JP7281622B2 - SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND SUBSTRATE HOLDING METHOD - Google Patents

SUBSTRATE HOLDING DEVICE AND SUBSTRATE HOLDING METHOD Download PDF

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Description

コンベアによって搬送される基板をクランプして保持する基板保持装置および基板保持方法に関する。 The present invention relates to a substrate holding device and a substrate holding method for clamping and holding a substrate conveyed by a conveyor.

基板に電子部品を実装して実装基板を製造する部品実装ラインに配備される実装用設備には、各設備に搬入された基板を所定の作業が実行される間クランプして保持する基板保持装置が設けられている。この種の基板保持装置では、コンベアによって搬入された基板をリフト部材によって持ち上げて上方に位置する受け部材との間で挟み込んでクランプするクランプ動作と、作業が実行された後の基板をリフト部材とともに下降させてコンベアに戻すクランプ解除動作とが反復して実行される。このような基板保持装置を備えた部品実装設備における生産性の向上には、上述のクランプ動作、クランプ解除動作の所要時間を極力短縮して、基板保持装置の動作効率を向上させる必要がある。このため、従来より表面実装機などの部品実装設備には、基板のクランプの効率向上を目的とした各種の技術が取り入れられている(例えば特許文献1,2参照)。 Mounting equipment installed in a component mounting line that manufactures mounting boards by mounting electronic components on boards has a board holding device that clamps and holds the board carried into each facility while a predetermined operation is being performed. is provided. In this type of substrate holding apparatus, a lifting member lifts a substrate carried in by a conveyor, clamps it between a receiving member positioned above, and clamps the substrate after the work is performed together with the lifting member. The unclamping operation of lowering and returning to the conveyor is repeatedly performed. In order to improve the productivity of a component mounting facility equipped with such a substrate holding device, it is necessary to shorten the time required for the clamping operation and the clamp releasing operation to improve the operating efficiency of the substrate holding device. For this reason, conventionally, various technologies have been incorporated into component mounting equipment such as surface mounters for the purpose of improving the efficiency of clamping the substrate (see Patent Documents 1 and 2, for example).

特許文献1に示す先行技術では、基板を押し上げるクランププレートを駆動手段であるシリンダによって押し上げる構成において、クランププレートの上昇過程の途中において上昇速度を切り替えるようにしている。これにより、クランププレートが基板に接触する際の上昇速度を減速して基板への衝撃を緩和するとともに、それ以外では増速してサイクルタイムの短縮を図ることができる。また特許文献2に示す先行技術では、リフトプレートの上昇過程において所定の高さ位置に到達したことが検出されたタイミングにて、基板に形成された基準マークをカメラで繰り返し認識する処理を開始し、この認識結果に基づいて基板の上昇が完了したか否かを判定するようにしている。これによりクランプ完了時期を精度よく検出して、次の作業動作に速やかに移行することができる。 In the prior art disclosed in Patent Document 1, in a structure in which a clamp plate that pushes up a substrate is pushed up by a cylinder that is driving means, the lifting speed is switched during the rising process of the clamp plate. As a result, the rising speed when the clamp plate comes into contact with the substrate can be reduced to mitigate the impact on the substrate, and otherwise the speed can be increased to shorten the cycle time. Further, in the prior art disclosed in Patent Document 2, at the timing when it is detected that the lift plate reaches a predetermined height position in the upward process, the camera starts repeatedly recognizing the reference mark formed on the substrate. , based on this recognition result, it is determined whether or not the substrate has been lifted. As a result, the clamping completion time can be detected with high accuracy, and the next work operation can be quickly performed.

特開2003-8290号公報JP-A-2003-8290 特開2006-4973号公報JP-A-2006-4973

しかしながら上述の特許文献例を含め、従来技術には基板のクランプを含む作業動作のさらなる効率向上を追求する上で、以下のような課題があった。すなわち、基板のクランプ動作、クランプ解除動作においては、基板を下降させてコンベアのベルトに載せる際の衝撃荷重を緩和し、且つクランプ動作、クランプ解除動作を極力効率よく実行するため、基板を押し上げるリフト部材の昇降速度を高速・低速に切り替えるようにしている。従来より、この昇降速度の切り替えは制御装置に組み込まれたタイマの設定により行われており、予め基準とする基板を想定したうえで、この基板について適切と考えられるタイマ値を設定していた。 However, the conventional techniques, including the examples of the above-mentioned patent documents, have the following problems in pursuit of further improvement in the efficiency of work operations including clamping of substrates. That is, in the clamping and unclamping operations of the substrate, in order to reduce the impact load when the substrate is lowered and placed on the belt of the conveyor, and to perform the clamping and unclamping operations as efficiently as possible, a lift is used to push up the substrate. The lifting speed of the member is switched between high speed and low speed. Conventionally, this switching of the lifting speed is performed by setting a timer incorporated in a control device, and after assuming a substrate to be used as a reference in advance, a timer value considered appropriate for this substrate is set.

ところで同一装置の作業対象となる基板には、重量や衝撃荷重に対する許容度合いなどの要素が異なるものが多数存在する。このため、基板のクランプ動作、クランプ解除動作におけるタイマ設定の適否判断は、これらの要素を考慮した上でなされることが望ましい。ところが従来技術における昇降速度の切り替えに用いられるタイマ値は、予め定められた基板に対応して一意的に定められたいわば固定値であったため、作業対象となる基板によっては必ずしも最適なクランプ動作、クランプ解除動作が実現されない事態が生じていた。 By the way, there are many substrates to be worked on by the same apparatus, which have different factors such as weight and tolerance to impact load. For this reason, it is desirable that the appropriateness of the timer setting in the substrate clamping operation and the clamp releasing operation is determined after considering these factors. However, the timer value used for switching the lifting speed in the conventional technology is a fixed value that is uniquely determined corresponding to a predetermined substrate. A situation occurred in which the clamp releasing operation was not realized.

例えば基準として用いた基板よりも軽い基板を対象とする場合には、クランプ動作におけるリフト部材の上昇速度は、上昇負荷である基板重さが少ないことから基準となる基板についての想定速度よりも早い速度パターンが可能となる。ところが、基準として用いた基板を対象として昇降速度の切り替えのタイマを設定している場合には、本来可能な速度パターンよりも低速上昇時間が長い非効率な速度パターンとなってしまう。そしてこのような不合理は、クランプ解除動作でリフト部材を下降させる場合において基準として用いた基板よりも重い基板を対象とする場合についても同様に発生する。このように従来技術においては、リフト部材の昇降速度を高速、低速に切り替えるためのタイマ値の設定に起因して、基板のクランプ動作、クランプ解除動作の動作効率の向上が制約されるという課題があった。 For example, when a substrate that is lighter than a substrate used as a reference is targeted, the lifting speed of the lift member in the clamping operation is faster than the assumed speed for the substrate as the reference because the weight of the substrate, which is the lifting load, is small. Velocity patterns are possible. However, if a timer for switching the elevation speed is set for the substrate used as a reference, an inefficient speed pattern with a longer slow rise time than the originally possible speed pattern is obtained. Such absurdity also occurs when a substrate heavier than the substrate used as a reference is used when the lift member is lowered in the clamp release operation. As described above, in the prior art, there is a problem that the improvement of the operation efficiency of the substrate clamping operation and the clamp releasing operation is restricted due to the setting of the timer value for switching the lifting speed of the lift member between high speed and low speed. there were.

そこで本発明は、基板への衝撃を緩和しつつ、基板のクランプ動作、クランプ解除動作の動作効率を向上させることができる基板保持装置および基板保持方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, it is an object of the present invention to provide a substrate holding device and a substrate holding method capable of improving the operating efficiency of the substrate clamping operation and the clamp releasing operation while alleviating the impact on the substrate.

本発明の基板保持装置は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持装置において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記基板がクランプされた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記低速移動時間が経過した時点から前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記低速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、前記基板が前記コンベアの上面に到達し前記リフト部材が前記基板から離隔した下降位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、前記低速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される
また、本発明の基板保持装置は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持装置において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記基板がクランプされた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記低速移動時間が経過した時点から前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記低速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、前記基板が前記コンベアの上面に到達し前記リフト部材が前記基板から離隔した下降位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、前記シリンダは下受けブロックを介して前記リフト部材を支持し、前記低速移動時間は、前記下受けブロックの重量に基づいて設定される。
また、本発明の基板保持装置は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持装置において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記基板がクランプされた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記低速移動時間が経過した時点から前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記低速移動時間は、前記基板保持装置を備えた部品実装装置によって前記基板に実装された部品または当該部品実装装置の前工程の部品実装装置によって前記基板に実装された部品の種類に基づいて設定される。
In the substrate holding device of the present invention, a substrate conveyed by a conveyor is lifted by a lift member driven up and down by a cylinder, and clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. In a substrate holding device in which a predetermined operation is performed on the substrate in a clamped state, and the lift member is lowered by the cylinder after the operation to release the clamp, the lift member is driven up and down by the cylinder. A direction switching unit that switches the driving direction between ascending and descending, and a flow rate of the fluid supplied to the cylinder, thereby setting the ascending/descending speed of the lift member to a first speed and lower than the first speed. a speed setting unit for setting any one of the second speeds; and a control unit for controlling the direction switching unit and the speed setting unit, wherein the control unit switches the direction while the substrate is clamped. The speed setting unit sets the ascending/descending speed to the second speed until a preset variable low-speed movement time elapses after the driving direction is switched to descending by the unit and a descending signal is output. The speed setting unit sets the lifting speed to the first speed after the low speed movement time has elapsed , and the control unit causes the direction switching unit to shift the driving direction downward during the low speed movement time. The low-speed movement time is set based on the time required for the substrate to reach the upper surface of the conveyor and for the lift member to reach a lowered position spaced apart from the substrate after switching and a lowering signal is issued. It is set based on the weight of the substrate .
Further, in the substrate holding device of the present invention, a substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. A substrate holding device in which a predetermined operation is performed on the substrate while the substrate is clamped, and after the operation, the lift member is lowered by the cylinder to release the clamp, wherein the lift member is raised and lowered by the cylinder. A direction switching unit that switches the driving direction of the drive between ascending and descending, and a flow rate of the fluid supplied to the cylinder, thereby setting the ascending/descending speed of the lift member to a first speed and lower than the first speed. and a control unit for controlling the direction switching unit and the speed setting unit, wherein the control unit controls the speed while the substrate is clamped. After the direction switching unit switches the driving direction to the downward direction and a descending signal is issued, the speed setting unit sets the ascending/descending speed to the second speed until a preset variable low-speed movement time elapses. and the speed setting unit sets the lifting speed to the first speed after the low-speed movement time has elapsed, and the control unit sets the driving direction to the first speed by the direction switching unit during the low-speed movement time. It is set based on the time required for the substrate to reach the upper surface of the conveyor and the lift member to reach the lowered position spaced apart from the substrate after switching to descending and a descending signal is issued, and the cylinder moves downward. A support block supports the lift member, and the slow movement time is set based on the weight of the lower support block.
Further, in the substrate holding device of the present invention, a substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. A substrate holding device in which a predetermined operation is performed on the substrate while the substrate is clamped, and after the operation, the lift member is lowered by the cylinder to release the clamp, wherein the lift member is raised and lowered by the cylinder. A direction switching unit that switches the driving direction of the drive between ascending and descending, and a flow rate of the fluid supplied to the cylinder, thereby setting the ascending/descending speed of the lift member to a first speed and lower than the first speed. and a control unit for controlling the direction switching unit and the speed setting unit, wherein the control unit controls the speed while the substrate is clamped. After the direction switching unit switches the driving direction to the downward direction and a descending signal is issued, the speed setting unit sets the ascending/descending speed to the second speed until a preset variable low-speed movement time elapses. , and the speed setting unit sets the lifting speed to the first speed after the low-speed movement time elapses, and the low-speed movement time is set by the component mounting apparatus equipped with the substrate holding device. is set based on the type of the component mounted on the substrate or the type of the component mounted on the board by the component mounting device in the previous process of the component mounting device.

本発明の基板保持装置は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持装置において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記高速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、前記基板が前記リフト部材に当接した上昇位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、前記高速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される。
また、本発明の基板保持装置は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持装置において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記高速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、前記基板が前記リフト部材に当接した上昇位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、前記シリンダは下受けブロックを介して前記リフト部材を支持し、前記高速移動時間は、前記下受けブロックの重量に基づいて設定される。
また、本発明の基板保持装置は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持装置において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記高速移動時間は、前記基板保持装置を備えた部品実装装置の前工程の部品実装装置によって前記基板に実装された部品の種類に基づいて設定される。
A substrate holding apparatus according to the present invention is a substrate holding apparatus in which a substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. a direction switching unit for switching a driving direction of the lifting member by the cylinder between ascending and descending; and a second speed that is lower than the first speed; and a control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit. After the direction switching unit switches the driving direction to upward in a state in which the lift member is separated from the substrate, and an upward signal is output, until a preset variable high-speed movement time elapses, the speed is increased. The setting unit sets the ascending/descending speed to the first speed, and when the high-speed movement time elapses, the speed setting unit sets the ascending/descending speed to the second speed , and the high-speed movement time is is set based on the required time from when the control unit switches the driving direction to the upward direction by the direction switching unit and an upward signal is issued until the substrate reaches the upward position where the substrate is in contact with the lift member; The fast moving time is set based on the weight of the substrate.
Further, in the substrate holding device of the present invention, a substrate conveyed by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and the substrate is clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. In the device, a direction switching unit for switching a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward directions and a flow rate of the fluid supplied to the cylinder are switched to set the lifting speed of the lift member to a first speed. and a second speed that is lower than the first speed; and a control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit, wherein the control unit is a period from when the direction switching unit switches the driving direction to upward in a state in which the lift member is separated from the substrate and an upward signal is issued until a preset variable high-speed movement time elapses, The speed setting unit sets the lifting speed to the first speed, and when the high-speed movement time elapses, the speed setting unit sets the lifting speed to the second speed, and the high-speed movement time is set based on the required time from when the control unit switches the driving direction to the upward direction by the direction switching unit and an upward signal is issued until the substrate reaches the upward position where the substrate abuts against the lift member. and the cylinder supports the lift member via a lower receiving block, and the high speed movement time is set based on the weight of the lower supporting block.
Further, in the substrate holding device of the present invention, a substrate conveyed by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and the substrate is clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. In the device, a direction switching unit for switching a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward directions and a flow rate of the fluid supplied to the cylinder are switched to set the lifting speed of the lift member to a first speed. and a second speed that is lower than the first speed; and a control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit, wherein the control unit is a period from when the direction switching unit switches the driving direction to upward in a state in which the lift member is separated from the substrate and an upward signal is issued until a preset variable high-speed movement time elapses, The speed setting unit sets the lifting speed to the first speed, and when the high-speed movement time elapses, the speed setting unit sets the lifting speed to the second speed, and the high-speed movement time is set based on the type of component mounted on the board by a component mounting apparatus in the previous process of the component mounting apparatus equipped with the board holding apparatus.

本発明の基板保持方法は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持方法において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替ステップと、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定ステップと、を含み、前記基板がクランプされた状態で前記方向切替ステップを実行して前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記低速移動時間が経過した時点から、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記低速移動時間は、前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、前記基板が前記コンベアの上面に到達し前記リフト部材が前記基板から離隔した下降位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、前記低速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定されるIn the substrate holding method of the present invention, a substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member driven up and down by a cylinder, clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate, and the substrate is clamped. A substrate holding method in which a predetermined operation is performed on the substrate in a clamped state, and after the operation, the lift member is lowered by the cylinder to release the clamp, wherein the lift member is driven up and down by the cylinder. A direction switching step for switching the driving direction between ascending and descending; a speed setting step of setting one of the second speeds, wherein the direction switching step is executed with the substrate clamped to switch the driving direction to downward and a downward signal is output; The speed setting step is executed to set the ascending/descending speed to the second speed until a preset variable low-speed movement time elapses, and the speed setting is performed after the low-speed movement time elapses. performing a step to set the ascending/descending speed to the first speed, and the low speed moving time is the time when the substrate reaches the upper surface of the conveyor after the driving direction is switched to descending and a descending signal is issued; The time required for the lift member to reach a lowered position separated from the substrate is set, and the slow movement time is set based on the weight of the substrate.

本発明の基板保持方法は、コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持方法において、前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替ステップと、前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定ステップと、を含み、前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替ステップを実行して前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、前記高速移動時間は、前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、前記基板が前記リフト部材に当接した上昇位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、前記高速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される。 A substrate holding method according to the present invention is a substrate holding method in which a substrate conveyed by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate. a direction switching step of switching a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward; and a second speed lower than the first speed, wherein the direction switching step is performed while the lift member is separated from the substrate to perform the driving. The speed setting step is executed to set the ascending/descending speed to the first speed during a period from when the direction is switched to ascending and an ascending signal is output until a preset variable high-speed movement time elapses. the speed setting step is executed to set the ascending/descending speed to the second speed after the high-speed moving time has passed; After being lifted, the time required for the substrate to reach the raised position where it abuts against the lift member is set, and the high-speed movement time is set based on the weight of the substrate.

本発明によれば、基板への衝撃を緩和しつつ、基板のクランプ動作、クランプ解除動作の動作効率を向上させることができる。 According to the present invention, it is possible to improve the operation efficiency of the substrate clamping operation and the clamp releasing operation while mitigating the impact on the substrate.

本発明の一実施の形態の基板保持装置が組み込まれた部品実装装置の構成を示す平面図1 is a plan view showing the configuration of a component mounting apparatus incorporating a substrate holding device according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態の基板保持装置の構成説明図1 is an explanatory diagram of the configuration of a substrate holding device according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態の基板保持装置の空圧回路の説明図1 is an explanatory diagram of a pneumatic circuit of a substrate holding device according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態の基板保持装置が組み込まれた部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図1 is a block diagram showing the configuration of a control system of a component mounting apparatus incorporating a substrate holding apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施の形態の基板保持装置による基板クランプ動作のタイミングチャートの説明図FIG. 4 is an explanatory diagram of a timing chart of substrate clamping operation by the substrate holding device according to one embodiment of the present invention; 本発明の一実施の形態の基板保持装置による基板クランプ解除動作のタイミングチャートの説明図FIG. 4 is an explanatory diagram of a timing chart of substrate clamp releasing operation by the substrate holding device according to the embodiment of the present invention;

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1,図2を参照して、本実施の形態の基板保持装置が組み込まれた部品実装装置1の全体構成を説明する。部品実装装置1は実装ヘッドに装着された吸着ノズルによって部品を保持して基板に実装する機能を有している。 Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. First, with reference to FIGS. 1 and 2, the overall configuration of a component mounting apparatus 1 incorporating a substrate holding apparatus according to the present embodiment will be described. The component mounting apparatus 1 has a function of holding a component by a suction nozzle attached to a mounting head and mounting the component on a substrate.

図1において、基台1aの中央部には、X方向(基板搬送方向)に基板搬送機構2が配設されている。基板搬送機構2は上流側から搬入された基板3を搬送し、以下に説明する部品実装機構による実装作業位置に位置決めする機能を備えるものであり、並行に配設された2条の搬送コンベア2aを有している。基板搬送機構2の中央部には、搬入された基板3を下受けして保持する基板保持機構2cが設けられている。 In FIG. 1, a substrate transfer mechanism 2 is arranged in the X direction (substrate transfer direction) at the central portion of the base 1a. The substrate transport mechanism 2 has a function of transporting the substrate 3 carried in from the upstream side and positioning it at a mounting work position by the component mounting mechanism described below. have. A substrate holding mechanism 2c is provided in the central portion of the substrate transfer mechanism 2 for receiving and holding the substrate 3 that has been carried in. As shown in FIG.

基板保持機構2cは、以下に説明する基板保持動作を実行する。すなわちこの基板保持動作においては、搬送コンベア2aによって搬送される基板3をシリンダ20(図2、図3参照)によって昇降駆動されるリフト部材2eで持ち上げ、リフト部材2eと基板3の上方に位置するクランプ受け部材2bとで挟んでクランプし、基板3がクランプされた状態で基板3に対して所定の作業である部品実装作業を実施し、部品実装作業の後にシリンダ20によってリフト部材2eを下降させてクランプを解除する。 The substrate holding mechanism 2c performs a substrate holding operation described below. That is, in this substrate holding operation, the substrate 3 transported by the transport conveyor 2a is lifted by the lift member 2e which is vertically driven by the cylinder 20 (see FIGS. 2 and 3), and the lift member 2e and the substrate 3 are positioned above the lift member 2e. The board 3 is sandwiched and clamped with the clamp receiving member 2b, and in the state where the board 3 is clamped, the component mounting work, which is a predetermined work, is performed on the board 3. After the component mounting work, the lift member 2e is lowered by the cylinder 20. to release the clamp.

基板搬送機構2の両側には、実装対象の部品を供給する部品供給部4が配置されている。部品供給部4には複数のテープフィーダ5が並列に配置されている。テープフィーダ5は、キャリアテープに保持された部品を以下に説明する部品実装機構による取出位置までピッチ送りする機能を有している。基台1a上面のX方向の1端部上にはY軸移動テーブル6が設けられている。Y軸移動テーブル6には、2台のX軸移動テーブル7がY方向にスライド自在に結合されている。X軸移動テーブル7には、それぞれ実装ヘッド8がX方向にスライド自在に装着されている。 On both sides of the substrate transfer mechanism 2, component supply units 4 for supplying components to be mounted are arranged. A plurality of tape feeders 5 are arranged in parallel in the component supply section 4 . The tape feeder 5 has a function of pitch-feeding the components held on the carrier tape to a pickup position by the component mounting mechanism described below. A Y-axis moving table 6 is provided on one end of the upper surface of the base 1a in the X direction. Two X-axis moving tables 7 are coupled to the Y-axis moving table 6 so as to be slidable in the Y direction. Mounting heads 8 are mounted on the X-axis moving table 7 so as to be slidable in the X direction.

実装ヘッド8は複数の単位保持ヘッド9より成る多連型ヘッドであり、単位保持ヘッド9に装着された部品吸着用の吸着ノズル(図示省略)によってテープフィーダ5から実装対象の部品を真空吸着によって保持する。Y軸移動テーブル6およびX軸移動テーブル7を駆動することにより、実装ヘッド8は部品供給部4と基板搬送機構2に位置決めされた基板3との間で移動する。これにより実装ヘッド8は、保持した部品を基板3に実装する。実装ヘッド8および実装ヘッド8を移動させるヘッド移動機構は、部品供給部4から部品を取り出して基板3に実装する部品実装機構13(図4参照)を構成する。 The mounting head 8 is a multiple head consisting of a plurality of unit holding heads 9, and a part to be mounted is vacuum-sucked from the tape feeder 5 by means of a suction nozzle (not shown) attached to the unit holding head 9 for sucking the part. Hold. By driving the Y-axis moving table 6 and the X-axis moving table 7 , the mounting head 8 moves between the component supply unit 4 and the substrate 3 positioned by the substrate transport mechanism 2 . Thereby, the mounting head 8 mounts the held component on the board 3 . The mounting head 8 and the head moving mechanism for moving the mounting head 8 constitute a component mounting mechanism 13 (see FIG. 4) that picks up a component from the component supply section 4 and mounts it on the board 3 .

X軸移動テーブル7の下面には、それぞれ実装ヘッド8と一体的に移動する基板認識カメラ10が装着されている。ヘッド移動機構を駆動して基板認識カメラ10を基板搬送機構2に保持された基板3の上方へ移動させることにより、基板認識カメラ10は基板3に形成された認識マークを撮像する。部品供給部4と基板搬送機構2との間の実装ヘッド8の移動経路には、部品認識カメラ11,ノズル収納部12が配設されている。部品供給部4から部品を取り出した実装ヘッド8が部品認識カメラ11の上方を所定方向に通過する走査動作を行うことにより、部品認識カメラ11は実装ヘッド8に保持された状態の部品を撮像する。 A substrate recognition camera 10 that moves integrally with the mounting head 8 is mounted on the lower surface of the X-axis moving table 7 . By driving the head moving mechanism to move the board recognition camera 10 above the board 3 held by the board transfer mechanism 2 , the board recognition camera 10 picks up an image of the recognition mark formed on the board 3 . A component recognition camera 11 and a nozzle storage unit 12 are arranged on the movement path of the mounting head 8 between the component supply unit 4 and the board transfer mechanism 2 . The component recognition camera 11 picks up an image of the component held by the mounting head 8 by performing a scanning operation in which the mounting head 8 picks up the component from the component supply unit 4 and passes over the component recognition camera 11 in a predetermined direction. .

ノズル収納部12には,単位保持ヘッド9に装着される吸着ノズルが部品種に対応して複数収納保持されている。実装ヘッド8がノズル収納部12にアクセスしてノズル交換動作を行うことにより、単位保持ヘッド9に装着される吸着ノズルを目的および対象とする部品種に応じて交換することができる。 A plurality of suction nozzles to be attached to the unit holding head 9 are stored and held in the nozzle storage section 12 in correspondence with the types of parts. When the mounting head 8 accesses the nozzle storage section 12 and performs a nozzle replacement operation, the suction nozzle mounted on the unit holding head 9 can be replaced according to the purpose and target component type.

図2を参照して、基板搬送機構2の構成および機能について説明する。図2に示すように、基板搬送機構2は並行に配設された2条の搬送コンベア2aより構成される。搬送コンベア2aの内側には、基板3を搬送する搬送ベルトを備えたコンベア機構2dが搬送方向に沿って設けられている。基板3の両側端部をコンベア機構2dの搬送ベルトに当接させた状態でコンベア機構2dを駆動することにより、基板3は基板搬送方向に搬送される。 The configuration and function of the substrate transfer mechanism 2 will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the substrate transport mechanism 2 is composed of two transport conveyors 2a arranged in parallel. Inside the transport conveyor 2a, a conveyor mechanism 2d having a transport belt for transporting the substrate 3 is provided along the transport direction. The substrate 3 is conveyed in the substrate conveying direction by driving the conveyor mechanism 2d with both side ends of the substrate 3 in contact with the conveyor belt of the conveyor mechanism 2d.

基板搬送機構2の中央部には、部品実装機構による作業位置に対応して基板保持機構2cが配設されている。基板保持機構2cは、水平な板状の下受けプレート21をシリンダ20によって昇降(矢印a)させる構成となっている。下受けプレート21の上面には、基板3の側端部に対応する位置に2つのリフト部材2eが、また基板3を下面側から支持する位置に複数の下受けピン22が立設されている。 A substrate holding mechanism 2c is provided in the central portion of the substrate transport mechanism 2 so as to correspond to the working position of the component mounting mechanism. The substrate holding mechanism 2c has a configuration in which a horizontal plate-shaped lower receiving plate 21 is moved up and down (arrow a) by a cylinder 20. As shown in FIG. On the upper surface of the lower receiving plate 21, two lift members 2e are provided at positions corresponding to the side ends of the substrate 3, and a plurality of lower receiving pins 22 are provided at positions for supporting the substrate 3 from the lower surface side. .

図2(b)に示すように、シリンダ20を駆動して下受けプレート21を上昇させる(矢印b)ことにより、基板3は複数の下受けピン22によって下受け支持されるとともに、基板3の両側端部がリフト部材2eによってクランプ受け部材2bの下面に押し付けられてクランプされる。部品実装機構による部品実装作業はこのようにして基板3がクランプされた状態で行われる。そして部品実装作業の後には、シリンダ20によって下受けプレート21とともにリフト部材2eおよび下受けピン22を下降させて、基板3のクランプおよび下受けを解除する。 As shown in FIG. 2B, by driving the cylinder 20 to raise the lower receiving plate 21 (arrow b), the substrate 3 is supported by the plurality of lower receiving pins 22 and the substrate 3 is supported. Both side ends are pressed and clamped against the lower surface of the clamp receiving member 2b by the lift member 2e. The component mounting operation by the component mounting mechanism is performed while the substrate 3 is clamped in this manner. After the component mounting work, the lift member 2e and the lower receiving pins 22 are lowered together with the lower receiving plate 21 by the cylinder 20 to release the clamping of the substrate 3 and the lower receiving.

ここで図3を参照して、基板保持機構2cにおけるシリンダ20の動作、シリンダ20のエア駆動に用いられる空圧制御機器および空圧回路系について説明する。前述のようにシリンダ20を駆動することにより、下受けプレート21を介してリフト部材2eを昇降させて、基板保持機構2cにおける基板3と、リフト部材2eやコンベア機構2dとの相対位置を変更することが可能となっている。シリンダ20には、ロッドの突没状態を検出するためのクランプ上限センサSS1、クランプ下限センサSS2、基板乗り移りセンサSS3が設けられている。 Here, with reference to FIG. 3, the operation of the cylinder 20 in the substrate holding mechanism 2c, and the air pressure control equipment and air pressure circuit system used to drive the cylinder 20 with air will be described. By driving the cylinder 20 as described above, the lift member 2e is moved up and down via the lower receiving plate 21 to change the relative position of the substrate 3 in the substrate holding mechanism 2c and the lift member 2e and conveyor mechanism 2d. It is possible. The cylinder 20 is provided with a clamp upper limit sensor SS1, a clamp lower limit sensor SS2, and a substrate transfer sensor SS3 for detecting the protruding/retracting state of the rod.

シリンダ20のロッドが上限位置まで突出して基板3がクランプ受け部材2bに押しつけられたクランプ状態では、クランプ上限センサSS1が検出信号を発出し、ロッドが下限位置まで没入してクランプ下限センサSS2が検出信号を発出する。そして基板3がクランプ状態から下降する過程において(矢印c)、図3に示すように基板3の側端部がコンベア機構2dの搬送ベルトに乗り移ったタイミングは、基板乗り移りセンサSS3によって検出される。すなわち基板乗り移りセンサSS3によって検出される高さ位置は、基板3が下降してコンベア機構2dの搬送ベルトの上面に到達しリフト部材2eが基板3から離隔する位置である下降位置に相当する。 In the clamped state in which the rod of the cylinder 20 protrudes to the upper limit position and the substrate 3 is pressed against the clamp receiving member 2b, the clamp upper limit sensor SS1 emits a detection signal, and the rod is retracted to the lower limit position and the clamp lower limit sensor SS2 detects it. emit a signal. In the process of lowering the substrate 3 from the clamped state (arrow c), the substrate transfer sensor SS3 detects the timing at which the side edge of the substrate 3 transfers to the conveyor belt of the conveyor mechanism 2d as shown in FIG. That is, the height position detected by the substrate transfer sensor SS3 corresponds to the lowered position where the substrate 3 descends to reach the upper surface of the conveyor belt of the conveyor mechanism 2d and the lift member 2e is separated from the substrate 3.

空圧制御機器及び空圧回路について説明する。シリンダ20に設けられた下降ポート20a、上昇ポート20bには、それぞれエア回路29a、29bが接続されている。エア回路29a、29bには、エア供給源23から供給されるシリンダ駆動用の空圧回路がシリンダ上下動バルブSV1、速度切替バルブSV2を介して接続されている。 A pneumatic control device and a pneumatic circuit will be described. Air circuits 29a and 29b are connected to the descending port 20a and the ascending port 20b provided in the cylinder 20, respectively. The air circuits 29a and 29b are connected to a cylinder driving pneumatic circuit supplied from the air supply source 23 via a cylinder up/down valve SV1 and a speed switching valve SV2.

シリンダ上下動バルブSV1、速度切替バルブSV2の機能を説明する。シリンダ上下動バルブSV1は下降側ソレノイドSL1A、上昇側ソレノイドSL1Bの二つのソレノイドを備えた5ポート3位置(クローズドセンタ)のダブルソレノイド型のバルブである。ここで下降側ソレノイドSL1Aは下降ポート20aに給気するソレノイドであり、上昇側ソレノイドSL1Bは上昇ポート20bに給気するソレノイドである。また速度切替バルブSV2は、ソレノイドSL2を備えた3ポート2位置のシングルソレノイド型のバルブである。速度切替バルブSV2のAポートは、エア回路29aを介してシリンダ20の下降ポート20aに接続されている。 The functions of the cylinder vertical motion valve SV1 and the speed switching valve SV2 will be described. The cylinder vertical movement valve SV1 is a 5-port, 3-position (closed center) double solenoid type valve having two solenoids, a lowering solenoid SL1A and an ascending solenoid SL1B. Here, the descending solenoid SL1A is a solenoid for supplying air to the descending port 20a, and the ascending solenoid SL1B is a solenoid for supplying air to the ascending port 20b. The speed switching valve SV2 is a 3-port, 2-position single solenoid valve provided with a solenoid SL2. The A port of the speed switching valve SV2 is connected to the lowering port 20a of the cylinder 20 via the air circuit 29a.

シリンダ上下動バルブSV1のセンタ位置にあるPポートには、エア供給源23に通じるエア供給配管24が接続されており、EAポート、EBポートにはマフラ25が接続されている。シリンダ上下動バルブSV1のAポート、Bポートのうちの一方のBポートはエア回路29bを介してシリンダ20の上昇ポート20bに接続されている。 An air supply pipe 24 leading to an air supply source 23 is connected to the P port at the center position of the cylinder up/down valve SV1, and a muffler 25 is connected to the EA port and the EB port. One B port of the A port and B port of the cylinder vertical movement valve SV1 is connected to the rising port 20b of the cylinder 20 via the air circuit 29b.

シリンダ上下動バルブSV1のAポートにはエア回路28が接続されている。ここでエア回路28は第1回路28a、第2回路28bに分岐しており、一方の第2回路28bには複数の逆止弁と可変絞りを組み合わせて構成されて絞り値の調整が可能な絞り調整部27が介設されている。第1回路28aは速度切替バルブSV2のPポートに接続されており、第2回路28bは速度切替バルブSV2のRポートに接続されている。 An air circuit 28 is connected to the A port of the cylinder up/down valve SV1. Here, the air circuit 28 is branched into a first circuit 28a and a second circuit 28b, and one of the second circuits 28b is configured by combining a plurality of check valves and a variable throttle, and the throttle value can be adjusted. A diaphragm adjustment unit 27 is interposed. The first circuit 28a is connected to the P port of the speed switching valve SV2, and the second circuit 28b is connected to the R port of the speed switching valve SV2.

このシリンダ上下動バルブSV1、速度切替バルブSV2の組み合わせにおいて、シリンダ上下動バルブSV1を切り替えることにより、エア供給源23からの給気をシリンダ20の下降ポート20a、上昇ポート20bのいずれか一方に切り替えて、シリンダ20の駆動方向を上昇と下降とに切り替えることができる。 In this combination of the cylinder vertical movement valve SV1 and the speed switching valve SV2, by switching the cylinder vertical movement valve SV1, the air supplied from the air supply source 23 is switched to either the lowering port 20a or the rising port 20b of the cylinder 20. , the driving direction of the cylinder 20 can be switched between ascending and descending.

すなわち下降側ソレノイドSL1A、上昇側ソレノイドSL1Bのいずれかを励磁して、図3に示す中立位置からシリンダ上下動バルブSV1をいずれかの方向に切り替えることにより、シリンダ20によるリフト部材2eの昇降駆動における駆動方向の切替が可能となっている。したがってシリンダ上下動バルブSV1は、シリンダ20によるリフト部材2eの昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部32a(図4参照)として機能する。 That is, by energizing either the descending solenoid SL1A or the ascending solenoid SL1B to switch the cylinder vertical movement valve SV1 from the neutral position shown in FIG. It is possible to switch the driving direction. Therefore, the cylinder vertical motion valve SV1 functions as a direction switching portion 32a (see FIG. 4) that switches the driving direction of the vertical movement of the lift member 2e by the cylinder 20 between upward and downward.

また速度切替バルブSV2を切り替えることにより、エア回路29aを第1回路28a、または絞り調整部27が介設された第2回路28bに選択的に接続することができる。第2回路28bをエア回路29aに接続した状態では、シリンダ上下動バルブSV1から速度切替バルブSV2を経てシリンダ20へ至る給気回路に、絞り調整部27が介在した回路構成となる。 Further, by switching the speed switching valve SV2, the air circuit 29a can be selectively connected to the first circuit 28a or the second circuit 28b in which the throttle adjusting section 27 is interposed. When the second circuit 28b is connected to the air circuit 29a, the circuit configuration is such that the throttle adjusting section 27 is interposed in the air supply circuit from the cylinder up/down valve SV1 to the cylinder 20 via the speed switching valve SV2.

すなわちエア回路29aを介して下降ポート20aに給気してシリンダ20を駆動する下降動作においては、上述の給気回路を絞り調整部27によって絞る形態となる。このようにして給気回路が絞られることにより、シリンダ20に供給される流体である空気の流量が制限され、シリンダ20の下降動作速度、換言すればリフト部材2eの下降速度が低下する。 That is, in the lowering operation in which air is supplied to the lowering port 20a through the air circuit 29a to drive the cylinder 20, the above-described air supply circuit is throttled by the throttle adjuster 27. As shown in FIG. By narrowing the air supply circuit in this manner, the flow rate of air, which is the fluid supplied to the cylinder 20, is restricted, and the descending speed of the cylinder 20, in other words, the descending speed of the lift member 2e is reduced.

またエア回路29bを介して上昇ポート20bに給気してシリンダ20を駆動する上昇動作においては、下降ポート20aから速度切替バルブSV2を経てシリンダ上下動バルブSV1に戻る戻り回路を絞り調整部27によって絞る形態となる。このようにして戻り回路が絞られることにより、下降動作と同様にシリンダ20に供給される流体である空気の流量が制限され、シリンダ20の上昇動作速度、換言すればリフト部材2eの上昇速度が低下する。 In the ascending operation in which air is supplied to the ascending port 20b through the air circuit 29b to drive the cylinder 20, the return circuit returning from the descending port 20a to the cylinder vertical movement valve SV1 via the speed switching valve SV2 is controlled by the throttle adjustment unit 27. It becomes a narrowed form. By throttling the return circuit in this way, the flow rate of the air, which is the fluid supplied to the cylinder 20, is restricted in the same manner as in the downward movement, and the upward movement speed of the cylinder 20, in other words, the upward speed of the lift member 2e is reduced. descend.

このように本実施の形態に示す基板保持機構2cにおいては、上述の給気回路に絞り調整部27を介在させずにシリンダ20に下降動作を行わせた場合における下降速度は第1下降速度(第1の速度)であり、給気回路に絞り調整部27を介在させてシリンダ20に下降動作を行わせた場合における下降速度は第1下降速度よりも低速の第2下降速度(第2の速度)である。また上述の戻り回路に絞り調整部27を介在させずにシリンダ20に上昇動作を行わせた場合における上昇速度は第1上昇速度(第1の速度)であり、戻り回路に絞り調整部27を介在させてシリンダ20に上昇動作を行わせた場合における上昇速度は、第1上昇速度よりも低速の第2上昇速度(第2の速度)である。 As described above, in the substrate holding mechanism 2c according to the present embodiment, the lowering speed when the cylinder 20 is lowered without interposing the throttle adjusting portion 27 in the air supply circuit is the first lowering speed ( 1st speed), and the descent speed in the case where the cylinder 20 is moved downward by interposing the throttle adjustment portion 27 in the air supply circuit is the second descent speed (second descent speed) which is lower than the first descent speed speed). The rising speed when the cylinder 20 is caused to move up without interposing the throttle adjusting unit 27 in the return circuit is the first rising speed (first speed), and the throttle adjusting unit 27 is installed in the return circuit. The ascending speed when the cylinder 20 is interposed to perform the ascending operation is the second ascending speed (second speed) lower than the first ascending speed.

そして上述構成において、シリンダ上下動バルブSV1は、シリンダ20に供給される流体である空気の流量を切り替えることにより、リフト部材2eの昇降速度を第1の速度および第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部32b(図4参照)として機能している。 In the above configuration, the cylinder up/down valve SV1 switches the flow rate of air, which is the fluid supplied to the cylinder 20, to set the lifting/lowering speed of the lift member 2e between the first speed and a lower speed than the first speed. It functions as a speed setting unit 32b (see FIG. 4) that sets any of the second speeds.

なお、上述の第1の速度は基板保持機構2cの作業動作効率を極力向上させるために、安定した動作が可能な範囲で極力高速に設定することが望ましい。これに対し、第2の速度は基板保持機構2cによる基板保持動作において基板3の昇降速度を基板3への衝撃を緩和することが可能な安全速度に維持することを目的としており、実際の作業における経験値に基づいて適宜設定される。 It is desirable to set the first speed as high as possible within a range in which stable operation is possible, in order to improve the work operation efficiency of the substrate holding mechanism 2c as much as possible. On the other hand, the second speed is intended to maintain the lifting/lowering speed of the substrate 3 in the substrate holding operation by the substrate holding mechanism 2c at a safe speed at which the impact on the substrate 3 can be mitigated. is appropriately set based on the empirical value in

次に図4を参照して、本実施の形態における基板保持装置が組み込まれた部品実装装置1の制御系の構成について説明する。図4において、部品実装装置1は制御部30、記憶部33、機構駆動部37、画像認識部38を備えている。制御部30は記憶部33に記憶された各種のデータに基づき、以下に説明する各部を制御して部品実装装置1による部品実装動作や各種の作業処理を実行させる。 Next, with reference to FIG. 4, the configuration of the control system of the component mounting apparatus 1 in which the board holding device according to the present embodiment is incorporated will be described. 4, the component mounting apparatus 1 includes a control section 30, a storage section 33, a mechanism driving section 37, and an image recognition section . Based on various data stored in the storage unit 33, the control unit 30 controls each unit described below to cause the component mounting apparatus 1 to perform component mounting operations and various work processes.

制御部30は内部処理機能としての実装処理部31、基板保持処理部32を備えている。実装処理部31が記憶部33に記憶された実装データ34に基づき、機構駆動部37を制御して部品実装機構13、基板搬送機構2を駆動することにより、部品供給部4から取り出した部品を基板3に実装する部品実装作業が実行される。 The control unit 30 has a mounting processing unit 31 and a substrate holding processing unit 32 as internal processing functions. Based on the mounting data 34 stored in the storage unit 33, the mounting processing unit 31 controls the mechanism driving unit 37 to drive the component mounting mechanism 13 and the substrate transport mechanism 2, thereby picking up the components from the component supply unit 4. A component mounting operation for mounting on the board 3 is performed.

また基板保持処理部32は、方向切替部32a、速度設定部32bを備えている。方向切替部32a、速度設定部32bは、図3に示すシリンダ上下動バルブSV1、速度切替バルブSV2によって実現される機能である。すなわち方向切替部32aは、シリンダ20によるリフト部材2eの昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える。また速度設定部32bは、シリンダ20に供給される流体である空気の流量を切り替えることにより、リフト部材2eの昇降速度を第1の速度および第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する。 Further, the substrate holding processing section 32 includes a direction switching section 32a and a speed setting section 32b. The direction switching unit 32a and the speed setting unit 32b are functions realized by the cylinder vertical movement valve SV1 and the speed switching valve SV2 shown in FIG. That is, the direction switching portion 32a switches the driving direction of the lifting member 2e driven by the cylinder 20 between ascending and descending. In addition, the speed setting unit 32b switches the flow rate of the air, which is the fluid supplied to the cylinder 20, to set the lifting/lowering speed of the lift member 2e between a first speed and a second speed lower than the first speed. Set to either.

基板保持処理部32が機構駆動部37を制御して基板保持機構2cを駆動することにより、前述の基板保持動作が実行される。したがって基板保持機構2cおよび基板保持処理部32を制御する制御部30は、この基板保持動作を実行する基板保持装置を構成する。なお本実施の形態では、このような基板保持装置が部品実装装置1に組み込まれた実施例を示しているが、本発明はこの実施例には限定されない。すなわちコンベアによって搬送された基板を持ち上げて基板をクランプして保持する構成であれば、本発明の適用対象となる。 The above-described substrate holding operation is performed by the substrate holding processing section 32 controlling the mechanism driving section 37 to drive the substrate holding mechanism 2c. Therefore, the control section 30 that controls the substrate holding mechanism 2c and the substrate holding processing section 32 constitutes a substrate holding device that executes this substrate holding operation. Although this embodiment shows an example in which such a board holding device is incorporated in the component mounting apparatus 1, the present invention is not limited to this example. That is, the present invention can be applied to any configuration in which a substrate conveyed by a conveyor is lifted and held by clamping.

基板保持処理部32による機構駆動部37の制御においては、記憶部33に記憶された速度パラメータ35、高低速切り替えタイマ値36が参照される。速度パラメータ35は、基板保持機構2cにおけるリフト部材2eの昇降速度を規定するパラメータである。ここでは、基板3を持ち上げてクランプする上昇動作における上昇速度をそれぞれ規定する高低二つの第1上昇速度35a、第2上昇速度35bおよび基板3を下降させてクランプを解除する下降動作における下降速度をそれぞれ規定する高低二つの第1下降速度35cおよび第2下降速度35dが含まれている。 In controlling the mechanism drive unit 37 by the substrate holding processing unit 32, the speed parameter 35 and the high/low speed switching timer value 36 stored in the storage unit 33 are referred to. The speed parameter 35 is a parameter that defines the lifting speed of the lift member 2e in the substrate holding mechanism 2c. Here, two high and low first ascending speeds 35a and second ascending speeds 35b, which respectively define the ascending speed in the ascending operation for lifting and clamping the substrate 3, and the lowering speed in the descending operation for lowering the substrate 3 and releasing the clamp. There are two first descent speeds 35c and second descent speeds 35d defined respectively high and low.

高低速切り替えタイマ値36はこれらの高低二つの速度を切り替えるタイミングを規定するタイマ値である。ここでは、高低速切り替えタイマ値36は上昇時切替えタイマ値T1、下降時切替えタイマ値T2を含んでいる。上昇時切替えタイマ値T1は、基板3を持ち上げてクランプする上昇動作における上昇速度の切り替えタイミング、すなわち高速である第1上昇速度35aから低速である第2上昇速度35bに切り替えるタイミングを規定する(図5に示す上昇時切替えタイマ値T1参照)。また下降時切替えタイマ値T2は、基板3を下降させてクランプを解除する下降動作における下降速度の切り替えタイミング、すなわち低速である第1下降速度35cから高速である第2下降速度35dに切り替えるタイミングを規定する(図6に示す下降時切替えタイマ値T2参照)。 A high/low speed switching timer value 36 is a timer value that defines the timing for switching between these two speeds. Here, the high/low speed switching timer value 36 includes a rising switching timer value T1 and a falling switching timer value T2. The rising time switching timer value T1 defines the switching timing of the rising speed in the rising operation of lifting and clamping the substrate 3, that is, the timing of switching from the high first rising speed 35a to the low second rising speed 35b (Fig. 5). The lowering switching timer value T2 determines the switching timing of the lowering speed in the lowering operation for lowering the substrate 3 to release the clamp, that is, the timing for switching from the low first lowering speed 35c to the high second lowering speed 35d. (Refer to timer value T2 for switching during descent shown in FIG. 6).

制御部30の基板保持処理部32が方向切替部32a、速度設定部32bを制御することにより実行される基板保持動作においては、上述の速度パラメータ35および高低速切り替えタイマ値36が参照される。すなわち基板3を持ち上げてクランプするクランプ動作においては、制御部30はリフト部材2eが基板3から離れた状態で方向切替部32aにより駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間である上昇時切替えタイマ値T1(図5参照)が経過するまでの間、速度設定部32bにより昇降速度を高速の第1上昇速度35a(第1の速度)に設定する。そして上昇時切替えタイマ値T1が経過した時点から、速度設定部32bにより昇降速度を低速の第2上昇速度35b(第2の速度)に設定する。 In the substrate holding operation executed by the substrate holding processing unit 32 of the control unit 30 controlling the direction switching unit 32a and the speed setting unit 32b, the speed parameter 35 and the high/low speed switching timer value 36 are referred to. That is, in the clamping operation of lifting and clamping the substrate 3, the control unit 30 switches the driving direction to upward by the direction switching unit 32a in a state in which the lift member 2e is separated from the substrate 3, and the upward signal is output. The speed setting unit 32b sets the ascending/descending speed to a high first ascending speed 35a (first speed) until the rising switching timer value T1 (see FIG. 5), which is the variable high-speed movement time, elapses. do. Then, after the rising switching timer value T1 has elapsed, the speed setting unit 32b sets the lifting speed to a low second rising speed 35b (second speed).

また基板3を下降させてクランプを解除する基板クランプ動作においては、基板3がクランプされた状態で方向切替部32aにより駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間である下降時切替えタイマ値T2(図6参照)が経過するまでの間、速度設定部32bにより昇降速度を低速の第2下降速度35d(第2の速度)に設定する。そして下降時切替えタイマ値T2が経過した時点から、速度設定部32bにより昇降速度を高速の第1下降速度35c(第1の速度)に設定する。 In the substrate clamping operation in which the substrate 3 is lowered and the clamp is released, the driving direction is switched to the downward direction by the direction switching unit 32a while the substrate 3 is clamped, and the descending signal is output. The speed setting unit 32b sets the ascending/descending speed to a low second descending speed 35d (second speed) until the descent time switching timer value T2 (see FIG. 6), which is the low-speed movement time, elapses. After the timer value T2 for switching during descent has elapsed, the speed setting unit 32b sets the lifting speed to a high first descent speed 35c (first speed).

クランプ上限センサSS1、クランプ下限センサSS2、基板乗り移りセンサSS3からの検出出力は制御部30に取り込まれ、基板保持処理部32による基板保持動作におけるシーケンス制御に使用されるほか、以下に説明するタイマ値設定部39によるタイマ値設定処理に使用される。画像認識部38は、基板認識カメラ10、部品認識カメラ11による撮像結果を認識処理する。これにより、基板搬送機構2に位置決めされた基板3、基板3における実装点の位置が認識されるとともに、単位保持ヘッド9に保持された状態の部品の識別や位置認識が行われる。部品実装機構13による部品の基板3への実装に際しては、これらの認識処理結果を反映して部品搭載位置の補正が行われる。 Detection outputs from the clamp upper limit sensor SS1, the clamp lower limit sensor SS2, and the substrate transfer sensor SS3 are taken into the control unit 30 and used for sequence control in the substrate holding operation by the substrate holding processing unit 32. In addition, a timer value to be described below is used. It is used for timer value setting processing by the setting unit 39 . The image recognition unit 38 performs recognition processing on the results of imaging by the board recognition camera 10 and the component recognition camera 11 . As a result, the board 3 positioned by the board transfer mechanism 2 and the positions of the mounting points on the board 3 are recognized, and the components held by the unit holding head 9 are identified and their positions are recognized. When the components are mounted on the substrate 3 by the component mounting mechanism 13, the component mounting position is corrected by reflecting the results of these recognition processes.

次に、上述の上昇時切替えタイマ値T1、下降時切替えタイマ値T2の設定処理について説明する。これらのタイマ値の設定は、制御部30が備えたタイマ値設定部39の演算処理機能によって実行される。タイマ値の設定は種々の方法によって行うことができ、例えば以下のような方法によって行われる。まず一つの方法は、生産対象となる基板3を対象として実際にクランプ動作、クランプ解除動作を行わせて、それらの動作における基板3の昇降に要する所要時間を求め、その所要時間に基づいてタイマ値を設定する方法である。 Next, the process of setting the above switching timer value T1 for rising and the switching timer value T2 for falling will be described. The setting of these timer values is executed by the arithmetic processing function of the timer value setting section 39 provided in the control section 30 . The timer value can be set by various methods, for example, the following method. First, one method is to actually perform the clamping operation and the clamp releasing operation on the substrate 3 to be produced, determine the time required for the substrate 3 to move up and down in these operations, and set a timer based on the required time. It's a way to set the value.

すなわちクランプ動作における高速移動時間である上昇時切替えタイマ値T1については、制御部30が方向切替部32aにより駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、基板3がリフト部材2eに当接した上昇位置(図5に示すリフト部材の基板当接高さHb*参照)に到達するまでの所要時間に基づいて設定される。またクランプ解除動作における低速移動時間である下降時切替えタイマ値T2については、制御部30が方向切替部32aにより駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、基板3がコンベア機構2dの上面に到達しリフト部材2eが基板3から離隔した下降位置(図6に示す基板の乗り移り高さHb参照)に到達するまでの所要時間に基づいて設定される。 That is, for the rising switching timer value T1, which is the high-speed movement time in the clamping operation, after the control unit 30 switches the driving direction to the rising direction by the direction switching unit 32a and the rising signal is output, the substrate 3 hits the lift member 2e. It is set based on the required time to reach the raised position (see substrate contact height Hb* of the lift member shown in FIG. 5). As for the timer value T2 for descent, which is the low-speed movement time in the clamp release operation, after the control unit 30 switches the driving direction to the descent by the direction switching unit 32a and the descent signal is output, the substrate 3 is moved to the conveyer mechanism 2d. It is set based on the time required for the lift member 2e to reach the upper surface and reach the lowered position separated from the substrate 3 (see substrate transfer height Hb shown in FIG. 6).

具体的には、実際の基板3を低速でテスト昇降させ、そのテスト昇降における所要時間をクランプ上限センサSS1、クランプ下限センサSS2、基板乗り移りセンサSS3の検出結果から求める。そして求められた所要時間から当該基板3を昇降させる際の駆動負荷を推定して、その駆動負荷に最適な高低速切り替えタイマ値36を設定する。このとき、シリンダ20は下受けプレート21などの付帯動作部分を介してリフト部材2eを支持していることから、基板3を昇降させる際の駆動負荷には下受けプレート21の重量を含めた値が用いられる。 Specifically, the actual board 3 is lifted and lowered at a low speed, and the time required for the test lift is obtained from the detection results of the clamp upper limit sensor SS1, clamp lower limit sensor SS2, and board transfer sensor SS3. Then, the drive load for raising and lowering the substrate 3 is estimated from the obtained required time, and the optimum high/low speed switching timer value 36 for the drive load is set. At this time, since the cylinder 20 supports the lift member 2e via ancillary motion parts such as the lower receiving plate 21, the driving load when the substrate 3 is moved up and down includes the weight of the lower receiving plate 21. is used.

すなわち、高速移動時間である上昇時切替えタイマ値T1、低速移動時間である下降時切替えタイマ値T2は、基板3の重量、下受けプレート21の重量に基づいて設定される。テスト昇降を行ってタイマ値を設定する処理は、当該基板品種の生産データ作成時に予め実行するようにしてもよく、また実生産における自動運転開始時にその都度実行するようにしてもよい。 That is, the rising switching timer value T1, which is the high-speed movement time, and the descent switching timer value T2, which is the low-speed movement time, are set based on the weight of the substrate 3 and the weight of the lower support plate 21 . The process of performing test lifting and setting the timer value may be executed in advance when production data for the board type is created, or may be executed each time automatic operation is started in actual production.

なお上述のように実際の基板3を対象としたテスト昇降に基づいてタイマ値を求める替わりに、生産対象の基板3の衝撃に対する許容度を予めランク付けしておき、このランク付けに基づいて基板クランプ動作、基板クランク解除動作における昇降速度の高低速切り替えタイミングを規定するようにしてもよい。すなわち、ある程度の衝撃が作用しても部品の位置ずれなどの不具合が生じないような特性を有するランクの基板3を対象とする場合には、高速移動時間を極力長く設定し低速移動時間を極力短く設定して、基板保持動作の動作効率を向上させるようにする。 Instead of obtaining the timer value based on the test lifting and lowering of the actual substrate 3 as described above, the tolerance to the impact of the substrate 3 to be produced is ranked in advance, and the substrate is measured based on this ranking. The timing of switching between high and low speeds in the clamping operation and substrate crank releasing operation may be defined. That is, in the case where the substrate 3 is of a rank that does not cause problems such as misalignment of parts even if a certain amount of impact is applied, the high speed movement time is set as long as possible and the low speed movement time is set as long as possible. It is set short so as to improve the operating efficiency of the substrate holding operation.

この場合には、基板クランプ動作は新たに基板保持機構2cに搬入された基板3が対象であることから、上述の基板3のランクは当該基板保持機構2cを備えた部品実装装置1の前工程の部品実装装置によって基板3に実装された部品の種類によって規定される。すなわち、基板クランプ動作における高速移動時間は、基板保持装置である基板保持機構2cを備えた部品実装装置1の前工程の部品実装装置によって基板3に実装された部品の種類に基づいて設定される。 In this case, since the target of the substrate clamping operation is the substrate 3 newly carried into the substrate holding mechanism 2c, the rank of the above substrate 3 is the pre-process of the component mounting apparatus 1 equipped with the substrate holding mechanism 2c. is defined by the type of component mounted on the board 3 by the component mounting apparatus. That is, the high-speed movement time in the board clamping operation is set based on the type of component mounted on the board 3 by the component mounting apparatus in the preceding process of the component mounting apparatus 1 equipped with the board holding mechanism 2c as the board holding apparatus. .

また基板クランプ解除動作において下降動作の対象となる基板3には、前工程において実装された部品に加えて当該部品実装装置1によって実装された部品を含んでいる可能性がある。このため、基板クランプ解除動作における低速移動時間は、基板保持機構2cを備えた部品実装装置1によって基板3に実装された部品、または当該部品実装装置1の前工程の部品実装装置によって基板3に実装された部品の種類に基づいて設定される。 Further, there is a possibility that the board 3 to be lowered in the board clamp release operation may include components mounted by the component mounting apparatus 1 in addition to the components mounted in the previous process. For this reason, the low-speed movement time in the board clamp release operation is the time required for the component mounted on the board 3 by the component mounting apparatus 1 having the board holding mechanism 2c or the component mounting apparatus in the previous process of the component mounting apparatus 1 to move the component onto the board 3. Set based on the type of component mounted.

次に上記構成の部品実装装置1において基板保持機構2cによって基板3を保持する基板保持方法について説明する。この基板保持方法は、制御部30が基板保持処理部32を介して機構駆動部37を制御することによって実行されるものであり、搬送コンベア2aによって搬送される基板3をシリンダ20(図2、図3参照)によって昇降駆動されるリフト部材2eで持ち上げ、リフト部材2eと基板3の上方に位置するクランプ受け部材2bとで挟んでクランプする基板クランプ動作と、基板3がクランプされた状態で基板3に対して所定の作業である部品実装作業を実施し、部品実装作業の後にシリンダ20によってリフト部材2eを下降させてクランプを解除する基板クランプ解除動作とを含んで構成されている。 Next, a board holding method for holding the board 3 by the board holding mechanism 2c in the component mounting apparatus 1 configured as described above will be described. This substrate holding method is executed by the control unit 30 controlling the mechanism driving unit 37 via the substrate holding processing unit 32, and the substrate 3 conveyed by the conveyer 2a is moved by the cylinder 20 (FIG. 2, FIG. 2). FIG. 3) is lifted by a lift member 2e that is driven up and down, and the substrate is clamped by being sandwiched between the lift member 2e and a clamp receiving member 2b positioned above the substrate 3, and the substrate 3 is clamped. 3 is subjected to a component mounting operation, which is a predetermined operation, and after the component mounting operation, the lift member 2e is lowered by the cylinder 20 to release the clamp.

図5、図6は、この基板保持方法における基板クランプ動作、基板クランプ解除動作のタイミングチャートをそれぞれ示している。この基板保持方法は、基板クランプ動作においてリフト部材2eで持ち上げられた基板3を下降させてクランプを解除する動作を含むことから、シリンダ20によるリフト部材2eの昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替ステップを含んでいる。 5 and 6 show timing charts of the substrate clamping operation and the substrate clamping release operation in this substrate holding method, respectively. This substrate holding method includes the operation of lowering the substrate 3 lifted by the lift member 2e in the substrate clamping operation to release the clamp. includes a direction switching step of switching to

さらに、基板3を上昇させる過程において上昇速度を高速から低速に切り替え、また基板3を下降させる過程において下降速度を低速から高速に切り替えるようにしていることから、シリンダ20に供給される流体の流量を切り替えることにより、リフト部材2eの昇降速度を第1の速度(第1上昇速度35a、35c)および第1の速度よりも低速である第2の速度(第2上昇速度35b、第2下降速度35d)のいずれかに設定する速度設定ステップを含んでいる。 Furthermore, since the rising speed is switched from high speed to low speed in the process of lifting the substrate 3, and the lowering speed is switched from low speed to high speed in the process of lowering the substrate 3, the flow rate of the fluid supplied to the cylinder 20 is by switching the lifting speed of the lift member 2e between the first speed (first rising speeds 35a and 35c) and the second speed (second lifting speed 35b, second lowering speed 35d).

図5に示す基板クランプ動作において、タイミングt1にて上昇信号が出されると、シリンダ上下動バルブSV1では上昇側がONとなり、下降側がOFFとなる。これとともに、速度切替バルブSV2ではタイミングt1から予め設定された上昇時切替えタイマ値T1が経過するタイミングt2までの間、上昇速度を高速に設定する。すなわちリフト部材2eが基板3から離れた状態で前述の方向切替ステップを実行して、駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから高速移動時間である上昇時切替えタイマ値T1が経過するまでの間、速度設定ステップを実行して昇降速度を高速の第1の速度である第1上昇速度35aに設定する。 In the substrate clamping operation shown in FIG. 5, when the rise signal is output at timing t1, the rise side of the cylinder vertical movement valve SV1 is turned ON, and the fall side is turned OFF. At the same time, the speed switching valve SV2 sets the rising speed to a high speed from the timing t1 to the timing t2 when the preset rising switching timer value T1 elapses. That is, the above-described direction switching step is executed while the lift member 2e is separated from the substrate 3, the driving direction is switched to the upward direction, and the upward switching timer value T1, which is the high-speed movement time, elapses after the upward signal is output. Until then, the speed setting step is executed to set the lifting speed to the first rising speed 35a, which is a high first speed.

これにより、シリンダ20は排気回路に絞り調整部27が介在しない状態で高速で上昇動作を開始する。このときシリンダ20はタイミングt1から幾分かの起動遅れ時間が経過した後、上昇動作を開始する。そしてこの後、上昇時切替えタイマ値T1が経過した時点であるタイミングt2から速度設定ステップを実行し、速度切替バルブSV2によってシリンダ20の上昇速度を高速の第1の速度である第1上昇速度35aから、低速の第2の速度である第2上昇速度35bに切り替える。 As a result, the cylinder 20 starts to move up at high speed without the throttle adjusting portion 27 intervening in the exhaust circuit. At this time, the cylinder 20 starts to move up after a certain amount of start-up delay time has elapsed from timing t1. After that, the speed setting step is executed from timing t2 when the rising switching timer value T1 has elapsed, and the speed switching valve SV2 sets the rising speed of the cylinder 20 to the first rising speed 35a, which is a high first speed. , to the second ascending speed 35b, which is the lower second speed.

これにより、リフト部材2eは低速で上昇し、タイミングt3においてリフト部材の基板当接高さHb*に到達した時点で基板3の下面に当接する。次いでこの後、リフト部材2eは基板3を押し上げながら上昇し、上限にてクランプ受け部材2bの下面に基板3を押し当ててクランプする。このとき、上昇時切替えタイマ値T1は適正に設定されてリフト部材2eの上昇速度は不具合を生じない程度の低速に切り替えられている。これにより、リフト部材2eやクランプ受け部材2bとの当接時に受ける基板3の衝撃は小さく、部品の位置ずれなどの不具合を抑制することができる。 As a result, the lift member 2e rises at a low speed, and contacts the lower surface of the substrate 3 when it reaches the substrate contact height Hb* of the lift member 2e at timing t3. After that, the lift member 2e rises while pushing up the substrate 3, and presses and clamps the substrate 3 against the lower surface of the clamp receiving member 2b at its upper limit. At this time, the rising switching timer value T1 is appropriately set, and the rising speed of the lift member 2e is switched to a low speed that does not cause any trouble. As a result, the board 3 receives a small impact when it comes into contact with the lift member 2e and the clamp receiving member 2b, and it is possible to suppress problems such as misalignment of components.

次に図6に示す基板クランプ解除動作において、タイミングt4にて下降信号が出されると、シリンダ上下動バルブSV1では上昇側がOFFとなり、下降側がONとなる。これとともに、速度切替バルブSV2ではタイミングt4から予め設定された低速移動時間である下降時切替えタイマ値T2が経過するタイミングt5までの間、下降速度を低速に設定する。 Next, in the substrate clamp releasing operation shown in FIG. 6, when a lowering signal is issued at timing t4, the ascending side of the cylinder up/down valve SV1 is turned OFF and the descending side is turned ON. At the same time, the speed switching valve SV2 sets the descending speed to a low speed from timing t4 to timing t5 when the preset low speed movement time T2 passes.

すなわち基板3がクランプされた状態で前述の方向切替ステップを実行して、駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから下降時切替えタイマ値T2が経過するまでの間、速度設定ステップを実行して昇降速度を低速の第2の速度である第2下降速度35dに設定する。これにより、基板3はリフト部材2eとクランプ受け部材2bでクランプされた状態からリフト部材2eとともに下降を開始する。このとき、リフト部材2eおよび基板3はタイミングt4から幾分かの起動遅れ時間の後、低速で下降を開始する。 That is, the speed setting step is performed during the period from when the above-described direction switching step is executed while the substrate 3 is clamped, the driving direction is switched to the downward direction, and the downward signal is output until the downward switching timer value T2 elapses. Then, the ascending/descending speed is set to the second lowering speed 35d, which is the second lower speed. As a result, the substrate 3 starts to descend together with the lift member 2e from the state clamped by the lift member 2e and the clamp receiving member 2b. At this time, the lift member 2e and the substrate 3 start to descend at a low speed after some start delay time from timing t4.

ここでは下降時切替えタイマ値T2は、基板3が下降してコンベア機構2dの搬送ベルトの上面に到達しリフト部材2eが基板3から離隔する位置である下降位置に到達するタイミングまでの時間に設定されており、下降位置は基板3が搬送ベルトに乗り移る基板の乗り移り高さHbである。乗り移り高さHbより上の位置では、基板3はリフト部材2eによって下面側を支持されていることから、リフト部材2eが乗り移り高さHbに到達するまでは、基板3への衝撃緩和などを考慮した低速で下降動作が実行される。 Here, the lowering switch timer value T2 is set to the time from when the substrate 3 descends to reach the upper surface of the conveyor belt of the conveyor mechanism 2d to when the lift member 2e reaches the lowered position where it is separated from the substrate 3. The lowered position is the substrate transfer height Hb at which the substrate 3 is transferred to the conveyor belt. At a position above the transfer height Hb, the lower surface side of the substrate 3 is supported by the lift member 2e, so until the lift member 2e reaches the transfer height Hb, consideration is given to mitigating the impact on the substrate 3, etc. Descending operation is performed at a low speed.

そしてこの後、下降時切替えタイマ値T2が経過した時点であるタイミングt5、すなわち基板3が下降してコンベア機構2dの搬送ベルトの上面に到達して乗り移る高さHbに到達するタイミングt5から、前述の速度設定ステップを実行して昇降速度を高速の第1の速度である第1下降速度35cに設定する。このとき、基板3はコンベア機構2dの搬送ベルトに低速で乗り移ることから、基板3への衝撃を極力緩和することができる。そしてタイミングt5以降、リフト部材2eは高速の第1下降速度35cで下降して、速やかに下限位置に復帰する。これにより、基板保持方法における基板クランプ解除動作の動作効率を向上させることが可能となっている。 After that, from timing t5 when the timer value T2 for switching during descent has passed, that is, timing t5 when the substrate 3 descends and reaches the upper surface of the conveyor belt of the conveyor mechanism 2d and reaches the transfer height Hb, the above-described is executed to set the ascending/descending speed to the first lowering speed 35c, which is the first high speed. At this time, since the substrate 3 is transferred to the conveyor belt of the conveyor mechanism 2d at a low speed, the impact on the substrate 3 can be reduced as much as possible. After timing t5, the lift member 2e descends at a high first descending speed 35c and quickly returns to the lower limit position. This makes it possible to improve the operating efficiency of the substrate clamp release operation in the substrate holding method.

上記説明したように、本実施の形態では、前述機能を有する基板保持装置を、シリンダ20によるリフト部材2eの昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部32aと、シリンダ20に供給される流体の流量を切り替えることにより、リフト部材2eの昇降速度を第1の速度および第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部32bと、方向切替部32aと速度設定部32bを制御する制御部30とを備えた構成としている。 As described above, in the present embodiment, the substrate holding device having the above functions is supplied to the cylinder 20 and the direction switching portion 32a for switching the driving direction of the lifting member 2e by the cylinder 20 between ascending and descending. A speed setting unit 32b that sets the lifting speed of the lift member 2e to either a first speed or a second speed that is lower than the first speed by switching the flow rate of the applied fluid, and a direction switching unit 32a and a control unit 30 for controlling the speed setting unit 32b.

そしてリフト部材2eが基板3から離れた状態で開始される基板クランプ動作において、方向切替部32aにより駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された上昇時切替えタイマ値T1で規定される可変の高速移動時間が経過するまでの間、速度設定部32bにより昇降速度を高速の第1の速度に設定し、基板3がクランプされた状態で開始される基板クランプ解除動作において、方向切替部32aにより駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された下降時切替えタイマ値T2で規定される可変の低速移動時間が経過するまでの間、速度設定部32bにより昇降速度を低速の第2の速度に設定するようにしている。これにより、リフト部材2eの昇降速度の高低速切り替えタイミングを対象となる基板3に応じて適正に設定して、基板への衝撃を緩和しつつ、基板のクランプ動作、クランプ解除動作の動作効率を向上させることができる。 In the substrate clamping operation that is started with the lift member 2e separated from the substrate 3, the driving direction is switched to upward by the direction switching unit 32a and the upward signal is output. Until the variable high-speed movement time defined by elapses, the speed setting unit 32b sets the lifting speed to the first high speed, and the substrate 3 is clamped. , the driving direction is switched to the downward direction by the direction switching unit 32a until the variable low-speed movement time specified by the preset downward switching timer value T2 elapses, the speed setting unit 32b sets the ascending/descending speed to a second low speed. As a result, the timing for switching the lifting speed of the lift member 2e between high and low speeds can be appropriately set according to the target substrate 3, and the impact on the substrate can be mitigated, while the operation efficiency of the substrate clamping operation and clamp releasing operation can be improved. can be improved.

本発明の基板保持装置および基板保持方法は、基板への衝撃を緩和しつつ、基板のクランプ動作、クランプ解除動作の動作効率を向上させることができるという効果を有し、クランプされた基板に部品を実装する部品実装分野において有用である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The substrate holding device and substrate holding method of the present invention have the effect of improving the operating efficiency of the substrate clamping operation and the clamp releasing operation while mitigating the impact on the substrate. It is useful in the field of component mounting that mounts

1 部品実装装置
2 基板搬送機構
2b クランプ受け部材
2d コンベア機構
2e リフト部材
3 基板
20 シリンダ
27 絞り調整部
REFERENCE SIGNS LIST 1 component mounting device 2 substrate transport mechanism 2b clamp receiving member 2d conveyor mechanism 2e lift member 3 substrate 20 cylinder 27 aperture adjustment unit

Claims (8)

コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持装置において、
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、
前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記基板がクランプされた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、
前記低速移動時間が経過した時点から前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、
前記低速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、前記基板が前記コンベアの上面に到達し前記リフト部材が前記基板から離隔した下降位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、
前記低速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される、基板保持装置。
A substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate, and clamped to the substrate. A substrate holding device that performs a predetermined operation on the substrate, and after the operation, lowers the lift member by the cylinder to release the clamp,
a direction switching unit that switches a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
a speed setting unit that sets the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; ,
A control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit,
The control unit
During a period from when the direction switching unit switches the driving direction to the downward direction with the substrate clamped and the downward signal is output until a preset variable low-speed movement time elapses, the speed setting unit setting the lifting speed to the second speed;
setting the ascending/descending speed to the first speed by the speed setting unit after the low-speed movement time has elapsed;
In the low-speed movement time, the substrate reaches the upper surface of the conveyor and the lift member is separated from the substrate after the control unit switches the driving direction to the downward direction by the direction switching unit and a downward signal is output. set based on the time required to reach the lowered position,
The substrate holding device , wherein the low speed movement time is set based on the weight of the substrate .
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持装置において、A substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate, and clamped to the substrate. A substrate holding device that performs a predetermined operation on the substrate, and after the operation, lowers the lift member by the cylinder to release the clamp,
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、a direction switching unit that switches a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、a speed setting unit that sets the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; ,
前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、A control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit,
前記制御部は、The control unit
前記基板がクランプされた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、During a period from when the direction switching unit switches the driving direction to the downward direction with the substrate clamped and the downward signal is output until a preset variable low-speed movement time elapses, the speed setting unit setting the lifting speed to the second speed;
前記低速移動時間が経過した時点から前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、setting the ascending/descending speed to the first speed by the speed setting unit after the low-speed movement time has elapsed;
前記低速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、前記基板が前記コンベアの上面に到達し前記リフト部材が前記基板から離隔した下降位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、In the low-speed movement time, the substrate reaches the upper surface of the conveyor and the lift member is separated from the substrate after the control unit switches the driving direction to the downward direction by the direction switching unit and a downward signal is output. set based on the time required to reach the lowered position,
前記シリンダは下受けブロックを介して前記リフト部材を支持し、the cylinder supports the lift member via a lower receiving block;
前記低速移動時間は、前記下受けブロックの重量に基づいて設定される、基板保持装置。The substrate holding device, wherein the low-speed movement time is set based on the weight of the lower receiving block.
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持装置において、A substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate, and clamped to the substrate. A substrate holding device that performs a predetermined operation on the substrate, and after the operation, lowers the lift member by the cylinder to release the clamp,
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、a direction switching unit that switches a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、a speed setting unit that sets the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; ,
前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、A control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit,
前記制御部は、The control unit
前記基板がクランプされた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、During a period from when the direction switching unit switches the driving direction to the downward direction with the substrate clamped and the downward signal is output until a preset variable low-speed movement time elapses, the speed setting unit setting the lifting speed to the second speed;
前記低速移動時間が経過した時点から前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、setting the ascending/descending speed to the first speed by the speed setting unit after the low-speed movement time has elapsed;
前記低速移動時間は、前記基板保持装置を備えた部品実装装置によって前記基板に実装された部品または当該部品実装装置の前工程の部品実装装置によって前記基板に実装された部品の種類に基づいて設定される、基板保持装置。The low-speed movement time is set based on the type of component mounted on the board by a component mounting apparatus equipped with the board holding device or the type of component mounted on the board by a component mounting apparatus in a previous process of the component mounting apparatus. substrate holding device.
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持装置において、
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、
前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、
前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、
前記高速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、前記基板が前記リフト部材に当接した上昇位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、
前記高速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される、基板保持装置。
A substrate holding device that lifts a substrate transported by a conveyor by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamps the substrate by clamping the substrate between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate,
a direction switching unit that switches a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
a speed setting unit that sets the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; ,
A control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit,
The control unit
After the direction switching unit switches the driving direction to upward in a state in which the lift member is separated from the substrate, and an upward signal is output, until a preset variable high-speed movement time elapses, the speed is increased. setting the lifting speed to the first speed by a setting unit;
After the high-speed movement time has elapsed, the speed setting unit sets the lifting speed to the second speed ,
The high-speed movement time is the time required from when the control unit switches the driving direction to the upward direction by the direction switching unit and an upward signal is issued until the substrate reaches the upward position where it contacts the lift member. is set based on
The substrate holding device , wherein the high-speed movement time is set based on the weight of the substrate .
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持装置において、A substrate holding device that lifts a substrate transported by a conveyor by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamps the substrate by clamping the substrate between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate,
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、a direction switching unit that switches a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、a speed setting unit that sets the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; ,
前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、A control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit,
前記制御部は、The control unit
前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、After the direction switching unit switches the driving direction to upward in a state in which the lift member is separated from the substrate, and an upward signal is output, until a preset variable high-speed movement time elapses, the speed is increased. setting the lifting speed to the first speed by a setting unit;
前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、After the high-speed movement time has elapsed, the speed setting unit sets the lifting speed to the second speed,
前記高速移動時間は、前記制御部が前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、前記基板が前記リフト部材に当接した上昇位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、The high-speed movement time is the time required from when the control unit switches the driving direction to a rise by the direction switching unit and a rise signal is issued until the substrate reaches a raised position where it abuts on the lift member. is set based on
前記シリンダは下受けブロックを介して前記リフト部材を支持し、the cylinder supports the lift member via a lower receiving block;
前記高速移動時間は、前記下受けブロックの重量に基づいて設定される、基板保持装置。The substrate holding device, wherein the high-speed movement time is set based on the weight of the lower receiving block.
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持装置において、A substrate holding device that lifts a substrate transported by a conveyor by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamps the substrate by clamping the substrate between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate,
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替部と、a direction switching unit that switches a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定部と、a speed setting unit that sets the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; ,
前記方向切替部と前記速度設定部を制御する制御部と、を備え、A control unit that controls the direction switching unit and the speed setting unit,
前記制御部は、The control unit
前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替部により前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、After the direction switching unit switches the driving direction to upward in a state in which the lift member is separated from the substrate, and an upward signal is output, until a preset variable high-speed movement time elapses, the speed is increased. setting the lifting speed to the first speed by a setting unit;
前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定部により前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、After the high-speed movement time has elapsed, the speed setting unit sets the lifting speed to the second speed,
前記高速移動時間は、前記基板保持装置を備えた部品実装装置の前工程の部品実装装置によって前記基板に実装された部品の種類に基づいて設定される、基板保持装置。A board holding apparatus, wherein the high-speed movement time is set based on the type of component mounted on the board by a component mounting apparatus in a previous process of the component mounting apparatus including the board holding apparatus.
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプし、前記基板がクランプされた状態で前記基板に対して所定の作業を実施し、前記作業後に前記シリンダによって前記リフト部材を下降させて前記クランプを解除する基板保持方法において、
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替ステップと、
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定ステップと、を含み、
前記基板がクランプされた状態で前記方向切替ステップを実行して前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、予め設定された可変の低速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、
前記低速移動時間が経過した時点から、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、
前記低速移動時間は、前記駆動方向を下降に切り替えて下降信号が出されてから、前記基板が前記コンベアの上面に到達し前記リフト部材が前記基板から離隔した下降位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、
前記低速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される、基板保持方法。
A substrate transported by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, clamped by being sandwiched between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate, and clamped to the substrate. A substrate holding method in which a predetermined operation is performed on the substrate, and after the operation, the lift member is lowered by the cylinder to release the clamp,
a direction switching step of switching a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
a speed setting step of setting the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; , including
After the direction switching step is executed with the substrate clamped to switch the driving direction to the downward direction and the downward signal is output, the speed is changed until a preset variable low speed movement time elapses. performing a setting step to set the elevation speed to the second speed;
After the low-speed movement time has elapsed, the speed setting step is executed to set the lifting speed to the first speed ;
The low-speed movement time is the time required from when the driving direction is switched to downward and a downward signal is issued until the substrate reaches the upper surface of the conveyor and the lift member reaches a lowered position separated from the substrate. is set based on
The substrate holding method , wherein the low speed movement time is set based on the weight of the substrate .
コンベアによって搬送される基板をシリンダによって昇降駆動されるリフト部材で持ち上げ、前記リフト部材と前記基板の上方に位置するクランプ受け部材とで挟んでクランプする基板保持方法において、
前記シリンダによる前記リフト部材の昇降駆動における駆動方向を上昇と下降とに切り替える方向切替ステップと、
前記シリンダに供給される流体の流量を切り替えることにより、前記リフト部材の昇降速度を第1の速度および前記第1の速度よりも低速である第2の速度のいずれかに設定する速度設定ステップと、を含み、
前記リフト部材が前記基板から離れた状態で前記方向切替ステップを実行して前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、予め設定された可変の高速移動時間が経過するまでの間、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第1の速度に設定し、
前記高速移動時間が経過した時点から、前記速度設定ステップを実行して前記昇降速度を前記第2の速度に設定し、
前記高速移動時間は、前記駆動方向を上昇に切り替えて上昇信号が出されてから、前記基板が前記リフト部材に当接した上昇位置に到達するまでの所要時間に基づいて設定され、
前記高速移動時間は、前記基板の重量に基づいて設定される、基板保持方法。
A substrate holding method in which a substrate conveyed by a conveyor is lifted by a lift member that is vertically driven by a cylinder, and the substrate is sandwiched and clamped between the lift member and a clamp receiving member positioned above the substrate,
a direction switching step of switching a driving direction of the lifting member by the cylinder between upward and downward;
a speed setting step of setting the lifting speed of the lift member to either a first speed or a second speed lower than the first speed by switching the flow rate of the fluid supplied to the cylinder; , including
A period from when the direction switching step is executed in a state in which the lift member is separated from the substrate, the driving direction is switched to upward and an upward signal is output, and a preset variable high-speed movement time elapses. , executing the speed setting step to set the lifting speed to the first speed;
After the high-speed movement time has passed, the speed setting step is executed to set the lifting speed to the second speed ,
The high-speed movement time is set based on the time required from when the drive direction is switched to the up direction and the rise signal is issued until the substrate reaches the raised position where it abuts on the lift member,
The substrate holding method, wherein the high-speed movement time is set based on the weight of the substrate.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004006530A (en) 2002-05-31 2004-01-08 Fuji Mach Mfg Co Ltd Circuit board transfer control method and program, electronic circuit part mounting system, control program thereof, and transfer control method of part suction tool
JP2016063162A (en) 2014-09-19 2016-04-25 Juki株式会社 Electronic component mounting device
JP2017135277A (en) 2016-01-28 2017-08-03 ヤマハ発動機株式会社 Control method of backup unit and substrate processing apparatus

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3553724B2 (en) * 1996-03-18 2004-08-11 松下電器産業株式会社 Substrate transfer device

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004006530A (en) 2002-05-31 2004-01-08 Fuji Mach Mfg Co Ltd Circuit board transfer control method and program, electronic circuit part mounting system, control program thereof, and transfer control method of part suction tool
JP2016063162A (en) 2014-09-19 2016-04-25 Juki株式会社 Electronic component mounting device
JP2017135277A (en) 2016-01-28 2017-08-03 ヤマハ発動機株式会社 Control method of backup unit and substrate processing apparatus

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