JP7299121B2 - Circuit boards, electronic components and electronic modules - Google Patents

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Description

本開示は、絶縁基板の外周に沿って配列された端子電極を含む回路基板、および電子部品および電子モジュールに関するものである。 TECHNICAL FIELD The present disclosure relates to a circuit board including terminal electrodes arranged along the outer periphery of an insulating substrate, an electronic component, and an electronic module.

半導体素子、センサ素子または容量素子等の電子素子が搭載される回路基板として、セラミックス等の絶縁体からなる絶縁基板の下面に設けられた複数の端子電極を含むものが用いられている。このような回路の上面に電子素子が搭載された電子部品は外部の配線基板に搭載され、回路基板の端子電極と外部の配線基板の配線とがはんだ等の導電性接続材で接続されて電子モジュールとなる。 2. Description of the Related Art As a circuit board on which electronic elements such as semiconductor elements, sensor elements, or capacitive elements are mounted, one including a plurality of terminal electrodes provided on the lower surface of an insulating substrate made of an insulating material such as ceramics is used. An electronic component having an electronic element mounted on the upper surface of such a circuit is mounted on an external wiring board, and the terminal electrodes of the circuit board and the wiring of the external wiring board are connected with a conductive connecting material such as solder to form an electronic component. be a module.

このような回路基板として、下面の外縁領域に複数の端子電極を配列し、その内側の中央領域に大きい接地電極あるいは放熱用導体を配置したものがある(例えば、特許文献1を参照。)。中央領域の大きい導体と外縁領域の小さい端子電極とを導電性接合材としてはんだで外部の配線基板に接続すると、中央領域の大きい導体に接合されるはんだの厚みが厚くなりやすいために、外縁領域の端子電極と回路基板との間の距離が大きくなり、端子電極に接合されるはんだが細くなって接続不良あるいは接続信頼性低下が発生してしまう可能性があった。 As such a circuit board, there is a circuit board in which a plurality of terminal electrodes are arranged in the outer edge area of the lower surface, and a large ground electrode or heat radiation conductor is arranged in the central area inside (see, for example, Patent Document 1). When a conductor with a large central area and a terminal electrode with a small outer edge area are connected to an external wiring board by soldering using a conductive bonding material, the thickness of the solder that is joined to the large conductor in the central area tends to be thick. The distance between the terminal electrode and the circuit board becomes large, and the solder that is joined to the terminal electrode becomes thin, which may cause poor connection or reduced connection reliability.

これに対して、中央領域の大きい導体を複数に分割して、中央領域の複数の導体の1つ1つの面積を小さくして、中央領域の導体に接合されるはんだの体積、厚みを小さくしているものがある(例えば、特許文献2、特許文献3を参照。)。 On the other hand, the large conductor in the central region is divided into multiple conductors to reduce the area of each of the plurality of conductors in the central region, thereby reducing the volume and thickness of the solder that is joined to the conductor in the central region. (For example, see Patent Document 2 and Patent Document 3.).

特開2004-014645号公報JP 2004-014645 A 特開昭59-082790号公報JP-A-59-082790 特開2000-223622号公報JP-A-2000-223622

しかしながら、電子部品のはんだ実装の際の熱、および電子素子の作動時の熱による熱応力により、はんだ等の導電性接続材が切断される、あるいは端子電極が絶縁基板から剥がれる場合がある。熱応力が大きくなる外縁領域に配置されている端子電極が小さいためである。中央領域の大きい導体は、このような熱応力に対する補強用として、また小型化による接合面積低下に対する補強用としても機能するものである。補強用として機能する中央領域の大きい導体を複数に分割すると、中央領域の導体の接合面積が小さくなってしまうため、回路基板の外部の配線基板への接合強度および接続信頼性が低下する可能性があった。 However, due to heat during solder mounting of electronic components and thermal stress due to heat during operation of electronic elements, conductive connecting materials such as solder may be cut, or terminal electrodes may be peeled off from the insulating substrate. This is because the terminal electrodes arranged in the outer edge region where the thermal stress is large are small. A conductor with a large central region functions as a reinforcement against such thermal stress and also as a reinforcement against reduction in bonding area due to miniaturization. If a conductor with a large central region that functions as a reinforcement is divided into multiple conductors, the joint area of the conductor in the central region becomes smaller, which may reduce the joint strength and connection reliability of the circuit board to the external wiring board. was there.

本開示の1つの態様の回路基板は、第1面および該第1面の反対に位置する第2面を有し、前記第1面の平面視の形状が方形状である絶縁基板と、該絶縁基板の前記第1面における外縁領域に位置する複数の端子電極を含む回路導体と、前記第1面の前記外縁領域の内側の中央領域に位置する1つの中央導体と、を備えており、前記中央導体の表面が複数の凹凸による格子状であり、前記中央導体は凹部および凸部を有しており、前記凹部または前記凸部は、前記中央導体の外縁部に位置するものより前記中央導体の中央部に位置するものが大きい、または、前記凹部または前記凸部は、前記中央導体の外縁部に位置するものより前記中央導体の中央部に位置するものが小さいA circuit board according to one aspect of the present disclosure includes an insulating substrate having a first surface and a second surface opposite to the first surface, the first surface having a square shape in plan view; a circuit conductor including a plurality of terminal electrodes located in an outer edge region on the first surface of an insulating substrate; and one center conductor located in a central region inside the outer edge region of the first surface; The surface of the central conductor has a lattice shape with a plurality of irregularities, the central conductor has concave portions and convex portions, and the concave portions or the convex portions are located at the outer edge of the central conductor. The ones located in the central part of the central conductor are larger, or the recesses or protrusions are smaller in the central part of the central conductor than those located in the outer edge of the central conductor.

本開示の1つの態様の電子部品は、上記構成の回路基板と、電子素子とを備えている。 An electronic component according to one aspect of the present disclosure includes the circuit board configured as described above and an electronic element.

本開示の1つの態様の電子モジュールは、上記構成の電子部品と、該電子部品が実装されたモジュール用の配線基板とを備えている。 An electronic module according to one aspect of the present disclosure includes the electronic component configured as described above and a module wiring board on which the electronic component is mounted.

本開示の1つの態様の回路基板によれば、中央導体は、表面が凹凸による格子状であることから、中央導体の表面が、幅が小さく面積の小さい複数の領域に分割されるため、平坦で大きい表面と比較すると、これに接合されるはんだ等の導電性接合材が中央部に集まって中央部の厚みが大きくなり過ぎる可能性が低減される。また、中央導体の表面だけが分割されて中央導体全体の面積は減少しない。そのため、外部の配線基板等との接合強度および接続信頼性に優れた小型の回路基板となる。 According to the circuit board of one aspect of the present disclosure, since the central conductor has a grid-like surface formed by unevenness, the surface of the central conductor is divided into a plurality of regions with small widths and small areas, so that it is flat. Compared to a large surface, the likelihood that a conductive bonding material such as solder that is bonded to it will collect in the center and make the center too thick is reduced. Also, only the surface of the central conductor is divided and the area of the entire central conductor is not reduced. Therefore, it becomes a small-sized circuit board excellent in bonding strength and connection reliability with an external wiring board or the like.

本開示の1つの態様の電子部品によれば、上記構成の回路基板を含んでいることから、外部の配線基板に対する接続信頼性および小型化の点で有利な電子部品を提供することができる。 According to an electronic component of one aspect of the present disclosure, since it includes the circuit board having the configuration described above, it is possible to provide an electronic component that is advantageous in terms of connection reliability to an external wiring board and miniaturization.

本開示の1つの態様の電子モジュールによれば、上記構成の回路基板を含む電子部品とモジュール用の配線基板とを備えていることから、電子部品と配線基板との接続信頼性が効果的に向上した小型の電子モジュールを提供することができる。 According to the electronic module of one aspect of the present disclosure, since it includes the electronic component including the circuit board having the configuration described above and the wiring board for the module, the connection reliability between the electronic component and the wiring board is effectively improved. An improved and compact electronic module can be provided.

回路基板の一例の外観を示し、(a)は第2面(上面)側からの斜視図であり、(b)は第1面(下面)側からの斜視図である。1 shows the appearance of an example of a circuit board, (a) is a perspective view from the second surface (upper surface) side, and (b) is a perspective view from the first surface (lower surface) side. (a)は図1に示す回路基板の第2面(上面)側からの平面図であり、(b)は(a)のB-B線における断面図であり、(c)は第1面(下面)側からの平面図である。(a) is a plan view from the second surface (upper surface) side of the circuit board shown in FIG. 1, (b) is a cross-sectional view along line BB of (a), and (c) is the first surface. It is a top view from the (lower surface) side. 回路基板の他の一例の外観を示し、(a)は第2面(上面)側からの斜視図であり、(b)は第1面(下面)側からの斜視図である。Fig. 3 shows the appearance of another example of a circuit board, where (a) is a perspective view from the second surface (upper surface) side, and (b) is a perspective view from the first surface (lower surface) side. (a)は図3に示す回路基板の第2面(上面)側からの平面図であり、(b)は(a)のB-B線における断面図であり、(c)は第1面(下面)側からの平面図である。(a) is a plan view from the second surface (upper surface) side of the circuit board shown in FIG. 3, (b) is a cross-sectional view along line BB of (a), and (c) is the first surface. It is a top view from the (lower surface) side. 回路基板の他の一例の外観を示し、(a)は第2面(上面)側からの斜視図であり、(b)は第1面(下面)側からの斜視図である。Fig. 3 shows the appearance of another example of a circuit board, where (a) is a perspective view from the second surface (upper surface) side, and (b) is a perspective view from the first surface (lower surface) side. (a)は図5に示す回路基板の第2面(上面)側からの平面図であり、(b)は(a)のB-B線における断面図であり、(c)は第1面(下面)側からの平面図である。(a) is a plan view from the second surface (upper surface) side of the circuit board shown in FIG. 5, (b) is a cross-sectional view along line BB of (a), and (c) is the first surface. It is a top view from the (lower surface) side. (a)および(b)はいずれも他の回路基板の一例を示す、第1面(下面)側からの平面図である。(a) and (b) are both plan views from the first surface (lower surface) side, showing an example of another circuit board. (a)および(b)はいずれも他の回路基板の一例を示す、第1面(下面)側からの平面図である。(a) and (b) are both plan views from the first surface (lower surface) side, showing an example of another circuit board. (a)および(b)はいずれも他の回路基板の一例を示す、第1面(下面)側からの平面図である。(a) and (b) are both plan views from the first surface (lower surface) side, showing an example of another circuit board. (a)は図4(b)のA部を拡大して示す要部断面図であり、(b)および(c)は他の回路基板の要部断面図である。(a) is a fragmentary sectional view showing an enlarged portion A of FIG. 4(b), and (b) and (c) are fragmentary sectional views of other circuit boards. (a)~(c)はいずれも他の回路基板の要部断面図である。(a) to (c) are all cross-sectional views of other circuit boards. (a)は回路基板、電子部品および電子モジュールの一例を示す斜視図であり、(b)は(a)のB-B線における断面図である。(a) is a perspective view showing an example of a circuit board, an electronic component, and an electronic module, and (b) is a sectional view taken along line BB of (a).

本開示の実施形態の回路基板、電子部品および電子モジュールを、添付の図面を参照して説明する。図1は回路基板の一例の外観を示し、図1(a)は第2面(上面)側からの斜視図であり、図1(b)は第1面(下面)側からの斜視図である。図2(a)は図1に示す回路基板の第2面(上面)側からの平面図であり、図2(b)は図2(a)のB-B線における断面図であり、図2(c)は第1面(下面)側からの平面図である。図3は回路基板の他の一例の外観を示し、図3(a)は第2面(上面)側からの斜視図であり、図3(b)は第1面(下面)側からの斜視図である。図4(a)は図3に示す回路基板の第2面(上面)側からの平面図であり、図4(b)は図4(a)のB-B線における断面図であり、図4(c)は第1面(下面)側からの平面図である。図5は回路基板の他の一例の外観を示し、図5(a)は第2面(上面)側からの斜視図であり、図5(b)は第1面(下面)側からの斜視図である。図6(a)は図5に示す回路基板の第2面(上面)側からの平面図であり、図6(b)は図6(a)のB-B線における断面図であり、図6(c)は第1面(下面)側からの平面図である。図7(a)および図7(b)はいずれも他の回路基板の一例を示す、第1面(下面)側からの平面図である。図8(a)および図8(b)はいずれも他の回路基板の一例を示す、第1面(下面)側からの平面図である。図9(a)および図9(b)はいずれも他の回路基板の一例を示す、第1面(下面)側からの平面図である。図10(a)は図4(b)のA部を拡大して示す要部断面図であり、図10(b)および図10(c)は他の回路基板の要部断面図である。図11(a)、図11(b)および図11(c)はいずれも他の回路基板の要部断面図である。図12(a)は回路基板、電子部品および電子モジュールの一例を示す斜視図であり、図12(b)は図12(a)のB-B線における断面図である。なお、図12は電子モジュールの一部(電子部品が搭載されている部分)を切り出して示している。また、図1~図9の平面図および斜視図においては、他と区別しやすいように中央導体および端子電極等の回路導体にはドット状の網掛けを施している。また、図8(a)においては、凹凸が区別しやすいように凹部と凸部とで異なる網掛けを施している。なお、以下の説明における上下の区別は便宜的なものであり、実際に回路基板および電子部品等が使用されるときの上下を限定するものではない。 A circuit board, an electronic component, and an electronic module according to embodiments of the present disclosure will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 shows the appearance of an example of a circuit board, FIG. 1(a) is a perspective view from the second surface (upper surface) side, and FIG. 1(b) is a perspective view from the first surface (lower surface) side. be. 2(a) is a plan view from the second surface (upper surface) side of the circuit board shown in FIG. 1, and FIG. 2(b) is a cross-sectional view taken along line BB of FIG. 2(c) is a plan view from the first surface (lower surface) side. 3 shows the appearance of another example of the circuit board, FIG. 3(a) is a perspective view from the second surface (upper surface) side, and FIG. 3(b) is a perspective view from the first surface (lower surface) side. It is a diagram. 4(a) is a plan view from the second surface (upper surface) side of the circuit board shown in FIG. 3, and FIG. 4(b) is a sectional view taken along line BB of FIG. 4(c) is a plan view from the first surface (lower surface) side. 5 shows the appearance of another example of the circuit board, FIG. 5(a) is a perspective view from the second surface (upper surface) side, and FIG. 5(b) is a perspective view from the first surface (lower surface) side. It is a diagram. 6A is a plan view from the second surface (upper surface) side of the circuit board shown in FIG. 5, and FIG. 6(c) is a plan view from the first surface (lower surface) side. 7A and 7B are plan views from the first surface (lower surface) side showing an example of another circuit board. 8(a) and 8(b) are plan views from the first surface (lower surface) side showing an example of another circuit board. 9(a) and 9(b) are both plan views from the first surface (lower surface) side, showing an example of another circuit board. FIG. 10(a) is a fragmentary cross-sectional view showing an enlarged portion A of FIG. 4(b), and FIGS. 10(b) and 10(c) are fragmentary sectional views of other circuit boards. FIGS. 11(a), 11(b) and 11(c) are cross-sectional views of essential parts of other circuit boards. FIG. 12(a) is a perspective view showing an example of a circuit board, an electronic component, and an electronic module, and FIG. 12(b) is a sectional view taken along line BB of FIG. 12(a). In addition, FIG. 12 cuts out and shows a part of the electronic module (the part where electronic parts are mounted). In the plan views and perspective views of FIGS. 1 to 9, circuit conductors such as central conductors and terminal electrodes are hatched in dots so that they can be easily distinguished from others. In addition, in FIG. 8A, concave portions and convex portions are shaded differently so that the unevenness can be easily distinguished. Note that the distinction between upper and lower sides in the following description is for the sake of convenience, and does not limit the upper and lower sides when the circuit board, the electronic component, etc. are actually used.

回路基板100は、図1~図9に示す例のように、第1面11および第1面11の反対に位置する第2面12を有し、第1面11の平面視の形状が方形状である絶縁基板1と、絶縁基板1の第1面11における外縁領域11oに位置する複数の端子電極21を含む回路導体2と、第1面11の外縁領域11oの内側の中央領域11cに位置する1つの中央導体3と、を備えており、中央導体3の表面が複数の凹凸による格子状である。 As in the examples shown in FIGS. 1 to 9, the circuit board 100 has a first surface 11 and a second surface 12 opposite to the first surface 11, and the shape of the first surface 11 in plan view is symmetrical. a circuit conductor 2 including a plurality of terminal electrodes 21 positioned in an outer edge region 11o of the first surface 11 of the insulating substrate 1; , and the surface of the central conductor 3 has a lattice shape with a plurality of irregularities.

本開示の回路基板100によれば、中央導体3は、表面が複数の凹凸(凸部31および凹部32)による格子状であることから、中央導体3の表面が、幅が小さく面積の小さい複数の領域に分割される。これにより、中央導体3の表面が、平坦で大きい場合と比較すると、これに接合されるはんだ等の導電性接合材310が中央に集まって中央導体3と外部の配線基板400との間の導電性接合材310の体積(厚み)が大きくなり過ぎる可能性が低減される。そのため、端子電極21に接合される導電性接合材310が細くなって接続不良あるいは接続信頼性低下が発生してしまう可能性が低減される。また、中央導体3全体の面積は減少しないので、外部の配線基板400等との接合強度が低下することがない。よって、外部の配線基板400等との接合強度および接続信頼性に優れた小型の回路基板100となる。 According to the circuit board 100 of the present disclosure, the surface of the central conductor 3 has a lattice shape with a plurality of unevennesses (the convex portions 31 and the concave portions 32). is divided into areas of Accordingly, compared to the case where the surface of the central conductor 3 is flat and large, the conductive bonding material 310 such as solder to be bonded to the central conductor 3 gathers at the center, thereby providing a conductive connection between the central conductor 3 and the external wiring board 400 . This reduces the possibility that the volume (thickness) of the adhesive material 310 becomes too large. Therefore, the possibility that the conductive bonding material 310 to be bonded to the terminal electrode 21 is thinned to cause poor connection or deterioration in connection reliability is reduced. Moreover, since the area of the entire central conductor 3 does not decrease, the bonding strength with the external wiring board 400 or the like does not decrease. Therefore, the compact circuit board 100 is excellent in bonding strength and connection reliability with the external wiring board 400 and the like.

絶縁基板1は、回路基板100の基本的な部分であり、複数の端子電極21等の回路導体2を互いに電気的に絶縁させて配置するための電気絶縁体として機能する。また、絶縁基板1は、例えば、電子素子200を搭載して固定するための基体として機能する部分である。方形状とは、厳密な方形でなくてもよく、図1~図9に示す例のように方形の辺部や角部に切欠きを有するもの、あるいは方形の角部が丸められているもの等を含む。また
、図1~図9に示す例では正方形状であるが、長方形状であってもよい。絶縁基板1は、例えば、図2、図4、図6および図10~図12に示す例のように、複数の絶縁層1aが積層されたものとすることができる。
The insulating substrate 1 is a basic part of the circuit board 100 and functions as an electrical insulator for arranging the circuit conductors 2 such as the terminal electrodes 21 electrically insulated from each other. Also, the insulating substrate 1 is a portion that functions as a base for mounting and fixing the electronic element 200, for example. The square shape does not have to be a strict square, but a square with notches in the sides and corners as in the examples shown in FIGS. 1 to 9, or a square with rounded corners. etc. Further, although the examples shown in FIGS. 1 to 9 are square, they may be rectangular. The insulating substrate 1 may be formed by laminating a plurality of insulating layers 1a, as in the examples shown in FIGS. 2, 4, 6 and 10 to 12, for example.

絶縁基板1の第1面11における外縁領域11oは、例えば図1(b)および図2(c)等に示す二点鎖線より外側の領域である。この外縁領域11oの内側の第1面11における中央に位置するのが中央領域11cである。第1面11の外縁領域11oは、第1面11の外辺に沿った領域であり、第1面11の外辺から内側へ第1面11の1辺の長さの8%~15%程度の幅の部分である。よって、中央領域11cは、第1面11の中央に位置する、第1面11の1辺の長さの85%~92%程度の長さの辺を有する方形状の部分である。例えば、絶縁基板1の平面視の形状が正方形状であれば中央領域11cの形状も正方形状であり、絶縁基板1の平面視の形状が長方形状であれば中央領域11cの形状も長方形状である。 The outer edge region 11o on the first surface 11 of the insulating substrate 1 is a region outside the chain double-dashed line shown in FIGS. 1(b) and 2(c), for example. A central region 11c is located in the center of the first surface 11 inside the outer edge region 11o. The outer edge region 11o of the first surface 11 is a region along the outer edge of the first surface 11, and is 8% to 15% of the length of one side of the first surface 11 inward from the outer edge of the first surface 11. It is a part of the width of about. Therefore, the central region 11c is a rectangular portion located in the center of the first surface 11 and having a side length of about 85% to 92% of the length of one side of the first surface 11. FIG. For example, if the insulating substrate 1 has a square shape in plan view, the central region 11c also has a square shape, and if the insulating substrate 1 has a rectangular plan view shape, the central region 11c also has a rectangular shape. be.

絶縁基板1の下面11、すなわち回路基板100としての第1面11には、複数の端子電極21が設けられている。複数の端子電極21は、例えば図1~図9に示す例のように、第1面11における外縁領域11oに絶縁基板1の第1面11の外辺に沿って配列されている。端子電極21の形状は、図1~図9に示す例では、外辺から内側に伸びる長方形状である。第1面(下面)側からの各平面図では、中央領域11cと外縁領域11oとの境界、中央領域11cの外縁を示す二点鎖線は、端子電極21の内端を結んでおり、中央領域11cの形状は方形状である。 A plurality of terminal electrodes 21 are provided on the lower surface 11 of the insulating substrate 1 , that is, the first surface 11 as the circuit board 100 . The plurality of terminal electrodes 21 are arranged along the outer edge of the first surface 11 of the insulating substrate 1 in the outer edge region 11o of the first surface 11, as in the examples shown in FIGS. 1 to 9, for example. In the examples shown in FIGS. 1 to 9, the shape of the terminal electrode 21 is a rectangular shape extending inward from the outer edge. In each plan view from the first surface (lower surface) side, the boundary between the central region 11c and the outer edge region 11o and the two-dot chain line indicating the outer edge of the central region 11c connect the inner ends of the terminal electrodes 21, and the central region The shape of 11c is square.

中央領域11cに中央導体3が1つ設けられている。中央導体3の外形は中央領域11cの形状に沿った形状であり、外縁領域11oの端子電極21と短絡しないように中央領域11cより一回り小さい。よって、中央導体3の形状もまた方形状である。 One central conductor 3 is provided in the central region 11c. The outer shape of the central conductor 3 follows the shape of the central region 11c and is slightly smaller than the central region 11c so as not to short-circuit with the terminal electrode 21 in the outer edge region 11o. Therefore, the shape of the central conductor 3 is also rectangular.

中央導体3は、回路導体2の一部として機能するものであってもよいし、回路導体2として機能しないものであってもよい。例えば、中央導体3を回路導体2の一部として機能する接地導体とすることができる。中央導体3が接地導体であり、図4および図6に示す例のように、中央導体3と回路導体2(内部導体23)とが電気的に接続されている回路基板100とすることができる。接合される導電性接合材310の厚みを小さくするために中央導体3に凸部31や凹部32を設けて(表面が凹凸による格子状であって)も、中央導体3は分割されないので接地導体の面積を大きいものとすることができる。これにより、安定した接地電位を得ることが可能となり、安定した高周波信号の処理ができる回路基板100となる。 The central conductor 3 may function as part of the circuit conductor 2 or may not function as the circuit conductor 2 . For example, center conductor 3 may be a ground conductor that functions as part of circuit conductor 2 . A circuit board 100 in which the central conductor 3 is a ground conductor and the central conductor 3 and the circuit conductor 2 (inner conductor 23) are electrically connected as in the examples shown in FIGS. 4 and 6 can be used. . Even if the center conductor 3 is provided with protrusions 31 and recesses 32 in order to reduce the thickness of the conductive bonding material 310 to be joined (even if the surface is in a grid pattern due to unevenness), the center conductor 3 is not divided, so the ground conductor is not divided. can be made large. As a result, a stable ground potential can be obtained, and the circuit board 100 can process stable high-frequency signals.

中央導体3が回路導体2として機能しないものである場合は、回路導体2および外部の配線基板400の回路とは電気的に接続されず、例えば、上述した接合強度および接続信頼性の補強用として、あるいは電子素子200で発生する熱を外部へ放熱するための放熱用として機能する。中央導体3が回路導体2の一部として機能する場合も補強用および放熱用としても機能する。中央導体3を補強用として見た場合には、表面の凹凸により導電性接合材310との接合面積が大きくなるので平坦である場合に比較して接合強度が大きくなる。また、中央導体3を放熱用として見た場合には、表面が凹凸による格子状であっても中央導体3全体の平面視の面積は減少しないので、回路基板100から外部の配線基板400への伝熱経路が減少することがない。よって、外部の配線基板400等との接合強度、接続信頼性および放熱性に優れた小型の回路基板100となる。また、この場合には、中央導体3と接続される内部導体23(貫通導体)が多いと、中央導体3への伝熱性および中央導体3の絶縁基板1との接合強度がより向上する。 When the central conductor 3 does not function as the circuit conductor 2, it is not electrically connected to the circuit conductor 2 and the circuit of the external wiring board 400, for example, for reinforcing the above-described bonding strength and connection reliability. Alternatively, it functions as a heat radiating device for radiating heat generated by the electronic element 200 to the outside. Even when the central conductor 3 functions as part of the circuit conductor 2, it also functions for reinforcement and heat dissipation. When the central conductor 3 is used for reinforcement, the joint area with the conductive joint material 310 becomes large due to the irregularities on the surface. Further, when the central conductor 3 is used for heat dissipation, even if the surface is in a grid pattern due to unevenness, the overall area of the central conductor 3 in plan view does not decrease. Heat transfer paths are not reduced. Therefore, the compact circuit board 100 is excellent in bonding strength, connection reliability, and heat dissipation to the external wiring board 400 and the like. Also, in this case, if the number of internal conductors 23 (penetrating conductors) connected to the central conductor 3 is large, the heat transfer to the central conductor 3 and the bonding strength between the central conductor 3 and the insulating substrate 1 are further improved.

中央導体3の表面が複数の凹凸による格子状であるとは、中央導体3の表面が平たんで
はなく凹凸を有しており、この凹凸により平面視で格子模様が形成されているということである。例えば、図1および図2に示す例では、平面視の形状が正方形の凹部32が3×3のマトリックス状に配列され、凹部32の間の凸部31が格子形状で凹部32が窓部の格子模様になっている。図3および図4に示す例では、平面視の形状が正方形の凸部31が2×2のマトリックス状に配列され、凸部31の間の凹部32が格子形状で凸部31が窓部の格子模様になっている。図1および図2に示す例ならびに図3および図4に示す例における凸部31と凹部32とは逆になっていてもよい。例えば、平面視の形状が正方形の凸部31が3×3のマトリックス状に配列されていてもよいし、平面視の形状が正方形の凸部31が2×2のマトリックス状に配列さていてもよい。そのため、図7~図9に示す例においては、中央導体3の同じ部位に31(32)あるいは32(31)という符号をつけて、凸部31または凹部32のいずれかであることを示している。
The fact that the surface of the central conductor 3 has a lattice shape with a plurality of irregularities means that the surface of the central conductor 3 is not flat but has irregularities, and the irregularities form a lattice pattern in plan view. be. For example, in the example shown in FIGS. 1 and 2, concave portions 32 having a square shape in plan view are arranged in a matrix of 3×3, convex portions 31 between the concave portions 32 are lattice-shaped, and concave portions 32 are window portions. It has a grid pattern. In the example shown in FIGS. 3 and 4, convex portions 31 having a square shape in plan view are arranged in a matrix of 2×2, concave portions 32 between the convex portions 31 are lattice-shaped, and the convex portions 31 are window portions. It has a grid pattern. The protrusions 31 and recesses 32 in the examples shown in FIGS. 1 and 2 and the examples shown in FIGS. 3 and 4 may be reversed. For example, the convex portions 31 having a square shape in plan view may be arranged in a 3×3 matrix, or the convex portions 31 having a square shape in plan view may be arranged in a 2×2 matrix. good too. Therefore, in the examples shown in FIGS. 7 to 9, the same portion of the central conductor 3 is labeled 31 (32) or 32 (31) to indicate that it is either the convex portion 31 or the concave portion 32. there is

中央導体3の表面が複数の凹凸による格子状であるとは、数学的な平面格子における格子点に凸部31または凹部32が配置されているということもできる。図1および図2に示す例または図3および図4に示す例は、正方格子の格子点に凹部32または凸部31が配置されている。これに対して、図5および図6に示す例ならびに図7(a)に示す例では、斜方格子の格子点に凹部32が配置され、図7(b)に示す例では六角格子の格子点に凸部31または凹部32が配置されている。平面視で凸部31または凹部32が島状に配置されているということもできる。 It can also be said that the surface of the central conductor 3 has a lattice shape with a plurality of irregularities, and that the convex portions 31 or the concave portions 32 are arranged at lattice points in a mathematical planar lattice. In the examples shown in FIGS. 1 and 2 or the examples shown in FIGS. 3 and 4, concave portions 32 or convex portions 31 are arranged at lattice points of a square lattice. On the other hand, in the example shown in FIGS. 5 and 6 and in the example shown in FIG. 7A, the concave portions 32 are arranged at the lattice points of the orthorhombic lattice, and in the example shown in FIG. A convex portion 31 or a concave portion 32 is arranged at the point. It can also be said that the convex portions 31 or the concave portions 32 are arranged in an island shape in plan view.

図8(a)に示す例の中央導体3においては、凸部31および凹部32はいずれも平面視形状が同じ大きさの正方形であり、上述した格子と窓部を有する格子模様ではなく、全体としての格子模様は市松格子である。また、図8(b)に示す例の中央導体3は、4×4のマトリックス状に配列された、小さい正方形の凸部31(または凹部32)のうち、中央部の4つが一体化して大きい正方形の凸部31(または凹部32)となったものである。このように、大きさの異なる凸部31(または凹部32)を配列したものも格子模様である。 In the central conductor 3 of the example shown in FIG. 8( a ), both the convex portion 31 and the concave portion 32 are squares having the same size in plan view, and are not the lattice pattern having the above-described lattice and window portions, but the overall shape. The lattice pattern as is a checkered lattice. In the central conductor 3 of the example shown in FIG. 8(b), of the small square protrusions 31 (or recesses 32) arranged in a 4×4 matrix, the central four are integrated into a large one. It is a square convex portion 31 (or concave portion 32). In this way, an array of convex portions 31 (or concave portions 32) of different sizes is also a lattice pattern.

図1および図2に示す例、図3および図4に示す例、ならびに図8に示す例の中央導体3は、正方形の凸部31または凹部32が配列されて格子模様となっている。図5および図6に示す例の中央導体3は、角が丸められた正方形(正方形状)の凹部32が配列されて格子模様となっている。図7(a)に示す例の中央導体3は円形の凸部31(または凹部32)が配列されて格子模様となっている。図7(b)に示す例の中央導体3は正六角形の凸部31(または凹部32)が主として配列され、外縁部には正六角形の半分の台形と二等辺三角形が配列されて六角格子の格子模様となっている。図9(a)に示す例の中央導体3は、長方形の凸部31(または凹部32)が配列されて格子模様となっている。図9(b)に示す例の中央導体3は、中央部に4つの正方形の凸部31(または凹部32)が配列され、外周部に長方形の凸部31(または凹部32)が配列されて格子模様となっている。このように、格子模様の窓部(格子点に配置される凸部31または凹部32)の形状は特に限定されるものではなく、複数の窓部(格子点に配置される凸部31または凹部32)の形状および大きさは同一のものでなくてもよい。 1 and 2, the example shown in FIGS. 3 and 4, and the example shown in FIG. 8, the central conductor 3 has a lattice pattern in which square protrusions 31 or recesses 32 are arranged. The central conductor 3 of the example shown in FIGS. 5 and 6 has a lattice pattern in which square (square-shaped) concave portions 32 with rounded corners are arranged. The central conductor 3 in the example shown in FIG. 7A has a lattice pattern in which circular protrusions 31 (or recesses 32) are arranged. The center conductor 3 in the example shown in FIG. 7(b) has regular hexagonal convex portions 31 (or concave portions 32) arranged mainly, and half trapezoids and isosceles triangles of regular hexagons are arranged on the outer edge to form a hexagonal lattice. It has a grid pattern. The center conductor 3 in the example shown in FIG. 9A has a lattice pattern in which rectangular protrusions 31 (or recesses 32) are arranged. The central conductor 3 of the example shown in FIG. 9(b) has four square protrusions 31 (or recesses 32) arranged in the center and rectangular protrusions 31 (or recesses 32) arranged in the outer periphery. It has a grid pattern. In this way, the shape of the windows of the lattice pattern (the convex portions 31 or the concave portions 32 arranged at the lattice points) is not particularly limited, and a plurality of windows (the convex portions 31 or the concave portions arranged at the lattice points) are not particularly limited. 32) may not be identical in shape and size.

ここまで、凸部31が配列されてそれ以外の部分が凹部32である、あるいは凹部32が配列されてそれ以外の部分が凸部31であるものとして説明したが、凸部31と凹部32の両方を有するものであってもよい。例えば、図8(b)の中央導体3において、外縁部の小さい正方形の部分は凸部31で、中央部の大きい正方形の部分は凹部32であってもよい。 Up to this point, it has been explained that the protrusions 31 are arranged and the rest is the recesses 32, or that the recesses 32 are arranged and the rest is the protrusions 31, but the projections 31 and the recesses 32 It may have both. For example, in the central conductor 3 of FIG. 8B, the small square portion of the outer edge may be the convex portion 31 and the large square portion of the central portion may be the concave portion 32 .

中央導体3の表面の格子状にするための凸部31の高さまたは凹部32深さは、中央導体3の全体の厚みの1/3~1/2程度とすることができる。また、中央導体3の全体の
厚み、すなわち凸部31の先端までの厚みは、他の回路導体2と同程度でせいぜい1~3倍程度の厚みである。格子状にするために中央導体3を厚くし過ぎると回路基板100の低背化およびコストの観点で不利であるためである。
The height of the protrusions 31 or the depth of the recesses 32 for making the surface of the central conductor 3 have a lattice shape can be set to about 1/3 to 1/2 of the overall thickness of the central conductor 3 . Further, the thickness of the entire central conductor 3, ie, the thickness up to the tip of the projection 31, is about the same as the thickness of the other circuit conductors 2 and at most about 1 to 3 times the thickness. This is because if the central conductor 3 is made too thick to form a lattice, it is disadvantageous from the standpoint of reducing the height of the circuit board 100 and cost.

このように、中央導体3の表面は複数の凹凸(凸部31および凹部32)による格子状である。例えば、中央導体3の中央部に小さい凹部32が1つある場合には、凹部32の深さが小さく、枠状の周辺部が大きく全体にはんだ等の導電性接合材310がつくと、表面が平坦である場合との差は小さい。中央導体3の中央部に大きい凹部32が1つある場合には、凹部32の底面が大きいので、底面の中央に導電性接合材310が集中し、全体としては平坦である場合との差は小さい。また、中央導体3の中央部に凸部31が1つある場合には、凸部31の中央部すなわち中央導体3の中央部に導電性接合材310が集中するので、平坦である場合と同じである。中央導体3の表面が凹凸による格子状であると、1つの凸部31の端面は小さく、複数の凸部31,31間に凹部32があり、その部分では導電性接合材310の厚みが小さくなるので、中央導体3の全体としては中央部に導電性接合材310が集中して厚くなり難い。 In this manner, the surface of the central conductor 3 is in a grid pattern with a plurality of unevennesses (projections 31 and recesses 32). For example, if there is one small concave portion 32 in the central portion of the central conductor 3, the depth of the concave portion 32 is small and the frame-like peripheral portion is large. The difference from when is flat is small. When there is one large concave portion 32 in the central portion of the central conductor 3, the bottom surface of the concave portion 32 is large, so the conductive bonding material 310 is concentrated in the center of the bottom surface, and the overall flatness is different from the case where the bottom surface is flat. small. Also, when there is one protrusion 31 in the central portion of the central conductor 3, the conductive bonding material 310 concentrates in the central portion of the convex portion 31, that is, in the central portion of the central conductor 3. is. When the surface of the central conductor 3 is in a lattice shape with unevenness, the end face of one protrusion 31 is small, and there are recesses 32 between the protrusions 31, 31, and the thickness of the conductive bonding material 310 is small at that portion. Therefore, it is difficult for the conductive bonding material 310 to be concentrated in the central portion of the central conductor 3 as a whole and to become thick.

中央導体3の表面が格子状となるために、図3および図4に示す例の2×2のように、凸部31または凹部32は異なる方向に2つ以上配列されている。1方向に1つであると、その方向における中央導体3の表面の長さが全体の長さに対して小さくならず、上記した効果が十分に得られない場合があるからである。また、凸部31(または凹部32)が小さすぎると凸部31以外の部分(凹部32)が大きくなりすぎるため、同様に上記した効果が十分に得られない場合がある。そのため、格子点に配列されている凸部31(または凹部32)は、例えば、中央導体3の1辺の長さの20%~40%の長さの辺を有する方形状、あるいは中央導体3の1辺の長さの20%~40%の径の円形などとすることができる。 Since the surface of the central conductor 3 is grid-like, two or more protrusions 31 or recesses 32 are arranged in different directions, such as 2×2 in the examples shown in FIGS. 3 and 4 . This is because if there is one in one direction, the length of the surface of the central conductor 3 in that direction does not become smaller than the overall length, and the above effects may not be obtained sufficiently. Also, if the convex portion 31 (or the concave portion 32) is too small, the portion (the concave portion 32) other than the convex portion 31 becomes too large, and thus the above effect may not be obtained sufficiently. Therefore, the convex portions 31 (or concave portions 32) arranged at the lattice points are, for example, rectangular having a side length of 20% to 40% of the length of one side of the central conductor 3, or It may be circular with a diameter of 20% to 40% of the length of one side of the .

中央導体3は、例えば図5および図6に示す例のように、中央に凹部32を有している回路基板100とすることができる。導電性接合材310が厚くなりやすい中央部に凹部32があると、中央導体3の中央部に導電性接合材310が集まったとしても、導電性接合材310が凹部32に入り込むため、回路基板100と回路基板100が接合される配線基板400との間の距離が大きくなることがより効果的に抑えられる。この場合の中央部は、中央導体3の平面視における中央部であり、中央導体3を外辺に沿った方向に3×3の9つの領域に等分した場合の中央に位置する領域のことである。図8(b)に示す例では、中央部には1つの凹部32が位置しており、この凹部32が大きく、中央部の全域が凹部32内に位置している。これに対して、図8(a)に示す例では、中央部の中心に1つの凹部32があり、中央部の4つの角部にはそれぞれ凹部32の一部が位置している。また、図9(b)に示す例のように、中央部の4つの角部にそれぞれ凹部32を配置することもできる。このように、中央導体3の中央部の50%以上を凹部32が占めているとよく、中央部の中心に凹部32があるとより効果的である。 The central conductor 3 can be a circuit board 100 having a central recess 32, for example as shown in FIGS. If there is a recess 32 in the center where the conductive bonding material 310 tends to be thick, even if the conductive bonding material 310 gathers in the center of the central conductor 3, the conductive bonding material 310 will enter the recess 32. An increase in the distance between 100 and wiring board 400 to which circuit board 100 is bonded is more effectively suppressed. The central portion in this case is the central portion of the central conductor 3 in plan view, and is the area located in the center when the central conductor 3 is equally divided into nine areas of 3×3 in the direction along the outer edge. is. In the example shown in FIG. 8(b), one recess 32 is located in the central portion, the recess 32 is large, and the entire central portion is located within the recess 32. In the example shown in FIG. On the other hand, in the example shown in FIG. 8A, there is one recessed portion 32 at the center of the central portion, and a part of the recessed portion 32 is positioned at each of the four corners of the central portion. Also, as in the example shown in FIG. 9B, recesses 32 can be arranged at the four corners of the central portion. In this manner, the recess 32 preferably occupies 50% or more of the central portion of the central conductor 3, and it is more effective to have the recess 32 at the center of the central portion.

上述したように、中央導体3の表面は、平面視で凸部31または凹部32が島状に配置されて格子状になっている。凹部32が島状に配置されている場合に比較して、凸部31が島状に配置されている場合の方が、回路基板100を配線基板400に接合する際に、導電性接合材310に空隙等が発生し難く、回路基板100と配線基板400との間の接合強度および回路基板100から配線基板400への熱伝導性に関してよりよいものとなる。回路基板100と配線基板400とを接合する際に、例えば、はんだペーストを用いた場合に、凸部31が島状に配置されている場合には、はんだペースト中の有機成分が加熱によってガス状になったものが外部へ抜けやすいためである。導電性接合材310が導電性接着剤である場合には、塗布する際に空気を巻き込みがたく、また空気が抜けやすいからである。 As described above, the surface of the central conductor 3 has a lattice shape in which the protrusions 31 or the recesses 32 are arranged like islands in plan view. When the convex portions 31 are arranged in an island shape, the conductive bonding material 310 is more effective when joining the circuit board 100 to the wiring board 400 than in the case where the concave portions 32 are arranged in an island shape. Therefore, the bonding strength between the circuit board 100 and the wiring board 400 and the thermal conductivity from the circuit board 100 to the wiring board 400 are improved. When the circuit board 100 and the wiring board 400 are joined together, for example, when solder paste is used and the protrusions 31 are arranged like islands, the organic component in the solder paste becomes gaseous by heating. This is because it is easy to escape to the outside. This is because when the conductive bonding material 310 is a conductive adhesive, it is difficult for air to be involved in the application, and the air is easily released.

図10(a)に示す例においては、端子電極21の厚みTtは中央導体3の厚みTcより小さい。この場合でも、端子電極21に接合される導電性接合材310が細くなって接続不良あるいは接続信頼性低下が発生してしまう可能性が低減される。これに対して、図10(b)、図10(c)および図11(a)に示す例においては、端子電極21の厚みTtは中央導体3の厚みTcと同じである。また、図11(b)および図11(c)に示す例においては、端子電極21の厚みTtは中央導体3の厚みTcとより大きい。このように、端子電極21の厚みTtが、中央導体3の厚みTc以上である回路基板100とすることができる。ここで、中央導体3の厚みTcは、最も厚い部分での厚みであり凸部31での厚みであり、中央導体3の厚みTc以上であるとは、厳密に中央導体3の厚みTcと同じかそれ以上ということではなく、中央導体3の厚みTcの90%以上であればよいということである。端子電極21の厚みTtが中央導体3の厚みTcと同程度である場合には、中央導体3に接合される導電性接合材310の厚みは、中央導体3の凹部32に入り込む分だけ小さくなる。さらに、端子電極21の厚みTtが中央導体3の厚みTcよりも大きいと、端子電極21と配線基板400との間隔が中央導体3と配線基板400との間隔よりも小さくなり、端子電極21に接合される導電性接合材310がより細り難くなる。 In the example shown in FIG. 10( a ), the thickness Tt of the terminal electrode 21 is smaller than the thickness Tc of the central conductor 3 . Even in this case, the possibility that the conductive bonding material 310 that is bonded to the terminal electrode 21 will become thin and cause a connection failure or a decrease in connection reliability will be reduced. On the other hand, in the examples shown in FIGS. 10(b), 10(c) and 11(a), the thickness Tt of the terminal electrode 21 is the same as the thickness Tc of the central conductor 3 . 11(b) and 11(c), the thickness Tt of the terminal electrode 21 is greater than the thickness Tc of the central conductor 3. As shown in FIG. Thus, the circuit board 100 in which the thickness Tt of the terminal electrode 21 is equal to or greater than the thickness Tc of the central conductor 3 can be obtained. Here, the thickness Tc of the central conductor 3 is the thickness at the thickest portion and the thickness at the convex portion 31, and being equal to or greater than the thickness Tc of the central conductor 3 is strictly the same as the thickness Tc of the central conductor 3. However, the thickness Tc of the central conductor 3 may be 90% or more of the thickness Tc. When the thickness Tt of the terminal electrode 21 is approximately the same as the thickness Tc of the central conductor 3 , the thickness of the conductive bonding material 310 that is bonded to the central conductor 3 is reduced by the amount that enters the recess 32 of the central conductor 3 . . Furthermore, when the thickness Tt of the terminal electrode 21 is larger than the thickness Tc of the central conductor 3, the distance between the terminal electrode 21 and the wiring substrate 400 becomes smaller than the distance between the central conductor 3 and the wiring substrate 400, and the terminal electrode 21 The conductive bonding material 310 to be bonded becomes more difficult to thin.

図10に示す例の端子電極21の表面は平坦であるのに対して、図11に示す例のように、端子電極21が、表面に凸状部21aを有している回路基板100とすることができる。このような場合には、端子電極21と導電性接合材310との接合面積が増えるので、端子電極21と配線基板400との接合強度、接合信頼性が向上する。端子電極21の表面に凹部がある場合でも接合面積は増えるが、端子電極21は小さく、そこに形成せれる凹部はさらに小さいものであるので、導電性接合材310が凹部に入り難く、導電性接合材310中にボイド発生する可能性が高まり、接合強度が低下する可能性がある。凸状部21aは、図8(c)および図11(a)に示す例のように、端子電極21の表面の中央部に凸部(凸状部21a)を有する、言い換えれば表面の一部が突出した形状とすることができる。この例は凸状部21aが1つであるのに対して、図9(a)および図11(b)に示す例のように、凸状部21aを複数有するものとすることもできる。あるいは、図9(b)および図11(c)に示す例のように、端子電極21の表面全体が凸曲面となるような、表面全体が先細りになる凸状部21aであってもよい。上述したように、端子電極21の表面には凹部がない方がよいので、凸状部21aの端面にも凹部がない方がよい。 The surface of the terminal electrode 21 in the example shown in FIG. 10 is flat, whereas the terminal electrode 21 has a convex portion 21a on the surface as in the example shown in FIG. be able to. In such a case, since the bonding area between the terminal electrode 21 and the conductive bonding material 310 is increased, the bonding strength and bonding reliability between the terminal electrode 21 and the wiring board 400 are improved. Even if the surface of the terminal electrode 21 has a recess, the bonding area increases, but since the terminal electrode 21 is small and the recess formed therein is even smaller, it is difficult for the conductive bonding material 310 to enter the recess. Voids are more likely to occur in the bonding material 310, and the bonding strength may decrease. The convex portion 21a has a convex portion (convex portion 21a) in the central portion of the surface of the terminal electrode 21, as in the examples shown in FIGS. 8(c) and 11(a). can be a shape in which the is protruded. While this example has one convex portion 21a, a plurality of convex portions 21a may be provided as in the examples shown in FIGS. 9(a) and 11(b). Alternatively, as in the examples shown in FIGS. 9B and 11C, the entire surface of the terminal electrode 21 may be a convex portion 21a tapered to form a convex curved surface. As described above, it is preferable that the surface of the terminal electrode 21 does not have any concave portions, so it is preferable that the end faces of the convex portions 21a also have no concave portions.

図5および図6に示す例の回路基板100は、外縁領域11oの4つの角部にそれぞれ1つのコーナーパッド4を備えている。回路基板100と外部の配線基板400との間には熱応力が発生し、角部に近い端子電極21に加わる熱応力が大きくなる。大きい熱応力が加わる端子電極21に近い位置にコーナーパッド4が設けられ、コーナーパッド4と外部の配線基板400とが接合されることで、回路基板100の角部における接合が補強されて、外部の配線基板400等との接合強度および接続信頼性に優れた小型の回路基板100となる。このようなコーナーパッド4は、図1~図4および図7~図9に示す例の回路基板100にも適用することができる。 The circuit board 100 of the example shown in FIGS. 5 and 6 has one corner pad 4 at each of the four corners of the outer edge region 11o. Thermal stress is generated between the circuit board 100 and the external wiring board 400, and the thermal stress applied to the terminal electrodes 21 near the corners increases. A corner pad 4 is provided at a position close to the terminal electrode 21 to which a large thermal stress is applied, and the corner pad 4 and the external wiring board 400 are joined together, thereby reinforcing the joint at the corner of the circuit board 100, thereby The compact circuit board 100 is excellent in bonding strength and connection reliability with the wiring board 400 and the like. Such a corner pad 4 can also be applied to the circuit board 100 of the examples shown in FIGS. 1-4 and 7-9.

また、端子電極21、中央導体3およびコーナーパッド4の絶縁基板1への接合強度をより高めるために、これらの外縁部および絶縁基板1の第1面11を覆っている絶縁膜を備えている回路基板100とすることができる。剥がれの起点となりやすい外縁部が絶縁膜で押さえられているため、応力が加わってもより剥がれ難くなる。よって、接合強度および接続信頼性がより優れた小型の回路基板100となる。 In addition, in order to further increase the bonding strength of the terminal electrode 21 , the central conductor 3 and the corner pad 4 to the insulating substrate 1 , an insulating film covering the outer edge portions of these and the first surface 11 of the insulating substrate 1 is provided. It can be a circuit board 100 . Since the outer edge portion, which tends to be the starting point of peeling, is pressed by the insulating film, it becomes more difficult to peel off even when stress is applied. Therefore, the compact circuit board 100 with superior bonding strength and connection reliability is obtained.

図12に示す例のように、電子部品300は、上記のような回路基板100と、電子素
子200とを備えている。このような電子部品300によれば、上記構成の回路基板100を含んでいることから、外部の配線基板400の配線401(端子)に対する接続信頼性の向上に有利で小型の電子部品300を提供することができる。
As in the example shown in FIG. 12, the electronic component 300 includes the circuit board 100 and the electronic element 200 as described above. Since the electronic component 300 includes the circuit board 100 configured as described above, the electronic component 300 is advantageous in improving connection reliability to the wiring 401 (terminal) of the external wiring board 400, and provides a small electronic component 300. can do.

回路基板100の第1面(下面)11とは反対側の上面が、電子素子200が搭載される第2面12である。図1および図2に示す例ならびに図12に示す例の回路基板100においては、絶縁基板1は第2面12にキャビティ1bを有しているが、図3および図4に示す例の回路基板100ならびに図5および図6に示す例の回路基板100のように、キャビティ1bを有さない平板状の絶縁基板1であってもよい。回路基板100は、第2面12には電子素子200と電気的に接続される回路導体2として接続電極22を備えている。キャビティ1bを有している場合は、キャビティ1b内に接続電極22を備えている。図1、図2および図12に示す例では、キャビティ1bは、開口と底面との間に段部を有しており、段部に接続電極22が設けられている。キャビティ1bは、段部を備えていなくてもよく、この場合にはキャビティ1bの底面に接続電極22が設けられる。 The upper surface opposite to the first surface (lower surface) 11 of the circuit board 100 is the second surface 12 on which the electronic element 200 is mounted. 1 and 2 and the circuit board 100 of the example shown in FIG. 12, the insulating substrate 1 has the cavity 1b on the second surface 12, but the circuit board of the example shown in FIGS. It may be a flat insulating substrate 1 without a cavity 1b, like the circuit substrate 100 in the example shown in 100 and FIGS. The circuit board 100 has connection electrodes 22 as circuit conductors 2 electrically connected to the electronic element 200 on the second surface 12 . When the cavity 1b is provided, the connection electrode 22 is provided inside the cavity 1b. In the examples shown in FIGS. 1, 2 and 12, the cavity 1b has a stepped portion between the opening and the bottom surface, and the connection electrode 22 is provided on the stepped portion. The cavity 1b may not have a stepped portion, in which case the connection electrode 22 is provided on the bottom surface of the cavity 1b.

図12に示す例の電子部品300においては、電子素子200はキャビティ1bの底面に搭載され、電子素子200の電極(符号なし)と回路基板100のキャビティ1b内の接続電極22とは接続部材210であるボンディングワイヤによって電気的に接続されている。そのため、図1、図2および図12に示す例の回路基板100においては、複数の接続電極22は、キャビティ1b内においてキャビティ1bの外周に沿って配列されている。図3および図4に示す例のように、回路基板100(の絶縁基板1)が平板状である場合には、絶縁基板1の第2面12(上面)の外周に沿って接続電極22が配列される。これに対して、電子素子200がフリップチップ接続される場合には、複数の接続電極22は、例えば図5および図6に示す例のように、第2面12の中央部に配列される。キャビティ1bを有する回路基板100に電子素子200をフリップチップ接続する場合は、接続電極22はキャビティ1bの底面の中央部に配列される。 In the electronic component 300 of the example shown in FIG. 12, the electronic element 200 is mounted on the bottom surface of the cavity 1b. are electrically connected by bonding wires. Therefore, in the circuit board 100 of the example shown in FIGS. 1, 2 and 12, the plurality of connection electrodes 22 are arranged inside the cavity 1b along the outer circumference of the cavity 1b. As in the examples shown in FIGS. 3 and 4 , when (the insulating substrate 1 of) the circuit board 100 is flat, the connection electrodes 22 are formed along the outer circumference of the second surface 12 (upper surface) of the insulating substrate 1 . arrayed. On the other hand, when the electronic element 200 is flip-chip connected, the plurality of connection electrodes 22 are arranged in the central portion of the second surface 12 as in the examples shown in FIGS. 5 and 6, for example. When flip-chip connecting the electronic element 200 to the circuit board 100 having the cavity 1b, the connection electrodes 22 are arranged in the center of the bottom surface of the cavity 1b.

また、図12に示す例における回路基板100は、電子素子200を固定するため、また必要に応じで接地するための搭載用導体5を第2面12(キャビティ1bの底面)の中央部に備えている。このように、第2面12における回路導体2の数や配置は、搭載される電子素子200に対応するように設定することができる。なお、図12に示す例では、搭載用導体5は、中央導体3と接続されている。中央導体3が上述した接地導体である場合には、電子素子200の下面と搭載用導体5とを、はんだやろう材等の導電性の接合材(不図示)で接合することで、電子素子200を比較的大きい下面で接地電位に接続することができる。また、中央導体3が上述した放熱用である場合には、電子素子200で発生した熱は、ろう材等の接合材、搭載用導体5、搭載用導体5と中央導体3とを接続する内部導体23を介して、効率よく中央導体3へ伝熱される。 In addition, the circuit board 100 in the example shown in FIG. 12 has a mounting conductor 5 for fixing the electronic element 200 and for grounding as necessary at the center of the second surface 12 (bottom surface of the cavity 1b). ing. Thus, the number and arrangement of the circuit conductors 2 on the second surface 12 can be set so as to correspond to the electronic device 200 to be mounted. In addition, in the example shown in FIG. 12 , the mounting conductor 5 is connected to the central conductor 3 . When the central conductor 3 is the above-described ground conductor, the electronic element can be 200 can be connected to ground potential at a relatively large lower surface. Further, when the central conductor 3 is for heat radiation as described above, the heat generated by the electronic element 200 is dissipated by a bonding material such as a brazing material, the mounting conductor 5, and the inside connecting the mounting conductor 5 and the central conductor 3. Heat is efficiently transferred to the central conductor 3 via the conductor 23 .

図12(b)に示す例のように、第2面12の接続電極22と第1面11の端子電極21とは、絶縁基板1の内部の内部導体23で接続されている。これにより、第2面12に搭載された電子素子200を、接続部材210および回路導体2(接続電極22、内部導体23および端子電極21)を介して外部の配線基板400に電気的に接続することができる回路基板100となっている。 As in the example shown in FIG. 12B, the connection electrodes 22 on the second surface 12 and the terminal electrodes 21 on the first surface 11 are connected by an internal conductor 23 inside the insulating substrate 1 . Thereby, the electronic element 200 mounted on the second surface 12 is electrically connected to the external wiring board 400 via the connection member 210 and the circuit conductor 2 (the connection electrode 22, the internal conductor 23 and the terminal electrode 21). It is a circuit board 100 that can

図12に示す例の電子部品300においては、電子素子200および接続部材210がキャビティ1b内に収容され、キャビティ1bの開口を塞ぐように、蓋体221が接合材222で接合されている。蓋体221および接合材222は電子素子200を気密封止する封止部材220として機能している。はんだを接合材222として用いる場合には、第2面12にはキャビティ1bを囲むようにシール導体を設けることができる。また、回路基板100が図3~図6に示す例のような平板状である場合には、キャップ状の蓋体で封
止することができる。あるいは、封止部材220として封止樹脂を用い、封止樹脂で回路基板100の第2面12、電子素子200および接続部材210等を覆うことで封止することができる。
In electronic component 300 of the example shown in FIG. 12, electronic element 200 and connecting member 210 are accommodated in cavity 1b, and lid 221 is bonded with bonding material 222 so as to close the opening of cavity 1b. The lid 221 and the bonding material 222 function as a sealing member 220 that hermetically seals the electronic element 200 . When solder is used as the bonding material 222, a seal conductor can be provided on the second surface 12 so as to surround the cavity 1b. Also, when the circuit board 100 is flat like the examples shown in FIGS. 3 to 6, it can be sealed with a cap-like lid. Alternatively, a sealing resin can be used as the sealing member 220, and sealing can be performed by covering the second surface 12 of the circuit board 100, the electronic element 200, the connection member 210, and the like with the sealing resin.

また、図12に示す例のように、電子モジュール500は、上記構成の電子部品300と、電子部品300が実装されたモジュール用の配線基板400とを備えている。このような電子モジュール500によれば、上記構成の回路基板100を含む電子部品300とモジュール用の配線基板400とを備えていることから、電子部品300と配線基板400との接続信頼性が効果的に向上した小型の電子モジュール500となる。 Further, as in the example shown in FIG. 12, the electronic module 500 includes the electronic component 300 configured as described above and a module wiring board 400 on which the electronic component 300 is mounted. According to such an electronic module 500, since it is provided with the electronic component 300 including the circuit board 100 configured as described above and the wiring board 400 for the module, the connection reliability between the electronic component 300 and the wiring board 400 is effective. This results in a compact electronic module 500 that is substantially improved.

図12に示す例では、回路基板100の端子電極21と配線基板400の上面の配線401とが、はんだ等の導電性接合材310によって電気的および機械的に接続されている。端子電極21が配線基板400の配線401に導電性接合材310を介して電気的に接続されれば、電子部品300と配線基板400の配線401とが互いに電気的に接続される。これによって、電子部品300と配線基板400との間で電気信号または電位等の授受が可能になる。また、電子部品300は回路基板100の回路導体2に電子素子200が電気的に接続されたものであるので、電子素子200と配線基板400の配線401とが互いに電気的に接続される。 In the example shown in FIG. 12, the terminal electrodes 21 of the circuit board 100 and the wirings 401 on the upper surface of the wiring board 400 are electrically and mechanically connected by a conductive bonding material 310 such as solder. When the terminal electrode 21 is electrically connected to the wiring 401 of the wiring board 400 via the conductive bonding material 310, the electronic component 300 and the wiring 401 of the wiring board 400 are electrically connected to each other. As a result, it is possible to exchange electrical signals, potentials, or the like between electronic component 300 and wiring board 400 . Further, since the electronic component 300 has the electronic element 200 electrically connected to the circuit conductor 2 of the circuit board 100, the electronic element 200 and the wiring 401 of the wiring board 400 are electrically connected to each other.

絶縁基板1は、上記したように、平面視(上面視)で方形状の平板である。絶縁基板1は、例えば、5mm~20mm×5mm~20mmの方形状で、厚みが例えば0.5mm~2mmの板状である。絶縁基板1は、複数の絶縁層1aが積層されてなるものである。図2、図4および図6に示す例の絶縁基板1は5層の絶縁層1aで構成されているが、絶縁層1aの数はこれらに限られるものではない。絶縁基板1が第2面12にキャビティ1bを有する場合のキャビティ1bは、例えば、キャビティ1bの内側面と絶縁基板1の外側面との間の壁厚みを0.5mm以上とした上で、平面視の形状が4mm~19mm×4mm~19mmの方形状で、第2面12からの深さが0.4mm~1.5mmとすることができる。 As described above, the insulating substrate 1 is a rectangular flat plate in plan view (top view). The insulating substrate 1 is, for example, a plate having a rectangular shape of 5 mm to 20 mm×5 mm to 20 mm and a thickness of 0.5 mm to 2 mm. The insulating substrate 1 is formed by stacking a plurality of insulating layers 1a. Although the insulating substrate 1 shown in FIGS. 2, 4 and 6 is composed of five insulating layers 1a, the number of insulating layers 1a is not limited to these. When the insulating substrate 1 has the cavity 1b on the second surface 12, the cavity 1b has a wall thickness of 0.5 mm or more between the inner surface of the cavity 1b and the outer surface of the insulating substrate 1, and is flat. The visual shape may be a square of 4 mm to 19 mm×4 mm to 19 mm, and the depth from the second surface 12 may be 0.4 mm to 1.5 mm.

絶縁基板1は、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ガラスセラミック焼結体、窒化アルミニウム質焼結体またはムライト質焼結体等のセラミック焼結体によって形成されている。絶縁基板1は、例えばガラスセラミック焼結体からなる場合であれば、次のようにして製作することができる。まず、ガラス成分となる酸化ケイ素、酸化ホウ素およびフィラー成分となる酸化アルミニウム等の粉末を主成分とする原料粉末を適当な有機バインダおよび有機溶剤と混練してスラリーとする。このスラリーをドクターブレード法またはリップコータ法等の成形方法でシート状に成形して、絶縁層1aとなるセラミックグリーンシートを作製する。その後、このセラミックグリーンシートを適当な寸法に切断、成形したセラミックグリーンシートを複数枚積層して積層体を作製する。その後、この積層体を約900~1000℃程度の温度で焼成することによって絶縁基板1を製作することができる。絶縁基板1が第2面12にキャビティ1bを有する場合のキャビティ1bおよび絶縁基板1の側面の切欠きは、セラミックグリーンシートにこれらの形状に対応する貫通孔等を設けておけばよい。 The insulating substrate 1 is made of a ceramic sintered body such as an aluminum oxide sintered body, a glass ceramic sintered body, an aluminum nitride sintered body, or a mullite sintered body. If the insulating substrate 1 is made of a sintered glass ceramic, for example, it can be manufactured as follows. First, raw material powders containing powders of silicon oxide and boron oxide as glass components and powders of aluminum oxide as filler components as main components are kneaded with an appropriate organic binder and organic solvent to form a slurry. This slurry is formed into a sheet by a forming method such as a doctor blade method or a lip coater method to produce a ceramic green sheet that will serve as the insulating layer 1a. Thereafter, this ceramic green sheet is cut into a suitable size, and a plurality of shaped ceramic green sheets are stacked to produce a laminate. After that, the insulating substrate 1 can be manufactured by firing this laminate at a temperature of about 900 to 1000.degree. When the insulating substrate 1 has the cavity 1b on the second surface 12, the cavity 1b and the notches on the side surfaces of the insulating substrate 1 may be formed by forming through holes or the like corresponding to these shapes in the ceramic green sheet.

絶縁基板1の第2面12のキャビティ1bの平面視形状は、図1および図2に示す例では絶縁基板1の第2面12の外縁に沿った、角が丸められた正方形状である。キャビティ1bがこのような角を有さない形状であると、絶縁基板1に応力が加わった場合に角を起点としたクラックが発生する可能性が低減される。 The planar view shape of the cavity 1b on the second surface 12 of the insulating substrate 1 is a square with rounded corners along the outer edge of the second surface 12 of the insulating substrate 1 in the example shown in FIGS. If the cavity 1b has such a shape without corners, the possibility of cracks starting from the corners occurring when stress is applied to the insulating substrate 1 is reduced.

絶縁基板1には回路導体2が設けられている。上述したように絶縁基板1の第1面11(下面)の外縁領域11oに端子電極21が設けられ、第2面12(上面)に接続電極2
2が、絶縁基板1の内部に内部導体23が設けられている。上面12の接続電極22と下面11の端子電極21とは内部導体23で電気的に接続されている。内部導体23は、絶縁層1a間に設けられた内部導体層と絶縁層1aを貫通する貫通導体とを有している。
A circuit conductor 2 is provided on an insulating substrate 1 . As described above, the terminal electrode 21 is provided on the outer edge region 11o of the first surface 11 (lower surface) of the insulating substrate 1, and the connection electrode 2 is provided on the second surface 12 (upper surface).
2, an internal conductor 23 is provided inside the insulating substrate 1 . The connection electrode 22 on the upper surface 12 and the terminal electrode 21 on the lower surface 11 are electrically connected by an internal conductor 23 . The internal conductor 23 has internal conductor layers provided between the insulating layers 1a and through conductors penetrating the insulating layers 1a.

端子電極21の形状は、例えば図1~図9に示す例のような絶縁基板1の第1面11の外辺から内側に伸びる長方形状であり、その寸法は例えば幅が0.2mm~1mm×外辺からの長さが0.5mm~2mmである。長方形状とは、厳密な長方形でなく角部が丸められたものなども含むことを意味しており、図2(b)に示す例のような、長方形の辺部が切り欠かれた形状、角部が切り欠かれた形状も含まれる。端子電極21の形状は、特に限られるものではなく、例えば、絶縁基板1の第1面11の外辺に接していない正方形状のものであってもよい。接続電極22は、上述したように電子素子200の接続方法に応じてその配列が異なり、配列に応じた形状および寸法とすることができる。 The shape of the terminal electrode 21 is, for example, a rectangular shape extending inward from the outer edge of the first surface 11 of the insulating substrate 1 as shown in FIGS. ×The length from the outer edge is 0.5 mm to 2 mm. The term "rectangular shape" means that it is not strictly rectangular, but also includes rounded corners. A shape with cut corners is also included. The shape of the terminal electrode 21 is not particularly limited. The arrangement of the connection electrodes 22 varies depending on the method of connecting the electronic element 200 as described above, and the shape and dimensions of the connection electrodes 22 can be adjusted according to the arrangement.

図1~図9に示す例の回路基板100においては、絶縁基板1は側面に第1面11から第2面12にかけて伸びる切欠き部を有している。また、切欠き部の内面にも導体が形成されており、第1面11の端子電極21と接続されている。端子電極21が第1面11から切欠き部の内面まで延在しているともいえる。図1および図2に示す例では、切欠き部の内面のうち、第1面11側の一部に導体が設けられている。図3および図4に示す例ならびに図8~図9に示す例では、切欠き部の内面の全面に導体が設けられている。図5および図6に示す例では、切欠き部が導体で充填されている。絶縁基板1の側面に切欠き部を設けずに、第1面11から側面にかけて端子電極21を設けることもできる。いずれの場合も、図12に示す例のように、回路基板100を外部の配線基板400に実装する際に、はんだ等の導電性接合材310が配線基板400の配線401と回路基板100の第1面11の端子電極21および切欠きの内面を含む側面の端子電極21との間に位置することになる。導電性接合材310による接合面積が増え、側面と配線基板400の配線401との間の導電性接合材310にはメニスカス形状のフィレット部が形成されてフィレット部により応力を低減することができるので、実装信頼性がより高められる。 In the example circuit board 100 shown in FIGS. 1 to 9, the insulating substrate 1 has a notch extending from the first surface 11 to the second surface 12 on the side surface. A conductor is also formed on the inner surface of the notch and is connected to the terminal electrode 21 on the first surface 11 . It can also be said that the terminal electrode 21 extends from the first surface 11 to the inner surface of the notch. In the example shown in FIGS. 1 and 2, the conductor is provided on a portion of the inner surface of the notch on the first surface 11 side. In the examples shown in FIGS. 3 and 4 and the examples shown in FIGS. 8 and 9, the conductor is provided on the entire inner surface of the notch. In the examples shown in FIGS. 5 and 6, the notches are filled with conductors. The terminal electrode 21 can be provided from the first surface 11 to the side surface of the insulating substrate 1 without providing the notch on the side surface. In either case, as in the example shown in FIG. It is positioned between the terminal electrode 21 on the first surface 11 and the terminal electrode 21 on the side surface including the inner surface of the notch. The bonding area of the conductive bonding material 310 is increased, and the conductive bonding material 310 between the side surface and the wiring 401 of the wiring board 400 is formed with a meniscus-shaped fillet portion, and the stress can be reduced by the fillet portion. , mounting reliability is further enhanced.

端子電極21、接続電極22および内部導体23等の回路導体2は、例えば、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、パラジウム、金、白金、ニッケルまたはコバルト等の金属材料、またはこれらの金属材料を含む合金材料等によって形成されている。このような金属材料等は、絶縁基板1が上記のようなセラミック焼結体からなる場合であれば、例えばメタライズ層として絶縁基板1の所定の位置に設けられている。 The circuit conductors 2 such as the terminal electrodes 21, the connection electrodes 22 and the internal conductors 23 are made of, for example, metal materials such as tungsten, molybdenum, manganese, copper, silver, palladium, gold, platinum, nickel or cobalt, or these metal materials. It is made of an alloy material or the like containing. Such a metal material or the like is provided at a predetermined position of the insulating substrate 1 as a metallized layer, for example, when the insulating substrate 1 is made of the ceramic sintered body as described above.

回路導体2の端子電極21、接続電極22および内部導体23の内部導体層は、例えば、絶縁基板1が上述したようなガラスセラミック焼結体からなる場合であれば、例えば銅のメタライズ層で形成することができる。銅のメタライズ層である場合には、銅の粉末を有機溶剤および有機バインダと混合して作製した金属ペーストを絶縁層1aとなる上記セラミックグリーンシートの表面にスクリーン印刷法等の方法で印刷して、その後セラミックグリーンシートと同時焼成する方法で形成することができる。また、内部導体23の貫通導体の部分は、絶縁層1aとなるセラミックグリーンシートに貫通孔をあらかじめ形成しておき、このセラミックグリーンシートの貫通孔内に上記の金属ペーストをスクリーン印刷法等の方法で充填し、同時焼成することによって形成することができる。絶縁基板1の側面に切欠き部を有し、切欠き内まで端子電極21が延在している場合は、セラミックグリーンシートの貫通孔の内面に上記の金属ペーストをスクリーン印刷法等の方法で印刷塗布し、同時焼成することによって形成することができる。セラミックグリーンシートの貫通孔は、機械的な孔あけ加工またはレーザ加工等の方法で形成することができる。 The terminal electrodes 21, the connection electrodes 22, and the internal conductor layers of the internal conductors 23 of the circuit conductors 2 are formed, for example, of copper metallized layers when the insulating substrate 1 is made of a glass-ceramic sintered body as described above. can do. In the case of a copper metallized layer, a metal paste prepared by mixing copper powder with an organic solvent and an organic binder is printed on the surface of the ceramic green sheet serving as the insulating layer 1a by a method such as screen printing. , and then co-fired with the ceramic green sheet. As for the portion of the through conductor of the internal conductor 23, a through hole is previously formed in the ceramic green sheet serving as the insulating layer 1a, and the metal paste is applied in the through hole of the ceramic green sheet by a method such as screen printing. can be formed by filling with and co-firing. If the side surface of the insulating substrate 1 has a notch and the terminal electrode 21 extends into the notch, the metal paste is applied to the inner surface of the through-hole of the ceramic green sheet by a method such as screen printing. It can be formed by printing, coating, and co-firing. Through-holes in the ceramic green sheet can be formed by a method such as mechanical drilling or laser processing.

中央導体3、コーナーパッド4および搭載用導体5等の回路導体2以外の導体についても、回路導体2と同様の方法で形成することができる。 Conductors other than the circuit conductors 2, such as the central conductor 3, the corner pads 4, and the mounting conductors 5, can also be formed in the same manner as the circuit conductors 2. FIG.

コーナーパッド4の形状は、図5および図6に示す例のように円形に限定されるものではなく、楕円形、方形等の多角形等であってもよい。補強用としてはできるだけ面積の大きいコーナーパッド4とするのがよい。コーナーパッド4の形状が、熱応力等が集中しやすい角を有していない形状であると、熱応力等による剥がれがより発生し難いものとなる。回路基板100における角部に配置されるコーナーパッド4に対して、熱応力は回路基板100の平面視の中央方向に作用する。そのためこの方向の長さをできるだけ大きくする方がよい。そのため、回路基板100における角部(外縁領域11oの角部)から中央領域11cの角部にかけて伸びる形状のコーナーパッド4とすることができる。コーナーパッド4をさらに中央導体3まで伸ばして接続することができる。 The shape of the corner pad 4 is not limited to a circular shape as in the examples shown in FIGS. 5 and 6, and may be an elliptical shape, a polygonal shape such as a square, or the like. For reinforcement, it is preferable to use corner pads 4 having as large an area as possible. If the shape of the corner pad 4 does not have corners where thermal stress or the like tends to concentrate, peeling due to thermal stress or the like is less likely to occur. The thermal stress acts on the corner pads 4 arranged at the corners of the circuit board 100 toward the center of the circuit board 100 in plan view. Therefore, it is better to make the length in this direction as large as possible. Therefore, the corner pad 4 can have a shape extending from the corner of the circuit board 100 (the corner of the outer edge region 11o) to the corner of the central region 11c. The corner pads 4 can be further extended to the central conductor 3 and connected.

コーナーパッド4は、外縁領域11oにおける端子電極21が配置されていない角部に設けられるので、例えばコーナーパッド4が円形である場合には、端子電極21の長さより小さい径であり、例えば直径が0.3mm~1.8mmの円形とすることができる。 The corner pad 4 is provided at a corner of the outer edge region 11o where the terminal electrode 21 is not arranged. It can be circular from 0.3 mm to 1.8 mm.

端子電極21等の外縁部および絶縁基板1の第1面11を覆っている絶縁膜を備えている場合の絶縁膜は、端子電極21等のサイズにもよるが、例えば外周から0.03mm~0.3mmの部分を覆っている。なお、上述した端子電極21等の寸法は、絶縁膜を有する場合は、絶縁膜の開口から露出する部分である、実質的な端子電極21等の寸法である。 In the case where an insulating film covering the outer edge of the terminal electrode 21 and the first surface 11 of the insulating substrate 1 is provided, the insulating film may have a thickness of 0.03 mm or more from the outer circumference, although it depends on the size of the terminal electrode 21 and the like. It covers a 0.3 mm portion. Note that the dimensions of the terminal electrodes 21 and the like described above are the actual dimensions of the terminal electrodes 21 and the like, which are the portions exposed from the openings of the insulating film when the insulating film is provided.

絶縁膜は絶縁基板1の第1面11に接合されて一体化している。より具体的には、絶縁基板1がセラミック焼結体からなる場合には、絶縁膜は絶縁基板1のセラミックスと同様のものからなり、同時焼成によって一体化している。そのため、絶縁膜と絶縁基板1とは強固に接合されている。 The insulating film is bonded to and integrated with the first surface 11 of the insulating substrate 1 . More specifically, when the insulating substrate 1 is made of a ceramic sintered body, the insulating film is made of the same material as the ceramics of the insulating substrate 1, and is integrated by simultaneous firing. Therefore, the insulating film and the insulating substrate 1 are firmly bonded.

このような絶縁膜は、例えば以下のようにして形成することができる。まず、端子電極21、中央導体3およびコーナーパッド4に対応するパターンで金属ペーストをセラミックグリーンシート上に印刷する。次に、印刷された金属ペーストのうちの所定の部分、およびセラミックグリーンシートの所定の部分と重なるように絶縁膜となるセラミックペーストを塗布する。セラミックペーストは、セラミックグリーンシートを作製するためのスラリーと同様の原料粉末に適当な有機バインダおよび有機溶剤を加えて混練して作製することができる。そして、金属ペースト、セラミックペーストおよびセラミックグリーンシートを同時焼成することで、絶縁膜が絶縁基板1の第1面11に接合され一体化して形成される。 Such an insulating film can be formed, for example, as follows. First, a metal paste is printed on the ceramic green sheets in patterns corresponding to the terminal electrodes 21 , the central conductors 3 and the corner pads 4 . Next, a ceramic paste to be an insulating film is applied so as to overlap a predetermined portion of the printed metal paste and a predetermined portion of the ceramic green sheet. The ceramic paste can be produced by adding an appropriate organic binder and an organic solvent to raw material powders similar to the slurry for producing the ceramic green sheets and kneading the mixture. By firing the metal paste, the ceramic paste, and the ceramic green sheets at the same time, the insulating film is bonded to the first surface 11 of the insulating substrate 1 and integrated.

回路導体2の端子電極21および接続電極22、中央導体3、ならびにコーナーパッド4等の絶縁基板1の外表面に露出する導体は、上記のメタライズ層に、電解めっき法または無電解めっき法等の方法でニッケルおよび金等のめっき層がさらに被着されたものであってもよい。 The conductors exposed on the outer surface of the insulating substrate 1, such as the terminal electrodes 21 and connection electrodes 22 of the circuit conductors 2, the central conductors 3, and the corner pads 4, are applied to the metallized layer by electroplating, electroless plating, or the like. A plating layer such as nickel and gold may be further deposited by a method.

回路基板100に搭載される電子素子200としては、IC(Integrated Circuit:集積回路)やLSI(Large-Scale Integrated Circuit:大規模集積回路)等の半導体集積回路素子、およびLED(Light Emitting Diode:発光ダイオード)やPD(Photo Diode:フォトダイオード)、CCD(Charged-Coupled Device:電荷結合素子)、CMOS
(Complementary Metal-Oxide Semiconductor:相補型金属酸化膜半導体)等の光半導体
素子、電流センサ素子または磁気センサ素子等のセンサ素子、半導体基板の表面に微小な電子機械機構が形成されてなるマイクロマシン、いわゆるMEMS(Micro electro mechanical systems:微小電気機械システム)素子等の種々の電子素子が挙げられる。また、電子素子200は、圧電素子、容量素子または抵抗器等の受動部品であってもよい。また
、電子素子200は、複数個が搭載されてもよく、複数種のものが含まれていてもよい。
The electronic elements 200 mounted on the circuit board 100 include semiconductor integrated circuit elements such as ICs (Integrated Circuits) and LSIs (Large-Scale Integrated Circuits), and LEDs (Light Emitting Diodes). diode), PD (Photo Diode), CCD (Charged-Coupled Device), CMOS
Optical semiconductor elements such as (Complementary Metal-Oxide Semiconductor), sensor elements such as current sensor elements or magnetic sensor elements, micromachines in which minute electromechanical mechanisms are formed on the surface of a semiconductor substrate, so-called Various electronic elements such as MEMS (Micro electromechanical systems) elements are included. Also, the electronic element 200 may be a passive component such as a piezoelectric element, a capacitive element, or a resistor. Also, a plurality of electronic elements 200 may be mounted, and a plurality of types of elements may be included.

電子素子200の回路基板100に対する機械的な接続は、例えば、はんだ等の低融点ろう材または接着剤、あるいは必要によって導電性接着剤等の電気伝導性を有する接合材(不図示)によって行なわれる。電子素子200の電極(符号なし)と回路基板100の回路導体2との電気的な接続は、例えば、図12に示す例のようなボンディングワイヤ等の接続部材210による接続以外に、はんだボールや金属バンプおよび導電性接着剤を接続部材210として用いた、いわゆるフリップチップ接続で、電気的および機械的接続を行なうこともできる。フリップチップ接続の場合は、アンダーフィル材によって機械的接続を補強することができる。 Mechanical connection of the electronic element 200 to the circuit board 100 is performed, for example, by a low-melting-point brazing material such as solder, an adhesive, or, if necessary, a bonding material (not shown) having electrical conductivity such as a conductive adhesive. . The electrical connection between the electrodes (no reference numerals) of the electronic element 200 and the circuit conductors 2 of the circuit board 100 is, for example, in addition to the connection by the connection members 210 such as bonding wires as shown in FIG. Electrical and mechanical connections can also be made by so-called flip-chip connections using metal bumps and conductive adhesives as connecting members 210 . In the case of flip-chip bonding, the mechanical connection can be reinforced with an underfill material.

封止部材220が図12に示す例のように、蓋体221および接合材222で構成される場合は、例えば、蓋体221として金属、セラミックス、樹脂等からなる平板状あるいはキャップ状のものを、また接合材として、はんだやろう材等の金属接合材、樹脂接着剤、導電性接着剤等の樹脂接合材、ガラス接合材等を用いることができる。封止部材220が封止樹脂である場合は、例えば、エポキシ樹脂およびエポキシ樹脂にフィラーを含有させたものなどを用いることができる。 When the sealing member 220 is composed of a lid 221 and a bonding material 222 as in the example shown in FIG. As the bonding material, metal bonding materials such as solder and brazing material, resin bonding materials such as resin adhesives and conductive adhesives, glass bonding materials, and the like can be used. When the sealing member 220 is a sealing resin, for example, an epoxy resin or an epoxy resin containing a filler can be used.

電子素子200が、例えば半導体集積回路素子等の半導体素子であれば、電子素子200と回路基板100および外部の配線基板400が有する電子回路(図示せず)との間で種々の電気信号が授受され、半導体素子(電子素子200)で演算または記憶等の種々の処理が行なわれる。また、電子素子200が加速度センサ素子等のセンサ素子であれば、センサ素子(電子素子200)で検知された加速度等の物理量が回路基板100および外部の配線基板400に電気信号として伝送される。この電気信号は、回路基板100および外部の配線基板400の電子回路または回路基板100に実装された他の電子素子等(図示せず)に伝送されて、回路基板100が実装される電子機器の制御等の処理に利用される。 If the electronic element 200 is a semiconductor element such as a semiconductor integrated circuit element, various electrical signals are exchanged between the electronic element 200 and the electronic circuits (not shown) of the circuit board 100 and the external wiring board 400. Then, various processing such as calculation or storage is performed in the semiconductor device (electronic device 200). If the electronic element 200 is a sensor element such as an acceleration sensor element, physical quantities such as acceleration detected by the sensor element (electronic element 200) are transmitted to the circuit board 100 and the external wiring board 400 as electric signals. This electrical signal is transmitted to the electronic circuit of the circuit board 100 and the external wiring board 400 or other electronic elements (not shown) mounted on the circuit board 100, and the electronic equipment on which the circuit board 100 is mounted. It is used for processing such as control.

製作された電子部品300は、導電性接合材310を介して配線基板400に電気的および機械的に接続される。すなわち、上記構成の電子部品300と、電子部品300の複数の端子電極21とそれぞれ導電性接合材310を介して接続された複数の配線401を有する配線基板400とによって、例えば図12に示す例のような電子モジュール500が製作される。配線基板400は、セラミック配線基板であってもよいし、エポキシ等の樹脂を絶縁層とし、銅箔等の金属を配線401とするプリント配線基板であってもよい。導電性接合材310は、はんだやろう材等の金属からなるものであってもよいし、導電性接着剤であってもよい。 The manufactured electronic component 300 is electrically and mechanically connected to the wiring board 400 via the conductive bonding material 310 . That is, the example shown in FIG. An electronic module 500 such as is fabricated. The wiring board 400 may be a ceramic wiring board, or may be a printed wiring board in which resin such as epoxy is used as an insulating layer and metal such as copper foil is used as wiring 401 . The conductive bonding material 310 may be made of metal such as solder or brazing material, or may be a conductive adhesive.

以上の説明では、回路基板100がセラミック焼結体からなる絶縁基板1であるセラミック配線基板の場合で説明したが、絶縁基板1がエポキシ樹脂等の樹脂からなるプリント配線基板にも適用することができる。 In the above description, the circuit board 100 is a ceramic wiring board in which the insulating substrate 1 is made of a ceramic sintered body. can.

1・・・絶縁基板
1a・・・絶縁層
1b・・・キャビティ
11・・・第1面(下面)
11o・・・外縁領域
11c・・・中央領域
12・・・第2面(上面)
2・・・回路導体
21・・・端子電極
21a・・・凸状部
22・・・接続電極
23・・・内部導体
3・・・中央導体
31・・・凸部
32・・・凹部
4・・・コーナーパッド
5・・・搭載用導体
100・・・回路基板
200・・・電子素子
210・・・接続部材
220・・・封止部材
221・・・蓋体
222・・・接合材
300・・・電子部品
310・・・導電性接合材
400・・・配線基板
401・・・配線
500・・・電子モジュール
Reference Signs List 1 Insulating substrate 1a Insulating layer 1b Cavity 11 First surface (lower surface)
11o... Outer edge area 11c... Central area 12... Second surface (upper surface)
2 circuit conductor 21 terminal electrode 21a convex portion 22 connection electrode 23 inner conductor 3 central conductor 31 convex portion 32 concave portion 4 Corner pad 5 Mounting conductor 100 Circuit board 200 Electronic element 210 Connecting member 220 Sealing member 221 Lid 222 Joining material 300 Electronic component 310 Conductive bonding material 400 Wiring board 401 Wiring 500 Electronic module

Claims (6)

第1面および該第1面の反対に位置する第2面を有し、前記第1面の平面視の形状が方形状である絶縁基板と、
該絶縁基板の前記第1面における外縁領域に位置する複数の端子電極を含む回路導体と、前記第1面の前記外縁領域の内側の中央領域に位置する1つの中央導体と、を備えており、
前記中央導体の表面が複数の凹凸による格子状であり、
前記中央導体は凹部および凸部を有しており、
前記凹部または前記凸部は、前記中央導体の外縁部に位置するものより前記中央導体の中央部に位置するものが大きい、
または、
前記凹部または前記凸部は、前記中央導体の外縁部に位置するものより前記中央導体の中央部に位置するものが小さい、回路基板。
an insulating substrate having a first surface and a second surface located opposite to the first surface, wherein the first surface has a square shape in plan view;
a circuit conductor including a plurality of terminal electrodes positioned in an outer edge region of the first surface of the insulating substrate; and one central conductor positioned in a central region inside the outer edge region of the first surface. ,
the surface of the central conductor has a lattice shape with a plurality of irregularities,
the central conductor has a concave portion and a convex portion;
the recesses or protrusions located at the central portion of the central conductor are larger than those located at the outer edge of the central conductor;
or,
The circuit board , wherein the recesses or protrusions are smaller at a central portion of the central conductor than at an outer edge of the central conductor.
前記凹部は、前記中央導体中央部に位置している請求項1に記載の回路基板。 2. The circuit board according to claim 1, wherein said recess is located in the central portion of said central conductor. 前記端子電極の厚みは、前記中央導体の厚み以上である請求項1または請求項2に記載の回路基板。 3. The circuit board according to claim 1, wherein the thickness of the terminal electrode is equal to or greater than the thickness of the central conductor. 前記端子電極は、表面に凸状部を有している請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の回路基板。 4. The circuit board according to any one of claims 1 to 3, wherein the terminal electrode has a convex portion on its surface. 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の回路基板と、電子素子とを備えている電子部品。 An electronic component comprising the circuit board according to any one of claims 1 to 4 and an electronic element. 請求項5に記載の電子部品と、該電子部品が実装されたモジュール用の配線基板とを備えている電子モジュール。 An electronic module comprising: the electronic component according to claim 5; and a module wiring board on which the electronic component is mounted.
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