JP7339021B2 - actuator - Google Patents

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JP7339021B2 JP2019100967A JP2019100967A JP7339021B2 JP 7339021 B2 JP7339021 B2 JP 7339021B2 JP 2019100967 A JP2019100967 A JP 2019100967A JP 2019100967 A JP2019100967 A JP 2019100967A JP 7339021 B2 JP7339021 B2 JP 7339021B2
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02KDYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K33/00Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system
    • H02K33/02Motors with reciprocating, oscillating or vibrating magnet, armature or coil system with armatures moved one way by energisation of a single coil system and returned by mechanical force, e.g. by springs

Description

本発明は、可動体を固定体に対して相対移動させるアクチュエータに関する。 The present invention relates to an actuator that moves a movable body relative to a fixed body.

アクチュエータとして、固定体および可動体と、可動体を駆動する磁気駆動機構を備えるとともに、可動体と固定体とを接続体によって接続したものがある。特許文献1のアクチュエータ(リニアアクチュエータ)は、可動体と固定体とを接続するバネ部材と、可動体と固定体との間に配置されるゲル状ダンパー部材を備える。可動体は、バネ部材によって固定体に対して移動可能に支持される。また、可動体が振動する際、ゲル状ダンパー部材が潰れる方向に変形するので、バネ部材と可動体の共振が抑制される。 Some actuators include a fixed body, a movable body, and a magnetic drive mechanism for driving the movable body, and the movable body and the fixed body are connected by a connecting body. The actuator (linear actuator) of Patent Document 1 includes a spring member that connects the movable body and the fixed body, and a gel-like damper member that is arranged between the movable body and the fixed body. The movable body is movably supported with respect to the fixed body by a spring member. Further, when the movable body vibrates, the gel-like damper member deforms in a crushing direction, so resonance between the spring member and the movable body is suppressed.

特開2016-032417号公報JP 2016-032417 A

特許文献1では、可動体と固定体とを接続するバネ部材は、円環状の固定体側連結部と、固定体側連結部の外周側に配置される複数の可動体側連結部とが周方向に延びるアームによって連結されている。このようなバネ部材は、アームが撓みやすいため、可動体が振動する際、可動体の重心ずれ等によって可動体が振動方向と異なる方向へ動いてしまうという問題がある。 In Patent Document 1, the spring member that connects the movable body and the fixed body includes an annular fixed body side connecting portion and a plurality of movable body side connecting portions arranged on the outer peripheral side of the fixed body side connecting portion and extending in the circumferential direction. connected by an arm. Since the arm of such a spring member is easily bent, there is a problem that when the movable body vibrates, the movable body moves in a direction different from the vibrating direction due to deviation of the center of gravity of the movable body.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、固定体に対して可動体を振動させるアクチュエータにおいて、可動体が振動方向と異なる方向に動くことを抑制することにある。 In view of the above problems, an object of the present invention is to suppress movement of the movable body in a direction different from the vibration direction in an actuator that vibrates the movable body with respect to the fixed body.

上記課題を解決するために、本発明に係るアクチュエータは、固定体と、可動体と、前記可動体を前記固定体に対して振動させる磁気駆動機構と、前記固定体と前記可動体とを接続する接続体と、を有し、前記接続体は、前記可動体の振動方向における一端側に配置される第1接続体および第3接続体と、前記可動体の振動方向における他端側に配置される第2接続体および第4接続体を備え、前記第1接続体および前記第2接続体は、前記可
動体の振動方向と直交する方向へ延びる板ばねであり、前記板ばねは、前記可動体の振動方向と直交する方向への移動を抑制する変形抑制部を備えており、前記可動体は、前記振動方向に延びるシャフトを備え、前記第3接続体および前記第4接続体は、前記シャフトを中心とする径方向で前記可動体の中心において前記可動体と前記固定体とが前記可動体の振動方向に対向している箇所を接続する粘弾性部材であることを特徴とする。
In order to solve the above problems, an actuator according to the present invention provides a fixed body, a movable body, a magnetic drive mechanism for vibrating the movable body with respect to the fixed body, and a connection between the fixed body and the movable body. a first connection body and a third connection body arranged on one end side of the movable body in the vibration direction, and the connection bodies arranged on the other end side in the vibration direction of the movable body. The first connection body and the second connection body are leaf springs extending in a direction orthogonal to the vibration direction of the movable body, and the leaf spring is the A deformation suppressing portion is provided to suppress movement of the movable body in a direction orthogonal to the vibration direction, the movable body includes a shaft extending in the vibration direction, and the third connection body and the fourth connection body are: The viscoelastic member is a viscoelastic member that connects locations where the movable body and the fixed body are opposed to each other in the vibration direction of the movable body at the center of the movable body in a radial direction about the shaft.

本発明によれば、可動体と固定体とを接続する接続体として、振動方向と直交する方向への可動体の移動を抑制できる変形抑制部を備えた板ばね(第1接続体と第2接続体)を用いている。また、板ばねは、可動体の振動方向の一端側および他端側の2箇所に配置される。従って、可動体の両端が振動方向と直交する方向へ移動することを抑制できるので、可動体を振動させる際に、可動体が意図しない方向へ動くことを抑制できる。これにより、可動体と固定体との衝突を抑制できるので、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。また、可動体と固定体とのギャップを小さくすることができるので、アクチュエータの設計の自由度が高く、アクチュエータの小型化を図ることもできる。さらに、可動体と固定体とを接続する接続体として、板ばねだけでなく粘弾性部材を用いることにより、板ばねのみで可動体と固定体とを接続した場合と異なり、粘弾性部材によって可動体の過度な振動を抑制できる。これにより、可動体と固定体との衝突を抑制できるので、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。また、可動体と固定体とのギャップを小さくすることができるので、アクチュエータの設計の自由度が高く、アクチュエータの小型化を図ることもできる。 According to the present invention, a leaf spring (a first connecting body and a second connector) is used. Further, the plate springs are arranged at two locations, one end side and the other end side in the vibration direction of the movable body. Therefore, since it is possible to suppress the movement of both ends of the movable body in the direction perpendicular to the vibration direction, it is possible to suppress the movable body from moving in an unintended direction when the movable body is vibrated. As a result, collisions between the movable body and the fixed body can be suppressed, so that the impact resistance of the actuator can be enhanced. Moreover, since the gap between the movable body and the fixed body can be reduced, the degree of freedom in designing the actuator is high, and the size of the actuator can be reduced. Furthermore, by using not only a leaf spring but also a viscoelastic member as a connection body for connecting the movable body and the fixed body, unlike the case where the movable body and the fixed body are connected only by the leaf spring, the movable body can be moved by the viscoelastic member. Excessive vibration of the body can be suppressed. As a result, collisions between the movable body and the fixed body can be suppressed, so that the impact resistance of the actuator can be enhanced. Moreover, since the gap between the movable body and the fixed body can be reduced, the degree of freedom in designing the actuator is high, and the size of the actuator can be reduced.

本発明において、前記可動体は、前記シャフトの前記振動方向の略中央に固定される磁石と、前記シャフトの前記振動方向における前記一端側の端部に嵌まる筒部を備える第1部材と、前記第1部材の前記筒部が内側に嵌まる第1環状溝を備えた第1受け部材と、前記シャフトの前記振動方向における前記他端側の端部に嵌まる筒部を備える第2部材と、前記第2部材の前記筒部が内側に嵌まる第2環状溝を備えた第2受け部材と、を備え、前記第1部材および前記第2部材のそれぞれは、前記筒部から外周側へ拡がる円板部を備え、前記第1接続体は、前記第1部材の前記円板部と前記第1受け部材との間に挟まれており、前記第2接続体は、前記第2部材の前記円板部と前記第2受け部材との間に挟まれており、前記固定体は、前記シャフトが径方向の中心に配置される筒状ケースと、前記筒状ケースの前記振動方向における前記一端側の端部に固定される第1蓋部材と、前記筒状ケースの前記振動方向における前記他端側の端部に固定される第2蓋部材と、を備え、前記第3接続体は、前記第1蓋部材と前記第1部材の前記円板部との間に配置され、前記第4接続体は、前記第2蓋部材と前記第2部材の前記円板部との間に配置されることが好ましい In the present invention, the movable body includes: a magnet fixed substantially at the center of the shaft in the vibration direction; a first member having a cylindrical portion fitted to the end of the shaft on the one end side in the vibration direction; A first receiving member having a first annular groove in which the tubular portion of the first member fits, and a second member having a tubular portion fitted to the other end of the shaft in the vibration direction. and a second receiving member having a second annular groove in which the cylindrical portion of the second member is fitted, wherein each of the first member and the second member extends from the cylindrical portion to the outer peripheral side. the first connection body is sandwiched between the disk part of the first member and the first receiving member; and the second connection body extends from the second member and the second receiving member, and the fixed body includes a cylindrical case in which the shaft is arranged at the center in the radial direction; a first cover member fixed to the end on the one end side; and a second cover member fixed to the end on the other end side of the tubular case in the vibrating direction; is disposed between the first lid member and the disk portion of the first member, and the fourth connector is disposed between the second lid member and the disk portion of the second member is preferably arranged .

本発明において、前記板ばねは、内側環状部と、前記内側環状部の外周側に配置される外側環状部と、前記内側環状部と前記外側環状部とを接続する複数のアームと、を備え、前記内側環状部と前記外側環状部の一方が前記可動体に固定され、前記内側環状部と前記外側環状部の他方が前記固定体に固定され、前記複数のアームのそれぞれは、前記内側環状部と接続される内側接続部と、前記外側環状部と接続される外側接続部と、前記内側接続部から前記外側接続部へ向かって周方向の一方側へ延びる螺旋部と、を備え、前記変形抑制部は、前記螺旋部に設けられた屈曲部であることが好ましい。このように、屈曲部を設けることで、アームの剛性を高めることができる。これにより、板ばねの振動方向と交差する方向の剛性を高めることができる。従って、振動方向と交差する方向への可動体の移動を抑制できる。 In the present invention, the leaf spring includes an inner annular portion, an outer annular portion disposed on the outer peripheral side of the inner annular portion, and a plurality of arms connecting the inner annular portion and the outer annular portion. , one of the inner annular portion and the outer annular portion is fixed to the movable body, the other of the inner annular portion and the outer annular portion is fixed to the fixed body, and each of the plurality of arms is fixed to the inner annular portion. an inner connecting portion connected to a portion, an outer connecting portion connected to the outer annular portion, and a spiral portion extending from the inner connecting portion toward the outer connecting portion in the circumferential direction, wherein the It is preferable that the deformation suppressing portion is a bent portion provided in the spiral portion. By providing the bent portion in this manner, the rigidity of the arm can be increased. As a result, the rigidity in the direction intersecting the vibrating direction of the leaf spring can be increased. Therefore, it is possible to suppress the movement of the movable body in the direction intersecting with the vibration direction.

本発明において、前記屈曲部は、周方向に対して傾斜した傾斜部分、前記傾斜部分の一端から前記周方向の一方側へ屈曲した第1屈曲部分、および、前記傾斜部分の他端から周方向の他方側へ屈曲した第2屈曲部分を備えることが好ましい。このように、屈曲部は、板ばねの面内で屈曲する形状であるため、振動方向と交差する方向で、アームの剛性を高めることができる。従って、振動方向と交差する方向で板ばねの剛性を高めることができるので、振動方向と交差する方向への可動体の移動を抑制できる。 In the present invention, the bent portion includes an inclined portion that is inclined with respect to the circumferential direction, a first bent portion that is bent from one end of the inclined portion to one side in the circumferential direction, and a first bent portion that is bent from one end of the inclined portion to one side in the circumferential direction, and It is preferable to have a second bent portion bent to the other side of the. In this way, since the bent portion has a shape that bends within the plane of the plate spring, it is possible to increase the rigidity of the arm in the direction intersecting the vibration direction. Therefore, since the rigidity of the leaf spring can be increased in the direction intersecting the vibration direction, the movement of the movable body in the direction intersecting the vibration direction can be suppressed.

本発明において、互いに異なる前記アームに設けられた複数の前記螺旋部が径方向から見て重なることが好ましい。本発明では、周方向に延びる複数のアームのそれぞれを径方向から見て他のアームの螺旋部と重なる位置まで延ばしている。従って、周方向の全範囲に複数がアームを配置されるので、板ばねの剛性を振動方向と交差する全方向で高めることができる。 In the present invention, it is preferable that a plurality of the spiral portions provided on the arms different from each other overlap when viewed from the radial direction. In the present invention, each of the plurality of arms extending in the circumferential direction extends to a position where it overlaps with the helical portion of another arm when viewed from the radial direction. Therefore, since a plurality of arms are arranged over the entire range in the circumferential direction, the rigidity of the leaf spring can be increased in all directions intersecting with the vibration direction.

本発明において、前記複数のアームは、第1アームと、前記第1アームの前記周方向の一方側に配置される第2アームと、前記第2アームの前記周方向の一方側に配置される第3アームを備え、前記第1アーム、前記第2アーム、および前記第3アームのそれぞれは、前記螺旋部に設けられた複数の前記屈曲部を備え、前記複数の前記屈曲部は、第1屈曲部と、前記第1屈曲部の前記周方向の一方側に位置する第2屈曲部と、前記第2屈曲部の前記周方向の一方側に位置する第3屈曲部を備え、互いに異なるアームに設けられた前記第1屈曲部、前記第2屈曲部、および、前記第3屈曲部が相似形であり、且つ、内周側から外周側へこの順で1列に並んでいることが好ましい。このように、3本のアームのそれぞれが3箇所の屈曲部を備えているので、各アームの剛性を高めることができる。また、屈曲部が相似形であり、且つ、内周側から外周側へ1列に並んでいて屈曲部の周方向の位置が揃えられているので、屈曲部を設けた分、アーム同士の間隔を大きくする必要がない。従って、板ばねを大型化させることなく、剛性を高めることができる。 In the present invention, the plurality of arms are a first arm, a second arm arranged on one side of the first arm in the circumferential direction, and one side of the second arm in the circumferential direction. a third arm, wherein each of the first arm, the second arm, and the third arm includes a plurality of the bends provided in the spiral portion; Arms different from each other, comprising a bent portion, a second bent portion positioned on one side of the first bent portion in the circumferential direction, and a third bent portion positioned on the one side of the second bent portion in the circumferential direction It is preferable that the first bent portion, the second bent portion, and the third bent portion provided in the are similar in shape and arranged in a row in this order from the inner peripheral side to the outer peripheral side. . Thus, each of the three arms has three bending portions, so that the rigidity of each arm can be increased. In addition, since the bent portions have similar shapes and are arranged in a line from the inner peripheral side to the outer peripheral side and the positions of the bent portions in the circumferential direction are aligned, the space between the arms is equal to the amount of the bent portions. does not need to be increased. Therefore, the rigidity can be increased without increasing the size of the leaf spring.

本発明において、前記複数のアームのそれぞれにおいて、前記内側接続部は、前記内側環状部から外周側へ突出した突出部であって、前記螺旋部と屈曲した形状に繋がっており、前記外側接続部は、前記外側環状部から内周側へ突出した突出部であって、前記螺旋部と屈曲した形状に繋がっており、前記内側接続部、前記第1屈曲部、前記第2屈曲部、前記第3屈曲部、および、前記外側接続部は、内周側から外周側へこの順で1列に並んでい
ることが好ましい。このように、5箇所の屈曲部の周方向の位置が揃えられているので、屈曲部を設けた分、アーム同士の間隔を大きくする必要がない。従って、板ばねを大型化させることなく、剛性を高めることができる。
In the present invention, in each of the plurality of arms, the inner connecting portion is a protruding portion that protrudes from the inner annular portion toward the outer peripheral side, is connected to the spiral portion in a bent shape, and is connected to the outer connecting portion. is a protruding portion protruding from the outer annular portion to the inner peripheral side, is connected to the spiral portion in a bent shape, and includes the inner connecting portion, the first bent portion, the second bent portion, the second It is preferable that the 3 bent portions and the outer connection portion are arranged in a line in this order from the inner peripheral side to the outer peripheral side. In this way, since the five bent portions are aligned in the circumferential direction, there is no need to increase the distance between the arms by the amount of the bent portions. Therefore, the rigidity can be increased without increasing the size of the leaf spring.

本発明によれば、可動体と固定体とを接続する接続体として、振動方向と直交する方向への可動体の移動を抑制できる変形抑制部を備えた板ばね(第1接続体と第2接続体)を用いている。また、板ばねは、可動体の振動方向の一端側および他端側の2箇所に配置される。従って、可動体の両端が振動方向と直交する方向へ移動することを抑制できるので、可動体を振動させる際に、可動体が意図しない方向へ動くことを抑制できる。これにより、可動体と固定体との衝突を抑制できるので、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。また、可動体と固定体とのギャップを小さくすることができるので、アクチュエータの設計の自由度が高く、アクチュエータの小型化を図ることもできる。さらに、可動体と固定体とを接続する接続体として、板ばねだけでなく粘弾性部材を用いることにより、板ばねのみで可動体と固定体とを接続した場合と異なり、粘弾性部材によって可動体の過度な振動を抑制できる。これにより、可動体と固定体との衝突を抑制できるので、アクチュエータの耐衝撃性を高めることができる。また、可動体と固定体とのギャップを小さくすることができるので、アクチュエータの設計の自由度が高く、アクチュエータの小型化を図ることもできる。 According to the present invention, a leaf spring (a first connecting body and a second connector) is used. Further, the plate springs are arranged at two locations, one end side and the other end side in the vibration direction of the movable body. Therefore, since it is possible to suppress the movement of both ends of the movable body in the direction perpendicular to the vibration direction, it is possible to suppress the movable body from moving in an unintended direction when the movable body is vibrated. As a result, collisions between the movable body and the fixed body can be suppressed, so that the impact resistance of the actuator can be enhanced. Moreover, since the gap between the movable body and the fixed body can be reduced, the degree of freedom in designing the actuator is high, and the size of the actuator can be reduced. Furthermore, by using not only a leaf spring but also a viscoelastic member as a connection body for connecting the movable body and the fixed body, unlike the case where the movable body and the fixed body are connected only by the leaf spring, the movable body can be moved by the viscoelastic member. Excessive vibration of the body can be suppressed. As a result, collisions between the movable body and the fixed body can be suppressed, so that the impact resistance of the actuator can be enhanced. Moreover, since the gap between the movable body and the fixed body can be reduced, the degree of freedom in designing the actuator is high, and the size of the actuator can be reduced.

本発明の実施形態1に係るアクチュエータの断面図である。1 is a cross-sectional view of an actuator according to Embodiment 1 of the present invention; FIG. 図1のアクチュエータをL1側から見た分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of the actuator of FIG. 1 as seen from the L1 side; FIG. 図1のアクチュエータをL2側から見た分解斜視図である。2 is an exploded perspective view of the actuator of FIG. 1 as seen from the L2 side; FIG. 第2接続体の平面図およびその部分拡大図である。It is the top view of a 2nd connection body, and its partial enlarged view. 本発明の実施形態2に係るアクチュエータの断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of an actuator according to Embodiment 2 of the present invention;

以下に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明において、軸線Lとは可動体3の中心軸線である。また、軸線Lが延在する方向(軸線L方向)の一方側をL1とし、軸線L方向の他方側をL2とする。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, the axis L is the central axis of the movable body 3. As shown in FIG. Also, one side in the direction in which the axis L extends (the direction of the axis L) is L1, and the other side in the direction of the axis L is L2.

[実施形態1]
(全体構成)
図1は、本発明の実施形態1に係るアクチュエータ1の断面図である。図2は、図1のアクチュエータ1をL1側から見た分解斜視図である。図3は、図1のアクチュエータ1をL2側から見た分解斜視図である。図1~図3に示すように、実施形態1のアクチュエータ1は、固定体2および可動体3と、固定体2と可動体3とを接続する接続体8と、固定体2に対して可動体3を軸線L方向に相対移動させる磁気駆動機構6を備える。磁気駆動機構6は、可動体3に配置される磁石61と、固定体2に配置されるコイル62を備える。なお、磁石61とコイル62の配置を逆にすることも可能である。
[Embodiment 1]
(overall structure)
FIG. 1 is a cross-sectional view of an actuator 1 according to Embodiment 1 of the present invention. FIG. 2 is an exploded perspective view of the actuator 1 of FIG. 1 viewed from the L1 side. FIG. 3 is an exploded perspective view of the actuator 1 of FIG. 1 as seen from the L2 side. As shown in FIGS. 1 to 3, the actuator 1 of the first embodiment includes a fixed body 2 and a movable body 3, a connection body 8 that connects the fixed body 2 and the movable body 3, and a movable body with respect to the fixed body 2. A magnetic drive mechanism 6 for relatively moving the body 3 in the direction of the axis L is provided. The magnetic drive mechanism 6 includes a magnet 61 arranged on the movable body 3 and a coil 62 arranged on the fixed body 2 . It should be noted that the arrangement of the magnet 61 and the coil 62 can be reversed.

接続体8は弾性部材であり、軸線L方向に離間した2箇所において可動体3と固定体2を接続する。本形態では、接続体8として、可動体3のL1側の端部に配置される第1接続体8Aと、可動体3のL2側の端部に配置される第2接続体8Bを備える。また、本形態では、第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは板ばねである。第1接続体8Aは、内周部が可動体3のL1側の端部に固定され、外周部が固定体2に固定される。また、第2接続体8Bは、内周部が可動体3のL2側の端部に固定され、外周部が固定体2に固定される。従って、第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは、可動体3を軸線L方向に移動可能に支持する。 The connection body 8 is an elastic member, and connects the movable body 3 and the fixed body 2 at two points spaced apart in the axis L direction. In this embodiment, as the connection bodies 8, a first connection body 8A arranged at the end of the movable body 3 on the L1 side and a second connection body 8B arranged at the end on the L2 side of the movable body 3 are provided. Moreover, in this embodiment, the first connection body 8A and the second connection body 8B are leaf springs. The first connector 8A has an inner peripheral portion fixed to the end portion of the movable body 3 on the L1 side, and an outer peripheral portion fixed to the fixed body 2 . The second connection body 8B has an inner peripheral portion fixed to the end of the movable body 3 on the L2 side, and an outer peripheral portion fixed to the fixed body 2 . Therefore, the first connection body 8A and the second connection body 8B support the movable body 3 so as to be movable in the axis L direction.

(固定体)
固定体2は、樹脂製のケース20と、ケース20に保持されるホルダ4を備える。ケース20は、筒状ケース21と、筒状ケース21のL1側の端部に固定される第1蓋部材22と、筒状ケース21のL2側の端部に固定される第2蓋部材23を備える。図2、図3に示すように、筒状ケース21は、L1側の端部の内周面から突出する3箇所の係止部2
5を備えており、第1蓋部材22は、係止部25に係止されるフック26を備えている。また、筒状ケース21は、L2側の端部から突出する3箇所のフック27を備えており、第2蓋部材23は、フック26が係止される係止凹部28を備えている。
(fixed body)
The fixed body 2 includes a resin case 20 and a holder 4 held by the case 20 . The case 20 includes a tubular case 21, a first lid member 22 fixed to the L1 side end of the tubular case 21, and a second lid member 23 fixed to the L2 side end of the tubular case 21. Prepare. As shown in FIGS. 2 and 3, the cylindrical case 21 has three locking portions 2 protruding from the inner peripheral surface of the end on the L1 side.
5 , and the first lid member 22 has a hook 26 that is locked to the locking portion 25 . Further, the cylindrical case 21 has three hooks 27 protruding from the end on the L2 side, and the second lid member 23 has locking recesses 28 in which the hooks 26 are locked.

第1蓋部材22は、可動体3のL1側の端部と軸線L方向に対向する対向面221を備える。図3に示すように、対向面221は、第1蓋部材22の径方向の中央に設けられた円形面である。また、第1蓋部材22は、外周部分がホルダ4側(L2側)へ突出している。図1に示すように、第1接続体8Aは、外周部分が第1蓋部材22の外周部分とホルダ4との間に挟まれて固定体2に固定される。 The first lid member 22 has a facing surface 221 that faces the end of the movable body 3 on the L1 side in the direction of the axis L. As shown in FIG. As shown in FIG. 3 , the facing surface 221 is a circular surface provided in the radial center of the first lid member 22 . In addition, the outer peripheral portion of the first lid member 22 protrudes toward the holder 4 (L2 side). As shown in FIG. 1 , the outer peripheral portion of the first connecting member 8A is sandwiched between the outer peripheral portion of the first lid member 22 and the holder 4 and fixed to the fixed member 2 .

第2蓋部材23は、可動体3のL3側の端部と軸線L方向に対向する対向面231を備える。図2に示すように、対向面231は、第2蓋部材23の径方向の中央に設けられた円形面である。図3に示すように、筒状ケース21のL2側の端部には、内周側へ突出する環状突出部29が設けられている。図2に示すように、第2蓋部材23は、外周部分が環状突出部29側(L2側)へ突出している。図1に示すように、第2接続体8Bは、外周部分が環状突出部29と第2蓋部材23の外周部分との間に挟まれて固定体2に固定される。 The second lid member 23 has a facing surface 231 that faces the end of the movable body 3 on the L3 side in the direction of the axis L. As shown in FIG. As shown in FIG. 2 , the facing surface 231 is a circular surface provided in the radial center of the second lid member 23 . As shown in FIG. 3, an annular projecting portion 29 projecting inwardly is provided at the L2 side end portion of the cylindrical case 21 . As shown in FIG. 2, the outer peripheral portion of the second lid member 23 protrudes toward the annular protrusion 29 (L2 side). As shown in FIG. 1, the second connecting body 8B is fixed to the fixed body 2 with its outer peripheral portion sandwiched between the annular projecting portion 29 and the outer peripheral portion of the second lid member 23 .

ホルダ4は、第1蓋部材22の外周部分のL2側に配置される環状部42と、環状部42の内周部分からL2側へ突出するコイル固定部43を備える。コイル62は、コイル固定部43の外周側に巻かれている。端子ピン64は、環状部42に設けられた端子保持部44から径方向外側に突出する。筒状ケース21には、端子ピン64を介してコイル線と接続される基板63が固定される。基板63は、筒状ケース21の外周面に設けられた凹部24に配置される。 The holder 4 includes an annular portion 42 arranged on the L2 side of the outer peripheral portion of the first lid member 22 and a coil fixing portion 43 protruding from the inner peripheral portion of the annular portion 42 toward the L2 side. The coil 62 is wound around the outer circumference of the coil fixing portion 43 . The terminal pin 64 protrudes radially outward from the terminal holding portion 44 provided in the annular portion 42 . A substrate 63 that is connected to the coil wire via a terminal pin 64 is fixed to the cylindrical case 21 . The substrate 63 is placed in the recess 24 provided on the outer peripheral surface of the cylindrical case 21 .

(可動体)
可動体3は、固定体2の径方向の中心において軸線L方向に延びるシャフト31と、シャフト31の軸線L方向の略中央に固定される磁石61と、磁石61にL1側で重なる第1ヨーク32と、磁石61にL2側で重なる第2ヨーク33と、第1ヨーク32にL1側から当接する錘30と、錘30にL1側から当接する第1受け部材36と、第2ヨーク33にL2側から当接する第2受け部材37を備える。可動体3のL1側の端部には、シャフト31のL1側の端部にL1側から嵌まる第1部材38が取り付けられ、可動体3のL2側の端部には、シャフト31のL2側の端部にL2側から嵌まる第2部材39が取り付けられている、
(movable body)
The movable body 3 includes a shaft 31 extending in the direction of the axis L at the radial center of the fixed body 2, a magnet 61 fixed substantially in the center of the shaft 31 in the direction of the axis L, and a first yoke overlapping the magnet 61 on the L1 side. 32, a second yoke 33 that overlaps the magnet 61 on the L2 side, a weight 30 that contacts the first yoke 32 from the L1 side, a first receiving member 36 that contacts the weight 30 from the L1 side, and the second yoke 33. A second receiving member 37 abutting from the L2 side is provided. A first member 38 fitted to the L1 side end of the shaft 31 from the L1 side is attached to the L1 side end of the movable body 3 , and the L2 side of the shaft 31 is attached to the L2 side end of the movable body 3 . A second member 39 that fits from the L2 side is attached to the end of the side,

第1受け部材36とシャフト31の外周面との間には、L1側に開口する第1環状溝361が設けられている。第1部材38は、シャフト31の端部が嵌まる筒部381と、筒部381のL1側の端部から外周側へ拡がる円板部382を備えており、筒部381は、第1受け部材36の第1環状溝361に嵌まっている。円板部382は、第1蓋部材22の径方向の中央に設けられた対向面221と軸線L方向で対向している。第1接続体8Aは、第1受け部材36のL1側の端部と、円板部382の内周部分との隙間に挟まれて可動体3に固定される。 A first annular groove 361 that opens to the L1 side is provided between the first receiving member 36 and the outer peripheral surface of the shaft 31 . The first member 38 includes a cylindrical portion 381 in which the end of the shaft 31 is fitted, and a disk portion 382 that extends outward from the end of the cylindrical portion 381 on the L1 side. It fits in the first annular groove 361 of the member 36 . The disk portion 382 faces the facing surface 221 provided in the radial center of the first lid member 22 in the direction of the axis L. As shown in FIG. The first connector 8A is fixed to the movable body 3 while being sandwiched between the L1-side end of the first receiving member 36 and the inner peripheral portion of the disc portion 382 .

同様に、第2受け部材37とシャフト31の外周面との間には、L2側に開口する第2環状溝371が設けられている。第2部材39は、シャフト31の端部が嵌まる筒部391と、筒部391のL2側の端部から外周側へ拡がる円板部392を備えており、筒部391は、第2受け部材37の第2環状溝371に嵌まっている。円板部392は、第2蓋部材23の径方向の中央に設けられた対向面231と軸線L方向で対向している。第2接続体8Bは、第2受け部材37のL2側の端部と、円板部392の内周部分との隙間に挟まれて可動体3に固定される。 Similarly, a second annular groove 371 is provided between the second receiving member 37 and the outer peripheral surface of the shaft 31 and opens on the L2 side. The second member 39 includes a cylindrical portion 391 to which the end of the shaft 31 is fitted, and a disk portion 392 that extends outward from the L2 side end of the cylindrical portion 391. The cylindrical portion 391 serves as a second receiving It fits in the second annular groove 371 of the member 37 . The disk portion 392 faces the facing surface 231 provided in the radial center of the second lid member 23 in the direction of the axis L. As shown in FIG. The second connector 8B is fixed to the movable body 3 while being sandwiched between the L2-side end of the second receiving member 37 and the inner peripheral portion of the disc portion 392 .

磁石61は円筒状であり、軸線L方向においてN極とS極とに分極するように着磁されている。シャフト31は、固定体2の径方向の中心において軸線L方向に延びている。磁石61の外周側には、ホルダ4に設けられたコイル固定部43が磁石61と同軸に配置される。従って、磁石61とコイル62は同軸に配置される。 The magnet 61 has a cylindrical shape and is magnetized so as to be polarized into an N pole and an S pole in the axis L direction. The shaft 31 extends in the direction of the axis L at the radial center of the fixed body 2 . A coil fixing portion 43 provided in the holder 4 is arranged coaxially with the magnet 61 on the outer peripheral side of the magnet 61 . Therefore, the magnet 61 and the coil 62 are arranged coaxially.

第1ヨーク32は、外径寸法が磁石61の外径寸法よりわずかに大きい磁性板である。第1ヨーク32の外周面は、磁石61の外周面より径方向外側に張り出している。第1ヨーク32は、磁石61のL1側の面に接着等の方法で固定されている。第2ヨーク33は、2枚の磁性板(第1磁性板34、第2磁性板35)によって構成される。第1磁性板34は、磁石61のL2側に配置される端板部341と、端板部341の外縁からL1側に延在する円筒状の側板部342とを備えている。側板部342は、コイル固定部43の外周側に配置される。第2磁性板35は、第1磁性板34の端板部341よりわずかに小さな円板状である。第2磁性板35は、第1磁性板34の端板部341にL2側で積層され、端板部341に溶接されている。第2ヨーク33は、第2磁性板35が磁石61のL2側の面に接着等の方法で固定されている。 The first yoke 32 is a magnetic plate whose outside diameter is slightly larger than the outside diameter of the magnet 61 . The outer peripheral surface of the first yoke 32 protrudes radially outward from the outer peripheral surface of the magnet 61 . The first yoke 32 is fixed to the L1 side surface of the magnet 61 by a method such as adhesion. The second yoke 33 is composed of two magnetic plates (first magnetic plate 34 and second magnetic plate 35). The first magnetic plate 34 includes an end plate portion 341 arranged on the L2 side of the magnet 61 and a cylindrical side plate portion 342 extending from the outer edge of the end plate portion 341 to the L1 side. The side plate portion 342 is arranged on the outer peripheral side of the coil fixing portion 43 . The second magnetic plate 35 has a disc shape slightly smaller than the end plate portion 341 of the first magnetic plate 34 . The second magnetic plate 35 is laminated on the end plate portion 341 of the first magnetic plate 34 on the L2 side and welded to the end plate portion 341 . In the second yoke 33, the second magnetic plate 35 is fixed to the surface of the magnet 61 on the L2 side by a method such as adhesion.

(接続体)
図4は、接続体8の平面図およびその部分拡大図である。本形態では、第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは同一部材である。接続体8(第1接続体8A、第2接続体8B)は円形の板ばねであり、軸線Lに対して垂直に配置される(図1参照)。可動体3が軸線L方向に振動するとき、接続体8は、軸線L方向に弾性変形する。図4に示すように、接続体8は、内側環状部81および外側環状部82と、内側環状部81と外側環状部82の間に配置される複数のアーム83を備えている。内側環状部81は、可動体3に固定され、外側環状部82は、固定体2に固定される。接続体8は、第1アーム83Aと、第1アーム83Aに対して周方向の一方側CCWに配置される第2アーム83Bと、第2アーム83Bに対して周方向の一方側CCWに配置される第3アーム83Cの3本を備える。
(Connector)
4A and 4B are a plan view and a partially enlarged view of the connector 8. FIG. In this embodiment, the first connector 8A and the second connector 8B are the same member. The connection bodies 8 (first connection body 8A, second connection body 8B) are circular leaf springs arranged perpendicular to the axis L (see FIG. 1). When the movable body 3 vibrates in the axis L direction, the connector 8 elastically deforms in the axis L direction. As shown in FIG. 4 , the connector 8 includes an inner annular portion 81 , an outer annular portion 82 , and a plurality of arms 83 arranged between the inner annular portion 81 and the outer annular portion 82 . The inner annular portion 81 is fixed to the movable body 3 and the outer annular portion 82 is fixed to the fixed body 2 . The connection body 8 includes a first arm 83A, a second arm 83B arranged on one side CCW in the circumferential direction with respect to the first arm 83A, and one side CCW in the circumferential direction with respect to the second arm 83B. Three third arms 83C are provided.

3本のアーム83(第1アーム83A、第2アーム83B、第3アーム83C)は、それぞれ、内側環状部81と接続される内側接続部84、外側環状部82と接続される外側接続部85、および、内側接続部84から外側接続部85へ向かって周方向の一方側CCWへ延びる螺旋部86を備える。内側接続部84は、内側環状部81から外周側へ突出する突出部である。内側接続部84と螺旋部86は、屈曲した形状に繋がっている。また、外側接続部85は、外側環状部82から内周側へ突出する突出部である。外側接続部85と螺旋部86は、屈曲した形状に繋がっている。 The three arms 83 (first arm 83A, second arm 83B, third arm 83C) have an inner connection portion 84 connected to the inner annular portion 81 and an outer connection portion 85 connected to the outer annular portion 82, respectively. , and a spiral portion 86 extending from the inner connecting portion 84 toward the outer connecting portion 85 to one side CCW in the circumferential direction. The inner connecting portion 84 is a protrusion that protrudes from the inner annular portion 81 to the outer peripheral side. The inner connection portion 84 and the spiral portion 86 are connected in a bent shape. Further, the outer connecting portion 85 is a protruding portion that protrudes from the outer annular portion 82 toward the inner peripheral side. The outer connection portion 85 and the spiral portion 86 are connected in a bent shape.

3本のアーム83の螺旋部86は、一周分の角度範囲(360°)より大きい角度範囲にわたって周方向に延びている。従って、接続体8は、径方向から見たとき、どの角度位置においても、4本の螺旋部86が重なっている。従って、接続体8は、軸線L方向と交差する全方向に4本の螺旋部86が配置されるので、接続体8(板ばね)の剛性は、軸線L方向と交差する全方向で高められている。 The helical portions 86 of the three arms 83 extend in the circumferential direction over an angle range larger than the angle range for one round (360°). Therefore, when the connector 8 is viewed from the radial direction, the four spiral portions 86 overlap at any angular position. Therefore, since the connection body 8 has four spiral portions 86 arranged in all directions intersecting with the direction of the axis L, the rigidity of the connection body 8 (plate spring) is increased in all directions intersecting with the direction of the axis L. ing.

各アーム83の螺旋部86は、周方向に離間した複数の屈曲部87を備える。本形態では、各アーム83の螺旋部86には、複数の屈曲部87として、内側接続部84に周方向で最も近い第1屈曲部87Aと、第1屈曲部87Aの周方向の一方側CCWに位置する第2屈曲部87Bと、第2屈曲部87Bの周方向の一方側CCWに位置する第3屈曲部87Cが設けられている。 The helical portion 86 of each arm 83 includes a plurality of circumferentially spaced bends 87 . In this embodiment, the spiral portion 86 of each arm 83 includes a plurality of curved portions 87, a first curved portion 87A closest to the inner connection portion 84 in the circumferential direction, and a CCW on one side of the first curved portion 87A in the circumferential direction. and a third bent portion 87C positioned on one side CCW in the circumferential direction of the second bent portion 87B.

各アーム83に設けられる3箇所の屈曲部87は、それぞれ、周方向に対して傾斜した傾斜部分871と、傾斜部分871の一端(外周側の端部)から周方向の一方側CCWへ
屈曲した第1屈曲部分872と、傾斜部分871の他端(内周側の端部)から周方向の他方側CWへ屈曲した第2屈曲部分873を備える。第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、第3屈曲部87Cは相似形であり、第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、第3屈曲部87Cの順で傾斜部分871の長さが増大している。
The three bent portions 87 provided on each arm 83 are a slanted portion 871 that is slanted with respect to the circumferential direction, and a slanted portion 871 that is bent from one end of the slanted portion 871 (the end on the outer peripheral side) to the one side CCW in the circumferential direction. It has a first bent portion 872 and a second bent portion 873 bent from the other end (inner peripheral side end) of the inclined portion 871 to the other side CW in the circumferential direction. The first bent portion 87A, the second bent portion 87B, and the third bent portion 87C have similar shapes, and the length of the inclined portion 871 is increasing.

屈曲部87は、上記のように、軸線L方向に直交する面内で屈曲した形状であるため、屈曲部87を設けることにより、各アーム83の軸線L方向と直交する方向の剛性が高い。従って、接続体8は、軸線L方向と直交する方向の剛性が高い。 As described above, the bent portion 87 has a shape bent in a plane perpendicular to the direction of the axis L, and thus the rigidity of each arm 83 in the direction perpendicular to the direction of the axis L is high by providing the bent portion 87 . Therefore, the connection body 8 has high rigidity in the direction perpendicular to the axis L direction.

3本のアーム83(第1アーム83A、第2アーム83B、第3アーム83C)は、周方向に等間隔で配置される。また、各アーム83において、3箇所の屈曲部87(第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、第3屈曲部87C)は、周方向に等間隔で配置される。本形態では、3本のアーム83が周方向に120°間隔で配置されると共に、各アーム83において、3箇所の屈曲部87(第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、第3屈曲部87C)は周方向に120°間隔で配置される。さらに、内側接続部84と第1屈曲部87Aが120°間隔で配置され、第3屈曲部87Cと外側接続部85が120°間隔で配置される。 The three arms 83 (first arm 83A, second arm 83B, third arm 83C) are arranged at equal intervals in the circumferential direction. Also, in each arm 83, three bent portions 87 (first bent portion 87A, second bent portion 87B, and third bent portion 87C) are arranged at regular intervals in the circumferential direction. In this embodiment, three arms 83 are arranged at intervals of 120° in the circumferential direction, and each arm 83 has three bending portions 87 (first bending portion 87A, second bending portion 87B, third bending portion 87B, and three bending portions 87). 87C) are arranged at intervals of 120° in the circumferential direction. Furthermore, the inner connecting portion 84 and the first bent portion 87A are arranged at intervals of 120°, and the third bent portion 87C and the outer connecting portion 85 are arranged at intervals of 120°.

このような配置により、接続体8では、互いに異なるアーム83に設けられた第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、第3屈曲部87Cが内周側から外周側へ1列に並んでいる。さらに、第1屈曲部87Aの内周側に内側接続部84が配置され、第3屈曲部87Cの外周側に外側接続部85が配置されるので、5箇所の屈曲部が内周側から外周側へ1列に並んでいる。5箇所の屈曲部が内周側から外周側へ1列に配列された構成は、接続体8において、等角度間隔で3箇所に設けられている。 With such an arrangement, in the connection body 8, the first bent portion 87A, the second bent portion 87B, and the third bent portion 87C provided on the mutually different arms 83 are arranged in a line from the inner peripheral side to the outer peripheral side. . Furthermore, since the inner connecting portion 84 is arranged on the inner peripheral side of the first bent portion 87A, and the outer connecting portion 85 is arranged on the outer peripheral side of the third bent portion 87C, the five bent portions are arranged from the inner peripheral side to the outer peripheral side. Lined up side by side. The configuration in which five bent portions are arranged in a row from the inner peripheral side to the outer peripheral side is provided at three locations in the connector 8 at equal angular intervals.

(実施形態1の主な効果)
以上のように、実施形態1のアクチュエータ1は、固定体2と、可動体3と、可動体3を固定体2に対して振動させる磁気駆動機構6と、固定体2と可動体3とを接続する接続体と、を有する。接続体は、可動体3の振動方向(軸線L方向)における一端側(L1側)に配置される第1接続体8Aと、可動体3の振動方向(軸線L方向)における他端側(L2側)に配置される第2接続体8Bを備える。第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは、可動体3の振動方向(軸線L方向)と直交する方向へ延びる板ばねであり、第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは、可動体3が振動方向と直交する方向へ移動することを抑制する変形抑制部(アーム83の屈曲部87)を備えている。
(Main effects of Embodiment 1)
As described above, the actuator 1 of Embodiment 1 includes the fixed body 2, the movable body 3, the magnetic drive mechanism 6 for vibrating the movable body 3 with respect to the fixed body 2, and the fixed body 2 and the movable body 3. and a connector for connecting. The connecting bodies are a first connecting body 8A arranged on one end side (L1 side) in the vibration direction (axis L direction) of the movable body 3 and the other end side (L2 side). The first connection body 8A and the second connection body 8B are leaf springs extending in a direction orthogonal to the vibration direction (axis L direction) of the movable body 3, and the first connection body 8A and the second connection body 8B are the movable bodies. 3 is provided with a deformation suppressing portion (a bending portion 87 of the arm 83) that suppresses the movement of the arm 3 in a direction perpendicular to the vibration direction.

実施形態1のアクチュエータ1は、振動方向(軸線L方向)と直交する方向への可動体3の移動を抑制できる変形抑制部を備えた板ばね(第1接続体8Aおよび第2接続体8B)によって、可動体3の振動方向の両端が支持される。従って、可動体3の両端が振動方向(軸線L方向)と交差する方向へ移動することを抑制できるので、可動体3を振動させる際に、可動体3が振動方向(軸線L方向)と交差する方向へ動くことを抑制できる。これにより、可動体3と固定体2との衝突を抑制できるので、アクチュエータ1の耐衝撃性を高めることができる。また、可動体3と固定体2とのギャップを小さくすることができるので、アクチュエータ1の設計の自由度が高く、アクチュエータ1の小型化を図ることもできる。さらに、薄型の部材である板ばねを用いて可動体3を支持するため、支持構造を小型化できる。よって、アクチュエータ1の設計の自由度が高い。 The actuator 1 of the first embodiment includes leaf springs (first connecting body 8A and second connecting body 8B) having deformation suppressing portions capable of suppressing movement of the movable body 3 in a direction perpendicular to the vibration direction (axis L direction). support both ends of the movable body 3 in the vibration direction. Therefore, since both ends of the movable body 3 can be suppressed from moving in a direction intersecting the vibration direction (axis L direction), when the movable body 3 is vibrated, the movable body 3 intersects the vibration direction (axis L direction). You can suppress movement in the direction you want. As a result, the collision between the movable body 3 and the fixed body 2 can be suppressed, so that the impact resistance of the actuator 1 can be enhanced. Moreover, since the gap between the movable body 3 and the fixed body 2 can be reduced, the degree of freedom in designing the actuator 1 is high, and the size of the actuator 1 can be reduced. Furthermore, since the movable body 3 is supported using a plate spring which is a thin member, the supporting structure can be made compact. Therefore, the degree of freedom in designing the actuator 1 is high.

実施形態1において、接続体8(第1接続体8Aおよび第2接続体8B)は、内側環状部81と、内側環状部81の外周側に配置される外側環状部82と、内側環状部81と外側環状部82とを接続する複数のアーム83を備えており、内側環状部81が可動体3に固定され、外側環状部82が固定体2に固定される。複数のアーム83のそれぞれは、内
側環状部81と接続される内側接続部84、外側環状部82と接続される外側接続部85、および、内側接続部84から外側接続部85へ向かって周方向の一方側へ延びる螺旋部86を備えており、変形抑制部として、螺旋部86に設けられた屈曲部87を備えている。このように、屈曲部87を設けることでアーム83の剛性を高めることができる。これにより、振動方向(軸線L方向)と交差する方向で接続体8の剛性を高めることができる。従って、振動方向(軸線L方向)と交差する方向への可動体3の移動を抑制できる。
In Embodiment 1, the connection body 8 (the first connection body 8A and the second connection body 8B) includes an inner annular portion 81, an outer annular portion 82 arranged on the outer peripheral side of the inner annular portion 81, and an inner annular portion 81 and an outer annular portion 82 , the inner annular portion 81 is fixed to the movable body 3 and the outer annular portion 82 is fixed to the fixed body 2 . Each of the plurality of arms 83 has an inner connection portion 84 connected to the inner annular portion 81, an outer connection portion 85 connected to the outer annular portion 82, and a circumferential direction extending from the inner connection portion 84 to the outer connection portion 85. and a bending portion 87 provided in the spiral portion 86 as a deformation suppressing portion. By providing the bent portion 87 in this manner, the rigidity of the arm 83 can be increased. Thereby, the rigidity of the connector 8 can be increased in the direction intersecting with the vibration direction (the direction of the axis L). Therefore, it is possible to suppress the movement of the movable body 3 in the direction intersecting with the vibration direction (the direction of the axis L).

なお、実施形態1は、固定体2が可動体3の外周側に配置されているので、内側環状部81が可動体3に固定され、外側環状部82が固定体2に固定されるが、可動体3と固定体2の配置を入れ換えた構成を採用する場合には、内側環状部81を固定体2に固定し、外側環状部82が可動体3に固定すればよい。 In the first embodiment, since the fixed body 2 is arranged on the outer peripheral side of the movable body 3, the inner annular portion 81 is fixed to the movable body 3 and the outer annular portion 82 is fixed to the fixed body 2. When adopting a configuration in which the positions of the movable body 3 and the fixed body 2 are interchanged, the inner annular portion 81 may be fixed to the fixed body 2 and the outer annular portion 82 may be fixed to the movable body 3 .

実施形態1において、屈曲部87は、周方向に対して傾斜した傾斜部分871、傾斜部分871の一端から周方向の一方側CCWへ屈曲した第1屈曲部分872、および、傾斜部分871の他端から周方向の他方側CWへ屈曲した第2屈曲部分873を備える。このように、螺旋部86の途中に、振動方向(軸線L方向)と直交する面内で屈曲する屈曲部87を設けることにより、振動方向(軸線L方向)と直交する方向でアーム83の剛性を高めることができる。従って、振動方向(軸線L方向)と交差する方向で接続体8の剛性を高めることができ、振動方向(軸線L方向)と交差する方向への可動体3の移動を抑制できる。 In the first embodiment, the bent portion 87 includes an inclined portion 871 inclined with respect to the circumferential direction, a first bent portion 872 bent from one end of the inclined portion 871 to one side CCW in the circumferential direction, and the other end of the inclined portion 871. It has a second bent portion 873 bent from to the other side CW in the circumferential direction. Thus, by providing the bending portion 87 that bends in a plane orthogonal to the vibration direction (axis L direction) in the middle of the spiral portion 86, the rigidity of the arm 83 is increased in the direction orthogonal to the vibration direction (axis L direction). can increase Therefore, the rigidity of the connection body 8 can be increased in the direction intersecting the vibration direction (axis L direction), and the movement of the movable body 3 in the direction intersecting the vibration direction (axis L direction) can be suppressed.

実施形態1の接続体8は、互いに異なるアーム83に設けられた複数の螺旋部86が径方向から見て重なっている。実施形態1では、複数のアーム83のそれぞれを他のアーム83が配置される周方向の位置まで延ばしており、複数のアーム83の螺旋部86が径方向から見て重なっている。このように、周方向の全範囲に複数のアーム83を配置することにより、接続体8の剛性を振動方向(軸線L方向)と交差する全方向で高めることができる。従って、振動方向(軸線L方向)と交差する方向への可動体3の移動を抑制できる。 In the connection body 8 of Embodiment 1, a plurality of spiral portions 86 provided on arms 83 different from each other overlap when viewed from the radial direction. In Embodiment 1, each of the plurality of arms 83 extends to a position in the circumferential direction where the other arm 83 is arranged, and the spiral portions 86 of the plurality of arms 83 overlap when viewed in the radial direction. By arranging the plurality of arms 83 over the entire range in the circumferential direction in this way, the rigidity of the connection body 8 can be increased in all directions intersecting with the vibration direction (the direction of the axis L). Therefore, it is possible to suppress the movement of the movable body 3 in the direction intersecting with the vibration direction (the direction of the axis L).

実施形態1では、複数の屈曲部87(第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、および第3屈曲部87C)は相似形であり、且つ、互いに異なるアーム83に設けられた複数の屈曲部87が内周側から外周側へ1列に並んでいる。このように、屈曲部87を相似形とし、且つ、一列に配列して周方向の位置を揃えることにより、屈曲部87を設けた分、アーム83同士の間隔を大きくする必要がない。従って、接続体8を大型化させることなく、剛性を高めることができる。 In the first embodiment, the plurality of bent portions 87 (the first bent portion 87A, the second bent portion 87B, and the third bent portion 87C) have similar shapes and are provided on the arms 83 that are different from each other. 87 are arranged in a line from the inner peripheral side to the outer peripheral side. In this manner, the bent portions 87 are similar in shape and arranged in a line to align the positions in the circumferential direction. Therefore, the rigidity can be increased without increasing the size of the connection body 8 .

実施形態1の接続体8は、複数のアーム83として、第1アーム83Aと、第1アーム83Aの周方向の一方側に配置される第2アーム83Bと、第2アーム83Bの周方向の一方側に配置される第3アーム83Cを備える。第1アーム83A、第2アーム83B、および第3アーム83Cのそれぞれは、螺旋部86に設けられた複数の屈曲部87を備え、複数の屈曲部87は、第1屈曲部87Aと、第1屈曲部87Aの周方向の一方側に位置する第2屈曲部87Bと、第2屈曲部87Bの周方向の一方側に位置する第3屈曲部87Cを備える。そして、互いに異なるアーム83に設けられた第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、および、第3屈曲部87Cが相似形であり、且つ、内周側から外周側へこの順で1列に並んでいる。このように、3本のアーム83のそれぞれが3箇所の屈曲部87を備えていると、各アーム83の剛性が高い。また、互いに異なるアーム83の屈曲部87が内周側から外周側へ1列に並んでいるので、接続体8の剛性を振動方向と交差する全方向で高めることができる。従って、振動方向(軸線L方向)と交差する方向への可動体3の移動を抑制できる。また、屈曲部87を相似形とし、且つ、一列に配列して周方向の位置を揃えることにより、屈曲部87を設けた分、アーム83同士の間隔を大きくする必要
がない。従って、接続体8を大型化させることなく、剛性を高めることができる。
The connection body 8 of the first embodiment has a plurality of arms 83, including a first arm 83A, a second arm 83B arranged on one side of the first arm 83A in the circumferential direction, and one side of the second arm 83B in the circumferential direction. It has a third arm 83C arranged on the side. Each of the first arm 83A, the second arm 83B, and the third arm 83C includes a plurality of bent portions 87 provided in the spiral portion 86, and the plurality of bent portions 87 includes the first bent portion 87A and the first It has a second bent portion 87B positioned on one side in the circumferential direction of the bent portion 87A and a third bent portion 87C positioned on one side in the circumferential direction of the second bent portion 87B. The first bent portion 87A, the second bent portion 87B, and the third bent portion 87C provided on the arms 83 different from each other have similar shapes, and are arranged in one row in this order from the inner peripheral side to the outer peripheral side. Lined up. Thus, when each of the three arms 83 has three bending portions 87, the rigidity of each arm 83 is high. In addition, since the bending portions 87 of the arms 83 which are different from each other are arranged in a row from the inner peripheral side to the outer peripheral side, the rigidity of the connection body 8 can be increased in all directions intersecting with the vibration direction. Therefore, it is possible to suppress the movement of the movable body 3 in the direction intersecting with the vibration direction (the direction of the axis L). Further, by making the bent portions 87 similar in shape and arranging them in a line to align the positions in the circumferential direction, it is not necessary to increase the interval between the arms 83 by the amount of the bent portions 87 provided. Therefore, the rigidity can be increased without increasing the size of the connection body 8 .

実施形態1において、複数のアーム83のそれぞれにおいて、内側接続部84は、内側環状部81から外周側へ突出した突出部であって、螺旋部86と屈曲した形状に繋がっており、外側接続部85は、外側環状部82から内周側へ突出した突出部であって、螺旋部86と屈曲した形状に繋がっており、内側接続部84、第1屈曲部87A、第2屈曲部87B、第3屈曲部87C、および、外側接続部85は、内周側から外周側へこの順で1列に並んでいる。このように、5箇所の屈曲部の周方向の位置を揃えることによって、屈曲部87を設けた分、アーム83同士の間隔を大きくする必要がない。従って、接続体8を大型化させることなく、剛性を高めることができる。 In the first embodiment, in each of the plurality of arms 83, the inner connecting portion 84 is a protruding portion that protrudes from the inner annular portion 81 toward the outer peripheral side and is connected to the spiral portion 86 in a bent shape. Reference numeral 85 denotes a protruding portion that protrudes from the outer annular portion 82 toward the inner peripheral side and is connected to the spiral portion 86 in a bent shape, and includes an inner connecting portion 84, a first bent portion 87A, a second bent portion 87B, a second bent portion 87B, and a second bent portion 87B. The 3-bent portion 87C and the outer connection portion 85 are arranged in a line in this order from the inner peripheral side to the outer peripheral side. By aligning the positions of the five bent portions in the circumferential direction in this way, it is not necessary to increase the interval between the arms 83 by the amount of the bent portions 87 provided. Therefore, the rigidity can be increased without increasing the size of the connection body 8 .

なお、実施形態1において、第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは円形の板ばねであるが、板ばねの形状は円形以外の形状でもよい。例えば、矩形でもよい。また、板ばねの材質は金属であってもよいし、金属以外でもよい。例えば、樹脂でもよい。 In the first embodiment, the first connection body 8A and the second connection body 8B are circular leaf springs, but the shape of the leaf springs may be other than circular. For example, it may be rectangular. Further, the material of the leaf spring may be metal or may be other than metal. For example, resin may be used.

[実施形態2]
(全体構成)
図5は、本発明の実施形態2に係るアクチュエータ1Aの断面図である。以下、実施形態1とは異なる点のみ説明し、同一の点は説明を省略する。実施形態2のアクチュエータ1Aは、固定体2および可動体3と、可動体3を軸線L方向に振動させる磁気駆動機構6と、固定体2と可動体3を接続する接続体8および接続体7を備える。接続体8は板ばねであり、接続体7は粘弾性部材である。アクチュエータ1Aは、接続体8として、第1接続体8Aおよび第2接続体8Bを備える。第1接続体8Aおよび第2接続体8Bの構成は実施形態1と同一である。第1接続体8Aおよび第2接続体8Bは、可動体3を軸線L方向に移動可能に支持する。
[Embodiment 2]
(overall structure)
FIG. 5 is a cross-sectional view of an actuator 1A according to Embodiment 2 of the present invention. Only points different from the first embodiment will be described below, and descriptions of the same points will be omitted. The actuator 1A of the second embodiment includes a fixed body 2 and a movable body 3, a magnetic drive mechanism 6 that vibrates the movable body 3 in the direction of the axis L, and connecting bodies 8 and 7 that connect the fixed body 2 and the movable body 3. Prepare. The connection body 8 is a leaf spring, and the connection body 7 is a viscoelastic member. The actuator 1A includes, as the connecting bodies 8, a first connecting body 8A and a second connecting body 8B. The configurations of the first connector 8A and the second connector 8B are the same as those of the first embodiment. The first connection body 8A and the second connection body 8B support the movable body 3 so as to be movable in the axis L direction.

接続体7は、可動体3と固定体2が軸線L方向で対向する位置に配置され、可動体3と固定体2の間に挟まれている。本形態では、接続体7として、可動体3のL1側の端部に配置される第3接続体7Aと、可動体3のL2側の端部に配置される第4接続体7Bを備える。第3接続体7Aは、第1蓋部材22の対向面221と、シャフト31のL1側の端部に取り付けられた第1部材38の円板部382との間に配置される。対向面221には、第3接続体7AのL1側の端部が接着等により固定される。また、円板部382には、第3接続体7AのL2側の端部が接着等により固定される。第4接続体7Bは、第2蓋部材23の対向面231と、シャフト31のL2側の端部に取り付けられた第2部材39の円板部392との間に配置される。対向面231には、第4接続体7BのL2側の端部が接着等により固定される。また、円板部392には、第4接続体7BのL1側の端部が接着等により固定される。 The connection body 7 is arranged at a position where the movable body 3 and the fixed body 2 face each other in the direction of the axis L, and is sandwiched between the movable body 3 and the fixed body 2 . In this embodiment, as the connection bodies 7, a third connection body 7A arranged at the end of the movable body 3 on the L1 side and a fourth connection body 7B arranged at the end on the L2 side of the movable body 3 are provided. The third connector 7A is arranged between the facing surface 221 of the first lid member 22 and the disc portion 382 of the first member 38 attached to the end of the shaft 31 on the L1 side. The L1-side end of the third connector 7A is fixed to the facing surface 221 by adhesion or the like. Further, the L2-side end of the third connection body 7A is fixed to the disc portion 382 by adhesion or the like. The fourth connector 7B is arranged between the facing surface 231 of the second lid member 23 and the disk portion 392 of the second member 39 attached to the end of the shaft 31 on the L2 side. The L2-side end of the fourth connector 7B is fixed to the facing surface 231 by adhesion or the like. Further, the L1-side end of the fourth connector 7B is fixed to the disc portion 392 by adhesion or the like.

第3接続体7Aおよび第4接続体7Bは、円柱状のゲル状ダンパー部材である。例えば、第3接続体7Aおよび第4接続体7Bとして、針入度が90度から110度のシリコーンゲルを用いることができる。なお、第3接続体7Aおよび第4接続体7Bの形状は、円柱状に限定されるものではない。例えば、第3接続体7Aおよび第4接続体7Bを直方体状にすることもできる。 The third connection body 7A and the fourth connection body 7B are columnar gel-like damper members. For example, silicone gel with a penetration of 90 degrees to 110 degrees can be used as the third connector 7A and the fourth connector 7B. The shapes of the third connector 7A and the fourth connector 7B are not limited to cylindrical. For example, the third connection body 7A and the fourth connection body 7B can be rectangular parallelepipeds.

このように、実施形態2のアクチュエータ1Aは、可動体3と固定体2とを接続する接続体として、板ばね(接続体8)だけでなく粘弾性部材(接続体7)を用いる。粘弾性部材(接続体7)は、可動体3と固定体2とが振動方向(軸線L方向)で対向する箇所に挟まれているので、可動体3が振動する際、ダンパー部材として機能する。従って、実施形態2では、実施形態1の作用効果に加えて、以下の作用効果を得ることができる。 As described above, the actuator 1A of the second embodiment uses not only the plate spring (connector 8) but also the viscoelastic member (connector 7) as the connector that connects the movable body 3 and the fixed body 2. FIG. The viscoelastic member (connector 7) is sandwiched between the movable body 3 and the fixed body 2 in the vibrating direction (the direction of the axis L), so that it functions as a damper member when the movable body 3 vibrates. . Therefore, in the second embodiment, in addition to the effects of the first embodiment, the following effects can be obtained.

実施形態2のアクチュエータ1Aは、板ばね(接続体8)のみで可動体3と固定体2とを接続した場合と異なり、粘弾性部材(接続体7)によって可動体3の過度な振動を抑制できる。これにより、可動体3と固定体2との衝突を抑制できるので、アクチュエータ1Aの耐衝撃性を高めることができる。また、可動体3と固定体2とのギャップを小さくすることができ、アクチュエータ1Aの設計の自由度が高く、アクチュエータ1Aの小型化を図ることもできる。さらに、粘弾性部材のバネ定数や形状を調節することにより、可動体3の共振周波数を調節することも可能である。
The actuator 1A of the second embodiment suppresses excessive vibration of the movable body 3 by the viscoelastic member (connector 7), unlike the case where the movable body 3 and the fixed body 2 are connected only by the plate spring (connector 8). can. Thereby, collision between the movable body 3 and the fixed body 2 can be suppressed, so that the impact resistance of the actuator 1A can be improved. Moreover, the gap between the movable body 3 and the fixed body 2 can be reduced, the degree of freedom in designing the actuator 1A is high, and the size of the actuator 1A can be reduced. Furthermore, it is possible to adjust the resonance frequency of the movable body 3 by adjusting the spring constant and shape of the viscoelastic member.

1、1A…アクチュエータ、2…固定体、3…可動体、4…ホルダ、6…磁気駆動機構、7…接続体、7A…第3接続体、7B…第4接続体、8…接続体、8A…第1接続体、8B…第2接続体、20…ケース、21…筒状ケース、22…第1蓋部材、23…第2蓋部材、24…凹部、25…係止部、26…フック、27…フック、28…係止凹部、29…環状突出部、30…錘、31…シャフト、32…第1ヨーク、33…第2ヨーク、34…第1磁性板、35…第2磁性板、36…第1受け部材、37…第2受け部材、38…第1部材、39…第2部材、42…環状部、43…コイル固定部、44…端子保持部、61…磁石、62…コイル、63…基板、64…端子ピン、70…フィルム、81…内側環状部、82…外側環状部、83…アーム、83A…第1アーム、83B…第2アーム、83C…第3アーム、84…内側接続部、85…外側接続部、86…螺旋部、87…屈曲部、87A…第1屈曲部、87B…第2屈曲部、87C…第3屈曲部、221…対向面、231…対向面、341…端板部、342…側板部、361…第1環状溝、371…第2環状溝、381…筒部、382…円板部、392…円板部、391…筒部、871…傾斜部分、872…第1屈曲部分、873…第2屈曲部分、CCW…周方向の一方側、CW…周方向の他方側、L…軸線 Reference Signs List 1, 1A Actuator 2 Fixed body 3 Movable body 4 Holder 6 Magnetic drive mechanism 7 Connector 7A Third connector 7B Fourth connector 8 Connector 8A... First connector, 8B... Second connector, 20... Case, 21... Cylindrical case, 22... First cover member, 23... Second cover member, 24... Concave part, 25... Locking part, 26... Hook 27 Hook 28 Retaining recess 29 Annular protrusion 30 Weight 31 Shaft 32 First yoke 33 Second yoke 34 First magnetic plate 35 Second magnetism Plate 36 First receiving member 37 Second receiving member 38 First member 39 Second member 42 Annular portion 43 Coil fixing portion 44 Terminal holding portion 61 Magnet 62 ... coil, 63 ... substrate, 64 ... terminal pin, 70 ... film, 81 ... inner annular portion, 82 ... outer annular portion, 83 ... arm, 83A ... first arm, 83B ... second arm, 83C ... third arm, 84... Inner connecting part 85... Outer connecting part 86... Spiral part 87... Bending part 87A... First bending part 87B... Second bending part 87C... Third bending part 221... Opposite surface 231... Opposing surface 341... End plate part 342... Side plate part 361... First annular groove 371... Second annular groove 381... Cylindrical part 382... Disc part 392... Disc part 391... Cylindrical part, 871... Inclined portion 872... First curved portion 873... Second curved portion CCW... One side in circumferential direction CW... Other side in circumferential direction L... Axis line

Claims (7)

固定体と、
可動体と、
前記可動体を前記固定体に対して振動させる磁気駆動機構と、
前記固定体と前記可動体とを接続する接続体と、を有し、
前記接続体は、前記可動体の振動方向における一端側に配置される第1接続体および第3接続体と、前記可動体の振動方向における他端側に配置される第2接続体および第4接続体を備え、
前記第1接続体および前記第2接続体は、前記可動体の振動方向と直交する方向へ延びる板ばねであり、
前記板ばねは、前記可動体の振動方向と交差する方向への移動を抑制する変形抑制部を備えており、
前記可動体は、前記振動方向に延びるシャフトを備え、
前記第3接続体および前記第4接続体は、前記シャフトを中心とする径方向で前記可動体の中心において前記可動体と前記固定体とが前記可動体の振動方向に対向している箇所を接続する粘弾性部材であることを特徴とするアクチュエータ。
a fixed body;
a movable body;
a magnetic drive mechanism for vibrating the movable body with respect to the fixed body;
a connection body that connects the fixed body and the movable body,
The connection bodies include a first connection body and a third connection body arranged on one end side in the vibration direction of the movable body, and a second connection body and a fourth connection body arranged on the other end side in the vibration direction of the movable body. comprising a connector ,
The first connection body and the second connection body are leaf springs extending in a direction perpendicular to the vibration direction of the movable body,
The leaf spring includes a deformation suppressing portion that suppresses movement in a direction intersecting the vibration direction of the movable body ,
The movable body has a shaft extending in the vibration direction,
The third connecting body and the fourth connecting body are arranged at a location where the movable body and the fixed body are opposed to each other in the vibration direction of the movable body at the center of the movable body in the radial direction about the shaft. An actuator, characterized in that it is a connecting viscoelastic member .
前記可動体は、前記シャフトの前記振動方向の略中央に固定される磁石と、前記シャフトの前記振動方向における前記一端側の端部に嵌まる筒部を備える第1部材と、前記第1部材の前記筒部が内側に嵌まる第1環状溝を備えた第1受け部材と、前記シャフトの前記振動方向における前記他端側の端部に嵌まる筒部を備える第2部材と、前記第2部材の前記筒部が内側に嵌まる第2環状溝を備えた第2受け部材と、を備え、
前記第1部材および前記第2部材のそれぞれは、前記筒部から外周側へ拡がる円板部を備え、
前記第1接続体は、前記第1部材の前記円板部と前記第1受け部材との間に挟まれており、
前記第2接続体は、前記第2部材の前記円板部と前記第2受け部材との間に挟まれており、
前記固定体は、前記シャフトが径方向の中心に配置される筒状ケースと、前記筒状ケースの前記振動方向における前記一端側の端部に固定される第1蓋部材と、前記筒状ケースの前記振動方向における前記他端側の端部に固定される第2蓋部材と、を備え、
前記第3接続体は、前記第1蓋部材と前記第1部材の前記円板部との間に配置され、
前記第4接続体は、前記第2蓋部材と前記第2部材の前記円板部との間に配置されることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。
The movable body includes a magnet fixed substantially at the center of the shaft in the vibration direction, a first member having a cylindrical portion fitted to an end portion of the shaft on the one end side in the vibration direction, and the first member. a first receiving member having a first annular groove in which the tubular portion of the shaft is fitted; a second member having a tubular portion fitted to the end of the shaft on the other end side in the vibration direction; a second receiving member having a second annular groove in which the cylindrical portions of the two members are fitted;
each of the first member and the second member includes a disk portion extending outward from the cylindrical portion;
The first connecting body is sandwiched between the disc portion of the first member and the first receiving member,
The second connecting body is sandwiched between the disc portion of the second member and the second receiving member,
The fixed body includes a tubular case in which the shaft is arranged at the center in the radial direction, a first lid member fixed to an end portion of the tubular case on the one end side in the vibration direction, and the tubular case. a second lid member fixed to the end of the other end in the vibration direction of the
The third connector is arranged between the first lid member and the disk portion of the first member,
2. The actuator according to claim 1, wherein the fourth connecting body is arranged between the second lid member and the disk portion of the second member.
前記板ばねは、内側環状部と、前記内側環状部の外周側に配置される外側環状部と、前記内側環状部と前記外側環状部とを接続する複数のアームと、を備え、
前記内側環状部と前記外側環状部の一方が前記可動体に固定され、前記内側環状部と前記外側環状部の他方が前記固定体に固定され、
前記複数のアームのそれぞれは、前記内側環状部と接続される内側接続部と、前記外側環状部と接続される外側接続部と、前記内側接続部から前記外側接続部へ向かって周方向の一方側へ延びる螺旋部と、を備え、
前記変形抑制部は、前記螺旋部に設けられた屈曲部であることを特徴とする請求項1または2に記載のアクチュエータ。
The leaf spring includes an inner annular portion, an outer annular portion disposed on the outer peripheral side of the inner annular portion, and a plurality of arms connecting the inner annular portion and the outer annular portion,
One of the inner annular portion and the outer annular portion is fixed to the movable body, the other of the inner annular portion and the outer annular portion is fixed to the fixed body,
Each of the plurality of arms includes an inner connecting portion connected to the inner annular portion, an outer connecting portion connected to the outer annular portion, and one end extending in the circumferential direction from the inner connecting portion to the outer connecting portion. a sidewardly extending helical portion;
3. The actuator according to claim 1, wherein the deformation suppressing portion is a bent portion provided in the spiral portion.
前記屈曲部は、周方向に対して傾斜した傾斜部分、前記傾斜部分の一端から前記周方向の一方側へ屈曲した第1屈曲部分、および、前記傾斜部分の他端から周方向の他方側へ屈曲した第2屈曲部分を備えることを特徴とする請求項3に記載のアクチュエータ。 The bent portion includes an inclined portion inclined with respect to the circumferential direction, a first bent portion bent from one end of the inclined portion to one side in the circumferential direction, and from the other end of the inclined portion to the other side in the circumferential direction. 4. The actuator of claim 3, comprising a bent second bent portion. 互いに異なる前記アームに設けられた複数の前記螺旋部が径方向から見て重なることを特徴とする請求項3または4に記載のアクチュエータ。 5. The actuator according to claim 3, wherein a plurality of said spiral portions provided on said arms different from each other overlap when viewed from the radial direction. 前記複数のアームは、第1アームと、前記第1アームの前記周方向の一方側に配置される第2アームと、前記第2アームの前記周方向の一方側に配置される第3アームを備え、
前記第1アーム、前記第2アーム、および前記第3アームのそれぞれは、前記螺旋部に設けられた複数の前記屈曲部を備え、
前記複数の前記屈曲部は、第1屈曲部と、前記第1屈曲部の前記周方向の一方側に位置する第2屈曲部と、前記第2屈曲部の前記周方向の一方側に位置する第3屈曲部を備え、
互いに異なるアームに設けられた前記第1屈曲部、前記第2屈曲部、および、前記第3屈曲部が相似形であり、且つ、内周側から外周側へこの順で1列に並んでいることを特徴とする請求項3から5の何れか一項に記載のアクチュエータ。
The plurality of arms includes a first arm, a second arm arranged on one side of the first arm in the circumferential direction, and a third arm arranged on one side of the second arm in the circumferential direction. prepared,
each of the first arm, the second arm, and the third arm includes a plurality of the bending portions provided in the spiral portion;
The plurality of bent portions include a first bent portion, a second bent portion positioned on one side of the first bent portion in the circumferential direction, and a second bent portion positioned on one side of the second bent portion in the circumferential direction. comprising a third bend,
The first bent portion, the second bent portion, and the third bent portion provided on different arms have similar shapes and are arranged in a row in this order from the inner peripheral side to the outer peripheral side. The actuator according to any one of claims 3 to 5, characterized in that:
前記複数のアームのそれぞれにおいて、
前記内側接続部は、前記内側環状部から外周側へ突出した突出部であって、前記螺旋部と屈曲した形状に繋がっており、
前記外側接続部は、前記外側環状部から内周側へ突出した突出部であって、前記螺旋部と屈曲した形状に繋がっており、
前記内側接続部、前記第1屈曲部、前記第2屈曲部、前記第3屈曲部、および、前記外側接続部は、内周側から外周側へこの順で1列に並んでいることを特徴とする請求項6に記載のアクチュエータ。
In each of the plurality of arms,
The inner connecting portion is a protruding portion that protrudes from the inner annular portion to the outer peripheral side, and is connected to the spiral portion in a bent shape,
The outer connecting portion is a protruding portion that protrudes from the outer annular portion to the inner peripheral side, and is connected to the spiral portion in a bent shape,
The inner connecting portion, the first curved portion, the second curved portion, the third curved portion, and the outer connecting portion are arranged in a row in this order from the inner peripheral side to the outer peripheral side. The actuator according to claim 6, wherein
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