JP7283208B2 - Powder dispersion, method for producing laminate, method for producing laminate and printed circuit board - Google Patents

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Description

本発明は、パウダー分散液、積層体の製造方法、積層体及びプリント基板の製造方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a powder dispersion, a method for producing a laminate, and a method for producing a laminate and a printed circuit board.

ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)等のテトラフルオロエチレン系ポリマーは、耐薬品性、撥水撥油性、耐熱性、電気特性等の物性に優れており、パウダー、分散液、フィルム等の種々の使用形態と種々の用途とが知られている。近年では、低誘電率、低誘電正接等の電気特性に優れ、高周帯域の周波数に対応するプリント基板の誘電体層を形成する材料として、テトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダーを含むパウダー分散液が注目されている。 Tetrafluoroethylene polymers such as polytetrafluoroethylene (PTFE) have excellent physical properties such as chemical resistance, water and oil repellency, heat resistance, and electrical properties, and are used in various forms such as powders, dispersions, and films. and various uses are known. In recent years, powder dispersion containing tetrafluoroethylene-based polymer powder has been developed as a material for forming the dielectric layer of printed circuit boards, which has excellent electrical properties such as low dielectric constant and low dielectric loss tangent, and is compatible with high-band frequencies. Attention has been paid.

特許文献1には、パウダー分散液の、粘性、保存安定性及び他の樹脂材料との混合性を改善する観点から、上記パウダー、熱可塑性エラストマー及び有機溶媒を含むパウダー分散液が提案されている。
特許文献2には、誘電体層を形成した際の、基材密着性と誘電体層の厚さ均一性とを改善する観点から、上記パウダー、粒子状のエラストマー、シリカフィラー、エポキシ樹脂及び硬化剤を含む熱硬化性のパウダー分散液が提案されている。
Patent Document 1 proposes a powder dispersion containing the powder, a thermoplastic elastomer, and an organic solvent from the viewpoint of improving the viscosity, storage stability, and miscibility with other resin materials of the powder dispersion. .
In Patent Document 2, from the viewpoint of improving the adhesion to the substrate and the thickness uniformity of the dielectric layer when the dielectric layer is formed, the powder, the particulate elastomer, the silica filler, the epoxy resin, and the curing Thermosetting powder dispersions containing agents have been proposed.

特開2017-222762号公報JP 2017-222762 A 特開2019-035059号公報JP 2019-035059 A

テトラフルオロエチレン系ポリマー以外の層形成成分を含むパウダー分散液は、その取扱性や、その層の一部物性の向上が期待できる反面、テトラフルオロエチレン系ポリマーによる本来の物性が損なわれやすいという課題がある。
具体的には、特許文献1のパウダー分散液から形成される誘電体層は、柔軟性が向上する反面、線膨張係数が高く寸法安定性が低い。そのため、上記誘電体層を有するプリント基板材料は、はんだリフロー工程等の高温環境下において反りやすく使用しにくい。
A powder dispersion containing a layer-forming component other than a tetrafluoroethylene-based polymer can be expected to improve handling properties and partial physical properties of the layer. There is
Specifically, although the dielectric layer formed from the powder dispersion of Patent Document 1 has improved flexibility, it has a high coefficient of linear expansion and low dimensional stability. Therefore, the printed circuit board material having the dielectric layer tends to warp in a high-temperature environment such as a solder reflow process and is difficult to use.

また、特許文献2のパウダー分散液から形成される誘電体層は、多量のエポキシ樹脂の硬化物を含むため、テトラフルオロエチレン系ポリマーによる低吸水性が損なわれる。そのため、上記誘電体層を有するプリント基板材料は、その吸水性により使用しにくい。加えて、上記プリント基板材料は、柔軟性も低くフレキブルに使用しにくい。
本発明は、寸法安定性と柔軟性とに優れ、フレキシブルプリント基板等の用途にも使用できる低吸水性の層を形成可能なパウダー分散液、かかる層を有する積層体及びその製造方法、並びにプリント基板の製造方法の提供を目的とする。
In addition, since the dielectric layer formed from the powder dispersion of Patent Document 2 contains a large amount of cured epoxy resin, the low water absorbency of the tetrafluoroethylene-based polymer is impaired. Therefore, the printed circuit board material having the dielectric layer is difficult to use due to its water absorbency. In addition, the printed circuit board material has low flexibility and is difficult to use flexibly.
The present invention provides a powder dispersion capable of forming a low water-absorbing layer that is excellent in dimensional stability and flexibility and can also be used for applications such as flexible printed circuit boards, a laminate having such a layer, a method for producing the same, and printing An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a substrate.

本発明は、下記の態様を有する。
<1>テトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダー、無機フィラー及びエラストマーを含む層形成成分と溶媒とを含み、前記層形成成分に占める前記テトラフルオロエチレン系ポリマーと前記無機フィラーとの合計での割合が65質量%以上であり、前記層形成成分に含まれる前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの量に対する前記無機フィラーの量の質量での比が1.25超である、パウダー分散液。
<2>前記層形成成分に含まれる前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの量に対する前記エラストマーの量の質量での比が、0.05以上である、上記<1>のパウダー分散液。
<3>さらに、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基と、水酸基又はポリオキシアルキレン基とを有するポリマーを含む、上記<1>又は<2>のパウダー分散液。
<4>さらに、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基と、水酸基とを有し、フッ素含有量が10~50質量%かつ水酸基価が10~100mg/KOHのポリマーを含む、上記<1>~<3>のいずれかのパウダー分散液。
<5>前記溶媒が、ケトン、アミド又はエステルである、上記<1>~<4>のいずれかのパウダー分散液。
<6>前記エラストマーが、ブチレン/イソプレン/ブタジエン系エラストマー、スチレン系エラストマー及びフッ素系エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の熱可塑性エラストマーを含む、上記<1>~<5>のいずれかのパウダー分散液。
<7>前記テトラフルオロエチレン系ポリマーが、溶融温度が140~320℃のテトラフルオロエチレン系ポリマーである、上記<1>~<6>のいずれかのパウダー分散液。
<8>25℃における粘度が、10~10000mPa・sである、上記<1>~<7>のいずれかのパウダー分散液。
<9>フレキシブルプリント基板を形成するために用いられる、上記<1>~<8>のいずれかのパウダー分散液。
<10>上記<1>~<9>のいずれかのパウダー分散液を、金属箔の表面に塗布し、加熱して、前記金属箔と、前記金属箔の表面に形成された、前記テトラフルオロエチレン系ポリマー、前記無機フィラー及び前記エラストマーを含む層とを有する積層体を得る、積層体の製造方法。
<11>前記層の厚さが、50~150μmである、上記<10>の製造方法。
<12>金属箔と、前記金属箔の表面に形成された、テトラフルオロエチレン系ポリマー、無機フィラー及びエラストマーを含む層とを有し、前記層に占める前記テトラフルオロエチレン系ポリマーと前記無機フィラーとの合計での割合が65質量%以上であり、前記層に含まれる前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの量に対する前記無機フィラーの量の質量での比が1.25超である、積層体。
<13>フレキシブルプリント基板を形成するために用いられる、上記<12>の積層体。
<14>上記<12>又は<13>の積層体の前記金属箔を加工して、パターン回路を形成する、プリント基板の製造方法。
<15>前記プリント基板が、フレキシブルプリント基板である、上記<14>の製造方法。
The present invention has the following aspects.
<1> Contains a layer-forming component containing a powder of a tetrafluoroethylene-based polymer, an inorganic filler, and an elastomer, and a solvent, and the total proportion of the tetrafluoroethylene-based polymer and the inorganic filler in the layer-forming component is 65. % by mass or more, and a ratio by mass of the amount of the inorganic filler to the amount of the tetrafluoroethylene-based polymer contained in the layer-forming component is more than 1.25.
<2> The powder dispersion according to <1> above, wherein the ratio by mass of the amount of the elastomer to the amount of the tetrafluoroethylene-based polymer contained in the layer-forming component is 0.05 or more.
<3> The powder dispersion of <1> or <2> above, further comprising a polymer having a polyfluoroalkyl group or polyfluoroalkenyl group and a hydroxyl group or a polyoxyalkylene group.
<4> Furthermore, <1> to the above, including a polymer having a polyfluoroalkyl group or a polyfluoroalkenyl group and a hydroxyl group, a fluorine content of 10 to 50% by mass, and a hydroxyl value of 10 to 100 mg/KOH The powder dispersion according to any one of <3>.
<5> The powder dispersion according to any one of <1> to <4> above, wherein the solvent is a ketone, amide or ester.
<6> Any one of <1> to <5> above, wherein the elastomer comprises at least one thermoplastic elastomer selected from the group consisting of butylene/isoprene/butadiene elastomers, styrene elastomers, and fluorine elastomers. Powder dispersion.
<7> The powder dispersion according to any one of <1> to <6>, wherein the tetrafluoroethylene polymer has a melting temperature of 140 to 320°C.
<8> The powder dispersion according to any one of the above <1> to <7>, which has a viscosity of 10 to 10000 mPa·s at 25°C.
<9> The powder dispersion according to any one of <1> to <8>, which is used for forming a flexible printed circuit board.
<10> The powder dispersion of any one of <1> to <9> above is applied to the surface of a metal foil and heated to obtain the metal foil and the tetrafluoro formed on the surface of the metal foil. A method for producing a laminate, comprising obtaining a laminate having a layer containing an ethylene-based polymer, the inorganic filler, and the elastomer.
<11> The manufacturing method according to <10> above, wherein the layer has a thickness of 50 to 150 μm.
<12> A metal foil and a layer containing a tetrafluoroethylene-based polymer, an inorganic filler, and an elastomer formed on the surface of the metal foil, wherein the tetrafluoroethylene-based polymer and the inorganic filler occupy the layer. is 65% by mass or more, and the ratio by mass of the amount of the inorganic filler to the amount of the tetrafluoroethylene-based polymer contained in the layer is more than 1.25.
<13> The laminate according to <12>, which is used to form a flexible printed circuit board.
<14> A method for manufacturing a printed circuit board, wherein the metal foil of the laminate of <12> or <13> is processed to form a pattern circuit.
<15> The manufacturing method according to <14> above, wherein the printed circuit board is a flexible printed circuit board.

本発明によれば、寸法安定性と柔軟性とに優れ、低吸水性の層を形成できるパウダー分散液、かかる層を有する積層体及びその製造方法、並びにプリント基板の製造方法が提供される。本発明のパウダー分散液又は積層体は、フレキシブルプリント基板を形成する材料等として有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, a powder dispersion capable of forming a layer having excellent dimensional stability and flexibility and low water absorption, a laminate having such a layer, a method for producing the same, and a method for producing a printed circuit board are provided. The powder dispersion or laminate of the present invention is useful as a material for forming a flexible printed circuit board.

以下の用語は、以下の意味を有する。
「パウダーのD50」は、レーザー回折・散乱法によって求められるパウダーの体積基準累積50%径である。すなわち、レーザー回折・散乱法によって粒度分布を測定し、粒子の集団の全体積を100%として累積カーブを求め、その累積カーブ上で累積体積が50%となる点の粒子径である。
「パウダーのD90」は、レーザー回折・散乱法によって求められるパウダーの体積基準累積90%径である。すなわち、レーザー回折・散乱法によって粒度分布を測定し、粒子の集団の全体積を100%として累積カーブを求め、その累積カーブ上で累積体積が90%となる点の粒子径である。
パウダーのD50及びD90は、パウダーを水中に分散させ、レーザー回折・散乱式の粒度分布測定装置(堀場製作所社製、LA-920測定器)を用いたレーザー回折・散乱法により分析して求められる。
「ポリマーの溶融温度」は、示差走査熱量測定(DSC)法で測定した融解ピークの最大値に対応する温度である。
「ポリマーの溶融粘度」は、ASTM D 1238に準拠し、フローテスター及び2Φ-8Lのダイを用い、予め測定温度にて5分間加熱しておいたポリマーの試料(2g)を0.7MPaの荷重にて測定温度に保持して測定した値である。
「パウダー分散液の粘度」は、B型粘度計を用いて、室温下(25℃)で回転数が30rpmの条件下で測定される液の粘度である。測定を3回繰り返し、3回分の測定値の平均値とする。
「パウダー分散液のチキソ比」とは、回転数が30rpmの条件で測定される粘度ηを回転数が60rpmの条件で測定される粘度ηで除して算出される値である。それぞれの粘度の測定は、3回繰り返し、3回分の測定値の平均値とする。
「十点平均粗さ(Rzjis)」は、JIS B 0601:2013の附属書JAで規定される値である。
「剥離強度」とは、矩形状(長さ100mm、幅10mm)に切り出した積層体の長さ方向の一端から50mmの位置を固定し、引張り速度50mm/分、長さ方向の片端から積層体に対して90°で、F層と金属箔とを剥離させた際にかかる最大荷重(N/cm)である。
ポリマーにおける「単位」とは、モノマーの重合により形成された前記モノマーに基づく原子団を意味する。単位は、重合反応によって直接形成された単位であってもよく、ポリマーを処理することによって前記単位の一部が別の構造に変換された単位であってもよい。以下、モノマーaに基づく単位を、単に「モノマーa単位」とも記す。
The following terms have the following meanings.
"Powder D50" is the volume-based cumulative 50% diameter of the powder determined by the laser diffraction/scattering method. That is, the particle size distribution is measured by a laser diffraction/scattering method, and the cumulative curve is obtained with the total volume of the group of particles being 100%.
"Powder D90" is the volume-based cumulative 90% diameter of the powder determined by the laser diffraction/scattering method. That is, the particle size distribution is measured by a laser diffraction/scattering method, a cumulative curve is obtained with the total volume of the group of particles being 100%, and the particle diameter at the point where the cumulative volume is 90% on the cumulative curve.
The D50 and D90 of the powder are obtained by dispersing the powder in water and analyzing it by a laser diffraction/scattering method using a laser diffraction/scattering particle size distribution analyzer (manufactured by Horiba, Ltd., LA-920 measuring instrument). .
The "melting temperature of a polymer" is the temperature corresponding to the maximum melting peak measured by differential scanning calorimetry (DSC).
"Polymer melt viscosity" is measured in accordance with ASTM D 1238 using a flow tester and a 2Φ-8L die, and a polymer sample (2g) preheated at the measurement temperature for 5 minutes under a load of 0.7MPa. It is a value measured by holding at the measurement temperature.
"Powder dispersion viscosity" is the viscosity of a liquid measured using a Brookfield viscometer at room temperature (25°C) and a rotation speed of 30 rpm. The measurement is repeated 3 times, and the average value of the 3 measurements is taken.
The "thixotropic ratio of the powder dispersion" is a value calculated by dividing the viscosity η1 measured at a rotation speed of 30 rpm by the viscosity η2 measured at a rotation speed of 60 rpm. Each viscosity measurement is repeated three times, and the average value of the three measurements is taken.
"Ten-point average roughness (Rzjis)" is a value specified in Annex JA of JIS B 0601:2013.
The "peel strength" is a rectangular shape (length 100 mm, width 10 mm), fixed at a position 50 mm from one end in the length direction of the laminate, pulled at a rate of 50 mm / min, and the laminate from one end in the length direction. It is the maximum load (N/cm) applied when the F layer and the metal foil are separated at 90° to .
A "unit" in a polymer means an atomic group based on the monomer formed by polymerization of the monomer. The units may be units directly formed by a polymerization reaction, or may be units in which some of said units have been converted to another structure by treatment of the polymer. Hereinafter, units based on monomer a are also simply referred to as "monomer a units".

本発明のパウダー分散液は、テトラフルオロエチレン系ポリマー(以下、「Fポリマー」とも記す。)のパウダー(以下、「Fパウダー」とも記す。)、無機フィラー及びエラストマーを含む層形成成分と溶媒とを含む。本発明のパウダー分散液は、層形成成分の少なくとも一部(Fパウダー等)が溶媒中に粒子状に分散した分散液であるとも言える。
本発明における層形成成分に占めるFポリマーと無機フィラーとの合計での割合は、65質量%以上である。また、本発明における層形成成分に含まれるFポリマーの量に対する無機フィラーの量の質量での比は、1.25超である。Fポリマーは、ゴム弾性を有さないポリマーであり、エラストマーとは異なるポリマーである。
The powder dispersion of the present invention comprises a powder of a tetrafluoroethylene polymer (hereinafter also referred to as "F polymer") (hereinafter also referred to as "F powder"), a layer-forming component containing an inorganic filler and an elastomer, and a solvent. including. The powder dispersion of the present invention can also be said to be a dispersion in which at least part of the layer-forming components (such as F powder) is dispersed in a solvent in the form of particles.
The total proportion of the F polymer and the inorganic filler in the layer-forming components in the present invention is 65% by mass or more. Also, the ratio by mass of the amount of inorganic filler to the amount of F polymer contained in the layer-forming components in the present invention is greater than 1.25. F polymers are polymers that do not have rubber elasticity and are different from elastomers.

本発明のパウダー分散液から形成される層(以下、「F層」とも記す。)は、Fポリマーが本来有する物性(電気特性等)を維持しつつ、寸法安定性と柔軟性とに優れ、かつ吸水性が低い。この理由は必ずしも明確ではないが、次のように考えられる。
無機フィラーは、Fポリマーの物性を損なうことなく、Fポリマーに起因したF層の弱点である高い線膨張係数を低下させ得る成分である。そして、F層は、多量の無機フィラーを含むので、F層の線膨張係数を低下させる効果が顕著であり、結果として、F層の寸法安定性を向上させたと考えられる。
The layer formed from the powder dispersion of the present invention (hereinafter also referred to as "F layer") maintains the original physical properties (electrical properties, etc.) of the F polymer, and is excellent in dimensional stability and flexibility. and low water absorption. The reason for this is not necessarily clear, but is considered as follows.
The inorganic filler is a component capable of reducing the high coefficient of linear expansion, which is a weak point of the F layer due to the F polymer, without impairing the physical properties of the F polymer. Since the F layer contains a large amount of inorganic filler, the effect of lowering the coefficient of linear expansion of the F layer is remarkable, and as a result, it is considered that the dimensional stability of the F layer is improved.

また、F層形成成分に占めるFポリマーと無機フィラーとの合計での割合が高いため、Fポリマーの低吸水性が損なわれず、F層は低吸水性を発現したと考えられる。
さらに、層形成成分であるエラストマーがゴム成分として機能して、F層の優れた柔軟性(折り曲げ性)を発現させたと考えられる。かかるエラストマーは、Fポリマー及び無機フィラーのパウダー分散液の分散を促すようにも作用し、F層中における各成分の分布密度の均一化にも寄与するとも考えられる。
In addition, it is considered that the low water absorbency of the F polymer was not impaired and the F layer exhibited low water absorbency because the total proportion of the F polymer and the inorganic filler in the F layer-forming components was high.
Furthermore, it is considered that the layer-forming elastomer functioned as a rubber component to develop the excellent flexibility (bendability) of the F layer. Such an elastomer also acts to facilitate the dispersion of the powder dispersion liquid of the F polymer and the inorganic filler, and is also considered to contribute to uniform distribution density of each component in the F layer.

特に、本発明では、層形成成分の各成分の量を所定の範囲に規定するので、各成分が相互の機能を阻害しにくく、各成分に基づく物性がバランスよく、かつ均一にF層において発揮されたと推察される。
したがって、F層は寸法安定性と柔軟性とを具備し低吸水性にも優れるため、F層を有する積層体、例えば、表面にF層を有する金属箔は、特に折り曲げ性が高いため、フレキシブルプリント基板を製造するのに好適に使用できる。
以上のような効果は、後述する本発明の好ましい態様において、顕著に発揮される。
In particular, in the present invention, since the amount of each component of the layer-forming components is defined within a predetermined range, each component is unlikely to interfere with each other's functions, and the physical properties based on each component are well-balanced and uniformly exhibited in the F layer. presumed to have been
Therefore, since the F layer has dimensional stability and flexibility and is excellent in low water absorption, a laminate having the F layer, for example, a metal foil having the F layer on the surface, has particularly high bendability and is flexible. It can be suitably used for manufacturing printed circuit boards.
The effects as described above are remarkably exhibited in preferred embodiments of the present invention, which will be described later.

本発明におけるFパウダーのD50は、40μm以下が好ましく、20μm以下がより好ましく、8μm以下がさらに好ましい。FパウダーのD50は、0.01μm以上が好ましく、0.05μm以上がより好ましく、0.1μm以上がさらに好ましい。また、FパウダーのD90は、80μm以下が好ましく、10μm以下がより好ましい。この範囲のD50及びD90において、Fパウダーの流動性と分散性とが良好となり、F層の電気特性(低誘電率等)や耐熱性が最も発現し易い。
Fパウダーの疎充填嵩密度は、0.08~0.5g/mLが好ましい。Fパウダーの密充填嵩密度は、0.1~0.8g/mLが好ましい。疎充填嵩密度又は密充填嵩密度が上記範囲にある場合、Fパウダーのハンドリング性が優れる。
D50 of the F powder in the present invention is preferably 40 µm or less, more preferably 20 µm or less, and even more preferably 8 µm or less. D50 of the F powder is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, and even more preferably 0.1 μm or more. Moreover, D90 of the F powder is preferably 80 μm or less, more preferably 10 μm or less. In this range of D50 and D90, the fluidity and dispersibility of the F powder are good, and the electric properties (low dielectric constant, etc.) and heat resistance of the F layer are most easily exhibited.
The loosely packed bulk density of the F powder is preferably 0.08 to 0.5 g/mL. The close-packed bulk density of F powder is preferably 0.1 to 0.8 g/mL. When the sparsely packed bulk density or densely packed bulk density is within the above range, the F powder has excellent handleability.

本発明におけるFパウダーは、Fポリマー以外の樹脂を含んでいてもよいが、Fポリマーを主成分とするのが好ましい。FパウダーにおけるFポリマーの含有量は、80質量%以上が好ましく、100質量%がより好ましい。
上記樹脂としては、芳香族ポリエステル、ポリアミドイミド、熱可塑性ポリイミド、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンオキシドが挙げられる。
The F powder in the present invention may contain a resin other than the F polymer, but preferably contains the F polymer as a main component. The content of the F polymer in the F powder is preferably 80% by mass or more, more preferably 100% by mass.
Examples of the resin include aromatic polyester, polyamideimide, thermoplastic polyimide, polyphenylene ether, and polyphenylene oxide.

本発明におけるFポリマーは、テトラフルオロエチレン(TFE)に基づく単位(TFE単位)を含むポリマーである。Fポリマーは、TFEのホモポリマーであってもよく、TFEと、TFEと共重合可能な他のモノマー(コモノマー)とのコポリマーであってもよい。
Fポリマーは、ポリマーを構成する全単位に対して、TFE単位を90~100モル%含むのが好ましい。また、Fポリマーのフッ素含有量は、70~76質量%が好ましく、72~76質量%がより好ましい。
An F polymer in the present invention is a polymer containing units based on tetrafluoroethylene (TFE) (TFE units). The F polymer may be a homopolymer of TFE or a copolymer of TFE and other monomers (comonomers) copolymerizable with TFE.
The F polymer preferably contains 90 to 100 mol % of TFE units with respect to all units constituting the polymer. Moreover, the fluorine content of the F polymer is preferably 70 to 76% by mass, more preferably 72 to 76% by mass.

Fポリマーとしては、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、TFEとエチレンとのコポリマー(ETFE)、TFEとプロピレンとのコポリマー、TFEとペルフルオロ(アルキルビニルエーテル)(PAVE)とのコポリマー(PFA)、TFEとヘキサフルオロプロピレン(HFP)とのコポリマー(FEP)、TFEとフルオロアルキルエチレン(FAE)とのコポリマー、TFEとクロロトリフルオロエチレン(CTFE)とのコポリマーが挙げられる。コポリマーは、さらに他のコモノマーに基づく単位を含んでいてもよい。
なお、PTFEとしては、フィブリル性を有する高分子量PTFE、低分子量PTFE、変性PTFEが挙げられる。また、低分子量PTFE又は変性PTFEには、TFEと極微量のコモノマー(HFP、PAVE、FAE等)のコポリマーも包含される。
F polymers include polytetrafluoroethylene (PTFE), copolymer of TFE and ethylene (ETFE), copolymer of TFE and propylene, copolymer of TFE and perfluoro(alkyl vinyl ether) (PAVE) (PFA), TFE and hexa Copolymers of fluoropropylene (HFP) (FEP), copolymers of TFE and fluoroalkylethylenes (FAE), and copolymers of TFE and chlorotrifluoroethylene (CTFE). The copolymers may also contain units based on other comonomers.
Examples of PTFE include high-molecular-weight PTFE, low-molecular-weight PTFE, and modified PTFE having fibril properties. Low molecular weight PTFE or modified PTFE also includes copolymers of TFE and trace amounts of comonomers (HFP, PAVE, FAE, etc.).

Fポリマーは、TFE単位及び官能基を有するFポリマーが好ましい。官能基は、カルボニル基含有基、ヒドロキシ基、エポキシ基、アミド基、アミノ基又はイソシアネート基が好ましい。
官能基は、Fポリマー中の単位に含まれていてもよく、ポリマーの主鎖の末端基に含まれていてもよい。また、Fポリマーを、プラズマ処理や電離線処理して得られる、官能基を有するFポリマーも使用できる。
官能基を有するFポリマーは、パウダー分散液中におけるFパウダーの分散性の観点から、TFE単位及び官能基を有する単位を有するFポリマーが好ましい。官能基を有する単位は、官能基を有するモノマーに基づく単位が好ましく、上述した官能基を有するモノマーに基づく単位がより好ましい。
官能基を有するモノマーは、酸無水物残基を有するモノマーが好ましく、無水イタコン酸、無水シトラコン酸、5-ノルボルネン-2,3-ジカルボン酸無水物(別称:無水ハイミック酸。以下、「NAH」とも記す。)又は無水マレイン酸がより好ましい。
The F polymer is preferably an F polymer with TFE units and functional groups. The functional group is preferably a carbonyl group-containing group, hydroxy group, epoxy group, amide group, amino group or isocyanate group.
The functional groups may be contained in units in the F polymer or may be contained in terminal groups of the main chain of the polymer. Further, an F polymer having a functional group obtained by plasma treatment or ionizing radiation treatment of the F polymer can also be used.
The F polymer having a functional group is preferably an F polymer having a TFE unit and a unit having a functional group from the viewpoint of the dispersibility of the F powder in the powder dispersion. The unit having a functional group is preferably a unit based on a monomer having a functional group, and more preferably a unit based on the above-described monomer having a functional group.
The monomer having a functional group is preferably a monomer having an acid anhydride residue, such as itaconic anhydride, citraconic anhydride, 5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride (also known as Himic anhydride, hereinafter referred to as "NAH"). Also described.) or maleic anhydride is more preferable.

官能基を有するFポリマーの好適な具体例としては、TFE単位と、HFP単位、PAVE単位又はFAE単位と、官能基を有する単位とを有するFポリマーが挙げられる。
PAVEとしては、CF=CFOCF(PMVE)、CF=CFOCFCF、CF=CFOCFCFCF(PPVE)、CF=CFOCFCFCFCF、CF=CFO(CFFが挙げられる。
FAEとしては、CH=CH(CFF、CH=CH(CFF、CH=CH(CFF、CH=CF(CFH、CH=CF(CFHが挙げられる。
かかるFポリマーの具体例として、ポリマーを構成する全単位に対して、TFE単位を90~99モル%、HFP単位、PAVE単位又はFAE単位を0.5~9.97モル%、官能基を有する単位を0.01~3モル%、それぞれ含有するFポリマーが挙げられる。かかるFポリマーの具体例としては、国際公開第2018/16644号に記載されるポリマーが挙げられる。
Suitable specific examples of F polymers having functional groups include F polymers having TFE units, HFP units, PAVE units or FAE units, and units having functional groups.
As PAVE , CF2 = CFOCF3 (PMVE ) , CF2 = CFOCF2CF3 , CF2 = CFOCF2CF2CF3 (PPVE), CF2 = CFOCF2CF2CF2CF3 , CF2 = CFO (CF 2 ) 8 F can be mentioned.
As FAE, CH2 =CH( CF2 ) 2F , CH2 =CH( CF2 ) 3F , CH2 =CH( CF2 ) 4F , CH2 =CF( CF2 ) 3H , CH2 =CF( CF2 ) 4H .
Specific examples of such F polymers include 90 to 99 mol% of TFE units, 0.5 to 9.97 mol% of HFP units, PAVE units or FAE units, and functional groups, based on the total units constituting the polymer. Examples are F polymers containing 0.01 to 3 mol % of each unit. Specific examples of such F polymers include the polymers described in WO2018/16644.

Fポリマーの380℃における溶融粘度は、1×10~1×10Pa・sが好ましく、1×10~1×10Pa・sがより好ましい。
Fポリマーの溶融温度は、140~320℃が好ましく、200~320℃がより好ましく、260~320℃がさらに好ましい。かかるFポリマーを使用すれば、表面平坦性により優れるF層が形成されやすい。
The melt viscosity of the F polymer at 380° C. is preferably 1×10 2 to 1×10 6 Pa·s, more preferably 1×10 3 to 1×10 6 Pa·s.
The melting temperature of the F polymer is preferably 140 to 320°C, more preferably 200 to 320°C, even more preferably 260 to 320°C. The use of such an F polymer facilitates the formation of an F layer with superior surface flatness.

本発明における無機フィラーは、F層の線膨張係数を低下させるフィラーが好ましく、さらに比誘電率及び誘電正接が低いフィラーが好ましい。本発明のパウダー分散液が、比誘電率及び誘電正接が低い無機フィラーを含めば、積層体や後述するプリント基板の電気特性がより向上しやすい。
かかる無機フィラー又はそれを形成する化合物としては、シリカ、クレー、タルク、炭酸カルシウム、マイカ、珪藻土、アルミナ、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化鉄、酸化セリウム、酸化錫、酸化アンチモン、水酸化カルシウム、水酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、塩基性の炭酸マグネシウム、非塩基性の炭酸マグネシウム、炭酸亜鉛、炭酸バリウム、ドーソナイト、ハイドロタルサイト、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、珪酸カルシウム、窒化ホウ素、窒化アルミ、ホウ酸亜鉛、モンモリロナイト、フォルステライト、ステアタイト、コージェライト、ベントナイト、活性白土、セピオライト、イモゴライト、セリサイト、ガラス繊維、ガラスチョップドファイバー、ガラスビーズ、シリカ系バルーン、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン、グラファイト、炭素繊維、ガラスバルーン、炭素バルーン、木粉が挙げられる。これらの無機フィラーは、1種を単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
The inorganic filler in the present invention is preferably a filler that lowers the coefficient of linear expansion of the F layer, and more preferably a filler that has a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent. If the powder dispersion liquid of the present invention contains an inorganic filler having a low dielectric constant and a low dielectric loss tangent, the electrical properties of the laminate and the printed circuit board to be described later are likely to be improved.
Examples of inorganic fillers or compounds forming them include silica, clay, talc, calcium carbonate, mica, diatomaceous earth, alumina, zinc oxide, titanium oxide, calcium oxide, magnesium oxide, iron oxide, cerium oxide, tin oxide, and antimony oxide. , calcium hydroxide, magnesium hydroxide, aluminum hydroxide, basic magnesium carbonate, non-basic magnesium carbonate, zinc carbonate, barium carbonate, dawsonite, hydrotalcite, calcium sulfate, barium sulfate, calcium silicate, boron nitride, Aluminum nitride, zinc borate, montmorillonite, forsterite, steatite, cordierite, bentonite, activated clay, sepiolite, imogolite, sericite, glass fiber, glass chopped fiber, glass beads, silica balloon, carbon black, carbon nanotube, Carbon nanohorns, graphite, carbon fibers, glass balloons, carbon balloons, and wood powders. These inorganic fillers may be used alone or in combination of two or more.

中でも、無機フィラーとしては、特に誘電正接が低いことから、シリカ、アルミナ、酸化マグネシウム、フォルステライト、窒化ホウ素又は窒化アルミから形成される無機フィラーが好ましい。
無機フィラーの具体例としては、繊維状の硫酸マグネシウム(宇部マテリアルズ株式会社製、商品名「モスハイジ」等)、ガラスカットファイバー(日東紡株式会社製、商品名「PF」、「SS」等)が挙げられる。
また、上記無機フィラーを含むパウダー分散液から形成されるF層は、紫外線領域の波長の光、特に266nm及び355nmの波長の光に対する吸収性が高まりやすく、かかる波長の光を使用するUV-YAGレーザーによる加工性が向上する。そのため、後述する積層体から、より高精度なプリント基板を容易に製造できる。
F層の折り曲げ性を維持又は向上させる観点から、無機フィラーの形状は、粒状(球状、無定形状)が好ましく、粒径1μm以下の粒状がより好ましい。また、アスペクト比が2以上の無機フィラーとアスペクト比が1~2の無機フィラーとを併用してもよい。
無機フィラーは、シランカップリング剤等で表面処理されていてもよい。
無機フィラーの吸水率は、3%以下が好ましく、1%以下がより好ましい。
Among them, inorganic fillers made of silica, alumina, magnesium oxide, forsterite, boron nitride, or aluminum nitride are preferable as the inorganic filler because of their low dielectric loss tangent.
Specific examples of inorganic fillers include fibrous magnesium sulfate (manufactured by Ube Materials Co., Ltd., trade name "Mos-Hige", etc.), glass cut fiber (manufactured by Nittobo Co., Ltd., trade names "PF", "SS", etc.). is mentioned.
In addition, the F layer formed from the powder dispersion containing the inorganic filler tends to increase the absorption of light with wavelengths in the ultraviolet region, particularly light with wavelengths of 266 nm and 355 nm, and UV-YAG using light with such wavelengths. Improves laser workability. Therefore, a more highly accurate printed circuit board can be easily manufactured from the later-described laminate.
From the viewpoint of maintaining or improving the bendability of the F layer, the shape of the inorganic filler is preferably granular (spherical, amorphous), and more preferably granular with a particle size of 1 μm or less. Also, an inorganic filler having an aspect ratio of 2 or more and an inorganic filler having an aspect ratio of 1 to 2 may be used together.
The inorganic filler may be surface-treated with a silane coupling agent or the like.
The water absorption rate of the inorganic filler is preferably 3% or less, more preferably 1% or less.

本発明におけるエラストマーは、ブチレン/イソプレン/ブタジエン系エラストマー、スチレン系エラストマー及びフッ素系エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の熱可塑性エラストマーであるのが好ましい。これらの熱可塑性エラストマーは、誘電正接が低く、耐熱性にも優れるだけでなく、パウダー分散液中に均一に分散又は溶解しやすい。
ブチレン/イソプレン/ブタジエン系エラストマーとは、ブチレン、イソプレン及びブタジエンからなる群から選ばれる少なくとも1種のモノマーを任意の割合で含むエラストマーであり、具体的には、ポリブタジエン、ブチルゴム(イソブチレン/イソプレン系ポリマー)が挙げられる。
スチレン系エラストマーとしては、ポリスチレンブロックをハードセグメントとして、ポリオレフィンブロックをソフトセグメントとして、それぞれ有するブロックコポリマーが好ましい。それぞれのブロックは、ジブロック又はトリブロックを形成するのが好ましい。
スチレン系エラストマーの具体例としては、SBS(ポリスチレン-ポリブタジエンブロック-ポリスチレン)、SEP(ポリスチレン-ポリ(エチレン/プロピレン)ブロック)、SEPS(ポリスチレン-ポリ(エチレン/プロピレン)ブロック-ポリスチレン)、SEBS(ポリスチレン-ポリ(エチレン/ブチレン)ブロック-ポリスチレン)
SEEPS(ポリエチレン/ポリ(エチレン-エチレン/プロピレン)ブロック-ポリスチレン)、SIS(ポリスチレン-ポリイソプレンブロック-ポリスチレン)が挙げられる。
フッ素系エラストマーとしては、FKM(フッ化ビニリデン系ポリマー)、FEPM(TFE/プロピレン系ポリマー)、FFKM(TFE/PMVE系ポリマー)が挙げられる。なお、TFE/プロピレン系ポリマーとは、TFE単位とプロピレン単位を含むポリマーを意味し、他のフッ素系ポリマーにおける表記も同様の意味を示す。
The elastomer in the present invention is preferably at least one thermoplastic elastomer selected from the group consisting of butylene/isoprene/butadiene elastomers, styrene elastomers and fluoroelastomers. These thermoplastic elastomers not only have a low dielectric loss tangent and excellent heat resistance, but also easily disperse or dissolve uniformly in the powder dispersion.
A butylene/isoprene/butadiene elastomer is an elastomer containing at least one monomer selected from the group consisting of butylene, isoprene and butadiene in an arbitrary ratio. ).
As the styrene-based elastomer, block copolymers having polystyrene blocks as hard segments and polyolefin blocks as soft segments are preferred. Each block preferably forms a diblock or triblock.
Specific examples of styrene elastomers include SBS (polystyrene-polybutadiene block-polystyrene), SEP (polystyrene-poly(ethylene/propylene) block), SEPS (polystyrene-poly(ethylene/propylene) block-polystyrene), SEBS (polystyrene - poly(ethylene/butylene) block - polystyrene)
Examples include SEEPS (polyethylene/poly(ethylene-ethylene/propylene) block-polystyrene) and SIS (polystyrene-polyisoprene block-polystyrene).
Examples of fluorine-based elastomers include FKM (vinylidene fluoride-based polymer), FEPM (TFE/propylene-based polymer), and FFKM (TFE/PMVE-based polymer). The TFE/propylene-based polymer means a polymer containing TFE units and propylene units, and the notation for other fluorine-based polymers has the same meaning.

これらのエラストマーは、Fポリマーや無機フィラーとの密着性を向上させるため、変性されて官能基を有するのが好ましい。かかる官能基としては、エポキシ基、カルボニル基含有基、ヒドロキシル基、イソシアネート基、アミノ基が挙げられる。
エラストマーのガラス転移温度は、10℃以下が好ましく、5℃以下がより好ましい。ガラス転移温度が10℃以下のエラストマーであれば、ゴム弾性が向上し、F層の折り曲げ性がさらに改善する。
また、エラストマーは、溶媒可溶性が好ましいが、溶媒非可溶性であってもよい。後者のエラストマーは、パウダー分散液に分散するエラストマーが好ましい。
These elastomers are preferably modified to have functional groups in order to improve adhesion with the F polymer and inorganic filler. Such functional groups include epoxy groups, carbonyl group-containing groups, hydroxyl groups, isocyanate groups, and amino groups.
The glass transition temperature of the elastomer is preferably 10°C or lower, more preferably 5°C or lower. If the elastomer has a glass transition temperature of 10° C. or less, the rubber elasticity is improved, and the bendability of the F layer is further improved.
Also, the elastomer is preferably solvent-soluble, but may be solvent-insoluble. The latter elastomer is preferably an elastomer that is dispersed in a powder dispersion.

かかる溶媒非可溶性のエラストマー粒子としては、コアシェル型エラストマー粒子、架橋型エラストマー粒子(架橋型SBS粒子等)が挙げられる。中でも、溶媒非可溶性のエラストマー粒子としては、F層の折り曲げ性をより向上させる観点から、コアシェル型エラストマー粒子が好ましい。
コアシェル型エラストマー粒子は、コア層と、このコア層の表面を被覆するシェル層とを含むエラストマー粒子である。
コアシェル型エラストマー粒子としては、相対的に低いガラス転移温度を有するポリマーで形成されたコア層と、相対的に高いガラス転移温度を有するポリマーで形成されたシェル層とを含むエラストマー粒子が挙げられる。中でも、コアシェル型エラストマー粒子としては、ゴム状ポリマー(エラストマー)で形成されたコア層と、ガラス状ポリマー(非エラストマー)で形成されたシェル層とを含むエラストマー粒子が好ましい。かかるコアシェル型エラストマー粒子のシェル層は、粒子同士の凝集を抑制する効果や、パウダー分散液への分散性を向上する効果を発揮でき、コア層は、優れたゴム弾性を発現する効果(F層に優れた柔軟性を付与する効果)を発揮できる。
Such solvent-insoluble elastomer particles include core-shell elastomer particles and crosslinked elastomer particles (crosslinked SBS particles, etc.). Among them, as the solvent-insoluble elastomer particles, core-shell type elastomer particles are preferable from the viewpoint of further improving the bendability of the F layer.
Core-shell type elastomer particles are elastomer particles comprising a core layer and a shell layer covering the surface of the core layer.
Core-shell type elastomeric particles include elastomeric particles comprising a core layer made of a polymer having a relatively low glass transition temperature and a shell layer made of a polymer having a relatively high glass transition temperature. Among them, elastomer particles containing a core layer made of a rubber-like polymer (elastomer) and a shell layer made of a glass-like polymer (non-elastomer) are preferable as the core-shell type elastomer particles. The shell layer of such core-shell type elastomer particles can exhibit the effect of suppressing aggregation between particles and the effect of improving dispersibility in powder dispersion liquid, and the core layer can exhibit the effect of exhibiting excellent rubber elasticity (F layer The effect of imparting excellent flexibility to ) can be exhibited.

コアシェル型エラストマー粒子は、コア層とシェル層とのみを含む2層構造であってもよく、更に任意の層を含む3層以上の積層構造であってもよい。
例えば、コアシェル型エラストマー粒子は、コア層とシェル層との間に任意の層を含んでいてもよく、コア層の内部に任意の層を含んでいてもよい。
かかる積層構成を有するコアシェル型エラストマー粒子の具体例としては、ゴム状ポリマーで形成されたコア層と、ガラス状ポリマーで形成されたシェル層と、コア層の内部のガラス状ポリマーで形成された任意の層とを含むエラストマー粒子が挙げられる。
The core-shell type elastomer particles may have a two-layer structure containing only a core layer and a shell layer, or may have a laminated structure of three or more layers containing arbitrary layers.
For example, the core-shell type elastomer particles may contain any layer between the core layer and the shell layer, or may contain any layer inside the core layer.
Specific examples of core-shell type elastomer particles having such a laminated structure include a core layer made of a rubber-like polymer, a shell layer made of a glassy polymer, and an arbitrary layer made of a glassy polymer inside the core layer. and an elastomeric particle comprising a layer of

コアシェル型エラストマー粒子において、ガラス状ポリマーとしては、ポリメチルメタクリレートのようなアクリル系ポリマー;ポリスチレン、スチレン-ジビニルベンゼンコポリマーのようなスチレン系ポリマーが挙げられる。中でも、ガラス状ポリマーとしては、アクリル系ポリマーが好ましく、ポリメチルメタクリレートがより好ましい。
一方、ゴム状ポリマーには、上記フッ素系エラストマー、スチレン系エラストマーが好適に使用できる。
以上のようなエラストマー粒子は、1種を単独で使用しても、2種類以上を併用してもよい。
エラストマー粒子を含むF層は、折り曲げ性に優れるのみならず、エラストマー粒子によるゴム弾性の向上作用や応力緩和作用により、機械的強度も高い。
In the core-shell type elastomer particles, glassy polymers include acrylic polymers such as polymethyl methacrylate; styrene polymers such as polystyrene and styrene-divinylbenzene copolymers. Among them, as the glassy polymer, an acrylic polymer is preferable, and polymethyl methacrylate is more preferable.
On the other hand, the above fluorine-based elastomers and styrene-based elastomers can be suitably used as rubber-like polymers.
The above elastomer particles may be used singly or in combination of two or more.
The F layer containing elastomer particles not only has excellent bending properties, but also has high mechanical strength due to the rubber elasticity improving action and stress relaxation action of the elastomer particles.

パウダー分散液中におけるエラストマー粒子の平均粒子径は、10μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、1μm以下がさらに好ましく、0.5μm以下が特に好ましく、0.3μm以下が最も好ましい。かかる平均粒子径のエラストマー粒子であれば、パウダー分散液中に安定して分散できる。
なお、エラストマー粒子の平均粒子径の測定法は、Fパウダーの測定法と同様である。
The average particle size of the elastomer particles in the powder dispersion is preferably 10 µm or less, more preferably 3 µm or less, even more preferably 1 µm or less, particularly preferably 0.5 µm or less, and most preferably 0.3 µm or less. Elastomer particles having such an average particle size can be stably dispersed in a powder dispersion.
The method for measuring the average particle size of the elastomer particles is the same as the method for measuring the F powder.

本発明における溶媒は、25℃で液体の極性溶媒が好ましい。溶媒は、水性溶媒であってもよく、非水性溶媒であってもよい。また、溶媒は、1種を単独で使用しても、2種以上を併用してもよい。
かかる溶媒としては、ケトン、アミド、エステル、アルコール、スルホキシド又はグリコールエーテルが好ましく、ケトン、アミド又はエステルがより好ましく、ケトン又はアミドがさらに好ましい。
溶媒の具体例としては、メタノール、エタノール、イソプロパノール、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトアミド、N-メチル-2-ピロリドン、ジメチルスルホキシド、ジエチルエーテル、ジオキサン、乳酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、メチルエチルケトン、メチルプロピルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、γ-ブチロラクトン、セロソルブ(メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等)、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢酸ブチル、酢酸イソブチルが挙げられる。
中でも、溶媒は、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン又はN-メチル-2-ピロリドンが好ましい。
The solvent in the present invention is preferably a polar solvent that is liquid at 25°C. The solvent may be an aqueous solvent or a non-aqueous solvent. Moreover, a solvent may be used individually by 1 type, or may use 2 or more types together.
Such solvents are preferably ketones, amides, esters, alcohols, sulfoxides or glycol ethers, more preferably ketones, amides or esters, even more preferably ketones or amides.
Specific examples of solvents include methanol, ethanol, isopropanol, N,N-dimethylformamide, N,N-dimethylacetamide, N-methyl-2-pyrrolidone, dimethylsulfoxide, diethyl ether, dioxane, ethyl lactate, ethyl acetate, acetic acid. Butyl, methyl ethyl ketone, methyl propyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclopentanone, cyclohexanone, ethylene glycol monoisopropyl ether, γ-butyrolactone, cellosolve (methyl cellosolve, ethyl cellosolve, etc.), ethyl acetate, acetic acid Isopropyl, butyl acetate, isobutyl acetate can be mentioned.
Among them, the solvent is preferably methyl ethyl ketone, cyclohexanone or N-methyl-2-pyrrolidone.

パウダー分散液は、Fパウダーの分散性をより向上させる観点から、さらに分散剤を含むのが好ましい。分散剤は、親水性基と疎水性基を有する化合物であり、フッ素系分散剤、シリコーン系分散剤又はアセチレン系分散剤が好ましく、フッ素系分散剤がより好ましい。また、分散剤は、ノニオン性であるのが好ましい。
上記親水性基としては、水酸基又はポリオキシアルキレン基が好ましい。一方、疎水性基は、分散剤の種類に応じて適宜選択され、フッ素系分散剤の場合、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基が好ましい。
この場合、各成分に対する分散剤の親和性がバランスして、パウダー分散液中におけるFパウダーの分散性に加えて、その成膜性がさらに向上しやすい。
The powder dispersion liquid preferably further contains a dispersant from the viewpoint of further improving the dispersibility of the F powder. The dispersant is a compound having a hydrophilic group and a hydrophobic group, preferably a fluorine-based dispersant, a silicone-based dispersant or an acetylene-based dispersant, more preferably a fluorine-based dispersant. Also, the dispersant is preferably nonionic.
As the hydrophilic group, a hydroxyl group or a polyoxyalkylene group is preferable. On the other hand, the hydrophobic group is appropriately selected according to the type of dispersant, and in the case of a fluorine-based dispersant, a polyfluoroalkyl group or polyfluoroalkenyl group is preferred.
In this case, the affinity of the dispersant for each component is balanced, and in addition to the dispersibility of the F powder in the powder dispersion liquid, the film formability of the F powder tends to be further improved.

フッ素系分散剤は、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基と、水酸基又はポリオキシアルキレン基とを有するポリマーであるのが好ましい。
上記ポリマーのフッ素含有量は10~50質量%が好ましい。
上記ポリマーにおける水酸基価は10~100mg/KOHが好ましく、10~35mg/KOHがより好ましい。
上記ポリマーのオキシアルキレン基の含有量は10~70質量%が好ましい。
上記ポリマーは、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基と、水酸基とを有し、フッ素含有量が10~50質量%であり、水酸基価が10~100mg/KOHであるのがより好ましい。
この場合、各成分に対するポリマーの親和性がバランスしてパウダー分散液の分散性に加えて、F層の形成性が向上し易い。また、F層の濡れ性が向上し、F層の接着性に優れる特徴がある。
なお、ポリフルオロアルキル基は、少なくとも一部がポリフルオロアルキル基を形成していればよく、その残基の炭素原子-炭素原子結合間にはエーテル性酸素原子が存在していてもよい。つまり、ポリフルオロアルキル基は、エーテル性酸素原子を有するポリフルオロアルキル基であってもよい。
また、上記ポリマーは、主鎖末端に水酸基またはカルボキシル基を有していてもよい。この場合、本発明のパウダー分散液のレベリング性が向上しやすい。かかるポリマーは、その製造に際して使用する重合開始剤や連鎖移動剤の種類を調製して得られる。
The fluorine-based dispersant is preferably a polymer having a polyfluoroalkyl group or polyfluoroalkenyl group and a hydroxyl group or polyoxyalkylene group.
The fluorine content of the polymer is preferably 10 to 50% by mass.
The hydroxyl value of the polymer is preferably 10-100 mg/KOH, more preferably 10-35 mg/KOH.
The oxyalkylene group content of the polymer is preferably 10 to 70% by mass.
More preferably, the polymer has a polyfluoroalkyl group or a polyfluoroalkenyl group and a hydroxyl group, has a fluorine content of 10 to 50% by mass, and has a hydroxyl value of 10 to 100 mg/KOH.
In this case, the affinity of the polymer for each component is balanced, and in addition to the dispersibility of the powder dispersion, the formability of the F layer tends to be improved. In addition, the wettability of the F layer is improved, and the adhesiveness of the F layer is excellent.
At least a portion of the polyfluoroalkyl group should form a polyfluoroalkyl group, and an etheric oxygen atom may exist between the carbon atom-carbon atom bonds of the residue. That is, the polyfluoroalkyl group may be a polyfluoroalkyl group having an etheric oxygen atom.
Moreover, the polymer may have a hydroxyl group or a carboxyl group at the end of the main chain. In this case, the leveling property of the powder dispersion of the present invention is likely to be improved. Such polymers can be obtained by adjusting the types of polymerization initiators and chain transfer agents used in their production.

上記ポリマーとしては、フルオロ(メタ)アクリレートに基づく単位とオキシアルキレングリコールモノ(メタ)アクリレートに基づく単位とを含むポリマーが挙げられる。なお、このポリマーは、Fポリマー以外のポリマーである。
前者の(メタ)アクリレートの具体例としては、CH=C(CH)C(O)OCHCH(CFF、CH=CHC(O)OCHCH(CFF、CH=C(CH)C(O)OCHCH(CFF、CH=CClC(O)OCHCH(CFF、CH=C(CH)C(O)OCHCHCHCHOCF(CF)C(=C(CF)(CF(CF)、CH=CHC(O)OCHCHCHCHOCF(CF)C(=C(CF)(CF(CF)が挙げられる。
Examples of the polymer include polymers containing units based on fluoro(meth)acrylate and units based on oxyalkylene glycol mono(meth)acrylate. This polymer is a polymer other than the F polymer.
Specific examples of the former (meth)acrylate include CH2 =C( CH3 )C(O) OCH2CH2 ( CF2 ) 6F , CH2 = CHC (O) OCH2CH2 ( CF2 ) 6F , CH2 =C( CH3 )C(O) OCH2CH2 ( CF2 ) 4F , CH2 =CClC(O) OCH2CH2 ( CF2 ) 4F , CH2 =C ( CH 3 ) C(O ) OCH2CH2CH2CH2OCF ( CF3 )C(=C( CF3 ) 2 )(CF( CF3 ) 2 ), CH2 = CH3C (O) OCH2CH 2CH2CH2OCF ( CF3 )C(=C( CF3 ) 2 ) (CF( CF3 ) 2 ) .

後者の(メタ)アクリレートの具体例としては、CH=C(CH)C(O)(OCHCHOH、CH=C(CH)C(O)(OCHCHOH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH23OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH66OH、CH=C(gCH)C(O)(OCHCH90OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH120OH、CH=CHC(O)(OCHCHOH、CH=CHC(O)(OCHCHOH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH(CH))OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH(CH))OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH(CH))OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH(CH))13OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH・(OCHCH(CH))OH、CH=C(CH)C(O)(OCHCH10・(OCHCHCHCHOHが挙げられる。
上記ポリマーの質量平均分子量は、2000~80000が好ましく、6000~20000がより好ましい。
Specific examples of the latter (meth)acrylate include CH2 = C ( CH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 4OH , CH2 =C( CH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 9 OH, CH2 =C( CH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 23 OH , CH2 =C( CH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 66 OH, CH2 =C ( gCH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 90OH , CH2 =C ( CH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 120OH , CH2 =CHC(O)( OCH2CH2 ) 4OH , CH2 =CHC(O)( OCH2CH2 ) 8OH , CH2 =C( CH3 )C(O)( OCH2CH ( CH3 ) ) 4OH , CH2 =C(CH 3 ) C(O)( OCH2CH ( CH3 )) 8OH , CH2 =C( CH3 )C(O)( OCH2CH ( CH3 )) 9OH , CH2 =C( CH3 ) C(O)( OCH2CH ( CH3 )) 13OH , CH2 =C( CH3 )C(O)( OCH2CH2 ) 4. ( OCH2CH ( CH3 )) 3OH , CH2 = C( CH3 ) C (O)( OCH2CH2 ) 10- ( OCH2CH2CH2CH2 ) 5OH .
The weight average molecular weight of the polymer is preferably 2,000 to 80,000, more preferably 6,000 to 20,000.

本発明における層形成成分は、パウダー分散液に含まれるF層を形成する、有機成分(Fポリマー、エラストマー等のポリマー等)と無機成分(無機フィラー等)とからなる。
層形成成分に占めるFポリマーと無機フィラーとの合計での割合は、65質量%以上であり、75質量%以上が好ましく、85~99質量%がより好ましい。また、層形成成分に含まれるFポリマーの量に対する無機フィラーの量の質量比(無機フィラーの含有量/Fポリマーの含有量)は、1.25超であり、1.30以上がより好ましく、1.5以上がより好ましい。上記質量比の上限は、5以下が好ましく、4以下がより好ましい。Fポリマー及び無機フィラーの量が上記関係を満足すれば、F層は、高い電気特性を維持しつつ、線膨張係数と吸水性とが充分に低下する。
具体的には、パウダー分散液中のFポリマーの割合は、10~40質量%が好ましく、15~30質量%がより好ましい。また、パウダー分散液中の無機フィラーの割合は、12.5~50質量%が好ましく、25~37.5質量%がより好ましい。
The layer-forming component in the present invention comprises an organic component (polymer such as F polymer, elastomer, etc.) and an inorganic component (inorganic filler, etc.), which form the F layer contained in the powder dispersion.
The total proportion of the F polymer and the inorganic filler in the layer-forming components is 65% by mass or more, preferably 75% by mass or more, more preferably 85 to 99% by mass. In addition, the mass ratio of the amount of the inorganic filler to the amount of the F polymer contained in the layer-forming component (content of the inorganic filler/content of the F polymer) is more than 1.25, more preferably 1.30 or more. 1.5 or more is more preferable. The upper limit of the mass ratio is preferably 5 or less, more preferably 4 or less. If the amounts of the F polymer and the inorganic filler satisfy the above relationship, the F layer will have sufficiently low linear expansion coefficient and water absorbency while maintaining high electrical properties.
Specifically, the proportion of the F polymer in the powder dispersion is preferably 10 to 40% by mass, more preferably 15 to 30% by mass. Also, the proportion of the inorganic filler in the powder dispersion is preferably 12.5 to 50% by mass, more preferably 25 to 37.5% by mass.

層形成成分に含まれるFポリマーの量に対するエラストマーの量の質量での比(エラストマーの含有量/Fポリマーの含有量)は、0.05以上が好ましく、0.1以上がより好ましく、0.1~1がさらに好ましい。この場合、F層の折り曲げ性を充分に高められる。
具体的には、パウダー分散液中のエラストマーの割合は、0.25~5質量%が好ましく、0.5~3.5質量%がより好ましい。
パウダー分散液中の溶媒の割合は、15~55質量%が好ましく、25~50質量%がより好ましい。この場合、パウダー分散液の塗布性が優れ、かつF層の形成性が向上しやすい。
また、パウダー分散液が分散剤を含む場合、そのパウダー分散液中の割合は、0.1~10質量%が好ましく、0.5~5質量%がより好ましい。この場合、パウダー分散液中におけるFパウダーの分散性がより高まり、F層の物性がより向上しやすい。
The ratio by mass of the amount of elastomer to the amount of F polymer contained in the layer-forming component (elastomer content/F polymer content) is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more, and 0.05 or more. 1 to 1 are more preferred. In this case, the foldability of the F layer can be sufficiently enhanced.
Specifically, the proportion of the elastomer in the powder dispersion is preferably 0.25 to 5% by mass, more preferably 0.5 to 3.5% by mass.
The proportion of the solvent in the powder dispersion is preferably 15-55% by mass, more preferably 25-50% by mass. In this case, the coating property of the powder dispersion liquid is excellent, and the formation property of the F layer is likely to be improved.
Further, when the powder dispersion contains a dispersant, its proportion in the powder dispersion is preferably 0.1 to 10% by mass, more preferably 0.5 to 5% by mass. In this case, the dispersibility of the F powder in the powder dispersion is further enhanced, and the physical properties of the F layer are more likely to be improved.

本発明のパウダー分散液は、本発明の効果を損なわない範囲で、他の樹脂材料を含んでいてもよい。
かかる他の樹脂材料としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリイミド前駆体であるポリアミック酸、アクリル樹脂、フェノール樹脂、液晶性ポリエステル樹脂、ポリオレフィン樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂、多官能シアン酸エステル樹脂、多官能マレイミド-シアン酸エステル樹脂、多官能性マレイミド樹脂、ビニルエステル樹脂、尿素樹脂、ジアリルフタレート樹脂、メラニン樹脂、グアナミン樹脂、メラミン-尿素共縮合樹脂、スチレン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリスルホン、ポリアリルスルホン、芳香族ポリアミド樹脂、芳香族ポリエーテルアミド、ポリフェニレンスルファイド、ポリアリルエーテルケトン、ポリアミドイミド、ポリフェニレンエーテルが挙げられる。これらの他の樹脂材料は、パウダー分散液に溶解してもよく、溶解しなくてもよい。また、他の樹脂材料は、熱硬化性であってもよく、熱可塑性であってもよい。また、他の樹脂材料は、変性されていてもよい。
本発明のパウダー分散液は、本発明の効果を損なわない範囲で、チキソ性付与剤、消泡剤、シランカップリング剤、脱水剤、可塑剤、耐候剤、酸化防止剤、熱安定剤、滑剤、帯電防止剤、増白剤、着色剤、導電剤、離型剤、表面処理剤、粘度調節剤、難燃剤を含んでいてもよい。
The powder dispersion liquid of the present invention may contain other resin materials as long as the effects of the present invention are not impaired.
Such other resin materials include epoxy resins, polyimide resins, polyamic acids that are polyimide precursors, acrylic resins, phenolic resins, liquid crystalline polyester resins, polyolefin resins, modified polyphenylene ether resins, polyfunctional cyanate ester resins, polyfunctional Maleimide-cyanate ester resin, polyfunctional maleimide resin, vinyl ester resin, urea resin, diallyl phthalate resin, melanin resin, guanamine resin, melamine-urea cocondensation resin, styrene resin, polycarbonate resin, polyarylate resin, polysulfone, poly Allyl sulfone, aromatic polyamide resin, aromatic polyether amide, polyphenylene sulfide, polyallyl ether ketone, polyamide imide, and polyphenylene ether. These other resin materials may or may not dissolve in the powder dispersion. Also, the other resin material may be thermosetting or thermoplastic. Also, the other resin material may be modified.
The powder dispersion of the present invention contains a thixotropic agent, an antifoaming agent, a silane coupling agent, a dehydrating agent, a plasticizer, a weathering agent, an antioxidant, a heat stabilizer, and a lubricant as long as the effects of the present invention are not impaired. , an antistatic agent, a whitening agent, a coloring agent, a conductive agent, a release agent, a surface treatment agent, a viscosity modifier, and a flame retardant.

本発明のパウダー分散液の粘度は、10~10000mPa・sが好ましく、100~5000mPa・sがより好ましく、500~3000mPa・sがさらに好ましい。この場合、パウダー分散液の分散性に優れるだけでなく、基材上に層を形成する際に基材の表面に微小な凹凸が存在しても、この凹凸をパウダー分散液で充分に充填して、表面平坦性の高いF層を形成しやすく、厚い塗膜を形成する際、乾燥時に塗膜が均質になりやすい。
また、本発明のパウダー分散液のチキソ比(η/η)は、1~2.2が好ましく、1.5~2がより好ましい。この場合、パウダー分散液の分散性に優れるだけでなく、F層の均質性が向上しやすい。
The viscosity of the powder dispersion of the present invention is preferably 10 to 10,000 mPa·s, more preferably 100 to 5,000 mPa·s, even more preferably 500 to 3,000 mPa·s. In this case, not only is the powder dispersion excellent in dispersibility, but even if there are fine irregularities on the surface of the substrate when forming a layer on the substrate, the powder dispersion is sufficiently filled with the irregularities. Therefore, it is easy to form an F layer with high surface flatness, and when a thick coating film is formed, the coating film tends to be uniform during drying.
Further, the thixotropic ratio (η 12 ) of the powder dispersion of the present invention is preferably 1-2.2, more preferably 1.5-2. In this case, not only is the powder dispersion excellent in dispersibility, but the homogeneity of the F layer tends to be improved.

本発明のパウダー分散液は、上述したとおり、寸法安定性と柔軟性とに優れ、低吸水性のF層を形成できる。また、F層は、Fポリマーの特性が損なわれにくいため、優れた電気特性(低誘電率、低誘電正接等)を有する。かかるF層は、フレキシブルプリント基板の絶縁層(誘電体層)としての使用に適している。すなわち、本発明のパウダー分散液は、フレキシブルプリント基板を形成するために好適に用いられる、金属箔と、この金属箔の表面に形成されたF層とを有する積層体の製造に好適に使用できる。
本発明の積層体の製造方法では、上記パウダー分散液を、金属箔の表面に塗布し、加熱して、金属箔と、この金属箔の表面に形成された、Fポリマー、無機フィラー及びエラストマーを含むF層とを有する積層体を得る。
As described above, the powder dispersion of the present invention is excellent in dimensional stability and flexibility, and can form an F layer with low water absorption. In addition, the F layer has excellent electrical properties (low dielectric constant, low dielectric loss tangent, etc.) because the properties of the F polymer are less likely to be impaired. Such an F layer is suitable for use as an insulating layer (dielectric layer) of a flexible printed circuit board. That is, the powder dispersion of the present invention can be suitably used for producing a laminate having a metal foil and an F layer formed on the surface of the metal foil, which is suitably used for forming a flexible printed circuit board. .
In the method for producing a laminate of the present invention, the powder dispersion is applied to the surface of a metal foil and heated to remove the metal foil, the F polymer, the inorganic filler and the elastomer formed on the surface of the metal foil. to obtain a laminate having an F layer containing

本発明における金属箔の材質としては、銅、銅合金、ステンレス鋼、ニッケル、ニッケル合金(42合金も含む)、アルミニウム、アルミニウム合金、チタン、チタン合金等が挙げられる。
金属箔としては、圧延銅箔、電解銅箔が挙げられる。金属箔の表面は、防錆処理(クロメート等の酸化物皮膜等)されていてもよく、粗化処理されていてもよい。
金属箔の表面の十点平均粗さは、0.2~1.5μmが好ましい。この場合、F層との接着性が良好となりやすい。
金属箔の厚さは、積層体の用途(特に、フレキシブルプリント基板)において機能が発揮できる厚さであればよい。
金属箔の表面はシランカップリング剤により処理されていてもよく、金属箔の表面の全体がシランカップリング剤により処理されていてもよく、金属箔の表面の一部がシランカップリング剤により処理されていてもよい。
Materials for the metal foil in the present invention include copper, copper alloys, stainless steel, nickel, nickel alloys (including 42 alloys), aluminum, aluminum alloys, titanium, titanium alloys, and the like.
Examples of metal foil include rolled copper foil and electrolytic copper foil. The surface of the metal foil may be subjected to antirust treatment (such as an oxide film such as chromate) or may be roughened.
The ten-point average roughness of the surface of the metal foil is preferably 0.2 to 1.5 μm. In this case, the adhesiveness with the F layer tends to be good.
The thickness of the metal foil may be any thickness that can exhibit its function in the application of the laminate (in particular, flexible printed circuit board).
The surface of the metal foil may be treated with a silane coupling agent, the entire surface of the metal foil may be treated with the silane coupling agent, or a portion of the surface of the metal foil may be treated with the silane coupling agent. may have been

また、金属箔として、2層以上の金属箔を含むキャリア付金属箔を使用してもよい。キャリア付金属箔としては、キャリア銅箔(厚さ10~35μm)と、剥離層を介してキャリア銅箔上に積層された極薄銅箔(厚さ2~5μm)とからなるキャリア付銅箔が挙げられる。
かかるキャリア付銅箔のキャリア銅箔のみを剥離すれば、極薄銅箔を有する金属張積層体を容易に形成できる。この金属張積層体を使用すれば、MSAP(モディファイドセミアディティブ)プロセスによる、極薄銅箔層をめっきシード層として利用する、ファインパターンの形成が可能である。
上記剥離層としては、耐熱性の観点から、ニッケル又はクロムを含む金属層か、この金属層を積層した多層金属層が好ましい。かかる剥離層であれば、300℃以上の工程を経ても、キャリア金属箔を容易に極薄金属箔から剥離できる。
キャリア付金属箔の具体例としては、福田金属箔粉工業株式会社製の商品名「FUTF-5DAF-2」が挙げられる。
As the metal foil, a metal foil with a carrier containing two or more layers of metal foil may be used. As the metal foil with a carrier, a copper foil with a carrier comprising a copper foil with a thickness of 10 to 35 μm and an ultra-thin copper foil with a thickness of 2 to 5 μm laminated on the copper foil with a release layer interposed therebetween. is mentioned.
By peeling off only the carrier copper foil of such a carrier-attached copper foil, a metal-clad laminate having an ultra-thin copper foil can be easily formed. By using this metal-clad laminate, it is possible to form a fine pattern using an ultra-thin copper foil layer as a plating seed layer by the MSAP (modified semi-additive) process.
From the viewpoint of heat resistance, the release layer is preferably a metal layer containing nickel or chromium, or a multi-layer metal layer obtained by stacking these metal layers. With such a release layer, the carrier metal foil can be easily separated from the ultra-thin metal foil even through a process at 300° C. or higher.
A specific example of the carrier-attached metal foil is the trade name "FUTF-5DAF-2" manufactured by Fukuda Metal Foil & Powder Co., Ltd.

パウダー分散液の塗布方法は、金属箔の表面に安定した液状被膜(ウェット膜)が形成される方法であればよく、スプレー法、ロールコート法、スピンコート法、グラビアコート法、マイクログラビアコート法、グラビアオフセット法、ナイフコート法、キスコート法、バーコート法、ダイコート法、ファウンテンメイヤーバー法、スロットダイコート法、コンマコート法が挙げられる。中でも、塗布方法としては、ダイコート法又はコンマコート法が好ましい。
加熱の際は、パウダー分散液の液状被膜を溶媒の揮発温度で保持して、液状被膜を乾燥させて乾燥被膜(ドライ膜)を得た後、乾燥被膜を溶媒の揮発温度を上回る温度で保持して、Fパウダーを焼成するのが好ましい。
「溶媒の揮発温度」は、溶媒の沸点±50℃が好ましく、溶媒の沸点以上の温度がより好ましく、溶媒の沸点+50℃以下の温度がさらに好ましい。乾燥温度は、乾燥雰囲気の温度を意味する。
The method of applying the powder dispersion may be any method as long as it forms a stable liquid film (wet film) on the surface of the metal foil, such as a spray method, a roll coating method, a spin coating method, a gravure coating method, or a micro gravure coating method. , gravure offset method, knife coating method, kiss coating method, bar coating method, die coating method, fountain-meyer bar method, slot die coating method and comma coating method. Among them, the die coating method or the comma coating method is preferable as the coating method.
When heating, the liquid film of the powder dispersion is held at the volatilization temperature of the solvent, the liquid film is dried to obtain a dry film (dry film), and then the dry film is held at a temperature higher than the volatilization temperature of the solvent. It is preferable to sinter the F powder.
The "volatilization temperature of the solvent" is preferably ±50° C. of the boiling point of the solvent, more preferably a temperature equal to or higher than the boiling point of the solvent, and even more preferably a temperature of +50° C. or less of the boiling point of the solvent. Drying temperature means the temperature of the drying atmosphere.

乾燥は、一定温度にて1段階で行ってもよく、異なる温度にて2段階以上で行ってもよい。乾燥の方法としては、オーブンを用いる方法、通風乾燥炉を用いる方法、赤外線等の熱線を照射する方法が挙げられる。乾燥は、常圧下および減圧下のいずれの状態で行ってもよい。また、乾燥雰囲気は、酸化性ガス雰囲気(酸素ガス等)、還元性ガス雰囲気(水素ガス等)、不活性ガス雰囲気(ヘリウムガス、ネオンガス、アルゴンガス、窒素ガス等)のいずれであってもよい。
乾燥温度は、50~280℃が好ましく、120~260℃がより好ましい。乾燥時間は、0.1~30分間が好ましく、0.5~20分間がより好ましい。
以上のような条件でパウダー分散液を乾燥すれば、高い生産性を維持しつつ、積層体を好適に製造できる。
Drying may be performed in one step at a constant temperature, or in two or more steps at different temperatures. Drying methods include a method using an oven, a method using a ventilation drying oven, and a method of irradiating heat rays such as infrared rays. Drying may be performed under normal pressure or under reduced pressure. The drying atmosphere may be any of an oxidizing gas atmosphere (oxygen gas, etc.), a reducing gas atmosphere (hydrogen gas, etc.), and an inert gas atmosphere (helium gas, neon gas, argon gas, nitrogen gas, etc.). .
The drying temperature is preferably 50 to 280°C, more preferably 120 to 260°C. The drying time is preferably 0.1 to 30 minutes, more preferably 0.5 to 20 minutes.
By drying the powder dispersion under the conditions as described above, it is possible to suitably manufacture a laminate while maintaining high productivity.

焼成の方法としては、オーブンを用いる方法、通風乾燥炉を用いる方法、赤外線等の熱線を照射する方法が挙げられ、これらの方法は組み合わせてもよい。なお、得られるF層の表面平滑性を高めるために、加熱板、加熱ロール等で乾燥被膜を加圧してもよい。
焼成温度は、300~400℃が好ましく、320~380℃がより好ましく、340℃~370℃がさらに好ましい。焼成温度は、焼成雰囲気の温度を意味する。焼成時間は、5~60分間が好ましく、10~45分間がより好ましい。
焼成温度を比較的高く、かつ焼成時間を比較的長く設定すれば、分散剤を充分に分解させ、Fパウダーをより密にパッキングできる。このため、F層のレベリングを促進させて、F層の表面平滑性がさらに高まる。また、Fポリマーの分解によるフッ化水素酸の発生を抑制しやすい。
焼成は、常圧下および減圧下のいずれの状態で行ってよい。また、焼成雰囲気は、酸化性ガス雰囲気、還元性ガス雰囲気および不活性ガス雰囲気のいずれであってもよい。ただし、酸素ガスを含有する焼成雰囲気とすれば、分散剤の分解をさらに促進できる。
Examples of the baking method include a method using an oven, a method using a ventilation drying oven, and a method of irradiating heat rays such as infrared rays, and these methods may be combined. In order to increase the surface smoothness of the F layer to be obtained, the dried film may be pressed with a heating plate, a heating roll, or the like.
The firing temperature is preferably 300 to 400°C, more preferably 320 to 380°C, even more preferably 340 to 370°C. The firing temperature means the temperature of the firing atmosphere. The baking time is preferably 5 to 60 minutes, more preferably 10 to 45 minutes.
If the firing temperature is set relatively high and the firing time is set relatively long, the dispersant can be sufficiently decomposed and the F powder can be packed more densely. Therefore, the leveling of the F layer is promoted, and the surface smoothness of the F layer is further enhanced. In addition, generation of hydrofluoric acid due to decomposition of the F polymer can be easily suppressed.
Firing may be performed under normal pressure or under reduced pressure. Moreover, the firing atmosphere may be any of an oxidizing gas atmosphere, a reducing gas atmosphere and an inert gas atmosphere. However, if the firing atmosphere contains oxygen gas, the decomposition of the dispersant can be further accelerated.

本発明の積層体は、金属箔と、この金属箔の表面に形成された、Fポリマー、無機フィラー及びエラストマーを含むF層とを有する。
積層体のF層に占めるFポリマーと無機フィラーとの合計での割合は、65質量%以上であり、75質量%以上が好ましく、90~99質量%がより好ましい。
また、積層体のF層に占めるFポリマーの量に対する無機フィラーの量の質量での比(無機フィラーの含有量/Fポリマーの含有量)は、1.25超であり、1.5以上がより好ましく、2以上がより好ましい。上記質量比の上限は、5以下が好ましく、4以下がより好ましい。Fポリマー及び無機フィラーの量が上記関係を満足すれば、F層は、高い電気特性を維持しつつ、線膨張係数と吸水性とが充分に低下する。
具体的には、F層中のFポリマーの割合は、10~50質量%が好ましく、15~40質量%がより好ましい。また、F層中の無機フィラーの割合は、30~85質量%が好ましく、40~80質量%がより好ましい。
The laminate of the present invention has a metal foil and an F layer containing an F polymer, an inorganic filler and an elastomer formed on the surface of the metal foil.
The total proportion of the F polymer and the inorganic filler in the F layer of the laminate is 65% by mass or more, preferably 75% by mass or more, and more preferably 90 to 99% by mass.
In addition, the ratio by mass of the amount of inorganic filler to the amount of F polymer in the F layer of the laminate (content of inorganic filler/content of F polymer) is more than 1.25, and 1.5 or more More preferably, 2 or more. The upper limit of the mass ratio is preferably 5 or less, more preferably 4 or less. If the amounts of the F polymer and the inorganic filler satisfy the above relationship, the F layer will have sufficiently low linear expansion coefficient and water absorbency while maintaining high electrical properties.
Specifically, the proportion of the F polymer in the F layer is preferably 10 to 50% by mass, more preferably 15 to 40% by mass. Also, the proportion of the inorganic filler in the F layer is preferably 30 to 85% by mass, more preferably 40 to 80% by mass.

積層体のF層に含まれるFポリマーの量に対するエラストマーの量の質量比(エラストマーの含有量/Fポリマーの含有量)は、0.05以上が好ましく、0.1以上がより好ましい。上記質量比の上限は、0.5以下が好ましく、0.3以下がより好ましい。この場合、積層体のF層の電気特性を損なうことなく、F層の折り曲げ性を充分に高めやすい。
具体的には、F層中のエラストマーの割合は、0.5~10質量%が好ましく、1~7質量%がより好ましい。
F層は、金属箔の片面のみに形成されてもよく、金属箔の両面に形成されてもよい。F層を金属箔の両面に形成する場合、それらの組成及び厚さは、積層体の反りを抑制する点から同じであるのが好ましい。
F層の比誘電率は、2~3.5が好ましく、2~3がより好ましい。この場合、低誘電率が求められるプリント基板等に積層体を好適に使用できる。
F層の誘電正接は0.003以下が好ましく、0.002以下がより好ましい。これは10GHzの周波数でSPDRにて測定した値が好ましい。
The mass ratio of the amount of elastomer to the amount of F polymer contained in the F layer of the laminate (content of elastomer/content of F polymer) is preferably 0.05 or more, more preferably 0.1 or more. The upper limit of the mass ratio is preferably 0.5 or less, more preferably 0.3 or less. In this case, the bendability of the F layer can be sufficiently improved without impairing the electrical properties of the F layer of the laminate.
Specifically, the proportion of the elastomer in the F layer is preferably 0.5 to 10% by mass, more preferably 1 to 7% by mass.
The F layer may be formed only on one side of the metal foil, or may be formed on both sides of the metal foil. When the F layers are formed on both sides of the metal foil, their composition and thickness are preferably the same from the viewpoint of suppressing warping of the laminate.
The dielectric constant of the F layer is preferably 2-3.5, more preferably 2-3. In this case, the laminate can be suitably used for printed circuit boards and the like that require a low dielectric constant.
The dielectric loss tangent of the F layer is preferably 0.003 or less, more preferably 0.002 or less. It is preferably a value measured by SPDR at a frequency of 10 GHz.

F層の厚さは、50μm~150μmが好ましく、75~125μmがより好ましい。この範囲において、積層体をプリント基板に加工した際の電気特性と反り抑制とをバランスさせやすい。
F層の吸水率は0.1%以下が好ましく、0.08%以下がより好ましく、0.05%以下がさらに好ましい。
F層は、単一の層であってもよく、複数の層であってもよい。例えば、層形成成分に含まれるFパウダー、無機フィラー及びエラストマーの量が少ないパウダー分散液を用いて、金属箔の表面に第1のF層を形成し、さらに層形成成分に含まれるFパウダー、無機フィラー及びエラストマーの量が多いFパウダー分散液を用いて、第1のF層の表面に第2のF層を形成してもよい。かかる方法により、金属箔との密着性に優れ、Fパウダー、無機フィラー及びエラストマーに起因するより優れた物性を有する積層体が容易に得られる。
The thickness of the F layer is preferably 50 μm to 150 μm, more preferably 75 to 125 μm. Within this range, it is easy to balance the electrical properties and the suppression of warpage when the laminate is processed into a printed circuit board.
The water absorption rate of the F layer is preferably 0.1% or less, more preferably 0.08% or less, and even more preferably 0.05% or less.
The F layer may be a single layer or multiple layers. For example, a first F layer is formed on the surface of a metal foil using a powder dispersion containing a small amount of the F powder, inorganic filler, and elastomer contained in the layer-forming components, and the F powder contained in the layer-forming components, A second F layer may be formed on the surface of the first F layer using an F powder dispersion having a high amount of inorganic filler and elastomer. By such a method, it is possible to easily obtain a laminate having excellent adhesion to the metal foil and excellent physical properties due to the F powder, the inorganic filler and the elastomer.

本発明の積層体の線膨張係数は、30ppm/℃以下が好ましく、25ppm/℃以下がより好ましく、20ppm/℃以下がさらに好ましい。この場合、積層体の反りの発生を好適に防止できる。
本発明の積層体の反り率は、25%以下が好ましく、7%以下がより好ましい。この場合、積層体をプリント基板に加工する際のハンドリング性と、得られるプリント基板の伝送特性とが優れる。
積層体の寸法変化率は、±1%以下が好ましく、±0.2%以下がより好ましい。この場合、積層体をプリント基板に加工し、さらにそれを多層化し易い。
また、本発明の積層体は、本発明の効果を損なわない範囲で、その他の材料からなる追加の層を含んでいてもよい。追加の層としては、ポリイミド層、液晶性ポリエステル層が挙げられる。これらの追加の層を有すれば、積層体の線膨張係数を顕著に低減できる。具体的な層構成としては、金属箔/F層/追加の層/F層/金属箔が挙げられる。
The linear expansion coefficient of the laminate of the present invention is preferably 30 ppm/°C or less, more preferably 25 ppm/°C or less, and even more preferably 20 ppm/°C or less. In this case, it is possible to suitably prevent the laminate from warping.
The laminate of the present invention preferably has a warpage rate of 25% or less, more preferably 7% or less. In this case, the handling property when processing the laminate into a printed circuit board and the transmission characteristics of the resulting printed circuit board are excellent.
The dimensional change rate of the laminate is preferably ±1% or less, more preferably ±0.2% or less. In this case, it is easy to process the laminated body into a printed circuit board, and to make it multi-layered.
Moreover, the laminate of the present invention may contain additional layers made of other materials as long as the effects of the present invention are not impaired. Additional layers include polyimide layers and liquid crystalline polyester layers. Having these additional layers can significantly reduce the coefficient of linear expansion of the laminate. A specific layer structure includes metal foil/F layer/additional layer/F layer/metal foil.

本発明の積層体が有するF層の表面は、接着性に優れるため、他の基板と容易かつ強固に接着できる。
例えば、F層の表面に金属箔を積層して、両面金属張積層体としてもよい。この場合、一対の熱ロールからなるロールラミネーター、又は複数対の熱ロールをベルトで繋いだダブルベルトプレスを使用して、積層体の表面に金属箔をラミネートできる。ラミネート温度は、300℃~400℃が好ましく、320℃~380℃がより好ましい。
また、この場合、積層体には、金属箔のみを接着してもよいし、同一のF層を有する積層体または異なるF層を有する積層体を接着してもよい。例えば、厚さ50μmのF層を有する本発明の積層体同士を、それぞれのF層が対向するよう配置し、熱圧着させれば、厚さ100μmのF層の両面に金属箔を有する積層体(両面金属張積層体)を製造できる。
さらに、本発明の積層体には、他の基板を接着してもよい。
Since the surface of the F layer of the laminate of the present invention has excellent adhesiveness, it can be easily and strongly adhered to another substrate.
For example, a metal foil may be laminated on the surface of the F layer to form a double-sided metal-clad laminate. In this case, a roll laminator comprising a pair of hot rolls or a double belt press in which a plurality of pairs of hot rolls are connected by a belt can be used to laminate the metal foil on the surface of the laminate. The lamination temperature is preferably 300°C to 400°C, more preferably 320°C to 380°C.
In this case, only the metal foil may be adhered to the laminate, or laminates having the same F layers or laminates having different F layers may be adhered. For example, if the laminates of the present invention having F layers with a thickness of 50 μm are arranged so that the F layers face each other and are thermocompressed, a laminate having metal foils on both sides of the F layers with a thickness of 100 μm (Double-sided metal-clad laminate) can be manufactured.
Furthermore, other substrates may be adhered to the laminate of the present invention.

他の基板としては、耐熱性樹脂フィルム、繊維強化樹脂板の前駆体であるプリプレグ、耐熱性樹脂フィルム層を有する積層体、プリプレグ層を有する積層体等が挙げられる。
プリプレグは、強化繊維(ガラス繊維、炭素繊維等)の基材(トウ、織布等)に熱硬化性樹脂又は熱可塑性樹脂を含浸させたシート状の基板である。
耐熱性樹脂フィルムは、耐熱性樹脂の1種以上を含むフィルムであり、単層フィルムであっても多層フィルムであってもよい。
耐熱性樹脂としては、ポリイミド、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホン、芳香族ポリアミド、芳香族ポリエーテルアミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアリルエーテルケトン、ポリアミドイミド、液晶性ポリエステル等が挙げられる。
Other substrates include a heat-resistant resin film, a prepreg that is a precursor of a fiber-reinforced resin plate, a laminate having a heat-resistant resin film layer, a laminate having a prepreg layer, and the like.
A prepreg is a sheet-like substrate obtained by impregnating a base material (tow, woven fabric, etc.) of reinforcing fibers (glass fiber, carbon fiber, etc.) with a thermosetting resin or thermoplastic resin.
The heat-resistant resin film is a film containing one or more heat-resistant resins, and may be a single-layer film or a multilayer film.
Examples of heat-resistant resins include polyimides, polyarylates, polysulfones, polyallylsulfones, aromatic polyamides, aromatic polyetheramides, polyphenylene sulfides, polyaryletherketones, polyamideimides, and liquid crystalline polyesters.

本発明の積層体に他の基材を積層する方法としては、積層体と他の基板とを熱プレスする方法が挙げられる。
他の基板がプリプレグである場合のプレス温度は、Fポリマーの融点以下が好ましく、120~300℃がより好ましい。他の基板が耐熱性樹脂フィルムである場合のプレス温度は、310~400℃が好ましい。
熱プレスは、気泡混入を抑制し、酸化による劣化を抑制する観点から、20kPa以下の真空度で行うのが特に好ましい。
また、熱プレス時には上記真空度に到達した後に昇温することが好ましい。この場合、F層が軟化する前の状態、すなわち一定程度の流動性が生じる前の状態にて、他の基板が圧着されるため、気泡が生じにくい。
熱プレスにおける圧力は、基板の破損を抑制しつつ、F層と基板とを強固に密着させる観点から、0.2~10MPaが好ましい。
As a method of laminating another base material on the laminate of the present invention, a method of hot-pressing the laminate and another substrate can be mentioned.
When the other substrate is a prepreg, the pressing temperature is preferably below the melting point of the F polymer, more preferably 120 to 300.degree. When the other substrate is a heat-resistant resin film, the press temperature is preferably 310-400.degree.
It is particularly preferable to perform the heat pressing at a degree of vacuum of 20 kPa or less from the viewpoint of suppressing inclusion of air bubbles and suppressing deterioration due to oxidation.
Moreover, it is preferable to raise the temperature after the degree of vacuum is reached at the time of hot pressing. In this case, since another substrate is pressure-bonded before the F layer softens, that is, before a certain degree of fluidity occurs, air bubbles are less likely to occur.
The pressure in the hot press is preferably 0.2 to 10 MPa from the viewpoint of firmly adhering the F layer and the substrate while suppressing breakage of the substrate.

本発明の積層体は、寸法安定性と柔軟性とに優れ、低吸水性のF層を有する。また、F層は、Fポリマーの特性が損なわれにくいため、優れた電気特性(低誘電率、低誘電正接等)を有する。したがって、本発明の積層体は、フレキシブルプリント基板を形成するために好適に用いられる。
フレキシブルプリント基板を形成するのに使用する場合(以下、「フレキシブルプリント基板用途」とも記す。)において、本発明の積層体は、次のような物性を有するのが好ましい。
すなわち、金属箔のF層に対する剥離強度は、8N/cm以上が好ましく、12N/cm以上がより好ましく、16N/cm以上がさらに好ましい。この場合、得られるフレキシブルプリント基板において、パターン回路のF層からの剥離をより確実に抑制できる。
The laminate of the present invention has excellent dimensional stability and flexibility, and has an F layer with low water absorption. In addition, the F layer has excellent electrical properties (low dielectric constant, low dielectric loss tangent, etc.) because the properties of the F polymer are less likely to be impaired. Therefore, the laminate of the present invention is suitable for use in forming flexible printed circuit boards.
When used to form a flexible printed circuit board (hereinafter also referred to as "flexible printed circuit board application"), the laminate of the present invention preferably has the following physical properties.
That is, the peel strength of the metal foil to the F layer is preferably 8 N/cm or more, more preferably 12 N/cm or more, and even more preferably 16 N/cm or more. In this case, peeling of the pattern circuit from the F layer can be more reliably suppressed in the resulting flexible printed circuit board.

また、積層体の加熱変形性は、0.5%以下が好ましく、0.3%以下がより好ましく、0.2%以下がさらに好ましい。この場合、得られるフレキシブルプリント基板において、寸法安定性をより向上でき、電気特性の温度依存性もより低減できる。
また、F層の弾性率は、0.1~3GPaが好ましく、0.2~2.5GPaがより好ましい。この場合、本発明の積層体は、特に優れた柔軟性を有するため、より自由な条件でフレキシブルプリント基板を製造できる。なお、F層の弾性率とは、JIS K 7161に準じて測定される引張弾性率を意味する。
さらに、本発明におけるF層は、多量の無機フィラーを含むので熱伝導率も高い。具体的には、F層の熱伝導率は、厚さ方向で0.2W/mK以上、面方向で0.3W/mK以上が好ましい。この場合、フレキシブルプリント基板に半導体チップを実装して実際に使用する場合、放熱効果に優れる。
The heat deformability of the laminate is preferably 0.5% or less, more preferably 0.3% or less, and even more preferably 0.2% or less. In this case, the resulting flexible printed circuit board can have improved dimensional stability and reduced temperature dependence of electrical properties.
Further, the elastic modulus of the F layer is preferably 0.1 to 3 GPa, more preferably 0.2 to 2.5 GPa. In this case, since the laminate of the present invention has particularly excellent flexibility, flexible printed circuit boards can be produced under more free conditions. In addition, the elastic modulus of F layer means the tensile elastic modulus measured according to JISK7161.
Furthermore, since the F layer in the present invention contains a large amount of inorganic filler, it also has high thermal conductivity. Specifically, the thermal conductivity of the F layer is preferably 0.2 W/mK or more in the thickness direction and 0.3 W/mK or more in the surface direction. In this case, when the semiconductor chip is mounted on the flexible printed circuit board and actually used, the heat dissipation effect is excellent.

本発明のプリント基板の製造方法では、上記積層体の金属箔を加工して、パターン回路を形成する。金属箔の加工方法としては、エッチング法、電解めっき法(セミアディティブ法(SAP法)、モディファイドセミアディティブ法(MSAP法)等)が挙げられる。
パターン回路を形成した後に、パターン回路上に層間絶縁膜を形成し、層間絶縁膜上にさらに導体回路を形成してもよい。層間絶縁膜は、本発明のパウダー分散液によって形成してもよい。また、パターン回路上にソルダーレジスト又はカバーレイフィルムを積層してもよい。ソルダーレジスト又はカバーレイフィルムは、本発明のパウダー分散液によって形成してもよい。
このようにして製造されるプリント基板は、折り曲げ性の高いF層を有するため、フレキシブルプリント基板として好適に使用できる。
In the printed circuit board manufacturing method of the present invention, the metal foil of the laminate is processed to form a pattern circuit. Methods of processing the metal foil include an etching method and an electroplating method (semi-additive method (SAP method), modified semi-additive method (MSAP method), etc.).
After forming the pattern circuit, an interlayer insulating film may be formed on the pattern circuit, and a conductor circuit may be further formed on the interlayer insulating film. The interlayer insulating film may be formed from the powder dispersion of the present invention. Moreover, you may laminate|stack a solder resist or a cover-lay film on a pattern circuit. A solder resist or coverlay film may be formed with the powder dispersion of the present invention.
Since the printed circuit board manufactured in this way has the F layer with high bendability, it can be suitably used as a flexible printed circuit board.

以上、本発明のパウダー分散液、積層体の製造方法、積層体及びプリント基板の製造方法について説明したが、本発明は、上述した実施形態の構成に限定されない。
例えば、本発明の分散液及び積層体は、それぞれ上述した実施形態の構成において、他の任意の構成を追加してもよいし、同様の機能を発揮する任意の構成と置換されてもよい。
また、本発明の積層体の製造方法及びプリント基板の製造方法は、それぞれ上述した実施形態の構成において、他の任意の目的の工程を追加してもよいし、同様の作用を発揮する任意の工程と置換されてもよい。
Although the powder dispersion liquid, the method for manufacturing the laminate, and the method for manufacturing the laminate and the printed circuit board of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the configurations of the above-described embodiments.
For example, the dispersion liquid and the laminate of the present invention may be added to any other configuration in the configurations of the above-described embodiments, or may be replaced with any configuration that exhibits similar functions.
In addition, in the method for manufacturing a laminate and the method for manufacturing a printed circuit board of the present invention, in the configurations of the above-described embodiments, any other step for any purpose may be added, or any step that exhibits the same effect may be added. It may be replaced with a step.

以下、実施例によって本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
各種測定方法と使用材料とを、以下に示す。
<折曲性>
積層体の銅箔を塩化第二鉄水溶液でエッチングして除去して作製した試験片(5mm×5mm)を、曲率半径(300μm)の条件で180°折り曲げ、上から荷重(50mN、1分間)をかけた後に折り曲げを戻し、試験片の外観を以下の基準で評価した。
○(良) :折り目部分に外観異常は見られない。
△(可) :折り目部分に白化が見られた。
×(不可):折り目で破断した。
EXAMPLES The present invention will be described in detail below with reference to Examples, but the present invention is not limited to these.
Various measurement methods and materials used are shown below.
<Bendability>
A test piece (5 mm × 5 mm) prepared by etching and removing the copper foil of the laminate with an aqueous ferric chloride solution was bent 180° under the condition of a curvature radius (300 µm), and a load was applied from above (50 mN, 1 minute). After applying the stress, the bending was returned, and the appearance of the test piece was evaluated according to the following criteria.
◯ (Good): No abnormality in appearance is observed at the crease portion.
(triangle|delta) (acceptable): Whitening was seen in the crease part.
x (impossible): broken at the crease.

<線膨張係数>
積層体の銅箔を塩化第二鉄水溶液でエッチングして除去して作製した試験片(3mm×10mm)を、熱機械的分析装置(SIIナノテクノロジー社製、商品名:TMA/SS6100)を用いて、10℃/分にて0℃から400℃に昇温させた後、40℃/分にて10℃まで冷却し、さらに10℃/分にて10℃から200℃に昇温させて測定した。測定荷重は29.4mNとし、測定雰囲気を空気雰囲気とした。
<Linear expansion coefficient>
A test piece (3 mm × 10 mm) prepared by etching and removing the copper foil of the laminate with an aqueous ferric chloride solution was analyzed using a thermomechanical analyzer (manufactured by SII Nanotechnology, trade name: TMA/SS6100). After raising the temperature from 0°C to 400°C at 10°C/min, cooling to 10°C at 40°C/min, and then raising the temperature from 10°C to 200°C at 10°C/min. bottom. The measurement load was 29.4 mN, and the measurement atmosphere was an air atmosphere.

<吸水率>
吸水率は、JIS K 7209:2000Aの方法に準じて測定した。
積層体の銅箔を塩化第二鉄水溶液でエッチングして除去して作製した試験片(10cm×10cm)を50℃にて24時間乾燥させ、デシケーター内で冷却した。この時点における試験片の質量を、試験片の浸漬前質量とした。
次に、試験片を23℃にて24時間、純水に浸漬させた。試験片を純水から取り出し、速やかに表面の水分を拭き取った後、1分以内に測定した質量を、試験片の浸漬後質量とした。浸漬前後での試験片の質量変化率を、積層体の吸水率とした。
<Water absorption rate>
The water absorption rate was measured according to the method of JIS K 7209:2000A.
A test piece (10 cm×10 cm) prepared by removing the copper foil of the laminate by etching with an aqueous ferric chloride solution was dried at 50° C. for 24 hours and cooled in a desiccator. The mass of the test piece at this point was taken as the mass of the test piece before immersion.
Next, the test piece was immersed in pure water at 23° C. for 24 hours. After removing the test piece from the pure water and quickly wiping off the moisture on the surface, the mass measured within 1 minute was taken as the post-immersion mass of the test piece. The rate of change in mass of the test piece before and after immersion was taken as the water absorption rate of the laminate.

<誘電正接>
SPDR法によって、23℃±2℃、50±5%RHの範囲内の環境下、周波数10GHzにて測定した。
<Dielectric loss tangent>
It was measured by the SPDR method at a frequency of 10 GHz under an environment of 23° C.±2° C. and 50±5% RH.

[Fパウダー]
Fパウダー1:TFE単位、NAH単位及びPPVE単位を、この順に97.9モル%、0.1モル%、2.0モル%含む、酸無水物基を有するポリマー(溶融温度300℃)からなるパウダー(D50:1.7μm、D90:3.8μm)
Fパウダ-2:TFE単位及びNAH単位を、この順に97.5モル%、2.5モル%含む、官能基を有さないポリマー(溶融温度305℃)からなるパウダー(D50:18.5μm)
[F Powder]
F powder 1: A polymer having an acid anhydride group containing 97.9 mol%, 0.1 mol% and 2.0 mol% of TFE units, NAH units and PPVE units in this order (melting temperature: 300°C) Powder (D50: 1.7 μm, D90: 3.8 μm)
F powder-2: A powder (D50: 18.5 μm) composed of a polymer having no functional group (melting temperature: 305° C.) containing 97.5 mol % and 2.5 mol % of TFE units and NAH units in this order.

[分散剤]
分散剤1:ペルフルオロアルキル基と水酸基及びポリオキシアルキレン基を有する(メタ)アクリレート系ポリマー(フッ素含有量:35質量%、水酸基価:19mgKOH/g)
[金属箔]
銅箔1:福田金属箔粉工業社製、「CF-T4X-SV-18」、厚さ:18μm、表面の十点平均粗さ0.6μm)
[Dispersant]
Dispersant 1: (meth)acrylate polymer having a perfluoroalkyl group, a hydroxyl group and a polyoxyalkylene group (fluorine content: 35% by mass, hydroxyl value: 19 mgKOH/g)
[Metal foil]
Copper foil 1: "CF-T4X-SV-18" manufactured by Fukuda Metal Foil and Powder Co., Ltd., thickness: 18 μm, surface ten-point average roughness 0.6 μm)

[無機フィラー]
フィラー1:球状シリカ(デンカ社製、「FB-7SDC」、平均粒径:5μm、アスペクト比:1)
フィラー2:粉末状の酸化マグネシウム(宇部マテリアルズ社製、気相法高純度超微粉グレード、平均粒径:0.3μm、アスペクト比:1)
フィラー3:鱗片状の窒化ホウ素(昭和電工社製、「UHP-2」、平均粒径:11μm、アスペクト比:4)
[Inorganic filler]
Filler 1: Spherical silica (manufactured by Denka, "FB-7SDC", average particle size: 5 μm, aspect ratio: 1)
Filler 2: powdery magnesium oxide (manufactured by Ube Materials Co., Ltd., vapor phase method high purity ultrafine powder grade, average particle size: 0.3 μm, aspect ratio: 1)
Filler 3: Scaly boron nitride (manufactured by Showa Denko Co., Ltd., "UHP-2", average particle size: 11 μm, aspect ratio: 4)

[エラストマー]
エラストマー1:アミン変性スチレン系エラストマー(SEBS、旭化成社製、「タフテック MP10」)
エラストマー2:フッ素系エラストマー(FEPM、AGC社製、「アフラス150CS」)
[Elastomer]
Elastomer 1: Amine-modified styrene-based elastomer (SEBS, manufactured by Asahi Kasei Corporation, "Tuftec MP10")
Elastomer 2: Fluorine-based elastomer (FEPM, manufactured by AGC, "AFRAS 150CS")

[例1]パウダー分散液の製造例
[例1-1]パウダー分散液1の製造例
ポット内にて、48質量部のシクロヘキサノンと2質量部の分散剤1とを混合し、さらに15質量部のFパウダー1、1.5質量部のエラストマー1、33.5質量部のフィラー1を順に加え、ポットをころがして、パウダー分散液1を製造した。
[例1-2~例1-9]分散液2~9の製造例
使用材料とその混合割合とを変更した以外は、例1-1と同様にして、パウダー分散液2~8を製造した。なお、例1-7~例1-9におけるパウダー分散液7~9は、比較例に相当する。
それぞれのパウダー分散液の成分を、下表1にまとめて示す。
[Example 1] Production example of powder dispersion [Example 1-1] Production example of powder dispersion 1 In a pot, 48 parts by mass of cyclohexanone and 2 parts by mass of dispersant 1 are mixed, and 15 parts by mass are mixed. F powder 1, 1.5 parts by mass of elastomer 1, and 33.5 parts by mass of filler 1 were added in order, and the pot was rolled to prepare powder dispersion 1.
[Examples 1-2 to 1-9] Production Examples of Dispersions 2 to 9 Powder dispersions 2 to 8 were produced in the same manner as in Example 1-1, except that the materials used and their mixing ratios were changed. . Powder dispersions 7 to 9 in Examples 1-7 to 1-9 correspond to comparative examples.
The components of each powder dispersion are summarized in Table 1 below.

Figure 0007283208000001
なお、他の成分におけるエポキシ樹脂1とは、芳香族系エポキシ樹脂と硬化剤とを含む硬化性組成物であり、例1-7に記載するエポキシ樹脂1の成分量は、層形成成分としての量である。
Figure 0007283208000001
Epoxy resin 1 in other components is a curable composition containing an aromatic epoxy resin and a curing agent, and the component amount of epoxy resin 1 described in Example 1-7 is quantity.

[例2]積層体の製造評価例
[例2-1]積層体1の製造例
分散液1を銅箔1に、ダイコート法により塗工して液状被膜を形成した。次いで、この液状被膜を120℃にて5分間乾燥炉に通し、加熱し乾燥して、乾燥被膜を得た。その後、乾燥被膜を窒素雰囲気下の遠赤外線炉で380℃にて10分間加熱し焼成した。これにより、銅箔1の表面に、厚さ100μmのF層が形成された積層体1(樹脂付銅箔)を得た。
[例2-2~例2-9]積層体2~9の製造例
分散液の種類を変更した以外は、例2-1と同様にして、積層体2~9を製造した。
それぞれの積層体に関して、折曲率、線膨張係数、吸水率及び誘電正接を評価した。
これらの結果を、下表2にまとめて示す。
[Example 2] Production evaluation example of laminate [Example 2-1] Production example of laminate 1 Dispersion 1 was applied to copper foil 1 by a die coating method to form a liquid coating. Then, this liquid coating was passed through a drying oven at 120° C. for 5 minutes and dried by heating to obtain a dry coating. After that, the dried film was baked by heating it at 380° C. for 10 minutes in a far-infrared furnace under a nitrogen atmosphere. As a result, a laminate 1 (resin-coated copper foil) in which an F layer having a thickness of 100 μm was formed on the surface of the copper foil 1 was obtained.
[Examples 2-2 to 2-9] Production Examples of Laminates 2 to 9 Laminates 2 to 9 were produced in the same manner as in Example 2-1, except that the type of dispersion liquid was changed.
The bending ratio, coefficient of linear expansion, water absorption and dielectric loss tangent of each laminate were evaluated.
These results are summarized in Table 2 below.

Figure 0007283208000002
Figure 0007283208000002

本発明の積層体は、寸法安定性と柔軟性とに優れ、低吸水性の層を有するため、アンテナ部品、プリント基板(特に、フレキシブルプリント基板)、航空機用部品、自動車用部品等に加工して使用できる。 Since the laminate of the present invention has excellent dimensional stability and flexibility and has a low water absorption layer, it can be processed into antenna parts, printed circuit boards (particularly flexible printed circuit boards), aircraft parts, automobile parts, and the like. can be used

Claims (14)

溶融温度が140~320℃のテトラフルオロエチレン系ポリマーのパウダー、無機フィラー及びエラストマーを含む層形成成分と溶媒とを含み、前記層形成成分に占める前記テトラフルオロエチレン系ポリマーと前記無機フィラーとの合計での割合が75質量%以上であり、前記層形成成分に含まれる前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの量に対する前記無機フィラーの量の質量での比が1.25超である、パウダー分散液。 A layer-forming component containing a powder of a tetrafluoroethylene-based polymer having a melting temperature of 140 to 320° C. , an inorganic filler, and an elastomer, and a solvent, wherein the tetrafluoroethylene-based polymer and the inorganic filler account for the layer-forming components. is 75 % by mass or more, and the ratio by mass of the amount of the inorganic filler to the amount of the tetrafluoroethylene-based polymer contained in the layer-forming component is greater than 1.25. 前記層形成成分に含まれる前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの量に対する前記エラストマーの量の質量での比が、0.05以上である、請求項1に記載のパウダー分散液。 2. The powder dispersion according to claim 1, wherein the ratio by mass of the amount of said elastomer to the amount of said tetrafluoroethylene-based polymer contained in said layer-forming component is 0.05 or more. さらに、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基と、水酸基又はポリオキシアルキレン基とを有するポリマーを含む、請求項1又は2に記載のパウダー分散液。 3. The powder dispersion according to claim 1, further comprising a polymer having polyfluoroalkyl or polyfluoroalkenyl groups and hydroxyl or polyoxyalkylene groups. さらに、ポリフルオロアルキル基又はポリフルオロアルケニル基と、水酸基とを有し、フッ素含有量が10~50質量%かつ水酸基価が10~100mg/KOHのポリマーを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載のパウダー分散液。 Furthermore, any one of claims 1 to 3, comprising a polymer having a polyfluoroalkyl group or a polyfluoroalkenyl group and a hydroxyl group, having a fluorine content of 10 to 50% by mass and a hydroxyl value of 10 to 100 mg/KOH. Powder dispersion according to item 1. 前記溶媒が、ケトン、アミド又はエステルである、請求項1~4のいずれか1項に記載のパウダー分散液。 Powder dispersion according to any one of claims 1 to 4, wherein the solvent is a ketone, amide or ester. 前記エラストマーが、ブチレン/イソプレン/ブタジエン系エラストマー、スチレン系エラストマー及びフッ素系エラストマーからなる群から選ばれる少なくとも1種の熱可塑性エラストマーを含む、請求項1~5のいずれか1項に記載のパウダー分散液。 The powder dispersion according to any one of claims 1 to 5, wherein the elastomer comprises at least one thermoplastic elastomer selected from the group consisting of butylene/isoprene/butadiene elastomers, styrene elastomers and fluorine elastomers. liquid. 25℃における粘度が、10~10000mPa・sである、請求項1~のいずれか1項に記載のパウダー分散液。 The powder dispersion according to any one of claims 1 to 6 , having a viscosity at 25°C of 10 to 10000 mPa·s. フレキシブルプリント基板を形成するために用いられる、請求項1~のいずれか1項に記載のパウダー分散液。 The powder dispersion according to any one of claims 1 to 7 , which is used for forming flexible printed circuit boards. 請求項1~のいずれか1項に記載のパウダー分散液を、金属箔の表面に塗布し、加熱して、前記金属箔と、前記金属箔の表面に形成された、前記テトラフルオロエチレン系ポリマー、前記無機フィラー及び前記エラストマーを含む層とを有する積層体を得る、積層体の製造方法。 The powder dispersion according to any one of claims 1 to 8 is applied to the surface of a metal foil and heated to form the metal foil and the tetrafluoroethylene system formed on the surface of the metal foil. A method for producing a laminate, comprising obtaining a laminate having a layer containing a polymer, the inorganic filler, and the elastomer. 前記層の厚さが、50~150μmである、請求項に記載の製造方法。 10. The manufacturing method according to claim 9 , wherein the layer has a thickness of 50-150 μm. 金属箔と、前記金属箔の表面に形成された、溶融温度が140~320℃のテトラフルオロエチレン系ポリマー、無機フィラー及びエラストマーを含む層とを有し、前記層に占める前記テトラフルオロエチレン系ポリマーと前記無機フィラーとの合計での割合が75質量%以上であり、前記層に含まれる前記テトラフルオロエチレン系ポリマーの量に対する前記無機フィラーの量の質量での比が1.25超である、積層体。 A metal foil, and a layer formed on the surface of the metal foil and containing a tetrafluoroethylene-based polymer having a melting temperature of 140 to 320° C. , an inorganic filler, and an elastomer, wherein the tetrafluoroethylene-based polymer occupies the layer. and the inorganic filler in a total ratio of 75 % by mass or more, and the ratio by mass of the amount of the inorganic filler to the amount of the tetrafluoroethylene-based polymer contained in the layer is greater than 1.25. laminate. フレキシブルプリント基板を形成するために用いられる、請求項11に記載の積層体。 12. The laminate of claim 11 , used to form flexible printed circuit boards. 請求項11又は12に記載の積層体の前記金属箔を加工して、パターン回路を形成する、プリント基板の製造方法。 13. A method of manufacturing a printed circuit board, comprising processing the metal foil of the laminate according to claim 11 or 12 to form a pattern circuit. 前記プリント基板が、フレキシブルプリント基板である、請求項13に記載の製造方法。 14. The manufacturing method according to claim 13 , wherein the printed circuit board is a flexible printed circuit board.
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