JP7337577B2 - Ｘ線管、及びｘ線発生装置 - Google Patents

Description

本発明は、Ｘ線管、及びＸ線発生装置に関する。

特許文献１～３には、Ｘ線を発生させるＸ線管が記載されている。このＸ線管は、電子を出射する電子銃部と、電子の入射によってＸ線を発生するターゲットと、これらを保持及び収容する真空筐体部とを備えている。電子銃部とターゲットとの間に、高電圧が印加される。このため、真空筐体部は、絶縁材料からなるバルブ部を備えている。

特開２０１４－６７６７０号公報 特開２０１７－２２０３７号公報 特許第６２３０３８９号公報

ここで、上述したようなＸ線管においては、導電体と、種類の異なる２つの絶縁体とが接する点はトリプルジャンクションと呼ばれ、トリプルジャンクションには電界が集中しやすいために電界強度が高くなり、放電が生じやすくなる。具体的には、Ｘ線管において電子銃部とバルブ部との連結部では、電子銃部と、バルブ部と、電子銃部及びバルブ部の連結部に隣接する絶縁体（例えば、真空筐体部内の真空領域）とが接している。このため、電子銃部とバルブ部との連結部がトリプルジャンクションとなり、電界の集中が生じやすくなる。

そこで、本発明は、電子銃部とバルブ部との連結部での電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制可能なＸ線管、及びＸ線発生装置を提供することを目的とする。

本発明に係るＸ線管は、電子を出射する電子銃部と、電子銃部と対向するように配置され電子の入射によってＸ線を発生するターゲットと、電子銃部及びターゲットを収容する真空筐体部とを備え、真空筐体部は、絶縁材料からなり電子銃部に連結されるバルブ部を有する、Ｘ線管であって、真空筐体部の内側領域において、電子銃部とバルブ部との連結部から離間し且つ連結部に対向配置される内側電極と、真空筐体部の外側領域において、連結部から離間し且つ連結部に対向配置される外側電極と、を備え、連結部は、内側電極と外側電極との間に位置している。

このＸ線管においては、電子銃部とバルブ部との連結部が、内側電極と外側電極との間に位置している。すなわち、このＸ線管では、トリプルジャンクションとなり得る電子銃部とバルブ部との連結部が、内側電極と外側電極との間に位置している。これにより、Ｘ線管に電力が供給された場合に、内側電極と外側電極との間に位置する連結部（トリプルジャンクション）に電界が集中することが抑制される。従って、Ｘ線管は、電子銃部とバルブ部との連結部での電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

Ｘ線管において、連結部は、電子銃部による電子の出射軸周りに環状に延在し、内側電極及び外側電極は、環状の内側及び外側から連結部を包囲してもよい。この場合、Ｘ線管は、内側電極及び外側電極によって連結部を包囲して、連結部における電界の集中をより一層抑制できる。

Ｘ線管において、内側電極及び外側電極のそれぞれは、電子銃部とターゲットとの対向方向において、連結部を跨いで電子銃部とバルブ部とにわたって延在していてもよい。この場合、Ｘ線管は、内側電極及び外側電極によって、連結部を効果的に覆うことができ、連結部における電界の集中をより一層抑制できる。

Ｘ線管において、外側電極は、電子銃部とターゲットとの対向方向において、連結部を跨いで突出し、電子銃部とターゲットとの対向方向において連結部の位置からの外側電極の突出高さをＡとし、外側電極と連結部との間隔をＢとしたときに、Ａ≧０．５Ｂを満たしてもよい。この場合、Ｘ線管は、外側電極によって、バルブ部側から連結部へ向かって電界が回り込むことを効果的に抑制でき、連結部における電界の集中をより一層抑制できる。

Ｘ線管において、内側電極は、電子銃部とターゲットとの対向方向において、連結部を跨いで突出し、電子銃部とターゲットとの対向方向において連結部の位置からの内側電極の突出高さをＣとし、内側電極と連結部との間隔をＤとしたときに、Ｃ≧０．５Ｄを満たしてもよい。この場合、Ｘ線管は、内側電極によって、バルブ部側から連結部へ向かって電界が回り込むことを効果的に抑制でき、連結部における電界の集中をより一層抑制できる。

Ｘ線管において、電子銃部は、電子を出射する電子銃と、導電材料からなり、電子銃に固定されると共にバルブ部に連結される連結フランジと、を備え、連結フランジは、真空筐体部の外側領域に位置すると共に、連結部から離間し且つ連結部に対向配置されるフランジ対向部を有し、外側電極は、フランジ対向部によって構成されていてもよい。この場合、Ｘ線管は、連結フランジのフランジ対向部を外側電極として機能させることができ、構成を簡素化できる。

Ｘ線管において、電子銃部は、導電材料からなる電子銃筐体部を有し、電子銃筐体部は、真空筐体部の内側領域に位置すると共に、連結部から離間し且つ連結部に対向配置される筐体対向部を有し、内側電極は、筐体対向部によって構成されていてもよい。この場合、Ｘ線管は、電子銃筐体部の筐体対向部を内側電極として機能させることができ、構成を簡素化できる。

Ｘ線管において、バルブ部は、外筒と、外筒内に配置される内筒と、外筒の一方の端部と内筒の一方の端部とを連結する筒連結部と、を有し、電子銃部は、内筒の他方の端部に連結され、外側電極は、内筒の内側に配置されていてもよい。この場合、Ｘ線管は、連結部が絶縁材料からなる外筒に包囲された空間内に収容されるため、連結部とＸ線管の周囲の構成（例えばＸ線発生装置の一部）との間における放電の発生を抑制できる。

Ｘ線管において、バルブ部は、筒形状を呈し、外側電極は、電子銃部とバルブ部との連結部を内側に収容していてもよい。この場合、Ｘ線管は、製造の容易な筒形状のバルブ部においても、連結部での電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

本発明に係るＸ線発生装置は、電子銃部と対向するように配置され電子を出射する電子銃部、電子の入射によってＸ線を発生するターゲット、並びに、電子銃部及びターゲットを収容する真空筐体部を有し、真空筐体部は、絶縁材料からなり電子銃部に連結されるバルブ部を含む、Ｘ線管と、Ｘ線管の少なくとも一部を収容する収容部と、Ｘ線管に電力を供給する給電部と、収容部に収容されると共に真空筐体部の外側領域に配置され、給電部の少なくとも一部を覆う外側電極と、を備え、Ｘ線管は、真空筐体部の内側領域において、電子銃部とバルブ部との連結部から離間し且つ連結部に対向配置される内側電極を有し、外側電極は、連結部から離間し且つ連結部に対向配置され、内側電極及び外側電極のそれぞれは、電子銃部とターゲットとの対向方向において、連結部を跨いで電子銃部とバルブ部とにわたって延在し、連結部は、内側電極と外側電極との間に位置している。

このＸ線発生装置のＸ線管においては、電子銃部とバルブ部との連結部が、内側電極と外側電極との間に位置している。すなわち、このＸ線管では、トリプルジャンクションとなり得る電子銃部とバルブ部との連結部が、内側電極と外側電極との間に位置している。また、内側電極及び外側電極のそれぞれは、電子銃部とターゲットとの対向方向において、連結部を跨いで電子銃部とバルブ部とにわたって延在している。これにより、Ｘ線管に電力が供給された場合に、内側電極と外側電極との間に位置する連結部（トリプルジャンクション）に電界が集中することが抑制される。従って、Ｘ線発生装置は、電子銃部とバルブ部との連結部での電界の集中を抑制し、Ｘ線管における放電の発生を抑制できる。

Ｘ線発生装置において、外側電極は、給電部の少なくとも一部を内側に収容する筒形状を呈していてもよい。この場合、外側電極は、給電部を収容して保護する機能と、連結部での電界の集中を抑制する機能とを兼ねることができる。

Ｘ線発生装置において、バルブ部は、外筒と、外筒内に配置される内筒と、外筒の一方の端部と内筒の一方の端部とを連結する筒連結部と、を有し、電子銃部は、内筒の他方の端部に連結され、外側電極は、内筒の内側に配置されていてもよい。Ｘ線発生装置は、連結部が絶縁材料からなる外筒に包囲された空間内に収容されるため、連結部とＸ線発生装置の一部（例えば収容部）との間における放電の発生を抑制できる。

Ｘ線発生装置において、バルブ部は、筒形状を呈し、外側電極は、電子銃部とバルブとの連結部を内側に収容してもよい。この場合、Ｘ線発生装置は、製造の容易な筒形状のバルブ部を備えるＸ線管においても、連結部での電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

本発明によれば、電子銃部とバルブ部との連結部での電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

図１は、第１実施形態に係るＸ線発生装置を示す縦断面図である。 図２は、図１のＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図３は、電界のシミュレーションに用いたＸ線発生装置のモデルを示す断面図である。 図４は、Ｘ線管で生じる電界のシミュレーション結果（等電位線）を示す図である。 図５は、Ｘ線管で生じる電界のシミュレーション結果（等電位線）を示す図である。 図６は、Ｘ線管で生じる電界のシミュレーション結果（等電位線）を示す図である。 図７は、第１変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図８は、第２変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図９は、第３変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図１０は、第４変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図１１は、第５変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図１２は、第６変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図１３は、第７変形例に係るＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図１４は、第２実施形態に係るＸ線発生装置のＸ線管を縦方向に切った端面図である。 図１５は、第２実施形態の変形例に係るＸ線発生装置のＸ線管を縦方向に切った端面図である。

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当する要素同士には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

（第１実施形態）
まず、Ｘ線発生装置の第１実施形態について説明する。図１及び図２に示されるように、本実施形態におけるＸ線発生装置１は、例えば、被検体の内部構造を観察するＸ線非破壊検査に用いられる微小焦点Ｘ線源である。Ｘ線発生装置１は、Ｘ線管１０、装置筐体部２０、及び電源部３０を備える。

Ｘ線管１０は、真空筐体部１００、電子銃部１１０、及びターゲットＴを備えている。電子銃部１１０は、出射軸ＭＸに沿って電子ビームＭ（電子）を出射する。Ｘ線管１０は、電子銃部１１０からの電子ビームＭがターゲットＴに入射することにより発生し、且つ当該ターゲットＴ自身を透過したＸ線ＸＲを、Ｘ線出射窓１０４から出射する透過型のＸ線管である。Ｘ線管１０は、真空の内部空間Ｒを有する真空筐体部１００を備えた真空封止型のＸ線管である。なお、以下では、説明の便宜上、電子銃部１１０に対してターゲットＴが設けられている側を「前側」とし、その反対側を「後ろ側」とする。

真空筐体部１００は、電子銃部１１０、及びターゲットＴを収容する。真空筐体部１００は、Ｘ線管１０の管軸ＡＸに沿って延在する略円柱状の外形を呈する。なお、本実施形態においては、管軸ＡＸは、出射軸ＭＸと同軸となっている。管軸ＡＸと出射軸ＭＸとが同軸であるため、以下では、これらをまとめて軸Ｌとも称する。真空筐体部１００は、金属材料（例えば、ステンレス、銅、銅合金、鉄合金等）により形成されたヘッド部１０１と、絶縁材料（例えば、ガラス、セラミック等）により形成されたバルブ部１０２とを備える。ヘッド部１０１は、バルブ部１０２の前側に配置されている。ヘッド部１０１とバルブ部１０２とは、コバール等の金属材料からなるバルブフランジ１０３によって互いに連結されている。

バルブ部１０２には、電子銃部１１０が連結される。バルブ部１０２は、Ｘ線管１０の管軸ＡＸ（軸Ｌ）に沿って延在する円筒形状を呈している。バルブ部１０２の後ろ側の端部には、前側に向かって折り返されるようにＸ線管１０の管軸ＡＸに沿って延在して形成された円筒形状の凹部１０２ｗが設けられている。すなわち、バルブ部１０２は、外筒１０２ａと、外筒１０２ａ内に配置される内筒１０２ｂと、外筒１０２ａの後ろ側の端部（一方の端部）と内筒１０２ｂの後ろ側の端部（一方の端部）とを連結する筒連結部１０２ｃとを有している。外筒１０２ａ及び内筒１０２ｂは、軸Ｌに沿って延在している。

内筒１０２ｂの前側の端部（他方の端部）の開口部には、当該開口部を封止するように電子銃部１１０が連結される。つまり、凹部１０２ｗによって、ヘッド部１０１と電子銃部１１０との沿面距離を延ばして耐電圧特性を向上させると共に、内部空間Ｒ内において電子銃部１１０をターゲットＴに近づけて配置することで、電子ビームＭを微小焦点化させやすくしている。

ヘッド部１０１は、金属材料により形成され、電位的にＸ線管１０のアノードに相当する。ヘッド部１０１は、両端に開口を備え、軸Ｌに沿って延在する略円筒形状を呈する。ヘッド部１０１は、後ろ側の開口において、軸Ｌに沿って延在するバルブ部１０２と連通する（図２参照）。

ヘッド部１０１の前側面には、ヘッド部１０１の前側の開口１０１ａを覆うようにＸ線出射窓１０４が固定されている。Ｘ線出射窓１０４は、例えば、円形の板状を呈する。Ｘ線出射窓１０４は、例えば、ベリリウム、アルミニウム、ダイヤモンド等のＸ線透過性の高い材料で形成されている。

ターゲットＴは、電子銃部１１０と対向するように配置される。本実施形態において、ターゲットＴは、軸Ｌ方向において、電子銃部１１０と対向している。すなわち、ターゲットＴと電子銃部１１０との対向方向は、軸Ｌ方向となっている。ターゲットＴは、Ｘ線出射窓１０４の内部空間Ｒ側の面に設けられている。本実施形態において、ターゲットＴは、Ｘ線出射窓１０４の内部空間Ｒ側の面に成膜されている。ターゲットＴは、電子ビームＭ（電子）の入射によりＸ線を発生する。ターゲットＴとしては、例えば、タングステン、モリブデン、銅等が用いられる。

電子銃部１１０は、電子銃１２０と、電子銃１２０をバルブ部１０２（内筒１０２ｂの前側の端部）に連結するための連結フランジ１３０とを有している。電子銃１２０は、電子を出射する。電子銃１２０は、ヒーター１２１、カソード１２２、第１グリッド電極１２３、第２グリッド電極１２４、及び電子銃筐体部１２５を備えている。

ヒーター１２１は、通電によって発熱するフィラメントにより形成されている。カソード１２２は、ヒーター１２１によって加熱されることによって電子を放出する電子放出源となる。第１グリッド電極１２３は、カソード１２２から放出される電子の量を制御する。第２グリッド電極１２４は、第１グリッド電極１２３を通過した電子をターゲットＴに向けて集束する円筒形状を呈している。第２グリッド電極１２４は、電子ビームＭを構成する電子を引き出すための電界を形成する引き出し電極としても機能する。第１グリッド電極１２３は、カソード１２２と第２グリッド電極１２４との間に配置されている。電子銃筐体部１２５は、導電材料（例えばステンレス等）からなり、円筒形状を呈している。電子銃筐体部１２５は、ヒーター１２１、カソード１２２、及び第１グリッド電極１２３を収容する。電子銃筐体部１２５は、第２グリッド電極１２４に連結されており、第２グリッド電極１２４に対する給電経路にもなっている。

連結フランジ１３０は、電子銃１２０に固定されると共に、バルブ部１０２に連結される。連結フランジ１３０は、内筒１０２ｂの前側の端部の開口を封止する。連結フランジ１３０は、フランジ１３１、ステム部１３２、及びステムフランジ１３３を備えている。フランジ１３１は、導電材料（例えばコバール等）からなり、電子銃１２０の電子銃筐体部１２５が固定されると共に、内筒１０２ｂの前側の端部に連結される。

より詳細には、フランジ１３１は、軸Ｌ方向に沿って延在する円筒形状を呈する外側フランジ１３１ａ及び内側フランジ１３１ｂと、環状部１３１ｃとを備えている。内側フランジ１３１ｂは、外側フランジ１３１ａの内側に配置されている。環状部１３１ｃは、環形状を呈している。環状部１３１ｃは、外側フランジ１３１ａの前側端部と内側フランジ１３１ｂの前側端部とを連結する。外側フランジ１３１ａの後ろ側の端部は、内筒１０２ｂの前側の端部に連結される。

ここで、外側フランジ１３１ａと内筒１０２ｂとの連結部Ｈのうち、内部空間Ｒに面する部分が、内部空間Ｒ内の真空領域（絶縁体）に接している。また、外側フランジ１３１ａと内筒１０２ｂとの連結部Ｈのうち、真空筐体部１００の外側領域に面する部分が、後述する絶縁油２２（絶縁体）に接している。すなわち、連結部Ｈは、トリプルジャンクションとなる。本実施形態において、連結部Ｈ（トリプルジャンクション）は、軸Ｌ（出射軸ＭＸ）周りに環状に延在している。

ステム部１３２は、絶縁材料（例えば、セラミック、ガラス等）からなり、円形の板状を呈している。ステムフランジ１３３は、導電材料（例えばコバール等）からなり、円筒形状を呈している。ステムフランジ１３３の内側には、ステム部１３２が固定されている。ステムフランジ１３３は、フランジ１３１の内側フランジ１３１ｂ内に嵌め込まれて固定されている。

ステム部１３２には、ステムピンＳが設けられている。ステムピンＳは、真空筐体部１００の内部領域と外部領域とにわたってステム部１３２を貫通した状態で延在している。ステムピンＳは、電子銃部１１０の各構成要素（ヒーター１２１等）に電気的に接続されている。

また、Ｘ線管１０は、連結部Ｈを包囲する内側電極１４０及び外側電極１５０を備えている。連結部Ｈは、内側電極１４０と外側電極１５０との間に位置している。すなわち、トリプルジャンクションは、内側電極１４０と外側電極１５０との間に位置しており、換言すれば、内側電極１４０と外側電極１５０とで、トリプルジャンクションを挟み込むように配置されている。

内側電極１４０は、真空筐体部１００の内側領域（内部空間Ｒ内）に設けられている。内側電極１４０は、バルブ部１０２とは離間して設けられている。内側電極１４０は、導電材料（例えば、ステンレス等）からなる。内側電極１４０は、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向配置されている。また、内側電極１４０は、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。

より詳細には、内側電極１４０は、包囲部１４１、及び環状部１４２を備えている。包囲部１４１は、円筒形状を呈し、軸Ｌに沿って延在するように配置される。包囲部１４１は、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。包囲部１４１は、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０のフランジ１３１とバルブ部１０２の内筒１０２ｂとにわたって延在している。すなわち、包囲部１４１の前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。包囲部１４１の後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

環状部１４２は、環形状を呈している。環状部１４２は、包囲部１４１の前側の端部と、電子銃部１１０とを連結する。ここでは、環状部１４２は、一例として、包囲部１４１の前側の端部と、電子銃部１１０の電子銃筐体部１２５とを連結している。

このように、内側電極１４０は、電子銃部１１０との連結部分から後ろ側に向って延在し、連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。すなわち、内側電極１４０は、軸Ｌ方向（電子銃部１１０とターゲットＴとの対向方向）において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０側からバルブ部１０２の内筒１０２ｂ側に向って（後ろ側に向って）突出している。ここで、軸Ｌ方向において、連結部Ｈの位置からの内側電極１４０（包囲部１４１）の突出高さ（突出長さ）をＣとする。また、内側電極１４０と連結部Ｈとの間隔をＤとする。ここでの間隔Ｄとは、環状に延在する連結部Ｈの径方向（軸Ｌに対して垂直に交わる方向）における内側電極１４０（包囲部１４１）と連結部Ｈとの距離である。突出高さＣと間隔Ｄとは、
Ｃ≧０．５Ｄ
を満たしている。

外側電極１５０は、真空筐体部１００の外側領域（内部空間Ｒ外）において、内筒１０２ｂの内側に設けられている。外側電極１５０は、バルブ部１０２とは離間して設けられている。外側電極１５０は、導電材料（例えば、ステンレス等）からなる。外側電極１５０は、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向配置されている。また、外側電極１５０は、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。

より詳細には、外側電極１５０は、円筒形状を呈し、軸Ｌに沿って延在するように配置される。外側電極１５０は、ステムフランジ１３３の後ろ側の端部及びフランジ１３１の内側フランジ１３１ｂの後ろ側の端部の少なくともいずれかに連結されている。外側電極１５０は、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０のフランジ１３１とバルブ部１０２の内筒１０２ｂとにわたって延在している。すなわち、外側電極１５０の前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。外側電極１５０の後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

このように、外側電極１５０は、ステムフランジ１３３から後ろ側に向って延在し、連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。すなわち、外側電極１５０は、軸Ｌ方向（電子銃部１１０とターゲットＴとの対向方向）において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０側からバルブ部１０２の内筒１０２ｂ側に向って（後ろ側に向って）突出している。ここで、軸Ｌ方向において、連結部Ｈの位置からの外側電極１５０の突出高さ（突出長さ）をＡとする。また、外側電極１５０と連結部Ｈとの間隔をＢとする。ここでの間隔Ｂとは、環状に延在する連結部Ｈの径方向（軸Ｌに対して垂直に交わる方向）における外側電極１５０と連結部Ｈとの距離である。突出高さＡと間隔Ｂとは、
Ａ≧０．５Ｂ
を満たしている。

ここで、本実施形態において、内側電極１４０及び外側電極１５０は、導電材料からなる電子銃筐体部１２５、フランジ１３１、及びステムフランジ１３３によって電気的に接続されている。このため、内側電極１４０、外側電極１５０、フランジ１３１は、同電位となっている。

内側電極１４０及び外側電極１５０の前側の端部は、それぞれ電子銃部１１０に連結されている。内側電極１４０及び外側電極１５０は、電子銃部１１０から後ろ側に向って延びて、連結部Ｈを覆っている。内側電極１４０及び外側電極１５０は、バルブ部１０２（内筒１０２ｂ）に当接していない。すなわち、内側電極１４０及び外側電極１５０の後ろ側の端部は他の部材に当接していない。このため、内側電極１４０と外側電極１５０との間の空間は、後ろ側が開口している。外側電極１５０の突出高さＡ及び内側電極１４０の突出高さＣが高くなると、後ろ側から内側電極１４０及び外側電極１５０の間を通って連結部Ｈへ至るまでの距離が長くなる。

装置筐体部２０は、筒部材（収容部）２１と、電源部３０の一部である電源ケース３３とを備える。筒部材２１は、金属により形成されている。筒部材２１は、その両端に開口を有する円筒形状を呈し、内部空間２１ｃを有する。筒部材２１は、その一端側の開口２１ａにＸ線管１０のバルブ部１０２が挿入されている。これにより、筒部材２１は、Ｘ線管１０の少なくとも一部を収容する。より具体的には、筒部材２１は、本実施形態においてはバルブ部１０２の全体を収容している。

筒部材２１の開口２１ａは、Ｘ線発生装置１のヘッド部１０１によって封止されている。筒部材２１の内部空間２１ｃには、液状の電気絶縁性物質である絶縁油２２が封入されている。

電源部３０は、Ｘ線管１０に電力を供給する機能を有する。電源部３０は、モールドされた固体の絶縁材料、例えば絶縁樹脂であるエポキシ樹脂からなる絶縁ブロック３１と、絶縁ブロック３１中にモールドされた昇圧部３２と、それらを収容し矩形箱状を呈する電源ケース３３とを有する。昇圧部３２は、Ｘ線発生装置１の外部から導入した導入電圧を昇圧して生成した昇圧電圧を、各種条件に基づき、必要に応じて調整することによって高圧電圧を発生させる。絶縁ブロック３１は、昇圧部３２を絶縁材料（例えばエポキシ樹脂等）により封止する。電源部３０（電源部ケース３４）には、筒部材２１の他端側が固定されている。これにより、筒部材２１の他端側の開口２１ｂが封止され、絶縁油２２が筒部材２１の内部空間２１ｃに封入される。

また、Ｘ線発生装置１は、昇圧部３２とＸ線管１０とを電気的に接続する給電部４０を備えている。給電部４０は、電源部３０からＸ線管１０へ電力（高圧電圧）を供給する。より詳細には、給電部４０の一方の端部は、昇圧部３２に接続される。給電部４０の他方の端部は、Ｘ線管１０のバルブ部１０２の凹部１０２ｗに挿入され、ステム部１３２において真空の内部空間Ｒから突出するステムピンＳと電気的に接続されている。給電部４０は、電力を供給するための複数本の配線を有している。

なお、本実施形態においては、一例として、ターゲットＴ（アノード）を接地電位とし、電源部３０からは－１００ｋＶの高圧電圧が給電部４０を介してＸ線管１０（電子銃部１１０）に供給される。なお、実際には、電子銃部１１０の各電極には－１００ｋＶの高圧電圧を各電極の機能に合わせて調整した電圧が印可されるが、以降は説明を平易にするために、電子銃部１１０への印可電圧を－１００ｋＶと仮定して記載する。

次に、Ｘ線管１０への電力供給時に連結部Ｈ（トリプルジャンクション）周りに生じる電界について説明する。電子銃部１１０に電力が供給されると、内側電極１４０、外側電極１５０、及びフランジ１３１も高電位（本実施形態では－１００ｋＶ）となる。上述したように、連結部Ｈは、互いに同電位である内側電極１４０と外側電極１５０との間に挟み込まれた状態で位置している。このため、連結部Ｈにおいて電界が集中することが抑制される。

Ｘ線管１０で生じる電界のシミュレーション結果（等電位線）について説明する。ここでは、図３に示されるＸ線発生装置のモデルを用い、電子銃部１１０を高圧電位（－１００ｋＶ）とし、ヘッド部１０１を接地電位（０Ｖ）としてシミュレーションを行った。図４に示されるシミュレーション結果のように、連結部Ｈが内側電極１４０と外側電極１５０とによって挟み込まれていることで、連結部Ｈへ向かう電界の回り込み（等電位線の周り込み）が抑制され、連結部Ｈでの電界の集中が抑制された。

なお、図４では、連結部Ｈの位置からの外側電極１５０の突出高さＡを、外側電極１５０と連結部Ｈとの間隔Ｂと同じとし、連結部Ｈの位置からの内側電極１４０の突出高さＣを、内側電極１４０と連結部Ｈとの間隔Ｄと同じとした場合のシミュレーション結果である。

図５に、外側電極１５０及び内側電極１４０の突出高さを図４に示される場合よりも更に高くした場合のシミュレーション結果を示す。ここでは、連結部Ｈの位置からの外側電極１５０の突出高さＡを、外側電極１５０と連結部Ｈとの間隔Ｂの２倍とし、連結部Ｈの位置からの内側電極１４０の突出高さＣを、内側電極１４０と連結部Ｈとの間隔Ｄの２倍とした。この場合、図５に示されるように、Ｘ線管１０の後ろ側から連結部Ｈへ向かう電界の回り込みが更に抑制され、連結部Ｈでの電界の集中が更に抑制された。このように、外側電極１５０の突出高さＡ及び内側電極１４０の突出高さＣを高くすることにより、連結部Ｈでの電界の集中が更に抑制された。

ここで、比較のため、連結部Ｈが内側電極１４０及び外側電極１５０によって包囲されていない場合についてもシミュレーションを行った。ここでは、図６に示されるように、内側電極１４０及び外側電極１５０の軸Ｌ方向の長さを短くし、連結部Ｈが内側電極１４０及び外側電極１５０によって挟まれていない（包囲されていない）Ｘ線発生装置のモデルを用いた。この場合、図６に示されるように、連結部Ｈへ電界が回り込み、連結部Ｈでの電界強度が高くなった。

以上のように、Ｘ線管１０においては、電子銃部１１０とバルブ部１０２（内筒１０２ｂ）との連結部Ｈが、内側電極１４０と外側電極１５０との間に位置している。すなわち、このＸ線管１０では、トリプルジャンクションとなる連結部Ｈが、内側電極１４０と外側電極１５０との間に位置している。これにより、Ｘ線管１０に電力が供給された場合に、内側電極１４０と外側電極１５０との間に位置する連結部Ｈ（トリプルジャンクション）に電界が集中することが抑制される。従って、Ｘ線管１０は、電子銃部１１０とバルブ部１０２との連結部Ｈでの電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

内側電極１４０は、環状に延在する連結部Ｈを環状の外側から包囲する。外側電極１５０は、環状に延在する連結部Ｈを環状の内側から包囲する。これにより、Ｘ線管１０は、内側電極１４０及び外側電極１５０によって連結部Ｈを内側及び外側から包囲して、連結部Ｈにおける電界の集中をより一層抑制できる。

内側電極１４０及び外側電極１５０のそれぞれは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０のフランジ１３１とバルブ部１０２の内筒１０２ｂとにわたって延在している。これにより、Ｘ線管１０は、内側電極１４０及び外側電極１５０によって、連結部Ｈを効果的に覆うことができ、連結部Ｈにおける電界の集中をより一層抑制できる。

外側電極１５０における突出高さＡ、及び、外側電極１５０と連結部Ｈとの間隔Ｂは、Ａ≧０．５Ｂを満たしている。これにより、Ｘ線管１０は、外側電極１５０によって、バルブ部１０２の内筒１０２ｂ側から連結部Ｈへ向かって電界が回り込むことを効果的に抑制でき、連結部Ｈにおける電界の集中をより一層抑制できる。

内側電極１４０における突出高さＣ、及び、内側電極１４０と連結部Ｈとの間隔Ｄは、Ｃ≧０．５Ｄを満たしている。これにより、Ｘ線管１０は、内側電極１４０によって、バルブ部１０２の内筒１０２ｂ側から連結部Ｈへ向かって電界が回り込むことを効果的に抑制でき、連結部Ｈにおける電界の集中をより一層抑制できる。

バルブ部１０２は、外筒１０２ａと、外筒１０２ａ内に配置された内筒１０２ｂと、外筒１０２ａ及び内筒１０２ｂの後ろ側の端部同士を連結する筒連結部１０２ｃとを備え、電子銃部１１０は、内筒１０２ｂの前側の端部に連結され、外側電極１５０は、内筒１０２ｂの内側に配置されている。すなわち、Ｘ線管１０は、一方の端部が折り返されたような形状のバルブ部１０２を備え、電子銃部１１０は円筒形状の凹部１０２ｗ内で固定されている。この場合、連結部Ｈが絶縁材料からなる外筒１０２ａに包囲された空間内に収容されるため、連結部ＨとＸ線管１０の周囲の構成（例えばＸ線発生装置１の一部である筒部材２１）との間における放電の発生を抑制できる。

（Ｘ線管の第１変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第１変形例について説明する。以下では、第１実施形態におけるＸ線管１０との相違点を中心に説明し、共通の構成については説明を省略する。以下で説明する他の変形例及び実施形態においても、相違点のみを中心に説明する。図７に示されるように、Ｘ線管１０Ａは、第１実施形態におけるＸ線管１０のフランジ１３１及びステムフランジ１３３に代えて、フランジ１３１Ａ及びステムフランジ１３３Ａを備えている。

フランジ１３１Ａは、導電材料（例えばコバール等）からなる。フランジ１３１Ａは、軸Ｌ方向に沿って延在する円筒形状を呈する外側フランジ１３１ａ及び内側フランジ（フランジ対向部）１３１ｄと、環状部１３１ｃとを備えている。内側フランジ１３１ｄは、第１実施形態における内側フランジ１３１ｂに比べて後ろ側まで延びている。内側フランジ１３１ｄは、バルブ部１０２の内筒１０２ｂとは離間して設けられている。内側フランジ１３１ｄは、真空筐体部１００の外側領域に位置すると共に、連結部Ｈから離間し且つ連結部Ｈに対向配置されている。具体的には、内側フランジ１３１ｄは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで外側フランジ１３１ａとバルブ部１０２の内筒１０２ｂとにわたって延在している。すなわち、内側フランジ１３１ｄの前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。内側フランジ１３１ｄの後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

ステムフランジ（フランジ対向部）１３３Ａは、導電材料（例えばコバール等）からなり、円筒形状を呈している。ステムフランジ１３３Ａの内側には、ステム部１３２が固定されている。ステムフランジ１３３Ａは、フランジ１３１Ａの内側フランジ１３１ｄ内に嵌め込まれている。ステムフランジ１３３Ａは、第１実施形態におけるステムフランジ１３３に比べて後ろ側まで延びている。ステムフランジ１３３Ａは、バルブ部１０２とは離間して設けられている。ステムフランジ１３３Ａは、真空筐体部１００の外側領域に位置すると共に、連結部Ｈから離間し且つ連結部Ｈに対向配置されている。具体的には、ステムフランジ１３３Ａは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで外側フランジ１３１ａとバルブ部１０２の内筒１０２ｂとにわたって延在している。すなわち、ステムフランジ１３３Ａの前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。ステムフランジ１３３Ａの後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

Ｘ線管１０Ａは、第１実施形態における外側電極１５０と同様の機能を有する外側電極１５０Ａを備えている。外側電極１５０Ａは、フランジ１３１Ａの内側フランジ１３１ｄと、ステムフランジ１３３Ａとによって構成されている。なお、外側電極１５０Ａは、内側フランジ１３１ｄ及びステムフランジ１３３Ａのいずれか一方によって構成されていてもよい。

以上のように、本変形例においてＸ線管１０Ａは、内側フランジ１３１ｄ及びステムフランジ１３３Ａを外側電極１５０Ａとして機能させることができ、外側電極１５０Ａを別部材として設けることが不要となり、構成を簡素化できる。

（Ｘ線管の第２変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第２変形例について説明する。図８に示されるように、Ｘ線管１０Ｂは、反射型のＸ線管である。Ｘ線管１０Ｂは、電子銃部１１０の前側の位置においてターゲットＴを支持するターゲット支持体１０５を備えている。ターゲット支持体１０５は、ターゲットＴにおける電子銃部１１０側の面の法線方向と、軸Ｌ方向とが交差するようにターゲットＴを支持する。

Ｘ線管１０Ｂのヘッド部１０１Ｂは、電子銃１２０の前側の正面位置とは異なる位置に開口１０１ａを有している。ヘッド部１０１Ｂは、第１実施形態におけるＸ線管１０のヘッド部１０１と同様に、金属材料により形成され、電位的にＸ線管１０Ｂのアノードに相当する。ヘッド部１０１Ｂの開口１０１ａは、Ｘ線出射窓１０４によって覆われている。Ｘ線管１０Ｂは、電子銃部１１０からの電子ビームＭがターゲットＴに入射することにより発生したＸ線を、Ｘ線出射窓１０４から出射する。このように、Ｘ線管として反射型のＸ線管１０Ｂが用いられる場合であっても、第１実施形態と同様の作用効果が奏される。

（Ｘ線管の第３変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第３変形例について説明する。図９に示されるように、Ｘ線管１０Ｃは、第１実施形態のＸ線管１０とは異なり、バルブ部１０２Ｃが円筒形状を呈している。Ｘ線管１０Ｃは、真空筐体部１００Ｃ、電子銃部１１０Ｃ、及びターゲットＴを備えている。

真空筐体部１００Ｃは、電子銃部１１０Ｃ、及びターゲットＴを収容する。真空筐体部１００Ｃは、管軸ＡＸ（軸Ｌ）に沿って延在する略円柱状の外形を呈する。真空筐体部１００Ｃは、金属材料（例えば、ステンレス、銅、銅合金、鉄合金等）により形成されたヘッド部１０１Ｃと、絶縁材料（例えば、ガラス、セラミック等）により形成されたバルブ部１０２Ｃとを備える。ヘッド部１０１Ｃは、金属材料により形成され、電位的にＸ線管１０Ｃのアノードに相当する。ヘッド部１０１Ｃとバルブ部１０２Ｃとは、コバール等からなるバルブフランジ１０３によって互いに連結されている。

バルブ部１０２Ｃは、Ｘ線管１０Ｃの管軸ＡＸに沿って延在する円筒形状に形成されている。バルブ部１０２Ｃの後ろ側の端部には、電子銃部１１０Ｃが連結される。バルブ部１０２Ｃの前側の端部の開口は、ヘッド部１０１によって封止されている。

電子銃部１１０Ｃは、電子銃１２０と、電子銃１２０をバルブ部１０２Ｃの後ろ側の端部に連結するための連結フランジ１３０Ｃとを有している。連結フランジ１３０Ｃは、電子銃１２０に固定されると共に、バルブ部１０２Ｃに連結される。連結フランジ１３０Ｃは、バルブ部１０２Ｃの後ろ側の端部の開口を封止する。

より詳細には、連結フランジ１３０Ｃは、フランジ１３１Ｃ、ステム部１３２、及びステムフランジ１３３を備えている。フランジ１３１Ｃは、導電材料（例えばコバール等）からなり、円筒形状を呈している。フランジ１３１Ｃの内側には、ステムフランジ１３３及びステム部１３２が配置されている。

フランジ１３１Ｃの前側の端部は、バルブ部１０２Ｃの後ろ側の端部に連結される。ここで、フランジ１３１Ｃとバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈのうち、内部空間Ｒに面する部分が、内部空間Ｒ内の真空領域（絶縁体）に接している。また、フランジ１３１Ｃとバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈのうち、真空筐体部１００Ｃの外側領域に面する部分が、筒部材２１内に封入された絶縁油２２（絶縁体）に接している。すなわち、連結部Ｈは、トリプルジャンクションとなる。本変形例において、連結部Ｈ（トリプルジャンクション）は、軸Ｌ（出射軸ＭＸ）周りに環状に延在している。

また、Ｘ線管１０Ｃは、連結部Ｈを包囲する内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃを備えている。連結部Ｈは、内側電極１４０Ｃと外側電極１５０Ｃとの間に位置している。すなわち、トリプルジャンクションは、内側電極１４０Ｃと外側電極１５０Ｃとの間に位置しており、換言すれば、内側電極１４０Ｃと外側電極１５０Ｃとで、トリプルジャンクションを挟み込むように配置されている。

内側電極１４０Ｃは、真空筐体部１００Ｃの内側領域（内部空間Ｒ内）に設けられている。内側電極１４０Ｃは、バルブ部１０２Ｃとは離間して設けられている。内側電極１４０Ｃは、導電材料（例えば、ステンレス等）からなる。内側電極１４０Ｃは、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向配置されている。また、内側電極１４０Ｃは、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。

より詳細には、内側電極１４０Ｃは、包囲部１４１Ｃ、及び環状部１４２Ｃを備えている。包囲部１４１Ｃは、円筒形状を呈し、軸Ｌに沿って延在するように配置される。包囲部１４１Ｃの内側には、電子銃１２０が通されている。包囲部１４１Ｃは、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。包囲部１４１Ｃは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃとバルブ部１０２Ｃとにわたって延在している。すなわち、包囲部１４１Ｃの前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。包囲部１４１Ｃの後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

環状部１４２Ｃは、環形状を呈している。環状部１４２Ｃは、包囲部１４１Ｃの後ろ側の端部と、フランジ１３１Ｃの内周面とを連結する。

このように、内側電極１４０Ｃは、電子銃部１１０Ｃにおけるフランジ１３１Ｃとの連結部分から前側に向って延在し、連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。すなわち、内側電極１４０Ｃは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃ側からバルブ部１０２Ｃ側に向って（前側に向って）突出している。ここで、軸Ｌ方向において、連結部Ｈの位置からの内側電極１４０Ｃ（包囲部１４１Ｃ）の突出高さ（突出長さ）をＣとする。また、内側電極１４０Ｃと連結部Ｈとの間隔をＤとする。ここでの間隔Ｄとは、環状に延在する連結部Ｈの径方向（軸Ｌに対して垂直に交わる方向）における内側電極１４０Ｃ（包囲部１４１Ｃ）と連結部Ｈとの距離である。突出高さＣと間隔Ｄとは、
Ｃ≧０．５Ｄ
を満たしている。

外側電極１５０Ｃは、真空筐体部１００Ｃの外側領域（内部空間Ｒ外）において、真空筐体部１００Ｃの外側に設けられている。外側電極１５０Ｃは、Ｘ線発生装置１の筒部材２１に収容されている。外側電極１５０Ｃは、バルブ部１０２Ｃとは離間して設けられている。外側電極１５０Ｃは、導電材料（例えば、ステンレス等）からなる。外側電極１５０Ｃは、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向配置されている。また、外側電極１５０Ｃは、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。

より詳細には、外側電極１５０Ｃは、包囲部１５１Ｃ、及び環状部１５２Ｃを備えている。包囲部１５１Ｃは、円筒形状を呈し、軸Ｌに沿って延在するように配置される。包囲部１５１Ｃの内側には、真空筐体部１００Ｃ及び電子銃部１１０Ｃが通されている。包囲部１５１Ｃは、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。包囲部１５１Ｃは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃとバルブ部１０２Ｃとにわたって延在している。すなわち、包囲部１５１Ｃの前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。包囲部１５１Ｃの後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

環状部１５２Ｃは、環形状を呈している。環状部１５２Ｃは、包囲部１５１Ｃの後ろ側の端部と、フランジ１３１Ｃの外周面とを連結する。

このように、外側電極１５０Ｃは、電子銃部１１０Ｃにおけるフランジ１３１Ｃとの連結部分から前側に向って延在し、連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。すなわち、外側電極１５０Ｃは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃ側からバルブ部１０２Ｃ側に向って（前側に向って）突出している。ここで、軸Ｌ方向において、連結部Ｈの位置からの外側電極１５０Ｃ（包囲部１５１Ｃ）の突出高さ（突出長さ）をＡとする。また、外側電極１５０Ｃと連結部Ｈとの間隔をＢとする。ここでの間隔Ｂとは、環状に延在する連結部Ｈの径方向（軸Ｌに対して垂直に交わる方向）における外側電極１５０Ｃと連結部Ｈとの距離である。突出高さＡと間隔Ｂとは、
Ａ≧０．５Ｂ
を満たしている。

ここで、本実施形態において、内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃは、導電材料からなるフランジ１３１Ｃによって電気的に接続されている。このため、内側電極１４０Ｃ、外側電極１５０Ｃ、フランジ１３１Ｃは、同電位となっている。

内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃの後ろ側の端部は、それぞれ電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃに連結されている。内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃは、電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃから前側に向って延びて、連結部Ｈを覆っている。内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃは、バルブ部１０２Ｃに当接していない。すなわち、内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃの前側の端部は他の部材に当接していない。このため、内側電極１４０Ｃと外側電極１５０Ｃとの間の空間は、前側が開口している。外側電極１５０Ｃの突出高さＡ及び内側電極１４０Ｃの突出高さＣが高くなると、前側から内側電極１４０Ｃ及び外側電極１５０Ｃの間を通って連結部Ｈへ至るまでの距離が長くなる。

以上のように、Ｘ線管１０Ｃにおいては、電子銃部１１０Ｃ（フランジ１３１Ｃ）とバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈが、内側電極１４０Ｃと外側電極１５０Ｃとの間に位置している。このため、第１実施形態におけるＸ線管１０と同様の種々の作用効果を奏することができる。すなわち、Ｘ線管１０Ｃは、製造の容易な筒形状を呈するバルブ部１０２Ｃを用い、外側電極１５０Ｃが電子銃部１１０Ｃ（フランジ１３１Ｃ）とバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈを内側に収容する場合であっても、連結部Ｈでの電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

（Ｘ線管の第４変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第４変形例について説明する。図１０に示されるように、本変形例に係るＸ線管１０Ｄは、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの外側電極１５０Ｃとフランジ１３１Ｃとが一体に構成されている。より詳細には、Ｘ線管１０Ｄは、第３変形例に係るＸ線管１０Ｃのフランジ１３１Ｃ及び外側電極１５０Ｃに代えて、フランジ１３４を備えている。

フランジ１３４は、導電材料（例えばコバール等）からなる。フランジ１３４は、筒部１３４ａ、及び張り出し部１３４ｂを備えている。筒部１３４ａと張り出し部１３４ｂとは一体に構成されている。筒部１３４ａは、円筒形状を呈している。筒部１３４ａは、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃのフランジ１３１Ｃと同様の構成となっている。筒部１３４ａの前側の端部には、バルブ部１０２Ｃが連結される。筒部１３４ａの内周面には、内側電極１４０Ｃが連結される。

張り出し部１３４ｂは、筒部１３４ａの前側の端部外周面から外方（バルブ部１０２Ｃから離間する方向）に向けて張り出し且つ前側に向って延在している。張り出し部１３４ｂは、筒部１３４ａとバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。より詳細には、張り出し部１３４ｂは、包囲部１３４ｃ、及び環状部１３４ｄを備えている。張り出し部１３４ｂの包囲部１３４ｃ及び環状部１３４ｄは、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃにおける外側電極１５０Ｃの包囲部１５１Ｃ及び環状部１５２Ｃと同様の構成である。すなわち、フランジ１３４の張り出し部１３４ｂは、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの外側電極１５０Ｃと同様の機能を有する外側電極１５０Ｄとして機能する。

以上のように、本変形例においてＸ線管１０Ｄは、フランジ１３４の張り出し部１３４ｂを外側電極１５０Ｄとして機能させることができ、外側電極１５０Ｄを別部材として設けることが不要となり、構成を簡素化できる。

（Ｘ線管の第５変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第５変形例について説明する。図１１に示されるように、本変形例に係るＸ線管１０Ｅは、電子銃１２０Ｅの電子銃筐体部１２６が、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの内側電極１４０Ｃの機能を兼ねている。

より詳細には、Ｘ線管１０Ｅは、第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの電子銃１２０に代えて電子銃１２０Ｅを備えている。電子銃１２０Ｅは、第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの電子銃１２０の電子銃筐体部１２５に代えて、電子銃筐体部１２６を備えている。

電子銃筐体部１２６は、導電材料（例えばステンレス等）からなり、略円筒形状を呈している。より詳細には、電子銃筐体部１２６は、筐体大径部１２６ａ、第１環状部１２６ｂ、筐体小径部（筐体対向部）１２６ｃ、及び第２環状部１２６ｄを有している。

筐体大径部１２６ａは、円筒形状を呈し、フランジ１３１Ｃの内側に配置される。筐体大径部１２６ａの外径は、フランジ１３１Ｃの内径と略等しい。筐体大径部１２６ａの外周面が、フランジ１３１Ｃの内周面に連結されている。または、筐体大径部１２６ａの後ろ側の端部が、ステムフランジ１３３の前側の端部に連結されていてもよい。筐体小径部１２６ｃは、円筒形状を呈している。筐体小径部１２６ｃの外径は、筐体大径部１２６ａの外径よりも小さい。筐体小径部１２６ｃは、筐体大径部１２６ａの前側の位置に配置されている。筐体大径部１２６ａの前側の端部と、筐体小径部１２６ｃの後ろ側の端部とは、環形状を呈する第１環状部１２６ｂによって連結されている。筐体小径部１２６ｃは、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向するように配置されている。

このように、電子銃筐体部１２６の筐体小径部１２６ｃは、真空筐体部１００Ｃの内部空間Ｒ（内側領域）に配置されると共に、連結部Ｈから離間し且つ連結部Ｈに対向配置される筐体対向部となる。筐体小径部１２６ｃは、環状の連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲している。筐体小径部１２６ｃの前側の端部と第２グリッド電極１２４の後ろ側の端部とは、環状の第２環状部１２６ｄによって連結されている。電子銃筐体部１２６は、バルブ部１０２Ｃとは離間して設けられている。

ここで、電子銃筐体部１２６の第１環状部１２６ｂと筐体小径部１２６ｃとによって、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの内側電極１４０Ｃと同様の形状が形成されている。すなわち、第１環状部１２６ｂ及び筐体小径部１２６ｃは、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの内側電極１４０Ｃと同様の機能を有する内側電極１４０Ｅとして機能する。換言すると、内側電極１４０Ｅは、電子銃筐体部１２６の第１環状部１２６ｂ及び筐体小径部１２６ｃによって構成されている。

以上のように、本変形例においてＸ線管１０Ｅは、電子銃筐体部１２６の一部（第１環状部１２６ｂ及び筐体小径部１２６ｃ）を内側電極１４０Ｅとして機能させることができ、内側電極１４０Ｅを別部材として設けることが不要となり、構成を簡素化できる。

（Ｘ線管の第６変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第６変形例について説明する。図１２に示されるように、本変形例に係るＸ線管１０Ｆは、反射型のＸ線管である。このＸ線管１０Ｆは、透過型のＸ線管である上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの構成の一部を変更したものである。Ｘ線管１０Ｆは、電子銃部１１０Ｃの前側の位置においてターゲットＴを支持するターゲット支持体１０５を備えている。ターゲット支持体１０５は、銅等の金属材料からなる。ターゲット支持体１０５は、ターゲットＴにおける電子銃部１１０Ｃ側の面の法線方向と、軸Ｌ方向とが交差するようにターゲットＴを支持する。

Ｘ線管１０Ｆのヘッド部１０１Ｆは、電子銃１２０の前側の正面位置とは異なる位置に開口１０１ａを有している。ヘッド部１０１Ｆは、第１実施形態におけるＸ線管１０のヘッド部１０１と同様に、金属材料により形成され、電位的にＸ線管１０Ｆのアノードに相当する。ヘッド部１０１Ｆの開口１０１ａは、Ｘ線出射窓１０４によって覆われている。Ｘ線管１０Ｆは、電子銃部１１０Ｃからの電子ビームＭがターゲットＴに入射することにより発生したＸ線を、Ｘ線出射窓１０４から出射する。このように、Ｘ線管として反射型のＸ線管１０Ｆが用いられる場合であっても、上記第３変形例に係るＸ線管１０Ｃと同様の作用効果が奏される。

（Ｘ線管の第７変形例）
次に、第１実施形態におけるＸ線管１０の第７変形例について説明する。図１３に示されるように、本変形例に係るＸ線管１０Ｇは、上記第６変形例に係るＸ線管１０Ｆと同様に、反射型のＸ線管である。但し、本変形例に係るＸ線管１０Ｇは、ターゲットＴを支持するターゲット支持体１０５が、保持バルブ部１０７によって保持されている。

より詳細には、真空筐体部１００Ｇは、バルブ部１０２Ｃ、筐体部１０６、及び保持バルブ部１０７を備えている。筐体部１０６は、金属材料（例えば、ステンレス、銅、銅合金、鉄合金等）により形成されている。筐体部１０６は、円筒形状を呈し、軸Ｌ方向に沿って延在するように配置されている。筐体部１０６には、開口部１０６ａが設けられている。開口部１０６ａは、Ｘ線出射窓１０４によって覆われている。筐体部１０６の後ろ側の端部は、バルブフランジ１０３によってバルブ部１０２Ｃの前側の端部と連結されている。

保持バルブ部１０７は、絶縁材料（例えば、ガラス、セラミック等）により形成されている。保持バルブ部１０７は、円筒形状を呈し、軸Ｌ方向に沿って延在するように配置されている。保持バルブ部１０７の後ろ側の端部は、コバール等の金属材料からなる接続部１０８によって筐体部１０６の前側の端部と連結されている。

ターゲットＴを支持するターゲット支持体１０５は、筐体部１０６及び保持バルブ部１０７内に配置されている。ターゲット支持体１０５は、保持バルブ部１０７の前側の端部に連結され、保持バルブ部１０７との連結部から電子銃部１１０Ｃ側に向って延びている。保持バルブ部１０７は、コバール等の金属材料からなる接続部１０９によってターゲット支持体１０５と連結されている。Ｘ線管１０Ｇは、電子銃部１１０Ｃからの電子ビームＭがターゲットＴに入射することにより発生したＸ線を、Ｘ線出射窓１０４から出射する。

ここで、本変形例のＸ線管１０Ｇでは、電子銃部１１０Ｃが絶縁体（バルブ部１０２）で支持されると共に、ターゲットＴ（ターゲット支持体１０５）も絶縁体（保持バルブ部１０７）で支持されている。これにより、電子銃部１１０Ｃ側とターゲットＴ側とのそれぞれに電圧を印加できる。すなわち、例えば、Ｘ線管１０ＧがＸ線の照射に１００ｋｖの電圧を必要とする場合、筐体部１０６を接地電位とし、電子銃部１１０Ｃ側に－５０ｋＶの電圧を印加し、ターゲットＴ側に５０ｋＶの電圧を印加する。これにより、必要とされる１００ｋＶの電位差を、ターゲットＴと電子銃部１１０Ｃとの間で得ることができる。このように、必要な電圧を分圧してターゲットＴ側と電子銃部１１０Ｃ側とに印加することにより、それぞれの部位に印加する電圧値自体を下げることができ、それぞれの部位に要求される耐電圧能を下げることができる。

（第２実施形態）
次に、Ｘ線発生装置の第２実施形態について説明する。ここで、上述した第１実施形態に係るＸ線発生装置１のＸ線管１０及び第１～第７変形例に係るＸ線管１０Ａ～１０Ｇは、外側電極１５０，１５０Ａ，１５０Ｃ，１５０Ｄを構成要素として備えていた。これに対し、本実施形態に係るＸ線発生装置では、Ｘ線管とは別に外側電極を備えている。

具体的には、図１４に示されるように、本実施形態に係るＸ線発生装置１Ａは、Ｘ線管１０Ｈ、給電部４０Ｈ、及び外側電極１５０Ｈを備えている。また、Ｘ線発生装置１Ａは、更に、第１実施形態に係るＸ線発生装置１の装置筐体部２０及び電源部３０と同様に、図示を省略する装置筐体部及び電源部を備えている。Ｘ線発生装置１Ａが備える装置筐体部及び電源部は、第１実施形態におけるＸ線発生装置１が備える装置筐体部２０及び電源部３０と同様の構成であり、詳細な説明及び図示を省略する。

ここで、Ｘ線管１０Ｈは、上述した第１実施形態に係るＸ線発生装置１のＸ線管１０に対し、外側電極１５０を備えていない点のみが異なる。すなわち、Ｘ線管１０Ｈにおいて、第１実施形態に係るＸ線管１０の外側電極１５０以外の構成は、第１実施形態に係るＸ線管１０の構成と同様であり、同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態において、給電部４０Ｈは、電源部からＸ線管１０Ｈへ電力（高圧電圧）を供給する。給電部４０Ｈは、第１実施形態に係るＸ線発生装置１の給電部４０と同様の構成を有している。

外側電極１５０Ｈは、装置筐体部２０の筒部材２１内に収容されている。外側電極１５０Ｈは、真空筐体部１００の外側領域に配置される。外側電極１５０Ｈは、Ｘ線管１０Ｈのバルブ部１０２とは離間して設けられている。外側電極１５０Ｈは、導電材料（例えば、ステンレス等）からなる。外側電極１５０Ｈは、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向配置されている。また、外側電極１５０Ｈは、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。本実施形態において外側電極１５０Ｈは給電部４０Ｈの少なくとも一部を内側に収容する筒形状を呈している。すなわち、外側電極１５０Ｈは、給電部４０Ｈの少なくとも一部を覆う。

より詳細には、外側電極１５０Ｈは、円筒形状を呈し、軸Ｌに沿って延在するように配置される。外側電極１５０Ｈは、軸Ｌ方向に沿って延在する給電部４０Ｈの外周面を覆っている。外側電極１５０Ｈは、バルブ部１０２の内筒１０２ｂの内側に配置されている。すなわち、外側電極１５０Ｈは、バルブ部１０２の凹部１０２ｗに差し込まれている。

外側電極１５０Ｈは、一例として、ステムフランジ１３３の後ろ側の端部及びフランジ１３１の内側フランジ１３１ｂの後ろ側の端部の少なくともいずれかに当接されている。ここで、外側電極１５０Ｈは、ステムフランジ１３３の後ろ側の端部及びフランジ１３１の内側フランジ１３１ｂの後ろ側の端部の少なくともいずれかに当接されていることに限定されない。外側電極１５０Ｈは、フランジ１３１及び内側電極１４０と同電位となるように、例えば配線等を介してこれらと電気的に接続されていてもよい。

外側電極１５０Ｈは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０のフランジ１３１とバルブ部１０２の内筒１０２ｂとにわたって延在している。すなわち、外側電極１５０Ｈの前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。外側電極１５０Ｈの後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

このように、外側電極１５０Ｈは、ステムフランジ１３３から後ろ側に向って延在し、連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て内側から包囲する。すなわち、外側電極１５０Ｈは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０側から電源部３０側に向って（後ろ側に向って）突出している。ここで、軸Ｌ方向において、連結部Ｈの位置からの外側電極１５０Ｈの突出高さ（突出長さ）をＡとする。また、外側電極１５０Ｈと連結部Ｈとの間隔をＢとする。ここでの間隔Ｂとは、環状に延在する連結部Ｈの径方向（軸Ｌに対して垂直に交わる方向）における外側電極１５０Ｈと連結部Ｈとの距離である。突出高さＡと間隔Ｂとは、
Ａ≧０．５Ｂ
を満たしている。

以上のように、Ｘ線発生装置１Ａにおいては、連結部Ｈを内側から囲む外側電極１５０Ｈを備えている。従って、Ｘ線発生装置１Ａは、第１実施形態に係るＸ線発生装置１のＸ線管１０と同様に、電子銃部１１０とバルブ部１０２との連結部Ｈでの電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

筒形状の外側電極１５０Ｈの内側には、給電部４０Ｈが収容されている、この場合、外側電極１５０Ｈは、給電部４０Ｈを収容して保護する機能と、連結部Ｈでの電界の集中を抑制する機能とを兼ねることができる。

バルブ部１０２は、外筒１０２ａと、外筒１０２ａ内に配置された内筒１０２ｂと、外筒１０２ａ及び内筒１０２ｂの後ろ側の端部同士を連結する筒連結部１０２ｃとを備え、電子銃部１１０は、内筒１０２ｂの前側の端部に連結され、外側電極１５０Ｈは、内筒１０２ｂの内側に配置されている。すなわち、Ｘ線発生装置１ＡのＸ線管１０Ｈは、一方の端部が折り返されたような形状のバルブ部１０２を備え、電子銃部１１０は円筒形状の凹部１０２ｗ内で固定されている。この場合、連結部Ｈが絶縁材料からなる外筒１０２ａに包囲された空間内に収容されるため、連結部ＨとＸ線発生装置１Ａの一部（例えば筒部材２１）との間における放電の発生を抑制できる。

（第２実施形態に係るＸ線発生装置の変形例）
次に、第２実施形態に係るＸ線発生装置の変形例について説明する。図１５に示されるように、本変形例に係るＸ線発生装置１Ｂは、Ｘ線管１０Ｊ、給電部４０Ｊ、及び外側電極１５０Ｊを備えている。また、Ｘ線発生装置１Ｂは、更に、第１実施形態に係るＸ線発生装置１の装置筐体部２０及び電源部３０と同様に、図示を省略する装置筐体部及び電源部を備えている。Ｘ線発生装置１Ｂが備える装置筐体部及び電源部は、第１実施形態におけるＸ線発生装置１が備える装置筐体部２０及び電源部３０と同様の構成であり、詳細な説明及び図示を省略する。

ここで、Ｘ線管１０Ｊは、上述した第３変形例に係るＸ線管１０Ｃに対し、外側電極１５０を備えていない点のみが異なる。すなわち、Ｘ線管１０Ｊにおいて、第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの外側電極１５０以外の構成は、第３変形例に係るＸ線管１０Ｃの構成と同様であり、同一符号を付して詳細な説明を省略する。本実施形態において、給電部４０Ｊは、電源部からＸ線管１０Ｊへ電力（高圧電圧）を供給する。給電部４０Ｊは、第１実施形態に係るＸ線発生装置１の給電部４０と同様の構成を有している。

外側電極１５０Ｊは、真空筐体部１００Ｃの外側領域に配置される。なお、外側電極１５０Ｊは、装置筐体部の筒部材（図１の筒部材２１に相当）内に収容されている。外側電極１５０Ｊは、Ｘ線管１０Ｊのバルブ部１０２Ｃとは離間して設けられている。外側電極１５０Ｊは、導電材料（例えば、ステンレス等）からなる。外側電極１５０Ｊは、連結部Ｈから離間し、且つ連結部Ｈに対向配置されている。また、外側電極１５０Ｊは、環状に延在する連結部Ｈを軸Ｌに沿った方向から見て外側から包囲する。本実施形態において外側電極１５０Ｊは給電部４０Ｊの少なくとも一部（Ｘ線管１０Ｊに接続される側の端部）を内側に収容する筒形状を呈している。すなわち、外側電極１５０Ｊは、給電部４０Ｊの少なくとも一部を覆う。

より詳細には、外側電極１５０Ｊは、円筒形状を呈し、軸Ｌに沿って延在するように配置される。外側電極１５０Ｊは、軸Ｌ方向に沿って延在する給電部４０Ｊの外周面を覆っている。すなわち、外側電極１５０Ｊは、バルブ部１０２Ｃにおける電子銃部１１０Ｃ（フランジ１３１Ｃ）が連結される側の端部を外側から覆っている。

外側電極１５０Ｊは、フランジ１３１Ｃ及び内側電極１４０Ｃと同電位となるように、例えば配線等を介してこれらと電気的に接続されている。

外側電極１５０Ｊは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃとバルブ部１０２Ｃとにわたって延在している。すなわち、外側電極１５０Ｊの前側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも前側（ターゲットＴ側）に位置している。外側電極１５０Ｊの後ろ側の端部は、軸Ｌ方向において連結部Ｈよりも後ろ側に位置している。

このように、外側電極１５０Ｊは、軸Ｌ方向において、連結部Ｈを跨いで電子銃部１１０Ｃのフランジ１３１Ｃ側からターゲットＴ側に向って（前側に向って）突出している。ここで、軸Ｌ方向において、連結部Ｈの位置からの外側電極１５０Ｊの突出高さ（突出長さ）をＡとする。また、外側電極１５０Ｊと連結部Ｈとの間隔をＢとする。ここでの間隔Ｂとは、環状に延在する連結部Ｈの径方向（軸Ｌに対して垂直に交わる方向）における外側電極１５０Ｊと連結部Ｈとの距離である。突出高さＡと間隔Ｂとは、
Ａ≧０．５Ｂ
を満たしている。

以上のように、Ｘ線発生装置１Ｂにおいては、連結部Ｈを内側から囲む外側電極１５０Ｊを備えている。従って、Ｘ線発生装置１Ｂは、第１実施形態に係るＸ線発生装置１のＸ線管１０と同様に、電子銃部１１０Ｃとバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈでの電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。また、Ｘ線発生装置１Ｂは、製造の容易な筒形状を呈するバルブ部１０２Ｃを用い、外側電極１５０Ｊが電子銃部１１０Ｃ（フランジ１３１Ｃ）とバルブ部１０２Ｃとの連結部Ｈを内側に収容する場合であっても、連結部Ｈでの電界の集中を抑制し、放電の発生を抑制できる。

以上、本発明の種々の実施形態及び変形例について説明したが、本発明は、上記実施形態及び変形例に限定されるものではない。例えば、上記の種々の実施形態及び種々の変形例の少なくとも一部が任意に組み合わせられてもよい。

１，１Ａ，１Ｂ…Ｘ線発生装置、１０，１０Ａ～１０Ｈ，１０Ｊ…Ｘ線管、２１…筒部材（収容部）、４０，４０Ｈ，４０Ｊ…給電部、１００，１００Ｃ，１００Ｇ…真空筐体部、１０２，１０２Ｃ…バルブ部、１０２ａ…外筒、１０２ｂ…内筒、１０２ｃ…筒連結部、１１０，１１０Ｃ…電子銃部、１２０…電子銃、１２６…電子銃筐体部、１２６ｃ…筐体小径部（筐体対向部）、１３０，１３０Ｃ…連結フランジ、１３１ｄ…内側フランジ（フランジ対向部）、１３３…ステムフランジ（フランジ対向部）、１４０，１４０Ｃ，１４０Ｅ…内側電極、１５０，１５０Ａ，１５０Ｃ，１５０Ｄ，１５０Ｈ，１５０Ｊ…外側電極、Ｈ…連結部、ＭＸ…出射軸、Ｔ…ターゲット、ＸＲ…Ｘ線。

Claims (8)

1. 電子を出射する電子銃部と、前記電子銃部と対向するように配置され前記電子の入射によってＸ線を発生するターゲットと、前記電子銃部及び前記ターゲットを収容する真空筐体部とを備え、前記真空筐体部は、絶縁材料からなり前記電子銃部に連結されるバルブ部を有する、Ｘ線管であって、
   前記真空筐体部の内側領域において、前記電子銃部と前記バルブ部との連結部から離間し且つ前記連結部に対向配置される内側電極と、
   前記真空筐体部の外側領域において、前記連結部から離間し且つ前記連結部に対向配置される外側電極と、
   を備え、
   前記連結部は、前記内側電極と前記外側電極との間に位置し、
   前記バルブ部は、
   外筒と、
   前記外筒内に配置される内筒と、
   前記外筒の一方の端部と前記内筒の一方の端部とを連結する筒連結部と、
   を有し、
   前記電子銃部は、前記内筒の他方の端部に連結され、
   前記外側電極は、前記内筒の内側に配置される、Ｘ線管。
2. 前記連結部は、前記電子銃部による前記電子の出射軸周りに環状に延在し、
   前記内側電極及び前記外側電極は、環状の内側及び外側から前記連結部を包囲する、請求項１に記載のＸ線管。
3. 前記内側電極及び前記外側電極のそれぞれは、前記電子銃部と前記ターゲットとの対向方向において、前記連結部を跨いで前記電子銃部と前記バルブ部とにわたって延在している、請求項１又は２に記載のＸ線管。
4. 前記外側電極は、前記電子銃部と前記ターゲットとの対向方向において、前記連結部を跨いで突出し、
   前記電子銃部と前記ターゲットとの対向方向において前記連結部の位置からの前記外側電極の突出高さをＡとし、前記外側電極と前記連結部との間隔をＢとしたときに、
   Ａ≧０．５Ｂ
   を満たす、請求項３に記載のＸ線管。
5. 前記内側電極は、前記電子銃部と前記ターゲットとの対向方向において、前記連結部を跨いで突出し、
   前記電子銃部と前記ターゲットとの対向方向において前記連結部の位置からの前記内側電極の突出高さをＣとし、前記内側電極と前記連結部との間隔をＤとしたときに、
   Ｃ≧０．５Ｄ
   を満たす、請求項３又は４に記載のＸ線管。
6. 前記電子銃部は、
   前記電子を出射する電子銃と、
   導電材料からなり、前記電子銃に固定されると共に前記バルブ部に連結される連結フランジと、
   を備え、
   前記連結フランジは、前記真空筐体部の前記外側領域に位置すると共に、前記連結部から離間し且つ前記連結部に対向配置されるフランジ対向部を有し、
   前記外側電極は、前記フランジ対向部によって構成される、請求項１～５のいずれか一項に記載のＸ線管。
7. 前記電子銃部は、導電材料からなる電子銃筐体部を有し、
   前記電子銃筐体部は、前記真空筐体部の前記内側領域に位置すると共に、前記連結部から離間し且つ前記連結部に対向配置される筐体対向部を有し、
   前記内側電極は、前記筐体対向部によって構成される、請求項１～６のいずれか一項に記載のＸ線管。
8. 電子を出射する電子銃部、前記電子銃部と対向するように配置され前記電子の入射によってＸ線を発生するターゲット、並びに、前記電子銃部及び前記ターゲットを収容する真空筐体部を有し、前記真空筐体部は、絶縁材料からなり前記電子銃部に連結されるバルブ部を含む、Ｘ線管と、
   前記Ｘ線管の少なくとも一部を収容する収容部と、
   前記Ｘ線管に電力を供給する給電部と、
   前記収容部に収容されると共に前記真空筐体部の外側領域に配置され、前記給電部の少なくとも一部を覆う外側電極と、
   を備え、
   前記Ｘ線管は、前記真空筐体部の内側領域において、前記電子銃部と前記バルブ部との連結部から離間し且つ前記連結部に対向配置される内側電極を有し、
   前記外側電極は、前記連結部から離間し且つ前記連結部に対向配置され、
   前記内側電極及び前記外側電極のそれぞれは、前記電子銃部と前記ターゲットとの対向方向において、前記連結部を跨いで前記電子銃部と前記バルブ部とにわたって延在し、
   前記連結部は、前記内側電極と前記外側電極との間に位置し、
   前記外側電極は、前記給電部の少なくとも一部を内側に収容する筒形状を呈し、
   前記バルブ部は、
   外筒と、
   前記外筒内に配置される内筒と、
   前記外筒の一方の端部と前記内筒の一方の端部とを連結する筒連結部と、
   を有し、
   前記電子銃部は、前記内筒の他方の端部に連結され、
   前記外側電極は、前記内筒の内側に配置される、Ｘ線発生装置。

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