JP7454656B2 - レーザ維持プラズマ照射源用の回転ランプ - Google Patents
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Description
本出願は、2019年9月23日に出願された米国仮出願第62/904,289号の35U.S.C.§119(e)に基づく利益を主張し、その全体を参照によりここに援用する。
Claims (20)
- ガスを封じ込め、プラズマを維持するための回転可能なガス封じ込め構造体と、
前記回転可能なガス封じ込め構造体を水平軸を中心に回転させ、前記回転可能なガス封じ込め構造体内の対流プルームを抑制するように構成された回転駆動システムと、
ポンプ光照射を生成するように構成されたポンプ光源と、
前記ポンプ光照射の一部を前記ガスへと方向付けて、前記プラズマを維持するように構成された反射体要素であって、前記プラズマから放出される広帯域光の少なくとも一部を集光するように反射体が構成された反射体要素と、
を備え、前記回転可能なガス封じ込め構造体は、前記ポンプ光照射を前記回転可能なガス封じ込め構造体内に透過し、前記回転可能なガス封じ込め構造体からの広帯域照射を透過する透明部を備える、広帯域源。 - 前記反射体要素が、その反射面が水平方向に沿った前記ポンプ光照射を受けるような向きに配置される、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記回転駆動システムが、前記プラズマのプルームを抑制するのに十分な回転速度で、前記回転可能なガス封じ込め構造体を回転させるように構成される、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記回転駆動システムが、前記プラズマ内に回転対称の温度分布を生じさせるのに十分な回転速度で、前記回転可能なガス封じ込め構造体を回転させるように構成される、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記回転駆動システムが、10~20,000RPMの回転速度で、前記回転可能なガス封じ込め構造体を回転させるように構成される、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記回転駆動システムが、1000~8000RPMの回転速度で、前記回転可能なガス封じ込め構造体を回転させるように構成される、請求項5に記載の広帯域源。
- 前記回転駆動システムが、10~600RPMの回転速度で、前記回転可能なガス封じ込め構造体を回転させるように構成される、請求項5に記載の広帯域源。
- 前記反射体要素が、楕円または放物面の反射体要素を含む、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記回転駆動システムが、
モータと、
シャフトを備え、前記シャフトが、前記回転可能なガス封じ込め構造体に結合され、前記モータが、前記シャフトを介して前記回転可能なガス封じ込め構造体を回転させるように構成される、請求項1に記載の広帯域源。 - 前記シャフトが、前記反射体要素の開放アクセス孔を貫く、請求項9に記載の広帯域源。
- 前記ポンプ光源が、
1つまたは複数のレーザ
を備える、請求項1に記載の広帯域源。 - 前記ポンプ光源が、
赤外レーザ、可視レーザ、または紫外レーザのうちの少なくとも1つ、
を備える、請求項11に記載の広帯域源。 - 前記反射体要素が、前記プラズマからの広帯域のUV、VUV、またはDUV光のうちの少なくとも1つを集光するように構成される、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記ガスが、
アルゴン、クリプトン、キセノン、ネオン、窒素、または酸素のうちの少なくとも1つ、
を含む、請求項1に記載の広帯域源。 - 前記回転可能なガス封じ込め構造体が、
プラズマバルブ、プラズマセル、またはプラズマチャンバのうちの少なくとも1つ、
を含む、請求項1に記載の広帯域源。 - 前記回転可能なガス封じ込め構造体が、
プラズマチャンバを含み、前記反射体要素が前記プラズマチャンバの壁として構成される、請求項1に記載の広帯域源。 - 前記プラズマからの広帯域光出力を、1つまたは複数の下流の用途へと方向付けるように構成された1つまたは複数の追加の集光光学部品を、さらに備える、請求項1に記載の広帯域源。
- 前記1つまたは複数の下流の用途が、検査または計測のうちの少なくとも1つを含む、請求項17に記載の広帯域源。
- 特性評価システムであって、
ガスを封じ込めるための回転可能なガス封じ込め構造体と、
前記回転可能なガス封じ込め構造体を水平軸を中心に回転させ、前記回転可能なガス封じ込め構造体内の対流プルームを抑制するように構成された回転駆動システムと、
ポンプ光照射を生成するように構成されたポンプ光源と、
前記ポンプ光照射の一部を前記ガスへと方向付けて、プラズマを維持するように構成された反射体要素であって、前記プラズマから放出される広帯域光の少なくとも一部を集光するように反射体が構成された反射体要素と、
を備え、前記回転可能なガス封じ込め構造体は、前記ポンプ光照射を前記回転可能なガス封じ込め構造体内に透過し、前記回転可能なガス封じ込め構造体からの広帯域照射を透過する透明部を備える、広帯域照射源と、
前記広帯域照射源からの広帯域光を、1つまたは複数の試料へと方向付けるように構成された照射光学部品セットと、
前記1つまたは複数の試料から放出される光を集光するように構成された集光光学部品セットと、
検出器組立体と、
を備える、特性評価システム。 - 回転可能なガス封じ込め構造体を水平軸を中心に回転させ、前記回転可能なガス封じ込め構造体内の対流プルームを抑制することと、
ポンプ源によりポンプ光照射を生成することと、
反射体要素で前記ポンプ光照射の一部を前記回転可能なガス封じ込め構造体内のガスへと方向付けて、プラズマを維持することと、
前記プラズマから放出された広帯域光の一部を前記反射体要素で集光し、1つまたは複数の下流の用途へと方向付けることと、
を含む、広帯域照射を生成する方法。
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