier capacitor 62 via a conductive wire W3. The lead pin 2d is electrically connected to the electrode pattern 10a of the temperature control module 10 via a conductive wire W4. The lead pin 2e is electrically connected to the electrode pattern 10b of the temperature control module 10 via a conductive wire W5. The lead pin 2f is once electrically connected to the electrode pattern 80a of the auxiliary substrate 80 fixed to the side of the auxiliary block 79, and is electrically connected to the optical modulator section 50b of the semiconductor optical integrated device 50 via the electrode pattern 30e on the submount 30. In addition, since the arrangement of the conductive wires and electrode patterns in FIG. 2 and FIG. 3 is the same as that in FIG. 1, the symbols of the conductive wires and electrode patterns are omitted to avoid complication.

半導体レーザ部用コンデンサ60は、導電性ワイヤW6を介してサブマウント30上の電極パターン30aに一旦電気的に接続され、さらに導電性ワイヤW7を介して半導体光集積素子50の半導体レーザ部50aに電気的に接続されている。The capacitor 60 for the semiconductor laser section is first electrically connected to the electrode pattern 30a on the submount 30 via a conductive wire W6, and is further electrically connected to the semiconductor laser section 50a of the semiconductor optical integrated device 50 via a conductive wire W7.

光変調器部用コンデンサ61は、導電性ワイヤW8を介してサブマウント30上の電極パターン30bに一旦電気的に接続され、さらに導電性ワイヤW9を介して半導体光集積素子50の光変調器部50bに電気的に接続されている。The capacitor 61 for the optical modulator section is first electrically connected to the electrode pattern 30b on the submount 30 via a conductive wire W8, and is further electrically connected to the optical modulator section 50b of the semiconductor optical integrated device 50 via a conductive wire W9.

光増幅器部用コンデンサ62は、導電性ワイヤW10を介してサブマウント30上の電極パターン30cに一旦電気的に接続され、さらに導電性ワイヤW11を介して半導体光集積素子50の光増幅器部50cに電気的に接続されている。The capacitor 62 for the optical amplifier section is first electrically connected to the electrode pattern 30c on the submount 30 via a conductive wire W10, and is further electrically connected to the optical amplifier section 50c of the semiconductor optical integrated device 50 via a conductive wire W11.

補助基板80の電極パターン80aは、導電性ワイヤW23を介してサブマウント30上の電極パターン30eに電気的に接続されている。補助基板80の電極パターン80bは、導電性ワイヤW21を介してサブマウント30上の電極パターン30dに電気的に接続されている。補助基板80の電極パターン80cは、導電性ワイヤW22を介してサブマウント30上の電極パターン30fに電気的に接続されている。 Electrode pattern 80a of the auxiliary substrate 80 is electrically connected to electrode pattern 30e on the submount 30 via conductive wire W23. Electrode pattern 80b of the auxiliary substrate 80 is electrically connected to electrode pattern 30d on the submount 30 via conductive wire W21. Electrode pattern 80c of the auxiliary substrate 80 is electrically connected to electrode pattern 30f on the submount 30 via conductive wire W22.

実施の形態1に係る光モジュール100は、パッケージとして、図5に示すようなCANパッケージ90を用いる。つまり、ステムの表面1a側に設けられた温度制御モジュール10、台座部20、サブマウント30、補助ブロック79、補助基板80などがCANケース91の内部に収容されている。なお、ステム1の裏面側には、リードピン2が突出している。The optical module 100 according to the first embodiment uses a CAN package 90 as shown in Fig. 5 as a package. That is, the temperature control module 10, the base 20, the submount 30, the auxiliary block 79, the auxiliary substrate 80, etc., which are provided on the front surface 1a side of the stem, are housed inside the CAN case 91. Note that the lead pins 2 protrude from the rear surface side of the stem 1.

実施の形態1に係る光モジュール100では上述のような構成を採用しているので、半導体レーザ部用コンデンサ60、光変調器部用コンデンサ61、及び光増幅器部用コンデンサ62をそれぞれ介して、半導体レーザ部50a、光変調器部50b、及び光増幅器部50cの各部を個々に電流制御できるため、半導体光集積素子50に関して駆動電流の制御性が高い。つまり、実施の形態1に係る光モジュール100の電流制御性が向上するという効果を奏する。 Since the optical module 100 according to the first embodiment employs the above-mentioned configuration, the semiconductor laser section 50a, the optical modulator section 50b, and the optical amplifier section 50c can be individually current-controlled via the capacitor 60 for the semiconductor laser section, the capacitor 61 for the optical modulator section, and the capacitor 62 for the optical amplifier section, respectively, and therefore the controllability of the drive current for the semiconductor optical integrated device 50 is high. In other words, the effect of improving the current controllability of the optical module 100 according to the first embodiment is achieved.

また、台座部の側面部20bに設置されたサブマウント30のステムの表面1aに垂直な側面部に沿って、台座部の底面部20a側から、半導体レーザ部用コンデンサ60、光変調器部用コンデンサ61、及び光増幅器部用コンデンサ62が台座部の側面部20bに順に配置されているため、光モジュールの小型化が可能となるという効果を奏する。 In addition, a capacitor 60 for the semiconductor laser section, a capacitor 61 for the optical modulator section, and a capacitor 62 for the optical amplifier section are arranged in order from the bottom surface 20a side of the pedestal along the side surface perpendicular to the surface 1a of the stem of the submount 30 mounted on the side surface 20b of the pedestal, thereby achieving the effect of making it possible to miniaturize the optical module.

<実施の形態1の効果>
以上、実施の形態1に係る光モジュールによると、搭載される半導体光集積素子の半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部にそれぞれ電気的に接続されたコンデンサを介して独立に電流を流すので、電流の制御性が高く、かつ、各コンデンサが台座部の側面部に順に配置されているため小型化が可能な光モジュールが得られるという効果を奏する。
<Effects of First Embodiment>
As described above, according to the optical module of the first embodiment, current flows independently through capacitors that are electrically connected to the semiconductor laser section, the optical modulator section, and the optical amplifier section of the mounted semiconductor optical integrated device, respectively. This has the effect of providing an optical module that has high controllability of the current, and that can be made compact because the capacitors are arranged in sequence on the side section of the base.

実施の形態2.
図6は、実施の形態2に係る光モジュール110の概観図である。また、図7及び図8は、実施の形態2に係る光モジュール110の側面図である。以下、実施の形態1に係る光モジュール100と異なる点を中心に説明する。なお、図6から図8において、導電性ワイヤ及び電極パターンの配置は実施の形態1と同様なので、煩雑さを避けるため符号の記入は省略している。
Embodiment 2.
Fig. 6 is a schematic view of an optical module 110 according to the second embodiment. Figs. 7 and 8 are side views of the optical module 110 according to the second embodiment. The following description focuses on the differences from the optical module 100 according to the first embodiment. In Figs. 6 to 8, the arrangement of the conductive wires and electrode patterns is the same as in the first embodiment, and therefore the reference numerals are omitted to avoid complication.

実施の形態2に係る光モジュール110では、図6及び図8に示すように、光変調器部用コンデンサ61は、サブマウント30上に配置される。また、半導体レーザ部用コンデンサ60及び光増幅器部用コンデンサ62は、温度制御モジュール10の上側基板の表面上にそれぞれ配置される。In the optical module 110 according to the second embodiment, as shown in Figures 6 and 8, the capacitor 61 for the optical modulator section is disposed on the submount 30. The capacitor 60 for the semiconductor laser section and the capacitor 62 for the optical amplifier section are disposed on the surface of the upper substrate of the temperature control module 10.

各コンデンサを上述のように配置することにより、台座部の側面部20bに沿った幅を、実施の形態1に係る光モジュール100の構造よりも、縮小することが可能となる。つまり、光モジュール110のステム1、温度制御モジュール10、台座部20、サブマウント30、補助ブロック79、補助基板80などを収容するCANパッケージ90が小型化できる。By arranging the capacitors as described above, it is possible to reduce the width along the side portion 20b of the base compared to the structure of the optical module 100 according to embodiment 1. In other words, the CAN package 90 that houses the stem 1, temperature control module 10, base portion 20, submount 30, auxiliary block 79, auxiliary substrate 80, etc. of the optical module 110 can be made smaller.

なお、温度制御モジュール10を台座部の底面部20aと同じ面積として、半導体レーザ部用コンデンサ60及び光増幅器部用コンデンサ62をステムの表面1aに直接配置するような構造としても良い。 In addition, the temperature control module 10 may be configured to have the same area as the bottom surface 20a of the base, and the capacitor 60 for the semiconductor laser section and the capacitor 62 for the optical amplifier section may be arranged directly on the surface 1a of the stem.

<実施の形態2の効果>
以上、実施の形態2に係る光モジュールによると、搭載される半導体光集積素子の半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部にそれぞれ電気的に接続されたコンデンサを介して独立に電流を流すので、電流の制御性が高いという効果を奏し、光変調器部用コンデンサをサブマウント上に配置し、半導体レーザ部用コンデンサ及び光増幅器部用コンデンサを温度制御モジュール上にそれぞれ配置したので、さらに小型化が可能な光モジュールが得られるという効果を奏する。
<Effects of the Second Embodiment>
As described above, according to the optical module of the second embodiment, current flows independently through capacitors that are electrically connected to the semiconductor laser section, optical modulator section, and optical amplifier section of the mounted semiconductor optical integrated device, thereby achieving the effect of high current controllability, and since the capacitor for the optical modulator section is disposed on the submount, and the capacitor for the semiconductor laser section and the capacitor for the optical amplifier section are disposed on the temperature control module, an optical module that can be further miniaturized is obtained.

実施の形態3.
図9は、実施の形態3に係る光モジュール120の概観図である。また、図10及び図11は、実施の形態3に係る光モジュール120の側面図である。以下、実施の形態1に係る光モジュール100と異なる点を中心に説明する。なお、図9から図11において、導電性ワイヤ及び電極パターンの配置は実施の形態1と同様なので、煩雑さを避けるため説明に必要な部位以外の符号の記入は省略している。
Embodiment 3.
Fig. 9 is a schematic view of an optical module 120 according to the third embodiment. Figs. 10 and 11 are side views of the optical module 120 according to the third embodiment. The following description will focus on the differences from the optical module 100 according to the first embodiment. In Figs. 9 to 11, the arrangement of the conductive wires and electrode patterns is the same as in the first embodiment, and therefore, in order to avoid complication, reference numerals other than those for parts necessary for the description are omitted.

実施の形態3に係る光モジュール120では、図9から図11に示すように、台座部20が直方体状を呈している。また、サブマウント30上の電極パターン30a及び電極パターン30cの一部がそれぞれ、サブマウント30の側面部にも設けられている。In the optical module 120 according to the third embodiment, the base 20 has a rectangular parallelepiped shape as shown in Figs. 9 to 11. In addition, parts of the electrode patterns 30a and 30c on the submount 30 are also provided on the side surfaces of the submount 30.

実施の形態3に係る光モジュール120では、図9から図11に示すように、光変調器部用コンデンサ61は、サブマウント30上に配置される。また、半導体レーザ部用コンデンサ60及び光増幅器部用コンデンサ62は、台座部の側面部20dの上にそれぞれ配置される。台座部の側面部20dとは、互いに対向する台座部の側面部20bと台座部の側面部20cに垂直な方向の2つの側面部のうち、光変調器部用コンデンサ61に近接した方の側面部である。 In the optical module 120 according to the third embodiment, as shown in Figures 9 to 11, the capacitor 61 for the optical modulator section is disposed on the submount 30. The capacitor 60 for the semiconductor laser section and the capacitor 62 for the optical amplifier section are disposed on the side surface 20d of the pedestal section. The side surface 20d of the pedestal section refers to the side surface that is closer to the capacitor 61 for the optical modulator section among the two side surfaces perpendicular to the side surface 20b and the side surface 20c of the pedestal section that face each other.

つまり、光変調器部用コンデンサ61はサブマウント30上に配置され、半導体レーザ部用コンデンサ60及び光増幅器部用コンデンサ62は、サブマウント30が設置された台座部の側面部20bに沿った台座部の他の側面部20d上に設置される。In other words, the capacitor 61 for the optical modulator section is placed on the submount 30, and the capacitor 60 for the semiconductor laser section and the capacitor 62 for the optical amplifier section are placed on the other side portion 20d of the base along the side portion 20b of the base on which the submount 30 is placed.

電極パターン30a及び電極パターン30cの一部がそれぞれ、サブマウント30の側面部にも設けられるのは、台座部の側面部20dに設置された半導体レーザ部用コンデンサ60と電極パターン30a間、及び光増幅器部用コンデンサ62と電極パターン30c間を導電性ワイヤで接続するためには、かかる配置にする必要があるからである。つまり、台座部の側面部20dに設置された各コンデンサと、台座部の側面部20bに設置された半導体光集積素子50とを直接、導電性ワイヤによって接続することは技術的に困難だからである。The reason why a part of the electrode pattern 30a and the electrode pattern 30c are also provided on the side portion of the submount 30 is that such an arrangement is necessary in order to connect the semiconductor laser section capacitor 60 installed on the side portion 20d of the pedestal to the electrode pattern 30a, and the optical amplifier section capacitor 62 to the electrode pattern 30c with conductive wires. In other words, it is technically difficult to directly connect the capacitors installed on the side portion 20d of the pedestal to the semiconductor optical integrated element 50 installed on the side portion 20b of the pedestal with conductive wires.

各コンデンサを上述のように配置することにより、台座部の側面部20bに沿った幅を、実施の形態1に係る光モジュール100の構造よりも縮小することが可能となる。つまり、光モジュール120のステム1、温度制御モジュール10、台座部20、サブマウント30、補助ブロック79、補助基板80などを収容するCANパッケージ90が小型化できる。By arranging the capacitors as described above, it is possible to reduce the width along the side portion 20b of the base compared to the structure of the optical module 100 according to embodiment 1. In other words, the CAN package 90 that houses the stem 1, temperature control module 10, base portion 20, submount 30, auxiliary block 79, auxiliary substrate 80, etc. of the optical module 120 can be made smaller.

なお、サブマウント30上の電極パターン30a及び電極パターン30cの一部がそれぞれサブマウント30の側面部に設ける代わりに、サブマウント30の電極パターン30a及び電極パターン30cの上に小型の導電性のブロックをそれぞれ接合し、かかる導電性のブロックと半導体レーザ部用コンデンサ60及び光増幅器部用コンデンサ62とを導電性ワイヤによって接続しても良い。In addition, instead of providing a portion of the electrode pattern 30a and a portion of the electrode pattern 30c on the submount 30 on the side portion of the submount 30, small conductive blocks may be bonded onto the electrode pattern 30a and the electrode pattern 30c of the submount 30, respectively, and the conductive blocks may be connected to the capacitor 60 for the semiconductor laser section and the capacitor 62 for the optical amplifier section by conductive wires.

<実施の形態3の効果>
以上、実施の形態3に係る光モジュールによると、搭載される半導体光集積素子の半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部にそれぞれ電気的に接続されたコンデンサを介して独立に電流を流すので、電流の制御性が高いという効果を奏し、光変調器部用コンデンサをサブマウント上に配置し、半導体レーザ部用コンデンサ及び光増幅器部用コンデンサを台座部の他の側面部の上にそれぞれ配置したので、さらに小型化が可能な光モジュールが得られるという効果を奏する。
<Effects of Third Embodiment>
As described above, according to the optical module of the third embodiment, current flows independently through capacitors electrically connected to the semiconductor laser section, optical modulator section, and optical amplifier section of the mounted semiconductor optical integrated device, thereby providing the effect of high current controllability, and since the capacitor for the optical modulator section is disposed on the submount, and the capacitor for the semiconductor laser section and the capacitor for the optical amplifier section are disposed on the other side sections of the base, it is possible to obtain an optical module that can be further miniaturized.

実施の形態4.
図12は、実施の形態4に係る光モジュール130の概観図である。また、図13及び図14は、実施の形態4に係る光モジュール130の側面図である。以下、実施の形態1に係る光モジュール100と異なる点を中心に説明する。なお、図12から図14において、導電性ワイヤ及び電極パターンの配置は実施の形態1と同様なので、煩雑さを避けるため符号の記入は省略している。
Embodiment 4.
Fig. 12 is a schematic view of an optical module 130 according to the fourth embodiment. Figs. 13 and 14 are side views of the optical module 130 according to the fourth embodiment. The following description focuses on the differences from the optical module 100 according to the first embodiment. In Figs. 12 to 14, the arrangement of the conductive wires and electrode patterns is the same as in the first embodiment, and therefore the reference numerals are omitted to avoid complication.

実施の形態4に係る光モジュール130では、図12から図14に示すように、各コンデンサの配置は、実施の形態1に係る光モジュール100と同一である。実施の形態4に係る光モジュール130では、サブマウント30が設置された台座部の側面部20bに沿った台座部の他の側面部20dの断面形状がL字形状を呈する点に特徴がある。 In the optical module 130 according to the fourth embodiment, as shown in Figures 12 to 14, the arrangement of each capacitor is the same as that of the optical module 100 according to the first embodiment. The optical module 130 according to the fourth embodiment is characterized in that the cross-sectional shape of the other side portion 20d of the base along the side portion 20b of the base on which the submount 30 is installed is L-shaped.

台座部の側面部20dの断面形状をL字形状とすることにより、ステムの表面1aからの台座部20の高さを実施の形態1に係る光モジュール100の台座部の高さに比べて、低減することが可能となる。この結果、光モジュール130のステム1、温度制御モジュール10、台座部20、サブマウント30、補助ブロック79、補助基板80などを収容するCANパッケージ90が小型化できる。By making the cross-sectional shape of the side surface 20d of the pedestal part L-shaped, it is possible to reduce the height of the pedestal part 20 from the surface 1a of the stem compared to the height of the pedestal part of the optical module 100 according to embodiment 1. As a result, the CAN package 90 that houses the stem 1, temperature control module 10, pedestal part 20, submount 30, auxiliary block 79, auxiliary substrate 80, etc. of the optical module 130 can be made smaller.

<実施の形態4の効果>
以上、実施の形態4に係る光モジュールによると、搭載される半導体光集積素子の半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部にそれぞれ電気的に接続されたコンデンサを介して独立に電流を流すので、電流の制御性が高いという効果を奏し、台座部の側面部の断面形状をL字形状としたので、さらに小型化が可能な光モジュールが得られるという効果を奏する。
<Effects of Fourth Embodiment>
As described above, according to the optical module of the fourth embodiment, current flows independently through capacitors that are electrically connected to the semiconductor laser portion, the optical modulator portion, and the optical amplifier portion of the mounted semiconductor optical integrated device, respectively, thereby providing the effect of high current controllability, and since the cross-sectional shape of the side portion of the base is L-shaped, it is possible to obtain an optical module that can be further miniaturized.

実施の形態5.
図15は、実施の形態4に係る光モジュール140の概観図である。また、図16及び図17は、実施の形態4に係る光モジュール140の側面図である。なお、図15から図17において、導電性ワイヤ及び電極パターンの配置は実施の形態1と同様なので、煩雑さを避けるため符号の記入は省略している。
Embodiment 5.
Fig. 15 is a schematic view of an optical module 140 according to embodiment 4. Figs. 16 and 17 are side views of the optical module 140 according to embodiment 4. In Figs. 15 to 17, the arrangement of the conductive wires and electrode patterns is similar to that of embodiment 1, and therefore the reference numerals are omitted to avoid complication.

実施の形態5に係る光モジュール140では、図15及び図17に示すように、台座部20が無く、その代わりに、サブマウント30が台座部の役割も兼ねている点に特徴がある。なお、各コンデンサの配置は、実施の形態1に係る光モジュール100と同一である。 As shown in Figures 15 and 17, the optical module 140 according to the fifth embodiment does not have a base 20, and instead the submount 30 also serves as the base. The arrangement of the capacitors is the same as that of the optical module 100 according to the first embodiment.

実施の形態5に係る光モジュール140では、実施の形態1から4のような台座部20を設ける必要が無いため、光モジュールとしての部品点数が削減できる。また、サブマウント30の高さは、実施の形態1から4の台座部20の高さよりも低いので、光モジュール140のステム1、温度制御モジュール10、サブマウント30、補助ブロック79、補助基板80などを収容するCANパッケージ90が小型化できる。In the optical module 140 according to the fifth embodiment, since there is no need to provide a pedestal portion 20 as in the first to fourth embodiments, the number of parts in the optical module can be reduced. In addition, since the height of the submount 30 is lower than the height of the pedestal portion 20 in the first to fourth embodiments, the CAN package 90 that houses the stem 1, temperature control module 10, submount 30, auxiliary block 79, auxiliary substrate 80, etc. of the optical module 140 can be made smaller.

<実施の形態5の効果>
以上、実施の形態5に係る光モジュールによると、搭載される半導体光集積素子の半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部にそれぞれ電気的に接続されたコンデンサを介して独立に電流を流すので、電流の制御性が高いという効果を奏し、台座部を省略できるので光モジュールの部品点数が減るため、小型化かつ低コスト化が可能な光モジュールが得られるという効果を奏する。
<Effects of the Fifth Embodiment>
As described above, according to the optical module of the fifth embodiment, current flows independently through capacitors that are electrically connected to the semiconductor laser portion, the optical modulator portion, and the optical amplifier portion of the mounted semiconductor optical integrated device, respectively, thereby achieving the effect of high current controllability, and since the base portion can be omitted, the number of components of the optical module can be reduced, thereby achieving the effect of obtaining an optical module that can be made smaller and less expensive.

本開示は、様々な例示的な実施の形態及び実施例が記載されているが、1つ、または複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、及び機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。While the present disclosure describes various exemplary embodiments and examples, the various features, aspects, and functions described in one or more embodiments are not limited to application to a particular embodiment, but may be applied to the embodiments alone or in various combinations.

従って、例示されていない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。Therefore, countless variations not illustrated are contemplated within the scope of the technology disclosed in this specification. For example, this includes modifying, adding, or omitting at least one component, or extracting at least one component and combining it with a component of another embodiment.

1 ステム、1a ステムの表面、2、2a、2b、2c、2d、2e、2f リードピン、3 ガラス、10 温度制御モジュール、10a、10b、30a、30b、30c、30d、30e、30f、80a、80b、80c 電極パターン、20 台座部、20a 台座部の底面部、20b、20c、20d 台座部の側面部、30 サブマウント、50 半導体光集積素子、50a 半導体レーザ部、50b 光変調器部、50c 光増幅器部、55 サーミスタ、60 半導体レーザ部用コンデンサ、61 光変調器部用コンデンサ、62 光増幅器部用コンデンサ、79 補助ブロック、80 補助基板、90 CANパッケージ、91 CANケース、100、110、120、130、140 光モジュール、W1、W2、W3、W4、W5、W6、W7、W8、W9、W10、W11、W21、W22、W23 導電性ワイヤ1 stem, 1a surface of stem, 2, 2a, 2b, 2c, 2d, 2e, 2f lead pin, 3 glass, 10 temperature control module, 10a, 10b, 30a, 30b, 30c, 30d, 30e, 30f, 80a, 80b, 80c electrode pattern, 20 pedestal portion, 20a bottom surface portion of pedestal portion, 20b, 20c, 20d side surface portion of pedestal portion, 30 submount, 50 semiconductor optical integrated element, 50a semiconductor laser portion, 50b optical modulator portion, 50c optical amplifier portion, 55 thermistor, 60 capacitor for semiconductor laser portion, 61 capacitor for optical modulator portion, 62 capacitor for optical amplifier portion, 79 auxiliary block, 80 auxiliary substrate, 90 CAN package, 91 CAN case, 100, 110, 120, 130, 140 Optical module, W1, W2, W3, W4, W5, W6, W7, W8, W9, W10, W11, W21, W22, W23 Conductive wire

Claims (5)

CANパッケージと、
前記CANパッケージを構成する部品の1つであるステムと、
前記ステムの表面側に配置され、前記ステムの表面に対向する底面部と、前記ステムの表面に垂直な方向に沿った側面部とを有する台座部と、
前記台座部の側面部に設置されたサブマウントと、
前記サブマウント上に設置され、前記ステムの表面側から、半導体レーザ部、光変調器部、及び光増幅器部のそれぞれ電気的に独立した各部からなる半導体光集積素子と、
前記半導体光集積素子の半導体レーザ部にワイヤを介して電気的に接続される半導体レーザ部用コンデンサと、
前記半導体光集積素子の光変調器部にワイヤを介して電気的に接続される光変調器部用コンデンサと、
前記半導体光集積素子の光増幅器部にワイヤを介して電気的に接続される光増幅器部用コンデンサと、
を備え、
前記サブマウントは直方体状であり、前記光変調器部用コンデンサは前記サブマウント上に配置され、前記半導体レーザ部用コンデンサ及び前記光増幅器部用コンデンサは、前記台座部の前記サブマウントが設置された側面部に沿った他の側面部上に設置されることを特徴とする光モジュール。
A CAN package;
A stem which is one of the components constituting the CAN package;
a base portion disposed on a surface side of the stem, the base portion having a bottom surface facing the surface of the stem and a side surface extending in a direction perpendicular to the surface of the stem;
A submount disposed on a side surface of the base;
a semiconductor optical integrated device mounted on the submount and including, from a front surface side of the stem, a semiconductor laser section, an optical modulator section, and an optical amplifier section, each of which is electrically independent from the other;
a capacitor for a semiconductor laser portion electrically connected to the semiconductor laser portion of the semiconductor optical integrated device via a wire;
an optical modulator capacitor electrically connected to the optical modulator of the semiconductor optical integrated device via a wire;
an optical amplifier section capacitor electrically connected to the optical amplifier section of the semiconductor optical integrated device via a wire;
Equipped with
An optical module characterized in that the submount is rectangular, the capacitor for the optical modulator section is placed on the submount, and the capacitor for the semiconductor laser section and the capacitor for the optical amplifier section are placed on other side portions of the base section along the side portion on which the submount is placed.
前記ステムと前記台座部との間に温度制御モジュールが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。 2. The optical module according to claim 1, further comprising a temperature control module disposed between the stem and the base. 前記半導体光集積素子は、前記ステムの表面に垂直な方向に対して斜めに設置されていることを特徴とする請求項1に記載の光モジュール。 2. The optical module according to claim 1 , wherein the semiconductor optical integrated device is disposed at an angle to a direction perpendicular to a surface of the stem. 前記サブマウントの表面から側面に延在する電極パターンを介して前記半導体レーザ部と前記半導体レーザ部用コンデンサが前記ワイヤによって電気的に接続されることを特徴とする請求項に記載の光モジュール。 2. The optical module according to claim 1 , wherein the semiconductor laser section and the capacitor for the semiconductor laser section are electrically connected by the wire via an electrode pattern extending from the front surface of the submount to a side surface. 前記サブマウントの表面から側面に延在する電極パターンを介して前記光増幅器部と前記光増幅器部用コンデンサが前記ワイヤによって電気的に接続されることを特徴とする請求項に記載の光モジュール。 2. The optical module according to claim 1 , wherein the optical amplifier section and the capacitor for the optical amplifier section are electrically connected by the wire via an electrode pattern extending from the front surface of the submount to a side surface.
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