JP7281366B2 - Green sheet manufacturing method - Google Patents

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Description

本発明は、ヒータ素子やセンサ素子、セラミックコンデンサ、セラミックパッケージ用の基板等に用いるグリーンシートの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing green sheets used for heater elements, sensor elements, ceramic capacitors, substrates for ceramic packages, and the like.

従来から、キャリアシート(フィルム)を用いたセラミックグリーンシートの製造方法が知られている(例えば、特許文献1、2参照)。この方法は以下のようにして行う。まず、原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散してなる泥漿液(スラリー)を、走行するキャリアシート上に連続的に塗工し(特許文献1)、又は押出法でキャリアシート上に押出し(特許文献2)、次いで乾燥炉に導入して加熱乾燥してグリーンシートを製造する。 Conventionally, there has been known a method for producing a ceramic green sheet using a carrier sheet (film) (see Patent Documents 1 and 2, for example). This method is performed as follows. First, a liquid slurry (slurry) obtained by mixing and dispersing a raw material powder, a solvent, and a binder material is continuously applied onto a running carrier sheet (Patent Document 1), or extruded onto the carrier sheet by an extrusion method. (Patent Document 2), and then introduced into a drying oven to heat and dry to produce a green sheet.

特開平6-285826号公報JP-A-6-285826 特開平9-76220号公報JP-A-9-76220

しかしながら、特許文献1に記載のキャリアフィルムの場合、キャリアフィルムは通気性が乏しいので、乾燥炉内でスラリーは上面からは乾燥するものの、キャリアフィルムに接する下面から乾燥し難く、乾燥時間が長くなるという問題がある。
また、特許文献2に記載の金属メッシュをキャリアシートに用いる場合、乾燥後のグリーンシートにメッシュ痕が付くという問題がある。
However, in the case of the carrier film described in Patent Document 1, since the carrier film has poor air permeability, although the slurry is dried from the upper surface in the drying oven, it is difficult to dry from the lower surface in contact with the carrier film, resulting in a long drying time. There is a problem.
Moreover, when the metal mesh described in Patent Document 2 is used for the carrier sheet, there is a problem that mesh traces are left on the dried green sheet.

そこで、本発明は、グリーンシートの乾燥負荷を低減できると共に、グリーンシートの表面欠陥を抑制することができるグリーンシートの製造方法を提供することを目的とする。 SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, an object of the present invention is to provide a green sheet manufacturing method capable of reducing the drying load of the green sheet and suppressing surface defects of the green sheet.

上記課題を解決するため、本発明の第1の態様のグリーンシートの製造方法は、グリーンシートの製造方法において、基紙の片面に剥離剤がコーティングされた通気性の塗工紙の塗工面を上向きにし、走行方向に離間する2つのロールの間に張力を掛けて支持して連続的に走行させ、前記塗工紙の上面に、前記グリーンシートのスラリーを連続的に塗工し、前記2つのロールの間における前記塗工紙の下面が露出した位置で前記スラリーを加熱乾燥することを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, a method for producing a green sheet according to a first aspect of the present invention is a method for producing a green sheet, in which a breathable coated paper in which one side of a base paper is coated with a release agent is coated. The slurry of the green sheet is continuously applied to the upper surface of the coated paper, and the slurry of the green sheet is continuously coated on the upper surface of the coated paper, and the 2 The slurry is dried by heating at a position where the lower surface of the coated paper is exposed between two rolls.

このグリーンシートの製造方法によれば、塗工紙の下面が露出した位置でスラリーを加熱乾燥するので、スラリーは上面から溶媒が蒸発して乾燥するだけでなく、塗工紙に接する下面からも塗工紙の下面を通して溶媒が蒸発する。このように、スラリーは下面側からも乾燥するので、乾燥負荷を低減し、乾燥時間を短くすることができる。
また、塗工紙はメッシュに比べて平滑であるので、乾燥後のグリーンシートにメッシュ痕等の表面欠陥が生じることを抑制できる。
According to this green sheet manufacturing method, the slurry is heated and dried at the position where the lower surface of the coated paper is exposed. Solvent evaporates through the underside of the coated paper. In this way, the slurry is dried also from the lower surface side, so that the drying load can be reduced and the drying time can be shortened.
Moreover, since the coated paper is smoother than the mesh, it is possible to suppress surface defects such as mesh marks on the dried green sheet.

本発明の第2の態様のグリーンシートの製造方法は、グリーンシートの製造方法において、基紙の片面に剥離剤がコーティングされた通気性の塗工紙の塗工面を上向きにし、通気性を有する基台上に接触させて連続的に走行させ、前記塗工紙の上面に、前記グリーンシートのスラリーを連続的に塗工し、前記基台の下面が露出した位置で前記スラリーを加熱乾燥することを特徴とする。 A method for producing a green sheet according to a second aspect of the present invention is a method for producing a green sheet, wherein a breathable coated paper having one side of a base paper coated with a release agent is turned upward to have air permeability. The slurry of the green sheet is continuously applied to the upper surface of the coated paper by contacting it with a base and running continuously, and the slurry is heated and dried at a position where the lower surface of the base is exposed. It is characterized by

このグリーンシートの製造方法によれば、塗工紙の下面が露出した位置でスラリーを加熱乾燥するので、スラリーは上面から溶媒が蒸発して乾燥するだけでなく、塗工紙に接する下面からも塗工紙の下面を通して溶媒が蒸発する。このように、スラリーは下面側からも乾燥するので、乾燥負荷を低減し、乾燥時間を短くすることができる。
また、塗工紙はメッシュに比べて平滑であるので、乾燥後のグリーンシートにメッシュ痕等の表面欠陥が生じることを抑制できる。
さらに、塗工紙は、基台上に接触して支持されるので、2つのロールとの間を、高い張力を掛けて支持しなくてもよい。このため、例えばスラリーを厚く塗工した場合に、塗工紙に高い張力を掛けなくて済むので、塗工紙が破断することを抑制できる。
According to this green sheet manufacturing method, the slurry is heated and dried at the position where the lower surface of the coated paper is exposed. Solvent evaporates through the underside of the coated paper. In this way, the slurry is dried also from the lower surface side, so that the drying load can be reduced and the drying time can be shortened.
Moreover, since the coated paper is smoother than the mesh, it is possible to suppress surface defects such as mesh marks on the dried green sheet.
Furthermore, since the coated paper is supported in contact with the base, it does not need to be supported with high tension between the two rolls. For this reason, for example, when the slurry is applied thickly, it is not necessary to apply a high tension to the coated paper, so breakage of the coated paper can be suppressed.

本発明のグリーンシートの製造方法において、前記グリーンシートを成形する方法が、ドクターブレード法であってもよい。
このグリーンシートの製造方法によれば、グリーンシートの厚みを一定に管理し易い。
In the green sheet manufacturing method of the present invention, the method for forming the green sheet may be a doctor blade method.
According to this green sheet manufacturing method, it is easy to keep the thickness of the green sheet constant.

本発明のグリーンシートの製造方法において、前記基台は、メッシュ、ローラコンベア、フローティング、又はフェルトであってもよい。
このグリーンシートの製造方法によれば、通気性を有する基台を容易に実現できる。
In the green sheet manufacturing method of the present invention, the base may be mesh, roller conveyor, floating, or felt.
According to this green sheet manufacturing method, a base having air permeability can be easily realized.

本発明のグリーンシートの製造方法において、前記塗工紙の上面に塗工された前記スラリーの上から、基紙の片面に剥離剤がコーティングされた通気性の第2の塗工紙を塗工面を下向きにして被せ、前記スラリーを前記塗工紙と前記第2の塗工紙とで挟んだ状態で走行させ、さらに前記塗工紙の下面が露出し、前記第2の塗工紙の上面が露出した位置で前記スラリーを加熱乾燥してもよい。
このグリーンシートの製造方法によれば、スラリーを塗工紙と第2の塗工紙とで挟んだ状態で走行させるので、走行時の搬送ロール等でスラリーに筋状キズ等の表面不良が生じることを抑制することができる。又、スラリーの両面が各塗工紙で覆われた状態で乾燥させることで、両面の乾燥速度が同等となり、スラリーの片面のみ塗工紙で覆われた場合に比べ、乾燥時の反りが低減する。
In the green sheet manufacturing method of the present invention, a breathable second coated paper in which one side of a base paper is coated with a release agent is coated on the slurry coated on the upper surface of the coated paper. facing downward, running the slurry sandwiched between the coated paper and the second coated paper, further exposing the lower surface of the coated paper, and the upper surface of the second coated paper The slurry may be dried by heating at the position where is exposed.
According to this green sheet manufacturing method, since the slurry is run while being sandwiched between the coated paper and the second coated paper, surface defects such as streaky scratches occur in the slurry due to transport rolls or the like during running. can be suppressed. In addition, by drying the slurry while both sides are covered with each coated paper, the drying speed on both sides becomes the same, and warping during drying is reduced compared to when only one side of the slurry is covered with coated paper. do.

請求項5のグリーンシートの製造方法において、B型粘度計により25℃、回転数3rpmで測定したとき、前記スラリーの塗工時の粘度が50Pa・s以上であるとよい。
このグリーンシートの製造方法によれば、スラリーの粘度が比較的高く、このようなスラリーの両面を各塗工紙で挟みながら走行させることで、グリーンシートの厚みがより均一になる。
In the method of manufacturing a green sheet according to claim 5, it is preferable that the slurry has a viscosity of 50 Pa·s or more during application when measured with a Brookfield viscometer at 25° C. and a rotation speed of 3 rpm.
According to this green sheet manufacturing method, the viscosity of the slurry is relatively high, and the thickness of the green sheet becomes more uniform by running the slurry while holding both sides of the slurry between coated papers.

この発明によれば、グリーンシートの乾燥負荷を低減できると共に、グリーンシートの表面欠陥を抑制することができる。 According to the present invention, the drying load on the green sheet can be reduced, and surface defects of the green sheet can be suppressed.

本発明の第1の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法に用いる製造装置の構成を示す図である。1 is a diagram showing the configuration of a manufacturing apparatus used in a green sheet manufacturing method according to an embodiment of the first aspect of the present invention; FIG. 塗工紙の構成を示す模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of coated paper; FIG. 本発明の第2の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法に用いる製造装置の構成を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing the configuration of a manufacturing apparatus used in the green sheet manufacturing method according to the embodiment of the second aspect of the present invention; 本発明の第3の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法に用いる製造装置の構成を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing the configuration of a manufacturing apparatus used in a green sheet manufacturing method according to an embodiment of the third aspect of the present invention; 本発明の第3の態様において、スラリーの粘度を変えたときに得られたグリーンシートの厚みのバラツキを示す図である。FIG. 8 is a diagram showing variations in the thickness of green sheets obtained when the viscosity of the slurry is changed in the third embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施形態について説明する。
図1は、本発明の第1の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法に用いる製造装置1の概略構成を示す図、図2は塗工紙3の構成を示す模式断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below.
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus 1 used in a green sheet manufacturing method according to an embodiment of the first aspect of the present invention, and FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing the configuration of a coated paper 3.

図1において、グリーンシートの製造装置1は、ロール状であって、且つ帯状の塗工紙3を巻出ロール(図示せず)から巻出した後、張力を掛けつつ支持及び走行させる双ロール11及び巻取ロール12と、塗工紙3上に載置されてスラリー(泥漿液)2xを貯留する略箱型の液溜め5と、液溜め5の右側板に取り付けられた図示しないドクターブレードと、乾燥炉4と、を備えている。
液溜め5の右側底部には、長手方向に細長い開口部が設けられ、液溜め5の下方に位置する塗工紙3の上面にスラリー2xを連続的に塗工するようになっている。一方、塗工紙3の幅は液溜め5の開口部より広く、塗工紙3の両端部にはスラリー2xが塗工されないようになっている。なお、スラリー2xは、原料粉末、溶剤およびバインダー材を混合、分散したものであり、原料粉末は例えばアルミナ粉である。
ドクターブレードは塗工紙3上の余分なスラリー2xを削ぎ落としつつスラリー2xの厚みを調整する。ドクターブレードで厚みを調整されたスラリー2xは、塗工紙3と共に乾燥炉4に導入され、スラリー2xが加熱乾燥された後、グリーンシート2となって乾燥炉4から取り出される。
In FIG. 1, a green sheet manufacturing apparatus 1 includes twin rolls for unwinding a strip-shaped coated paper 3 from an unwinding roll (not shown) and then supporting and running the paper while applying tension. 11 and a take-up roll 12, a substantially box-shaped liquid reservoir 5 placed on the coated paper 3 to store the slurry (sludge liquid) 2x, and a doctor blade (not shown) attached to the right side plate of the liquid reservoir 5. and a drying furnace 4.
A longitudinally elongated opening is provided in the right bottom portion of the liquid reservoir 5 so that the upper surface of the coated paper 3 positioned below the liquid reservoir 5 is continuously coated with the slurry 2x. On the other hand, the width of the coated paper 3 is wider than the opening of the liquid reservoir 5 so that both ends of the coated paper 3 are not coated with the slurry 2x. The slurry 2x is obtained by mixing and dispersing a raw material powder, a solvent and a binder material, and the raw material powder is alumina powder, for example.
The doctor blade adjusts the thickness of the slurry 2x while scraping off excess slurry 2x on the coated paper 3. - 特許庁The slurry 2x whose thickness is adjusted by the doctor blade is introduced into the drying furnace 4 together with the coated paper 3, and after the slurry 2x is heated and dried, it is taken out from the drying furnace 4 as the green sheet 2.

図2に示すように、塗工紙3は、基紙3aの片面にシリコーン剥離剤(層)3bがコーティングされて通気性を有しており、剥離剤3b側が塗工面となっている。基紙3aは、例えばパルプを抄造して形成することができる。なお、剥離剤はシリコーンに限らず、例えばPTFE等のフッ素系剥離剤であってもよい。
また、剥離剤3bが基紙3aに染み込み過ぎないよう、基紙3a表面に予め目止め剤を設けてもよい。
そして、塗工紙3の塗工面を上面とし、スラリー2xを塗工することで、グリーンシート2から塗工紙3を剥離し易くなる。
As shown in FIG. 2, the coated paper 3 is air permeable by coating one side of a base paper 3a with a silicone release agent (layer) 3b, and the release agent 3b side is the coated surface. The base paper 3a can be formed, for example, by making pulp. The release agent is not limited to silicone, and may be fluorine-based release agent such as PTFE.
In addition, a filler may be provided in advance on the surface of the base paper 3a so that the release agent 3b does not soak into the base paper 3a too much.
By applying the slurry 2 x with the coated surface of the coated paper 3 facing upward, the coated paper 3 can be easily peeled off from the green sheet 2 .

ここで、図1に示すように、双ロール11は塗工紙3を上下から挟み込み、巻取ロール12は、スラリー2xを塗工して乾燥後の塗工紙3をグリーンシート2ごと巻き取る。従って、塗工紙3は、走行方向(図1の左右方向)に離間する双ロール11と巻取ロール12との間を、張力を掛けて支持されて連続的に走行させられることになる。
双ロール11と巻取ロール12とが、特許請求の範囲の「2つのロール」に相当する。
Here, as shown in FIG. 1, the twin rolls 11 sandwich the coated paper 3 from above and below, and the take-up roll 12 winds the coated paper 3 together with the green sheet 2 after the slurry 2x has been coated and dried. . Therefore, the coated paper 3 is supported under tension between the twin roll 11 and the take-up roll 12, which are spaced apart in the running direction (horizontal direction in FIG. 1), and is continuously run.
The twin roll 11 and the take-up roll 12 correspond to "two rolls" in the claims.

そして、双ロール11と巻取ロール12の間における塗工紙3の下面3rが露出した位置の直上に乾燥炉4が載置され、この位置でスラリー2xを加熱乾燥するようになっている。
これにより、図1の矢印に示すように、乾燥炉4内でスラリー2xは上面から溶媒が蒸発して乾燥するだけでなく、塗工紙3に接する下面からも塗工紙3の下面3rを通して溶媒が蒸発する。このように、スラリー2xは下面側からも乾燥するので、乾燥負荷を低減し、乾燥時間を短くすることができる。スラリーは水系に限らず、有機溶媒でもよい。
また、塗工紙3はメッシュに比べて平滑であるので、乾燥後のグリーンシートにメッシュ痕等の表面欠陥が生じることを抑制できる。
A drying furnace 4 is placed directly above the position where the lower surface 3r of the coated paper 3 is exposed between the twin rolls 11 and the winding roll 12, and heats and dries the slurry 2x at this position.
As a result, as shown by the arrow in FIG. 1, the slurry 2x is not only dried by evaporating the solvent from the upper surface of the slurry 2x in the drying furnace 4, but also from the lower surface in contact with the coated paper 3 through the lower surface 3r of the coated paper 3. The solvent evaporates. In this way, the slurry 2x is also dried from the lower surface side, so the drying load can be reduced and the drying time can be shortened. The slurry is not limited to an aqueous system, and may be an organic solvent.
Moreover, since the coated paper 3 is smoother than the mesh, it is possible to suppress surface defects such as mesh marks on the dried green sheet.

塗工紙3としては、厚み100~300μmのものが例示され、スラリー2xは厚み70~800μmのものが例示される。
また、乾燥後のグリーンシート2を巻取ロール12に巻き取る前に分離し、塗工紙3のみを巻き取って再利用してもよい。
The coated paper 3 has a thickness of 100 to 300 μm, and the slurry 2x has a thickness of 70 to 800 μm.
Alternatively, the dried green sheet 2 may be separated before being wound onto the winding roll 12, and only the coated paper 3 may be wound and reused.

次に、図3を参照して、本発明の第2の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法について説明する。図3は、本発明の第2の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法に用いる製造装置1Bを示す。グリーンシートの製造装置1Bにおいて、第1の態様の実施形態と同一の構成部分については、図1と同一符号を付して詳細な説明を省略する。 Next, with reference to FIG. 3, a method for manufacturing a green sheet according to an embodiment of the second aspect of the present invention will be described. FIG. 3 shows a manufacturing apparatus 1B used in the green sheet manufacturing method according to the embodiment of the second aspect of the present invention. In the green sheet manufacturing apparatus 1B, the same reference numerals as in FIG. 1 are assigned to the same components as in the first embodiment, and detailed description thereof will be omitted.

図3に示すように、製造装置1Bにおいては、双ロール11と巻取ロール12との間に、通気性を有する基台(ローラコンベア)20が配置され、塗工紙3は、ローラコンベア20上に接触して連続的に走行させられる。
ローラコンベア20は、所定の枠に、複数の回転ローラを軸方向に離間して平行に配置して固定し、その上を搬送物を載せて移動させる装置である。
As shown in FIG. 3, in the manufacturing apparatus 1B, a permeable base (roller conveyor) 20 is arranged between the twin roll 11 and the take-up roll 12. It touches the top and is made to run continuously.
The roller conveyor 20 is a device in which a plurality of rotating rollers are arranged and fixed in parallel in a predetermined frame while being spaced apart in the axial direction, and an object to be conveyed is placed thereon and moved.

製造装置1Bにおいては、ローラコンベア20の下面が露出した位置の直上に乾燥炉4が載置され、この位置でスラリー2xを加熱乾燥するようになっている。ローラコンベア20は各回転ロールが軸方向に離間しており、この隙間が通気性を有している。
これにより、図3の矢印に示すように、乾燥炉4内でスラリー2xは上面から溶媒が蒸発して乾燥するだけでなく、塗工紙3に接する下面からも塗工紙3の下面3r、及びローラコンベア20の隙間を通して溶媒が蒸発する。このため、本発明の第1の態様の実施形態と同様、スラリー2xは下面側からも乾燥するので、乾燥負荷を低減し、乾燥時間を短くすることができる。
また、第2の態様においては、塗工紙3は、ローラコンベア20上に接触して支持されるので、第1の態様のように双ロール11と巻取ロール12との間を、高い張力を掛けて支持しなくてもよい。このため、例えばスラリー2xを厚く塗工した場合に、塗工紙3に高い張力を掛けなくて済むので、塗工紙3が破断することを抑制できる。
In the manufacturing apparatus 1B, the drying furnace 4 is placed directly above the position where the lower surface of the roller conveyor 20 is exposed, and the slurry 2x is heated and dried at this position. In the roller conveyor 20, each rotating roll is spaced apart in the axial direction, and this gap has air permeability.
As a result, as shown by the arrows in FIG. 3, the slurry 2x is not only dried by evaporating the solvent from the upper surface of the slurry 2x in the drying furnace 4, but also from the lower surface of the coated paper 3, which is in contact with the coated paper 3. And the solvent evaporates through the gaps of the roller conveyor 20 . Therefore, as in the embodiment of the first aspect of the present invention, the slurry 2x is also dried from the lower surface side, so the drying load can be reduced and the drying time can be shortened.
In addition, in the second mode, the coated paper 3 is supported in contact with the roller conveyor 20, so that the tension between the twin rolls 11 and the take-up roll 12 is high as in the first mode. It is not necessary to hang and support. Therefore, for example, when the slurry 2x is applied thickly, it is not necessary to apply a high tension to the coated paper 3, so breakage of the coated paper 3 can be suppressed.

通気性を有する基台としては、上記ローラコンベアの他、メッシュ又はフェルトを用いることができる。フェルトの場合、形状を保持するためにフェルトの下側を枠等で支持するとよい。その他、フローティング機構を採用しても良く、また、これらを混合した搬送装置としてもよい。 As the air-permeable base, mesh or felt can be used in addition to the roller conveyor. In the case of felt, it is preferable to support the lower side of the felt with a frame or the like in order to retain its shape. In addition, a floating mechanism may be employed, or a transport device combining these may be used.

次に、図4を参照し、第2の塗工紙3xを用いたグリーンシートの製造方法について説明する。
図4は、本発明の第3の態様の実施形態に係るグリーンシートの製造方法に用いる製造装置1Cの概略構成を示す図である。
Next, referring to FIG. 4, a method of manufacturing a green sheet using the second coated paper 3x will be described.
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of a manufacturing apparatus 1C used in a green sheet manufacturing method according to an embodiment of the third aspect of the present invention.

図4において、グリーンシートの製造装置1Cは、ロール状であって、且つ帯状の塗工紙3を、巻出ロールR1から巻出した後、張力を掛けつつ支持及び走行させる双ロール15及び巻取ロール12と、巻出ロールR2から巻出される帯状の第2の塗工紙3xと、スラリー(泥漿液)2xを貯留する略箱型の液溜め7と、乾燥炉4と、を備えている。乾燥炉4及び巻取ロール12はグリーンシートの製造装置1と同様である。第2の塗工紙3xは塗工紙3と同様の構成を有し、基紙の片面に剥離剤がコーティングされ、通気性を有する(図2)。
液溜め7には吐出ノズル7sが設けられ、ポンプにより液溜め7のスラリー2xを、巻出ロールR1から巻き出されてやや上方に向かって走行する塗工紙3の上面に連続的に塗工するようになっている。
In FIG. 4, the green sheet manufacturing apparatus 1C includes a twin roll 15 and a winding roll 15 for supporting and running while applying tension after unwinding a roll-shaped strip-shaped coated paper 3 from an unwinding roll R1. Equipped with a take-up roll 12, a strip-shaped second coated paper 3x unwound from an unwinding roll R2, a substantially box-shaped reservoir 7 for storing slurry (sludge liquid) 2x, and a drying oven 4. there is The drying oven 4 and the winding roll 12 are the same as those of the green sheet manufacturing apparatus 1 . The second coated paper 3x has a structure similar to that of the coated paper 3, with one side of the base paper being coated with a release agent and having air permeability (FIG. 2).
A discharge nozzle 7s is provided in the liquid reservoir 7, and the slurry 2x in the liquid reservoir 7 is continuously applied by a pump to the upper surface of the coated paper 3 which is unwound from the unwinding roll R1 and travels slightly upward. It is designed to

ここで、巻出ロールR2は巻出ロールR1と略対向するようにして巻出ロールR1より上方に配置され、巻出ロールR2から巻き出された第2の塗工紙3xは、やや下方に向かって走行し、双ロール15に導入されて塗工紙3と合わせられる。
この際、塗工紙3の上面に塗工されたスラリー2xの上から、第2の塗工紙3xを塗工面を下向きにして被せ、双ロール15にてスラリー2xを塗工紙3と第2の塗工紙3xとで挟んだ状態で走行させ、巻取ロール12は乾燥後の塗工紙3をグリーンシート2ごと巻き取る。従って、塗工紙3は、走行方向(図4の左右方向)に離間する双ロール15と巻取ロール12との間を、張力を掛けて支持されて連続的に走行させられることになる。
双ロール15と巻取ロール12とが、特許請求の範囲の「2つのロール」に相当する。
Here, the unwinding roll R2 is disposed above the unwinding roll R1 so as to substantially face the unwinding roll R1, and the second coated paper 3x unwound from the unwinding roll R2 is positioned slightly below. Then, it is introduced into the double roll 15 and combined with the coated paper 3. - 特許庁
At this time, the second coated paper 3x is placed on the slurry 2x coated on the upper surface of the coated paper 3 with the coated surface facing downward, and the slurry 2x is applied to the coated paper 3 and the second coated paper 3x by the twin rolls 15. 2, and the winding roll 12 winds up the dried coated paper 3 together with the green sheet 2. - 特許庁Therefore, the coated paper 3 is supported under tension between the twin roll 15 and the take-up roll 12, which are spaced apart in the running direction (horizontal direction in FIG. 4), and is continuously run.
The twin roll 15 and the take-up roll 12 correspond to "two rolls" in the claims.

そして、スラリー2xは、塗工紙3と第2の塗工紙3xとで挟まれた状態で乾燥炉4に導入され、スラリー2xが加熱乾燥された後、グリーンシート2となって乾燥炉4から取り出される。
ここで、乾燥炉4内では、塗工紙3の下面3rが露出し、第2の塗工紙3xの上面3rxが露出した位置でスラリー2xが乾燥させられる。
又、乾燥後、巻取ロール12でグリーンシート2を巻き取る前に、第2の塗工紙3xは巻取ロールR3で巻き取られるので、巻取ロール12は塗工紙3とグリーンシート2のみを巻き取る。
Then, the slurry 2x is sandwiched between the coated paper 3 and the second coated paper 3x and introduced into the drying furnace 4. After the slurry 2x is dried by heating, it becomes the green sheet 2 and becomes the drying furnace 4. taken out from
Here, in the drying furnace 4, the slurry 2x is dried at the position where the lower surface 3r of the coated paper 3 is exposed and the upper surface 3rx of the second coated paper 3x is exposed.
After drying, the second coated paper 3x is wound by the winding roll R3 before the green sheet 2 is wound by the winding roll 12. Rewind only.

第3の態様のグリーンシートの製造方法によれば、スラリー2xを塗工紙3と第2の塗工紙3xとで挟んだ状態で走行させるので、走行時の搬送ロール等でスラリー2xに筋状キズ等の表面不良が生じることを抑制することができる。
又、スラリー2xの両面が各塗工紙3,3xで覆われた状態で乾燥させることで、スラリー2x両面の乾燥速度が同等となり、スラリー2xの片面のみ塗工紙で覆われた場合に比べ、乾燥時の反りが低減する。
According to the green sheet manufacturing method of the third aspect, the slurry 2x is run while being sandwiched between the coated paper 3 and the second coated paper 3x. It is possible to suppress the occurrence of surface defects such as scratches.
In addition, by drying the slurry 2x with both sides covered with the coated papers 3 and 3x, the drying speed of both sides of the slurry 2x becomes equal, compared to the case where only one side of the slurry 2x is covered with the coated paper. , to reduce warpage during drying.

第3の態様のグリーンシートの製造方法において、B型粘度計により25℃、回転数3rpmで測定したとき、スラリー2xの塗工時の粘度が50Pa・s以上であると好ましく、粘度が100Pa・s以上であるとさらに好ましい。
このようにすると、スラリー2xの粘度が比較的高く、このようなスラリー2xの両面を各塗工紙3,3xで挟みながら走行させることで、グリーンシート2の厚みがより均一になる。
図5は、スラリー2x(アルミナ粉、溶剤およびバインダー材を含む)の粘度をそれぞれ15Pa・s、170Pa・sとし、塗工紙3及び第2の塗工紙3xとして基紙の片面にシリコーン剥離剤がコーティングされたシリコーン紙を用い、図4の装置を用いて第3の態様のグリーンシートの製造方法にて製造したグリーンシート2の厚みのバラツキを示す。
図5から明らかなように、スラリー2xの塗工時のスラリー2xを取り出し、B型粘度計により25℃で測定した粘度が50Pa・s以上であると、グリーンシート2の厚みのバラツキが低減し、より均一になることがわかった。なお、B型粘度は、B型粘度計であればどの粘度計を用いてもよいが、本態様においては、東機産業社製のB型粘度計TV-10、ロータNo.4を用いて測定した。
In the green sheet manufacturing method of the third aspect, when measured with a Brookfield viscometer at 25 ° C. and a rotation speed of 3 rpm, the viscosity at the time of coating of the slurry 2x is preferably 50 Pa s or more, and the viscosity is 100 Pa s. s or more is more preferable.
In this way, the viscosity of the slurry 2x is relatively high, and the thickness of the green sheet 2 becomes more uniform by running the slurry 2x while sandwiching both sides of the slurry 2x between the coated papers 3 and 3x.
In FIG. 5, the viscosities of the slurry 2x (including alumina powder, solvent and binder material) are set to 15 Pa s and 170 Pa s, respectively, and silicone peeling is performed on one side of the base paper as the coated paper 3 and the second coated paper 3x. FIG. 4 shows variations in the thickness of a green sheet 2 produced by the method of producing a green sheet according to the third embodiment using the apparatus of FIG. 4 using silicone paper coated with an agent.
As is clear from FIG. 5, when the slurry 2x is taken out during coating of the slurry 2x and the viscosity measured at 25° C. with a Brookfield viscometer is 50 Pa·s or more, the variation in the thickness of the green sheet 2 is reduced. , was found to be more uniform. For the B-type viscosity, any viscometer may be used as long as it is a B-type viscometer. 4 was used.

本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。第3の態様のグリーンシートの製造方法において、塗工紙3側と第2の塗工紙3x側とに、それぞれ別個の加熱炉を上下に設けて加熱乾燥してもよい。 It goes without saying that the present invention is not limited to the above-described embodiments, but extends to various modifications and equivalents within the spirit and scope of the present invention. In the method of manufacturing the green sheet of the third aspect, separate heating furnaces may be provided above and below the coated paper 3 side and the second coated paper 3x side for heating and drying.

2 グリーンシート
2x グリーンシートのスラリー
3 塗工紙
3a 基紙
3b 剥離剤
3r 塗工紙の下面
3x 第2の塗工紙
3rx 第2の塗工紙の下面
4 乾燥炉
11、12、15 2つのロール
20 基台
2 green sheet 2x green sheet slurry 3 coated paper 3a base paper 3b release agent 3r underside of coated paper 3x second coated paper 3rx underside of second coated paper 4 drying oven 11, 12, 15 two roll 20 base

Claims (6)

グリーンシートの製造方法において、
基紙の片面に剥離剤がコーティングされた通気性の塗工紙の塗工面を上向きにし、走行方向に離間する2つのロールの間に張力を掛けて支持して連続的に走行させ、
前記塗工紙の上面に、前記グリーンシートのスラリーを連続的に塗工し、前記2つのロールの間における前記塗工紙の下面が露出した位置で前記スラリーを加熱乾燥することを特徴とするグリーンシートの製造方法。
In the green sheet manufacturing method,
The air-permeable coated paper coated with a release agent on one side of the base paper has its coated surface facing upward, and is supported by applying tension between two rolls spaced apart in the running direction to run continuously,
The slurry of the green sheet is continuously applied to the upper surface of the coated paper, and the slurry is dried by heating at a position between the two rolls where the lower surface of the coated paper is exposed. Green sheet manufacturing method.
グリーンシートの製造方法において、
基紙の片面に剥離剤がコーティングされた通気性の塗工紙の塗工面を上向きにし、通気性を有する基台上に接触させて連続的に走行させ、
前記塗工紙の上面に、前記グリーンシートのスラリーを連続的に塗工し、前記基台の下面が露出した位置で前記スラリーを加熱乾燥することを特徴とするグリーンシートの製造方法。
In the green sheet manufacturing method,
The air permeable coated paper coated with a release agent on one side of the base paper faces upward, is brought into contact with the air permeable base, and is continuously run,
A method for producing a green sheet, characterized by continuously coating the upper surface of the coated paper with the slurry of the green sheet, and heating and drying the slurry at the position where the lower surface of the base is exposed.
前記グリーンシートを成形する方法が、ドクターブレード法であることを特徴とする請求項1又は2記載のグリーンシートの製造方法。 3. The method of manufacturing a green sheet according to claim 1, wherein the method of forming the green sheet is a doctor blade method. 前記基台は、メッシュ、ローラコンベア、フローティング、又はフェルトであることを特徴とする請求項2記載のグリーンシートの製造方法。 3. The method of manufacturing a green sheet according to claim 2, wherein the base is mesh, roller conveyor, floating, or felt. 前記塗工紙の上面に塗工された前記スラリーの上から、基紙の片面に剥離剤がコーティングされた通気性の第2の塗工紙を塗工面を下向きにして被せ、前記スラリーを前記塗工紙と前記第2の塗工紙とで挟んだ状態で走行させ、さらに前記塗工紙の下面が露出し、前記第2の塗工紙の上面が露出した位置で前記スラリーを加熱乾燥することを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載のグリーンシートの製造方法。 On top of the slurry coated on the upper surface of the coated paper, a second breathable coated paper in which one side of the base paper is coated with a release agent is covered with the coated surface facing downward, and the slurry is applied as described above. The slurry is traveled while sandwiched between the coated paper and the second coated paper, and the slurry is heated and dried at a position where the lower surface of the coated paper is exposed and the upper surface of the second coated paper is exposed. The method for producing a green sheet according to any one of claims 1 to 4, characterized in that: B型粘度計により25℃、回転数3rpmで測定したとき、前記スラリーの塗工時の粘度が50Pa・s以上である請求項5に記載のグリーンシートの製造方法。 6. The method for producing a green sheet according to claim 5, wherein the slurry has a viscosity of 50 Pa.s or more when coated with a Brookfield viscometer at 25[deg.] C. and a rotation speed of 3 rpm.
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