JP7321123B2 - pulse power supply - Google Patents

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  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)

Description

本願は、パルス電源に関する。 The present application relates to pulsed power supplies.

コンデンサなどに蓄積された電磁エネルギーを数10nsから数μsという短時間に放出することで高いエネルギーを出力するパルス電源が、環境、医療、生物などの技術分野で利用されている。とくに高電圧かつ大電流の電磁エネルギーを出力可能なパルス電源として、ギャップスイッチを用いたマルクス回路方式のパルス電源が知られている。ギャップスイッチは、間隔を設けて対向配置された一対の電極で構成されている。この一対の電極間が放電短絡することでギャップスイッチが閉じられる。 2. Description of the Related Art A pulse power supply that outputs high energy by releasing electromagnetic energy stored in a capacitor or the like in a short time of several tens of nanoseconds to several microseconds is used in technical fields such as the environment, medicine, and biology. In particular, as a pulse power supply capable of outputting electromagnetic energy of high voltage and large current, a Marx circuit type pulse power supply using a gap switch is known. A gap switch is composed of a pair of electrodes arranged to face each other with a gap therebetween. The gap switch is closed by a discharge short circuit between the pair of electrodes.

パルス電源には応答性と安定性とが求められる。パルス電源の応答性とは、パルスの連続出力の間隔に関係する。この間隔が短くかつ一定であるほど応答性がよいと判断される。パルス電源の安定性とは、パルスの連続出力が確実に行われるか否かに関係する。例えば、パルスの連続出力の指令に対して間欠的な出力となると安定性が悪いと判断される。 A pulse power supply is required to have responsiveness and stability. The responsiveness of a pulse power supply is related to the interval of continuous output of pulses. It is judged that the shorter and more constant the interval, the better the responsiveness. The stability of the pulse power supply relates to whether or not the continuous output of pulses is reliably performed. For example, it is determined that the stability is poor if the output is intermittent in response to a continuous pulse output command.

従来のギャップスイッチを用いたパルス電源として、高電圧の電荷が充電された複数のコンデンサがそれぞれギャップスイッチを介して負荷に接続されたパルス電源が開示されている。このパルス電源においては、ギャップスイッチにトリガ電極が設けされており、このトリガ電極でギャップスイッチの開閉が行われるので応答性は優れている(例えば、特許文献1参照)。また、別のパルス電源として、自己放電型のギャップスイッチを用いたパルス電源が開示されている。このパルス電源においては、ギャップスイッチを構成する一対の電極の間隔を機械的に調整することができるので安定性は優れている(例えば、特許文献2参照)。 As a conventional pulse power supply using a gap switch, there is disclosed a pulse power supply in which a plurality of capacitors charged with high-voltage charges are connected to a load via gap switches. In this pulse power source, the gap switch is provided with a trigger electrode, and the gap switch is opened and closed by the trigger electrode, so the responsiveness is excellent (see, for example, Patent Document 1). As another pulse power supply, a pulse power supply using a self-discharge type gap switch is disclosed. This pulse power supply is excellent in stability because the gap between the pair of electrodes constituting the gap switch can be mechanically adjusted (see, for example, Patent Document 2).

特開平11-262277号公報JP-A-11-262277 特開平11-008043号公報JP-A-11-008043

ギャップスイッチを構成する一対の電極には、金属などの導電材料が用いられている。ギャップスイッチにおいては、放電短絡時の高い電磁エネルギーで電界集中する部位の電極材料が蒸発して電極が消耗する。従来のトリガ電極を設けたギャップスイッチを用いたパルス電源においては、電極が消耗することで一対の電極間の間隔が広がっていくため、徐々に安定性が損なわれるという問題があった。また、従来の自己放電型のギャップスイッチを用いたパルス電源においては、電極の消耗に対して一対の電極間の間隔を機械的に調整しているため、連続出力の間隔が長くなって応答性が損なわれるという問題があった。つまり、従来のパルス電源においては、応答性と安定性との両立が困難であった。 A conductive material such as metal is used for the pair of electrodes that constitute the gap switch. In the gap switch, the electrode material is evaporated at the portion where the electric field is concentrated due to the high electromagnetic energy at the time of discharge short circuit, and the electrode is consumed. In the conventional pulse power supply using a gap switch provided with a trigger electrode, the gap between the pair of electrodes widens as the electrodes wear out, causing a problem of gradual loss of stability. In addition, in the conventional pulse power supply using a self-discharge type gap switch, the gap between the pair of electrodes is mechanically adjusted in response to wear of the electrodes. There was a problem that the In other words, in the conventional pulse power supply, it is difficult to achieve both responsiveness and stability.

本願は、上述の課題を解決するためになされたもので、応答性と安定性とを両立できるパルス電源を提供することを目的とする。 The present application has been made to solve the above-described problems, and an object of the present application is to provide a pulse power supply capable of achieving both responsiveness and stability.

本願のパルス電源は、コンデンサと、コンデンサを充電する直流電源と、コンデンサに接続され、放電短絡によってコンデンサに充電された電力を出力するギャップスイッチと、ギャップスイッチにおける放電短絡を誘発させるトリガ放電を発生するトリガ放電発生部と、トリガ放電の発生時刻から放電短絡の発生時刻までの遅れ時間を演算する遅れ時間演算部と、遅れ時間に基づいて直流電源がコンデンサを充電する充電電圧を制御する充電電圧制御部とを備えている。 The pulse power supply of the present application includes a capacitor, a DC power supply that charges the capacitor, a gap switch that is connected to the capacitor and outputs power charged in the capacitor by a discharge short circuit, and a trigger discharge that induces the discharge short circuit in the gap switch. a trigger discharge generation unit for generating a trigger discharge, a delay time calculation unit for calculating the delay time from the time when the trigger discharge occurs to the time when the discharge short circuit occurs, and a charging voltage for controlling the charging voltage with which the DC power supply charges the capacitor based on the delay time. and a control unit.

本願のパルス電源は、トリガ放電の発生時刻から放電短絡の発生時刻までの遅れ時間を演算する遅れ時間演算部と、遅れ時間に基づいて直流電源がコンデンサを充電する充電電圧を制御する充電電圧制御部とを備えているので、応答性と安定性とを両立できる。 The pulse power supply of the present application has a delay time calculation unit that calculates the delay time from the time when the trigger discharge occurs to the time when the discharge short circuit occurs, and a charging voltage control that controls the charging voltage with which the DC power supply charges the capacitor based on the delay time. Since it is provided with a part, it is possible to achieve both responsiveness and stability.

実施の形態1に係るパルス電源の構成図である。1 is a configuration diagram of a pulse power supply according to Embodiment 1; FIG. 実施の形態1のトリガ放電発生部の回路図である。2 is a circuit diagram of a trigger discharge generating section of Embodiment 1; FIG. 実施の形態1のギャップスイッチの概略構成図である。1 is a schematic configuration diagram of a gap switch according to Embodiment 1; FIG. 実施の形態1に係るパルス電源の回路図である。1 is a circuit diagram of a pulse power supply according to Embodiment 1; FIG. 実施の形態1に係るパルス電源における電気特性の概略図である。4 is a schematic diagram of electrical characteristics in the pulse power supply according to Embodiment 1. FIG. 実施の形態2に係るパルス電源の構成図である。FIG. 7 is a configuration diagram of a pulse power supply according to Embodiment 2; 実施の形態3に係るパルス電源の構成図である。FIG. 11 is a configuration diagram of a pulse power supply according to Embodiment 3; 実施の形態4に係るパルス電源の回路図である。FIG. 11 is a circuit diagram of a pulse power supply according to Embodiment 4;

以下、本願を実施するための実施の形態に係るパルス電源について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一符号は同一もしくは相当部分を示している。 Hereinafter, a pulse power supply according to an embodiment for carrying out the present application will be described in detail with reference to the drawings. In each figure, the same reference numerals denote the same or corresponding parts.

実施の形態1.
図1は、実施の形態1に係るパルス電源の構成図である。本実施の形態のパルス電源1は、直流電源2、コンデンサ3、ギャップスイッチ4、トリガ放電発生部5、遅れ時間演算部6および充電電圧制御部7を備えている。
Embodiment 1.
FIG. 1 is a configuration diagram of a pulse power supply according to Embodiment 1. FIG. A pulse power supply 1 of this embodiment includes a DC power supply 2, a capacitor 3, a gap switch 4, a trigger discharge generator 5, a delay time calculator 6, and a charging voltage controller .

直流電源2は、直流電力を出力することができる。コンデンサ3は、直流電源2に接続されており、直流電源2の出力電圧に応じた充電電圧Vcが充電される。ギャップスイッチ4は、コンデンサ3に接続されている。ギャップスイッチ4は、放電短絡により電気的なスイッチの開閉を行う機能を有しており、スイッチが閉じたときにコンデンサ3に蓄えられた電磁エネルギーを出力する。トリガ放電発生部5は、ギャップスイッチ4の放電短絡を誘発させるトリガ放電を発生させる。遅れ時間演算部6は、トリガ放電発生部5におけるトリガ放電の発生時刻からギャップスイッチ4における放電短絡の発生時刻までの遅れ時間を演算する機能を有する。充電電圧制御部7は、遅れ時間演算部6で演算された遅れ時間に基づいて直流電源2が出力する充電電圧を制御する機能を有する。 The DC power supply 2 can output DC power. The capacitor 3 is connected to the DC power supply 2 and is charged with a charging voltage Vc corresponding to the output voltage of the DC power supply 2 . Gap switch 4 is connected to capacitor 3 . The gap switch 4 has a function of opening and closing an electrical switch by short-circuiting a discharge, and outputs the electromagnetic energy stored in the capacitor 3 when the switch is closed. A trigger discharge generator 5 generates a trigger discharge that induces a discharge short circuit of the gap switch 4 . The delay time calculator 6 has a function of calculating a delay time from the time when the trigger discharge occurs in the trigger discharge generator 5 to the time when the discharge short-circuit occurs in the gap switch 4 . The charging voltage control section 7 has a function of controlling the charging voltage output by the DC power supply 2 based on the delay time calculated by the delay time calculating section 6 .

図2は、本実施の形態のトリガ放電発生部5の回路図である。図2に示すように、トリガ放電発生部5は、トリガ信号発生部51、トリガ電極52、昇圧トランス53、スイッチング素子54およびトリガ用電源55を備えている。 FIG. 2 is a circuit diagram of the trigger discharge generator 5 of this embodiment. As shown in FIG. 2 , the trigger discharge generator 5 includes a trigger signal generator 51 , a trigger electrode 52 , a step-up transformer 53 , a switching element 54 and a trigger power source 55 .

トリガ用電源55に対して昇圧トランス53の1次側巻線およびスイッチング素子54が直列に接続されている。トリガ信号発生部51は任意のパルス信号を出力することができ、スイッチング素子54をスイッチングする。昇圧トランス53の2次側巻線の高電圧側はトリガ電極52に接続されている。トリガ信号発生部51が出力するパルス信号が立ち上がるとスイッチング素子54が開き、昇圧トランス53の1次側巻線にトリガ用電源55から充電電圧が印加される。パルス信号が立ち下がるとスイッチング素子54が閉じ、昇圧トランス53の1次側巻線にサージ電圧が発生する。このサージ電圧が昇圧トランス53で昇圧されて2次側巻線に高電圧が発生する。この高電圧がトリガ電圧Vtとなってトリガ電極52から出力される。 A primary winding of a step-up transformer 53 and a switching element 54 are connected in series to a trigger power supply 55 . The trigger signal generator 51 can output an arbitrary pulse signal to switch the switching element 54 . A high voltage side of the secondary winding of the step-up transformer 53 is connected to the trigger electrode 52 . When the pulse signal output from the trigger signal generator 51 rises, the switching element 54 opens and the charging voltage is applied to the primary winding of the step-up transformer 53 from the trigger power source 55 . When the pulse signal falls, the switching element 54 is closed and a surge voltage is generated in the primary winding of the step-up transformer 53 . This surge voltage is stepped up by the step-up transformer 53 to generate a high voltage in the secondary winding. This high voltage is output from the trigger electrode 52 as the trigger voltage Vt.

図3は、本実施の形態のギャップスイッチ4の概略構成図である。図3に示すように、ギャップスイッチ4は、放電ギャップ40を介して対向配置された充電電極41と基準電極42とを備えている。充電電極41と基準電極42との間の放電ギャップ40の近傍にはトリガ電極52が配置されている。ギャップスイッチ4は、放電ギャップ40に放電を発生させることでスイッチを閉じ、放電を消滅させることでスイッチを開くことができる。 FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the gap switch 4 of this embodiment. As shown in FIG. 3, the gap switch 4 includes a charging electrode 41 and a reference electrode 42 facing each other with a discharge gap 40 interposed therebetween. A trigger electrode 52 is arranged near the discharge gap 40 between the charge electrode 41 and the reference electrode 42 . The gap switch 4 can be closed by generating a discharge in the discharge gap 40 and opened by extinguishing the discharge.

充電電極41および基準電極42は、例えば真鍮で構成されており、先端部に鋭利な部分が存在しないように丸み付けがなされている。電極の形状を丸み付けがなされた形状とすることで電界強度の集中を避けることができるため、電極の消耗を低減する効果が得られる。充電電極41には充電電圧Vcが印加される。基準電極42は直流電源2の基準電位Vgに設定されている。トリガ電極52にはトリガ電圧Vtが印加される。 The charging electrode 41 and the reference electrode 42 are made of brass, for example, and are rounded so that there is no sharp edge at the tip. Since the concentration of electric field strength can be avoided by forming the shape of the electrode into a rounded shape, it is possible to obtain the effect of reducing wear of the electrode. A charging voltage Vc is applied to the charging electrode 41 . The reference electrode 42 is set to the reference potential Vg of the DC power supply 2 . A trigger voltage Vt is applied to the trigger electrode 52 .

ギャップスイッチ4において、トリガ電極52にトリガ電圧Vtが印加されと、トリガ電極52から充電電極41または基準電極42に向かってトリガ放電が発生する。このトリガ放電に誘発されて充電電極41と基準電極42との間に放電が発生する。充電電極41と基準電極42との間に放電が発生することで、ギャップスイッチ4が閉じた状態となりギャップスイッチ4に電流が流れる。 In the gap switch 4 , when the trigger voltage Vt is applied to the trigger electrode 52 , trigger discharge is generated from the trigger electrode 52 toward the charging electrode 41 or the reference electrode 42 . Induced by this trigger discharge, a discharge occurs between the charge electrode 41 and the reference electrode 42 . A discharge is generated between the charging electrode 41 and the reference electrode 42 , so that the gap switch 4 is closed and current flows through the gap switch 4 .

充電電極41は、コンデンサ3に接続されている。そのため、トリガ放電が充電電極41に向かって発生した場合、コンデンサ3に蓄積された電磁エネルギーが充電電極41およびトリガ電極52を経由してトリガ放電発生部5に流れ込む。その結果、トリガ放電発生部5が故障する可能性がある。そのような故障の発生を防ぐために、ギャップスイッチ4においてトリガ放電は基準電極42に向かって発生させることが望ましい。そのため、トリガ電極52に印加されるトリガ電圧Vtの極性と充電電圧Vcの極性とが異なる場合には、トリガ電極52は放電ギャップ40の中央よりも基準電極42に近い位置に配置されていることが望ましい。 A charging electrode 41 is connected to the capacitor 3 . Therefore, when trigger discharge occurs toward charging electrode 41 , the electromagnetic energy accumulated in capacitor 3 flows into trigger discharge generating section 5 via charging electrode 41 and trigger electrode 52 . As a result, the trigger discharge generator 5 may fail. In order to prevent the occurrence of such failures, it is desirable to cause the trigger discharge to occur toward the reference electrode 42 in the gap switch 4 . Therefore, when the polarity of the trigger voltage Vt applied to the trigger electrode 52 is different from the polarity of the charging voltage Vc, the trigger electrode 52 should be arranged at a position closer to the reference electrode 42 than the center of the discharge gap 40. is desirable.

ギャップスイッチ4には、自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbが存在する。自爆電圧Vaは、トリガ放電なしでギャップスイッチ4が閉じる電圧である。最低動作電圧Vbは、ギャップスイッチ4が閉じるのに必要な最低電圧である。ギャップスイッチ4の自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbは、ギャップスイッチ4の幾何学的な構成および放電ギャップ40の環境によって決まる。充電電圧Vcが自爆電圧Vaよりも高い場合は、ギャップスイッチ4は充電電圧Vcが印加されたときに瞬時に放電短絡する可能性がある。そのため、ギャップスイッチ4はトリガ放電発生部5を動作させなくても閉じてしまう可能性がある。一方、充電電圧Vcが最低動作電圧Vbよりも低い場合は、ギャップスイッチ4はトリガ放電発生部5を動作させても閉じない可能性がある。したがって、充電電圧Vcは自爆電圧Vaより低く最低動作電圧Vbより高い電圧に設定する必要がある。 The gap switch 4 has a self-destruct voltage Va and a minimum operating voltage Vb. The self-destruct voltage Va is the voltage at which the gap switch 4 closes without triggering discharge. The minimum operating voltage Vb is the minimum voltage required for the gap switch 4 to close. The self-destruct voltage Va and the minimum operating voltage Vb of the gap switch 4 are determined by the geometry of the gap switch 4 and the environment of the discharge gap 40 . If the charging voltage Vc is higher than the self-destruction voltage Va, there is a possibility that the gap switch 4 will instantaneously discharge and short-circuit when the charging voltage Vc is applied. Therefore, there is a possibility that the gap switch 4 will be closed even if the trigger discharge generator 5 is not operated. On the other hand, when the charging voltage Vc is lower than the minimum operating voltage Vb, there is a possibility that the gap switch 4 will not close even if the trigger discharge generator 5 is operated. Therefore, it is necessary to set the charging voltage Vc to a voltage lower than the self-destruction voltage Va and higher than the minimum operating voltage Vb.

図4は、本実施の形態のパルス電源1の回路図である。図4に示すように、パルス電源1のギャップスイッチ4およびコンデンサ3は、負荷10に対して直列に接続されている。直流電源2は電流制限抵抗11を介してコンデンサ3を充電電圧Vcに充電する。コンデンサ3が充電された状態でトリガ電極52のトリガ放電によってギャップスイッチ4が閉じたときには、コンデンサ3における充電側が基準電位となる。そのため、コンデンサ3における負荷10側は充電電圧Vcの極性が反転した電圧が印加される。負荷10には、負荷10のインピーダンス、コンデンサ3の静電容量および充電電圧Vcで決まるパルス状の電流が流れる。このようにして、パルス電源1はパルス状の高いエネルギーを負荷10に出力することができる。 FIG. 4 is a circuit diagram of the pulse power supply 1 of this embodiment. As shown in FIG. 4, gap switch 4 and capacitor 3 of pulse power supply 1 are connected in series with load 10 . DC power supply 2 charges capacitor 3 to charging voltage Vc via current limiting resistor 11 . When the gap switch 4 is closed by the trigger discharge of the trigger electrode 52 while the capacitor 3 is charged, the charging side of the capacitor 3 becomes the reference potential. Therefore, a voltage with the opposite polarity of the charging voltage Vc is applied to the load 10 side of the capacitor 3 . A pulsed current flows through the load 10, which is determined by the impedance of the load 10, the capacitance of the capacitor 3, and the charging voltage Vc. In this manner, the pulse power supply 1 can output high pulse-like energy to the load 10 .

電流制限抵抗11は、抵抗体あるいはインダクタンスを有するコイルを用いることができる。電流制限抵抗11に抵抗体を用いる場合は、電気ノイズの抑制効果が得られる。電流制限抵抗11にコイルを用いる場合はエネルギー損失の低減効果が得られる。 A coil having a resistor or an inductance can be used as the current limiting resistor 11 . When a resistor is used as the current limiting resistor 11, an effect of suppressing electrical noise can be obtained. When a coil is used as the current limiting resistor 11, an effect of reducing energy loss can be obtained.

ギャップスイッチ4の充電電極41および基準電極42とトリガ電極52とは、密閉容器43内に設けられている。密閉容器43は、内部に絶縁性の流体が封入されている。密閉容器43と、充電電極41、基準電極42およびトリガ電極52とは電気的に絶縁されている。また、密閉容器43には内部の絶縁性の流体の排出および充填ができるように少なくとも1つのバルブが設けられている。なお、密閉容器43に封入される絶縁性の流体は、例えば窒素、アルゴンなどの絶縁性の気体、あるいは鉱油,シリコーン油、絶縁油などの絶縁性の液体である。 A charging electrode 41 , a reference electrode 42 , and a trigger electrode 52 of the gap switch 4 are provided inside a sealed container 43 . The closed container 43 has an insulating fluid enclosed therein. The sealed container 43 is electrically insulated from the charging electrode 41, the reference electrode 42 and the trigger electrode 52. In addition, the sealed container 43 is provided with at least one valve so that the insulating fluid inside can be discharged and filled. The insulating fluid enclosed in the sealed container 43 is, for example, an insulating gas such as nitrogen or argon, or an insulating liquid such as mineral oil, silicone oil, or insulating oil.

図5は、本実施の形態のパルス電源における電気特性の一例を示す概略図である。図5において、横軸は時間である。図5(a)は、トリガ放電発生部5のトリガ信号発生部51から出力されるパルス信号Vsの電圧波形である。図5(b)は、トリガ電極52から出力されるトリガ電圧Vtの電圧波形である。図5(c)は、コンデンサ3に充電される充電電圧Vcの電圧波形である。図5(d)は、ギャップスイッチ4の充電電極41と基準電極42との間に流れるギャップ電流Igの電流波形である。 FIG. 5 is a schematic diagram showing an example of electrical characteristics in the pulse power supply of this embodiment. In FIG. 5, the horizontal axis is time. 5A shows the voltage waveform of the pulse signal Vs output from the trigger signal generator 51 of the trigger discharge generator 5. FIG. 5B shows the voltage waveform of the trigger voltage Vt output from the trigger electrode 52. FIG. FIG. 5(c) is a voltage waveform of the charging voltage Vc charged in the capacitor 3. FIG. FIG. 5(d) shows the current waveform of the gap current Ig flowing between the charging electrode 41 and the reference electrode 42 of the gap switch 4. FIG.

図2のトリガ放電発生部5の動作を説明したように、パルス信号Vsが立ち下がるときにトリガ電圧Vtが立ち上がる。トリガ電圧Vtが上昇し、トリガ電極52と充電電極41または基準電極42との間でトリガ放電が発生すると、トリガ電圧Vtは減少に転じる。トリガ電圧Vtが減少した後にギャップスイッチ4が閉じる、すなわち充電電極41と基準電極42との間に放電短絡が発生する。ギャップスイッチ4が閉じることでコンデンサ3に充電された充電電圧Vcが減少すると共に、充電電極41と基準電極42との間にギャップ電流Igが発生する。 As described for the operation of the trigger discharge generator 5 in FIG. 2, the trigger voltage Vt rises when the pulse signal Vs falls. When the trigger voltage Vt rises and trigger discharge occurs between the trigger electrode 52 and the charging electrode 41 or the reference electrode 42, the trigger voltage Vt starts to decrease. The gap switch 4 closes after the trigger voltage Vt has decreased, ie a discharge short circuit occurs between the charge electrode 41 and the reference electrode 42 . Closing the gap switch 4 reduces the charging voltage Vc charged in the capacitor 3 and generates a gap current Ig between the charging electrode 41 and the reference electrode 42 .

図5において、トリガ電圧Vtの立ち上がりの時刻からトリガ放電の発生時刻までの時間を昇圧時間Tvと定義し、トリガ放電の発生時刻からギャップスイッチ4が閉じる時刻までの時間を放電遅れ時間Tdと定義する。そして、トリガ電圧Vtの立ち上がりの時刻からギャップスイッチ4が閉じる時刻までの時間をスイッチ動作時間Tと定義すると、T=Tv+Tdの関係が成り立つ。 In FIG. 5, the time from the time when the trigger voltage Vt rises to the time when the trigger discharge occurs is defined as the boost time Tv, and the time from the time when the trigger discharge occurs to the time when the gap switch 4 closes is defined as the discharge delay time Td. do. If the switch operation time T is defined as the time from when the trigger voltage Vt rises to when the gap switch 4 closes, the relationship T=Tv+Td holds.

充電電圧Vcが自爆電圧Vaと最低動作電圧Vbとの間に設定されている場合、充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなるほど放電遅れ時間Tdは長くなる。この放電遅れ時間Tdがパルス電源1の応答性および安定性に大きく影響する。例えば、スイッチ動作の繰り返しに起因してギャップスイッチ4の電極が消耗した場合、放電ギャップ40が大きくなるため最低動作電圧Vbが上昇する。そうすると、充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなって放電遅れ時間Tdは長くなる。その結果、パルスの連続出力の間隔が徐々に長くなるためパルス電源1の応答性が損なわれる。また、最低動作電圧Vbの上昇がさらに大きくなると、充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差がさらに小さくなって、ギャップスイッチ4が閉じなくなる場合がある。その結果、パルス電源1の安定性が損なわれる。したがって、充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差を一定に制御する、すなわち放電遅れ時間Tdを一定に制御することができれば、パルス電源1の応答性および安定性を良好に保つことができる。 When the charging voltage Vc is set between the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb, the smaller the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb, the longer the discharge delay time Td. This discharge delay time Td greatly affects the responsiveness and stability of the pulse power source 1 . For example, when the electrodes of the gap switch 4 are worn out due to repeated switching operations, the minimum operating voltage Vb increases because the discharge gap 40 increases. Then, the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb becomes smaller, and the discharge delay time Td becomes longer. As a result, the pulse power supply 1 loses its responsiveness because the interval between successive pulse outputs gradually increases. Further, if the minimum operating voltage Vb rises further, the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb becomes smaller, and the gap switch 4 may not close. As a result, the stability of the pulse power supply 1 is impaired. Therefore, if the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb can be kept constant, that is, if the discharge delay time Td can be kept constant, the responsiveness and stability of the pulse power supply 1 can be maintained well.

ギャップスイッチ4の密閉容器43内の流体の温度および圧力が一定であれば、トリガ電圧Vtの立ち上がりの時刻からトリガ放電の発生時刻までの昇圧時間Tvは一定とみなすことができる。そのため、放電遅れ時間Tdの変化量はスイッチ動作時間Tの変化量に等しくなる。したがって、トリガ電圧Vtの立ち上がりの時刻からギャップスイッチ4が閉じる時刻までのスイッチ動作時間Tの変化量を一定に制御することで、パルス電源1の応答性および安定性を良好に保つことができる。 If the temperature and pressure of the fluid in the sealed container 43 of the gap switch 4 are constant, the pressure rise time Tv from the time when the trigger voltage Vt rises to the time when the trigger discharge occurs can be regarded as constant. Therefore, the amount of change in the discharge delay time Td is equal to the amount of change in the switch operation time T. Therefore, by controlling the amount of change in the switch operating time T from the time when the trigger voltage Vt rises to the time when the gap switch 4 is closed, the pulse power supply 1 can be maintained with good responsiveness and stability.

トリガ電圧Vtの立ち上がりの時刻は、トリガ信号発生部51が出力するトリガ信号の立ち下がりの時刻と一致するため、トリガ放電発生部5で検知することができる。
ギャップスイッチ4が閉じる時刻は、例えばギャップスイッチ4に電圧センサまたは電流センサを設けて検知することができる。あるいは、ギャップスイッチ4が閉じる時刻は、直流電源2の出力電圧または出力電流の時間変化を測定することで検知することができる。この方法はギャップスイッチ4のスイッチ動作に起因する電気ノイズの影響が小さい利点がある。ただし、電流制限抵抗11の抵抗値またはインダクタンス値が大きい場合に遅延誤差が大きくなる場合があるので注意を要する。それとは別に、ギャップスイッチ4が閉じる時刻は、負荷10へ出力される出力電圧または出力電流の時間変化を測定することでも検知することができる。この方法は、遅延誤差は小さいがギャップスイッチ4のスイッチ動作に起因する電気ノイズの影響を受け易い。
Since the rising time of the trigger voltage Vt coincides with the falling time of the trigger signal output from the trigger signal generating section 51, the trigger discharge generating section 5 can detect it.
The closing time of the gap switch 4 can be detected by providing the gap switch 4 with a voltage sensor or current sensor, for example. Alternatively, the time at which the gap switch 4 closes can be detected by measuring the time change of the output voltage or output current of the DC power supply 2 . This method has the advantage of being less affected by electrical noise caused by the switching operation of the gap switch 4 . However, if the resistance value or inductance value of the current limiting resistor 11 is large, the delay error may become large, so care must be taken. Alternatively, the time at which the gap switch 4 closes can also be detected by measuring the change over time in the output voltage or current output to the load 10 . Although this method has a small delay error, it is susceptible to electrical noise caused by the switching operation of the gap switch 4 .

遅れ時間演算部6は、トリガ電圧Vtの立ち上がりの時刻とギャップスイッチ4が閉じる時刻とからスイッチ動作時間Tを演算する。遅れ時間演算部6がスイッチ動作時間Tを演算することは、すなわち放電遅れ時間Tdを演算することになる。遅れ時間演算部6は、予め設定された第1上限時間T1および第2上限時間T2を保持している。上述のように、スイッチ動作時間Tの変化は、放電遅れ時間Tdの変化と関係し、かつ最低動作電圧Vbの上昇と関係している。第1上限時間T1は、最低動作電圧Vbの上昇によるパルスの連続出力の応答性の低下が許容できる範囲までのスイッチ動作時間Tの上限値として設定されている。第2上限時間T2は、最低動作電圧Vbの上昇によるパルスの連続出力の安定性の低下が許容できる範囲までのスイッチ動作時間Tの上限値として設定されている。つまり、スイッチ動作時間TがT1より長くなると、パルスの連続出力の間隔が徐々に長くなってパルス電源1の応答性が許容できない範囲まで低下する。また、スイッチ動作時間TがT2より長くなると、ギャップスイッチ4が閉じなくなってパルス電源1の安定性が許容できない範囲まで低下する。通常、第2上限時間T2は、第1上限時間T1より大きい。 The delay time calculator 6 calculates the switch operating time T from the rise time of the trigger voltage Vt and the closing time of the gap switch 4 . Calculation of the switch operating time T by the delay time calculator 6 is equivalent to calculation of the discharge delay time Td. The delay time calculator 6 holds a first upper limit time T1 and a second upper limit time T2 set in advance. As described above, changes in the switch operating time T are related to changes in the discharge delay time Td and related to increases in the minimum operating voltage Vb. The first upper limit time T1 is set as the upper limit value of the switch operating time T within a range in which a drop in responsiveness of continuous output of pulses due to an increase in the minimum operating voltage Vb can be tolerated. The second upper limit time T2 is set as the upper limit value of the switch operating time T up to a range in which a decrease in stability of continuous pulse output due to an increase in the minimum operating voltage Vb can be tolerated. That is, when the switch operating time T becomes longer than T1, the interval between successive pulse outputs gradually lengthens, and the responsiveness of the pulse power supply 1 decreases to an unacceptable range. If the switch operating time T becomes longer than T2, the gap switch 4 will not close and the stability of the pulse power supply 1 will drop to an unacceptable level. Normally, the second upper limit time T2 is longer than the first upper limit time T1.

遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tが第1上限時間T1を超える場合には、充電電圧制御部7に第1遅れ信号を出力する。充電電圧制御部7は、第1遅れ信号を受信すると直流電源2の出力電圧を上昇させる。このようにして、パルス電源1は、コンデンサ3の充電電圧Vcを上昇させて充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなることを抑制することができる。このような制御は、電気的な信号処理により行うことができるので、パルスの連続出力の間にフィードバックできる。その結果、本実施の形態のパルス電源は、スイッチ動作時間Tが第1上限時間T1を超えることを防ぐことができ、パルス電源1の応答性と安定性とを両立させることができる。 The delay time calculator 6 outputs a first delay signal to the charging voltage controller 7 when the calculated switch operating time T exceeds the first upper limit time T1. Charging voltage control unit 7 increases the output voltage of DC power supply 2 upon receiving the first delay signal. In this manner, the pulse power supply 1 increases the charging voltage Vc of the capacitor 3 and suppresses a decrease in the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb. Such control can be performed by electrical signal processing, so that it can be fed back during the continuous output of pulses. As a result, the pulse power supply according to the present embodiment can prevent the switch operating time T from exceeding the first upper limit time T1, and can achieve both responsiveness and stability of the pulse power supply 1 .

遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tが第2上限時間T2を超える場合には、トリガ放電発生部5に第2遅れ信号を出力する。トリガ放電発生部5は、第2遅れ信号を受信するとギャップスイッチ4が動作しなかったと見なして再度トリガ放電を発生させる。このようにして、パルス電源1は、パルスの連続出力が間欠的な出力となることを抑制することができる。 The delay time calculator 6 outputs a second delay signal to the trigger discharge generator 5 when the calculated switch operating time T exceeds the second upper limit time T2. When the trigger discharge generator 5 receives the second delay signal, it assumes that the gap switch 4 did not operate, and generates the trigger discharge again. In this way, the pulse power supply 1 can prevent continuous output of pulses from becoming intermittent output.

なお、遅れ時間演算部6は、予め設定された下限時間T3を保持していてもよい。下限時間T3は、自爆電圧Vaが一時的に低下してトリガ放電の発生前にギャップスイッチ4が閉じることを防ぐために設定された時間である。つまり、スイッチ動作時間TがT3より短くなると、ギャップスイッチ4がトリガ放電なしに閉じることでパルス電源1の安定性が損なわれる。遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tが下限時間T3より短い場合には、充電電圧制御部7に早期信号を出力する。充電電圧制御部7は、早期信号を受信すると直流電源2の出力電圧を低下させる。このようにして、パルス電源1は、自爆電圧Vaが一時的に低下した場合でも安定性を維持することができる。 Note that the delay time calculator 6 may hold a preset lower limit time T3. The lower limit time T3 is a time set to prevent the gap switch 4 from closing before the trigger discharge occurs due to a temporary drop in the self-destruction voltage Va. That is, when the switch operating time T becomes shorter than T3, the gap switch 4 closes without triggering discharge, and the stability of the pulse power supply 1 is impaired. The delay time calculator 6 outputs an early signal to the charging voltage controller 7 when the calculated switch operating time T is shorter than the lower limit time T3. Charging voltage control unit 7 reduces the output voltage of DC power supply 2 upon receiving the early signal. In this way, the pulse power source 1 can maintain stability even when the self-destruction voltage Va temporarily drops.

本実施の形態のパルス電源においては、放電遅れ時間Tdの変化量とスイッチ動作時間Tの変化とが等しいとして、遅れ時間演算部6は、放電遅れ時間Tdの変化量を検知する替わりにスイッチ動作時間Tの変化を検知している。別の方法として、遅れ時間演算部6は、放電遅れ時間Tdを直接検知してもよい。図5(b)に示すように、トリガ電圧Vtの最大値またはトリガ電圧Vtの時間変化を測定して、トリガ放電の発生時刻を検出し、トリガ放電の発生時刻からギャップスイッチ4が閉じる時刻までの時間を放電遅れ時間Tdとして直接検知することもできる。この方法を用いる場合はトリガ電圧Vtを測定する装置が必要となる。この方法で測定された放電遅れ時間Tdの変化は精度が高いという利点がある。ただし、遅れ時間演算部6が放電遅れ時間Tdを直接検知する場合は、予め設定された第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3を放電遅れ時間Tdに合わせて変更する必要がある。 In the pulse power source of the present embodiment, assuming that the amount of change in the discharge delay time Td and the change in the switch operation time T are equal, the delay time calculator 6 detects the amount of change in the discharge delay time Td, instead of detecting the amount of change in the discharge delay time Td. A change in time T is detected. As another method, the delay time calculator 6 may directly detect the discharge delay time Td. As shown in FIG. 5(b), the maximum value of the trigger voltage Vt or the change in the trigger voltage Vt over time is measured to detect the trigger discharge occurrence time. can be directly detected as the discharge delay time Td. Using this method requires a device for measuring the trigger voltage Vt. The change in the discharge delay time Td measured by this method has the advantage of being highly accurate. However, when the delay time calculator 6 directly detects the discharge delay time Td, it is necessary to change the preset first upper limit time T1, second upper limit time T2, and lower limit time T3 according to the discharge delay time Td. be.

なお、本実施の形態のパルス電源において、スイッチ動作時間Tをパルス出力1回毎に演算し、このスイッチ動作時間Tと第1上限時間T1および第2上限時間T2との大小関係を比較して判定している。パルス電源が繰り返し動作モードで駆動される場合は、複数回のパルス出力のスイッチ動作時間Tの平均値または最大値と第1上限時間T1および第2上限時間T2との大小関係を比較して判定してもよい。この場合、短期的には応答性は若干低下するが、繰り返し動作モードにおける長期的な安定性が向上する。 In addition, in the pulse power source of the present embodiment, the switch operation time T is calculated for each pulse output, and the magnitude relationship between this switch operation time T and the first upper limit time T1 and the second upper limit time T2 is compared. Judging. When the pulse power supply is driven in the repetitive operation mode, the average value or the maximum value of the switch operation time T of multiple pulse outputs is compared with the first upper limit time T1 and the second upper limit time T2 for determination. You may In this case, short-term responsiveness is slightly reduced, but long-term stability in the repetitive operation mode is improved.

また、本実施の形態のパルス電源は、スイッチ動作時間Tが第1上限時間T1を超える場合にコンデンサ3の充電電圧Vcを上昇させている。別の方法として、スイッチ動作時間Tが増加するにしたがってコンデンサ3の充電電圧Vcを上昇させる方法を用いてもよい。例えば、パルス電源は、スイッチ動作時間Tと充電電圧Vcとの対応を予め設定したマップまたは関数を保持する。そして、パルス電源は、このマップまたは関数を用いてスイッチ動作時間Tが増加するにしたがってコンデンサ3の充電電圧Vcを上昇させてもよい。 Further, the pulse power supply of the present embodiment raises the charging voltage Vc of the capacitor 3 when the switch operating time T exceeds the first upper limit time T1. Alternatively, a method of increasing the charging voltage Vc of the capacitor 3 as the switch operating time T increases may be used. For example, the pulse power supply holds a map or function that presets the correspondence between switch operating time T and charging voltage Vc. Then, the pulse power supply may use this map or function to increase the charging voltage Vc of the capacitor 3 as the switch operating time T increases.

実施の形態2.
図6は、実施の形態2に係るパルス電源の構成図である。本実施の形態のパルス電源1は、実施の形態1で説明したパルス電源の構成に、環境検知部8が追加されたものである。環境検知部8は、ギャップスイッチ4の密閉容器43に封入される絶縁性の流体の圧力、温度および湿度の少なくとも1つを検知する機能を有する。環境検知部8は、検知した絶縁性の流体の圧力、温度および湿度の少なくとも1つを遅れ時間演算部6に出力する。これ以降、密閉容器43内の流体の圧力をギャップ圧力と称する。
なお、本実施の形態の説明において、パルス電源1における絶縁性の流体の圧力、温度および湿度の初期値が決まっており、その条件における予め設定された第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3も初期値が決まっているものとする。
Embodiment 2.
FIG. 6 is a configuration diagram of a pulse power supply according to the second embodiment. A pulse power supply 1 according to the present embodiment is obtained by adding an environment detection unit 8 to the configuration of the pulse power supply described in the first embodiment. The environment detection unit 8 has a function of detecting at least one of the pressure, temperature and humidity of the insulating fluid enclosed in the sealed container 43 of the gap switch 4 . The environment detection unit 8 outputs at least one of the detected insulating fluid pressure, temperature, and humidity to the delay time calculation unit 6 . Hereinafter, the pressure of the fluid inside the sealed container 43 will be referred to as the gap pressure.
In the description of the present embodiment, the initial values of the pressure, temperature, and humidity of the insulating fluid in the pulse power source 1 are determined, and the preset first upper limit time T1 and second upper limit time T2 under the conditions and the lower limit time T3 are also assumed to have initial values.

密閉容器43内に充填された流体の圧力、すなわちギャップ圧力が変化した場合、トリガ電圧の立ち上がりの時刻からトリガ放電の発生時刻までの昇圧時間Tvが変化する。そのため、ギャップ圧力が変化した場合、スイッチ動作時間Tの変化量と放電遅れ時間Tdの変化量とは一致しない。具体的には、ギャップ圧力が高くなるほど、トリガ放電を発生させるために必要なトリガ電圧が高くなるため昇圧時間Tvが長くなる。 When the pressure of the fluid filled in the sealed container 43, ie, the gap pressure, changes, the pressure rise time Tv from the time when the trigger voltage rises to the time when the trigger discharge occurs changes. Therefore, when the gap pressure changes, the amount of change in the switch operating time T and the amount of change in the discharge delay time Td do not match. Specifically, the higher the gap pressure, the higher the trigger voltage required to generate the trigger discharge, and the longer the boosting time Tv.

本実施の形態のパルス電源1において、環境検知部8が流体の圧力を検知する機能を有する圧力検知部である場合、遅れ時間演算部6は、ギャップ圧力が初期値より高い場合には第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3の少なくとも1つを初期値より小さな値に設定する。ギャップ圧力が初期値より低い場合、遅れ時間演算部6は、第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3の少なくとも1つを初期値より大きな値に設定する。あるいは、遅れ時間演算部6は、スイッチ動作時間Tを演算するときにギャップ圧力に基づいてスイッチ動作時間Tを補正してもよい。遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tと、第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3との大小関係に基づいて充電電圧制御部7に第1遅れ信号などを出力する。このようにして本実施の形態のパルス電源1は、スイッチ動作時間Tの変化量、すなわち放電遅れ時間Tdの変化量を一定に制御することで応答性および安定性を良好に保つことができる。 In the pulse power supply 1 of the present embodiment, when the environment detection unit 8 is a pressure detection unit having a function of detecting the pressure of the fluid, the delay time calculation unit 6, when the gap pressure is higher than the initial value, the first At least one of the upper limit time T1, the second upper limit time T2 and the lower limit time T3 is set to a value smaller than the initial value. When the gap pressure is lower than the initial value, the delay time calculator 6 sets at least one of the first upper limit time T1, the second upper limit time T2 and the lower limit time T3 to a value greater than the initial value. Alternatively, the delay time calculator 6 may correct the switch operating time T based on the gap pressure when calculating the switch operating time T. The delay time calculation unit 6 outputs a first delay signal or the like to the charging voltage control unit 7 based on the magnitude relationship between the calculated switch operation time T, the first upper limit time T1, the second upper limit time T2, and the lower limit time T3. do. In this manner, the pulse power supply 1 of the present embodiment can maintain good responsiveness and stability by controlling the amount of change in the switch operating time T, that is, the amount of change in the discharge delay time Td.

密閉容器43内に充填された流体の温度が上昇すると、自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbは低下する。また、密閉容器43に充填された流体が気体の場合、この気体の湿度が上昇すると自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbは低下する。 As the temperature of the fluid filled in the sealed container 43 rises, the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb decrease. Further, when the fluid filled in the sealed container 43 is gas, if the humidity of this gas increases, the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb decrease.

本実施の形態のパルス電源1において、環境検知部8が流体の温度を検知する機能を有する温度検知部である場合、遅れ時間演算部6は、流体の温度が初期値より高い場合には第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3の少なくとも1つを初期値より小さな値に設定する。逆に流体の温度が初期値より低い場合には、遅れ時間演算部6は、第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3の少なくとも1つを初期値より大きな値に設定する。あるいは、遅れ時間演算部6は、スイッチ動作時間Tを演算するときに流体の温度に基づいてスイッチ動作時間Tを補正してもよい。遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tと、第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3との大小関係に基づいて充電電圧制御部7に第1遅れ信号などを出力する。このようにして本実施の形態のパルス電源1は、スイッチ動作時間Tの変化量、すなわち放電遅れ時間Tdの変化量を一定に制御することで応答性および安定性を良好に保つことができる。 In the pulse power supply 1 of the present embodiment, when the environment detection unit 8 is a temperature detection unit having a function of detecting the temperature of the fluid, the delay time calculation unit 6 detects the temperature of the fluid when the temperature is higher than the initial value. At least one of the first upper limit time T1, the second upper limit time T2 and the lower limit time T3 is set to a value smaller than the initial value. Conversely, when the temperature of the fluid is lower than the initial value, the delay time calculator 6 sets at least one of the first upper limit time T1, the second upper limit time T2, and the lower limit time T3 to a value greater than the initial value. Alternatively, the delay time calculator 6 may correct the switch operating time T based on the temperature of the fluid when calculating the switch operating time T. The delay time calculation unit 6 outputs a first delay signal or the like to the charging voltage control unit 7 based on the magnitude relationship between the calculated switch operation time T, the first upper limit time T1, the second upper limit time T2, and the lower limit time T3. do. In this manner, the pulse power supply 1 of the present embodiment can maintain good responsiveness and stability by controlling the amount of change in the switch operating time T, that is, the amount of change in the discharge delay time Td.

本実施の形態のパルス電源1において、密閉容器43に充填された流体が気体であって、環境検知部8が気体の湿度を検知する機能を有する湿度検知部である場合、遅れ時間演算部6は、気体の湿度が初期値より高い場合には第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3の少なくとも1つを初期値より小さな値に設定する。逆に気体の湿度が初期値より低い場合には、遅れ時間演算部6は、第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3の少なくとも1つを初期値より大きな値に設定する。あるいは、遅れ時間演算部6は、スイッチ動作時間Tを演算するときに気体の湿度に基づいてスイッチ動作時間Tを補正してもよい。遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tと第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3との大小関係に基づいて充電電圧制御部7に第1遅れ信号などを出力する。このようにして本実施の形態のパルス電源1は、スイッチ動作時間Tの変化量、すなわち放電遅れ時間Tdの変化量を一定に制御することで応答性および安定性を良好に保つことができる。 In the pulse power supply 1 of the present embodiment, when the fluid filled in the sealed container 43 is gas and the environment detection unit 8 is a humidity detection unit having a function of detecting the humidity of the gas, the delay time calculation unit 6 sets at least one of the first upper limit time T1, the second upper limit time T2 and the lower limit time T3 to a value smaller than the initial value when the humidity of the gas is higher than the initial value. Conversely, when the humidity of the gas is lower than the initial value, the delay time calculator 6 sets at least one of the first upper limit time T1, the second upper limit time T2, and the lower limit time T3 to a value greater than the initial value. Alternatively, the delay time calculator 6 may correct the switch operating time T based on the humidity of the gas when calculating the switch operating time T. The delay time calculation unit 6 outputs a first delay signal or the like to the charging voltage control unit 7 based on the magnitude relationship between the calculated switch operation time T and the first upper limit time T1, the second upper limit time T2, and the lower limit time T3. . In this manner, the pulse power supply 1 of the present embodiment can maintain good responsiveness and stability by controlling the amount of change in the switch operating time T, that is, the amount of change in the discharge delay time Td.

なお、本実施の形態において、環境検知部8が圧力を検知する機能を有する圧力検知部である場合、環境検知部8が密閉容器43内のギャップ圧力を直接測定してもよいし、環境検知部8内の圧力から密閉容器43内のギャップ圧力を推定してもよい。環境検知部8が密閉容器43内のギャップ圧力を直接測定する場合は、密閉容器43内のギャップ圧力を高精度に測定できる。環境検知部8が環境検知部8内の圧力から密閉容器43内のギャップ圧力を推定する場合は、パルス電源1を小型にできる。 In this embodiment, when the environment detection unit 8 is a pressure detection unit having a function of detecting pressure, the environment detection unit 8 may directly measure the gap pressure in the sealed container 43, or the environment detection unit 8 may The gap pressure inside the sealed container 43 may be estimated from the pressure inside the section 8 . When the environment detection unit 8 directly measures the gap pressure inside the closed container 43, the gap pressure inside the closed container 43 can be measured with high accuracy. When the environment detection unit 8 estimates the gap pressure in the sealed container 43 from the pressure in the environment detection unit 8, the pulse power supply 1 can be made small.

また、本実施の形態のパルス電源1において、環境検知部8が流体の温度を検知する温度検知部または湿度を検知する湿度検知部である場合、必ずしもギャップスイッチ4は密閉容器43を備えている必要はない。この場合、ギャップスイッチ4の電極間の放電ギャップ40は絶縁性の流体で満たされている必要はなく、解放された大気であってもよい。 Further, in the pulse power supply 1 of the present embodiment, when the environment detection unit 8 is a temperature detection unit that detects the temperature of fluid or a humidity detection unit that detects humidity, the gap switch 4 is necessarily provided with the sealed container 43. No need. In this case, the discharge gap 40 between the electrodes of the gap switch 4 need not be filled with an insulating fluid, but may be open atmosphere.

実施の形態3.
パルス電源においては、充電電圧Vcは自爆電圧Vaと最低動作電圧Vbとの間に設定される。ギャップスイッチ4の自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbは、ギャップスイッチ4の幾何学的な構成および放電ギャップ40の環境によって決まる。実施の形態3のパルス電源は、放電ギャップ40の環境を調整することでギャップスイッチ4の自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbを調整可能にしたものである。
Embodiment 3.
In the pulse power supply, the charging voltage Vc is set between the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb. The self-destruct voltage Va and the minimum operating voltage Vb of the gap switch 4 are determined by the geometry of the gap switch 4 and the environment of the discharge gap 40 . The pulse power supply according to the third embodiment makes it possible to adjust the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb of the gap switch 4 by adjusting the environment of the discharge gap 40 .

図7は、本実施の形態に係るパルス電源の構成図である。本実施の形態のパルス電源1は、実施の形態1で説明したパルス電源の構成に、圧力調整部9が追加されたものである。圧力調整部9は、ギャップスイッチ4の密閉容器43に封入される絶縁性の流体の圧力を調整する機能を有する。 FIG. 7 is a configuration diagram of a pulse power supply according to this embodiment. The pulse power source 1 of the present embodiment is obtained by adding a pressure adjustment section 9 to the configuration of the pulse power source described in the first embodiment. The pressure adjuster 9 has a function of adjusting the pressure of the insulating fluid enclosed in the sealed container 43 of the gap switch 4 .

例えば、密閉容器43に封入される絶縁性の流体がアルゴンガスとする。仮に密閉容器43内のギャップ圧力が2気圧の場合に自爆電圧Vaが10kV、最低動作電圧Vbが5kVとすると、充電電圧Vcは10kV未満かつ5kVを超える電圧に設定される。次に、圧力調整部9が密閉容器43内のギャップ圧力を2気圧から下げると、自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbが低下する。その結果、最低動作電圧Vbが5kVより低くなるので、充電電圧Vcを5kV以下に設定することが可能となる。圧力調整部9が密閉容器43内のギャップ圧力を2気圧から上げると、自爆電圧Vaおよび最低動作電圧Vbが上昇する。その結果、自爆電圧Vaが10kVより高くなるので、充電電圧Vcを10kV以上に設定することが可能となる。 For example, the insulating fluid enclosed in the sealed container 43 is argon gas. Assuming that the self-destruction voltage Va is 10 kV and the minimum operating voltage Vb is 5 kV when the gap pressure in the sealed container 43 is 2 atmospheres, the charging voltage Vc is set to a voltage less than 10 kV and more than 5 kV. Next, when the pressure regulator 9 lowers the gap pressure in the sealed container 43 from 2 atmospheres, the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb are lowered. As a result, since the minimum operating voltage Vb becomes lower than 5 kV, it becomes possible to set the charging voltage Vc to 5 kV or less. When the pressure regulator 9 raises the gap pressure in the sealed container 43 from 2 atmospheres, the self-destruction voltage Va and the minimum operating voltage Vb rise. As a result, since the self-destruction voltage Va becomes higher than 10 kV, it becomes possible to set the charging voltage Vc to 10 kV or more.

実施の形態1で説明したように、放電遅れ時間Tdの変化すなわちスイッチ動作時間Tの変化は、充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差に関係している。スイッチ動作時間Tが長くなる原因は、最低動作電圧Vbが上昇して充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの電圧差が小さくなるためである。実施の形態1のパルス電源は、スイッチ動作時間TがT1より長くなると充電電圧Vcを上昇させて充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなることを抑制していた。本実施の形態のパルス電源は、スイッチ動作時間TがT1より長くなると最低動作電圧Vbを低下させて充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなることを抑制する。 As described in Embodiment 1, the change in discharge delay time Td, that is, the change in switch operating time T is related to the difference between charging voltage Vc and minimum operating voltage Vb. The reason why the switch operating time T becomes longer is that the minimum operating voltage Vb rises and the voltage difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb becomes smaller. The pulse power supply according to the first embodiment raises the charging voltage Vc when the switch operating time T becomes longer than T1, thereby suppressing a decrease in the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb. The pulse power supply of the present embodiment reduces the minimum operating voltage Vb when the switch operating time T becomes longer than T1, thereby suppressing a decrease in the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb.

具体的には、遅れ時間演算部6は、第1遅れ信号および第2遅れ信号を圧力調整部9に出力する。例えば、第1遅れ信号を充電電圧制御部7ではなく圧力調整部9に出力する。実施の形態1のように、第1遅れ信号を充電電圧制御部7に出力した場合、充電電圧制御部7は充電電圧Vcを上昇させる制御を行っている。本実施の形態のように、第1遅れ信号を圧力調整部9に出力した場合、圧力調整部9はギャップ圧力を下げて結果的に最低動作電圧Vbを下げる制御を行う。このような制御を行うことで、本実施の形態のパルス電源1は、充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなることを抑制することができる。その結果、本実施の形態のパルス電源は、スイッチ動作時間Tが第1上限時間T1を超えることを防ぐことができ、パルス電源1の応答性と安定性とを両立させることができる。 Specifically, the delay time calculator 6 outputs the first delay signal and the second delay signal to the pressure adjuster 9 . For example, the first delay signal is output to the pressure regulator 9 instead of the charging voltage controller 7 . When the first delay signal is output to the charging voltage controller 7 as in the first embodiment, the charging voltage controller 7 performs control to increase the charging voltage Vc. When the first delay signal is output to the pressure adjuster 9 as in the present embodiment, the pressure adjuster 9 lowers the gap pressure, resulting in lowering the minimum operating voltage Vb. By performing such control, the pulse power supply 1 of the present embodiment can suppress a decrease in the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb. As a result, the pulse power supply according to the present embodiment can prevent the switch operating time T from exceeding the first upper limit time T1, and can achieve both responsiveness and stability of the pulse power supply 1 .

なお、本実施の形態において、圧力調整部9は密閉容器43内のギャップ圧力を直接測定してもよいし、圧力調整部9内の圧力から密閉容器43内のギャップ圧力を推定してもよい。圧力調整部9が密閉容器43内のギャップ圧力を直接測定する場合は、密閉容器43内のギャップ圧力を高精度に測定できる。圧力調整部9が圧力調整部9内の圧力から密閉容器43内のギャップ圧力を推定する場合は、パルス電源1を小型にできる。 In this embodiment, the pressure adjustment unit 9 may directly measure the gap pressure in the closed container 43, or may estimate the gap pressure in the closed container 43 from the pressure in the pressure adjustment unit 9. . When the pressure adjustment unit 9 directly measures the gap pressure inside the closed container 43, the gap pressure inside the closed container 43 can be measured with high accuracy. When the pressure adjustment unit 9 estimates the gap pressure in the sealed container 43 from the pressure in the pressure adjustment unit 9, the pulse power supply 1 can be made small.

また、圧力調整部9は、密閉容器43に封入される絶縁性の流体を排出および充填する機能を備えていてもよい。絶縁性の流体を入れ替えることでギャップスイッチ4の電極間の放電短絡で発生する電極材料の蒸発物質などが放電ギャップ40に滞留することを防ぐことができる。 Moreover, the pressure adjustment unit 9 may have a function of discharging and filling the insulating fluid enclosed in the sealed container 43 . By replacing the insulating fluid, it is possible to prevent the evaporation of the electrode material generated by the discharge short circuit between the electrodes of the gap switch 4 from remaining in the discharge gap 40 .

実施の形態4.
図8は、実施の形態4のパルス電源の回路図である。本実施の形態のパルス電源1は、実施の形態1のパルス電源において、コンデンサと負荷との間に第2ギャップスイッチおよび第2コンデンサを追加したものである。なお、本実施の形態のパルス電源1のトリガ放電発生部5、遅れ時間演算部6および充電電圧制御部7は、実施の形態1のものと同じである。
Embodiment 4.
FIG. 8 is a circuit diagram of a pulse power supply according to the fourth embodiment. The pulse power supply 1 of the present embodiment is the same as the pulse power supply of the first embodiment, except that a second gap switch and a second capacitor are added between the capacitor and the load. The trigger discharge generator 5, the delay time calculator 6, and the charging voltage controller 7 of the pulse power source 1 of this embodiment are the same as those of the first embodiment.

図8に示すように、本実施の形態のパルス電源1は、コンデンサ3と負荷10との間に第2ギャップスイッチ12と第2コンデンサ13とが接続されている。第2コンデンサ13における負荷10側と反対側の端子は、第2電流制限抵抗14を介して直流電源2に接続されている。また、コンデンサ3と第2ギャップスイッチ12との接続点は、保護抵抗15を介して接地電位に接続されている。コンデンサ3と第2コンデンサ13とは同じ静電容量を有している。コンデンサ3および第2コンデンサ13は、それぞれ電流制限抵抗11および第2電流制限抵抗14を介して直流電源2から充電電圧Vcで充電される。第2ギャップスイッチ12は、ギャップスイッチ4と同様に、充電電極と基準電極とで構成されている。ただし、第2ギャップスイッチ12はトリガ電極を備えていない。第2ギャップスイッチ12は、ギャップスイッチ4が閉じるときのサージ電圧がトリガとなって自動的に閉じるように放電ギャップの間隔などが調整されている。このように構成されたパルス電源1は、充電電圧Vcの2倍の電圧を負荷10に印加することが可能となる。 As shown in FIG. 8, the pulse power supply 1 of this embodiment has a second gap switch 12 and a second capacitor 13 connected between a capacitor 3 and a load 10 . A terminal of the second capacitor 13 on the opposite side of the load 10 is connected to the DC power supply 2 via a second current limiting resistor 14 . A connection point between the capacitor 3 and the second gap switch 12 is connected to the ground potential via the protective resistor 15 . The capacitor 3 and the second capacitor 13 have the same capacitance. Capacitor 3 and second capacitor 13 are charged with charging voltage Vc from DC power supply 2 via current limiting resistor 11 and second current limiting resistor 14, respectively. The second gap switch 12, like the gap switch 4, is composed of a charging electrode and a reference electrode. However, the second gap switch 12 does not have a trigger electrode. The interval of the discharge gap and the like are adjusted so that the second gap switch 12 is automatically closed by being triggered by a surge voltage when the gap switch 4 is closed. The pulse power supply 1 configured in this manner can apply to the load 10 a voltage that is twice the charging voltage Vc.

本実施の形態のパルス電源1においては、実施の形態1と同様に、遅れ時間演算部6が、トリガ電圧の立ち上がりの時刻とギャップスイッチ4が閉じる時刻とからスイッチ動作時間Tを演算する。そして、遅れ時間演算部6は、演算したスイッチ動作時間Tが第1上限時間T1を超える場合には、充電電圧制御部7に第1遅れ信号を出力する。充電電圧制御部7は、第1遅れ信号を受信すると直流電源2の出力電圧を上昇させる。このようにして、パルス電源1は、コンデンサ3の充電電圧Vcを上昇させて充電電圧Vcと最低動作電圧Vbとの差が小さくなることを抑制する。その結果、本実施の形態のパルス電源は、スイッチ動作時間Tが第1上限時間T1を超えることを防ぐことができ、パルス電源1の応答性と安定性とを両立させることができる。 In the pulse power supply 1 of the present embodiment, similarly to the first embodiment, the delay time calculator 6 calculates the switch operating time T from the rise time of the trigger voltage and the closing time of the gap switch 4 . Then, the delay time calculation unit 6 outputs the first delay signal to the charging voltage control unit 7 when the calculated switch operating time T exceeds the first upper limit time T1. Charging voltage control unit 7 increases the output voltage of DC power supply 2 upon receiving the first delay signal. In this way, the pulse power supply 1 raises the charging voltage Vc of the capacitor 3 and suppresses a decrease in the difference between the charging voltage Vc and the minimum operating voltage Vb. As a result, the pulse power supply according to the present embodiment can prevent the switch operating time T from exceeding the first upper limit time T1, and can achieve both responsiveness and stability of the pulse power supply 1 .

なお、実施の形態1のパルス電源においては、ギャップスイッチ4が閉じる時刻は、ギャップスイッチ4に電圧センサまたは電流センサを設けて検知していた。本実施の形態のパルス電源1においては、ギャップスイッチ4が閉じる時刻を第2ギャップスイッチ12が閉じる時刻としてもよい。その場合、第2ギャップスイッチ12に電圧センサまたは電流センサを設ける必要がある。これらのセンサを第2ギャップスイッチ12に設ける場合は、ギャップスイッチ4に設ける場合に比べてトリガ放電などの電気ノイズの影響が小さくなる利点がある。 In the pulse power supply of Embodiment 1, the gap switch 4 is provided with a voltage sensor or a current sensor to detect the closing time of the gap switch 4 . In the pulse power supply 1 of the present embodiment, the closing time of the gap switch 4 may be the closing time of the second gap switch 12 . In that case, it is necessary to provide the second gap switch 12 with a voltage sensor or a current sensor. When these sensors are provided in the second gap switch 12, there is an advantage that the influence of electrical noise such as trigger discharge is reduced compared to the case where the sensors are provided in the gap switch 4. FIG.

また、実施の形態1のパルス電源においては、トリガ電圧の立ち上がりの時刻からギャップスイッチ4が閉じる時刻までの時間をスイッチ動作時間Tとしている。本実施の形態のパルス電源1においては、コンデンサ3が放電を開始する時刻から第2コンデンサ13が放電を開始する時刻までの時間をスイッチ動作時間Tとしてもよい。この場合、コンデンサ3および第2コンデンサ13の電圧または電流を検知する装置が必要となる。このようなスイッチ動作時間Tを用いた場合、ギャップスイッチ4が動作しているにも関わらず第2ギャップスイッチ12が連動しない状態を検知することができる。ただし、このようなスイッチ動作時間Tを用いた場合は、第1上限時間T1、第2上限時間T2および下限時間T3を適宜設定する必要がある。 Further, in the pulse power supply of Embodiment 1, the switch operation time T is the time from the rise of the trigger voltage to the closing of the gap switch 4 . In the pulse power supply 1 of the present embodiment, the switch operation time T may be the time from when the capacitor 3 starts discharging to when the second capacitor 13 starts discharging. In this case, a device for detecting the voltage or current of the capacitor 3 and the second capacitor 13 is required. When such a switch operation time T is used, it is possible to detect a state in which the second gap switch 12 is not linked although the gap switch 4 is operating. However, when such a switch operation time T is used, it is necessary to appropriately set the first upper limit time T1, the second upper limit time T2, and the lower limit time T3.

なお、本実施の形態のパルス電源1においては、コンデンサおよびギャップスイッチを直列に2組接続した構成としたが、直列に3組以上接続した構成でもよい。 In the pulse power supply 1 of the present embodiment, two pairs of capacitors and gap switches are connected in series, but three or more pairs of capacitors and gap switches may be connected in series.

本願は、様々な例示的な実施の形態が記載されているが、1つまたは複数の実施の形態に記載された様々な特徴、態様、および機能は特定の実施の形態の適用に限られるのではなく、単独で、または様々な組み合わせで実施の形態に適用可能である。
したがって、例示されていない無数の変形例が、本願に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
Although this application describes various exemplary embodiments, the various features, aspects, and functions described in one or more embodiments are limited to the application of particular embodiments. can be applied to the embodiments alone or in various combinations.
Therefore, countless modifications not illustrated are envisioned within the scope of the technology disclosed in the present application. For example, modification, addition or omission of at least one component, extraction of at least one component, and combination with components of other embodiments shall be included.

1 パルス電源、2 直流電源、3 コンデンサ、4 ギャップスイッチ、5 トリガ放電発生部、6 遅れ時間演算部、7 充電電圧制御部、8 環境検知部、9 圧力調整部、10 負荷、11 電流制限抵抗、12 第2ギャップスイッチ、13 第2コンデンサ、14 第2電流制限抵抗、15 保護抵抗、40 放電ギャップ、41 充電電極、42 基準電極、51 トリガ信号発生部、52 トリガ電極、53 昇圧トランス、54 スイッチング素子、55 トリガ用電源。 1 Pulse power supply 2 DC power supply 3 Capacitor 4 Gap switch 5 Trigger discharge generation unit 6 Delay time calculation unit 7 Charging voltage control unit 8 Environment detection unit 9 Pressure adjustment unit 10 Load 11 Current limiting resistor , 12 second gap switch 13 second capacitor 14 second current limiting resistor 15 protection resistor 40 discharge gap 41 charging electrode 42 reference electrode 51 trigger signal generator 52 trigger electrode 53 step-up transformer 54 switching element, 55 trigger power supply;

Claims (6)

コンデンサと、
前記コンデンサを充電する直流電源と、
前記コンデンサに接続され、放電短絡によって前記コンデンサに充電された電力を出力するギャップスイッチと、
前記ギャップスイッチにおける前記放電短絡を誘発させるトリガ放電を発生するトリガ放電発生部と、
前記トリガ放電の発生時刻から前記放電短絡の発生時刻までの遅れ時間を演算する遅れ時間演算部と、
前記遅れ時間に基づいて前記直流電源が前記コンデンサを充電する充電電圧を制御する充電電圧制御部とを備えたことを特徴とするパルス電源。
a capacitor;
a DC power supply that charges the capacitor;
a gap switch connected to the capacitor and outputting power charged in the capacitor by a discharge short circuit;
a trigger discharge generator that generates a trigger discharge that induces the discharge short circuit in the gap switch;
a delay time calculation unit that calculates a delay time from the time of occurrence of the trigger discharge to the time of occurrence of the discharge short circuit;
A pulse power supply, comprising: a charging voltage control section for controlling a charging voltage with which the DC power supply charges the capacitor based on the delay time.
前記充電電圧制御部は、前記遅れ時間の増加にしたがって前記充電電圧を増加させることを特徴とする請求項1に記載のパルス電源。 2. The pulse power supply according to claim 1, wherein the charging voltage control unit increases the charging voltage as the delay time increases. 絶縁性の流体が充填され前記ギャップスイッチを密閉した密閉容器と、前記密閉容器に充填された前記流体の圧力を検知する圧力検知部とをさらに備え、前記遅れ時間演算部は、前記圧力検知部で検知された前記流体の圧力に基づいて前記遅れ時間を補正することを特徴とする請求項1または2に記載のパルス電源。 A closed container filled with an insulating fluid and sealing the gap switch; and a pressure detection unit for detecting the pressure of the fluid filled in the closed container, wherein the delay time calculation unit detects the pressure detection unit. 3. The pulse power source according to claim 1, wherein the delay time is corrected based on the pressure of the fluid detected at . 前記ギャップスイッチの温度および湿度の少なくとも一方を検知する環境検知部をさらに備え、前記遅れ時間演算部は、前記環境検知部で検知された前記温度および前記湿度の少なくとも一方に基づいて前記遅れ時間を補正することを特徴とする請求項1または2に記載のパルス電源。 An environment detection unit that detects at least one of temperature and humidity of the gap switch is further provided, and the delay time calculation unit calculates the delay time based on at least one of the temperature and humidity detected by the environment detection unit. 3. The pulse power supply according to claim 1 or 2, wherein the correction is performed. コンデンサと、
前記コンデンサを充電する直流電源と、
前記コンデンサに接続され、放電短絡によって前記コンデンサに充電された電力を出力するギャップスイッチと、
前記ギャップスイッチにおける前記放電短絡を誘発させるトリガ放電を発生するトリガ放電発生部と、
前記トリガ放電の発生時刻から前記放電短絡の発生時刻までの遅れ時間を演算する遅れ時間演算部と、
前記直流電源が前記コンデンサを充電する充電電圧を制御する充電電圧制御部と、
絶縁性の流体が充填され前記ギャップスイッチを密閉した密閉容器と、
前記遅れ時間に基づいて前記密閉容器に充填された前記流体の圧力を調整する圧力調整部とを備えたことを特徴とするパルス電源。
a capacitor;
a DC power supply that charges the capacitor;
a gap switch connected to the capacitor and outputting power charged in the capacitor by a discharge short circuit;
a trigger discharge generator that generates a trigger discharge that induces the discharge short circuit in the gap switch;
a delay time calculation unit that calculates a delay time from the time of occurrence of the trigger discharge to the time of occurrence of the discharge short circuit;
a charging voltage control unit that controls a charging voltage with which the DC power supply charges the capacitor;
a closed container filled with an insulating fluid and sealing the gap switch;
A pulse power supply, comprising: a pressure adjustment unit that adjusts the pressure of the fluid filled in the sealed container based on the delay time.
前記圧力調整部は、前記遅れ時間の増加にしたがって前記流体の圧力を減少させることを特徴とする請求項5に記載のパルス電源。 6. The pulse power supply according to claim 5, wherein the pressure adjustment unit reduces the pressure of the fluid as the delay time increases.
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