JP7256804B2 - 水精製および分注システム、およびかかるシステムの稼働方法 - Google Patents
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Description
それ故に、本発明の目的は、上述した問題点および欠点の少なくとも幾つかに関して、解決するか緩和することのできる、また、システムから分注される超純水の安定した品質を確実にする、水精製および分注システム、および、水精製および分注システムを運転する方法を提供することにある。
この課題を解決するために、本発明は請求項1の技術事項を有する水精製および分注システム、および請求項10または12の技術事項を包含する水精製および分注システムの運転方法を提供する。
-第1の精製ステージ中の電気脱イオン洗浄(すなわち、バルブ構造を貯蔵容器へ行く水流を遮断しドレインへ行く水流を開き、水道蛇口からドレインまでの水流を形成する);および
-再循環および分注ループにおける再循環(この検査を実行するために第1のまたは浄水ステージの洗浄を中断する必要は無い)。
-浄化水の製造(水道蛇口から貯蔵容器まで-例えば3から15l/h);
-超純水再循環(貯蔵容器から来て第2の精製ステージを通る第2の接続流路と第3の接続流路との接続から貯蔵容器まで-例えば約40l/h);
-浄化水の製造と超純水再循環との組み合わせ(例えば訳43から55l/h)。
動作を自動化するために、水再循環ループおよび貯蔵容器を通る水の循環は分注部からの水の分注の休止時間および/または分注分量、および/または汚染の検知に依存して実行することが出来る。
Claims (17)
- 水精製および分注システム(100)であって、
水を第1の水精製等級にまで精製する第1の精製ステージ(1)と;
水を第1の精製等級よりも高度な第2の水精製等級まで精製する第2の精製ステージ(3)と該第2の精製ステージよりも循環流方向(D)で下流にある精製された水のための1つ以上の出口(6)を包含する分注部(5)とを包含する、水再循環ループ(2)と;および、
第1の精製ステージ(1)において精製された水を、第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)へ水を供給するための第1の接続流路(7a)を通じて受領して一時的に貯蔵し、貯蔵した水を第2の接続流路(7b)を通じて水再循環ループ(2)へ第2の精製ステージ(3)より上流の位置に供給するように構成された貯蔵容器(4)とを含み、
ここにおいて、第1のバルブ構造(8)が、第1の精製ステージ(1)と貯蔵容器(4)との間の第1の接続流路(7a)に設けられ、該バルブ構造は第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)への精製された水の流れを選択的に制御し、また、第1の精製ステージ(1)から精製された水を排出するように構成されており、
ここにおいて、第1の精製ステージ(1)は、水を精製するための少なくとも1つの電気脱イオンモジュール(9)を含み、前記第1のバルブ構造(8)は前記脱イオンモジュール(9)の出口の下流に設けられており、
ここにおいて、前記第1のバルブ構造(8)は3ウェイバルブであり、
ここにおいて、UV放射処理装置(11)が、水を精製するために前記第1の接続流路(7a)内であって第1のバルブ構造(8)の下流で貯蔵容器(4)の上流に配置されており、そして
ここにおいて、第3の接続流路(15)が、前記水再循環ループ(2)の前記分注部(5)から、1つ以上の出口(6)の循環流方向(D)で下流の位置で枝分かれし、第1の接続流路(7a)とUV放射処理装置(11)の上流に接続している、前記水精製および分注システム(100)。 - 第2の精製ステージ(3)が、水を精製するための、少なくともポリッシングフィルター装置(12)および放射処理装置(13)を含む、請求項1に記載の水精製および分注システム(100)。
- 放射処理装置(13)がキセノン二量体Xe2を使用して波長172nmの励起主放射を与えるものである、請求項2に記載の水精製および分注システム(100)。
- UV放射処理装置(11)が、UV-C放射処理装置であり、ここにおいてUV―C放射処理装置のUV放射パワーがUV-C放射処理装置を通って流れる水の流速に従って調節可能である、請求項1~3のいずれか一項に記載の水精製および分注システム(100)。
- UV放射処理装置(11)が、UV-C LED放射処理装置であり、ここにおいてUV―C放射処理装置のUV放射パワーがUV-C LED放射処理装置を通って流れる水の流速に従って調節可能である、請求項1~3のいずれか一項に記載の水精製および分注システム(100)。
- UV-C LED放射処理装置が、260nm~290nmの波長領域の光を発生させるように構成されている、請求項4に記載の水精製および分注システム(100)。
- 第3の接続流路(15)を通る流れを選択的に制御するように構成された第2のバルブ構成(16)をさらに含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の水精製および分注システム(100)。
- 第3の接続流路(15)を通る流れを選択的に許容または遮断、するように構成された第2のバルブ構成(16)をさらに含む、請求項1~6のいずれか一項に記載の水精製および分注システム(100)。
- システムを、第1の精製ステージ(1)中のポンプ(19)が第1の精製ステージ(1)中の水を駆動するように運転される間、第1のバルブ構成(8)が精製された水の第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)への流れは遮断し、精製された水を第1の精製ステージ(1)から排出するようにセットされたモードで、システムを動作させるように構成された制御装置をさらに含む、請求項1~8のいずれか一項に記載の水精製および分注システム(100)。
- 水再循環ループ(2)中にある循環ポンプ(18)が、水が水再循環ループ(2)および貯蔵容器(4)を通って循環するように動作されている間、第1のバルブ構造(8)が、精製された水の第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)への流れは遮断するようにセットされ、第2のバルブ構造(16)が第3の接続流路(15)を通る流れを許容するようにセットされる再循環モードにおいてシステムを動作させるように構成された制御装置をさらに含む、請求項7または8に記載の水精製および分注システム(100)。
- 制御装置が、検知された分注部(5)からの水の分注の休止時間、および/または検知された分注量、および/または検知された汚染に依存して、自動的にシステムを再循環モードで動作させるように構成されている、請求項10に記載の水精製および分注システム(100)。
- 水精製および分注システム(100)を動作させる方法であって、前記水精製および分注システムは、
水を第1の水精製等級にまで精製する第1の精製ステージ(1)と;
水を第1の精製等級よりも高度な第2の水精製等級まで精製する第2の精製ステージ(3)と該第2の精製ステージよりも循環流方向(D)で下流にある精製された水のための1つ以上の出口(6)を包含する分注部(5)とを包含する、水再循環ループ(2)と;および、
第1の精製ステージ(1)において精製された水を、第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)へ水を供給するための第1の接続流路(7a)を通じて受領して一時的に貯蔵し、貯蔵した水を第2の接続流路(7b)を通じて水再循環ループ(2)へ第2の精製ステージ(3)より上流の位置に供給するように構成された貯蔵容器(4)とを含み、
前記方法は、
精製された水を第1の精製ステージ(1)から排出するように第1の精製ステージ(1)を通って水を駆動する間、精製された水の第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)への流れは遮断することを含むものである、前記方法。 - 請求項12に記載の、水精製および分注システム(100)を動作させる方法であって、精製された水を第1の精製ステージ(1)から排出することを停止することおよび第1の精製ステージ(1)内のポンプ(19)の運転を停止すること;および
水を水再循環ループ(2)、UV放射処理装置(11)および貯蔵容器(4)を通って循環させるために水再循環ループ(2)内の循環ポンプ(18)を作動させる間に、前記水再循環ループ(2)の分注部(5)から、前記1つ以上の出口(6)の循環流方向(D)で下流の位置において、水を分岐させ、その分岐した水を第1の接続流路(7a)の貯蔵容器(4)の上流に設けたUV放射処理装置(11)の上流で第1の接続流路(7a)に供給することをさらに含む、前記方法。 - 水精製および分注システム(100)を動作させる方法であって、前記水精製および分注システムは、
水を第1の水精製等級にまで精製する第1の精製ステージ(1)と;
水を第1の精製等級よりも高度な第2の水精製等級まで精製する第2の精製ステージ(3)と該第2の精製ステージよりも循環流方向(D)で下流にある精製された水のための1つ以上の出口(6)を包含する分注部(5)とを包含する、水再循環ループ(2)と;および、
第1の精製ステージ(1)において精製された水を、第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)へ水を供給するための第1の接続流路(7a)を通じて受領して一時的に貯蔵し、貯蔵した水を第2の接続流路(7b)を通じて水再循環ループ(2)へ第2の精製ステージ(3)より上流の位置に供給するように構成された貯蔵容器(4)とを含み、
前記方法は、
精製された水の第1の精製ステージ(1)から貯蔵容器(4)への流れを遮断すること、
水を水再循環ループ(2)、UV放射処理装置(11)および貯蔵容器(4)を通って循環させるために水再循環ループ(2)内の循環ポンプ(18)を作動させる間に、前記水再循環ループ(2)の分注部(5)から、前記1つ以上の出口(6)の循環流方向(D)で下流の位置において、水を分岐させ、その分岐した水を第1の接続流路(7a)の貯蔵容器(4)の上流に設けたUV放射処理装置(11)の上流で第1の接続流路(7a)に供給することを含む、前記方法。 - 請求項13または14に記載の水精製および分注システム(100)を動作させる方法であって、分岐した水を貯蔵容器(4)の上流のUV放射処理装置(11)内でUV-C放射によって処理することをさらに含む、前記方法。
- 請求項13または14に記載の水精製および分注システム(100)を動作させる方法であって、分岐した水を貯蔵容器(4)の上流のUV放射処理装置(11)内で260nm~290nmの波長領域によって処理することをさらに含む、前記方法。
- 請求項13~16のいずれか一項に記載の水精製および分注システム(100)を動作させる方法であって、水再循環ループ(2)および貯蔵容器(4)を通る水の循環が、分注部(5)からの水の分注の休止時間、および/または分注分量、および/または汚染の検知に依存して実行される、前記方法。
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