JP7451857B2 - 検査プログラム、検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
次に、アレイ2の具体例について説明を行う。図2は、アレイ2の具体例について説明する図である。なお、以下、アレイ2がLED(Light Emitting Diode)の電光掲示板として機能する場合について説明を行う。
図3から図5は、LEDパターンの変化についての具体例を説明する図である。
次に、第1の実施の形態の概略について説明する。図6は、第1の実施の形態の概略における検査処理を説明する図である。
次に、第1の実施の形態の詳細について説明する。図7から図9は、第1の実施の形態における検査処理の詳細を説明するフローチャート図である。また、図10から図15は、第1の実施の形態における検査処理の詳細を説明する図である。
図10は、セル情報CIの具体例について説明する図である。具体的に、図10は、アレイ2に含まれる1つのセルCEに対応するセル情報CIの具体例について説明する図である。なお、図10示すグラフでは、横軸が時間(フレーム)を示しており、縦軸がセル情報CIの値(平均画素値)を示している。また、図10に示すグラフでは、セル情報CI1が赤に対応するセル情報CIを示し、セル情報CI2が青に対応するセル情報CIを示し、セル情報CI3が緑に対応するセル情報CIを示している。
図11は、S21の処理の具体例を説明する図である。
図12から図14は、S23及びS24の処理の具体例を説明する図である。具体的に、図12から図14は、S23の処理で算出される相互相関の値及びS24の処理で算出される自己相関の値が設定されるテーブルの具体例である。以下、各セルCEに対応するS23及びS24の処理が同じタイミングで行われるものとして説明を行う。
2:アレイ
5:操作端末
101:CPU
102:メモリ
103:インタフェース
104:記憶媒体
105:バス
CE:セル
CI:センサ情報
Claims (9)
- 検査対象に含まれる複数のセルごとに、各セルの特性を示すセル情報を算出し、
前記複数のセルごとに、前記検査対象において各セルと近接する所定数の近接セルを特定し、
前記複数のセルごとに、各セルと各セルに対応する前記所定数の近接セルのそれぞれとの前記セル情報についての類似度をそれぞれ算出し、
前記複数のセルごとに、前記所定数の近接セルのうち、算出した前記類似度が第1の閾値以下である近接セルの数を特定し、
前記複数のセルのうち、特定した前記数が第2の閾値以上であるセルを特定し、
特定した前記セルが欠陥セルであることを示す情報を出力する、
処理をコンピュータに実行させることを特徴とする検査プログラム。 - 請求項1において、
前記類似度を算出する処理では、所定時間内の動的データを構成するフレームごとであって各フレームに含まれる前記複数のセルごとに、前記セル情報を算出する、
ことを特徴とする検査プログラム。 - 請求項2において、さらに、
前記複数のセルごとに、各セルの前記セル情報についての正規化因子を算出し、
前記複数のセルごとに、各セルの前記セル情報についての前記正規化因子を用いることによって、各セルに対応する前記類似度のそれぞれを正規化する、
処理をコンピュータに実行させ、
前記近接セルの数を特定する処理では、前記複数のセルごとに、前記所定数の近接セルのうち、正規化した前記類似度が前記第1の閾値以下である近接セルの数を特定する、
ことを特徴とする検査プログラム。 - 請求項3において、
前記類似度は、相互相関であり、
前記正規化因子は、自己相関であり、
前記正規化する処理では、前記複数のセルごとであって前記所定数の近接セルごとに、各セルと各近接セルとに対応する前記相互相関を、各セルの前記自己相関の最大値と各近接セルの前記自己相関の最大値とのうちの大きい方の値を用いて正規化する、
ことを特徴とする検査プログラム。 - 請求項4において、
前記正規化する処理では、前記複数のセルごとであって前記所定数の近接セルごとに、各セルと各近接セルとに対応する前記相互相関を、各セルの前記自己相関の最大値と各近接セルの前記自己相関の最大値とのうちの大きい方の値で除算する、
ことを特徴とする検査プログラム。 - 請求項4において、
前記近接セルの数を特定する処理では、前記複数のセルごとに、前記所定数の近接セルのうち、前記相互相関の最大値が閾値以下である近接セルの数を特定する、
ことを特徴とする検査プログラム。 - 請求項3において、
前記セル情報を算出する処理と、前記類似度を算出する処理と、前記正規化因子を算出する処理と、前記正規化する処理と、前記近接セルの数を特定する処理とを、互いに異なる複数の前記所定時間の動的データごとに行い、さらに、
前記複数のセルのうち、前記セルを特定する処理において特定された回数が閾値以上であるセルを特定する、
処理をコンピュータに実行させ、
前記出力する処理では、前記回数が閾値以上であるセルを特定する処理で特定した前記セルを示す情報を出力する、
ことを特徴とする検査プログラム。 - 検査対象に含まれる複数のセルごとに、各セルの特性を示すセル情報を算出する検査情報算出部と、
前記複数のセルごとに、前記検査対象において各セルと近接する所定数の近接セルを特定し、前記複数のセルごとに、各セルと前記所定数の近接セルのそれぞれとの前記セル情報についての類似度を算出し、前記複数のセルごとに、前記所定数の近接セルのうち、算出した前記類似度が第1の閾値以下である近接セルの数を特定し、前記複数のセルのうち、特定した前記数が第2の閾値以上であるセルを特定する欠陥判定部と、
特定した前記セルが欠陥セルであることを示す情報を出力する検査結果出力部と、を有する、
ことを特徴とする検査装置。 - 検査対象に含まれる複数のセルごとに、各セルの特性を示すセル情報を算出し、
前記複数のセルごとに、前記検査対象において各セルと近接する所定数の近接セルを特定し、
前記複数のセルごとに、各セルと前記所定数の近接セルのそれぞれとの前記セル情報についての類似度を算出し、
前記複数のセルごとに、前記所定数の近接セルのうち、算出した前記類似度が第1の閾値以下である近接セルの数を特定し、
前記複数のセルのうち、特定した前記数が第2の閾値以上であるセルを特定し、
特定した前記セルが欠陥セルであることを示す情報を出力する、
処理をコンピュータに実行させることを特徴とする検査方法。
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