JP7231319B2 - Conductive paste composition, method for producing conductive film using same, and multilayer capacitor - Google Patents

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本発明は、導電性ペースト組成物、それを用いた導電性膜の製造方法および積層コンデンサに関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a conductive paste composition, a method for producing a conductive film using the same, and a multilayer capacitor.

積層コンデンサは、誘電体層と内部電極を担う電極層とを交互に積層した構造を有し、該電極層と電気的に接続した外部電極(端子電極)を通じて外部と接続される電子部品である。該誘電体層は、たとえばセラミック、マイカ(雲母)、二酸化タンタル、酸化アルミニウムなどを含むことが知られている。 A multilayer capacitor is an electronic component that has a structure in which dielectric layers and electrode layers that serve as internal electrodes are alternately laminated, and that is connected to the outside through external electrodes (terminal electrodes) that are electrically connected to the electrode layers. . Such dielectric layers are known to include, for example, ceramics, mica, tantalum dioxide, aluminum oxide, and the like.

電極層には従来、銀が使用されてきた。たとえば銀が単独で導電性金属として含まれる導電性銀ペーストを誘電体層間に配置し、これを焼成することにより内部電極を担う電極層を構成していた。しかし、銀は非常に高価な金属であると同時に、銀のエレクトロマイグレーションによる内部電極間の短絡が発生しやすいため、エレクトロマイグレーションの起こりにくい新たな電極材料の開発が求められている。 Silver has traditionally been used for electrode layers. For example, a conductive silver paste containing silver alone as a conductive metal is placed between dielectric layers and fired to form electrode layers serving as internal electrodes. However, silver is a very expensive metal, and electromigration of silver easily causes short circuits between internal electrodes.

エレクトロマイグレーション対策として、たとえば銀と比較してエレクトロマイグレーションの起こりにくいパラジウム、金、白金などの貴金属を単独で、または該貴金属の複数を混合して導電性銀ペーストに添加することが知られる。しかしながら、これらの貴金属は高価であるため、電子部品の製造コストが上昇する問題がある。 As a countermeasure against electromigration, it is known to add a noble metal such as palladium, gold or platinum, which is less likely to cause electromigration than silver, alone or a mixture of a plurality of such noble metals to a conductive silver paste. However, since these noble metals are expensive, there is a problem that the manufacturing cost of electronic parts increases.

特開2011-151089号公報(特許文献1)では、上記製造コストを考慮し、エレクトロマイグレーションが生じにくいとされている金属材料のうち特に卑金属を導電性銀ペーストに添加した導電性ペースト組成物を用いた積層セラミック電子部品に係る技術が開示されている。 In Japanese Patent Application Laid-Open No. 2011-151089 (Patent Document 1), in consideration of the above manufacturing cost, a conductive paste composition is prepared by adding a base metal, particularly a base metal, to a conductive silver paste, among metal materials that are said to be resistant to electromigration. A technique related to a laminated ceramic electronic component using the above is disclosed.

特開2011-151089号公報JP 2011-151089 A

しかしながら、上記特許文献1に開示されている積層セラミック電子部品は、卑金属であるアルミニウム粒子が含まれる内部電極を用いた例において、内部電極中のアルミニウム量が多いために、その焼成が不十分となることによって目的の導電性を得ることが困難となる可能性がある。 However, in the multilayer ceramic electronic component disclosed in Patent Document 1, in an example using an internal electrode containing aluminum particles, which is a base metal, the amount of aluminum in the internal electrode is large, so the sintering of the internal electrode is insufficient. As a result, it may become difficult to obtain the desired conductivity.

本発明は、上記実情に鑑みてなされ、その目的とするところは、導電性および耐エレクトロマイグレーション性が良好な電極、配線などの導電性膜を得ることが可能な導電性ペースト組成物、それを用いた導電性膜の製造方法および積層コンデンサを提供することにある。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a conductive paste composition capable of obtaining a conductive film such as an electrode and a wiring having good conductivity and electromigration resistance. An object of the present invention is to provide a method for producing a conductive film using the conductive film and a multilayer capacitor.

上記課題を解決するため、本発明者らは、薄片状アルミニウム粒子の物性、たとえばその粒子径、アスペクト比および酸素含有量に着目し、鋭意研究を重ねた。その結果、特定の物性を有する薄片状アルミニウム粒子を含有した導電性ペースト組成物を使用し、導電性膜を形成することにより、上記目的を達成することができることを見出した。この知見に基づいて、本発明に係る導電性ペースト組成物、それを用いた導電性膜の製造方法および積層コンデンサは、次のような構成を備えている。 In order to solve the above problems, the present inventors focused on the physical properties of flaky aluminum particles, such as the particle size, aspect ratio and oxygen content, and conducted extensive research. As a result, the present inventors have found that the above object can be achieved by forming a conductive film using a conductive paste composition containing flaky aluminum particles having specific physical properties. Based on this finding, the conductive paste composition, the method for producing a conductive film using the same, and the multilayer capacitor according to the present invention have the following configurations.

すなわち本発明は、第1導電性粉末と第2導電性粉末とを含む導電性ペースト組成物であって、前記第1導電性粉末は、銀粒子であり、前記第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子であり、前記薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下である。 That is, the present invention is a conductive paste composition containing a first conductive powder and a second conductive powder, wherein the first conductive powder is silver particles, and the second conductive powder is a flake The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg / m 2 or less.

上記銀粒子と上記薄片状アルミニウム粒子との質量比は、上記銀粒子が85~99.5質量%であり、上記薄片状アルミニウム粒子が0.5~15質量%であることが望ましい。 The mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles is preferably 85 to 99.5% by mass of the silver particles and 0.5 to 15% by mass of the flaky aluminum particles.

上記薄片状アルミニウム粒子は、有機化合物膜で被覆されていることが望ましい。
上記有機化合物膜は、脂肪酸、脂肪族アミン、脂肪族アルコール、脂肪族エステルおよび樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種を含むことが望ましい。
The flaky aluminum particles are desirably coated with an organic compound film.
The organic compound film preferably contains at least one selected from the group consisting of fatty acids, aliphatic amines, aliphatic alcohols, aliphatic esters and resins.

上記導電性ペースト組成物は、有機ビヒクルおよびガラスフリットをさらに含むことが望ましい。 The conductive paste composition preferably further contains an organic vehicle and a glass frit.

上記導電性ペースト組成物は、上記銀粒子100質量部あたり0.5~14質量部の上記薄片状アルミニウム粒子と、42~50質量部の上記有機ビヒクルと、0.7~0.9質量部の上記ガラスフリットとを含むことが望ましい。 The conductive paste composition contains 0.5 to 14 parts by mass of the flaky aluminum particles, 42 to 50 parts by mass of the organic vehicle, and 0.7 to 0.9 parts by mass per 100 parts by mass of the silver particles. and the above glass frit.

上記ガラスフリットは、SiO2、B23、ZnO、BaO、CaO、LiO2、MgO、Bi23およびAl23からなる群より選ばれる少なくとも1種の成分を含む金属酸化物ガラスであることが望ましい。 The glass frit is metal oxide glass containing at least one component selected from the group consisting of SiO2 , B2O3 , ZnO, BaO, CaO, LiO2 , MgO , Bi2O3 and Al2O3 . is desirable.

本発明は、上記導電性ペースト組成物を用いた導電性膜の製造方法であって、上記導電性ペースト組成物をドライフィルムレジスト法、コーター法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、ドクターブレード法、スプレー塗装法、インクジェット法およびフォトリソグラフィ法のいずれかを用いて所定形状にパターニングする第1工程と、上記第1工程の後、パターニングされた上記導電性ペースト組成物を500~900℃の温度で焼成する第2工程とを含む。 The present invention relates to a method for producing a conductive film using the conductive paste composition, wherein the conductive paste composition is subjected to a dry film resist method, a coater method, a screen printing method, an offset printing method, a doctor blade method, A first step of patterning into a predetermined shape using any one of a spray coating method, an inkjet method and a photolithography method, and after the first step, the patterned conductive paste composition is subjected to a temperature of 500 to 900 ° C. and a second step of firing.

本発明は、第1導電性粉末と第2導電性粉末とを含む積層コンデンサであって、上記第1導電性粉末は、銀粒子であり、上記第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子であり、上記薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下である。 The present invention provides a multilayer capacitor containing a first conductive powder and a second conductive powder, wherein the first conductive powder is silver particles and the second conductive powder is flaky aluminum particles. The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg/m 2 or less. .

本発明によれば、導電性および耐エレクトロマイグレーション性が良好な導電性膜を得ることが可能な導電性ペースト組成物、それを用いた導電性膜の製造方法および積層コンデンサを提供することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY According to the present invention, it is possible to provide a conductive paste composition capable of obtaining a conductive film having good conductivity and electromigration resistance, a method for producing a conductive film using the same, and a multilayer capacitor. .

以下、本発明に係る導電性ペースト組成物、それを用いた導電性膜の製造方法および積層コンデンサについて詳細に説明する。 A conductive paste composition, a method for producing a conductive film using the same, and a multilayer capacitor according to the present invention will be described in detail below.

ここで、本明細書において「X~Y」という形式の表記は、範囲の上限下限(すなわちX以上Y以下)を意味しており、Xにおいて単位の記載がなく、Yにおいてのみ単位が記載されている場合、Xの単位とYの単位とは同じである。 Here, in this specification, the notation of the format "X to Y" means the upper and lower limits of the range (that is, X to Y or less), and no unit is described in X, and only Y is described in units. , the units of X and Y are the same.

[導電性ペースト組成物]
本発明に係る導電性ペースト組成物は、第1導電性粉末と第2導電性粉末とを含む。第1導電性粉末は、銀粒子である。第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子である。この薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下である。
[Conductive paste composition]
A conductive paste composition according to the present invention includes a first conductive powder and a second conductive powder. The first conductive powder is silver particles. The second conductive powder is flaky aluminum particles. The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg/m 2 or less.

本発明に係る導電性ペースト組成物は、上記第1導電性粉末と上記第2導電性粉末とを含むことにより、導電性および耐エレクトロマイグレーション性が良好な導電性膜を得ることが可能となる。特に、第2導電性粉末として上述した構成の薄片状アルミニウム粒子を含むことにより、後述するようにアルミニウムの酸化皮膜の厚みを薄くすることができるため、焼成によって得られる導電性膜中の金属粒子を緻密化することができ、かつ該導電性膜の導電性が向上する効果を得ることができる。 Since the conductive paste composition according to the present invention contains the first conductive powder and the second conductive powder, it is possible to obtain a conductive film having good conductivity and electromigration resistance. . In particular, by including the flaky aluminum particles having the above-described structure as the second conductive powder, the thickness of the aluminum oxide film can be reduced as described later, so that the metal particles in the conductive film obtained by firing can be densified, and the effect of improving the conductivity of the conductive film can be obtained.

<第1導電性粉末>
本発明における第1導電性粉末は、銀粒子(純度:98~99.999質量%)である。銀粒子の形状は特に限定されるべきではない。たとえば銀粒子は、球状または略球状の粒子状で導電性ペースト組成物中に分散している。銀粒子は、上記球状または略球状が何らかの原因により押し潰され、扁平な円盤型形状、略円柱状などとして分散している場合もある。よって、「銀粒子」という場合、その形状は限定されるべきではない。さらに、銀粒子の粒子径は、体積平均粒子径D50として表され、0.1~5μmであることが好ましい。これにより、本発明に係る導電性ペースト組成物を用いて導電性膜を形成したとき、その導電性膜は良好な導電性を備えることができる。銀粒子のより好ましい体積平均粒子径D50は、0.15~5μmである。
<First conductive powder>
The first conductive powder in the present invention is silver particles (purity: 98-99.999% by mass). The shape of the silver particles should not be particularly limited. For example, the silver particles are spherical or approximately spherical particles dispersed in the conductive paste composition. In some cases, the spherical or approximately spherical shape of the silver particles is crushed for some reason, and dispersed as a flat discoid shape, a substantially cylindrical shape, or the like. Therefore, when referring to "silver particles", the shape should not be limited. Furthermore, the particle size of the silver particles is expressed as volume average particle size D50, and is preferably 0.1 to 5 μm. Accordingly, when a conductive film is formed using the conductive paste composition according to the present invention, the conductive film can have good conductivity. A more preferable volume average particle diameter D50 of the silver particles is 0.15 to 5 μm.

第1導電性粉末の平均粒子径、すなわち銀粒子の体積平均粒子径D50は、たとえば、レーザー回折散乱法を測定原理とする粒子径分布測定装置(たとえば商品名:「マイクロトラックMT3300II」、日機装株式会社製)を用いて測定することができる。レーザー回折散乱法は、直径1μmの球と同じ回折散乱光のパターンを示す測定対象物の粒径を、その形状に関わらず1μmとみなす測定法である。ここでD50とは、D50で表される粒子径以下の粒子の占める体積が全体の体積の50%であることを意味する。測定は、サンプルローディング時にサンプルを循環器中に投入し、その濃度が適正濃度となって[Ready]と表示された時点のものを対象とした。 The average particle size of the first conductive powder, that is, the volume-average particle size D50 of the silver particles can be measured by, for example, a particle size distribution measuring device (for example, product name: "Microtrac MT3300II", Nikkiso Co., Ltd.) that uses a laser diffraction scattering method as a measurement principle. (manufactured by the company) can be used for measurement. The laser diffraction scattering method is a measurement method in which the particle size of an object to be measured that exhibits the same pattern of diffracted and scattered light as a sphere with a diameter of 1 μm is regarded as 1 μm regardless of its shape. Here, D50 means that the volume occupied by particles having a particle diameter equal to or smaller than that represented by D50 accounts for 50% of the total volume. The measurement was performed at the time when the sample was put into the circulator at the time of sample loading, and when the concentration reached the proper concentration and [Ready] was displayed.

銀粒子の製造方法は、従来公知の方法を用いることができる。たとえば、銀塩含有水溶液にアルカリまたは錯化剤を加え、酸化銀含有スラリーまたは銀錯塩含有水溶液を生成した後、還元剤を加えることにより、銀粒子を還元析出させる方法などを挙げることができる。 A conventionally known method can be used as a method for producing silver particles. For example, an alkali or a complexing agent is added to a silver salt-containing aqueous solution to form a silver oxide-containing slurry or a silver complex salt-containing aqueous solution, and then a reducing agent is added to reduce and deposit silver particles.

<第2導電性粉末>
本発明における第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子である。この薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下である。
<Second conductive powder>
The second conductive powder in the present invention is flaky aluminum particles. The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg/m 2 or less.

本明細書において薄片状アルミニウム粒子の「薄片状」とは、平均アスペクト比として4以上100以下で規定される粒子の形状に由来する。平均アスペクト比は、薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50と、平均厚みとの比(体積平均粒子径D50[μm]/平均厚み[μm])により算出される。薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50は、上述した銀粒子と同じ測定方法であるレーザー回折散乱法を測定原理とする粒子径分布測定装置(たとえば商品名:「マイクロトラックMT3300II」、日機装株式会社製)を用いて測定することができる。測定は、サンプルローディング時にサンプルを循環器中に投入し、その濃度が適正濃度となって[Ready]と表示された時点のものを対象とした。 In the present specification, the “flake-like” of the flaky aluminum particles is derived from the shape of the particles defined as an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less. The average aspect ratio is calculated from the ratio of the volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles to the average thickness (volume average particle diameter D50 [μm]/average thickness [μm]). The volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles is measured by a particle size distribution measuring device (for example, trade name: “Microtrac MT3300II”, Nikkiso Co., Ltd.) that uses the laser diffraction scattering method, which is the same measuring method as the silver particles described above. (manufactured) can be used for measurement. The measurement was performed at the time when the sample was put into the circulator at the time of sample loading, and when the concentration reached the proper concentration and [Ready] was displayed.

さらに、薄片状アルミニウム粒子の平均厚みは、たとえばJIS K 5906などに記載されている方法で測定した薄片状アルミニウム粒子の水面拡散面積の値を、特定の数式に代入するという算出方法により得ることができる。より具体的な算出方法は、以下のとおりである。 Further, the average thickness of the flaky aluminum particles can be obtained by a calculation method of substituting the value of the water surface diffusion area of the flaky aluminum particles measured by the method described in JIS K 5906 or the like into a specific formula. can. A more specific calculation method is as follows.

すなわち、まずガラス棒を使用し、薄片状アルミニウム粒子をアセトン中に十分に分散させて放置する。その後ろ過し、乾燥させてその質量(g)を計量する。さらに、その質量を測定した薄片状アルミニウム粒子を、ステアリン酸ミネラルスピリット溶液に加えるとともにガラス棒を用いて分散させ、ステアリン酸ミネラルスピリット溶液をさらに加えて加熱し、その後ろ過する。次に、薄片状アルミニウム粒子を時計皿に載せ、水を張ったトラフの液面に時計皿ごと沈め、アルミニウム膜をバリヤーを用いて皺が出ないように該液面に形成する。この該液面に均一に浮かべたアルミニウム膜の被覆面積A(cm2)を、バリヤー間の距離をミリメートルの範囲まで測定することにより算出する。そして、これらを下記式(1)に代入することにより、WCA(水面拡散面積)を算出する。次いで、該WCAの値を下記式(2)に代入することにより、薄片状アルミニウム粒子の平均厚みを算出することができる。 That is, first, using a glass rod, flaky aluminum particles are sufficiently dispersed in acetone and allowed to stand. After that, it is filtered, dried and its mass (g) is measured. Furthermore, the flaky aluminum particles whose mass is measured are added to the stearic mineral spirit solution and dispersed using a glass rod, the stearic mineral spirit solution is further added, heated, and then filtered. Next, the flaky aluminum particles are placed on a watch glass, the whole watch glass is submerged in the liquid surface of a water-filled trough, and an aluminum film is formed on the liquid surface using a barrier so as not to wrinkle. The coverage area A (cm 2 ) of the aluminum film uniformly floating on the liquid surface is calculated by measuring the distance between the barriers to the millimeter range. Then, WCA (water surface diffusion area) is calculated by substituting these into the following formula (1). Then, the average thickness of the flaky aluminum particles can be calculated by substituting the WCA value into the following formula (2).

WCA(cm2/g)=A(cm2)/w(g) ・・・(1)
平均厚み(μm)=104/{2.5(g/cm3)×WCA} ・・・(2)。
WCA (cm 2 /g) = A (cm 2 )/w (g) (1)
Average thickness (μm)=10 4 /{2.5 (g/cm 3 )×WCA} (2).

ここで薄片状アルミニウム粒子は、後述するようにその表面が有機化合物膜で被覆されている場合がある。その場合であっても、有機化合物膜の有無が薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50に影響することはない。なお、薄片状アルミニウム粒子の平均厚みは、有機化合物膜がアセトンで除去されるため、必ず有機化合物膜が被覆されていない状態で算出されることとなる。 The surface of the flaky aluminum particles may be coated with an organic compound film as described later. Even in that case, the presence or absence of the organic compound film does not affect the volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles. Note that the average thickness of the flaky aluminum particles is always calculated without the organic compound film being coated because the organic compound film is removed with acetone.

薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50は、1μm以上20μm以下であり、好ましくは1.5μm以上15μm以下である。薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50が1μm未満である場合、粒子の比表面積が大きくなる結果、導電性ペースト組成物中でアルミニウムの酸化皮膜の割合(すなわち含有酸素量)が多くなるため、接触抵抗が大きくなって良好な導電性を得ることができなくなる。薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50が20μmを超える場合、導電性ペースト組成物中で銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との配列が悪くなり、粒子間の良好な接触状態を保つことができなくなって良好な導電性を得ることができなくなる。 The volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles is 1 μm or more and 20 μm or less, preferably 1.5 μm or more and 15 μm or less. When the volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles is less than 1 μm, the specific surface area of the particles increases, and as a result, the proportion of the aluminum oxide film in the conductive paste composition (that is, the amount of oxygen contained) increases. The contact resistance increases, and good conductivity cannot be obtained. When the volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles exceeds 20 μm, the arrangement of the silver particles and the flaky aluminum particles in the conductive paste composition deteriorates, making it impossible to maintain good contact between the particles. good conductivity cannot be obtained.

薄片状アルミニウム粒子の平均アスペクト比は、4以上100以下であり、好ましくは8.5以上60以下である。平均アスペクト比が4未満である場合、粒子の薄片状化が不十分であるといえ、粒子間の接触が不十分となって、所定の緻密化および導電性が向上する効果を得ることが困難となる。さらに、アルミニウムの酸化皮膜の厚みが厚くなって焼成時に十分に溶解することが困難となることにより、焼成によって得られる導電性膜の導電性が低下してしまう。一方、平均アスペクト比が100を超える場合、粒子の薄片状化が過度であるといえ、ペースト化する際の充填性が悪くなり、目的の導電性が得られなくなる。平均アスペクト比の算出方法は、上述のとおりである。 The average aspect ratio of the flaky aluminum particles is 4 or more and 100 or less, preferably 8.5 or more and 60 or less. If the average aspect ratio is less than 4, it can be said that the flaky particles are insufficient, and the contact between the particles is insufficient, making it difficult to obtain the desired densification and the effect of improving conductivity. becomes. Furthermore, the thickness of the aluminum oxide film becomes thicker, making it difficult to dissolve sufficiently during firing, resulting in a decrease in conductivity of the conductive film obtained by firing. On the other hand, if the average aspect ratio exceeds 100, it can be said that the particles are excessively exfoliated, resulting in poor filling properties when made into a paste, making it impossible to obtain the desired conductivity. The method for calculating the average aspect ratio is as described above.

薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率は、15mg/m2以下であり、好ましくは10mg/m2以下である。下限値は、理想値としての0mg/m2である。薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2を超えると、アルミニウムの酸化皮膜の厚みが厚くなって焼成時に十分に溶解することが困難となることにより、焼成によって得られる導電性膜の導電性が低下してしまう。なお含有酸素は、通常、酸化皮膜として薄片化アルミニウム粒子の表面に存在する。含有酸素量は、酸化皮膜の割合が多くなり、または酸化皮膜の厚みが厚くなるほど増えることとなる。 The ratio of oxygen content to unit surface area of the flaky aluminum particles is 15 mg/m 2 or less, preferably 10 mg/m 2 or less. The lower limit is 0 mg/m 2 as an ideal value. When the ratio of the amount of oxygen contained to the unit surface area of the flaky aluminum particles exceeds 15 mg/m 2 , the thickness of the aluminum oxide film becomes so thick that it becomes difficult to dissolve it sufficiently during firing. The conductivity of the conductive film is lowered. The contained oxygen is usually present on the surface of the exfoliated aluminum particles as an oxide film. The oxygen content increases as the proportion of the oxide film increases or as the thickness of the oxide film increases.

薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率の算出方法は、以下のとおりである。すなわち、まず不活性ガス融解赤外線吸収法により薄片状アルミニウム粒子中の酸素含有量を測定する。さらに、窒素吸着BET法により薄片状アルミニウム粒子の比表面積を測定し、これと酸素含有量との比(酸素含有量[mg/g]/比表面積[m2/g])として算出する。具体的には、酸素・窒素分析装置(商品名:「EMGA-920」、株式会社堀場製作所製)を用いて薄片状アルミニウム粒子中の酸素含有量を測定することができる。薄片状アルミニウム粒子の比表面積は、比表面積・細孔分布測定装置(商品名:「QUADRASORB SI」、カンタクローム・インスツルメンツ・ジャパン合同会社製)を用いて測定することができる。薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率も、導電性ペースト組成物に含まれる多数の薄片状アルミニウム粒子の平均値である。 A method for calculating the ratio of the oxygen content to the unit surface area of the flaky aluminum particles is as follows. That is, first, the oxygen content in the flaky aluminum particles is measured by the inert gas fusion infrared absorption method. Further, the specific surface area of the flaky aluminum particles is measured by the nitrogen adsorption BET method, and the ratio between this and the oxygen content (oxygen content [mg/g]/specific surface area [m 2 /g]) is calculated. Specifically, the oxygen content in the flaky aluminum particles can be measured using an oxygen/nitrogen analyzer (trade name: "EMGA-920", manufactured by HORIBA, Ltd.). The specific surface area of the flaky aluminum particles can be measured using a specific surface area/pore size distribution measuring device (trade name: "QUADRASORB SI", manufactured by Quantachrome Instruments Japan LLC). The ratio of the oxygen content to the unit surface area of the flaky aluminum particles is also the average value of the large number of flaky aluminum particles contained in the conductive paste composition.

薄片状アルミニウム粒子は、従来公知の方法で作製することができる。たとえば、プラスチックフィルムの表面に蒸着により形成されたアルミニウム薄膜をプラスチックフィルムの表面から剥離した後に破砕することにより作製することができる。さらに、たとえば、従来公知のアトマイズ法を用いて得られるアルミニウム粒子を、有機溶媒の存在下でボールミルを用いて粉砕することにより作製することができる。 The flaky aluminum particles can be produced by a conventionally known method. For example, it can be produced by crushing an aluminum thin film formed on the surface of a plastic film by vapor deposition after peeling it from the surface of the plastic film. Further, for example, aluminum particles obtained by a conventionally known atomization method can be pulverized using a ball mill in the presence of an organic solvent.

一般に、上記の蒸着プロセスにより得られるアルミニウム薄膜の表面およびボールミルを用いて粉砕することにより得られる薄片状アルミニウム粒子の表面には、樹脂などの離型剤または高級脂肪酸などの粉砕助剤が付着している。本発明では、薄片状アルミニウム粒子の表面にこのような離型剤または粉砕助剤が付着したものを使用してもよく、薄片状アルミニウム粒子の表面から離型剤または粉砕助剤が除去されたものを使用してもよい。いずれの薄片状アルミニウム粒子を用いても、本発明が目的とする作用効果を達成することができる。 In general, a releasing agent such as a resin or a grinding aid such as a higher fatty acid adheres to the surface of the aluminum thin film obtained by the vapor deposition process and the surface of the flaky aluminum particles obtained by pulverizing with a ball mill. ing. In the present invention, flaky aluminum particles with such a release agent or grinding aid attached to the surface may be used, and the release agent or grinding aid is removed from the surface of the flaky aluminum particles. You can use things. The desired effects of the present invention can be achieved using any flaky aluminum particles.

ボールミルを用いて粉砕して薄片状アルミニウム粒子を得る場合、粉砕助剤としてたとえば、オレイン酸、ステアリン酸などの脂肪酸、脂肪族アミン、脂肪族アミド、脂肪族アルコール、脂肪酸エステルなどが付着している場合がある。これらは、薄片状アルミニウム粒子の表面の不必要な酸化を抑制するとともに、本発明に係る導電性ペースト組成物を用いて形成する導電性膜の導電性などを改善する効果を有する。 When flaky aluminum particles are obtained by grinding using a ball mill, grinding aids such as fatty acids such as oleic acid and stearic acid, aliphatic amines, aliphatic amides, aliphatic alcohols, and fatty acid esters are attached. Sometimes. These have the effect of suppressing unnecessary oxidation of the surface of the flaky aluminum particles and improving the conductivity of the conductive film formed using the conductive paste composition according to the present invention.

すなわち、本発明に係る導電性ペースト組成物において、薄片状アルミニウム粒子は、有機化合物膜で被覆されていることが好ましい。この有機化合物膜には、上記離型剤または上記粉砕助剤が含まれる。薄片状アルミニウム粒子の表面を被覆する有機化合物膜は、導電性ペースト組成物を焼成して導電性膜を形成する工程においてアルミニウムの酸化を抑制することにより、より良好な導電性を実現することに寄与する。有機化合物膜は、薄片状アルミニウム粒子の全面を被覆していてもよいし、薄片状アルミニウム粒子の一部を被覆していてもよく、いずれも本発明の範囲を逸脱するものではない。有機化合物膜の含有量は、薄片状アルミニウム粒子100質量部あたり0.05~2質量部であることが好ましい。 That is, in the conductive paste composition according to the present invention, the flaky aluminum particles are preferably coated with an organic compound film. This organic compound film contains the release agent or the pulverization aid. The organic compound film that coats the surface of the flaky aluminum particles achieves better conductivity by suppressing the oxidation of aluminum in the step of baking the conductive paste composition to form a conductive film. contribute. The organic compound film may cover the entire surface of the flaky aluminum particles or may cover a portion of the flaky aluminum particles, either of which is within the scope of the present invention. The content of the organic compound film is preferably 0.05 to 2 parts by mass per 100 parts by mass of the flaky aluminum particles.

有機化合物膜は、脂肪酸、脂肪族アミン、脂肪族アルコール、脂肪族エステルおよび樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種を含むことが好ましい。具体的には、脂肪酸としては、オレイン酸、ステアリン酸、ラウリン酸など、脂肪族アミンとしては、ステアリルアミン、ラウリルアミンなど、脂肪族アルコールとしては、ステアリルアルコール、オレイルアルコールなど、脂肪族エステルとしては、ステアリン酸アミド、ステアリン酸ブチル、オレイルアシッドホスフェート、2-エチルヘキシルアシッドホスフェートなどを例示することができる。樹脂としては、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、セルロース樹脂などを例示することができる。 The organic compound film preferably contains at least one selected from the group consisting of fatty acids, aliphatic amines, aliphatic alcohols, aliphatic esters and resins. Specifically, fatty acids such as oleic acid, stearic acid, and lauric acid; aliphatic amines such as stearylamine and laurylamine; aliphatic alcohols such as stearyl alcohol and oleyl alcohol; , stearamide, butyl stearate, oleyl acid phosphate, 2-ethylhexyl acid phosphate, and the like. Examples of resins include acrylic resins, urethane resins, epoxy resins, polyester resins, and cellulose resins.

<銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比>
ここで、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が85~99.5質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が0.5~15質量%であることが好ましい。さらに、導電性ペースト組成物は、銀粒子100質量部あたり0.5~14質量部の薄片状アルミニウム粒子を含むことがより好ましい。さらに好ましくは、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が90~99質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が1~10質量%である。また、銀粒子100質量部あたり5~12質量部の薄片状アルミニウム粒子を含むことがさらに好ましい。薄片状アルミニウム粒子の含有量が上記の範囲であれば、銀粒子単独で導電性ペースト組成物を構成する場合に比べ、導電性を良好に維持しつつ、耐エレクトロマイグレーション性を飛躍的に向上させることができる。なお、薄片状アルミニウム粒子の質量は、薄片状アルミニウム粒子が有機化合物膜で被覆されている場合、被覆された有機化合物膜を含めた質量をいう。
<Mass ratio of silver particles and flaky aluminum particles>
Here, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles is preferably 85 to 99.5% by mass of the silver particles and 0.5 to 15% by mass of the flaky aluminum particles. Further, the conductive paste composition more preferably contains 0.5 to 14 parts by mass of flaky aluminum particles per 100 parts by mass of silver particles. More preferably, the weight ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles is 90 to 99% by weight of the silver particles and 1 to 10% by weight of the flaky aluminum particles. Further, it is more preferable that 5 to 12 parts by mass of flaky aluminum particles are contained per 100 parts by mass of silver particles. If the content of the flaky aluminum particles is within the above range, the electromigration resistance is dramatically improved while maintaining good conductivity compared to the case where the conductive paste composition is composed of silver particles alone. be able to. When the flaky aluminum particles are coated with an organic compound film, the mass of the flaky aluminum particles means the mass including the coated organic compound film.

導電性ペースト組成物中の銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、導電性ペースト組成物の作製時の計量によって決定することができる。 The mass ratio of the silver particles and the flaky aluminum particles in the conductive paste composition can be determined by weighing during preparation of the conductive paste composition.

<有機ビヒクルおよびガラスフリット>
本発明に係る導電性ペースト組成物は、有機ビヒクルおよびガラスフリットをさらに含むことが好ましい。これにより基板への塗布性および印刷性に優れ、かつ焼成によって得られる導電性膜と基板との密着性が向上する導電性ペースト組成物を達成することができる。
<Organic vehicle and glass frit>
The conductive paste composition according to the present invention preferably further contains an organic vehicle and glass frit. As a result, it is possible to achieve a conductive paste composition which is excellent in coatability and printability on a substrate, and in which the adhesiveness between the conductive film obtained by firing and the substrate is improved.

(有機ビヒクル)
有機ビヒクルは、バインダーとして従来公知の樹脂を従来公知の有機溶剤で溶解することにより構成することができる。有機ビヒクルに含まれるバインダー樹脂の成分は、特に限定されるべきではない。バインダー樹脂としては、たとえばエチルセルロース系樹脂、アルキッド系樹脂、ポリエステル系樹脂、アクリル系樹脂などを用いることができる。特に、本発明に係る導電性ペースト組成物は、基板に塗布された後に焼成されるため、その焼成温度により完全に燃焼または分解するバインダー樹脂であることが好ましい。さらに有機溶剤としては、たとえばブチルカルビトール、イソプロピルアルコール、トルエン、グリコールエーテル系溶剤、ターピネオール系溶剤などを使用することができる。
(organic vehicle)
The organic vehicle can be composed by dissolving a conventionally known resin as a binder in a conventionally known organic solvent. The component of the binder resin contained in the organic vehicle should not be particularly limited. Examples of binder resins that can be used include ethyl cellulose resins, alkyd resins, polyester resins, and acrylic resins. In particular, since the conductive paste composition according to the present invention is fired after being applied to a substrate, it is preferably a binder resin that can be completely burned or decomposed depending on the firing temperature. Furthermore, as organic solvents, for example, butyl carbitol, isopropyl alcohol, toluene, glycol ether solvents, terpineol solvents and the like can be used.

本発明に係る導電性ペースト組成物中の有機ビヒクルの含有量は、銀粒子100質量部あたり42~50質量部であることが好ましい。有機ビヒクルの含有量が上記の範囲内であることにより、各種の基板への塗布性および印刷性に優れるものとなる。有機ビヒクルの含有量が銀粒子100質量部あたり42質量部未満である場合、ペーストの粘度が高くなりすぎ、パターニングの際に配線を描くことができず、電流が流れなくなる恐れがある。有機ビヒクルの含有量が銀粒子100質量部あたり50質量部を超えると、ペーストの粘度が低くなりすぎ、パターニングの際に隣接する配線が接してしまい、異常電流が生じる恐れがある。より好ましい有機ビヒクルの含有量は、銀粒子100質量部あたり45~48質量部である。 The content of the organic vehicle in the conductive paste composition according to the present invention is preferably 42 to 50 parts by mass per 100 parts by mass of silver particles. When the content of the organic vehicle is within the above range, excellent applicability and printability to various substrates can be obtained. If the content of the organic vehicle is less than 42 parts by mass per 100 parts by mass of the silver particles, the viscosity of the paste becomes too high, which may make it impossible to draw wiring during patterning and prevent the flow of current. If the content of the organic vehicle exceeds 50 parts by mass per 100 parts by mass of the silver particles, the viscosity of the paste becomes too low, and adjacent wirings may come into contact with each other during patterning, resulting in an abnormal current. A more preferable content of the organic vehicle is 45 to 48 parts by weight per 100 parts by weight of silver particles.

有機ビヒクル中のバインダー樹脂の含有量は、適切な粘度のペーストを得る観点から0.5質量%以上40質量%以下であることが好ましいが、特に限定されるべきではない。 The content of the binder resin in the organic vehicle is preferably 0.5% by mass or more and 40% by mass or less from the viewpoint of obtaining a paste with an appropriate viscosity, but should not be particularly limited.

(ガラスフリット)
本発明に係る導電性ペースト組成物は、ガラスフリットを含むことができる。このガラスフリットは従来公知のものを用いることができる。たとえばガラスフリットは、SiO2、B23、ZnO、BaO、CaO、LiO2、MgO、Bi23およびAl23からなる群より選ばれる少なくとも1種の成分を含む金属酸化物ガラスであることが好ましい。さらにガラスフリットは、本発明に係る導電性ペースト組成物が、基板に塗布された後に焼成されるため、その軟化点が焼成温度以下であることがより好ましい。そのようなガラスフリットとして、たとえばB23-SiO2-ZnO系、B23-SiO2-Bi23系、B23-SiO2-MgO系などを例示することができる。ただし、本発明に係る導電性ペースト組成物に含まれるガラスフリットは、その組成および各成分の含有量が特に限定されるべきではない。
(glass frit)
The conductive paste composition according to the present invention can contain glass frit. A conventionally known glass frit can be used for this glass frit. For example, the glass frit is metal oxide glass containing at least one component selected from the group consisting of SiO2 , B2O3 , ZnO, BaO, CaO, LiO2 , MgO , Bi2O3 and Al2O3 . is preferably Furthermore, since the glass frit is fired after the conductive paste composition according to the present invention is applied to the substrate, it is more preferable that the softening point of the glass frit is equal to or lower than the firing temperature. Examples of such glass frit include B 2 O 3 --SiO 2 --ZnO system, B 2 O 3 --SiO 2 --Bi 2 O 3 system, and B 2 O 3 --SiO 2 --MgO system. . However, the composition of the glass frit contained in the conductive paste composition according to the present invention and the content of each component should not be particularly limited.

本発明に係る導電性ペースト組成物中のガラスフリットの含有量は、銀粒子100質量部あたり0.7~0.9質量部であることが好ましい。ガラスフリットは、導電性ペースト組成物から焼成によって得られる導電性膜と基板との密着性を向上させる効果を有する。ガラスフリットの含有量が銀粒子100質量部あたり0.7質量部未満である場合、導電性膜と基板との密着性を向上させる効果が不十分となる恐れがある。ガラスフリットの含有量が銀粒子100質量部あたり0.9質量部を超えると、ガラスの偏析が生じ、ガラスの偏析が生じると導電性膜の導電性を低下させる恐れがある。より好ましいガラスフリットの含有量は、銀粒子100質量部あたり0.75~0.8質量部である。 The content of glass frit in the conductive paste composition according to the present invention is preferably 0.7 to 0.9 parts by mass per 100 parts by mass of silver particles. The glass frit has the effect of improving the adhesion between the conductive film obtained by firing the conductive paste composition and the substrate. If the glass frit content is less than 0.7 parts by mass per 100 parts by mass of silver particles, the effect of improving the adhesion between the conductive film and the substrate may be insufficient. If the content of the glass frit exceeds 0.9 parts by mass per 100 parts by mass of the silver particles, segregation of the glass occurs, and the segregation of the glass may reduce the conductivity of the conductive film. A more preferable glass frit content is 0.75 to 0.8 parts by mass per 100 parts by mass of silver particles.

ガラスフリットの体積平均粒子径D50は、1~4μm程度であることが好ましい。ただし、本発明の効果に悪影響を与えない限り特に限定されるべきではない。ガラスフリットの体積平均粒子径D50は、銀粒子および薄片状アルミニウム粒子と同じ測定方法により算出することができる。測定は、サンプルローディング時にサンプルを循環器中に投入し、その濃度が適正濃度となって[Ready]と表示された時点のものを対象とした。 The volume average particle diameter D50 of the glass frit is preferably about 1 to 4 μm. However, it should not be particularly limited as long as it does not adversely affect the effects of the present invention. The volume average particle size D50 of the glass frit can be calculated by the same measuring method as for silver particles and flaky aluminum particles. The measurement was performed at the time when the sample was put into the circulator at the time of sample loading, and when the concentration reached the proper concentration and [Ready] was displayed.

以上から、導電性ペースト組成物中に有機ビヒクルおよびガラスフリットの両方を含む場合、本発明に係る導電性ペースト組成物は、銀粒子100質量部あたり0.5~14質量部の薄片状アルミニウム粒子と、42~50質量部の有機ビヒクルと、0.7~0.9質量部のガラスフリットとを含むことが好ましい。このような構成により、導電性および耐エレクトロマイグレーション性が良好であって、かつ基板との密着性にも優れる導電性膜を得ることが可能な導電性ペースト組成物を提供することができる。 From the above, when both the organic vehicle and the glass frit are contained in the conductive paste composition, the conductive paste composition according to the present invention contains 0.5 to 14 parts by mass of flaky aluminum particles per 100 parts by mass of silver particles. , 42 to 50 parts by mass of an organic vehicle, and 0.7 to 0.9 parts by mass of glass frit. With such a configuration, it is possible to provide a conductive paste composition which is excellent in conductivity and electromigration resistance, and which is capable of obtaining a conductive film having excellent adhesion to a substrate.

導電性ペースト組成物における銀粒子100質量部あたりの薄片状アルミニウム粒子、有機ビヒクルおよびガラスフリットの質量(質量部)は、導電性ペースト組成物の作製時の計量によって決定することができる。 The mass (parts by mass) of the flaky aluminum particles, the organic vehicle and the glass frit per 100 parts by mass of the silver particles in the conductive paste composition can be determined by weighing during preparation of the conductive paste composition.

<その他の添加剤>
本発明に係る導電性ペースト組成物は、本発明の効果を妨げない限り、種々の添加剤を含有することができる。たとえば、従来公知の粘度調整剤、表面調整剤、沈降防止剤、消泡剤などを含有することができる。これらは他の成分とともに攪拌または混練により混合することにより、導電性ペースト組成物に含まれる添加剤として調製することができる。これらの添加剤は、その総和として導電性ペースト組成物中に0~10質量%含ませることができる。
<Other additives>
The conductive paste composition according to the present invention can contain various additives as long as they do not interfere with the effects of the present invention. For example, conventionally known viscosity modifiers, surface modifiers, anti-settling agents, anti-foaming agents and the like can be contained. These can be prepared as additives contained in the conductive paste composition by mixing them with other components by stirring or kneading. These additives can be contained in the conductive paste composition in a total amount of 0 to 10% by mass.

<導電性ペースト組成物の製造方法>
本発明に係る導電性ペースト組成物は、たとえば公知の攪拌機を用いて各成分を攪拌混合する方法、ロールミルなどの混練機により各成分を混練する方法などにより製造することができる。ただし、導電性ペースト組成物の製造方法は上記の方法に限定されるべきではない。
<Method for producing conductive paste composition>
The conductive paste composition according to the present invention can be produced by, for example, a method of stirring and mixing each component using a known stirrer, a method of kneading each component with a kneader such as a roll mill, or the like. However, the method for producing the conductive paste composition should not be limited to the above method.

[導電性膜の製造方法]
本発明に係る上記導電性ペースト組成物を用いた導電性膜の製造方法は、上記導電性ペースト組成物をドライフィルムレジスト法、コーター法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、ドクターブレード法、スプレー塗装法、インクジェット法およびフォトリソグラフィ法のいずれかを用いて所定形状にパターニングする第1工程と、この第1工程の後、パターニングされた導電性ペースト組成物を500~900℃の温度で焼成する第2工程とを含む。
[Method for producing conductive film]
The method for producing a conductive film using the conductive paste composition according to the present invention includes applying the conductive paste composition to a dry film resist method, a coater method, a screen printing method, an offset printing method, a doctor blade method, or a spray coating method. A first step of patterning into a predetermined shape using either a method, an inkjet method, or a photolithography method, and after this first step, a second step of baking the patterned conductive paste composition at a temperature of 500 to 900 ° C. 2 steps.

<第1工程>
第1工程は、上記導電性ペースト組成物をドライフィルムレジスト法、コーター法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、ドクターブレード法、スプレー塗装法、インクジェット法およびフォトリソグラフィ法のいずれかを用いて所定形状にパターニングする工程である。すなわち、本発明に係る導電性ペースト組成物を上述したいずれかの方法を用いて基板上に塗布または印刷することにより、該基板上に所定形状にパターンを形成する工程である。
<First step>
In the first step, the conductive paste composition is formed into a predetermined shape using any one of dry film resist method, coater method, screen printing method, offset printing method, doctor blade method, spray coating method, inkjet method and photolithography method. patterning process. That is, it is a step of forming a pattern in a predetermined shape on a substrate by coating or printing the conductive paste composition according to the present invention on the substrate using any of the methods described above.

導電性ペースト組成物が塗布または印刷される基板は、その材質、形状などにおいて特に制限されるべきではない。ただし、基板の材質は後述する第2工程における焼成温度に耐えられるものが好ましい。さらに、基板の形状は平滑な平面形状でもよく、段差または凹凸のある非平面形状でもよい。基板の材質の具体例としては、セラミックス、ガラス、鉱物などを挙げることができる。セラミックスとしては、アルミナ、ジルコニア、チタニアなどの金属酸化物を例示することができ、ガラスとしては石英ガラス、ホウ珪酸ガラス、ソーダガラスを例示することができ、鉱物としてはマイカなどのケイ酸塩鉱物を例示することができる。 The substrate on which the conductive paste composition is applied or printed should not be particularly limited in material, shape, and the like. However, it is preferable that the material of the substrate can withstand the baking temperature in the second step described later. Furthermore, the shape of the substrate may be a smooth planar shape, or a non-planar shape with steps or unevenness. Specific examples of the substrate material include ceramics, glass, and minerals. Examples of ceramics include metal oxides such as alumina, zirconia, and titania; examples of glasses include quartz glass, borosilicate glass, and soda glass; examples of minerals include silicate minerals such as mica. can be exemplified.

導電性ペースト組成物を基板上に塗布または印刷する方法は、特に限定されるべきではない。たとえば、上述のようにドライフィルムレジスト法、コーター法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、ドクターブレード法、スプレー塗装法、インクジェット法、フォトリソグラフィ法などを採用することができる。塗布または印刷する回数は、1回でもよく、複数回でもよく、塗布の場合には重ね塗りすることもできる。基板上に塗布または印刷によって形成される導電性ペースト組成物膜(パターニングされた導電性ペースト組成物)の厚みは、塗布または印刷の方法、導電性ペースト組成物中の固形分濃度に依存して変動するが、焼成後の導電性膜の厚みが2~30μmで得られるような厚みとする。 The method of applying or printing the conductive paste composition on the substrate should not be particularly limited. For example, as described above, the dry film resist method, coater method, screen printing method, offset printing method, doctor blade method, spray coating method, inkjet method, photolithography method, and the like can be employed. The number of times of application or printing may be one or more times, and in the case of application, it is also possible to apply multiple layers. The thickness of the conductive paste composition film (patterned conductive paste composition) formed on the substrate by coating or printing depends on the coating or printing method and the solid content concentration in the conductive paste composition. Although it varies, the thickness is such that the thickness of the conductive film after firing is 2 to 30 μm.

導電性ペースト組成物膜は、必要に応じて乾燥処理、脱脂処理を行なうことができる。このときの乾燥または脱脂の処理条件は特に限定されるべきではない。通常、乾燥温度は50℃~150℃に設定され、脱脂温度は250℃~450℃に設定される。乾燥処理、脱脂処理の雰囲気は一般に大気であるが、特に限定されるべきではない。 The conductive paste composition film can be subjected to drying treatment and degreasing treatment as necessary. The drying or degreasing treatment conditions at this time should not be particularly limited. Normally, the drying temperature is set at 50°C to 150°C, and the degreasing temperature is set at 250°C to 450°C. The atmosphere for the drying treatment and degreasing treatment is generally air, but should not be particularly limited.

<第2工程>
第2工程は、上記第1工程の後、パターニングされた導電性ペースト組成物を500~900℃の温度で焼成する工程である。これにより導電性膜を形成することができる。焼成温度は、500℃~900℃であることが好ましく、550℃~650℃であることがより好ましい。このような焼成温度とすることにより、低温による焼成不良および高温による酸化膜形成に基づく焼成不良を防ぐことができる。焼成温度が500℃未満となる場合、焼成後に得られた導電性膜に剥がれが生じる恐れもある。焼成温度が900℃を超えると、成膜自体が不可能となる恐れがある。
<Second step>
The second step is a step of baking the patterned conductive paste composition at a temperature of 500 to 900° C. after the first step. Thereby, a conductive film can be formed. The firing temperature is preferably 500°C to 900°C, more preferably 550°C to 650°C. By setting such a firing temperature, defective firing due to low temperature and poor firing due to formation of an oxide film due to high temperature can be prevented. If the firing temperature is less than 500° C., the conductive film obtained after firing may be peeled off. If the baking temperature exceeds 900° C., film formation itself may become impossible.

焼成する雰囲気は、空気、非酸化性雰囲気、還元性雰囲気または真空のいずれであってもよく、特に限定されるべきではない。いずれの焼成雰囲気において導電性ペースト組成物膜を焼成しても、良好な導電性および良好な基材との密着性を示す導電性膜を得ることができる。より好ましい焼成雰囲気は非酸化性雰囲気、還元性雰囲気または真空である。非酸化性雰囲気は、酸素を含まず、たとえばアルゴン、ヘリウム、窒素などのいずれかのガスを含む雰囲気あるいはこれらのガスを複数種含む混合ガス雰囲気であることにより第2導電性粉末(薄片状アルミニウム粒子)の酸化を抑制することができる。さらに、アルゴン、ヘリウム、窒素などのガスに還元性ガスである水素ガスなどを混合して還元性雰囲気としてもよい。 The firing atmosphere may be air, non-oxidizing atmosphere, reducing atmosphere or vacuum, and should not be particularly limited. Even if the conductive paste composition film is fired in any firing atmosphere, a conductive film exhibiting good conductivity and good adhesion to the substrate can be obtained. A more preferable firing atmosphere is a non-oxidizing atmosphere, a reducing atmosphere or a vacuum. The non-oxidizing atmosphere is an atmosphere containing any gas such as argon, helium, nitrogen, etc., or a mixed gas atmosphere containing a plurality of these gases. particles) can be suppressed. Furthermore, a reducing atmosphere may be formed by mixing a reducing gas such as hydrogen gas with a gas such as argon, helium, or nitrogen.

焼成によって得られる導電性膜の平均厚みは、2~30μmであることが好ましく、3~15μmであることがより好ましい。導電性膜の平均厚みは2μm未満であると薄すぎて導通不良となってしまい、30μmを超えると厚すぎて積層した際に中間層に用いるガラスペースト量が多くなり、コスト増につながる。導電性膜の平均厚みは、たとえばデジマチック標準外側マイクロメータ装置(商品名:「IP65 COOLANT PROOF Micrometer」、株式会社ミツトヨ製)で測定することによって確認することができる。導電性膜の平均厚みは、基材上の導電性膜において3箇所以上の厚みを測定し、その平均値として算出することが好ましい。 The average thickness of the conductive film obtained by firing is preferably 2 to 30 μm, more preferably 3 to 15 μm. If the average thickness of the conductive film is less than 2 μm, it is too thin to cause conduction failure. The average thickness of the conductive film can be confirmed, for example, by measuring with a Digimatic standard outside micrometer device (trade name: "IP65 COOLANT PROOF Micrometer", manufactured by Mitutoyo Corporation). The average thickness of the conductive film is preferably calculated by measuring the thickness of the conductive film at three or more points on the substrate and calculating the average value.

[積層コンデンサ]
本発明に係る積層コンデンサは、上記の第1導電性粉末と第2導電性粉末とを含む。すなわち第1導電性粉末は、銀粒子であり、第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子である。薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下である。積層コンデンサは、上述した本発明に係る導電性ペースト組成物を用い、上述した導電性膜の製造方法により作製された導電性膜を含んで構成されることが好ましい。
[Multilayer Capacitor]
A multilayer capacitor according to the present invention includes the first conductive powder and the second conductive powder described above. That is, the first conductive powder is silver particles and the second conductive powder is flaky aluminum particles. The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg/m 2 or less. The multilayer capacitor preferably includes a conductive film produced by the above-described method for producing a conductive film using the above-described conductive paste composition according to the present invention.

本発明に係る積層コンデンサは、本発明に係る導電性ペースト組成物から構成される導電性膜を含むため、導電性および耐エレクトロマイグレーション性が良好であって、かつ基板との密着性にも優れる内部電極を電極層として含む積層コンデンサとして提供可能である。すなわち、本発明に係る積層コンデンサは、誘電体層と内部電極を担う電極層とを交互に積層した構造を有する電子部品であって、該電極層に、本発明に係る導電性ペースト組成物から構成される導電性膜を適用した構成とすることが好ましい。 Since the multilayer capacitor according to the present invention includes a conductive film composed of the conductive paste composition according to the present invention, it has good conductivity and electromigration resistance, and also has excellent adhesion to the substrate. It can be provided as a multilayer capacitor including internal electrodes as electrode layers. That is, the multilayer capacitor according to the present invention is an electronic component having a structure in which dielectric layers and electrode layers serving as internal electrodes are alternately laminated, and the electrode layers are coated with the conductive paste composition according to the present invention. It is preferable to employ a configuration in which a conductive film having a structure is applied.

以下、実施例を挙げて本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。 EXAMPLES The present invention will be described in more detail below with reference to Examples, but the present invention is not limited to these.

[導電性ペースト組成物および導電性膜の作製ならびに評価]
まず本実施例において、導電性ペースト組成物に含まれる第2導電性粉末としての薄片状アルミニウム粒子は、下記の方法により作製して得たものまたは東洋アルミニウム株式会社製の市販品を使用した。
[Preparation and Evaluation of Conductive Paste Composition and Conductive Film]
First, in this example, the flaky aluminum particles as the second conductive powder contained in the conductive paste composition were prepared by the following method or commercially available products manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd. were used.

すなわち、従来公知の方法であるアトマイズ法によりアルミニウム粒子を得て、このアルミニウム粒子を、有機溶媒の存在下で粉砕助剤としてオレイン酸を使用し、ボールミルにより粉砕することにより所望の平均厚みおよび体積平均粒子径D50を有する薄片状アルミニウム粒子を得た。したがって、後述する実施例1~11ならびに比較例1~6の導電性ペースト組成物に含まれる薄片状アルミニウム粒子は、その表面に有機化合物膜としてのオレイン酸が被覆されている。 That is, aluminum particles are obtained by an atomizing method, which is a conventionally known method, and the aluminum particles are pulverized by a ball mill in the presence of an organic solvent using oleic acid as a pulverizing aid to obtain a desired average thickness and volume. Flaky aluminum particles having an average particle size D50 were obtained. Therefore, the surfaces of the flaky aluminum particles contained in the conductive paste compositions of Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 6, which will be described later, are coated with oleic acid as an organic compound film.

後述する比較例7および8については、従来公知の方法であるアトマイズ法によりアルミニウム粒子を得て、このアルミニウム粒子を有機溶媒の存在下で、オレイン酸などの粉砕助剤として使用せずにボールミルにより粉砕して薄片状アルミニウム粒子を得た。したがって、比較例7および8の導電性ペースト組成物に含まれる薄片状アルミニウム粒子は、その表面に有機化合物膜が存在しない。 In Comparative Examples 7 and 8, which will be described later, aluminum particles were obtained by an atomizing method, which is a conventionally known method, and the aluminum particles were ball-milled in the presence of an organic solvent without using a grinding aid such as oleic acid. It was pulverized to obtain flaky aluminum particles. Therefore, the flaky aluminum particles contained in the conductive paste compositions of Comparative Examples 7 and 8 did not have an organic compound film on their surfaces.

さらに、導電性ペースト組成物に含まれる第1導電性粉末としての銀粒子についても、従来公知の方法により作製して得た銀粒子(純度:99.5質量%)を使用した。 Furthermore, silver particles (purity: 99.5% by mass) prepared by a conventionally known method were used as the first conductive powder contained in the conductive paste composition.

本実施例において、銀粒子の体積平均粒子径D50、薄片状アルミニウム粒子の平均厚みおよび体積平均粒子径D50、薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率、薄片状アルミニウム粒子の平均アスペクト比、ならびに各実施例および比較例の導電性ペースト組成物における粘度は下記の測定方法により測定した。さらに、各実施例および比較例の導電性ペースト組成物から焼成によって得られた導電性膜の比抵抗値ならびに耐マイグレーション性は、下記の方法に基づき測定し、または評価した。 In this example, the volume average particle diameter D50 of the silver particles, the average thickness and volume average particle diameter D50 of the flaky aluminum particles, the ratio of the oxygen content to the unit surface area of the flaky aluminum particles, and the average aspect ratio of the flaky aluminum particles , and the viscosities of the conductive paste compositions of Examples and Comparative Examples were measured by the following measuring method. Furthermore, the specific resistance value and migration resistance of the conductive films obtained by firing the conductive paste compositions of each example and comparative example were measured or evaluated according to the following methods.

<平均厚み>
薄片状アルミニウム粒子の平均厚みは、上述したとおりの方法を用いて算出した。すなわち、薄片状アルミニウム粒子の質量w(g)と、薄片状アルミニウム粒子の被覆面積A(cm2)とを測定し、上記式(1)に代入することにより、WCA(水面拡散面積)を算出し、該WCA値を上記式(2)に代入することにより、薄片状アルミニウム粒子の平均厚みを算出した。
<Average thickness>
The average thickness of the flaky aluminum particles was calculated using the method as described above. That is, by measuring the mass w (g) of the flaky aluminum particles and the covering area A (cm 2 ) of the flaky aluminum particles and substituting them into the above formula (1), the WCA (water diffusion area) is calculated. Then, by substituting the WCA value into the above formula (2), the average thickness of the flaky aluminum particles was calculated.

<体積平均粒子径D50>
銀粒子および薄片状アルミニウム粒子の体積平均粒子径D50は、いずれも上述のとおりレーザー回折散乱法を測定原理とする粒子径分布測定装置(商品名:「マイクロトラックMT3300II」、日機装株式会社製)を用いて測定した。
<Volume average particle size D50>
The volume average particle diameter D50 of the silver particles and the flaky aluminum particles is measured using a particle size distribution measuring device (trade name: "Microtrac MT3300II" manufactured by Nikkiso Co., Ltd.) that uses the laser diffraction scattering method as the measurement principle as described above. was measured using

<単位表面積に対する含有酸素量>
薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率[mg/m2]は、以下の方法により測定した。まず、不活性ガス融解赤外線吸収法により酸素・窒素分析装置(商品名:「EMGA-920」、株式会社堀場製作所製)を用いて薄片状アルミニウム粒子中の酸素含有量を測定した。さらに、窒素吸着BET法により比表面積・細孔分布測定装置(商品名:「QUADRASORB SI」、カンタクローム・インスツルメンツ・ジャパン合同会社製)を用いて薄片状アルミニウム粒子の比表面積を測定した。これらの測定値から薄片状アルミニウム粒子の単位表面積に対する含有酸素量の比率(酸素含有量[mg/g]/比表面積[m2/g])を算出した。
<Oxygen content per unit surface area>
The oxygen content ratio [mg/m 2 ] to the unit surface area of the flaky aluminum particles was measured by the following method. First, the oxygen content in the flaky aluminum particles was measured using an oxygen/nitrogen analyzer (trade name: "EMGA-920", manufactured by HORIBA, Ltd.) by an inert gas fusion infrared absorption method. Furthermore, the specific surface area of the flaky aluminum particles was measured by the nitrogen adsorption BET method using a specific surface area/pore size distribution measuring device (trade name: "QUADRASORB SI", manufactured by Quantachrome Instruments Japan LLC). From these measured values, the ratio of the oxygen content to the unit surface area of the flaky aluminum particles (oxygen content [mg/g]/specific surface area [m 2 /g]) was calculated.

<平均アスペクト比>
薄片状アルミニウム粒子の平均アスペクト比は、上記のようにして測定された体積平均粒子径D50と平均厚みとの比(体積平均粒子径D50[μm]/平均厚み[μm])により算出した。
<Average aspect ratio>
The average aspect ratio of the flaky aluminum particles was calculated from the ratio of the volume average particle diameter D50 measured as described above to the average thickness (volume average particle diameter D50 [μm]/average thickness [μm]).

<粘度>
各実施例および比較例の導電性ペースト組成物の粘度は、E型デジタル粘度計(商品名:「HBDV-I+CP」、BROOKFIELD ENGINEERING LABORATORIES製)を用い、2rpmおよび25℃の条件下でJIS Z 8803:2011(液体の粘度測定方法)に準拠して測定した。
<Viscosity>
The viscosity of the conductive paste composition of each example and comparative example was measured using an E-type digital viscometer (trade name: "HBDV-I+CP", manufactured by BROOKFIELD ENGINEERING LABORATORIES) under the conditions of 2 rpm and 25°C according to JIS Z 8803. : 2011 (liquid viscosity measurement method).

<比抵抗値>
各実施例および比較例の導電性ペースト組成物から得られた導電性膜の比抵抗値は、4探針式表面抵抗測定器(商品名:「ロレスタGP」、株式会社三菱化学アナリテック製)を用いて測定することにより確認した。それぞれの導電性膜上の任意の5点を測定し、その平均値を比抵抗値とした。具体的には、導電性膜の寸法、導電性膜の平均厚み、測定点の座標を上記4探針式表面抵抗測定器にデータ入力し、自動的に計算されることによって得られる値を導電性膜の比抵抗値とした。比抵抗値は、その値が小さいほど導電性に優れていることを示す。導電性膜の寸法とは、導電性膜が有する所定形状のパターンにおける最大長さと最大幅とからなる寸法をいう。
<Resistivity>
The specific resistance value of the conductive film obtained from the conductive paste composition of each example and comparative example was measured by a 4-probe type surface resistance measuring instrument (trade name: "Loresta GP", manufactured by Mitsubishi Chemical Analytic Tech Co., Ltd.). It was confirmed by measuring using Five arbitrary points on each conductive film were measured, and the average value was taken as the specific resistance value. Specifically, the dimensions of the conductive film, the average thickness of the conductive film, and the coordinates of the measurement points are input to the four-probe surface resistance measuring instrument, and the values obtained by automatic calculation are It was taken as the specific resistance value of the film. The smaller the specific resistance value, the better the conductivity. The dimension of the conductive film refers to the dimension of the maximum length and the maximum width of the pattern of the predetermined shape possessed by the conductive film.

<導電性膜の平均厚み>
導電性膜の平均厚みは、デジマチック標準外側マイクロメータ装置(商品名:「IP65 COOLANT PROOF Micrometer」、株式会社ミツトヨ製)で測定することによって確認した。導電性膜上の3箇所の厚みを上記装置で測定し、その平均値を導電性膜の平均厚みとした。
<Average thickness of conductive film>
The average thickness of the conductive film was confirmed by measuring with a Digimatic standard outside micrometer device (trade name: "IP65 COOLANT PROOF Micrometer", manufactured by Mitutoyo Corporation). The thickness of three points on the conductive film was measured with the above device, and the average value was taken as the average thickness of the conductive film.

<耐マイグレーション性>
各実施例および比較例の導電性ペースト組成物から得られた導電性膜の耐マイグレーション性は、次のようにして評価した。すなわち各実施例および比較例の導電性ペースト組成物を用いて後述する基板上に所定形状のパターン(具体的には、櫛歯パターン(電極幅:300μm、電極間距離:300μm)を形成した。その後、絶縁劣化評価試験機(商品名:「HiP-1000」、IMV株式会社製)を用いて100V、85℃、湿度85%の条件で最大時間1000時間まで、絶縁(ショート)に至るまでの時間である「ショート時間(Hr)」を測定することにより評価した。
<Migration resistance>
The migration resistance of the conductive film obtained from the conductive paste composition of each example and comparative example was evaluated as follows. Specifically, a pattern of a predetermined shape (specifically, a comb tooth pattern (electrode width: 300 μm, distance between electrodes: 300 μm) was formed on a substrate described later using the conductive paste compositions of each example and comparative example. After that, using an insulation deterioration evaluation tester (trade name: "HiP-1000", manufactured by IMV Co., Ltd.), the maximum time is 1000 hours under the conditions of 100 V, 85 ° C., and 85% humidity, until insulation (short). It was evaluated by measuring the "short time (Hr)", which is time.

<実施例1>
実施例1では、エチルセルロース樹脂(商品名:「エトセル(登録商標)スタンダード型100、工業品エチルセルロース」、ダウ・ケミカル・ジャパン製)を有機溶剤であるブチルカルビトールに溶解した有機ビヒクルに銀粒子(体積平均粒子径D50:0.2μm、比表面積:1.2m2/g)、薄片状アルミニウム粒子(体積平均粒子径D50:5.5μm、平均アスペクト比:27.5、商品名:「6390NS」、東洋アルミニウム株式会社製)およびB23-SiO2-ZnO系ガラスフリット(体積平均粒子径D50:2.5μm)を加え、高速分散機(商品名:「ホモディスパー2.5型」、プライミクス株式会社製)を用いて1500rpmで10分間混合した。さらに、上記有機溶剤を加えて以下の表1に示す組成および粘度に調製し、導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が99質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が1質量%であった。得られた導電性ペースト組成物をスクリーン印刷機(商品名:「HP-320」、ニューロング精密工業株式会社製)を用いてアルミナ基板上へ、平均厚みが2~5μmとなるように制御して塗布し、所定形状にパターニングした導電性ペースト組成物膜を形成した。
<Example 1>
In Example 1, silver particles ( Volume average particle diameter D50: 0.2 μm, specific surface area: 1.2 m 2 /g), flaky aluminum particles (volume average particle diameter D50: 5.5 μm, average aspect ratio: 27.5, trade name: “6390NS” , manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd.) and B 2 O 3 —SiO 2 —ZnO glass frit (volume average particle diameter D50: 2.5 μm) are added, and a high-speed disperser (trade name: “Homodisper 2.5 type”, (manufactured by Primix Co., Ltd.) at 1500 rpm for 10 minutes. Furthermore, the above organic solvent was added to adjust the composition and viscosity shown in Table 1 below, thereby preparing a conductive paste composition. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 99% by mass of the silver particles and 1% by mass of the flaky aluminum particles. The obtained conductive paste composition was applied onto an alumina substrate using a screen printer (trade name: "HP-320", manufactured by Newlong Seimitsu Kogyo Co., Ltd.) so as to have an average thickness of 2 to 5 μm. A conductive paste composition film patterned into a predetermined shape was formed.

この導電性ペースト組成物膜を大気中において100℃で10分間乾燥した後、さらに熱風乾燥機(商品名:「MOV-112」、パナソニック株式会社製)により大気中において350℃で60分間脱脂処理を行なった。次に、焼成炉内で大気雰囲気下において600℃で1分間焼成することにより、導電性膜を形成した。 After drying this conductive paste composition film in the atmosphere at 100° C. for 10 minutes, it is further degreased in the atmosphere at 350° C. for 60 minutes with a hot air dryer (trade name: “MOV-112”, manufactured by Panasonic Corporation). did Next, a conductive film was formed by firing at 600° C. for 1 minute in an air atmosphere in a firing furnace.

<実施例2>
実施例2では、有機溶剤をターピネオールに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が98質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が2質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 2>
In Example 2, a conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 98% by mass of the silver particles and 2% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例3>
実施例3では、有機溶剤をターピネオールに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が96質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が4質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 3>
In Example 3, a conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 96% by mass of the silver particles and 4% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例4>
実施例4では、実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 4>
In Example 4, a conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例5>
実施例5では、有機溶剤をブチルカルビトールアセテートに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、基板をマイカ基板に変更した以外は実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 5>
In Example 5, a conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to butyl carbitol acetate. made. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed on the resulting conductive paste composition in the same manner as in Example 1, except that the substrate was changed to a mica substrate.

<実施例6>
実施例6では、有機溶剤をターピネオールに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、基板をガラス基板に変更した以外は実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 6>
In Example 6, a conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed on the resulting conductive paste composition in the same manner as in Example 1, except that the substrate was changed to a glass substrate.

<実施例7>
実施例7では、有機溶剤をターピネオールに変更し、薄片状アルミニウム粒子に関して従来公知の方法であるアトマイズ法により得たアルミニウム粒子を、有機溶媒および粉砕助剤としてのオレイン酸存在下でボールミルを用い、体積平均粒子径D50が1.7μm、平均アスペクト比が8.5となるように粉砕して作製したものに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 7>
In Example 7, the organic solvent was changed to terpineol, and aluminum particles obtained by the atomization method, which is a conventionally known method for flaky aluminum particles, were ball milled in the presence of an organic solvent and oleic acid as a grinding aid, From the same raw material as in Example 1 except that it was changed to one prepared by pulverizing so that the volume average particle diameter D50 was 1.7 μm and the average aspect ratio was 8.5, the following table was obtained in the same manner as in Example 1. A conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in 1 was prepared. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例8>
実施例8では、有機溶剤をイソプロピルアルコールおよびトルエンに変更し、薄片状アルミニウム粒子を体積平均粒子径D50が12μmであり、平均アスペクト比が60である東洋アルミニウム株式会社製の薄片状アルミニウム粒子(商品名:「TCR2150」)に変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 8>
In Example 8, the organic solvent was changed to isopropyl alcohol and toluene, and the flaky aluminum particles having a volume average particle diameter D50 of 12 μm and an average aspect ratio of 60 (product A conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared by the same method as in Example 1 from the same raw materials as in Example 1 except that the name was changed to "TCR2150"). In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例9>
実施例9では、有機溶剤をターピネオールに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が93質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が7質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 9>
In Example 9, a conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 93% by mass of the silver particles and 7% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例10>
実施例10では、有機溶剤をターピネオールに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が90質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が10質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 10>
In Example 10, a conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 90% by mass of the silver particles and 10% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<実施例11>
実施例11では、有機溶剤をターピネオールに変更し、薄片状アルミニウム粒子を体積平均粒子径D50が20μmであり、平均アスペクト比が6である薄片状アルミニウム粒子に変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Example 11>
In Example 11, the organic solvent was changed to terpineol, and the flaky aluminum particles were changed to flaky aluminum particles having a volume average particle diameter D50 of 20 µm and an average aspect ratio of 6. The same raw material as in Example 1. A conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the mixture in the same manner as in Example 1. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例1>
比較例1では、実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。ただし、この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が99.5質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が0.5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 1>
In Comparative Example 1, a conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1. However, in this conductive paste composition, the mass ratio of silver particles to flaky aluminum particles was 99.5% by mass of silver particles and 0.5% by mass of flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例2>
比較例2では、有機溶剤をターピネオールに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。ただし、この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が88質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が12質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 2>
In Comparative Example 2, a conductive paste composition prepared to have the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol. However, in this conductive paste composition, the mass ratio of silver particles to flaky aluminum particles was 88% by mass of silver particles and 12% by mass of flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例3>
比較例3では、有機溶剤をターピネオールに変更し、薄片状アルミニウム粒子を不添加とした以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。したがって、この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が100質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が0質量%である。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 3>
In Comparative Example 3, the composition and viscosity shown in Table 1 below were prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the organic solvent was changed to terpineol and the flaky aluminum particles were not added. A conductive paste composition was prepared. Therefore, in this conductive paste composition, the mass ratio of silver particles to flaky aluminum particles is 100% by mass of silver particles and 0% by mass of flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例4>
比較例4では、薄片状アルミニウム粒子に関し、従来公知の方法であるアトマイズ法により得たアルミニウム粒子を、有機溶媒および粉砕助剤としてのオレイン酸存在下でボールミルを用い、体積平均粒子径D50が0.8μm、平均アスペクト比が8となるように粉砕して作製したものに変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 4>
In Comparative Example 4, with respect to flaky aluminum particles, aluminum particles obtained by an atomizing method, which is a conventionally known method, were ground using a ball mill in the presence of an organic solvent and oleic acid as a grinding aid, and the volume average particle diameter D50 was reduced to 0. The composition and viscosity shown in Table 1 below were prepared from the same raw materials as in Example 1 by the same method as in Example 1, except that the powder was pulverized to have an average aspect ratio of 8. A conductive paste composition was prepared. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例5>
比較例5では、有機溶剤をイソプロピルアルコールおよびトルエンに変更し、薄片状アルミニウム粒子を体積平均粒子径D50が1.7μmであり、平均アスペクト比が1である東洋アルミニウム株式会社製の球状アトマイズ粉(商品名:「TFH-A02P」)に変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 5>
In Comparative Example 5, the organic solvent was changed to isopropyl alcohol and toluene, and the flaky aluminum particles were spherical atomized powder manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd. having a volume average particle diameter D50 of 1.7 μm and an average aspect ratio of 1 ( A conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared by the same method as in Example 1 from the same raw materials as in Example 1 except that the product name was changed to "TFH-A02P"). In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例6>
比較例6では、薄片状アルミニウム粒子を体積平均粒子径D50が12μmであり、平均アスペクト比が120である東洋アルミニウム株式会社製の薄片状アルミニウム粒子(商品名:「6340NS」)に変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 6>
In Comparative Example 6, the flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 12 µm and an average aspect ratio of 120, manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd., flaky aluminum particles (trade name: "6340NS"), except for changing them. Using the same raw materials as in Example 1 and the same method as in Example 1, a conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例7>
比較例7では、薄片状アルミニウム粒子に関して上述のとおりに作製したもの(体積平均粒子径D50:20μm、平均アスペクト比:50)に変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調製した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。
<Comparative Example 7>
In Comparative Example 7, the flaky aluminum particles were prepared as described above (volume average particle diameter D50: 20 μm, average aspect ratio: 50) except that the same raw materials as in Example 1 were used. A conductive paste composition having the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared by the method. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition.

<比較例8>
比較例8では、薄片状アルミニウム粒子に関して上述のとおりに作製したもの(体積平均粒子径D50:62μm、平均アスペクト比:80)に変更した以外は実施例1と同じ原料から、実施例1と同じ方法により以下の表1に示す組成および粘度に調整した導電性ペースト組成物を作製した。この導電性ペースト組成物において、銀粒子と薄片状アルミニウム粒子との質量比は、銀粒子が95質量%であり、薄片状アルミニウム粒子が5質量%であった。得られた導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を形成した。しかしながら、得られた導電性膜は、薄片状アルミニウム粒子の粒子径が大きいため、印刷時に目詰まりが発生し、均一な厚みの膜を形成することができなかった。
<Comparative Example 8>
In Comparative Example 8, the flaky aluminum particles were prepared as described above (volume average particle diameter D50: 62 μm, average aspect ratio: 80) except that the same raw materials as in Example 1 were used. A conductive paste composition adjusted to the composition and viscosity shown in Table 1 below was prepared by the method. In this conductive paste composition, the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles was 95% by mass of the silver particles and 5% by mass of the flaky aluminum particles. A conductive film was formed using the same method as in Example 1 on the obtained conductive paste composition. However, in the obtained conductive film, clogging occurred during printing due to the large particle size of the flaky aluminum particles, and a film with a uniform thickness could not be formed.

Figure 0007231319000001
Figure 0007231319000001

<考察>
実施例1~11および比較例1~8の導電性ペースト組成物から得られた導電性膜について、それぞれ上記の方法により、比抵抗値および耐エレクトロマイグレーション性を測定し、評価した。その結果を下記の表2に示す。なお、表2中で単に「D50」と表記したものは、体積平均粒子径D50であることを意味する。
<Discussion>
The conductive films obtained from the conductive paste compositions of Examples 1 to 11 and Comparative Examples 1 to 8 were measured and evaluated for specific resistance and electromigration resistance by the methods described above. The results are shown in Table 2 below. In addition, what is simply described as "D50" in Table 2 means that the volume average particle diameter is D50.

Figure 0007231319000002
Figure 0007231319000002

表2から理解されるように、実施例1~11の導電性ペースト組成物から得られた導電性膜は、良好な導電性および耐エレクトロマイグレーション性を有していた。さらに、実施例1~11の導電性ペースト組成物およびそれから得られた導電性膜は、焼成時および耐マイグレーション性の評価時において各基板から剥離することがなかったことから、その密着性にも優れることが分かった。 As can be seen from Table 2, the conductive films obtained from the conductive paste compositions of Examples 1-11 had good conductivity and electromigration resistance. Furthermore, the conductive paste compositions of Examples 1 to 11 and the conductive films obtained therefrom did not peel off from each substrate during firing and during evaluation of migration resistance. I found it to be excellent.

一方で、比較例1~8の導電性ペースト組成物から得られた導電性膜は、第2導電性粉末(薄片状アルミニウム粒子)が不添加であったり、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であること、平均アスペクト比が4以上100以下であること、および単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下であることの少なくともいずれかを満たさなかったり、銀粒子との質量比が1~10質量%の範囲であることから逸脱したりしたため、良好な導電性および耐エレクトロマイグレーション性を得ることができなかった。 On the other hand, the conductive films obtained from the conductive paste compositions of Comparative Examples 1 to 8 did not contain the second conductive powder (flaky aluminum particles) or had a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm. or less, the average aspect ratio is 4 or more and 100 or less, and the ratio of the oxygen content to the unit surface area is 15 mg/m 2 or less, or the mass ratio with silver particles deviated from the range of 1 to 10% by mass, good electrical conductivity and electromigration resistance could not be obtained.

なお、比較例4~7については、比抵抗値が大きく、良好な導電性を得られないことが判明したため、耐エレクトロマイグレーション性を評価する「ショート時間(Hr)」を測定することを中止した(表2において斜線で示した)。 In Comparative Examples 4 to 7, since it was found that the specific resistance value was large and good conductivity could not be obtained, the measurement of "short time (Hr)" for evaluating electromigration resistance was stopped. (Indicated by hatching in Table 2).

比較例8については、均一な厚みの導電性膜を得ることができなかったため、比抵抗値および耐エレクトロマイグレーション性を評価する「ショート時間(Hr)」を測定することを中止した(表2において斜線で示した)。 For Comparative Example 8, since a conductive film with a uniform thickness could not be obtained, the measurement of the "short time (Hr)" for evaluating the specific resistance value and electromigration resistance was stopped (see Table 2). (indicated by hatching).

[積層コンデンサの作製および評価]
<実施例12>
実施例12では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわち実施例10の導電性ペースト組成物を用いて実施例1と同じ方法により導電性膜を得た後、この導電性膜を含み、誘電体として(Ba、Nb)TiO3を用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
[Production and Evaluation of Multilayer Capacitor]
<Example 12>
In Example 12, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, after obtaining a conductive film by the same method as in Example 1 using the conductive paste composition of Example 10, a multilayer capacitor containing this conductive film and using (Ba, Nb)TiO 3 as a dielectric (3.2 mm × 2.5 mm, number of layers 10) was produced.

<実施例13>
実施例13では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわち実施例10の導電性ペースト組成物を用いて実施例1と同じ方法により導電性膜を得た後、この導電性膜を含み、誘電体としてマイカを用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
<Example 13>
In Example 13, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, after obtaining a conductive film by the same method as in Example 1 using the conductive paste composition of Example 10, a multilayer capacitor (3.2 mm × 2 0.5 mm and 10 layers were fabricated.

<実施例14>
実施例14では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわちガラスフリットをB23-SiO2-ZnO系ガラスフリットに変更したことを除き、実施例10と同じ原料から、実施例10と同じ方法により導電性ペースト組成物を作製するとともに、この導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を得た。その後、この導電性膜を含み、誘電体として(Ba、Nb)TiO3を用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
<Example 14>
In Example 14, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, except that the glass frit was changed to a B 2 O 3 —SiO 2 —ZnO-based glass frit, a conductive paste composition was prepared from the same raw materials as in Example 10 in the same manner as in Example 10, and this conductive paste composition was prepared. A conductive film was obtained using the same method as in Example 1 for the conductive paste composition. After that, a multilayer capacitor (3.2 mm×2.5 mm, 10 layers) including this conductive film and using (Ba, Nb)TiO 3 as a dielectric was fabricated.

<実施例15>
実施例15では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわち薄片状アルミニウム粒子を体積平均粒子径D50が5.5μmであり、平均アスペクト比が22である東洋アルミニウム株式会社製の薄片状アルミニウム粒子(商品名:「0803M」)に変更したことを除き、実施例10と同じ原料から、実施例10と同じ方法により導電性ペースト組成物を作製した。さらに、この導電性ペースト組成物に対し、実施例1と同じ方法を用いて導電性膜を得た。その後、この導電性膜を含み、誘電体として(Ba、Nb)TiO3を用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
<Example 15>
In Example 15, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, the flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 5.5 μm and an average aspect ratio of 22 (trade name: “0803M”) manufactured by Toyo Aluminum Co., Ltd. A conductive paste composition was prepared by the same method as in Example 10 from the same raw materials as in Example 10. Furthermore, a conductive film was obtained using the same method as in Example 1 for this conductive paste composition. After that, a multilayer capacitor (3.2 mm×2.5 mm, 10 layers) including this conductive film and using (Ba, Nb)TiO 3 as a dielectric was fabricated.

<比較例9>
比較例9では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわち比較例2の導電性ペースト組成物を用いて実施例1と同じ方法により導電性膜を得た後、この導電性膜を含み、誘電体として(Ba、Nb)TiO3を用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
<Comparative Example 9>
In Comparative Example 9, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, after obtaining a conductive film by the same method as in Example 1 using the conductive paste composition of Comparative Example 2, a multilayer capacitor including this conductive film and using (Ba, Nb)TiO 3 as a dielectric (3.2 mm × 2.5 mm, number of layers 10) was produced.

<比較例10>
比較例10では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわち比較例3の導電性ペースト組成物を用いて実施例1と同じ方法により導電性膜を得た後、この導電性膜を含み、誘電体として(Ba、Nb)TiO3を用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
<Comparative Example 10>
In Comparative Example 10, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, after obtaining a conductive film in the same manner as in Example 1 using the conductive paste composition of Comparative Example 3, a multilayer capacitor containing this conductive film and using (Ba, Nb)TiO 3 as a dielectric (3.2 mm × 2.5 mm, number of layers 10) was produced.

<比較例11>
比較例11では、以下のとおりに積層コンデンサを作製した。すなわち比較例3の導電性ペースト組成物を用いて実施例1と同じ方法により導電性膜を得た後、この導電性膜を含み、誘電体としてマイカを用いた積層コンデンサ(3.2mm×2.5mm、積層数10)を作製した。
<Comparative Example 11>
In Comparative Example 11, a multilayer capacitor was produced as follows. That is, after obtaining a conductive film in the same manner as in Example 1 using the conductive paste composition of Comparative Example 3, a multilayer capacitor (3.2 mm × 2 0.5 mm and 10 layers were fabricated.

上記実施例12~15および比較例9~11の積層コンデンサに対し、静電容量およびtanδを測定した。さらに耐マイグレーション性を評価するため、上述した方法により「ショート時間(Hr)」も測定した。その結果を表3に示す。静電容量およびtanδの測定には、LCRメータ(商品名:「4278A」、HEWLETT PACKARD社製)を用いた。tanδは、誘電体内での電気エネルギーの損失度合いを示す指標であり、その数値(%)が大きい程、誘電体内での電気エネルギーの損失が大きいことを意味する。 The capacitance and tan δ of the multilayer capacitors of Examples 12-15 and Comparative Examples 9-11 were measured. Furthermore, in order to evaluate the migration resistance, the "short time (Hr)" was also measured by the method described above. Table 3 shows the results. An LCR meter (trade name: "4278A", manufactured by HEWLETT PACKARD) was used to measure the capacitance and tan δ. Tan δ is an index indicating the degree of electrical energy loss in the dielectric, and the larger the value (%), the greater the electrical energy loss in the dielectric.

Figure 0007231319000003
Figure 0007231319000003

表3から理解されるように、実施例12~15の積層コンデンサは、静電容量およびtanδで良好な特性を有していた。耐マイグレーション性も良好であった。一方、比較例9の積層コンデンサは、tanδの数値が劣っていた。比較例10および11の積層コンデンサは、耐マイグレーション性で劣っていた。 As can be seen from Table 3, the multilayer capacitors of Examples 12-15 had good characteristics in capacitance and tan δ. The migration resistance was also good. On the other hand, the multilayer capacitor of Comparative Example 9 was inferior in the numerical value of tan δ. The multilayer capacitors of Comparative Examples 10 and 11 were inferior in migration resistance.

以上のように本発明の実施の形態および実施例について説明を行なったが、上述の各実施の形態および実施例の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。 Although the embodiments and examples of the present invention have been described above, it is originally planned to appropriately combine the configurations of the above-described embodiments and examples.

今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上述した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments and examples disclosed this time are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and range of equivalents of the scope of the claims.

Claims (8)

第1導電性粉末と第2導電性粉末とを含む導電性ペースト組成物であって、
前記第1導電性粉末は、銀粒子であり、
前記第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子であり、
前記薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下であり、
前記銀粒子は、球状、略球状または略円柱状であり、
前記銀粒子と前記薄片状アルミニウム粒子との質量比は、前記銀粒子が90~95.24質量%であり、前記薄片状アルミニウム粒子が4.76~10質量%である、導電性ペースト組成物。
A conductive paste composition comprising a first conductive powder and a second conductive powder,
The first conductive powder is silver particles,
The second conductive powder is flaky aluminum particles,
The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg/m 2 or less,
the silver particles are spherical, substantially spherical, or substantially cylindrical;
A conductive paste composition in which the mass ratio of the silver particles and the flaky aluminum particles is 90 to 95.24% by mass of the silver particles and 4.76 to 10 % by mass of the flaky aluminum particles. .
前記薄片状アルミニウム粒子は、有機化合物膜で被覆されている、請求項1に記載の導電性ペースト組成物。 2. The conductive paste composition according to claim 1, wherein said flaky aluminum particles are coated with an organic compound film. 前記有機化合物膜は、脂肪酸、脂肪族アミン、脂肪族アルコール、脂肪族エステルおよび樹脂からなる群より選ばれる少なくとも1種を含む、請求項2に記載の導電性ペースト組成物。 3. The conductive paste composition according to claim 2, wherein said organic compound film contains at least one selected from the group consisting of fatty acids, aliphatic amines, aliphatic alcohols, aliphatic esters and resins. 前記導電性ペースト組成物は、有機ビヒクルおよびガラスフリットをさらに含む、請求項1~3のいずれかに記載の導電性ペースト組成物。 The conductive paste composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising an organic vehicle and a glass frit. 前記導電性ペースト組成物は、前記銀粒子100質量部あたり5~14質量部の前記薄片状アルミニウム粒子と、42~50質量部の前記有機ビヒクルと、0.7~0.9質量部の前記ガラスフリットとを含む、請求項4に記載の導電性ペースト組成物。 The conductive paste composition contains 5 to 14 parts by mass of the flaky aluminum particles, 42 to 50 parts by mass of the organic vehicle, and 0.7 to 0.9 parts by mass of the 5. The conductive paste composition of claim 4, comprising a glass frit. 前記ガラスフリットは、SiO2、B23、ZnO、BaO、CaO、LiO2、MgO、Bi23およびAl23からなる群より選ばれる少なくとも1種の成分を含む金属酸化物ガラスである、請求項4または5に記載の導電性ペースト組成物。 The glass frit is metal oxide glass containing at least one component selected from the group consisting of SiO2 , B2O3 , ZnO, BaO, CaO, LiO2 , MgO , Bi2O3 and Al2O3 . The conductive paste composition according to claim 4 or 5, which is 請求項1~6のいずれかに記載の導電性ペースト組成物を用いた導電性膜の製造方法であって、
前記導電性ペースト組成物をドライフィルムレジスト法、コーター法、スクリーン印刷法、オフセット印刷法、ドクターブレード法、スプレー塗装法、インクジェット法およびフォトリソグラフィ法のいずれかを用いて所定形状にパターニングする第1工程と、
前記第1工程の後、パターニングされた前記導電性ペースト組成物を500~900℃の温度で焼成する第2工程とを含む、導電性膜の製造方法。
A method for producing a conductive film using the conductive paste composition according to any one of claims 1 to 6,
The conductive paste composition is patterned into a predetermined shape using any one of a dry film resist method, a coater method, a screen printing method, an offset printing method, a doctor blade method, a spray coating method, an inkjet method and a photolithography method. process and
and a second step of baking the patterned conductive paste composition at a temperature of 500 to 900° C. after the first step.
第1導電性粉末と第2導電性粉末とを含む積層コンデンサであって、
前記第1導電性粉末は、銀粒子であり、
前記第2導電性粉末は、薄片状アルミニウム粒子であり、
前記薄片状アルミニウム粒子は、体積平均粒子径D50が1μm以上20μm以下であり、平均アスペクト比が4以上100以下であり、かつ単位表面積に対する含有酸素量の比率が15mg/m2以下であり、
前記銀粒子は、球状、略球状または略円柱状であり、
前記銀粒子と前記薄片状アルミニウム粒子との質量比は、前記銀粒子が90~95.24質量%であり、前記薄片状アルミニウム粒子が4.76~10質量%である、積層コンデンサ。
A multilayer capacitor comprising a first conductive powder and a second conductive powder,
The first conductive powder is silver particles,
The second conductive powder is flaky aluminum particles,
The flaky aluminum particles have a volume average particle diameter D50 of 1 μm or more and 20 μm or less, an average aspect ratio of 4 or more and 100 or less, and a ratio of oxygen content to unit surface area of 15 mg/m 2 or less,
the silver particles are spherical, substantially spherical, or substantially cylindrical;
A multilayer capacitor, wherein the mass ratio of the silver particles to the flaky aluminum particles is 90 to 95.24% by mass of the silver particles and 4.76 to 10 % by mass of the flaky aluminum particles.
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