JP7365878B2 - 計測装置及び計測方法 - Google Patents
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Description
計測装置による計測の対象となる計測対象装置について説明する。計測対象装置は、ウエハ等の基板を真空状態である処理容器内に配置して、所定の基板処理を行う真空処理装置である。本実施形態では、計測対象装置を、基板に対するプラズマエッチングを行うプラズマエッチング装置とした場合を例に説明する。
次に、実施形態に係る計測装置100の構成について説明する。図2は、実施形態に係る計測装置100を概略的に示す断面図である。図2は、プラズマエッチング装置10に計測装置100を取り付けた状態を示している。なお、以下の各図では、プラズマエッチング装置10を簡略化して示す。
そして、センサ111は、処理容器30内の所定の位置において処理容器30内の状態を計測する。例えば、センサ111は、載置台31に載置されたウエハWの上方に対応する位置において処理容器30内の状態を計測する。また、ロボットアーム110は、センサ111が設けられた先端を処理容器30内の複数の位置に順次移動させてもよい。これにより、センサ111が処理容器30内の複数の位置に順次搬送される。そして、センサ111は、順次搬送される各位置において処理容器30内の状態を計測する。例えば、センサ111は、載置台31に載置されたウエハWの中央部の上方に対応する位置において処理容器30内の状態を計測し、その後、ウエハWのエッジ部の上方に対応する位置において処理容器30内の状態を計測する。図9の工程は、図3のステップS103に対応する。
30 処理容器
31 載置台
84 第1ゲート
95 第2ゲート
100 計測装置
101 ケース
101A 開口部
101B 第1ケース
101C 第2ケース
101D シャッタ部材
104A 第1配管
104B 第2配管
104C 共通配管
106 真空ポンプ
110 ロボットアーム
111 センサ
Claims (11)
- 真空処理装置の処理容器内の状態を計測する、前記処理容器と着脱可能な計測装置であって、
前記処理容器内の状態を計測する計測機構と、
前記計測機構を内部に収容する第1ケースと、
開閉可能なシャッタ部材を介して前記第1ケースに連通し、前記処理容器のゲートと接続する開口部が形成された第2ケースと、
前記第1ケースおよび前記第2ケースを減圧可能な減圧機構と、
を有する、計測装置。 - 前記計測機構は、
先端が前記開口部から前記処理容器内へ進出可能なアームと、
前記アームの先端に設けられ、前記処理容器内の状態を計測するセンサと、
を有する、請求項1に記載の計測装置。 - 前記アームは、前記第1ケースに脱着可能に取り付けられる、
請求項2に記載の計測装置。 - 前記アームは、前記第1ケース内部及び前記第2ケース内部が減圧された状態で、前記シャッタ部材及び前記ゲートが開かれた後に、前記センサが設けられた先端を前記開口部から前記処理容器内へ進出させる、請求項2又は3に記載の計測装置。
- 前記減圧機構は、前記第2ケースの前記開口部が前記処理容器に取り付けられていない場合に、前記シャッタ部材が閉じられた状態で前記第1ケース内部を減圧し、前記第2ケースの前記開口部が前記処理容器に取り付けられている場合に、前記第2ケース内部を減圧する、請求項1~4のいずれか一項に記載の計測装置。
- 前記減圧機構と前記第1ケースとを接続する第1配管と、
前記減圧機構と前記第2ケースとを接続する第2配管と、
前記第1配管に設けられた第1バルブと、
前記第2配管に設けられた第2バルブと、
を有する請求項1~5のいずれか一項に記載の計測装置。 - 前記第2バルブと前記第2ケースとの間で分岐し、大気と連通する第3配管と、
前記第3配管に設けられ、前記第2ケースを大気開放させる第3バルブと、
を有する請求項6に記載の計測装置。 - 前記処理容器の前記ゲートを閉塞する蓋を取り外す取り外しユニットを更に有する請求項1~7のいずれか一項に記載の計測装置。
- 前記取り外しユニットは、
前記第1ケースに設けられた第2アームと、
前記第2アームの先端に設けられたロボットハンドと、
を有する、請求項8に記載の計測装置。 - 請求項1~9のいずれか一項に記載の計測装置を用いた計測測方法であって、
前記開口部を前記処理容器の前記ゲートに対して気密に取り付ける工程と、
前記第2ケース内部を前記減圧機構により減圧する工程と、
前記シャッタ部材を開いて、減圧された前記第1ケースと前記第2ケースとを連通させる工程と、
前記減圧機構により前記ケース内部が減圧された状態で、前記計測機構により、前記開口部を介して、前記処理容器内の状態を計測する工程と、
を含む、計測方法。 - 前記連通させる工程と前記計測する工程との間に、前記ゲートを閉塞する蓋を取り外す工程を更に含む、請求項10に記載の計測方法。
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