JP7463986B2 - マイクロledディスプレイ素子 - Google Patents
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Description
11:n層
12:発光層
13:p層
14:p電極
15:n電極
16:透明電極
17:保護膜
18:吸収構造体
18A:誘電体膜
18B:金属膜
19:側壁絶縁膜
Claims (10)
- フリップチップ型かつモノリシック型で複数の発光部がマトリクス状に配列されたマイクロLEDディスプレイ素子であって、
基板と、
前記基板上に位置するn層と、
前記n層上に位置する発光層と、
前記発光層上に位置するp層と、
前記p層上に位置し、前記発光部ごとに設けられた複数の第1電極と、
前記第1電極の上部、および前記p層上部であって前記第1電極の上部ではない領域に連続して位置し、光を吸収させる吸収構造体と、
を有し、
前記第1電極は透明電極であり、
前記吸収構造体は、誘電体からなる誘電体膜と金属からなる金属膜が交互に積層され、最上層を前記誘電体膜とする構造である、
ことを特徴とするマイクロLEDディスプレイ素子。 - 前記吸収構造体のうち前記第1電極上部に当たる領域に貫通孔が設けられ、
前記吸収構造体の上部には、前記貫通孔を介して前記第1電極と接する第2電極と、
前記貫通孔によって露出する吸収構造体の側壁に設けられた側壁絶縁膜と、
をさらに有することを特徴とする請求項1に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。 - 前記誘電体膜は、TiO2またはNb2O5である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記誘電体膜のうち、最上層はSiO2であり、他の層はTiO2またはNb2O5である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記吸収構造体上に、SiO2からなる絶縁膜をさらに有する、ことを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記金属膜は、W、Mo、V、Ta、Cr、Ti、またはNiである、ことを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記金属膜の層数は、2~5であることを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記誘電体膜および前記金属膜の厚さは、前記吸収構造体の反射率の入射角依存性が、前記発光層の発光波長の光に対し入射角が70°以下の範囲において最大反射率が20%以下となるように設定されている、ことを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれか1項に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記誘電体膜および前記金属膜の厚さは、前記発光層の発光波長の光に対し入射角が50°以下の範囲において最大反射率が5%以下となるように設定されている、ことを特徴とする請求項1から請求項8までのいずれか1項に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
- 前記誘電体膜および前記金属膜の厚さは、入射角0°の光に対し、波長400~700nmの範囲において最大反射率が10%以下となるように設定されている、ことを特徴とする請求項1から請求項9までのいずれか1項に記載のマイクロLEDディスプレイ素子。
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