JP7428654B2 - 液滴発生器性能を監視及び制御する装置及び方法 - Google Patents
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Description
[00001] 本願は、2018年3月28日に提出された米国出願第62/648,969号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
1.ターゲット材料の流れを真空チャンバ内の照射サイトに提供するように配置されたターゲット材料ディスペンサと、
ターゲット材料ディスペンサに機械的に連結されると共に液滴制御信号に基づいて流れの中に速度摂動を誘発するように配置された電子作動可能な素子と、
流れの中の液滴を、流れの中の、液滴が完全には合体していない点で観察するように、及び、液滴検出信号を発生するように配置されたディテクタと、
液滴検出信号を受信するように配置され、液滴検出信号に少なくとも部分的に基づいて波形発生器制御信号を発生するコントローラと、
電子作動可能な素子とコントローラとに電気的に連結された、波形発生器制御信号に少なくとも部分的に基づいて液滴制御信号を供給する波形発生器と、
を備える、装置。
2.電子作動可能な素子は圧電素子である、条項1に記載の装置。
3.ターゲット材料の流れを真空チャンバ内の照射サイトに提供するように配置されたターゲット材料ディスペンサと、
ターゲット材料ディスペンサに機械的に連結されると共に液滴制御信号に基づいて流れの中に速度摂動を誘発するように配置された電子作動可能な素子と、
流れの中の液滴を、流れの中の、液滴が完全には合体していない点で観察するように、及び、液滴検出信号を発生するように配置されたディテクタであって、照光源と感光性センサとを備え、感光性センサは真空チャンバ内に配置された少なくとも1つの光学素子を備える、ディテクタと、
液滴検出信号を受信するように配置され、液滴検出信号に少なくとも部分的に基づいて波形発生器制御信号を発生するコントローラと、
電子作動可能な素子とコントローラとに電気的に連結された、波形発生器制御信号に少なくとも部分的に基づいて液滴制御信号を供給する波形発生器と、
を備える、装置。
4.電子作動可能な素子は圧電素子である、条項3に記載の装置。
5.感光性センサはカメラを備える、条項3に記載の装置。
6.感光性センサはフォトダイオードを備える、条項3に記載の装置。
7.感光性センサは、真空チャンバの外部に配置されたカメラ、真空チャンバ内に配置された光モジュール、及び光モジュールからの光をカメラに中継する光ファイバを備える、条項3に記載の装置。
8.感光性センサは、真空チャンバの外部に配置されたフォトダイオード、真空チャンバ内に配置された光モジュール、及び光モジュールからの光をフォトダイオードに中継する光ファイバを備える、条項3に記載の装置。
9.感光性センサは照光源を備える、条項3に記載の装置。
10.感光性センサは、真空チャンバの外部に配置された照光源、真空チャンバ内に配置された光モジュール、及び照光源からの光を光モジュールに中継する光ファイバを備える、条項3に記載の装置。
11.ターゲット材料ディスペンサを用いて真空チャンバ内の照射サイトにターゲット材料の流れを提供するステップであって、ターゲット材料ディスペンサは液滴制御信号に基づいて流れの中に速度摂動を誘発するように配置された電子作動可能な素子を備える、ステップと、
流れの中の液滴を、流れの中の、液滴が完全には合体していない点で観察すると共に液滴検出信号を発生するステップと、
液滴検出信号に少なくとも部分的に基づいて波形発生器制御信号を発生するステップと、
波形発生器制御信号に少なくとも部分的に基づいて液滴制御信号を供給するステップと、
を備える、方法。
12.電子作動可能な素子は圧電素子である、条項11に記載の方法。
13.液体ターゲット材料の流れをEUV放射を発生させるためのシステム内の照射領域に送出するように適合された液滴発生器の伝達関数を決定及び使用する方法であって、
液滴発生器からプラズマ発生システムのためにターゲット材料の流れを提供するステップと、
制御信号を発生するステップと、
液滴発生器に機械的に連結された電子作動可能な素子に制御信号を印加して流れの中に速度摂動を導入するステップと、
速度振幅を決定するステップと、
速度振幅と制御信号とに少なくとも部分的に基づいて液滴発生器の伝達関数を決定するステップと、
決定された伝達関数を使用して液滴発生器を制御するステップと、
を備える、方法。
14.液体ターゲット材料の流れをEUV放射を発生させるためのシステム内の照射領域に送出するように適合された液滴発生器を制御する方法であって、
液滴発生器からプラズマ発生システムのためにターゲット材料の流れを提供するステップと、
制御信号を発生するステップと、
制御信号を液滴発生器に機械的に連結された電子作動可能な素子に印加することによって流れの中に速度摂動を導入するステップと、
流れの中の液滴が完全には合体していない点で流れを観察するステップと、
観察するステップの結果に少なくとも部分的に基づいて制御信号を修正するステップと、
を備える、方法。
15.EUV放射を発生させるためのシステム内の液滴発生器によって生成された液体ターゲット材料の液滴の流れの合体長さを推定する方法であって、
液滴発生器からプラズマ発生システムのためにターゲット材料の流れを提供するステップと、
制御信号を発生するステップと、
制御信号を液滴発生器に機械的に連結された電子作動可能な素子に印加することによって流れの中に速度摂動を導入するステップと、
流れの中の液滴が完全には合体していない点で流れを観察して液滴信号を生成するステップと、
液滴信号のピーク間の距離に少なくとも部分的に基づいて合体長さを推定するステップと、
を備える、方法。
16.合体長さを推定するステップの後に、推定された合体長さを用いて液滴発生器の動作を制御するステップを追加的に備える、条項15に記載の方法。
17.液体ターゲット材料の流れをEUV放射を発生させるためのシステム内の照射領域に送出するように適合された液滴発生器の状態を評価する方法であって、
液滴発生器からプラズマ発生システムのためにターゲット材料の流れを提供するステップと、
制御信号を発生するステップと、
制御信号を液滴発生器内のターゲット材料に機械的に連結された電子作動可能な素子に印加することによって流れの中に速度摂動を導入するステップと、
流れの中の液滴が完全には合体していない点で流れを観察して液滴信号を生成するステップと、
液滴信号に基づいて液滴発生器の状態を評価するステップと、
を備える、方法。
Claims (16)
- ターゲット材料の流れを真空チャンバ内の照射サイトに提供するように配置されたターゲット材料ディスペンサと、
前記ターゲット材料ディスペンサに機械的に連結されると共に液滴制御信号に基づいて前記流れの中に速度摂動を誘発するように配置された電子作動可能な素子と、
前記流れの中の液滴を、前記流れの出口であるノズルから約0.5cmの点で観察するように及び液滴検出信号を発生するように配置されたディテクタと、
前記液滴検出信号を受信し、前記液滴検出信号に少なくとも部分的に基づいて波形発生器制御信号を発生するように配置されたコントローラと、
前記電子作動可能な素子と前記コントローラとに電気的に連結された、前記波形発生器制御信号に少なくとも部分的に基づいて前記液滴制御信号を供給する波形発生器と、
を備える、装置。 - 前記電子作動可能な素子は、圧電素子である、請求項1に記載の装置。
- 前記ディテクタは、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中に、液滴を観察するように及び液滴検出信号を発生するように配置され、
前記コントローラは、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中に、前記液滴検出信号を受信して波形発生器制御信号を発生するように配置され、
前記波形発生器は、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中に、前記液滴制御信号を供給するように適合される、請求項1に記載の装置。 - 前記ディテクタは、照光源と感光性センサとを備え、
前記感光性センサは、前記真空チャンバ内に配置された少なくとも1つの光学素子を備える、請求項1に記載の装置。 - 前記電子作動可能な素子は、圧電素子である、請求項4に記載の装置。
- 前記感光性センサは、カメラ又はフォトダイオードを備える、請求項4に記載の装置。
- 前記感光性センサは、前記真空チャンバの外部に配置されたカメラ、前記真空チャンバ内に配置された光モジュール、及び前記光モジュールからの光を前記感光性センサに中継する光ファイバを備える、請求項4に記載の装置。
- 前記感光性センサは、照光源を更に備える、請求項4に記載の装置。
- 前記感光性センサは、前記真空チャンバの外部に配置された照光源、前記真空チャンバ内に配置された光モジュール、及び前記照光源からの光を前記光モジュールに中継する光ファイバを備える、請求項4に記載の装置。
- 前記コントローラは、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中に、前記液滴検出信号を受信して波形発生器制御信号を発生するように配置され、
前記電子作動可能な素子は、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中に、前記流れの中に速度摂動を誘発するように適合される、請求項1に記載の装置。 - ターゲット材料ディスペンサを用いて真空チャンバ内の照射サイトにターゲット材料の流れを提供するステップであって、前記ターゲット材料ディスペンサは液滴制御信号に基づいて前記流れの中に速度摂動を誘発するように配置された電子作動可能な素子を備えるステップと、
前記流れの中の液滴を、前記流れの出口であるノズルから約0.5cmの点で観察すると共に液滴検出信号を発生するステップと、
前記液滴検出信号に少なくとも部分的に基づいて波形発生器制御信号を発生するステップと、
前記波形発生器制御信号に少なくとも部分的に基づいて前記液滴制御信号を供給するステップと、
を備える、方法。 - 前記液滴を観察するステップ、前記液滴検出信号を発生するステップ、及び前記液滴制御信号を供給するステップは、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中にインシチュで行われる、請求項11に記載の方法。
- 前記液滴制御信号を供給するステップは、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中にインシチュで行われ、
前記速度摂動は、前記ターゲット材料ディスペンサの動作中にインシチュで前記流れの中に誘発される、請求項11に記載の方法。 - 液体ターゲット材料の流れを、EUV放射を発生させるためのシステム内の照射領域に送出するように適合された液滴発生器を制御する方法であって、前記方法は、前記液滴発生器の動作中に実行され、
前記液滴発生器からプラズマ発生システムのために前記液体ターゲット材料の流れを提供するステップと、
制御信号を発生するステップと、
前記制御信号を前記液滴発生器に機械的に連結された電子作動可能な素子に印加することによって前記流れの中に速度摂動を導入するステップと、
前記流れの出口であるノズルから約0.5cmの点で前記流れの中の液滴を観察するステップと、
前記観察するステップの結果に少なくとも部分的に基づいて前記制御信号を修正するステップと、
を備える、方法。 - EUV放射を発生させるためのシステム内の液滴発生器によって生成された液体ターゲット材料の液滴の流れの合体長さを推定する方法であって、
前記液滴発生器からプラズマ発生システムのために前記液体ターゲット材料の流れを提供するステップと、
制御信号を発生するステップと、
前記制御信号を前記液滴発生器に機械的に連結された電子作動可能な素子に印加することによって前記流れの中に速度摂動を導入するステップと、
前記流れの出口であるノズルから約0.5cmの点で前記流れの中の液滴を観察して液滴信号を生成するステップと、
前記液滴信号のピーク間の距離に少なくとも部分的に基づいて前記合体長さを推定するステップと、
を備える、方法。 - 前記合体長さを推定するステップの後に、前記液滴発生器の動作中に、前記推定された合体長さを用いて前記液滴発生器の動作を制御するステップを追加的に備える、請求項15に記載の方法。
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