JP7288221B2 - light emitting device - Google Patents

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Description

本発明は、発光装置に関する。 The present invention relates to light emitting devices.

基体と、基体の上面に固定された半導体レーザ素子と、半導体レーザ素子を取り囲むように設けられた蓋体と、蓋体の貫通孔を塞ぐように蓋体に接合された透光性部材と、を備える発光装置が知られている。この発光装置において、蓋体には、上面視で貫通孔を取り囲むように、断面が略U字状の湾曲部が形成されている。そして、蓋体の膨張による変形を湾曲部で吸収させて、透光性部材にクラックが入ることを防止している(例えば、特許文献1の図1) a base body, a semiconductor laser element fixed to the upper surface of the base body, a lid provided so as to surround the semiconductor laser element, a translucent member joined to the lid so as to block the through hole of the lid, is known. In this light emitting device, the lid body is formed with a curved portion having a substantially U-shaped cross section so as to surround the through hole when viewed from above. The curved portion absorbs the deformation due to the expansion of the lid, thereby preventing the translucent member from cracking (for example, FIG. 1 of Patent Document 1).

特開2002-289958JP 2002-289958

このような発光装置においては、透光性部材の破損をより低減できる余地がある。 In such a light emitting device, there is room for further reducing damage to the translucent member.

本発明の一形態に係る発光装置は、本体部と、前記本体部の上面に設けられ、第1開口を形成する上面を有する枠部と、を有する基体と、前記枠部の内側であって前記本体部の上面に設けられた1以上のレーザ素子と、前記枠部の上面に固定され且つ前記枠部の前記第1開口の内側に第2開口が設けられた支持部と、前記第2開口を塞ぐように設けられた透光部と、を有する蓋体と、前記枠部の前記第1開口の内側、かつ、前記透光部の上方において、前記支持部に配置されるレンズ体と、を備える。 A light-emitting device according to an aspect of the present invention includes a base body having a main body portion, a frame portion provided on the upper surface of the main body portion and having an upper surface forming a first opening, and one or more laser elements provided on the upper surface of the main body; a support portion fixed to the upper surface of the frame and provided with a second opening inside the first opening of the frame; a light-transmitting portion provided to block an opening; and a lens body disposed on the support portion inside the first opening of the frame and above the light-transmitting portion. , provided.

図1は、実施形態に係る発光装置の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a light emitting device according to an embodiment. 図2は、実施形態に係る発光装置の上面図である。FIG. 2 is a top view of the light emitting device according to the embodiment. 図3は、図2のIII-IIIにおける断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view along III--III in FIG. 図4は、図3の破線枠における拡大図である。FIG. 4 is an enlarged view of the broken-line frame in FIG. 図5は、図2のV-Vにおける断面図である。5 is a cross-sectional view taken along line VV of FIG. 2. FIG. 図6は、導光部材と蓋とを含む発光装置の斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of a light emitting device including a light guide member and a lid. 図7は、図6のVII-VIIにおける断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view along VII-VII in FIG.

本発明を実施するための形態を、図面を参照しながら以下に説明する。ただし、以下に示す形態は、本発明の技術思想を具体化するためのものであって、本発明を限定するものではない。なお、各図面が示す部材の大きさや位置関係等は、説明を明確にするために誇張していることがある。本明細書では、発光装置の光取出し面側(図3の上側)を上方とし、その反対側(図3の下側)を下方とする。また、リードピン13が延びる方向と平行な方向をX方向といい、リードピン13が延びる方向に垂直な方向をY方向という。 A mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. However, the embodiments shown below are for embodying the technical idea of the present invention, and do not limit the present invention. Note that the sizes and positional relationships of members shown in each drawing may be exaggerated for clarity of explanation. In this specification, the light extraction surface side of the light emitting device (upper side in FIG. 3) is referred to as upper side, and the opposite side (lower side in FIG. 3) is referred to as lower side. A direction parallel to the direction in which the lead pins 13 extend is called the X direction, and a direction perpendicular to the direction in which the lead pins 13 extend is called the Y direction.

<実施形態>
図1に本実施形態に係る発光装置200の斜視図を示し、図2に発光装置200の上面図を示し、図3に図2のIII-IIIにおける断面図を示し、図4に図3の破線枠内の拡大図を示し、図5に図2のV-Vにおける断面図を示す。
<Embodiment>
FIG. 1 shows a perspective view of a light emitting device 200 according to this embodiment, FIG. 2 shows a top view of the light emitting device 200, FIG. 3 shows a cross-sectional view along III-III in FIG. 2, and FIG. An enlarged view within a dashed frame is shown, and FIG. 5 shows a cross-sectional view taken along line VV of FIG.

図1~図5に示すように、発光装置200は、本体部11及び本体部11の上面に設けられた枠部12を有する基体10と、枠部12の内側であって本体部11の上面に設けられた1以上のレーザ素子20と、枠部12の上面に固定され且つ枠部12の内側に開口が設けられた支持部31と、開口を塞ぐように設けられた透光部32と、を有する蓋体30と、透光部32の上方に配置されるレンズ体40と、を備える。このとき、支持部31は、枠部12の上面に固定される第1部位31aと、第1部位31aの内側において第1部位31aよりも低い位置に設けられた、レンズ体40が配置される第2部位31bと、第2部位31bの内側において第2部位31bよりも低い位置に設けられた、透光部32が配置される第3部位31cと、を有し、透光部32とレンズ体40との熱膨張係数差は、透光部32と本体部11との熱膨張係数差よりも小さい。 As shown in FIGS. 1 to 5, the light emitting device 200 includes a base body 10 having a main body portion 11 and a frame portion 12 provided on the upper surface of the main body portion 11, and an upper surface of the main body portion 11 inside the frame portion 12. one or more laser elements 20 provided on the upper surface of the frame portion 12, a support portion 31 fixed to the upper surface of the frame portion 12 and provided with an opening inside the frame portion 12, and a light transmitting portion 32 provided so as to close the opening. and a lens body 40 arranged above the translucent portion 32 . At this time, the support portion 31 includes a first portion 31a fixed to the upper surface of the frame portion 12 and a lens body 40 provided inside the first portion 31a at a position lower than the first portion 31a. A second portion 31b and a third portion 31c provided at a position lower than the second portion 31b inside the second portion 31b, where the light transmitting portion 32 is disposed, and the light transmitting portion 32 and the lens A difference in thermal expansion coefficient from the body 40 is smaller than a difference in thermal expansion coefficient between the translucent portion 32 and the main body portion 11 .

発光装置200によれば、レーザ素子20が配置される空間を封止する透光部32等の破損を低減することができる。以下、この点について詳述する。 According to the light emitting device 200, it is possible to reduce breakage of the translucent portion 32 sealing the space in which the laser element 20 is arranged. This point will be described in detail below.

発光ダイオード素子に比べてレーザ素子は発熱しやすいため、一般的に、レーザ素子は比較的熱伝導率の高い材料からなる本体部に載置される。熱伝導率の高い材料としては、例えば銅等の金属材料が挙げられるが、これらの材料は比較的熱膨張係数が大きい。つまり、本体部は、他の部材に比較して熱膨張係数が大きい傾向にある。したがって、レーザ素子の駆動で生じる熱により、本体部に熱が伝わると、本体部が膨張して外側に広がりやすくなるため、本体部に固定された枠部も外側に広がりやすくなり、透光部32が破損しやすくなる。 Since a laser element generates heat more easily than a light-emitting diode element, the laser element is generally mounted on a main body made of a material with relatively high thermal conductivity. Materials with high thermal conductivity include, for example, metal materials such as copper, and these materials have relatively large coefficients of thermal expansion. That is, the main body tends to have a larger coefficient of thermal expansion than other members. Therefore, when the heat generated by driving the laser element is transferred to the main body, the main body expands and tends to spread outward, so the frame fixed to the main body also tends to spread outward, and the translucent part 32 is easily damaged.

そこで、発光装置200では、蓋体30に含まれる支持部31として、枠部12の上面に固定される第1部位31aと、第1部位31aの内側において第1部位31aよりも低い位置に設けられた、レンズ体40が配置される第2部位31bと、第2部位31bの内側において第2部位31bよりも低い位置に設けられた、透光部32が配置される第3部位31cと、を含むものを用いている。つまり、2か所以上の段を設け、1つの段にレンズ体40を、その段よりも内側に位置する段に透光部32を、それぞれ配置している。そして、透光部32とレンズ体40の熱膨張係数差を透光部32と本体部11との熱膨張係数差よりも小さくしている。これらの構成によれば、レンズ体40により透光部32にかかる応力を低減することができるため、透光部32の破損を低減することができる。 Therefore, in the light emitting device 200, the support portion 31 included in the lid 30 includes a first portion 31a fixed to the upper surface of the frame portion 12 and a portion provided inside the first portion 31a at a position lower than the first portion 31a. a second portion 31b where the lens body 40 is arranged, and a third portion 31c where the translucent portion 32 is arranged, which is provided at a position lower than the second portion 31b inside the second portion 31b; I am using something that contains In other words, two or more steps are provided, and the lens body 40 is arranged in one step, and the translucent portion 32 is arranged in the step located inside the step. The difference in thermal expansion coefficient between the translucent portion 32 and the lens body 40 is made smaller than the difference in thermal expansion coefficient between the translucent portion 32 and the main body portion 11 . With these configurations, the lens body 40 can reduce the stress applied to the translucent portion 32 , and thus damage to the translucent portion 32 can be reduced.

以下、発光装置200の構成要素について説明する。 Components of the light emitting device 200 will be described below.

(基体10)
基体10は、本体部11と、本体部11の上面に設けられた枠部12と、を有する。
(Substrate 10)
The base 10 has a body portion 11 and a frame portion 12 provided on the top surface of the body portion 11 .

本体部11には、レーザ素子20が実装されるため、比較的熱伝導率の高い材料が用いられる。発光装置200では、本体部11として、銅を主成分として含む金属材料を用いている。なお、本明細書において、「主成分として含む」とは、全体の重量の50%を超えてある材料を含むことをいう。本体部11としては、全体の重量の99%以上の銅を含むものを用いることが好ましい。 Since the laser element 20 is mounted on the main body 11, a material with relatively high thermal conductivity is used. In the light-emitting device 200, a metal material containing copper as a main component is used as the body portion 11. As shown in FIG. In the present specification, the term "contained as a main component" means containing a material exceeding 50% of the total weight. As the body portion 11, it is preferable to use one containing copper in an amount of 99% or more of the total weight.

発光装置200では、本体部11の上面において、レーザ素子20を配置する領域が、枠部12を固定する領域よりも上方に位置しているものを用いる。つまり、本体部11として、部分的に上方に凸状になっているものを用いており、凸部の上面にレーザ素子20が配置されている。これにより、本体部11の反りによる、レーザ素子20の剥がれを低減することができる。 In the light emitting device 200, the area where the laser element 20 is arranged on the upper surface of the main body 11 is located above the area where the frame 12 is fixed. That is, the body part 11 is partially convex upward, and the laser element 20 is arranged on the upper surface of the convex part. This can reduce peeling of the laser element 20 due to warping of the main body 11 .

枠部12は、上方から視て本体部11に固定された全てのレーザ素子20を取り囲むように、本体部11の上面に固定されている。枠部12としては、後述する蓋体30の支持部31と熱膨張係数の近い材料を用いることが好ましい。これにより、枠部12と支持部31とを溶接する際の熱で透光部32が破損することを抑制することができる。枠部12としては、例えば、鉄を主成分として含む材料を用いることができる。発光装置200では、鉄を主成分として含む材料として、ニッケル鉄合金を用いている。この他に、鉄を主成分として含む材料としては、ステンレス鋼、コバールが挙げられる。発光装置200では、枠部12は、蓋体30を固定する部分を含む第1枠部と、第1枠部の外側面に設けられた第2枠部と、により枠部12は構成されているが、第1枠部のみから構成されていてもよい。 The frame portion 12 is fixed to the upper surface of the body portion 11 so as to surround all the laser elements 20 fixed to the body portion 11 when viewed from above. As the frame portion 12, it is preferable to use a material having a coefficient of thermal expansion close to that of the support portion 31 of the lid 30, which will be described later. Thereby, it is possible to suppress damage to the translucent portion 32 due to heat generated when the frame portion 12 and the support portion 31 are welded together. As the frame portion 12, for example, a material containing iron as a main component can be used. In the light-emitting device 200, a nickel-iron alloy is used as a material containing iron as a main component. In addition, materials containing iron as a main component include stainless steel and kovar. In the light emitting device 200, the frame portion 12 is composed of a first frame portion including a portion for fixing the lid 30 and a second frame portion provided on the outer surface of the first frame portion. However, it may be composed only of the first frame.

枠部12の上面の外縁は、上面視で四角形としている。これにより、レーザ素子20を直線状に配置することができるため、レーザ素子20の配置ばらつきを低減することができる。枠部12の上面の外縁は、円形としてもよい。この場合は、支持部31の全体において支持部31にかかる応力を均等にすることができるため、透光部32の破損を低減しやすくできる。枠部12には、4つのリードピン13が固定されている。なお、リードピン13の数は、Y方向におけるレーザ素子20の数に応じて変更することができる。 The outer edge of the upper surface of the frame portion 12 is square when viewed from above. As a result, the laser elements 20 can be arranged in a straight line, so that variations in the arrangement of the laser elements 20 can be reduced. The outer edge of the upper surface of the frame portion 12 may be circular. In this case, since the stress applied to the support portion 31 can be made uniform over the entire support portion 31, breakage of the translucent portion 32 can be easily reduced. Four lead pins 13 are fixed to the frame portion 12 . The number of lead pins 13 can be changed according to the number of laser elements 20 in the Y direction.

(レーザ素子20)
基体10の本体部11の上面には、1以上のレーザ素子20が配置されている。2以上のレーザ素子20が本体部11の上面に配置されていることが好ましく、ここでは、14個のレーザ素子20が配置されている。レーザ素子20の数が多くなるほどレーザ素子20全体で発生する熱量が多くなり、本体部11が反りやすくなるため、本実施形態による透光部32の破損を低減する効果が顕著となる。X方向におけるレーザ素子20の数は、Y方向におけるレーザ素子20の数よりも多いことが好ましい。Y方向におけるレーザ光の広がりに比べてX方向におけるレーザ光の広がりが狭いため、本体部11を大きくすることなく本体部11に配置できるレーザ素子20の数を増やすことができるためである。また、本体部11の大きさを大きくする必要がないため、本体部11が反りやすくなることを抑制できる。
(laser element 20)
One or more laser elements 20 are arranged on the upper surface of the body portion 11 of the base 10 . It is preferable that two or more laser elements 20 are arranged on the upper surface of the body portion 11, and 14 laser elements 20 are arranged here. As the number of laser elements 20 increases, the amount of heat generated by the laser elements 20 as a whole increases, and the main body 11 is more likely to warp. Preferably, the number of laser elements 20 in the X direction is greater than the number of laser elements 20 in the Y direction. This is because the spread of the laser light in the X direction is narrower than the spread of the laser light in the Y direction, so the number of laser elements 20 that can be arranged in the main body 11 can be increased without increasing the size of the main body 11 . In addition, since there is no need to increase the size of the body portion 11, it is possible to prevent the body portion 11 from easily warping.

本体部11に配置される2以上のレーザ素子20のうちの少なくとも1つには、窒化物半導体が含まれることが好ましく、GaN系の半導体が含まれることがより好ましい。GaN系の半導体を含むレーザ素子20は集塵しやすいため、気密封止による集塵低減の効果が顕著となる。発光装置200では、すべてのレーザ素子20がGaN系の半導体を含む。GaN系の半導体としては、例えば、GaN、InGaN、及びAlGaNの少なくとも1つを含むものを用いることができる。レーザ素子20の発光ピーク波長は、420nm~570nmの範囲内にあることが好ましく、430nm~550nmの範囲内にあることがより好ましい。 At least one of the two or more laser elements 20 arranged in the main body 11 preferably contains a nitride semiconductor, more preferably a GaN-based semiconductor. Since the laser element 20 including a GaN-based semiconductor easily collects dust, the effect of reducing dust collection by hermetic sealing is remarkable. In light-emitting device 200, all laser elements 20 include GaN-based semiconductors. As a GaN-based semiconductor, for example, one containing at least one of GaN, InGaN, and AlGaN can be used. The emission peak wavelength of the laser element 20 is preferably within the range of 420 nm to 570 nm, more preferably within the range of 430 nm to 550 nm.

図3~図5に示すように、レーザ素子20は、本体部11の上面と平行に光が照射されるように配置されている。つまり、レーザ素子20は、その光出射端面が本体部11の上面と垂直になるように配置されている。これにより、レーザ素子20の主面を本体部11と平行に実装することができるため、レーザ素子20で生じる熱を発散しやすくできる。各レーザ素子20は各サブマウント70に固定されており、レーザ素子20はサブマウント70を介して本体部11に実装されている。これにより、各レーザ素子20の光出射端面における発光点から本体部11の上面までの距離をサブマウント70の厚みの分だけ大きくすることができるため、レーザ素子20から放射された光を効率よく後述する光反射体90に照射することができる。 As shown in FIGS. 3 to 5, the laser element 20 is arranged so that light is emitted in parallel with the upper surface of the main body 11. As shown in FIGS. In other words, the laser element 20 is arranged so that its light emitting end surface is perpendicular to the upper surface of the main body 11 . As a result, the main surface of the laser element 20 can be mounted in parallel with the main body 11, so that the heat generated in the laser element 20 can be easily dissipated. Each laser element 20 is fixed to each submount 70 , and the laser element 20 is mounted on the main body 11 via the submount 70 . As a result, the distance from the light emitting point on the light emitting end face of each laser element 20 to the upper surface of the main body 11 can be increased by the thickness of the submount 70, so that the light emitted from the laser element 20 can be emitted efficiently. A light reflector 90, which will be described later, can be irradiated with the light.

サブマウント70としては、本体部11の熱膨張係数と各レーザ素子20の熱膨張係数との間の熱膨張係数を有するものを用いることが好ましい。これにより、レーザ素子20の剥がれや、サブマウント70の剥がれを抑制することができる。レーザ素子20として窒化物半導体を含む材料を用いる場合は、サブマウント70として、例えば、窒化アルミニウム、又は炭化ケイ素を用いる。各サブマウント70には金属膜が設けられており、各レーザ素子20はAu-Sn等の導電層により各サブマウント70に固定されている。 Submount 70 preferably has a thermal expansion coefficient between that of main body 11 and that of each laser element 20 . As a result, peeling of the laser element 20 and peeling of the submount 70 can be suppressed. When a material containing a nitride semiconductor is used as the laser element 20, the submount 70 is made of aluminum nitride or silicon carbide, for example. Each submount 70 is provided with a metal film, and each laser element 20 is fixed to each submount 70 by a conductive layer such as Au--Sn.

図3及び図4に示すように、各レーザ素子20は、ワイヤ60(金属細線)により、リードピン13と電気的に接続されている。ここでは、リードピン13の下方にはレーザ素子が配置されていないサブマウント80が配置されている。そして、X方向に並ぶ2以上のレーザ素子20のうちの一端に配置されたレーザ素子20とサブマウント80とをワイヤ60により電気的に接続し、サブマウント80とリードピン13とをワイヤ60により電気的に接続している。これにより、ワイヤ60の長さが長くなることを低減できるため、ワイヤ60の破断を抑制しやすくなる。サブマウント80の材料は、サブマウント70と同様のものを用いることができる。 As shown in FIGS. 3 and 4, each laser element 20 is electrically connected to the lead pin 13 by a wire 60 (fine metal wire). Here, a submount 80 on which no laser element is arranged is arranged below the lead pin 13 . Then, the laser element 20 arranged at one end of the two or more laser elements 20 arranged in the X direction and the submount 80 are electrically connected by wires 60, and the submount 80 and the lead pins 13 are electrically connected by wires 60. properly connected. As a result, it is possible to reduce the lengthening of the wire 60 , thereby making it easier to suppress breakage of the wire 60 . A material similar to that of the submount 70 can be used for the submount 80 .

図5に示すように、本体部11の上面であって枠部12の内側には1以上の光反射体90が配置されている。光反射体90は、各レーザ素子20から出射される光を透光部32に向けて反射させるものである。ここでは、レーザ素子20の数と同じ数の光反射体90が、サブマウント70を介することなく本体部11に固定されている。光反射体90を用いることにより、各レーザ素子20からの光が光反射体90を経由することなく透光部32に直接照射される場合に比較して、各レーザ素子の光出射端面からレンズ体40の光入射面までの光の行路を長くすることができるため、光反射体90と各レーザ素子20との
実装ずれによる影響を小さくすることができる。
As shown in FIG. 5, one or more light reflectors 90 are arranged on the upper surface of the body portion 11 and inside the frame portion 12 . The light reflector 90 reflects the light emitted from each laser element 20 toward the transparent portion 32 . Here, the same number of light reflectors 90 as the number of laser elements 20 are fixed to the main body 11 without interposing the submount 70 therebetween. By using the light reflector 90, compared with the case where the light from each laser element 20 is directly irradiated to the light transmitting portion 32 without passing through the light reflector 90, the light from the light emitting end face of each laser element is projected onto the lens. Since the path of the light to the light incident surface of the body 40 can be lengthened, the influence of mounting misalignment between the light reflector 90 and each laser element 20 can be reduced.

光反射体90としては、少なくとも一面に光反射面を有する光学素子を用いる。光学素子としては、主材が石英若しくはBK7等のガラス、アルミニウム等の金属、又はSi等の熱に強い材料からなり、光反射面が金属や誘電体多層膜等の反射率の高い材料からなるものを用いることができる。 As the light reflector 90, an optical element having at least one light reflecting surface is used. As an optical element, the main material is made of glass such as quartz or BK7, metal such as aluminum, or heat-resistant material such as Si, and the light reflecting surface is made of a material with high reflectance such as metal or dielectric multilayer film. can use things.

(蓋体30)
枠部12の上面には、蓋体30が固定されている。蓋体30は、上方から視て枠部12の内側で開口した支持部31と、開口を塞ぐ透光部32と、を有する。蓋体30に関する以下の説明では、「平行」とは基準面に対して完全に平行なものだけではなく、10度以下で傾くものも含まれる。また、「垂直」とは基準面に対して完全に垂直なものだけではなく、10度以下で傾くものも含まれる。
(Lid 30)
A lid 30 is fixed to the upper surface of the frame portion 12 . The lid 30 has a support portion 31 that opens inside the frame portion 12 when viewed from above, and a translucent portion 32 that closes the opening. In the following description of the lid body 30, "parallel" includes not only being completely parallel to the reference plane, but also being inclined by 10 degrees or less. In addition, "perpendicular" includes not only being completely perpendicular to the reference plane, but also being inclined by 10 degrees or less.

支持部31の材料は、枠部12と溶接しやすくするために、比較的熱伝導率の低い材料を用いる。例えば、枠部12で例示した材料と同様の材料を用いることができる。発光装置200では、基体10と蓋体30とにより、レーザ素子20が配置された空間は気密封止された空間となっている。 A material having a relatively low thermal conductivity is used for the material of the support portion 31 so as to facilitate welding with the frame portion 12 . For example, materials similar to those exemplified for the frame 12 can be used. In the light-emitting device 200 , the space in which the laser element 20 is arranged is hermetically sealed by the base 10 and the lid 30 .

支持部31は、図4に示すように、枠部12の上面に固定される第1部位31aと、第1部位31aの内側において第1部位31aよりも低い位置に設けられた、レンズ体40が配置される第2部位31bと、第2部位31bの内側において第2部位31bよりも低い位置に設けられた、透光部32が配置される第3部位31cと、を少なくとも有する。図4に示すように、第1部位31a~第3部位31cは、本体部11の下面と平行な領域を含むことが好ましい。これにより、枠部12への固定や、レンズ体40及び透光部32の固定を容易に行うことができる。なお、第2部位31bは平坦な領域を含まなくてもよい。 As shown in FIG. 4, the support portion 31 includes a first portion 31a fixed to the upper surface of the frame portion 12, and a lens body 40 provided inside the first portion 31a at a position lower than the first portion 31a. and a third portion 31c provided inside the second portion 31b at a position lower than the second portion 31b and having the translucent portion 32 disposed thereon. As shown in FIG. 4, the first to third portions 31a to 31c preferably include regions parallel to the lower surface of the main body portion 11. As shown in FIG. Thereby, fixing to the frame part 12 and fixing of the lens body 40 and the translucent part 32 can be easily performed. Note that the second portion 31b does not have to include a flat region.

発光装置200では、支持部31は、上方から視て第2部位31bと第3部位31cとの間に、第2部位31bよりも低い位置で且つ第3部位31cよりも高い位置に設けられた第4部位31dを有する。これにより、支持部31と透光部32とを第1接合材33を用いて接合する際に、第1接合材33が第2部位31bに這い上がることを低減することができ、レンズ体40を固定しやすくなる。第4部位31dは、本体部11の下面と平行な領域を含む。なお、第4部位31dはなくてもよい。つまり、第2部位31bと第3部位31cとが後述する第6部位31fにより繋げられていてもよい。 In the light emitting device 200, the support portion 31 is provided between the second portion 31b and the third portion 31c when viewed from above, at a position lower than the second portion 31b and higher than the third portion 31c. It has a fourth portion 31d. As a result, when the supporting portion 31 and the translucent portion 32 are joined using the first joining material 33, the first joining material 33 can be prevented from creeping up to the second portion 31b. becomes easier to fix. The fourth portion 31 d includes a region parallel to the bottom surface of the main body portion 11 . Note that the fourth portion 31d may be omitted. That is, the second portion 31b and the third portion 31c may be connected by a sixth portion 31f, which will be described later.

支持部31は、第1部位31aと第2部位31bとを繋ぐ第5部位31eを有することができる。発光装置200では、第5部位31eは、枠部12から内側に離間した位置において、第2部位31bよりも低い位置で下に凸となるように屈曲している。言い換えると、第5部位31eは、枠部12に接しないように、第1部位31aから第2部位31bよりも低い位置まで延伸してから内側上方に屈曲して第2部位31bに接続されるように設けられている。これにより、第5部位31eのうちの下方に延伸する領域で弾性変形して応力を吸収させやすくできる。さらに、上方に屈曲する領域で物理的な強度を確保することができるため、レンズ体40や透光部32の破損を低減できる。また、第5部位31eに屈曲する領域を設けることにより、過剰な第2接合材50をとどめることができる。第2接合材と第1接合材とが接触すると、レーザ素子からの光が第2接合材に当たり、第2接合材が劣化する可能性があるところ、発光装置200によれば、第2接合材50を外側に寄せて配置することにより第2接合材50が内側に入って第1接合材33と接触することを抑制することができる。第5部位31eの最上部から最下部までの長さは、例えば、1.5mm以上4mm以下の範囲内とすることができる。第5部位31eの最下部は、第3部位31cの最下部よりも低いことが好ましい。これにより、第5部位31eの最上部から最下部までの長さを長くできるため、応力を吸収しやすくすることができる。 The support portion 31 can have a fifth portion 31e connecting the first portion 31a and the second portion 31b. In the light emitting device 200, the fifth portion 31e is bent inwardly from the frame portion 12 so as to protrude downward at a position lower than the second portion 31b. In other words, the fifth portion 31e extends from the first portion 31a to a position lower than the second portion 31b so as not to come into contact with the frame portion 12, and then bends inward and upward to be connected to the second portion 31b. is provided as follows. As a result, the downwardly extending region of the fifth portion 31e can be elastically deformed to facilitate stress absorption. Furthermore, since physical strength can be ensured in the upward bending region, breakage of the lens body 40 and the translucent portion 32 can be reduced. Further, by providing the curved region in the fifth portion 31e, the excess second bonding material 50 can be retained. When the second bonding material and the first bonding material come into contact with each other, light from the laser element hits the second bonding material, possibly degrading the second bonding material. By arranging the second bonding material 50 to the outside, it is possible to suppress the second bonding material 50 from entering the inside and coming into contact with the first bonding material 33 . The length from the top to the bottom of the fifth portion 31e can be, for example, within the range of 1.5 mm or more and 4 mm or less. The lowest portion of the fifth portion 31e is preferably lower than the lowest portion of the third portion 31c. As a result, the length from the top to the bottom of the fifth portion 31e can be increased, so stress can be easily absorbed.

支持部31は、第2部位31bと第4部位31dとを繋ぐ第6部位31fを有する。第6部位31fは、内側から外側に向かって広がるように傾斜した領域を含む。このとき、本体部11の下面に対して垂直な面から30度以下の範囲で傾斜していることが好ましい。これにより、第4部位31dと第2部位31bとを繋ぐ第6部位31fをある程度急峻な領域とすることができるため、第1接合材33の第2部位31bへの這い上がりを低減しやすくなる。 The support portion 31 has a sixth portion 31f connecting the second portion 31b and the fourth portion 31d. The sixth portion 31f includes a slanted region extending from the inside to the outside. At this time, it is preferable that the surface is inclined within a range of 30 degrees or less from a plane perpendicular to the lower surface of the main body portion 11 . As a result, the sixth portion 31f that connects the fourth portion 31d and the second portion 31b can be formed as a steep region to some extent. .

支持部31は、第3部位31cと第4部位31dとを繋ぐ第7部位31gを有する。これにより、透光部32の位置合わせを行いやすくなる。第7部位31gは本体部の下面に対して垂直な面から15度以下の範囲で傾斜する領域を含むことが好ましい。これにより、第1接合材33の第4部位31dへの這い上がりを低減しやすくなる。 The support portion 31 has a seventh portion 31g connecting the third portion 31c and the fourth portion 31d. This makes it easier to align the translucent portion 32 . It is preferable that the seventh portion 31g includes a region that is inclined in a range of 15 degrees or less from a plane perpendicular to the lower surface of the main body. This makes it easier to reduce the creeping up of the first bonding material 33 to the fourth portion 31d.

支持部31は、比較的薄く、一定の厚みで構成されることが好ましい。つまり、支持部31は薄板であることが好ましい。これにより、支持部31をプレス加工にて製造することができるので、製造時におけるコストを低減することができる。例えば、支持部31の厚みは全体的に、0.03mm以上0.2mm以下の範囲内であることが好ましく、0.05mm以上1.5mm以下の範囲内であることがより好ましい。発光装置200では、支持部31のうちの少なくとも枠部12に固定されている領域を除く領域は、一定の厚みで構成されている。つまり、第2部位31b~第7部位31gは同じ厚みである。なお、第1部位31aを枠部12に溶接で固定する場合は、その部分が若干薄くなる場合もある。ここでいう厚みとは、第1部位31a~第4部位31dは上下方向、第5部位31e~第7部位31gは左右方向の長さである。また、ここでいう「同じ厚み」には、±10%以下の厚みの差は含まれる。 Preferably, the support portion 31 is relatively thin and has a constant thickness. That is, it is preferable that the supporting portion 31 is a thin plate. As a result, the support portion 31 can be manufactured by press working, so that manufacturing costs can be reduced. For example, the thickness of the supporting portion 31 as a whole is preferably in the range of 0.03 mm or more and 0.2 mm or less, and more preferably in the range of 0.05 mm or more and 1.5 mm or less. In the light-emitting device 200, a region of the supporting portion 31 excluding at least the region fixed to the frame portion 12 has a constant thickness. That is, the second portion 31b to the seventh portion 31g have the same thickness. Note that when the first portion 31a is fixed to the frame portion 12 by welding, that portion may become slightly thin. The thickness here means the length in the vertical direction for the first to fourth portions 31a to 31d, and the length in the horizontal direction for the fifth to seventh portions 31e to 31g. In addition, the term "same thickness" as used herein includes a difference in thickness of ±10% or less.

透光部32は、支持部31の開口を塞ぐように、第3部位31cに固定されている。ここでは、第3部位31cの上面に透光部32が固定されており、透光部32の外縁が、上方から視て開口の外縁よりも外側に位置するように設けられている。 The translucent portion 32 is fixed to the third portion 31c so as to block the opening of the support portion 31. As shown in FIG. Here, the translucent portion 32 is fixed to the upper surface of the third portion 31c, and the outer edge of the translucent portion 32 is positioned outside the outer edge of the opening when viewed from above.

発光装置200では、透光部32の材料として、ガラスを用いている。このほかに、例えば、サファイアを用いることができる。透光部32の厚み(上下方向の長さ)は、0.5mm以上1mm以下の範囲内であることが好ましい。前述の下限値以上とすることにより透光部32の強度を確保することができ、前述の上限値以下とすることにより光反射体90からレンズ体40までの距離を小さくすることができる。 In the light-emitting device 200 , glass is used as the material of the translucent portion 32 . In addition, for example, sapphire can be used. The thickness (vertical length) of the translucent portion 32 is preferably in the range of 0.5 mm or more and 1 mm or less. The strength of the translucent portion 32 can be ensured by making it equal to or greater than the aforementioned lower limit, and the distance from the light reflector 90 to the lens body 40 can be reduced by making it equal to or less than the aforementioned upper limit.

透光部32は、第1接合材33により支持部31に固定されている。第1接合材33としては、透光部32及び支持部31に比較的近い熱膨張係数を有する材料を用いることができる。第1接合材33は、レーザ素子20への集塵を低減するために、無機材料であることが好ましい。第1接合材33としては、例えば、低融点のガラスを用いることができる。 The translucent portion 32 is fixed to the support portion 31 with a first bonding material 33 . As the first bonding material 33, a material having a coefficient of thermal expansion relatively close to that of the translucent portion 32 and the support portion 31 can be used. The first bonding material 33 is preferably an inorganic material in order to reduce dust collection on the laser element 20 . Low-melting-point glass, for example, can be used as the first bonding material 33 .

(レンズ体40)
レンズ体40は、透光部32から上方に離間して配置され、レーザ素子20からの光の配光を制御する。レンズ体40は、支持部31の第1部位31aの内縁よりも内側に固定されている。これにより、第1部位31aの上面に他の部材を固定しやすくなる。例えば、図6及び図7に示すように、レンズ体40への集塵を低減するために、第1部位31aの上面に筒状の導光部材100を固定し、導光部材100の端部を蓋110で覆うことができる。つまり、導光部材100の一端と第1部位31aとが固定され、導光部材100の他端と蓋110とが固定されている。これにより、比較的大きな塵等がレンズ体40に付着することを低減することができる。支持部31と導光部材100と蓋110とにより構成される空間は、気密封止された空間とすることが好ましい。これにより、レンズ体40が配置される空間に比較的小さな塵が侵入することを抑制することができるため、発光装置200の信頼性を向上させることができる。
(Lens body 40)
The lens body 40 is spaced upward from the translucent portion 32 and controls the light distribution of the light from the laser element 20 . The lens body 40 is fixed inside the inner edge of the first portion 31 a of the support portion 31 . This makes it easier to fix other members to the upper surface of the first portion 31a. For example, as shown in FIGS. 6 and 7, in order to reduce dust collection on the lens body 40, a tubular light guide member 100 is fixed to the upper surface of the first portion 31a, and the end portion of the light guide member 100 is can be covered with lid 110 . That is, one end of the light guide member 100 and the first portion 31a are fixed, and the other end of the light guide member 100 and the lid 110 are fixed. Accordingly, it is possible to reduce the adhesion of relatively large dust or the like to the lens body 40 . The space formed by the support portion 31, the light guide member 100, and the lid 110 is preferably an airtightly sealed space. As a result, it is possible to prevent relatively small dust from entering the space where the lens body 40 is arranged, so that the reliability of the light emitting device 200 can be improved.

発光装置200では、筒状の導光部材100として、内部に中空が設けられた四角錘台のものを用いている。なお、筒状の導光部材100として、内部に中空が設けられた四角柱のものや、内部に中空が設けられた円柱のもの等を用いてもよい。また、図6及び図7では、導光部材100として、導光部材100の一端から他端に向かって幅が狭くなるものを用いているが、一端から他端に向かって同じ幅の中空が設けられているものや、一端から他端に向かって幅が広くなるものを用いてもよい。蓋110としては、透光性のものを用いることができ、例えば、ガラスやサファイア等を用いることができる。支持部31と導光部材100と蓋110とにより構成される空間内には、波長変換部材やレンズ等の部材が配置されていてもよい。 In the light-emitting device 200, a cylindrical light-guiding member 100 having a truncated square pyramid with a hollow inside is used. As the cylindrical light guide member 100, a square prism having a hollow inside, a cylindrical shape having a hollow inside, or the like may be used. In FIGS. 6 and 7, the light guide member 100 used has a width that narrows from one end to the other end of the light guide member 100. One that is provided or one that widens from one end to the other may be used. As the lid 110, a translucent material such as glass or sapphire can be used. A member such as a wavelength conversion member or a lens may be arranged in the space formed by the support portion 31 , the light guide member 100 and the lid 110 .

発光装置200では、レンズ体40として、レンズ体40に設けられたレンズ部41を通過する光が平行光に近づくコリメートレンズを用いている。なお、ここでいうコリメートレンズは、レンズ部41で光を完全に平行にするものも含む。 In the light emitting device 200, a collimating lens is used as the lens body 40 so that the light passing through the lens portion 41 provided in the lens body 40 approaches parallel light. Note that the collimator lens referred to here also includes a lens unit 41 that completely parallelizes light.

レンズ体40と透光部32との熱膨張係数差はできるだけ小さいことが好ましい。これにより、透光部32の破損を低減しやすくなる。レンズ体40と透光部32との熱膨張係数差は、例えば、5×10-6/℃以下とすることができ、2×10-6/℃以下とすることが好ましい。レンズ体40としては、ショット製の「B270」や「BK7」(硼珪酸ガラス)などのガラス等を用いることができる。 It is preferable that the difference in thermal expansion coefficient between the lens body 40 and the translucent portion 32 is as small as possible. This makes it easier to reduce damage to the translucent portion 32 . The difference in thermal expansion coefficient between the lens body 40 and the translucent portion 32 can be, for example, 5×10 −6 /° C. or less, preferably 2×10 −6 /° C. or less. As the lens body 40, glass such as "B270" and "BK7" (borosilicate glass) manufactured by SCHOTT can be used.

図2に示すように、レンズ体40は、上方から視て、複数のレンズ部41と、複数のレンズ部41を取り囲む非レンズ部42と、を有する。ここでは、複数のレンズ部41及び非レンズ部42は同じ材料により、一体で構成されている。そして、図4に示すように、非レンズ部42と第2部位31bとが第2接合材50により接続されている。これにより、レーザ光が第2接合材50に当たることを低減しながら、レンズ体40を支持部31に固定することができる。上方から視て、第2部位31bは、枠部12の内縁に沿うように設けられており、レンズ体40は第2部位31bにおいて枠状に固定されている。つまり、発光装置200における上下方向のどの断面においても、レンズ体40は、枠部12の内側において支持部31に固定されている。これにより、枠部12が外側に広がるように引っ張られてもレンズ体40で広がりを抑えることができるため、透光部32の破損を低減できる。なお、レンズ体40の全体の熱膨張係数が透光部32の熱膨張係数に近いもので、レンズ部41と非レンズ部42とは別材料により構成されているものをレンズ体40として用いてもよい。 As shown in FIG. 2 , the lens body 40 has a plurality of lens portions 41 and a non-lens portion 42 surrounding the plurality of lens portions 41 when viewed from above. Here, the plurality of lens portions 41 and the non-lens portions 42 are integrally formed of the same material. Then, as shown in FIG. 4 , the non-lens portion 42 and the second portion 31 b are connected by the second bonding material 50 . This makes it possible to fix the lens body 40 to the support portion 31 while reducing the incidence of the laser light hitting the second bonding material 50 . When viewed from above, the second portion 31b is provided along the inner edge of the frame portion 12, and the lens body 40 is fixed in a frame shape at the second portion 31b. That is, the lens body 40 is fixed to the support portion 31 inside the frame portion 12 in any vertical cross section of the light emitting device 200 . As a result, even if the frame portion 12 is pulled so as to expand outward, the lens body 40 can suppress the expansion, so that damage to the translucent portion 32 can be reduced. The thermal expansion coefficient of the entire lens body 40 is close to the thermal expansion coefficient of the translucent portion 32, and the lens portion 41 and the non-lens portion 42 are made of different materials. good too.

レンズ部41は、レーザ光の広がりの小さい方向において、隣り合うレンズ部と連続して設けられている。つまり、レンズ部41は、X方向において連続して設けられている。これにより、レンズ体40を小さくすることができ、発光装置200全体として小さくすることができる。 The lens portion 41 is provided continuously with adjacent lens portions in the direction in which the spread of the laser light is small. That is, the lens portions 41 are provided continuously in the X direction. As a result, the lens body 40 can be made smaller, and the light emitting device 200 as a whole can be made smaller.

第2接合材50は、第1接合材33よりもヤング率が小さい材料であることが好ましい。第2接合材50は、第1接合材33よりも枠部12に近い領域に設けられるため応力がかかりやすくなるが、比較的ヤング率の小さい材料を用いることにより第2接合材50やレンズ体40の破損を低減することができる。第2接合材50としては、樹脂を用いることが好ましく、紫外線硬化型の樹脂を用いることがより好ましい。紫外線硬化型の樹脂を用いることにより、第2接合材50が硬化されるまでの時間を考慮しながらレンズ体40を調整する必要がなくなるため、レンズ体40の位置を正確に調整しやすくなる。なお、図4において、第2接合材50が、支持部31において応力を緩和させる第5部位31eに接しているが、第2部位31bにのみ設けられていてもよい。このように、第5部位31eに接する場合でも、ヤング率の小さい材料を用いているため、第5部位31eでの応力緩和の効果を得ることができると考えられる。 The second bonding material 50 is preferably made of a material having a Young's modulus smaller than that of the first bonding material 33 . Since the second bonding material 50 is provided in a region closer to the frame portion 12 than the first bonding material 33, stress is likely to be applied thereto. 40 breakage can be reduced. As the second bonding material 50, it is preferable to use a resin, and it is more preferable to use an ultraviolet curable resin. By using an ultraviolet curable resin, it is not necessary to adjust the lens body 40 while considering the time until the second bonding material 50 is cured, so the position of the lens body 40 can be accurately adjusted. In FIG. 4, the second bonding material 50 is in contact with the fifth portion 31e that relieves the stress in the support portion 31, but it may be provided only in the second portion 31b. In this way, even when in contact with the fifth portion 31e, since a material with a small Young's modulus is used, it is considered that the effect of stress relaxation in the fifth portion 31e can be obtained.

実施形態に記載の発光装置200は、プロジェクタ等に使用することができる。 The light emitting device 200 described in the embodiments can be used for projectors and the like.

10…基体
11…本体部
12…枠部
13…リードピン
20…レーザ素子
30…蓋体
31…支持部
31a…第1部位
31b…第2部位
31c…第3部位
31d…第4部位
31e…第5部位
31f…第6部位
31g…第7部位
32…透光部
33…第1接合材
40…レンズ体
41…レンズ部
42…非レンズ部
50…第2接合材
60…ワイヤ
70、80…サブマウント
90…光反射体
100…導光部材
110…蓋
200…発光装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10... Base|substrate 11... Main-body part 12... Frame part 13... Lead pin 20... Laser element 30... Cover body 31... Support part 31a... 1st site|part 31b... 2nd site|part 31c... 3rd site|part 31d... 4th site|part 31e... 5th site Part 31f Sixth part 31g Seventh part 32 Translucent part 33 First bonding material 40 Lens body 41 Lens part 42 Non-lens part 50 Second bonding material 60 Wire 70, 80 Submount 90... Light reflector 100... Light guide member 110... Lid 200... Light emitting device

Claims (7)

本体部と、前記本体部の上面に設けられ、第1開口を形成する上面を有する枠部と、を有する基体と、
前記枠部の内側であって、前記枠部の上面よりも下方において、前記本体部の上面に設けられた1以上のレーザ素子と、
前記枠部の上面に固定され且つ前記枠部の前記第1開口の内側に第2開口が設けられた支持部と、前記第2開口を塞ぐように設けられた透光部と、を有する蓋体と、
上面視における前記枠部の前記第1開口の内側、かつ、前記透光部の上方において、前記支持部に配置されるレンズ体と、を備える発光装置。
a base body having a main body portion and a frame portion provided on the upper surface of the main body portion and having an upper surface forming a first opening;
one or more laser elements provided on the upper surface of the main body inside the frame and below the upper surface of the frame;
A lid having a support portion fixed to the upper surface of the frame portion and provided with a second opening inside the first opening of the frame portion, and a light-transmitting portion provided to close the second opening. body and
and a lens body disposed on the support portion inside the first opening of the frame portion and above the translucent portion when viewed from above .
前記支持部は、
前記枠部の上面に固定される第1部位と、
前記第1部位の内側において前記第1部位よりも低い位置に設けられた、前記レンズ体が配置される第2部位と、
前記第2部位の内側において前記第2部位よりも低い位置に設けられた、前記透光部が配置される第3部位と、を有する、請求項1に記載の発光装置。
The support part is
a first portion fixed to the upper surface of the frame;
a second portion provided at a position lower than the first portion inside the first portion, where the lens body is arranged;
2. The light-emitting device according to claim 1, further comprising a third portion provided inside said second portion and at a position lower than said second portion, where said translucent portion is arranged.
前記支持部において、前記第2部位と前記第3部位は同じ厚みである、請求項2に記載の発光装置。 3. The light emitting device according to claim 2, wherein said second portion and said third portion of said support portion have the same thickness. 前記レンズ体は、レンズ部を有し、
前記レンズ体のレンズ部の頂点は、前記枠部の上面よりも高い位置にある、請求項1に記載の発光装置。
The lens body has a lens portion,
The light emitting device according to claim 1, wherein the apex of the lens portion of the lens body is located higher than the upper surface of the frame portion.
前記レンズ体の厚みは、前記透光部の厚みよりも大きい、請求項1に記載の発光装置。 The light-emitting device according to claim 1, wherein the thickness of the lens body is greater than the thickness of the translucent portion. 前記レンズ体は、レンズ部と、前記レンズ部を取り囲む非レンズ部と、を有し、
前記レンズ体の前記非レンズ部の厚みは、前記透光部の厚みよりも大きい、請求項1に記載の発光装置。
The lens body has a lens portion and a non-lens portion surrounding the lens portion,
2. The light-emitting device according to claim 1, wherein said non-lens portion of said lens body has a thickness greater than that of said translucent portion.
前記透光部の厚みは、1mm以下である、請求項5または6に記載の発光装置。 7. The light-emitting device according to claim 5, wherein the thickness of said translucent portion is 1 mm or less.
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