JP7457572B2 - Method and device for measuring warpage of optical film - Google Patents

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Description

本発明は、光学フィルムの反りの測定方法、及び、測定装置に関する。 The present invention relates to a method and apparatus for measuring warpage of an optical film.

画像表示装置には、構成部材の一つとして光学フィルムが組み込まれている。光学フィルムは、偏光特性、ハードコート特性等、要求される様々な機能に応じたものが種々開発されている。 An optical film is incorporated into an image display device as one of its constituent members. Various types of optical films have been developed to meet various required functions, such as polarization properties and hard coat properties.

光学フィルムは、反り(カール)が生じる場合がある。長尺に製造してロール状に巻き取って保存することに起因して反りが生じるほか、特に光学フィルムが積層フィルムである場合には、積層されたフィルム間の熱収縮率の差異等に起因する反りが生じやすい。長尺の光学フィルムを所望の大きさに切り出した際に反りが大きいと、画像表示装置に組み込む際の作業性が低下し、貼合わせの精密さを欠く要因ともなる。従来、光学フィルムに反りが生じることを抑制する製造方法が提案されている(例えば特許文献1及び2)。 Optical films may warp (curl). Warpage occurs not only because it is manufactured into a long length and then wound up into a roll for storage, but also, especially when the optical film is a laminated film, due to differences in heat shrinkage rates between the laminated films. Warpage is likely to occur. When a long optical film is cut into a desired size, if there is a large amount of warpage, the workability when assembling it into an image display device decreases, and this also causes a lack of precision in bonding. Conventionally, manufacturing methods for suppressing the occurrence of warpage in optical films have been proposed (for example, Patent Documents 1 and 2).

特開2015-217654号公報Japanese Patent Application Publication No. 2015-217654 特開2015-21034号公報JP 2015-21034 Publication

光学フィルムの反りの程度の測定は手作業で行っているのが現状である。手作業で行うことは手間や時間が掛かるうえ、作業者によって正確さが異なり、品質管理の徹底性に難がある。そこで本発明は、手作業によらず光学フィルムの反りの程度を正確に測定することができる測定方法、及び、測定装置を提供することを目的とする。 Currently, the degree of warpage of optical films is measured manually. Doing it manually takes time and effort, and the accuracy varies depending on the operator, making it difficult to ensure thorough quality control. Therefore, an object of the present invention is to provide a measuring method and a measuring device that can accurately measure the degree of warpage of an optical film without manual work.

本発明は、ステージ上に載置した光学フィルムを対象として、光学フィルムの端部へ向かって光学フィルムの上方からレーザー光で走査し、端部からのレーザー光の反射光を検出することにより端部の高さ位置の情報を取得する、光学フィルムの反りの測定方法を提供する。 The present invention targets an optical film placed on a stage, scans the edge of the optical film with a laser beam from above the optical film, and detects the reflected light of the laser beam from the edge. Provided is a method for measuring warpage of an optical film, which obtains information on the height position of the part.

この測定方法によれば、レーザー光による走査によって光学フィルムの端部位置を見つけ出すことができ、その位置からの反射光を検出することで当該端部の高さ位置の情報を知ることができる。従って、手作業によらず光学フィルムの反りの程度を測定することができる。 According to this measurement method, the end position of the optical film can be found by scanning with a laser beam, and information about the height position of the end can be obtained by detecting the reflected light from that position. Therefore, the degree of warpage of the optical film can be measured without manual work.

この測定方法において、ステージは、レーザー光の半球反射率が2%以下であってもよい。光学フィルムの面外から光学フィルムの端部へ向かって走査している最中に、ステージで反射したレーザー光が光学フィルムの裏面で反射し、この反射光を発している位置を反りの端部の位置として測定される虞がある。ここで、ステージのレーザー光の半球反射率が上記範囲内であると、レーザー光がステージで反射することが抑制され、光学フィルムの裏面が光る状況が生じにくくなる。 In this measurement method, the stage may have a hemispherical reflectance of laser light of 2% or less. While scanning from the outside of the optical film toward the edge of the optical film, the laser beam reflected from the stage is reflected on the back side of the optical film, and the position where this reflected light is emitted is located at the edge of the warp. There is a risk that it will be measured as the position of Here, when the hemispherical reflectance of the laser beam of the stage is within the above range, reflection of the laser beam on the stage is suppressed, and a situation in which the back surface of the optical film shines is less likely to occur.

測定対象である光学フィルムの形状は、特に限定されず、多角形であってもよく、この場合に、レーザー光による走査及び上記高さ位置の情報の取得を、多角形の頂点のうち少なくとも二か所において行ってもよい。これによれば、複数箇所の反りの程度を測定することができるので、反り量に関する品質管理をより徹底することができる。 The shape of the optical film to be measured is not particularly limited, and may be polygonal. In this case, scanning with the laser beam and acquisition of the information on the height position are performed at least two of the vertices of the polygon. It may be done at a location. According to this, it is possible to measure the degree of warpage at a plurality of locations, so quality control regarding the amount of warpage can be more thorough.

レーザー光は、走査方向に対して垂直下方へ向けて照射されてもよい。また、光学フィルムからの反射光の検出位置と光学フィルムの中央部との距離が、光学フィルムの中央部とレーザー光の照射位置との距離よりも長いことが好ましい。この場合、検出位置ではレーザー光の正反射によるハレーションの影響を受けにくいので、検出精度が低下することが防止される。 The laser light may be emitted vertically downward with respect to the scanning direction. Further, it is preferable that the distance between the detection position of the reflected light from the optical film and the center of the optical film is longer than the distance between the center of the optical film and the irradiation position of the laser beam. In this case, the detection position is less susceptible to the effects of halation caused by specular reflection of the laser beam, so detection accuracy is prevented from deteriorating.

本発明は、光学フィルムを載置するステージと、ステージに載置された光学フィルムに上方からレーザー光を照射する照射部と、光学フィルムで反射したレーザー光の反射光を検出する検出部と、光学フィルムの端部へ向かってレーザー光で走査できるように照射部を移動させる可動機構とを備え、ステージはレーザー光の半球反射率が2%以下である測定装置を提供する。 The present invention provides a measuring device that includes a stage on which an optical film is placed, an irradiation unit that irradiates the optical film placed on the stage with laser light from above, a detection unit that detects the reflected light of the laser light reflected by the optical film, and a movable mechanism that moves the irradiation unit so that the laser light can be scanned toward the edge of the optical film, the stage having a hemispherical reflectance of the laser light of 2% or less.

この測定装置では、光学フィルムを測定対象とし、レーザー光を照射する照射部を可動機構によって移動させることで光学フィルムの端部へ向かって走査する。光学フィルムからの反射光を検出部で検出し、その高さ位置の情報から、光学フィルムの反りの程度を知ることができる。この場合において、光学フィルムの面外から光学フィルムの端部へ向かって走査している最中に、ステージで反射したレーザー光が光学フィルムの裏面で反射し、この反射光を発している位置を反りの端部の位置として測定される虞がある。しかしながら、本発明の測定装置ではステージのレーザー光の半球反射率が上記範囲内であるので、レーザー光がステージで反射することが抑制され、光学フィルムの裏面が光る状況が生じにくくなる。 In this measuring device, an optical film is the object of measurement, and an irradiation unit that irradiates laser light is moved by a movable mechanism to scan toward the end of the optical film. The detection unit detects the reflected light from the optical film, and the degree of warpage of the optical film can be determined from the information on the height position. In this case, while scanning from the outside of the optical film toward the edge of the optical film, the laser beam reflected by the stage is reflected on the back surface of the optical film, and the position where this reflected light is emitted is determined. There is a possibility that it will be measured as the position of the warped end. However, in the measuring device of the present invention, since the hemispherical reflectance of the laser beam of the stage is within the above range, reflection of the laser beam on the stage is suppressed, and a situation in which the back surface of the optical film shines is less likely to occur.

上記測定方法及び測定装置においては、測定対象である光学フィルムは光学積層フィルムであってもよい。複数のフィルムが積層された積層フィルムは、フィルム間の熱収縮率の差異等に起因して反りが生じやすい。従って、光学積層フィルムは本発明の適用対象として好適である。 In the above measuring method and measuring device, the optical film to be measured may be an optical laminated film. A laminated film in which a plurality of films are laminated tends to warp due to differences in heat shrinkage rates between the films. Therefore, optical laminated films are suitable for application of the present invention.

本発明によれば、手作業によらず光学フィルムの反りの程度を正確に測定することができる測定方法、及び、測定装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a measuring method and a measuring device that can accurately measure the degree of warpage of an optical film without manual work.

本実施形態の測定装置の正面図である。FIG. 1 is a front view of the measuring device of this embodiment. 図1に示した測定装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the measuring device shown in FIG. 1 . 測定時のスカラロボットの動作を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing the operation of the SCARA robot during measurement. 測定時のレーザー変位計の動作を示す側面図である。FIG. 4 is a side view showing the operation of the laser displacement meter during measurement. 測定時のレーザー変位計の動作を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing the operation of the laser displacement meter during measurement. 他の実施形態での測定時のレーザー変位計の動作を示す側面図である。It is a side view which shows the operation|movement of the laser displacement meter at the time of measurement in other embodiments. (A)及び(B)のいずれも「反りの角度」を説明するための図である。13A and 13B are diagrams for explaining the "warping angle."

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図において同一部分又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same parts or equivalent parts are given the same reference numerals, and redundant explanations will be omitted.

本実施形態の測定装置及び測定方法は、光学フィルムを対象として、その反りの程度を測定するためのものである。光学フィルムは通常、長尺の形態で製造され、ロール状に巻き取られて保存される。使用時にはロールから巻き出され、所望の大きさ及び形状に切り出されて用途に供される。切り出された光学フィルムを例えば画像表示装置へ組み込む際、反りが大きければ作業性が低下する。従って、反りの程度は品質管理の項目として重要であり、管理を徹底することが望ましい。 The measuring device and measuring method of this embodiment are for measuring the degree of warpage of an optical film. Optical films are usually produced in a long form and stored by being wound into rolls. When used, it is unwound from a roll, cut into a desired size and shape, and used for its intended purpose. When incorporating the cut out optical film into an image display device, for example, if the warpage is large, work efficiency will be reduced. Therefore, the degree of warpage is an important quality control item, and it is desirable to control it thoroughly.

本実施形態における測定対象物は、光学フィルムである。光学フィルムは、偏光度、光学補償性等の光学特性を示すフィルムであれば特に制限されず、単層フィルムであっても、積層フィルムであってもよい。本実施形態における測定対象物は、光学フィルムの中でも特に光学積層フィルムであることが好ましい。複数のフィルムが積層されて成る積層フィルムは、フィルム間の熱収縮率の差異等に起因して反りが生じやすいので、本実施形態の適用対象として好適である。光学積層フィルムとしては、例えば、光学製品に用いられる偏光板、位相差板、円偏光板等のフィルムが挙げられる。偏光板としては、偏光フィルムの片面又は両面に保護フィルムが接着剤で接着されたものであってもよく、更に、保護フィルム上に粘着剤層を介して剥離フィルム等の別のフィルムが積層されたものであってもよい。 The object to be measured in this embodiment is an optical film. The optical film is not particularly limited as long as it exhibits optical properties such as polarization degree and optical compensation, and may be a single layer film or a laminated film. The object to be measured in this embodiment is preferably an optical laminated film among optical films. A laminated film formed by laminating a plurality of films is suitable for application of the present embodiment because it tends to warp due to differences in heat shrinkage rates between the films. Examples of the optical laminated film include films such as polarizing plates, retardation plates, and circularly polarizing plates used in optical products. The polarizing plate may be one in which a protective film is adhered to one or both sides of the polarizing film with an adhesive, and another film such as a release film is further laminated on the protective film via an adhesive layer. It may be something like that.

光学フィルムの形状は、特に限定されず、円状でも多角形であってもよい。直線部分を有する輪郭の形状の光学フィルム、特に多角形の光学フィルムは、反りが生じやすい点で、測定対象物として適用されやすい。 The shape of the optical film is not particularly limited, and may be circular or polygonal. An optical film with a contoured shape having straight portions, especially a polygonal optical film, is easily applied as a measurement object because it is easily warped.

光学フィルムは、測定に使用するレーザー光の透過率が20%以上であってもよく、40%以上であってもよく、60%以上であってもよく、80%以上であってもよい。上記透過率は、特に限定されないが、99%以下であってもよく、95%以下であってもよく、90%以下であってもよい。 The optical film may have a transmittance of laser light used for measurement of 20% or more, 40% or more, 60% or more, or 80% or more. The transmittance is not particularly limited, but may be 99% or less, 95% or less, or 90% or less.

<測定装置>
(構成)
図1及び図2に示されているとおり、本実施形態の測定装置1は、光学フィルムの反りの程度を測定するための装置であり、スカラロボット2と、レーザー変位計3と、ステージ4とを備えている。スカラロボット2は、任意の作業台に高さ調整のために立設された台座部Sの上に載置されるものであり、ロボット本体ボックス部5と、ロボット本体ボックス部5の上部から水平方向に延びるように接続されたアーム部6と、アーム部6の他端から水平方向に延びるように接続されたヘッド部7とを有している。アーム部6は、ロボット本体ボックス部5に対して水平方向に回動可能とされ、ヘッド部7はアーム部6に対して水平方向に回動可能とされている。
<Measuring device>
(composition)
As shown in FIGS. 1 and 2, the measuring device 1 of this embodiment is a device for measuring the degree of warpage of an optical film, and includes a SCARA robot 2, a laser displacement meter 3, and a stage 4. It is equipped with The SCARA robot 2 is placed on a pedestal S that is erected on an arbitrary workbench for height adjustment, and is placed horizontally from the robot main body box part 5 and the upper part of the robot main body box part 5. It has an arm part 6 connected to extend in the direction, and a head part 7 connected to extend in the horizontal direction from the other end of the arm part 6. The arm portion 6 is horizontally rotatable with respect to the robot body box portion 5, and the head portion 7 is horizontally rotatable with respect to the arm portion 6.

レーザー変位計3は、ヘッド部7の下面から懸架されるようにして支持されている。ヘッド部7はその下面において、ロボット本体ボックス部5とアーム部6との接続部、及び、アーム部6とヘッド部7との接続部にそれぞれ内蔵された電動モータでアーム部6及びヘッド部7を回動させることでレーザー変位計3を任意の方向へ移動させることができる機構を備えている(可動機構)。また、レーザー変位計3はヘッド部7との接続部分において水平方向に回動可能とされており、その下面にレーザー光源(照射部)8と、CMOSセンサ(検出部)9とを有している。 The laser displacement meter 3 is supported so as to be suspended from the lower surface of the head section 7. The head section 7 has an electric motor built in the connection section between the robot main body box section 5 and the arm section 6 and the connection section between the arm section 6 and the head section 7 on its lower surface. The laser displacement meter 3 is provided with a mechanism that can move the laser displacement meter 3 in any direction by rotating it (movable mechanism). Further, the laser displacement meter 3 can be rotated in the horizontal direction at the connection part with the head part 7, and has a laser light source (irradiation part) 8 and a CMOS sensor (detection part) 9 on its lower surface. There is.

測定装置1は、アーム部6及びヘッド部7の下方の位置に、測定対象である光学フィルムを載置するためのステージ4を備えている。ステージ4は測定対象である光学フィルムよりも広い面積を有していることが好ましい。ステージ4は、黒色の板、又は、用いるレーザーが可視光領域にある場合はレーザー光と同色の板であることが好ましい。 The measuring device 1 includes a stage 4 below the arm section 6 and the head section 7 on which an optical film to be measured is placed. It is preferable that the stage 4 has a larger area than the optical film to be measured. The stage 4 is preferably a black plate, or a plate of the same color as the laser beam if the laser used is in the visible light range.

ステージ4は、レーザー光源8から出射されるレーザー光の半球反射率が、例えば2%以下であってもよく、1.5%以下であってもよく、1%以下であることが好ましく、0.9%以下であることがより好ましく、0.8%以下であることが更に好ましく、0.7%以下であることが特に好ましい。ステージ4の具体例として、Metal Velvet(Acktar社)やSpectral Black(Acktar社)が挙げられる。 In the stage 4, the hemispherical reflectance of the laser light emitted from the laser light source 8 may be, for example, 2% or less, 1.5% or less, preferably 1% or less, and 0. It is more preferably .9% or less, even more preferably 0.8% or less, and particularly preferably 0.7% or less. Specific examples of stage 4 include Metal Velvet (Acktar) and Spectral Black (Acktar).

レーザー光源8から出射されるレーザー光の波長は任意であるが、利用可能性や検出感度の観点から近紫外線~近赤外線領域の波長であることが好ましく、例えば300nm~700nmが好ましく、350nm~450nmがより好ましく、380nm~430nmが更に好ましい。例えば405nmを選択することができる。 The wavelength of the laser light emitted from the laser light source 8 is arbitrary, but from the viewpoint of usability and detection sensitivity, it is preferably a wavelength in the near ultraviolet to near infrared region, for example, 300 nm to 700 nm, preferably 350 nm to 450 nm. is more preferable, and even more preferably 380 nm to 430 nm. For example, 405 nm can be selected.

ステージ4の表面は、微細な凹凸構造を有することが好ましい。その凹凸一つ当たりの高さや隣り合う凸部間の距離は、レーザー光源8から出射されるレーザー光の波長と略同等かそれ以下の長さであることが好ましい。ステージ4の表面がこのような微細構造を有している場合、低い半球反射率を実現しやすい。微細構造としては、例えばモスアイ構造が挙げられる。 It is preferable that the surface of the stage 4 has a fine uneven structure. The height of each unevenness and the distance between adjacent protrusions are preferably approximately equal to or shorter than the wavelength of the laser light emitted from the laser light source 8. When the surface of the stage 4 has such a fine structure, it is easy to achieve a low hemispherical reflectance. Examples of the fine structure include a moth-eye structure.

ステージ4の表面の強度は、#0000番のスチールウールを荷重250g/cmで10往復させた際の傷の本数が30本以下であることが好ましく、10本以下であることがより好ましい。微細構造を有する表面が脆く壊れやすいものである場合は、当該表面の上方にガラス板や樹脂(アクリル樹脂等)の透明保護板を備える構成としてもよい。すなわち、ステージ4は、例えば表面に微細構造を有する黒色の板と、その上方に設けられた透明保護板との二層構造であってもよい。この二層構造の場合、上記微細構造は透明保護板の下部に位置し、微細構造には透明保護板を透過したレーザー光が照射されることになる。 The strength of the surface of the stage 4 is such that the number of scratches is preferably 30 or less, more preferably 10 or less when #0000 steel wool is reciprocated 10 times at a load of 250 g/cm 2 . If the surface having a fine structure is brittle and easily broken, a transparent protective plate made of a glass plate or resin (acrylic resin, etc.) may be provided above the surface. That is, the stage 4 may have a two-layer structure including, for example, a black plate having a fine structure on its surface and a transparent protection plate provided above the black plate. In the case of this two-layer structure, the fine structure is located under the transparent protective plate, and the fine structure is irradiated with the laser light that has passed through the transparent protective plate.

また、この二層構造の場合、測定対象である光学フィルムは透明保護板上に載置される。透明保護板の表面はアンチリフレクション(AR)処理が施されていることが好ましい。ステージ4が二層構造からなる場合、ステージ4全体としての半球反射率が上記の値を満たすことが好ましい。ここでAR処理とは、反射率の異なる材料を多層に積層することで、各層での反射光の位相差をずらして光を打ち消すようにした処理をいう。なお、黒色の板と透明保護板との二層構造の場合、両層の間に隙間を設けてもよく、例えば1mm~200mm、好ましくは3mm~10mmの隙間が存在してもよい。 Furthermore, in the case of this two-layer structure, the optical film to be measured is placed on a transparent protective plate. The surface of the transparent protective plate is preferably subjected to anti-reflection (AR) treatment. When the stage 4 has a two-layer structure, it is preferable that the hemispherical reflectance of the stage 4 as a whole satisfies the above value. Here, the AR process refers to a process in which multiple layers of materials with different reflectances are stacked to shift the phase difference of reflected light in each layer to cancel out the light. In the case of a two-layer structure consisting of a black plate and a transparent protective plate, a gap may be provided between both layers, for example, a gap of 1 mm to 200 mm, preferably 3 mm to 10 mm.

なお、測定中のレーザー光の迷光を防止するため、測定装置1全体を枠体で囲い、枠体を布や樹脂板等で隙間なく覆うことによって暗室環境を構成することが好ましい。 In order to prevent stray light from the laser beam during measurement, it is preferable to construct a dark room environment by surrounding the entire measuring device 1 with a frame and covering the frame with a cloth, resin plate, etc. without any gaps.

上記「半球反射率」は、レーザー変位計3のレーザー光源8が出射する光の波長を対象として、分光測色計を用いてSCI方式(正反射光を含む方式)で測定した該当波長の反射率の値をいう。分光測色計としては、例えばコニカミノルタ社製の「CM-2600d」を用いることができる。ここで、対象とするレーザー光の波長そのものの半球反射率を測定するほか、分光測色計の性能がその測定したいレーザー光の波長に対応していない場合は、当該波長の前後の波長における測定値の平均値をもって当該波長の半球反射率としてもよい。例えば、405nmの波長のレーザー光の半球反射率を求める場合、400nmと410nmとの両方で測定し、その平均値を405nmの波長における半球反射率としてもよい。 The above "hemispheric reflectance" is the reflection of the corresponding wavelength measured by the SCI method (method including specular reflection light) using a spectrophotometer, targeting the wavelength of the light emitted by the laser light source 8 of the laser displacement meter 3. refers to the value of the rate. As the spectrophotometer, for example, "CM-2600d" manufactured by Konica Minolta, Inc. can be used. Here, in addition to measuring the hemispherical reflectance of the wavelength of the laser beam to be measured, if the performance of the spectrophotometer does not correspond to the wavelength of the laser beam that you want to measure, measure the wavelengths before and after that wavelength. The average value of the values may be used as the hemispherical reflectance of the wavelength. For example, when determining the hemispherical reflectance of laser light with a wavelength of 405 nm, measurements may be made at both 400 nm and 410 nm, and the average value may be taken as the hemispherical reflectance at the wavelength of 405 nm.

(動作)
測定装置1は、スカラロボット2の各部に内蔵された電動モータを駆動して、アーム部6、ヘッド部7及びレーザー変位計3をそれぞれの回動軸にしたがって水平方向に回動させ、図3に示されているとおり、ヘッド部7の位置を、ステージ4に載置される矩形の光学フィルム10の四隅の位置へと移動させることができる。ここでは、平面視においてレーザー変位計3が光学フィルム10の面外に位置するようにしている。測定を行う際には、スカラロボット2の駆動機構によって、レーザー変位計3を光学フィルム10が存在する側へ走査させる。レーザー変位計3は、そのレーザー光源8からステージ4へ向けて垂直下方に(この場合鉛直下方に)レーザー光を出射することができる。そして、CMOSセンサ9は所定の画角を有し、レーザー光の出射方向に対して斜めの方向からレーザー光の出射先付近を観察する。CMOSセンサ9がレーザー光を捉えると、そのレーザー光の形状から画像処理をすることによって、ステージ4の表面からの高さ位置を割り出す。これら一連の動作によって、測定装置1は、測定対象である光学フィルム10をレーザー光で走査し、反りの端部の位置を検出することができる。
(motion)
The measuring device 1 drives the electric motors built into each part of the SCARA robot 2 to horizontally rotate the arm part 6, head part 7, and laser displacement meter 3 according to their respective rotation axes. As shown in the figure, the position of the head section 7 can be moved to the four corner positions of the rectangular optical film 10 placed on the stage 4. Here, the laser displacement meter 3 is positioned out of the plane of the optical film 10 in plan view. When performing measurement, the drive mechanism of the SCARA robot 2 causes the laser displacement meter 3 to scan toward the side where the optical film 10 is present. The laser displacement meter 3 can emit a laser beam from its laser light source 8 toward the stage 4 vertically downward (vertically downward in this case). The CMOS sensor 9 has a predetermined angle of view and observes the vicinity of the laser beam emission destination from a direction oblique to the laser beam emission direction. When the CMOS sensor 9 captures the laser beam, the height position from the surface of the stage 4 is determined by image processing based on the shape of the laser beam. Through these series of operations, the measuring device 1 can scan the optical film 10 to be measured with a laser beam and detect the position of the warped end.

<測定方法及び作用効果>
測定装置1を用いた光学フィルムの反りの測定方法を説明する。測定対象である矩形の光学フィルム10をステージ4上に載置する。このとき、反っている光学フィルム10が下方に凸となるように、すなわち、反りの頂点をなす端部が上方に持ち上がる向きとなるようにして載置する。スカラロボット2及びレーザー変位計3を駆動して、レーザー変位計3を光学フィルム10の四隅のうちの一つの上方に位置させる(図3参照)。このとき、レーザー変位計3のレーザー光源8の位置が平面視で光学フィルム10の面外に位置するようにし、CMOSセンサ9の位置がその更に面外側に位置するようにする。
<Measurement method and effects>
A method for measuring warpage of an optical film using the measuring device 1 will be explained. A rectangular optical film 10 to be measured is placed on the stage 4. At this time, the optical film 10 that is warped is placed so that it is convex downward, that is, the end that forms the peak of the warp is lifted upward. The SCARA robot 2 and the laser displacement meter 3 are driven to position the laser displacement meter 3 above one of the four corners of the optical film 10 (see FIG. 3). At this time, the laser light source 8 of the laser displacement meter 3 is positioned outside the plane of the optical film 10 in plan view, and the CMOS sensor 9 is positioned further outside the plane.

図4に示されているとおり、レーザー光を鉛直下方へ出射しながら(レーザー光は実線矢印で示している。)レーザー変位計3を光学フィルム10の面外の位置を起点として面内へ向かって走査させる。なお、図4ではスカラロボット2の描画を省略している。CMOSセンサ9は、光学フィルム10からレーザー光の反射光があった場合にそれを捉えることができるように、その視野領域Aを向ける。図4に示した状況では、レーザー光はステージ4上に照射されているが、光学フィルム10の端部にレーザー光が照射されていないので、光学フィルム10の端部からの反射光はCMOSセンサ9に検出されない。この位置から更にレーザー変位計3を走査させることによって光学フィルム10の端部を目指してレーザー光で走査していく。 As shown in FIG. 4, while emitting a laser beam vertically downward (the laser beam is indicated by a solid line arrow), the laser displacement meter 3 is directed inward from a position outside the plane of the optical film 10 as a starting point. to scan. Note that in FIG. 4, the drawing of the SCARA robot 2 is omitted. The CMOS sensor 9 directs its viewing area A so that it can capture the reflected laser light from the optical film 10, if any. In the situation shown in FIG. 4, the laser beam is irradiated onto the stage 4, but the edge of the optical film 10 is not irradiated with the laser beam, so the reflected light from the edge of the optical film 10 is transmitted to the CMOS sensor. Not detected in 9. By further scanning the laser displacement meter 3 from this position, the laser beam is scanned toward the end of the optical film 10.

反っている光学フィルム10は、端部(この場合、矩形の頂点でもある。)の位置が最も上方に位置しており、ステージ4の表面からの高さが最も高くなっている。このとき、図5に示されているとおり、レーザー光は光学フィルム10の端部において反射することとなり、この反射光(反射光は破線矢印で示している。)をCMOSセンサ9で検出することで、端部の高さを計測することができる。 The end of the warped optical film 10 (in this case, also the apex of the rectangle) is located at the uppermost position and has the highest height from the surface of the stage 4. At this time, as shown in FIG. 5, the laser beam is reflected at the end of the optical film 10, and this reflected light (reflected light is indicated by a broken line arrow) is detected by the CMOS sensor 9. You can measure the height of the end.

こうして反り量(ステージからの端部の高さ)を測定したら、次は光学フィルム10の別の四隅の位置へとスカラロボット2及びレーザー変位計3を移動させる(図3参照)。そして、上記と同様にしてその端部の反りの量を測定する。この測定を、好ましくは光学フィルムの四隅の2か所以上、より好ましくは、光学フィルムの四隅の全てに対して行うことにより、光学フィルム10全体の反りの状況を把握することができる。 After measuring the amount of warping (height of the end from the stage) in this way, the SCARA robot 2 and the laser displacement meter 3 are then moved to another corner of the optical film 10 (see Figure 3). The amount of warping at that end is then measured in the same manner as above. By performing this measurement preferably at two or more of the four corners of the optical film, and more preferably at all four corners of the optical film, the warping condition of the entire optical film 10 can be grasped.

この測定方法では、図4及び図5に示されているとおり、CMOSセンサ9の位置(検出位置)と光学フィルム10の中央部との距離が、光学フィルム10の中央部とレーザー光源8の位置(照射位置)との距離よりも長い。このため、CMOSセンサ9の位置ではレーザー光の正反射によるハレーションの影響を受けにくいので、ハレーションによって検出精度が低下することが防止される。 In this measurement method, as shown in FIGS. 4 and 5, the distance between the position of the CMOS sensor 9 (detection position) and the center of the optical film 10 is determined by the distance between the center of the optical film 10 and the position of the laser light source 8. (irradiation position). Therefore, the position of the CMOS sensor 9 is less susceptible to the effects of halation caused by specular reflection of laser light, and therefore detection accuracy is prevented from deteriorating due to halation.

光学フィルム10の透過率が高い場合は通常、CMOSセンサ9による検出感度を高めるため撮像感度を高くすることが好ましい。しかしながら、撮像感度を高くすると検出感度は高まるが、同時に迷光を検出したりハレーションの影響が強く出たりするため、検出精度の低下をもたらす虞がある。この点、本実施形態の測定方法では上述の構成を有するので、撮像感度を比較的低く抑えながら測定することができ、検出精度の低下を抑止できる。 When the optical film 10 has a high transmittance, it is usually preferable to increase the imaging sensitivity in order to increase the detection sensitivity of the CMOS sensor 9. However, although increasing the imaging sensitivity increases the detection sensitivity, it also causes the detection of stray light and the strong influence of halation, which may lead to a decrease in detection accuracy. In this regard, since the measurement method of this embodiment has the above-described configuration, it is possible to perform measurement while keeping the imaging sensitivity relatively low, and it is possible to prevent a decrease in detection accuracy.

本実施形態において、半球反射率が低く抑えられたステージを用いて測定を行うことは、特に反りが大きい光学フィルムを測定する場合に有利である。反りが小さい光学フィルムを測定する場合は、図6に示されているような裏面反射はその反射角度からCMOSセンサで検出されないので、ステージの半球反射率の大きさにかかわらず正常に測定することができる。 In this embodiment, it is advantageous to perform measurements using a stage with a low hemispherical reflectance, especially when measuring an optical film that is highly warped. When measuring an optical film with small warpage, the CMOS sensor will not detect the back reflection shown in Figure 6 due to its reflection angle, so it should be measured correctly regardless of the size of the hemispherical reflectance of the stage. Can be done.

一方、反りが大きい光学フィルムを測定する場合(例えば反りの角度が70°以上である場合)は、図6に示されているような裏面反射はその反射角度からCMOSセンサで検出されてしまうことがある。従って、半球反射率が低く抑えられたステージを用いることは、反り量が様々に異なる可能性のある複数の光学フィルムを、精密に連続して測定することに適している。なお、上記「反りの角度」とは、図7に示されているとおり、光学フィルムをステージに載置したときに、側面視において、反り上がった端部における接線とステージ面とがなす角度のうち、光学フィルムが存在する側とは反対側の角度αをいう。 On the other hand, when measuring an optical film with a large degree of warpage (for example, when the angle of warpage is 70 degrees or more), the back reflection shown in Figure 6 may be detected by the CMOS sensor from the reflection angle. There is. Therefore, using a stage with a low hemispherical reflectance is suitable for accurately and continuously measuring a plurality of optical films that may have different amounts of warpage. The above-mentioned "angle of warpage" refers to the angle between the tangent at the warped end and the stage surface when the optical film is placed on the stage when viewed from the side. Of these, the angle α is on the side opposite to the side where the optical film is present.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではない。例えば、上記実施形態ではレーザー変位計を光学フィルムの面外の位置を起点として面内へ向かって走査する態様を示したが、反対に、光学フィルムの面内の位置を起点として面外へ向かって光学フィルム上を走査する態様としてもよい。 Although the preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments. For example, in the above embodiment, a mode was shown in which the laser displacement meter scans in-plane from a position outside the plane of the optical film as a starting point; It is also possible to use a mode in which the optical film is scanned using the optical film.

上記実施形態ではレーザー光の照射部(レーザー光源)と検出部(CMOSセンサ)とを一体に備えたレーザー変位計を用いる態様を示したが、当該照射部と検出部とは別々の位置に備えられたものとしてもよい。例えば、照射部をスライドさせる一方で、検出部はスカラロボットの任意の位置に取り付けてスライドさせずに定点から観測する態様としてもよい。 In the above embodiment, a laser displacement meter is used that is equipped with a laser light irradiation unit (laser light source) and a detection unit (CMOS sensor) as an integrated unit, but the irradiation unit and detection unit may be provided in separate locations. For example, the irradiation unit may be slid while the detection unit is attached to an arbitrary position on the SCARA robot and observed from a fixed point without sliding.

また、上記実施形態ではスカラロボット2を用いて(アーム部6及びヘッド部7の回動動作で)レーザー変位計3を走査する態様を示したが、レーザー変位計3の走査機構に制限はなく、例えばリニアガイド等を用いてレーザー変位計をスライドさせてもよい。この場合はレーザー変位計3を回転させる機構を併用することが望ましい。また、レーザー変位計を高さ方向で移動させる機構を備えていてもよい。 Further, in the above embodiment, a mode was shown in which the laser displacement meter 3 is scanned using the SCARA robot 2 (by rotating the arm section 6 and the head section 7), but there is no limit to the scanning mechanism of the laser displacement meter 3. For example, the laser displacement meter may be slid using a linear guide or the like. In this case, it is desirable to use a mechanism for rotating the laser displacement meter 3. Further, a mechanism for moving the laser displacement meter in the height direction may be provided.

また、上記実施形態では光学フィルムの形状が矩形である態様を示したが、形状は限定されず、他の多角形や円形、楕円形などであってもよく、これらの形状の辺の一部に凹みを有する形状であってもよい。 Further, in the above embodiment, the shape of the optical film is rectangular, but the shape is not limited, and may be other polygons, circles, ellipses, etc., and some of the sides of these shapes may be used. The shape may have a recess.

(実施例1)
ポリエチレンテレフタレートフィルム(厚さ53μm)、トリアセチルセルロースフィルム(厚さ40μm)、偏光フィルム(延伸、ヨウ素染色したポリビニルアルコール樹脂フィルム;厚さ25μm)及びシクロオレフィンポリマーフィルム(厚さ23μm)をこの順に接着剤又は粘着剤を介して積層してなる長尺の光学フィルムより、250mm×300mmの試験片を搬送方向(MD方向)が長辺に対して45度になるように切り出した。
(Example 1)
Polyethylene terephthalate film (thickness: 53 μm), triacetyl cellulose film (thickness: 40 μm), polarizing film (stretched, iodine-dyed polyvinyl alcohol resin film; thickness: 25 μm), and cycloolefin polymer film (thickness: 23 μm) were adhered in this order. A 250 mm x 300 mm test piece was cut out from a long optical film laminated with an adhesive or an adhesive so that the transport direction (MD direction) was at 45 degrees with respect to the long side.

得られた試験片は、四隅のうち反り量が最大となる角部における反りの角度が90度であった。なお、反りの角度は、試験片の切り出し断面(試験片の側面)を写真撮影し、分度器を用いて測定した値である。次に該角部における反り量(=水平のステージから試験片の端部までの鉛直方向長さ)をJIS1級金尺で測定したところ、110mmであった。 The obtained test piece had a curvature angle of 90 degrees at the corner where the amount of curvature was greatest among the four corners. Note that the angle of warpage is a value measured by taking a photograph of the cut-out cross section of the test piece (the side surface of the test piece) and using a protractor. Next, the amount of warpage at the corner (=vertical length from the horizontal stage to the end of the test piece) was measured using a JIS Class 1 metal ruler, and found to be 110 mm.

得られた試験片を、反った端部が上向きになるようにして、検出部と照射部とを備えたレーザー変位計(製品名:センサヘッドLJ-V7300;キーエンス社)と、ステージ(Metal Velvet(登録商標、Acktar社製);サイズ:350mm×400mm;半球反射率:0.65%)を備えた、図1に示された測定装置のステージ上に置いた。なお、上記「半球反射率」は波長405nmのレーザー光に対する値であり、分光測色計(製品名:CM-2600d、コニカミノルタ社製)を用いて、波長400nm及び波長410nmの各レーザー光における半球反射率を測定し、その平均値として求めた値である。 The obtained test piece was placed in a laser displacement meter (product name: Sensor Head LJ-V7300; Keyence Corporation) equipped with a detection part and an irradiation part, with the curved end facing upward, and a stage (Metal Velvet). (registered trademark, manufactured by Acktar); size: 350 mm x 400 mm; hemispherical reflectance: 0.65%) was placed on the stage of the measuring device shown in FIG. The above "hemispheric reflectance" is a value for laser light with a wavelength of 405 nm, and was measured using a spectrophotometer (product name: CM-2600d, manufactured by Konica Minolta) for laser light with a wavelength of 400 nm and 410 nm. This is the value obtained by measuring the hemispherical reflectance and taking the average value.

測定装置における検出部とステージとの距離を400mmに設定し、波長405nmのレーザー光を、走査速度50mm/秒で、ステージの端部から上記試験片の各端部に向かって走査させることにより、試験片の端部の高さを測定した。上記レーザー光を走査する間、上記検出部と上記試験片の中央部との距離が、上記試験片の中央部と上記レーザー光の照射位置との距離よりも長くなるように上記測定装置を設定した。 By setting the distance between the detection part and the stage in the measuring device to 400 mm, and scanning a laser beam with a wavelength of 405 nm at a scanning speed of 50 mm/sec from the end of the stage toward each end of the test piece, The height of the end of the specimen was measured. While scanning the laser beam, the measuring device is set so that the distance between the detection section and the center of the test piece is longer than the distance between the center of the test piece and the irradiation position of the laser beam. did.

その結果、金尺を用いた測定値と同様に、四隅のうち反り量が最大となる角部における反り量は110mmと検出された。測定中、レーザー変位計の感度調整をすることで、迷光を検出することなく測定をすることができた。 As a result, the amount of curvature at the corner where the amount of curvature is the largest among the four corners was detected to be 110 mm, similar to the value measured using a metal ruler. By adjusting the sensitivity of the laser displacement meter during the measurement, we were able to measure without detecting stray light.

(実施例2)
ステージとして、Spectral Black(登録商標;Acktar社製、サイズ:350mm×400mm;半球反射率:0.83%)を用いる以外は、実施例1と同様の手順で、実施例1記載の試験片の端部の高さ及び反り量を測定した。その結果、金尺を用いた測定値と同様に、四隅のうち反り量が最大となる角部における反り量は110mmと検出された。測定中、迷光を検出することはあったが、感度調整をすることで、実用上問題ないレベルで正確な測定をすることができた。
(Example 2)
The test piece described in Example 1 was prepared in the same manner as in Example 1, except that Spectral Black (registered trademark; manufactured by Acktar, size: 350 mm x 400 mm; hemispherical reflectance: 0.83%) was used as the stage. The height and amount of warpage of the ends were measured. As a result, the amount of curvature at the corner where the amount of curvature is the largest among the four corners was detected to be 110 mm, similar to the value measured using a metal ruler. Although some stray light was detected during the measurement, by adjusting the sensitivity, we were able to make accurate measurements at a level that poses no problem for practical use.

本発明は、光学フィルムの反りを測定することに利用することができる。 INDUSTRIAL APPLICATION This invention can be utilized for measuring the warpage of an optical film.

1…測定装置、2…スカラロボット、3…レーザー変位計、4…ステージ、5…ロボット本体ボックス部、6…アーム部、7…ヘッド部、8…レーザー光源(照射部)、9…CMOSセンサ(検出部)、10…光学フィルム、A…視野領域、S…台座部。

1... Measuring device, 2... SCARA robot, 3... Laser displacement meter, 4... Stage, 5... Robot body box part, 6... Arm part, 7... Head part, 8... Laser light source (irradiation part), 9... CMOS sensor (Detection part), 10... Optical film, A... Viewing area, S... Pedestal part.

Claims (7)

ステージ上に載置した光学フィルムを対象として、前記光学フィルムの面外から前記光学フィルムの端部へ向かって前記光学フィルムの上方からレーザー光で走査し、前記端部からの前記レーザー光の反射光を走査の後方側で検出することにより前記端部の高さ位置の情報を取得し、
前記ステージは、前記レーザー光の半球反射率が2%以下である、
光学フィルムの反りの測定方法。
An optical film placed on a stage is scanned with a laser beam from above the optical film from outside the surface of the optical film toward an edge of the optical film, and the laser beam is reflected from the edge. Obtaining information on the height position of the end by detecting light on the rear side of scanning ,
The stage has a hemispherical reflectance of the laser beam of 2% or less,
How to measure optical film warpage.
前記光学フィルムは多角形であり、前記レーザー光による走査及び前記高さ位置の情報の取得を、前記多角形の頂点のうち少なくとも二か所において行う、
請求項1記載の測定方法。
The optical film is polygonal, and the scanning by the laser beam and the acquisition of the height position information are performed at at least two of the vertices of the polygon.
The measuring method according to claim 1 .
前記レーザー光は、走査方向に対して垂直下方へ向けて照射される、
請求項1又は2記載の測定方法。
The laser light is irradiated vertically downward relative to the scanning direction.
The method for measuring according to claim 1 or 2 .
前記光学フィルムからの反射光の検出位置と前記光学フィルムの中央部との距離が、前記光学フィルムの中央部と前記レーザー光の照射位置との距離よりも長い、
請求項1~のいずれか一項記載の測定方法。
a distance between a detection position of the reflected light from the optical film and a center portion of the optical film is longer than a distance between the center portion of the optical film and an irradiation position of the laser light;
The measurement method according to any one of claims 1 to 3 .
前記光学フィルムは、光学積層フィルムである、
請求項1~のいずれか一項記載の測定方法。
The optical film is an optical laminated film,
The measuring method according to any one of claims 1 to 4 .
光学フィルムを載置するステージと、
前記ステージに載置された前記光学フィルムに上方からレーザー光を照射する照射部と、
前記光学フィルムの面外から前記光学フィルムの端部へ向かって前記レーザー光で走査できるように前記照射部を移動させる可動機構と、
前記光学フィルムで反射した前記レーザー光の反射光を、前記照射部よりも走査の後方側で検出する検出部と、を備え、
前記ステージは、前記レーザー光の半球反射率が2%以下である、測定装置。
a stage on which an optical film is placed;
an irradiation unit that irradiates the optical film placed on the stage with laser light from above;
a movable mechanism that moves the irradiation unit so that it can scan with the laser beam from outside the plane of the optical film toward the end of the optical film;
a detection unit that detects the reflected light of the laser beam reflected by the optical film on the rear side of the scanning side from the irradiation unit ,
The stage is a measuring device in which a hemispherical reflectance of the laser beam is 2% or less.
前記光学フィルムは、光学積層フィルムである、請求項記載の測定装置。 The measuring device according to claim 6 , wherein the optical film is an optical laminated film.
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