JP7462005B1 - ビームスプリッタ及び光学装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、比較例1の光学装置を説明する。比較例1の光学装置は、例えば、EUV光を用いてEUV用マスクを検査する検査装置またはEUV光を用いて露光する露光装置等に配置されている。図1は、比較例1に係る光学装置を例示した断面図である。図1に示すように、光学装置101は、光学部材110及び駆動部140を備えている。光学装置101は、これら以外の部材を含んでもよい。駆動部140は、光学部材110の位置を移動させる部材であり、モータ、アクチュエータ等である。なお、駆動部140は、光学部材110の位置を移動させることができれば、モータ、アクチュエータに限らず、機械的な機構でもよい。
次に、比較例2の光学装置を説明する。図2は、比較例2に係る光学装置を例示した断面図である。図2に示すように、本比較例の光学装置201は、光学部材210を備えている。光学装置201は、これら以外の部材を含んでもよい。
次に、実施形態1に係る光学装置を説明する。図4は、実施形態1に係る光学装置を例示した断面図である。図4に示すように、本実施形態の光学装置1は、光学部材10を備えている。光学装置1は、これら以外の部材を含んでもよい。
次に、実施形態2を説明する。本実施形態において、支持部材は、メッシュ状部材を含む。図5は、実施形態2に係る光学装置を例示した断面図である。図5に示すように、本実施形態の光学装置2は、光学部材40を備えている。光学装置2は、これら以外の部材を含んでもよい。
10 光学部材
11 第1面
12 第2面
20 ミラー
21 第1面
22 第2面
30 支持部材
31 第1面
32 第2面
40 光学部材
41 第1面
42 第2面
50 ミラー
51 第1面
52 第2面
60 支持部材
61 第1面
62 第2面
63 ワイヤ
64 単位メッシュ
70 センサ
101 光学装置
110 光学部材
111 第1面
112 第2面
120 ミラー
130 基板
140 駆動部
201 光学装置
210 光学部材
211 第1面
212 第2面
220 ミラー
230 支持部材
L1、L2、L3 光路
Claims (4)
- 第1面及び前記第1面の反対側の第2面を有するミラーと、
前記第2面上に配置された支持部材と、
を備え、
前記ミラーは、前記第1面から入射したEUV光の一部を反射するとともに、前記第1面から入射した前記EUV光の他の一部を前記第2面に透過させ、
前記支持部材は、前記ミラーを支持し、前記第2面に透過した前記EUV光の前記他の一部を透過させ、
前記ミラーは、多層膜を含み、
前記支持部材は、ペリクルを含み、
前記ミラーに含まれる前記多層膜は、前記ペリクル上に積層された、
ビームスプリッタ。 - 前記ミラーは、第1材質と第2材質とが交互に積層された前記多層膜を含み、
前記ペリクル上に前記第1材質と前記第2材質とが交互に積層され、
前記第1材質と前記第2材質との組み合わせを、前記第1材質/前記第2材質とすると、前記組み合わせは、Mo/Si、Co/C、CoCr/C、Cr/C、及び、SiC/Mgのいずれかを含む、
請求項1に記載のビームスプリッタ。 - 前記第1面は、φ20mm~φ100mmの前記EUV光を受光する、
請求項1または2に記載のビームスプリッタ。 - 請求項1または2に記載のビームスプリッタを備え、
前記EUV光を用いた露光用のマスクを検査する光学装置。
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- 2022-10-06 JP JP2022161623A patent/JP7462005B1/ja active Active
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