JP7294769B2 - Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board - Google Patents

Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board Download PDF

Info

Publication number
JP7294769B2
JP7294769B2 JP2017182413A JP2017182413A JP7294769B2 JP 7294769 B2 JP7294769 B2 JP 7294769B2 JP 2017182413 A JP2017182413 A JP 2017182413A JP 2017182413 A JP2017182413 A JP 2017182413A JP 7294769 B2 JP7294769 B2 JP 7294769B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed wiring
flexible printed
wiring board
conductor layer
pattern
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2017182413A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2019057679A (en
Inventor
誠一 玉井
渉 高野
勇一 ▲高▼吉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitto Denko Corp
Original Assignee
Nitto Denko Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Denko Corp filed Critical Nitto Denko Corp
Priority to JP2017182413A priority Critical patent/JP7294769B2/en
Publication of JP2019057679A publication Critical patent/JP2019057679A/en
Priority to JP2022065186A priority patent/JP2022089913A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7294769B2 publication Critical patent/JP7294769B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Testing Of Short-Circuits, Discontinuities, Leakage, Or Incorrect Line Connections (AREA)

Description

本発明は、フレキシブルプリント配線板の製造方法、検査方法および検査装置に関する。 The present invention relates to a manufacturing method, an inspection method, and an inspection apparatus for flexible printed wiring boards.

ハードディスクドライブにおいて、フレキシブルプリント配線板(以下、単にFPCと称することがある)は、ヘッドICなどの電子部品を実装することが知られている(例えば、特許文献1参照。)。上記した電子部品は、高温に発熱する場合があり、そのため、FPCに耐熱性が要求される。 2. Description of the Related Art In hard disk drives, it is known that electronic components such as a head IC are mounted on a flexible printed wiring board (hereinafter sometimes simply referred to as FPC) (see, for example, Patent Document 1). The electronic components described above may generate heat at high temperatures, and therefore the FPC is required to have heat resistance.

そこで、例えば、FPCの耐熱性を評価するために、FPCを高温の油浴に浸漬し、その後、FPCを評価する方法(例えば、非特許文献1参照。)が提案されている。また、FPCを加熱炉に投入し、その後、加熱炉の設定温度を段階的に昇温させ、その後、FPCを評価する方法(例えば、非特許文献2参照。)が提案されている。 Therefore, for example, in order to evaluate the heat resistance of an FPC, a method of immersing the FPC in a high-temperature oil bath and then evaluating the FPC has been proposed (see, for example, Non-Patent Document 1). Also, a method has been proposed in which an FPC is put into a heating furnace, then the set temperature of the heating furnace is increased stepwise, and then the FPC is evaluated (see, for example, Non-Patent Document 2).

特開2015-108819号公報JP 2015-108819 A IPC-TM-650 TEST METHODS MANUAL Number2.6.7,Date 8/97IPC-TM-650 TEST METHODS MANUAL Number2.6.7, Date 8/97 IPC-TM-650 TEST METHODS MANUAL Number2.6.6,Date 4/73IPC-TM-650 TEST METHODS MANUAL Number2.6.6, Date 4/73

しかるに、電子部品は、FPCの厚み方向一方側のみに実装される。一方、非特許文献1および2で試験される環境は、FPCの厚み方向一方側および他方側の両方から加熱される。そのため、ハードディスクドライブにおけるFPCの周囲の環境と異なる。その結果、FPCの耐熱性を正確に評価できないという不具合がある。 However, electronic components are mounted only on one side of the FPC in the thickness direction. On the other hand, the environments tested in Non-Patent Documents 1 and 2 are heated from both one side and the other side in the thickness direction of the FPC. Therefore, the environment around the FPC in a hard disk drive is different. As a result, there is a problem that the heat resistance of the FPC cannot be evaluated accurately.

本発明は、FPCの耐熱性を電子部品を実装する環境に即して正確に評価することのできるFPCの製造方法、検査方法および検査装置を提供する。 The present invention provides an FPC manufacturing method, an inspection method, and an inspection apparatus capable of accurately evaluating the heat resistance of an FPC in accordance with the environment in which electronic components are mounted.

本発明(1)は、厚み方向を貫通する貫通穴を有する絶縁層と、前記絶縁層の前記厚み方向一方側に配置される第1導体層と、前記絶縁層の前記厚み方向他方側に配置される第2導体層と、前記貫通穴内に配置され、前記第1導体層および前記第2導体層を電気的に導通させる導通部とを備えるフレキシブルプリント配線板を準備する第1工程と、加熱体を、前記フレキシブルプリント配線板の前記厚み方向一方側のみから前記第1導体層に接触させて、前記フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価する第2工程とを備える、フレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 The present invention (1) comprises an insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction, a first conductor layer arranged on one side of the insulating layer in the thickness direction, and a conductor layer arranged on the other side of the insulating layer in the thickness direction. a first step of preparing a flexible printed wiring board including a second conductor layer disposed within the through hole and electrically conducting the first conductor layer and the second conductor layer; and a second step of evaluating the electrical characteristics of the flexible printed wiring board by bringing a body into contact with the first conductor layer only from one side in the thickness direction of the flexible printed wiring board. including methods.

この製造方法によれば、第2工程において、加熱体を、フレキシブルプリント配線板の厚み方向一方側のみから第1導体層に接触させて、フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価するので、フレキシブルプリント配線板が発熱を生じる電子部品を実装する環境と同じまたは近似する環境で、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を評価することができる。そのため、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を正確に評価できる。その結果、耐熱性が正確に評価されたフレキシブルプリント配線板を製造することができる。 According to this manufacturing method, in the second step, the heating element is brought into contact with the first conductor layer only from one side in the thickness direction of the flexible printed wiring board to evaluate the electrical characteristics of the flexible printed wiring board. The heat resistance of the flexible printed wiring board can be evaluated in an environment that is the same as or similar to the environment in which electronic components that generate heat are mounted on the wiring board. Therefore, it is possible to accurately evaluate the heat resistance of the flexible printed wiring board. As a result, it is possible to manufacture a flexible printed wiring board whose heat resistance is accurately evaluated.

本発明(2)は、前記第1工程では、前記厚み方向に直交する方向に沿う平坦状の第1接触面を有する前記第1導体層を備える前記フレキシブルプリント配線板を準備し、前記第2工程では、平坦状の第2接触面を有する前記加熱体の前記第2接触面を、前記第1接触面に面接触させる、(1)に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 In the present invention (2), in the first step, the flexible printed wiring board including the first conductor layer having a flat first contact surface along a direction orthogonal to the thickness direction is prepared, and the second The step includes the method of manufacturing a flexible printed wiring board according to (1), wherein the second contact surface of the heating element having a flat second contact surface is brought into surface contact with the first contact surface.

この製造方法によれば、第2工程では、平坦状の第2接触面を有する加熱体の第2接触面を、第1接触面に面接触させるので、電子部品を面状に実装する環境と同じにすることができ、フレキシブルプリント配線板の耐熱性をより一層正確に評価することができる。 According to this manufacturing method, in the second step, the second contact surface of the heating element having the flat second contact surface is brought into surface contact with the first contact surface. The same can be done, and the heat resistance of the flexible printed wiring board can be evaluated more accurately.

本発明(3)は、前記第1工程において、前記導通部を、前記厚み方向に投影したときに前記第1接触面に含まれるように、配置する、(2)に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 The present invention (3) is the flexible printed wiring board according to (2), wherein in the first step, the conductive portion is arranged so as to be included in the first contact surface when projected in the thickness direction. including the manufacturing method of

この製造方法によれば、第1工程において、導通部を、厚み方向に投影したときに第1接触面に含まれるように、配置するので、加熱体からの熱を第1導体層を介して導通部に迅速に伝導させることができる。そのため、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を正確に評価できる。その結果、耐熱性が正確に評価されたフレキシブルプリント配線板を製造することができる。 According to this manufacturing method, in the first step, the conductive portion is arranged so as to be included in the first contact surface when projected in the thickness direction, so that heat from the heater is transferred through the first conductor layer. It can be made to conduct to the conduction part rapidly. Therefore, it is possible to accurately evaluate the heat resistance of the flexible printed wiring board. As a result, it is possible to manufacture a flexible printed wiring board whose heat resistance is accurately evaluated.

本発明(4)は、前記第1工程において、前記導通部を複数配置する、(1)~(3)のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 The present invention (4) includes the method for manufacturing a flexible printed wiring board according to any one of (1) to (3), wherein a plurality of conductive portions are arranged in the first step.

この製造方法によれば、第1工程において、導通部を複数配置するので、第2工程において、複数の導通部の電気特性を評価すれば、フレキシブルプリント配線板の電気特性をより正確に評価することができる。 According to this manufacturing method, since a plurality of conductive portions are arranged in the first step, the electrical characteristics of the flexible printed wiring board can be evaluated more accurately by evaluating the electrical characteristics of the plurality of conductive portions in the second step. be able to.

本発明(5)は、前記第1工程では、前記フレキシブルプリント配線板を複数備えるフレキシブルプリント配線板集合体を準備し、前記複数のフレキシブルプリント配線板は、製品となる製品フレキシブルプリント配線板と、テストフレキシブルプリント配線板とを備え、前記第2工程では、前記加熱体を、前記テストフレキシブルプリント配線板の前記第1導体層に接触させる、(1)~(4)のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 In the present invention (5), in the first step, a flexible printed wiring board assembly including a plurality of the flexible printed wiring boards is prepared, and the plurality of flexible printed wiring boards are a product flexible printed wiring board to be a product; and a test flexible printed wiring board, and in the second step, the heating body is brought into contact with the first conductor layer of the test flexible printed wiring board, according to any one of (1) to (4). including a method for manufacturing a flexible printed wiring board.

この製造方法によれば、第2工程では、加熱体を、テストフレキシブルプリント配線板の第1導体層に接触させるので、製品フレキシブルプリント配線板の熱による損傷を抑制することができる。 According to this manufacturing method, in the second step, the heating element is brought into contact with the first conductor layer of the test flexible printed wiring board, so that the product flexible printed wiring board can be prevented from being damaged by heat.

本発明(6)は、前記フレキシブルプリント配線板の電気抵抗の変化を連続して測定する、(1)~(5)のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 The present invention (6) includes the method for producing a flexible printed wiring board according to any one of (1) to (5), wherein changes in electrical resistance of the flexible printed wiring board are continuously measured.

非特許文献1および2の方法であれば、フレキシブルプリント配線板を油浴および加熱炉で加熱した後、取り出して、フレキシブルプリント配線板を評価している。 According to the methods of Non-Patent Documents 1 and 2, the flexible printed wiring board is evaluated after being heated in an oil bath and a heating furnace and then taken out.

一方、この製造方法によれば、フレキシブルプリント配線板を加熱しているときに、その電気抵抗の変化を連続して測定するので、フレキシブルプリント配線板が実際に受ける熱履歴に対応して、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を正確に評価することができる。 On the other hand, according to this manufacturing method, the change in electrical resistance of the flexible printed wiring board is continuously measured while the flexible printed wiring board is being heated. It is possible to accurately evaluate the heat resistance of printed wiring boards.

本発明(7)は、前記第2工程は、前記加熱体を加熱する加熱工程と、前記加熱体の温度を維持する維持工程と、前記加熱体を冷却する冷却工程との少なくともいずれかの工程を備える、(1)~(6)のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 In the present invention (7), the second step includes at least one of a heating step of heating the heating body, a maintaining step of maintaining the temperature of the heating body, and a cooling step of cooling the heating body. The method for manufacturing a flexible printed wiring board according to any one of (1) to (6), comprising:

この製造方法では、第2工程が、加熱体を加熱する加熱工程と、加熱体の温度を維持する維持工程と、加熱体を冷却する冷却工程との少なくともいずれかの工程を備えるので、実際のフレキシブルプリント配線板の周囲の環境に応じて、第2工程を設定して実施することができる。 In this manufacturing method, the second step includes at least one of the heating step of heating the heating element, the maintaining step of maintaining the temperature of the heating element, and the cooling step of cooling the heating element. The second step can be set and performed according to the environment around the flexible printed wiring board.

本発明(8)は、前記第2工程は、前記加熱工程を備え、前記加熱工程は、互いに異なる温度に設定する、(7)に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法を含む。 The present invention (8) includes the method for manufacturing a flexible printed wiring board according to (7), wherein the second step includes the heating step, and the heating steps are set to different temperatures.

この製造方法の加熱工程では、加熱体の温度を互いに異なる温度に設定するので、より実際のフレキシブルプリント配線板の周囲の環境に応じて、加熱工程を実施することができる。 In the heating process of this manufacturing method, the temperatures of the heaters are set to different temperatures, so that the heating process can be carried out in accordance with the actual surrounding environment of the flexible printed wiring board.

本発明(9)は、厚み方向を貫通する貫通穴を有する絶縁層と、前記絶縁層の前記厚み方向一方側に配置される第1導体層と、前記絶縁層の前記厚み方向他方側に配置される第2導体層と、前記貫通穴内に配置され、前記第1導体層および前記第2導体層を電気的に導通させる導通部とを備える前記フレキシブルプリント配線板を準備する第1工程と、加熱体を、前記フレキシブルプリント配線板の前記厚み方向一方側のみから前記第1導体層に接触させて、前記フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価する第2工程とを備える、フレキシブルプリント配線板の検査方法を含む。 The present invention (9) comprises an insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction, a first conductor layer arranged on one side of the insulating layer in the thickness direction, and arranged on the other side of the insulating layer in the thickness direction. a first step of preparing the flexible printed wiring board including a second conductor layer disposed in the through hole and a conductive portion electrically conducting the first conductor layer and the second conductor layer; and a second step of contacting a heating element with the first conductor layer only from one side in the thickness direction of the flexible printed wiring board to evaluate the electrical characteristics of the flexible printed wiring board. Including inspection method.

このフレキシブルプリント配線板の検査方法では、第2工程において、加熱体を、フレキシブルプリント配線板の厚み方向一方側のみから第1導体層に接触させて、フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価するので、フレキシブルプリント配線板がフレキシブルプリント配線板を実装する環境と同じまたは近似する環境で、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を評価することができる。そのため、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を、電子部品を実装する環境に即して正確に評価できる。 In this flexible printed wiring board inspection method, in the second step, the heating element is brought into contact with the first conductor layer only from one side in the thickness direction of the flexible printed wiring board to evaluate the electrical characteristics of the flexible printed wiring board. , the heat resistance of the flexible printed wiring board can be evaluated in an environment that is the same as or similar to the environment in which the flexible printed wiring board is mounted. Therefore, the heat resistance of the flexible printed wiring board can be accurately evaluated in accordance with the environment in which electronic components are mounted.

本発明(10)は、(9)に記載のフレキシブルプリント配線板の検査方法に用いられるフレキシブルプリント配線板の検査装置であり、前記加熱体と、前記フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価する評価装置とを備える、フレキシブルプリント配線板の検査装置を含む。 The present invention (10) is a flexible printed wiring board inspection apparatus used in the flexible printed wiring board inspection method according to (9), wherein the heating body and an evaluation for evaluating electrical characteristics of the flexible printed wiring board and an inspection apparatus for flexible printed wiring boards.

このフレキシブルプリント配線板の検査装置では、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を、電子部品を実装する環境に即して正確に評価することができる。 This inspection apparatus for flexible printed wiring boards can accurately evaluate the heat resistance of flexible printed wiring boards in accordance with the environment in which electronic components are mounted.

本発明(11)は、前記加熱体は、平坦状の接触面を有する、(10)に記載のフレキシブルプリント配線板の検査装置を含む。 The present invention (11) includes the flexible printed wiring board inspection apparatus according to (10), wherein the heater has a flat contact surface.

このフレキシブルプリント配線板の検査装置では、加熱体は、平坦状の接触面を有するので、加熱体を、第1導体層に面接触させることができる。そのため、フレキシブルプリント配線板が電子部品を面状に実装する環境と同じにすることができ、フレキシブルプリント配線板の耐熱性をより一層正確に評価することができる。 In this inspection apparatus for flexible printed wiring boards, since the heating element has a flat contact surface, the heating element can be brought into surface contact with the first conductor layer. Therefore, the flexible printed wiring board can be made to have the same environment as that in which electronic components are mounted on a plane, and the heat resistance of the flexible printed wiring board can be evaluated more accurately.

本発明(12)は、前記加熱体は、連続して加熱および冷却可能である、(10)または(11)に記載のフレキシブルプリント配線板の検査装置を含む。 The present invention (12) includes the flexible printed wiring board inspection apparatus according to (10) or (11), wherein the heater can be continuously heated and cooled.

加熱体は、連続して加熱および冷却可能であるので、フレキシブルプリント配線板を、電子部品を実装する環境に即した熱履歴を、フレキシブルプリント配線板に付与して、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を正確に評価することができる。 Since the heating element can be continuously heated and cooled, the flexible printed wiring board is provided with a heat history suitable for the environment in which electronic components are mounted, thereby improving the heat resistance of the flexible printed wiring board. can be evaluated accurately.

本発明(13)は、前記評価装置は、前記フレキシブルプリント配線板の電気抵抗の変化を連続して測定することができる抵抗測定器である、(10)~(12)のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の検査装置を含む。 The present invention (13) is according to any one of (10) to (12), wherein the evaluation device is a resistance measuring instrument capable of continuously measuring changes in electrical resistance of the flexible printed wiring board. It includes an inspection apparatus for flexible printed wiring boards as described.

この検査装置によれば、抵抗測定器が、フレキシブルプリント配線板の電気抵抗の変化を連続して測定するので、フレキシブルプリント配線板が実際に受ける熱履歴に対応して、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を正確に評価することができる。 According to this inspection device, since the resistance measuring device continuously measures changes in the electrical resistance of the flexible printed wiring board, the heat resistance of the flexible printed wiring board can be measured in accordance with the heat history actually received by the flexible printed wiring board. can be accurately evaluated.

本発明のフレキシブルプリント配線板の製造方法によれば、耐熱性が正確に評価されたフレキシブルプリント配線板を製造することができる。 According to the method for manufacturing a flexible printed wiring board of the present invention, a flexible printed wiring board whose heat resistance has been accurately evaluated can be manufactured.

本発明の検査方法および検査装置によれば、フレキシブルプリント配線板の耐熱性を、電子部品を実装する環境に即して正確に評価できる。 According to the inspection method and inspection apparatus of the present invention, the heat resistance of a flexible printed wiring board can be accurately evaluated in accordance with the environment in which electronic components are mounted.

図1は、本発明の製造方法の一実施形態で用いられるFPC集合体の平面図を示す。FIG. 1 shows a plan view of an FPC assembly used in one embodiment of the manufacturing method of the present invention. 図2A~図2Cは、図1に示すFPC集合体に備えられるテストFPCを示し、図2Aが、平面図、図2Bが、第1導体層、導通部および絶縁層の平面図、図2Cが、第1導体層および絶縁層を省略した、第2導体層および導通部の平面図を示す。2A to 2C show test FPCs provided in the FPC assembly shown in FIG. 1, FIG. 2A being a plan view, FIG. 4 shows a plan view of the second conductor layer and the conducting portion, with the first conductor layer and the insulating layer omitted; FIG. 図3は、図2A~図2Cに示すテストFPCのX-X線で示す断面図を示す。FIG. 3 shows a cross-sectional view taken along line XX of the test FPC shown in FIGS. 2A-2C. 図4A~図4Cは、図3に示すテストFPCの製造工程図であり、図4Aが、第3導体層、絶縁層および第1導体層からなる3層基材を準備する工程、図4Bが、絶縁貫通孔および導体貫通孔を形成する工程、図4Cが、第4導体層を形成する工程を示す。4A to 4C are manufacturing process diagrams of the test FPC shown in FIG. , forming insulating through-holes and conductor through-holes, and FIG. 4C shows forming a fourth conductor layer. 図5は、図3に示すテストFPCを用いる第2工程を説明する図を示す。FIG. 5 shows a diagram explaining the second step using the test FPC shown in FIG. 図6A~図6Eは、第2工程における加熱体の温度プログラムであり、図6Aが、第1プログラム、図6Bが、第2プログラム、図6Cが、第3プログラム、図6Dが、第2プログラムの変形例である第4プログラム、図6Eが、第1プログラムを繰り返す第5プログラムを示す。6A to 6E are temperature programs of the heating element in the second step, where FIG. 6A is the first program, FIG. 6B is the second program, FIG. 6C is the third program, and FIG. 6D is the second program. A fourth program, FIG. 6E, which is a variation of , shows a fifth program that repeats the first program. 図7A~図7Cは、テストFPCの変形例を示し、図7Aが、平面図、図7Bが、第1導体層、導通部および絶縁層の平面図、図7Cが、第1導体層を省略した、第2導体層および導通部の平面図を示す。7A to 7C show a modification of the test FPC, FIG. 7A is a plan view, FIG. 7B is a plan view of the first conductor layer, the conductive portion and the insulating layer, and FIG. 7C omits the first conductor layer. FIG. 10 is a plan view of the second conductor layer and the conducting portion, respectively. 図8A~図8Cは、テストFPCの変形例を示し、図8Aが、平面図、図8Bが、第1導体層、導通部および絶縁層の平面図、図8Cが、第1導体層を省略した、第2導体層および導通部の平面図を示す。8A to 8C show a modification of the test FPC, FIG. 8A is a plan view, FIG. 8B is a plan view of the first conductor layer, the conductive portion and the insulating layer, and FIG. 8C omits the first conductor layer. FIG. 10 is a plan view of the second conductor layer and the conducting portion, respectively. 図9A~図9Cは、テストFPCの変形例を示し、図9Aが、平面図図9Bが、第1導体層、導通部および絶縁層の平面図、図9Cが、第1導体層を省略した、第2導体層および導通部の平面図を示す。9A to 9C show a modified example of the test FPC, FIG. 9A is a plan view, FIG. 9B is a plan view of the first conductor layer, the conductive part and the insulating layer, and FIG. 9C omits the first conductor layer. , a plan view of the second conductor layer and the conducting portion; FIG.

図3~図5において、紙面上下方向は、厚み方向の一例としての上下方向であり、紙面上側が上側(厚み方向一方側の一例)、紙面下側が下側(厚み方向他方側の一例)の一例である。図3~図5において、紙面左右方向は、厚み方向に対する直交方向の一例である面方向(長手方向)である。 In FIGS. 3 to 5, the vertical direction of the paper is the vertical direction as an example of the thickness direction, the upper side of the paper is the upper side (an example of one side in the thickness direction), and the lower side of the paper is the lower side (an example of the other side in the thickness direction). An example. In FIGS. 3 to 5, the horizontal direction of the paper surface is the surface direction (longitudinal direction), which is an example of a direction orthogonal to the thickness direction.

具体的には、方向は、各図面に記載の方向矢印に準拠する。 Specifically, the directions conform to the directional arrows described in each drawing.

これらの方向の定義により、テストFPC2およびFPC集合体1(後述)の製造時、検査時および使用時の向きを限定する意図はない。 These orientation definitions are not intended to limit the orientation of the test FPC 2 and FPC assembly 1 (described later) during manufacture, inspection and use.

図1に示すように、本発明のFPCの製造方法の一実施形態は、FPC集合体1の製造方法である。FPC集合体1の製造方法は、FPC集合体1を準備する第1工程と、FPC集合体1が備えるテストFPC2(後述)の電気特性を評価する第2工程とを備える。 As shown in FIG. 1, one embodiment of the method for manufacturing an FPC of the present invention is a method for manufacturing an FPC assembly 1. As shown in FIG. The manufacturing method of the FPC assembly 1 includes a first step of preparing the FPC assembly 1 and a second step of evaluating electrical characteristics of a test FPC 2 (described later) included in the FPC assembly 1 .

FPC集合体1は、例えば、ロールトゥロール法によって搬送方向に沿って繰り出されて製造される長尺シート3をその幅方向に沿って切断したシートである。FPC集合体1は、長尺シート3の幅方向に長い平面視略矩形シート形状を有する。FPC集合体1は、製品FPC4と、テストFPC2とを備える。 The FPC aggregate 1 is, for example, a sheet obtained by cutting a long sheet 3 along its width direction, which is manufactured by being drawn out along the conveying direction by a roll-to-roll method. The FPC assembly 1 has a substantially rectangular sheet shape elongated in the width direction of the long sheet 3 in plan view. The FPC aggregate 1 comprises a product FPC 4 and a test FPC 2.

製品FPC4は、FPC集合体1において、互いに間隔を隔てて複数配置されている。複数の製品FPC4のそれぞれは、テストFPC2に備えられる導通部14、第1導体層15および第2導体層16(後述)を適宜のパターンで有する。 A plurality of product FPCs 4 are arranged at intervals in the FPC assembly 1 . Each of the plurality of product FPCs 4 has conductive portions 14, first conductor layers 15, and second conductor layers 16 (described later) provided on the test FPC 2 in appropriate patterns.

テストFPC2は、複数の製品FPC4の外側に複数(2つ)配置されている。 A plurality (two) of test FPCs 2 are arranged outside the plurality of product FPCs 4 .

次に、2つのテストFPC2のうち、一方のテストFPC2を説明する。なお、他方のテストFPC2は、一方のテストFPC2と同一の構成を有する。 Next, one test FPC2 of the two test FPC2 will be described. The other test FPC2 has the same configuration as the one test FPC2.

図2A~図3に示すように、テストFPC2は、長手方向に延びる略シート形状を有する。なお、テストFPC2の長手方向は、長尺シート3(図1参照)の長手方向に相当する。テストFPC2は、絶縁層5と、導体パターン6とを備える。 As shown in FIGS. 2A-3, the test FPC 2 has a substantially sheet shape extending in the longitudinal direction. The longitudinal direction of the test FPC 2 corresponds to the longitudinal direction of the long sheet 3 (see FIG. 1). The test FPC 2 comprises an insulating layer 5 and conductor patterns 6 .

絶縁層5は、長手方向に延びるシート形状を有する。絶縁層5は、互いに平行する絶縁上面9および絶縁下面10を有する。絶縁上面9および絶縁下面10のそれぞれは、平坦状である。また、図3の拡大図で示すように、絶縁層5は、厚み方向を貫通する貫通孔の一例としての絶縁貫通孔7を有する。絶縁貫通孔7は、面方向(長手方向および幅方向)に間隔を隔てて複数配置されている。複数の絶縁貫通孔7のそれぞれは、例えば、平面視略円形状を有する。複数の絶縁貫通孔7に臨む絶縁層5の絶縁内側面8は、下側に向かって面方向外側に傾斜するテーパ面である。つまり、絶縁内側面8は、下側に向かって開口断面積が次第に大きくなる円錐台の斜面(錘面)に相当する。 The insulating layer 5 has a sheet shape extending in the longitudinal direction. The insulating layer 5 has an insulating upper surface 9 and an insulating lower surface 10 which are parallel to each other. Each of the insulating top surface 9 and the insulating bottom surface 10 is planar. In addition, as shown in the enlarged view of FIG. 3, the insulating layer 5 has an insulating through hole 7 as an example of a through hole penetrating in the thickness direction. A plurality of insulating through-holes 7 are arranged at intervals in the plane direction (longitudinal direction and width direction). Each of the plurality of insulating through-holes 7 has, for example, a generally circular shape in plan view. An insulating inner side surface 8 of the insulating layer 5 facing the plurality of insulating through-holes 7 is a tapered surface that slopes downward and outward in the plane direction. In other words, the insulating inner side surface 8 corresponds to a truncated conical slope (conical surface) in which the cross-sectional area of the opening gradually increases toward the lower side.

絶縁層5の材料としては、例えば、後述する第2工程において耐久でき、かつ可撓性を有する樹脂などが挙げられる。具体的には、絶縁層5の材料としては、例えば、例えば、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、アクリル樹脂、ポリエーテル樹脂、ニトリル樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂、ポリエチレンナフタレート樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂などの合成樹脂が挙げられ、好ましくは、ポリイミド樹脂が挙げられる。絶縁層5の厚みは、例えば、1μm以上、好ましくは、3μm以上、例えば、25μm以下、好ましくは、15μm以下である。絶縁貫通孔7の内径(最小径、対向する絶縁内側面8間の距離の最小値)は、例えば、10μm以上、好ましくは、50μm以上であり、また、例えば、2000μm以下、好ましくは、1500μm以下である。複数の絶縁貫通孔7のピッチ(絶縁貫通孔7の内径と隣接する絶縁貫通孔7間の距離との総和)は、例えば、100μm以上、好ましくは、150μm以上であり、また、例えば、500μm以下、好ましくは、300μm以下である。 As a material of the insulating layer 5, for example, a resin that is durable and flexible in the second step described later can be used. Specifically, examples of materials for the insulating layer 5 include polyimide resin, polyamideimide resin, acrylic resin, polyether resin, nitrile resin, polyethersulfone resin, polyethylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, and polychloride. Synthetic resins such as vinyl resins, preferably polyimide resins. The thickness of the insulating layer 5 is, for example, 1 μm or more, preferably 3 μm or more, and for example, 25 μm or less, preferably 15 μm or less. The inner diameter (minimum diameter, minimum value of the distance between the opposing insulating inner surfaces 8) of the insulating through hole 7 is, for example, 10 μm or more, preferably 50 μm or more, and for example, 2000 μm or less, preferably 1500 μm or less. is. The pitch of the plurality of insulating through-holes 7 (the sum of the inner diameter of the insulating through-holes 7 and the distance between adjacent insulating through-holes 7) is, for example, 100 μm or more, preferably 150 μm or more, and, for example, 500 μm or less. , preferably 300 μm or less.

図2Aに示すように、導体パターン6は、被検査パターン11と、端子部12と、連結部13とを一体的に備える。 As shown in FIG. 2A, the conductor pattern 6 integrally includes a pattern to be inspected 11, a terminal portion 12, and a connecting portion 13. As shown in FIG.

被検査パターン11は、テストFPC2における長手方向略中央部に配置される。被検査パターン11は、平面視略蛇行状(葛折り状またはサーペンタイン状)を有する。これにより、図2Aの太線で示すように、被検査パターン11は、平面視において、蛇行する導電パスPを形成する。なお、図3に示すように、後述する被検査パターン11は、その断面視において、絶縁層5の絶縁上面9および絶縁下面10において交互に進行する蛇行パターンでもある。 The pattern to be inspected 11 is arranged substantially in the longitudinal center of the test FPC 2 . The pattern 11 to be inspected has a substantially meandering shape (a zigzag shape or a serpentine shape) in plan view. As a result, the pattern to be inspected 11 forms a meandering conductive path P in plan view, as indicated by the thick line in FIG. 2A. As shown in FIG. 3, the pattern to be inspected 11, which will be described later, is also a meandering pattern that alternately progresses on the insulating upper surface 9 and the insulating lower surface 10 of the insulating layer 5 when viewed in cross section.

図2Aおよび図2Bに示すように、端子部12は、被検査パターン11の長手方向両側に互いに間隔を隔てて複数(4つ)配置されている。 As shown in FIGS. 2A and 2B, a plurality (four) of terminal portions 12 are arranged on both sides of the pattern to be inspected 11 in the longitudinal direction at intervals.

連結部13は、例えば、平面視略直線形状を有しており、被検査パターン11および端子部12を連結している。 The connecting portion 13 has, for example, a substantially linear shape in plan view, and connects the pattern to be inspected 11 and the terminal portion 12 .

また、図2A~図3に示すように、導体パターン6は、導通部14と、第1導体層15と、第2導体層16とを備える。 Moreover, as shown in FIGS. 2A to 3, the conductor pattern 6 includes a conducting portion 14, a first conductor layer 15, and a second conductor layer 16. FIG.

導通部14は、複数の絶縁貫通孔7に対応して複数設けられている。具体的には、導通部14は、被検査パターン11の蛇行パターンに沿って、互いに間隔を隔てて複数(30個)配置されている。複数の導通部14のそれぞれは、複数の絶縁貫通孔7内のそれぞれに充填されている。具体的には、導通部14は、面方向に投影したときに、絶縁層5に重複しており、より詳しくは、絶縁上面9および絶縁下面10間に位置している。導通部14は、絶縁内側面8と、絶縁貫通孔7の上側に位置する第1導体層15(後述)の下面と、絶縁貫通孔7の下側に位置する第2導体層16(後述)の上面とに接触している。これにより、導通部15は、第1導体層15(後述)と第2導体層16(後述)とを電気的に導通させている。 A plurality of conductive portions 14 are provided corresponding to the plurality of insulating through holes 7 . Specifically, a plurality of (30) conductive portions 14 are arranged at intervals along the meandering pattern of the pattern to be inspected 11 . Each of the plurality of conducting portions 14 is filled in each of the plurality of insulating through holes 7 . Specifically, the conducting portion 14 overlaps the insulating layer 5 when projected in the planar direction, and more specifically, is located between the insulating upper surface 9 and the insulating lower surface 10 . The conductive portion 14 includes an insulating inner surface 8, a lower surface of a first conductor layer 15 (described later) positioned above the insulating through hole 7, and a second conductor layer 16 positioned below the insulating through hole 7 (described later). is in contact with the top surface of the Thereby, the conducting portion 15 electrically conducts the first conductor layer 15 (described later) and the second conductor layer 16 (described later).

導通部14の材料としては、例えば、銅、ニッケル、金、または、これらの合金などの導体が挙げられ、好ましくは、銅が挙げられる。導通部14の厚みは、絶縁層5の厚みと同一である。 Examples of the material of the conducting portion 14 include conductors such as copper, nickel, gold, or alloys thereof, preferably copper. The thickness of the conducting portion 14 is the same as the thickness of the insulating layer 5 .

第1導体層15は、絶縁層5の絶縁上面9に配置されるとともに、絶縁貫通孔7の上端縁を閉塞するパターンを有する(パターン状のシートである)。第1導体層15は、絶縁上面9の上側に配置されている。第1導体層15は、互いに平行する第1導体上面26および第1導体下面27を有する。第1導体上面26および第1導体下面27は、平坦状である。第1導体上面26は、上側に露出している。第1導体下面27は、絶縁上面9、および、導通部14の上面に接触している。 The first conductor layer 15 is arranged on the insulating upper surface 9 of the insulating layer 5 and has a pattern (it is a patterned sheet) that closes the upper edges of the insulating through-holes 7 . The first conductor layer 15 is arranged above the insulating upper surface 9 . The first conductor layer 15 has a first conductor upper surface 26 and a first conductor lower surface 27 parallel to each other. The first conductor upper surface 26 and the first conductor lower surface 27 are flat. The first conductor upper surface 26 is exposed upward. The first conductor lower surface 27 is in contact with the insulating upper surface 9 and the upper surface of the conductive portion 14 .

また、第1導体層15は、被検査パターン11と、端子部12と、連結部13とを形成している。 Also, the first conductor layer 15 forms a pattern to be inspected 11 , a terminal portion 12 and a connecting portion 13 .

被検査パターン11は、上記した導通部14、第1導体層15と、第2導体層16(後述)とから形成されている。 The pattern to be inspected 11 is formed of the conductive portion 14, the first conductor layer 15, and the second conductor layer 16 (described later).

被検査パターン11を形成する第1導体層15は、被検査パターン11の導電パスPに沿って隣接する2つの導通部14を含む複数の第1連結パターン17と、導電パスPの両端部のそれぞれの導通部14を含む2つの孤立パターン18とを独立して有する。各第1連結パターン17は、導電パスPに沿って隣接する2つの導通部14を含むが、その2つの導通部14と導電パスPに沿って隣接する導通部14を含まないように配置されている。そのため、隣接する第1連結パターン17は、互いに独立している。また、第1導体層15は、複数の導通部14のすべての上面と面接触している。 The first conductor layer 15 forming the pattern to be inspected 11 includes a plurality of first connecting patterns 17 including two conductive portions 14 adjacent along the conductive path P of the pattern to be inspected 11, It independently has two isolated patterns 18 each including a conductive portion 14 . Each first connection pattern 17 includes two conductive portions 14 adjacent along the conductive path P, but is arranged so as not to include the two conductive portions 14 and the conductive portion 14 adjacent along the conductive path P. ing. Therefore, adjacent first connection patterns 17 are independent of each other. Also, the first conductor layer 15 is in surface contact with all upper surfaces of the plurality of conductive portions 14 .

被検査パターン11における第1導体上面26は、第1接触面の一例である。つまり、被検査パターン11における第1導体上面26は、複数の第1連結パターン17のそれぞれの上面と、2つの孤立パターン18のそれぞれの上面とを形成しており、これらの上面は、面方向に互いに独立するが、同一の平面を形成する。詳しくは、複数の第1連結パターン17の第1導体上面26と、2つの孤立パターン18の第1導体上面とは、それらに沿う1つの仮想平面を形成でき、この仮想平面は、テストFPC2の面方向に沿う。そのため、被検査パターン11における第1導体上面26は、第2工程における加熱体30の板下面35(後述)と面接触可能な面である。 The first conductor upper surface 26 in the pattern to be inspected 11 is an example of a first contact surface. In other words, the first conductor upper surface 26 in the pattern to be inspected 11 forms the upper surface of each of the plurality of first connecting patterns 17 and the upper surface of each of the two isolated patterns 18, and these upper surfaces extend in the plane direction. are independent of each other but form the same plane. Specifically, the first conductor upper surfaces 26 of the plurality of first connecting patterns 17 and the first conductor upper surfaces of the two isolated patterns 18 can form a virtual plane along them, and this virtual plane is the test FPC 2. along the surface direction. Therefore, the first conductor upper surface 26 in the pattern to be inspected 11 is a surface that can come into surface contact with the plate lower surface 35 (described later) of the heater 30 in the second step.

第1導体層16の材料としては、比較的剛性を有する材料が挙げられ、具体的には、上記した導体が挙げられる。第1導体層16の厚みは、例えば、3μm以上、好ましくは、5μm以上であり、例えば、50μm以下、好ましくは、20μm以下である。 Examples of the material of the first conductor layer 16 include materials having a relatively high rigidity, and more specifically, the conductors described above. The thickness of the first conductor layer 16 is, for example, 3 μm or more, preferably 5 μm or more, and for example, 50 μm or less, preferably 20 μm or less.

第2導体層16は、絶縁層5の絶縁下面10に配置されるとともに、絶縁貫通孔7の下端縁の周端を遮蔽する第2連結パターン25を有する。第2導体層16は、平面視において、第1導体層15と部分的に重複する。 The second conductor layer 16 is arranged on the insulating lower surface 10 of the insulating layer 5 and has a second connecting pattern 25 that shields the peripheral edge of the lower edge of the insulating through-hole 7 . The second conductor layer 16 partially overlaps the first conductor layer 15 in plan view.

第2連結パターン25は、上記した第1連結パターン17および孤立パターン18とともに、被検査パターン11を形成する。第2連結パターン25は、導電パスPに隣接する2つの導通部14を含むように、複数配置されている。各第2連結パターン25は、平面視において、隣接する2つの導通部14を含む一方、第1連結パターン25に対して、1つの導通部14分だけ、導電パスPに沿ってずれて、形成されている。また、各第2連結パターン25は、導電パスPに沿って隣接する2つの導通部14を含むが、その2つの導通部14と導電パスPに沿って隣接する導通部14を含まないように配置されている。そのため、隣接する第2連結パターン25は、互いに独立している。 The second connected pattern 25 forms the pattern to be inspected 11 together with the first connected pattern 17 and the isolated pattern 18 described above. A plurality of second connection patterns 25 are arranged so as to include two conductive portions 14 adjacent to the conductive path P. As shown in FIG. Each of the second connection patterns 25 includes two adjacent conductive portions 14 in a plan view, while being shifted from the first connection pattern 25 by one conductive portion 14 along the conductive path P. It is Each second connection pattern 25 includes two conductive portions 14 adjacent along the conductive path P, but does not include the two conductive portions 14 and the conductive portion 14 adjacent along the conductive path P. are placed. Therefore, adjacent second connection patterns 25 are independent of each other.

また、第2導体層16は、例えば、第3導体層19および第4導体層20を下側に向かって順に備える。 Further, the second conductor layer 16 has, for example, a third conductor layer 19 and a fourth conductor layer 20 arranged downward in this order.

第3導体層19は、絶縁層5の絶縁下面10に接触する。つまり、第3導体層19は、絶縁下面10の下側に配置されている。第3導体層19の上面および下面は、ともに平坦状である。また、第3導体層19は、絶縁層5の絶縁内側面8と面一な導体内側面21を有する。なお、第3導体層19は、第4導体層20をめっきで形成するとき(図4C参照)の下地(種膜)となる。 The third conductor layer 19 contacts the insulating bottom surface 10 of the insulating layer 5 . That is, the third conductor layer 19 is arranged below the insulating bottom surface 10 . Both the upper surface and the lower surface of the third conductor layer 19 are flat. In addition, the third conductor layer 19 has a conductor inner surface 21 flush with the insulating inner surface 8 of the insulating layer 5 . The third conductor layer 19 serves as a base (seed film) when forming the fourth conductor layer 20 by plating (see FIG. 4C).

第4導体層20は、第3導体層19の下面および導体内側面21に配置されている。導体内側面21に配置される第4導体層20は、絶縁内側面8に接触する導通部14に連続している。具体的には、第4導体層20は、第3導体層19の下面の端縁から絶縁貫通孔7の内側に延びるに従って、上側に向かって、第3導体層19の導体内側面21に沿って屈曲し、導通部14の周端部の下部に連続する断面視略L形状を有する。また、第4導体層20は、複数の導通部14のすべての下面と面接触している。 The fourth conductor layer 20 is arranged on the lower surface and conductor inner surface 21 of the third conductor layer 19 . The fourth conductor layer 20 arranged on the conductor inner surface 21 is continuous with the conductive portion 14 that contacts the insulating inner surface 8 . Specifically, the fourth conductor layer 20 extends upward along the conductor inner side surface 21 of the third conductor layer 19 as it extends from the edge of the lower surface of the third conductor layer 19 toward the inside of the insulation through-hole 7 . , and has a substantially L shape in cross section that is continuous with the lower portion of the peripheral end portion of the conductive portion 14 . Also, the fourth conductor layer 20 is in surface contact with all the lower surfaces of the plurality of conducting portions 14 .

第2導体層16(第3導体層19および第4導体層20)の材料としては、上記した導体が挙げられる。第2導体層16の厚みは、第3導体層19および第4導体層20の総厚みであり、5μm以上、好ましくは、10μm以上であり、例えば、100μm以下、好ましくは、40μm以下である。また、第3導体層19および第4導体層20のそれぞれの厚みは、例えば、3μm以上、好ましくは、5μm以上であり、例えば、50μm以下、好ましくは、20μm以下である。 Materials for the second conductor layer 16 (the third conductor layer 19 and the fourth conductor layer 20) include the conductors described above. The thickness of the second conductor layer 16 is the total thickness of the third conductor layer 19 and the fourth conductor layer 20, and is 5 μm or more, preferably 10 μm or more, for example, 100 μm or less, preferably 40 μm or less. The thickness of each of the third conductor layer 19 and the fourth conductor layer 20 is, for example, 3 μm or more, preferably 5 μm or more, and is, for example, 50 μm or less, preferably 20 μm or less.

この導体パターン6では、一の端子部12からそれに対応する連結部13を介して、被検査パターン11における導電パスPに沿って通過し、他の端子部12にそれに対応する連結部13を介して電気が流れる。電気は、被検査パターン11において、平面視では、導電パスPに沿って流れる。また、電気は、被検査パターン11において、導電パスPに沿う断面視では、絶縁層5の上下両面に配置される第1導体層15と第2導体層16とを、導通部14を介して、交互に進行する。例えば、電気は、絶縁層5の上面において、第1導体層15の第1連結パターン17に沿って流れ、絶縁貫通孔7の上側において、導通部14を介して、下側に進み、次いで、絶縁層5の下面において、第2導体層16の第2連結パターン25に沿って進み、絶縁貫通孔7の下側において、導通部14を介して、上側に進み、再度、絶縁層5の上面において、第1導体層15の第1連結パターン17に沿って流れており、これらが繰り返される。 In this conductor pattern 6, it passes from one terminal portion 12 through the corresponding connection portion 13 along the conductive path P in the pattern to be inspected 11, and passes through the other terminal portion 12 through the corresponding connection portion 13. electricity will flow. Electricity flows along the conductive path P in the pattern to be inspected 11 in plan view. In the pattern to be inspected 11 , in a cross-sectional view along the conductive path P, electricity flows through the first conductor layer 15 and the second conductor layer 16 arranged on both upper and lower surfaces of the insulating layer 5 through the conducting portion 14 . , proceeding alternately. For example, electricity flows along the first connecting pattern 17 of the first conductor layer 15 on the upper surface of the insulating layer 5, travels downward through the conductive portion 14 on the upper side of the insulating through-hole 7, and then On the lower surface of the insulating layer 5 , proceed along the second connection pattern 25 of the second conductor layer 16 , on the lower side of the insulating through-hole 7 , proceed upward via the conductive portion 14 , and again on the upper surface of the insulating layer 5 . , it flows along the first connection pattern 17 of the first conductor layer 15, and these are repeated.

なお、4つの端子12のうち、2つの端子部12では、導電パスPの両端部から電気が入出力され、残りの2つの端子部12では、導電パスPの途中から電気が入出力される。 Of the four terminals 12, two terminal portions 12 input/output electricity from both ends of the conductive path P, and the remaining two terminal portions 12 input/output electricity from the middle of the conductive path P. .

第1工程では、上記したFPC集合体1を製造(準備)する。 In the first step, the FPC assembly 1 described above is manufactured (prepared).

図4Aに示すように、FPC集合体1を製造(準備)するには、まず、絶縁層5と、その絶縁上面9および絶縁下面10のそれぞれに配置された第1導体層15および第3導体層19とを備える3層基材22を準備する。つまり、3層基材22は、第3導体層19と、絶縁層5と、第1導体層15とを上側に向かって順に備える。3層基材22において、第3導体層19は、絶縁層5の絶縁下面10の全面に配置され、また、第1導体層15は、絶縁層5の絶縁上面9の全面に配置されている。 As shown in FIG. 4A, to manufacture (preparate) the FPC assembly 1, first, the insulating layer 5, the first conductor layer 15 and the third conductor disposed on the insulating upper surface 9 and the insulating lower surface 10, respectively. A three-layer substrate 22 comprising layer 19 is provided. That is, the three-layer base material 22 includes the third conductor layer 19, the insulating layer 5, and the first conductor layer 15 in this order toward the upper side. In the three-layer base material 22, the third conductor layer 19 is arranged over the entire insulating lower surface 10 of the insulating layer 5, and the first conductor layer 15 is arranged over the entire insulating upper surface 9 of the insulating layer 5. .

図4Bに示すように、次いで、絶縁貫通孔7を絶縁層5に形成する。具体的には、絶縁貫通孔7を絶縁層5に形成するとともに、導体貫通孔23を第3導体層19に形成する。絶縁貫通孔7および導体貫通孔23とは、厚み方向に連通する。なお、絶縁貫通孔7および導体貫通孔23の形成と同時に、絶縁層5において、第2導体層16のパターン(次の工程で形成されるパターン)以外の部位(図5Bにおける左右両端部)を除去する。 As shown in FIG. 4B, insulating through-holes 7 are then formed in the insulating layer 5 . Specifically, the insulating through-holes 7 are formed in the insulating layer 5 and the conductor through-holes 23 are formed in the third conductor layer 19 . The insulating through-holes 7 and the conductor through-holes 23 communicate in the thickness direction. Simultaneously with the formation of the insulating through-holes 7 and the conductor through-holes 23, the portions (both left and right ends in FIG. Remove.

絶縁貫通孔7および導体貫通孔23を形成する方法として、例えば、レーザー加工、エッチングなどが挙げられ、好ましくは、レーザー加工が挙げられる。 Methods for forming the insulating through-holes 7 and the conductor through-holes 23 include, for example, laser processing and etching, preferably laser processing.

図4Cに示すように、次いで、第4導体層20および導通部14を設ける。 As shown in FIG. 4C, a fourth conductor layer 20 and a conducting portion 14 are then provided.

例えば、まず、第4導体層20および導通部14を形成しない部位に、めっきレジスト(図示せず)を配置し、続いて、めっきにより、第3導体層19を種膜(給電層)として、第4導体層20および導通部14を形成し、その後、めっきレジストを除去する。 For example, first, a plating resist (not shown) is placed on a portion where the fourth conductor layer 20 and the conductive portion 14 are not formed, and then plating is performed using the third conductor layer 19 as a seed film (power supply layer), After forming the fourth conductor layer 20 and the conductive portion 14, the plating resist is removed.

これにより、第4導体層20および導通部14が、互いに連続するめっき層としての連続層24が形成される。これにより、第3導体層19および第4導体層20を備える第2導体層16を形成するともに、第1導体層15および第2導体層16を導通させる導通部14を形成する。 As a result, a continuous layer 24 is formed as a plated layer in which the fourth conductor layer 20 and the conductive portion 14 are continuous with each other. As a result, the second conductor layer 16 including the third conductor layer 19 and the fourth conductor layer 20 is formed, and the conductive portion 14 that electrically connects the first conductor layer 15 and the second conductor layer 16 is formed.

これにより、導通部14、第1導体層15および第2導体層16を備える、製品FPC4(図1参照)およびテストFPC2を備える長尺シート3を得る。 As a result, the long sheet 3 including the product FPC 4 (see FIG. 1) and the test FPC 2 including the conducting portion 14, the first conductor layer 15 and the second conductor layer 16 is obtained.

その後、図1が参照されるように、長尺シート3を幅方向に沿って切断して、FPC集合体1を得る。これにより、FPC集合体1を準備する。 After that, as shown in FIG. 1, the long sheet 3 is cut along the width direction to obtain the FPC assembly 1 . Thus, the FPC assembly 1 is prepared.

次に、図5に示すように、テストFPC2の電気特性を評価する第2工程を実施する。 Next, as shown in FIG. 5, a second step of evaluating electrical characteristics of the test FPC 2 is performed.

第2工程を実施するには、まず、検査装置(FPCの検査装置の一例)28を準備する。検査装置28は、例えば、電源29と、加熱体30と、評価装置の一例としての抵抗測定器31とを備える。なお、検査装置28は、必要により、例えば、ペルチェ素子、エアブロアなどの冷却装置(図示せず)を備えることもできる。 To perform the second step, first, an inspection device (an example of an FPC inspection device) 28 is prepared. The inspection device 28 includes, for example, a power source 29, a heating element 30, and a resistance measuring device 31 as an example of an evaluation device. The inspection device 28 can also be equipped with a cooling device (not shown) such as a Peltier device or an air blower, if necessary.

電源29は、加熱体30に電圧を連続的に印加可能である。 The power supply 29 can continuously apply a voltage to the heater 30 .

加熱体30は、電源29と電源配線32を介して電気的に接続されている。加熱体30の材料は、例えば、電熱材料(電気エネルギーによって発熱する材料)である。加熱体30は、板部33と、板部33の両端に連続し、上側に折れ曲がる折曲部34とを有する。 The heating element 30 is electrically connected to the power supply 29 via power supply wiring 32 . The material of the heater 30 is, for example, an electrothermal material (a material that generates heat by electrical energy). The heating element 30 has a plate portion 33 and bent portions 34 that are continuous with both ends of the plate portion 33 and bent upward.

板部33は、面方向に延びるシート形状を有しており、第2接触面(接触面)の一例である板下面35と板上面38とを有する。板下面35と板上面38とは、互いに平行しており、ともに平坦状である。また、板部33は、板部33をテストFPC2に接触させたときに、被検査パターン11と重複する一方、端子部12および連結部13と重複しない平面視形状および寸法を有する。 The plate portion 33 has a sheet shape extending in the plane direction, and has a plate lower surface 35 and a plate upper surface 38 that are examples of a second contact surface (contact surface). The plate lower surface 35 and the plate upper surface 38 are parallel to each other and both are flat. In addition, the plate portion 33 has a plan view shape and dimensions that overlap with the pattern to be inspected 11 but do not overlap with the terminal portion 12 and the connecting portion 13 when the plate portion 33 is brought into contact with the test FPC 2 .

抵抗測定器31としては、例えば、4端子抵抗測定機などが挙げられる。
抵抗測定器31は、測定配線33に接続されている。なお、抵抗測定器31には、図示しないCPUなどを備える計算装置(図示せず)が接続されている。
Examples of the resistance measuring device 31 include a four-terminal resistance measuring device.
The resistance measuring device 31 is connected to the measurement wiring 33 . A computing device (not shown) including a CPU (not shown) is connected to the resistance measuring device 31 .

冷却装置(図示せず)は、加熱体30の近傍に設けられており、その使用の際には、加熱体30の板上面38に接触可能である。 A cooling device (not shown) is provided in the vicinity of the heating element 30 and can contact the plate top surface 38 of the heating element 30 when in use.

これにより、検査装置28において、加熱体30は、連続して加熱および冷却可能である。 Thereby, the heating element 30 can be continuously heated and cooled in the inspection device 28 .

続いて、はんだ37をテストFPC2の端子部12の上面(第1導体上面26)に設けて、図2Aの仮想線が参照されるように、被検査パターン11を、連結部13、端子部12、はんだ37および測定配線33を介して、抵抗測定器31に電気的に接続する。 Subsequently, solder 37 is provided on the upper surface of the terminal portion 12 (first conductor upper surface 26) of the test FPC 2, and the pattern to be inspected 11 is connected to the connecting portion 13 and the terminal portion 12 as shown by the phantom lines in FIG. 2A. , solder 37 and measurement wiring 33 to electrically connect to the resistance measuring instrument 31 .

続いて、抵抗測定器31によって、図示しない計算装置の処理に基づいて、被検査パターン11の電気特性の変化(抵抗変化率や抵抗変化量など)が予備的に測定される。この際、被検査パターン11には、後述する加熱体30がまだ接触されていないので、通常、被検査パターン11の電気特性の変化に異常などが検知されない。 Subsequently, the resistance measuring device 31 preliminarily measures changes in the electrical characteristics (resistance change rate, resistance change amount, etc.) of the pattern to be inspected 11 based on the processing of a computing device (not shown). At this time, the pattern to be inspected 11 is not yet contacted with a heater 30, which will be described later, so that an abnormality in the change in electrical characteristics of the pattern to be inspected 11 is not normally detected.

続いて、板下面35がテストFPC2の上面に向いた状態で、加熱体30を下降させて、板下面35を、被検査パターン11の第1導体上面26のみに接触させる。つまり、板部33を、テストFPC2の上側のみから第1導体層15に接触させる。具体的には、板下面35を、被検査パターン11における第1導体上面26のみに面接触させる。このとき、板下面35は、平面視において、複数の導通部14の全部を包含する。また、このとき、テストFPC2の下面を支持台(図示せず)で支持してもよい。支持台は、室温(具体的には、25℃)に設定されている。あるいは、テストFPC2の下面を支持しなくてもよい。この場合には、テストFPC2の下面は、室温(25℃)の空気に暴露されている。 Subsequently, with the plate lower surface 35 facing the upper surface of the test FPC 2 , the heater 30 is lowered to bring the plate lower surface 35 into contact only with the first conductor upper surface 26 of the pattern 11 to be inspected. That is, the plate portion 33 is brought into contact with the first conductor layer 15 only from above the test FPC 2 . Specifically, the plate lower surface 35 is brought into surface contact only with the first conductor upper surface 26 of the pattern 11 to be inspected. At this time, the plate lower surface 35 includes all of the plurality of conducting portions 14 in plan view. Also, at this time, the lower surface of the test FPC 2 may be supported by a support (not shown). The support base is set at room temperature (specifically, 25° C.). Alternatively, the lower surface of the test FPC2 may not be supported. In this case, the lower surface of the test FPC2 is exposed to room temperature (25° C.) air.

続いて、所定の温度プログラムで、加熱体30を加熱(加熱工程)、加熱体30の温度を維持(維持工程)、および、加熱体30を冷却(冷却工程)する。 Subsequently, the heating body 30 is heated (heating process), the temperature of the heating body 30 is maintained (maintenance process), and the heating body 30 is cooled (cooling process) by a predetermined temperature program.

加熱工程において、加熱体30を加熱するには、電源29から所定の電圧を加熱体30に印加して、加熱体30を発熱させる。 In the heating process, in order to heat the heating body 30, a predetermined voltage is applied from the power supply 29 to the heating body 30 to cause the heating body 30 to generate heat.

すると、加熱体30の熱が、板下面35から第1導体上面26に伝導する。さらには、かかる熱は、第1導体層15の第1導体上面26から、下側に向かって伝導し、ひいては、導通部14および第2導体層16に、順に伝導する。 Then, the heat of the heating element 30 is conducted from the plate lower surface 35 to the first conductor upper surface 26 . Further, the heat is conducted downward from the first conductor upper surface 26 of the first conductor layer 15 and then conducted to the conductive portion 14 and the second conductor layer 16 in order.

維持工程において、加熱体30の温度を維持するには、すでに加熱(あるいは冷却)された加熱体30の温度が上昇および下降しないように、電源29において印加する電圧を調整する。 In the maintenance step, to maintain the temperature of the heating element 30, the voltage applied by the power supply 29 is adjusted so that the temperature of the already heated (or cooled) heating element 30 does not rise or fall.

冷却工程において、加熱体30を冷却するには、電源20における電圧の印加を解除し、加熱または温度が維持された加熱体30を放冷(徐冷)する。あるいは、必要により、冷却装置(図示せず)を板上面38に接触あるいは近接させて、加熱体30を急冷する。 In the cooling process, in order to cool the heating body 30, the application of the voltage in the power source 20 is canceled, and the heating body 30 heated or maintained at the temperature is allowed to cool (slow cooling). Alternatively, if necessary, a cooling device (not shown) is brought into contact with or close to the plate upper surface 38 to rapidly cool the heating element 30 .

温度プログラムは、例えば、加熱工程S1、維持工程S2および冷却工程S3のいずれかの工程を有すればよく、特に限定されず、具体的には、図6A~図6Cで示す第1~第3プログラムが挙げられる。以下、第1~第3プログラムを順に説明する。 The temperature program may include, for example, any one of the heating step S1, the maintaining step S2, and the cooling step S3, and is not particularly limited. program. The first to third programs will be described below in order.

図6Aに示すように、第1プログラムは、1つの加熱工程S1と、1つの維持工程S2と、1つの冷却工程S3とを順に備える。加熱工程S1における昇温速度は、例えば、0.1℃/秒以上、好ましくは、1℃/秒以上であり、また、例えば、100℃/秒以下、好ましくは、10℃/秒以下である。加熱工程S1における昇温時間t1は、上記した昇温速度および次に記載する維持工程の温度T1に対応して適宜設定される。維持工程における維持温度T1は、加熱工程S1における昇温最終温度であって、例えば、90℃以上、好ましくは、130℃以上であり、また、例えば、300℃以下、好ましくは、180℃以下である。維持工程における維持時間t2は、例えば、1秒以上、好ましくは、10秒以上であり、また、例えば、1000秒以下、好ましくは、100秒以下である。冷却工程における降温速度および時間は、特に限定されない。 As shown in FIG. 6A, the first program sequentially includes one heating step S1, one maintaining step S2, and one cooling step S3. The heating rate in the heating step S1 is, for example, 0.1° C./second or more, preferably 1° C./second or more, and is, for example, 100° C./second or less, preferably 10° C./second or less. . The temperature rise time t1 in the heating step S1 is appropriately set according to the temperature rise rate described above and the temperature T1 in the maintenance step described below. The maintenance temperature T1 in the maintenance step is the final temperature rise in the heating step S1, and is, for example, 90° C. or higher, preferably 130° C. or higher, and, for example, 300° C. or lower, preferably 180° C. or lower. be. A maintenance time t2 in the maintenance step is, for example, 1 second or more, preferably 10 seconds or more, and is, for example, 1000 seconds or less, preferably 100 seconds or less. The cooling rate and time in the cooling step are not particularly limited.

図6Bに示すように、第2プログラムにおいて、特に記載しない工程および条件は、第1プログラムのそれらと同様であり、その記載を省略する。第2プログラムは、加熱工程S1において、互いに異なる温度に加熱体30を加熱するように設定される。具体的には、第2プログラムでは、ステップ状(階段状)で、加熱体30を加熱する。加熱工程S1は、第1加熱工程S4および第2加熱工程S5を順に備える。また、維持工程S2は、第1維持工程S6および第2維持工程S7を順に備える。詳しくは、第2プログラムは、第1加熱工程S4、第1維持工程S6、第2加熱工程S5、第2維持工程S7、および、冷却工程S3を、順に備える。 As shown in FIG. 6B, steps and conditions not specifically described in the second program are the same as those in the first program, and their description is omitted. The second program is set to heat the heating element 30 to temperatures different from each other in the heating step S1. Specifically, in the second program, the heating element 30 is heated stepwise. The heating step S1 sequentially includes a first heating step S4 and a second heating step S5. Moreover, the maintenance step S2 includes a first maintenance step S6 and a second maintenance step S7 in this order. Specifically, the second program includes, in order, a first heating step S4, a first maintaining step S6, a second heating step S5, a second maintaining step S7, and a cooling step S3.

第1加熱工程S4および第2加熱工程S5における昇温速度および時間は、第1プログラムにおける加熱工程S1から適宜選択される。 The heating rate and time in the first heating step S4 and the second heating step S5 are appropriately selected from the heating step S1 in the first program.

第1維持工程S6の維持温度T2は、第2維持工程S7の維持温度T3に対して、例えば、10℃以上低く、好ましくは、20℃以上低く、より好ましくは、30℃以上低く、また、例えば、100℃以下低い。第1維持工程S6の維持温度T2は、例えば、70℃以上、好ましくは、110℃以上であり、また、例えば、200℃以下、好ましくは、150℃以下である。
第2維持工程S7の維持温度T3は、第1プログラムにおける維持工程S2の温度と同一である。
The maintaining temperature T2 in the first maintaining step S6 is, for example, 10° C. or more lower, preferably 20° C. or more lower, more preferably 30° C. or more lower than the maintaining temperature T3 in the second maintaining step S7, and For example, lower than 100°C. The maintenance temperature T2 in the first maintenance step S6 is, for example, 70° C. or higher, preferably 110° C. or higher, and is, for example, 200° C. or lower, preferably 150° C. or lower.
The maintaining temperature T3 in the second maintaining step S7 is the same as the temperature in the maintaining step S2 in the first program.

図6Cに示すように、第3プログラムにおいて、特に記載しない工程および条件は、第1および第2プログラムのそれらと同様であり、その記載を省略する。第3プログラムは、冷却工程において、互いに異なる温度に加熱体30を冷却するように設定される。具体的には、第3プログラムでは、ステップ状(階段状)で、加熱体30を冷却する。冷却工程S3は、第1冷却工程S8および第2冷却工程S9を備える。また、維持工程S2は、第2維持工程S7および第1維持工程S6を順に備える。詳しくは、第3プログラムは、加熱工程S1、第2維持工程S7、第1冷却工程S8、第1維持工程S6、および、第2冷却工程S9を、順に備える。第1冷却工程S8の降温速度は、例えば、第2プログラムにおける第2加熱工程S5の昇温速度と同一である。 As shown in FIG. 6C, steps and conditions not specifically described in the third program are the same as those in the first and second programs, and their description is omitted. The third program is set to cool the heating element 30 to temperatures different from each other in the cooling step. Specifically, in the third program, the heating element 30 is cooled stepwise. The cooling step S3 includes a first cooling step S8 and a second cooling step S9. Moreover, the maintenance step S2 includes a second maintenance step S7 and a first maintenance step S6 in this order. Specifically, the third program includes, in order, a heating step S1, a second maintaining step S7, a first cooling step S8, a first maintaining step S6, and a second cooling step S9. The temperature decrease rate in the first cooling step S8 is, for example, the same as the temperature increase rate in the second heating step S5 in the second program.

一方で、加熱体30に対して上記した温度プログラムを実行している間中、被検査パターン11の電気特性の変化(抵抗変化率や抵抗変化量)を連続して測定する。 On the other hand, while the above-described temperature program is being executed for the heating element 30, changes in electrical characteristics (resistance change rate and resistance change amount) of the pattern to be inspected 11 are continuously measured.

すると、加熱体30に対する上記した温度プログラムの実行中、例えば、導通部14と、第1導体層15の第1導体下面27との接触が解除(一部解除)されると、これに起因して、被検査パターン11の抵抗が上昇する。そうすると、被検査パターン11の電気特性の変化(抵抗変化率や抵抗変化量)が検知される。これにより、このテストFPC2を含むFPC集合体1は、次に説明する電子部品の実装に不適となることから、不良品と判別される。その後、不良品と判別されたFPC集合体1は、選別され、廃棄される。 Then, during execution of the temperature program for the heating element 30, for example, if the contact between the conductive portion 14 and the first conductor lower surface 27 of the first conductor layer 15 is released (partially released), As a result, the resistance of the pattern to be inspected 11 increases. Then, a change in the electrical characteristics (resistance change rate or resistance change amount) of the pattern to be inspected 11 is detected. As a result, the FPC assembly 1 including the test FPC 2 is determined to be defective because it is unsuitable for mounting the electronic components described below. After that, the FPC assembly 1 determined as a defective product is sorted and discarded.

一方、加熱体30に対する上記した温度プログラムの実行中、例えば、導通部14と、第1導体層15の第1導体下面27との接触が継続すれば、被検査パターン11の抵抗が上昇せず、被検査パターン11の電気特性の変化(抵抗変化率や抵抗変化量)も検知されない。そのため、このテストFPC2を含むFPC集合体1は、電子部品の実装に適するから、良品と判別される。 On the other hand, during execution of the temperature program for the heating element 30, for example, if the contact between the conductive portion 14 and the first conductor lower surface 27 of the first conductor layer 15 continues, the resistance of the pattern to be inspected 11 does not increase. , the change in electrical characteristics (resistance change rate and resistance change amount) of the pattern to be inspected 11 is not detected. Therefore, the FPC assembly 1 including this test FPC 2 is suitable for mounting electronic components, and thus is determined as a non-defective product.

一方、良品と判別されたFPC集合体1における複数の製品FPC4を、個片化し、製品FPC4の上面にヘッドICなどの電子部品(具体的には、駆動に基づいて発熱する発熱部品)を実装する。これとともに、製品FPC4は、例えば、ハードディスクドライブなどに搭載される。 On the other hand, the plurality of product FPCs 4 in the FPC assembly 1 determined as non-defective products are separated into individual pieces, and electronic components such as head ICs (specifically, heat-generating components that generate heat when driven) are mounted on the upper surfaces of the product FPCs 4. do. Along with this, the product FPC 4 is installed in, for example, a hard disk drive.

そして、この製造方法によれば、第2工程において、加熱体30を、テストFPC2の上側のみから第1導体層15に接触させて、テストFPC2の電気特性を評価するので、製品FPC4が発熱を生じる電子部品を実装する環境と同じまたは近似する環境で、テストFPC2の耐熱性を評価することができる。そのため、テストFPC2の耐熱性を正確に評価できる。その結果、耐熱性が正確に評価されたテストFPC2を備えるFPC集合体1を製造することができる。 According to this manufacturing method, in the second step, the heating element 30 is brought into contact with the first conductor layer 15 only from above the test FPC 2 to evaluate the electrical characteristics of the test FPC 2, so that the product FPC 4 generates heat. The heat resistance of the test FPC 2 can be evaluated in an environment that is the same as or similar to the environment in which the resulting electronic component is mounted. Therefore, the heat resistance of the test FPC 2 can be evaluated accurately. As a result, it is possible to manufacture the FPC assembly 1 including the test FPC 2 whose heat resistance has been accurately evaluated.

この製造方法によれば、第2工程では、板部33における平坦状の板下面35を、被検査パターン11の第1導体上面26に面接触させるので、第2工程における環境を、電子部品を製品FPC4に面状に実装する環境と同じにすることができ、テストFPC2の耐熱性をより一層正確に評価することができる。 According to this manufacturing method, in the second step, the flat plate lower surface 35 of the plate portion 33 is brought into surface contact with the first conductor upper surface 26 of the pattern 11 to be inspected. The environment can be the same as that in which the product FPC 4 is surface-mounted, and the heat resistance of the test FPC 2 can be evaluated more accurately.

この製造方法によれば、第1工程において、導通部14を、厚み方向に投影したときに第1導体上面26に含まれるように、配置するので、加熱体30からの熱を第1導体層15を介して導通部14に迅速に伝導させることができる。そのため、テストFPC2の耐熱性を正確に評価できる。その結果、耐熱性が正確に評価されたテストFPC2を備えるFPC集合体1を製造することができる。 According to this manufacturing method, in the first step, the conducting portion 14 is arranged so as to be included in the first conductor upper surface 26 when projected in the thickness direction. 15 to the conduction portion 14 can be rapidly conducted. Therefore, the heat resistance of the test FPC 2 can be evaluated accurately. As a result, it is possible to manufacture the FPC assembly 1 including the test FPC 2 whose heat resistance has been accurately evaluated.

また、この製造方法によれば、第1工程において、複数(30個)の導通部14を被検査パターン11に備え、第2工程において、かかる被検査パターン11の電気特性を評価するので、テストFPC2の電気特性をより正確に評価することができる。 Further, according to this manufacturing method, in the first step, the pattern to be inspected 11 is provided with a plurality (30 pieces) of conductive portions 14, and in the second step, the electrical characteristics of the pattern to be inspected 11 are evaluated. The electrical properties of the FPC 2 can be evaluated more accurately.

この製造方法によれば、第2工程では、加熱体30を、テストFPC2の第1導体層15に接触させるので、製品FPC4の熱による損傷を抑制することができる。 According to this manufacturing method, since the heater 30 is brought into contact with the first conductor layer 15 of the test FPC 2 in the second step, the product FPC 4 can be prevented from being damaged by heat.

また、非特許文献1および2の方法であれば、FPCを油浴および加熱炉で加熱した後、取り出して、FPCを評価している。 In the methods of Non-Patent Documents 1 and 2, the FPC is evaluated after being heated in an oil bath and a heating furnace and then taken out.

一方、この製造方法によれば、テストFPC2を加熱しているときに、その電気抵抗の変化を連続して測定するので、製品FPC4が実際に受ける熱履歴に対応して、テストFPC2の耐熱性を正確に評価することができる。 On the other hand, according to this manufacturing method, the change in electrical resistance of the test FPC 2 is continuously measured while the test FPC 2 is being heated. can be evaluated accurately.

また、この製造方法の第2工程では、上記した温度プログラムが、加熱体30を加熱する加熱工程S1と、加熱体30の温度を維持する維持工程S2と、加熱体30を冷却する冷却工程S3とを備えるので、実際の製品FPC4の周囲の環境に応じて、第2工程を設定して実施することができる。 Further, in the second step of this manufacturing method, the temperature program includes a heating step S1 for heating the heating element 30, a maintaining step S2 for maintaining the temperature of the heating element 30, and a cooling step S3 for cooling the heating element 30. , the second step can be set and executed according to the environment around the actual product FPC4.

とりわけ、第2プログラムおよび第3プログラムでは、加熱体30の温度を互いに異なる温度に設定するので、より実際のFPCの周囲の環境に応じて、加熱工程S2を実施することができる。 In particular, the second program and the third program set the temperature of the heating element 30 to different temperatures, so that the heating step S2 can be performed in accordance with the actual surrounding environment of the FPC.

このFPCの検査方法では、第2工程において、加熱体30を、テストFPC2の上側のみから第1導体層15に接触させて、テストFPC2の電気特性を評価するので、製品FPC4が電子部品(図示せず)を実装する環境と同じまたは近似する環境で、テストFPC2の耐熱性を評価することができる。そのため、テストFPC2の耐熱性を、製品FPC4が電子部品を実装する環境に即して、正確に評価できる。 In this FPC inspection method, in the second step, the heating element 30 is brought into contact with the first conductor layer 15 only from above the test FPC 2 to evaluate the electrical characteristics of the test FPC 2. Therefore, the product FPC 4 is an electronic component (Fig. (not shown)) can be evaluated for heat resistance of the test FPC 2 in an environment that is the same as or similar to the environment in which the test FPC 2 is implemented. Therefore, the heat resistance of the test FPC 2 can be accurately evaluated in accordance with the environment in which the product FPC 4 mounts electronic components.

このFPCの検査装置28では、テストFPC2の耐熱性を、製品FPC4が電子部品を実装する環境に即して、正確に評価することができる。 This FPC inspection apparatus 28 can accurately evaluate the heat resistance of the test FPC 2 in accordance with the environment in which electronic components are mounted on the product FPC 4 .

この検査装置28では、加熱体30は、平坦状の板下面35を有するので、加熱体30を、第1導体層15に面接触させることができる。そのため、製品FPC4が電子部品を面状に実装する環境と同じにすることができ、テストFPC2の耐熱性をより一層正確に評価することができる。 In this inspection device 28 , the heating body 30 has a flat plate lower surface 35 , so that the heating body 30 can be brought into surface contact with the first conductor layer 15 . Therefore, the product FPC 4 can be made to have the same environment as that in which electronic components are planarly mounted, and the heat resistance of the test FPC 2 can be evaluated more accurately.

加熱体30は、連続して加熱および冷却可能であるので、製品FPC4が電子部品を実装する環境に即した熱履歴を、テストFPC2に付与して、テストFPC2の耐熱性を正確に評価することができる。 Since the heating element 30 can heat and cool continuously, the test FPC 2 is provided with a heat history suitable for the environment where the electronic parts are mounted on the product FPC 4, and the heat resistance of the test FPC 2 can be accurately evaluated. can be done.

抵抗測定器31が、テストFPC2の電気抵抗の変化を連続して測定することができるので、製品FPC4が実際に受ける熱履歴に対応して、テストFPC2の耐熱性を正確に評価することができる。
[変形例]
以下の変形例において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。また、各変形例を適宜組み合わせることができる。さらに、各変形例は、特記する以外、一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。
Since the resistance measuring device 31 can continuously measure the change in electrical resistance of the test FPC 2, it is possible to accurately evaluate the heat resistance of the test FPC 2 corresponding to the heat history actually received by the product FPC 4. .
[Modification]
In the following modified examples, the same reference numerals are given to the same members and steps as in the above-described embodiment, and detailed description thereof will be omitted. In addition, each modification can be combined as appropriate. Furthermore, each modification can have the same effects as the one embodiment, unless otherwise specified.

端子部12の数は、特に限定されず、図7A~図9Cに示すように、例えば、2つであってもよい。 The number of terminal portions 12 is not particularly limited, and may be two, for example, as shown in FIGS. 7A to 9C.

図7A~図7Cに示すように、2つの端子部12のそれぞれは、被検査パターン11に対して、長手方向両側のそれぞれに配置されている。一の端子部12は、孤立パターン18と連結部13を介して、電気的に接続されている。他の端子部12は、第1連結パターン17と連結部13を介して、電気的に接続されている。被検査パターン11は、平面視S字形状を有する。導通部14は、被検査パターン11のS字パターンに沿って、15個設けられている。 As shown in FIGS. 7A to 7C, the two terminal portions 12 are arranged on both longitudinal sides of the pattern 11 to be inspected. One terminal portion 12 is electrically connected to the isolated pattern 18 via the connecting portion 13 . The other terminal portion 12 is electrically connected to the first connection pattern 17 via the connection portion 13 . The pattern to be inspected 11 has an S shape in plan view. Fifteen conductive portions 14 are provided along the S-shaped pattern of the pattern to be inspected 11 .

図8A~図8Cに示すように、2つの端子部12は、ともに、被検査パターン11に対して、長手方向一方側に配置されている。被検査パターン11は、長手方向一方側に向かって開く平面視U字形状を有する。導通部14は、被検査パターン11のU字パターンに沿って、20個設けられている。 As shown in FIGS. 8A to 8C, the two terminal portions 12 are both arranged on one longitudinal side of the pattern 11 to be inspected. The pattern 11 to be inspected has a U-shape in plan view that opens toward one side in the longitudinal direction. Twenty conductive portions 14 are provided along the U-shaped pattern of the pattern 11 to be inspected.

第1連結パターン17および第2連結パターン25のそれぞれの形状は、特に限定されず、例えば、図9A~図9Cに示すように、対応する2つの導通部14の間において、平面視直線形状であってもよい。 The shape of each of the first connection pattern 17 and the second connection pattern 25 is not particularly limited. For example, as shown in FIGS. There may be.

また、図示しないが、絶縁層5の絶縁内側面8を、厚み方向に沿って延びるストレート面とすることもできる。 Moreover, although not shown, the insulating inner side surface 8 of the insulating layer 5 may be a straight surface extending along the thickness direction.

また、図示しないが、導通部14は、1つであってもよい。 Moreover, although not shown, the number of the conducting portions 14 may be one.

また、一実施形態では、第2導体層16を、第3導体層19および第4導体層20の2層から形成したが、例えば、図示しないが、1層で形成することもできる。 Moreover, in one embodiment, the second conductor layer 16 is formed of two layers, the third conductor layer 19 and the fourth conductor layer 20. However, for example, although not shown, it can be formed of a single layer.

また、図3に示すように、第2導体層16における第3導体層19および第4導体層20の境界を明確に描画しているが、それらの境界が不明瞭であり、渾然一体となっていてもよい。 Also, as shown in FIG. 3, the boundary between the third conductor layer 19 and the fourth conductor layer 20 in the second conductor layer 16 is clearly drawn, but the boundary between them is unclear and harmoniously integrated. may be

また、図示しないが、導通部14の厚みは、第1導体層15と第2導体層16とを導電させていれば、絶縁層5の厚みより薄くてもよい。 Moreover, although not shown, the thickness of the conductive portion 14 may be thinner than the thickness of the insulating layer 5 as long as the first conductor layer 15 and the second conductor layer 16 are electrically connected.

また、一実施形態の第2工程では、テストFPC2の電気特性を評価した。しかし、製品FPC4そのものの電気特性を評価することもできる。この場合には、第1工程において、FPC集合体1において、製品FPC4のみを配置することができる。そのため、FPC集合体1にテストFPC2を設けるスペースを確保する必要がなく、その結果、FPC集合体1における製品FPC4の歩留まりを向上させることができる。 Also, in the second step of one embodiment, the electrical characteristics of the test FPC 2 were evaluated. However, it is also possible to evaluate the electrical characteristics of the product FPC4 itself. In this case, only the product FPC 4 can be arranged in the FPC assembly 1 in the first step. Therefore, it is not necessary to secure a space for providing the test FPC 2 in the FPC assembly 1, and as a result, the yield of the product FPC 4 in the FPC assembly 1 can be improved.

一方、一実施形態では、製品FPC4の耐熱性を実際に評価する代わりに、テストFPC2を評価するので、製品FPC4の熱による損傷を抑制することができる。 On the other hand, in one embodiment, instead of actually evaluating the heat resistance of the product FPC4, the test FPC2 is evaluated, so that damage to the product FPC4 due to heat can be suppressed.

また、一実施形態の第2工程では、テストFPC2を、FPC集合体1に設けられた状態で、その電気特性を予め評価しているが、例えば、テストFPC2を、FPC集合体1から切り離してから、テストFPC2の電気特性を評価することができる。 In the second step of one embodiment, the electrical characteristics of the test FPC 2 are evaluated in advance while the test FPC 2 is attached to the FPC assembly 1. For example, the test FPC 2 is separated from the FPC assembly 1 and , the electrical properties of the test FPC2 can be evaluated.

一実施形態では、板下面35が第1導体上面26に接触する前から、被検査パターン11の電気特性の変化を測定したが、例えば、板下面35が第1導体上面26に接触すると同時(または直後)に、被検査パターン11の電気特性の変化を測定することもできる。 In one embodiment, changes in the electrical properties of the pattern under test 11 were measured before the plate bottom surface 35 contacted the first conductor top surface 26, but for example, at the same time as the plate bottom surface 35 contacted the first conductor top surface 26 ( or immediately after), the change in the electrical characteristics of the pattern to be inspected 11 can also be measured.

また、第2工程における温度プログラムは、上記に限定されない。例えば、第3プログラムでは、加熱体30を2段階で加熱しているが、3段階以上でもよい。図6Dに示すように、例えば、加熱体30を3段階で加熱する第4プログラムでは、加熱工程S1は、第1加熱工程S4、第2加熱工程S5、および、第3加熱工程S10を順に備える。また、維持工程S2は、第1維持工程S6、第2維持工程S7、および、第3維持工程S11を順に備える。詳しくは、第4プログラムは、第1加熱工程S4、第1維持工程S6、第2加熱工程S5、第2維持工程S7、第3加熱工程S10、第3維持工程S11、および、冷却工程S3を、順に備える。 Also, the temperature program in the second step is not limited to the above. For example, in the third program, the heater 30 is heated in two stages, but it may be heated in three stages or more. As shown in FIG. 6D, for example, in the fourth program for heating the heating element 30 in three stages, the heating step S1 includes a first heating step S4, a second heating step S5, and a third heating step S10 in this order. . Moreover, the maintenance step S2 includes a first maintenance step S6, a second maintenance step S7, and a third maintenance step S11 in this order. Specifically, the fourth program performs a first heating step S4, a first maintaining step S6, a second heating step S5, a second maintaining step S7, a third heating step S10, a third maintaining step S11, and a cooling step S3. , prepare in order.

また、各プログラムの回数は、特に限定されず、図6Eに示すように、第1プログラムを複数回(例えば、3回)実施する第5プログラムであってもよい。 Also, the number of times each program is performed is not particularly limited, and as shown in FIG. 6E, a fifth program that performs the first program a plurality of times (for example, three times) may be used.

以下の記載において用いられる配合割合(含有割合)、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合(含有割合)、物性値、パラメータなど該当記載の上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値)または下限値(「以上」、「超過」として定義されている数値)に代替することができる。 Specific numerical values such as the mixing ratio (content ratio), physical property values, and parameters used in the following description are described in the above "Mode for Carrying Out the Invention", the corresponding mixing ratio (content ratio ), physical properties, parameters, etc. can.

実施例1
図1に示すように、製品FPC4と、テストFPC2とを備える長尺シート3を切断して、製品FPC4と、テストFPC2とを備えるFPC集合体1を製造して、第1工程を実施した。なお、図3に示すように、テストFPC2は、ポリイミド樹脂からなる絶縁層5と、銅からなる導通部15と、銅からなる第1導体層15と、銅からなる第2導体層19とを備える。導通部14の数は、30である。また、被検査パターン11は、平面視において、導通部14の全部を含む。
Example 1
As shown in FIG. 1, the long sheet 3 comprising the product FPC 4 and the test FPC 2 was cut to manufacture the FPC assembly 1 comprising the product FPC 4 and the test FPC 2, and the first step was performed. As shown in FIG. 3, the test FPC 2 includes an insulating layer 5 made of polyimide resin, a conductive portion 15 made of copper, a first conductor layer 15 made of copper, and a second conductor layer 19 made of copper. Prepare. The number of conducting portions 14 is thirty. In addition, the pattern to be inspected 11 includes the entire conductive portion 14 in plan view.

次いで、図5に示すように、検査装置28を準備した。検査装置28は、電源29と、加熱体30と、抵抗測定器31と、冷却装置とを備える。 Next, as shown in FIG. 5, an inspection device 28 was prepared. The inspection device 28 includes a power source 29, a heating element 30, a resistance measuring device 31, and a cooling device.

次いで、はんだ37を、4つの端子部12のそれぞれに設けて、4つの端子部12を、測定配線33を介して、抵抗測定器31に電気的に接続した。 Then, solder 37 was applied to each of the four terminal portions 12 , and the four terminal portions 12 were electrically connected to the resistance measuring instrument 31 via the measurement wiring 33 .

続いて、加熱体30の板下面35を、被検査パターン11の第1導体上面26に対して面接触させた。続いて、表1に記載の温度プログラムを実行するとともに、被検査パターン11の抵抗変化率や抵抗変化量を連続して測定した。これによって、テストFPC2の電気特性を評価して、第2工程を実施した(検査した)。 Subsequently, the plate lower surface 35 of the heating element 30 was brought into surface contact with the first conductor upper surface 26 of the pattern 11 to be inspected. Subsequently, the temperature program shown in Table 1 was executed, and the rate of change in resistance and the amount of change in resistance of the pattern 11 to be inspected were continuously measured. Thus, the electrical characteristics of the test FPC2 were evaluated, and the second step was performed (inspected).

実施例2~実施例5
第2工程における温度プログラムを表1に従って変更した以外は、実施例1と同様に処理して、第2工程において、テストFPC2の電気特性を評価した。
Examples 2 to 5
Except for changing the temperature program in the second step according to Table 1, the same processing as in Example 1 was performed, and the electrical characteristics of the test FPC 2 were evaluated in the second step.

Figure 0007294769000001
Figure 0007294769000001

1 FPC集合体
2 テストFPC
4 製品FPC
5 絶縁層
7 絶縁貫通孔
15 第1導体層
19 第2導体層
26 第1導体上面
28 検査装置
30 加熱体
31 抵抗測定器
35 板下面
S1 加熱工程
S2 維持工程
S3 冷却工程
1 FPC assembly 2 Test FPC
4 Product FPC
5 Insulating layer 7 Insulating through-hole 15 First conductor layer 19 Second conductor layer 26 First conductor upper surface 28 Inspection device 30 Heating body 31 Resistance measuring device 35 Board lower surface S1 Heating process S2 Maintaining process S3 Cooling process

Claims (12)

厚み方向を貫通する貫通穴を有する絶縁層と、
前記絶縁層の前記厚み方向一方側に配置される第1導体層と、
前記絶縁層の前記厚み方向他方側に配置される第2導体層と、
前記貫通穴内に配置され、前記第1導体層および前記第2導体層を電気的に導通させる複数の導通部とを備えるフレキシブルプリント配線板であって、前記第1導体層が、平面視において複数の前記導通部が並ぶ導電パスを形成する被検査パターンを有しており、前記被検査パターンは、前記導電パスに沿って隣接する2つの前記導通部をそれぞれ含む複数の第1連結パターンと、前記導電パスの両端部の前記導通部を含む孤立パターンとを、互いに独立して有する前記フレキシブルプリント配線板を準備する第1工程と、
加熱体を、前記複数の前記導通部の全部を前記加熱体が包含するように、前記フレキシブルプリント配線板の前記厚み方向一方側のみから前記第1導体層の前記被検査パターン全体接触させて、前記フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価する第2工程と
を備えることを特徴とする、フレキシブルプリント配線板の製造方法。
an insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction;
a first conductor layer arranged on one side in the thickness direction of the insulating layer;
a second conductor layer arranged on the other side of the insulating layer in the thickness direction;
A flexible printed wiring board provided with a plurality of conducting portions arranged in the through hole and electrically conducting the first conductor layer and the second conductor layer, wherein the first conductor layer has a plurality of a pattern to be inspected forming a conductive path in which the conductive portions are arranged, wherein the pattern to be inspected includes a plurality of first connecting patterns each including two of the conductive portions adjacent to each other along the conductive path; a first step of preparing the flexible printed wiring board independently having isolated patterns including the conductive portions at both ends of the conductive path;
A heating body is brought into surface contact with the entire pattern to be inspected of the first conductor layer from only one side in the thickness direction of the flexible printed wiring board so that the heating body includes all of the plurality of conductive portions. and a second step of evaluating electrical characteristics of the flexible printed wiring board.
前記第1工程では、前記厚み方向に直交する方向に沿う平坦状の第1接触面を有する前記第1導体層を備える前記フレキシブルプリント配線板を準備し、
前記第2工程では、平坦状の第2接触面を有する前記加熱体の前記第2接触面を、前記第1接触面に面接触させることを特徴とする、請求項1に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。
In the first step, preparing the flexible printed wiring board including the first conductor layer having a flat first contact surface along a direction orthogonal to the thickness direction,
2. The flexible printed wiring according to claim 1, wherein in said second step, said second contact surface of said heating element having a flat second contact surface is brought into surface contact with said first contact surface. Board manufacturing method.
前記第1工程において、前記導通部を、前記厚み方向に投影したときに前記第1接触面に含まれるように、配置することを特徴とする、請求項2に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。 3. Manufacturing the flexible printed wiring board according to claim 2, wherein in the first step, the conductive portion is arranged so as to be included in the first contact surface when projected in the thickness direction. Method. 前記第1工程では、前記フレキシブルプリント配線板を複数備えるフレキシブルプリント配線板集合体を準備し、
前記複数のフレキシブルプリント配線板は、製品となる製品フレキシブルプリント配線板と、テストフレキシブルプリント配線板とを備え、
前記第2工程では、前記加熱体を、前記テストフレキシブルプリント配線板の前記第1導体層に接触させることを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。
In the first step, a flexible printed wiring board assembly including a plurality of the flexible printed wiring boards is prepared,
The plurality of flexible printed wiring boards includes a product flexible printed wiring board to be a product and a test flexible printed wiring board,
The flexible printed wiring board according to any one of claims 1 to 3, wherein in the second step, the heating body is brought into contact with the first conductor layer of the test flexible printed wiring board. Production method.
前記フレキシブルプリント配線板の電気抵抗の変化を連続して測定することを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。 5. The method for manufacturing a flexible printed wiring board according to claim 1, wherein a change in electrical resistance of said flexible printed wiring board is continuously measured. 前記第2工程は、
前記加熱体を加熱する加熱工程と、
前記加熱体の温度を維持する維持工程と、
前記加熱体を冷却する冷却工程
備えることを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。
The second step is
a heating step of heating the heating body;
a maintaining step of maintaining the temperature of the heating element;
a cooling step of cooling the heating body ;
The method for manufacturing a flexible printed wiring board according to any one of claims 1 to 5, comprising:
前記加熱工程は、互いに異なる温度に設定することを特徴とする、請求項6に記載のフレキシブルプリント配線板の製造方法。 7. The method of manufacturing a flexible printed wiring board according to claim 6, wherein different temperatures are set in said heating step. 厚み方向を貫通する貫通穴を有する絶縁層と、
前記絶縁層の前記厚み方向一方側に配置される第1導体層と、
前記絶縁層の前記厚み方向他方側に配置される第2導体層と、
前記貫通穴内に配置され、前記第1導体層および前記第2導体層を電気的に導通させる複数の導通部とを備えるフレキシブルプリント配線板であって、前記第1導体層が、平面視において複数の前記導通部が並ぶ導電パスを形成する被検査パターンを有しており、前記被検査パターンは、前記導電パスに沿って隣接する2つの前記導通部をそれぞれ含む複数の第1連結パターンと、前記導電パスの両端部の前記導通部を含む孤立パターンとを、互いに独立して有する前記フレキシブルプリント配線板を準備する第1工程と、
加熱体を、前記複数の前記導通部の全部を前記加熱体が包含するように、前記フレキシブルプリント配線板の前記厚み方向一方側のみから前記第1導体層の前記被検査パターン全体に面接触させて、前記フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価する第2工程と
を備えることを特徴とする、フレキシブルプリント配線板の検査方法。
an insulating layer having a through hole penetrating in the thickness direction;
a first conductor layer arranged on one side in the thickness direction of the insulating layer;
a second conductor layer arranged on the other side of the insulating layer in the thickness direction;
A flexible printed wiring board provided with a plurality of conductive portions arranged in the through holes and electrically conducting the first conductor layer and the second conductor layer, wherein the first conductor layer is: The pattern to be inspected has a pattern to be inspected that forms a conductive path in which a plurality of the conductive portions are arranged in a plane view, and the pattern to be inspected includes a plurality of first conductive portions each including two of the conductive portions adjacent to each other along the conductive path. a first step of preparing the flexible printed wiring board having, independently of each other, a connection pattern and an isolated pattern including the conductive portions at both ends of the conductive path;
A heating body is brought into surface contact with the entire pattern to be inspected of the first conductor layer from only one side in the thickness direction of the flexible printed wiring board so that the heating body includes all of the plurality of conductive portions. and a second step of evaluating electrical characteristics of the flexible printed wiring board.
請求項8に記載のフレキシブルプリント配線板の検査方法に用いられるフレキシブルプリント配線板の検査装置であり、
前記加熱体と、
前記フレキシブルプリント配線板の電気特性を評価する評価装置と
を備えることを特徴とする、フレキシブルプリント配線板の検査装置。
A flexible printed wiring board inspection apparatus used in the flexible printed wiring board inspection method according to claim 8,
the heating body;
An inspection apparatus for a flexible printed wiring board, comprising: an evaluation apparatus for evaluating electrical characteristics of the flexible printed wiring board.
前記加熱体は、平坦状の接触面を有することを特徴とする、請求項9に記載のフレキシブルプリント配線板の検査装置。 10. The flexible printed wiring board inspection apparatus according to claim 9, wherein the heating member has a flat contact surface. 前記加熱体は、連続して加熱および冷却可能であることを特徴とする、請求項9または10に記載のフレキシブルプリント配線板の検査装置。 11. The flexible printed wiring board inspection apparatus according to claim 9, wherein said heating element can be continuously heated and cooled. 前記評価装置は、前記フレキシブルプリント配線板の電気抵抗の変化を連続して測定することができる抵抗測定器であることを特徴とする、請求項9~11のいずれか一項に記載のフレキシブルプリント配線板の検査装置。 The flexible print according to any one of claims 9 to 11, wherein the evaluation device is a resistance measuring instrument capable of continuously measuring changes in electrical resistance of the flexible printed wiring board. Wiring board inspection equipment.
JP2017182413A 2017-09-22 2017-09-22 Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board Active JP7294769B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017182413A JP7294769B2 (en) 2017-09-22 2017-09-22 Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board
JP2022065186A JP2022089913A (en) 2017-09-22 2022-04-11 Flexible printed wiring board manufacturing method, inspection method, and inspection device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017182413A JP7294769B2 (en) 2017-09-22 2017-09-22 Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022065186A Division JP2022089913A (en) 2017-09-22 2022-04-11 Flexible printed wiring board manufacturing method, inspection method, and inspection device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2019057679A JP2019057679A (en) 2019-04-11
JP7294769B2 true JP7294769B2 (en) 2023-06-20

Family

ID=66107913

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017182413A Active JP7294769B2 (en) 2017-09-22 2017-09-22 Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board
JP2022065186A Pending JP2022089913A (en) 2017-09-22 2022-04-11 Flexible printed wiring board manufacturing method, inspection method, and inspection device

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022065186A Pending JP2022089913A (en) 2017-09-22 2022-04-11 Flexible printed wiring board manufacturing method, inspection method, and inspection device

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP7294769B2 (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007108110A (en) 2005-10-17 2007-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method and device for inspecting substrate

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08340163A (en) * 1995-06-13 1996-12-24 Sony Corp Printed-wiring board
JP2003101234A (en) * 2001-09-27 2003-04-04 Toppan Printing Co Ltd Multilayer wiring board as well as method and apparatus of manufacturing the same
JP2008235697A (en) * 2007-03-22 2008-10-02 Nitto Denko Corp Wiring circuit board and manufacturing method thereof

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007108110A (en) 2005-10-17 2007-04-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd Method and device for inspecting substrate

Also Published As

Publication number Publication date
JP2022089913A (en) 2022-06-16
JP2019057679A (en) 2019-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101224329B1 (en) Semiconductor chip used for evaluation, evaluation system, and repairing method thereof
US8669777B2 (en) Assessing connection joint coverage between a device and a printed circuit board
JP2016152301A (en) Chip resistor and manufacturing method thereof
CN103261896B (en) Detecting card
CN110494970B (en) Holding device
WO2007086147A1 (en) Current testing probe, probe assembly and method for manufacturing such probe assembly
JP6782103B2 (en) Probe card, inspection equipment and inspection method
US8836361B2 (en) Wiring board and probe card using the same
US20150181695A1 (en) Suspension board assembly sheet with circuits and manufacturing method of the same
KR101399030B1 (en) Probe Assembly, Probe Card Including the Same, and Methods for Manufacturing These
US9451704B2 (en) Suspension board assembly sheet with circuits and method for manufacturing the same
KR20120102025A (en) Wiring board for electronic component inspection device, and its manufacturing method
US7982475B2 (en) Structure and method for reliability evaluation of FCPBGA substrates for high power semiconductor packaging applications
JP7294769B2 (en) Manufacturing method, inspection method and inspection apparatus for flexible printed wiring board
JP2014103255A (en) Multilayer wiring board and method for manufacturing the same
US20040100293A1 (en) Test structure for determining the stability of electronic devices comprising connected substrates
JP6652443B2 (en) Multilayer wiring board and probe card using the same
JP6889672B2 (en) Wiring board for inspection equipment
US8981237B2 (en) Wiring board for electronic parts inspecting device and its manufacturing method
JP5466043B2 (en) Method for inspecting printed circuit board used in electronic equipment and inspection apparatus used therefor
KR20160137038A (en) Film contactor and test socket comprising the same
JP7101457B2 (en) Electrical connection device
JP5621664B2 (en) Semiconductor chip for evaluation, evaluation system, and heat dissipation material evaluation method
JP6017123B2 (en) Probe for passing electrical signals, electrical connection device using the same, and probe manufacturing method
JP2003297965A (en) Semiconductor device and its producing method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200818

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210615

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20210617

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210806

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20220118

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20220411

C60 Trial request (containing other claim documents, opposition documents)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60

Effective date: 20220411

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20220418

C21 Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21

Effective date: 20220419

A912 Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912

Effective date: 20220610

C211 Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211

Effective date: 20220614

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20221206

C13 Notice of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C13

Effective date: 20230131

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20230330

C22 Notice of designation (change) of administrative judge

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22

Effective date: 20230404

C23 Notice of termination of proceedings

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23

Effective date: 20230425

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230608

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7294769

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150