JP7466316B2 - 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム - Google Patents

放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム Download PDF

Info

Publication number
JP7466316B2
JP7466316B2 JP2020004669A JP2020004669A JP7466316B2 JP 7466316 B2 JP7466316 B2 JP 7466316B2 JP 2020004669 A JP2020004669 A JP 2020004669A JP 2020004669 A JP2020004669 A JP 2020004669A JP 7466316 B2 JP7466316 B2 JP 7466316B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
switch
radiation imaging
circuit
control unit
sample
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020004669A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2021111942A (ja
Inventor
裕 石成
朋之 八木
孔明 石井
祐貴 岩渕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP2020004669A priority Critical patent/JP7466316B2/ja
Priority to US17/145,072 priority patent/US11592583B2/en
Publication of JP2021111942A publication Critical patent/JP2021111942A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7466316B2 publication Critical patent/JP7466316B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01TMEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
    • G01T1/00Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
    • G01T1/16Measuring radiation intensity
    • G01T1/17Circuit arrangements not adapted to a particular type of detector
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/60Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise
    • H04N25/616Noise processing, e.g. detecting, correcting, reducing or removing noise involving a correlated sampling function, e.g. correlated double sampling [CDS] or triple sampling
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14609Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14643Photodiode arrays; MOS imagers
    • H01L27/14658X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/71Charge-coupled device [CCD] sensors; Charge-transfer registers specially adapted for CCD sensors
    • H04N25/745Circuitry for generating timing or clock signals
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N25/00Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
    • H04N25/70SSIS architectures; Circuits associated therewith
    • H04N25/76Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
    • H04N25/78Readout circuits for addressed sensors, e.g. output amplifiers or A/D converters
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N5/00Details of television systems
    • H04N5/30Transforming light or analogous information into electric information
    • H04N5/32Transforming X-rays
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/30Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from X-rays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)

Description

本発明は、放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラムに関する。
医療画像診断や非破壊検査において、半導体材料によって構成される平面検出器(FPD)を用いた放射線撮像装置が広く使用されている。特許文献1には、FPDの画素から転送された電荷を積分する積分アンプと積分アンプの出力をサンプリングするサンプルホールド回路とサンプルホールド回路から転送される信号をAD変換するAD変換回路とを含む読出回路を備える撮像装置が示されている。特許文献2には、放射線画像形成装置内部の各種回路やコンポーネントの温度ドリフトの放射線画像への影響を軽減するために、スリープ状態から撮影可能状態に移行する前に、読出しICに電力を供給し動作させることが示されている。読出しICを動作させ、読出しICを所定の温度まで上昇させることによって、温度ドリフトの影響による画質の低下が低減される。
特開2015-198263号公報 特開2011-101693号公報
撮像時においても温度ドリフトによる放射線画像への影響を軽減するために、FPDに入射する放射線に応じた信号を蓄積する蓄積期間においても、FPDから信号を読み出す読出期間と同様に読出回路などを動作させることが考えられる。蓄積期間において、特許文献1に示される積分アンプやAD変換回路を動作させた場合、読出回路を動作させたことに起因するノイズなどによって積分アンプの出力が変動してしまう可能性がある。積分アンプの出力の変動が、蓄積動作に次いで行われる読出動作において画素から読み出された信号に影響を及ぼした場合、得られる放射線画像の画質が低下してしまう可能性がある。
本発明は、放射線画像の画質の低下の抑制に有利な技術を提供することを目的とする。
上記課題に鑑みて、本発明の実施形態に係る放射線撮像装置は、放射線の照射に応じた信号を蓄積する画素が複数配された画素アレイと、画素アレイから信号が読み出される読出回路と、制御部と、を含む放射線撮像装置であって、読出回路は、画素から信号が読み出される積分アンプと、積分アンプの出力をサンプリングするサンプルホールド回路と、サンプルホールド回路の出力をアナログ/デジタル変換して出力するAD変換回路と、を含み、積分アンプは、画素から信号が転送される第1端子、基準電位が供給される第2端子、および、基準電位を出力するためのノードに接続される出力端子を含むオペアンプと、第1端子と出力端子との間に配された第1キャパシタと、第1キャパシタの2つの端子を短絡するために第1端子と出力端子との間に配された第1スイッチと、を含み、ノードから基準電位を出力可能な構成を備え、サンプルホールド回路は、出力端子とAD変換回路との間に配された第2スイッチと、第2スイッチとAD変換回路との間に接続される第2キャパシタと、を含み、制御部は、画素アレイに信号を蓄積させる蓄積期間において、第1制御と第2制御とを並行して行い、第1制御において、制御部は、AD変換回路がアナログ/デジタル変換する動作を行うように制御し、第2制御において、制御部は、積分アンプが蓄積期間に渡って基準電位を出力し、かつ、蓄積期間において、第1スイッチおよび第2スイッチを導通させてAD変換回路がノードに電気的に接続されるように、積分アンプおよびサンプルホールド回路を制御することを特徴とする。
上記手段によって、放射線画像の画質の低下の抑制に有利な技術を提供する。
本実施形態に係る放射線撮像装置の構成例を示すブロック図。 図1の放射線撮像装置の列アンプの構成例を示す等価回路図。 図1の放射線撮像装置の動作の例を説明するタイミング図。 図1の放射線撮像装置の動作における課題を説明する図。 図1の放射線撮像装置の蓄積期間における動作の例を説明する図。 図1の放射線撮像装置を用いた放射線撮像システムの構成例を示す図。
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。なお、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
また、本発明における放射線には、放射線崩壊によって放出される粒子(光子を含む)の作るビームであるα線、β線、γ線などの他に、同程度以上のエネルギを有するビーム、例えばX線や粒子線、宇宙線なども含みうる。
図1~6を参照して、本開示の一部の実施形態における放射線撮像装置について説明する。図1は、本開示の放射線撮像装置100の構成例を示すブロック図である。放射線撮像装置100は、放射線の照射に応じた信号を蓄積する画素が複数配された画素アレイ110と、画素アレイ110から信号が読み出される読出回路130と、制御部140と、を含む。また、放射線撮像装置100は、画素アレイ110を駆動するための駆動回路120と、電源回路150と、を含む。制御部140は、駆動回路120および読出回路130に各種の制御信号を供給し、駆動回路120および読出回路130の動作を制御する。電源回路150は、画素アレイ110、駆動回路120、読出回路130、制御部140の動作に用いられる電力を供給する。
画素アレイ110は、入射した放射線を電気信号(電荷)に変換するための複数の変換素子S11~S33と、変換素子で生成された電荷を読出回路130に転送するための複数のスイッチ素子T11~T33とを含む。スイッチ素子T11~T33には、例えば、薄膜トランジスタ(TFT)などが、用いられうる。1つの変換素子Sと1つのスイッチ素子Tとの組み合わせによって、1つの画素が構成され、画素アレイ110には複数の画素が2次元アレイ状に配されている。画素アレイ110は、エリアセンサと称されることもある。図2に示される構成において、画素アレイ110には、3行×3列の画素が配されているが、画素の配列はこれに限られない。より多数の画素が、画素アレイ110に配されうる。
変換素子S11~S33の一端には、電源回路150からバイアス電圧Vsが供給され、変換素子S11~S33の他端は、スイッチ素子T11~T33を介して、列信号線Sig1~Sig3に接続される。
スイッチ素子T11~T33のゲートには、駆動回路120から駆動線Vg1~Vg3を介して制御信号が供給される。駆動回路120から供給される制御信号に応じて、スイッチ素子T11~T33のオン/オフが切り替わる。スイッチ素子T11~T33がオンの場合、変換素子S11~S33に蓄積された電荷が、列信号線Sig1~Sig3に転送される。スイッチ素子T11~T33がオフの場合、変換素子S11~S33に電荷が蓄積されたままとなる。
変換素子S11~S33から列信号線Sig1~Sig3に転送された電荷に基づく信号が、読出回路130に読み出される。読出回路130は、列信号線Sig1~Sig3のそれぞれに対応する列アンプCA1~CA3、マルチプレクサMP、差分回路Df、AD変換回路ADCを含む。変換素子S11~S33から転送された電荷に基づく信号は、読出回路130の列アンプCA1~CA3に読み出される。列アンプCA1~CA3は、電荷を電圧に変換して、マルチプレクサMPに供給する。マルチプレクサMPは、列アンプCA1~CA3から供給された信号を順に差分回路Dfに供給する。差分回路Dfは、マルチプレクサMPから供給された2つの信号の差分を取ってAD変換回路ADCに供給する。AD変換回路ADCは、差分回路Dfから供給された信号をアナログ/デジタル変換して出力する。
次いで、図2の等価回路図を参照して、図1の列アンプCAの構成について説明する。図2では、1つの列アンプCAが示されているが、図1に示されるように、読出回路130には複数の列アンプCAが配されている。それぞれの列アンプCAは、画素アレイ110に配された画素から信号が読み出される積分アンプIAと、積分アンプIAの出力をサンプリングするサンプルホールド回路SHと、を含む。
積分アンプIAは、オペアンプOP、キャパシタCf、スイッチSWrを含む。オペアンプOPは、画素から読み出された信号が入力する端子T1、基準電位Vrefが供給される端子T2、および、出力端子T3を含む。出力端子T3は、サンプルホールド回路SHが接続されるノードNに接続されている。キャパシタCfは、端子T1と出力端子T3との間に配される。スイッチSWrは、キャパシタCfの2つの端子を短絡するために端子T1と出力端子T3との間に配される。
積分アンプIAは、画素から読み出された信号(信号電荷)をキャパシタCfに蓄積し、蓄積された電荷を電圧に変換して出力する。積分アンプIAのゲインは、キャパシタCfの容量値によって定まる。スイッチSWrは、制御部140から供給される制御信号RSTによってそのオン/オフが制御される。スイッチSWrがオンの場合、キャパシタCfの両端が短絡され、キャパシタCfの両端の電圧が基準電圧Vrefに等しくなり、キャパシタCfに蓄積された電荷がリセットされる。本明細書において、キャパシタCfに蓄積された電荷をリセットすることを、積分アンプIAをリセットするという。また、スイッチSWrをオンさせ、積分アンプIAをリセットすることによって、積分アンプIAは、基準電位Vrefを出力可能な構成を備えているといえる。スイッチSwrがオフの場合、画素から転送された電荷に応じて、キャパシタCfに電荷が蓄積される。
図2に示される構成において、積分アンプIAは、1つのキャパシタCfを含む。しかし、積分アンプIAは複数のキャパシタを含み、オペアンプOPに接続されるキャパシタを選択可能なように構成されてもよい。このような構成は、放射線撮像装置100を撮像条件の異なる複数の撮影手技に用いる場合において、撮影手技ごとに適切なゲインに設定することを可能にする。
サンプルホールド回路SHは、出力端子T3とAD変換回路ADCとの間に配されたスイッチSWs1と、スイッチSWs1とAD変換回路ADCとの間に接続されるキャパシタCh1と、を含む。スイッチSWs1とキャパシタCh1とは、1つのサンプルホールド回路SH1を構成する。本実施形態において、サンプルホールド回路SHは、サンプルホールド回路SH1の他に、サンプルホールド回路SH2を含み、相関二重サンプリング(CDS)を行うことが可能である。サンプルホールド回路SH2は、出力端子T3とAD変換回路ADCとの間にスイッチSWs1と並列に配されたスイッチSWs2と、スイッチSWs2とAD変換回路ADCとの間に接続されるキャパシタCh2と、を含む。キャパシタCh1の容量値とキャパシタCh2の容量値とは互いに等しくてもよい。
図2に示される構成において、読出回路130は、出力端子T3とサンプルホールド回路SHとの間に配された抵抗素子Rfをさらに含む。抵抗素子Rfとサンプルホールド回路SHのキャパシタCh1、Ch2とは、ローパスフィルタLPFを構成する。ローパスフィルタLPFには、積分アンプIAの出力が供給される。ローパスフィルタLPFによって、積分アンプIAの出力から高周波成分が除去される。読出回路130は、出力端子T3とサンプルホールド回路SHとの間に、抵抗素子Rfと並列に配されたスイッチSWfをさらに含む。
スイッチSWs1は、制御部140から供給される制御信号SMP1によって、オン/オフが制御される。スイッチSWs1がオンの場合、抵抗素子RfとキャパシタCh1とが接続され、抵抗素子RfとキャパシタCh1とによってローパスフィルタが構成される。スイッチSWs1がオフの場合、キャパシタCh1にこのローパスフィルタの出力が保持される。
同様に、スイッチSWs2は、制御部140から供給される制御信号SMP2によって、オン/オフが制御される。スイッチSWs2がオンの場合、抵抗素子RfとキャパシタCh2とが接続され、抵抗素子RfとキャパシタCh2とによってローパスフィルタが構成される。スイッチSWs2がオフの場合、キャパシタCh2にこのローパスフィルタの出力が保持される。
スイッチSWfは、制御部140から供給される制御信号LPFによって、オン/オフが制御される。スイッチSWfがオンの場合、抵抗素子Rfの両端が短絡される。スイッチSWfがオフの場合、抵抗Rfの両端が短絡されない。スイッチSWfのオン/オフを切り替えることによって、ローパスフィルタLPFの時定数が変化する。
例えば、スイッチSWs1がオフであり、スイッチSWs2がオンであり、抵抗素子RfとキャパシタCh2とによってローパスフィルタが構成される場合を考える。以下の説明において、抵抗素子Rfの抵抗値をrf、キャパシタCh1の容量値をch2、スイッチSWfをオンにした場合のオン抵抗の値をronとする。
この場合、スイッチSWfがオンの場合のローパスフィルタLPFの時定数τ1は、以下の式で与えられる。
τ1={ron×rf/(ron+rf)}×ch2
ここで、ron<<rfとすると、τ1は以下の式で近似される。
τ1≒ron×ch2
一方、スイッチSWfがオフの場合のローパスフィルタLPFの時定数τ2は以下の式で与えられる。
τ2=rf×ch2
例えば、rf=50kΩ、ron=5Ωとした場合に、τ2/τ1≒10000となる。つまり、スイッチSWfのオン抵抗とキャパシタCh1、Ch2とによって構成されるローパスフィルタの時定数τ1が、抵抗素子RfとキャパシタCh1、Ch2とによって構成されるローパスフィルタの時定数τ2よりも小さくなる。このように、本実施形態において、ローパスフィルタLPFの時定数は可変である。
図2に示される構成において、2つのサンプルホールド回路SH1、SH2によって1つのローパスフィルタLPFが構成されるが、サンプルホールド回路SH1、SH2ごとに別個の抵抗素子が接続され、別個のローパスフィルタが構成されていてもよい。また、図2に示される構成において、サンプルホールド回路SH1、SH2がローパスフィルタLPFの一部を構成するが、ローパスフィルタLPFとサンプルホールド回路SH1、SH2とが別個の回路素子で構成されてもよい。また、ローパスフィルタLPF(抵抗素子Rf)は、配されていなくてもよい。また、相関二重サンプリングの必要がない場合、サンプルホールド回路SHは、サンプルホールド回路SH1の1つだけであってもよい。
次に、図3(a)~3(d)のタイミングチャートを参照して、放射線撮像装置100の動作例について説明する。図3(a)~3(d)において、放射線は、放射線撮像装置100に照射される放射線の有無を示す。RST、LPF、SMP1、SMP2は、それぞれ制御部140からスイッチSWr、SWf、SWs1、SWs2に供給される制御信号を示す。Vg1~Vg3は、駆動線Vg1~Vg3に流れる制御信号を示す。ADCLKは、AD変換回路ADCに供給されるクロックを示す。ADOUTは、AD変換回路ADCからの出力を示す。
画素アレイ110に信号を蓄積させる蓄積期間において、制御部140は、駆動線Vg1~Vg3に供給する制御信号をローレベルに維持する。これによって、スイッチ素子T11~T33が、オフのままとなる。この期間において、放射線の曝射が許可され、放射線が照射される。結果として、被写体を透過した放射線に応じた電荷が変換素子S11~S33に蓄積される。
蓄積期間が終了すると、画素アレイから信号を読み出す読出期間に遷移する。制御部140は、変換素子S11~S33に蓄積された電荷を読み出す。まず、制御部140は、制御信号RSTをハイレベルに切り替えて、スイッチSWrをオンにする。これによって、積分アンプIAがリセットされる。積分アンプIAがリセットされた後に、制御部140は、制御信号SMP1をハイレベルに切り替えて、スイッチSWs1をオンにする。これによって、抵抗素子RfとキャパシタCh1とによってローパスフィルタが構成されるとともに、サンプルホールド回路SH1は、このローパスフィルタを介して積分アンプIAの出力のサンプリングを開始する。その後、制御部140は、制御信号SMP1をローレベルに切り替えて、スイッチSWs1をオフにする。これによって、サンプルホールド回路SH1はサンプリングを終了し、その時点のローパスフィルタLPFの出力がキャパシタCh1に保持される。
続いて、制御部140は、駆動線Vg1に供給する制御信号をハイレベルに切り替え、スイッチ素子T11~T13をオンにする。これによって、変換素子S11~S13に蓄積された電荷が列アンプCA1~CA3に読み出され、それぞれの積分アンプIAに保持される。
続いて、制御部140は、制御信号SMP2をハイレベルに切り替えて、スイッチSWs2をオンにする。これによって、抵抗素子RfとキャパシタCh2とによってローパスフィルタが構成されるとともに、サンプルホールド回路SH2は、このローパスフィルタを介して積分アンプIAの出力のサンプリングを開始する。サンプリングの開始タイミングにおいて、制御部140は、制御信号LPFをハイレベルに切り替えて、スイッチSWfをオンにする。これによって、ローパスフィルタLPFの時定数τが小さくなり、キャパシタCh2を充電する時間が十分に確保できることとなる。
所定の時間が経過した後、制御部140は、制御信号LPFをローレベルに切り替えて、スイッチSWfをオフにし、サンプリングを継続する。その後、制御部140は、制御信号SMP2をローレベルに切り替えて、スイッチSWs2をオフにする。これによって、サンプルホールド回路SH2はサンプリングを終了し、その時点のローパスフィルタLPFの出力がキャパシタCh2に保持される。
この時点で、キャパシタCh1は、画素の信号を読み出す前の積分アンプIAの出力を保持し、キャパシタCh2は、画素の信号を読み出した際の積分アンプIAの出力を保持する。その後、差分回路Dfは、キャパシタCh1にサンプルホールドされた信号とキャパシタCh2にサンプルホールドされた信号との出力の差分を画素信号としてAD変換回路ADCに出力する。すなわち、差分回路Dfによって、相関二重サンプリングが行われる。相関二重サンプリングによって、積分アンプIAの出力から低周波ノイズが除去される。また、上述のローパスフィルタLPFによって、積分アンプIAの出力から高周波ノイズが除去される。その後、駆動線Vg2、Vg3に接続された画素ついても同様の処理が行われる。
放射線撮像装置100は放射線の曝射の有無に関わらず、上述の蓄積期間の動作と読出期間の動作とを一定周期で繰り返し行ってもよい。また、放射線が曝射された場合、曝射の終了に応じて、蓄積期間から読出期間に移行しても良い。
ここで、図3(a)~3(d)に示されるように、放射線撮像装置100が動作している期間の消費電力を一定に保持するため、蓄積期間においても、制御信号ADCLKを供給しAD変換回路ADCがアナログ/デジタル変換する動作を行うように制御する。つまり、制御部140は、蓄積期間において消費される電力が、画素アレイ110から信号を読み出す読出期間において消費される電力と同じになるように、読出回路130を制御する。このとき、制御部140は、AD変換回路ADCがアナログ/デジタル変換するように制御してもよい。これによって、蓄積期間と読出期間とにおける画素アレイ110や読出回路130などの温度変動を抑制し、連続撮像時などの出力を安定させることが可能となる。図3には詳細を示していないが、AD変換回路ADCの制御は、蓄積期間と読出期間とで同じ動作をさせてもよいし、異なる動作をさせてもよい。
このように、蓄積期間においても制御信号ADCLKを供給しAD変換回路ADCが動作するように制御した場合に、必要となる列アンプCAの制御について説明する。まず、比較例について説明する。放射線撮像装置100において、蓄積期間における消費電力を保つために、AD変換回路ADCを連続的に動作させると、アナログ回路内の積分アンプIAの基準電位Vrefが変動し、画像内の出力が不均一になってしまう場合があった。具体的には、AD変換回路ADCが、積分アンプIAの基準電位Vrefを出力するノードnに電気的に接続されていない場合、基準電位Vrefが変動してしまうことがあった。図4(a)に示すように、蓄積期間において積分アンプIAの基準電圧Vrefが変動してし、変動した基準電圧Vrefは、読出期間において設定値に戻るように変動する。
図4(a)に示すように基準電圧Vrefが変動した状態で読出期間の動作を実施した場合、タイミングによって基準電圧Vrefの変動の幅が異なる可能性がある。放射線画像F1を取得したときの基準電圧Vrefの変動が図4(b)に示す基準電位Vref1、放射線画像F2を取得したときの基準電圧Vrefの変動が図4(b)に示す基準電位Vref2とする。この場合、基準電位Vref1と基準電位Vref2との差に応じて積分アンプIAの出力に変動(基準電位Vref1の場合、図4(b)の「OP1」、基準電位Vref2の場合、図4(b)の「OP2」。)が生じる。このような状態で取得された放射線画像F1と放射線画像F2とでオフセット補正を実施すると、オフセット補正後の画像が、OP1とOP2との差分に応じて面内シェーディングを引き起こす。
面内シェーディングなどの画質の低下を抑制するために、本実施形態において、制御部140は、以下に説明する制御を行う。制御部140は、蓄積期間において温度変動を抑制するためにAD変換回路ADCを連続的に動作させる制御を行う。AD変換回路ADCの動作を行わせる制御と並行して、制御部140は、制御信号RSTをハイレベルに切り替えて、スイッチSWrを導通させる。これによって、積分アンプIAがリセットされ、ノードnには、基準電位Vrefが供給される。さらに、制御部140は、制御信号SMP1をハイレベルに切り替えて、スイッチSWs1を導通させる。同様に、制御部140は、制御信号SMP2をハイレベルに切り替えて、スイッチSWs2を導通させる。
このように、制御部140は、積分アンプIAが基準電位Vrefを出力し、かつ、AD変換回路ADCが積分アンプIAの基準電位Vrefを出力するノードnに電気的に接続されるように、積分アンプIAおよびサンプルホールド回路SHを制御する。列アンプCAの動作を制御し、読出回路130内を電気的に接続することによって、読出回路130内の電位が、AD変換回路を動作させたことに起因するノイズの影響を受けにくくなる。これによって、蓄積期間において制御信号ADCLKを供給しAD変換回路ADCを連続的に動作させたとしても、オペアンプOPの基準電圧Vrefが変動することを抑制可能となる。
図3(b)に示されるように、制御部140は、制御信号LPFをハイレベルに切り替えて、スイッチSWfをオンにしてもよい。これによって、マルチプレクサMPからみた入力インピーダンスがさらに下がり、基準電圧Vrefの変動に対して、より安定した動作が期待できる。このとき、制御部140は、スイッチSWfが、スイッチSWr、スイッチSWs1、および、スイッチSWs2と同じタイミングで導通するように制御してもよい。また、図3(c)に示されるように、制御部140は、制御信号LPFをローレベルとハイレベルとに交互に切り替えて、スイッチSWfが断続的に導通させてもよい。この場合、オフ期間とオン期間とのデューティ比は問わない。
制御部140は、図4(a)、4(b)に示されるように、スイッチSWr、スイッチSWs1、および、スイッチSWs2が同じタイミングで導通するように制御してもよい。しかしながら、これに限られることはない。制御部140は、蓄積期間において、制御信号SMP1、SMP2を常にハイレベルに制御することは必須ではなく、基準電圧Vrefが変動しない範囲でスイッチSWs1、SWs2をオフ/オンを切り替えてもよい。例えば、図3(d)に示されるように、制御部140は、制御信号SMP1、SMP2を読出期間の動作と同じように制御し、スイッチSWs1、SWs2をオフ/オンしてもよい。つまり、制御部140は、蓄積期間において、スイッチSWs1とスイッチSWs2とが異なるタイミングで導通するように制御してもよい。
蓄積期間から読出期間に移行する際、まず、制御部140は、制御信号ADCLKの供給を停止し、蓄積期間の動作において必要な列アンプCAの制御を停止する。次いで、制御部140は、読出期間の動作へと移行する。
また、蓄積期間において、制御部140は、常に列アンプCAを制御することが必須ではなく、蓄積期間が終了する前の適切な期間において列アンプCAを制御するだけでも、基準電位Vrefの変動を抑制する効果が得られる。蓄積期間のうち列アンプCAの制御を必要とする適切な期間は、基準電位Vrefの変動量や、制御信号ADCLKが供給される期間に応じて、適宜、決定されうる。また、図3(a)~3(d)では、スイッチSWs1とスイッチSWs2との両方が、導通する例を示したが、一方だけのスイッチが導通するだけでもよい。積分アンプIAが基準電位Vrefを出力し、かつ、AD変換回路ADCが積分アンプIAの基準電位Vrefを出力するノードnに電気的に接続されていればよい。
その他の実施形態
図5(a)、5(b)を用いて、積分アンプIAが出力する基準電位Vrefの変動を抑制する別の方法について説明する。
図5(a)に示されるように、制御部140は、蓄積期間において、制御信号ADCLKを一定間隔で断続的に供給している。ここで、制御信号ADCLKの供給が一時的に休止する期間をミュート期間とする。このミュート期間の期間t2を適切に設定することによって、列アンプCAの制御によらず、基準電位Vrefの変動が抑制できる。具体的には、上述のように列アンプCAの動作を制御する場合の制御信号ADCLKのミュート期間の長さを期間t1とする。このとき、期間t2は、期間t1よりも長時間(t1<t2)とすることによって、基準電位Vrefの変動を抑制することが可能となる。
また、制御信号ADCLKは、蓄積期間において、常に一定の間隔で供給されなくてもよい。図5(b)に示されるように、蓄積期間において、制御信号ADCLKが断続的に供給される期間(バースト期間B)の後に、制御信号ADCLKが断続的に供給されない休止期間を設けることによっても、基準電圧Vrefの変動を抑制できる。この動作は、上述の列アンプCAの制御と組み合わせて使用してもよい。
図5(b)に示されるように、バースト期間におけるミュート期間の長さを期間t5とする。また、バースト期間B1の長さを期間tb1、バースト期間B1に応じた適切な休止期間の長さを期間t3とする。同様に、バースト期間B2の長さを期間tb2、バースト期間B2に応じた適切な休止期間の長さを期間t4とする。ここで、バースト期間B2の期間tb2が、バースト期間B1の期間tb1よりも長時間である場合、休止期間の期間t4は、期間t3よりも長時間である。また、休止期間の期間t3、t4は、バースト期間B中のミュート期間の期間t5よりも長時間である。つまり、以下のような式の関係を有している。
tb1≦tb2 ⇒ t5<t3≦t4
図5(b)は一例であって、バースト期間Bのそれぞれの期間は、適宜設定することが可能であり、それに応じた休止期間も適宜設定することが可能である。また、バースト期間B中のミュート期間は、それぞれのバースト期間によって同じであってもよいし、異なっていてもよい。ただし、図5(a)に示すような制御信号ADCLKを一定間隔で供給する場合、読出期間に入る前に適切なミュート期間(図5(a)の期間t2)を設けることが必要となる。また、図5(b)に示すように制御信号ADCLKを一定間隔で供給しない場合、読出期間に入る前に適切な休止期間(図5(b)の期間t4)を設けることが必要となる。
以下、図6を参照しながら本発明の放射線撮像装置100が組み込まれた放射線撮像システムについて例示的に説明する。放射線撮影装置6040(上述の放射線撮像装置100に相当する)に放射線を照射するための放射線源であるX線チューブ6050で発生したX線6060は、患者又は被験者6061の胸部6062を透過し、放射線撮影装置6040に入射する。この入射したX線に患者又は被験者6061の体内部の情報が含まれる。放射線撮影装置6040において、X線6060の入射に対応してシンチレータが発光し、これが光電変換素子で光電変換され、電気的情報を得る。この情報は、デジタルに変換され信号処理部としてのイメージプロセッサ6070によって画像処理され、制御室の表示部としてのディスプレイ6080で観察できる。
また、この情報は、電話、LAN、インターネットなどのネットワーク6090などの伝送処理部によって遠隔地へ転送できる。これによって別の場所のドクタールームなどの表示部であるディスプレイ6081に表示し、遠隔地の医師が診断することも可能である。また、この情報は、光ディスクなどの記録媒体に記録することができ、またフィルムプロセッサ6100によって記録媒体となるフィルム6110に記録することもできる。
本発明は、上記の実施形態の機能を実現するソフトウェア(プログラム)をネットワーク又は各種記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、システム又は装置のコンピュータ(CPUやMPUなど)がプログラムを読み出すことにより実行されてもよい。また、本発明は、システム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能であり、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
発明は上記実施形態に制限されるものではなく、発明の精神及び範囲から離脱することなく、様々な変更及び変形が可能である。従って、発明の範囲を公にするために請求項を添付する。
100:放射線撮像装置、110:画素アレイ、130:読出回路、140:制御部、ADC:AD変換回路、IA:積分アンプ、n:ノード、SH:サンプルホールド回路、Vref:基準電位

Claims (15)

  1. 放射線の照射に応じた信号を蓄積する画素が複数配された画素アレイと、前記画素アレイから前記信号が読み出される読出回路と、制御部と、を含む放射線撮像装置であって、
    前記読出回路は、前記画素から前記信号が読み出される積分アンプと、前記積分アンプの出力をサンプリングするサンプルホールド回路と、前記サンプルホールド回路の出力をアナログ/デジタル変換して出力するAD変換回路と、を含み、
    前記積分アンプは、前記画素から前記信号が転送される第1端子、基準電位が供給される第2端子、および、前記基準電位を出力するためのノードに接続される出力端子を含むオペアンプと、前記第1端子と前記出力端子との間に配された第1キャパシタと、前記第1キャパシタの2つの端子を短絡するために前記第1端子と前記出力端子との間に配された第1スイッチと、を含み、前記ノードから前記基準電位を出力可能な構成を備え、
    前記サンプルホールド回路は、前記出力端子と前記AD変換回路との間に配された第2スイッチと、前記第2スイッチと前記AD変換回路との間に接続される第2キャパシタと、を含み、
    前記制御部は、前記画素アレイに前記信号を蓄積させる蓄積期間において、第1制御と第2制御とを並行して行い、
    前記第1制御において、前記制御部は、前記AD変換回路がアナログ/デジタル変換する動作を行うように制御し、
    前記第2制御において、前記制御部は、前記積分アンプが前記蓄積期間に渡って前記基準電位を出力し、かつ、前記蓄積期間において、前記第1スイッチおよび前記第2スイッチを導通させて前記AD変換回路が前記ノードに電気的に接続されるように、前記積分アンプおよび前記サンプルホールド回路を制御することを特徴とする放射線撮像装置。
  2. 前記サンプルホールド回路は、前記出力端子と前記AD変換回路との間に前記第2スイッチと並列に配された第3スイッチと、前記第3スイッチと前記AD変換回路との間に接続される第3キャパシタと、をさらに含み、
    前記制御部は、前記蓄積期間において、前記第3スイッチが導通するように制御することを特徴とする請求項に記載の放射線撮像装置。
  3. 前記読出回路は、前記サンプルホールド回路と前記AD変換回路との間に、前記第2キャパシタにサンプルホールドされた信号と前記第3キャパシタにサンプルホールドされた信号との差分を出力する差分回路と、マルチプレクサと、をさらに含むことを特徴とする請求項に記載の放射線撮像装置。
  4. 前記制御部は、前記蓄積期間において、前記第1スイッチ、前記第2スイッチおよび前記第3スイッチが同じタイミングで導通するように制御することを特徴とする請求項またはに記載の放射線撮像装置。
  5. 前記制御部は、前記蓄積期間において、前記第2スイッチと前記第3スイッチとが異なるタイミングで導通するように制御することを特徴とする請求項またはに記載の放射線撮像装置。
  6. 前記読出回路は、前記出力端子と前記サンプルホールド回路との間に配された抵抗素子をさらに含むことを特徴とする請求項乃至の何れか1項に記載の放射線撮像装置。
  7. 前記読出回路は、前記出力端子と前記サンプルホールド回路との間に、前記抵抗素子と並列に配された第4スイッチをさらに含み、
    前記制御部は、前記蓄積期間において、前記第4スイッチを導通させることを特徴とする請求項に記載の放射線撮像装置。
  8. 前記制御部は、前記蓄積期間において、前記第4スイッチが前記第1スイッチと同じタイミングで導通するように制御することを特徴とする請求項に記載の放射線撮像装置。
  9. 前記制御部は、前記蓄積期間において、前記第4スイッチを断続的に導通するように制御することを特徴とする請求項に記載の放射線撮像装置。
  10. 前記第4スイッチのオン抵抗と前記第2キャパシタとによって構成されるローパスフィルタの時定数が、前記抵抗素子と前記第2キャパシタとによって構成されるローパスフィルタの時定数よりも小さいことを特徴とする請求項に記載の放射線撮像装置。
  11. 前記制御部は、前記蓄積期間において消費される電力が、前記画素アレイから信号を読み出す読出期間において消費される電力と同じになるように、前記読出回路を制御することを特徴とする請求項1乃至10の何れか1項に記載の放射線撮像装置。
  12. 前記制御部は、前記蓄積期間において消費される電力が、前記読出期間において消費される電力と同じになるように、前記蓄積期間において前記AD変換回路がアナログ/デジタル変換するように制御することを特徴とする請求項11に記載の放射線撮像装置。
  13. 請求項1乃至12の何れか1項に記載の放射線撮像装置と、
    前記放射線撮像装置からの信号を処理する信号処理部と、
    を備えることを特徴とする放射線撮像システム。
  14. 放射線の照射に応じた信号を蓄積する画素が複数配された画素アレイと、前記画素アレイから前記信号が読み出される読出回路と、を含む放射線撮像装置の制御方法であって、
    前記読出回路は、前記画素から前記信号が読み出される積分アンプと、前記積分アンプの出力をサンプリングするサンプルホールド回路と、前記サンプルホールド回路の出力をアナログ/デジタル変換して出力するAD変換回路と、を含み、
    前記積分アンプは、前記画素から前記信号が転送される第1端子、基準電位が供給される第2端子、および、前記基準電位を出力するためのノードに接続される出力端子を含むオペアンプと、前記第1端子と前記出力端子との間に配された第1キャパシタと、前記第1キャパシタの2つの端子を短絡するために前記第1端子と前記出力端子との間に配された第1スイッチと、を含み、前記ノードから前記基準電位を出力可能な構成を備え、
    前記サンプルホールド回路は、前記出力端子と前記AD変換回路との間に配された第2スイッチと、前記第2スイッチと前記AD変換回路との間に接続される第2キャパシタと、を含み、
    前記画素アレイに前記信号を蓄積させる蓄積期間において、第1制御と第2制御とが、並行して行われる工程を含み、
    前記第1制御において、前記AD変換回路がアナログ/デジタル変換する動作を行うように制御され、
    前記第2制御において、前記積分アンプが前記蓄積期間に渡って前記基準電位を出力し、かつ、前記蓄積期間において、前記第1スイッチおよび前記第2スイッチを導通させて前記AD変換回路が前記ノードに電気的に接続するように、前記積分アンプおよび前記サンプルホールド回路が制御されることを特徴とする制御方法。
  15. 請求項14に記載の制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
JP2020004669A 2020-01-15 2020-01-15 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム Active JP7466316B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020004669A JP7466316B2 (ja) 2020-01-15 2020-01-15 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム
US17/145,072 US11592583B2 (en) 2020-01-15 2021-01-08 Radiation imaging apparatus, radiation imaging system, method of controlling radiation imaging apparatus, and non-transitory computer-readable storage medium

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020004669A JP7466316B2 (ja) 2020-01-15 2020-01-15 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2021111942A JP2021111942A (ja) 2021-08-02
JP7466316B2 true JP7466316B2 (ja) 2024-04-12

Family

ID=76760433

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020004669A Active JP7466316B2 (ja) 2020-01-15 2020-01-15 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム

Country Status (2)

Country Link
US (1) US11592583B2 (ja)
JP (1) JP7466316B2 (ja)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016025465A (ja) 2014-07-18 2016-02-08 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及びその駆動方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4448042B2 (ja) * 2005-02-17 2010-04-07 富士フイルム株式会社 信号検出方法および装置並びに放射線画像信号検出方法およびシステム
JP2011101693A (ja) 2009-11-10 2011-05-26 Konica Minolta Medical & Graphic Inc 放射線画像形成装置
JP5840588B2 (ja) * 2012-09-28 2016-01-06 富士フイルム株式会社 放射線画像撮影装置、補正用データ取得方法およびプログラム
JP6355387B2 (ja) 2014-03-31 2018-07-11 キヤノン株式会社 撮像装置及び撮像システム
JP6285995B2 (ja) * 2016-08-10 2018-02-28 浜松ホトニクス株式会社 固体撮像装置、放射線撮像システム及び固体撮像装置の制御方法

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016025465A (ja) 2014-07-18 2016-02-08 キヤノン株式会社 放射線撮像装置及びその駆動方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2021111942A (ja) 2021-08-02
US20210215834A1 (en) 2021-07-15
US11592583B2 (en) 2023-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7198003B2 (ja) 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法およびプログラム
US9423512B2 (en) Radiation imaging apparatus and radiation imaging system
JP6355387B2 (ja) 撮像装置及び撮像システム
US8809795B2 (en) Imaging apparatus, radiation imaging system, controlling method of imaging apparatus, and recording medium recording control program of imaging apparatus
JP6016673B2 (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP6494204B2 (ja) 放射線撮像装置及び放射線撮像システム
US8809760B2 (en) Imaging apparatus, imaging system, method of controlling the apparatus and the system, and program
JP5159161B2 (ja) 放射線撮像装置、放射線撮像システム及びその制御方法
US8680471B2 (en) Imaging apparatus, imaging system, method of controlling the apparatus and the system, and program
JP2014049983A (ja) 放射線撮像装置、その制御方法及びプログラム
JP6400053B2 (ja) 放射線撮像装置及び放射線撮像システム、それらの制御方法及びそのプログラム
US20140320685A1 (en) Imaging apparatus and imaging system
JP6417218B2 (ja) 撮像装置及び撮像方法
JP7466316B2 (ja) 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム
WO2019244456A1 (ja) 放射線撮像装置、放射線撮像システム、放射線撮像装置の制御方法、および、プログラム
US20100149324A1 (en) Image pickup apparatus and image pickup system
US20230417934A1 (en) Radiation imaging apparatus, radiation imaging system, control method for radiation imaging apparatus, non-transitory computer-readable storage medium, and signal processing apparatus
WO2022244495A1 (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP7441032B2 (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP7190913B2 (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP2022176882A (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP2019136403A (ja) 放射線撮像装置および放射線撮像システム
JP2017130761A (ja) 放射線撮像装置及び放射線撮像システム

Legal Events

Date Code Title Description
RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20210103

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210113

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230106

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20230927

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20231020

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231215

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20240304

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20240402

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7466316

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150