JP7367657B2 - Current sensor and electrical control device - Google Patents

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Description

本発明は、電流センサ及び電気制御装置に関する。 The present invention relates to a current sensor and an electrical control device.

近年、ハイブリッド電気自動車(HEV: Hybrid Electric Vehicle)や電気自動車(EV: Electric Vehicle)等のバッテリーの残量の測定、モータの駆動電流の測定や、コンバータ、インバータ等の電力制御機器に、電流センサが用いられている。この電流センサとしては、バスバー等の導体に電流が流れることにより発生する磁場を検出可能な磁気検出素子を含む磁気センサを備えるものが知られている。電流センサにおいて、例えば、AMR素子、GMR素子、TMR素子等の磁気抵抗効果素子、ホール素子等の磁気検出素子により、バスバー等の導体に流れる電流が非接触状態で検出される。 In recent years, current sensors have been used to measure the remaining battery power of hybrid electric vehicles (HEVs) and electric vehicles (EVs), to measure motor drive current, and to power control equipment such as converters and inverters. is used. As this current sensor, one equipped with a magnetic sensor including a magnetic detection element capable of detecting a magnetic field generated when a current flows through a conductor such as a bus bar is known. In a current sensor, for example, a current flowing through a conductor such as a bus bar is detected in a non-contact state by a magnetoresistive element such as an AMR element, a GMR element, or a TMR element, or a magnetic detection element such as a Hall element.

従来、電流センサは、空隙(ギャップ)を有するリング状の磁性体コアを有し、当該空隙に磁気検出素子を含む磁気センサが配置されているものが知られている(特許文献1参照)。このような構造を有することで、導体から発生する磁束を磁性体コアに集束させ、空隙に配置されている磁気検出素子に、磁性体コアにより集束された磁束を印加させることができる。 Conventionally, a current sensor is known that has a ring-shaped magnetic core having a gap, and a magnetic sensor including a magnetic detection element is disposed in the gap (see Patent Document 1). With such a structure, the magnetic flux generated from the conductor can be focused on the magnetic core, and the magnetic flux focused by the magnetic core can be applied to the magnetic detection element arranged in the air gap.

特開2019-78542号公報JP2019-78542A

特許文献1に開示の電流センサにおいて、導体に流れる電流が相対的に大きくなると、導体から発生する磁場が強くなり、それにより磁性体コアが磁気的に飽和しやすくなるため、磁気センサの出力の線形性が悪化するおそれがある。磁性体コアの空隙(ギャップ)を広くしたり、磁性体コアの体積を大きくしたりすれば、磁気センサの出力の線形性の悪化を改善することができる。しかしながら、磁性体コアの空隙(ギャップ)を広げると、導体から発生する磁場以外の磁場(以下、「外乱磁場」という場合がある。)が磁気検出素子に印加されやすくなり、電流センサによる検出精度が低下するおそれがある。 In the current sensor disclosed in Patent Document 1, when the current flowing through the conductor becomes relatively large, the magnetic field generated from the conductor becomes stronger, which makes the magnetic core more likely to magnetically saturate, so that the output of the magnetic sensor decreases. Linearity may deteriorate. The deterioration of the linearity of the output of the magnetic sensor can be improved by widening the gap in the magnetic core or increasing the volume of the magnetic core. However, if the air gap (gap) in the magnetic core is widened, magnetic fields other than the magnetic field generated by the conductor (hereinafter sometimes referred to as "disturbance magnetic field") are more likely to be applied to the magnetic detection element, which increases the detection accuracy of the current sensor. may decrease.

上記課題に鑑みて、本発明は、外乱磁場の影響を抑制することができる電流センサ及び電気制御装置を提供することを目的とする。 In view of the above problems, an object of the present invention is to provide a current sensor and an electric control device that can suppress the influence of a disturbance magnetic field.

上記課題を解決するために、本発明は、導体に第1方向に流れる電流から発生する磁気を検出するための電流センサであって、前記磁気を検出可能な磁気検出部と、集磁コアと、磁気シールドとを備え、前記集磁コアは、前記第1方向に実質的に平行な第1コア部と、前記第1方向に直交する第2方向における前記第1コア部の両端部のそれぞれに連続する第2コア部及び第3コア部とを含み、前記第2コア部及び前記第3コア部は、それぞれ、前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向に沿うように前記第1コア部の端部から延在し、前記磁気検出部は、前記第3方向における前記第2コア部の端部近傍と前記第3コア部の端部近傍とによって挟まれるコアギャップに位置し、前記磁気シールドは、前記第3方向に沿って見たときに前記コアギャップ、前記第2コア部の端部近傍及び前記第3コア部の端部近傍に重なるようにして位置する板状シールド部を含み、前記磁気シールドは、前記第1方向に沿って見たときに、前記第3方向に沿った前記第1コア部における前記磁気検出部の反対側、前記第2方向に沿った前記第2コア部における前記第3コア部の反対側及び前記第2方向に沿った前記第3コア部における前記第2コア部の反対側に位置しないことを特徴とする電流センサを提供する。 In order to solve the above problems, the present invention provides a current sensor for detecting magnetism generated from a current flowing in a first direction in a conductor, which includes a magnetic detection section capable of detecting the magnetism, and a magnetic collecting core. , a magnetic shield, and the magnetic flux collecting core includes a first core portion substantially parallel to the first direction, and both ends of the first core portion in a second direction perpendicular to the first direction. a second core portion and a third core portion that are continuous to each other, and the second core portion and the third core portion are arranged along a third direction perpendicular to the first direction and the second direction, respectively. The magnetic detection section extends from an end of the first core section, and the magnetic detection section is located in a core gap sandwiched between the vicinity of the end of the second core section and the vicinity of the end of the third core section in the third direction. and the magnetic shield is a plate located so as to overlap the core gap, the vicinity of the end of the second core part, and the vicinity of the end of the third core part when viewed along the third direction. When viewed along the first direction, the magnetic shield includes a side opposite to the magnetic detection section in the first core section along the third direction, and a side opposite to the magnetic detection section along the second direction. Provided is a current sensor characterized in that the current sensor is not located on the opposite side of the third core part in the second core part and on the opposite side of the second core part in the third core part along the second direction. .

前記集磁コアは、前記第2コア部の端部の近傍に連続する第4コア部及び前記第3コア部の端部の近傍に連続する第5コア部をさらに含み、前記第4コア部及び前記第5コア部は、前記第2方向に沿って互いに近づくように延びており、前記板状シールド部は、前記第3方向に沿って見たときに前記コアギャップ、前記第4コア部及び前記第5コア部に重なるようにして位置していてもよい。前記導体は、厚み方向を前記第2方向とし、前記第1方向に延びる板状体であってもよいし、厚み方向を前記第3方向とし、前記第1方向に延びる板状体であってもよい。 The magnetic flux collecting core further includes a fourth core part continuous to the vicinity of the end of the second core part and a fifth core part continuous to the vicinity of the end of the third core part, and the fourth core part and the fifth core portions extend toward each other along the second direction, and the plate-shaped shield portion extends between the core gap and the fourth core portion when viewed along the third direction. and may be located so as to overlap the fifth core portion . The conductor may be a plate-shaped body whose thickness direction is the second direction and extends in the first direction, or a plate-shaped body whose thickness direction is the third direction and which extends in the first direction. Good too.

前記磁気シールドは、前記第1方向に沿った前記板状シールド部の両端部のそれぞれに連続し、前記第3方向に沿って延びる2つの第1シールド部を含み、前記第1方向に沿って見たときに、前記磁気検出部は、前記2つの第1シールド部によって挟まれる前記コアギャップ内に位置していてもよい。 The magnetic shield includes two first shield parts that are continuous with both ends of the plate-shaped shield part along the first direction and extend along the third direction, and the magnetic shield includes two first shield parts that extend along the third direction. When viewed, the magnetic detection section may be located within the core gap sandwiched between the two first shield sections.

前記板状シールド部には、前記第2方向に貫通するスリット部が形成されていてもよく、前記第2方向に沿って見たときに、前記スリット部の長手方向が前記第1方向と実質的に一致していてもよいし、前記スリット部の長手方向が前記第3方向と実質的に一致していてもよい。複数の前記スリット部が前記板状シールド部に形成されていてもよい。 A slit portion penetrating in the second direction may be formed in the plate-shaped shield portion, and when viewed along the second direction, the longitudinal direction of the slit portion is substantially the same as the first direction. The longitudinal direction of the slit portion may substantially match the third direction. A plurality of the slit portions may be formed in the plate-shaped shield portion.

前記磁気シールドの構成材料の鉄損が、前記集磁コアの構成材料の鉄損よりも大きくてもよく、前記磁気検出部は、磁気抵抗効果素子又はホール素子を含んでいてもよく、前記磁気抵抗効果素子が、GMR素子又はTMR素子であってもよい。前記導体が、前記集磁コアの前記第1コア部、前記第2コア部及び前記第3コア部による形成される空間を前記第1方向に沿って貫通するように設けられていてもよい。
本発明は、上記電流センサを備えることを特徴とする電気制御装置を提供する。
The core loss of the constituent material of the magnetic shield may be larger than the core loss of the constituent material of the magnetic collecting core, and the magnetic detection section may include a magnetoresistive element or a Hall element, and the magnetic The resistance effect element may be a GMR element or a TMR element. The conductor may be provided so as to penetrate along the first direction through a space formed by the first core part, the second core part, and the third core part of the magnetic flux collecting core.
The present invention provides an electrical control device comprising the above-mentioned current sensor.

本発明によれば、外乱磁場の影響を抑制することができる電流センサ及び電気制御装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a current sensor and an electric control device that can suppress the influence of a disturbance magnetic field.

図1は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a first aspect of a current sensor according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 2 is a side view showing a schematic configuration of a first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図3は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 3 is a side view showing a schematic configuration of a first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図4は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。FIG. 4 is a partially enlarged cutaway end view showing a schematic configuration of a first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図5Aは、コアギャップが相対的に狭い集磁コアを有し、磁気シールドを有しない電流センサにおけるX方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 5A is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the X direction on a current sensor that has a magnetism collecting core with a relatively narrow core gap and does not have a magnetic shield. 図5Bは、コアギャップが相対的に狭い集磁コアを有し、磁気シールドを有しない電流センサにおけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 5B is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction on a current sensor that has a magnetic flux collecting core with a relatively narrow core gap and no magnetic shield. 図6Aは、コアギャップが相対的に広い集磁コアを有し、磁気シールドを有しない電流センサにおけるX方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 6A is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the X direction on a current sensor that has a magnetic flux collecting core with a relatively wide core gap and does not have a magnetic shield. 図6Bは、コアギャップが相対的に広い集磁コアを有し、磁気シールドを有しない電流センサにおけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 6B is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction on a current sensor that has a magnetic flux collecting core with a relatively wide core gap and does not have a magnetic shield. 図6Cは、コアギャップが相対的に広い集磁コアと磁気シールドとを有する電流センサにおけるX方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 6C is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the X direction on a current sensor having a magnetic flux collecting core and a magnetic shield with a relatively wide core gap. 図7は、本発明の実施の形態に係る電流センサの概略構成を示すブロック図である。FIG. 7 is a block diagram showing a schematic configuration of a current sensor according to an embodiment of the present invention. 図8は、本発明の実施の形態における磁気検出部の回路構成を概略的に示す回路図である。FIG. 8 is a circuit diagram schematically showing the circuit configuration of the magnetic detection section in the embodiment of the present invention. 図9は、本発明の実施の形態における磁気抵抗効果素子の一態様の概略構成を示す斜視図である。FIG. 9 is a perspective view showing a schematic configuration of one aspect of a magnetoresistive element according to an embodiment of the present invention. 図10は、本発明の実施の形態における磁気抵抗効果素子の一態様の概略構成を示す切断端面図である。FIG. 10 is a cut end view showing a schematic configuration of one aspect of the magnetoresistive element according to the embodiment of the present invention. 図11Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 11A is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図11Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 11B is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図11Cは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 11C is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図11Dは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第1態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 11D is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the first aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図12Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサにおけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 12A is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction on the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図12Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの変形例におけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 12B is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction in a modified example of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図12Cは、本発明の実施の形態に係る電流センサの変形例におけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 12C is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction in a modified example of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図13は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の概略構成を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing a schematic configuration of a second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図14は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 14 is a side view showing a schematic configuration of a second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図15は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 15 is a side view showing a schematic configuration of a second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図16は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。FIG. 16 is a partially enlarged cutaway end view showing a schematic configuration of a second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図17Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様におけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 17A is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction in the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図17Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様におけるX方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 17B is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the X direction in the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図18Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 18A is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図18Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 18B is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図18Cは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 18C is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図18Dは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第2態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 18D is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図19は、本発明の実施の形態における電流センサの第2態様の変形例におけるY方向の外乱磁場による影響を説明するための側面図である。FIG. 19 is a side view for explaining the influence of a disturbance magnetic field in the Y direction in a modification of the second aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図20は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の概略構成を示す斜視図である。FIG. 20 is a perspective view showing a schematic configuration of a third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図21は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 21 is a side view showing a schematic configuration of a third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図22は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 22 is a side view showing a schematic configuration of a third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図23Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 23A is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図23Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 23B is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図23Cは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 23C is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図23Dは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第3態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 23D is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the third aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図24は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の概略構成を示す斜視図である。FIG. 24 is a perspective view showing a schematic configuration of a fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図25は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 25 is a side view showing a schematic configuration of a fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図26は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 26 is a side view showing a schematic configuration of a fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図27Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 27A is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図27Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 27B is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図27Cは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 27C is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図27Dは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第4態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 27D is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fourth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図28は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の概略構成を示す斜視図である。FIG. 28 is a perspective view showing a schematic configuration of a fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図29は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 29 is a side view showing a schematic configuration of a fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図30は、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の概略構成を示す側面図である。FIG. 30 is a side view showing a schematic configuration of a fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図31Aは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 31A is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図31Bは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 31B is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図31Cは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 31C is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図31Dは、本発明の実施の形態に係る電流センサの第5態様の変形例の概略構成を示す斜視図である。FIG. 31D is a perspective view showing a schematic configuration of a modification of the fifth aspect of the current sensor according to the embodiment of the present invention. 図32は、電流センサにおける集磁コアの構成材料と磁性シールドの構成材料との鉄損差による周波数特性を示すグラフである。FIG. 32 is a graph showing the frequency characteristics due to the iron loss difference between the constituent materials of the magnetic flux collecting core and the constituent materials of the magnetic shield in the current sensor.

本発明の一実施形態について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す斜視図であり、図2は、本実施形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す側面図であり、図3は、本実施形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す側面図であり、図4は、本実施形態に係る電流センサの第1態様の概略構成を示す部分拡大切断端面図である。 An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of a first aspect of the current sensor according to the present embodiment, and FIG. 2 is a side view showing a schematic configuration of the first aspect of the current sensor according to the present embodiment. FIG. 3 is a side view showing a schematic configuration of the first aspect of the current sensor according to the present embodiment, and FIG. 4 is a partially enlarged cut-away end view showing the schematic configuration of the first aspect of the current sensor according to the present embodiment. It is.

本実施形態を説明するにあたり、必要に応じ、いくつかの図面中、「第1方向、第2方向及び第3方向」を規定している。ここで、第1方向は、導体に流れる電流の方向である。第2方向は、第1方向に直交する方向であり、第1~第3態様及び第5態様における導体の幅方向並びに第4態様における導体の厚さ方向である。第3方向は、第1方向及び第2方向に直交する方向であり、第1~第3態様及び第5態様における導体の厚さ方向並びに第4態様における導体の幅方向である。なお、本明細書及び図面において、第1方向を「Z方向」と称し、第2方向を「X方向」と称し、第3方向を「Y方向」と称する場合がある。 In describing this embodiment, "first direction, second direction, and third direction" are defined in some drawings as necessary. Here, the first direction is the direction of current flowing through the conductor. The second direction is a direction perpendicular to the first direction, and is the width direction of the conductor in the first to third aspects and the fifth aspect, and the thickness direction of the conductor in the fourth aspect. The third direction is a direction perpendicular to the first direction and the second direction, and is the thickness direction of the conductor in the first to third aspects and the fifth aspect, and the width direction of the conductor in the fourth aspect. Note that in this specification and the drawings, the first direction may be referred to as the "Z direction," the second direction may be referred to as the "X direction," and the third direction may be referred to as the "Y direction."

図1~図4に示すように、本実施形態に係る電流センサ1の第1態様は、磁気を検出可能な磁気検出部2と、集磁コア3と、磁気シールド4と、Z方向に電流が流れる導体5とを備える。 As shown in FIGS. 1 to 4, the first aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment includes a magnetic detection section 2 capable of detecting magnetism, a magnetic flux collecting core 3, a magnetic shield 4, and a current sensor 1 in the Z direction. The conductor 5 is provided with a conductor 5 through which the current flows.

集磁コア3は、Z方向に実質的に平行な第1コア部31と、第1コア部31のX方向における両端部31A,31Bに連続し、Y方向(+Y方向)に延びる第2コア部32及び第3コア部33と、第2コア部32のY方向における端部32Aに連続し、X方向(-X方向)に延びる第4コア部34と、第3コア部33のY方向における端部33Aに連続し、X方向(+X方向)に延びる第5コア部35とを有する。第4コア部34及び第5コア部35は、それらの端面を互いに近づけるように、第2コア部32の端部32A及び第3コア部33の端部33AからX方向に沿って延びている。互いに対向する第4コア部34の端面と第5コア部35の端面とに挟まれる空隙(空間)が、コアギャップCGである。すなわち、集磁コア3は、コアギャップCGを有するリング状であり、Z方向に沿って見たときに略C字状のコアである。 The magnetic flux collecting core 3 includes a first core part 31 that is substantially parallel to the Z direction, and a second core that is continuous to both ends 31A and 31B of the first core part 31 in the X direction and extends in the Y direction (+Y direction). 32 and the third core part 33, a fourth core part 34 that is continuous with the end part 32A of the second core part 32 in the Y direction and extends in the X direction (-X direction), and a fourth core part 34 of the third core part 33 in the Y direction. It has a fifth core part 35 that is continuous with the end part 33A and extends in the X direction (+X direction). The fourth core part 34 and the fifth core part 35 extend along the X direction from the end 32A of the second core part 32 and the end 33A of the third core part 33 so that their end surfaces approach each other. . The gap (space) sandwiched between the end faces of the fourth core part 34 and the end faces of the fifth core part 35 that face each other is the core gap CG. That is, the magnetic flux collecting core 3 has a ring shape with a core gap CG, and is a substantially C-shaped core when viewed along the Z direction.

本実施形態において、集磁コア3の第1コア部31の端部31Aと第2コア部32との連続部、第1コア部31の端部31Bと第3コア部33との連続部、第2コア部32の端部32Aと第4コア部34との連続部、及び第3コア部33の端部33Aと第5コア部35との連続部は、いずれも湾曲形状(角丸形状)を有しているが、この態様に限定されるものではない。例えば、これらの連続部は、屈曲形状(角を有する形状)であってもよいし、角が面取りされたC面取り形状であってもよい。 In this embodiment, a continuous part between the end 31A of the first core part 31 and the second core part 32 of the magnetic flux collecting core 3, a continuous part between the end 31B of the first core part 31 and the third core part 33, The continuous part between the end 32A of the second core part 32 and the fourth core part 34 and the continuous part between the end 33A of the third core part 33 and the fifth core part 35 have a curved shape (rounded corner shape). ), but is not limited to this aspect. For example, these continuous parts may have a bent shape (a shape with corners) or a C-chamfered shape with chamfered corners.

コアギャップCGのX方向の長さLCG(第4コア部34の端面と第5コア部35の端面とのX方向における距離)は、例えば、6mm以上であればよく、6~12mm程度であればよい。当該長さLCGが6mm以上であることで、本実施形態に係る電流センサ1が磁気シールド4を備えることによる効果、すなわち、磁気シールド4により外乱磁場が磁気検出部2に印加されるのを抑制する効果が、効果的に奏され得る。 The length L CG of the core gap CG in the X direction (the distance in the X direction between the end face of the fourth core part 34 and the end face of the fifth core part 35) may be, for example, 6 mm or more, and may be about 6 to 12 mm. Good to have. Since the length L CG is 6 mm or more, the effect of the current sensor 1 according to the present embodiment including the magnetic shield 4, that is, the disturbance magnetic field is prevented from being applied to the magnetic detection section 2 by the magnetic shield 4. The suppressing effect can be effectively achieved.

本実施形態に係る電流センサ1が磁気シールド4を備えない場合を仮定すると、コアギャップCGのX方向の長さLCGが相対的に小さく、第4コア部34の端面及び第5コア部35の端面が磁気検出部2に近接していれば、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hは、いずれも集磁コア3に吸収され、磁気検出部2に印加され難い(図5A及び図5B参照)。すなわち、電流センサが外乱磁場H,Hによる影響を受けにくくなる。その一方で、導体5に流れる電流が大きくなると、集磁コア3が磁気的に飽和しやすくなり、磁気検出部2の出力の線形性が悪化するおそれがある。磁気検出部2の出力の線形性を改善するためにコアギャップCGのX方向の長さLCGを相対的に大きく(例えば6mm以上)し、第4コア部34の端面及び第5コア部35の端面を磁気検出部2から離間させると、集磁コア3が磁気的に飽和しにくくなるものの、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hのいずれもが磁気検出部2に印加されやすくなる(図6A及び図6B参照)。本実施形態に係る電流センサ1のように、Y方向に沿って見たときにコアギャップCGに重なるように磁気シールド4が設けられていることで、少なくともX方向の外乱磁場Hを集磁コア3及び磁気シールド4に誘導させることができる(図6C参照)。そのため、少なくともX方向の外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを抑制することができる。 Assuming that the current sensor 1 according to the present embodiment does not include the magnetic shield 4, the length L CG of the core gap CG in the X direction is relatively small, and the end face of the fourth core part 34 and the fifth core part 35 are relatively small. If the end face of is close to the magnetic detection section 2, the disturbance magnetic field H (See FIGS. 5A and 5B). That is, the current sensor becomes less susceptible to the influence of the disturbance magnetic fields H.sub.X and H.sub.Y. On the other hand, when the current flowing through the conductor 5 becomes large, the magnetic flux collecting core 3 is likely to be magnetically saturated, and the linearity of the output of the magnetic detection section 2 may deteriorate. In order to improve the linearity of the output of the magnetic detection unit 2, the length L CG of the core gap CG in the X direction is made relatively large (for example, 6 mm or more), and the end face of the fourth core part 34 and the fifth core part 35 are made relatively large (for example, 6 mm or more). If the end face of is separated from the magnetic detection unit 2, the magnetic collecting core 3 becomes difficult to be magnetically saturated, but both the disturbance magnetic field H in the X direction and the disturbance magnetic field H in the Y direction reach the magnetic detection unit 2. (See FIGS. 6A and 6B). Like the current sensor 1 according to the present embodiment, by providing the magnetic shield 4 so as to overlap the core gap CG when viewed along the Y direction, at least the disturbance magnetic field HX in the X direction is collected. It can be guided by the core 3 and magnetic shield 4 (see FIG. 6C). Therefore, application of the disturbance magnetic field HX in at least the X direction to the magnetic detection section 2 can be suppressed.

集磁コア3のZ方向における幅Wは、5~20mm程度であればよい。本実施形態に係る電流センサ1において、磁気検出部2は集磁コア3のコアギャップCGに配置されているが、上記幅Wが相対的に小さい(例えば5mm未満)と、導体5から発生する磁束により、集磁コア3が磁気的に飽和しやすくなるおそれがある。一方、上記幅Wが相対的に大きくなると、電流センサ1のサイズが相対的に大きくなってしまう。 The width W 3 of the magnetic flux collecting core 3 in the Z direction may be approximately 5 to 20 mm. In the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetic detection section 2 is arranged in the core gap CG of the magnetic flux collecting core 3. However, if the width W3 is relatively small (for example, less than 5 mm), magnetic field is generated from the conductor 5. There is a possibility that the magnetic flux collecting core 3 becomes easily magnetically saturated due to the magnetic flux. On the other hand, if the width W3 becomes relatively large, the size of the current sensor 1 becomes relatively large.

磁気シールド4と集磁コア3とのY方向における間隙の長さG34は、例えば、3mm以下であればよく、1~2mm程度であればよい。当該間隙の長さG34が3mmを超えると、X方向の外乱磁場Hが当該間隙を抜けて磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該間隙の長さG34が相対的に短い(例えば1mm未満)であると、集磁コア3から磁気シールド4へと通る磁路が形成され、磁束が磁気シールド4に流れやすくなるため、集磁コア3が磁気的に飽和しやすくなるとともに、磁気検出部2にて検出すべき磁束が減少してしまうおそれがある。 The length G 34 of the gap between the magnetic shield 4 and the magnetic flux collecting core 3 in the Y direction may be, for example, 3 mm or less, and may be about 1 to 2 mm. If the length G 34 of the gap exceeds 3 mm, there is a possibility that the disturbance magnetic field H X in the X direction may pass through the gap and be applied to the magnetic detection section 2 . Further, if the length G 34 of the gap is relatively short (for example, less than 1 mm), a magnetic path is formed from the magnetic flux collecting core 3 to the magnetic shield 4, and the magnetic flux easily flows to the magnetic shield 4. There is a possibility that the magnetic flux collecting core 3 becomes easily magnetically saturated and the magnetic flux to be detected by the magnetic detection section 2 decreases.

銅等により構成される導体5は、長手方向をZ方向と実質的に平行とし、厚み方向をY方向と実質的に平行とする板状体であって、コアギャップCGを有するリング状の集磁コア3内をZ方向に貫通して設けられている。導体5の長手方向はZ方向と実質的に平行であればよく、例えば導体5の軸線(導体5の中心を通る線)がZ方向に対して2°以下の角度で交差していればよい。また、導体5の厚み方向はY方向と実質的に平行であればよく、例えばY方向に対して2°以下の角度で交差していればよい。 The conductor 5 made of copper or the like is a plate-shaped body whose longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction and whose thickness direction is substantially parallel to the Y direction, and is a ring-shaped collection having a core gap CG. It is provided to penetrate inside the magnetic core 3 in the Z direction. The longitudinal direction of the conductor 5 only needs to be substantially parallel to the Z direction; for example, the axis of the conductor 5 (a line passing through the center of the conductor 5) may intersect the Z direction at an angle of 2° or less. . Further, the thickness direction of the conductor 5 only needs to be substantially parallel to the Y direction, and may intersect with the Y direction at an angle of 2° or less, for example.

磁気検出部2は、コアギャップCGに設けられていればよい。本実施形態に係る電流センサ1の第1態様において、導体5に電流が流れると導体5から磁束が発生し、コアギャップCGを有するリング状の集磁コア3に当該磁束が集束される。集磁コア3が、コアギャップCGを有するリング状をなしていることで、コアギャップCGを含めた集磁コア3全体が磁束の経路(磁路)となる。すなわち、コアギャップCGに設けられている磁気検出部2は、集磁コア3に集束される磁束の経路(磁路)に位置しているということができる。そのため、本実施形態において「磁気検出部2がコアギャップCGに設けられる」とは、磁気検出部2が上記磁路に位置していればよいことを意味するものであって、磁気検出部2の全体がコアギャップCG内に位置していてもよいし、磁気検出部2の一部がコアギャップCG内に位置していてもよい。なお、磁気検出部2の詳細な構成については後述する。 The magnetic detection section 2 only needs to be provided in the core gap CG. In the first aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, when a current flows through the conductor 5, magnetic flux is generated from the conductor 5, and the magnetic flux is focused on the ring-shaped magnetic collecting core 3 having a core gap CG. Since the magnetic flux collecting core 3 has a ring shape with the core gap CG, the entire magnetic flux collecting core 3 including the core gap CG becomes a magnetic flux path (magnetic path). That is, it can be said that the magnetic detection unit 2 provided in the core gap CG is located in the path (magnetic path) of the magnetic flux focused on the magnetic flux collecting core 3. Therefore, in this embodiment, "the magnetic detecting section 2 is provided in the core gap CG" means that the magnetic detecting section 2 only needs to be located in the magnetic path, and the magnetic detecting section 2 is provided in the core gap CG. may be located entirely within the core gap CG, or a portion of the magnetic detection section 2 may be located within the core gap CG. Note that the detailed configuration of the magnetic detection section 2 will be described later.

磁気シールド4は、Y方向に沿って見たときに、コアギャップCGに重なる板状シールド部41を含む。Y方向に沿って見たときに、板状シールド部41がコアギャップCGに重なっていることで、X方向の外乱磁場Hは集磁コア3及び磁気シールド4に誘導される。そのため、X方向の外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを抑制することができる。 The magnetic shield 4 includes a plate-shaped shield portion 41 that overlaps the core gap CG when viewed along the Y direction. When viewed along the Y direction, the plate-shaped shield portion 41 overlaps the core gap CG, so that the disturbance magnetic field HX in the X direction is induced to the magnetic collecting core 3 and the magnetic shield 4. Therefore, it is possible to suppress the disturbance magnetic field HX in the X direction from being applied to the magnetic detection section 2.

本実施形態において、Y方向に沿って見たときに、磁気シールド4は、板状シールド部41がコアギャップCGに完全に重なるように配置されている。すなわち、磁気シールド4の板状シールド部41のX方向における長さL41はコアギャップCGのX方向における長さLCG以上であればよく、集磁コア3のX方向の長さL以下であればよい。板状シールド部41のX方向における長さL41が相対的に長い方が、X方向の外乱磁場Hに対するシールド効果を向上させ得る。また、板状シールド部41のZ方向における長さW41は、コアギャップCGのZ方向における長さ、すなわち集磁コア3のZ方向における幅W以上であればよい。例えば、板状シールド部41のX方向における長さL41はコアギャップCGのX方向の長さLCG+4mm以上、集磁コア3のX方向の長さL以下程度であればよく、Z方向における長さW41は集磁コア3のZ方向における幅W以上、集磁コア3のZ方向における幅W+8mm程度であればよい。なお、本実施形態に係る電流センサ1は、この態様に限定されるものではない。例えば、磁気シールド4によって少なくともX方向の外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを抑制可能な限りにおいて、板状シールド部41がコアギャップCGに完全に重なっていなくてもよい。 In this embodiment, the magnetic shield 4 is arranged so that the plate-shaped shield portion 41 completely overlaps the core gap CG when viewed along the Y direction. That is, the length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 in the X direction may be greater than or equal to the length L CG of the core gap CG in the X direction, and the length L 41 of the magnetic flux collecting core 3 in the X direction may be less than or equal to 3 . That's fine. When the length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the X direction is relatively long, the shielding effect against the disturbance magnetic field H X in the X direction can be improved. Further, the length W 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the Z direction may be equal to or greater than the length of the core gap CG in the Z direction, that is, the width W 3 of the magnetic flux collecting core 3 in the Z direction. For example, the length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the X direction may be approximately equal to or greater than the length L CG of the core gap CG in the X direction and less than or equal to the length L 3 of the magnetic flux collecting core 3 in the X direction; The length W 41 in the direction may be at least the width W 3 of the magnetic flux collecting core 3 in the Z direction, and the width W 3 of the magnetic collecting core 3 in the Z direction + about 8 mm. Note that the current sensor 1 according to this embodiment is not limited to this aspect. For example, the plate-shaped shield part 41 does not need to completely overlap the core gap CG, as long as the magnetic shield 4 can suppress the disturbance magnetic field HX in the X direction from being applied to the magnetic detection part 2 at least.

板状シールド部41の厚さ(Y方向における長さ)は、特に限定されるものではないが、例えば、1~3mm程度であればよい。当該厚さが相対的に薄すぎると(例えば1mm未満)、磁気シールド4が飽和しやすくなるとともに、電流センサ1からの出力の線形性に悪影響を与えるおそれがある。一方、当該厚さが相対的に厚い場合には、電流センサ1の製造コスト及び電流センサ1の高さ寸法に影響するおそれがある。 The thickness (length in the Y direction) of the plate-shaped shield portion 41 is not particularly limited, but may be, for example, about 1 to 3 mm. If the thickness is relatively too thin (for example, less than 1 mm), the magnetic shield 4 is likely to be saturated, and the linearity of the output from the current sensor 1 may be adversely affected. On the other hand, if the thickness is relatively thick, the manufacturing cost of the current sensor 1 and the height dimension of the current sensor 1 may be affected.

集磁コア3及び磁気シールド4は、ともに珪素鋼、電磁鋼、純鉄(SUY)、パーマロイ等の軟磁性材料により構成されていれば良いが、低コスト化の観点から珪素鋼、電磁鋼、純鉄等が好ましい。磁気シールド4の構成材料の鉄損は、集磁コア3の構成材料の鉄損よりも大きければよい。導体5に所定の電流が流れることにより導体5から発生する磁場は集磁コア3及び磁気シールド4に流れる。導体5に流れる電流の周波数が高くなると、鉄損が相対的に大きい材料により構成される磁気シールド4の周波数特性が悪化し、磁気シールド4に流れる磁場が相対的に減少する。鉄損が相対的に小さい材料により構成される集磁コア3も周波数特性が悪化し、磁場が流れにくくなるものの、磁気シールド4に流れる磁場が相対的に減少する分、集磁コア3に流れる磁場が相対的に増加する。その結果として、磁気シールド4を有しない電流センサ1に比べ、磁気検出部2に印加される磁場の磁束密度は安定すると考えられる。このことは後述する試験例において明確ではあるが、両者の鉄損の差が大きくなるほど、周波数特性が改善され、磁気検出部2に印加される磁場の磁束密度の減衰を抑制することができる(図32参照)。その結果、交流電流に対する電流センサ1の応答特性を安定化させることができる。集磁コア3の構成材料の鉄損と磁気シールド4の構成材料の鉄損との差は、例えば、2.0W/kg以上であるのが好ましく、4.5~10.0W/kgであるのがより好ましい。鉄損は、JIS-C-2550の規定に基づくエプスタイン試験法に従い、周波数50Hz時の最大磁束密度1.5Tの正弦波励磁のときの単位重量当たりの鉄損の大きさ(圧延方向とそれに対する直角方向の平均)として求められる値である。なお、集磁コア3の構成材料は、磁気シールド4の構成材料よりも鉄損の小さい材料である限り、磁気シールド4の構成材料と同一種類の材料であってもよいし、異なる種類の材料であってもよい。例えば、集磁コア3と磁気シールド4とがともに電磁鋼により構成されるが、磁気シールド4を構成する電磁鋼の鉄損が、集磁コア3を構成する電磁鋼の鉄損よりも大きければよい。 Both the magnetic flux collecting core 3 and the magnetic shield 4 may be made of a soft magnetic material such as silicon steel, electromagnetic steel, pure iron (SUY), permalloy, etc. However, from the viewpoint of cost reduction, silicon steel, electromagnetic steel, Pure iron etc. are preferable. The core loss of the constituent material of the magnetic shield 4 only needs to be larger than the core loss of the constituent material of the magnetic flux collecting core 3. When a predetermined current flows through the conductor 5, a magnetic field generated from the conductor 5 flows to the magnetic collecting core 3 and the magnetic shield 4. As the frequency of the current flowing through the conductor 5 increases, the frequency characteristics of the magnetic shield 4 made of a material with relatively large core loss deteriorate, and the magnetic field flowing through the magnetic shield 4 relatively decreases. Although the magnetic field collecting core 3 made of a material with relatively low iron loss also has deteriorated frequency characteristics and it becomes difficult for the magnetic field to flow, the magnetic field flowing to the magnetic shield 4 is relatively reduced, so that the magnetic field flows to the magnetic collecting core 3. The magnetic field increases relatively. As a result, the magnetic flux density of the magnetic field applied to the magnetic detection section 2 is considered to be more stable than in the current sensor 1 without the magnetic shield 4. This is clear in the test examples described below, but the larger the difference in iron loss between the two, the better the frequency characteristics are and the more the attenuation of the magnetic flux density of the magnetic field applied to the magnetic detection section 2 can be suppressed. (See Figure 32). As a result, the response characteristics of the current sensor 1 to alternating current can be stabilized. The difference between the iron loss of the constituent material of the magnetic flux collecting core 3 and the iron loss of the constituent material of the magnetic shield 4 is preferably 2.0 W/kg or more, and 4.5 to 10.0 W/kg, for example. is more preferable. The iron loss is determined according to the Epstein test method based on the provisions of JIS-C-2550, and the iron loss per unit weight (rolling direction and This is the value obtained as the average in the perpendicular direction. Note that the material constituting the magnetic flux collecting core 3 may be the same type of material as the constituting material of the magnetic shield 4, or a different type of material, as long as the material has a smaller core loss than the constituting material of the magnetic shield 4. It may be. For example, if the magnetic flux collecting core 3 and the magnetic shield 4 are both made of electromagnetic steel, but the iron loss of the magnetic steel forming the magnetic shield 4 is larger than the iron loss of the electromagnetic steel forming the magnetic collecting core 3, then good.

本実施形態に係る電流センサ1は、磁気検出部2と信号処理部6とを備える。信号処理部6は、磁気検出部2から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するA/D(アナログ-デジタル)変換部61と、A/D変換部61によりデジタル変換されたデジタル信号を演算処理する演算部62とを含む。なお、演算部62にて演算処理された演算処理結果をアナログ信号として出力する場合には、信号処理部6は、演算部62の下流側にD/A(デジタル-アナログ)変換部(図示を省略)をさらに含んでいればよい。 The current sensor 1 according to this embodiment includes a magnetic detection section 2 and a signal processing section 6. The signal processing unit 6 includes an A/D (analog-to-digital) converter 61 that converts the analog signal output from the magnetic detection unit 2 into a digital signal, and calculates the digital signal digitally converted by the A/D converter 61. and a calculation unit 62 for processing. In addition, when outputting the arithmetic processing result processed by the arithmetic unit 62 as an analog signal, the signal processing unit 6 includes a D/A (digital-to-analog) converter (not shown in the figure) on the downstream side of the arithmetic unit 62. It is sufficient if it further includes (omitted).

本実施形態において、磁気検出部2の回路構成は、第1抵抗部R1、第2抵抗部R2、第3抵抗部R3及び第4抵抗部R4の4つの抵抗部をブリッジ接続してなるホイートストンブリッジ回路Cであってもよいし、第1抵抗部R1及び第2抵抗部R2の2つの抵抗部をハーフブリッジ接続してなるものであってもよい。第1~第4抵抗部R1~R4が単一の磁気抵抗効果素子(AMR素子、GMR素子、TMR素子等)又はホール素子を含んでいてもよいし、複数の磁気抵抗効果素子(AMR素子、GMR素子、TMR素子等)又はホール素子を含んでいてもよい。 In the present embodiment, the circuit configuration of the magnetic detection section 2 is a Wheatstone bridge formed by connecting four resistance sections: a first resistance section R1, a second resistance section R2, a third resistance section R3, and a fourth resistance section R4. The circuit C may be used, or it may be formed by connecting two resistance parts, the first resistance part R1 and the second resistance part R2, in a half-bridge connection. The first to fourth resistance parts R1 to R4 may include a single magnetoresistive element (AMR element, GMR element, TMR element, etc.) or a Hall element, or may include a plurality of magnetoresistive elements (AMR element, TMR element, etc.). (GMR element, TMR element, etc.) or a Hall element.

磁気検出部2が有するホイートストンブリッジ回路Cは、電源ポートVと、グランドポートGと、2つの出力ポートE1,E2と、直列に接続された第1抵抗部R1及び第2抵抗部R2と、直列に接続された第3抵抗部R3及び第4抵抗部R4とを含む。第1抵抗部R1及び第3抵抗部R3の各一端は、電源ポートVに接続される。第1抵抗部R1の他端は、第2抵抗部R2の一端と出力ポートE1とに接続される。第3抵抗部R3の他端は、第4抵抗部R4の一端と出力ポートE2とに接続される。第2抵抗部R2及び第4抵抗部R4の各他端は、グランドポートGに接続される。電源ポートVには、所定の大きさの電源電圧が印加され、グランドポートGはグランドに接続される。 The Wheatstone bridge circuit C included in the magnetic detection section 2 has a power supply port V, a ground port G, two output ports E1 and E2, and a first resistance section R1 and a second resistance section R2 connected in series. It includes a third resistance section R3 and a fourth resistance section R4 connected to. One end of each of the first resistance section R1 and the third resistance section R3 is connected to the power supply port V. The other end of the first resistance section R1 is connected to one end of the second resistance section R2 and the output port E1. The other end of the third resistance section R3 is connected to one end of the fourth resistance section R4 and the output port E2. The other ends of the second resistance section R2 and the fourth resistance section R4 are connected to the ground port G. A power supply voltage of a predetermined magnitude is applied to the power supply port V, and the ground port G is connected to the ground.

本実施形態において、ホイートストンブリッジ回路Cに含まれる第1~第4抵抗部R1~R4は、AMR素子、GMR素子又はTMR素子等のMR素子を含んでいてもよいし、ホール素子を含んでいてもよい。GMR素子及びTMR素子は、磁化方向が固定された磁化固定層と、印加される磁場の方向に応じて磁化方向が変化する自由層と、磁化固定層及び自由層の間に配置される非磁性層とを含む。AMR素子は、形状異方性を有する磁性層を含む。 In this embodiment, the first to fourth resistance sections R1 to R4 included in the Wheatstone bridge circuit C may include an MR element such as an AMR element, a GMR element, or a TMR element, or may include a Hall element. Good too. GMR elements and TMR elements consist of a magnetization fixed layer whose magnetization direction is fixed, a free layer whose magnetization direction changes depending on the direction of an applied magnetic field, and a nonmagnetic layer arranged between the magnetization fixed layer and the free layer. layer. An AMR element includes a magnetic layer having shape anisotropy.

第1~第4抵抗部R1~R4を構成するGMR素子又はTMR素子等のMR素子は、複数の第1電極71と、複数のMR膜80と、複数の第2電極72とを有していればよい。複数の第1電極71は、基板(図示せず)上に設けられている。第1電極71は、下部リード電極とも称される。各第1電極71は細長い形状を有する。第1電極71の長手方向に隣接する2つの第1電極71の間には、間隙が形成されている。第1電極71の上面における、長手方向の両端近傍にそれぞれMR膜80が設けられている。MR膜80は、平面視略円形状であり、第1電極71側から順に積層された自由層81、非磁性層82、磁化固定層83及び反強磁性層84を含む。自由層81は、第1電極71に電気的に接続されている。反強磁性層84は、反強磁性材料により構成され、磁化固定層83との間で交換結合を生じさせることで、磁化固定層83の磁化の方向を固定する役割を果たす。複数の第2電極72は、複数のMR膜80上に設けられている。各第2電極72は細長い形状を有し、第1電極71の長手方向に隣接する2つの第1電極71上に配置され、隣接する2つのMR膜80の反強磁性層84同士を電気的に接続する。第2電極72は、上部リード電極とも称される。なお、MR膜80は、第2電極72側から順に自由層81、非磁性層82、磁化固定層83及び反強磁性層84が積層されてなる構成を有していてもよい。また、磁化固定層83を、強磁性層/非磁性中間層/強磁性層の積層フェリ構造とし、両強磁性層を反強磁性的に結合させてなる、いわゆるセルフピン止め型の固定層(Synthetic Ferri Pinned層,SFP層)とすることで、反強磁性層84が省略されていてもよい。 An MR element such as a GMR element or a TMR element constituting the first to fourth resistance parts R1 to R4 includes a plurality of first electrodes 71, a plurality of MR films 80, and a plurality of second electrodes 72. That's fine. The plurality of first electrodes 71 are provided on a substrate (not shown). The first electrode 71 is also referred to as a lower lead electrode. Each first electrode 71 has an elongated shape. A gap is formed between two first electrodes 71 adjacent to each other in the longitudinal direction of the first electrodes 71 . MR films 80 are provided near both longitudinal ends of the upper surface of the first electrode 71, respectively. The MR film 80 has a substantially circular shape in plan view, and includes a free layer 81, a nonmagnetic layer 82, a magnetization fixed layer 83, and an antiferromagnetic layer 84, which are laminated in order from the first electrode 71 side. Free layer 81 is electrically connected to first electrode 71 . The antiferromagnetic layer 84 is made of an antiferromagnetic material, and plays the role of fixing the direction of magnetization of the magnetization fixed layer 83 by causing exchange coupling with the magnetization fixed layer 83. The plurality of second electrodes 72 are provided on the plurality of MR films 80. Each second electrode 72 has an elongated shape and is arranged on two first electrodes 71 adjacent to each other in the longitudinal direction of the first electrode 71, and electrically connects the antiferromagnetic layers 84 of two adjacent MR films 80. Connect to. The second electrode 72 is also referred to as an upper lead electrode. Note that the MR film 80 may have a structure in which a free layer 81, a nonmagnetic layer 82, a magnetization fixed layer 83, and an antiferromagnetic layer 84 are laminated in order from the second electrode 72 side. The magnetization pinned layer 83 has a ferromagnetic layer/non-magnetic intermediate layer/ferromagnetic layer laminated ferri structure, and both ferromagnetic layers are antiferromagnetically coupled, a so-called self-pinned pinned layer (Synthetic Ferri pinned layer, SFP layer), the antiferromagnetic layer 84 may be omitted.

TMR素子においては、非磁性層82はトンネルバリア層である。GMR素子においては、非磁性層82は非磁性導電層である。TMR素子、GMR素子において、自由層81の磁化の方向が磁化固定層83の磁化の方向に対してなす角度に応じて抵抗値が変化し、この角度が0°(互いの磁化方向が平行)のときに抵抗値が最小となり、180°(互いの磁化方向が反平行)のときに抵抗値が最大となる。 In the TMR element, nonmagnetic layer 82 is a tunnel barrier layer. In the GMR element, nonmagnetic layer 82 is a nonmagnetic conductive layer. In TMR elements and GMR elements, the resistance value changes depending on the angle that the direction of magnetization of the free layer 81 makes with respect to the direction of magnetization of the fixed magnetization layer 83, and when this angle is 0° (the directions of magnetization are parallel to each other). The resistance value is the minimum when the angle is 180° (the magnetization directions are antiparallel to each other), and the resistance value is the maximum.

第1~第4抵抗部R1~R4がTMR素子又はGMR素子により構成される場合、磁気検出部2のホイートストンブリッジ回路Cにおいて、第1抵抗部R1及び第2抵抗部R2の磁化固定層83の磁化方向はX方向に平行であって、第1抵抗部R1の磁化固定層83の磁化方向と、第2抵抗部R2の磁化固定層83の磁化方向とは、互いに反平行方向である。また、第3抵抗部R3及び第4抵抗部R4の磁化固定層83の磁化方向はX方向に平行であって、第3抵抗部R3の磁化固定層83の磁化方向と、第4抵抗部R4の磁化固定層83の磁化方向とは、互いに反平行方向である。磁気検出部2において、導体5から発生するX方向の磁場の磁界強度の変化に応じて、出力ポートE1,E2の電位差が変化し、出力ポートE1,E2の電位差に対応する信号がセンサ信号Sとして信号処理部6に出力される。差分検出器(図示省略)は、出力ポートE1,E2の電位差に対応する信号を増幅し、センサ信号Sとして信号処理部6のA/D変換部61に出力する。 When the first to fourth resistance sections R1 to R4 are constituted by TMR elements or GMR elements, in the Wheatstone bridge circuit C of the magnetic detection section 2, the magnetization fixed layer 83 of the first resistance section R1 and the second resistance section R2 is The magnetization direction is parallel to the X direction, and the magnetization direction of the magnetization fixed layer 83 of the first resistance section R1 and the magnetization direction of the magnetization fixed layer 83 of the second resistance section R2 are antiparallel to each other. Further, the magnetization direction of the magnetization fixed layer 83 of the third resistance section R3 and the fourth resistance section R4 is parallel to the X direction, and the magnetization direction of the magnetization fixed layer 83 of the third resistance section R3 and the fourth resistance section R4 are parallel to the X direction. The magnetization directions of the magnetization fixed layer 83 are antiparallel to each other. In the magnetic detection unit 2, the potential difference between the output ports E1 and E2 changes in accordance with the change in the magnetic field strength of the magnetic field in the X direction generated from the conductor 5, and a signal corresponding to the potential difference between the output ports E1 and E2 becomes the sensor signal S. The signal is output to the signal processing section 6 as a signal. The difference detector (not shown) amplifies a signal corresponding to the potential difference between the output ports E1 and E2, and outputs it as a sensor signal S to the A/D converter 61 of the signal processor 6.

A/D変換部61は、磁気検出部2から出力されるセンサ信号S(電流に関するアナログ信号)をデジタル信号に変換し、当該デジタル信号が演算部62に入力される。演算部62は、A/D変換部61によりアナログ信号から変換されたデジタル信号についての演算処理を行う。この演算部62は、例えば、マイクロコンピュータ、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)等により構成される。 The A/D converter 61 converts the sensor signal S (analog signal related to current) output from the magnetic detection unit 2 into a digital signal, and the digital signal is input to the calculation unit 62. The calculation unit 62 performs calculation processing on the digital signal converted from the analog signal by the A/D conversion unit 61. This calculation unit 62 is configured by, for example, a microcomputer, an ASIC (Application Specific Integrated Circuit), or the like.

本実施形態に係る電流センサ1の第1態様において、図11A~11Dに示すように、磁気シールド4の板状シールド部41に、Y方向に貫通するスリット部42が形成されていてもよい。スリット部42は、その長手方向をX方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図11A参照)、その長手方向をZ方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図11B及び図11C参照)、その長手方向をX方向及びZ方向に交差させるように形成されていてもよい(図11D参照)。磁気シールド4の板状シールド部41には、1つのスリット部42が形成されていてもよいし(図11A、図11B及び図11D参照)、複数のスリット部42が形成されていてもよい(図11C参照)。スリット部42は、Y方向に沿って見たときに、磁気検出部2に重なるように、すなわちスリット部42から磁気検出部2の少なくとも一部が露出するように形成されていてもよいし(図11A、図11B及び図11D参照)、磁気検出部2に重ならないように形成されていてもよい(図11C参照)。 In the first aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 11A to 11D, a slit portion 42 penetrating in the Y direction may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4. The slit portion 42 may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the X direction (see FIG. 11A), or may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction. (see FIGS. 11B and 11C), or may be formed so that its longitudinal direction intersects the X direction and the Z direction (see FIG. 11D). One slit portion 42 may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 (see FIGS. 11A, 11B, and 11D), or a plurality of slit portions 42 may be formed (see FIGS. 11A, 11B, and 11D). (see Figure 11C). The slit section 42 may be formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, that is, at least a portion of the magnetic detection section 2 may be exposed from the slit section 42 ( (see FIGS. 11A, 11B, and 11D), and may be formed so as not to overlap the magnetic detection section 2 (see FIG. 11C).

本実施形態に係る電流センサ1の第1態様において、磁気シールド4の板状シールド部41にスリット部42が形成されていないと、Y方向の外乱磁場Hは磁気シールド4の板状シールド部41の厚さ方向に透過する(図12A参照)。X方向に感度軸を有する磁気検出部2に、Y方向の外乱磁場Hが印加したとしても、通常、大きな影響を受けない。しかし、電流センサ1における磁気検出部2の組付け誤差等によって、磁気検出部2の感度軸がX方向から±Y方向にずれている場合には、スリット部42が形成されていない板状シールド部41は、Y方向の外乱磁場Hを当該板状シールド部41の厚さ方向に透過させてしまうため、電流センサ1が外乱磁場Hによる影響を受けてしまうおそれがある。 In the first aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, if the slit portion 42 is not formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4, the disturbance magnetic field H Y in the Y direction is 41 in the thickness direction (see FIG. 12A). Even if a disturbance magnetic field HY in the Y direction is applied to the magnetic detection unit 2 having a sensitivity axis in the X direction, it is usually not significantly affected. However, if the sensitivity axis of the magnetic detecting section 2 is shifted from the X direction to the ±Y direction due to an assembly error of the magnetic detecting section 2 in the current sensor 1, a plate-shaped shield without the slit section 42 may be used. Since the portion 41 transmits the disturbance magnetic field H Y in the Y direction in the thickness direction of the plate-shaped shield portion 41, there is a possibility that the current sensor 1 will be affected by the disturbance magnetic field H Y.

一方で、板状シールド部41にスリット部42が形成されていることで、Y方向の外乱磁場Hをスリット部42の両側(Y方向に沿って見たときにおけるスリット部42の短手方向における両側)に分散させることができる。そのため、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重なるように形成されている場合には、Y方向に沿って磁気検出部2に向かう外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを抑制することができる(図12B参照)。 On the other hand, since the slit part 42 is formed in the plate-shaped shield part 41, the disturbance magnetic field H can be dispersed on both sides). Therefore, when the slit section 42 is formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field H Y directed toward the magnetic detection section 2 along the Y direction is transmitted to the magnetic detection section. 2 can be suppressed from being applied (see FIG. 12B).

なお、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重ならないように形成されている場合には、Y方向に沿って磁気検出部2に向かう外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを抑制することは困難となるが、磁気シールド4の外側から回り込んで磁気シールド4に誘導される外乱磁場Hが電流センサ1に影響を及ぼすのを抑制することができる(図12C参照)。 Note that if the slit portion 42 is formed so as not to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field H Y directed toward the magnetic detection section 2 along the Y direction will cause magnetic detection. Although it is difficult to suppress the disturbance magnetic field HY from being applied to the magnetic shield section 2, it is possible to suppress the disturbance magnetic field HY that wraps around from the outside of the magnetic shield 4 and is induced into the magnetic shield 4 from affecting the current sensor 1. (See Figure 12C).

図11Aに示す態様において、スリット部42の長手方向(X方向)の長さL42は、コアギャップCGのX方向における長さLCGよりも短くてもよいし、長くてもよいし、当該長さLCGと同一であってもよい。図11A~11Dに示す態様において、スリット部42の短手方向の長さW42は、例えば1~4mm程度であればよく、2~3mm程度であるのが好ましい。当該長さW42が1mm未満であると、スリット部42によって外乱磁場Hを効果的に分散させることができずに、外乱磁場Hが磁気シールド4の板状シールド部41を厚さ方向に透過して磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該長さW42が4mmを超えると、Y方向の外乱磁場Hがスリット部42を抜けて磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。 In the embodiment shown in FIG. 11A, the length L 42 in the longitudinal direction (X direction) of the slit portion 42 may be shorter or longer than the length L CG in the X direction of the core gap CG. The length L may be the same as CG . In the embodiments shown in FIGS. 11A to 11D, the length W 42 of the slit portion 42 in the transverse direction may be, for example, about 1 to 4 mm, and preferably about 2 to 3 mm. If the length W 42 is less than 1 mm, the slit portion 42 will not be able to effectively disperse the disturbance magnetic field HY , and the disturbance magnetic field HY will damage the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 in the thickness direction. There is a possibility that the magnetic field is transmitted through the magnetic field and applied to the magnetic detection section 2. Furthermore, if the length W exceeds 4 mm, there is a risk that the disturbance magnetic field H in the Y direction may pass through the slit section 42 and be applied to the magnetic detection section 2.

本実施形態に係る電流センサ1の第1態様によれば、Y方向から見たときに集磁コア2のコアギャップCGに重なるように磁気シールド4が設けられていることで、少なくともX方向の外乱磁場Hを集磁コア2及び磁気シールド4に誘導させることができ、当該外乱磁場Hによる影響を抑制することができる。よって、本実施形態に係る電流センサ1の第1態様によれば、導体5に流れる電流を高い精度で検出することができる。 According to the first aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetic shield 4 is provided so as to overlap the core gap CG of the magnetic flux collecting core 2 when viewed from the Y direction, so that at least The disturbance magnetic field HX can be induced into the magnetic flux collecting core 2 and the magnetic shield 4, and the influence of the disturbance magnetic field HX can be suppressed. Therefore, according to the first aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the current flowing through the conductor 5 can be detected with high accuracy.

本実施形態に係る電流センサ1の第2態様について説明する。なお、上記第1態様と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略するものとする。図13~16に示すように、電流センサ1の第2態様は、磁気を検出可能な磁気検出部2と、集磁コア3と、磁気シールド4と、Z方向に電流が流れる導体5とを備える。 A second aspect of the current sensor 1 according to this embodiment will be described. Note that the same configurations as those in the first aspect are given the same reference numerals, and detailed explanations thereof will be omitted. As shown in FIGS. 13 to 16, the second embodiment of the current sensor 1 includes a magnetic detection section 2 capable of detecting magnetism, a magnetic flux collecting core 3, a magnetic shield 4, and a conductor 5 through which current flows in the Z direction. Be prepared.

磁気シールド4は、板状シールド部41のZ方向の両端部41A,41Bに連続し、Y方向に沿って延びる第1シールド部43及び第2シールド部44を含む。板状シールド部41のX方向の長さL41は、第1シールド部43のX方向の長さL43及び第2シールド部44のX方向の長さと同一である。すなわち、磁気シールド4は、X方向に沿って見たときに、略U字状を有している。 The magnetic shield 4 includes a first shield part 43 and a second shield part 44 that are continuous with both ends 41A and 41B of the plate-shaped shield part 41 in the Z direction and extend along the Y direction. The length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the X direction is the same as the length L 43 of the first shield portion 43 in the X direction and the length of the second shield portion 44 in the X direction. That is, the magnetic shield 4 has a substantially U-shape when viewed along the X direction.

本実施形態に係る電流センサ1の第2態様において、磁気シールド4は、板状シールド部41のZ方向の両端部41A,41Bに連続する第1シールド部43及び第2シールド部44を含む。第1シールド部43及び第2シールド部44は、板状シールド部41の両端部41A,41Bから-Y方向に延びている。磁気シールド4が第1シールド部43及び第2シールド部44を含んでいることで、Y方向の外乱磁場Hが第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されるため(図17A参照)、当該外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されることを抑制することができる。また、X方向の外乱磁場Hは、集磁コア3の第4コア部34又は第5コア部35から第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されるため(図17B参照)、当該外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されることを抑制することができる。 In the second aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetic shield 4 includes a first shield part 43 and a second shield part 44 that are continuous to both ends 41A and 41B of the plate-shaped shield part 41 in the Z direction. The first shield part 43 and the second shield part 44 extend from both ends 41A, 41B of the plate-shaped shield part 41 in the -Y direction. Since the magnetic shield 4 includes the first shield part 43 and the second shield part 44, the disturbance magnetic field H Y in the Y direction is induced to the first shield part 43 and the second shield part 44 (see FIG. 17A). ), it is possible to suppress the disturbance magnetic field H Y from being applied to the magnetic detection section 2 . Further, since the disturbance magnetic field HX in the X direction is induced from the fourth core part 34 or the fifth core part 35 of the magnetic flux collecting core 3 to the first shield part 43 and the second shield part 44 (see FIG. 17B), Application of the disturbance magnetic field HX to the magnetic detection section 2 can be suppressed.

第1シールド部43及び第2シールド部44のY方向における長さT43,T44は、導体5に接触しない程度であれば特に限定されるものではないが、Z方向に沿って見たときに、コアギャップCGに完全に重なる程度の長さ以上であることが好ましい(図16参照)。Z方向に沿って見たときに、第1シールド部43及び第2シールド部44がコアギャップCGに完全に重なっていることで、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hのいずれもが磁気検出部2に印加されるのを効果的に抑制することができる。当該長さT43,T44は、例えば、6~10mm程度であればよい。なお、第1シールド部43のY方向における長さT43と第2シールド部44のY方向における長さT44とは、互いに同一であってもよいし、異なっていてもよい。 The lengths T 43 and T 44 of the first shield part 43 and the second shield part 44 in the Y direction are not particularly limited as long as they do not contact the conductor 5, but when viewed along the Z direction In addition, it is preferable that the length is at least enough to completely overlap the core gap CG (see FIG. 16). When viewed along the Z direction, the first shield part 43 and the second shield part 44 completely overlap the core gap CG, so that the disturbance magnetic field H in the X direction and the disturbance magnetic field H in the Y direction are reduced. Both can be effectively suppressed from being applied to the magnetic detection section 2. The lengths T 43 and T 44 may be, for example, about 6 to 10 mm. Note that the length T 43 of the first shield portion 43 in the Y direction and the length T 44 of the second shield portion 44 in the Y direction may be the same or different.

本実施形態において、板状シールド部41の両端部41A,41Bと、第1シールド部43及び第2シールド部44との連続部は、いずれも湾曲形状(角丸形状)を有しているが、この態様に限定されるものではない。例えば、これらの連続部は、屈曲形状(角を有する形状)であってもよいし、角が面取りされたC面取り形状であってもよい。 In this embodiment, both end portions 41A and 41B of the plate-shaped shield portion 41 and continuous portions of the first shield portion 43 and the second shield portion 44 have a curved shape (rounded corner shape). , but is not limited to this embodiment. For example, these continuous parts may have a bent shape (a shape with corners) or a C-chamfered shape with chamfered corners.

本実施形態に係る電流センサ1の第2態様において、図18A~18Dに示すように、磁気シールド4の板状シールド部41に、Y方向に貫通するスリット部42が形成されていてもよい。スリット部42は、その長手方向をX方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図18A参照)、その長手方向をZ方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図18B及び図18C参照)、その長手方向をX方向及びZ方向に交差させるように形成されていてもよい(図18D参照)。磁気シールド4の板状シールド部41には、1つのスリット部42が形成されていてもよいし(図18A、図18B及び図18D参照)、複数のスリット部42が形成されていてもよい(図18C参照)。スリット部42は、Y方向に沿って見たときに、磁気検出部2に重なるように、すなわちスリット部42から磁気検出部2の少なくとも一部が露出するように形成されていてもよいし(図18A、図18B及び図18D参照)、磁気検出部2に重ならないように形成されていてもよい(図18C参照)。 In the second aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 18A to 18D, a slit portion 42 penetrating in the Y direction may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4. The slit portion 42 may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the X direction (see FIG. 18A), or may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction. (see FIGS. 18B and 18C), or may be formed so that its longitudinal direction intersects the X direction and the Z direction (see FIG. 18D). One slit portion 42 may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 (see FIGS. 18A, 18B, and 18D), or a plurality of slit portions 42 may be formed (see FIGS. 18A, 18B, and 18D). (see Figure 18C). The slit section 42 may be formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, that is, at least a portion of the magnetic detection section 2 may be exposed from the slit section 42 ( (see FIGS. 18A, 18B, and 18D), and may be formed so as not to overlap the magnetic detection section 2 (see FIG. 18C).

本実施形態に係る電流センサ1の第2態様において、Y方向の外乱磁場Hは第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されやすいが、磁気シールド4の板状シールド部41にスリット部42が形成されていないと、Y方向の外乱磁場Hの一部は磁気シールド4の板状シールド部41の厚さ方向に透過してしまう(図17A参照)。その結果、電流センサ1が外乱磁場Hによる影響を受けてしまうおそれがある。 In the second aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the disturbance magnetic field H in the Y direction is easily induced in the first shield part 43 and the second shield part 44, but If the portion 42 is not formed, a part of the disturbance magnetic field H Y in the Y direction will be transmitted in the thickness direction of the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 (see FIG. 17A). As a result, the current sensor 1 may be affected by the disturbance magnetic field HY .

一方で、板状シールド部41にスリット部42が形成されていることで、Y方向の外乱磁場Hをスリット部42の両側(Y方向に沿って見たときにおけるスリット部42の短手方向(Z方向)における両側)に分散させることができ、より効果的に第1シールド部43及び第2シールド部44に当該外乱磁場Hを誘導させやすくなっている。そのため、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重なるように形成されている場合には、Y方向に沿って磁気検出部2に向かう外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを効果的に抑制することができる(図19参照)。 On the other hand, since the slit part 42 is formed in the plate-shaped shield part 41, the disturbance magnetic field H (both sides in the Z direction)), making it easier to more effectively induce the disturbance magnetic field HY to the first shield part 43 and the second shield part 44. Therefore, when the slit section 42 is formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field H Y directed toward the magnetic detection section 2 along the Y direction is transmitted to the magnetic detection section. 2 can be effectively suppressed (see FIG. 19).

なお、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重ならないように形成されている場合には、磁気シールド4の外側から回り込んで磁気シールド4に誘導される外乱磁場Hが電流センサ1に影響を及ぼすのを抑制することができる(図12C参照)。 Note that if the slit portion 42 is formed so as not to overlap the magnetic detection portion 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field that wraps around from the outside of the magnetic shield 4 and is induced into the magnetic shield 4 It is possible to suppress H Y from affecting the current sensor 1 (see FIG. 12C).

図18Aに示す態様において、スリット部42の長手方向(X方向)の長さL42は、コアギャップCGのX方向における長さLCGよりも短くてもよいし、長くてもよいし、当該長さLCGと同一であってもよい。図18A~18Dに示す態様において、スリット部42の短手方向の長さW42は、例えば1~4mm程度であればよく、2~3mm程度であるのが好ましい。当該長さW42が1mm未満であると、スリット部42による外乱磁場Hを分散させる効果が低下し、磁気シールド4の板状シールド部41を厚さ方向に透過する外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該長さW42が4mmを超えると、Y方向の外乱磁場Hがスリット部42を抜けて磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。 In the embodiment shown in FIG. 18A, the length L 42 in the longitudinal direction (X direction) of the slit portion 42 may be shorter or longer than the length L CG in the X direction of the core gap CG. The length L may be the same as CG . In the embodiments shown in FIGS. 18A to 18D, the length W 42 of the slit portion 42 in the transverse direction may be, for example, about 1 to 4 mm, and preferably about 2 to 3 mm. If the length W 42 is less than 1 mm, the effect of dispersing the disturbance magnetic field HY by the slit portion 42 decreases, and the disturbance magnetic field HY that passes through the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 in the thickness direction becomes magnetic. There is a possibility that the voltage may be applied to the detection unit 2. Furthermore, if the length W exceeds 4 mm, there is a risk that the disturbance magnetic field H in the Y direction may pass through the slit section 42 and be applied to the magnetic detection section 2.

上述した構成を有する本実施形態に係る電流センサ1の第2態様においては、磁気シールド4が板状シールド部41の両端部41A,41Bに連続する第1シールド部43及び第2シールド部44を含むことで、Y方向の外乱磁場Hを第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導させることができる。また、X方向の外乱磁場Hは磁気シールド4の板状シールド部41及び集磁コア3に誘導される。よって、電流センサ1の第2態様によれば、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hにより検出誤差が生じるのを抑制することができる。 In the second aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment having the above-described configuration, the magnetic shield 4 includes a first shield part 43 and a second shield part 44 that are continuous with both ends 41A and 41B of the plate-shaped shield part 41. By including it, the disturbance magnetic field H Y in the Y direction can be guided to the first shield part 43 and the second shield part 44. Further, the disturbance magnetic field HX in the X direction is guided to the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 and the magnetic collecting core 3. Therefore, according to the second aspect of the current sensor 1, it is possible to suppress detection errors caused by the disturbance magnetic field HX in the X direction and the disturbance magnetic field HY in the Y direction.

本実施形態に係る電流センサ1の第3態様について説明する。なお、上記第1態様及び第2態様と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略するものとする。図20~22に示すように、電流センサ1の第3態様は、磁気を検出可能な磁気検出部2と、集磁コア3と、磁気シールド4と、Z方向に電流が流れる導体5とを備える。 A third aspect of the current sensor 1 according to this embodiment will be described. Note that the same components as in the first and second aspects are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. As shown in FIGS. 20 to 22, the third aspect of the current sensor 1 includes a magnetic detection section 2 capable of detecting magnetism, a magnetic flux collecting core 3, a magnetic shield 4, and a conductor 5 through which current flows in the Z direction. Be prepared.

集磁コア3は、第1コア部31と、第1コア部31の両端部31A,31Bに連続する第2コア部32及び第3コア部33と、第2コア部32のY方向における所定の位置321に連続し、X方向に沿って延びる第4コア部34と、第3コア部33のY方向における所定の位置331に連続し、X方向に沿って延びる第5コア部35とを含む。第2コア部32は、第4コア部34との連続部321からさらにY方向に沿って延びており、第3コア部33は、第5コア部35との連続部331からさらにY方向に沿って延びている。すなわち、第4コア部34は、第2コア部32の端部32Aに連続しておらず、第5コア部35は、第3コア部33の端部33Aに連続していない。第4コア部34及び第5コア部35は、それらの端面を互いに近づけるようにX方向に沿って延びている。第4コア部34の端面と第5コア部35の端面とに挟まれる空隙(空間)がコアギャップCGである。 The magnetic flux collecting core 3 includes a first core part 31, a second core part 32 and a third core part 33 that are continuous to both ends 31A and 31B of the first core part 31, and a predetermined portion of the second core part 32 in the Y direction. A fourth core part 34 is continuous with the position 321 of the third core part 33 and extends along the X direction, and a fifth core part 35 is continuous with a predetermined position 331 of the third core part 33 in the Y direction and extends along the X direction. include. The second core part 32 extends further in the Y direction from a continuous part 321 with the fourth core part 34, and the third core part 33 further extends in the Y direction from a continuous part 331 with the fifth core part 35. It extends along. That is, the fourth core part 34 is not continuous with the end 32A of the second core part 32, and the fifth core part 35 is not continuous with the end 33A of the third core part 33. The fourth core part 34 and the fifth core part 35 extend along the X direction so that their end surfaces are brought closer to each other. A gap (space) sandwiched between the end face of the fourth core part 34 and the end face of the fifth core part 35 is the core gap CG.

本実施形態に係る電流センサ1の第3態様においては、第2コア部32における第4コア部34との連続部321からY方向に沿って当該第2コア部32が延びており、かつ第3コア部33における第5コア部35との連続部331からY方向に沿って当該第3コア部33が延びていることで、X方向の外乱磁場Hを集磁コア3の第1コア部31側と、第2コア部32の端部32A側又は第3コア部33の端部33A側とに誘導させることができ、当該外乱磁場Hによる影響を抑制することができる。 In the third aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the second core part 32 extends along the Y direction from a continuous part 321 with the fourth core part 34 in the second core part 32, and Since the third core part 33 extends along the Y direction from the continuous part 331 with the fifth core part 35 in the third core part 33, the disturbance magnetic field HX in the X direction is transferred to the first core of the magnetic collecting core 3. 31 side and the end 32A side of the second core part 32 or the end 33A side of the third core part 33, and the influence of the disturbance magnetic field HX can be suppressed.

本実施形態において、集磁コア3の第1コア部31の端部31Aと第2コア部32との連続部、第1コア部31の端部31Bと第3コア部33との連続部、第2コア部32と第4コア部34との連続部321、及び第3コア部33と第5コア部35との連続部331は、いずれも屈曲形状(角を有する形状)を有しているが、この態様に限定されるものではない。例えば、これらの連続部は、湾曲形状(角丸形状)であってもよいし、角が面取りされたC面取り形状であってもよい。 In this embodiment, a continuous part between the end 31A of the first core part 31 and the second core part 32 of the magnetic flux collecting core 3, a continuous part between the end 31B of the first core part 31 and the third core part 33, The continuous part 321 between the second core part 32 and the fourth core part 34 and the continuous part 331 between the third core part 33 and the fifth core part 35 both have a bent shape (shape with corners). However, it is not limited to this embodiment. For example, these continuous parts may have a curved shape (rounded corner shape) or a C-chamfered shape with chamfered corners.

第1コア部31を下方に、第2コア部32及び第3コア部33を第1コア部31の両端部31A,31Bから上方に延ばすようにして集磁コア3を位置させたとき、磁気シールド4の板状シールド部41は、第4コア部34及び第5コア部35の上方に、X方向において、第2コア部32及び第3コア部33の間に挟まれるように配置される。このような構成を有する電流センサ1の第3態様において、第2コア部32における第4コア部34の連続部321から端部32AまでのY方向に沿った長さT322及び第3コア部33における第5コア部35の連続部331から端部33AまでのY方向に沿った長さT332は、特に限定されるものではない。例えば、当該長さT322,T332は、第2コア部32の端部32A及び第3コア部33の端部33Aが板状シールド部41よりも上方に飛び出す程度の長さであってもよいし、第2コア部32の端部32A及び第3コア部33の端部33Aよりも板状シールド部41が上方に飛び出す程度の長さであってもよい。また、当該長さT322,T332は、板状シールド部41の上面と両端部32A,33Aとが同一の平面(XZ平面)上に位置する程度の長さであってもよい。 When the magnetism collecting core 3 is positioned so that the first core part 31 extends downward and the second core part 32 and third core part 33 extend upward from both ends 31A and 31B of the first core part 31, the magnetic The plate-shaped shield part 41 of the shield 4 is arranged above the fourth core part 34 and the fifth core part 35 so as to be sandwiched between the second core part 32 and the third core part 33 in the X direction. . In the third aspect of the current sensor 1 having such a configuration, the length T 322 along the Y direction from the continuous portion 321 of the fourth core portion 34 to the end portion 32A in the second core portion 32 and the third core portion The length T 332 along the Y direction from the continuous portion 331 of the fifth core portion 35 to the end portion 33A at 33 is not particularly limited. For example, the lengths T 322 and T 332 may be such that the end portion 32A of the second core portion 32 and the end portion 33A of the third core portion 33 protrude above the plate-shaped shield portion 41. Alternatively, the length may be such that the plate-shaped shield portion 41 protrudes above the end portion 32A of the second core portion 32 and the end portion 33A of the third core portion 33. Further, the lengths T 322 and T 332 may be such that the upper surface of the plate-shaped shield portion 41 and both end portions 32A and 33A are located on the same plane (XZ plane).

磁気シールド4(板状シールド部41)と集磁コア3(第4コア部34及び第5コア部35)とのY方向における間隙の長さG34は、例えば、3mm以下であればよく、1~2mm程度であればよい。当該間隙の長さG34が3mmを超えると、Y方向の外乱磁場Hが磁気シールド4のZ方向における端面の外側から磁気検出部2に向かって回り込み、磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該間隙の長さG34が相対的に短い(例えば1mm未満)であると、集磁コア3から磁気シールド4を通る磁路が形成され、磁束が磁気シールド4に流れやすくなるため、集磁コア3が磁気的に飽和しやすくなるとともに、磁気検出部2にて検出すべき磁束が減少してしまうおそれがある。 The length G 34 of the gap in the Y direction between the magnetic shield 4 (plate-shaped shield part 41) and the magnetic flux collecting core 3 (fourth core part 34 and fifth core part 35) may be, for example, 3 mm or less, It may be about 1 to 2 mm. If the length G of the gap exceeds 3 mm, the disturbance magnetic field H in the Y direction wraps around from the outside of the end face of the magnetic shield 4 in the Z direction toward the magnetic detection unit 2 and is applied to the magnetic detection unit 2. There is a risk. In addition, if the length G 34 of the gap is relatively short (for example, less than 1 mm), a magnetic path is formed from the magnetic flux collecting core 3 through the magnetic shield 4, and the magnetic flux easily flows to the magnetic shield 4. There is a possibility that the magnetic flux collecting core 3 becomes easily magnetically saturated and the magnetic flux to be detected by the magnetic detection section 2 decreases.

本実施形態において、Y方向に沿って見たときに、磁気シールド4は、板状シールド部41がコアギャップCGに完全に重なるように配置されている。すなわち、磁気シールド4の板状シールド部41のX方向における長さL41及びZ方向における長さW41は、コアギャップCGのX方向における長さLCG及びZ方向における長さ以上、すなわち集磁コア3のZ方向における幅W以上であればよい。例えば、板状シールド部41のX方向における長さL41はコアギャップCGのX方向の長さLCG+4mm以上、集磁コア3のX方向の長さL以下程度であればよく、Z方向における長さW41は集磁コア3のZ方向における幅W以上、集磁コア3のZ方向における幅W+8mm程度であればよい。なお、本実施形態に係る電流センサ1の第3態様は、この態様に限定されるものではない。例えば、磁気シールド4によってY方向の外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを抑制可能な限りにおいて、板状シールド部41がコアギャップCGに完全に重なっていなくてもよい。 In this embodiment, the magnetic shield 4 is arranged so that the plate-shaped shield portion 41 completely overlaps the core gap CG when viewed along the Y direction. That is, the length L 41 in the X direction and the length W 41 in the Z direction of the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 are greater than or equal to the length L CG in the X direction and the length in the Z direction of the core gap CG, that is, the The width W of the magnetic core 3 in the Z direction may be at least 3 . For example, the length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the X direction may be approximately equal to or greater than the length L CG of the core gap CG in the X direction and less than or equal to the length L 3 of the magnetic flux collecting core 3 in the X direction; The length W 41 in the direction may be at least the width W 3 of the magnetic flux collecting core 3 in the Z direction, and the width W 3 of the magnetic collecting core 3 in the Z direction + about 8 mm. Note that the third aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment is not limited to this aspect. For example, as long as the magnetic shield 4 can suppress the disturbance magnetic field HY in the Y direction from being applied to the magnetic detection section 2, the plate-shaped shield section 41 does not need to completely overlap the core gap CG.

本実施形態に係る電流センサ1の第3態様において、図23A~23Dに示すように、磁気シールド4の板状シールド部41に、Y方向に貫通するスリット部42が形成されていてもよい。スリット部42は、その長手方向をX方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図23A参照)、その長手方向をZ方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図23B及び図23C参照)、その長手方向をX方向及びZ方向に交差させるように形成されていてもよい(図23D参照)。磁気シールド4の板状シールド部41には、1つのスリット部42が形成されていてもよいし(図23A、図23B及び図23D参照)、複数のスリット部42が形成されていてもよい(図23C参照)。スリット部42は、Y方向に沿って見たときに、磁気検出部2に重なるように、すなわちスリット部42から磁気検出部2の少なくとも一部が露出するように形成されていてもよいし(図23A、図23B及び図23D参照)、磁気検出部2に重ならないように形成されていてもよい(図23C参照)。 In the third aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 23A to 23D, a slit portion 42 penetrating in the Y direction may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4. The slit portion 42 may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the X direction (see FIG. 23A), or may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction. (see FIGS. 23B and 23C), or may be formed so that its longitudinal direction intersects the X direction and the Z direction (see FIG. 23D). One slit portion 42 may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 (see FIGS. 23A, 23B, and 23D), or a plurality of slit portions 42 may be formed (see FIGS. 23A, 23B, and 23D). (see Figure 23C). The slit section 42 may be formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, that is, at least a portion of the magnetic detection section 2 may be exposed from the slit section 42 ( (see FIGS. 23A, 23B, and 23D), and may be formed so as not to overlap the magnetic detection section 2 (see FIG. 23C).

本実施形態に係る電流センサ1の第3態様において、磁気シールド4の板状シールド部41にスリット部42が形成されていないと、Y方向の外乱磁場Hの一部は磁気シールド4の板状シールド部41の厚さ方向に透過してしまう(図12A参照)。その結果、電流センサ1が外乱磁場Hによる影響を受けてしまうおそれがある。 In the third aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, if the slit portion 42 is not formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4, a part of the disturbance magnetic field H Y in the Y direction The light is transmitted in the thickness direction of the shaped shield portion 41 (see FIG. 12A). As a result, the current sensor 1 may be affected by the disturbance magnetic field HY .

一方で、板状シールド部41にスリット部42が形成されていることで、Y方向の外乱磁場Hをスリット部42の両側(Y方向に沿って見たときにおけるスリット部42の短手方向(Z方向)における両側)に分散させることができる。そのため、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重なるように形成されている場合には、Y方向に沿って磁気検出部2に向かう外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを効果的に抑制することができる(図12B参照)。 On the other hand, since the slit part 42 is formed in the plate-shaped shield part 41, the disturbance magnetic field H (Both sides in the Z direction). Therefore, when the slit section 42 is formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field H Y directed toward the magnetic detection section 2 along the Y direction is transmitted to the magnetic detection section. 2 can be effectively suppressed (see FIG. 12B).

なお、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重ならないように形成されている場合には、磁気シールド4の外側から回り込んで磁気シールド4に誘導される外乱磁場Hが電流センサ1に影響を及ぼすのを抑制することができる(図12C参照)。 Note that if the slit portion 42 is formed so as not to overlap the magnetic detection portion 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field that wraps around from the outside of the magnetic shield 4 and is induced into the magnetic shield 4 It is possible to suppress H Y from affecting the current sensor 1 (see FIG. 12C).

図23Aに示す態様において、スリット部42の長手方向(X方向)の長さL42は、コアギャップCGのX方向における長さLCGよりも短くてもよいし、長くてもよいし、当該長さLCGと同一であってもよい。図23A~23Dに示す態様において、スリット部42の短手方向の長さW42は、例えば1~4mm程度であればよく、2~3mm程度であるのが好ましい。当該長さW42が1mm未満であると、スリット部42による外乱磁場Hを分散させる効果が低下し、磁気シールド4の板状シールド部41を厚さ方向に透過する外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該長さW42が4mmを超えると、Y方向の外乱磁場Hがスリット部42を抜けて磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。 In the embodiment shown in FIG. 23A, the length L 42 in the longitudinal direction (X direction) of the slit portion 42 may be shorter or longer than the length L CG in the X direction of the core gap CG. The length L may be the same as CG . In the embodiments shown in FIGS. 23A to 23D, the length W 42 of the slit portion 42 in the transverse direction may be, for example, about 1 to 4 mm, and preferably about 2 to 3 mm. If the length W 42 is less than 1 mm, the effect of dispersing the disturbance magnetic field HY by the slit portion 42 decreases, and the disturbance magnetic field HY that passes through the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 in the thickness direction becomes magnetic. There is a possibility that the voltage may be applied to the detection unit 2. Furthermore, if the length W exceeds 4 mm, there is a risk that the disturbance magnetic field H in the Y direction may pass through the slit section 42 and be applied to the magnetic detection section 2.

上述した構成を有する電流センサ1の第3態様によれば、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hによる影響を受けることを抑制することができるため、導体5に流れる電流を高い精度で検出することができる。 According to the third aspect of the current sensor 1 having the above-described configuration, it is possible to suppress the influence of the disturbance magnetic field HX in the X direction and the disturbance magnetic field HY in the Y direction, so that the current flowing through the conductor 5 can be It can be detected with high accuracy.

本実施形態に係る電流センサ1の第4態様について説明する。なお、上記第1~第3態様と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略するものとする。図24~26に示すように、電流センサ1の第4態様は、磁気を検出可能な磁気検出部2と、集磁コア3と、磁気シールド4と、Z方向に電流が流れる導体5とを備える。 A fourth aspect of the current sensor 1 according to this embodiment will be described. Note that the same configurations as those in the first to third aspects described above are given the same reference numerals, and detailed explanation thereof will be omitted. As shown in FIGS. 24 to 26, the fourth aspect of the current sensor 1 includes a magnetic detection section 2 capable of detecting magnetism, a magnetic flux collecting core 3, a magnetic shield 4, and a conductor 5 through which current flows in the Z direction. Be prepared.

集磁コア3は、Z方向に実質的に平行な第1コア部31と、第1コア部31のX方向における両端部31A,31Bに連続し、Y方向(+Y方向)に延びる第2コア部32及び第3コア部33とを有する。X方向において互いに対向する第2コア部32の端部近傍と第3コア部33の端部近傍とに挟まれる空隙(空間)が、コアギャップCGである。すなわち、集磁コア3は、コアギャップCGを有し、Z方向に沿って見たときに略U字状のコアである。第4態様において、導体5から発生し、集磁コア3に集束される磁束は、第2コア部32の端部又は第3コア部33の端部から出て第3コア部33の端部又は第2コア部32の端部に吸収されるが、「第2コア部32の端部近傍」及び「第3コア部33の端部近傍」とは、第2コア部32の端部及び第3コア部33の端部において上記磁束の出る領域、第2コア部32の端部及び第3コア部33の端部において上記磁束が吸収される領域として規定され得る。この磁束が出る又は吸収される領域は、例えば磁気シミュレーション等により求められ得る。 The magnetic flux collecting core 3 includes a first core part 31 that is substantially parallel to the Z direction, and a second core that is continuous to both ends 31A and 31B of the first core part 31 in the X direction and extends in the Y direction (+Y direction). portion 32 and a third core portion 33. A gap (space) sandwiched between the vicinity of the end of the second core part 32 and the vicinity of the end of the third core part 33, which face each other in the X direction, is the core gap CG. That is, the magnetic flux collecting core 3 has a core gap CG and is a substantially U-shaped core when viewed along the Z direction. In the fourth aspect, the magnetic flux generated from the conductor 5 and focused on the magnetic flux collecting core 3 exits from the end of the second core part 32 or the end of the third core part 33 and reaches the end of the third core part 33. or absorbed by the end of the second core part 32, but "near the end of the second core part 32" and "near the end of the third core part 33" refer to the end of the second core part 32 and It can be defined as a region where the magnetic flux comes out at the end of the third core section 33, and a region where the magnetic flux is absorbed at the end of the second core section 32 and the end of the third core section 33. The region where this magnetic flux is emitted or absorbed can be determined by, for example, magnetic simulation.

コアギャップCGのX方向の長さLCG(第2コア部32の端部近傍と第3コア部33の端部近傍とのX方向における距離)は、例えば、6mm以上であればよく、6~12mm程度であればよい。当該長さLCGが6mm以上であることで、本実施形態に係る電流センサ1が磁気シールド4を備えることによる効果、すなわち、磁気シールド4により外乱磁場が磁気検出部2に印加されるのを抑制する効果が、効果的に奏され得る。 The length L CG of the core gap CG in the X direction (the distance in the X direction between the vicinity of the end of the second core part 32 and the vicinity of the end of the third core part 33) may be 6 mm or more, for example. It is sufficient if it is about 12 mm. Since the length L CG is 6 mm or more, the effect of the current sensor 1 according to the present embodiment including the magnetic shield 4, that is, the disturbance magnetic field is prevented from being applied to the magnetic detection section 2 by the magnetic shield 4. The suppressing effect can be effectively achieved.

磁気シールド4は、磁気シールド4は、板状シールド部41のZ方向の両端部41A,41Bに連続し、Y方向に沿って延びる第1シールド部43及び第2シールド部44を含む。板状シールド部41のX方向の長さL41は、第1シールド部43のX方向の長さL43及び第2シールド部44のX方向の長さと同一である。すなわち、磁気シールド4は、X方向に沿って見たときに、略U字状を有している。 The magnetic shield 4 includes a first shield part 43 and a second shield part 44 that are continuous with both ends 41A and 41B of the plate-shaped shield part 41 in the Z direction and extend along the Y direction. The length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the X direction is the same as the length L 43 of the first shield portion 43 in the X direction and the length of the second shield portion 44 in the X direction. That is, the magnetic shield 4 has a substantially U-shape when viewed along the X direction.

本実施形態に係る電流センサ1の第4態様において、磁気シールド4は、板状シールド部41のZ方向の両端部41A,41Bに連続する第1シールド部43及び第2シールド部44を含む。第1シールド部43及び第2シールド部44は、板状シールド部41の両端部41A,41Bから-Y方向に延びている。磁気シールド4が第1シールド部43及び第2シールド部44を含んでいることで、Y方向の外乱磁場Hが第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されるため(図17A参照)、当該外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されることを抑制することができる。また、X方向の外乱磁場Hは、集磁コア3の第4コア部34又は第5コア部35から第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されるため(図17B参照)、当該外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されることを抑制することができる。 In the fourth aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetic shield 4 includes a first shield part 43 and a second shield part 44 that are continuous to both ends 41A and 41B of the plate-shaped shield part 41 in the Z direction. The first shield part 43 and the second shield part 44 extend from both ends 41A, 41B of the plate-shaped shield part 41 in the -Y direction. Since the magnetic shield 4 includes the first shield part 43 and the second shield part 44, the disturbance magnetic field H Y in the Y direction is induced to the first shield part 43 and the second shield part 44 (see FIG. 17A). ), it is possible to suppress the disturbance magnetic field H Y from being applied to the magnetic detection section 2 . Further, since the disturbance magnetic field HX in the X direction is induced from the fourth core part 34 or the fifth core part 35 of the magnetic flux collecting core 3 to the first shield part 43 and the second shield part 44 (see FIG. 17B), Application of the disturbance magnetic field HX to the magnetic detection section 2 can be suppressed.

第1シールド部43及び第2シールド部44は、X方向における実質的に中央に、+Y方向に凹む凹部45,46を有している。この凹部45,46のX方向における長さL45,L46は、特に限定されるものではないが、導体5の厚みよりも大きければよい。電流センサ1の第4態様において、導体5は、厚み方向をX方向とし、Z方向に延びるように設けられている。導体5の一部がこの凹部45,46内に配置されることで、電流センサ1の全体のサイズを大きくすることなく、Y方向の外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを第1シールド部43及び第2シールド部44により抑制する効果が奏され得る。 The first shield part 43 and the second shield part 44 have recesses 45 and 46 recessed in the +Y direction substantially at the center in the X direction. The lengths L 45 and L 46 of the recesses 45 and 46 in the X direction are not particularly limited as long as they are larger than the thickness of the conductor 5. In the fourth embodiment of the current sensor 1, the conductor 5 is provided so that its thickness direction is the X direction and extends in the Z direction. By arranging a portion of the conductor 5 within the recesses 45 and 46, it is possible to prevent the disturbance magnetic field HY in the Y direction from being applied to the magnetic detection section 2 without increasing the overall size of the current sensor 1. The first shield part 43 and the second shield part 44 can have a suppressing effect.

導体5は、その厚み方向をX方向とし、その幅方向をY方向として、Z方向に延びるように設けられている。このような態様で導体5が配置されることで、電流センサ1のX方向におけるサイズをコンパクトにすることができる。一方で、このような態様で導体5が配置されると、電流センサ1のY方向におけるサイズが大きくなってしまうが、第1シールド部43及び第2シールド部44に凹部45,46が設けられており、その凹部45,46内に導体5の一部が配置されることで、電流センサ1のY方向におけるサイズが大きくなるのを防止することができる。 The conductor 5 is provided so as to extend in the Z direction, with its thickness direction being the X direction and its width direction being the Y direction. By arranging the conductor 5 in this manner, the size of the current sensor 1 in the X direction can be made compact. On the other hand, if the conductor 5 is arranged in such a manner, the size of the current sensor 1 in the Y direction becomes large. By arranging a portion of the conductor 5 within the recesses 45 and 46, it is possible to prevent the current sensor 1 from increasing in size in the Y direction.

本実施形態に係る電流センサ1の第4態様において、図27A~27Dに示すように、磁気シールド4の板状シールド部41に、Y方向に貫通するスリット部42が形成されていてもよい。スリット部42は、その長手方向をX方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図27A参照)、その長手方向をZ方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図27B及び図27C参照)、その長手方向をX方向及びZ方向に交差させるように形成されていてもよい(図27D参照)。磁気シールド4の板状シールド部41には、1つのスリット部42が形成されていてもよいし(図27A、図27B及び図27D参照)、複数のスリット部42が形成されていてもよい(図27C参照)。スリット部42は、Y方向に沿って見たときに、磁気検出部2に重なるように、すなわちスリット部42から磁気検出部2の少なくとも一部が露出するように形成されていてもよいし(図27A、図27B及び図27D参照)、磁気検出部2に重ならないように形成されていてもよい(図27C参照)。 In the fourth aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 27A to 27D, a slit portion 42 penetrating in the Y direction may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4. The slit portion 42 may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the X direction (see FIG. 27A), or may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction. (see FIGS. 27B and 27C), or may be formed so that its longitudinal direction intersects the X direction and the Z direction (see FIG. 27D). One slit portion 42 may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 (see FIGS. 27A, 27B, and 27D), or a plurality of slit portions 42 may be formed (see FIGS. 27A, 27B, and 27D). (see Figure 27C). The slit section 42 may be formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, that is, at least a portion of the magnetic detection section 2 may be exposed from the slit section 42 ( (see FIGS. 27A, 27B, and 27D), and may be formed so as not to overlap the magnetic detection section 2 (see FIG. 27C).

本実施形態に係る電流センサ1の第4態様において、磁気シールド4の板状シールド部41にスリット部42が形成されていないと、Y方向の外乱磁場Hの一部は磁気シールド4の板状シールド部41の厚さ方向に透過してしまう(図17A参照)。その結果、電流センサ1が外乱磁場Hによる影響を受けてしまうおそれがある。 In the fourth aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, if the slit portion 42 is not formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4, a part of the disturbance magnetic field H Y in the Y direction The light is transmitted in the thickness direction of the shaped shield portion 41 (see FIG. 17A). As a result, the current sensor 1 may be affected by the disturbance magnetic field HY .

一方で、板状シールド部41にスリット部42が形成されていることで、Y方向の外乱磁場Hをスリット部42の両側(Y方向に沿って見たときにおけるスリット部42の短手方向(Z方向)における両側)に分散させることができる。そのため、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重なるように形成されている場合には、Y方向に沿って磁気検出部2に向かう外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを効果的に抑制することができる(図19参照)。 On the other hand, since the slit part 42 is formed in the plate-shaped shield part 41, the disturbance magnetic field H (Both sides in the Z direction). Therefore, when the slit section 42 is formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field H Y directed toward the magnetic detection section 2 along the Y direction is transmitted to the magnetic detection section. 2 can be effectively suppressed (see FIG. 19).

なお、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重ならないように形成されている場合には、磁気シールド4の外側から回り込んで磁気シールド4に誘導される外乱磁場Hが電流センサ1に影響を及ぼすのを抑制することができる(図12C参照)。 Note that if the slit portion 42 is formed so as not to overlap the magnetic detection portion 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field that wraps around from the outside of the magnetic shield 4 and is induced into the magnetic shield 4 It is possible to suppress H Y from affecting the current sensor 1 (see FIG. 12C).

図27Aに示す態様において、スリット部42の長手方向(X方向)の長さL42は、コアギャップCGのX方向における長さLCGよりも短くてもよいし、長くてもよいし、当該長さLCGと同一であってもよい。図27A~27Dに示す態様において、スリット部42の短手方向の長さW42は、例えば1~4mm程度であればよく、2~3mm程度であるのが好ましい。当該長さW42が1mm未満であると、スリット部42による外乱磁場Hを分散させる効果が低下し、磁気シールド4の板状シールド部41を厚さ方向に透過する外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該長さW42が4mmを超えると、Y方向の外乱磁場Hがスリット部42を抜けて磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。 In the embodiment shown in FIG. 27A, the length L 42 of the slit portion 42 in the longitudinal direction (X direction) may be shorter or longer than the length L CG of the core gap CG in the X direction. The length L may be the same as CG . In the embodiments shown in FIGS. 27A to 27D, the length W 42 of the slit portion 42 in the transverse direction may be, for example, about 1 to 4 mm, and preferably about 2 to 3 mm. If the length W 42 is less than 1 mm, the effect of dispersing the disturbance magnetic field HY by the slit portion 42 decreases, and the disturbance magnetic field HY that passes through the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 in the thickness direction becomes magnetic. There is a possibility that the voltage may be applied to the detection unit 2. Furthermore, if the length W exceeds 4 mm, there is a risk that the disturbance magnetic field H in the Y direction may pass through the slit section 42 and be applied to the magnetic detection section 2.

上述した構成を有する電流センサ1の第4態様によれば、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hによる影響を受けることを抑制することができるため、導体5に流れる電流を高い精度で検出することができる。 According to the fourth aspect of the current sensor 1 having the above-described configuration, it is possible to suppress the influence of the disturbance magnetic field H in the X direction and the disturbance magnetic field H in the Y direction. Can be detected with high accuracy.

本実施形態に係る電流センサ1の第5態様について説明する。なお、上記第1~第4態様と同様の構成には同一の符号を付し、その詳細な説明を省略するものとする。図28~30に示すように、電流センサ1の第5態様は、磁気を検出可能な磁気検出部2と、集磁コア3と、磁気シールド4と、Z方向に電流が流れる導体5とを備える。 A fifth aspect of the current sensor 1 according to this embodiment will be described. Note that the same configurations as those in the first to fourth aspects described above are given the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted. As shown in FIGS. 28 to 30, the fifth aspect of the current sensor 1 includes a magnetic detection section 2 capable of detecting magnetism, a magnetism collecting core 3, a magnetic shield 4, and a conductor 5 through which current flows in the Z direction. Be prepared.

本実施形態に係る電流センサ1の第5態様において、磁気シールド4は、板状シールド部41のZ方向の両端部41A,41Bに連続する第1シールド部43及び第2シールド部44を含む。第1シールド部43及び第2シールド部44は、板状シールド部41の両端部41A,41Bから-Y方向に延びている。磁気シールド4が第1シールド部43及び第2シールド部44を含んでいることで、Y方向の外乱磁場Hが第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されるため(図17A参照)、当該外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されることを抑制することができる。また、X方向の外乱磁場Hは、集磁コア3の第4コア部34又は第5コア部35から第1シールド部43及び第2シールド部44に誘導されるため(図17B参照)、当該外乱磁場HXが磁気検出部2に印加されることを抑制することができる。 In the fifth aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, the magnetic shield 4 includes a first shield part 43 and a second shield part 44 that are continuous to both ends 41A and 41B of the plate-shaped shield part 41 in the Z direction. The first shield part 43 and the second shield part 44 extend from both ends 41A, 41B of the plate-shaped shield part 41 in the -Y direction. Since the magnetic shield 4 includes the first shield part 43 and the second shield part 44, the disturbance magnetic field H Y in the Y direction is induced to the first shield part 43 and the second shield part 44 (see FIG. 17A). ), it is possible to suppress the disturbance magnetic field H Y from being applied to the magnetic detection section 2 . Further, since the disturbance magnetic field HX in the X direction is induced from the fourth core part 34 or the fifth core part 35 of the magnetic flux collecting core 3 to the first shield part 43 and the second shield part 44 (see FIG. 17B), Application of the disturbance magnetic field HX to the magnetic detection section 2 can be suppressed.

板状シールド部41のX方向の長さL41は、第1シールド部43のX方向の長さL43及び第2シールド部44のX方向の長さよりも長い。第1シールド部43のX方向の長さL43及び第2シールド部44のX方向の長さは、コアギャップCGのX方向の長さLCGと同一であってもよいし、当該長さLCGよりも長くてもよいし、短くてもよい。 The length L 41 of the plate-shaped shield portion 41 in the X direction is longer than the length L 43 of the first shield portion 43 in the X direction and the length of the second shield portion 44 in the X direction. The length L 43 of the first shield part 43 in the X direction and the length of the second shield part 44 in the X direction may be the same as the length L CG of the core gap CG in the X direction, or It may be longer or shorter than LCG .

本実施形態に係る電流センサ1の第5態様において、図31A~31Dに示すように、磁気シールド4の板状シールド部41に、Y方向に貫通するスリット部42が形成されていてもよい。スリット部42は、その長手方向をX方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図31A参照)、その長手方向をZ方向と実質的に平行とするように形成されていてもよいし(図31B及び図31C参照)、その長手方向をX方向及びZ方向に交差させるように形成されていてもよい(図31D参照)。磁気シールド4の板状シールド部41には、1つのスリット部42が形成されていてもよいし(図31A、図31B及び図31D参照)、複数のスリット部42が形成されていてもよい(図31C参照)。スリット部42は、Y方向に沿って見たときに、磁気検出部2に重なるように、すなわちスリット部42から磁気検出部2の少なくとも一部が露出するように形成されていてもよいし(図31A、図31B及び図31D参照)、磁気検出部2に重ならないように形成されていてもよい(図31C参照)。 In the fifth aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 31A to 31D, a slit portion 42 penetrating in the Y direction may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4. The slit portion 42 may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the X direction (see FIG. 31A), or may be formed so that its longitudinal direction is substantially parallel to the Z direction. (see FIGS. 31B and 31C), or may be formed so that its longitudinal direction intersects the X direction and the Z direction (see FIG. 31D). One slit portion 42 may be formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 (see FIGS. 31A, 31B, and 31D), or a plurality of slit portions 42 may be formed (see FIGS. 31A, 31B, and 31D). (see Figure 31C). The slit section 42 may be formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, that is, at least a portion of the magnetic detection section 2 may be exposed from the slit section 42 ( (see FIGS. 31A, 31B, and 31D), and may be formed so as not to overlap the magnetic detection section 2 (see FIG. 31C).

本実施形態に係る電流センサ1の第5態様において、磁気シールド4の板状シールド部41にスリット部42が形成されていないと、Y方向の外乱磁場Hの一部は磁気シールド4の板状シールド部41の厚さ方向に透過してしまう(図17A参照)。その結果、電流センサ1が外乱磁場Hによる影響を受けてしまうおそれがある。 In the fifth aspect of the current sensor 1 according to the present embodiment, if the slit portion 42 is not formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4, a part of the disturbance magnetic field H Y in the Y direction The light is transmitted in the thickness direction of the shaped shield portion 41 (see FIG. 17A). As a result, the current sensor 1 may be affected by the disturbance magnetic field HY .

一方で、板状シールド部41にスリット部42が形成されていることで、Y方向の外乱磁場Hをスリット部42の両側(Y方向に沿って見たときにおけるスリット部42の短手方向(Z方向)における両側)に分散させることができる。そのため、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重なるように形成されている場合には、Y方向に沿って磁気検出部2に向かう外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されるのを効果的に抑制することができる(図19参照)。 On the other hand, since the slit part 42 is formed in the plate-shaped shield part 41, the disturbance magnetic field H (Both sides in the Z direction). Therefore, when the slit section 42 is formed so as to overlap the magnetic detection section 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field H Y directed toward the magnetic detection section 2 along the Y direction is transmitted to the magnetic detection section. 2 can be effectively suppressed (see FIG. 19).

なお、Y方向に沿って見たときにスリット部42が磁気検出部2に重ならないように形成されている場合には、磁気シールド4の外側から回り込んで磁気シールド4に誘導される外乱磁場Hが電流センサ1に影響を及ぼすのを抑制することができる(図12C参照)。 Note that if the slit portion 42 is formed so as not to overlap the magnetic detection portion 2 when viewed along the Y direction, the disturbance magnetic field that wraps around from the outside of the magnetic shield 4 and is induced into the magnetic shield 4 It is possible to suppress H Y from affecting the current sensor 1 (see FIG. 12C).

図31Aに示す態様において、スリット部42の長手方向(X方向)の長さL42は、コアギャップCGのX方向における長さLCGよりも短くてもよいし、長くてもよいし、当該長さLCGと同一であってもよい。図31A~31Dに示す態様において、スリット部42の短手方向の長さW42は、例えば1~4mm程度であればよく、2~3mm程度であるのが好ましい。当該長さW42が1mm未満であると、スリット部42による外乱磁場Hを分散させる効果が低下し、磁気シールド4の板状シールド部41を厚さ方向に透過する外乱磁場Hが磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。また、当該長さW42が4mmを超えると、Y方向の外乱磁場Hがスリット部42を抜けて磁気検出部2に印加されてしまうおそれがある。 In the embodiment shown in FIG. 31A, the length L 42 of the slit portion 42 in the longitudinal direction (X direction) may be shorter or longer than the length L CG of the core gap CG in the X direction. The length L may be the same as CG . In the embodiments shown in FIGS. 31A to 31D, the length W 42 of the slit portion 42 in the transverse direction may be, for example, about 1 to 4 mm, and preferably about 2 to 3 mm. If the length W 42 is less than 1 mm, the effect of dispersing the disturbance magnetic field HY by the slit portion 42 decreases, and the disturbance magnetic field HY that passes through the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4 in the thickness direction becomes magnetic. There is a possibility that the voltage may be applied to the detection unit 2. Furthermore, if the length W exceeds 4 mm, there is a risk that the disturbance magnetic field H in the Y direction may pass through the slit section 42 and be applied to the magnetic detection section 2.

上述した構成を有する電流センサ1の第5態様によれば、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hによる影響を受けることを抑制することができるため、導体5に流れる電流を高い精度で検出することができる。 According to the fifth aspect of the current sensor 1 having the above configuration, it is possible to suppress the influence of the disturbance magnetic field HX in the X direction and the disturbance magnetic field HY in the Y direction, so that the current flowing through the conductor 5 can be suppressed. Can be detected with high accuracy.

上述した構成を有する本実施形態に係る電流センサ1は、電気制御装置に備えられ得る。なお、本実施形態における電気制御装置としては、例えば、ハイブリッド電気自動車(HEV: Hybrid Electric Vehicle)や電気自動車(EV: Electric Vehicle)等のバッテリマネジメントシステム、インバータ及びコンバータ等が挙げられる。本実施形態に係る電流センサ1は、電源からの入出力電流を測定して、測定された電流に関する情報を電気制御装置に出力すること等に用いられる。 The current sensor 1 according to this embodiment having the above-described configuration may be included in an electrical control device. Note that examples of the electric control device in this embodiment include a battery management system, an inverter, a converter, etc. of a hybrid electric vehicle (HEV), an electric vehicle (EV), and the like. The current sensor 1 according to this embodiment is used to measure input/output current from a power source and output information regarding the measured current to an electrical control device.

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。 The embodiments described above are described to facilitate understanding of the present invention, and are not described to limit the present invention. Therefore, each element disclosed in the above embodiments is intended to include all design changes and equivalents that fall within the technical scope of the present invention.

上記実施形態に係る電流センサ1の第3態様(図20等を参照)において、磁気シールド4は、板状シールド部41のZ方向における両端部に連続し、Y方向に沿って延びる第1シールド部及び第2シールド部を有していてもよい。 In the third aspect of the current sensor 1 according to the above embodiment (see FIG. 20 etc.), the magnetic shield 4 is a first shield that is continuous with both ends of the plate-shaped shield part 41 in the Z direction and extends along the Y direction. and a second shield part.

以下、試験例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明は下記の試験例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be explained in more detail with reference to test examples, but the present invention is not limited to the following test examples.

[試験例1]
図1に示す構造を有する電流センサ1において、X方向の外乱磁場Hを0mT(miltesla)としたときにおける電流センサ1からの出力信号と、X方向の外乱磁場Hを10mTとしたときにおける電流センサ1からの出力信号とのそれぞれをシミュレーションにより求め、X方向の外乱磁場HXによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)を算出した(Sample 1)。同様に、Y方向の外乱磁場Hを0mT(miltesla)としたときにおける電流センサ1からの出力信号と、Y方向の外乱磁場Hを10mTとしたときにおける電流センサ1からの出力信号とのそれぞれをシミュレーションにより求め、Y方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 1)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 1]
In the current sensor 1 having the structure shown in Fig. 1, the output signal from the current sensor 1 when the disturbance magnetic field HX in the X direction is set to 0 mT (miltesla) and the output signal from the current sensor 1 when the disturbance magnetic field HX in the X direction is set to 10 mT. Each of the output signals from the current sensor 1 was obtained by simulation, and the error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HX in the X direction was calculated (Sample 1). Similarly, the output signal from the current sensor 1 when the disturbance magnetic field H X in the Y direction is set to 0 mT (miltesla) and the output signal from the current sensor 1 when the disturbance magnetic field H X in the Y direction is set to 10 mT. Each was determined by simulation, and the error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY in the Y direction was calculated (Sample 1). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例2]
図11Aに示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 2)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 2]
The error (EX,%) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 2). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例3]
図23Aに示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 3)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 3]
The error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 3). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例4]
図13に示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 4)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 4]
The error (EX,%) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 4). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例5]
図18Aに示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 5)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 5]
The error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 5). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例6]
図18Bに示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 6)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 6]
The error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 6). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例7]
図18Cに示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 7)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 7]
The error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 7). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例8]
図24に示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 8)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 8]
The error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 8). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例9]
図28に示す構造を有する電流センサ1を用いた以外は、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 9)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 9]
The error (EX, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field H in the X direction and the error in the Y direction The error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY was calculated (Sample 9). The simulation results are shown in Table 1.

[試験例10]
磁気シールド4を有しない以外は、上記試験例1と同様の構造を有する電流センサを用い、上記試験例1と同様にしてX方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EX,%)及びY方向の外乱磁場Hによって生じる電流センサ1の出力信号の誤差(EY,%)を算出した(Sample 10)。シミュレーション結果を表1に示す。
[Test Example 10]
The error ( EX, %) and the error (EY, %) of the output signal of the current sensor 1 caused by the disturbance magnetic field HY in the Y direction were calculated (Sample 10). The simulation results are shown in Table 1.

Figure 0007367657000001
Figure 0007367657000001

表1に示す結果から、磁気シールド4を有しない電流センサを用いた試験例10(Sample 10)に比べ、磁気シールド4を有する電流センサ1を用いた試験例1~9(Sample 1-9)においては、少なくともX方向の外乱磁場Hによって生じ得る電流センサ1の出力信号の誤差を低減可能であることが明らかとなった。 From the results shown in Table 1, Test Examples 1 to 9 (Sample 1-9) using the current sensor 1 having the magnetic shield 4 were better than Test Example 10 (Sample 10) using the current sensor without the magnetic shield 4. It has become clear that it is possible to reduce errors in the output signal of the current sensor 1 that may be caused by at least the disturbance magnetic field HX in the X direction.

また、試験例1(Sample 1)と、試験例2(Sample 2)及び試験例3(Sample 3)との結果から、磁気シールド4の板状シールド部41にスリット部42が形成されていることで、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hによって生じ得る電流センサ1の出力信号の誤差を低減可能であることが明らかとなった。 Furthermore, from the results of Test Example 1 (Sample 1), Test Example 2 (Sample 2), and Test Example 3 (Sample 3), it was found that the slit portion 42 was formed in the plate-shaped shield portion 41 of the magnetic shield 4. It has become clear that it is possible to reduce errors in the output signal of the current sensor 1 that may be caused by the disturbance magnetic field HX in the X direction and the disturbance magnetic field HY in the Y direction.

さらに、試験例1(Sample 1)と試験例4(Sample 4)との結果から、磁気シールド4が板状シールド部41とそのZ方向における両端部41A,41Bに連続する第1シールド部43及び第2シールド部44を有することで、X方向の外乱磁場H及びY方向の外乱磁場Hによって生じ得る電流センサ1の出力信号の誤差を低減可能であることが明らかとなった。 Furthermore, from the results of Test Example 1 (Sample 1) and Test Example 4 (Sample 4), the magnetic shield 4 is connected to the plate-shaped shield part 41 and the first shield part 43 and the first shield part 43 that are continuous to both ends 41A and 41B in the Z direction. It has become clear that by having the second shield part 44, it is possible to reduce errors in the output signal of the current sensor 1 that may be caused by the disturbance magnetic field HX in the X direction and the disturbance magnetic field HY in the Y direction.

[試験例11]
図13に示す構造を有し、集磁コア3及び磁性シールド4の構成材料として珪素鋼(50H230,日本製鉄社製,鉄損:2.3W/kg)を用いた電流センサ1(Sample 11)において、導体5に流れる交流電流の周波数を1Hz~100kHzの範囲で変動させたときにおける磁気検出素子2に印加される磁束密度の減衰量(dB)をシミュレーションにより求めた。結果を図32に示す。
[Test Example 11]
Current sensor 1 (Sample 11) has the structure shown in FIG. 13 and uses silicon steel (50H230, manufactured by Nippon Steel Corporation, iron loss: 2.3 W/kg) as the constituent material of the magnetic collecting core 3 and magnetic shield 4. The amount of attenuation (dB) of the magnetic flux density applied to the magnetic sensing element 2 when the frequency of the alternating current flowing through the conductor 5 was varied in the range of 1 Hz to 100 kHz was determined by simulation. The results are shown in FIG.

[試験例12]
磁性シールド4の構成材料として珪素鋼(50H470,日本製鉄社製,鉄損:4.7W/kg)を用いた以外は、試験例11の電流センサ1(Sample 11)と同様の構造を有する電流センサ1(Sample 12)において、導体5に流れる交流電流の周波数を1Hz~100kHzの範囲で変動させたときにおける磁気検出素子2に印加される磁束密度の減衰量(dB)をシミュレーションにより求めた。結果を図32に示す。
[Test Example 12]
A current sensor having the same structure as the current sensor 1 of Test Example 11 (Sample 11) except that silicon steel (50H470, manufactured by Nippon Steel Corporation, iron loss: 4.7 W/kg) was used as the constituent material of the magnetic shield 4. In sensor 1 (Sample 12), the amount of attenuation (dB) of the magnetic flux density applied to the magnetic sensing element 2 when the frequency of the alternating current flowing through the conductor 5 was varied in the range of 1 Hz to 100 kHz was determined by simulation. The results are shown in FIG.

[試験例13]
磁性シールド4の構成材料として珪素鋼(50H700,日本製鉄社製,鉄損:7.0W/kg)を用いた以外は、試験例11の電流センサ1(Sample 11)と同様の構造を有する電流センサ1(Sample 13)において、導体5に流れる交流電流の周波数を1Hz~100kHzの範囲で変動させたときにおける磁気検出素子2に印加される磁束密度の減衰量(dB)をシミュレーションにより求めた。結果を図32に示す。
[Test Example 13]
A current sensor having the same structure as the current sensor 1 of Test Example 11 (Sample 11) except that silicon steel (50H700, manufactured by Nippon Steel Corporation, iron loss: 7.0 W/kg) was used as the constituent material of the magnetic shield 4. In sensor 1 (Sample 13), the amount of attenuation (dB) of the magnetic flux density applied to the magnetic sensing element 2 when the frequency of the alternating current flowing through the conductor 5 was varied in the range of 1 Hz to 100 kHz was determined by simulation. The results are shown in FIG.

[試験例14]
磁性シールド4の構成材料として珪素鋼(50H1000,日本製鉄社製,鉄損:10.0W/kg)を用いた以外は、試験例11の電流センサ1(Sample 11)と同様の構造を有する電流センサ1(Sample 14)において、導体5に流れる交流電流の周波数を1Hz~100kHzの範囲で変動させたときにおける磁気検出素子2に印加される磁束密度の減衰量(dB)をシミュレーションにより求めた。結果を図32に示す。
[Test Example 14]
A current sensor having the same structure as the current sensor 1 of Test Example 11 (Sample 11) except that silicon steel (50H1000, manufactured by Nippon Steel Corporation, iron loss: 10.0 W/kg) was used as the constituent material of the magnetic shield 4. In sensor 1 (Sample 14), the amount of attenuation (dB) of the magnetic flux density applied to the magnetic sensing element 2 when the frequency of the alternating current flowing through the conductor 5 was varied in the range of 1 Hz to 100 kHz was determined by simulation. The results are shown in FIG.

図32に示すように、集磁コア3の構成材料の鉄損が、磁性シールド4の構成材料の鉄損よりも小さいことで、電流センサ1の周波数特性を向上させ得ることが明らかとなった。したがって、集磁コア3が、磁性シールド4の構成材料よりも鉄損の小さい材料により構成されていることで、導体5に交流電流が流れる場合においても電流センサ1による出力を安定化させることができる。 As shown in FIG. 32, it has become clear that the frequency characteristics of the current sensor 1 can be improved by having the core loss of the material constituting the magnetic flux collecting core 3 smaller than the core loss of the component material of the magnetic shield 4. . Therefore, since the magnetic flux collecting core 3 is made of a material having a smaller core loss than the material of the magnetic shield 4, the output from the current sensor 1 can be stabilized even when an alternating current flows through the conductor 5. can.

1…電流センサ
2…磁気検出部
3…集磁コア
4…磁気シールド
5…導体
1...Current sensor 2...Magnetic detection section 3...Magnetic collecting core 4...Magnetic shield 5...Conductor

Claims (14)

導体に第1方向に流れる電流から発生する磁気を検出するための電流センサであって、
前記磁気を検出可能な磁気検出部と、集磁コアと、磁気シールドとを備え、
前記集磁コアは、前記第1方向に実質的に平行な第1コア部と、前記第1方向に直交する第2方向における前記第1コア部の両端部のそれぞれに連続する第2コア部及び第3コア部とを含み、
前記第2コア部及び前記第3コア部は、それぞれ、前記第1方向及び前記第2方向に直交する第3方向に沿うように前記第1コア部の端部から延在し、
前記磁気検出部は、前記第3方向における前記第2コア部の端部近傍と前記第3コア部の端部近傍とによって挟まれるコアギャップに位置し、
前記磁気シールドは、前記第3方向に沿って見たときに前記コアギャップ、前記第2コア部の端部近傍及び前記第3コア部の端部近傍に重なるようにして位置する板状シールド部を含み、
前記磁気シールドは、前記第1方向に沿って見たときに、前記第3方向に沿った前記第1コア部における前記磁気検出部の反対側、前記第2方向に沿った前記第2コア部における前記第3コア部の反対側及び前記第2方向に沿った前記第3コア部における前記第2コア部の反対側に位置しないことを特徴とする電流センサ。
A current sensor for detecting magnetism generated from a current flowing in a first direction in a conductor,
comprising a magnetic detection unit capable of detecting the magnetism, a magnetism collecting core, and a magnetic shield,
The magnetic flux collecting core includes a first core portion substantially parallel to the first direction, and a second core portion continuous to both ends of the first core portion in a second direction orthogonal to the first direction. and a third core part,
The second core portion and the third core portion each extend from an end of the first core portion along a third direction perpendicular to the first direction and the second direction,
The magnetic detection unit is located in a core gap sandwiched between the vicinity of an end of the second core part and the vicinity of an end of the third core part in the third direction,
The magnetic shield includes a plate-shaped shield portion located so as to overlap the core gap, the vicinity of an end of the second core portion, and the vicinity of an end of the third core portion when viewed along the third direction. including;
When viewed along the first direction, the magnetic shield includes a side opposite to the magnetic detection section in the first core section along the third direction, and a second core section along the second direction. A current sensor characterized in that the current sensor is not located on the opposite side of the third core section and on the opposite side of the second core section in the third core section along the second direction.
前記集磁コアは、前記第2コア部の端部の近傍に連続する第4コア部及び前記第3コア部の端部の近傍に連続する第5コア部をさらに含み、
前記第4コア部及び前記第5コア部は、前記第2方向に沿って互いに近づくように延びており、
前記板状シールド部は、前記第3方向に沿って見たときに前記コアギャップ、前記第4コア部及び前記第5コア部に重なるようにして位置することを特徴とする請求項1に記載の電流センサ。
The magnetism collecting core further includes a fourth core part continuous to the vicinity of the end of the second core part and a fifth core part continuous to the vicinity of the end of the third core part,
The fourth core portion and the fifth core portion extend toward each other along the second direction,
The plate-shaped shield portion is located so as to overlap the core gap, the fourth core portion, and the fifth core portion when viewed along the third direction. current sensor.
前記導体は、厚み方向を前記第3方向とし、前記第1方向に延びる板状体であることを特徴とする請求項1又は2に記載の電流センサ。 The current sensor according to claim 1 or 2, wherein the conductor is a plate-shaped body whose thickness direction is the third direction and extends in the first direction. 前記導体は、厚み方向を前記第2方向とし、前記第1方向に延びる板状体であることを特徴とする請求項1に記載の電流センサ。 The current sensor according to claim 1, wherein the conductor is a plate-shaped body whose thickness direction is the second direction and extends in the first direction. 前記磁気シールドは、前記第1方向に沿った前記板状シールド部の両端部のそれぞれに連続し、前記第3方向に沿って延びる第1シールド部及び第2シールド部を含み、
前記第1方向に沿って見たときに、前記磁気検出部は、前記第1シールド部及び前記第2シールド部によって挟まれる前記コアギャップ内に位置することを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の電流センサ。
The magnetic shield includes a first shield part and a second shield part that are continuous with both ends of the plate-shaped shield part along the first direction and extend along the third direction,
When viewed along the first direction, the magnetic detection section is located within the core gap sandwiched between the first shield section and the second shield section. The current sensor according to any one of the above.
前記板状シールド部には、前記第3方向に貫通するスリット部が形成されていることを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の電流センサ。 6. The current sensor according to claim 1, wherein the plate-shaped shield portion has a slit portion penetrating in the third direction. 前記第3方向に沿って見たときに、前記スリット部の長手方向が前記第1方向と実質的に一致することを特徴とする請求項6に記載の電流センサ。 The current sensor according to claim 6, wherein the longitudinal direction of the slit section substantially coincides with the first direction when viewed along the third direction. 前記第3方向に沿って見たときに、前記スリット部の長手方向が前記第2方向と実質的に一致することを特徴とする請求項6に記載の電流センサ。 The current sensor according to claim 6, wherein the longitudinal direction of the slit section substantially coincides with the second direction when viewed along the third direction. 複数の前記スリット部が前記板状シールド部に形成されていることを特徴とする請求項6~8のいずれかに記載の電流センサ。 The current sensor according to any one of claims 6 to 8, wherein a plurality of the slit portions are formed in the plate-shaped shield portion. 前記磁気シールドの構成材料の鉄損が、前記集磁コアの構成材料の鉄損よりも大きいことを特徴とする請求項1~9のいずれかに記載の電流センサ。 10. The current sensor according to claim 1, wherein an iron loss of a constituent material of the magnetic shield is larger than an iron loss of a constituent material of the magnetic collecting core. 前記磁気検出部は、磁気抵抗効果素子又はホール素子を含むことを特徴とする請求項1~10のいずれかに記載の電流センサ。 11. The current sensor according to claim 1, wherein the magnetic detection section includes a magnetoresistive element or a Hall element. 前記磁気抵抗効果素子が、GMR素子又はTMR素子であることを特徴とする請求項11に記載の電流センサ。 The current sensor according to claim 11, wherein the magnetoresistive element is a GMR element or a TMR element. 前記導体が、前記集磁コアの前記第1コア部、前記第2コア部及び前記第3コア部による形成される空間を前記第1方向に沿って貫通するように設けられていることを特徴とする請求項1~12のいずれかに記載の電流センサ。 The conductor is provided so as to penetrate along the first direction through a space formed by the first core part, the second core part, and the third core part of the magnetic flux collecting core. The current sensor according to any one of claims 1 to 12. 請求項13に記載の電流センサを備えることを特徴とする電気制御装置。 An electrical control device comprising the current sensor according to claim 13.
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