JP7313221B2 - Measuring device and measuring method - Google Patents

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Description

本発明は、測定装置及び測定方法に関する。 The present invention relates to a measuring device and measuring method.

サンプルの定性又は定量のため、様々な分析手法を用いた測定が行われている。例えば、分光法の１つであるコヒーレント反ストークスラマン散乱 （ＣＡＲＳ：Coherent Anti-Stokes Raman Scattering）法が、燃料電池中の水分の測定に用いられている（特許文献１参照。）。分光法は非破壊及び非接触で測定が可能であり、製品の評価に特に有用である。 For qualitative or quantitative determination of samples, measurements are performed using various analytical techniques. For example, the Coherent Anti-Stokes Raman Scattering (CARS) method, which is one of the spectroscopic methods, is used to measure water content in fuel cells (see Patent Document 1). Spectroscopy allows non-destructive and non-contact measurements and is particularly useful for product evaluation.

特開２０１６－１５６８１３号公報JP 2016-156813 A

ＣＡＲＳ法以外にも、電子状態の測定には光電子分光法、膜の結晶性の測定にはラマン分光法等の分析手法が用いられている。
しかし、各分析手法で測定できる測定装置が必要になり、設備コストがかかるとともに、各分析手法を用いた測定装置によりサンプルの測定を繰り返さなければならず、分析に時間を要する。また、測定環境が異なることによる測定誤差が生じやすい。 In addition to the CARS method, analytical methods such as photoelectron spectroscopy are used to measure the electronic state, and Raman spectroscopy is used to measure the crystallinity of the film.
However, a measuring device capable of measuring by each analytical method is required, which increases equipment cost, and samples must be measured repeatedly by the measuring device using each analytical method, which takes time for analysis. In addition, measurement errors tend to occur due to different measurement environments.

本発明は、サンプルの測定を簡易にかつ精度良く行うことを目的とする。 An object of the present invention is to measure a sample simply and accurately.

本発明の一態様によれば、光を発する光源（１）と、前記光源（１）からの光を分岐する光分岐器（２）と、前記分岐した光の一方をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光を測定する第１測定部（３Ａ）と、前記分岐した光の他方をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光電子を測定する第２測定部（３Ｂ）と、を備え、前記第１測定部（３Ａ）は、前記サンプル（Ｔ）に照射する光をＣＡＲＳ法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、ＣＡＲＳ法により測定を行い、前記第２測定部（３Ｂ）は、前記サンプル（Ｔ）に照射する光を光電子分光法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、光電子分光法により測定を行う、測定装置（１００）が提供される。 According to one aspect of the present invention, a light source (1) that emits light, an optical splitter (2) that splits the light from the light source (1), and the split lightone sideLight irradiated to a sample (T) and emitted from said sample (T)and a second measuring unit (3B) for irradiating the sample (T) with the other of the split lights and measuring photoelectrons generated from the sample (T). The first measuring unit (3A) converts the light to be irradiated to the sample (T) into light having characteristics according to the CARS method, irradiates the sample to perform measurement by the CARS method, and the second measuring unit (3B) irradiates the sample (T). is converted into light having characteristics according to photoelectron spectroscopy, the sample is irradiated, and measurement is performed by photoelectron spectroscopy.A measurement device (100) is provided.

本発明の他の一態様によれば、光源（１）から光を発するステップと、前記光源（１）からの光を分岐して第１測定部（３Ａ）及び第２測定部（３Ｂ）にそれぞれ出力するステップと、前記第１測定部（３Ａ）において、前記出力された光をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光を測定するステップと、前記第２測定部（３Ｂ）において、前記出力された光をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光電子を測定するステップと、を含み、前記第１測定部（３Ａ）において光を測定するステップは、前記サンプル（Ｔ）に照射する光をＣＡＲＳ法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、ＣＡＲＳ法により測定を行うことを含み、前記第２測定部（３Ｂ）において光電子を測定するステップは、前記サンプル（Ｔ）に照射する光を光電子分光法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、光電子分光法により測定を行うことを含む、測定方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, the steps of emitting light from a light source (1) and branching the light from the light source (1)First measuring section (3A) and second measuring section (3B)a step of respectively outputting toIn the first measurement unit (3A), a step of irradiating a sample (T) with the output light to measure light generated from the sample (T); and in the second measurement unit (3B), a step of irradiating the sample (T) with the output light and measuring photoelectrons generated from the sample (T). The step of measuring photoelectrons in the second measurement unit (3B) includes converting the light to irradiate the sample (T) into light having characteristics according to photoelectron spectroscopy, irradiating the sample, and performing the measurement by photoelectron spectroscopy.A method of measurement is provided.

本発明によれば、サンプルの測定を簡易にかつ精度良く行うことができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the measurement of a sample can be performed simply and accurately.

本実施形態の測定装置の構成を示す概念図である。It is a conceptual diagram showing the configuration of the measuring device of the present embodiment.

以下、本発明の測定装置及び測定方法の実施の形態について、図面を参照して説明する。以下に説明する構成は、本発明の一実施態様としての一例（代表例）であり、本発明は以下に説明する構成に限定されない。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of a measuring apparatus and a measuring method of the present invention will be described with reference to the drawings. The configuration described below is an example (representative example) as one embodiment of the present invention, and the present invention is not limited to the configuration described below.

図１は、本発明の一実施形態の測定装置１００の構成を示す。
測定装置１００は、光をサンプルＴに照射することによってサンプルＴから発生する光又は電子を測定する。
測定装置１００は、図１に示すように、光源１、光分岐器２及び２つの測定部３Ａ及び３Ｂを備える。また、測定装置１００は、複数のミラー４を備え、各ミラー４により光源１からの光を所定の光路へ導く。なお、光源１からの光を導くことができるのであれば、ミラー４のような光学系だけでなく、光ファイバー、光導波路等の導光モジュールが用いられてもよい。 FIG. 1 shows the configuration of a measuring device 100 according to one embodiment of the invention.
The measurement apparatus 100 measures light or electrons generated from the sample T by irradiating the sample T with light.
The measuring device 100, as shown in FIG. 1, comprises a light source 1, an optical splitter 2 and two measuring units 3A and 3B. The measuring apparatus 100 also includes a plurality of mirrors 4, and each mirror 4 guides the light from the light source 1 to a predetermined optical path. In addition to the optical system such as the mirror 4, a light guide module such as an optical fiber or an optical waveguide may be used as long as the light from the light source 1 can be guided.

光源１は、紫外線領域から赤外線領域までの波長領域内にある光を発する。このような光源１としては、公知の光源を使用することができ、例えば超短パルスレーザー、固体ＹＡＧ(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)レーザー、チタンサファイヤレーザー、Ｎｄ：Ｇｌａｓｓレーザー等が挙げられる。 The light source 1 emits light within the wavelength range from the ultraviolet range to the infrared range. As such a light source 1, a known light source can be used, for example, an ultrashort pulse laser, a solid YAG (yttrium-aluminum-garnet) laser, a titanium sapphire laser, an Nd:Glass laser, and the like.

光分岐器２は、光源１からの光を分岐する。光分岐器２としては特に限定されず、例えば光ファイバー、導波路、ハーフミラー、ダイクロイックミラー等を用いることができる。 The optical splitter 2 splits the light from the light source 1 . The optical splitter 2 is not particularly limited, and for example, an optical fiber, a waveguide, a half mirror, a dichroic mirror, or the like can be used.

測定部３Ａ及び３Ｂは、分岐した光をサンプルＴに照射し、当該サンプルＴから発生する光又は電子を所定の分析手法により測定する。測定に使用できる分析手法としては、光又は電子の状態を分析できるのであれば特に限定されず、例えばＣＡＲＳ法、赤外分光法（ＩＲ：Infrared Spectroscopy）、ＦＴ－ＩＲ（Fourier Transform Infrared Spectroscopy）法、光電子分光法（Photoelectron Spectroscopy）、分光エリプソメトリー等の分光法の他、レーザー回折法等が挙げられる。 The measurement units 3A and 3B irradiate the sample T with branched light, and measure light or electrons generated from the sample T by a predetermined analysis method. The analytical technique that can be used for measurement is not particularly limited as long as it can analyze the state of light or electrons, and includes, for example, the CARS method, infrared spectroscopy (IR: Infrared Spectroscopy), FT-IR (Fourier Transform Infrared Spectroscopy) method, photoelectron spectroscopy, spectroscopic methods such as spectroscopic ellipsometry, laser diffraction method, and the like.

測定部３Ａ及び３Ｂにおいて光を照射する基本的な構成は共通しており、図１に示すように、測定部３Ａ及び３Ｂは、第１プローブ６、第２プローブ７及び検出器８を備える。測定部３Ａ及び３Ｂは、必要に応じて第２プローブ７と検出器８の間に分光器を備えることができる。 The measurement units 3A and 3B have a common basic configuration for irradiating light, and as shown in FIG. The measurement units 3A and 3B can have a spectrometer between the second probe 7 and the detector 8 as required.

第１プローブ６は、光源１から導かれた光を集光してサンプルＴに照射する。第２プローブ７は、光の照射によりサンプルＴから発生した光又は電子を集めて検出器８に出力する。検出器８は、第２プローブ７から出力された光又は電子を検出し、その強度を表す電気信号を出力する。 The first probe 6 collects the light guided from the light source 1 and irradiates the sample T with the light. The second probe 7 collects light or electrons generated from the sample T by irradiation with light and outputs them to the detector 8 . A detector 8 detects the light or electrons output from the second probe 7 and outputs an electrical signal representing the intensity thereof.

サンプルＴから発生する光としては、例えば入射光に対する反射光、散乱光、透過光、サンプルＴから放出される蛍光等が挙げられる。また、サンプルＴから発生する電子としては、光電効果によってサンプルＴから放出される電子（光電子）が挙げられる。 The light generated from the sample T includes, for example, reflected light, scattered light, transmitted light, and fluorescence emitted from the sample T with respect to incident light. Electrons generated from the sample T include electrons (photoelectrons) emitted from the sample T due to the photoelectric effect.

光の検出器８としては、例えばＣＣＤ（Charged-Coupled Devices）、ＩＣＣＤ（Intensified CCD）等の光電変換素子を用いることができる。電子の検出器８としては、例えばチャンネルトロン、マルチチャンネルトロン、マイクロチャンネルプレート等の電子倍増管を用いることができる。分光器が設けられる場合、検出器８は、分光器によって特定波長に分光された光の強度やエネルギーを検出する。 As the light detector 8, a photoelectric conversion element such as a CCD (Charged-Coupled Device) or an ICCD (Intensified CCD) can be used. As the electron detector 8, for example, an electron multiplier such as a channeltron, a multichanneltron, or a microchannel plate can be used. If a spectroscope is provided, the detector 8 detects the intensity and energy of light split into specific wavelengths by the spectroscope.

測定部３Ａ及び３Ｂが用いる分析手法は互いに異なる。本実施形態において、測定部３Ａが用いる分析手法はＣＡＲＳ法であり、サンプルＴが発するＣＡＲＳ光を測定する。測定部３Ｂが用いる分析手法は光電子分光法であり、サンプルＴが発する光電子を測定する。例えば、サンプルＴが燃料電池の電極である場合、ＣＡＲＳ法により電極の劣化要因である水の定性及び定量を行うことができ、光電子分光法により電極の電子状態等を評価できる。 The analysis methods used by the measurement units 3A and 3B are different from each other. In the present embodiment, the analysis method used by the measurement unit 3A is the CARS method, and the CARS light emitted by the sample T is measured. The analysis method used by the measurement unit 3B is photoelectron spectroscopy, and photoelectrons emitted by the sample T are measured. For example, when the sample T is an electrode of a fuel cell, the CARS method can be used to qualitatively and quantify water, which is a deterioration factor of the electrode, and the electronic state of the electrode can be evaluated by photoelectron spectroscopy.

サンプルＴに照射する光の特性、例えば光の波長、角振動数又は偏光の方向は、各測定部３Ａ及び３Ｂが用いる分析手法によって異なる。よって、測定部３Ａ及び３Ｂは、１又は複数の変換器５を備え、光源１からの光を変換器５によりそれぞれの分析手法に応じた特性の光に変換してサンプルＴに照射する。 The characteristics of the light that irradiates the sample T, such as the wavelength, angular frequency, or polarization direction of the light, differ depending on the analysis method used by each of the measurement units 3A and 3B. Therefore, the measurement units 3A and 3B are provided with one or a plurality of converters 5, and the converters 5 convert the light from the light source 1 into light having characteristics corresponding to the respective analysis methods, and irradiate the sample T with the light.

変換器５としては、例えば光の波長（周波数）を変換するフォトニック結晶等の非線形光学結晶、光パラメトリック発振器、波長板、特定の波長の光を通過させるダイクロイックミラー、光ファイバー、光の偏光の方向を一定の方向に変換する偏光板等が挙げられる。また、変換器５は、希ガス中に光を通すことにより当該光の波長を変換してもよい。 Examples of the converter 5 include a nonlinear optical crystal such as a photonic crystal that converts the wavelength (frequency) of light, an optical parametric oscillator, a wave plate, a dichroic mirror that allows light of a specific wavelength to pass, an optical fiber, and a polarizing plate that converts the direction of polarization of light to a certain direction. The converter 5 may also convert the wavelength of the light by passing the light through a noble gas.

ＣＡＲＳ法を用いる測定部３Ａは、角振動数が異なる２つの光、すなわち角振動数ω１のポンプ光と角振動数ω２（ω２＜ω１）のストークス光とをサンプルＴに照射する。そのため、測定部３Ａは、光源１からの光を２つに分岐する光分岐器２、分岐した光の特性を変換する２つの変換器５及び光合流器９を備える。 The measurement unit 3A using the CARS method irradiates the sample T with two lights with different angular frequencies, that is, the pump light with the angular frequency ω 1 and the Stokes light with the angular frequency ω 2 (ω 2 <ω 1 ). Therefore, the measurement unit 3A includes an optical splitter 2 that splits the light from the light source 1 into two, two converters 5 that convert the characteristics of the split light, and an optical combiner 9 .

ストークス光に変換する変換器５としては、例えばフォトニック結晶ファイバーを使用できる。ポンプ光に変換する変換器５としては、例えば光パラメトリック発振器を使用できる。ポンプ光は、図示しない光学的遅延回路によって遅延された後、光合流器９によりストークス光と合流し、第１プローブ６に導かれる。光合流器９としては、光分岐器２と同様にダイロックミラー等を使用できる。 A photonic crystal fiber, for example, can be used as the converter 5 for converting into Stokes light. An optical parametric oscillator, for example, can be used as the converter 5 for converting into pump light. After being delayed by an optical delay circuit (not shown), the pump light is combined with the Stokes light by the optical combiner 9 and guided to the first probe 6 . A Dylock mirror or the like can be used as the optical combiner 9 in the same manner as the optical splitter 2 .

ストークス光及びポンプ光は、第１プローブ６により集光されてサンプルＴに照射される。光の照射によりサンプルＴから角振動数（２ω１－ω２）のＣＡＲＳ光が発生する。このＣＡＲＳ光は、第２プローブ７により集光され、分光器で分光された後、検出器８においてその強度が検出される。 The Stokes light and the pump light are collected by the first probe 6 and applied to the sample T. As shown in FIG. CARS light with an angular frequency of (2ω 1 −ω 2 ) is generated from the sample T by irradiation with light. This CARS light is collected by the second probe 7 and after being spectroscopically separated by the spectroscope, its intensity is detected by the detector 8 .

光電子分光法により測定する測定部３Ｂは、変換器５により光源１からの光の波長を紫外線領域の波長に変換する。変換器５としては、例えば非線形光学結晶を使用できる。変換された光は第１プローブ６によりサンプルＴに照射され、サンプルＴから発生した光電子が第２プローブ７により集められ、検出器８において検出される。 A measurement unit 3B that performs measurement by photoelectron spectroscopy converts the wavelength of the light from the light source 1 into a wavelength in the ultraviolet region by the converter 5 . A nonlinear optical crystal, for example, can be used as the converter 5 . The converted light is applied to the sample T by the first probe 6 , photoelectrons generated from the sample T are collected by the second probe 7 and detected by the detector 8 .

測定時、光源１が光を発すると、当該光は光分岐器２により分岐した後、各測定部３Ａ及び３Ｂに出力される。出力された光は、各測定部３Ａ及び３Ｂにおいて、波長又は角振動数が異なる光に変換されてサンプルＴに同時に照射される。照射によってサンプルＴから発生したＣＡＲＳ光の測定が測定部３Ａにより行われるとともに、サンプルＴから発生した光電子の測定が測定部３Ｂにより行われる。 When the light source 1 emits light during measurement, the light is branched by the optical splitter 2 and then output to the measurement units 3A and 3B. The output light is converted into light having different wavelengths or angular frequencies in the measurement units 3A and 3B, and the sample T is irradiated with the light at the same time. The measuring unit 3A measures CARS light generated from the sample T by irradiation, and the measuring unit 3B measures photoelectrons generated from the sample T. FIG.

以上のように、本実施形態の測定装置１００によれば、光源１が発した光を分岐して各測定部３Ａ及び３Ｂに出力し、測定部３Ａにおいて角振動数が異なるストークス光及びポンプ光に変換し、測定部３Ｂにおいて紫外光に変換して、サンプルＴに照射する。したがって、単一の光源１から発した光を用いて、測定部３ＡにおけるＣＡＲＳ光の測定と、測定部３Ｂにおける光電子の測定と、を並行して行うことができる。 As described above, according to the measurement apparatus 100 of the present embodiment, the light emitted by the light source 1 is branched and output to the measurement units 3A and 3B, and the measurement unit 3A converts the light into Stokes light and pump light having different angular frequencies. Therefore, using the light emitted from the single light source 1, the CARS light measurement in the measuring section 3A and the photoelectron measurement in the measuring section 3B can be performed in parallel.

これにより、１つの測定装置１００でＣＡＲＳ法と光電子分光法の両方の測定を行うことができ、測定時間及び設備コストを減らすことができる。各測定部３Ａ及び３Ｂによって照射される光は、元は同じ光であるため、光源１の特性のばらつき及び時間の経過による測定誤差をなくして測定精度を向上させることができる。したがって、サンプルＴの測定を簡易にかつ精度良く行うことができる。 As a result, both the CARS method and the photoelectron spectroscopy can be measured with one measuring apparatus 100, and the measurement time and equipment cost can be reduced. Since the light emitted by each of the measurement units 3A and 3B is originally the same light, it is possible to eliminate measurement errors due to variations in the characteristics of the light source 1 and the passage of time, thereby improving measurement accuracy. Therefore, the measurement of the sample T can be performed easily and accurately.

分析手法のなかでも、ＣＡＲＳ法はラマン分光法に比べて信号強度が強く、微量の成分も高精度に検出することができる。電池の電極層中の水分は微量でも劣化要因となる。よって、複数のうちの１つの測定部３ＡがＣＡＲＳ法による測定を行う測定装置１００は、サンプルＴが電池の場合には特に有用である。ＣＡＲＳ法は大気下で測定可能であるので、電池の製造を中断することなく、製造ライン上で高精度な測定が可能であり、高品質の電池を高い生産効率で製造できる。 Among the analysis methods, the CARS method has a stronger signal intensity than the Raman spectroscopy method, and can detect even minute amounts of components with high accuracy. Even a very small amount of moisture in the electrode layer of the battery causes deterioration. Therefore, the measurement device 100 in which one of the plurality of measurement units 3A performs measurement by the CARS method is particularly useful when the sample T is a battery. Since the CARS method can be measured in the atmosphere, highly accurate measurement can be performed on the production line without interrupting battery production, and high-quality batteries can be produced with high production efficiency.

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
上記実施形態では、ＣＡＲＳ法を用いた測定部３Ａに光電子分光法を用いた測定部３Ｂを組み合わせた例を説明したが、他の分析手法の組み合わせであってもよい。また、測定部の数も２つに限られない。例えば、ＣＡＲＳ法の測定部３Ａ及び光電子分光法の測定部３ＢにＦＴ－ＩＲ法の測定部をさらに組み合わせてもよい。測定部は、用いる分析手法によって、真空チャンバー等を備えてもよい。 Although preferred embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to these embodiments, and various modifications and changes are possible within the scope of the gist thereof.
In the above embodiment, an example in which the measurement unit 3A using the CARS method is combined with the measurement unit 3B using photoelectron spectroscopy has been described, but other analysis methods may be combined. Also, the number of measurement units is not limited to two. For example, the measurement unit 3A for the CARS method and the measurement unit 3B for the photoelectron spectroscopy may be further combined with the measurement unit for the FT-IR method. The measurement unit may be equipped with a vacuum chamber or the like depending on the analysis method used.

また、光分岐器２は、複数の測定部のなかからユーザにより選択された一部の測定部に光が出力されるように、光源１からの光を分岐してもよい。これにより、不要な測定は行わないようにすることができる。例えば、ＣＡＲＳ法、光電子分光法及びＦＴ－ＩＲ法をそれぞれ用いる３つの測定部がある場合、光分岐器２は、通常は光源１からの光を３つに分岐して３つの測定部にそれぞれ出力する。そのうちのＣＡＲＳ法とＦＴ－ＩＲ法の２つの測定部が選択された場合、光分岐器２は光源１からの光を２つに分岐して選択された２つの測定部にそれぞれ出力する。 Further, the optical splitter 2 may split the light from the light source 1 so that the light is output to a part of the measurement units selected by the user from among the plurality of measurement units. This makes it possible to avoid performing unnecessary measurements. For example, if there are three measurement units using CARS, photoelectron spectroscopy, and FT-IR, the optical splitter 2 normally splits the light from the light source 1 into three and outputs them to the three measurement units. When the two measuring units of the CARS method and the FT-IR method are selected, the optical splitter 2 splits the light from the light source 1 into two and outputs the two to the selected two measuring units.

また、測定部３Ａ及び３Ｂは、用いる分析手法に応じて複数の変換器５を組み合わせることもできる。例えば、光源１からの光を、１つの変換器５により特定の波長の光に変換し、もう１つの変換器５によりこの特定波長の光の偏光の方向を変換してもよい。 Moreover, the measurement units 3A and 3B can also combine a plurality of converters 5 according to the analysis method to be used. For example, the light from the light source 1 may be converted by one converter 5 into light of a specific wavelength, and another converter 5 may convert the direction of polarization of the light of this specific wavelength.

また、測定部３Ａは、ＣＡＲＳ光の測定結果をイメージングに利用するＣＡＲＳ顕微鏡として設けられてもよい。ＣＡＲＳ顕微鏡は、ＣＡＲＳ光から求められるラマンスペクトルを、ポンプ光及びストークス光を集光する位置を変化させて複数測定し、分子種ごとの空間分布の画像を生成する。 Moreover, the measurement unit 3A may be provided as a CARS microscope that utilizes the CARS light measurement results for imaging. A CARS microscope measures a plurality of Raman spectra obtained from CARS light by changing the positions where the pump light and the Stokes light are focused to generate an image of the spatial distribution of each molecular species.

１００・・・測定装置、２・・・光分岐器、３Ａ，３Ｂ・・・測定部、４・・・ミラー、５・・・変換器、６・・・第１プローブ、７・・・第２プローブ、８・・・検出器、Ｔ・・・サンプル

DESCRIPTION OF SYMBOLS 100... Measurement apparatus, 2... Optical splitter, 3A, 3B... Measurement part, 4... Mirror, 5... Converter, 6... 1st probe, 7... 2nd probe, 8... Detector, T... Sample

Claims (6)

光を発する光源（１）と、
前記光源（１）からの光を分岐する光分岐器（２）と、
前記分岐した光の一方をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光を測定する第１測定部（３Ａ）と、
前記分岐した光の他方をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光電子を測定する第２測定部（３Ｂ）と、を備え、
前記第１測定部（３Ａ）は、前記サンプル（Ｔ）に照射する光をＣＡＲＳ法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、ＣＡＲＳ法により測定を行い、
前記第２測定部（３Ｂ）は、前記サンプル（Ｔ）に照射する光を光電子分光法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、光電子分光法により測定を行う、
測定装置（１００）。 a light source (1) for emitting light;
an optical splitter (2) for splitting the light from the light source (1);
a first measuring unit (3A) that irradiates a sample (T) with one of the split lights and measures the light generated from the sample (T);
a second measuring unit (3B) that irradiates the sample (T) with the other of the branched lights and measures photoelectrons generated from the sample (T);
The first measurement unit (3A) converts the light to be irradiated to the sample (T) into light having characteristics according to the CARS method, irradiates the sample, and performs measurement by the CARS method,
The second measurement unit (3B) converts the light to irradiate the sample (T) into light having characteristics according to photoelectron spectroscopy, irradiates the sample, and performs measurement by photoelectron spectroscopy.
A measuring device (100). 前記第１測定部（３Ａ）及び前記第２測定部（３Ｂ）は、前記光の波長、角振動数又は偏光の方向を変換する、
請求項１に記載の測定装置（１００）。 The first measurement unit (3A) and the second measurement unit (3B) convert the wavelength, angular frequency or polarization direction of the light.
A measuring device (100) according to claim 1. 前記光分岐器（２）は、前記第１測定部（３Ａ）及び前記第２測定部（３Ｂ）から選択された測定部に、前記光源（１）からの光を分岐して出力する、
請求項１又は２に記載の測定装置（１００）。 The optical splitter (2) splits and outputs the light from the light source (1) to a measuring unit selected from the first measuring unit (3A) and the second measuring unit (3B) .
3. A measuring device (100) according to claim 1 or 2. 前記光源（１）からの光は、前記光分岐器（２）により分岐し、前記第１測定部（３Ａ）及び前記第２測定部（３Ｂ）により前記サンプル（Ｔ）に同時に照射される、
請求項１～３のいずれか一項に記載の測定装置（１００）。 The light from the light source (1) is split by the light splitter (2), and the sample (T) is simultaneously irradiated by the first measurement unit (3A) and the second measurement unit (3B) .
Measuring device (100) according to any one of the preceding claims. 前記第１測定部（３Ａ）は、前記光分岐器（２）により分岐した光をさらに２つに分岐し、角振動数が異なる２つの光に変換して前記サンプル（Ｔ）に照射することで、前記サンプル（Ｔ）から発生するＣＡＲＳ光を測定する、
請求項１～４のいずれか一項に記載の測定装置（１００）。 The first measurement unit (3A) further splits the light split by the optical splitter (2) into two, converts it into two lights with different angular frequencies, and irradiates the sample (T), thereby measuring the CARS light generated from the sample (T).
Measuring device (100) according to any one of the preceding claims. 光源（１）から光を発するステップと、
前記光源（１）からの光を分岐して第１測定部（３Ａ）及び第２測定部（３Ｂ）にそれぞれ出力するステップと、
前記第１測定部（３Ａ）において、前記出力された光をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光を測定するステップと、
前記第２測定部（３Ｂ）において、前記出力された光をサンプル（Ｔ）に照射し、前記サンプル（Ｔ）から発生する光電子を測定するステップと、を含み、
前記第１測定部（３Ａ）において光を測定するステップは、前記サンプル（Ｔ）に照射する光をＣＡＲＳ法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、ＣＡＲＳ法により測定を行うことを含み、
前記第２測定部（３Ｂ）において光電子を測定するステップは、前記サンプル（Ｔ）に照射する光を光電子分光法に応じた特性の光に変換して前記サンプルに照射して、光電子分光法により測定を行うことを含む、
測定方法。 emitting light from a light source (1);
a step of branching the light from the light source (1) and outputting it to a first measuring section (3A) and a second measuring section (3B) ;
a step of irradiating a sample (T) with the output light and measuring the light generated from the sample (T) in the first measurement unit (3A);
a step of irradiating the sample (T) with the output light and measuring photoelectrons generated from the sample (T) in the second measurement unit (3B);
The step of measuring light in the first measurement unit (3A) includes converting the light to be irradiated to the sample (T) into light having characteristics according to the CARS method, irradiating the sample, and performing measurement by the CARS method,
The step of measuring photoelectrons in the second measurement unit (3B) converts the light to be irradiated to the sample (T) into light having characteristics according to photoelectron spectroscopy, irradiates the sample, and performs measurement by photoelectron spectroscopy.
Measuring method.
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