JP7395691B1 - Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device - Google Patents

Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device Download PDF

Info

Publication number
JP7395691B1
JP7395691B1 JP2022170053A JP2022170053A JP7395691B1 JP 7395691 B1 JP7395691 B1 JP 7395691B1 JP 2022170053 A JP2022170053 A JP 2022170053A JP 2022170053 A JP2022170053 A JP 2022170053A JP 7395691 B1 JP7395691 B1 JP 7395691B1
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
solvent
nozzle
tank
compressed air
solvent tank
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2022170053A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2024062201A (en
Inventor
孝典 森光
和也 岩村
賢哲 ▲徳▼永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rix Corp
Original Assignee
Rix Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rix Corp filed Critical Rix Corp
Priority to JP2022170053A priority Critical patent/JP7395691B1/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7395691B1 publication Critical patent/JP7395691B1/en
Publication of JP2024062201A publication Critical patent/JP2024062201A/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Cleaning In General (AREA)
  • Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)

Abstract

【課題】壁面に付着する付着物を固化前に除去し、壁面での付着固化を防止する。【解決手段】スラリを回収する回収タンク11の内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置1であって、回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aに向かって噴射するノズル2A,2Bと、所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンク3A,3Bと、溶媒タンク3A,3Bの上部とノズル2A,2Bとを接続する配管6A,6Bと、溶媒タンク3A,3Bの下部に圧縮エアを供給するエア供給部4であり、圧縮エアの供給の初期においては溶媒タンク3A,3B内の溶媒をノズル2A,2Bから噴射させ、中期においては溶媒タンク3A,3B内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴をノズル2A,2Bから噴射させ、溶媒タンク3A,3B内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアをノズル2A,2Bから噴射させるように圧縮エアの圧力が設定されるエア供給部4とを含む。【選択図】図1An object of the present invention is to remove deposits that adhere to a wall surface before they solidify, thereby preventing the deposits from adhering to the wall surface and solidifying. SOLUTION: A deposit removal device 1 removes deposits adhering to the inner wall surface of a recovery tank 11 for collecting slurry; 2B, solvent tanks 3A, 3B filled with a predetermined amount of solvent, pipes 6A, 6B connecting the upper parts of the solvent tanks 3A, 3B and the nozzles 2A, 2B, and the lower parts of the solvent tanks 3A, 3B. This is an air supply unit 4 that supplies compressed air, and at the beginning of compressed air supply, the solvent in the solvent tanks 3A, 3B is injected from the nozzles 2A, 2B, and in the middle stage, the solvent remaining in the solvent tanks 3A, 3B is sprayed. The pressure of the compressed air is set so that droplets containing a mixture of and compressed air are injected from the nozzles 2A and 2B, and at the final stage when the solvent in the solvent tanks 3A and 3B is used up, compressed air is injected from the nozzles 2A and 2B. and an air supply section 4. [Selection diagram] Figure 1

Description

本発明は、壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置および付着物除去方法ならびにスラリ回収装置に関する。 The present invention relates to a deposit removal device and a deposit removal method for removing deposits from a wall surface, and a slurry recovery device.

固体粒子を含む液体を気体流によって加速して流動状態の微小液滴とし、この微小液滴を衝突部に衝突させることにより、固体粒子を微細粒子に微粒化する装置として、例えば特許文献1に記載された微粒化装置がある。また、衝突部への衝突により微粒化が行われた後の微小液滴をスラリとして回収する装置として、例えば特許文献2に記載されたスラリ回収装置がある。 For example, Patent Document 1 describes a device that atomizes solid particles into fine particles by accelerating a liquid containing solid particles with a gas flow to form micro droplets in a fluid state and colliding the micro droplets with a collision part. There are atomization devices described. Further, as an apparatus for recovering micro droplets as slurry after being atomized by collision with a collision part, there is a slurry recovery apparatus described in Patent Document 2, for example.

図3は特許文献2に記載のスラリ回収装置を示す一部省略垂直断面図である。図3に示すように、スラリ回収装置100では、微粒化装置150において気体供給配管152を経由して気体流(空気流)を供給するとともに、液体供給配管151を経由して固体粒子を含む液体を供給すると、液体供給配管151を経由して供給される固体粒子を含む液体は、気体供給配管152を経由して供給される気体流によって加速され、流動状態の微小液滴となって微細化処理部153に送り込まれる。 FIG. 3 is a partially omitted vertical sectional view showing the slurry recovery device described in Patent Document 2. As shown in FIG. 3, in the slurry recovery device 100, a gas flow (air flow) is supplied to the atomization device 150 via a gas supply pipe 152, and a liquid containing solid particles is supplied via a liquid supply pipe 151. When supplied, the liquid containing solid particles supplied via the liquid supply pipe 151 is accelerated by the gas flow supplied via the gas supply pipe 152, and becomes micro droplets in a fluid state and becomes fine. It is sent to the processing section 153.

微細化処理部153においては、送り込まれた微小液滴を衝突部材155に衝突させることにより固体粒子が微細粒子に微粒化され、固体粒子を含む液体であるスラリがミスト状に交じり合った空気流S100となって気体流動空間154を経由してスラリ回収装置100の給気経路105へ供給される。給気経路105へ供給された空気流S100は、エルボ105bによって進行方向が90度曲げられ、チャンバ101の軸心101cとねじれの位置関係をなす方向へ吹き出し、チャンバ101の内周面101dに衝突するので、チャンバ101および回収部103の内部には軸心101cの周りを螺旋状に回転する旋回流が発生し、サイクロン効果が生じる。 In the atomization processing section 153, solid particles are atomized into fine particles by colliding the sent minute droplets with a collision member 155, and an air flow in which slurry, which is a liquid containing solid particles, is mixed in a mist form is created. S100 and is supplied to the air supply path 105 of the slurry recovery device 100 via the gas flow space 154. The air flow S100 supplied to the air supply path 105 is bent in its traveling direction by 90 degrees by the elbow 105b, blown out in a direction forming a torsional positional relationship with the axis 101c of the chamber 101, and collides with the inner circumferential surface 101d of the chamber 101. Therefore, a swirling flow that spirally rotates around the axis 101c is generated inside the chamber 101 and the recovery section 103, resulting in a cyclone effect.

このサイクロン効果により、空気流S100に含まれている固体粒子を含む液体であるスラリは遠心力でチャンバ101の内周面101dに接近する方向へ移動して内周面101dに付着した後、重力により内周面101dに沿って回収部103の内周面103dに向かって下降し、内周面103dに到達した後は内周面103dに沿って下降して排液管108に流れ込み、所定の回収容器(図示せず)に回収される。また、サイクロン効果により、チャンバ101内の軸心101c近傍の旋回流はスラリの含有量が著しく低下した状態となった後、排気経路104の下端開口部4bから排気経路104内へ吸い込まれ、排気経路104を経由して排気ユニット109へ流入する。 Due to this cyclone effect, the slurry, which is a liquid containing solid particles contained in the air flow S100, moves in a direction approaching the inner circumferential surface 101d of the chamber 101 due to centrifugal force and adheres to the inner circumferential surface 101d. The liquid then descends along the inner circumferential surface 101d toward the inner circumferential surface 103d of the collection part 103, and after reaching the inner circumferential surface 103d, it descends along the inner circumferential surface 103d and flows into the drain pipe 108, where it reaches a predetermined level. It is collected into a collection container (not shown). Further, due to the cyclone effect, the swirling flow near the axis 101c in the chamber 101 has a significantly reduced slurry content, and is then sucked into the exhaust path 104 from the lower end opening 4b of the exhaust path 104, and is exhausted. It flows into the exhaust unit 109 via the path 104.

また、スラリ回収装置100においては、チャンバ101の蓋体102の下面側にスプレー106が設けられ、チャンバ101の周壁101wにスプレー107が設けられている。チャンバ101内において、スプレー106,107を3秒~60秒の間隔で、1秒~2秒ずつ交互に運転させることにより、チャンバ101の内周面101dならびに回収部103の内周面103dに付着するスラリを速やかに排液管108に向かって流下させ、チャンバ101の内周面101dならびに回収部103の内周面103dへのスラリなどの付着を減らすことができるので、スラリ消失量を低減することができる。 Further, in the slurry recovery device 100, a spray 106 is provided on the lower surface side of the lid 102 of the chamber 101, and a spray 107 is provided on the peripheral wall 101w of the chamber 101. By operating the sprays 106 and 107 alternately for 1 to 2 seconds at intervals of 3 to 60 seconds in the chamber 101, the sprays adhere to the inner circumferential surface 101d of the chamber 101 and the inner circumferential surface 103d of the collection section 103. It is possible to quickly flow down the slurry toward the drain pipe 108 and reduce the amount of slurry attached to the inner circumferential surface 101d of the chamber 101 and the inner circumferential surface 103d of the recovery section 103, thereby reducing the amount of slurry lost. be able to.

特許第4447042号公報Patent No. 4447042 特許第7039666号公報Patent No. 7039666

ところで、スラリ回収装置10では、スラリをエアで噴射するので、スラリ中の溶媒は一定量気化し、スラリ固形分濃度を濃縮させる。一方、チャンバ101の内周面101dならびに回収部103の内周面103dの洗浄に使用する溶媒量は、スラリに混入するので、スラリ固形分濃度を希釈させる。スラリ回収装置10により回収するスラリは、品質維持のために固形分濃度を変えられないため、蒸発量と同量の溶媒量を洗浄に使用する。そこで、細かい微細液滴を散布して、壁面での固化を防止しているが、固形分濃度が高いスラリの場合は、壁面での付着固化が発生しやすいという問題がある。 By the way, in the slurry recovery device 10, since the slurry is injected with air, a certain amount of the solvent in the slurry is vaporized and the solid content concentration of the slurry is concentrated. On the other hand, the amount of solvent used to clean the inner circumferential surface 101d of the chamber 101 and the inner circumferential surface 103d of the recovery section 103 mixes into the slurry, and thus dilutes the solid content concentration of the slurry. Since the solid concentration of the slurry recovered by the slurry recovery device 10 cannot be changed in order to maintain quality, the same amount of solvent as the amount of evaporation is used for cleaning. Therefore, fine droplets are scattered to prevent solidification on the wall surface, but if the slurry has a high solid content concentration, there is a problem in that it tends to adhere and solidify on the wall surface.

そこで、本発明においては、壁面に付着する付着物を固化前に除去し、壁面での付着固化を防止することが可能な付着物除去装置および付着物除去方法ならびにスラリ回収装置を提供することを目的とする。 Therefore, in the present invention, it is an object of the present invention to provide a deposit removal device, a deposit removal method, and a slurry recovery device that can remove deposits that adhere to a wall surface before solidification and prevent the deposit from solidifying on the wall surface. purpose.

本発明の付着物除去装置は、スラリを回収する回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置であって、回収タンクの内壁面に向かって噴射するノズルと、所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンクと、溶媒タンクの上部とノズルとを接続する配管と、溶媒タンクの下部に圧縮エアを供給するエア供給部であり、圧縮エアの供給の初期においては溶媒タンク内の溶媒をノズルから噴射させ、中期においては溶媒タンク内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴をノズルから噴射させ、溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアをノズルから噴射させるように圧縮エアの圧力が設定されるエア供給部とを含むものである。 The deposit removal device of the present invention is a deposit removal device for removing deposits adhering to the inner wall surface of a recovery tank for collecting slurry, and includes a nozzle that sprays toward the inner wall surface of the recovery tank, and a predetermined solvent. The solvent tank is filled with a certain amount of solvent, the piping that connects the top of the solvent tank and the nozzle, and the air supply section that supplies compressed air to the bottom of the solvent tank. In the middle stage, droplets containing a mixture of the solvent remaining in the solvent tank and compressed air are injected from the nozzle, and in the final stage when the solvent in the solvent tank is used up, compressed air is jetted out from the nozzle. and an air supply section in which the pressure of compressed air is set so as to cause the air to be injected.

また、本発明の付着物除去方法は、スラリを回収する回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去方法であって、所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンクの下部に所定の圧力に設定された圧縮エアを供給することにより、圧縮エアの供給の初期においては溶媒タンク内の溶媒を、溶媒タンクの上部とノズルとを接続する配管を通じ、回収タンクの内壁面に向かってノズルから噴射させ、中期においては溶媒タンク内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴をノズルから噴射させ、溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアをノズルから噴射させることを特徴とする。 Further, the deposit removal method of the present invention is a deposit removal method for removing deposits adhering to the inner wall surface of a recovery tank for collecting slurry, the method comprising: removing deposits from the bottom of the solvent tank filled with a predetermined amount of solvent By supplying compressed air set to a prescribed pressure to In the middle stage, droplets containing a mixture of the solvent remaining in the solvent tank and compressed air are jetted from the nozzle, and in the final stage when the solvent in the solvent tank is used up, compressed air is jetted from the nozzle. It is characterized by

上記発明によれば、エア供給部から溶媒タンクの下部に所定の圧力の圧縮エアを供給することで、圧縮エアの供給の初期においては溶媒タンク内の溶媒がノズルから噴射されるので、この圧縮エアにより加圧噴射された溶媒により回収タンクの内壁面が洗浄される。次に、圧縮エアの供給の中期においては溶媒タンク内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴がノズルから噴射されるので、この溶媒と圧縮エアとの2流体が混在した高速の液滴により回収タンクの内壁面が洗浄される。そして、溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアがノズルから噴射されるので、回収タンクの内壁面がエアブローにより洗浄される。これにより、回収タンクの内壁面に付着する付着物が固化する前に除去される。 According to the above invention, by supplying compressed air at a predetermined pressure from the air supply section to the lower part of the solvent tank, the solvent in the solvent tank is injected from the nozzle at the beginning of the supply of compressed air. The inner wall surface of the recovery tank is cleaned by the solvent sprayed under pressure by air. Next, during the middle stage of compressed air supply, droplets containing a mixture of the solvent remaining in the solvent tank and compressed air are jetted from the nozzle, so the high-speed liquid containing the two fluids, solvent and compressed air, is The drops clean the inner wall of the collection tank. Then, at the final stage when the solvent in the solvent tank is exhausted, compressed air is injected from the nozzle, so that the inner wall surface of the recovery tank is cleaned by air blowing. Thereby, the deposits adhering to the inner wall surface of the recovery tank are removed before they solidify.

ここで、ノズルは、回収タンク内の上部に配設される第1ノズルと、回収タンク内の下部に配設される第2ノズルとを有し、溶媒タンクは、第1ノズルに供給される溶媒が充填される第1溶媒タンクと、第2ノズルに供給される溶媒が充填される第2溶媒タンクとを有し、配管は、第1溶媒タンクの上部と第1ノズルとを接続する第1配管と、第2溶媒タンクの上部と第2ノズルとを接続する第2配管とを有するものであることが望ましい。 Here, the nozzle includes a first nozzle disposed at the upper part of the recovery tank and a second nozzle disposed at the lower part of the recovery tank, and the solvent tank is supplied to the first nozzle. It has a first solvent tank filled with a solvent and a second solvent tank filled with a solvent to be supplied to the second nozzle, and the piping connects the upper part of the first solvent tank and the first nozzle. It is desirable to have one pipe and a second pipe connecting the upper part of the second solvent tank and the second nozzle.

これにより、エア供給部から第1溶媒タンクおよび第2溶媒タンクの下部に所定の圧力の圧縮エアをそれぞれ供給することで、圧縮エアの供給の初期においては第1溶媒タンクおよび第2溶媒タンク内の溶媒が、第1溶媒タンクおよび第2溶媒タンクの上部と第1ノズルおよび第2ノズルとをそれぞれ接続する第1配管および第2配管を通じ、回収タンクの内壁面に向かって第1ノズルおよび第2から噴射させ、中期においては第1溶媒タンクおよび第2溶媒タンク内にそれぞれ残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴を第1ノズルおよび第2ノズルからそれぞれ噴射させ、第1溶媒タンクおよび第2溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアを第1ノズルおよび第2ノズルからそれぞれ噴射させることができる。 As a result, by supplying compressed air at a predetermined pressure from the air supply unit to the lower portions of the first solvent tank and the second solvent tank, the air inside the first solvent tank and the second solvent tank is The solvent flows toward the inner wall surface of the recovery tank through the first piping and second piping that connect the upper parts of the first solvent tank and the second solvent tank with the first nozzle and the second nozzle, respectively. In the middle stage, droplets containing a mixture of solvent and compressed air remaining in the first solvent tank and the second solvent tank are injected from the first nozzle and the second nozzle, respectively. In the final stage when the solvent in the second solvent tank runs out, compressed air can be injected from the first nozzle and the second nozzle, respectively.

本発明の付着物除去装置は、溶媒タンクに所定量の溶媒を供給する溶媒供給部を含むことが望ましい。これにより、溶媒供給部から溶媒タンクに所定量の溶媒を供給して、上記のように回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去することができる。 It is preferable that the deposit removal device of the present invention includes a solvent supply unit that supplies a predetermined amount of solvent to the solvent tank. Thereby, a predetermined amount of solvent can be supplied from the solvent supply section to the solvent tank, and deposits adhering to the inner wall surface of the recovery tank can be removed as described above.

本発明によれば、エア供給部から溶媒タンクの下部に圧縮エアを供給することで、圧縮エアの供給の初期においては溶媒タンク内の溶媒をノズルから噴射させ、中期においては溶媒タンク内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴をノズルから噴射させ、溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアをノズルから噴射させることにより、回収タンクの内壁面に付着する付着物が固化する前に除去されるので、付着物の再凝集化が防止され、スラリの固形分濃度を維持することが可能となる。 According to the present invention, by supplying compressed air to the lower part of the solvent tank from the air supply section, the solvent in the solvent tank is injected from the nozzle at the beginning of the supply of compressed air, and the solvent remains in the solvent tank at the middle stage. Droplets containing a mixture of solvent and compressed air are injected from the nozzle, and at the end of the period when the solvent in the solvent tank is exhausted, compressed air is injected from the nozzle to solidify the deposits that adhere to the inner wall of the recovery tank. Since it is removed before the slurry is removed, it is possible to prevent the deposits from re-agglomerating and maintain the solid content concentration of the slurry.

本発明の実施の形態におけるスラリ回収装置に備えられた付着物除去装置の配管系統図である。It is a piping system diagram of the deposit removal device with which the slurry collection device in an embodiment of the present invention was equipped. 図1のスラリ回収装置の回収タンク周りの拡大図である。FIG. 2 is an enlarged view of the surroundings of a recovery tank of the slurry recovery device of FIG. 1. FIG. スラリ回収装置を示す一部省略垂直断面図である。FIG. 2 is a partially omitted vertical sectional view showing the slurry recovery device.

図1は本発明の実施の形態におけるスラリ回収装置に備えられる付着物除去装置の配管系統図、図2は図1のスラリ回収装置の回収タンク周りの拡大図である。 FIG. 1 is a piping system diagram of a deposit removal device provided in a slurry recovery device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is an enlarged view of the vicinity of a recovery tank of the slurry recovery device of FIG. 1.

図1に示すように、本発明の実施の形態におけるスラリ回収装置10に備えられる付着物除去装置1は、スラリ回収装置10の回収タンク11の内壁面12A,13A,14A(図2参照。)に向かって噴射する第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bと、溶媒が充填される第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bと、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bに圧縮エアを供給するエア供給部4と、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bに溶媒を供給する溶媒供給部5とを有する。 As shown in FIG. 1, the deposit removal device 1 included in the slurry recovery device 10 according to the embodiment of the present invention includes inner wall surfaces 12A, 13A, and 14A of the recovery tank 11 of the slurry recovery device 10 (see FIG. 2). Compressed air is supplied to the first nozzle 2A and second nozzle 2B that inject towards the solvent, the first solvent tank 3A and second solvent tank 3B filled with solvent, and the first solvent tank 3A and second solvent tank 3B. and a solvent supply section 5 that supplies the solvent to the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B.

スラリ回収装置10は、固体粒子を含む液体を気体流によって加速して流動状体の微小液滴とし、この微小液滴を衝突部に衝突させることにより、固体粒子を微細粒子に微粒化し、微粒化が行われた後の微小液滴をスラリとして回収タンク11に回収する。回収タンク11は、図2に示すように、上部のチャンバ12と、下部の回収部13と、チャンバ12の上端開口部を閉塞する蓋体14とから構成される。チャンバ12は、円筒形状をなし、その軸心12Cが直立した状態に保持されている。回収部13は、その内壁面13Aが下方に向かって連続的に縮径する漏斗状をなしている。 The slurry recovery device 10 accelerates a liquid containing solid particles with a gas flow to form micro droplets of a fluid, and collides the micro droplets with a collision part to atomize the solid particles into fine particles. The micro droplets after the oxidation are collected as slurry in a collection tank 11. As shown in FIG. 2, the recovery tank 11 includes an upper chamber 12, a lower recovery section 13, and a lid 14 that closes the upper opening of the chamber 12. The chamber 12 has a cylindrical shape, and its axis 12C is held upright. The collecting portion 13 has an inner wall surface 13A shaped like a funnel whose diameter continuously decreases downward.

第1ノズル2Aは、回収タンク11のチャンバ12内の上部に、その内壁面12Aに沿うように環状に配設されたチューブにより形成されている。第1ノズル2Aには、チャンバ12の内周面(内壁面12A)および蓋体14の下面(内壁面14A)に向かってそれぞれ噴射する噴射口2A-1,2A-2が軸心12C周りに45°間隔で複数設けられている。なお、噴射口2A-1,2A-2の噴射方向および間隔は適宜変更可能である。 The first nozzle 2A is formed of a tube arranged annularly in the upper part of the chamber 12 of the recovery tank 11 along the inner wall surface 12A thereof. The first nozzle 2A has injection ports 2A-1 and 2A-2 arranged around the axis 12C, which eject toward the inner circumferential surface (inner wall surface 12A) of the chamber 12 and the lower surface (inner wall surface 14A) of the lid 14, respectively. A plurality of them are provided at 45° intervals. Note that the injection direction and interval of the injection ports 2A-1 and 2A-2 can be changed as appropriate.

第2ノズル2Bは、回収タンク11のチャンバ12内の下部に、その内壁面12Aに沿うように環状に配設されたチューブにより形成されている。第2ノズル2Bには、下方すなわち、回収部13の内周面(内壁面13A)に向かって噴射する噴射口2B-1が軸心12C周りに45°間隔で複数設けられている。なお、噴射口2B-1の噴射方向および間隔は適宜変更可能である。 The second nozzle 2B is formed of a tube arranged in an annular shape at the lower part of the chamber 12 of the recovery tank 11 along the inner wall surface 12A thereof. The second nozzle 2B is provided with a plurality of injection ports 2B-1 arranged at 45° intervals around the axis 12C, which eject the liquid downwardly, that is, toward the inner circumferential surface (inner wall surface 13A) of the recovery section 13. Note that the injection direction and spacing of the injection ports 2B-1 can be changed as appropriate.

第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bには、所定の溶媒量の溶媒が充填される。充填される所定の溶媒量とは、回収タンク11内にスラリをエアで噴射した際に気化するスラリ中の溶媒の蒸発量と同量の溶媒量である。第1溶媒タンク3Aの上部と第1ノズル2Aとは第1配管6Aにより接続されている。第2溶媒タンク3Bの上部と第2ノズル2Bとは第2配管6Bにより接続されている。 The first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B are filled with a predetermined amount of solvent. The predetermined amount of solvent to be filled is the same amount of solvent as the amount of solvent in the slurry that evaporates when air is injected into the recovery tank 11 . The upper part of the first solvent tank 3A and the first nozzle 2A are connected by a first pipe 6A. The upper part of the second solvent tank 3B and the second nozzle 2B are connected by a second pipe 6B.

エア供給部4は、図示しない圧縮エア供給源に接続された減圧弁40と、減圧弁40に接続された圧力制御弁41と、圧力制御弁41に接続された第1電磁弁43と、第1電磁弁43に接続されたエアーフィルタ44とを備える。圧力制御弁41と第1電磁弁43とを接続する配管70の途中には圧力計42が設けられている。エアーフィルタ44に接続された配管71は、第1溶媒タンク3A側の配管71Aと第2溶媒タンク3B側の配管71Bとに分岐している。 The air supply unit 4 includes a pressure reducing valve 40 connected to a compressed air supply source (not shown), a pressure control valve 41 connected to the pressure reducing valve 40, a first electromagnetic valve 43 connected to the pressure control valve 41, and a first electromagnetic valve 43 connected to the pressure control valve 41. 1 and an air filter 44 connected to a solenoid valve 43. A pressure gauge 42 is provided in the middle of a pipe 70 that connects the pressure control valve 41 and the first electromagnetic valve 43. The pipe 71 connected to the air filter 44 branches into a pipe 71A on the first solvent tank 3A side and a pipe 71B on the second solvent tank 3B side.

配管71Aには第2電磁弁45Aが接続されている。第2電磁弁45Aは逆止弁46Aを介して第1溶媒タンク3Aの下部に接続されている。配管71Bには第3電磁弁45Bが接続されている。第3電磁弁45Bは逆止弁46Bを介して第2溶媒タンク3Bの下部に接続されている。 A second electromagnetic valve 45A is connected to the pipe 71A. The second electromagnetic valve 45A is connected to the lower part of the first solvent tank 3A via a check valve 46A. A third solenoid valve 45B is connected to the pipe 71B. The third electromagnetic valve 45B is connected to the lower part of the second solvent tank 3B via a check valve 46B.

エア供給部4は、減圧弁40、圧力制御弁41、第1電磁弁43、エアーフィルタ44、第2電磁弁45Aおよび逆止弁46A、並びに第3電磁弁45Bおよび逆止弁46B等を通じて、それぞれ第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bの下部に、減圧弁40により減圧され、圧力制御弁41により予め設定された圧力の圧縮エアを供給する。 The air supply unit 4 has a pressure reducing valve 40, a pressure control valve 41, a first solenoid valve 43, an air filter 44, a second solenoid valve 45A and a check valve 46A, a third solenoid valve 45B and a check valve 46B, etc. Compressed air having a pressure reduced by a pressure reducing valve 40 and set in advance by a pressure control valve 41 is supplied to the lower portions of the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B, respectively.

溶媒供給部5は、溶媒が収容された溶媒供給タンク50と、溶媒供給タンク50から配管80を通じて溶媒を圧送するポンプ51とを備える。ポンプ51に接続された配管81は、第1溶媒タンク3A側の配管82Aと第2溶媒タンク3B側の配管82Bとに分岐している。 The solvent supply unit 5 includes a solvent supply tank 50 containing a solvent, and a pump 51 that pumps the solvent from the solvent supply tank 50 through a pipe 80. A pipe 81 connected to the pump 51 is branched into a pipe 82A on the first solvent tank 3A side and a pipe 82B on the second solvent tank 3B side.

配管82Aには第4電磁弁52Aが接続されている。第4電磁弁52Aは逆止弁53Aを介して第1溶媒タンク3Aの下部に接続されている。配管82Bには第5電磁弁52Bが接続されている。第5電磁弁52Bは逆止弁53Bを介して第2溶媒タンク3Bの下部に接続されている。 A fourth electromagnetic valve 52A is connected to the pipe 82A. The fourth electromagnetic valve 52A is connected to the lower part of the first solvent tank 3A via a check valve 53A. A fifth solenoid valve 52B is connected to the pipe 82B. The fifth electromagnetic valve 52B is connected to the lower part of the second solvent tank 3B via a check valve 53B.

溶媒供給部5は、ポンプ51、第4電磁弁52Aおよび逆止弁53A、並びに第5電磁弁52Bおよび逆止弁53B等を通じて、それぞれ第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bに所定量の溶媒を供給する。第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bにそれぞれ供給する所定量の溶媒は、前述のように、回収タンク11内にスラリをエアで噴射した際に気化するスラリ中の溶媒の蒸発量と同量の溶媒量である。 The solvent supply unit 5 supplies a predetermined amount to the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B, respectively, through the pump 51, the fourth solenoid valve 52A, the check valve 53A, the fifth solenoid valve 52B, and the check valve 53B, etc. Supply solvent. As mentioned above, the predetermined amount of solvent supplied to the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is the same as the amount of solvent in the slurry that evaporates when the slurry is injected with air into the recovery tank 11. amount of solvent.

上記構成の付着物除去装置1では、まず、第4電磁弁52Aおよび第5電磁弁52Bを開き、ポンプ51を作動させて、所定量の溶媒をそれぞれ第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bに圧送する。これにより、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bにそれぞれ所定の溶媒量の溶媒が充填される。第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bに供給された溶媒は、逆止弁53A,53Bにより逆流が防止される。 In the deposit removing apparatus 1 having the above configuration, first, the fourth solenoid valve 52A and the fifth solenoid valve 52B are opened, the pump 51 is operated, and a predetermined amount of solvent is pumped into the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B, respectively. to be pumped to. As a result, the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B are each filled with a predetermined amount of solvent. The solvent supplied to the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is prevented from flowing back by check valves 53A and 53B.

次に、第1電磁弁43、第2電磁弁45Aおよび第3電磁弁45Bを開き、圧力制御弁41により所定の一定圧力に設定された圧縮エアを、それぞれ第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bの下部へ供給する。第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3Bに供給された圧縮エアは、逆止弁46A,46Bにより逆流が防止される。 Next, the first solenoid valve 43, the second solenoid valve 45A, and the third solenoid valve 45B are opened, and the compressed air set at a predetermined constant pressure by the pressure control valve 41 is supplied to the first solvent tank 3A and the second solvent tank, respectively. Supplied to the lower part of tank 3B. The compressed air supplied to the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is prevented from flowing back by check valves 46A and 46B.

これにより、圧縮エアの供給の初期においては、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内の溶媒が、それぞれ第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bから噴射される。このとき、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内の溶媒は、圧縮エアにより回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aに向かって加圧噴射され、内壁面12A,13A,14Aが洗浄される。 Thereby, in the initial stage of compressed air supply, the solvent in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is injected from the first nozzle 2A and the second nozzle 2B, respectively. At this time, the solvent in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is sprayed under pressure toward the inner wall surfaces 12A, 13A, 14A of the recovery tank 11 by compressed air, and the inner wall surfaces 12A, 13A, 14A are cleaned. be done.

次に、圧縮エアの供給の中期においては第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内に残った溶媒が圧縮エアと混在した状態で、それぞれ第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bから液滴として噴射される。この溶媒と圧縮エアとの2流体が混在した高速の液滴により回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aが洗浄される。 Next, during the middle stage of the supply of compressed air, the solvent remaining in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is mixed with the compressed air and forms droplets from the first nozzle 2A and second nozzle 2B, respectively. Injected. The inner wall surfaces 12A, 13A, and 14A of the recovery tank 11 are cleaned by the high-speed droplets in which the two fluids, the solvent and the compressed air, are mixed.

そして、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内の溶媒が無くなった終期においては、圧縮エアのみがそれぞれ第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bから噴射されるので、回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aがこのエアブローにより洗浄される。これにより、回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aに付着する付着物が固化する前に除去される。 In the final stage when the solvent in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is exhausted, only compressed air is injected from the first nozzle 2A and the second nozzle 2B, respectively, so that the inner wall surface 12A of the recovery tank 11 , 13A, and 14A are cleaned by this air blow. Thereby, deposits adhering to the inner wall surfaces 12A, 13A, and 14A of the recovery tank 11 are removed before they solidify.

このように、本実施形態における付着物除去装置1では、強い洗浄力を得るために、所定の圧力の圧縮エアによる溶媒噴射(工程1)、所定の圧力の圧縮エアと溶媒との2流体の液滴の高速噴射(工程2)、所定の圧力の圧縮エアによるエアブロー(工程3)の3工程を順に行う。 In this way, in the deposit removal device 1 of this embodiment, in order to obtain strong cleaning power, solvent injection using compressed air at a predetermined pressure (step 1), and two-fluid injection of compressed air at a predetermined pressure and a solvent are performed. Three steps are performed in sequence: high-speed jetting of droplets (step 2) and air blowing with compressed air at a predetermined pressure (step 3).

これにより、最初に工程1において主に大きな粒子の溶媒の液滴が噴射されて、付着した固形粉を濡らして内壁面12A,13A,14Aから浮き上がらせ、次に工程2において圧縮エアと溶媒の2流体ジェットで固形粉を含んだ液膜を吹き飛ばし、最後に工程3において圧縮エアが壁に残った液滴を吹き飛ばす3段階の洗浄を行うことになり、洗浄面である回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aの境界層を薄くして、スラリの固形粉を少ない溶媒量で除去することができる。 As a result, in step 1, mainly large particles of solvent are sprayed to wet the adhered solid powder and float it up from the inner wall surfaces 12A, 13A, 14A, and then in step 2, compressed air and solvent are sprayed. A three-step cleaning process is performed in which a two-fluid jet blows off the liquid film containing solid powder, and finally, in step 3, compressed air blows off the droplets remaining on the wall. By making the boundary layers 12A, 13A, and 14A thinner, the solid powder of the slurry can be removed with a smaller amount of solvent.

なお、上記3工程中、圧縮エアの圧力は一定圧力に設定されている。すなわち、圧縮エアの供給の初期においては第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内の溶媒をそれぞれ第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bから噴射させ、中期においては第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴を第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bから噴射させ、第1溶媒タンク3Aおよび第2溶媒タンク3B内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアを第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bから噴射させるように、圧縮エアの圧力が所定の一定圧力に設定される。 In addition, the pressure of compressed air is set at a constant pressure during the above three steps. That is, in the early stage of compressed air supply, the solvent in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is injected from the first nozzle 2A and the second nozzle 2B, respectively, and in the middle stage, the solvent in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is injected. Droplets containing a mixture of the solvent remaining in the solvent tank 3B and compressed air are injected from the first nozzle 2A and the second nozzle 2B, and at the final stage when the solvent in the first solvent tank 3A and the second solvent tank 3B is exhausted. The pressure of the compressed air is set to a predetermined constant pressure so that the compressed air is injected from the first nozzle 2A and the second nozzle 2B.

なお、本実施形態においては、第1電磁弁43、第2電磁弁45Aおよび第3電磁弁45Bを全て開くことで、第1ノズル2Aおよび第2ノズル2Bの両方から噴射する構成について説明しているが、必要に応じて第2電磁弁45Aまたは第3電磁弁45Bのいずれか一方のみを開いて噴射する構成とすることも可能である。また、溶媒タンクやノズルについては、任意に増減することも可能である。 In addition, in this embodiment, a configuration will be described in which the first solenoid valve 43, the second solenoid valve 45A, and the third solenoid valve 45B are all opened to inject from both the first nozzle 2A and the second nozzle 2B. However, it is also possible to open only one of the second solenoid valve 45A or the third solenoid valve 45B to inject, if necessary. Furthermore, the number of solvent tanks and nozzles can be increased or decreased as desired.

本発明は、壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置および付着物除去方法ならびにスラリ回収装置として有用であり、特に、壁面に付着する付着物を固化前に除去し、壁面での付着固化を防止することが可能な付着物除去装置および付着物除去方法ならびにスラリ回収装置として好適である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is useful as a deposit removal device and a deposit removal method for removing deposits adhering to a wall surface, and a slurry recovery device. It is suitable as a deposit removal device and a deposit removal method that can prevent solidification, and a slurry recovery device.

1 付着物除去装置
2A 第1ノズル
2B 第2ノズル
3A 第1溶媒タンク
3B 第2溶媒タンク
4 エア供給部
40 減圧弁
41 圧力制御弁
42 圧力計
43 第1電磁弁
44 エアーフィルタ
45A 第2電磁弁
45B 第3電磁弁
46A,46B 逆止弁
5 溶媒供給部
50 溶媒供給タンク
51 ポンプ
52A 第4電磁弁
52B 第5電磁弁
53A,53B 逆止弁
6A 第1配管
6B 第2配管
10 スラリ回収装置
11 回収タンク
12 チャンバ
13 回収部
14 蓋体
1 Deposit removal device 2A First nozzle 2B Second nozzle 3A First solvent tank 3B Second solvent tank 4 Air supply section 40 Pressure reducing valve 41 Pressure control valve 42 Pressure gauge 43 First solenoid valve 44 Air filter 45A Second solenoid valve 45B Third solenoid valve 46A, 46B Check valve 5 Solvent supply unit 50 Solvent supply tank 51 Pump 52A Fourth solenoid valve 52B Fifth solenoid valve 53A, 53B Check valve 6A First pipe 6B Second pipe 10 Slurry recovery device 11 Recovery tank 12 Chamber 13 Recovery section 14 Lid

Claims (5)

スラリを回収する回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置であって、
前記回収タンクの内壁面に向かって噴射するノズルと、
所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンクと、
前記溶媒タンクの上部と前記ノズルとを接続する配管と、
前記溶媒タンクの下部に圧縮エアを供給するエア供給部であり、前記圧縮エアの供給の初期においては前記溶媒タンク内の溶媒を前記ノズルから噴射させ、中期においては前記溶媒タンク内に残った溶媒と前記圧縮エアとが混在した液滴を前記ノズルから噴射させ、前記溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては前記圧縮エアを前記ノズルから噴射させるように前記圧縮エアの圧力が設定されるエア供給部と
を含む付着物除去装置。
A deposit removal device for removing deposits adhering to the inner wall surface of a recovery tank for collecting slurry,
a nozzle that injects toward the inner wall surface of the recovery tank;
a solvent tank filled with a predetermined amount of solvent;
piping connecting the upper part of the solvent tank and the nozzle;
An air supply unit that supplies compressed air to the lower part of the solvent tank, and in the initial stage of supplying the compressed air, the solvent in the solvent tank is injected from the nozzle, and in the middle stage, the solvent remaining in the solvent tank is injected. and the compressed air are jetted from the nozzle, and the pressure of the compressed air is set so that the compressed air is jetted from the nozzle at the final stage when the solvent in the solvent tank is exhausted. A deposit removal device including a supply section.
前記ノズルは、前記回収タンク内の上部に配設される第1ノズルと、前記回収タンク内の下部に配設される第2ノズルとを有し、
前記溶媒タンクは、前記第1ノズルに供給される溶媒が充填される第1溶媒タンクと、前記第2ノズルに供給される溶媒が充填される第2溶媒タンクとを有し、
前記配管は、前記第1溶媒タンクの上部と前記第1ノズルとを接続する第1配管と、前記第2溶媒タンクの上部と前記第2ノズルとを接続する第2配管とを有する
請求項1記載の付着物除去装置。
The nozzle includes a first nozzle disposed at an upper portion within the recovery tank and a second nozzle disposed at a lower portion within the recovery tank,
The solvent tank has a first solvent tank filled with the solvent supplied to the first nozzle, and a second solvent tank filled with the solvent supplied to the second nozzle,
Claim 1: The piping includes a first piping that connects the upper part of the first solvent tank and the first nozzle, and a second piping that connects the upper part of the second solvent tank and the second nozzle. The deposit removal device described.
前記溶媒タンクに所定量の溶媒を供給する溶媒供給部を含む請求項1または2に記載の付着物除去装置。 The deposit removal device according to claim 1 or 2, further comprising a solvent supply section that supplies a predetermined amount of solvent to the solvent tank. スラリを回収する回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去方法であって、
所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンクの下部に所定の圧力に設定された圧縮エアを供給することにより、前記圧縮エアの供給の初期においては前記溶媒タンク内の溶媒を、前記溶媒タンクの上部とノズルとを接続する配管を通じ、前記回収タンクの内壁面に向かって前記ノズルから噴射させ、中期においては前記溶媒タンク内に残った溶媒と前記圧縮エアとが混在した液滴を前記ノズルから噴射させ、前記溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては前記圧縮エアを前記ノズルから噴射させる
ことを特徴とする付着物除去方法。
A deposit removal method for removing deposits adhering to the inner wall surface of a recovery tank for collecting slurry, the method comprising:
By supplying compressed air set at a predetermined pressure to the lower part of a solvent tank filled with a predetermined amount of solvent, the solvent in the solvent tank is removed from the solvent tank at the initial stage of supplying the compressed air. The nozzle is injected from the nozzle toward the inner wall surface of the recovery tank through a pipe connecting the upper part of the solvent tank and the nozzle. A method for removing deposits, characterized in that the compressed air is injected from a nozzle, and the compressed air is injected from the nozzle at a final stage when the solvent in the solvent tank is exhausted.
請求項1または2に記載の付着物除去装置を備えたスラリ回収装置。 A slurry recovery device comprising the deposit removal device according to claim 1 or 2.
JP2022170053A 2022-10-24 2022-10-24 Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device Active JP7395691B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022170053A JP7395691B1 (en) 2022-10-24 2022-10-24 Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022170053A JP7395691B1 (en) 2022-10-24 2022-10-24 Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP7395691B1 true JP7395691B1 (en) 2023-12-11
JP2024062201A JP2024062201A (en) 2024-05-09

Family

ID=89117096

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022170053A Active JP7395691B1 (en) 2022-10-24 2022-10-24 Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP7395691B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009154146A (en) 2007-12-06 2009-07-16 Fukuoka Prefecture Pulverizing apparatus and pulverizing method
JP2015506837A (en) 2012-02-10 2015-03-05 アンリツ エナジー アンド エンヴァイロメント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングANDRITZ Energy & Environment GmbH Liquid cyclone to reduce fine substances in cyclone underflow
JP2018529512A (en) 2015-09-09 2018-10-11 ベクトゥラ・リミテッド Jet grinding method
JP7039666B1 (en) 2020-09-16 2022-03-22 リックス株式会社 Slurry recovery device

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1473654A (en) * 1973-08-22 1977-05-18 Ranks Hovis Mcdougall Ltd Separation
US5716751A (en) * 1996-04-01 1998-02-10 Xerox Corporation Toner particle comminution and surface treatment processes
JP2007054776A (en) * 2005-08-26 2007-03-08 Shimizu Corp Liquid cyclone

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009154146A (en) 2007-12-06 2009-07-16 Fukuoka Prefecture Pulverizing apparatus and pulverizing method
JP2015506837A (en) 2012-02-10 2015-03-05 アンリツ エナジー アンド エンヴァイロメント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングANDRITZ Energy & Environment GmbH Liquid cyclone to reduce fine substances in cyclone underflow
JP2018529512A (en) 2015-09-09 2018-10-11 ベクトゥラ・リミテッド Jet grinding method
JP7039666B1 (en) 2020-09-16 2022-03-22 リックス株式会社 Slurry recovery device

Also Published As

Publication number Publication date
JP2024062201A (en) 2024-05-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100227018B1 (en) Cleaning apparatus and method for semiconductor process
JP5025358B2 (en) Cleaning method and apparatus and cleaning nozzle
CN109069978B (en) Removal of submicron particles from a gas stream
JPH0622712B2 (en) Atomizer device
CN102013389A (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
CN104100239A (en) Atomizing device and foam discharging starting atomization water discharging gas recovery method thereof
KR102079242B1 (en) Gas-liquid separator and polishing apparatus
JP6718566B1 (en) Exhaust gas abatement unit
JP7395691B1 (en) Deposit removal device, deposit removal method, and slurry recovery device
JP3223688U (en) Wet scrubber
JP2011131168A (en) Spray granulation apparatus and spray granulation method
JP2000093726A (en) Mist generating apparatus
JP2012035166A (en) Fluid ejecting nozzle and washing device using the same
JP2007069123A (en) Method for pulverizing fine powder or microfiber
CN107297295A (en) A kind of soybean protein spraying equipment and soybean protein spraying method
JP5610515B2 (en) Cleaning device
JP7039666B1 (en) Slurry recovery device
CN106268406A (en) The mixed oxygen system of ozone steam device and work process thereof
JP4788800B2 (en) Cleaning method and cleaning device
JP2016068029A (en) Gas-liquid contactor
JP4395181B2 (en) Coating machine cleaning liquid recovery device
JP2580280Y2 (en) Spray refueling device
JPH10267806A (en) Ultrasonic atomizing device
JP2016068030A (en) Spray nozzle and gas-liquid contactor comprising the same
JPH0753704Y2 (en) Frozen grain production equipment

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20230529

A871 Explanation of circumstances concerning accelerated examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871

Effective date: 20230529

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20230905

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20231003

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20231121

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20231129

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7395691

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150