JP7317849B2 - リアルタイム測定制御のための方法およびシステム - Google Patents
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Description
Imn=Smn(θ,φ)(1+n2)(1+n1)F0t+n3・・・(1)
上式で、Fは波形率、qは散乱ベクトル、ρ(r)は球座標における試料の電子密度である。x線散乱強度はこの場合
Claims (18)
- 計測システムであって、
半導体構造を、1つ以上の測定部位の各々において、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する初期測定シーケンスの測定値より少ない測定値を含む初期測定シーケンスのサブセットの各々に従って、x線放射で照射するように構成されている、x線照射サブシステムと、
前記x線照射サブシステムが提供する前記照射に応答して、前記1つ以上の測定部位の各々における前記初期測定シーケンスの前記サブセットの前記測定に関連する第1の量の測定データを検出するように構成されている、x線検出器と、
演算システムであって、
前記1つ以上の測定部位の各々に配設されている前記半導体構造を特徴付ける目的のパラメータの初期値を推定し、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の前記初期測定シーケンスを判定し、前記初期測定シーケンスの各測定は前記計測システムの構成を定義する1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられ、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記半導体構造を特徴付ける前記目的のパラメータの第1の更新値を、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記第1の量の測定データに基づいて推定し、ここにおいて、前記1つ以上の測定部位の1つの測定部位における半導体構造を特徴付ける目的のパラメータの第1の更新値を推定することが、前記1つ以上の測定部位の複数における測定値に関連する測定データの第1の量に基づいており、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の第1の更新された測定シーケンスを、前記第1の量の測定データに基づいて判定し、前記更新された測定シーケンスの各測定は、1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられる
ように構成されている、演算システムと、
を備える、計測システム。 - 請求項1に記載の計測システムであって、前記x線照射サブシステムは、前記半導体構造を、1つ以上の測定部位の各々において、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記第1の更新された測定シーケンスのサブセットの各々に従って、x線放射で照射し、前記x線検出器は、前記x線照射サブシステムが提供する前記照射に応答して、前記1つ以上の測定部位の各々における前記第1の更新された測定シーケンスの前記サブセットの前記測定に関連する第2の量の測定データを検出し、前記演算システムは更に、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の前記第1の更新された測定シーケンスに基づいて、前記目的のパラメータの値の推定に関連する測定不確実性を推定し、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記半導体構造を特徴付ける前記目的のパラメータの第2の更新値を、前記第2の量の測定データに基づいて推定し、
前記計測システムによる前記半導体構造の第2の更新された測定シーケンスを判定し、前記第2の更新された測定シーケンスの各測定は、1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられるように構成されている、
計測システム。 - 請求項1に記載の計測システムであって、前記1つ以上の測定部位のうちの1つにおける前記初期測定シーケンスは、前記1つ以上の測定部位のうちの別の1つにおける前記初期測定シーケンスとは異なっている、計測システム。
- 請求項1に記載の計測システムであって、前記1つ以上の測定部位のうちの1つにおける前記初期測定シーケンスは、前記1つ以上の測定部位のうちの別の1つにおける前記初期測定シーケンスと同じである、計測システム。
- 請求項1に記載の計測システムであって、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記初期測定シーケンスの前記サブセットは、1回の測定である、計測システム。
- 請求項1に記載の計測システムであって、前記第1の更新された測定シーケンスの前記判定は、測定不確実性、測定時間、移動時間、標的線量、またはこれらの任意の組合せの最適化を含む、計測システム。
- 請求項1に記載の計測システムであって、ある測定部位における前記半導体構造の前記照射は、第2の測定部位における前記第1の更新された測定シーケンスの前記判定と同時に行われる、計測システム。
- 請求項1に記載の計測システムであって、第1の測定部位における前記第1の更新された測定シーケンスの前記判定は、第2の測定部位における前記半導体構造の前記照射の前に行われる、計測システム。
- 1つ以上の測定部位に配設されている半導体構造を特徴付ける目的のパラメータの初期値を推定することと、
前記1つ以上の測定部位の各々における計測システムによる前記半導体構造の初期測定シーケンスを判定することであって、前記初期測定シーケンスの各測定は1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられる、判定することと、
前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記初期測定シーケンスの測定値より少ない測定値を含む初期測定シーケンスのサブセットの各々に従って、前記1つ以上の測定部位の各々において前記半導体構造を照射することと、
前記照射に応答して、前記1つ以上の測定部位の各々における前記初期測定シーケンスの前記サブセットの前記測定に関連する第1の量の測定データを検出することと、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記半導体構造を特徴付ける前記目的のパラメータの第1の更新値を、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記第1の量の測定データに基づいて推定することであって、ここにおいて、前記1つ以上の測定部位の1つの測定部位における半導体構造を特徴付ける目的のパラメータの第1の更新値を推定することが、前記1つ以上の測定部位の複数における測定値に関連する測定データの第1の量に基づいている、推定することと、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の第1の更新された測定シーケンスを前記第1の量の測定データに基づいて判定することであって、前記更新された測定シーケンスの各測定は、1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられる、判定することと、
を含む、方法。 - 請求項9に記載の方法であって、前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の前記第1の更新された測定シーケンスに基づいて、前記目的のパラメータの値の推定に関連する測定不確実性を推定することと、
前記測定不確実性が所定の閾値未満である場合に、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記第1の更新された測定シーケンスのサブセットの各々に従って、前記1つ以上の測定部位の各々において前記半導体構造を照射することと、
前記照射に応答して、前記1つ以上の測定部位の各々における前記第1の更新された測定シーケンスの前記サブセットの前記測定の各々に関連する第2の量の測定データを検出することと、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記半導体構造を特徴付ける前記目的のパラメータの第2の更新値を、前記第2の量の測定データに基づいて推定することと、
前記計測システムによる前記半導体構造の第2の更新された測定シーケンスを判定することであって、前記第2の更新された測定シーケンスの各測定は、1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられる、判定することと、
を更に含む、方法。 - 請求項9に記載の方法であって、前記1つ以上の測定部位のうちの1つにおける前記初期測定シーケンスは、前記1つ以上の測定部位のうちの別の1つにおける前記初期測定シーケンスとは異なっている、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、前記1つ以上の測定部位のうちの1つにおける前記初期測定シーケンスは、前記1つ以上の測定部位のうちの別の1つにおける前記初期測定シーケンスと同じである、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記初期測定シーケンスの前記サブセットは、1回の測定である、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、前記第1の更新された測定シーケンスの前記判定は、測定不確実性、測定時間、移動時間、標的線量、またはこれらの任意の組合せの最適化を含む、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、ある測定部位における前記半導体構造の前記照射は、第2の測定部位における前記第1の更新された測定シーケンスの前記判定と同時に行われる、方法。
- 請求項9に記載の方法であって、第1の測定部位における前記第1の更新された測定シーケンスの前記判定は、第2の測定部位における前記半導体構造の前記照射の前に行われる、方法。
- 計測システムであって、
半導体構造を、1つ以上の測定部位の各々において、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する初期測定シーケンスの測定値より少ない測定値を含む初期測定シーケンスのサブセットの各々に従って、x線放射で照射するように構成されている、x線照射サブシステムと、
前記x線照射サブシステムが提供する前記照射に応答して、前記1つ以上の測定部位の各々における前記初期測定シーケンスの前記サブセットの前記測定に関連する第1の量の測定データを検出するように構成されている、x線検出器と、
演算システムによって実行されると前記演算システムに、
前記1つ以上の測定部位の各々に配設されている前記半導体構造を特徴付ける目的のパラメータの初期値を推定させ、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の前記初期測定シーケンスを判定させ、前記初期測定シーケンスの各測定は前記計測システムの構成を定義する1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられ、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記半導体構造を特徴付ける前記目的のパラメータの第1の更新値を、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記第1の量の測定データに基づいて推定させ、ここにおいて、前記1つ以上の測定部位の1つの測定部位における半導体構造を特徴付ける目的のパラメータの第1の更新値を推定することが、前記1つ以上の測定部位の複数における測定値に関連する測定データの第1の量に基づいており、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の第1の更新された測定シーケンスを前記第1の量の測定データに基づいて10判定させ、前記更新された測定シーケンスの各測定は、1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられる
ように構成されている、命令、を備える、非一時的コンピュータ可読媒体と、
を備える、計測システム。 - 請求項17に記載の計測システムであって、前記x線照射サブシステムは、前記半導体構造を、1つ以上の測定部位の各々において、前記1つ以上の測定部位の各々に関連する前記第1の更新された測定シーケンスのサブセットの各々に従って、x線放射で照射し、前記x線検出器は、前記x線照射サブシステムが提供する前記照射に応答して、前記1つ以上の測定部位の各々における前記第1の更新された測定シーケンスの前記サブセットの前記測定に関連する第2の量の測定データを検出し、前記非一時的コンピュータ可読媒体は、演算システムによって実行されると前記演算システムに、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記計測システムによる前記半導体構造の前記第1の更新された測定シーケンスに基づいて、前記目的のパラメータの値の推定に関連する測定不確実性を推定させ、
前記1つ以上の測定部位の各々における前記半導体構造を特徴付ける前記目的のパラメータの第2の更新値を、前記第2の量の測定データに基づいて推定させ、
前記計測システムによる前記半導体構造の第2の更新された測定シーケンスを判定させ、前記第2の更新された測定シーケンスの各測定は、1つ以上の計測システムパラメータの異なる値によって特徴付けられる
ように構成されている、命令を更に備える
計測システム。
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