JP7258347B2 - 複合構造体およびその製造方法ならびに該複合構造体を用いたセンサ - Google Patents
複合構造体およびその製造方法ならびに該複合構造体を用いたセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7258347B2 JP7258347B2 JP2019130588A JP2019130588A JP7258347B2 JP 7258347 B2 JP7258347 B2 JP 7258347B2 JP 2019130588 A JP2019130588 A JP 2019130588A JP 2019130588 A JP2019130588 A JP 2019130588A JP 7258347 B2 JP7258347 B2 JP 7258347B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nanosheet
- composite structure
- pore structure
- pore
- tin oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
〔2〕上記第〔1〕の発明において、前記細孔構造体が有する細孔の直径が0.1~100nmであることを特徴とする複合構造体。
〔3〕上記第〔1〕の発明において、前記細孔構造体が有する細孔の直径が0.2~6nmであることを特徴とする複合構造体。
〔4〕上記第〔1〕から第〔3〕のいずれかの発明において、前記ナノシート片は、酸化スズからなることを特徴とする複合構造体。
〔5〕上記第〔1〕から第〔4〕のいずれかの発明において、前記細孔構造体は、金属有機構造体、ゼオライト、メソ多孔体、メソポーラス材料、マクロポーラス多孔体、層状化合物、粘土鉱物、金属錯体、多孔性有機シリカハイブリッド材料、イオン結晶、ナノシート液晶、コロイド鋳型材料およびコロイド結晶からなる群より選択される1種以上からなることを特徴とする複合構造体。
〔6〕上記第〔1〕から第〔5〕のいずれかの発明において、前記細孔構造体は、前記金属有機構造体からなることを特徴とする複合構造体。
〔7〕上記第〔1〕から第〔6〕のいずれかの発明において、前記細孔構造体は、ZIF-8であることを特徴とする複合構造体。
〔8〕上記第〔1〕から第〔7〕のいずれかの発明において、前記集合体は、前記ナノシート片が層状に存在する中央シート部と、前記中央シート部の両面に存在する周辺部とを備え、前記中央シート部は、前記周辺部よりも前記ナノシート片の集合密度が高いことを特徴とする複合構造体。
〔9〕上記第〔1〕から第〔8〕のいずれかの発明において、前記ナノシート片の面内サイズ/厚さが10~50であることを特徴とする複合構造体。
〔10〕上記第〔1〕から第〔9〕のいずれかの発明において、前記基板の主成分がSiO2であることを特徴とする複合構造体。
〔11〕上記第〔1〕から第〔10〕のいずれかの発明の複合構造体を用いることを特徴とするセンサ。
〔12〕上記第〔11〕の発明において、ガス検出用センサであることを特徴とするセンサ。
〔13〕上記第〔12〕の発明において、前記細孔よりも小さい分子サイズのガスを優先的に検知することを特徴とするセンサ。
〔14〕上記第〔12〕または第〔13〕の発明において、分子サイズの増加に伴って応答が減少することを特徴とするセンサ。
〔15〕上記第〔12〕から第〔14〕のいずれかの発明において、エチレン、プロピレン、ブテンまたはノナナールを検知することを特徴とするセンサ。
〔16〕電極を有する基板を、酸化物前駆体を含有する第1の液体に浸漬させて、該酸化物からなる複数のナノシート片が集合した集合体を作製する第1の浸漬工程と、前記集合体が形成された前記電極を有する基板を、細孔構造体前駆体を含有する第2の液体に浸漬させて、前記集合体の表面に細孔構造体を作製する第2の浸漬工程を有することを特徴とする複合構造体の製造方法。
〔17〕上記第〔16〕の発明において、前記第1の液体が酸化スズ前駆体を含有するフッ化スズ含有溶液であり、前記第2の液体が金属有機構造体を含有する亜鉛含有溶液であることを特徴とする複合構造体の製造方法。
本発明の複合構造体は、電極、配線等を設けた基板上に、酸化物からなる複数のナノシート片が集合した集合体と、前記集合体に接する細孔構造体を備えている。
制限視野電子回折(SAED、Selected area electron diffraction)
高速フーリエ変換(FFT、Fast Fourier Transform)
高速フーリエ変換は、評価箇所の結晶構造に関する情報を解析するために用いた。特に、結晶の面間隔の解析を行い、物質の同定および結晶方位(結晶面の積層の方位)の解析に用いた。
高角散乱環状暗視野(HAADF、high-angle annular dark-field)
高角散乱環状暗視野像では、重い原子がより明るく観察されるため、重い原子の観察が容易である特長を持つ。また、散乱断面積が小さく多重散乱がないこと、電子波の干渉効果が結像に関与していないことから、像の解釈が容易である特長を持つ。これらの特長から、高角散乱環状暗視野像の解析を行った。
エネルギー分散型X線分光分析(EDS、Energy Dispersive X -ray Spectroscopy)
微小角入射X線回折(GIXD、Grazing Incidence X-ray Diffraction)
ナノシート片の厚さ、ナノシート片の面内サイズの数値は、図3を含む複数の走査型電子顕微鏡像におけるナノシート片のサイズを測り算出した。
第1段階として、くし形の白金電極12A、12Bを具備する石英ガラス基板11上に、酸化スズナノシート13を合成し、試料1とする。第2段階として、試料1の酸化スズナノシート13の上と下にそれぞれ層状の細孔構造体15、14を合成して形成した。具体的には、細孔構造体14、15として、ZIF-8型の金属有機構造体を合成して形成した。(符号は図1参照)
90℃の蒸留水1000mLに、フッ化スズ(SnF2)(森田化学工業株式会社製)4.35gを溶解して5mMフッ化スズ水溶液を得た。フッ化スズを溶解する際には、強撹拌にて溶解した。幅5μmの白金電極12A、12Bが5μmごとの間隔で石英ガラス基板11の表面にくし形に設けられた白金くし形電極基板をこのフッ化スズ水溶液に浸漬し、90℃で6時間保持して試料1を得た。溶液調整、基板浸漬時の温度調整、溶液条件制御、結晶成長制御を精密に実施した。石英ガラスはSiO2が主成分である。
実施例1では、層状の細孔構造体として、ZIF-8を作製した。ZIF-8の形成は、次の方法で行った。前処理として、試料1を濃度0.1Mの硝酸亜鉛6水和物の水溶液に浸漬して風乾した後に、空気雰囲気中において200℃で6時間加熱を行った。次に、硝酸亜鉛6水和物1.1gを100mlの脱イオン水に溶解した硝酸亜鉛水溶液と、2-メチルイミダゾール22.7gを300mlの脱イオン水に溶解した2-メチルイミダゾール水溶液をそれぞれ調製した。硝酸亜鉛水溶液10mlと2-メチルイミダゾール水溶液30mlをそれぞれ計量して、ガラス製のサンプル瓶内で混合して、前処理を施した試料1を浸漬し、50℃において4時間、浸透した。ZIF-8を表面に形成した試料1を取り出し、メタノール洗浄を行い、乾燥した(試料2)。
高角散乱環状暗視野像では、重い原子がより明るく観察されるため、重い原子の観察が容易である特長を持つ。また、散乱断面積が小さく多重散乱がないこと、電子波の干渉効果が結像に関与していないことから、像の解釈が容易である特長を持つ。これらの特長から、高角散乱環状暗視野像の解析を行った。図の上部から順に、酸化スズナノシート13上部の細孔構造体15、酸化スズナノシート13、酸化スズナノシート13下部の細孔構造体14、石英ガラス基板11が示されている。
Raは空気中での抵抗値である。Rgは、エチレン、プロピレン、ブテン、またはノナナール中での抵抗値である。応答は、(Ra-Rg)/Raである。試料1においては、エチレン、プロピレン、ブテン、ノナナールの順に応答値が大きくなった。これは、ガスの分子量が大きくなるに従い、1分子と反応する酸素原子の数が増加することなどによると考えられる。
12A、12B 白金電極
13 酸化スズナノシート
14、15 細孔構造体
16 空洞
Claims (16)
- 電極を有する基板上に、酸化物からなる複数のナノシート片が集合した集合体と、前記集合体に接する細孔構造体を備え、前記細孔構造体は、直径0.01~1000nmの細孔を有し、
前記集合体は、前記ナノシート片が層状に存在する中央シート部と、前記中央シート部の両面に存在する周辺部とを備え、
前記中央シート部は、前記周辺部よりも前記ナノシート片の集合密度が高いことを特徴とする複合構造体。 - 電極を有する基板上に、酸化物からなる複数のナノシート片が集合した集合体と、前記集合体に接する細孔構造体を備え、前記細孔構造体は、直径0.01~1000nmの細孔を有し、
前記ナノシート片の面内サイズ/厚さが10~50であることを特徴とする複合構造体。 - 前記細孔構造体が有する細孔の直径が0.1~100nmであることを特徴とする請求項1または2に記載の複合構造体。
- 前記細孔構造体が有する細孔の直径が0.2nm~6nmであることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の複合構造体。
- 前記ナノシート片は、酸化スズからなることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の複合構造体。
- 前記細孔構造体は、金属有機構造体、ゼオライト、メソ多孔体、メソポーラス材料、マクロポーラス多孔体、層状化合物、粘土鉱物、金属錯体、多孔性有機シリカハイブリッド材料、イオン結晶、ナノシート液晶、コロイド鋳型材料およびコロイド結晶からなる群より選択される1種以上からなることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の複合構造体。
- 前記細孔構造体は、前記金属有機構造体からなることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の複合構造体。
- 前記細孔構造体は、ZIF-8であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の複合構造体。
- 前記基板の主成分がSiO2であることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の複合構造体。
- 請求項1から9のいずれか1項に記載の複合構造体を用いることを特徴とするセンサ。
- ガス検出用センサであることを特徴とする請求項10に記載のセンサ。
- 前記細孔よりも小さい分子サイズのガスを優先的に検知することを特徴とする請求項11に記載のセンサ。
- 分子サイズの増加に伴って応答が減少することを特徴とする請求項11または12に記載のセンサ。
- エチレン、プロピレン、ブテンまたはノナナールを検知することを特徴とする請求項11から13のいずれか1項に記載のセンサ。
- 電極を有する基板を、酸化物前駆体を含有する第1の液体に浸漬させて、該酸化物からなる複数のナノシート片が集合した集合体を作製する第1の浸漬工程と、
前記集合体が形成された前記電極を有する基板を、細孔構造体前駆体を含有する第2の液体に浸漬させて、前記集合体の表面に細孔構造体を作製する第2の浸漬工程を有することを特徴とする複合構造体の製造方法。 - 前記第1の液体が酸化スズ前駆体を含有するフッ化スズ含有溶液であり、前記第2の液体が金属有機構造体を含有する亜鉛含有溶液であることを特徴とする請求項15に記載の複合構造体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019130588A JP7258347B2 (ja) | 2019-07-12 | 2019-07-12 | 複合構造体およびその製造方法ならびに該複合構造体を用いたセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019130588A JP7258347B2 (ja) | 2019-07-12 | 2019-07-12 | 複合構造体およびその製造方法ならびに該複合構造体を用いたセンサ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021015069A JP2021015069A (ja) | 2021-02-12 |
JP2021015069A5 JP2021015069A5 (ja) | 2022-05-31 |
JP7258347B2 true JP7258347B2 (ja) | 2023-04-17 |
Family
ID=74530667
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019130588A Active JP7258347B2 (ja) | 2019-07-12 | 2019-07-12 | 複合構造体およびその製造方法ならびに該複合構造体を用いたセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7258347B2 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001318069A (ja) | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 呼気ガス分析装置 |
JP2005214626A (ja) | 2002-01-16 | 2005-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ、ガスセンサユニットおよびそれを用いた保鮮装置 |
JP2016017760A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | センサ及び構造体 |
JP2018179581A (ja) | 2017-04-05 | 2018-11-15 | 株式会社日立製作所 | ガスセンサおよびガス検出方法 |
JP2018515786A5 (ja) | 2016-05-25 | 2019-06-27 | ||
JP2020106445A (ja) | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ブリッジ型の酸化スズ含有シートとその製造方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3542098B2 (ja) * | 1996-08-16 | 2004-07-14 | 能美防災株式会社 | ニオイセンサおよびその製造方法 |
US10724979B2 (en) | 2015-05-26 | 2020-07-28 | Nitto Denko Corporation | Gas sensor element |
-
2019
- 2019-07-12 JP JP2019130588A patent/JP7258347B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001318069A (ja) | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 呼気ガス分析装置 |
JP2005214626A (ja) | 2002-01-16 | 2005-08-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ、ガスセンサユニットおよびそれを用いた保鮮装置 |
JP2016017760A (ja) | 2014-07-04 | 2016-02-01 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | センサ及び構造体 |
JP2018515786A5 (ja) | 2016-05-25 | 2019-06-27 | ||
JP2018179581A (ja) | 2017-04-05 | 2018-11-15 | 株式会社日立製作所 | ガスセンサおよびガス検出方法 |
JP2020106445A (ja) | 2018-12-28 | 2020-07-09 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ブリッジ型の酸化スズ含有シートとその製造方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Pil Gyu Choi et al., Fabrication and H2-Sensing properties of SnO2 Nanosheet Gas Sensors,ACS Omega,2018年,Vol.3, pp.14592-14596 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021015069A (ja) | 2021-02-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Koo et al. | Accelerating palladium nanowire H2 sensors using engineered nanofiltration | |
Zhou et al. | Pore size dependent gas-sensing selectivity based on ZnO@ ZIF nanorod arrays | |
Hong et al. | A highly sensitive hydrogen sensor with gas selectivity using a PMMA membrane-coated Pd nanoparticle/single-layer graphene hybrid | |
Shen et al. | Bimetallic Au@ Pt nanocrystal sensitization mesoporous α-Fe2O3 hollow nanocubes for highly sensitive and rapid detection of fish freshness at low temperature | |
Tröger et al. | Structural characterization of catalytically active metal nanoclusters in poly (amide imide) films with high metal loading | |
Zhou et al. | A multi-platform sensor for selective and sensitive H2S monitoring: three-dimensional macroporous ZnO encapsulated by MOFs with small Pt nanoparticles | |
Doan et al. | Defective hierarchical porous copper-based metal-organic frameworks synthesised via facile acid etching strategy | |
EP3838401A1 (en) | Branched metal-organic framework nanoparticles in mixed-matrix membranes and associated methods | |
Sayegh et al. | Humidity-resistant gas sensors based on SnO2 nanowires coated with a porous alumina nanomembrane by molecular layer deposition | |
Abdel-Karim et al. | Antifouling PES/Cu@ Fe3O4 mixed matrix membranes: Quantitative structure–activity relationship (QSAR) modeling and wastewater treatment potentiality | |
Kumar et al. | Hybrid porous thin films: Opportunities and challenges for sensing applications | |
Grigorieva et al. | Synthesis, structure, and sensor properties of vanadium pentoxide nanorods | |
Chen et al. | Electrically Conductive Metal–Organic Framework Thin Film‐Based On‐Chip Micro‐Biosensor: A Platform to Unravel Surface Morphology‐Dependent Biosensing | |
Huang et al. | Overcoming humidity-induced swelling of graphene oxide-based hydrogen membranes using charge-compensating nanodiamonds | |
Nugraha et al. | Block‐Copolymer‐Assisted Electrochemical Synthesis of Mesoporous Gold Electrodes: Towards a Non‐Enzymatic Glucose Sensor | |
Chowdhury et al. | Template-and etching-free fabrication of two-dimensional hollow bimetallic metal-organic framework hexagonal nanoplates for ammonia sensing | |
Fang et al. | Ppb-level H2S gas sensor based on CuNi-MOFs derivatives for meat freshness detection at low temperature environment | |
Chaudhari et al. | Polyvinyl alcohol and graphene oxide blending surface coated alumina hollow fiber (AHF) membrane for pervaporation dehydration of epichlorohydrin (ECH)/isopropanol (IPA)/water ternary feed mixture | |
Rajouâ et al. | Platinum for hydrogen sensing: Surface and grain boundary scattering antagonistic effects in Pt@ Au core–shell nanoparticle assemblies prepared using a Langmuir–Blodgett method | |
Kim et al. | Hierarchically porous PdO-functionalized SnO 2 nano-architectures for exclusively selective, sensitive, and fast detection of exhaled hydrogen | |
Xiang et al. | Atomically dispersed Pt on three-dimensional ordered macroporous SnO2 for highly sensitive and highly selective detection of triethylamine at a low working temperature | |
Tan et al. | Improving anti-humidity property of a SnO2-based chemiresistive hydrogen sensor by a breathable and hydrophobic fluoropolymer coating | |
JP7258347B2 (ja) | 複合構造体およびその製造方法ならびに該複合構造体を用いたセンサ | |
Shinde et al. | Polyoxotungstate intercalated self-assembled nanohybrids of Zn-Cr-LDH for room temperature Cl2 sensing | |
Choi et al. | Surface molecular separator for selective gas sensing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20190910 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20211029 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220523 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230131 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230306 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230328 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7258347 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |