JP7230421B2 - resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、エポキシ樹脂及び硬化剤を含む樹脂組成物;上記樹脂組成物の硬化物;上記樹脂組成物を含む樹脂組成物層を有する樹脂シート;及び上記樹脂組成物の硬化物を含むプリント配線板に関する。 The present invention provides a resin composition containing an epoxy resin and a curing agent; a cured product of the resin composition; a resin sheet having a resin composition layer containing the resin composition; and a printed wiring containing a cured product of the resin composition. Regarding the board.

近年、スマートフォン、タブレット型デバイスといった小型の高機能電子機器の需要が増大しており、それに伴い、これら小型の電子機器に用いられる半導体パッケージ用絶縁材料(絶縁層)も更なる高機能化が求められている。このような絶縁層は、樹脂組成物を硬化して形成されるもの等が知られている(例えば特許文献1、2参照)。 In recent years, the demand for small, high-performance electronic devices such as smartphones and tablet devices has increased, and along with this, the insulating materials (insulating layers) for semiconductor packages used in these small electronic devices are also required to have higher functionality. It is Such an insulating layer is known to be formed by curing a resin composition (see Patent Documents 1 and 2, for example).

特開2017-179013号公報JP 2017-179013 A 特開2007-081151号公報JP 2007-081151 A

近年、電子機器の軽薄短小化が進められている。それに伴い、折り曲げて電子機器に収納可能であるフレキシブル配線板が求められていることから、柔軟性に優れる絶縁材が求められている。柔軟性に優れる絶縁層を得るため、低弾性材料を用いることが考えられるが、本発明者が検討した結果、低弾性材料を絶縁層に適用した場合に、ビアホールの形成後にハローイング現象が生じることを見出した。ここで、ハローイング現象とは、ビアホールの周囲において絶縁層と内層基板との間で剥離が生じることをいう。このようなハローイング現象は、通常、ビアホールの周囲の樹脂が劣化し、その劣化した部分が粗化処理時に侵食されて生じる。なお、前記の劣化した部分は、通常変色部として観察される。 2. Description of the Related Art In recent years, electronic devices are becoming lighter, thinner, shorter and smaller. Along with this, there is a demand for flexible wiring boards that can be folded and accommodated in electronic devices, and therefore insulating materials that are excellent in flexibility are demanded. In order to obtain an insulating layer with excellent flexibility, it is conceivable to use a low-elasticity material, but as a result of investigations by the present inventors, when a low-elasticity material is applied to the insulating layer, a haloing phenomenon occurs after the via hole is formed. I found out. Here, the haloing phenomenon means that peeling occurs between the insulating layer and the inner layer substrate around the via hole. Such a haloing phenomenon usually occurs when the resin around the via hole deteriorates and the deteriorated portion is eroded during the roughening treatment. The deteriorated portion is usually observed as a discolored portion.

本発明は、ハローイング現象を抑制できる硬化物を得ることができる樹脂組成物;上記樹脂組成物の硬化物;上記樹脂組成物を含む樹脂組成物層を有する樹脂シート;及び上記硬化物を含むプリント配線板を提供することにある。 The present invention includes a resin composition capable of obtaining a cured product capable of suppressing the haloing phenomenon; a cured product of the resin composition; a resin sheet having a resin composition layer containing the resin composition; and the cured product. To provide a printed wiring board.

本発明の課題を達成すべく、本発明者らは鋭意検討した結果、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含み、且つ(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤及び(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤の含有量の合計を50質量%以下とし、(D)成分を含まない場合、(D’)成分の含有量を4質量%以下とした樹脂組成物を用いることにより、弾性率が低い場合であってもハローイング現象を抑制できる硬化物を得ることができることを見出し、本発明を完成させるに至った。 In order to achieve the object of the present invention, as a result of intensive studies, the present inventors have found that (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound, and (D) a silane coupling agent on the surface. When the total content of the treated inorganic filler and (D') inorganic filler not surface-treated with a silane coupling agent is 50% by mass or less and component (D) is not included, component (D') By using a resin composition with a content of 4% by mass or less, it is possible to obtain a cured product that can suppress the haloing phenomenon even when the elastic modulus is low. This led to the completion of the present invention. rice field.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含み、
さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤を含み又は含まず、
さらに(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤を含み又は含まず、
(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、50質量%以下であり、かつ
(D)成分を含まない場合、(D’)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、4質量%以下である樹脂組成物。
[2] (D)成分を、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、10質量%以上含む[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (D)成分を、(D)成分及び(D’)成分の合計を100質量%とした場合に、90質量%以上含む[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (D’)成分を含まない[1]~[3]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[5] (D)成分を含まない[1]に記載の樹脂組成物。
[6] (C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、1~15質量%である、[1]~[5]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[7] (D)成分及び(D’)成分の比表面積が、0.5~50m/gである、[1]~[6]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[8] シランカップリング剤が、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、及びメタクリルシラン系カップリング剤からなる群から選ばれるシランカップリング剤である、[1]~[7]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[9] さらに(E)エラストマー及び(F)熱可塑性樹脂から選ばれる1種又は2種以上の成分を含む、[1]~[8]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[10] (C)成分が、下記式(1):
That is, the present invention includes the following contents.
[1] (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound,
Further (D) contains or does not contain an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent,
Further (D') contains or does not contain an inorganic filler that is not surface-treated with a silane coupling agent,
When the total content of component (D) and component (D') is 50% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, and component (D) is not included, A resin composition in which the content of component (D') is 4% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is taken as 100% by mass.
[2] The resin composition according to [1], containing 10% by mass or more of the component (D) based on 100% by mass of non-volatile components in the resin composition.
[3] The resin composition according to [1] or [2], containing 90% by mass or more of the component (D) when the total of the components (D) and (D') is 100% by mass.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], which does not contain component (D').
[5] The resin composition according to [1], which does not contain component (D).
[6] Any one of [1] to [5], wherein the content of component (C) is 1 to 15% by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. of the resin composition.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], wherein the specific surface area of component (D) and component (D') is 0.5 to 50 m 2 /g.
[8] of [1] to [7], wherein the silane coupling agent is a silane coupling agent selected from the group consisting of aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, and methacrylsilane coupling agents. The resin composition according to any one of items 1 and 2.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], further comprising one or more components selected from (E) an elastomer and (F) a thermoplastic resin.
[10] Component (C) has the following formula (1):

Figure 0007230421000001
Figure 0007230421000001

[式中、R及びRは、それぞれ独立して、置換基を有していてもよいアリール基を示し、nは、1~23の整数を示す。]
で表される化合物である、[1]~[9]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[11] R及びRが、それぞれ独立して、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、及び-X-R(Xは、単結合、-(アルキレン基)-、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-NHCO-、-CONH-、-OCO-、又は-COO-を示し、Rは、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。)で表される基からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基である、[10]に記載の樹脂組成物。
[12] 180℃で1時間熱硬化させて得られる硬化物のJIS K7127に準拠して測定される23℃における引張弾性率が5GPa以下である、[1]~[11]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[13] 上記引張弾性率が2GPa以下である、[12]に記載の樹脂組成物。
[14] 導体層を形成するための絶縁層形成用である、[1]~[13]の何れか1項に記載の樹脂組成物。
[15] 粗化処理後に導体層を形成するための絶縁層形成用である、[14]に記載の樹脂組成物。
[16] [1]~[15]の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。
[17] 支持体と、上記支持体上に設けられた[1]~[13]の何れか1項に記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。
[18] 第1の導体層、第2の導体層、及び、上記第1の導体層と上記第2の導体層との間に形成された絶縁層を含むプリント配線板であって、
上記絶縁層が、[1]~[13]の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物である、プリント配線板。
[19] 上記絶縁層がビアホールを有する、[18]に記載のプリント配線板。
[In the formula, R 1 and R 2 each independently represent an optionally substituted aryl group, and n represents an integer of 1-23. ]
The resin composition according to any one of [1] to [9], which is a compound represented by
[11] R 1 and R 2 each independently represent an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, and —X—R 3 (X is a single bond, —(alkylene group)—, —O— , -S-, -CO-, -SO 2 -, -NHCO-, -CONH-, -OCO-, or -COO-, and R 3 is an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, or a halogen atom. represents an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of ) optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of The resin composition according to [10], which is an aryl group.
[12] Any one of [1] to [11], wherein the cured product obtained by heat curing at 180 ° C. for 1 hour has a tensile modulus at 23 ° C. measured in accordance with JIS K7127 of 5 GPa or less. The resin composition according to .
[13] The resin composition according to [12], wherein the tensile modulus is 2 GPa or less.
[14] The resin composition according to any one of [1] to [13], which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer.
[15] The resin composition according to [14], which is for forming an insulating layer for forming a conductor layer after roughening treatment.
[16] A cured product of the resin composition according to any one of [1] to [15].
[17] A resin sheet comprising a support and a resin composition layer formed of the resin composition according to any one of [1] to [13] provided on the support.
[18] A printed wiring board comprising a first conductor layer, a second conductor layer, and an insulating layer formed between the first conductor layer and the second conductor layer,
A printed wiring board, wherein the insulating layer is a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [13].
[19] The printed wiring board of [18], wherein the insulating layer has via holes.

本発明によれば、ハローイング現象を抑制できる硬化物を得ることができる樹脂組成物;上記硬化物;上記樹脂組成物を含む樹脂組成物層を有する樹脂シート;及び上記硬化物を含むプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, a resin composition capable of obtaining a cured product capable of suppressing the haloing phenomenon; the cured product; a resin sheet having a resin composition layer containing the resin composition; and a printed wiring containing the cured product. boards can be provided.

図1は、プリント配線板の一例を模式的に示した一部断面図である。FIG. 1 is a partial cross-sectional view schematically showing an example of a printed wiring board. 図2は、本発明の樹脂組成物をシート状に硬化させて得た絶縁層を、内層基板と共に模式的に示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an insulating layer obtained by curing the resin composition of the present invention into a sheet, together with an inner layer substrate. 図3は、本発明の樹脂組成物をシート状に硬化させて得た絶縁層の、導体層とは反対側の面を模式的に示す平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing the surface of the insulating layer obtained by curing the resin composition of the present invention into a sheet, opposite to the conductor layer. 図4は、本発明の樹脂組成物をシート状に硬化させて得た、粗化処理後の絶縁層を、内層基板と共に模式的に示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing an insulating layer after roughening treatment, which is obtained by curing the resin composition of the present invention into a sheet, together with an inner layer substrate.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。ただし、本発明は、下記実施形態及び例示物に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施され得る。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will now be described in detail with reference to its preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and can be arbitrarily modified without departing from the scope of the claims of the present invention and their equivalents.

<樹脂組成物>
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含む。さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤、及び(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤をそれぞれ任意で含有する。なお、(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、50質量%以下であり、(D)成分を含まない場合、(D’)成分の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、4質量%以下である。
<Resin composition>
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound. Furthermore, (D) an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent and (D') an inorganic filler not surface-treated with a silane coupling agent are optionally included. In addition, the total content of the component (D) and the component (D') is 50% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, and the component (D) is not included. , (D') component content is 4% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass.

このような樹脂組成物を用いることにより、ハローイング現象を抑制できる硬化物を得ることができるという本発明の所望の効果が達成できる。 By using such a resin composition, it is possible to achieve the desired effect of the present invention that a cured product capable of suppressing the haloing phenomenon can be obtained.

本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、(C)ホスファゼン化合物、及び(D)・(D’)無機充填剤の他に、さらに任意の成分を含んでいてもよい。任意の成分としては、例えば、(E)エラストマー、(F)熱可塑性樹脂、(G)有機充填材、(H)硬化促進剤、(I)有機溶剤、及び(J)その他の添加剤が挙げられる。以下、樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, (C) a phosphazene compound, and (D) and (D') inorganic fillers, as well as optional components. good too. Examples of optional components include (E) elastomers, (F) thermoplastic resins, (G) organic fillers, (H) curing accelerators, (I) organic solvents, and (J) other additives. be done. Each component contained in the resin composition will be described in detail below.

<(A)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂を含有する。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin.

(A)エポキシ樹脂としては、例えば、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (A) Epoxy resins include, for example, bixylenol type epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins, bisphenol S type epoxy resins, bisphenol AF type epoxy resins, dicyclopentadiene type epoxy resins, and trisphenol type epoxy resins. Epoxy resin, naphthol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidylamine type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin , cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, linear aliphatic epoxy resin, epoxy resin having a butadiene structure, alicyclic epoxy resin, heterocyclic epoxy resin, spiro ring-containing epoxy resin, cyclohexane type epoxy resin, cyclohexane Examples include dimethanol type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, trimethylol type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin and the like. Epoxy resins may be used singly or in combination of two or more.

樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、(A)エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。 The resin composition preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule as (A) the epoxy resin. From the viewpoint of obtaining the desired effects of the present invention remarkably, the ratio of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule to 100% by mass of the non-volatile components of the epoxy resin (A) is preferably 50% by mass. % or more, more preferably 60 mass % or more, and particularly preferably 70 mass % or more.

エポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ということがある。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。)とがある。一実施形態では、本発明の樹脂組成物は、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂を含む。一実施形態では、本発明の樹脂組成物は、エポキシ樹脂として、固体状エポキシ樹脂を含む。本発明の樹脂組成物は、エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、或いは固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよいが、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含むことが好ましい。 Epoxy resins include liquid epoxy resins at a temperature of 20° C. (hereinafter sometimes referred to as “liquid epoxy resins”) and solid epoxy resins at a temperature of 20° C. (hereinafter sometimes referred to as “solid epoxy resins”). ). In one embodiment, the resin composition of the present invention contains a liquid epoxy resin as the epoxy resin. In one embodiment, the resin composition of the present invention contains a solid epoxy resin as the epoxy resin. The resin composition of the present invention may contain only a liquid epoxy resin as an epoxy resin, or may contain only a solid epoxy resin, and may contain a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin. is preferred.

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましい。 A liquid epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule is preferable as the liquid epoxy resin.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましい。 Examples of liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, ester skeleton. An alicyclic epoxy resin, a cyclohexane type epoxy resin, a cyclohexanedimethanol type epoxy resin, a glycidylamine type epoxy resin, and an epoxy resin having a butadiene structure are preferable.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「828EL」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」、日本曹達社製の「JP-100」、「JP-200」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include "HP4032", "HP4032D", and "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resins) manufactured by DIC; "828US", "828EL", "jER828EL", and "825" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; ", "Epikote 828EL" (bisphenol A type epoxy resin); "jER807" and "1750" (bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER152" (phenol novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "630" and "630LSD" (glycidylamine type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "ZX1059" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. (mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin); Nagase ChemteX Corporation "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Daicel; "Celoxide 2021P" manufactured by Daicel (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton); "PB-3600" manufactured by Daicel; "JP-100", "JP-200" (epoxy resin having a butadiene structure); "ZX1658" and "ZX1658GS" (liquid 1,4-glycidylcyclohexane type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and the like. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 The solid epoxy resin is preferably a solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups per molecule, more preferably an aromatic solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups per molecule.

固体状エポキシ樹脂としては、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましい。 Solid epoxy resins include bixylenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthalene type tetrafunctional epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, and tetraphenylethane type epoxy resin.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200HH」、「HP-7200H」、「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニル型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX7700」(キシレン構造含有ノボラック型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」;三菱ケミカル社製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include "HP4032H" (naphthalene-type epoxy resin) manufactured by DIC; "HP-4700" and "HP-4710" (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin) manufactured by DIC; "N-690" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; "N-695" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; "HP-7200" (dicyclopentadiene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; DIC's "HP-7200HH", "HP-7200H", "EXA-7311", "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000" ( Naphthylene ether type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd. "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin); "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3100" (biphenyl type epoxy resin); "ESN475V" (naphthol type epoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; type epoxy resin); "YX4000H", "YX4000", "YL6121" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; YX8800" (anthracene type epoxy resin); "YX7700" (xylene structure-containing novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "PG-100" and "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemicals; "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin); "YL7800" (fluorene type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) and the like. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(A)エポキシ樹脂として液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、好ましくは20:1~1:20、より好ましくは10:1~1:10、特に好ましくは5:1~1:5である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比が斯かる範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができる。 (A) When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the ratio by mass (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably 20:1 to 1:20. , more preferably 10:1 to 1:10, particularly preferably 5:1 to 1:5. The desired effect of the present invention can be remarkably obtained by setting the amount ratio of the liquid epoxy resin to the solid epoxy resin within such a range.

エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50g/eq.~5000g/eq.、より好ましくは50g/eq.~3000g/eq.、さらに好ましくは80g/eq.~2000g/eq.、さらにより好ましくは110g/eq.~1000g/eq.である。この範囲となることで、樹脂シートの硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50 g/eq. ~5000g/eq. , more preferably 50 g/eq. ~3000g/eq. , more preferably 80 g/eq. ~2000 g/eq. , even more preferably 110 g/eq. ~1000g/eq. is. Within this range, the crosslink density of the cured product of the resin sheet is sufficient, and an insulating layer with a small surface roughness can be obtained. Epoxy equivalent weight is the mass of resin containing one equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236.

(A)エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100~5000、より好ましくは250~3000、さらに好ましくは400~1500である。樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。 (A) The weight average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, still more preferably 400 to 1500, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. The weight average molecular weight of the resin can be measured as a polystyrene-equivalent value by a gel permeation chromatography (GPC) method.

(A)エポキシ樹脂の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは10質量%以上、より好ましくは15質量%以上、さらに好ましくは20質量%以上、特に好ましくは25質量%以上である。その上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは70質量%以下、より好ましくは60質量%以下、さらに好ましくは50質量%以下、特に好ましくは45質量%以下である。 (A) The content of the epoxy resin is not particularly limited, but when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effect of the present invention, it is preferably It is 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, still more preferably 20% by mass or more, and particularly preferably 25% by mass or more. The upper limit is preferably 70% by mass or less, more preferably 60% by mass or less, even more preferably 50% by mass or less, and particularly preferably 45% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

<(B)硬化剤>
本発明の樹脂組成物は、(B)硬化剤を含有する。
<(B) Curing agent>
The resin composition of the present invention contains (B) a curing agent.

(B)硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されず、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、酸無水物系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明の樹脂組成物の(B)硬化剤は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、フェノール系硬化剤または酸無水物系硬化剤を含むものが好ましい。 (B) The curing agent is not particularly limited as long as it has the function of curing the epoxy resin. Curing agents, cyanate ester curing agents, and carbodiimide curing agents are included. The curing agent may be used singly or in combination of two or more. The (B) curing agent of the resin composition of the present invention preferably contains a phenol-based curing agent or an acid anhydride-based curing agent from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、被着体に対する密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び密着性を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金化学社製の「SN-170」、「SN-180」、「SN-190」、「SN-475」、「SN-485」、「SN-495」、「SN-375」、「SN-395」、DIC社製の「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-3018」、「LA-3018-50P」、「LA-1356」、「TD2090」、「TD-2090-60M」等が挙げられる。 As the phenolic curing agent and the naphtholic curing agent, a phenolic curing agent having a novolac structure or a naphtholic curing agent having a novolac structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. From the viewpoint of adhesion to adherends, a nitrogen-containing phenolic curing agent or a nitrogen-containing naphthol curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenolic curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol curing agent is more preferable. Among them, a triazine skeleton-containing phenol novolak resin is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion. Specific examples of phenol-based curing agents and naphthol-based curing agents include "MEH-7700", "MEH-7810" and "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., "NHN" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "CBN", "GPH", Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "SN-170", "SN-180", "SN-190", "SN-475", "SN-485", "SN-495", "SN-375", "SN-395", DIC "LA-7052", "LA-7054", "LA-3018", "LA-3018-50P", "LA-1356", "TD2090" ”, “TD-2090-60M” and the like.

酸無水物系硬化剤としては、1分子内中に1個以上の酸無水物基を有する硬化剤が挙げられる。酸無水物系硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、3,3’-4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-C]フラン-1,3-ジオン、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。酸無水物系硬化剤の市販品としては、新日本理化社製の「HNA-100」、「MH-700」等が挙げられる。 Acid anhydride curing agents include curing agents having one or more acid anhydride groups in one molecule. Specific examples of acid anhydride curing agents include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic anhydride, and hydrogenated methylnadic acid. anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, dodecenylsuccinic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trianhydride mellitic acid, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, naphthalenetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, 3,3'-4,4'- Diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5-(tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl)-naphtho[1,2-C]furan-1 , 3-dione, ethylene glycol bis(anhydrotrimellitate), polymer-type acid anhydrides such as styrene/maleic acid resin obtained by copolymerizing styrene and maleic acid. Commercially available acid anhydride curing agents include "HNA-100" and "MH-700" manufactured by Shin Nippon Rika.

活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 The active ester-based curing agent is not particularly limited, but generally contains an ester group with high reaction activity such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, esters of heterocyclic hydroxy compounds in one molecule. A compound having two or more is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and/or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferred, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound is more preferred. Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalin, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucine, Benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compound, phenol novolak, and the like. Here, the term "dicyclopentadiene-type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing one molecule of dicyclopentadiene with two molecules of phenol.

具体的には、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン-ジシクロペンタレン-フェニレンからなる2価の構造単位を表す。 Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and an active ester compound containing a benzoylated product of phenol novolak are preferred. Among them, an active ester compound containing a naphthalene structure and an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are more preferable. "Dicyclopentadiene-type diphenol structure" represents a divalent structural unit consisting of phenylene-dicyclopentalene-phenylene.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC-8000」、「HPC-8000H」、「HPC-8000-65T」、「HPC-8000H-65TM」、「EXB-8000L」、「EXB-8000L-65TM」(DIC社製);ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416-70BK」、「EXB-8150-65T」(DIC社製);フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル系硬化剤として「DC808」(三菱ケミカル社製);フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル系硬化剤として「YLH1026」(三菱ケミカル社製)、「YLH1030」(三菱ケミカル社製)、「YLH1048」(三菱ケミカル社製);等が挙げられる。 Commercially available active ester curing agents include, as active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC-8000", "HPC-8000H", " HPC-8000-65T", "HPC-8000H-65TM", "EXB-8000L", "EXB-8000L-65TM" (manufactured by DIC); active ester compounds containing naphthalene structures: "EXB9416-70BK" and "EXB -8150-65T" (manufactured by DIC Corporation); "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated phenol novolak; "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing a benzoylated phenol novolac "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester curing agent that is an acetylated product of phenol novolac; "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester curing agent that is a benzoylated product of phenol novolak; YLH1030" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "YLH1048" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation); and the like.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、JFEケミカル社製の「JBZ-OP100D」、「ODA-BOZ」;昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」などが挙げられる。 Specific examples of benzoxazine-based curing agents include "JBZ-OP100D" and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical; "HFB2006M" manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.; Examples include "Fa".

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート))、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of cyanate ester curing agents include bisphenol A dicyanate, polyphenolcyanate (oligo(3-methylene-1,5-phenylenecyanate)), 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylphenylcyanate), 4, 4′-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanatophenylmethane), bis(4-cyanate-3,5- Difunctional cyanate resins such as dimethylphenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatophenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanatophenyl)thioether, and bis(4-cyanatophenyl)ether, Polyfunctional cyanate resins derived from phenol novolak, cresol novolak, etc., and prepolymers obtained by partially triazine-forming these cyanate resins. Specific examples of cyanate ester curing agents include "PT30" and "PT60" (both phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resins), "BA230" and "BA230S75" (part of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. or a prepolymer that is entirely triazined to form a trimer), and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル社製の「V-03」、「V-07」等が挙げられる。 Specific examples of carbodiimide curing agents include "V-03" and "V-07" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., and the like.

硬化剤を含む場合、エポキシ樹脂と硬化剤との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2~1:2の範囲が好ましく、1:0.3~1:1.5がより好ましく、1:0.4~1:1.2がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の不揮発成分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の不揮発成分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、得られる硬化物の耐熱性がより向上する。 When a curing agent is included, the ratio of the epoxy resin to the curing agent is [total number of epoxy groups in the epoxy resin]:[total number of reactive groups in the curing agent], which is 1:0.2 to 1:1:0.2. A range of 2 is preferred, 1:0.3 to 1:1.5 is more preferred, and 1:0.4 to 1:1.2 is even more preferred. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group, or the like, and varies depending on the type of curing agent. The total number of epoxy groups in the epoxy resin is the sum of the values obtained by dividing the mass of the non-volatile components of each epoxy resin by the epoxy equivalent, and the total number of reactive groups in the curing agent is It is a value obtained by dividing the non-volatile component mass of each curing agent by the reactive group equivalent and totaling all the curing agents. By setting the ratio of the epoxy resin to the curing agent within this range, the heat resistance of the resulting cured product is further improved.

(B)硬化剤の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは1.5質量%以上、さらに好ましくは2質量%以上、特に好ましくは2.5質量%以上である。その上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下、特に好ましくは15質量%以下である。 (B) The content of the curing agent is not particularly limited, but when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effect of the present invention, it is preferably It is 0.1% by mass or more, more preferably 1.5% by mass or more, still more preferably 2% by mass or more, and particularly preferably 2.5% by mass or more. The upper limit is preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, even more preferably 20% by mass or less, and particularly preferably 15% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

<(C)ホスファゼン化合物>
本発明の樹脂組成物は、(C)ホスファゼン化合物を含有する。
<(C) Phosphazene compound>
The resin composition of the present invention contains (C) a phosphazene compound.

(C)ホスファゼン化合物とは、-P=N-で表される構造単位を基本骨格として有する化合物をいう。ホスファゼン化合物としては、例えば、-P=N-で表される構造単位からなる環状構造を有するシクロホスファゼン化合物、-P=N-で表される構造単位からなる鎖状構造を有するポリホスファゼン化合物等が挙げられる。本発明においてホスファゼン化合物は、-P=N-で表される構造単位からなる環状構造を有するシクロホスファゼン化合物が好ましい。 (C) A phosphazene compound refers to a compound having a structural unit represented by -P=N- as a basic skeleton. Examples of the phosphazene compound include cyclophosphazene compounds having a cyclic structure consisting of structural units represented by -P=N-, polyphosphazene compounds having a chain structure consisting of structural units represented by -P=N-, and the like. is mentioned. In the present invention, the phosphazene compound is preferably a cyclophosphazene compound having a cyclic structure composed of structural units represented by -P=N-.

本発明においてホスファゼン化合物は、下記式(1): In the present invention, the phosphazene compound has the following formula (1):

Figure 0007230421000002
Figure 0007230421000002

[式中、R及びRは、それぞれ独立して、置換基を有していてもよいアリール基を示し、nは、1~23の整数を示す。]
で表される化合物が好ましい。
[In the formula, R 1 and R 2 each independently represent an optionally substituted aryl group, and n represents an integer of 1-23. ]
A compound represented by is preferred.

及びRは、好ましくは、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、及び-X-R(Xは、単結合、-(アルキレン基)-、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-NHCO-、-CONH-、-OCO-、又は-COO-を示し、Rは、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。)で表される基からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。 R 1 and R 2 are preferably each independently a hydroxy group, an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, and —X—R 3 (X is a single bond, —(alkylene group)—, -O-, -S-, -CO-, -SO 2 -, -NHCO-, -CONH-, -OCO- or -COO-, and R 3 is a hydroxy group, an alkyl group, an alkoxy group, a cyano an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of a group consisting of a group and a halogen atom. represents an aryl group that may be

本発明においてホスファゼン化合物は、ハローイング現象を効果的に抑制する観点から、(A)成分又は(B)成分と反応する官能基を含まないものであることが好ましい。このような官能基としては、例えば、ヒドロキシ基等が挙げられる。したがって、R及びRは、より好ましくは、それぞれ独立して、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、及び-X-R(Xは、単結合、-(アルキレン基)-、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-NHCO-、-CONH-、-OCO-、又は-COO-を示し、Rは、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。)で表される基からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。R及びRは、さらに好ましくは、それぞれ独立して、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。R及びRは、特に好ましくは、それぞれ独立して、(無置換)アリール基である。 In the present invention, the phosphazene compound preferably does not contain a functional group that reacts with the component (A) or the component (B) from the viewpoint of effectively suppressing the haloing phenomenon. Examples of such functional groups include a hydroxy group and the like. Therefore, R 1 and R 2 are more preferably each independently an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, and —X—R 3 (X is a single bond, —(alkylene group)—, —O—, —S—, —CO—, —SO 2 —, —NHCO—, —CONH—, —OCO—, or —COO—, and R 3 is an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, and an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of halogen atoms.) having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of represents an aryl group that may be R 1 and R 2 are more preferably each independently an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group and a halogen atom. indicates R 1 and R 2 are particularly preferably each independently an (unsubstituted) aryl group.

一実施形態では、好ましくは、Rが、(無置換)アリール基であり、かつRが、それぞれ独立して、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、及び-X-R(Xは、単結合、-(アルキレン基)-、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-NHCO-、-CONH-、-OCO-、又は-COO-を示し、Rは、ヒドロキシ基、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。)で表される基からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基であり、より好ましくは、Rが、(無置換)アリール基であり、かつRが、それぞれ独立して、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、及び-X-R(Xは、単結合、-(アルキレン基)-、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-NHCO-、-CONH-、-OCO-、又は-COO-を示し、Rは、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。)で表される基からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基である。 In one embodiment, preferably R 1 is an (unsubstituted) aryl group and R 2 are each independently a hydroxy group, an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, and -X- R 3 (X is a single bond, -(alkylene group)-, -O-, -S-, -CO-, -SO 2 -, -NHCO-, -CONH-, -OCO- or -COO- and R 3 represents an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of a hydroxy group, an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, and a halogen atom.) an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of the group consisting of, more preferably R 1 is an (unsubstituted) aryl group and R 2 is each independently, an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, and —X—R 3 (X is a single bond, —(alkylene group)—, —O—, —S—, —CO—, —SO 2 -, -NHCO-, -CONH-, -OCO-, or -COO-, and R 3 is 1 to 3 substituents selected from the group consisting of an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, and a halogen atom It is an aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of groups represented by the following.

アリール基とは、1価の芳香族炭化水素基をいう。炭素原子数6~14のアリール基が好ましく、炭素原子数6~10のアリール基がより好ましい。例えば、フェニル基、1-ナフチル基、2-ナフチル基等が挙げられ、好ましくは、フェニル基である。 An aryl group refers to a monovalent aromatic hydrocarbon group. An aryl group having 6 to 14 carbon atoms is preferred, and an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is more preferred. Examples thereof include phenyl group, 1-naphthyl group, 2-naphthyl group and the like, preferably phenyl group.

アルキル基とは、直鎖又は分枝鎖の1価の脂肪族飽和炭化水素基をいう。炭素原子数1~6のアルキル基が好ましく、炭素原子数1~3のアルキル基がより好ましい。例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、sec-ブチル、tert-ブチル、ペンチル、イソペンチル、ネオペンチル等が挙げられる。 An alkyl group refers to a linear or branched monovalent aliphatic saturated hydrocarbon group. An alkyl group having 1 to 6 carbon atoms is preferred, and an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms is more preferred. Examples include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl, isopentyl, neopentyl and the like.

アルコキシ基とは、酸素原子にアルキル基が結合して形成される1価の基(アルキル-O-)をいう。炭素原子数1~6のアルコキシ基が好ましく、炭素原子数1~3のアルコキシ基がより好ましい。例えば、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、イソブトキシ、sec-ブトキシ、tert-ブトキシ、ペンチルオキシ等が挙げられる。 An alkoxy group refers to a monovalent group (alkyl-O-) formed by bonding an alkyl group to an oxygen atom. An alkoxy group having 1 to 6 carbon atoms is preferred, and an alkoxy group having 1 to 3 carbon atoms is more preferred. Examples include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, isobutoxy, sec-butoxy, tert-butoxy, pentyloxy and the like.

アルキレン基とは、直鎖又は分枝鎖の2価の脂肪族飽和炭化水素基をいう。炭素原子数1~6のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1~3のアルキレン基がより好ましい。例えば、-CH-、-CH-CH-、-CH(CH)-、-CH-CH-CH-、-CH-CH(CH)-、-CH(CH)-CH-、-C(CH-、-CH-CH-CH-CH-、-CH-CH-CH(CH)-、-CH-CH(CH)-CH-、-CH(CH)-CH-CH-、-CH-C(CH-、-C(CH-CH-等が挙げられる。 An alkylene group refers to a linear or branched divalent saturated aliphatic hydrocarbon group. An alkylene group having 1 to 6 carbon atoms is preferred, and an alkylene group having 1 to 3 carbon atoms is more preferred. For example, -CH 2 -, -CH 2 -CH 2 -, -CH(CH 3 )-, -CH 2 -CH 2 -CH 2 -, -CH 2 -CH(CH 3 )-, -CH(CH 3 ) -CH 2 -, -C(CH 3 ) 2 -, -CH 2 -CH 2 -CH 2 -CH 2 -, -CH 2 -CH 2 -CH(CH 3 )-, -CH 2 -CH(CH 3 ) -CH 2 -, -CH(CH 3 )-CH 2 -CH 2 -, -CH 2 -C(CH 3 ) 2 -, -C(CH 3 ) 2 -CH 2 - and the like.

ハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。 Halogen atoms include, for example, fluorine, chlorine, and bromine atoms.

nは、好ましくは、1~13の整数であり、より好ましくは、1~8の整数であり、さらに好ましくは、1又は2であり、特に好ましくは、1である。 n is preferably an integer of 1 to 13, more preferably an integer of 1 to 8, still more preferably 1 or 2, particularly preferably 1.

(C)ホスファゼン化合物の具体例としては、例えば、下記式(2)~(9)で表される化合物が挙げられるが、(C)成分はこれらに限定されるものではない。 Specific examples of the (C) phosphazene compound include compounds represented by the following formulas (2) to (9), but the component (C) is not limited to these.

Figure 0007230421000003
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Figure 0007230421000004
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Figure 0007230421000005
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Figure 0007230421000006
Figure 0007230421000006

Figure 0007230421000007
Figure 0007230421000007

Figure 0007230421000008
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Figure 0007230421000009
Figure 0007230421000009

Figure 0007230421000010
Figure 0007230421000010

(式中、nは、上記同様である。) (In the formula, n is the same as above.)

(C)成分は市販品を用いることができ、例えば、大塚化学(株)製、「SPH-100」(上記式(7)で表される化合物)、「SPS-100」(上記式(2)で表される化合物)、「SPB-100」「SPE-100」、(株)伏見製薬所製の「FP-100」(上記式(2)で表される化合物)、「FP-110」、「FP-300」(上記式(3)で表される化合物)、「FP-390」(上記式(4)で表される化合物)、「FP-400」等が挙げられる。 Commercially available products can be used as the component (C). ), “SPB-100”, “SPE-100”, “FP-100” manufactured by Fushimi Pharmaceutical Co., Ltd. (compound represented by the above formula (2)), “FP-110” , “FP-300” (the compound represented by the above formula (3)), “FP-390” (the compound represented by the above formula (4)), “FP-400” and the like.

(C)ホスファゼン化合物の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、ハローイング現象を効果的に抑制する観点から、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上、特に好ましくは1.2質量%以上である。その上限は、樹脂組成物のリフロー耐性を向上させる観点から、好ましくは25質量%以下、より好ましくは20質量%以下、さらに好ましくは15質量%以下、特に好ましくは10質量%以下である。 Although the content of (C) the phosphazene compound is not particularly limited, it is preferably 0 from the viewpoint of effectively suppressing the haloing phenomenon when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, still more preferably 1% by mass or more, and particularly preferably 1.2% by mass or more. The upper limit is preferably 25% by mass or less, more preferably 20% by mass or less, even more preferably 15% by mass or less, and particularly preferably 10% by mass or less, from the viewpoint of improving the reflow resistance of the resin composition.

<(D)・(D’)無機充填剤>
本発明の樹脂組成物は、(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤、及び(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤をそれぞれ任意で含有する。
<(D)/(D') inorganic filler>
The resin composition of the present invention optionally contains (D) an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent and (D') an inorganic filler not surface-treated with a silane coupling agent.

無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられ、シリカ又はアルミナが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。またシリカとしては球形シリカが好ましく、アルミナとしては球形アルミナが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 The material of the inorganic filler is not particularly limited, but examples include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, and water. Aluminum oxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide , zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Silica or alumina is particularly preferred. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. Spherical silica is preferred as silica, and spherical alumina is preferred as alumina. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

無機充填材の市販品としては、例えば、新日鉄住金マテリアルズ社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」;デンカ社製の「UFP-30」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;アドマテックス社製の「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」;デンカ社製の「DAW-01」などが挙げられる。 Examples of commercially available inorganic fillers include "SP60-05" and "SP507-05" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials; YA010C"; Denka's "UFP-30"; Tokuyama's "Sylfil NSS-3N", "Silfil NSS-4N", "Sylfil NSS-5N"; Admatechs' "SC2500SQ", "SO- C4”, “SO-C2”, “SO-C1”; “DAW-01” manufactured by Denka Co., Ltd., and the like.

無機充填材の平均粒径は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは20μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは2μm以下である。無機充填材の平均粒径の下限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、さらに好ましくは0.1μm以上である。無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、無機充填材の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材100mg、メチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散させたものを使用することができる。測定サンプルを、レーザー回折式粒径分布測定装置を使用して、使用光源波長を青色及び赤色とし、フローセル方式で無機充填材の体積基準の粒径分布を測定し、得られた粒径分布からメディアン径として平均粒径を算出した。レーザー回折式粒径分布測定装置としては、例えば堀場製作所社製「LA-960」等が挙げられる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 20 µm or less, more preferably 3 µm or less, and even more preferably 2 µm or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. The lower limit of the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 µm or more, more preferably 0.05 µm or more, and still more preferably 0.1 µm or more, from the viewpoint of obtaining the desired effects of the present invention remarkably. The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler is prepared on a volume basis using a laser diffraction/scattering type particle size distribution measuring device, and the median diameter can be used as the average particle size for measurement. A measurement sample can be obtained by weighing 100 mg of an inorganic filler and 10 g of methyl ethyl ketone in a vial and dispersing them with ultrasonic waves for 10 minutes. A measurement sample is measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device, the wavelengths of the light source used are blue and red, the volume-based particle size distribution of the inorganic filler is measured by the flow cell method, and from the obtained particle size distribution The average particle diameter was calculated as the median diameter. Examples of the laser diffraction particle size distribution analyzer include "LA-960" manufactured by Horiba, Ltd., and the like.

(D)成分の無機充填材は、シランカップリング剤で処理されている。シランカップリング剤としては、例えば、アルコキシシラン化合物、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メタクリルシラン系カップリング剤、ビニルシラン系カップリング剤、スチリルシラン系カップリング剤、アクリルシラン系カップリング剤、イソシアヌレート系シランカップリング剤、ウレイド系シランカップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、及びイソシアネート系シランカップリング剤から選ばれるシランカップリング剤が挙げられる。中でもアミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、及びメタクリルシラン系カップリング剤からなる群から選ばれるシランカップリング剤が好ましい。シランカップリング剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 The inorganic filler of component (D) is treated with a silane coupling agent. Silane coupling agents include, for example, alkoxysilane compounds, aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, methacrylsilane coupling agents, vinylsilane coupling agents, styrylsilane coupling agents, and acrylsilane coupling agents. Silane coupling agents selected from ring agents, isocyanurate-based silane coupling agents, ureido-based silane coupling agents, mercaptosilane-based coupling agents, and isocyanate-based silane coupling agents can be used. Among them, silane coupling agents selected from the group consisting of aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, and methacrylsilane coupling agents are preferred. Silane coupling agents may be used singly or in combination of two or more.

アルコキシシラン化合物とは、RSiX4-a(式中、Rは、(i)水素原子;(ii)アルコキシ基及びハロゲン原子から選ばれる置換基を有していてもよいアルキル基;及び(iii)アルキル基、アルコキシ基及びハロゲン原子から選ばれる置換基を有していてもよいアリール基を示し、Xは、アルコキシ基を示し、aは、0~3の整数を示す。)で表されるシラン化合物を意味し、例えば、メチルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-13」)、ジメチルジメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-22」)、フェニルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM103」)、メチルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-13」)、ジメチルジエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-22」)、フェニルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-103」)、n-プロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-3033」)、n-プロピルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-3033」)、ヘキシルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-3063」)、ヘキシルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-3063」)、オクチルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-3083」)、デシルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-3103C」)、1,6-ビス(トリメトキシシリル)ヘキサン(例えば、信越化学工業社製「KBM-3066」)、3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-7103」)等が挙げられる。 The alkoxysilane compound is R a SiX 4-a (wherein R is (i) a hydrogen atom; (ii) an alkyl group optionally having a substituent selected from an alkoxy group and a halogen atom; and ( iii) represents an aryl group optionally having a substituent selected from an alkyl group, an alkoxy group and a halogen atom, X represents an alkoxy group, and a represents an integer of 0 to 3.) For example, methyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-13"), dimethyldimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-22"), phenyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM103"), methyltriethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-13"), dimethyldiethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-22") , phenyltriethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-103"), n-propyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-3033"), n-propyltriethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-3033"), hexyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-3063"), hexyltriethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-3063"), Octyltriethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-3083"), decyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-3103C"), 1,6-bis(trimethoxysilyl)hexane ( Examples include "KBM-3066" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane (eg, "KBM-7103" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and the like.

アミノシラン系カップリング剤とは、アミノ基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-602」)、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-603」)、3-アミノプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-903」)、3-アミノプロピルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-903」)、3-トリエトキシシリル-N-(1,3-ジメチル-ブチリデン)プロピルアミン(例えば、信越化学工業社製「KBE-9103」)、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-573」)、N-(ビニルベンジル)-2-アミノエチル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩(例えば、信越化学工業社製「KBM-575」)等が挙げられる。 The aminosilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having an amino group. ), N-2-(aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-603"), 3-aminopropyltrimethoxysilane (e.g., Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM -903”), 3-aminopropyltriethoxysilane (for example, “KBE-903” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene) propylamine (for example, Shin-Etsu "KBE-9103" manufactured by Chemical Industry Co., Ltd.), N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane (for example, "KBM-573" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), N-(vinylbenzyl)-2-aminoethyl-3 -Aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride (eg, "KBM-575" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) and the like.

エポキシシラン系カップリング剤とは、エポキシ構造を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、2-(3,4-エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-303」)、3-グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-402」)、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-403」)、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-402」)、3-グリシドキシプロピルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-403」)等が挙げられる。 The epoxysilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having an epoxy structure, such as 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane (eg, "KBM-303" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). , 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane (eg, "KBM-402" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (eg, "KBM-403" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3 -glycidoxypropylmethyldiethoxysilane (eg, "KBE-402" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-glycidoxypropyltriethoxysilane (eg, "KBE-403" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), and the like. be done.

メタクリルシラン系カップリング剤とは、メタクリロイル基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、3-メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-502」)、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-503」)、3-メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-502」)、3-メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-503」)等が挙げられる。 The methacrylsilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having a methacryloyl group, such as 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane (eg, "KBM-502" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-methacryloxypropyl Trimethoxysilane (eg, "KBM-503" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-methacryloxypropylmethyldiethoxysilane (eg, "KBE-502" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-methacryloxypropyltriethoxysilane (For example, "KBE-503" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

ビニルシラン系カップリング剤とは、ビニル基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、ビニルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-1003」)、ビニルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-1003」)等が挙げられる。スチリルシラン系カップリング剤とは、スチリル基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、p-スチリルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-1403」)等が挙げられる。アクリルシラン系カップリング剤とは、アクリロイル基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-5103」)等が挙げられる。 A vinylsilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having a vinyl group, and examples thereof include vinyltrimethoxysilane (eg, "KBM-1003" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), vinyltriethoxysilane (eg, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE-1003" manufactured by Co., Ltd.) and the like. The styrylsilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having a styryl group, and examples thereof include p-styryltrimethoxysilane (eg, "KBM-1403" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The acrylsilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having an acryloyl group, and examples thereof include 3-acryloxypropyltrimethoxysilane (eg, “KBM-5103” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

イソシアヌレートシラン系カップリング剤とは、イソシアヌレート構造を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、トリス-(トリメトキシシリルプロピル)イソシアヌレート(例えば、信越化学工業社製「KBM-9659」)等が挙げられる。ウレイドシラン系カップリング剤とは、ウレイド基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、3-ウレイドプロピルトリアルコキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-585」)等が挙げられる。メルカプトシラン系カップリング剤とは、メルカプト基を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、3-メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-802」)、3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBM-803」)等が挙げられる。イソシアネート系シランカップリング剤とは、イソシアネート構造を有するアルコキシシラン化合物を意味し、例えば、3-イソシアネートプロピルトリエトキシシラン(例えば、信越化学工業社製「KBE-9007N」)等が挙げられる。 The isocyanurate silane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having an isocyanurate structure, such as tris-(trimethoxysilylpropyl) isocyanurate (eg, "KBM-9659" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). mentioned. The ureidosilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having a ureido group, and examples thereof include 3-ureidopropyltrialkoxysilane (eg, “KBE-585” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The mercaptosilane-based coupling agent means an alkoxysilane compound having a mercapto group, such as 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane (eg, "KBM-802" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), 3-mercaptopropyltrimethoxy Examples include silane (eg, “KBM-803” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.). The isocyanate-based silane coupling agent means an alkoxysilane compound having an isocyanate structure, and examples thereof include 3-isocyanatopropyltriethoxysilane (eg, "KBE-9007N" manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.).

(D)成分のシランカップリング剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、所定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量部は、0.2質量部~5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部~3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部~2質量部で表面処理されていることが好ましい。 From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the degree of surface treatment with the silane coupling agent of component (D) is preferably within a predetermined range. Specifically, 100 parts by mass of the inorganic filler is preferably surface-treated with 0.2-5 parts by mass of a surface treatment agent, and is surface-treated with 0.2-3 parts by mass. preferably 0.3 parts by mass to 2 parts by mass of the surface treatment.

(D)成分のシランカップリング剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上がさらに好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下がさらに好ましい。 The degree of surface treatment with the component (D), the silane coupling agent, can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and more preferably 0.2 mg/m 2 from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in the form of a sheet, it is preferably 1 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and further preferably 0.5 mg/m 2 or less. preferable.

(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 (D) The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (e.g., methyl ethyl ketone (MEK)). can. Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25° C. for 5 minutes. After removing the supernatant liquid and drying the solid content, a carbon analyzer can be used to measure the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. As a carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba Ltd. can be used.

無機充填材の比表面積は、本発明の効果をより向上させる観点から、好ましくは0.5m/g以上、より好ましくは1m/g以上、さらに好ましくは1.5m/g以上、特に好ましくは2m/g以上である。上限に特段の制限は無いが、好ましくは50m/g以下、45m/g以下又は40m/g以下である。無機充填材の比表面積は、BET法に従って、比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで得られる。 From the viewpoint of further improving the effects of the present invention, the specific surface area of the inorganic filler is preferably 0.5 m 2 /g or more, more preferably 1 m 2 /g or more, still more preferably 1.5 m 2 /g or more, especially It is preferably 2 m 2 /g or more. Although there is no particular upper limit, it is preferably 50 m 2 /g or less, 45 m 2 /g or less, or 40 m 2 /g or less. The specific surface area of the inorganic filler is determined by adsorbing nitrogen gas on the sample surface using a specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech) according to the BET method, and calculating the specific surface area using the BET multipoint method. obtained by

(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、樹脂組成物の柔軟性を高めるという観点から、50質量%以下、好ましくは45質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは38質量%以下である。 The total content of the component (D) and the component (D') is 50% by mass or less from the viewpoint of increasing the flexibility of the resin composition when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. It is preferably 45% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, and even more preferably 38% by mass or less.

(D)成分単独の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、樹脂組成物の柔軟性を高めるという観点から、好ましくは50質量%以下、より好ましくは45質量%以下、さらに好ましくは40質量%以下、特に好ましくは38質量%以下である。 The content of component (D) alone is preferably 50% by mass or less, more preferably 45% by mass, from the viewpoint of increasing the flexibility of the resin composition when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. % or less, more preferably 40 mass % or less, and particularly preferably 38 mass % or less.

(D’)成分単独の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、樹脂組成物の柔軟性を高めるという観点から、好ましくは50質量%以下、より好ましくは45質量%以下、さらに好ましくは40質量%以下、特に好ましくは38質量%以下である。 The content of component (D') alone is preferably 50% by mass or less, more preferably 45% by mass, from the viewpoint of increasing the flexibility of the resin composition when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. % by mass or less, more preferably 40% by mass or less, particularly preferably 38% by mass or less.

第一の好適な実施形態では、(D)成分を含有する。当該実施形態では、(D)成分の含有量が、(D)成分及び(D’)成分の合計を100質量%とした場合に、好ましくは60質量%以上、より好ましくは70質量%以上、さらに好ましくは80質量%以上、特に好ましくは90質量%以上である。当該実施形態では、(D)成分の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、リフロー耐性を高めるという観点から、例えば、10質量%以上、20質量%以上、30質量%以上であり得る。一方、当該実施形態では、(D’)成分の含有量は、柔軟性を高めるという観点からは、好ましくは4質量%以下、より好ましくは3質量%以下、さらに好ましくは2質量%以下、特に好ましくは1質量%以下である。当該実施形態では、(D’)成分を含有しないことが特に好ましい。 A first preferred embodiment contains component (D). In this embodiment, the content of component (D) is preferably 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, when the total of components (D) and (D') is 100% by mass, More preferably 80% by mass or more, particularly preferably 90% by mass or more. In this embodiment, the content of the component (D) is, for example, 10% by mass or more, 20% by mass or more, from the viewpoint of increasing the reflow resistance when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. It can be 30% by mass or more. On the other hand, in the embodiment, the content of the component (D') is preferably 4% by mass or less, more preferably 3% by mass or less, still more preferably 2% by mass or less, from the viewpoint of increasing flexibility, especially Preferably, it is 1% by mass or less. In this embodiment, it is particularly preferred not to contain component (D').

第二の好適な実施形態では、(D)成分を含有しない。当該実施形態では、(D’)成分の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、樹脂組成物の柔軟性を高めるという観点から、4質量%以下、好ましくは3質量%以下、より好ましくは2質量%以下、さらに好ましくは1質量%以下である。当該実施形態では、(D)成分と(D’)成分の両方を含有しないことが特に好ましい。 A second preferred embodiment does not contain component (D). In the embodiment, the content of the component (D') is 4% by mass or less, preferably 4% by mass or less, from the viewpoint of increasing the flexibility of the resin composition when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. It is 3% by mass or less, more preferably 2% by mass or less, and still more preferably 1% by mass or less. In this embodiment, it is particularly preferred not to contain both the (D) component and the (D') component.

樹脂組成物中の樹脂成分の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、樹脂組成物の柔軟性を高めるという観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは55質量%以上、さらに好ましくは60質量%以上、特に好ましくは62質量%以上である。ここで、「樹脂成分」とは、表面処理の有無を問わず無機充填剤を樹脂組成物から除いた残りの全成分を意味する。したがって、「樹脂成分」には、低分子化合物も含まれ得る。 The content of the resin component in the resin composition is preferably 50% by mass or more, more preferably 50% by mass or more, from the viewpoint of increasing the flexibility of the resin composition when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass. It is 55% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and particularly preferably 62% by mass or more. As used herein, the term "resin component" means all remaining components after removing the inorganic filler from the resin composition, regardless of whether or not the resin composition has been surface-treated. Therefore, the "resin component" may also include low-molecular-weight compounds.

<(E)エラストマー>
一実施形態において、本発明の樹脂組成物は、任意の成分として、さらに(E)エラストマーを含有し得る。
<(E) Elastomer>
In one embodiment, the resin composition of the present invention may further contain (E) an elastomer as an optional component.

本発明において(E)エラストマーは柔軟性を有する樹脂を意味し、有機溶剤に溶解する不定形の樹脂成分であり、ゴム弾性を有する樹脂または他の成分と重合してゴム弾性を示す樹脂が好ましい。ゴム弾性としては、例えば、日本工業規格(JIS K7161)に準拠し、温度25℃、湿度40%RHにて、引っ張り試験を行った場合に、1GPa以下の弾性率を示す樹脂が挙げられる。 In the present invention, (E) an elastomer means a resin having flexibility, which is an amorphous resin component that dissolves in an organic solvent, and is preferably a resin having rubber elasticity or a resin exhibiting rubber elasticity when polymerized with another component. . Examples of rubber elasticity include resins exhibiting an elastic modulus of 1 GPa or less when subjected to a tensile test at a temperature of 25° C. and a humidity of 40% RH according to Japanese Industrial Standards (JIS K7161).

一実施形態において、(E)成分は、分子内にポリブタジエン構造、ポリシロキサン構造、ポリ(メタ)アクリレート構造、ポリアルキレン構造、ポリアルキレンオキシ構造、ポリイソプレン構造、ポリイソブチレン構造、及びポリカーボネート構造から選択される1種以上の構造を有する樹脂であることが好ましく、柔軟性を有する材料を得る観点から、ポリブタジエン構造及びポリカーボネート構造から選択される1種以上の構造を有する樹脂であることがより好ましい。なお、「(メタ)アクリレート」とは、メタクリレート及びアクリレートを指す。 In one embodiment, component (E) is selected from polybutadiene structure, polysiloxane structure, poly(meth)acrylate structure, polyalkylene structure, polyalkyleneoxy structure, polyisoprene structure, polyisobutylene structure, and polycarbonate structure in the molecule. It is preferable that the resin has one or more structures selected from polybutadiene structures and polycarbonate structures from the viewpoint of obtaining flexible materials. In addition, "(meth)acrylate" refers to methacrylate and acrylate.

また、別の一実施形態において、(E)成分は、ガラス転移温度(Tg)が25℃以下の樹脂及び25℃以下で液状である樹脂から選択される1種以上であることが好ましい。ガラス転移温度(Tg)が25℃以下である樹脂のガラス転移温度は、好ましくは20℃以下、より好ましくは15℃以下である。ガラス転移温度の下限は特に限定されないが、通常-15℃以上とし得る。また、25℃で液状である樹脂としては、好ましくは20℃以下で液状である樹脂、より好ましくは15℃以下で液状である樹脂である。 In another embodiment, the component (E) is preferably one or more selected from resins having a glass transition temperature (Tg) of 25°C or lower and resins that are liquid at 25°C or lower. The glass transition temperature of the resin having a glass transition temperature (Tg) of 25° C. or lower is preferably 20° C. or lower, more preferably 15° C. or lower. Although the lower limit of the glass transition temperature is not particularly limited, it is usually −15° C. or higher. The resin that is liquid at 25°C is preferably a resin that is liquid at 20°C or lower, more preferably a resin that is liquid at 15°C or lower.

より好適な一実施形態として、(E)成分は、ガラス転移温度が25℃以下、及び25℃で液状である樹脂から選択される1種以上であり、且つ分子内にポリブタジエン構造、ポリシロキサン構造、ポリ(メタ)アクリレート構造、ポリアルキレン構造、ポリアルキレンオキシ構造、ポリイソプレン構造、ポリイソブチレン構造、及びポリカーボネート構造から選択される1種以上の構造を有する樹脂が好ましい。 In a more preferred embodiment, the component (E) is one or more selected from resins having a glass transition temperature of 25° C. or less and being liquid at 25° C., and having a polybutadiene structure and a polysiloxane structure in the molecule. , a poly(meth)acrylate structure, a polyalkylene structure, a polyalkyleneoxy structure, a polyisoprene structure, a polyisobutylene structure, and a polycarbonate structure.

ポリブタジエン構造は、ブタジエンを重合して形成される構造だけでなく、当該構造に水素添加して形成される構造も含む。また、ブタジエン構造は、その一部のみが水素添加されていてもよく、その全てが水素添加されていてもよい。さらに、ポリブタジエン構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。 The polybutadiene structure includes not only a structure formed by polymerizing butadiene but also a structure formed by hydrogenating the structure. Also, the butadiene structure may be partially hydrogenated or entirely hydrogenated. Furthermore, the polybutadiene structure may be contained in the main chain or the side chain in component (E).

ポリブタジエン樹脂の好ましい例としては、水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂、ヒドロキシ基含有ポリブタジエン樹脂、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン樹脂、カルボキシ基含有ポリブタジエン樹脂、酸無水物基含有ポリブタジエン樹脂、エポキシ基含有ポリブタジエン樹脂、イソシアネート基含有ポリブタジエン樹脂、ウレタン基含有ポリブタジエン樹脂等が挙げられる。中でも、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン樹脂が更に好ましい。ここで、「水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂」とは、ポリブタジエン骨格の少なくとも一部が水素化された樹脂をいい、必ずしもポリブタジエン骨格が完全に水素化された樹脂である必要はない。水素化ポリブタジエン骨格含有樹脂としては、例えば、水素化ポリブタジエン骨格含有エポキシ樹脂等が挙げられる。また、フェノール性水酸基含有ポリブタジエン樹脂としては、ポリブタジエン構造を有し、かつフェノール性水酸基を有する樹脂等が挙げられる。 Preferred examples of polybutadiene resins include hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resins, hydroxyl group-containing polybutadiene resins, phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene resins, carboxyl group-containing polybutadiene resins, acid anhydride group-containing polybutadiene resins, epoxy group-containing polybutadiene resins, and isocyanate group-containing polybutadiene resins. containing polybutadiene resin, urethane group-containing polybutadiene resin, and the like. Among them, a phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene resin is more preferable. Here, the "hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resin" refers to a resin in which at least a portion of the polybutadiene skeleton is hydrogenated, and does not necessarily have to be a resin in which the polybutadiene skeleton is completely hydrogenated. Examples of hydrogenated polybutadiene skeleton-containing resins include hydrogenated polybutadiene skeleton-containing epoxy resins. Examples of the phenolic hydroxyl group-containing polybutadiene resin include resins having a polybutadiene structure and having a phenolic hydroxyl group.

ポリブタジエン構造を分子内に有する樹脂であるポリブタジエン樹脂の具体例としては、クレイバレー社製の「Ricon 657」(エポキシ基含有ポリブタジエン)、「Ricon 130MA8」、「Ricon 130MA13」、「Ricon 130MA20」、「Ricon 131MA5」、「Ricon 131MA10」、「Ricon 131MA17」、「Ricon 131MA20」、「Ricon 184MA6」(酸無水物基含有ポリブタジエン)、「GQ-1000」(水酸基、カルボキシル基導入ポリブタジエン)、「G-1000」、「G-2000」、「G-3000」(両末端水酸基ポリブタジエン)、「GI-1000」、「GI-2000」、「GI-3000」(両末端水酸基水素化ポリブタジエン)、ダイセル社製の「PB3600」、「PB4700」(ポリブタジエン骨格エポキシ化合物)、「エポフレンドA1005」、「エポフレンドA1010」、「エポフレンドA1020」(スチレンとブタジエンとスチレンブロック共重合体のエポキシ化合物)、ナガセケムテックス社製の「FCA-061L」(水素化ポリブタジエン骨格エポキシ化合物)、「R-45EPT」(ポリブタジエン骨格エポキシ化合物)等が挙げられる。 Specific examples of polybutadiene resins, which are resins having a polybutadiene structure in the molecule, include “Ricon 657” (epoxy group-containing polybutadiene), “Ricon 130MA8”, “Ricon 130MA13”, “Ricon 130MA20”, “Ricon 130MA20” manufactured by Clay Valley. Ricon 131MA5", "Ricon 131MA10", "Ricon 131MA17", "Ricon 131MA20", "Ricon 184MA6" (acid anhydride group-containing polybutadiene), "GQ-1000" (hydroxyl group- and carboxyl group-introduced polybutadiene), "G-1000 ”, “G-2000”, “G-3000” (both hydroxyl-terminated polybutadiene), “GI-1000”, “GI-2000”, “GI-3000” (both hydroxyl-terminated hydrogenated polybutadiene), manufactured by Daicel "PB3600", "PB4700" (polybutadiene skeleton epoxy compound), "Epofriend A1005", "Epofriend A1010", "Epofriend A1020" (epoxy compound of styrene, butadiene and styrene block copolymer), Nagase ChemteX Co., Ltd. "FCA-061L" (hydrogenated polybutadiene skeleton epoxy compound), "R-45EPT" (polybutadiene skeleton epoxy compound), and the like manufactured by the company.

また、好ましいポリブタジエン樹脂の例としては、ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び多塩基酸またはその無水物を原料とする線状ポリイミド(特開2006-37083号公報、国際公開第2008/153208号に記載のポリイミド)も挙げられる。該ポリイミド樹脂のポリブタジエン構造の含有率は、好ましくは60質量%~95質量%、より好ましくは75質量%~85質量%である。該ポリイミド樹脂の詳細は、特開2006-37083号公報、国際公開第2008/153208号の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。 Examples of preferred polybutadiene resins include linear polyimides made from hydroxyl group-terminated polybutadiene, diisocyanate compounds and polybasic acids or their anhydrides (Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-37083, International Publication No. 2008/153208). polyimide). The polybutadiene structure content of the polyimide resin is preferably 60% to 95% by mass, more preferably 75% to 85% by mass. Details of the polyimide resin can be referred to in JP-A-2006-37083 and WO 2008/153208, the contents of which are incorporated herein.

ヒドロキシル基末端ポリブタジエンの数平均分子量は、好ましくは500~5,000、より好ましくは1,000~3,000である。ヒドロキシル基末端ポリブタジエンの水酸基当量は、好ましくは250~1,250である。 The number average molecular weight of the hydroxyl-terminated polybutadiene is preferably 500-5,000, more preferably 1,000-3,000. The hydroxyl group-terminated polybutadiene preferably has a hydroxyl group equivalent weight of 250 to 1,250.

ジイソシアネート化合物としては、例えば、トルエン-2,4-ジイソシアネート、トルエン-2,6-ジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート;ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート;イソホロンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネートが挙げられる。これらの中で芳香族ジイソシアネートが好ましく、トルエン-2,4-ジイソシアネートがより好ましい。 Examples of diisocyanate compounds include aromatic diisocyanates such as toluene-2,4-diisocyanate, toluene-2,6-diisocyanate, xylylene diisocyanate and diphenylmethane diisocyanate; aliphatic diisocyanates such as hexamethylene diisocyanate; and alicyclic compounds such as isophorone diisocyanate. diisocyanates of the formula: Among these, aromatic diisocyanates are preferred, and toluene-2,4-diisocyanate is more preferred.

多塩基酸またはその無水物としては、例えば、エチレングリコールビストリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ナフタレンテトラカルボン酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロフリル)-3-メチル-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸、3,3’-4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸等の四塩基酸およびこれらの無水物、トリメリット酸、シクロヘキサントリカルボン酸等の三塩基酸およびこれらの無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト(1,2-C)フラン-1,3-ジオン等が挙げられる。 Examples of polybasic acids or anhydrides thereof include ethylene glycol bis-trimellitic acid, pyromellitic acid, benzophenonetetracarboxylic acid, biphenyltetracarboxylic acid, naphthalenetetracarboxylic acid, 5-(2,5-dioxotetrahydrofuryl)- Tetrabasic acids such as 3-methyl-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid and 3,3′-4,4′-diphenylsulfonetetracarboxylic acid and their anhydrides, and tribasic acids such as trimellitic acid and cyclohexanetricarboxylic acid Acids and their anhydrides, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5-(tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl)-naphtho(1,2-C)furan-1,3 - dione and the like.

また、ポリブタジエン構造には、スチレンを重合して得られる構造を有するポリスチレン構造が含まれる。 Also, the polybutadiene structure includes a polystyrene structure having a structure obtained by polymerizing styrene.

ポリスチレン構造を分子内に有する樹脂であるポリスチレン樹脂の具体例としては、スチレン-ブタジエン-スチレンブロック共重合体(SBS)、スチレン-イソプレン-スチレンブロック共重合体(SIS)、スチレン-エチレン-ブチレン-スチレンブロック共重合体(SEBS)、スチレン-エチレン-プロピレン-スチレンブロック共重合体(SEPS)、スチレン-エチレン-エチレン-プロピレン-スチレンブロック共重合体(SEEPS)、スチレン-ブタジエン-ブチレン-スチレンブロック共重合体(SBBS)、スチレン-ブタジエンジブロックコポリマー、水添スチレン-ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン-イソプレンブロック共重合体、水添スチレン-ブタジエンランダム共重合体等が挙げられる。 Specific examples of polystyrene resins, which are resins having a polystyrene structure in the molecule, include styrene-butadiene-styrene block copolymer (SBS), styrene-isoprene-styrene block copolymer (SIS), styrene-ethylene-butylene- Styrene block copolymer (SEBS), styrene-ethylene-propylene-styrene block copolymer (SEPS), styrene-ethylene-ethylene-propylene-styrene block copolymer (SEEPS), styrene-butadiene-butylene-styrene block copolymer polymer (SBBS), styrene-butadiene diblock copolymer, hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, hydrogenated styrene-isoprene block copolymer, hydrogenated styrene-butadiene random copolymer and the like.

ポリスチレン樹脂は、市販品を用いてもよく、例えば、水添スチレン系熱可塑性エラストマー「H1041」、「タフテックH1043」、「タフテックP2000」、「タフテックMP10」(旭化成社製);エポキシ化スチレン-ブタジエン熱可塑性エラストマー「エポフレンドAT501」、「CT310」(ダイセル社製);ヒドロキシル基を有する変成スチレン系エラストマー「セプトンHG252」(クラレ社製);カルボキシル基を有する変性スチレン系エラストマー「タフテックN503M」、アミノ基を有する変性スチレン系エラストマー「タフテックN501」、酸無水物基を有する変性スチレン系エラストマー「タフテックM1913」(旭化成ケミカルズ社製);未変性スチレン系エラストマー「セプトンS8104」(クラレ社製)等を挙げることができる。(C)成分は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Commercially available polystyrene resins may be used, for example, hydrogenated styrene thermoplastic elastomer "H1041", "Tuftec H1043", "Tuftec P2000", "Tuftec MP10" (manufactured by Asahi Kasei Corporation); epoxidized styrene-butadiene Thermoplastic elastomers "Epofriend AT501" and "CT310" (manufactured by Daicel); Modified styrene elastomer having hydroxyl group "Septon HG252" (manufactured by Kuraray); Modified styrene elastomer having carboxyl group "Tuftec N503M", amino modified styrene elastomer "Tuftec N501" having an acid anhydride group; modified styrene elastomer "Tuftec M1913" (manufactured by Asahi Kasei Chemicals); unmodified styrene elastomer "Septon S8104" (manufactured by Kuraray Co., Ltd.); be able to. (C) component may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

ポリシロキサン構造は、シロキサン結合を含む構造であり、例えばシリコーンゴムに含まれる。ポリシロキサン構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。 A polysiloxane structure is a structure containing siloxane bonds, and is included in, for example, silicone rubber. The polysiloxane structure may be contained in the main chain or in the side chains of component (E).

ポリシロキサン構造を分子内に有する樹脂であるポリシロキサン樹脂の具体例としては、信越シリコーン社製の「SMP-2006」、「SMP-2003PGMEA」、「SMP-5005PGMEA」、アミン基末端ポリシロキサン、四塩基酸無水物を原料とする線状ポリイミド(国際公開第2010/053185号)等が挙げられる。 Specific examples of the polysiloxane resin, which is a resin having a polysiloxane structure in the molecule, include "SMP-2006", "SMP-2003PGMEA", and "SMP-5005PGMEA" manufactured by Shin-Etsu Silicone Co., Ltd., amine group-terminated polysiloxane, Linear polyimides made from basic acid anhydrides (International Publication No. 2010/053185) and the like can be mentioned.

ポリ(メタ)アクリレート構造は、アクリル酸又はアクリル酸エステルを重合して形成される構造であり、メタクリル酸又はメタクリル酸エステルを重合して形成される構造も含む。(メタ)アクリレート構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。 A poly(meth)acrylate structure is a structure formed by polymerizing acrylic acid or an acrylic acid ester, and includes a structure formed by polymerizing methacrylic acid or a methacrylic acid ester. The (meth)acrylate structure may be contained in the main chain or may be contained in the side chain in the component (E).

ポリ(メタ)アクリレート構造を分子内に有する樹脂であるポリ(メタ)アクリレート樹脂の好ましい例としては、ヒドロキシ基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂、フェノール性水酸基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂、カルボキシ基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂、酸無水物基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂、エポキシ基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂、イソシアネート基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂、ウレタン基含有ポリ(メタ)アクリレート樹脂等が挙げられる。 Preferable examples of poly(meth)acrylate resins, which are resins having a poly(meth)acrylate structure in the molecule, include hydroxyl group-containing poly(meth)acrylate resins, phenolic hydroxyl group-containing poly(meth)acrylate resins, and carboxyl group-containing poly(meth)acrylate resins. Poly(meth)acrylate resins, acid anhydride group-containing poly(meth)acrylate resins, epoxy group-containing poly(meth)acrylate resins, isocyanate group-containing poly(meth)acrylate resins, urethane group-containing poly(meth)acrylate resins, etc.) mentioned.

ポリ(メタ)アクリレート樹脂の具体例としては、ナガセケムテックス社製のテイサンレジン「SG-70L」、「SG-708-6」、「WS-023」、「SG-700AS」、「SG-280TEA」(カルボキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂、酸価5~34mgKOH/g、重量平均分子量40万~90万、Tg-30℃~5℃)、「SG-80H」、「SG-80H-3」、「SG-P3」(エポキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂、エポキシ当量4761~14285g/eq、重量平均分子量35万~85万、Tg11℃~12℃)、「SG-600TEA」、「SG-790」」(ヒドロキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂、水酸基価20~40mgKOH/g、重量平均分子量50万~120万、Tg-37℃~-32℃)、根上工業社製の「ME-2000」、「W-116.3」(カルボキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂)、「W-197C」(水酸基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂)、「KG-25」、「KG-3000」(エポキシ基含有アクリル酸エステル共重合体樹脂)等が挙げられる。 Specific examples of poly(meth)acrylate resins include Teisan Resin "SG-70L", "SG-708-6", "WS-023", "SG-700AS" and "SG-280TEA" manufactured by Nagase ChemteX Corporation. ”(Carboxy group-containing acrylic acid ester copolymer resin, acid value 5-34 mgKOH / g, weight average molecular weight 400,000-900,000, Tg-30 ° C.-5 ° C.), “SG-80H”, “SG-80H- 3”, “SG-P3” (epoxy group-containing acrylic acid ester copolymer resin, epoxy equivalent 4761-14285 g/eq, weight average molecular weight 350,000-850,000, Tg 11° C.-12° C.), “SG-600TEA”, "SG-790"" (hydroxy group-containing acrylic acid ester copolymer resin, hydroxyl value 20-40 mgKOH/g, weight average molecular weight 500,000-1,200,000, Tg -37°C to -32°C), manufactured by Negami Kogyo Co., Ltd. "ME-2000", "W-116.3" (carboxy group-containing acrylic ester copolymer resin), "W-197C" (hydroxyl group-containing acrylic ester copolymer resin), "KG-25", " KG-3000" (epoxy group-containing acrylic acid ester copolymer resin) and the like.

ポリアルキレン構造は、所定の炭素原子数を有することが好ましい。ポリアルキレン構造の具体的な炭素原子数は、好ましくは2以上、より好ましくは3以上、特に好ましくは5以上であり、好ましくは15以下、より好ましくは10以下、特に好ましくは6以下である。また、ポリアルキレン構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。 The polyalkylene structure preferably has a given number of carbon atoms. Specifically, the number of carbon atoms in the polyalkylene structure is preferably 2 or more, more preferably 3 or more, particularly preferably 5 or more, and preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and particularly preferably 6 or less. Moreover, the polyalkylene structure may be contained in the main chain or the side chain in the component (E).

ポリアルキレンオキシ構造は、所定の炭素原子数を有することが好ましい。ポリアルキレンオキシ構造の具体的な炭素原子数は、好ましくは2以上、好ましくは3以上、より好ましくは5以上であり、好ましくは15以下、より好ましくは10以下、特に好ましくは6以下である。ポリアルキレンオキシ構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。 The polyalkyleneoxy structure preferably has a given number of carbon atoms. Specifically, the number of carbon atoms in the polyalkyleneoxy structure is preferably 2 or more, preferably 3 or more, more preferably 5 or more, preferably 15 or less, more preferably 10 or less, and particularly preferably 6 or less. The polyalkyleneoxy structure in component (E) may be contained in the main chain or may be contained in the side chain.

ポリアルキレン構造を分子内に有する樹脂であるポリアルキレン樹脂及びポリアルキレンオキシ構造を分子内に有する樹脂であるポリアルキレンオキシ樹脂の具体例としては、旭化成せんい社製の「PTXG-1000」、「PTXG-1800」、三菱ケミカル社製の「YX-7180」(エーテル結合を有するアルキレン構造を含有する樹脂)、DIC Corporation社製の「EXA-4850-150」、「EXA-4816」、「EXA-4822」、ADEKA社製の「EP-4000」、「EP-4003」、「EP-4010」、「EP-4011」、新日本理化社製の「BEO-60E」、「BPO-20E」、三菱ケミカル社製の「YL7175」、「YL7410」等が挙げられる。 Specific examples of the polyalkylene resin that is a resin having a polyalkylene structure in the molecule and the polyalkyleneoxy resin that is a resin having a polyalkyleneoxy structure in the molecule include "PTXG-1000" and "PTXG" manufactured by Asahi Kasei Fibers Co., Ltd. -1800”, “YX-7180” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (resin containing an alkylene structure having an ether bond), “EXA-4850-150”, “EXA-4816”, “EXA-4822” manufactured by DIC Corporation ”, “EP-4000”, “EP-4003”, “EP-4010”, “EP-4011” manufactured by ADEKA, “BEO-60E” manufactured by New Japan Chemical Co., Ltd., “BPO-20E”, Mitsubishi Chemical "YL7175" and "YL7410" manufactured by the company.

ポリイソプレン構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。ポリイソプレン構造を分子内に有する樹脂であるポリイソプレン樹脂の具体例としては、クラレ社製の「KL-610」、「KL-613」等が挙げられる。 The polyisoprene structure in component (E) may be contained in the main chain or may be contained in the side chain. Specific examples of the polyisoprene resin, which is a resin having a polyisoprene structure in its molecule, include "KL-610" and "KL-613" manufactured by Kuraray Co., Ltd., and the like.

ポリイソブチレン構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。ポリイソブチレン構造を分子内に有する樹脂であるポリイソブチレン樹脂の具体例としては、カネカ社製の「SIBSTAR-073T」(スチレン-イソブチレン-スチレントリブロック共重合体)、「SIBSTAR-042D」(スチレン-イソブチレンジブロック共重合体)等が挙げられる。 The polyisobutylene structure may be contained in the main chain or in the side chain of component (E). Specific examples of polyisobutylene resins, which are resins having a polyisobutylene structure in the molecule, include Kaneka's "SIBSTAR-073T" (styrene-isobutylene-styrene triblock copolymer) and "SIBSTAR-042D" (styrene- isobutylene diblock copolymer) and the like.

ポリカーボネート構造は、(E)成分において、主鎖に含まれていてもよく、側鎖に含まれていてもよい。 The polycarbonate structure may be contained in the main chain or in the side chains of component (E).

ポリカーボネート構造を分子内に有する樹脂であるポリカーボネート樹脂の好ましい例としては、ヒドロキシ基含有ポリカーボネート樹脂、フェノール性水酸基含有ポリカーボネート樹脂、カルボキシ基含有ポリカーボネート樹脂、酸無水物基含有ポリカーボネート樹脂、エポキシ基含有ポリカーボネート樹脂、イソシアネート基含有ポリカーボネート樹脂、ウレタン基含有ポリカーボネート樹脂等が挙げられる。 Preferable examples of polycarbonate resins, which are resins having a polycarbonate structure in the molecule, include hydroxyl group-containing polycarbonate resins, phenolic hydroxyl group-containing polycarbonate resins, carboxy group-containing polycarbonate resins, acid anhydride group-containing polycarbonate resins, and epoxy group-containing polycarbonate resins. , isocyanate group-containing polycarbonate resins, urethane group-containing polycarbonate resins, and the like.

ポリカーボネート樹脂の具体例としては、旭化成ケミカルズ社製の「T6002」、「T6001」(ポリカーボネートジオール)、クラレ社製の「C-1090」、「C-2090」、「C-3090」(ポリカーボネートジオール)等が挙げられる。 Specific examples of polycarbonate resins include "T6002" and "T6001" (polycarbonate diols) manufactured by Asahi Kasei Chemicals, and "C-1090", "C-2090" and "C-3090" (polycarbonate diols) manufactured by Kuraray Co., Ltd. etc.

また、好ましいポリカーボネート樹脂の例としては、ヒドロキシル基末端ポリカーボネート、ジイソシアネート化合物及び多塩基酸またはその無水物を原料とする線状ポリイミドも挙げられる。該線状ポリイミドは、ウレタン構造およびポリカーボネート構造を有する。該ポリイミド樹脂のポリカーボネート構造の含有率は、好ましくは60質量%~95質量%、より好ましくは75質量%~85質量%である。該ポリイミド樹脂の詳細は、国際公開第2016/129541号の記載を参酌することができ、この内容は本明細書に組み込まれる。 Examples of preferred polycarbonate resins also include linear polyimides made from hydroxyl group-terminated polycarbonates, diisocyanate compounds and polybasic acids or their anhydrides. The linear polyimide has a urethane structure and a polycarbonate structure. The polycarbonate structure content of the polyimide resin is preferably 60% to 95% by mass, more preferably 75% to 85% by mass. Details of the polyimide resin can be referred to in International Publication No. 2016/129541, the content of which is incorporated herein.

ヒドロキシル基末端ポリカーボネートの数平均分子量は、好ましくは500~5,000、より好ましくは1,000~3,000である。ヒドロキシル基末端ポリカーボネートの水酸基当量は、好ましくは250~1,250である。 The number average molecular weight of the hydroxyl group-terminated polycarbonate is preferably 500-5,000, more preferably 1,000-3,000. The hydroxyl group-terminated polycarbonate preferably has a hydroxyl group equivalent weight of 250 to 1,250.

(E)成分は、さらにイミド構造を有することが好ましい。イミド構造を有することにより、(E)成分の耐熱性を高めクラック耐性を効果的に高めることができる。 (E) It is preferable that the component further has an imide structure. By having an imide structure, the heat resistance of the component (E) can be enhanced and the crack resistance can be effectively enhanced.

(E)成分は、直鎖状、分枝状、及び環状のいずれの構造であってもよいが、直鎖状であることが好ましい。 The (E) component may have any structure of linear, branched, or cyclic, but preferably linear.

(E)成分は、さらに(A)成分と反応できる官能基を有することが好ましい。この官能基には、加熱によって現れる反応基も含まれる。(E)成分が官能基を有することにより、樹脂組成物の硬化物の機械的強度を向上させることができる。 Component (E) preferably further has a functional group capable of reacting with component (A). The functional groups also include reactive groups that appear upon heating. (E) By having a functional group, the mechanical strength of the cured product of the resin composition can be improved.

官能基としては、カルボキシ基、ヒドロキシ基、酸無水物基、フェノール性水酸基、エポキシ基、イソシアネート基、およびウレタン基などが挙げられる。中でも、本発明の効果を顕著に得る観点から、官能基としては、ヒドロキシル基、酸無水物基、フェノール性水酸基、エポキシ基、イソシアネート基及びウレタン基から選択される1種以上の官能基を有することが好ましく、フェノール性水酸基が特に好ましい。 Functional groups include carboxy groups, hydroxy groups, acid anhydride groups, phenolic hydroxyl groups, epoxy groups, isocyanate groups, urethane groups, and the like. Among them, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention, the functional group has one or more functional groups selected from a hydroxyl group, an acid anhydride group, a phenolic hydroxyl group, an epoxy group, an isocyanate group and a urethane group. is preferred, and a phenolic hydroxyl group is particularly preferred.

(E)成分は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (E) component may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(E)成分は、柔軟性を発揮する観点から、高分子量であることが好ましい。(E)成分の具体的な数平均分子量Mnは、好ましくは4000以上、より好ましくは4500以上、更に好ましくは5000以上、特に好ましくは5500以上であり、好ましくは100000以下、より好ましくは95000以下、特に好ましくは90000以下である。(E)成分の数平均分子量Mnは、GPC(ゲル浸透クロマトグラフィー)を使用して測定されるポリスチレン換算の数平均分子量である。 The component (E) preferably has a high molecular weight from the viewpoint of exhibiting flexibility. Specific number average molecular weight Mn of component (E) is preferably 4000 or more, more preferably 4500 or more, still more preferably 5000 or more, particularly preferably 5500 or more, preferably 100000 or less, more preferably 95000 or less, Particularly preferably, it is 90,000 or less. (E) The number average molecular weight Mn of the component is a polystyrene equivalent number average molecular weight measured using GPC (gel permeation chromatography).

また、(E)成分の具体的な重量平均分子量は、柔軟性を得る観点から、好ましくは5500~100000であり、より好ましくは10000~90000であり、さらに好ましくは15000~80000である。(E)成分の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 Further, the specific weight average molecular weight of component (E) is preferably 5,500 to 100,000, more preferably 10,000 to 90,000, still more preferably 15,000 to 80,000, from the viewpoint of obtaining flexibility. The weight average molecular weight of the component (E) is the polystyrene-equivalent weight average molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC).

(E)成分が官能基を有する場合、(E)成分の官能基当量は、好ましくは100以上、より好ましくは200以上、更に好ましくは1000以上、特に好ましくは2500以上であり、好ましくは50000以下、より好ましくは30000以下、更に好ましくは10000以下、特に好ましくは5000以下である。官能基当量は、1グラム当量の官能基を含む樹脂のグラム数である。例えば、エポキシ基当量は、JIS K7236に従って測定することができる。また、例えば、水酸基当量はJIS K1557-1に従って測定した水酸基価でKOHの分子量を割ることで算出することができる。 When component (E) has a functional group, the functional group equivalent of component (E) is preferably 100 or more, more preferably 200 or more, still more preferably 1000 or more, particularly preferably 2500 or more, and preferably 50000 or less. , more preferably 30,000 or less, still more preferably 10,000 or less, and particularly preferably 5,000 or less. Functional group equivalent weight is the number of grams of resin containing one gram equivalent of functional group. For example, the epoxy group equivalent can be measured according to JIS K7236. Further, for example, the hydroxyl equivalent can be calculated by dividing the molecular weight of KOH by the hydroxyl value measured according to JIS K1557-1.

(E)エラストマーを含有する場合、(E)エラストマーの含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、柔軟性を得る観点から、好ましくは10質量%以上、より好ましくは15質量%以上、さらに好ましくは20質量%以上、特に好ましくは25質量%以上である。(E)エラストマーを多く含む場合、樹脂組成物の硬化物の弾性率を低下させることができるため、フレキシブル配線基板に適用可能な絶縁層が得られる。一般に硬化物の弾性率が低い場合、ハローイング現象が生じやすいことが見出されているが、本発明の樹脂組成物を用いれば、ハローイング現象を抑制できる。(E)エラストマーの含有量の上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは60質量%以下、より好ましくは55質量%以下、さらに好ましくは50質量%以下、特に好ましくは45質量%以下である。 (E) When the elastomer is contained, the content of (E) the elastomer is not particularly limited, but when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, from the viewpoint of obtaining flexibility, It is preferably 10% by mass or more, more preferably 15% by mass or more, still more preferably 20% by mass or more, and particularly preferably 25% by mass or more. (E) When a large amount of elastomer is contained, the elastic modulus of the cured resin composition can be lowered, so that an insulating layer that can be applied to a flexible wiring board can be obtained. Generally, when the modulus of elasticity of the cured product is low, it has been found that the haloing phenomenon tends to occur, but the resin composition of the present invention can suppress the haloing phenomenon. (E) The upper limit of the elastomer content is preferably 60% by mass or less, more preferably 55% by mass or less, even more preferably 50% by mass or less, and particularly preferably It is 45% by mass or less.

<(F)熱可塑性樹脂>
一実施形態において、本発明の樹脂組成物は、任意の成分として、さらに(F)熱可塑性樹脂を含有し得る。
<(F) Thermoplastic resin>
In one embodiment, the resin composition of the present invention may further contain (F) a thermoplastic resin as an optional component.

(F)熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられ、フェノキシ樹脂が好ましい。熱可塑性樹脂は、1種単独で用いてもよく、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。 (F) Thermoplastic resins include, for example, phenoxy resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyimide resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, polyphenylene ether resins, and polycarbonate resins. , polyetheretherketone resin, polyester resin, etc., and phenoxy resin is preferred. The thermoplastic resin may be used singly or in combination of two or more.

(F)熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、好ましくは38000以上、より好ましくは40000以上、さらに好ましくは42000以上である。上限は、好ましくは100000以下、より好ましくは70000以下、さらに好ましくは60000以下である。(F)熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法で測定される。具体的には、(F)熱可塑性樹脂のポリスチレン換算の重量平均分子量は、測定装置として島津製作所社製LC-9A/RID-6Aを、カラムとして昭和電工社製Shodex K-800P/K-804L/K-804Lを、移動相としてクロロホルム等を用いて、カラム温度を40℃にて測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて算出することができる。 (F) The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is preferably 38,000 or more, more preferably 40,000 or more, and even more preferably 42,000 or more. The upper limit is preferably 100,000 or less, more preferably 70,000 or less, even more preferably 60,000 or less. (F) The polystyrene equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin is measured by a gel permeation chromatography (GPC) method. Specifically, the polystyrene-equivalent weight average molecular weight of the thermoplastic resin (F) is measured by LC-9A/RID-6A manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, and Shodex K-800P/K-804L manufactured by Showa Denko Co., Ltd. as a column. /K-804L can be calculated by using chloroform or the like as a mobile phase, measuring the column temperature at 40° C., and using a standard polystyrene calibration curve.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。フェノキシ樹脂は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂)、「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂)、及び「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂)が挙げられ、その他にも、新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」、三菱ケミカル社製の「YL7500BH30」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」等が挙げられる。 Examples of phenoxy resins include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, and terpene. and a phenoxy resin having one or more skeletons selected from the group consisting of a trimethylcyclohexane skeleton. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group. A phenoxy resin may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. Specific examples of phenoxy resins include Mitsubishi Chemical's "1256" and "4250" (both phenoxy resins containing bisphenol A skeleton), "YX8100" (phenoxy resin containing bisphenol S skeleton), and "YX6954" (bisphenolacetophenone). skeleton-containing phenoxy resin), and in addition, "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; ”, “YL6794”, “YL7213”, “YL7290” and “YL7482”.

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、例えば、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000-2」、「電化ブチラール5000-A」、「電化ブチラール6000-C」、「電化ブチラール6000-EP」、積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX-5Z)、KSシリーズ(例えばKS-1)、BLシリーズ、BMシリーズ等が挙げられる。 Examples of polyvinyl acetal resins include polyvinyl formal resins and polyvinyl butyral resins, and polyvinyl butyral resins are preferred. Specific examples of polyvinyl acetal resins include Denka Butyral 4000-2, Denka Butyral 5000-A, Denka Butyral 6000-C, Denka Butyral 6000-EP, and Sekisui. S-lec BH series, BX series (for example, BX-5Z), KS series (for example, KS-1), BL series, BM series manufactured by Kagaku Kogyo Co., Ltd. may be mentioned.

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006-37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002-12667号公報及び特開2000-319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyimide resin include "Ricacoat SN20" and "Ricacoat PN20" manufactured by Shin Nippon Rika. Specific examples of polyimide resins also include linear polyimides obtained by reacting bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, diisocyanate compounds and tetrabasic acid anhydrides (polyimides described in JP-A-2006-37083), and polysiloxane skeletons. Examples include modified polyimides such as polyimide containing (polyimides described in JP-A-2002-12667 and JP-A-2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成工業社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of polyamide-imide resins include "VYLOMAX HR11NN" and "VYLOMAX HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of polyamideimide resins include modified polyamideimides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamideimides) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、三菱ガス化学社製のオリゴフェニレンエーテル・スチレン樹脂「OPE-2St 1200」等が挙げられる。 Specific examples of the polyethersulfone resin include "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and the like. Specific examples of the polyphenylene ether resin include oligophenylene ether/styrene resin "OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., and the like.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.

(F)熱可塑性樹脂を含有する場合、(F)熱可塑性樹脂の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは5質量%以上、より好ましくは10質量%以上、さらに好ましくは15質量%以上、特に好ましくは20質量%以上である。(F)熱可塑性樹脂を多く含む場合、樹脂組成物の硬化物の弾性率を低下させることができるため、フレキシブル配線基板に適用可能な絶縁層が得られる。一般に硬化物の弾性率が低い場合、ハローイング現象が生じやすいことが見出されているが、本発明の樹脂組成物を用いれば、ハローイング現象を抑制できる。(F)熱可塑性樹脂の含有量の上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは50質量%以下、より好ましくは40質量%以下、さらに好ましくは30質量%以下、特に好ましくは25質量%以下である。 (F) When containing a thermoplastic resin, the content of the (F) thermoplastic resin is not particularly limited, but when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the content of the present invention From the viewpoint of significantly obtaining the desired effect, the content is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more, still more preferably 15% by mass or more, and particularly preferably 20% by mass or more. (F) When the thermoplastic resin is contained in a large amount, the elastic modulus of the cured product of the resin composition can be lowered, so that an insulating layer applicable to a flexible wiring board can be obtained. Generally, when the modulus of elasticity of the cured product is low, it has been found that the haloing phenomenon tends to occur, but the resin composition of the present invention can suppress the haloing phenomenon. (F) The upper limit of the content of the thermoplastic resin is preferably 50% by mass or less, more preferably 40% by mass or less, still more preferably 30% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. Preferably, it is 25% by mass or less.

<(G)有機充填材>
本発明の樹脂組成物は、任意で(G)有機充填材を含む。
<(G) Organic filler>
The resin composition of the present invention optionally contains (G) an organic filler.

(G)有機充填材としては、電子部品を封止するに場合などに使用し得る任意の有機充填材を使用してよく、例えば、ゴム粒子、ポリアミド微粒子、シリコーン粒子などが挙げられ、ゴム粒子が好ましい。 (G) As the organic filler, any organic filler that can be used for sealing electronic parts may be used. Examples include rubber particles, polyamide fine particles, silicone particles, and the like. is preferred.

ゴム粒子としては、ゴム弾性を示す樹脂に化学的架橋処理を施し、有機溶剤に不溶かつ不融とした樹脂の微粒子体である限り特に限定されず、例えば、アクリロニトリルブタジエンゴム粒子、ブタジエンゴム粒子、アクリルゴム粒子などが挙げられる。ゴム粒子としては、具体的には、XER-91(日本合成ゴム社製)、スタフィロイドAC3355、AC3816、AC3816N、AC3832、AC4030、AC3364、IM101(以上、アイカ工業社製)、PARALOID EXL2655、EXL2602(以上、ダウケミカル社製)等が挙げられる。 The rubber particles are not particularly limited as long as they are fine particles of a resin that is made insoluble and infusible in an organic solvent by chemically cross-linking a resin exhibiting rubber elasticity. Examples include acrylonitrile-butadiene rubber particles, butadiene rubber particles, Examples include acrylic rubber particles. Specific examples of rubber particles include XER-91 (manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.), Staphyloid AC3355, AC3816, AC3816N, AC3832, AC4030, AC3364, IM101 (manufactured by Aica Kogyo Co., Ltd.), PARALOID EXL2655, EXL2602 ( (manufactured by Dow Chemical Co., Ltd.) and the like.

(G)有機充填材の平均粒径は、好ましくは0.005μm~1μmの範囲であり、より好ましくは0.1μm~0.6μmの範囲である。(G)有機充填材の平均粒径は、動的光散乱法を用いて測定することができる。例えば、適当な有機溶剤に有機充填材を超音波などにより均一に分散させ、濃厚系粒径アナライザー(大塚電子社製「FPAR-1000」)を用いて、有機充填材の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒子径とすることで測定することができる。 (G) The average particle size of the organic filler is preferably in the range of 0.005 μm to 1 μm, more preferably in the range of 0.1 μm to 0.6 μm. (G) The average particle size of the organic filler can be measured using a dynamic light scattering method. For example, the organic filler is uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves or the like, and the particle size distribution of the organic filler is measured on a mass basis using a concentrated particle size analyzer ("FPAR-1000" manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.). It can be measured by creating and using the median diameter as the average particle diameter.

(G)有機充填材を含有する場合、(G)有機充填材の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは20質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは5質量%以下、特に好ましくは3質量%以下である。 (G) When containing an organic filler, the content of the (G) organic filler is not particularly limited, but when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, From the viewpoint of significantly obtaining the desired effect, the content is preferably 20% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, even more preferably 5% by mass or less, and particularly preferably 3% by mass or less.

<(H)硬化促進剤>
本発明の樹脂組成物は、任意で(H)硬化促進剤を含む。
<(H) Curing accelerator>
The resin composition of the present invention optionally contains (H) a curing accelerator.

(H)硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられる。中でも、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (H) Curing accelerators include, for example, phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, and the like. Among them, phosphorus curing accelerators, amine curing accelerators, imidazole curing accelerators, and metallic curing accelerators are preferred, and amine curing accelerators, imidazole curing accelerators, and metallic curing accelerators are more preferred. The curing accelerator may be used singly or in combination of two or more.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n-ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Phosphorus curing accelerators include, for example, triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate. , tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferred.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられ、4-ジメチルアミノピリジン、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセンが好ましい。 Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine (DMAP), benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, 1, 8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene, etc., and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene are preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of imidazole curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecyl imidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-ethyl-4′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4- Diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanurate, 2-phenylimidazole isocyanurate, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2- Phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline , 2-phenylimidazoline and the like, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins, with 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole being preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 As the imidazole-based curing accelerator, a commercially available product may be used, such as "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンが好ましい。 Guanidine curing accelerators include, for example, dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, Pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0] Dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 -allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, 1-(o-tolyl)biguanide and the like, with dicyandiamide and 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene being preferred.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Metal-based curing accelerators include, for example, organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organocobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organocopper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. organic zinc complexes such as iron (III) acetylacetonate; organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate; organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate; Examples of organic metal salts include zinc octoate, tin octoate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

樹脂組成物が(H)硬化促進剤を含有する場合、(H)硬化促進剤の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の樹脂成分を100質量%とした場合、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.001質量%以上、より好ましくは0.01質量%以上、さらに好ましくは0.05質量%以上である。その上限は、好ましくは5質量%以下、より好ましくは1質量%以下、さらに好ましくは0.5質量%以下である。 When the resin composition contains (H) curing accelerator, the content of (H) curing accelerator is not particularly limited, but when the resin component in the resin composition is 100% by mass, From the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, the content is preferably 0.001% by mass or more, more preferably 0.01% by mass or more, and even more preferably 0.05% by mass or more. The upper limit is preferably 5% by mass or less, more preferably 1% by mass or less, and even more preferably 0.5% by mass or less.

(H)硬化促進剤を含有する場合、(H)硬化促進剤の含有量は、特に限定されるものではないが、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.0001質量%以上、より好ましくは0.001質量%以上、さらに好ましくは0.01質量%以上、特に好ましくは0.1質量%以上である。その上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは10質量%以下、より好ましくは5質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下、特に好ましくは1質量%以下である。 (H) When containing a curing accelerator, the content of (H) curing accelerator is not particularly limited, but when the nonvolatile component in the resin composition is 100% by mass, the present invention From the viewpoint of significantly obtaining the desired effect, the content is preferably 0.0001% by mass or more, more preferably 0.001% by mass or more, still more preferably 0.01% by mass or more, and particularly preferably 0.1% by mass or more. . The upper limit is preferably 10% by mass or less, more preferably 5% by mass or less, even more preferably 3% by mass or less, and particularly preferably 1% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

<(I)有機溶剤>
本発明の樹脂組成物は、任意の成分として、さらに(I)有機溶剤を含有し得る。
<(I) Organic solvent>
The resin composition of the present invention may further contain (I) an organic solvent as an optional component.

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン及びシクロヘキサノン等のケトン系溶剤;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、カルビトールアセテート、エチルジグリコールアセテート等のエステル系溶剤;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール溶剤;ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン、トリメチルベンゼン等の芳香族炭化水素系溶剤;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は、1種単独で用いてもよく、2種以上を任意の比率で組み合わせて用いてもよい。 Examples of organic solvents include ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone and cyclohexanone; ester solvents such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, carbitol acetate and ethyl diglycol acetate; cellosolve and butyl Carbitol solvents such as carbitol; aromatic hydrocarbon solvents such as benzene, toluene, xylene, ethylbenzene and trimethylbenzene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. can. The organic solvent may be used singly or in combination of two or more at any ratio.

<(J)その他の添加剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更にその他の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、重合開始剤、難燃剤などが挙げられる。これらの添加剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。それぞれの含有量は当業者であれば適宜設定できる。
<(J) Other additives>
The resin composition may further contain other additives as optional components in addition to the components described above. Examples of such additives include thickeners, antifoaming agents, leveling agents, adhesion imparting agents, polymerization initiators, flame retardants and the like. These additives may be used singly or in combination of two or more. Each content can be appropriately set by those skilled in the art.

<樹脂組成物の製造方法>
本発明の樹脂組成物は、例えば、配合成分を、回転ミキサーなどの撹拌装置を用いて撹拌し、均一に分散させることにより製造できる。
<Method for producing resin composition>
The resin composition of the present invention can be produced, for example, by uniformly dispersing the ingredients by stirring them with a stirring device such as a rotary mixer.

<樹脂組成物の特性>
一般に低弾性材料はハローイング現象が生じやすいことが見出されているが、本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含み、さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤及び(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤の含有量が50質量%以下であり、かつ(D)成分を含まない場合、(D’)成分の含有量が4質量%以下であるため、その硬化物の弾性率が低い場合であっても、ハローイング現象を抑制できる。
<Characteristics of resin composition>
Although it has been found that low-elasticity materials are generally susceptible to haloing, the resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound, and The content of (D) an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent and (D') an inorganic filler not surface-treated with a silane coupling agent is 50% by mass or less, and component (D) is When it is not contained, the content of the component (D') is 4% by mass or less, so the haloing phenomenon can be suppressed even when the elastic modulus of the cured product is low.

したがって、本発明の樹脂組成物は、その硬化物の引張弾性率が低い場合にとりわけ有用である。例えば、本発明の樹脂組成物を180℃で1時間熱硬化させて得られる硬化物のJIS K7127に準拠して測定される23℃における引張弾性率は、好ましくは、10GPa以下であり、より好ましくは、5GPa以下であり、さらに好ましくは、2GPa以下であり、特に好ましくは、1GPa以下である。 Therefore, the resin composition of the present invention is particularly useful when its cured product has a low tensile modulus. For example, the tensile modulus at 23° C. measured according to JIS K7127 of the cured product obtained by thermally curing the resin composition of the present invention at 180° C. for 1 hour is preferably 10 GPa or less, more preferably. is 5 GPa or less, more preferably 2 GPa or less, and particularly preferably 1 GPa or less.

以下、ハローイング現象の抑制効果について、図面を参照して説明する。 The effect of suppressing the haloing phenomenon will be described below with reference to the drawings.

図2は、本発明の樹脂組成物をシート状に硬化させて得た絶縁層100を、内層基板200と共に模式的に示す断面図である。この図2は、ビアホール110のボトム120の中心120Cを通り且つ絶縁層100の厚み方向に平行な平面で、絶縁層100を切断した断面を示す。 FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing an insulating layer 100 obtained by curing the resin composition of the present invention into a sheet, together with an inner layer substrate 200. As shown in FIG. 2 shows a cross section of the insulating layer 100 taken along a plane passing through the center 120C of the bottom 120 of the via hole 110 and parallel to the thickness direction of the insulating layer 100. FIG.

図2に示すように、絶縁層100は、導体層210を含む内層基板200上に形成された樹脂組成物を硬化させて得られた層であって、前記樹脂組成物の硬化物からなる。また、絶縁層100には、ビアホール110が形成されている。ビアホール110は、一般に、導体層210とは反対側の絶縁層100の面100Uに近いほど径が大きく、導体層210に近いほど径が小さい順テーパ状に形成され、理想的には、絶縁層100の厚み方向において一定の径を有する柱状に形成される。このビアホール110は、通常、導体層210とは反対側の絶縁層100の面100Uにレーザー光を照射して、絶縁層100の一部を除去することで、形成される。 As shown in FIG. 2, the insulating layer 100 is a layer obtained by curing a resin composition formed on an inner layer substrate 200 including a conductor layer 210, and is made of a cured product of the resin composition. A via hole 110 is formed in the insulating layer 100 . Via hole 110 generally has a larger diameter closer to surface 100U of insulating layer 100 opposite conductor layer 210 and a smaller diameter closer to conductor layer 210. Ideally, via hole 110 is formed in a forward tapered shape. It is formed in a columnar shape having a constant diameter in the thickness direction of 100 . The via hole 110 is usually formed by irradiating the surface 100U of the insulating layer 100 opposite to the conductor layer 210 with a laser beam to partially remove the insulating layer 100 .

前記のビアホール110の導体層210側のボトムを、適宜「ビアボトム」と呼び、符号120で示す。そして、このビアボトム120の径を、ボトム径Lと呼ぶ。また、ビアホール110の導体層210とは反対側に形成された開口を、適宜「ビアトップ」と呼び、符号130で示す。そして、このビアトップ130の径を、トップ径Lと呼ぶ。通常、ビアボトム120及びビアトップ130は、絶縁層100の厚み方向から見た平面形状が円形状に形成されるが、楕円形状であってもよい。ビアボトム120及びビアトップ130の平面形状が楕円形状である場合、そのボトム径L及びトップ径Lは、それぞれ、前記の楕円形状の長径を表す。 The bottom of the via hole 110 on the side of the conductor layer 210 is appropriately called a “via bottom” and denoted by reference numeral 120 . The diameter of the via bottom 120 is called a bottom diameter Lb. An opening formed on the side of the via hole 110 opposite to the conductor layer 210 is appropriately called a “via top” and denoted by reference numeral 130 . The diameter of the via top 130 is called a top diameter Lt. Generally, the via bottom 120 and the via top 130 are circular when viewed in the thickness direction of the insulating layer 100, but they may be oval. When the planar shapes of the via bottom 120 and the via top 130 are elliptical, the bottom diameter Lb and the top diameter Lt respectively represent the longer diameters of the elliptical shapes.

図3は、本発明の樹脂組成物をシート状に硬化させて得た絶縁層100の、導体層210(図3では図示せず。)とは反対側の面100Uを模式的に示す平面図である。 FIG. 3 is a plan view schematically showing a surface 100U of the insulating layer 100 obtained by curing the resin composition of the present invention into a sheet, opposite to the conductor layer 210 (not shown in FIG. 3). is.

図3に示すように、ビアホール110を形成された絶縁層100を見ると、このビアホール110の周囲に、ビアトップ130のエッジ180から、変色部140の外周側の縁部190まで絶縁層100が変色した変色部140が観察されることがある。この変色部140は、ビアホール110の形成時における樹脂劣化によって形成されうるもので、通常、ビアホール110から連続して形成される。また、多くの場合、変色部140は、白化部分となっている。 As shown in FIG. 3 , looking at the insulating layer 100 with the via hole 110 formed therein, the insulating layer 100 extends from the edge 180 of the via top 130 to the edge 190 on the outer peripheral side of the discolored portion 140 around the via hole 110 . A discolored portion 140 may be observed. This discolored portion 140 may be formed by deterioration of the resin during formation of the via hole 110 , and is normally formed continuously from the via hole 110 . Moreover, in many cases, the discolored portion 140 is a whitened portion.

図4は、本発明の樹脂組成物をシート状に硬化させて得た、粗化処理後の絶縁層100を、内層基板200と共に模式的に示す断面図である。この図4においては、ビアホール110のビアボトム120の中心120Cを通り且つ絶縁層100の厚み方向に平行な平面で、絶縁層100を切断した断面を示す。 FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the insulating layer 100 after roughening treatment, which is obtained by curing the resin composition of the present invention into a sheet, together with the inner layer substrate 200 . 4 shows a cross section of insulating layer 100 cut along a plane passing through center 120C of via bottom 120 of via hole 110 and parallel to the thickness direction of insulating layer 100. FIG.

図4に示すように、ビアホール110が形成された絶縁層100に粗化処理を施すと、ハローイング現象が生じて、変色部140の絶縁層100が導体層210から剥離し、ビアボトム120のエッジ150から連続した間隙部160が形成されることがある。 As shown in FIG. 4, when the insulating layer 100 having the via hole 110 formed therein is roughened, a haloing phenomenon occurs, the insulating layer 100 at the discolored portion 140 is separated from the conductive layer 210, and the edge of the via bottom 120 is peeled off. A gap 160 continuous from 150 may be formed.

本発明の樹脂組成物を用いることにより、前記のハローイング現象を抑制できる。そのため、導体層210からの絶縁層100の剥離を抑制することができるので、間隙部160のサイズを小さくできる。 By using the resin composition of the present invention, the haloing phenomenon can be suppressed. Therefore, the separation of the insulating layer 100 from the conductor layer 210 can be suppressed, so that the size of the gap 160 can be reduced.

ビアボトム120のエッジ150は、間隙部160の内周側の縁部に相当する。よって、ビアボトム120のエッジ150から、間隙部160の外周側の端部(即ち、ビアボトム120の中心120Cから遠い側の端部)170までの距離Wbは、間隙部160の面内方向のサイズに相当する。ここで、面内方向とは、絶縁層100の厚み方向に垂直な方向をいう。また、以下の説明において、前記の距離Wbを、ビアホール110のビアボトム120のエッジ150からのハローイング距離Wbということがある。このビアボトム120のエッジ150からのハローイング距離Wbにより、ハローイング現象の抑制の程度を評価できる。具体的には、ビアボトム120のエッジ150からのハローイング距離Wbが小さいほど、ハローイング現象を効果的に抑制できたと評価できる。 The edge 150 of the via bottom 120 corresponds to the inner edge of the gap 160 . Therefore, the distance Wb from the edge 150 of the via bottom 120 to the edge 170 on the outer peripheral side of the gap 160 (that is, the edge on the far side from the center 120C of the via bottom 120) is the size of the gap 160 in the in-plane direction. Equivalent to. Here, the in-plane direction means a direction perpendicular to the thickness direction of the insulating layer 100 . Further, in the following description, the distance Wb may be referred to as a haloing distance Wb of the via hole 110 from the edge 150 of the via bottom 120 . The degree of suppression of the haloing phenomenon can be evaluated by the haloing distance Wb from the edge 150 of the via bottom 120 . Specifically, it can be evaluated that the smaller the haloing distance Wb from the edge 150 of the via bottom 120 is, the more effectively the haloing phenomenon can be suppressed.

例えば、銅箔上に形成された、樹脂組成物を含む樹脂組成物層を100℃で30分間加熱し、次いで180℃で30分間加熱して硬化させて得た絶縁層100に、COレーザー光を照射して、トップ径Lが約50μmのビアホール110を形成する。その後、膨潤液に60℃で5分間浸漬し、次いで、酸化剤溶液に80℃で15分間浸漬し、次いで、中和液に40℃で5分間浸漬した後、80℃で15分間乾燥する。本発明の樹脂組成物を用いれば、このようにして得られた絶縁層100のビアホール110のビアボトム120のエッジ150からのハローイング距離Wbを、好ましくは10μm以下、より好ましくは8μm以下、更に好ましくは6μm以下、特に好ましくは4μm以下にできる。 For example, a resin composition layer containing a resin composition formed on a copper foil is heated at 100° C. for 30 minutes and then cured by heating at 180° C. for 30 minutes. Light is applied to form a via hole 110 having a top diameter Lt of about 50 μm. After that, it is immersed in a swelling liquid at 60° C. for 5 minutes, then in an oxidizing agent solution at 80° C. for 15 minutes, then in a neutralizing liquid at 40° C. for 5 minutes, and then dried at 80° C. for 15 minutes. When the resin composition of the present invention is used, the haloing distance Wb from the edge 150 of the via bottom 120 of the via hole 110 of the insulating layer 100 thus obtained is preferably 10 μm or less, more preferably 8 μm or less, and even more preferably 8 μm or less. can be 6 μm or less, particularly preferably 4 μm or less.

ビアボトム120のエッジ150からのハローイング距離Wbは、FIB(集束イオンビーム)を用いて、絶縁層100を、当該絶縁層100の厚み方向に平行で且つビアボトム120の中心120Cを通る断面が現れるように削り出した後、その断面を電子顕微鏡で観察することにより、測定できる。 The haloing distance Wb from the edge 150 of the via bottom 120 is measured by using an FIB (focused ion beam) to cut the insulating layer 100 so that a cross section parallel to the thickness direction of the insulating layer 100 and passing through the center 120C of the via bottom 120 appears. It can be measured by observing the cross section with an electron microscope after shaving it out.

また、本発明の樹脂組成物を用いることにより、リフロー耐性評価を行った場合でも、メッキ導体層にふくれ等の異常がほとんど見られない。リフロー耐性評価は、例えば以下のように行うことができる。PETフィルム上に形成された、樹脂組成物を含む樹脂組成物層を180℃で30分間加熱して硬化させて絶縁層を形成する。その後、膨潤液に60℃で5分間浸漬し、次いで、粗化液に80℃で15分間浸漬し、次いで、中和液に40℃で5分間浸漬した後、80℃で15分間乾燥する。その後PdClを含む無電解メッキ用溶液に浸漬し、次に無電解銅メッキ液に浸漬する。その後、150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、30±5μmの厚さで導体層を形成し、アニール処理を180℃にて60分間行う。その後、100mm×50mmの小片に切断し、ピーク温度260℃の半田リフロー温度を再現するリフロー装置(日本アントム社製「HAS-6116」)に5回通す(リフロー温度プロファイルはIPC/JEDEC J-STD-020Cに準拠)。その際目視観察しても導体層にふくれ等の異常がほとんど見られない。例えば、5つの小片中、異常があるものが好ましくは2つ以下であり、より好ましくは1つ以下であり、特に好ましくは0である。 Moreover, by using the resin composition of the present invention, even when the reflow resistance is evaluated, almost no abnormality such as blistering is observed in the plated conductor layer. Reflow resistance evaluation can be performed, for example, as follows. A resin composition layer containing a resin composition formed on a PET film is cured by heating at 180° C. for 30 minutes to form an insulating layer. Thereafter, it is immersed in a swelling liquid at 60°C for 5 minutes, then in a roughening liquid at 80°C for 15 minutes, then in a neutralizing liquid at 40°C for 5 minutes, and then dried at 80°C for 15 minutes. It is then immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 and then in an electroless copper plating solution. Then, after annealing by heating at 150° C. for 30 minutes, an etching resist is formed, and after pattern formation by etching, copper sulfate electroplating is performed to form a conductor layer with a thickness of 30±5 μm. , Annealing treatment is performed at 180° C. for 60 minutes. After that, it is cut into small pieces of 100 mm × 50 mm and passed through a reflow device (“HAS-6116” manufactured by Nippon Antom Co., Ltd.) that reproduces a solder reflow temperature with a peak temperature of 260 ° C. (reflow temperature profile is IPC / JEDEC J-STD) 5 times. -020C). At that time, even when visually observed, almost no abnormalities such as blisters are observed in the conductor layer. For example, out of 5 small pieces, preferably 2 or less, more preferably 1 or less, and particularly preferably 0, are abnormal.

<樹脂組成物の用途>
本発明の樹脂組成物は、ハローイング現象を抑制できる硬化物をもたらすことができる。したがって、本発明の樹脂組成物は、絶縁用途の樹脂組成物として好適に使用することができる。具体的には、絶縁層上に形成される導体層(再配線層を含む)を形成するための当該絶縁層を形成するための樹脂組成物(導体層を形成するための絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができ、粗化処理後に導体層を形成するための絶縁層形成用としてより好適に使用することができる。また、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層用樹脂組成物)として好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層用樹脂組成物)としてより好適に使用することができる。また、本発明の樹脂組成物は、低弾性な絶縁層をもたらすことから、フレキシブル配線板の絶縁層形成用にも好適に使用することができる。
<Application of resin composition>
The resin composition of the present invention can provide a cured product that can suppress the haloing phenomenon. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for insulation. Specifically, a resin composition for forming an insulating layer for forming a conductor layer (including a rewiring layer) formed on an insulating layer (resin for forming an insulating layer for forming a conductor layer composition), and can be used more preferably for forming an insulating layer for forming a conductor layer after roughening treatment. In addition, it can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for an insulating layer of a printed wiring board), and a resin for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board It can be used more preferably as a composition (a resin composition for an interlayer insulation layer of a printed wiring board). Moreover, since the resin composition of the present invention provides an insulating layer with low elasticity, it can be suitably used for forming an insulating layer of a flexible wiring board.

また、例えば、以下の(1)~(6)工程を経て半導体チップパッケージが製造される場合、本発明の樹脂組成物は、再配線層を形成するための絶縁層としての再配線形成層用の樹脂組成物(再配線形成層形成用の樹脂組成物)、及び半導体チップを封止するための樹脂組成物(半導体チップ封止用の樹脂組成物)としても好適に使用することができる。半導体チップパッケージが製造される際、封止層上に更に再配線層を形成してもよい。
(1)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(2)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(3)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(4)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(5)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程、及び
(6)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程
Further, for example, when a semiconductor chip package is manufactured through the following steps (1) to (6), the resin composition of the present invention is used as an insulating layer for forming a rewiring layer. (a resin composition for forming a rewiring layer) and a resin composition for sealing a semiconductor chip (a resin composition for semiconductor chip sealing). A rewiring layer may be further formed on the encapsulation layer when the semiconductor chip package is manufactured.
(1) a step of laminating a temporary fixing film on a substrate;
(2) temporarily fixing the semiconductor chip on the temporary fixing film;
(3) forming a sealing layer on the semiconductor chip;
(4) a step of peeling the base material and the temporary fixing film from the semiconductor chip;
(5) forming a rewiring layer as an insulating layer on the surface of the semiconductor chip from which the substrate and the temporary fixing film have been removed; and (6) forming a rewiring layer as a conductor layer on the rewiring layer. forming process

<樹脂シート>
本発明の樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層を含む。
<Resin sheet>
The resin sheet of the present invention includes a support and a resin composition layer formed of the resin composition of the present invention provided on the support.

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化、及び薄膜であっても絶縁性に優れた硬化物を提供できるという観点から、好ましくは15μm以下、より好ましくは13μm以下、さらに好ましくは10μm以下、又は8μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、1μm以上、1.5μm以上、2μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 15 μm or less, more preferably 13 μm or less, and even more preferably 13 μm or less, from the viewpoint of thinning the printed wiring board and providing a cured product having excellent insulation even if it is a thin film. It is 10 μm or less, or 8 μm or less. Although the lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, it can be usually 1 μm or more, 1.5 μm or more, or 2 μm or more.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"). ), polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylic such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketones, polyimides, and the like. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and other metals (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. The release agent used in the release layer of the release layer-attached support includes, for example, one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . As the support with a release layer, a commercially available product may be used, for example, "SK-1" manufactured by Lintec Co., Ltd., "SK-1", " AL-5", "AL-7", Toray's "Lumirror T60", Teijin's "Purex", and Unitika's "Unipeel".

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When a release layer-attached support is used, the thickness of the release layer-attached support as a whole is preferably within the above range.

一実施形態において、樹脂シートは、さらに必要に応じて、その他の層を含んでいてもよい。斯かるその他の層としては、例えば、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the resin sheet may further contain other layers as necessary. Such other layers include, for example, a protective film conforming to the support provided on the surface of the resin composition layer not bonded to the support (that is, the surface opposite to the support). be done. Although the thickness of the protective film is not particularly limited, it is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, the surface of the resin composition layer can be prevented from being dusted or scratched.

樹脂シートは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the resin sheet, for example, a resin varnish is prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent, the resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and dried to form a resin composition layer. It can be manufactured by

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; cellosolve and butyl carbitol; carbitols; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be carried out by a known method such as heating or blowing hot air. The drying conditions are not particularly limited, but the resin composition layer is dried so that the content of the organic solvent is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, drying at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes The resin composition layer can be formed.

樹脂シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。樹脂シートが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 The resin sheet can be wound into a roll and stored. When the resin sheet has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

本発明の樹脂シートは、薄くても、薄膜絶縁性及び高温高湿環境下での環境試験後、導体層との間の密着性を維持できる絶縁層(樹脂組成物層の硬化物)をもたらす。したがって本発明の樹脂シートは、プリント配線板の絶縁層を形成するための(プリント配線板の絶縁層形成用の)樹脂シートとして好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂シート(プリント配線板の層間絶縁層用樹脂シート)としてより好適に使用することができる。また、例えば、第1の導体層と、第2の導体層と、第1の導体層及び第2の導体層との間に形成された絶縁層と、を含むプリント配線板において、本発明の樹脂シートにより絶縁層を形成することで、第1及び第2の導体層との間隔(第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚み)を6μm以下(好ましくは5.5μm以下、より好ましくは5μm以下)としつつ薄膜絶縁性に優れたものとすることができる。 The resin sheet of the present invention provides an insulating layer (cured product of a resin composition layer) that can maintain thin-film insulation properties and adhesion to a conductor layer after an environmental test in a high-temperature and high-humidity environment, even if it is thin. . Therefore, the resin sheet of the present invention can be suitably used as a resin sheet for forming an insulating layer of a printed wiring board (for forming an insulating layer of a printed wiring board), and forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board. It can be more suitably used as a resin sheet (resin sheet for an interlayer insulation layer of a printed wiring board) for the purpose. Further, for example, in a printed wiring board including a first conductor layer, a second conductor layer, and an insulating layer formed between the first conductor layer and the second conductor layer, the By forming the insulating layer with a resin sheet, the distance between the first and second conductor layers (the thickness of the insulating layer between the first and second conductor layers) is 6 μm or less (preferably 5.5 μm or less, more preferably 5.5 μm or less). is 5 μm or less), and excellent thin film insulation can be obtained.

<プリント配線板>
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層、第1の導体層、及び第2の導体層を含む。絶縁層は、第1の導体層と第2の導体層との間に設けられていて、第1の導体層と第2の導体層とを絶縁している(導体層は配線層ということがある)。
<Printed wiring board>
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer, a first conductor layer, and a second conductor layer formed from the cured resin composition of the present invention. The insulating layer is provided between the first conductor layer and the second conductor layer, and insulates the first conductor layer from the second conductor layer (the conductor layer is sometimes called a wiring layer). be).

絶縁層は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成されることから、薄膜絶縁性に優れる。このため、第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚みは、好ましくは6μm以下、より好ましくは5.5μm以下、さらに好ましくは5μm以下である。下限については特に限定されないが0.1μm以上等とし得る。第1導体層と第2の導体層との間隔(第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚み)とは、図1に一例を示したように、第1の導体層1の主面11と第2の導体層2の主面21間の絶縁層3の厚みt1のことをいう。第1及び第2の導体層は絶縁層を介して隣り合う導体層であり、主面11及び主面21は互いに向き合っている。 Since the insulating layer is formed from the cured product of the resin composition of the present invention, it has excellent thin film insulating properties. Therefore, the thickness of the insulating layer between the first and second conductor layers is preferably 6 μm or less, more preferably 5.5 μm or less, even more preferably 5 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it may be 0.1 μm or more. The distance between the first conductor layer and the second conductor layer (the thickness of the insulating layer between the first and second conductor layers) is, as shown in FIG. 11 and the thickness t1 of the insulating layer 3 between the main surface 21 of the second conductor layer 2 . The first and second conductor layers are conductor layers adjacent to each other with an insulating layer interposed therebetween, and the main surfaces 11 and 21 face each other.

なお、絶縁層全体の厚みt2は、好ましくは15μm以下、より好ましくは13μm以下、さらに好ましくは10μm以下である。下限については特に限定されないが、通常、1μm以上、1.5μm以上、2μm以上等とし得る。 The thickness t2 of the entire insulating layer is preferably 15 μm or less, more preferably 13 μm or less, and even more preferably 10 μm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it can be usually 1 μm or more, 1.5 μm or more, 2 μm or more, or the like.

プリント配線板は、上述の樹脂シートを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、樹脂シートの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
A printed wiring board can be manufactured using the resin sheet described above by a method including the following steps (I) and (II).
(I) Step of laminating the resin composition layer of the resin sheet on the inner layer substrate such that the resin composition layer is bonded to the inner layer substrate (II) Step of thermally curing the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)で用いる「内層基板」とは、プリント配線板の基板となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用し得る。 The "inner layer substrate" used in step (I) is a member that serves as a printed wiring board substrate, and includes, for example, a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. etc. The substrate may also have a conductor layer on one or both sides thereof, and the conductor layer may be patterned. An inner layer substrate having conductor layers (circuits) formed on one side or both sides of the substrate is sometimes referred to as an "inner layer circuit board." Further, an intermediate product on which an insulating layer and/or a conductor layer are to be further formed when manufacturing a printed wiring board is also included in the "inner layer substrate" as used in the present invention. When the printed wiring board is a circuit board with built-in components, an inner layer board with built-in components can be used.

内層基板と樹脂シートの積層は、例えば、支持体側から樹脂シートを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。樹脂シートを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を樹脂シートに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet can be performed, for example, by thermocompression bonding the resin sheet to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for thermocompression bonding the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as "thermocompression bonding member") include heated metal plates (such as SUS end plates) and metal rolls (SUS rolls). Instead of pressing the thermocompression member directly onto the resin sheet, it is preferable to press through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the resin sheet can sufficiently follow the uneven surface of the inner layer substrate.

内層基板と樹脂シートの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 Lamination of the inner layer substrate and the resin sheet may be performed by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the thermocompression temperature is preferably in the range of 60° C. to 160° C., more preferably 80° C. to 140° C., and the thermocompression pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. .29 MPa to 1.47 MPa, and the heat pressing time is preferably 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be done with a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, a batch vacuum pressurized laminator, and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated resin sheets may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment may be the same as the thermocompression bonding conditions for the lamination described above. Smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. Lamination and smoothing may be performed continuously using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and (II) or after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。 In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer.

樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are commonly used for forming insulating layers of printed wiring boards may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~200℃である。硬化時間は好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~90分間とすることができる。 For example, although the thermosetting conditions for the resin composition layer vary depending on the type of resin composition, etc., the curing temperature is preferably 120° C. to 240° C., more preferably 150° C. to 220° C., and still more preferably 170° C. to 200° C. °C. The curing time can be preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 10 minutes to 100 minutes, even more preferably 15 minutes to 90 minutes.

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上115℃以下、より好ましくは70℃以上110℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間)予備加熱してもよい。 Before thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is cured at a temperature of 50° C. or higher and less than 120° C. (preferably 60° C. or higher and 115° C. or lower, more preferably 70° C. or higher and 110° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes, still more preferably 15 minutes to 100 minutes).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至工程(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(II)~工程(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層配線板を形成してもよい。この場合、それぞれの導体層間の絶縁層の厚み(図1のt1)は上記範囲内であることが好ましい。 When manufacturing a printed wiring board, (III) the step of drilling holes in the insulating layer, (IV) the step of roughening the insulating layer, and (V) the step of forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art that are used in the manufacture of printed wiring boards. When the support is removed after step (II), the support may be removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or step ( It may be carried out between IV) and step (V). If necessary, the steps (II) to (V) of forming the insulating layer and the conductor layer may be repeated to form a multilayer wiring board. In this case, the thickness of the insulating layer between the conductor layers (t1 in FIG. 1) is preferably within the above range.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of making holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。粗化処理に用いる膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。粗化処理に用いる酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に5分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are commonly used in forming insulating layers of printed wiring boards can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralizing treatment with a neutralizing liquid in this order. The swelling liquid used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include alkaline solutions, surfactant solutions, etc., preferably alkaline solutions, more preferably sodium hydroxide solutions and potassium hydroxide solutions. preferable. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigans P" and "Swelling Dip Securigans SBU" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited, but can be performed, for example, by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 30.degree. C. to 90.degree. C. for 1 to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40° C. to 80° C. for 5 minutes to 15 minutes. The oxidizing agent used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60° C. to 80° C. for 10 to 30 minutes. Further, the permanganate concentration in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Security P" manufactured by Atotech Japan. Moreover, as a neutralization liquid used for the roughening treatment, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, for example, "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. can be mentioned. The treatment with the neutralizing solution can be carried out by immersing the treated surface roughened with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30° C. to 80° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability, etc., a method of immersing an object roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40° C. to 70° C. for 5 to 20 minutes is preferable.

一実施形態において、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは0.5nm以上、より好ましくは1nm以上等とし得る。また、粗化処理後の絶縁層表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは0.5nm以上、より好ましくは1nm以上等とし得る。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)及び二乗平均平方根粗さ(Rq)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。 In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the insulating layer surface after roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more. The root mean square roughness (Rq) of the surface of the insulating layer after roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more. The arithmetic mean roughness (Ra) and root mean square roughness (Rq) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact surface roughness meter.

工程(V)は、導体層を形成する工程である。内層基板に導体層が形成されていない場合、工程(V)は第1の導体層を形成する工程であり、内層基板に導体層が形成されている場合、該導体層が第1の導体層であり、工程(V)は第2の導体層を形成する工程である。 Step (V) is a step of forming a conductor layer. When no conductor layer is formed on the inner layer substrate, the step (V) is a step of forming a first conductor layer, and when a conductor layer is formed on the inner layer substrate, the conductor layer becomes the first conductor layer. and step (V) is a step of forming a second conductor layer.

導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer may be, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, a nickel-chromium alloy, a copper- nickel alloys and copper-titanium alloys). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, nickel-chromium alloys, copper- Nickel alloys and copper/titanium alloy alloy layers are preferred, and single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel/chromium alloy alloy layers are more preferred, and copper single metal layers are preferred. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single layer structure or a multi-layer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different kinds of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm, depending on the desired printed wiring board design.

一実施形態において、導体層は、めっきにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にめっきして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができ、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductive layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of an insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method. It is preferably formed by a method. An example of forming a conductor layer by a semi-additive method is shown below.

まず、絶縁層の表面に、無電解めっきによりめっきシード層を形成する。次いで、形成されためっきシード層上に、所望の配線パターンに対応してめっきシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出しためっきシード層上に、電解めっきにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なめっきシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a portion of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern. After forming a metal layer on the exposed plating seed layer by electroplating, the mask pattern is removed. After that, the unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed.

本発明の樹脂シートは、部品埋め込み性にも良好な絶縁層をもたらすことから、プリント配線板が部品内蔵回路板である場合にも好適に使用することができる。部品内蔵回路板は公知の製造方法により作製することができる。 Since the resin sheet of the present invention provides an insulating layer having good component embedding properties, it can be suitably used even when the printed wiring board is a component-embedded circuit board. A circuit board with a built-in component can be manufactured by a known manufacturing method.

本発明の樹脂シートを用いて製造されるプリント配線板は、樹脂シートの樹脂組成物層の硬化物である絶縁層と、絶縁層に埋め込まれた埋め込み型配線層と、を備える態様であってもよい。 A printed wiring board manufactured using the resin sheet of the present invention is provided with an insulating layer that is a cured product of the resin composition layer of the resin sheet, and an embedded wiring layer embedded in the insulating layer. good too.

<半導体装置>
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
<Semiconductor device>
A semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical appliances (eg, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.) and vehicles (eg, motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. A "conducting part" is a "part where an electric signal is transmitted on a printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded part. Also, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The method of mounting a semiconductor chip when manufacturing a semiconductor device is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. (BBUL) mounting method, anisotropic conductive film (ACF) mounting method, non-conductive film (NCF) mounting method, and the like. Here, the ``mounting method using a build-up layer without bumps'' is a ``mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a concave portion of a printed wiring board and the semiconductor chip is connected to wiring on the printed wiring board.''

以下、本発明を実施例により具体的に説明する。本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、以下において、量を表す「部」及び「%」は、別途明示のない限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. The invention is not limited to these examples. In the following, "parts" and "%" representing amounts mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified.

<合成例1:エラストマーの合成>
反応容器に、2官能性ヒドロキシ基末端ポリブタジエン(日本曹達社製「G-3000」、数平均分子量=3000、ヒドロキシ基当量=1800g/eq.)69gと、芳香族炭化水素系混合溶剤(出光石油化学社製「イプゾール150」)40gと、ジブチル錫ラウレート0.005gとを入れ、混合して均一に溶解させた。均一になったところで60℃に昇温し、更に撹拌しながらイソホロンジイソシアネート(エボニックデグサジャパン社製「IPDI」、イソシアネート基当量=113g/eq.)8gを添加し、約3時間反応を行った。
<Synthesis Example 1: Synthesis of Elastomer>
In a reaction vessel, 69 g of bifunctional hydroxy group-terminated polybutadiene ("G-3000" manufactured by Nippon Soda Co., Ltd., number average molecular weight = 3000, hydroxy group equivalent = 1800 g / eq.), and an aromatic hydrocarbon-based mixed solvent (Idemitsu Oil 40 g of "Ipsol 150" manufactured by Kagaku Co., Ltd.) and 0.005 g of dibutyltin laurate were added and mixed to dissolve uniformly. When the mixture became uniform, the temperature was raised to 60° C., and 8 g of isophorone diisocyanate (“IPDI” manufactured by Evonik Degussa Japan, isocyanate group equivalent=113 g/eq.) was added while stirring, and the reaction was carried out for about 3 hours.

次いで反応物に、クレゾールノボラック樹脂(DIC社製「KA-1160」、水酸基当量=117g/eq.)23gと、エチルジグリコールアセテート(ダイセル社製)60gとを添加し、攪拌しながら150℃まで昇温し、約10時間反応を行った。FT-IRによって2250cm-1のNCOピークの消失の確認を行った。NCOピークの消失の確認をもって反応の終点とみなし、反応物を室温まで降温した。そして、反応物を100メッシュの濾布で濾過して、ブタジエン構造及びフェノール性水酸基を有するエラストマー(フェノール性水酸基含有ブタジエン樹脂:不揮発成分50質量%)を得た。エラストマーの数平均分子量は5900、ガラス転移点温度は-7℃であった。 Next, 23 g of a cresol novolac resin ("KA-1160" manufactured by DIC, hydroxyl equivalent=117 g/eq.) and 60 g of ethyl diglycol acetate (manufactured by Daicel) were added to the reactant and heated to 150° C. while stirring. The temperature was raised and the reaction was carried out for about 10 hours. The disappearance of the NCO peak at 2250 cm −1 was confirmed by FT-IR. Confirmation of the disappearance of the NCO peak was regarded as the end of the reaction, and the reaction mixture was allowed to cool to room temperature. Then, the reaction product was filtered through a 100-mesh filter cloth to obtain an elastomer having a butadiene structure and phenolic hydroxyl groups (phenolic hydroxyl group-containing butadiene resin: 50% by mass of non-volatile components). The elastomer had a number average molecular weight of 5900 and a glass transition temperature of -7°C.

<実施例1>
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約269)10部、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX7760」、エポキシ当量約235)10部、ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828EL」、エポキシ当量約180)5部、合成例1で得たエラストマー40部、活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC-8000-65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)5部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)製「LA-3018-50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2-メトキシプロパノール溶液)5部、ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部、硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分5質量%のMEK溶液)4部、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積4~7m/g、(株)アドマテックス製「SO-C2」)30部、メチルエチルケトン25部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。
<Example 1>
Biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L", epoxy equivalent about 269) 10 parts, bisphenol AF type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YX7760", epoxy equivalent about 235) 10 parts, bisphenol A type epoxy resin (“828EL” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 180) 5 parts, 40 parts of the elastomer obtained in Synthesis Example 1, active ester compound (“HPC-8000-65T” manufactured by DIC Corporation, active Group equivalent of about 223, non-volatile component of 65 mass% toluene solution) 5 parts, triazine skeleton-containing phenolic curing agent (DIC Corporation "LA-3018-50P", hydroxyl equivalent of about 151, solid content of 50% 2- Methoxypropanol solution) 5 parts, phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) 10 parts, curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), solid content 5 mass% MEK solution) 4 parts, spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 4 to 7 m 2 /g, Co., Ltd.) surface-treated with an aminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) 30 parts of "SO-C2" manufactured by Admatechs) and 25 parts of methyl ethyl ketone were mixed and uniformly dispersed in a high-speed rotating mixer to prepare a resin varnish.

<実施例2>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積4~7m/g、(株)アドマテックス製「SO-C2」)30部を、メタクリルシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM503」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.08μm、比表面積30.7m/g、デンカ(株)製「UFP-30」)30部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 2>
Spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 4 to 7 m 2 /g, Admatechs Co., Ltd. “SO- C2”) was added to 30 parts of spherical silica (average particle diameter 0.08 μm, specific surface area 30.7 m 2 /g, Denka A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that 30 parts of "UFP-30" manufactured by Co., Ltd. was used.

<実施例3>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部を2部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 3>
A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that 10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) was changed to 2 parts.

<実施例4>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部を、ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)5部とホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPH-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)5部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 4>
10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution), 5 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) and phosphazene A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that the compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPH-100" solid content 50% cyclohexanone solution) was changed to 5 parts.

<実施例5>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部を、ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)5部とフォスファゼンでないリン系難燃剤(三光(株)製「HCA-HQ」、10-(2,5-ジヒドロキシフェニル)-10-ヒドロ-9-オキサ-10-フォスファフェナンスレン-10-オキサイド)2.5部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 5>
10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution), 5 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) and phosphazene Phosphorus-based flame retardant (“HCA-HQ” manufactured by Sanko Co., Ltd., 10-(2,5-dihydroxyphenyl)-10-hydro-9-oxa-10-phosphaphenanthrene-10-oxide)2. A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that the amount was changed to 5 parts.

<実施例6>
合成例1で得たエラストマー40部を、フェノキシ樹脂(三菱化学(株)製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)65部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 6>
Example 1 except that 40 parts of the elastomer obtained in Synthesis Example 1 was changed to 65 parts of a phenoxy resin ("YL7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, a 1:1 solution of MEK and cyclohexanone having a solid content of 30% by mass). A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as above.

<実施例7>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積4~7m/g、(株)アドマテックス製「SO-C2」)30部を使用しなかった以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 7>
Spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 4 to 7 m 2 /g, Admatechs Co., Ltd. “SO- A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1, except that 30 parts of C2") was not used.

<実施例8>
ゴム粒子(ダウ・ケミカル日本(株)製、PARALOID EXL2655)2部を追加で使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 8>
A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1, except that 2 parts of rubber particles (PARALOID EXL2655, manufactured by Dow Chemical Japan Co., Ltd.) were additionally used.

<実施例9>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積4~7m/g、(株)アドマテックス製「SO-C2」)30部を、アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形アルミナ(平均粒径1.5μm、比表面積1.0m/g、デンカ(株)製「DAW-01」)30部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 9>
Spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 4 to 7 m 2 /g, Admatechs Co., Ltd. “SO- C2") was added to 30 parts of spherical alumina (average particle diameter 1.5 μm, specific surface area 1.0 m 2 /g, Denka ( A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1, except that 30 parts of "DAW-01" (manufactured by Co., Ltd.) was used.

<実施例10>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部を1部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 10>
A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that 10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) was changed to 1 part.

<実施例11>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部を30部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 11>
A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that 10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) was changed to 30 parts.

<実施例12>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部をホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPH-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 12>
10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) was changed to 10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd. "SPH-100" solid content 50% cyclohexanone solution). A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1 except for the above.

<実施例13>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「828EL」、エポキシ当量約180)5部をナフタレン型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP4032SS」、エポキシ当量約144)4部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 13>
Except for changing 5 parts of bisphenol A type epoxy resin ("828EL" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 180) to 4 parts of naphthalene type epoxy resin ("HP4032SS" manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent of about 144) , a resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1.

<実施例14>
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約269)10部をキシレン型エポキシ樹脂(三菱化学(株)製「YX7700」、エポキシ当量270)10部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 14>
Biphenyl type epoxy resin (Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC3000L", epoxy equivalent about 269) 10 parts xylene type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YX7700", epoxy equivalent 270) Except for changing 10 parts , a resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1.

<実施例15>
ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製「NC3000L」、エポキシ当量約269)10部をナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC(株)製「HP-6000」、エポキシ当量250)10部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 15>
Change 10 parts of biphenyl type epoxy resin ("NC3000L" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent of about 269) to 10 parts of naphthylene ether type epoxy resin ("HP-6000" manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent of 250) A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that

<実施例16>
活性エステル化合物(DIC(株)製「HPC-8000-65T」、活性基当量約223、不揮発成分65質量%のトルエン溶液)5部、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC(株)製「LA-3018-50P」、水酸基当量約151、固形分50%の2-メトキシプロパノール溶液)5部をフェノールノボラック樹脂(DIC(株)製「TD-2090-60M」、水酸基当量約105、不揮発成分60質量%のメチルエチルケトン溶液)4部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 16>
5 parts of an active ester compound ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC Corporation, an active group equivalent of about 223, a toluene solution of 65% by mass of non-volatile components), a triazine skeleton-containing phenolic curing agent (manufactured by DIC Corporation "LA -3018-50P", hydroxyl equivalent of about 151, 2-methoxypropanol solution with a solid content of 50%) 5 parts of phenol novolac resin (manufactured by DIC Corporation "TD-2090-60M", hydroxyl equivalent of about 105, non-volatile component 60 A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that the content was changed to 4 parts of a methyl ethyl ketone solution (% by mass).

<実施例17>
硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)、固形分5質量%のMEK溶液)4部を硬化促進剤(四国化成工業株式会社製、「2-フェニル-4-メチルイミダゾール(2P4MZ)、固形分5質量%のMEK溶液)」4部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 17>
Curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), MEK solution with a solid content of 5% by mass) 4 parts of curing accelerator (manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd., "2-phenyl-4-methylimidazole (2P4MZ), solid A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that the content was changed to 4 parts.

<実施例18>
合成例1で得たエラストマー40部を30部に変更し、水添スチレンブタジエン樹脂(旭化成(株)製「H1041」)5部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Example 18>
Resin varnish and adhesive were prepared in the same manner as in Example 1, except that 40 parts of the elastomer obtained in Synthesis Example 1 was changed to 30 parts and 5 parts of hydrogenated styrene-butadiene resin ("H1041" manufactured by Asahi Kasei Co., Ltd.) was used. A film was produced.

<比較例1>
アミノシラン系カップリング剤(信越化学工業(株)製「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積4~7m/g、(株)アドマテックス製「SO-C2」)30部を、シランカップリング剤で表面処理されていない球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積4~7m/g、(株)アドマテックス製「SO-C2」)30部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 1>
Spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 4 to 7 m 2 /g, Admatechs Co., Ltd. “SO- C2") 30 parts of spherical silica not surface-treated with a silane coupling agent (average particle size 0.5 μm, specific surface area 4 to 7 m 2 /g, Admatechs Co., Ltd. “SO-C2”) 30 parts A resin varnish and an adhesive film were produced in the same manner as in Example 1, except that the

<比較例2>
ホスファゼン化合物(大塚化学社製、「SPS-100」の固形分50%シクロヘキサノン溶液)10部を使用しなかった以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、接着フィルムを作製した。
<Comparative Example 2>
A resin varnish and an adhesive film were prepared in the same manner as in Example 1, except that 10 parts of a phosphazene compound (manufactured by Otsuka Chemical Co., Ltd., "SPS-100" solid content 50% cyclohexanone solution) was not used.

<試験例1:引張弾性率の測定>
(1)評価用硬化物の作製
離型剤処理されたPETフィルム(リンテック社製「501010」、厚み38μm、240mm角)の離型剤未処理面に、ガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(パナソニック社製「R5715ES」、厚み0.7mm、255mm角)を重ね四辺をポリイミド接着テープ(幅10mm)で固定した(以下、「固定PETフィルム」ということがある。)。
<Test Example 1: Measurement of tensile modulus>
(1) Preparation of cured product for evaluation On the release agent-untreated surface of a release agent-treated PET film (“501010” manufactured by Lintec Co., Ltd., thickness 38 μm, 240 mm square), glass cloth base epoxy resin double-sided copper-clad lamination A plate (“R5715ES” manufactured by Panasonic Corporation, thickness 0.7 mm, 255 mm square) was overlapped and its four sides were fixed with a polyimide adhesive tape (width 10 mm) (hereinafter sometimes referred to as “fixed PET film”).

実施例及び比較例で作製した樹脂ワニスを上記「固定PETフィルム」の離型処理面上に乾燥後の樹脂組成物層の厚さが40μmとなるようにダイコーターにて塗布し、80℃~120℃(平均100℃)で10分間乾燥し樹脂シートを得た。 The resin varnishes prepared in Examples and Comparative Examples were applied on the release-treated surface of the "fixed PET film" with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm, and the temperature was set at 80 ° C. It was dried at 120°C (100°C on average) for 10 minutes to obtain a resin sheet.

次いで、180℃のオーブンに投入後90分間の硬化条件で樹脂組成物層を熱硬化させた。 Then, the resin composition layer was heat-cured under curing conditions for 90 minutes after being placed in an oven at 180°C.

熱硬化後、ポリイミド接着テープを剥がし、硬化物をガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板から取り外し、更にPETフィルム(リンテック社製「501010」)も剥離して、シート状の硬化物を得た。得られた硬化物を「評価用硬化物」と称する。 After thermal curing, the polyimide adhesive tape was peeled off, the cured product was removed from the glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate, and the PET film ("501010" manufactured by Lintec Co., Ltd.) was also peeled off to obtain a sheet-like cured product. rice field. The resulting cured product is referred to as "evaluation cured product".

(2)引張弾性率の測定
評価用硬化物をダンベル状1号形に切り出し、試験片を得た。該試験片を、オリエンテック社製引張試験機「RTC-1250A」を用いて引張強度測定を行い、23℃における引張弾性率を求めた。測定は、JIS K7127に準拠して実施した。この操作を3回行った。3回の平均値を下記表に示す。
(2) Measurement of tensile modulus The cured product for evaluation was cut into dumbbell-shaped No. 1 specimens to obtain test pieces. The tensile strength of the test piece was measured using a tensile tester "RTC-1250A" manufactured by Orientec Co., Ltd. to obtain the tensile modulus at 23°C. The measurement was carried out according to JIS K7127. This operation was performed 3 times. The average value of 3 times is shown in the following table.

<試験例2:リフロー耐性の評価>
(1)樹脂シートのラミネート
実施例及び比較例で作製した樹脂ワニスを、アルキド樹脂系離型剤(リンテック社製「AL-5」)で離型処理したPETフィルム(東レ社製「ルミラーR80」、厚み38μm、軟化点130℃、以下「離型PET」ということがある。)上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが30μmとなるようにダイコーターにて塗布し、80℃~120℃(平均100℃)で10分間乾燥し樹脂シートを得た。この樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター(名機社製、MVLP-500)を用いて、積層板の両面に樹脂組成物層が接するようにラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaでプレスすることにより行った。
<Test Example 2: Evaluation of reflow resistance>
(1) Lamination of resin sheets The resin varnishes prepared in Examples and Comparative Examples were released using a PET film ("Lumirror R80" manufactured by Toray Industries, Inc.) with an alkyd resin release agent ("AL-5" manufactured by Lintec). , Thickness 38 μm, softening point 130° C., hereinafter sometimes referred to as “release PET”). It was dried at 120°C (100°C on average) for 10 minutes to obtain a resin sheet. This resin sheet was laminated using a batch-type vacuum pressure laminator (MVLP-500, manufactured by Meiki Co., Ltd.) so that the resin composition layers were in contact with both sides of the laminate. Lamination was performed by reducing the pressure for 30 seconds to an air pressure of 13 hPa or less, and then pressing for 30 seconds at 100° C. and a pressure of 0.74 MPa.

(2)樹脂組成物層の硬化
ラミネートされた樹脂シートから離型PETを剥離し、180℃、30分の硬化条件で樹脂組成物層を硬化し絶縁層を形成した。これを基板Aという。
(2) Curing of Resin Composition Layer The release PET was peeled off from the laminated resin sheet, and the resin composition layer was cured under curing conditions of 180° C. for 30 minutes to form an insulating layer. This is called substrate A.

(3)粗化処理
作製した基板Aの絶縁層表面を、膨潤液である、アトテックジャパン社製のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスエリングディップ・セキュリガンドPに60℃で5分間浸漬し、次に粗化液として、アトテックジャパン社製のコンセントレート・コンパクトP(KMnO4 :60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で15分間浸漬させ、最後に中和液として、アトテックジャパン社製のリダクションショリューシン・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。この基板を評価用基板Bとした。
(3) Roughening Treatment The surface of the insulating layer of the prepared substrate A is immersed in a swelling liquid, Swelling Dip Securigand P containing diethylene glycol monobutyl ether manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., at 60° C. for 5 minutes, and then roughened. As a liquid, it is immersed in Concentrate Compact P (KMnO4: 60 g / L, NaOH: 40 g / L aqueous solution) manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. for 15 minutes at 80 ° C. Finally, as a neutralization liquid, Reduction manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. It was immersed in Shoryusin Securigant P at 40° C. for 5 minutes. This substrate was used as substrate B for evaluation.

(4)セミアディティブ工法によるメッキ
絶縁層表面に回路を形成するために、評価用基板Bを、PdClを含む無電解メッキ用溶液に浸漬し、次に無電解銅メッキ液に浸漬した。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、30±5μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を180℃にて60分間行った。この回路基板を評価用基板Cとした。
(4) Plating by semi-additive method In order to form a circuit on the insulating layer surface, the substrate for evaluation B was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 and then in an electroless copper plating solution. After annealing by heating at 150° C. for 30 minutes, an etching resist was formed, and after pattern formation by etching, copper sulfate electroplating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30±5 μm. Annealing was then performed at 180° C. for 60 minutes. This circuit board was used as a board C for evaluation.

(5)リフロー工程でのふくれ評価
評価用基板Cを100mm×50mmの小片に切断し、ピーク温度260℃の半田リフロー温度を再現するリフロー装置(日本アントム社製「HAS-6116」)に5回通した(リフロー温度プロファイルはIPC/JEDEC J-STD-020Cに準拠)。
(5) Blistering evaluation in the reflow process Cut the evaluation substrate C into small pieces of 100 mm × 50 mm, and repeat the solder reflow temperature with a peak temperature of 260°C. (Reflow temperature profile conforms to IPC/JEDEC J-STD-020C).

評価は5つの小片で行い、目視観察により3つ以上の小片において導体層にふくれ等異常があるものを「×」と判定し、1~2つの小片でメッキ導体層にふくれ等異常があるものを「△」と判定し、全ての小片で全く異常のないもの「○」と判定した。結果を下記表に示す。 Evaluation was performed on 5 small pieces, and three or more small pieces with abnormalities such as swelling in the conductor layer were judged to be "x", and 1 to 2 small pieces with abnormalities such as swelling in the plated conductor layer was judged as "Δ", and those with no abnormality at all were judged as "◯". The results are shown in the table below.

<試験例3:ハローイングの評価>
(1)樹脂シートの用意
実施例及び比較例で作製した樹脂ワニスを離型PET上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚さが30μmとなるようにダイコーターにて塗布し、80℃~120℃(平均100℃)で10分間乾燥し樹脂シートをそれぞれ得た。
<Test Example 3: Evaluation of haloing>
(1) Preparation of resin sheet The resin varnishes prepared in Examples and Comparative Examples are applied on release PET with a die coater so that the thickness of the resin composition layer after drying is 30 μm, and the temperature is from 80 ° C. Each resin sheet was obtained by drying at 120° C. (average 100° C.) for 10 minutes.

(2)内層基板の用意
内層基板として、両面に銅箔層を有するガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック(株)製「R1515A」)の両面をメック(株)製「CZ8101」にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行った。
(2) Preparation of inner layer substrate As an inner layer substrate, a glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate having copper foil layers on both sides (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.4 mm, manufactured by Panasonic Corporation) “R1515A”) was etched by 1 μm with “CZ8101” manufactured by MEC Co., Ltd. to roughen the copper surface.

(3)樹脂シートのラミネート
樹脂シートから保護フィルムを剥がして、樹脂組成物層を露出させた。バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製、2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が内層基板と接するように、内層基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下に調整した後、130℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着させることにより実施した。次いで、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間熱プレスを行った。
(3) Lamination of resin sheet The protective film was peeled off from the resin sheet to expose the resin composition layer. Both surfaces of the inner layer substrate were laminated so that the resin composition layer was in contact with the inner layer substrate using a batch-type vacuum pressure laminator (manufactured by Nikko Materials Co., Ltd., 2-stage build-up laminator "CVP700"). Lamination was carried out by pressure bonding for 30 seconds at 130° C. and pressure of 0.74 MPa after reducing the pressure for 30 seconds to adjust the air pressure to 13 hPa or less. Then, hot pressing was performed at 100° C. and a pressure of 0.5 MPa for 60 seconds.

(4)樹脂組成物層の熱硬化
その後、樹脂シートがラミネートされた内層基板を、100℃のオーブンに投入して30分間加熱した。次いで180℃のオーブンに移し替えて30分間加熱して、樹脂組成物層を熱硬化させて、絶縁層を形成した。その後、支持体を剥離して、絶縁層、内層基板及び絶縁層をこの順に有する硬化基板Aを得た。
(4) Thermal Curing of Resin Composition Layer After that, the inner layer substrate laminated with the resin sheet was placed in an oven at 100° C. and heated for 30 minutes. Then, it was transferred to an oven at 180° C. and heated for 30 minutes to thermally cure the resin composition layer to form an insulating layer. After that, the support was peeled off to obtain a cured substrate A having an insulating layer, an inner layer substrate and an insulating layer in this order.

(5)レーザービア加工
COレーザー加工機(三菱電機社製「605GTWIII(-P)」)を使用して、絶縁層にレーザー光を照射して、絶縁層に、トップ径(直径)が約50μmの複数個のビアホールを形成した。レーザー光の照射条件は、マスク径1.6mm、パルス幅27μs、エネルギー1.34W/ショット、ショット数2、バーストモードであった。こうして絶縁層にビアホールを形成された硬化基板Aを、ビア加工基板Aと呼ぶ。
(5) Laser via processing Using a CO 2 laser processing machine (“605GTWIII (-P)” manufactured by Mitsubishi Electric), the insulating layer is irradiated with a laser beam, and the top diameter (diameter) of the insulating layer is about A plurality of via holes of 50 μm were formed. The irradiation conditions of the laser light were mask diameter 1.6 mm, pulse width 27 μs, energy 1.34 W/shot, number of shots 2, and burst mode. The cured substrate A in which via holes are formed in the insulating layer in this way is called a via-processed substrate A. As shown in FIG.

(6)粗化処理
ビア加工基板Aに、粗化処理としてのデスミア処理を行った。デスミア処理としては、下記の湿式デスミア処理を実施した。
(6) Roughening Treatment The via-processed substrate A was subjected to a desmearing treatment as a roughening treatment. As the desmear treatment, the following wet desmear treatment was performed.

(湿式デスミア処理)
ビア加工基板Aの絶縁層表面を、膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップ・セキュリガントP」、ジエチレングリコールモノブチルエーテル及び水酸化ナトリウムの水溶液)に60℃で5分間浸漬し、次いで、酸化剤溶液(アトテックジャパン社製「コンセントレート・コンパクトCP」、過マンガン酸カリウム濃度約6%、水酸化ナトリウム濃度約4%の水溶液)に80℃で10分間浸漬し、次いで、中和液(アトテックジャパン社製「リダクションソリューション・セキュリガントP」、硫酸水溶液)に40℃で5分間浸漬した後、80℃で15分間乾燥した。この湿式デスミア処理を施されたビア加工基板Aを、粗化基板Aという。
(Wet desmear treatment)
The surface of the insulating layer of the via-processed substrate A is immersed in a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan, an aqueous solution of diethylene glycol monobutyl ether and sodium hydroxide) at 60° C. for 5 minutes, followed by an oxidizing agent. Immersed in a solution ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan, an aqueous solution with a potassium permanganate concentration of about 6% and a sodium hydroxide concentration of about 4%) at 80 ° C. for 10 minutes, and then a neutralizing solution (Atotech Japan "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Co., Ltd., sulfuric acid aqueous solution) at 40° C. for 5 minutes, and then dried at 80° C. for 15 minutes. The via-processed substrate A subjected to this wet desmearing process is called a roughened substrate A. As shown in FIG.

(7)粗化処理後のビアホールの寸法、及びハローイング距離の測定
粗化基板Aについて、FIB-SEM複合装置(SIIナノテクノロジー社製「SMI3050SE」)を用いて、断面観察を行った。詳細には、FIB(集束イオンビーム)を用いて、絶縁層を、当該絶縁層の厚み方向に平行で且つビアホールのビアボトムの中心を通る断面が現れるように削り出した。この断面をSEMによって観察した。観察された画像には、ビアボトムのエッジから連続して、絶縁層が内層基板の銅箔層から剥離して形成された間隙部が見られた。そこで、ビアボトムのエッジから、間隙部の外周側の端部までの距離を、ハローイング距離として測定した。
(7) Measurement of Dimensions of Via Holes and Haloing Distance after Roughening Treatment The cross-section of the roughened substrate A was observed using an FIB-SEM composite device ("SMI3050SE" manufactured by SII Nanotechnology). Specifically, an FIB (focused ion beam) was used to shave the insulating layer so that a cross section parallel to the thickness direction of the insulating layer and passing through the center of the via bottom of the via hole appeared. This cross section was observed by SEM. In the observed image, a gap formed by peeling the insulating layer from the copper foil layer of the inner layer substrate continuously from the edge of the via bottom was observed. Therefore, the distance from the edge of the via bottom to the outer edge of the gap was measured as the haloing distance.

(ハローイングの評価基準)
ハローイング距離が6μm以下であれば「○」と判定し、ハローイング距離が6~10μmであれば「△」、ハローイング距離が10μmより大きければ「×」と判定した。結果を下記表に示す。
(Evaluation criteria for haloing)
If the haloing distance was 6 μm or less, it was judged as “◯”; The results are shown in the table below.

Figure 0007230421000011
Figure 0007230421000011

表1の通り、(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含み、さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤及び(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤の含有量の合計を50質量%以下とし、(D’)成分の含有量を4質量%以下とした場合に、ハローイング距離が10μm以下となった。一方、(D)成分を含まず且つ(D’)成分が4質量%を上回って含む場合(比較例1)、ホスファゼン化合物を含まない場合(比較例2)では、ハローイング距離が10μmより大きくなった。以上の結果から、(A)~(C)成分を含み、(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計が、50質量%以下であり、かつ(D)成分を含まない場合、(D’)成分の含有量が、4質量%以下である樹脂組成物を用いることにより、ハローイング現象を抑制できる硬化物を得ることができることがわかる。 As shown in Table 1, (A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound, and further (D) an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent and (D') a silane coupling agent. The haloing distance was 10 μm or less when the total content of inorganic fillers not surface-treated with an agent was 50% by mass or less and the content of component (D′) was 4% by mass or less. On the other hand, when the component (D) is not included and the component (D') is more than 4% by mass (Comparative Example 1), and when the phosphazene compound is not included (Comparative Example 2), the haloing distance is greater than 10 μm. became. From the above results, if the total content of the components (A) to (C) is included, the total content of the components (D) and (D') is 50% by mass or less, and the component (D) is not included, It can be seen that a cured product capable of suppressing the haloing phenomenon can be obtained by using a resin composition in which the content of component (D') is 4% by mass or less.

1 第1の導体層
11 第1の導体層の主面
2 第2の導体層
21 第2の導体層の主面
3 絶縁層
100 絶縁層
100U 導体層とは反対側の絶縁層の面
110 ビアホール
120 ビアボトム
120C ビアボトムの中心
130 ビアトップ
140 変色部
150 ビアホールのビアボトムのエッジ
160 間隙部
170 間隙部の外周側の端部
180 ビアトップのエッジ
190 変色部の外周側の縁部
200 内層基板
210 導体層
t1 第1導体層と第2の導体層との間隔(第1及び第2の導体層間の絶縁層の厚み)
t2 絶縁層全体の厚み
Lb ビアホールのボトム径
Lt ビアホールのトップ径
Wb ビアボトムのエッジからのハローイング距離
REFERENCE SIGNS LIST 1 first conductor layer 11 principal surface of first conductor layer 2 second conductor layer 21 principal surface of second conductor layer 3 insulation layer 100 insulation layer 100U surface of insulation layer opposite to conductor layer 110 via hole 120 via bottom 120C center of via bottom 130 via top 140 discolored portion 150 edge of via bottom of via hole 160 gap portion 170 end portion of gap portion on outer peripheral side 180 edge of via top 190 edge portion on outer peripheral side of discolored portion 200 inner layer substrate 210 conductor layer t1 Distance between first conductor layer and second conductor layer (thickness of insulating layer between first and second conductor layers)
t2 Overall thickness of insulating layer Lb Bottom diameter of via hole Lt Top diameter of via hole Wb Haloing distance from edge of via bottom

Claims (19)

(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含み、
さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤を含み、
さらに(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤を含み又は含まず、
(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、50質量%以下であり、
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、10質量%以である樹脂組成物(ただし、シアネート化合物、及び金属石鹸の両方を含む樹脂組成物;シアネート化合物、及びシリコーン重合体の両方を含む樹脂組成物;並びにリン原子及びフェノール性水酸基を含有するエラストマー、及び金属水和物の両方を含む樹脂組成物を除く。)
(A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound,
Further (D) contains an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent,
Further (D') contains or does not contain an inorganic filler that is not surface-treated with a silane coupling agent,
The total content of component (D) and component (D') is 50% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass,
A resin composition in which the content of the component (D) is 10% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is taken as 100 % by mass (however, a resin containing both a cyanate compound and a metal soap compositions; resin compositions containing both cyanate compounds and silicone polymers; and resin compositions containing both elastomers containing phosphorus atoms and phenolic hydroxyl groups, and metal hydrates.).
(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、(C)ホスファゼン化合物、並びに(E)分子内にポリブタジエン構造、ポリシロキサン構造、ポリ(メタ)アクリレート構造、ポリアルキレン構造、ポリアルキレンオキシ構造、ポリイソプレン構造、ポリイソブチレン構造、及びポリカーボネート構造から選択される1種以上の構造を有する樹脂のエラストマーを含み、
さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤を含み、
さらに(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤を含み又は含まず、
(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、50質量%以下であり、
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、10質量%以上である樹脂組成物(ただし、シアネート化合物、及びシリコーン重合体の両方を含む樹脂組成物;並びにリン原子及びフェノール性水酸基を含有するエラストマー、及び金属水和物の両方を含む樹脂組成物を除く。)
(A) epoxy resin, (B) curing agent, (C) phosphazene compound, and (E) polybutadiene structure, polysiloxane structure, poly(meth)acrylate structure, polyalkylene structure, polyalkyleneoxy structure, polyisoprene in the molecule a resin elastomer having one or more structures selected from a structure, a polyisobutylene structure, and a polycarbonate structure;
Further (D) contains an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent,
Further (D') contains or does not contain an inorganic filler that is not surface-treated with a silane coupling agent,
The total content of component (D) and component (D') is 50% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass,
A resin composition in which the content of component (D) is 10% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass (however, a resin composition containing both a cyanate compound and a silicone polymer and elastomers containing phosphorus atoms and phenolic hydroxyl groups, and resin compositions containing both metal hydrates).
(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、及び(C)ホスファゼン化合物を含み、
さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤を含み、
さらに(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤を含み又は含まず、
シランカップリング剤が、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、及びメタクリルシラン系カップリング剤からなる群から選ばれるシランカップリング剤であり、
(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、50質量%以下であり、
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、10質量%以上である樹脂組成物(ただし、シアネート化合物、及び金属石鹸の両方を含む樹脂組成物;並びにリン原子及びフェノール性水酸基を含有するエラストマー、及び金属水和物の両方を含む樹脂組成物を除く。)
(A) an epoxy resin, (B) a curing agent, and (C) a phosphazene compound,
Further (D) contains an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent,
Further (D') contains or does not contain an inorganic filler that is not surface-treated with a silane coupling agent,
the silane coupling agent is a silane coupling agent selected from the group consisting of aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, and methacrylsilane coupling agents;
The total content of component (D) and component (D') is 50% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass,
A resin composition in which the content of component (D) is 10% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is taken as 100% by mass (however, a resin composition containing both a cyanate compound and a metal soap and elastomers containing phosphorus atoms and phenolic hydroxyl groups, and resin compositions containing both metal hydrates).
(A)エポキシ樹脂、(B)硬化剤、(C)ホスファゼン化合物、並びに(E)分子内にポリブタジエン構造、ポリシロキサン構造、ポリ(メタ)アクリレート構造、ポリアルキレン構造、ポリアルキレンオキシ構造、ポリイソプレン構造、ポリイソブチレン構造、及びポリカーボネート構造から選択される1種以上の構造を有する樹脂のエラストマーを含み、(A) epoxy resin, (B) curing agent, (C) phosphazene compound, and (E) polybutadiene structure, polysiloxane structure, poly(meth)acrylate structure, polyalkylene structure, polyalkyleneoxy structure, polyisoprene in the molecule a resin elastomer having one or more structures selected from a structure, a polyisobutylene structure, and a polycarbonate structure;
さらに(D)シランカップリング剤で表面処理された無機充填剤を含み、Further (D) contains an inorganic filler surface-treated with a silane coupling agent,
さらに(D’)シランカップリング剤で表面処理されていない無機充填剤を含み又は含まず、Further (D') contains or does not contain an inorganic filler that is not surface-treated with a silane coupling agent,
シランカップリング剤が、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、及びメタクリルシラン系カップリング剤からなる群から選ばれるシランカップリング剤であり、the silane coupling agent is a silane coupling agent selected from the group consisting of aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, and methacrylsilane coupling agents;
(D)成分及び(D’)成分の含有量の合計が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、50質量%以下であり、The total content of component (D) and component (D') is 50% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass,
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、10質量%以上である樹脂組成物(ただし、リン原子及びフェノール性水酸基を含有するエラストマー、及び金属水和物の両方を含む樹脂組成物を除く。)。A resin composition in which the content of component (D) is 10% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass (however, an elastomer containing a phosphorus atom and a phenolic hydroxyl group, and a metal excluding resin compositions containing both hydrates).
(D)成分を、(D)成分及び(D’)成分の合計を100質量%とした場合に、90質量%以上含む請求項1~4の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 4, comprising 90% by mass or more of the component (D) when the total of the components (D) and (D') is 100% by mass. (D’)成分を含まない請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 5 , which does not contain component (D'). (C)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合に、1~15質量%である、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 6 , wherein the content of component (C) is 1 to 15 mass% when the non-volatile component in the resin composition is 100 mass%. (D)成分及び(D’)成分の比表面積が、0.5~50m/gである、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 7 , wherein the specific surface area of component (D) and component (D') is 0.5 to 50 m 2 /g. さらに(F)熱可塑性樹脂を含む、請求項1~8の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 8, further comprising ( F) a thermoplastic resin . (C)成分が、下記式(1):
Figure 0007230421000012
[式中、R及びRは、それぞれ独立して、置換基を有していてもよいアリール基を示し、nは、1~23の整数を示す。]
で表される化合物である、請求項1~9の何れか1項に記載の樹脂組成物。
Component (C) has the following formula (1):
Figure 0007230421000012
[In the formula, R 1 and R 2 each independently represent an optionally substituted aryl group, and n represents an integer of 1-23. ]
The resin composition according to any one of claims 1 to 9, which is a compound represented by
及びRが、それぞれ独立して、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、ハロゲン原子、及び-X-R(Xは、単結合、-(アルキレン基)-、-O-、-S-、-CO-、-SO-、-NHCO-、-CONH-、-OCO-、又は-COO-を示し、Rは、アルキル基、アルコキシ基、シアノ基、及びハロゲン原子からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基を示す。)で表される基からなる群から選ばれる1~3個の置換基を有していてもよいアリール基である、請求項10に記載の樹脂組成物。 R 1 and R 2 are each independently an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group, a halogen atom, and -X-R 3 (X is a single bond, -(alkylene group)-, -O-, -S -, -CO-, -SO 2 -, -NHCO-, -CONH-, -OCO- or -COO-, and R 3 is selected from the group consisting of an alkyl group, an alkoxy group, a cyano group and a halogen atom An aryl group optionally having 1 to 3 substituents selected from the group consisting of groups represented by The resin composition according to claim 10, wherein 180℃で1時間熱硬化させて得られる硬化物のJIS K7127に準拠して測定される23℃における引張弾性率が5GPa以下である、請求項1~11の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 11, wherein the cured product obtained by heat curing at 180°C for 1 hour has a tensile modulus at 23°C of 5 GPa or less measured according to JIS K7127. thing. 上記引張弾性率が2GPa以下である、請求項12に記載の樹脂組成物。 13. The resin composition according to claim 12, wherein the tensile modulus is 2 GPa or less. 導体層を形成するための絶縁層形成用である、請求項1~13の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 13, which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer. 粗化処理後に導体層を形成するための絶縁層形成用である、請求項14に記載の樹脂組成物。 15. The resin composition according to claim 14, which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer after roughening treatment. 請求項1~15の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物。 A cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 15. 支持体と、上記支持体上に設けられた請求項1~13の何れか1項に記載の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。 A resin sheet comprising a support and a resin composition layer formed of the resin composition according to any one of claims 1 to 13 provided on the support. 第1の導体層、第2の導体層、及び、上記第1の導体層と上記第2の導体層との間に形成された絶縁層を含むプリント配線板であって、
上記絶縁層が、請求項1~13の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物である、プリント配線板。
A printed wiring board comprising a first conductor layer, a second conductor layer, and an insulating layer formed between the first conductor layer and the second conductor layer,
A printed wiring board, wherein the insulating layer is a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 13.
上記絶縁層がビアホールを有する、請求項18に記載のプリント配線板。
19. The printed wiring board according to claim 18, wherein said insulating layer has via holes.
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