JP7399017B2 - Silicone member and its manufacturing method - Google Patents

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本発明は、マイクロデバイスとして用いられるシリコーン部材およびその製造方法に関する。 The present invention relates to a silicone member used as a microdevice and a method for manufacturing the same.

マイクロデバイスは、微細なくぼみ(ウエル)や溝に試料を収容して、検査、反応、抽出、分離、測定などの各種操作を行うものである。マイクロデバイスを構成する部材の材料としては、微細な凹凸加工が容易であり、光透過性、耐薬品性などに優れるという理由から、シリコーンが多く用いられている。 A microdevice accommodates a sample in a fine depression (well) or groove and performs various operations such as inspection, reaction, extraction, separation, and measurement. Silicone is often used as a material for members constituting microdevices because it is easy to form fine irregularities and has excellent light transmittance and chemical resistance.

シリコーン製の部材は、ガラス製の部材と比較して、水に対する親和性が低い。このため、微細な流路に親水性の液体を流す場合、流れ性の悪さから所望の操作を正確に行えないおそれがある。また、本体部材と蓋部材など、二つの部材を接合してマイクロデバイスを構成する場合、送液時の圧力により接合部分が剥離するおそれがある。さらに、操作によっては、捕捉したい成分が収容部に入りにくいという問題や、タンパク質を含む薬液を流すと収容部にタンパク質が吸着されてしまうという問題もある。このため、シリコーン製の部材を用いる場合には、流路などの収容部に親水性を付与する処理を施すことがある。 A member made of silicone has a lower affinity for water than a member made of glass. For this reason, when a hydrophilic liquid is made to flow through a fine channel, there is a possibility that a desired operation cannot be performed accurately due to poor flowability. Furthermore, when a microdevice is constructed by joining two members, such as a main body member and a lid member, there is a risk that the joined portion may peel off due to the pressure during liquid feeding. Further, depending on the operation, there is a problem that the component to be captured is difficult to enter the storage part, and when a chemical solution containing protein is flowed, the protein is adsorbed to the storage part. For this reason, when using a silicone member, a treatment may be performed to impart hydrophilicity to the housing portion such as the flow path.

特開2006-181407号公報Japanese Patent Application Publication No. 2006-181407 特開2008-82961号公報JP2008-82961A 国際公開第2014/084219号International Publication No. 2014/084219

シリコーン製の部材(シリコーン部材)の表面に親水性を付与する処理としては、CVD(化学気相蒸着)法が挙げられる。しかし、CVD法により形成された親水性薄膜は、ガラスに近い硬さを有するものが多いため、シリコーンとの応力差によりクラックや剥がれが生じやすく、親水性を維持することは難しい。また、紫外線照射、エキシマ光照射、プラズマ処理などにより、表面を改質する方法も知られている。しかし、シリコーンの分子骨格はらせん構造を有するため、改質により表面に生成した親水基は、らせん構造の回転により、改質処理から短時間で内部に潜りこんでしまう。よって、これらの方法による改質効果は一時的であり、付与した親水性を24時間持続させるのは難しいというのが現状である。 As a treatment for imparting hydrophilicity to the surface of a silicone member (silicone member), a CVD (chemical vapor deposition) method can be mentioned. However, many hydrophilic thin films formed by the CVD method have a hardness close to that of glass, so they tend to crack or peel due to stress differences with silicone, making it difficult to maintain hydrophilicity. Furthermore, methods of modifying the surface by ultraviolet irradiation, excimer light irradiation, plasma treatment, etc. are also known. However, since the molecular skeleton of silicone has a helical structure, the hydrophilic groups generated on the surface by modification sneak into the interior within a short time after the modification treatment due to the rotation of the helical structure. Therefore, the modification effect achieved by these methods is temporary, and the current situation is that it is difficult to maintain the imparted hydrophilicity for 24 hours.

この点、特許文献1には、ポリジメチルシロキサン(PDMS)製のシートにポリエーテル変性界面活性剤を含有させて、その表面をプラズマ処理またはエキシマ光照射により改質処理した後、オルガノシラン被膜を形成する方法が記載されている。しかし、特許文献1に記載されている方法においては、PDMS製シートに界面活性剤を含有させる必要があるため、材料が制約される。加えて、同文献の段落[0031]に記載されているように、界面活性剤による一時親水化処理、表面改質処理、オルガノシラン溶液による二次親水化処理からなる三段階の処理が必須であるため、製造工程が煩雑である。 In this regard, Patent Document 1 discloses that a polydimethylsiloxane (PDMS) sheet is made to contain a polyether-modified surfactant, its surface is modified by plasma treatment or excimer light irradiation, and then an organosilane film is formed. A method of forming is described. However, in the method described in Patent Document 1, the PDMS sheet needs to contain a surfactant, so the materials are restricted. In addition, as described in paragraph [0031] of the same document, a three-stage treatment consisting of a temporary hydrophilic treatment with a surfactant, a surface modification treatment, and a secondary hydrophilic treatment with an organosilane solution is essential. Therefore, the manufacturing process is complicated.

他方、特許文献2には、マイクロ流路の水に対する接触角を60°以下にする(親水性にする)手法として、プラズマ処理、コロナ放電処理、親水性ポリマーの表面コート処理が記載されている。また、特許文献3には、防曇性フィルム、反射防止フィルムなどにおいて、親水性、防曇性、耐水性に優れる被膜を形成するための親水性コート剤として、ベタインモノマーおよびアルコキシシリル基含有化合物を有するモノマー成分を重合させてなるアルコキシシリル基含有ポリマーが記載されている。これらの文献においては、基材の表面に親水性ポリマーからなる被膜を形成して親水性を付与することが記載されているが、基材がシリコーンからなる場合に、シリコーンとの関係において、被膜の親水性の持続性についての検討はなされていない。また、特許文献3においては、親水性コート剤の用途としてマイクロデバイスは想定されていないため、微細なウエルや溝に適用できる形態や方法は記載されていない。 On the other hand, Patent Document 2 describes plasma treatment, corona discharge treatment, and surface coating treatment with a hydrophilic polymer as methods for reducing the contact angle of the microchannel with water to 60° or less (making it hydrophilic). . Additionally, Patent Document 3 describes betaine monomers and alkoxysilyl group-containing compounds as hydrophilic coating agents for forming coatings with excellent hydrophilicity, antifogging properties, and water resistance in antifogging films, antireflection films, etc. An alkoxysilyl group-containing polymer obtained by polymerizing a monomer component having the following is described. In these documents, it is described that a coating made of a hydrophilic polymer is formed on the surface of a base material to impart hydrophilicity, but when the base material is made of silicone, the coating The sustainability of hydrophilicity has not been investigated. Moreover, in Patent Document 3, since microdevices are not envisioned as a use of the hydrophilic coating agent, there is no description of forms or methods that can be applied to minute wells or grooves.

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、親水性の持続時間が長く柔軟な親水層を有するマイクロデバイス用シリコーン部材を提供することを課題とする。また、当該シリコーン部材を容易に製造することができる製造方法を提供することを課題とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a silicone member for a microdevice having a flexible hydrophilic layer that remains hydrophilic for a long time. Another object of the present invention is to provide a manufacturing method that can easily manufacture the silicone member.

(1)上記課題を解決するため、本発明のシリコーン部材は、マイクロデバイスとして用いられ、試料が収容される収容部を有する、または相手部材との組み合わせにより該収容部を区画形成するシリコーン部材であって、該収容部は、シリコーン本体と該シリコーン本体の表面に配置される親水層とを有し、該親水層は、親水性構造と、該シリコーン本体と化学結合する水酸基と、を有する親水性ポリマーからなり、該水酸基による化学結合により該シリコーン本体に固定されていることを特徴とする。 (1) In order to solve the above problems, the silicone member of the present invention is a silicone member that is used as a microdevice and has a housing section in which a sample is accommodated, or that divides and forms the housing section by combining with a mating member. The accommodating portion has a silicone body and a hydrophilic layer disposed on the surface of the silicone body, and the hydrophilic layer has a hydrophilic structure and a hydroxyl group chemically bonded to the silicone body. It is characterized by being made of a silicone polymer and fixed to the silicone body by chemical bonding through the hydroxyl groups.

(2)上記(1)に記載した本発明のシリコーン部材の製造方法の一例として、本発明のシリコーン部材の製造方法は、前記収容部を有するまたは区画形成する側のシリコーン本体の一面を改質処理して、該一面に水酸基を付与する改質処理工程と、該一面に前記親水性ポリマーを有するポリマー溶液を接触させて、該シリコーン本体の該水酸基と該親水性ポリマーの前記水酸基とを化学結合させることにより、該一面に前記親水層を形成する親水層形成工程と、を有することを特徴とする。 (2) As an example of the method for manufacturing the silicone member of the present invention described in (1) above, the method for manufacturing the silicone member of the present invention includes modifying one side of the silicone body on the side that has the accommodation portion or forms the partition. a modification treatment step in which the one surface is treated with a hydroxyl group; and the one surface is brought into contact with a polymer solution containing the hydrophilic polymer to chemically convert the hydroxyl group of the silicone body and the hydroxyl group of the hydrophilic polymer. It is characterized by comprising a hydrophilic layer forming step of forming the hydrophilic layer on the one surface by bonding.

(1)本発明のシリコーン部材の収容部は、シリコーン本体と、親水性ポリマーからなる親水層と、を有する。親水層は、親水性構造と、シリコーン本体と化学結合する水酸基と、を有する親水性ポリマーから形成される。親水性ポリマーとシリコーン本体とは、互いの水酸基が反応することにより化学結合される。親水層においては、水酸基による結合部位の数や、親水性構造を有する分子鎖の立体障害により、シリコーンの分子骨格が回転しても、親水性構造が内部に潜りにくい。このため、本発明のシリコーン部材においては、親水層の親水性が長時間持続する。また、ガラスと比較して柔軟な親水性ポリマーから形成されるため、親水層にクラックや剥がれが生じにくい。このことも、親水性の持続時間を長くできる要因になる。 (1) The silicone member accommodating portion of the present invention includes a silicone body and a hydrophilic layer made of a hydrophilic polymer. The hydrophilic layer is formed from a hydrophilic polymer having a hydrophilic structure and hydroxyl groups chemically bonded to the silicone body. The hydrophilic polymer and the silicone main body are chemically bonded by the reaction of their hydroxyl groups. In the hydrophilic layer, due to the number of bonding sites by hydroxyl groups and steric hindrance of molecular chains having a hydrophilic structure, even if the molecular skeleton of silicone rotates, the hydrophilic structure is difficult to penetrate inside. Therefore, in the silicone member of the present invention, the hydrophilicity of the hydrophilic layer lasts for a long time. Furthermore, since it is made of a hydrophilic polymer that is more flexible than glass, the hydrophilic layer is less likely to crack or peel off. This is also a factor in extending the duration of hydrophilicity.

このように、本発明のシリコーン部材の収容部は、親水性の持続時間が長く柔軟な親水層を有するため、親水性の液体を用いて、検査、反応などの各種操作を正確に行うことができる。また、流れ性が良好であることから、送液時の圧力が大きくなりにくい。よって、二つの部材を接合してマイクロデバイスを構成した場合、接合部分の剥離なども抑制される。 As described above, the housing portion of the silicone member of the present invention has a flexible hydrophilic layer that remains hydrophilic for a long time, so that various operations such as tests and reactions can be performed accurately using a hydrophilic liquid. can. In addition, since the fluidity is good, the pressure during liquid feeding is less likely to increase. Therefore, when a microdevice is constructed by joining two members, peeling of the joined portion is also suppressed.

(2)本発明のシリコーン部材の製造方法は、まず、改質処理工程において、シリコーン本体の収容部を含む一面に水酸基を付与しておく。次に、親水層形成工程において、当該一面にポリマー溶液を接触させて、シリコーン本体の水酸基と親水性ポリマーの水酸基とを化学結合させることにより、親水層を形成する。このように、本発明の製造方法によると、収容部に親水性の持続時間が長く柔軟な親水層を有するシリコーン部材を容易に製造することができる。 (2) In the method for manufacturing a silicone member of the present invention, first, in a modification treatment step, hydroxyl groups are added to one surface of the silicone body including the housing portion. Next, in the hydrophilic layer forming step, a polymer solution is brought into contact with the one surface to chemically bond the hydroxyl groups of the silicone body and the hydroxyl groups of the hydrophilic polymer, thereby forming a hydrophilic layer. As described above, according to the manufacturing method of the present invention, it is possible to easily manufacture a silicone member having a flexible hydrophilic layer that remains hydrophilic for a long time in the housing portion.

第一実施形態のシリコーン部材の斜視図である。It is a perspective view of the silicone member of a first embodiment. 図1のII-II断面図である。2 is a sectional view taken along line II-II in FIG. 1. FIG. 第二実施形態のシリコーン部材を備えるマイクロデバイスの平面図を示す。FIG. 7 shows a plan view of a microdevice including a silicone member according to a second embodiment. 図3のIV-IV断面図である。4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG. 3. FIG. 第三実施形態のシリコーン部材の斜視図を示す。The perspective view of the silicone member of a third embodiment is shown. 実施例1および比較例1、7の試験片の水接触角の経時変化を示すグラフである。1 is a graph showing changes over time in water contact angles of test pieces of Example 1 and Comparative Examples 1 and 7. 実施例2および比較例2の試験片の水接触角の経時変化を示すグラフである。3 is a graph showing changes over time in water contact angles of test pieces of Example 2 and Comparative Example 2. 実施例3、4の試験片の水接触角の経時変化を示すグラフである。3 is a graph showing changes over time in water contact angles of test pieces of Examples 3 and 4. 比較例4~6の試験片の水接触角の経時変化を示すグラフである。3 is a graph showing changes over time in water contact angles of test pieces of Comparative Examples 4 to 6.

以下、本発明のシリコーン部材およびその製造方法の実施の形態を説明する。 Embodiments of the silicone member of the present invention and its manufacturing method will be described below.

<第一実施形態>
まず、第一実施形態のシリコーン部材の構成を説明する。図1に、第一実施形態のシリコーン部材の斜視図を示す。図2に、図1のII-II断面図を示す。図1においては、透過した部位を細線で示す。図1に示すように、シリコーン部材10は、長方形薄板状を呈している。シリコーン部材10の上面には、収容部11が凹設されている。収容部11は、溝部12と二つの孔部13a、13bとを有している。溝部12は、左右方向に伸びる直線状を呈しており、その左右両端部は、二つの孔部13a、13bに接続されている。二つの孔部13a、13bは、各々、円形状に開口している。図2に示すように、溝部12(収容部11)の深さTは100μm、溝部12の幅(前後方向の長さ)Wは100μmである。試料の液体は、例えば、孔部13aから注入され、溝部12を流動して、孔部13bから取り出される。このように、シリコーン部材10は、それ自体に収容部11を有しており、単体でマイクロデバイスとして用いられる。
<First embodiment>
First, the structure of the silicone member of the first embodiment will be explained. FIG. 1 shows a perspective view of the silicone member of the first embodiment. FIG. 2 shows a cross-sectional view taken along line II-II in FIG. In FIG. 1, the transparent parts are shown by thin lines. As shown in FIG. 1, the silicone member 10 has a rectangular thin plate shape. A housing portion 11 is recessed in the upper surface of the silicone member 10 . The housing portion 11 has a groove portion 12 and two holes 13a and 13b. The groove portion 12 has a linear shape extending in the left-right direction, and both left and right ends thereof are connected to the two holes 13a and 13b. The two holes 13a and 13b each have a circular opening. As shown in FIG. 2, the depth T of the groove portion 12 (accommodating portion 11) is 100 μm, and the width (length in the front-rear direction) W of the groove portion 12 is 100 μm. For example, the sample liquid is injected from the hole 13a, flows through the groove 12, and is taken out from the hole 13b. In this way, the silicone member 10 has the accommodating portion 11 itself and is used alone as a microdevice.

シリコーン部材10は、シリコーン本体14と親水層15とを有している。シリコーン本体14は、シリコーンゴムからなる。親水層15は、収容部11を含むシリコーン本体14の上面全体を被覆するように配置されている。親水層15は、アルコキシシリル基含有ポリマーからなる。アルコキシシリル基含有ポリマーは、シリコーン本体14と化学結合する水酸基として末端にトリシラノール基を有し、親水性構造としてスルホキシベタイン構造を有しており、その質量平均分子量は500である。アルコキシシリル基含有ポリマーは、本発明における親水性ポリマーの概念に含まれる。親水層15は、トリシラノール基(水酸基)とシリコーン本体14の水酸基とによる化学結合によりシリコーン本体14に固定されている。 The silicone member 10 has a silicone main body 14 and a hydrophilic layer 15. The silicone main body 14 is made of silicone rubber. The hydrophilic layer 15 is arranged to cover the entire upper surface of the silicone main body 14 including the accommodating part 11. The hydrophilic layer 15 is made of an alkoxysilyl group-containing polymer. The alkoxysilyl group-containing polymer has a trisilanol group at the end as a hydroxyl group that chemically bonds with the silicone body 14, a sulfoxybetaine structure as a hydrophilic structure, and a mass average molecular weight of 500. Alkoxysilyl group-containing polymers are included in the concept of hydrophilic polymers in the present invention. The hydrophilic layer 15 is fixed to the silicone body 14 through a chemical bond between a trisilanol group (hydroxyl group) and a hydroxyl group on the silicone body 14 .

収容部11における親水層15の厚さは、100nmである。収容部11の可視光線透過率は、88.5%であり、波長280nm以上600nm以下の励起光が照射された場合における自家蛍光の強度は9.0である。シリコーン部材10の上面(親水層15の上面)のタイプAデュロメータ硬さはA59である。 The thickness of the hydrophilic layer 15 in the housing part 11 is 100 nm. The visible light transmittance of the housing part 11 is 88.5%, and the intensity of autofluorescence when irradiated with excitation light having a wavelength of 280 nm or more and 600 nm or less is 9.0. The type A durometer hardness of the upper surface of the silicone member 10 (the upper surface of the hydrophilic layer 15) is A59.

次に、本実施形態のシリコーン部材の製造方法を説明する。まず、改質処理工程において、収容部11が凹設されているシリコーン本体14の上面を改質処理する。改質処理は、シリコーン本体14の上面に、アルゴンおよび酸素を含むガス雰囲気中でマイクロ波プラズマを照射して行う。これにより、シリコーン本体14の上面に水酸基が付与される。次に、親水層形成工程において、シリコーン本体14の上面にアルコキシシリル基含有ポリマーをディップコーティングする。すなわち、シリコーン本体14をアルコキシシリル基含有ポリマーの水溶液(粘度10mPa・s)に浸漬した後引き上げて、乾燥処理を行って、シリコーン本体14の上面に付与された水酸基とアルコキシシリル基含有ポリマーの末端水酸基とを化学結合させる。このようにして、収容部11を含むシリコーン本体14の上面に親水層15を形成する。 Next, a method for manufacturing the silicone member of this embodiment will be explained. First, in a modification treatment step, the upper surface of the silicone body 14 in which the housing portion 11 is recessed is subjected to a modification treatment. The modification treatment is performed by irradiating the upper surface of the silicone body 14 with microwave plasma in a gas atmosphere containing argon and oxygen. As a result, hydroxyl groups are added to the upper surface of the silicone main body 14. Next, in a hydrophilic layer forming step, an alkoxysilyl group-containing polymer is dip coated on the upper surface of the silicone body 14. That is, the silicone body 14 is immersed in an aqueous solution (viscosity 10 mPa·s) of an alkoxysilyl group-containing polymer, then pulled up, and subjected to a drying process to remove the hydroxyl groups added to the upper surface of the silicone body 14 and the terminal ends of the alkoxysilyl group-containing polymer. Chemically bonds with hydroxyl group. In this way, the hydrophilic layer 15 is formed on the upper surface of the silicone body 14 including the accommodating portion 11.

次に、本実施形態のシリコーン部材の作用効果を説明する。シリコーン部材10の収容部11は、アルコキシシリル基含有ポリマーからなる親水層15を有する。アルコキシシリル基含有ポリマーは、水酸基同士の化学結合によりシリコーン本体14と複数箇所で結合されると共に、親水性構造を含む長鎖の分子鎖を有する。結合部位が多いこと、および長鎖の分子鎖の立体障害により、シリコーンの分子骨格が回転しても親水性構造が内部に潜りにくい。このため、シリコーン部材10においては、親水層15の親水性が長時間持続する。具体的には、後述する実施例において示すように、水の接触角が60°以下の状態が、親水層15を形成してから少なくとも24時間維持される。 Next, the effects of the silicone member of this embodiment will be explained. The housing portion 11 of the silicone member 10 has a hydrophilic layer 15 made of an alkoxysilyl group-containing polymer. The alkoxysilyl group-containing polymer is bonded to the silicone body 14 at multiple locations through chemical bonds between hydroxyl groups, and has a long molecular chain containing a hydrophilic structure. Due to the large number of bonding sites and the steric hindrance of long molecular chains, it is difficult for the hydrophilic structure to penetrate inside even when the silicone molecular skeleton rotates. Therefore, in the silicone member 10, the hydrophilicity of the hydrophilic layer 15 continues for a long time. Specifically, as shown in Examples described later, a state in which the water contact angle is 60° or less is maintained for at least 24 hours after the hydrophilic layer 15 is formed.

親水層15の厚さは100nmであり極めて薄い。このため、微細な流路である溝部12に適用しても、液体の流れを阻害しにくい。また、シリコーン部材10の上面(親水層15が形成されている部分)で測定されるタイプAデュロメータ硬さはA59である。すなわち、親水層15は、ガラスと比較して柔軟である。よって、親水層15にクラックや剥がれが生じにくく、親水性が長時間持続する。このように、シリコーン部材10の収容部11は、親水性の持続時間が長く柔軟な親水層15を有するため、親水性の液体を用いて、検査、反応などの各種操作を正確に行うことができる。また、親水層15が形成されていても、収容部11の可視光線透過率は高く、シリコーンゴムが本来有する透明性が損なわれていない。収容部11の自家蛍光性も弱いため、収容部11に光を照射して、極めて弱い発光を観察する光学検査などにも適している。さらに、試料にタンパク質が含まれていても、収容部11にタンパク質が吸着されにくい。 The thickness of the hydrophilic layer 15 is 100 nm, which is extremely thin. Therefore, even when applied to the groove portion 12, which is a fine flow path, the flow of the liquid is hardly inhibited. Further, the type A durometer hardness measured on the upper surface of the silicone member 10 (the part where the hydrophilic layer 15 is formed) is A59. That is, the hydrophilic layer 15 is more flexible than glass. Therefore, the hydrophilic layer 15 is less likely to crack or peel off, and its hydrophilicity remains for a long time. As described above, since the accommodating portion 11 of the silicone member 10 has a flexible hydrophilic layer 15 with a long duration of hydrophilicity, various operations such as tests and reactions can be performed accurately using a hydrophilic liquid. can. Furthermore, even though the hydrophilic layer 15 is formed, the visible light transmittance of the accommodating portion 11 is high, and the inherent transparency of silicone rubber is not impaired. Since the autofluorescence of the housing part 11 is also weak, it is suitable for optical inspection, etc. in which the housing part 11 is irradiated with light and extremely weak luminescence is observed. Furthermore, even if the sample contains protein, the protein is unlikely to be adsorbed to the storage portion 11.

シリコーン部材10の製造方法においては、親水層15を形成する前に、改質処理工程において、収容部11を含むシリコーン本体14の上面に水酸基を付与する。これにより、続く親水層形成工程において、アルコキシシリル基含有ポリマーをディップコーティングして、容易に親水層15を形成することができる。この際、アルコキシシリル基含有ポリマーの水溶液の粘度は比較的小さいため、薄膜状の親水層15を形成することができる。また、当該水溶液の溶媒は水であるため、疎水性のシリコーン本体14に染み込みにくい。よって、ディップコーティングの際、シリコーン本体14が膨潤し収容部11の大きさが変化するおそれは少ない。 In the method for manufacturing the silicone member 10, before forming the hydrophilic layer 15, hydroxyl groups are added to the upper surface of the silicone body 14 including the housing portion 11 in a modification treatment step. Thereby, in the subsequent hydrophilic layer forming step, the hydrophilic layer 15 can be easily formed by dip coating the alkoxysilyl group-containing polymer. At this time, since the viscosity of the aqueous solution of the alkoxysilyl group-containing polymer is relatively low, a thin hydrophilic layer 15 can be formed. Moreover, since the solvent of the aqueous solution is water, it is difficult to seep into the hydrophobic silicone body 14. Therefore, during dip coating, there is little risk that the silicone main body 14 will swell and the size of the accommodating portion 11 will change.

<第二実施形態>
本実施形態のシリコーン部材と第一実施形態のシリコーン部材との主な相違点は、本実施形態においては、マイクロデバイスが二つのシリコーン部材で構成されている点である。まず、本実施形態のシリコーン部材を備えるマイクロデバイスの構成を説明する。図3に、マイクロデバイスの平面図を示す。図4に、図3のIV-IV断面図を示す。図3においては、透過した部位を細線で示す。図3、図4に示すように、マイクロデバイス20は、全体として長方形薄板状を呈している。マイクロデバイス20は、第一シリコーン部材30と、第二シリコーン部材40と、を有している。
<Second embodiment>
The main difference between the silicone member of this embodiment and the silicone member of the first embodiment is that in this embodiment, the microdevice is composed of two silicone members. First, the configuration of a microdevice including the silicone member of this embodiment will be explained. FIG. 3 shows a plan view of the microdevice. FIG. 4 shows a cross-sectional view taken along the line IV-IV in FIG. 3. In FIG. 3, the transparent parts are indicated by thin lines. As shown in FIGS. 3 and 4, the microdevice 20 has a rectangular thin plate shape as a whole. The microdevice 20 includes a first silicone member 30 and a second silicone member 40.

第一シリコーン部材30は、長方形薄板状を呈している。第一シリコーン部材30の構成は、親水層の構成を除いて第一実施形態のシリコーン部材10の構成と同じである。すなわち、第一シリコーン部材30の上面には、収容部31が凹設されている。収容部31は、溝部32と二つの孔部33a、33bとを有している。溝部32は、左右方向に伸びる直線状を呈している。溝部32の深さ(上下方向の長さ)は100μm、幅(前後方向の長さ)は100μmである。第一シリコーン部材30は、シリコーン本体34と親水層35とを有している。親水層35は、収容部31を含むシリコーン本体34の上面全体を被覆するように配置されている。 The first silicone member 30 has a rectangular thin plate shape. The configuration of the first silicone member 30 is the same as the configuration of the silicone member 10 of the first embodiment except for the configuration of the hydrophilic layer. That is, the upper surface of the first silicone member 30 is provided with a recessed housing portion 31 . The housing portion 31 has a groove portion 32 and two holes 33a and 33b. The groove portion 32 has a linear shape extending in the left-right direction. The depth (length in the vertical direction) of the groove portion 32 is 100 μm, and the width (length in the front and back direction) is 100 μm. The first silicone member 30 has a silicone body 34 and a hydrophilic layer 35. The hydrophilic layer 35 is arranged to cover the entire upper surface of the silicone main body 34 including the accommodating part 31.

親水層35は、ポリビニルアルコール(PVA)からなる。PVAは、側鎖に親水性構造としての水酸基を有し、その一部はシリコーン本体34と化学結合する。PVAの質量平均分子量は20000である。PVAは、本発明における親水性ポリマーの概念に含まれる。親水層35は、PVAの側鎖の水酸基とシリコーン本体34の水酸基とによる化学結合によりシリコーン本体34に固定されている。収容部31における親水層35の厚さは、100nmである。収容部31の可視光線透過率は、87.8%であり、波長280nm以上600nm以下の励起光が照射された場合における自家蛍光の強度は9.1である。第一シリコーン部材30の上面(親水層35の上面)のタイプAデュロメータ硬さはA60である。 Hydrophilic layer 35 is made of polyvinyl alcohol (PVA). PVA has a hydroxyl group as a hydrophilic structure in its side chain, a part of which is chemically bonded to the silicone body 34. The mass average molecular weight of PVA is 20,000. PVA is included in the concept of hydrophilic polymer in the present invention. The hydrophilic layer 35 is fixed to the silicone body 34 through a chemical bond between the hydroxyl group of the side chain of PVA and the hydroxyl group of the silicone body 34 . The thickness of the hydrophilic layer 35 in the housing part 31 is 100 nm. The visible light transmittance of the housing section 31 is 87.8%, and the intensity of autofluorescence when irradiated with excitation light having a wavelength of 280 nm or more and 600 nm or less is 9.1. The type A durometer hardness of the upper surface of the first silicone member 30 (the upper surface of the hydrophilic layer 35) is A60.

第一シリコーン部材30の製造方法は、次のとおりである。まず、第一実施形態と同様にして、収容部31が凹設されているシリコーン本体34の上面を改質処理する。次に、シリコーン本体34の上面にPVAをディップコーティングする。すなわち、シリコーン本体34をPVA水溶液(粘度7Pa・s)に浸漬した後引き上げて、乾燥処理を行って、シリコーン本体34の上面に付与された水酸基とPVAの側鎖の水酸基とを化学結合させる。このようにして、収容部31を含むシリコーン本体34の上面に親水層35を形成する。 The method for manufacturing the first silicone member 30 is as follows. First, in the same manner as in the first embodiment, the upper surface of the silicone main body 34 in which the accommodating portion 31 is recessed is subjected to a modification treatment. Next, the top surface of the silicone body 34 is dip coated with PVA. That is, the silicone body 34 is immersed in a PVA aqueous solution (viscosity 7 Pa·s) and then pulled up and dried to chemically bond the hydroxyl groups provided on the upper surface of the silicone body 34 and the hydroxyl groups on the side chains of PVA. In this way, the hydrophilic layer 35 is formed on the upper surface of the silicone main body 34 including the accommodating portion 31.

第二シリコーン部材40は、第一シリコーン部材30と同じ大きさの長方形薄板状を呈している。第二シリコーン部材40は、第一シリコーン部材30の上面に積層されている。第二シリコーン部材40は、二つの孔部41、42からなる収容部43を有している。二つの孔部42、43は、各々、円筒形状を呈しており、第二シリコーン部材40を厚さ方向(上下方向)に貫通している。第二シリコーン部材40は、シリコーン本体44と親水層45とを有している。親水層45は、収容部43の表面およびシリコーン本体44の上面全体を被覆するように配置されている。親水層45の構成は、第一シリコーン部材30の親水層35の構成と同じである。すなわち、親水層45はPVAからなり、その厚さは100nmである。 The second silicone member 40 has a rectangular thin plate shape with the same size as the first silicone member 30. The second silicone member 40 is laminated on the upper surface of the first silicone member 30. The second silicone member 40 has a housing section 43 consisting of two holes 41 and 42. The two holes 42 and 43 each have a cylindrical shape and penetrate the second silicone member 40 in the thickness direction (vertical direction). The second silicone member 40 has a silicone main body 44 and a hydrophilic layer 45. The hydrophilic layer 45 is arranged to cover the entire surface of the accommodating portion 43 and the upper surface of the silicone body 44 . The structure of the hydrophilic layer 45 is the same as the structure of the hydrophilic layer 35 of the first silicone member 30. That is, the hydrophilic layer 45 is made of PVA and has a thickness of 100 nm.

第二シリコーン部材40の製造方法も、第一シリコーン部材30の製造方法と同じである。すなわち、収容部43の表面およびシリコーン本体44の上面を改質処理した後、PVAをディップコーティングする。そして、第一シリコーン部材30および第二シリコーン部材40を重ね合わせ、収容部31、43を除く部分を接合して、マイクロデバイス20を製造する。第一シリコーン部材30および第二シリコーン部材40の接合は、各々の接合面(シリコーン本体34の上面の親水層35、シリコーン本体44の下面の親水層45)をプラズマ処理した後、重ね合わせればよい。 The method of manufacturing the second silicone member 40 is also the same as the method of manufacturing the first silicone member 30. That is, after the surface of the accommodating portion 43 and the upper surface of the silicone body 44 are modified, PVA is dip coated. Then, the first silicone member 30 and the second silicone member 40 are stacked on top of each other, and the portions excluding the accommodating portions 31 and 43 are joined to manufacture the microdevice 20. The first silicone member 30 and the second silicone member 40 may be joined together after plasma treating their respective joint surfaces (the hydrophilic layer 35 on the upper surface of the silicone body 34 and the hydrophilic layer 45 on the lower surface of the silicone body 44). .

第一シリコーン部材30の左方の孔部33aは孔部41の下端開口に、孔部33bは孔部42の下端開口に、各々連結されている。第一シリコーン部材30の溝部32は、第二シリコーン部材40により封鎖されている。試料の液体は、例えば、孔部41から注入され、溝部32を流動して、孔部42から取り出される。 The left hole 33a of the first silicone member 30 is connected to the lower end opening of the hole 41, and the hole 33b is connected to the lower end opening of the hole 42. The groove portion 32 of the first silicone member 30 is closed by the second silicone member 40. For example, the sample liquid is injected from the hole 41, flows through the groove 32, and is taken out from the hole 42.

次に、本実施形態のシリコーン部材の作用効果を説明する。本実施形態のシリコーン部材と、第一実施形態のシリコーン部材とは、構成が共通する部分に関しては、同様の作用効果を有する。第一シリコーン部材30と第二シリコーン部材40とは、同じ親水層を有するため、ここでは両部材を代表して第一シリコーン部材30について説明する。 Next, the effects of the silicone member of this embodiment will be explained. The silicone member of this embodiment and the silicone member of the first embodiment have similar functions and effects regarding parts having common configurations. Since the first silicone member 30 and the second silicone member 40 have the same hydrophilic layer, the first silicone member 30 will be described here as a representative of both members.

第一シリコーン部材30の収容部31は、PVAからなる親水層35を有する。PVAは、水酸基同士の化学結合によりシリコーン本体34と結合され、親水性構造を含む長鎖の分子鎖を有する。長鎖の分子鎖の立体障害により、シリコーンの分子骨格が回転しても親水性構造が内部に潜りにくい。このため、第一シリコーン部材30においては、親水層35の親水性が長時間持続する。具体的には、後述する実施例において示すように、水の接触角が60°以下の状態が、親水層35を形成してから少なくとも24時間維持される。 The housing portion 31 of the first silicone member 30 has a hydrophilic layer 35 made of PVA. PVA is bonded to the silicone body 34 through chemical bonds between hydroxyl groups, and has a long molecular chain containing a hydrophilic structure. Due to the steric hindrance of the long molecular chains, even when the silicone molecular skeleton rotates, the hydrophilic structure is difficult to penetrate inside. Therefore, in the first silicone member 30, the hydrophilicity of the hydrophilic layer 35 continues for a long time. Specifically, as shown in Examples described later, a state in which the water contact angle is 60° or less is maintained for at least 24 hours after the hydrophilic layer 35 is formed.

第一シリコーン部材30の上面(親水層35が形成されている部分)で測定されるタイプAデュロメータ硬さはA60である。すなわち、親水層35は、ガラスと比較して柔軟である。よって、親水層35にクラックや剥がれが生じにくく、親水性が長時間持続する。このように、第一シリコーン部材30の収容部31は、親水性の持続時間が長く柔軟な親水層35を有するため、親水性の液体を用いて、検査、反応などの各種操作を正確に行うことができる。また、親水層35の厚さが薄いため、微細な流路構造の収容部31に適用しても、液体の流れを阻害しにくい。流れ性が良好であるため、送液時の圧力が大きくなりにくい。結果、第一シリコーン部材30および第二シリコーン部材40の接合部分の剥離が抑制される。 The type A durometer hardness measured on the upper surface of the first silicone member 30 (the part where the hydrophilic layer 35 is formed) is A60. That is, the hydrophilic layer 35 is more flexible than glass. Therefore, the hydrophilic layer 35 is less likely to crack or peel off, and its hydrophilicity remains for a long time. In this way, the housing part 31 of the first silicone member 30 has a flexible hydrophilic layer 35 that has long hydrophilic properties, so that various operations such as tests and reactions can be performed accurately using a hydrophilic liquid. be able to. In addition, since the hydrophilic layer 35 is thin, it is difficult to inhibit the flow of liquid even when applied to the accommodating portion 31 having a fine channel structure. Because of its good flowability, the pressure during liquid feeding is unlikely to increase. As a result, peeling of the joint portion between the first silicone member 30 and the second silicone member 40 is suppressed.

親水層35が形成されていても、収容部31の可視光線透過率は高く、シリコーンゴムが本来有する透明性が損なわれていない。収容部31の自家蛍光性も弱いため、収容部31に光を照射して、極めて弱い発光を観察する光学検査などにも適している。さらに、試料にタンパク質が含まれていても、収容部31にタンパク質が吸着されにくい。 Even though the hydrophilic layer 35 is formed, the visible light transmittance of the accommodating portion 31 is high, and the inherent transparency of silicone rubber is not impaired. Since the autofluorescence of the housing part 31 is also weak, it is suitable for optical inspection, etc. in which the housing part 31 is irradiated with light and extremely weak luminescence is observed. Furthermore, even if the sample contains protein, the protein is unlikely to be adsorbed to the storage portion 31.

第一シリコーン部材30の製造方法においては、親水層35を形成する前に、改質処理工程において、収容部31を含むシリコーン本体34の上面に水酸基を付与する。これにより、続く親水層形成工程において、PVAをディップコーティングして、容易に親水層35を形成することができる。PVA水溶液の粘度は比較的小さいため、薄膜状の親水層35を形成することができる。また、当該水溶液の溶媒は水であるため、疎水性のシリコーン本体34に染み込みにくい。よって、ディップコーティングの際、シリコーン本体34が膨潤し収容部31の大きさが変化するおそれは少ない。 In the method for manufacturing the first silicone member 30, before forming the hydrophilic layer 35, hydroxyl groups are added to the upper surface of the silicone body 34 including the accommodation portion 31 in a modification treatment step. Thereby, in the subsequent hydrophilic layer forming step, the hydrophilic layer 35 can be easily formed by dip coating PVA. Since the viscosity of the PVA aqueous solution is relatively low, a thin hydrophilic layer 35 can be formed. Furthermore, since the solvent of the aqueous solution is water, it is difficult to seep into the hydrophobic silicone body 34. Therefore, during dip coating, there is little risk that the silicone main body 34 will swell and the size of the accommodating portion 31 will change.

親水層35は、シリコーン本体34の上面全体に形成される。第二シリコーン部材40においても同様に、親水層45は、シリコーン本体44の下面全体に形成される。親水層35、45は、いずれもPVAからなり、接着性が良好である。したがって、第一シリコーン部材30および第二シリコーン部材40の接合面に親水層35、45を形成し、それを利用して両部材30、40を接合することができる。 The hydrophilic layer 35 is formed on the entire upper surface of the silicone body 34. Similarly, in the second silicone member 40, the hydrophilic layer 45 is formed on the entire lower surface of the silicone body 44. The hydrophilic layers 35 and 45 are both made of PVA and have good adhesive properties. Therefore, the hydrophilic layers 35, 45 can be formed on the joining surfaces of the first silicone member 30 and the second silicone member 40, and can be used to join the two members 30, 40.

<その他の形態>
本発明のシリコーン部材およびその製造方法は、上記形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、当業者が行い得る変更、改良などを施した種々の形態にて実施することができる。
<Other forms>
The silicone member and the method for manufacturing the same of the present invention are not limited to the above-mentioned forms, but may be implemented in various forms with changes and improvements that can be made by those skilled in the art without departing from the gist of the present invention. be able to.

[シリコーン部材]
本発明のシリコーン部材は、マイクロデバイスとして用いられるものであり、自身に試料が収容される収容部を有していてもよく、相手部材との組み合わせにより収容部を区画形成するものでもよい。相手部材の材質は、シリコーンの他、フッ素樹脂、ガラスなどでもよい。本発明のシリコーン部材と相手部材とは、単に積層させるだけでもよいが、接着剤などを用いて接着してもよい。
[Silicone member]
The silicone member of the present invention is used as a microdevice, and may have an accommodation section in which a sample is accommodated, or may partition the accommodation section by combining with a mating member. The material of the mating member may be silicone, fluororesin, glass, or the like. The silicone member of the present invention and the mating member may be simply laminated, or may be bonded together using an adhesive or the like.

本発明における「収容部」は、試料が配置される空間は勿論、流路などの試料が通過するだけの空間を含む。試料は、粒子などの固体、液体、気体の他、これらが適宜混合された混合物でもよい。収容部の形状、大きさ、配置形態は、特に限定されない。収容部の形状としては、孔状、溝状、くぼみ状などが挙げられる。収容部の深さ方向の断面は、正方形、長方形、台形などの矩形状、半円、楕円などの曲面状、V字状など、特に限定されない。以下に、上記実施形態とは異なる収容部を有する形態例を説明する。図5に、第三実施形態のシリコーン部材の斜視図を示す。図5においては、透過した部位を細線で示す。 The "accommodating section" in the present invention includes not only a space in which a sample is placed, but also a space such as a channel through which the sample passes. The sample may be a solid such as particles, a liquid, a gas, or a mixture of these as appropriate. The shape, size, and arrangement of the accommodating portion are not particularly limited. Examples of the shape of the accommodating portion include a hole shape, a groove shape, and a depression shape. The cross section of the housing portion in the depth direction is not particularly limited, and may have a rectangular shape such as a square, a rectangle, or a trapezoid, a curved shape such as a semicircle or an ellipse, or a V-shape. Below, an example of a configuration having a housing section different from the above embodiment will be described. FIG. 5 shows a perspective view of the silicone member of the third embodiment. In FIG. 5, the transparent parts are indicated by thin lines.

図5に示すように、シリコーン部材50は、長方形薄板状を呈している。シリコーン部材50の上面には、複数のウエル(くぼみ)51が凹設されている。ウエル51の開口部は円形状を呈し、底部は平面状を呈している。ウエル51の開口部の直径は100μm、深さも100μmである。複数のウエル51は、いずれも同じ形状、大きさを有している。試料は、ウエル51に収容される。すなわち、ウエル51は、本発明における収容部の概念に含まれる。ウエル51を含むシリコーン本体の上面全体を被覆するように、親水層(図略)が形成されている。 As shown in FIG. 5, the silicone member 50 has a rectangular thin plate shape. A plurality of wells (recesses) 51 are formed in the upper surface of the silicone member 50 . The opening of the well 51 has a circular shape, and the bottom has a flat shape. The opening of the well 51 has a diameter of 100 μm and a depth of 100 μm. The plurality of wells 51 all have the same shape and size. The sample is accommodated in the well 51. That is, the well 51 is included in the concept of a housing section in the present invention. A hydrophilic layer (not shown) is formed to cover the entire upper surface of the silicone body including the wells 51.

収容部の深さは、シリコーン部材やマイクロデバイスの厚さに応じて適宜決定すればよい。例えば、顕微鏡を用いた光学検査用のマイクロデバイスの場合には、収容部の深さは100μm以下であることが望ましい。また、収容部が溝状の流路を有する場合、流路の幅も100μm以下であることが望ましい。 The depth of the accommodating portion may be appropriately determined depending on the thickness of the silicone member and the microdevice. For example, in the case of a microdevice for optical inspection using a microscope, the depth of the housing portion is preferably 100 μm or less. Furthermore, when the accommodating portion has a groove-like channel, it is desirable that the width of the channel is also 100 μm or less.

収容部は、シリコーン本体と親水層とを有する。シリコーン本体は、シリコーンを有するシリコーン材料から製造される。シリコーン材料は、必要に応じて、接着成分などの添加剤を含んでいてもよい。本明細書において「シリコーン」とは、シリコーン樹脂およびシリコーンゴムの両方を含む概念である。「シリコーン」には、ポリマー成分に加えて、それを架橋するための架橋剤、触媒などが含まれる。シリコーンゴムには、オルガノポリシロキサンとして広く知られているものを使用すればよい。シリコーンゴムは、液状ゴムでも固形(ミラブル)ゴムでもよい。凹凸などの微細構造を寸法精度よく形成できるという点において、液状ゴムが望ましい。 The accommodating part has a silicone main body and a hydrophilic layer. The silicone body is manufactured from a silicone material with silicone. The silicone material may contain additives such as adhesive components, if necessary. In this specification, "silicone" is a concept that includes both silicone resin and silicone rubber. In addition to the polymer component, "silicone" includes a crosslinking agent, a catalyst, etc. for crosslinking the polymer component. As the silicone rubber, one that is widely known as organopolysiloxane may be used. The silicone rubber may be a liquid rubber or a solid (millable) rubber. Liquid rubber is desirable in that it can form microstructures such as unevenness with high dimensional accuracy.

親水層は、親水性構造と、シリコーン本体と化学結合する水酸基と、を有する親水性ポリマーからなる。親水性構造としては、ノニオン系として水酸基、ポリエーテル構造、カチオン系としてアミン、アンモニウム塩、アニオン系としてリン酸塩、スルホン酸塩、カルボキシル基などが挙げられる。親水性ポリマーは、これらから選ばれる一種以上を有することが望ましい。分子鎖の立体障害を大きくして、シリコーンの分子骨格の回転により親水性構造が内部に潜りこむことを抑制するという観点から、親水性構造を含む分子鎖は長い方が望ましい。例えば、親水性ポリマーの質量平均分子量は500以上であるとよい。5000以上、10000以上、さらには20000以上であるとより好適である。 The hydrophilic layer is made of a hydrophilic polymer having a hydrophilic structure and a hydroxyl group chemically bonded to the silicone body. Examples of the hydrophilic structure include nonionic structures such as hydroxyl groups and polyether structures, cationic structures such as amines and ammonium salts, and anionic structures such as phosphates, sulfonates, and carboxyl groups. It is desirable that the hydrophilic polymer has at least one type selected from these. From the viewpoint of increasing the steric hindrance of the molecular chain and suppressing the hydrophilic structure from penetrating into the silicone due to rotation of the molecular skeleton, it is desirable that the molecular chain containing the hydrophilic structure is long. For example, the weight average molecular weight of the hydrophilic polymer is preferably 500 or more. More preferably, it is 5,000 or more, 10,000 or more, and even 20,000 or more.

シリコーン本体と化学結合する水酸基の形態としては、シリコーン本体とSi-O-Si結合を生成するSi-OH、Si-O-C結合を生成するC-OHが挙げられる。親水性ポリマーは、これらのいずれか、または両方を有することが望ましい。シリコーン本体との結合部位を多くして、シリコーンの分子骨格の回転により親水性構造が内部に潜りこむことを抑制するという観点から、親水性ポリマーは、シリコーン本体と化学結合する水酸基を二つ以上有することが望ましい。好適な親水性ポリマーとしては、ポリビニルアルコール、部分ケン化ポリ酢酸ビニル、ビニルアルコール-アクリル酸ナトリウムコポリマー、ビニルアルコール-メタクリル酸ナトリウムコポリマー、部分架橋ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール誘導体、アルコキシシリル基含有ポリマー、セルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロース、カルボキシメチルセルロース、でんぷんなどが挙げられる。なかでも、比較的安価で生体適合性に優れるという理由から、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、アルコキシシリル基含有ポリマーが好適である。 Examples of the form of the hydroxyl group that chemically bonds with the silicone body include Si-OH, which forms a Si-O-Si bond with the silicone body, and C-OH, which forms a Si-O-C bond. It is desirable that the hydrophilic polymer has either or both of these. From the viewpoint of increasing the number of bonding sites with the silicone body and suppressing the hydrophilic structure from penetrating into the interior due to rotation of the molecular skeleton of the silicone, hydrophilic polymers have two or more hydroxyl groups that chemically bond with the silicone body. It is desirable to have one. Suitable hydrophilic polymers include polyvinyl alcohol, partially saponified polyvinyl acetate, vinyl alcohol-sodium acrylate copolymer, vinyl alcohol-sodium methacrylate copolymer, partially cross-linked sodium polyacrylate, polyethylene glycol, polyethylene glycol derivatives, alkoxysilyl Examples include group-containing polymers, cellulose, hydroxyethylcellulose, hydroxypropylcellulose, carboxymethylcellulose, starch, and the like. Among these, polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, and alkoxysilyl group-containing polymers are preferred because they are relatively inexpensive and have excellent biocompatibility.

本発明のシリコーン部材においては、親水層の親水性が長時間持続する。例えば、親水層が形成された後、水の接触角が60°以下の状態が24時間以上維持されることが望ましい。48時間、72時間、さらには恒久的に維持されるとより好適である。本発明においては、水の接触角として、JIS R3257:1999に準じて測定された値を採用する。 In the silicone member of the present invention, the hydrophilicity of the hydrophilic layer lasts for a long time. For example, after the hydrophilic layer is formed, it is desirable that the contact angle of water is maintained at 60° or less for 24 hours or more. It is more preferable to maintain the temperature for 48 hours, 72 hours, or even permanently. In the present invention, a value measured according to JIS R3257:1999 is employed as the contact angle of water.

微細な構造を有する収容部に適用しても流体の流れを阻害しにくく、シリコーン本体の透明性を阻害しにくいという観点から、親水層の厚さは1μm未満であることが望ましい。0.5μm以下であるとより好適である。 The thickness of the hydrophilic layer is desirably less than 1 μm from the viewpoint that even when applied to a containing part having a fine structure, the fluid flow is not easily inhibited and the transparency of the silicone body is not easily inhibited. More preferably, it is 0.5 μm or less.

所望の光透過性を確保するという観点から、収容部の可視光線透過率は80%以上であることが望ましい。85%以上であるとより好適である。本発明においては、可視光線透過率として、JIS A5759:2016に準じ、(株)島津製作所製の分光光度計「UV3100PC」により波長380~780nmの透過スペクトルを測定して計算された値を採用する。また、収容部に光を照射して、極めて弱い発光を観察する光学検査などに使用する場合には、波長が280nm以上600nm以下の励起光が照射された場合における収容部の自家蛍光の強度は、20以下であることが望ましい。10以下であるとより好適である。本発明においては、自家蛍光の強度として、(株)日立ハイテクノロジーズ製の分光蛍光光度計「F-7000SP」により、波長280nm以上600nm以下の励起光を照射して、検出された波長300nm以上900nmの蛍光強度を採用する。シリコーン本体への追従性を高めて密着力を向上させるという観点から、親水層が形成されている部分で測定されるタイプAデュロメータ硬さは、A20以上A80以下であることが望ましい。本発明においては、タイプAデュロメータ硬さとして、JIS K6253-3:2012に準じて測定された値を採用する。 From the viewpoint of ensuring desired light transmittance, it is desirable that the visible light transmittance of the accommodating portion be 80% or more. More preferably, it is 85% or more. In the present invention, as the visible light transmittance, a value calculated by measuring the transmission spectrum in the wavelength range of 380 to 780 nm with a spectrophotometer "UV3100PC" manufactured by Shimadzu Corporation is adopted in accordance with JIS A5759:2016. . In addition, when used for optical inspection etc. in which the housing part is irradiated with light and extremely weak luminescence is observed, the intensity of the autofluorescence of the housing part when irradiated with excitation light with a wavelength of 280 nm or more and 600 nm or less is , 20 or less. More preferably, it is 10 or less. In the present invention, the intensity of autofluorescence is determined by irradiating excitation light with a wavelength of 280 nm or more and 600 nm or less using a spectrofluorometer "F-7000SP" manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, and detecting a wavelength of 300 nm or more and 900 nm. The fluorescence intensity of From the viewpoint of increasing followability to the silicone body and improving adhesion, it is desirable that the type A durometer hardness measured at the portion where the hydrophilic layer is formed is A20 or more and A80 or less. In the present invention, a value measured according to JIS K6253-3:2012 is used as the type A durometer hardness.

[シリコーン部材の製造方法]
本発明のシリコーン部材の製造方法は、特に限定されない。例えば、シリコーン本体の収容部の表面を改質処理するなどして当該表面に水酸基を付与した後、親水性ポリマーを有するポリマー溶液を接触させて、親水層を形成すればよい。収容部にポリマー溶液を接触させるには、収容部にポリマー溶液を塗布したり、流したり、収容部を含む面をポリマー溶液に浸漬すればよい。この場合、ポリマー溶液をシリコーン本体に若干含浸させると、形成される親水層の密着性を高めることができる。
[Method for manufacturing silicone members]
The method for manufacturing the silicone member of the present invention is not particularly limited. For example, a hydrophilic layer may be formed by modifying the surface of the accommodating portion of the silicone main body to impart hydroxyl groups to the surface, and then contacting the surface with a polymer solution containing a hydrophilic polymer. In order to bring the polymer solution into contact with the accommodating part, the polymer solution may be applied or poured onto the accommodating part, or the surface including the accommodating part may be immersed in the polymer solution. In this case, if the silicone body is slightly impregnated with the polymer solution, the adhesion of the formed hydrophilic layer can be improved.

上記第二実施形態のように、二つのシリコーン部材を接合してマイクロデバイスを構成する場合、接着性に乏しい親水性ポリマーからなる親水層がシリコーン本体の一面に形成されると、シリコーン部材同士の接合が難しくなる。二つのシリコーン部材を接合するために、接着剤などを使用することも可能であるが、収容部を封止するためには収容部との境界まで接着剤を塗布しなければならず、収容部が接着剤により汚染されるおそれがある。よって、接着性に乏しい親水性ポリマーから親水層を形成する場合には、接合部には親水層を形成せず、収容部にのみ親水層を形成することが望ましい。他方、接着性に問題がない親水性ポリマーから親水層を形成する場合には、収容部以外の領域に親水層を形成しても、接合性が阻害されにくい。収容部を含むシリコーン本体の一面に親水層を形成する製造方法の一例として、以下に本発明のシリコーン部材の製造方法を説明する。本発明のシリコーン部材の製造方法は、改質処理工程と、親水層形成工程と、を有する。 As in the second embodiment, when two silicone members are bonded to form a microdevice, if a hydrophilic layer made of a hydrophilic polymer with poor adhesiveness is formed on one surface of the silicone body, the silicone members may Joining becomes difficult. It is also possible to use adhesive or the like to join two silicone members, but in order to seal the housing part, the adhesive must be applied to the boundary with the housing part. may be contaminated by adhesive. Therefore, when forming a hydrophilic layer from a hydrophilic polymer with poor adhesiveness, it is desirable not to form the hydrophilic layer on the joint portion, but to form the hydrophilic layer only on the accommodating portion. On the other hand, in the case where the hydrophilic layer is formed from a hydrophilic polymer that has no problems with adhesion, bondability is unlikely to be inhibited even if the hydrophilic layer is formed in a region other than the accommodating part. A method for manufacturing a silicone member of the present invention will be described below as an example of a method for manufacturing a hydrophilic layer on one surface of a silicone body including a housing portion. The method for manufacturing a silicone member of the present invention includes a modification treatment step and a hydrophilic layer formation step.

(1)改質処理工程
本工程においては、収容部を有するまたは区画形成する側のシリコーン本体の一面を改質処理して、該一面に水酸基を付与する。改質処理は、大気圧下または真空下におけるプラズマ照射、エキシマ光照射、紫外線照射、シランカップリング剤の塗布などにより行えばよい。プラズマ照射を採用する場合、プラズマの発生方法は、特に限定されない。例えば、高周波(RF)電源を用いたRFプラズマや、マイクロ波電源を用いたマイクロ波プラズマなどを採用すればよい。プラズマ照射は、アルゴンなどの希ガス雰囲気中、または酸素を含むガス雰囲気中で行うとよい。
(1) Modification treatment step In this step, one surface of the silicone main body on the side that has the accommodation portion or forms the partition is subjected to modification treatment to impart hydroxyl groups to the one surface. The modification treatment may be performed by plasma irradiation, excimer light irradiation, ultraviolet irradiation, application of a silane coupling agent, etc. under atmospheric pressure or vacuum. When employing plasma irradiation, the method of generating plasma is not particularly limited. For example, RF plasma using a radio frequency (RF) power source, microwave plasma using a microwave power source, etc. may be used. Plasma irradiation is preferably performed in a rare gas atmosphere such as argon or in a gas atmosphere containing oxygen.

(2)親水層形成工程
本工程においては、改質処理された一面に親水性ポリマーを有するポリマー溶液を接触させて、シリコーン本体の水酸基と親水性ポリマーの水酸基とを化学結合させることにより、収容部を含む該一面に親水層を形成する。親水性ポリマーについては、前述したとおりである。ポリマー溶液の溶媒は、親水性ポリマーに応じて適宜選択すればよい。シリコーン本体への染み込みを抑制し、シリコーン本体の膨潤を抑制するという観点から、水、アルコールなどが好適である。ポリマー溶液の粘度は、特に限定されないが、薄膜状の親水層を形成するという観点から、0.01Pa・s以上20Pa・s以下であるとよい。シリコーン本体の一面にポリマー溶液を接触させるには、一面にポリマー溶液を塗布したり、流したり、一面またはシリコーン本体全体をポリマー溶液に浸漬すればよい。ポリマー溶液を接触させた後、乾燥処理を行うことにより、シリコーン本体の水酸基と親水性ポリマーの水酸基とが化学結合する。乾燥処理は、ポリマー溶液の溶媒に応じて、温度、時間などを適宜調整すればよい。
(2) Hydrophilic layer formation step In this step, a polymer solution containing a hydrophilic polymer is brought into contact with the modified surface to chemically bond the hydroxyl groups of the silicone body and the hydroxyl groups of the hydrophilic polymer. A hydrophilic layer is formed on the one surface including the part. The hydrophilic polymer is as described above. The solvent for the polymer solution may be appropriately selected depending on the hydrophilic polymer. From the viewpoint of suppressing seepage into the silicone body and suppressing swelling of the silicone body, water, alcohol, etc. are suitable. The viscosity of the polymer solution is not particularly limited, but from the viewpoint of forming a thin hydrophilic layer, it is preferably 0.01 Pa·s or more and 20 Pa·s or less. To bring the polymer solution into contact with one side of the silicone body, the polymer solution may be applied to one side, flowed, or one side or the entire silicone body may be immersed in the polymer solution. After contacting with the polymer solution, a drying process is performed to chemically bond the hydroxyl groups of the silicone body and the hydroxyl groups of the hydrophilic polymer. In the drying process, the temperature, time, etc. may be adjusted as appropriate depending on the solvent of the polymer solution.

次に、実施例を挙げて本発明をより具体的に説明する。種々の親水化処理が施されたシリコーン部材の試験片を製造し、親水性の持続性などを評価した。 Next, the present invention will be described in more detail with reference to Examples. Test pieces of silicone members that had been subjected to various hydrophilic treatments were manufactured, and the durability of hydrophilicity was evaluated.

<試験片の製造>
[実施例1]
まず、シリコーンゴム製の板状の試験片の上面全体を改質処理して、試験片の上面に水酸基を付与した。改質処理としては、真空下でマイクロ波プラズマを照射する真空マイクロ波プラズマ処理を行った。真空マイクロ波プラズマ処理は、アルゴンガス60cc/minおよび酸素ガス300cc/min、圧力52Paの雰囲気にて、マイクロ波の周波数を2.45GHz、出力電力を1.2kWとして行った。処理時間は2秒間とした。次に、改質処理後の試験片を、アルコキシシリル基含有ポリマーの水溶液(大阪有機化学工業(株)製「LAMBIC-771W」、粘度10mPa・s)に浸漬した後引き上げて、100℃下で15分間乾燥することにより、上面にアルコキシシリル基含有ポリマーからなる厚さ100nmの親水層を形成した。このようにして得られた試験片を実施例1の試験片と称す。
<Manufacture of test piece>
[Example 1]
First, the entire upper surface of a silicone rubber plate-shaped specimen was subjected to a modification treatment to impart hydroxyl groups to the upper surface of the specimen. As the modification treatment, vacuum microwave plasma treatment was performed in which microwave plasma was irradiated under vacuum. The vacuum microwave plasma treatment was performed in an atmosphere of 60 cc/min of argon gas and 300 cc/min of oxygen gas and a pressure of 52 Pa, with a microwave frequency of 2.45 GHz and an output power of 1.2 kW. The processing time was 2 seconds. Next, the test piece after the modification treatment was immersed in an aqueous solution of an alkoxysilyl group-containing polymer (“LAMBIC-771W” manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd., viscosity 10 mPa・s), pulled out, and heated at 100°C. By drying for 15 minutes, a 100 nm thick hydrophilic layer made of an alkoxysilyl group-containing polymer was formed on the upper surface. The test piece thus obtained is referred to as the test piece of Example 1.

[実施例2]
実施例1と同様に改質処理した試験片を、PVA(質量平均分子量20000)の水溶液(粘度7Pa・s)に浸漬した後引き上げて、100℃下で15分間乾燥することにより、上面にPVAからなる厚さ100nmの親水層を形成した。PVA水溶液としては、純水100gにPVAを1g配合した水溶液を使用した。得られた試験片を実施例2の試験片と称す。
[Example 2]
A test piece modified in the same manner as in Example 1 was immersed in an aqueous solution (viscosity 7 Pa·s) of PVA (mass average molecular weight 20,000), pulled up, and dried at 100°C for 15 minutes to form PVA on the upper surface. A hydrophilic layer with a thickness of 100 nm was formed. As the PVA aqueous solution, an aqueous solution containing 1 g of PVA mixed with 100 g of pure water was used. The obtained test piece is referred to as the test piece of Example 2.

[実施例3]
実施例1と同様に改質処理した試験片を、ポリエチレングリコール(PEG:質量平均分子量6000)の水溶液(粘度7Pa・s)に浸漬した後引き上げて、100℃下で15分間乾燥することにより、上面にPEGからなる厚さ100nmの親水層を形成した。PEG水溶液としては、純水100gにPEGを1g配合した水溶液を使用した。得られた試験片を実施例3の試験片と称す。
[Example 3]
A test piece modified in the same manner as in Example 1 was immersed in an aqueous solution (viscosity 7 Pa s) of polyethylene glycol (PEG: mass average molecular weight 6000), then pulled up and dried at 100°C for 15 minutes. A 100 nm thick hydrophilic layer made of PEG was formed on the top surface. As the PEG aqueous solution, an aqueous solution containing 1 g of PEG in 100 g of pure water was used. The obtained test piece is referred to as the test piece of Example 3.

[実施例4]
実施例3において使用したPEG水溶液を、純水100gにPEGを5g配合した水溶液(粘度10Pa・s)に変更した点以外は、実施例3と同様にして試験片を製造した。得られた試験片を実施例4の試験片と称す。
[Example 4]
A test piece was produced in the same manner as in Example 3, except that the PEG aqueous solution used in Example 3 was changed to an aqueous solution (viscosity 10 Pa·s) containing 5 g of PEG in 100 g of pure water. The obtained test piece is referred to as the test piece of Example 4.

[比較例1]
親水層を形成する前に、試験片の上面を改質処理しなかった点以外は、実施例1と同様にして試験片を製造した。得られた試験片を比較例1の試験片と称す。
[Comparative example 1]
A test piece was produced in the same manner as in Example 1, except that the upper surface of the test piece was not modified before forming the hydrophilic layer. The obtained test piece is referred to as a test piece of Comparative Example 1.

[比較例2]
親水層を形成する前に、試験片の上面を改質処理しなかった点以外は、実施例2と同様にして試験片を製造した。得られた試験片を比較例2の試験片と称す。
[Comparative example 2]
A test piece was produced in the same manner as in Example 2, except that the upper surface of the test piece was not modified before forming the hydrophilic layer. The obtained test piece is referred to as a test piece of Comparative Example 2.

[比較例3]
何も処理しないシリコーンゴム製の試験片を、比較例3の試験片と称す。
[Comparative example 3]
A test piece made of silicone rubber that was not treated with anything was referred to as a test piece of Comparative Example 3.

[比較例4]
シリコーンゴム製の試験片の上面に、セン特殊光源(株)製の紫外線洗浄改質装置により、紫外線を1mmの照射距離で300秒間照射して、親水化処理を行った。得られた試験片を比較例4の試験片と称す。
[Comparative example 4]
The upper surface of the silicone rubber test piece was subjected to hydrophilic treatment by irradiating ultraviolet rays at an irradiation distance of 1 mm for 300 seconds using an ultraviolet cleaning and reforming device manufactured by Sen Tokushu Light Source Co., Ltd. The obtained test piece is referred to as a test piece of Comparative Example 4.

[比較例5]
シリコーンゴム製の試験片の上面に、浜松ホトニクス(株)製のエキシマランプ光源「EX-mini」により、エキシマ光を1mmの照射距離で120秒間照射して、親水化処理を行った。得られた試験片を比較例5の試験片と称す。
[Comparative example 5]
The top surface of the silicone rubber test piece was subjected to hydrophilic treatment by irradiating excimer light with an excimer lamp light source "EX-mini" manufactured by Hamamatsu Photonics Co., Ltd. at an irradiation distance of 1 mm for 120 seconds. The obtained test piece is referred to as a test piece of Comparative Example 5.

[比較例6]
シリコーンゴム製の試験片の上面に、真空下でマイクロ波プラズマを照射して、親水化処理を行った。真空マイクロ波プラズマ処理は、アルゴンガス90cc/minおよび酸素ガス90cc/min、圧力6Paの雰囲気にて、マイクロ波の周波数を2.45GHz、出力電力を0.75kWとして行った。処理時間は2秒間とした。得られた試験片を比較例6の試験片と称す。
[Comparative example 6]
The upper surface of a silicone rubber test piece was irradiated with microwave plasma under vacuum to perform a hydrophilic treatment. The vacuum microwave plasma treatment was performed in an atmosphere of 90 cc/min of argon gas and 90 cc/min of oxygen gas and a pressure of 6 Pa, with a microwave frequency of 2.45 GHz and an output power of 0.75 kW. The processing time was 2 seconds. The obtained test piece is referred to as a test piece of Comparative Example 6.

[比較例7]
シリコーンゴム製の試験片の上面に、プラズマCVD法によりヘキサメチルジシロキサン(HMDSO)膜を成膜して、親水化処理を行った。プラズマ処理は、酸素ガス180cc/minおよびHMDSOガス12cc/min、圧力6.4Paの雰囲気にて、マイクロ波の周波数を2.45GHz、出力電力を0.75kWとして行った。HMDSO膜の厚さは30nmとした。得られた試験片を比較例7の試験片と称す。
[Comparative Example 7]
A hexamethyldisiloxane (HMDSO) film was formed on the upper surface of a silicone rubber test piece by plasma CVD to perform a hydrophilic treatment. The plasma treatment was performed in an atmosphere of 180 cc/min of oxygen gas and 12 cc/min of HMDSO gas and a pressure of 6.4 Pa, with a microwave frequency of 2.45 GHz and an output power of 0.75 kW. The thickness of the HMDSO film was 30 nm. The obtained test piece is referred to as a test piece of Comparative Example 7.

<評価方法>
[親水性]
JIS R3257:1999に準じて水接触角を測定した。本実施例においては、温度25℃、湿度50%雰囲気にて、測定対象の表面に水を2μl滴下して、水が接触してから1分以内の水接触角を測定した。
<Evaluation method>
[Hydrophilicity]
Water contact angle was measured according to JIS R3257:1999. In this example, 2 μl of water was dropped onto the surface of the object to be measured in an atmosphere at a temperature of 25° C. and a humidity of 50%, and the water contact angle was measured within 1 minute after the water came into contact with the surface.

[光透過性]
JIS A5759:2016に準じ、(株)島津製作所製の分光光度計「UV3100PC」により透過スペクトルを測定し、試験片の可視光線透過率を計算した。
[Optical transparency]
According to JIS A5759:2016, the transmission spectrum was measured using a spectrophotometer "UV3100PC" manufactured by Shimadzu Corporation, and the visible light transmittance of the test piece was calculated.

[自家蛍光]
(株)日立ハイテクノロジーズ製の分光蛍光光度計「F-7000SP」により、波長280nm以上600nm以下の励起光を照射して検出光(蛍光)を測定し、波長300nm以上900nmの蛍光強度を自家蛍光の強度とした。
[Autofluorescence]
Using the spectrofluorometer "F-7000SP" manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation, the detection light (fluorescence) is measured by irradiating excitation light with a wavelength of 280 nm or more and 600 nm or less, and the fluorescence intensity with a wavelength of 300 nm or more and 900 nm is measured as autofluorescence. The strength of

[タイプAデュロメータ硬さ]
JIS K6253-3:2012に準じて、タイプAデュロメータ硬さを測定した。
[Type A durometer hardness]
Type A durometer hardness was measured according to JIS K6253-3:2012.

表1に、各試験片の評価結果を示す。図6に、実施例1および比較例1、7の試験片の水接触角の経時変化を示す。図7に、実施例2および比較例2の試験片の水接触角の経時変化を示す。図8に、実施例3、4の試験片の水接触角の経時変化を示す。図9に、比較例4~6の試験片の水接触角の経時変化を示す。参考までに、図6~図9のグラフには、比較例3(未処理)の試験片の水接触角を経過時間0時間の値として示す。

Figure 0007399017000001
Table 1 shows the evaluation results of each test piece. FIG. 6 shows the change over time in the water contact angle of the test pieces of Example 1 and Comparative Examples 1 and 7. FIG. 7 shows changes over time in the water contact angle of the test pieces of Example 2 and Comparative Example 2. FIG. 8 shows the change over time in the water contact angle of the test pieces of Examples 3 and 4. FIG. 9 shows the changes over time in the water contact angle of the test pieces of Comparative Examples 4 to 6. For reference, the graphs in FIGS. 6 to 9 show the water contact angle of the test piece of Comparative Example 3 (untreated) as the value at an elapsed time of 0 hours.
Figure 0007399017000001

表1および図6~図8に示すように、改質処理後に親水層を形成した実施例1~4の試験片においては、親水層を形成してから24時間後は勿論、168時間(7日間)経過しても、水接触角は60°以下であり、親水性が維持されていた。特に、実施例1、2、4の試験片は親水性に優れており、親水層を形成してから7日間の水接触角を比較すると、実施例1の試験片は15以下、実施例2、4の試験片は30以下であった。実施例1~4の試験片においては、可視光線透過率が87%以上であり、親水層は光透過性に優れることが確認された。また、自家蛍光も弱いことが確認された。さらに、実施例1~4の試験片においては、タイプAデュロメータの値が比較的小さいことから、親水層は比較的柔軟であることが確認された。これに対して、改質処理を行わずに親水層を形成した比較例1の試験片においては、親水層を形成してから24時間後には水接触角が60°を超えてしまい、比較例2の試験片においては、親水層を形成した直後から水接触角が60°より大きくなった。これらにおいては、シリコーンゴム側に水酸基が無いため、親水性ポリマーが化学結合されず、親水性が持続しなかったと考えられる。また、HMDSO膜を形成した比較例7の試験片においても、親水層を形成した後すぐに、水接触角が60°より大きくなった(図6参照)。また、表1および図9に示すように、従来の親水化処理を施した比較例4~6の試験片においては、いずれも親水性の持続時間が短いことがわかる。 As shown in Table 1 and FIGS. 6 to 8, in the test pieces of Examples 1 to 4 in which a hydrophilic layer was formed after the modification treatment, not only 24 hours after the formation of the hydrophilic layer but also 168 hours (7 Even after several days), the water contact angle was 60° or less, and hydrophilicity was maintained. In particular, the test pieces of Examples 1, 2, and 4 were excellent in hydrophilicity, and when comparing the water contact angles for 7 days after forming the hydrophilic layer, the test pieces of Example 1 were 15 or less, and the water contact angles of Example 2 were 15 or less. , 4 test pieces had a score of 30 or less. In the test pieces of Examples 1 to 4, the visible light transmittance was 87% or more, and it was confirmed that the hydrophilic layer had excellent light transmittance. It was also confirmed that autofluorescence was weak. Furthermore, in the test pieces of Examples 1 to 4, the Type A durometer values were relatively small, which confirmed that the hydrophilic layer was relatively flexible. On the other hand, in the test piece of Comparative Example 1 in which a hydrophilic layer was formed without any modification treatment, the water contact angle exceeded 60° 24 hours after the formation of the hydrophilic layer. In the test piece No. 2, the water contact angle became larger than 60° immediately after forming the hydrophilic layer. It is thought that in these cases, since there was no hydroxyl group on the silicone rubber side, the hydrophilic polymer was not chemically bonded and the hydrophilicity did not last. Also, in the test piece of Comparative Example 7 in which the HMDSO film was formed, the water contact angle became larger than 60° immediately after forming the hydrophilic layer (see FIG. 6). Further, as shown in Table 1 and FIG. 9, it can be seen that the duration of hydrophilicity is short in all of the test pieces of Comparative Examples 4 to 6 that were subjected to conventional hydrophilic treatment.

10:シリコーン部材、11:収容部、12:溝部、13a、13b:孔部、14:シリコーン本体、15:親水層、20:マイクロデバイス、30:第一シリコーン部材、31:収容部、32:溝部、33a、33b:孔部、34:シリコーン本体、35:親水層、40:第二シリコーン部材、41、42:孔部、43:収容部、44:シリコーン本体、45:親水層、50:シリコーン部材、51:ウエル(収容部)。 10: Silicone member, 11: Accommodating part, 12: Groove, 13a, 13b: Hole, 14: Silicone body, 15: Hydrophilic layer, 20: Micro device, 30: First silicone member, 31: Accommodating part, 32: Groove, 33a, 33b: Hole, 34: Silicone main body, 35: Hydrophilic layer, 40: Second silicone member, 41, 42: Hole, 43: Accommodating part, 44: Silicone main body, 45: Hydrophilic layer, 50: Silicone member, 51: Well (accommodating part).

Claims (12)

マイクロデバイスとして用いられ、試料が収容される収容部を有する、または相手部材との組み合わせにより該収容部を区画形成するシリコーン部材であって、
該収容部は、シリコーン本体と該シリコーン本体の表面に配置される親水層とを有し、
該親水層は、親水性構造と、該シリコーン本体と化学結合する二つ以上の水酸基と、を有する親水性ポリマーからなり、
該親水性ポリマーの質量平均分子量は5000以上であり、
該親水性構造は水酸基、ポリエーテル構造、およびカルボキシル基から選ばれる一種以上であり、
該シリコーン本体と化学結合する水酸基は、該シリコーン本体とSi-O-Si結合を生成するSi-OH、および該シリコーン本体とSi-O-C結合を生成するC-OHの少なくとも一方であり、該親水層は該水酸基による化学結合により該シリコーン本体に固定されていることを特徴とするシリコーン部材。
A silicone member that is used as a microdevice and has a housing section in which a sample is housed, or that partitions the housing section by combining with a mating member,
The accommodating portion has a silicone body and a hydrophilic layer disposed on the surface of the silicone body,
The hydrophilic layer is made of a hydrophilic polymer having a hydrophilic structure and two or more hydroxyl groups chemically bonded to the silicone body,
The weight average molecular weight of the hydrophilic polymer is 5000 or more,
The hydrophilic structure is one or more selected from a hydroxyl group, a polyether structure, and a carboxyl group,
The hydroxyl group that chemically bonds with the silicone body is at least one of Si-OH that forms a Si-O-Si bond with the silicone body, and C-OH that forms a Si-O-C bond with the silicone body, A silicone member characterized in that the hydrophilic layer is fixed to the silicone body by chemical bonding by the hydroxyl groups.
前記親水層の厚さは1μm未満である請求項1に記載のシリコーン部材。 The silicone member according to claim 1, wherein the thickness of the hydrophilic layer is less than 1 μm. 前記収容部の深さは、100μm以下である請求項1または請求項2に記載のシリコーン部材。 The silicone member according to claim 1 or 2, wherein the depth of the accommodating portion is 100 μm or less. 前記収容部は、溝状の流路を有し、
該流路の幅は、100μm以下である請求項1ないし請求項3のいずれかに記載のシリコーン部材。
The accommodating portion has a groove-like flow path,
The silicone member according to any one of claims 1 to 3, wherein the width of the channel is 100 μm or less.
前記収容部の可視光線透過率は、80%以上である請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のシリコーン部材。 The silicone member according to any one of claims 1 to 4, wherein the visible light transmittance of the accommodating portion is 80% or more. 波長が280nm以上600nm以下の励起光が照射された場合における前記収容部の自家蛍光の強度は、20以下である請求項1ないし請求項5のいずれかに記載のシリコーン部材。 The silicone member according to any one of claims 1 to 5, wherein the intensity of autofluorescence of the housing section is 20 or less when irradiated with excitation light having a wavelength of 280 nm or more and 600 nm or less. 前記親水層が形成されている部分で測定されるタイプAデュロメータ硬さは、A20以上A80以下である請求項1ないし請求項6のいずれかに記載のシリコーン部材。 7. The silicone member according to claim 1, wherein the type A durometer hardness measured at the portion where the hydrophilic layer is formed is A20 or more and A80 or less. 前記親水性ポリマーは、ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコール、ポリエチレングリコール誘導体、セルロース、カルボキシメチルセルロース、および部分架橋ポリアクリル酸ナトリウムから選ばれる一種以上である請求項1ないし請求項7のいずれかに記載のシリコーン部材。 The silicone member according to any one of claims 1 to 7, wherein the hydrophilic polymer is one or more selected from polyvinyl alcohol, polyethylene glycol, polyethylene glycol derivatives, cellulose, carboxymethyl cellulose, and partially crosslinked sodium polyacrylate. . 前記親水層においては、水の接触角が60°以下の状態が24時間以上維持される請求項1ないし請求項8のいずれかに記載のシリコーン部材。 9. The silicone member according to claim 1, wherein the hydrophilic layer maintains a water contact angle of 60° or less for 24 hours or more. 請求項1ないし請求項9のいずれかに記載のシリコーン部材の製造方法であって、
前記収容部を有するまたは区画形成する側のシリコーン本体の一面を改質処理して、該一面に水酸基を付与する改質処理工程と、
該一面に前記親水性ポリマーを有するポリマー溶液を接触させて、該シリコーン本体の該水酸基と該親水性ポリマーの前記水酸基とを化学結合させることにより、該一面に前記親水層を形成する親水層形成工程と、
を有することを特徴とするシリコーン部材の製造方法。
A method for manufacturing a silicone member according to any one of claims 1 to 9 , comprising:
a modification treatment step of modifying one side of the silicone body on the side that has the accommodation portion or forms the partition, and imparting hydroxyl groups to the one side;
Forming a hydrophilic layer by contacting the one surface with a polymer solution containing the hydrophilic polymer to chemically bond the hydroxyl groups of the silicone body and the hydroxyl groups of the hydrophilic polymer to form the hydrophilic layer on the one surface. process and
A method for manufacturing a silicone member, comprising:
前記ポリマー溶液の粘度は、0.01Pa・s以上20Pa・s以下である請求項10に記載のシリコーン部材の製造方法。 The method for manufacturing a silicone member according to claim 10 , wherein the viscosity of the polymer solution is 0.01 Pa·s or more and 20 Pa·s or less. 前記ポリマー溶液の溶媒は、水またはアルコールである請求項10または請求項11に記載のシリコーン部材の製造方法。 The method for manufacturing a silicone member according to claim 10 or 11 , wherein the solvent of the polymer solution is water or alcohol.
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