JP7433390B2 - 改良された荷電粒子検出器 - Google Patents
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- 荷電粒子を検出するための装置であって、
粒子による衝突時に1つ以上の二次電子またはイオンを放出するように構成された変換ダイノードと、
前記変換ダイノードによって放出される前記1つ以上の二次電子またはイオンから増幅された電子信号出力を形成するように構成された電子増倍器と、を備えており、
前記電子増倍器が、相対的低感度区分および相対的高感度区分を有しており、
前記変換ダイノードは、前記電子増倍器の前記相対的低感度区分および前記相対的高感度区分とは電気的に連結解除されており、前記変換ダイノードが、前記電子増倍器の構造と統合されているか、前記電子増倍器のすぐ隣にあるか、または前記電子増倍器の構造内にあり、前記変換ダイノードに印加される電圧バイアスが、1から5kVの間であり、
前記相対的低感度区分とは別々に電力供給され、前記変換ダイノードに印加される電圧バイアスが前記電子増倍器の前記相対的低感度区分のダイノードに印加される電圧より(正または負の方向に)大きく、前記電子増倍器の前記相対的低感度区分は、当該装置の耐用寿命を改善するよう十分な電圧ヘッドルームを与えられる、装置。 - 前記相対的低感度区分および前記相対的高感度区分は一つまたは複数の別個のダイノードを各々有する、請求項1に記載の装置。
- 前記相対的低感度区分が、前記変換ダイノードによって放出された荷電粒子を受けるように構成された第一のダイノードを有しており、前記変換ダイノードが、前記第一のダイノードに電気的に連結されていない、請求項2に記載の装置。
- 相対的に高フラックスの粒子が当該装置に入る条件のもとで前記相対的低感度区分から出力される一部または全部の電子が前記相対的高感度区分に進むのを防ぐように構成された保護ダイノードを備える、請求項1~3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記変換ダイノードと前記電子増倍器が、二つの電気的に連結解除された電力回路によって電力を受ける、請求項1~4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記変換ダイノードが、高エネルギー変換ダイノードである、請求項1~5のいずれか一項に記載の装置。
- 前記変換ダイノードが、前記電子増倍器内またはその周りに物理的に組み込まれている、請求項1~6のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電子増倍器は、前記相対的低感度区分が相対的に低ゲインの電子信号出力を提供し、前記相対的高感度区分が相対的に高ゲインの電子信号出力を提供するように構成されている、請求項1~7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記相対的低感度区分が、アナログ区分であり、前記相対的高感度区分が、様々なパルス波高を出力するように構成されたデジタル区分である、請求項1~8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記デジタル区分の出力が、電子計数回路の入力として使用可能であるように構成されている、請求項9に記載の装置。
- 前記相対的高感度区分および/または前記相対的低感度区分(複数可)が、少なくとも5から100μAの間の出力電流で動作するように構成されている、請求項1~10のいずれか一項に記載の装置。
- 前記変換ダイノードに印加される電圧が、前記電子増倍器の前記相対的低感度区分に印加される電圧から分離されている、請求項1~11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記相対的低感度区分が、6から16個の間の別個のダイノードを含む、請求項1~12のいずれか一項に記載の装置。
- 前記相対的高感度区分が、10から18個の間の別個のダイノードを含む、請求項1~13のいずれか一項に記載の装置。
- 前記変換ダイノードに印加される前記電圧バイアスが、同一装置であるが、変換ダイノードがそれに対して遠位に配設されている場合に印加される前記電圧バイアスよりも低く、前記より低い電圧は、変換ダイノードを前記電子増倍器に近接させることと通常関連付けられたいかなる有害作用も減少または除去されるような電圧である、請求項1ないし14のうちいずれか一項に記載の装置。
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