JP7227137B2 - Ｃｍｐ用途向けの薄いプラスチック研磨物品 - Google Patents

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Description

［０００１］本明細書に記載の実施態様は、一般に、基板またはウェハの研磨のための装置および方法に関し、より具体的には、研磨物品ならびに研磨物品の製造および使用方法に関する。
［０００２］化学機械研磨（ＣＭＰ）は、基板の表面を平坦化するために多くの異なる産業で使用される従来のプロセスである。半導体産業では、デバイスのフィーチャサイズが縮小し続けるにつれて、研磨と平坦化の均一性が、ますます重要になっている。ＣＭＰプロセスの間、動いている研磨パッドにデバイス面が当てられた状態で、シリコンウェハなどの基板が、キャリアヘッドに取り付けられる。キャリアヘッドは、制御可能な荷重を基板に与えて、基板のデバイス面を研磨パッドに押し付ける。研磨される基板と反応するように設計された化学剤に微細研磨粒子を含有するスラリなどの研磨液が、動いている研磨パッドおよびキャリアヘッドの表面に供給される。研磨スラリが、通常、研磨パッドに供給されて、研磨パッドと基板の間の境界面に研磨化学溶液を供給する。研磨スラリは、通常、基板と研磨パッドの間に薄い境界層を形成する。研磨スラリによって形成された薄い境界層の存在にもかかわらず、研磨パッドと基板は、密接な滑り接触を行う。研磨パッドとキャリアヘッドは、基板に力学的エネルギーを加え、パッドは、研磨プロセス中に基板と相互作用するスラリの輸送を制御するのにも役立つ。効果的なＣＭＰプロセスは、高い研磨速度を提供するだけでなく、小規模な粗さがなく、欠陥を最小限に抑え、平坦である、すなわち大規模なトポグラフィのない基板表面をも提供する。
［０００３］研磨システムで実行されるＣＭＰプロセスは、通常、完全な研磨プロセスの様々な部分を実行する複数の研磨パッドを含む。研磨システムは、通常、第１のプラテン上に配置された第１の研磨パッドを含み、これは、第１の材料除去速度ならびに基板の表面上の第１の表面仕上げおよび第１の平坦度をもたらす。第１の研磨プロセスは、通常、粗い研磨ステップとして知られており、一般に、高い研磨速度で実行される。システムは、通常、少なくとも１つの追加のプラテン上に配置された少なくとも１つの追加の研磨パッドを、さらに含み、これは、第２の材料除去速度ならびに基板の表面上の第２の表面仕上げおよび平坦度をもたらす。第２の研磨ステップは、通常、細かい研磨ステップとして知られており、一般に、粗い研磨ステップよりも遅い速度で実行される。いくつかの構成では、システムは、第３のプラテン上に配置された第３の研磨パッドを、さらに含むことができ、これは、第３の除去速度ならびに基板の表面上の第３の表面仕上げおよび平坦度をもたらす。第３の研磨ステップは、通常、材料クリアリングまたはバフ研磨ステップとして知られている。いくつかの構成では、バフ研磨ステップは、別のツールで実行される。複数パッド研磨プロセスは、多段階プロセスで使用することができ、そこでは、パッドが、異なる研磨特性を持ち、基板は、次第に細かく研磨され、または研磨特性が、研磨中に出会う異なる層、例えば酸化物表面の下にある金属線に対して補正するように調整される。
［０００４］ＣＭＰ研磨パッドは、歴史的に、半導体ウェハの研磨に必要な所望の表面と機械的構造を提供するために、様々なフィラーと多孔性を有するポリウレタンで作られてきた。これらの研磨パッドは、通常、下にある柔らかいパッドの上に配置され、該パッドに永続的に接合されて、「積層パッド」を形成する硬い上部パッドを含む。研磨パッドは、通常、表面溝を有し、これは、スラリの輸送や、パッドのコンディショニング中にパッドのデブリを集める役割を果たす。ＣＭＰプロセスにおける積層研磨パッドの機能は、少なくとも２つある。第一に、研磨パッドは、研磨中に基板に加えられる機械的荷重を与えて分配する。第二に、研磨パッドは、基板と研磨パッドの境界面で化学物質とスラリ粒子を輸送および分配する。
［０００５］ＣＭＰで繰り返し発生する問題は、基板の表面全体の研磨速度の不均一性である。加えて、従来の研磨パッドは、一般に、研磨中に、摩耗および／またはパッド表面に研磨副生成物が蓄積するため、自然に劣化する。繰り返されたまたは連続した研磨中に、従来の研磨パッドは、特定の数の基板を研磨した後に摩耗または「グレイジング」状態になり、その後、交換または再コンディショニングされる必要がある。基板がパッドに押し付けられている領域で、従来の研磨パッドが加熱および圧縮されると、グレイジングが発生する。発生した熱と加えられた力により、従来の研磨パッド上の高点が圧縮されて広げられ、高点間の点が埋められて、従来の研磨パッドの表面が、より滑らかになり、研磨性が低下する。より滑らかになり、研磨性が低下することに加えて、従来の研磨パッドにグレイジングが発生すると、従来の研磨パッドは、疎水性が増加して、研磨パッドに付着するスラリの能力を低下させる可能性もある。その結果、研磨時間が長くなる。したがって、従来の研磨パッドの研磨表面は、従来の研磨パッドをその親水性状態に戻し、高い研磨速度を維持するために、定期的に研磨状態に戻され、または「コンディショニング」される。従来は、研磨性コンディショニングディスクが、従来の研磨パッドの研磨表面の最上層を本質的に「傷つける」または「擦り減らし」て、望ましい研磨結果が基板上でもう一度得られるような状態にするために、使用される。
［０００６］研磨性パッドコンディショニングは、多変数の複雑なプロセスである。典型的にはダイヤモンドディスクによるコンディショニングの適用は、従来の研磨パッドの研磨表面から材料を除去し、それにより新しいパッド材料を時間と共に露出させる。研磨性パッドコンディショニングは、研磨性能に大きな役割を果たす表面の凹凸を生成する。研磨性パッドコンディショニングという行為は、従来の研磨パッドの研磨特性を劇的に変化させるため、パッドコンディショニングの直前に処理された基板の研磨プロセス結果は、パッドコンディショニング後に処理された基板とは異なる研磨結果になる。さらに、新しいパッドで処理された基板の研磨結果と、研磨性コンディショニングに曝された同じパッドで処理された基板の研磨結果とは、パッドの厚さの違いおよびパッドコンディショニングプロセスによって従来のパッドの表面に生じた損傷により異なる。したがって、研磨性パッドコンディショニングは、基板間の研磨速度の不均一性と、研磨中に基板の表面を傷つける可能性のある粒子の生成に寄与する。
［０００７］したがって、前述の懸念のいくつかに対処する、改善されたＣＭＰ研磨パッドおよび改善されたＣＭＰ研磨パッドを使用する方法が必要である。
［０００８］本明細書に記載される実施態様は、一般に、基板および／またはウェハの研磨のための装置および方法に関する。より具体的には、本明細書に記載される実施態様は、一般に、研磨物品、ならびに研磨物品の製造および使用方法に関する。一実施態様では、基板の表面を研磨するために使用される研磨物品が、提供される。研磨物品は、一般に、研磨表面および反対側の底面を有するポリマーシートを含む。一実施態様では、研磨物品は、無孔であり、したがって、材料の表面および／または厚さ内に有意な量の多孔度または孔容積を有さない中実材料から形成される。研磨物品の研磨表面は、研磨表面上に形成され、研磨表面から上方に延びる複数の個別的要素を含む。
［０００９］別の実施態様では、研磨モジュールが提供される。研磨モジュールは、プラテンアセンブリ、研磨物品、および基板を保持して研磨物品に向かって押し付けるためのキャリアヘッドを含む。研磨物品は、研磨表面および反対側の底面を有するポリマーシートを含む。研磨表面は、研磨表面上に形成され、研磨表面から上方に延びる複数の個別的要素を含む。
［００１０］さらに別の実施態様では、基板から材料を除去する方法が、提供される。この方法は、プラテン上に配置されたポリマーシートに向かって基板を押し付けることを含む。ポリマーシートは、供給ロールと巻き取りロールの間に配置される。ポリマーシートは、研磨表面上に形成され、研磨表面から上方に延びる複数の均一な個別的要素を含む研磨表面を有する。この方法は、プラテンと供給ロールと巻き取りロールを基板に対して回転させることを、さらに含む。この方法は、基板の表面から材料を除去することと、基板から材料を除去した後、プラテンに対してポリマーシートを前進させることとを、さらに含む。
［００１１］本開示の実施形態は、研磨表面と反対側の底面との間に規定される厚さ、研磨表面と実質的に平行である第１の方向に延びる長さ、研磨表面と実質的に平行であり、第１の方向と直角である第２の方向に延びる幅であって、長さのせいぜい２分の１である幅、実質的に無孔である中実ポリマー材料、研磨表面上に形成された複数の個別的要素、および研磨表面に形成された溝の配列であって、第１の方向または第２の方向に対して揃えられている溝の配列、を含むポリマーシートを含む研磨物品を、提供し得る。溝の配列内の溝は、研磨表面から研磨表面より下の深さまで延びていてもよく、厚さは、約０．４８ｍｍ以下であってもよい。反対側の底面は、０．０５マイクロメートルから５．０８マイクロメートルの算術平均高さ（Ｓａ）を有する表面粗さを含んでもよい。
［００１２］本開示の実施形態は、実質的に無孔である中実ポリマー材料、研磨表面と反対側の底面との間に規定される厚さであって、約０．４６ｍｍ未満である厚さ、ならびに研磨表面に形成された複数の個別的要素であって、４０μｍ未満のフィーチャスパン、および２～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有する、研磨表面に形成された個別的要素、を含むパッド本体を有するポリマーシートを含む研磨物品を、さらに提供し得る。反対側の底面は、２マイクロインチ（０．０５マイクロメートル）から２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する表面粗さを含んでもよい。研磨表面に形成された個別的要素は、４５％～６５％の界面面積比、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、３０～５０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および３０～８０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）を、さらに含み得る。
［００１３］本開示の実施形態は、研磨プロセス中に、プラテン上に配置された研磨物品を支持するように構成された支持要素であって、第１の表面と反対側の第２の表面との間に規定される厚さを有する、ポリマー材料を含むプラテンインターフェース本体であって、プラテンインターフェース本体の、反対側の第２の表面が、プラテンの表面上に位置し、プラテンの表面に面している、プラテンインターフェース本体、および第１の表面上に配置された解放可能結合層であって、第１の表面とは反対側の、解放可能結合層の側にあり、研磨処理中に研磨物品を支持するように構成されたインターフェース面を有する解放可能結合層、を含む支持要素を、さらに提供し得る。インターフェース面は、１．５１より大きい静止摩擦係数を有してもよく、静止摩擦係数は、５．０８マイクロメートルの算術平均高さ（Ｓａ）を有する研磨物品の表面をインターフェース面に押し付けることにより、測定される。インターフェース面は、横方向１インチ当たり約２５オンス未満の接着結合強度を有し得る。解放可能結合層は、スチレンブタジエン（ＳＢＲ）、ポリアクリル、ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡ）およびシリコーンからなる群から選択される材料を含み得る。繊維マットは、約２～約８オンス／平方ヤード（ＯＳＹ）の坪量と、約０．１３ｍｍ～約１．３ｍｍの厚さとを有し得る。
［００１４］本開示の実施形態は、研磨物品の研磨表面とは反対側の研磨物品の側にある研磨物品の裏面を、プラテンインターフェース本体の解放可能結合層の表面に配置することを含む、研磨物品を使用して基板から材料を除去する方法を、さらに提供し得る。次に、第１の基板を研磨物品の研磨表面に押し付けることにより、第１の基板の表面を研磨する。解放可能結合層の表面から研磨物品の裏面を分離し、次に、解放可能結合層の表面に対して研磨物品を再配置し、研磨物品を再配置することは、研磨物品を第１の方向に第１の距離だけ並進移動させることを含む。次に、研磨物品を再配置した後、解放可能結合層の表面に研磨物品の裏面を配置し、次に、再配置された研磨物品の研磨表面に第２の基板を押し付けることにより、第２の基板の表面を研磨する。第１の距離は、約０．１ｍｍから約２０ｍｍの間である。解放可能結合層の表面は、１．５１より大きい静止摩擦係数を有してもよく、静止摩擦係数は、５．０８マイクロメートルの算術平均高さ（Ｓａ）を有する物体の表面をインターフェース面に押し付けることにより、測定される。解放可能結合層の表面は、横方向１インチ当たり約２５オンス未満の接着結合強度を有し得る。
［００１５］本開示の実施形態は、研磨物品を使用して基板から材料を除去する方法であって、ポリマーシートを含む研磨物品をプラテン上に配置することを含み、ポリマーシートは、供給ロールと巻き取りロールの間に配置され、実質的に無孔である中実ポリマー材料、研磨表面と反対側の底面との間に規定される厚さであって、約０．０２５インチ未満の厚さ、ならびに研磨表面に形成された複数の個別的要素であって、４０μｍ未満のフィーチャスパン、および２～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有する、研磨表面に形成された個別的要素、を含む、方法を、さらに提供し得る。次に、研磨物品がプラテン上に配置された後、研磨物品、プラテン、供給ロールおよび巻き取りロールを中心軸の周りに回転させる。
［００１６］本開示の上記の特徴を詳細に理解することができるように、上で簡単に要約された実施態様のより詳細な説明が、実施態様を参照することによって得られ、それらのいくつかが、添付の図面に示されている。しかしながら、添付の図面は、本開示の典型的な実施態様のみを示し、したがって本開示の範囲を限定すると見なされるべきではなく、本開示は他の同等に有効な実施態様を認め得ることに、留意されたい。
本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品を有する例示的な化学機械研磨モジュールの平面図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、図１のモジュールの例示的な処理ステーションの概略断面図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、図１のモジュールと共に使用することができる別の例示的な処理ステーションの概略断面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、図３Ａに示す研磨ステーションに配置された研磨ヘッドおよび研磨物品構成の一部分の概略断面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品の一実施態様の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品の一実施態様の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品を前進させることができるように、プラテンインターフェース材料から分離された改良された研磨物品の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、図４Ｃに示された改良された研磨物品の一部分の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、図４Ａに示された改良された研磨物品の一部分の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品の別の実施態様の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、図５Ａに示された改良された研磨物品の一部分の拡大概略側面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、溝が形成されたテクスチャ付き表面を有する研磨物品設計の概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、溝が形成されたテクスチャ付き表面を有する研磨物品設計の概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、所望の方向に対して揃えられている溝が形成されたテクスチャ付き表面を有する研磨物品設計の概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、所望の方向に対して揃えられている溝が形成されたテクスチャ付き表面を有する研磨物品設計の概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、所望の方向に対して揃えられている溝が形成されたテクスチャ付き表面を有する研磨物品設計の概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、所望の方向に対して揃えられている溝が形成されたテクスチャ付き表面を有する研磨物品設計の概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、図６Ｆの研磨物品の一部分の分解概略上面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品を用いて研磨する方法を示すフローチャートである。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、第１の構成位置にある図１のモジュールの例示的な処理ステーションの概略断面図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、第２の構成位置にある図１のモジュールの例示的な処理ステーションの概略断面図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、図１のモジュールの処理ステーションの一構成の概略等角図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、第１の構成位置にある図７Ｄに示される処理ステーションの概略側面断面図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、第２の構成位置にある図７Ｄに示される処理ステーションの概略側面断面図である。 本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、図７Ｆに示される処理ステーションの一部分の拡大側面断面図である。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品に使用できる材料の変位対応力のプロットを示す。 本明細書に記載の１つ以上の実施態様による改良された研磨物品に使用できる材料対現在利用可能な研磨物品に使用される材料の変位対応力の別のプロットを示す。
［００４３］理解を容易にするために、可能な場合には、図面に共通の同一の要素を示すために、同一の参照番号が使用されている。１つの実施態様の要素および特徴は、さらに詳述することなく他の実施態様に有益に組み込むことができることが、予期されている。
［００４４］本明細書に記載される実施態様は、一般に、基板またはウェハの研磨のための装置および方法に関する。より具体的には、本明細書に記載される実施態様は、一般に、研磨物品、ならびに研磨物品の製造および使用方法に関する。本開示の実施態様は、一般に、ポリマーシートを含む化学機械研磨（ＣＭＰ）用の改良された研磨物品を含むことができ、改良された研磨物品は、テクスチャ付き研磨表面を含む。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、無孔であり、したがって、材料の表面および／または厚さ内に有意な量の多孔度または孔容積を有さない薄い中実材料から形成される。本開示の実施態様はまた、これらの改良された研磨物品を使用するための方法およびシステムを提供し得る。
［００４５］本開示の様々な実施態様の完全な理解を提供するために、特定の詳細が、以下の説明および図１～図９に記載されている。様々な実施態様の説明を不必要に曖昧にすることを避けるために、研磨プロセスおよび研磨物品の製造にしばしば関連付けられる周知の構造およびシステムを説明する他の詳細は、以下の開示では記載されない。図に示されている詳細、寸法、角度、およびその他の特徴の多くは、特定の実施態様の単なる例示である。したがって、他の実施態様は、本開示の精神または範囲から逸脱することなく、他の詳細、構成要素、寸法、角度、および特徴を有することができる。加えて、本開示のさらなる実施態様は、以下で説明されるいくつかの詳細なしで実施することができる。
［００４６］本明細書に記載の研磨物品は、しばしば研磨パッドと呼ばれるが、本明細書に記載の実施態様は、例えばバフ研磨パッドを含む他の研磨物品にも適用できることを、理解されたい。さらに、本明細書に記載の研磨物品は、化学機械研磨プロセスに関連して説明されているが、本明細書に記載の研磨物品および研磨物品の使用方法は、レンズを研磨することを含む他の研磨プロセスおよび研磨剤スラリシステムと非研磨剤スラリシステムの両方を含む他のプロセスにも適用できる。さらに、本明細書に記載の研磨物品は、少なくとも次の産業で使用できる：航空宇宙、セラミックス、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、ＭＥＭＳおよびナノテク、金属加工、光学および電気光学、ならびに半導体、など。
［００４７］本開示の１つ以上の実施態様によれば、研磨性パッドコンディショニングを必要としない改良された研磨物品が、開発された。本明細書に記載のいくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、研磨プロセスから生じる最小限の摩耗および研磨性パッドコンディショニングによって通常引き起こされる破壊的侵食の欠如に一部起因して、従来の研磨物品に比べて長いパッド寿命を示す。本開示のいくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、隆起した表面テクスチャ、すなわち「マイクロフィーチャ」および／または研磨表面に形成された複数の溝、すなわち「マクロフィーチャ」を有する研磨表面を有するポリマーシートを含む。いくつかの実施態様において、隆起した表面テクスチャは、研磨システムに改良された研磨物品を設置して使用する前に、研磨表面にエンボス加工され、エッチングされ、機械加工され、または他の方法で形成される。一実施態様では、隆起したフィーチャは、研磨中に基板から除去されるフィーチャの１０倍以内の高さを有する。例えば、研磨物品の表面上の高さ約５マイクロメートル（μｍ）の隆起したフィーチャを使用して、基板上の高さ約０．５μｍのフィーチャを除去または平坦化することができる。理論に拘束されるものではないが、形成された隆起した表面テクスチャの最適なサイズは、接触面積の最大化、および研磨物品とウェハとの間での研磨スラリ移動に関連すると、考えられている。例えば、隆起した表面テクスチャの横方向寸法が小さいほど、研磨物品と研磨されているウェハとの間の接触面積が大きくなる。隆起した表面テクスチャは、ポリマーシートの表面上でスラリをある程度「保持」する働きをし、研磨中にスラリが基板の下で引きずられることを可能にする。理論に拘束されるものではないが、研磨物品の微細なトポグラフィにより、保持リングが研磨物品の表面を横切った後、スラリは、これらの形成された隆起した表面テクスチャのフィーチャにくっつき、フィーチャ間の谷に残ると、考えられている。
［００４８］さらに、いくつかの実施態様では、ポリマーシートの表面上に形成される、エンボスパターンなどの隆起した表面テクスチャパターンは、隆起したフィーチャの実質的に全ての頂点部が、研磨物品全体にわたって比較的均一な横方向の間隔（例えば、フィーチャスパン）および均一なピーク高さを有するような表面テクスチャ（図４Ｅおよび図５Ｂを参照）を、提供する。形成されたテクスチャの横方向の間隔および相対的なピーク高さの変動の均一な性質は、研磨中に研磨物品の表面上のこれらの形成されたフィーチャの頂点部の比較的均一な機械的荷重をもたらすことができる。理論に拘束されるものではないが、均一な表面テクスチャによって提供される均一な荷重は、非多孔性研磨物品の表面の劣化／機械的摩耗の速度の遅れと、一貫した研磨速度を長期間維持する研磨物品の能力の向上とに寄与する、と考えられている。本明細書に記載の形成された表面テクスチャまたはフィーチャは、従来の研磨プロセスに必要な従来のパッドコンディショニング技術によって形成されたランダムサイズの耐荷重性表面トポグラフィとは異なる。
［００４９］いくつかの実施態様では、本明細書に記載の改良された研磨物品の表面トポグラフィは、形成された隆起した表面テクスチャ（例えばエンボステクスチャ）のパターンに主に基づいて、スラリを捕捉し、改良された研磨物品と基板の間の境界面に送達する。いくつかの実施態様では、隆起した表面テクスチャは、研磨物品のスラリ輸送を強化するための一続きの繰り返しフィーチャを含む。いくつかの実施態様では、フィーチャは、研磨物品の長さおよび幅にわたって直線パターンで形成され、一貫したパターンを生成する。これは、通常、隆起した表面テクスチャを意図的に提供するのではなく、溝の放射状パターンを別個に使用して研磨物品の研磨表面に変化を与える従来の研磨物品とは対照的である。いくつかの実施態様では、フィーチャは、微視的スケール（例えば、基板サイズよりも小さい研磨物品の領域）では、ランダムなパターンで形成されるが、より大きな巨視的スケールでは、形成された研磨物品の長さおよび／または幅にわたって繰り返される。
［００５０］いくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、研磨物品によるスラリの輸送および保持を可能にする研磨表面に形成された複数の溝を含む。この構成では、研磨表面に形成された溝は、形成された溝にスラリが保持されるので、研磨スラリのための局所的なリザーバになる。理論に拘束されるものではないが、パターンを制御することにより、改良された研磨物品内の浅い溝の形状および／または間隔が、「過剰なスラリ」を溝に送ることにより研磨スラリの境界層を均等にし、それによりパッド／基板境界面全体で境界層がより均一なると、考えられている。改良された研磨物品が基板の下にある間、溝の深さが浅いため、研磨中に溝がスラリで実質的に満たされる。したがって、改良された研磨物品の浅い溝は、スラリを分配し、過剰なスラリを受け入れるリザーバとして機能する。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品の浅い溝は、基板の下を通過して、それにより、従来の研磨パッドの深い溝のような小さなマイクロリザーバにスラリを閉じ込めるのではなく、スラリの「フリーパス」として機能するように設計されている。対照的に、典型的には深い同心リング溝の配列を含む従来の研磨パッドの深い溝は、研磨スラリを捕捉するが、そのサイズと形状のため、研磨中にパッド／ウェハ境界面にスラリを安定して供給しない。深い溝に捕捉されたスラリは、浅い溝と同じようには、２つの表面間の境界面でパッドまたはウェハと相互作用しないであろうし、および／または浅い溝がスラリをパッド／ウェハ境界面に供給するのと同じようには、スラリはパッド／ウェハ境界面に供給されない。また、破壊的なパッドコンディショニングにより従来の研磨パッド上に形成されたテクスチャは、これらのテクスチャ領域がウェハ全体に不均一に形成され、不均一な、および／または制御されないスラリ輸送につながるため、望ましくない。加えて、パッドコンディショニングという行為は、本明細書に記載の薄い改良された研磨物品の浅い溝を急速に侵食するであろう。これらの理由により、均一なスラリ輸送が望まれる場合、本明細書に開示された改良された研磨物品に見られるような、破壊的なパッドコンディショニングのない浅い溝とマイクロフィーチャ表面テクスチャの組み合わせが、望ましい。
［００５１］さらに、研磨パッドが、製造プロセス中に画定されたプレテクスチャを有し、その後、破壊的なパッドコンディショニングに曝された場合、破壊的なパッドコンディショニングによって生成されたテクスチャが、研磨プロセス中の事実上のテクスチャになる。したがって、破壊的なパッドコンディショニングを排除することによってのみ、製造中に研磨物品に生成されたプレテクスチャは、処理中の長期的な研磨条件を規定するテクスチャになることができる。
ＣＭＰハードウェアの実施例
［００５２］図１は、本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品１２３を有する研磨モジュール１０６の平面図を示す。研磨モジュール１０６は、ＲＥＦＬＥＸＩＯＮ（登録商標）ＷＥＢＢ（商標）システム、ＲＥＦＬＥＸＩＯＮ（登録商標）ＬＫ ＣＭＰシステム、ＲＥＦＬＥＸＩＯＮ（登録商標）ＬＫ ＰＲＩＭＥ（商標）ＣＭＰシステムなどのＲＥＦＬＥＸＩＯＮ（登録商標）ケミカルメカニカルポリッシャの一部であってもよく、それら全てが、カリフォルニア州サンタクララにあるＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃ．によって製造されている。本明細書に記載された１つ以上の実施態様が、これらの研磨システムで使用されてもよい。しかしながら、当業者は、研磨物品、詳細にはロールツーロールまたはラウンド研磨物品形式の研磨物品を利用する他の製造業者によって製造される他のタイプの研磨装置で使用されるように、本明細書で教示および説明される実施態様を有利に適合させることができる。本明細書で説明される装置の説明は、例示であり、本明細書で説明される実施態様の範囲を限定するものとして解釈または理解されるべきではない。
［００５３］研磨モジュール１０６は、一般に、ローディングロボット１０４、コントローラ１０８、移送ステーション１３６、プラテンアセンブリ１３２などの複数の処理ステーションまたは研磨ステーション、ベース１４０、および複数の研磨ヘッドまたはキャリアヘッド１５２（図１には１つのみが示されている）を支持するカルーセル１３４を備える。一般に、ローディングロボット１０４は、研磨モジュール１０６とファクトリインターフェース（図示せず）に近接して配置され、それらの間での基板１２２の移送を容易にする。
［００５４］移送ステーション１３６は、一般に、移送ロボット１４６、入力バッファステーション１４２、出力バッファ１４４、およびロードカップアセンブリ１４８を含む。入力バッファステーション１４２は、ローディングロボット１０４から基板１２２を受け取る。移送ロボット１４６は、基板１２２を入力バッファステーション１４２からロードカップアセンブリ１４８に移動させ、そこで基板１２２はキャリアヘッド１５２に移送され得る。
［００５５］上述の研磨モジュール１０６の制御を容易にするために、コントローラ１０８は、中央処理装置（ＣＰＵ）１１０、サポート回路１１４、およびメモリ１１２を備えている。ＣＰＵ１１０またはプロセッサ１１０は、様々な研磨機、ドライブ、ロボット、およびサブプロセッサを制御するために産業環境で使用できる任意の形式のコンピュータプロセッサの１つであってよい。不揮発性メモリ１１２が、ＣＰＵ１１０に結合されている。メモリ１１２、またはコンピュータ可読媒体は、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読み取り専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピーディスク、ハードディスク、または任意の他の形態の、ローカルまたはリモートのデジタルストレージなどの容易に利用可能なメモリの１つ以上であってよい。サポート回路１１４は、従来の方法でプロセッサをサポートするためにＣＰＵ１１０に結合される。これらの回路には、キャッシュ、電源、クロック回路、入力／出力回路、サブシステムなどが含まれる。コントローラ１０８は、サポート回路１１４および不揮発性メモリ１１２に見られる入力／出力（Ｉ／Ｏ）デバイスに結合される中央処理装置（ＣＰＵ）１１０を含むことができる。不揮発性メモリ１１２は、制御ソフトウェアプログラムなどの１つ以上のソフトウェアアプリケーションを含むことができる。メモリ１１２は、本明細書で説明する方法の１つ以上を実行するためにＣＰＵ１１０によって使用される記憶された媒体データを、さらに含むことができる。ＣＰＵ１１０は、ソフトウェアアプリケーションを実行しデータを処理することができるハードウェアユニットまたはハードウェアユニットの組み合わせであってよい。いくつかの構成では、ＣＰＵ１１０は、中央処理装置（ＣＰＵ）、デジタル信号プロセッサ（ＤＳＰ）、特定用途向け集積回路（ＡＳＩＣ）、および／またはそのようなユニットの組み合わせを含む。ＣＰＵ１１０は、一般に、１つ以上のソフトウェアアプリケーションを実行し、記憶された媒体データを処理するように構成されており、それぞれメモリ１１２内に含むことができる。
［００５６］一般に、カルーセル１３４は、それぞれがキャリアヘッド１５２の１つを支持する複数のアーム１５０を有する。キャリアヘッド１５２は、トラック１０７を介してアーム１５０に沿って移動可能である。図１に示されているアーム１５０のうちの２つは、移送ステーション、およびプラテンアセンブリ１３２のうちの１つの上または上方に配置された改良された研磨物品１２３が見えるように、想像線で示されている。カルーセル１３４は、プラテンアセンブリ１３２と移送ステーション１３６との間でキャリアヘッド１５２を移動させることができるように、割り出し可能である。別の実施態様では、カルーセル１３４は、円形トラックに置き換えられ、キャリアヘッド１５２は、円形トラックに沿って移動可能である。典型的には、プラテンアセンブリ１３２上に支持された改良された研磨物品１２３に対してキャリアヘッド１５２に保持された基板１２２を移動させることにより、各プラテンアセンブリ１３２で化学機械研磨プロセスが実行される。
［００５７］いくつかの実施態様では、プラテンアセンブリ１３２上の改良された研磨物品１２３の表面で研磨プロセスを実行できるように、改良された研磨物品１２３が、プラテンアセンブリ１３２を横切って、供給アセンブリ１５６と巻き取りアセンブリ１５８の間に配置されてもよい。供給アセンブリ１５６および巻き取りアセンブリ１５８は、それらの間に配置された改良された研磨物品１２３の露出部分をぴんと張るおよび／または引き伸ばすために、改良された研磨物品１２３に反対のバイアスを与えてもよい。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品１２３は、一般に、供給アセンブリ１５６と巻き取りアセンブリ１５８との間で引き伸ばされた時に、平坦または平面の表面トポロジーを有してもよい。加えて、改良された研磨物品１２３の新しいまたは未使用の領域が供給アセンブリ１５６から解き放たれ得るように、改良された研磨物品１２３を、プラテンアセンブリ１３２を横切って前進させる、および／または解放可能にプラテンアセンブリ１３２に固定することができる。改良された研磨物品１２３は、改良された研磨物品１２３の下面に加えられる真空圧、機械的クランプ、または他の保持方法によって、解放可能にプラテンアセンブリ１３２に固定されてもよい。
［００５８］上記および以下でさらに説明するように、改良された研磨物品１２３などの研磨物品は、例えば図４Ｅおよび図５Ｂに示されるような、個別的延長要素などの、研磨表面上に形成された隆起した表面テクスチャ（例えばエンボステクスチャ）を含む。いくつかの実施形態では、改良された研磨物品１２３は、改良された研磨物品の研磨表面上に形成されたマクロフィーチャ（例えば、図４Ａおよび図５Ａに示されるアイテム４４７および５４７）をさらに含み、これについては以下でさらに説明する。上述し、以下でさらに説明するように、一構成では、パッド本体４３０（図４）などの、改良された研磨物品１２３の本体は、パッド本体の少なくとも１つの表面に形成された表面テクスチャを含む中実非多孔性ポリマー材料から形成される。
［００５９］研磨プロセスは、基板１２２の研磨を支援するために、流体ノズル１５４によって研磨物品の表面に送達される研磨粒子を含有するスラリを利用してもよい。あるいは、流体ノズル１５４は、脱イオン水（ＤＩＷ）を単独で、または研磨化学物質と組み合わせて送達してもよい。流体ノズル１５４は、図示の方向に、図示のようにプラテンアセンブリ１３２から離れた位置まで、プラテンアセンブリ１３２のそれぞれの上方の位置まで、回転することができる。一実施態様では、流体ノズル１５４は、スラリがキャリアヘッド１５２に隣接して堆積されるように、キャリアヘッド１５２のスイープ運動に追従する。
［００６０］いくつかの実施態様では、研磨モジュール１０６は、表面エネルギーを調整するために、改良された研磨物品１２３の表面を処理するコロナ放電処理モジュール１６０を、さらに含む。一実施態様では、コロナ放電処理モジュールは、改良された研磨物品１２３の表面をオゾンで処理する。一実施態様では、コロナ放電処理モジュールは、大気圧プラズマを使用して、二原子酸素を負に帯電した酸素原子に分割し、これが別の酸素分子と結合してオゾンを生成する。他の適切なコロナ放電技術を使用して、改良された研磨物品１２３の表面を処理してもよい。理論に拘束されるものではないが、コロナ放電処理は、改良された研磨物品１２３の表面の濡れ性を高めると、考えられている。
［００６１］図２は、プラテンアセンブリ１３２の側面図ならびに例示的な供給アセンブリ１５６および巻き取りアセンブリ１５８を示し、プラテン２３０を横切る改良された研磨物品１２３の位置を示す。一般に、供給アセンブリ１５６は、プラテンアセンブリ１３２の側壁２０３の間に配置された供給ロール２５４、上部ガイド部材２０４および下部ガイド部材２０５を含む。一般に、巻き取りアセンブリ１５８は、側壁２０３の間に全て配置された巻き取りロール２５２、上部ガイド部材２１４および下部ガイド部材２１６を含む。巻き取りロール２５２は、一般に、改良された研磨物品１２３の使用済み部分を含み、使用済みの改良された研磨物品１２３で巻き取りロール２５２が満たされると、メンテナンス作業中に、空の巻き取りロールと容易に交換されるように、構成される。上部ガイド部材２１４は、改良された研磨物品１２３をプラテン２３０から下部ガイド部材２１６に導くように配置されている。下部ガイド部材２１６は、改良された研磨物品１２３を巻き取りロール２５２に導く。
［００６２］プラテンアセンブリ１３２はまた、改良された研磨物品１２３の上面に押し付けられた基板上で実行される研磨プロセスの終点を検出するための光信号を送信および受信するように適合されたレーザーなどの光学式感知装置２２０を含んでもよい。いくつかの実施態様では、光学式感知装置２２０は、改良された研磨物品１２３の厚さを通して基板の表面を光学的に検査するように構成される。一構成において、改良された研磨物品１２３を支持する様々な構成要素（例えば、プレート２３６および／またはプラテンインターフェース要素２４０）を通って形成された開口部２２０Ａにより、光学式感知装置２２０は、改良された研磨物品１２３の上面に位置する基板を光学的に検査することができる。この構成では、光学式感知装置２２０は、改良された研磨物品１２３を通して放射線を投射し、基板の表面から反射して、改良された研磨物品１２３を通って戻って来た放射線を、検出器（図示せず）で受け取る。本開示のいくつかの実施態様では、改良された研磨物品１２３のポリマー材料は、所望の波長範囲内で光学的に透明であるため、光学式感知装置２２０を使用した研磨中の基板表面の光学的監視が可能である。
［００６３］供給ロール２５４は、一般に、研磨物品１２３の未使用部分を含み、供給ロール２５４上に配置された改良された研磨物品１２３が、研磨または平坦化プロセスによって消費されると、新しい改良された研磨物品１２３を含む別の供給ロール２５４と容易に交換できるように、構成される。一般に、改良された研磨物品１２３の全長は、供給ロール２５４上に配置された材料の量、巻き取りロール２５２上に配置された量、および供給ロール２５４と巻き取りロール２５２との間に延びる量を含む。全長は通常、複数の基板１２２（図１）の研磨された表面のサイズよりも大きく、例えば数メートルから数十メートルの長さであり得る。一般に、改良された研磨物品１２３の長さは、研磨表面と平行な方向で測定され、改良された研磨物品１２３の幅は、研磨表面と平行であり長さ方向と直角である方向で測定される。いくつかの実施形態では、改良された研磨物品１２３の幅は、約６インチ（１５０ミリメートル（ｍｍ））から約５０インチ（１，０１６ｍｍ）の間、例えば、約１２インチから約４０インチの間である。一実施形態では、改良された研磨物品１２３の長さは、約６．５フィート（１，９８１ｍｍ）～約１００フィート（３０，４８０ｍｍ）であり、例えば、約７フィート～約１００フィートである。別の実施形態では、改良された研磨物品１２３の長さは、改良された研磨物品１２３の幅の少なくとも２倍であり、または幅の少なくとも５倍、幅の少なくとも１０倍である。
［００６４］改良された研磨物品１２３は、一般に、改良された研磨物品１２３を、プラテンインターフェースアセンブリ２２６を横切ってＸ方向に制御可能に前進させるように、構成される。改良された研磨物品１２３は、一般に、供給アセンブリ１５６に結合されたモーター２２２と巻き取りアセンブリ１５８に結合されたモーター２２４との間で力のバランスをとることにより、プラテン２３０に対して移動する。ラチェット機構および／またはブレーキシステム（図示せず）が、供給アセンブリ１５６および巻き取りアセンブリ１５８の一方または両方に結合されて、プラテンインターフェースアセンブリ２２６に対する改良された研磨物品１２３の横方向位置を固定することができる。プラテン２３０は、横方向（Ｘおよび／またはＹ方向）と概ね直交する中心回転軸２３５の周りでプラテンアセンブリ１３２を回転させるロータリアクチュエータ２２８に動作可能に結合されてもよい。いくつかの実施態様では、図２に示される要素の全てが、回転軸２３５の周りで回転する。
［００６５］流体管理システム２３２が、ロータリアクチュエータ２２８とプラテンインターフェースアセンブリ２２６との間に結合されてもよい。流体管理システム２３２を使用して、改良された研磨物品１２３の位置をプラテン２３０上に固定することができる。流体管理システム２３２は、プラテンインターフェースアセンブリ２２６の下に配置されたプレート２３６に形成されたチャネル２３４を含むことができる。一実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ２２６は、プラテンインターフェース要素２４０およびサブプレート２３８を含むことができ、各々を貫通して、チャネル２３４および流体管理システム２３２と流体連通する開口部２４２が形成されている。流体管理システム２３２は、圧縮ガスを使用することによりガスをチャネル２３４に供給するか、または真空ポンプを使用することによりチャネル２３４を真空に引くことができる。
［００６６］いくつかの実施態様では、示されているように、サブプレート２３８が、プラテンインターフェース要素２４０の下に配置されてもよい。サブプレート２３８は、プラテンインターフェース要素２４０よりも構造的および／または物理的に硬い材料（例えば、金属、ポリマー、セラミック）を含み、処理中、改良された研磨物品１２３の上面２２１に配置された基板に荷重が加えられた時に、サブプレート２３８は、プラテンインターフェース要素２４０および改良された研磨物品１２３を支持することができる。サブプレート２３８は、プラテンインターフェース要素２４０の表面を支持およびプラテン２３０に結合するように構成される。
［００６７］一般に、プラテンインターフェース要素２４０の硬さ、厚さ、およびデュロメータは、処理中に、改良された研磨物品１２３、プラテンインターフェース要素２４０およびサブプレート２３８に押し付けられた基板上に望ましい研磨結果を生成するための望ましい機械的特性および材料特性を有している。プラテンインターフェース要素２４０は、基板のグローバル平坦化を促進するために、一般に、基板（図示せず）の平面と平行な（例えば、ＸＹ平面と平行な）平面内に、改良された研磨物品１２３の上面２２１を維持する。以下でさらに論じられるように、プラテンインターフェース要素２４０は、研磨された基板上の望ましい研磨結果を促進するために選択された１つ以上の材料層を含む。一構成では、プラテンインターフェース要素２４０は、厚さが１ｍｍ～２ｍｍ、および硬さが約５０～６５ショアＤのポリマー材料でできている。いくつかの実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０は、ポリマー繊維、エラストマー繊維、織物繊維および／またはプラスチック材料から形成される。例えば、プラテンインターフェース要素２４０は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリアミド（例えば、ナイロン６６）、ポリウレタン、またはそれらの組み合わせを含むが、これらに限定されない材料の１つ以上の層から形成することができる。一実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０は、ポリプロピレンを含む織物繊維から形成される。別の実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０は、図２のＺ方向で測定されるような、材料の厚さ全体にわたって所望の多孔度または孔容積を有する材料から形成される。
［００６８］プラテンアセンブリ１３２および改良された研磨物品１２３のいくつかの代替実施形態では、一体型インターフェース層２５０（破線で示す）が、改良された研磨物品１２３の下面に形成されている、または結合している。一体型インターフェース層２５０の硬さ、厚さ、およびデュロメータは、改良された研磨物品１２３と組み合わせて使用された場合に基板上に望ましい研磨結果をもたらすための望ましい機械的特性および材料特性を有するように、選択される。この構成では、プラテンインターフェース要素２４０およびサブプレート２３８は、処理中に存在または設置される必要がなく、したがって、一体型インターフェース層２５０は、処理中、硬い支持プレート（図示せず）上に配置されている。いくつかの実施態様では、一体型インターフェース層２５０は、厚さが１ｍｍ～２ｍｍ、硬さが約５０～６５ショアＤのポリマー材料でできており、プラテンインターフェース要素２４０の代わりに使用することができる。一体型インターフェース層２５０を形成するための例示的なポリマー材料には、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリアミド（例えば、ナイロン６６）、ポリウレタン、またはそれらの組み合わせが含まれるが、これらに限定されない。
［００６９］あるいは、プラテン２３０および改良された研磨物品１２３の別の構成では、改良された研磨物品１２３のプラテンインターフェース要素２４０および一体型インターフェース層２５０は、研磨プロセス中に、組み合わせて使用することができる。一実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０および／または一体型インターフェース層２５０はそれぞれ、ポリプロピレンを含む織物繊維から形成される。別の実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０および／または一体型インターフェース層２５０は、図２のＺ方向で測定されるような、材料の厚さ全体にわたって所望の多孔度または孔容積を有する材料から形成される。
［００７０］プラテンインターフェース要素２４０および／または一体型インターフェース層２５０は、親水性であってもよいし、疎水性であってもよい。ほとんどの液体は十分に圧縮されないため、プラテンインターフェース要素２４０および／または一体型インターフェース層２５０は疎水性であることが一般に好ましい。しかしながら、プラテンインターフェース要素２４０および／または一体型インターフェース層２５０が親水性である場合には、プラテンインターフェース要素２４０および／または一体型インターフェース層２５０は、液体を均一に吸収するように構成されなければならない。
［００７１］本明細書に記載のいくつかの実施態様によれば、改良された研磨物品１２３は、比較的薄くて硬く、プラテンインターフェース要素２４０は、改良された研磨物品１２３の研磨性能を改善および／または調整するために必要な機械的コンプライアンスを提供するために利用され、以下でさらに説明する。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品１２３の硬さ（例えば、デュロメータ）は、プラテンインターフェース要素２４０よりも大きい。いくつかの実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０は、改良された研磨物品１２３の機械的一体性を向上させる。追加的または代替的に、プラテンインターフェース要素２４０の疎水性または親水性の性質は、スラリをより均一に保持および／または分散させることができる。
［００７２］いくつかの実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０は、同心溝または様々なピッチの直径３０マイクロメートル～２００マイクロメートルのピラーの配列を含む、改良された研磨物品１２３と接触する表面全体にわたって形成された様々な溝を有することができる。いくつかの構成では、溝は、開口部２４２を介して流体管理システム２３２内の真空源と連通しており、したがって、処理中に、改良された研磨物品１２３の下面に加えられる真空圧を分配するのに役立つ。いくつかの構成では、溝は、開口部２４２を介して、流体管理システム２３２内に配置された正圧ガス源と連通しており、したがって、研磨プロセスの実行前、実行中または実行後に、正圧ガスを改良された研磨物品１２３の下面に分配するのに役立つ。基板上で実行される研磨プロセス中に正圧ガスを供給することは、研磨プロセスの結果を制御するのに役立つ。
［００７３］別の実施態様では、プラテンインターフェース要素２４０は、２種類のプラテンインターフェース要素の組み合わせを含み、第１のプラテンインターフェースは、ポリマー材料で作られ、厚さが１～２ｍｍ、硬さが５０ショアＤ未満であり、溝パターンを有さない。第１のプラテンインターフェース要素のポリマー材料は、第２のプラテンインターフェース要素のポリマー材料とは異なる。いくつかの実施態様では、単一のプラテンインターフェース要素が使用されてもよいし、または上記の第１および第２のプラテンインターフェース要素の組み合わせが、使用されてもよい。第２のプラテンインターフェースは、約６０ショアＡから約３０ショアＤの硬さと、１～２ｍｍの厚さを含むことができる。この第２のプラテンインターフェース要素は、第１のプラテンインターフェース要素のすぐ上に配置されてもよい。以下でさらに説明するように、いくつかの実施形態では、続いて、改良された研磨物品１２３を、プラテンインターフェース要素の上に配置する、および／またはプラテンインターフェース要素に解放可能に付着させることができる。
［００７４］通常、従来のＣＭＰ研磨パッドは、これらの材料を成形、鋳造、押し出し、ウェブコーティング、または焼結することによって作製される。従来の研磨パッドは、一度に１つ作製され、または塊として作製されて、その後、個々のパッド基板にスライスすることができる。次に、これらの基板は、最終的な厚さに機械加工されて、溝が、さらに機械加工される。典型的なポリマーまたはポリマー／繊維の円形上部パッドは、約０．０５０インチから約０．１２５インチの厚さを有する。典型的なポリマーまたはポリマー／繊維の円形パッドスタック（例えば、上部パッドと下部パッドの組み合わせ）は、約０．１インチから約０．２インチの厚さを有する。
［００７５］従来のポリマーベースのＣＭＰ研磨パッドは、通常、ＰＳＡ（感圧接着剤）を使用してＣＭＰ機械内の平坦な回転円形テーブルに付着される。従来のパッドに通常見られる研磨層、中間接着結合層、サブパッド、およびパッドプラテン間結合接着層などの、研磨パッドにある各層は、基板の表面に配置された所望の材料を研磨するために使用される研磨パッドの研磨特性に影響を与える。処理中、基板は、化学的および機械的に活性なスラリの存在下で約１ｐｓｉから約６ｐｓｉの下向きの力を使用して従来のパッドと接触して配置され、その結果、基板から膜が除去される。従来の研磨パッドは、通常、膜除去速度を安定させるために、パッドコンディショニングと組み合わせて使用される。望ましいおよび／または安定した研磨性能を維持できなくなる程度まで、パッドの表面が擦り減ったり、または研磨副生成物が積もった場合、パッドを取り外して、別の新しいパッドと交換し、生産のために機械を再認定する必要がある。所望の研磨性能を達成するために必要なパッド材料とパッドコンディショニングのタイプが、デバイス製造工場で使用する研磨機の可用性の鍵となる。パッドの寿命が短く、パッドを頻繁に交換すると、研磨ツールの可用性が低下し、研磨ツールの所有コストも増加する。上述のように、従来のＣＭＰ研磨パッドは、許容可能な除去速度を維持するために定期的なコンディショニングを必要とし、コンディショニングは、望ましくないデブリを生成し、および／またはパッドの寿命を短くする可能性がある。デブリは、マイクロスクラッチを含む、より高い欠陥レベルに寄与することが知られている。加えて、所望の強度を達成し、他の研磨関連特性を改善するために、従来のパッドは、比較的機械的に硬く（例えば、曲げ剛性）、厚い断面を有する。従来の研磨パッドのこの剛性と厚さは、従来の研磨パッドをロールツーロール用途に適したものにしない。これらの１つ以上の欠点により、ダウンタイムおよび／または変形が増加し、所有コストが増加する。
［００７６］しかしながら、本明細書に記載の改良された研磨物品１２３は、一般に、望ましい研磨特性および材料特性（例えば、濡れ性、強度）を維持しながら、従来のＣＭＰ研磨パッドよりも薄く、パッドコンディショニングを必要としない。従来の研磨パッド材料とは対照的に、改良された研磨物品１２３は、研磨副生成物を除去するために、水ジェットまたは水流による水リンス、および／または柔らかいブラシの使用以外のコンディショニングを必要としない可能性がある。したがって、従来の研磨パッドで使用されるダイヤモンドディスクで見られるような破壊的なパッドコンディショニングは、必要ない。
［００７７］本明細書に記載の研磨物品１２３は、従来のＣＭＰ研磨パッドよりも一般的に薄い厚さを含み、これにより、より長い長さの研磨物品材料を、同じサイズの供給ロール上に配置することができる。研磨物品の厚さは、一般に、基板が研磨されている時に基板によって力が研磨物品１２３に加えられる方向と平行な方向で測定される。いくつかの実施態様では、研磨物品１２３は、従来の研磨パッド（例えば、Ｄｏｗ（登録商標）ＩＣ１０１０（商標）パッド）の研磨層（例えば、上部パッド）だけの厚さ（例えば、０．０５０～０．１２５インチ）よりも薄い厚さ（例えば、０．００１～０．０２５インチ（０．０２５４ｍｍ～０．６３５ｍｍ）、または０．０１０～０．０２０インチ（０．２５４ｍｍ～０．５０８ｍｍ）、または０．０１０～０．０１８インチ（０．２５４ｍｍ～０．４６０ｍｍ））を有する。いくつかの実施態様では、研磨物品１２３は、従来の研磨パッド（例えば、Ｄｏｗ（登録商標）ＩＣ１０１０（商標）パッド）の研磨層（例えば、上部パッド）の厚さよりも５～１０倍薄い厚さを有する。いくつかの構成では、以下でさらに説明するように、研磨物品１２３は、非多孔性ポリマー材料から形成される。より長い使用可能な長さがその上に配置された供給ロールは、供給ロールが使用可能な材料を使い果たすたびに、新しい長さの供給ロール材料を交換し認定するために必要なオーバーヘッド時間が最小限に抑えらるので、長期間にわたって研磨ツール内で研磨できる基板の数を増やす。さらに、本明細書に記載の研磨物品１２３は、十分な機械的一体性を含み、研磨化学物質に対して化学的に耐性があり（すなわち、ＣＭＰ研磨で使用される反応性の高いスラリ化学物質に、劣化、剥離、膨れ、または反りなく耐えることができる）、水性の研磨剤含有スラリが研磨物品の表面を適切に濡らすように、十分に親水性であってもよい。いくつかの実施態様では、研磨物品１２３は、約１０度の、例えば、約１０度～約９０度、または約１０度～約３０度、または約３０度～約７０度、または約７０度～約９０度などの、研磨物品表面上の水の動的接触角を示してもよい。本明細書に記載の研磨物品１２３は、研磨中に引き裂きに耐える高い強度、平坦性のための許容可能レベルの硬さおよび弾性率（研磨される材料に依存する）、研磨中の過剰な研磨物品の摩耗を防止する良好な耐摩耗性を有し、濡れている時に機械的特性を保持する。
［００７８］本明細書に記載の改良された研磨物品１２３は、研磨物品をコンディショニングする必要性を軽減し、したがって、研磨機の可用性および研磨機の性能を最大化することができる。例えば、改良された研磨物品１２３は、研磨性コンディショニングを行う必要性の代わりに、未使用の研磨材料の一部を提供するために、基板のサイズ（例えば、直径）よりも小さい距離で増分的に前進させられてもよい。改良された研磨物品１２３の増分的前進は、巻き取りロール２５２または供給ロール２５４（図２）に結合された１つ以上のアクチュエータを使用することにより、基板がその上で研磨される前、最中または後に実行され得る。一実施態様では、改良された研磨物品は、ウェハ当たり約０．１ミリメートル～ウェハ当たり約１０ミリメートル（例えば、ウェハ当たり１ミリメートル～ウェハ当たり約５ミリメートル）で増分的に前進させられる。
［００７９］図３Ａは、本明細書に記載の実施態様に従って形成された改良された研磨物品３２３を有する、図１のモジュール１０６と共に使用することができる別の例示的な研磨ステーション３００の概略断面図である。研磨ステーション３００は、モジュール１０６などの、複数の研磨ステーションを含むより大きな化学機械研磨（ＣＭＰ）システム内に配置されてもよい。研磨ステーション３００は、プラテン３０２を含む。プラテン３０２は、中心軸３０４の周りに回転することができる。改良された研磨物品３２３を、プラテン３０２上に配置することができる。本明細書で提供される開示を限定することを意図するものではないが、典型的には、改良された研磨物品３２３は、研磨ステーション３００で処理される基板１２２のサイズ（例えば、基板直径）よりも少なくとも１～２倍大きいプラテン３０２の上面３０３を覆う。一例では、改良された研磨物品３２３およびプラテン３０２は、直径が約６インチ（１５０ミリメートル）から約５０インチ（１，０１６ミリメートル）の間、例えば約１２インチから約４０インチの間である。別の例では、改良された研磨物品３２３およびプラテン３０２は、直径が約２０インチ（５０８ミリメートル）から約３０インチ（７６２ミリメートル）の間である。さらに別の例では、改良された研磨物品３２３およびプラテン３０２は、直径が約２３インチ（５８４ミリメートル）から約２６インチ（６６０ミリメートル）の間である。改良された研磨物品３２３は、１つ以上の基板１２２に接触して処理するように構成された研磨表面３１２を含む。一実施態様では、研磨表面３１２は、例えば図４Ａ～図４Ｃおよび図５Ａにおいて、本明細書で説明するように、隆起した表面テクスチャ、表面に形成された溝、または隆起した表面テクスチャと溝の両方を有する。
［００８０］プラテン３０２は、改良された研磨物品３２３を支持し、研磨中に、改良された研磨物品３２３を回転させる。キャリアヘッド３０８が、処理されている基板１２２を、改良された研磨物品３２３の研磨表面３１２に当てて保持することができる。研磨境界面３３０が、研磨表面３１２と基板１２２との間に形成される。キャリアヘッド３０８は、典型的には、改良された研磨物品３２３および保持リング３０９に基板１２２を押し付けるために使用される可撓性ダイアフラム３１１を含む。可撓性ダイアフラム３１１を使用して、研磨プロセス中に基板の表面全体に見られる本質的に不均一な圧力分布を修正することができる。処理中、基板は、スラリの存在下で約０．５ｐｓｉから約８ｐｓｉの間の下向きの力、例えば約２ｐｓｉから約６ｐｓｉの間の下向きの力を使用して、改良された研磨物品３２３と接触して配置される。キャリアヘッド３０８は、中心軸３１４の周りを回転し、および／またはスイープ運動で移動して、基板１２２と改良された研磨物品３２３との間に相対運動を生成することができる。
［００８１］研磨中、研磨剤スラリまたは非研磨剤スラリなどの研磨流体３１６が、送達アーム３１８によって研磨表面３１２に供給されてもよい。研磨流体３１６は、研磨粒子、ｐＨ調整剤、および／または基板の化学機械研磨を可能にする化学的活性成分を含有することができる。３１６のスラリの化学的性質は、基板表面ならびに／または金属、金属酸化物、および半金属酸化物を含み得るフィーチャを研磨するように設計されている。研磨プロセス中に基板１２２と相互作用する研磨流体３１６（例えば、スラリ）の輸送を制御するために、改良された研磨物品３２３の表面トポグラフィが使用されることが、わかるであろう。例えば、改良された研磨物品３２３の表面トポロジーは、隆起した表面テクスチャ（例えば、エンボス加工）および任意選択でマクロフィーチャ（例えば、マクロ溝、穴、チャネルまたは他の突起）を含むことができ、それらは、改良された研磨物品３２３の上方、上および中に配置され得る。
［００８２］処理中、改良された研磨物品３２３およびキャリアヘッド３０８は、基板１２２に力学的エネルギーを加え、研磨流体３１６中の化学物質および研磨成分と組み合わされて、基板１２２の表面を平坦化させる。
［００８３］図３Ｂは、キャリアヘッド３０８および改良された研磨物品１２３、３２３の一部分の概略断面図である。明確にするために、可撓性ダイアフラム３１１およびキャリアヘッド３０８の上部は、図３Ｂから省略されている。動作中、可撓性ダイアフラム３１１（図３Ａ）は、基板１２２を、改良された研磨物品１２３、３２３に対して押し付けるように配置され、キャリアヘッド３０８の取り付け部（図示せず）に結合されたキャリアヘッドアクチュエータ（図示せず）は、別個に、キャリアヘッド３０８および保持リング３０９を研磨物品の表面に対して押し付けるように構成される。図３Ｂに示されるように、可撓性ダイアフラム（図示せず）は、加えられた力Ｆ２によって示される圧力を、基板１２２の裏面に加えるように構成され、キャリアヘッドアクチュエータは、力Ｆ１を保持リング３０９に加えるように構成される。従来の構成では、基板１２２は、研磨プロセス中に、キャリアヘッド３０８内で、かつ、改良された研磨物品１２３、３２３の代わりに配置される従来の研磨物品の一部分の上に配置される。従来の研磨物品を使用するＣＭＰプロセスと、本明細書に開示される改良された研磨物品の設計を使用するＣＭＰプロセスとは、同じ研磨プロセスパラメータが処理中に使用される場合に、著しく異なる基板研磨プロセスの結果をもたらすことがわかった。従来の研磨パッドと、本明細書に開示された改良された研磨物品１２３、３２３、４００、５００、６００ａ、６００ｂ、６００ｃ、６００ｄ、６００ｅ、６００ｆの構造の機械的特性の違いによって生じる異なる研磨結果を使用して、グローバル平坦化、平坦化効率、ディッシングなどの、従来のＣＭＰプロセスを悩ませている一般的な問題のいくつかを解決することができる。一例では、研磨中に基板１２２に加えられる荷重は、従来の研磨パッドが使用される場合と、本明細書に開示される研磨物品の１つ以上の実施態様が使用される場合とでは、基板１２２に異なるエッジ効果の結果をもたらす。ほとんどのＣＭＰプロセスでは、研磨中のエッジ効果を補償するために、力Ｆ１が保持リング３０９に加えられて、基板１２２のエッジ部で一般的に見られる大きな固有の研磨不均一性を補償する。図３Ｂに示すように、研磨物品が、はるかに厚いおよび／または追従性のある研磨物品を含む構成では、保持リング３０９によって力Ｆ１が、従来の研磨パッドの積層（例えば、硬いパッドとプラテンインターフェースのスタック）および単層設計などの厚い研磨物品に加えられると、パッドの跳ね返りまたは局所圧力集中隆起部３０７Ａが形成される。局所圧力集中隆起部３０７Ａの形成は、一般に、加えられた力Ｆ１に起因する研磨物品の変形３０７Ｂに関連し、これにより、基板のエッジ部が、基板の中心よりも速く研磨される。基板のエッジ部での研磨速度が速いと、「グローバルな」ＣＭＰ平坦化の不均一性（例えば、基板全体での不均一性）が生じる。しかしながら、例えば改良された研磨物品１２３、３２３などの、本明細書に記載の研磨物品の１つ以上の実施態様の薄い性質のため、従来の研磨物品に対する改良された研磨物品１２３、３２３の、異なる複合的な機械的構造および性能により、改良された研磨物品１２３、３２３の許容可能な変形が減少するので、顕著な局所圧力集中隆起部３０７Ａを形成することができない。
［００８４］図４Ａは、本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、パッド本体４３０上に形成された隆起した表面テクスチャを有する改良された研磨物品４００の一実施態様の拡大概略側面図である。一実施態様では、改良された研磨物品４００は、改良された研磨物品１２３または改良された研磨物品３２３のいずれかの一部を形成するか、またはその代用として使用することができる。改良された研磨物品４００は、上部パッド４１０の下に位置するプラテンインターフェースアセンブリ４２０上に配置されたパッド本体４３０を有する上部パッド４１０を含む。上部パッド４１０は、パッド本体４３０の少なくとも一部を画定する、テクスチャ付き研磨表面４１２および反対側の底面４１４を有する。プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、上述のプラテンインターフェース要素２４０の少なくとも一部を形成するか、またはその代用として使用することができる。プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、通常、サブプレート２３８を介してプラテンアセンブリ（例えば、プラテン２３０またはプラテン３０２）の表面に結合される。プラテンアセンブリ１３２の一構成では、上部パッド４１０は、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に対して、Ｘ－Ｙ平面内に配置された１つ以上の方向に自由に滑る。
［００８５］一実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、第１のプラテンインターフェース４５０、第２のプラテンインターフェース４６０、および図２のプレート２３６、図３のプラテン３０２、または図７Ｂ～図７Ｃのプラテン支持アセンブリ７５５などのプラテンアセンブリ内の支持要素に結合される第３のプラテンインターフェース４７０のうちの少なくとも１つを含む。図４Ａに示されるように、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、多層プラテンインターフェーススタックまたは「サンドイッチ」スタックである。３層プラテンインターフェーススタックとして示されているが、所望の圧縮性および研磨特性を達成する任意の数のプラテンインターフェース層が使用されてもよいことを、理解されたい。一実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、第１のプラテンインターフェース４５０、第２のプラテンインターフェース４６０、および第３のプラテンインターフェース４７０のうちの少なくとも１つを含む。複数のプラテンインターフェース層が使用される構成では、プラテンインターフェースは、任意の適切な取り付け方法（例えば、ラミネート、熱接着、接着剤による接着、両面テープ、感圧接着剤など）で互いに付着されて、単一のプラテンインターフェースアセンブリを形成することができる。
［００８６］第１のプラテンインターフェース４５０は、プラテンインターフェース本体４５６を画定する第１の表面４５２および反対側の第２の表面４５４を含む。一実施態様では、第１のプラテンインターフェースの第１の表面４５２は、第１の表面４５２に形成された複数の溝（例えば、図２のアイテム２４２を参照）を有する。別の実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０の第１の表面４５２は、溝パターンを有さない。一実施態様では、第１の表面４５２は、マイクロテクスチャ表面である。一実施態様では、マイクロテクスチャは、テクスチャ付き研磨表面４１２上に形成されたマイクロテクスチャに類似している。
［００８７］非ロールツーロール構成などのいくつかの実施態様では、上部パッド４１０は、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に付着されている。この構成では、第１のプラテンインターフェース４５０の第１の表面４５２は、上部パッド４１０の底面４１４に固定的に取り付けられている。第１のプラテンインターフェース４５０の第１の表面４５２は、任意の適切な取り付け方法（例えば、ラミネート、熱接着、接着剤による接着、両面テープ、感圧接着剤など）によって上部パッド４１０の底面４１４に付着されてもよい。
［００８８］第１のプラテンインターフェース４５０のプラテンインターフェース本体４５６は、通常、ポリマー材料で作られている。一実施態様では、プラテンインターフェース本体４５６は、ポリプロピレンシートである。プラテンインターフェース本体４５６は、約０．００１インチ～約０．０３０インチ（例えば、約０．００５インチ～約０．０２５インチ、約０．０１０インチ～約０．０２５インチ、または約０．０１０インチ～約０．０２０インチ）の厚さ（Ｚ方向）を有することができる。プラテンインターフェース本体４５６は、約５０～６５ショアＤの硬さを有する材料から形成することができる。一実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０のプラテンインターフェース本体４５６は、紡績および／または成形されたポリプロピレン繊維マット材料などのポリマー材料から成る繊維含有マット材料を含む。
［００８９］一実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、プラテンインターフェース本体４６６を画定する第１の表面４６２および反対側の第２の表面４６４を含む第２のプラテンインターフェース４６０を、任意選択で含む。この場合、第１の表面４６２は、第１のプラテンインターフェース４５０の第２の表面４５４に付着される。一実施態様では、第２のプラテンインターフェース４６０のプラテンインターフェース本体４６６は、ポリマー材料から成る繊維マット材料である。一実施態様では、プラテンインターフェース本体４６６は、紡績および／または成形されたポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン（ＰＥ）、またはポリエステル繊維マットである。一実施態様では、プラテンインターフェース本体４６６は、約２～約８オンス／平方ヤード（ＯＳＹ）の密度または坪量、例えば約３．０～約４．０ＯＳＹの坪量を有してもよい。一実施態様では、第２のプラテンインターフェース４６０は、約０．００５インチ～約０．０５０インチ（例えば、約０．０１０インチ～約０．０４０インチ、または約０．０１０インチ～約０．０３０インチ）の厚さ（Ｚ方向）を有する。第２のプラテンインターフェース４６０は、一般に、第１のプラテンインターフェース４５０とは異なる物理的および／または機械的特性を有する。一例では、プラテンインターフェース本体４５６は、ポリマーシートを含む第１のプラテンインターフェース本体と、繊維マットを含む第２のプラテンインターフェース本体とを含む。一例では、プラテンインターフェース本体４５６は、ポリプロピレンシートを含み、プラテンインターフェース本体４６６は、紡績および／または成形されたポリプロピレン繊維マットを含む。
［００９０］別の実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、任意選択で、第３のプラテンインターフェース４７０を含む。第３のプラテンインターフェースは、プラテンインターフェース本体４７６を画定する第１の表面４７２および反対側の第２の表面４７４を含む。一実施態様では、第１の表面４７２は、第２のプラテンインターフェース４６０の第２の表面４６４に付着される。第３のプラテンインターフェース４７０の第２の表面４７４は、プラテンまたはプレートアセンブリに付着されてもよい。第３のプラテンインターフェース４７０のプラテンインターフェース本体４７６は、通常、ポリマー材料で作られている。一実施態様では、プラテンインターフェース本体４７６は、ポリプロピレンシートである。一実施態様では、プラテンインターフェース本体４７６は、約０．００５インチ～約０．０５０インチ（例えば、約０．０１０インチ～約０．０４０インチ、または約０．０２０インチ～約０．０３０インチ）の厚さ（Ｚ方向）を有する。一実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０および第３のプラテンインターフェース４７０は、同じポリマー材料を含む。プラテンインターフェース本体４７６は、約５０～６５ショアＤの硬さを有する材料から形成することができる。いくつかの実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０および第３のプラテンインターフェース４７０は、第２のプラテンインターフェース４６０を水および研磨スラリから離して密封することにより、第２のプラテンインターフェース４６０を乾燥状態に保つのに役立つ。一実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０および第３のプラテンインターフェース４７０は、約０．００５インチ～約０．０４０インチの厚さを有するポリプロピレンで作られ、第２のプラテンインターフェース４６０は、２．５～４．０ＯＳＹの坪量および約０．０１０インチ～約０．０４０インチの厚さを有する紡績されたポリプロピレン繊維マットで作られ、改良された研磨パッド上で研磨されている基板に望ましい静的および動的機械的特性を提供する。
［００９１］別の実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、各プラテンインターフェースが他のプラテンインターフェースとは異なる硬さを有する複数のプラテンインターフェースの組み合わせである。別の実施態様では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、複数のプラテンインターフェースのうちの２つ以上のプラテンインターフェースが、プラテンインターフェースアセンブリ４２０内の他のプラテンインターフェースとは異なる機械的特性（例えば、硬さ、貯蔵弾性率Ｅ’、損失弾性率Ｅ’’、ｔａｎδ）を有する複数のプラテンインターフェースの組み合わせである。一実施態様では、第１のプラテンインターフェースは、５０ショアＤ未満の硬さを有し、第２のプラテンインターフェースは、５０～６５ショアＤを超える硬さを有する。一実施態様では、プラテンインターフェースは、厚さが０．５～２ｍｍ（例えば、１～２ｍｍ）の第１のポリマー材料で作られ、第２のプラテンインターフェースは、厚さが０．５～２ｍｍ（例えば、１～２ｍｍ）の第２のポリマー材料で作られる。いくつかの実施態様では、単一のプラテンインターフェース、または第１のプラテンインターフェースと第２のプラテンインターフェースの組み合わせが使用され、約６０ショアＡから約３０ショアＤの硬さを含むことができる。
［００９２］いくつかの構成では、図４Ｂおよび図４Ｃに示されるように、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の上面は、解放可能取り付け層（または本明細書では解放可能結合層４５５とも呼ばれる）により、上部パッド４１０の底面４１４に解放可能に付着される。この構成では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、サブプレート２３８を介してプラテンインターフェースアセンブリ４２０の下に配置されたプラテンアセンブリ構成要素（例えば、プレート２３６および／またはプラテン２３０）の表面に固定的に取り付けられる、結合（例えば、接着結合）される、または付着される。図４Ｂに示されるように、上部パッド４１０は、基板４９９が上部パッド４１０の上面（すなわち、テクスチャ付き研磨表面４１２）で研磨されている間、上部パッド４１０の底面４１４と接触し、およびプラテンインターフェース本体４５６の上面と接触している解放可能結合層４５５を含むプラテンインターフェースアセンブリ４２０によって支持される。解放可能結合層４５５は、研磨プロセス中にプラテンインターフェースアセンブリ４２０上の所望の位置に、上部パッド４１０を機械的に支持し、横方向に保持するために使用される。改良された研磨物品４００がウェブ研磨システムで使用されるいくつかのロールツーロール実施態様（図２および図７Ｂ～図７Ｃ）では、上部パッド４１０の底面４１４は、解放可能結合層４５５の上面４５５Ａから分離可能であるように構成され、図４Ｃに示すように、上部パッド４１０がプラテンインターフェースアセンブリ４２０に対して方向Ａに割り送りされることを可能にする。以下でさらに説明するように、いくつかの実施形態では、上部パッド４１０は、プラテンインターフェースアセンブリ４２０から上部パッド４１０の境界面に供給されるガスの使用によって、および／または表面４５５Ａの表面特性（例えば、表面エネルギー）のために上部パッド４１０の底面４１４と解放可能結合層４５５の上面４５５Ａとの間に形成された「解放可能な結合」力（例えば、弱い接着力、分子接着タイプの力など）に打ち勝つことができるアクチュエータ７７１（図７Ｂ～図７Ｃ）の使用によって、プラテンインターフェースアセンブリ４２０から分離することができる。上部パッド４１０が、解放可能結合層４５５の上面から分離され、上部パッド４１０が、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に対してある距離だけ割り送りされると、上部パッド４１０とプラテンインターフェースアセンブリ４２０とを再び接触させて、解放可能結合層４５５の表面特性を使用して、その後の研磨作業中に上部パッド４１０を保持および支持することができる。割り送りプロセス中に、上部パッド４１０がプラテンインターフェースアセンブリ４２０に対して自由に移動できるように、上部パッド４１０とプラテンインターフェースアセンブリ４２０の間に間隙４２５が形成される。
［００９３］一実施形態では、図４Ｄに示されるように、解放可能結合層４５５は、上面４５５Ａを含むインターフェース層４５７Ａと、インターフェース層４５７Ａをプラテンインターフェース本体４５６に接着結合する接着層４５７Ｂとを含む。この構成では、インターフェース層４５７Ａの表面への接着層４５７Ｂの接着強度およびプラテンインターフェース本体４５６への接着層４５７Ｂの接着強度は両方とも、インターフェース層４５７Ａの上面４５５Ａと上部パッド４１０の底面４１４との間に形成される解放可能な結合よりも著しく高い。いくつかの実施形態では、接着層４５７Ｂは、アクリレートポリマー、ゴムポリマー、および／または合成熱可塑性エラストマーなどの感圧接着材料を含む。接着層４５７Ｂの表面と、プラテンインターフェース本体４５６およびインターフェース層４５７Ａとの間に形成される著しく高い接着強度は、研磨システムで処理される全ての基板について研磨プロセスが一貫することを保証するために使用される。この場合、プラテンインターフェース本体４５６およびインターフェース層４５７Ａに対する接着層４５７Ｂの接着強度は、上部パッド４１０と解放可能結合層４５５の上面４５５Ａとの間に形成される解放可能な結合よりも、例えば約２倍、約５倍、または約１０倍さえ超えて、大きいことが望ましい。解放可能結合層４５５と下にあるプラテンインターフェース本体４５６との間のより高い接着結合強度は、上部パッド４１０を割り送りするプロセス中に解放可能結合層４５５と上部パッド４１０とが互いから分離される時に、解放可能結合層４５５の一部（例えば、接着層４５７Ｂおよび／またはインターフェース層４５７Ａ）が、上部パッド４１０の方に付着し、かつプラテンインターフェース本体４５６から分離するのを防ぐ。１つ以上の研磨プロセスおよびその後の割り送りステップ中に、解放可能結合層４５５の一部が上部パッド４１０に付着したままであり、他の部分がプラテンインターフェース本体４５６に付着したままである場合、上部パッド４１０に付着した解放可能結合層４５５の部分が、プラテンインターフェースアセンブリ４２０を横切って増分的に割り送りされるので、ウェハ間処理結果の問題が、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の様々な局所領域における層の積み重ねのばらつきにより発生する可能性がある。上部パッド４１０およびプラテンインターフェースアセンブリ４２０の積み重ねおよび／または積み重ねのばらつきは、研磨プロセスの結果（例えば、ウェハ内およびウェハ間）に、および改良された研磨物品の上部パッド４１０の薄い性質によりパッド特性に、相当な影響を及ぼし得ることが分かっている。
［００９４］上部パッド４１０の表面４１４への付着と比較して、下にあるプラテンインターフェース本体４５６への解放可能結合層４５５の優先的な付着は、プラテンインターフェース本体４５６と上部パッド４１０の両方を形成するために使用される適切な材料の選択によって、上部パッド４１０の表面４１４の表面特性およびプラテンインターフェース本体４５６の表面４５２の表面特性を調整することによって、および／または上部パッド４１０の表面４１４およびプラテンインターフェース本体４５６の表面４５２と接合する解放可能結合層４５５の表面の特性を調整することによって、制御することもできる。上部パッド４１０の表面４１４およびプラテンインターフェース本体４５６の表面４５２の表面特性は、所望の表面の表面エネルギーまたは物理的トポグラフィを調整する化学的または機械的処理の使用により調整することができる。
［００９５］いくつかの構成では、解放可能結合層４５５が上部パッド４１０の表面４１４から分離可能であるが、それにもかかわらず研磨中に上部パッド４１０を所定の位置に保持できることを保証するために、解放可能結合層４５５は、業界標準のＰＳＴＣ－１テスト方法を使用して測定した時に横方向１インチ当たり約２５オンス未満の結合強度、例えば、約１オンス／インチから２５オンス／インチの間の結合強度、または約１オンス／インチから２０オンス／インチの間の結合強度に同等な接着結合強度を、上部パッド４１０の表面４１４と解放可能結合層４５５の表面４５５Ａとの間の境界面に形成するように構成される。上部パッド４１０の表面４１４と解放可能結合層４５５の表面４５５Ａとの間に形成される結合強度を制御するために、表面４１４における上部パッド材料の表面特性を、所望の結合強度を達成するように調整することができる。一構成では、上部パッド４１０の表面４１４の表面粗さが、表面４１４と解放可能結合層４５５との間の所望の結合強度を達成するように制御される。一構成では、表面４１４は、所望の結合強度を達成するために、約２マイクロインチから約２５０マイクロインチの算術平均高さ（Ｓａ）、例えば、約８～約２００マイクロインチのＳａ表面粗さ、約８５～約２００マイクロインチの表面粗さ、または約１００～約１８０マイクロインチの表面粗さでさえも、達成するように、意図的に変更される。表面が粗いほど、中実ＰＳＡ層材料の表面とそれと接合する接触面（すなわち、表面４１４）との間で生成される結合強度は、低くなる傾向があることが、一般にわかっている。
［００９６］プラテンインターフェースアセンブリ４２０のいくつかの代替実施形態では、インターフェース層４５７Ａは、インターフェース層４５７Ａをプラテンインターフェース本体４５６の表面に直接取り付けるために使用されるプロセス中に、インターフェース層４５７Ａとプラテンインターフェース本体４５６との境界面で生成される分子スケールの混合、鎖の絡み合いおよび／または化学結合により、プラテンインターフェース本体４５６を形成するために使用される材料に直接結合される。いくつかの実施形態では、インターフェース層４５７Ａおよびプラテンインターフェース本体４５６を形成するために使用される材料は、それらが互いに適合し、または類似のモノマーもしくはポリマー構造を有し、それにより、インターフェース層４５７Ａおよびプラテンインターフェース本体４５６を形成するために使用される材料間で、分子スケールの混合、鎖の絡み合いおよび／または化学結合が起こり得るように、選択される。
［００９７］プラテンインターフェースアセンブリ４２０のいくつかの実施態様では、解放可能結合層４５５のインターフェース層４５７Ａは、シリコーン系材料、天然ゴムまたは合成ゴムなどの材料を含むことができる中実の層を含む。一実施形態では、インターフェース層４５７Ａは、スチレンブタジエン（ＳＢＲ）、ポリアクリル、ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡ）、またはシリコーンから選択される材料を含む。一例では、インターフェース層４５７Ａは、ショアＡスケールで２０～５０のデュロメータを有するシリコーン系材料、例えば、ショアＡスケールで４０～５０のデュロメータを有するシリコーン材料などを、含む。しかしながら、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の表面４５５Ａを上部パッド４１０と解放可能に結合するために、シリコーンの代わりに他の適切な材料が使用されてもよい。解放可能結合層４５５の硬さは、上部パッド４１０および任意選択のプラテンインターフェースアセンブリ４２０の積み重ねの圧縮の静的および動的機械的特性への影響により、研磨プロセスの均一性およびグローバル平坦化に大きな影響を及ぼし得ることが、見出された。いくつかの構成では、解放可能結合層４５５は、上部パッド４１０の厚さ以下の厚さであるため、解放可能結合層４５５の機械的特性は、上部パッド４１０、解放可能結合層４５５および他のプラテンインターフェースアセンブリ４２０の構成要素の積み重ねの特性を支配しない。一実施態様では、解放可能結合層４５５は、０．０３０インチ以下の、例えば約０．０１０インチ以下の、厚さを有する。いくつかの構成では、解放可能結合層４５５は、約０．０１０インチ以下の厚さであるが、上部パッド４１０およびプラテンインターフェースアセンブリ４２０の積み重ねの表面全体の研磨特性が均一であることを保証するために、プラテンインターフェース本体４５６の表面４５２を完全に覆うのに十分な厚さであることが望ましい。
［００９８］上部パッド４１０、プラテンインターフェースアセンブリ４２０、および解放可能結合層４５５を含む望ましく構成された改良された研磨物品アセンブリが、研磨中に圧縮状態に置かれた時に（例えば、図３Ｂおよび図４Ｂの力Ｆ１およびＦ２）、解放可能結合層４５５の表面特性（すなわち、表面４５５Ａ）は、研磨プロセス中に上部パッド４１０とプラテンインターフェースアセンブリ４２０との間で横方向の動き、またはスリップを防ぐ大きな静止摩擦力Ｆｓ（図４Ｂ（例えば、非動的摩擦力）を参照）を生成するように選択することができることが、見出された。静止摩擦力は、Ｆｓ＝μｓ・Ｎであり、ここで、μｓは静止摩擦係数、Ｎは、摩擦力が生成されている表面に加えられた垂直抗力である。また、上部パッド４１０とプラテンインターフェースアセンブリ４２０との間に十分に大きな静止摩擦力Ｆｓ（すなわち、反力Ｆｓ（すなわち、図４Ｂの下側の摩擦力Ｆｓ））を形成することにより、局所的な隆起またはしわが、研磨プロセス中に基板および保持リングの表面と上部パッド４１０の上面との間に生じる摩擦力（すなわち、図４Ｂの上側の摩擦力Ｆｓ）により上部パッド４１０の研磨表面に形成される生成されたせん断応力により、薄い上部パッド４１０に形成されるのを、防ぐことができることも分かった。上部パッド４１０とプラテンインターフェースアセンブリ４２０との境界面に形成される生成された静止摩擦力によって上部パッド４１０に供給される支持は、研磨プロセス中に上部パッド４１０の上面に対する基板および保持リングの動きによって生じる生成されたせん断応力による、上部パッド４１０の研磨表面４１２およびパッド本体４３０を形成するために使用されるポリマー材料への損傷を、防ぐことにおいて重要な因子である。ポリマー材料の損傷は、個別的要素４４０およびパッド本体４３０を形成するために使用される材料の引き裂きまたは引き伸ばしを引き起こす可能性のある変形を含み得る。
［００９９］いくつかの実施形態では、表面４１４における上部パッド４１０の材料および表面特性、ならびに表面４５５Ａにおけるインターフェース層４５７Ａの材料および表面特性を、ＡＳＴＭ１８９４－１４規格に従って測定された時に、約１．５１から約１．６５の間の静止摩擦係数（μｓ）値が、これらの材料によって達成されるように、選択することが望ましい。しかしながら、一般に、測定された静止摩擦係数は、約１．５１より大きい、例えば１．５８より大きい、または１．６５より大きくさえあることが、望ましい。これらの測定された静止摩擦係数を達成するために使用された表面４１４の粗さは、約２００マイクロインチ（μ－ｉｎ）の算術平均高さ（Ｓａ）値を有していた。これらの静止摩擦係数の測定を実行するために使用された上部パッド４１０は、測定時に約２０℃の温度であった０．０１０インチ厚のポリプロピレンシート材料を含んでいた。したがって、一例では、ＡＳＴＭ１８９４－１４測定規格に従って２００グラム（ｇ）の荷重を使用して測定した時に、約２．９ニュートン（Ｎ）から約３．２Ｎの間の静止摩擦力が達成されるように、表面４１４での上部パッド４１０の材料および表面特性、ならびに表面４５５Ａでのインターフェース層４５７Ａの材料および表面特性を選択することが、望ましい。インターフェース層４５７Ａの表面４５５Ａと接触して配置されている表面４１４の粗さを変えると、測定された摩擦係数および測定された摩擦力が変化する。例えば、表面４１４のより滑らかな表面仕上げは、おそらくは、接合面間の接触面積の増加により、測定された摩擦係数および測定された摩擦力を増加させると、考えられている。しかしながら、本明細書で提供される方法論は、インターフェース層４５７Ａの表面４５５Ａの表面エネルギーおよび／またはインターフェース層４５７Ａの使用によって生成される摩擦係数が、通常の研磨プロセス中に保持リングと基板によって研磨表面４１２に生成または加えられる摩擦力による接合面での滑りを防止するのに十分大きいかどうかを定量化する方法を提供すると、考えられている。言い換えれば、通常の研磨プロセス中に保持リングと基板によって生成される摩擦力は、同じ荷重の下で生成される静止摩擦力よりも小さくなる。
［００１００］一構成では、上部パッド４１０の表面４１４の表面粗さおよび／またはプラテンインターフェース本体４５６の表面４５６Ａ（図４Ｂ）の表面粗さは、表面４１４と解放可能結合層４５５の表面４５５Ａとの間の横方向の滑り運動を防止するために、表面４１４と解放可能結合層４５５との間に十分に大きな静止摩擦力Ｆｓを達成するように、制御される。静止摩擦力は、上部パッド４１０の表面と解放可能結合層４５５との間に形成される解放可能結合の接着強度を制御する（例えば、増加させる）ことにより、強化することができる。一構成では、表面４１４と解放可能結合層４５５との間に十分に大きな静止摩擦力を達成するために、表面４５６Ａが、約３２マイクロインチから約１０００マイクロインチの間の算術平均高さ（Ｓａ）表面粗さ、例えば、約６４～約５００マイクロインチの算術平均高さ（Ｓａ）、約１２５～約５００マイクロインチのＳａ表面粗さ、または約２５０マイクロインチ～約５００マイクロインチのＳａ表面粗さすらも達成するように、意図的に変更される。この構成において、表面４５６Ａに形成された大きな粗さは、表面４５６Ａ上の形成された粗さ、または解放可能結合層４５５を貫通する粗さピークの一部の突出による解放可能結合層４５５の滑らかでないトポグラフィによる、解放可能結合層４５５と表面４１４との接触面積を制御するために、使用することができる。
［００１０１］上部パッドの裏側に真空圧を加えることによって生成される真空力は、研磨プロセス中に生成される生成された摩擦力（すなわち、図４Ｂの上側の摩擦力Ｆｓ）による上部パッド４１０のＸおよび／またはＹ方向の横方向変形による上部パッド４１０の局所的な隆起またはしわの形成を防止するのに完全に効果的というわけではないことが、わかった。基板研磨プロセス中の上部パッド４１０の望ましくない横方向の変形は、上部パッド４１０のテクスチャ付き研磨表面４１２に損傷を引き起こし、上部パッド４１０／基板境界面に粒子を生成し、研磨されている基板の表面にスクラッチを生成する可能性がある。また、流体管理システム２３２によって生成される真空生成された力により、プラテンインターフェースアセンブリ４２０内の構成要素が、真空生成された荷重のために圧縮し、したがって、研磨中の支持要素のスタックにおけるそれらの有効性を制限する。真空生成された荷重によるプラテンインターフェースアセンブリ４２０の圧縮状態は、前もって荷重が加えられた状態によりプラテンインターフェースアセンブリ４２０の静的および動的特性に影響を与える可能性がある。
［００１０２］一般に、本明細書で提供される議論は、プラテンインターフェース本体４５６に優先的に結合され、したがって上部パッド４１０の下面に解放可能に付着しているものとして、解放可能結合層４５５を説明するが、本明細書で提供される開示の範囲を限定することなく、解放可能結合層４５５がプラテンインターフェースアセンブリ４２０の表面４５２に代替的に解放可能に付着することができるように、解放可能結合層４５５が上部パッド４１０の下面に代替的に結合することができるので、この構成は、本明細書で提供される開示の範囲に関して限定することを意図しない。しかしながら、改良された研磨物品１２３のこの代替構成は、ロールツーロール構成で使用される場合、いくつかの欠点を有する可能性がある。例えば、解放可能結合層４５５の露出面が、プラテンインターフェースアセンブリ４２０と接触するように配置される前および後に、供給ロール２５４と巻き取りロール２５２との間に延びる上部パッド４１０の保護されていない長さのため、研磨環境に曝される。
改良された研磨物品の構成例
［００１０３］図４Ａ～図４Ｃに戻って、改良された研磨物品４００は、研磨中にプラテンインターフェースアセンブリ４２０上に配置されるパッド本体４３０を有する上部パッド４１０を含む。上部パッド４１０は、パッド本体４３０を画定する、テクスチャ付き研磨表面４１２および反対側の底面４１４を有する。図４Ｅは、図４Ａに示されている改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２の一部分の拡大概略側面図である。テクスチャ付き研磨表面４１２は、改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２から延びる複数のマイクロフィーチャまたは個別的要素４４０を含む。一実施態様では、テクスチャ付き研磨表面４１２は、エンボス加工、機械加工、付加製造技術、エッチング、または上部パッド４１０の表面に隆起した表面テクスチャを形成する他の方法によって形成される。一実施態様では、テクスチャ付き研磨表面４１２の個別的要素４４０は、約１ミクロンから約５０ミクロン（例えば、約５ミクロンから約３０ミクロン、約１０ミクロンから約２０ミクロン、または約５ミクロンから約１０ミクロン）の平均高さ「ｈ」を有する。いくつかの実施態様では、隆起した表面テクスチャによって形成されたテクスチャは、上部パッド４１０の研磨表面と平行な平面にわたって均一な高さを有する。個別的要素４４０の均一な高さは、実質的に全ての個別的要素４４０が平均突出ピーク高さ（Ｓｐｋ）の±２０％以内に入ることとして定義することができ、これについては以下でさらに説明する。一例では、均一な個別的要素の高さは、実質的に全ての個別的要素４４０が、６μｍの突出ピーク高さ（Ｓｐｋ）に対して±１．２μｍの範囲内に入ることを、必要とする。さらに、いくつかの実施態様では、隆起した表面テクスチャによって形成されたテクスチャは、上部パッド４１０の研磨表面と平行な平面内で空間的に均一または実質的に空間的に均一である。いくつかの実施態様では、個別的要素４４０は、上部パッド４１０の研磨表面と平行な平面内で互いに対して空間的に変化している、または実質的に空間的に変化している。
［００１０４］いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約１μｍ～約３０μｍ（例えば、約１μｍ～約２０μｍ、約１μｍ～約１０μｍ、約４μｍ～約７μｍ、約５μｍ～約７μｍ、約４μｍ～約６μｍ、または約５μｍ～約１０μｍ）の突出ピーク高さ（Ｓｐｋ）を有する。
［００１０５］図４Ａに示されるように、テクスチャ付き研磨表面４１２は、凹部領域４４９によって少なくとも部分的に囲まれた突出領域４４８をそれぞれが含む複数のマクロフィーチャ４４７を、任意選択でさらに含むことができる。任意選択のマクロフィーチャ４４７は、研磨表面４１２に形成された個別的要素４４０よりも高さおよび横幅が著しく大きく、例えば約２、３または４桁大きい。任意選択のマクロフィーチャ４４７は、研磨表面４１２全体にわたっての、かつ改良された研磨物品の表面全体に形成されている隣接する溝（例えば、図６Ａ～図６Ｇの溝６３２、６４２、６５４、６６４、６７４、または６８４）間における、研磨中のスラリ材料のチャネリングを強化するために形成されてもよい。図４Ａは、マクロフィーチャ４４７を含む改良された研磨物品４００を示すが、改良された研磨物品４００は、マクロフィーチャ４４７を含む必要はなく、したがって、図４Ｂ～図４Ｃに示すような、その上に形成された複数の個別的要素４４０を含む、概ね平面の研磨表面４１２を有するであろうから、この構成は、本明細書で提供される開示に関して限定することを意図していない。図４Ｂ～図４Ｃに示されている改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２は、図４Ｅに示される研磨表面４１２の拡大図に示される複数の個別的要素４４０を同様に含むことが、わかるであろう。
［００１０６］上部パッド４１０は、通常、合成材料から形成される。適切な合成材料の非限定的な例は、ポリマー膜または熱可塑性膜などの膜、支持可能なポリマーを含むウェブなどを含む。適切な前駆体ウェブは、これらの材料のラミネートまたは調製物をさらに含む。一実施態様では、上部パッド４１０は、ポリマーシートまたは膜である。いくつかの非限定的な実施態様では、上部パッド４１０は、非多孔性ポリマー材料を含む。適切なポリマー膜は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）（例えば、ＴＥＦＬＯＮ）、ポリアミド（例えば、ナイロン）、ポリウレタン、またはそれらの組み合わせなどのポリマー材料から成る熱可塑性膜を含む。適切なポリマー膜は、ポリマーの調製物または混合物を含むことができる。一実施態様では、上部パッド４１０は、ポリプロピレン系シートである。一実施形態では、上部パッド４１０は、ポリプロピレン（ＰＰ）を本質的に含む。
［００１０７］いくつかの実施態様では、本明細書に記載の改良された研磨物品は、実質的に透明であり、したがって、終点検出システムの光学式検出器によって使用される光ビームの波長範囲にわたって少なくとも約２５％（例えば、少なくとも約５０％、少なくとも約８０％、少なくとも約９０％、または少なくとも約９５％）の光透過を伝えることができるポリマー材料から形成されてもよい。典型的な光学式終点検出波長範囲には、可視スペクトル（例えば、約４００ｎｍ～約８００ｎｍ）、紫外（ＵＶ）スペクトル（例えば、約２８０ｎｍ～約４００ｎｍ）、および／または赤外スペクトル（例えば、約８００ｎｍ～約１５５０ｎｍ）が含まれる。一実施態様では、改良された研磨物品は、２８０～８００ｎｍの波長で＞３５％の透過率を有するポリマー材料から形成される。一実施態様では、改良された研磨物品は、２８０～３９９ｎｍの波長で＞３５％の透過率を有し、４００～８００ｎｍの波長で＞７０％の透過率を有するポリマー材料から形成される。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、研磨スラリの屈折率とほぼ同じ低い屈折率を持ち、空気／パッド／水の境界面からの反射を減らして、改良された研磨物品を通過して基板との間を往復する光の透過を改善するために、高い光学的透明度を持つポリマー材料から形成される。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、光学式検査ビームの１つ以上の波長（たとえば、ＵＶ波長）への長期曝露により黄色または琥珀色にならないポリマー材料から形成される。
［００１０８］いくつかの実施態様では、上部パッド４１０のパッド本体４３０の厚さ「Ｔ」は、通常、約０．００１インチから約０．０３５インチの範囲である。いくつかの実施態様では、パッド本体４３０の厚さ「Ｔ」は、通常、約０．００１インチ（０．０２５４ｍｍ）から約０．０２５インチ（０．６３５ｍｍ）（例えば、約０．０１２インチ（０．３０５ｍｍ）から約０．０２５インチ、約０．０１５インチ（０．３８１ｍｍ）から約０．０２０インチ（０．５０８ｍｍ）、約０．００３インチ（０．０７６ｍｍ）から約０．０１９インチ（０．４８３ｍｍ）、約０．００６インチ（０．１５２ｍｍ）から約０．０１８インチ（０．４６０ｍｍ）または約０．０１０インチ（０．２５４ｍｍ）から約０．０１７インチ（０．４３２ｍｍ））の範囲である。他の実施態様では、パッド本体４３０の厚さ「Ｔ」は、約０．６４ｍｍ以下、約０．５１ｍｍ以下、または約０．４８ｍｍ以下、または約０．４６ｍｍ以下でさえある。上部パッド４１０の所望の特性に応じて、他の適切な厚さが使用されてもよい。
［００１０９］一実施態様では、上部パッド４１０は、シート状に形成された材料の単一層を含む。別の実施態様では、上部パッド４１０は、２つ以上の材料のラミネートを含み、共押出しラミネートアセンブリであってもよい。例えば、上部パッド４１０は、２つ以上の層を含むことができ、例えば、上部パッド４１０は、３つの層を含むことができ、最も内側の層はコア層と呼ばれ、最も外側の２つの層はスキン層と呼ばれる。一実施態様では、上部パッド４１０は、約０．００１インチから約０．０３５インチの範囲の全厚を有する２層共押出しラミネートを含む。いくつかの実施態様では、上部パッド４１０は、約０．００１インチから約０．０２５インチ、または約０．００３インチから約０．０１８インチ、または約０．００６インチから約０．０１８インチ、または約０．０１０インチから約０．０１７インチ、または約０．０１２インチから約０．０１６インチの範囲の全厚を有する２層共押出しラミネートを含む。
［００１１０］一実施態様では、上部パッド４１０のラミネート版の層は、異なる機械的特性、例えば、応力－歪み、弾性特性および／または動的機械的特性などを、それぞれが有するポリマー層またはシートを含むことができる。上部パッド４１０は、ポリマー膜を製造するための従来の手順を使用して作製することができる。上部パッド４１０の、テクスチャ付き研磨表面４１２および反対側の底面４１４はそれぞれ、これらのフィーチャ（例えば、個別的要素４４０）を形成するために使用される１つ以上の手順、例えば、エッチング、またはポリマー膜の表面のエンボス加工などの機械的プロセスを使用して、テクスチャを付けることができる。
［００１１１］複数の個別的延長要素４４０は、上部パッド４１０の突出延長部として、一般にそのテクスチャ付き研磨表面４１２上に、形成される。テクスチャ付き研磨表面４１２上の複数の個別的延長要素４４０の数、サイズ、および分布は、上部パッド４１０の所望の研磨特性に基づいて予め決定することができる。ほとんどの研磨用途では、複数の個別的延長要素４４０が、上部パッド４１０の１つの表面（たとえば、上面）からのみ突出することが、望まれ得る。いくつかの実施態様では、上部パッド４１０は、実質的に同様の高さおよび様々な横方向間隔を有するマイクロフィーチャ（例えば、延長要素４４０）のランダムな、セミランダムな、または均一な（例えば、長い距離にわたって繰り返す）テクスチャを含む。
［００１１２］図４Ａ～図４Ｃおよび図４Ｅを参照すると、いくつかの実施態様では、複数の個別的延長要素４４０は、パッド本体４３０の研磨表面４１２から突出しているとして記述することができる。したがって、複数の個別的延長要素４４０は、パッド本体４３０と一体であるとして記述することができる。いくつかの実施態様では、複数の個別的延長要素４４０は、パッド本体４３０の永続的な局所塑性変形によって形成される。いくつかの実施態様では、複数の個別的延長要素４４０は、成形製造技術を使用して形成される。複数の個別的延長要素４４０は、開いた近位部分および開いたまたは閉じた遠位端４４４を画定する側壁４４２を有するとして記述することができる。個別的延長要素４４０はそれぞれ、隣接する延長要素間の最小振幅「Ａｍｉｎ」から開いたまたは閉じた遠位端４４４での最大振幅「Ａｍａｘ」まで測定された高さ「ｈ」（図４Ｅ）を有する。複数の個別的延長要素４４０は、直径「ｄ」を有することができ、これは、概ね円筒形の構造の場合、横方向断面での外径である。「横方向」とは、研磨表面４１２の平面（すなわち、図４ＡのＸ－Ｙ平面）と概ね平行であることを意味する。不均一な横方向断面を有する概ね円柱状の個別的延長要素４４０、および／または非円筒形構造の個別的延長要素４４０の場合、直径「ｄ」は、個別的延長要素の高さ「ｈ」の１／２での平均横方向断面寸法として測定することができる。したがって、個別的延長要素ごとに、ｈ／ｄとして定義されるアスペクト比を決定することができる。個別的延長要素は、少なくとも約０．２、少なくとも約０．３、少なくとも約０．５、少なくとも約０．７５、少なくとも約１、少なくとも約１．５、少なくとも約２、少なくとも約２．５、または少なくとも約３のアスペクト比ｈ／ｄを有することができる。一実施態様では、複数の個別的延長要素４４０は、通常、研磨中に基板から除去されるフィーチャの１０倍以内の高さ「ｈ」を有する。複数の個別的延長要素４４０は、通常、少なくとも約１マイクロメートル～１００マイクロメートル（例えば、約５マイクロメートル～約５０マイクロメートル、約５マイクロメートル～約３０マイクロメートル、約５マイクロメートル～約２０マイクロメートル、約５マイクロメートル～約１０マイクロメートル、または約１マイクロメートル～約１０マイクロメートル）の高さ「ｈ」を有する。個別的延長要素４４０は、通常、約１マイクロメートル～約１，０００マイクロメートル、約５マイクロメートル～約５００マイクロメートル、約５マイクロメートル～約２００マイクロメートル、約６５マイクロメートル～約１００マイクロメートル、または約７５マイクロメートル～約１００マイクロメートルの直径「ｄ」を有する。
［００１１３］一般に、個々の個別的延長要素の実際の高さ「ｈ」を決定することは困難であり、実際の高さは様々であり得るので、テクスチャ付き研磨表面４１２の所定の領域にわたっての平均最小振幅「Ａｍｉｎ」および平均最大振幅「Ａｍａｘ」を決定することにより、複数の個別的延長要素４４０の平均高さ「ｈａｖｇ」を決定することができる。ここで、寸法は、その表面の平均ピークピーク（例えば、平均ピーク谷間）変動の半分である表面から測定される。そのような平均高さ「ｈａｖｇ」は、通常、上記の高さの範囲内に入る。同様に、様々な断面寸法に対して、複数の個別的延長要素４４０における平均直径「ｄａｖｇ」を決定することができる。そのような平均直径「ｄａｖｇ」は、通常、上記の直径の範囲内に入る。そのような振幅および他の寸法の測定は、コンピュータ支援走査顕微鏡法およびデータ処理などの、当技術分野で知られている任意の方法によって行うことができる。したがって、エンボス加工された上部パッド４１０の所定の部分に対する個別的延長要素４４０の平均アスペクト比「ＡＲａｖｇ」は、ｈａｖｇ／ｄａｖｇとして表すことができる。
［００１１４］一実施態様では、個別的延長要素４４０の直径は、一定であるか、または振幅の増加とともに減少する（振幅は、閉じたまたは開いた遠位端４４４で最大まで増加する）。個別的延長要素４４０の直径、すなわち平均横方向断面寸法は、近位部分で最大であり得、横方向断面寸法は、遠位端４４４まで徐々に減少する。別の実施態様では、個別的延長要素４４０の直径は、振幅の増加とともに増加する。例えば、個別的延長要素４４０は、キノコ形状を有することができる。
［００１１５］テクスチャ付き研磨表面４１２の単位面積当たりの個別的延長要素４４０の数である個別的延長要素４４０の「面積密度」を、最適化することができる。一実施態様では、テクスチャ付き研磨表面４１２は、テクスチャ付き研磨表面４１２の１平方センチメートル当たり約４から約１０，０００、約９５から約１０，０００、約２４０から約１０，０００、約３５０から約１０，０００、約５００から約５，０００、または約７００から約３，０００個の個別的延長要素４４０を含む。一般に、研磨スラリの適切な保持のために、中心間間隔を最適化し、同時に、研磨された基板から除去された材料などの微粒子の、個別的延長要素４４０間での閉じ込めを最小限に抑えることができる。隣接する個別的延長要素４４０間の中心間間隔は、約１００マイクロメートル～約１，０００マイクロメートル、約３０マイクロメートル～約８００マイクロメートル、約１５０マイクロメートル～約６００マイクロメートル、または約１８０マイクロメートル～約５００マイクロメートルであり得る。
［００１１６］表面粗さを明らかにするための技術およびシステムは、当技術分野で周知である。例えば、表面の一部は、任意の適切な方法（例えば、電子顕微鏡画像分析、原子間力顕微鏡法、３Ｄ顕微鏡法など）によって特徴付けることができる。一実施態様では、粗さ分析は、米国ニュージャージー州エルムウッドパークに所在するＫＥＹＥＮＣＥ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａによって製造された、０．５ｎｍのＺ軸解像度を有するＶＫ－Ｘシリーズ３Ｄ ＵＶレーザー走査顕微鏡を使用して実行することができる。以下のパラメータは、表面形状測定顕微鏡（例えば、米国ニュージャージー州エルムウッドパークに所在するＫＥＹＥＮＣＥ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ａｍｅｒｉｃａの製品である超深部形状測定装置）を用いて決定された。
［００１１７］改良された研磨物品のいくつかの実施態様の特徴が、以下の表１でさらに説明される。
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［００１１８］エンボス面積（％）、またはＳｄｒ（つまり、展開界面面積比）値は、ＩＳＯ２５１７８で指定されている膜表面粗さの指標である。Ｓｄｒは、測定領域のサイズの理想的な平面と比較した、テクスチャが寄与する追加の表面積の割合として表される。例えば、定義された測定領域内で大きな表面積の不規則性を有する界面は、大きなＳｄｒ値を持つが、同じサイズの測定領域内の完全に平らな表面のＳｄｒ値は、ゼロである。Ｓｄｒ値は、レーザー走査型共焦点顕微鏡（キーエンスなど）を使用して測定された。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、７０％未満（例えば、６０％未満、５０％未満、または４０％未満）のＳｄｒを有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約５％～約７０％、例えば約１０％～約６５％、約２０％～約５０％、約２０％～約４０％、約６０％～約６５％、約５５％～約６０％、または約４０％～約５０％のＳｄｒを有する。理論に拘束されるものではないが、Ｓｄｒが７０％以下である場合、テクスチャ付き研磨表面は、研磨スラリを十分に保持しながら、ある量の望ましい材料を除去する表面粗さを有するが、Ｓｄｒが７０％を超える場合、スラリ保持および研磨特性が低下すると、考えられている。「エンボス面積」という語句は、研磨パッドの研磨表面の特性を記述するために使用されているが、この語句の使用は、研磨表面に形成された記述されたフィーチャまたはテクスチャの特徴付けられた表面特性を、エンボス加工プロセスによって形成されたフィーチャまたはテクスチャのみに限定することを意図しておらず、したがって、任意の望ましいフィーチャまたはテクスチャ形成方法によって形成されたフィーチャまたはテクスチャを記述するために、「エンボス面積」を使用することができる。
［００１１９］一般に、本明細書では「フィーチャスパン」とも呼ばれるエンボススパンは、測定領域内の粗面のピーク間の平均距離の尺度である。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、９０μｍ未満の、例えば、８０μｍ未満、または７０μｍ未満、または６０μｍ未満などの、「エンボススパン」を有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約５μｍ～約８０μｍ、例えば約１０μｍ～約７０μｍ、または約１０μｍ～約６０μｍ、または約２０μｍ～約４０μｍのエンボススパンを有する。理論に拘束されるものではないが、エンボススパンが８０μｍ以下である場合、テクスチャ付き研磨表面は、研磨スラリを十分に保持しながら、ある量の望ましい材料を除去するエンボススパンを有するが、エンボススパンが９０μｍを超える場合、スラリ保持および研磨特性が低下すると、考えられている。上記で同様に論じたように、「エンボススパン」または「フィーチャスパン」という語句は、研磨パッドの研磨表面の特性を記述するために使用されているが、この語句の使用は、研磨表面に形成された記述されたフィーチャまたはテクスチャの特徴付けられた表面特性を、エンボス加工プロセスによって形成されたフィーチャまたはテクスチャのみに限定することを意図しておらず、したがって、任意の望ましいフィーチャまたはテクスチャ形成方法によって形成されたフィーチャまたはテクスチャを記述するために、「エンボススパン」を使用することができる。
［００１２０］算術平均高さ（Ｓａ）は、ＩＳＯ２５１７８で指定されている膜表面粗さの指標である。Ｓａは、Ｒａ（線の算術平均高さ）の面への拡張である。Ｓａは、表面の算術平均と比較した各点の高さの差を絶対値として表す。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、３０μｍ未満（例えば、２０μｍ未満、１０μｍ未満、または５μｍ未満）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約１μｍ～約３０μｍ（例えば、約１μｍ～約２０μｍ、約１μｍ～約１０μｍ、約２μｍ～約７μｍ、約４μｍ～約７μｍ、約５μｍ～約７μｍ、約４μｍ～約６μｍ、または約５μｍ～約１０μｍ）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約１０μｍ未満、例えば、約７μｍ未満、または約５μｍ未満ですらある算術平均高さ（Ｓａ）を有する。
［００１２１］最大ピーク高さ（Ｓｐ）は、ＩＳＯ２５１７８で指定されている膜表面粗さの指標である。最大ピーク高さ（Ｓｐ）は、定義された領域内での最高ピークを示す。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、６０μｍ未満（例えば、５０μｍ未満、４０μｍ未満、または３０μｍ未満）の最大ピーク高さ（Ｓｐ）を有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約５μｍ～約６０μｍ（例えば、約１０μｍ～約５０μｍ、約２０μｍ～約５０μｍ、約４０μｍ～約５０μｍ、約４０μｍ～約６０μｍ、約３０μｍ～約５０μｍ、または約２０μｍ～約４０μｍ）の最大ピーク高さ（Ｓｐ）を有する。
［００１２２］最大ピット深さ（Ｓｖ）は、ＩＳＯ２５１７８で指定されている膜表面粗さの指標である。最大ピット深さ（Ｓｖ）は、定義された領域内での最大ピットの絶対値を示す。最大ピット深さ（Ｓｖ）は、平均線に沿った評価区間（Ｌ）に対応する粗さプロファイル曲線の部分で観察される最も深い谷の深さを表す。「谷」という用語は、平均線の下の深さプロファイルで観察される窪んだ部分を意味する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、８０μｍ未満（例えば、７０μｍ未満、６０μｍ未満、５０μｍ未満、４０μｍ未満、または３０μｍ未満）の最大ピット深さ（Ｓｖ）を有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約２０μｍ～約８０μｍ（例えば、約３０μｍ～約８０μｍ、約７０μｍ～約８０μｍ、約３０μｍ～約７０μｍ、約３０μｍ～約５０μｍ、または約４０μｍ～約５０μｍ）の最大ピット深さ（Ｓｖ）を有する。
［００１２３］グリッド高さ、またはＳｐｋ（突出ピーク高さ）は、ＩＳＯ２５１７８で指定されている膜表面粗さの指標である。突出ピーク高さ（Ｓｐｋ）は、平均ピークピーク値より上の突出ピークの平均高さの尺度である。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、３０μｍ未満（例えば、２０μｍ未満、１０μｍ未満、または５μｍ未満）の突出ピーク高さ（Ｓｐｋ）を有する。いくつかの実施態様では、テクスチャ付き研磨表面は、約１μｍ～約３０μｍ（例えば、約１μｍ～約２０μｍ、約１μｍ～約１０μｍ、約４μｍ～約７μｍ、約５μｍ～約７μｍ、約４μｍ～約６μｍ、または約５μｍ～約１０μｍ）の突出ピーク高さ（Ｓｐｋ）を有する。
［００１２４］本明細書に記載のタイプの改良された研磨物品の使用によって達成されるプロセス結果は、研磨表面に形成された表面テクスチャが、少なくとも１つ以上の上述の測定値の所望の範囲内の特性を有することを、保証することに依存することが分かった。しかしながら、表面テクスチャが、上述の測定値の１つのみを所望の範囲内に有することを保証することは、一般に、良好な研磨プロセス結果が達成できることを適切に保証するには不十分であることが、分かった。改良された研磨物品の表面特性は、少なくとも２つ以上の上記のパラメータの所望の範囲内に入るように、形成される必要があり得るということが、理解されるであろう。誘電体（例えば、酸化物、窒化物など）または金属（例えば、タングステン、銅など）の半導体ウェハに望ましいプロセス結果を提供するために使用できる測定値の組み合わせの例が、以下に概説される。
［００１２５］一実施態様では、改良された研磨物品は、４５％～６５％のエンボス面積、２０μｍ～４０μｍのエンボススパン、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、４μｍ～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）、３０μｍ～５０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および３０μｍ～８０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）のうちの少なくとも１つを有する粗い研磨表面を持っている。
［００１２６］別の実施態様では、改良された研磨物品は、２０μｍ～４０μｍのエンボススパン、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、および４μｍ～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有する粗い研磨表面を持っている。
［００１２７］さらに別の実施態様では、改良された研磨物品は、７０％未満のエンボス面積、４０μｍ未満のエンボススパン、１ミリメートル当たり３０より大きい平均ピーク密度、および１０μｍ未満の算術平均高さ（Ｓａ）を有する粗い研磨表面を持っている。
［００１２８］さらに別の実施態様では、改良された研磨物品は、６０％～６５％のエンボス面積、２０μｍ～４０μｍのエンボススパン、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、５μｍ～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）、４０μｍ～６０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および７０μｍ～８０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）のうちの少なくとも１つを有する粗い研磨表面を持っている。
［００１２９］さらに別の実施態様では、改良された研磨物品は、６０％～６５％のエンボス面積、２０μｍ～４０μｍのエンボススパン、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、４μｍ～６μｍの算術平均高さ（Ｓａ）、２０μｍ～４０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および３０μｍ～５０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）のうちの少なくとも１つを有する粗い研磨表面を持っている。
［００１３０］さらに別の実施態様では、改良された研磨物品は、５５％～６０％のエンボス面積、２０μｍ～４０μｍのエンボススパン、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、５μｍ～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）、４０μｍ～５０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および４０μｍ～５０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）のうちの少なくとも１つを有する粗い研磨表面を持っている。
［００１３１］さらに別の実施態様では、改良された研磨物品は、４０％～５０％のエンボス面積、２０μｍ～４０μｍのエンボススパン、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、４μｍ～６μｍの算術平均高さ（Ｓａ）、４０μｍ～５０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および４０μｍ～５０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）のうちの少なくとも１つを有する粗い研磨表面を持っている。
代替的な上部パッドの構成例
［００１３２］本明細書で説明する実施態様によれば、上部パッド４１０は、比較的薄く、図２に示す一体型インターフェース層２５０などのプラテンインターフェースを利用して、研磨物品４００の機械的一体性を高め、ならびに／または研磨物品４００の研磨性能を改善および／もしくは調整するために必要なコンプライアンスを提供する。追加的または代替的に、一体型インターフェース層２５０の硬さおよび／または構造は、研磨中に研磨物品４００にさらなるコンプライアンスを提供し得る。
［００１３３］１つの代替実施態様では、一体型インターフェース層２５０は、研磨物品４００内に配置される上部パッド４１０の表面４１４に配置される。一実施態様では、一体型インターフェース層２５０は、ポリマー材料でできている。別の実施態様では、一体型インターフェース層２５０は、第１のプラテンインターフェース４５０、任意選択の第２のプラテンインターフェース４６０、および第３のプラテンインターフェース４７０に類似する少なくとも１つの層を含むように構成され、したがって、サブプレート２３８（図２）またはプラテンアセンブリ（図示せず）上に配置される余分のプラテンインターフェースアセンブリ４２０の構成要素が存在する必要はない。一実施態様では、プラテンインターフェースは、多層プラテンインターフェースである。一実施態様では、プラテンインターフェースは、約０．００５インチから約０．０７０インチ（例えば、約０．００６インチから約０．０６０インチ、約０．０１０インチから約０．０５０インチ、または約０．０３０インチから約０．０５０インチ）の厚さを有する。いくつかの実施態様では、続いて上部パッド４１０をプラテンインターフェースアセンブリ４２０の一部に付着させることができる。いくつかの実施態様では、上部パッド４１０は、プラテンインターフェースアセンブリ４２０から分離されている。
［００１３４］図５Ａは、本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品５００の別の実施態様の拡大概略側面図である。一実施態様では、改良された研磨物品５００は、改良された研磨物品１２３または改良された研磨物品３２３のいずれかの代わりに使用される。改良された研磨物品５００は、テクスチャ付き研磨表面５１２を有する上部パッドアセンブリ５１０を含み、任意選択で、プラテンインターフェースアセンブリ４２０が、上部パッドアセンブリ５１０の下に配置される。上部パッドアセンブリ５１０は、上部パッド層５３０および下部パッド層５２０を含む。プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、下部パッド層５２０の底面５１４に付着されているように示されているが、改良された研磨物品５００がウェブ研磨システム（例えば、図２に示されるロールツーロール構成）で使用されるいくつかの実施態様では、任意選択のプラテンインターフェースアセンブリ４２０は、プラテンインターフェース要素２４０が、図２に示された改良された研磨物品１２３から分離されているのと同様に、上部パッドアセンブリ５１０から分離されている。
［００１３５］代替のロールツーロールの実施態様では、一体型インターフェース層２５０が、図２に示された改良された研磨物品１２３と一体であるのと同様に、任意選択のプラテンインターフェースアセンブリ４２０が、上部パッドアセンブリ５１０と一体になるように、改良された研磨物品５００が、形成される。
［００１３６］改良された研磨物品５００は、２層の上部パッドアセンブリ５１０を有することを除いて、改良された研磨物品４００と同様である。上部パッドアセンブリ５１０は、上部パッド層５３０および下部パッド層５２０を含む。上部パッド層５３０は、テクスチャ付き研磨表面４１２と同様のテクスチャ付き研磨表面５１２を有し、テクスチャ付き研磨表面５１２に形成された複数のマクロフィーチャおよび溝５３２を含む。下部パッド層５２０は、隣接する層である。上部パッド層５３０および下部パッド層５２０は、任意の適切な取り付け方法（例えば、ラミネート、熱接着、接着剤による接着、両面テープ、感圧接着剤など）によって互いに付着されてもよい。いくつかの代替実施態様では、上部パッド層５３０および下部パッド層５２０は、部分的に貫通する溝５３２を有する単一パッドとして製造されてもよい。単一パッドは、約０．０１０インチから約０．０２０インチ、または約０．０１０インチから約０．０１８インチなど、約０．００１インチから約０．０２５インチの合計厚さを有することができる。いずれの場合でも、上部パッド層５３０に形成された溝５３２は、研磨表面５１２から少なくともパッド本体５３４の一部を通って延びる側壁５３２Ａによって少なくとも部分的に画定される。溝５３２の両側に形成される縁部５３２Ｂは、溝５３２の側壁５３２Ａと研磨表面５１２との接合部に形成される。
［００１３７］上部パッド層５３０に形成された溝５３２は、研磨プロセス中に研磨スラリのための局所的なリザーバとして機能することができる。溝５３２は、任意の適切な溝形成方法（例えば、レーザー切断、ウォータージェット切断、型抜き、スタンピング、パンチプレスなど）を使用して、上部パッド層５３０に形成されてもよい。隣接する下部パッド層５２０は、研磨スラリまたは水などの液体が下部パッド層５２０に浸透するのを防ぐ。この構成では、スラリが、形成された溝に保持され、研磨スラリは、一般に下部パッド層５２０に浸透しないので、上部パッド層５３０を通って形成された溝５３２は、研磨スラリの局所的なリザーバになる。研磨中にパッドを押し下げること、および研磨機の清潔さを含む複数の理由のため、スラリが、上部パッド層５３０の溝５３２を通って上部パッドアセンブリ５１０に浸透し、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の構成要素に入ることは、望ましくない。
［００１３８］図５Ａに示されるように、テクスチャ付き研磨表面５１２はまた、凹部領域５４９によって少なくとも部分的に囲まれた突出領域５４８をそれぞれが含む複数のマクロフィーチャ５４７を、任意選択でさらに含むことができる。研磨表面４１２に形成されたマクロフィーチャ４４７と同様に、任意選択のマクロフィーチャ５４７は、研磨表面５１２に形成された個別的要素５４０よりも高さおよび横幅が著しく大きく、例えば約２、３または４桁大きい。図５Ａは、マクロフィーチャ５４７を含む改良された研磨物品５００を示すが、改良された研磨物品５００は、マクロフィーチャ５４７を含む必要はなく、したがって、その上に形成された複数の個別的要素５４０を含む、概ね平面の研磨表面５１２を有するであろうから、この構成は、本明細書で提供される開示に関して限定することを意図していない。
［００１３９］図５Ｂは、図５Ａに示されている改良された研磨物品５００の上部パッド層５３０のテクスチャ付き研磨表面５１２の一部分の拡大概略側面図である。上部パッド層５３０は、パッド本体５３４を画定する、テクスチャ付き研磨表面５１２および反対側の底面５３６を有する。テクスチャ付き研磨表面４１２と同様に、テクスチャ付き研磨表面５１２は、改良された研磨物品５００のテクスチャ付き研磨表面５１２を画定する複数のマイクロフィーチャまたは個別的要素５４０を含む。複数の個別的延長要素５４０は、開いた近位部分および開いたまたは閉じた遠位端５４４を画定する側壁５４２を有するとして記述することができる。一実施態様では、テクスチャ付き研磨表面５１２の個別的要素５４０は、約１ミクロンから約５０ミクロン（例えば、約１ミクロンから約３０ミクロン、約５ミクロンから約３０ミクロン、約１０ミクロンから約２０ミクロン、または約５ミクロンから約１０ミクロン）の平均高さ「ｈ」を有する。一実施態様では、隆起した表面テクスチャは、エンボス加工プロセスを使用して形成される。一実施態様では、隆起した表面テクスチャによって形成されるテクスチャは、均一または実質的に均一である。
［００１４０］上部パッド層５３０は、通常、合成材料を含む。適切な合成材料の非限定的な例は、ポリマー膜または熱可塑性膜などの膜、支持可能なポリマーを含むウェブなどを含む。適切な前駆体ウェブは、これらの材料のラミネートまたは調製物をさらに含む。一実施態様では、上部パッド層５３０は、ポリマーシートまたは膜である。適切なポリマー膜は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリアミド（例えば、ナイロン）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）（例えば、ＴＥＦＬＯＮ）、ポリアミド、ポリウレタン、またはそれらの組み合わせなどの材料から形成される熱可塑性膜を含む。適切なポリマー膜は、ポリマーの調製物または混合物を含むことができる。一実施態様では、上部パッド層５３０は、ポリプロピレン系シートである。一実施形態では、上部パッド層５３０は、ポリプロピレン（ＰＰ）を本質的に含む。
［００１４１］本開示の１つ以上の実施形態によれば、上部パッド４１０または上部パッド５１０のパッド本体４３０もしくはパッド本体５３４および／または下部パッド本体５２４は、それぞれ、３次元（３Ｄ）印刷プロセスなどの付加製造プロセスによって形成することができる。本開示の実施形態は、官能性ポリマー、官能性オリゴマー、モノマー、反応性希釈剤、流動添加剤、硬化剤、光開始剤、および硬化相乗剤を含むがこれに限定されない「樹脂前駆体成分」を含有する前駆体、すなわち樹脂前駆体組成物から形成される１つ以上の材料から形成される、個別的フィーチャおよび幾何学的形状を有する改良された研磨物品を提供する。樹脂前駆体成分はまた、少なくとも単官能性であり、フリーラジカル、ルイス酸、および／または電磁放射に曝された時に重合する可能性のある、官能性ポリマー、官能性オリゴマー、モノマー、および反応性希釈剤などの化学的活性材料および／または化合物を含んでもよい。一例として、改良された研磨物品は、少なくとも１つの樹脂前駆体組成物の自動連続堆積とそれに続く少なくとも１つの硬化ステップにより、複数のポリマー層から形成されてもよく、各層は、少なくとも１つのポリマー組成物、および／または種々の組成物の領域を表してもよい。いくつかの実施形態では、改良された研磨パッドの層および／または領域は、金属、半金属酸化物、炭化物、窒化物および／またはポリマー粒子などの少なくとも１つのフィラーを含有する放射線硬化ポリマーなどの複合材料構造を含んでもよい。いくつかの実施形態では、改良された研磨パッドの層および／または領域は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリアミド（例えば、ナイロン）、およびポリウレタンからなる群から選択される材料を含む複合材料構造を含んでもよい。一実施形態では、改良された研磨パッドは、５０％を超えるポリプロピレン（ＰＰ）、例えば、７０％を超えるポリプロピレン（ＰＰ）、または９０％を超えるポリプロピレン（ＰＰ）、または９９％を超えるポリプロピレン（ＰＰ）などを含むポリマー材料を含む。一実施形態では、改良された研磨パッドは、ポリプロピレン（ＰＰ）を本質的に含む。
［００１４２］テクスチャ付け前の上部パッドアセンブリ５１０の上部パッド層５３０は、通常、約０．００１インチ～約０．０２５インチ（例えば、約０．０１２インチ～約０．０２５インチ、約０．０１５インチ～約０．０２５インチ、約０．００３インチ～約０．０１７インチ、約０．００６インチ～約０．０１７インチ、または約０．０１０インチ～約０．０１５インチ）の範囲の厚さ「ＴＴＬ」を有する。上部パッドアセンブリ５１０の所望の特性に応じて、他の適切な厚さが使用されてもよい。
［００１４３］いくつかの実施態様では、複数の溝５３２は、好ましくは横方向またはほぼ横方向に、上部パッドアセンブリ５１０の上部パッド層５３０のパッド本体５３４の厚さ「ＴＴＬ」を完全に貫通する。しかしながら、上部パッド層５３０は、上部パッド層５３０の厚さ「ＴＴＬ」を完全に通過するのではなく、テクスチャ付き研磨表面５１２から上部パッド層５３０内に、上部パッド層５３０のパッド本体５３４内に所望の距離まで延びる溝を使用してもよい。一実施態様では、溝５３２は、約０．００３インチから約０．０２５インチの間、例えば約０．０１０インチの深さを有する。いくつかの実施態様では、溝５３２の底面は、研磨表面５１２からパッド本体５３４の厚さよりも小さい深さまで延びている。複数の溝５３２が、パッド本体５３４の厚さ「ＴＴＬ」を完全に貫通して延びる、いくつかの実施態様では、下部パッド層５２０の上面５２２が、溝５３２の底部を画定する。一実施態様では、溝５３２は、上部パッドアセンブリ５１０を貫通して、例えばテクスチャ付き研磨表面５１２から底面５１４まで、延びる。
［００１４４］一実施態様では、溝５３２は、約０．０５インチ～約０．５０インチ（例えば、約０．１０インチ～約０．４０インチ、約０．１５インチ～約０．３０インチ、約０．１５インチ～約０．２０インチ、または約０．１８インチ～約０．２０インチ）の幅を有する。一実施態様では、隣接する溝５３２間の間隔は、約０．５インチ～約２．５インチ（例えば、約１インチ～約２インチ、約１インチ～約２インチ、または約１インチ～約１．５インチ）である。
［００１４５］下部パッド層５２０は、下部パッド本体５２４を画定する、上面５２２および反対側の底面５１４を有する。いくつかの実施態様では、上面５２２に、テクスチャが付けられている。上面５２２のテクスチャは、テクスチャ付き研磨表面４１２およびテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。いくつかの実施態様では、溝５３２の底部は、下部パッド層５２０の上面５２２によって画定される。いくつかの構成では、上面５２２は、溝５３２の底面における下部パッド本体５２４の少なくとも露出部分にテクスチャが付けられているように、テクスチャが付けられている。理論に拘束されるものではないが、溝５３２の底面における下部パッド本体５２４の露出部分の領域にテクスチャを付けることは、露出したテクスチャ付き部分が、処理中にスラリの動きのような流体に対する障害物として作用する、したがって、スラリを「つかむ」傾向があるため、溝に研磨スラリを保持するのに役立つと、考えられている。
［００１４６］上部パッドアセンブリ５１０の下部パッド層５２０は、通常、約０．００１インチ～約０．０２５インチ（例えば、約０．００３インチ～約０．０１７インチ、約０．００６インチ～約０．０１７インチ、または約０．０１０インチ～約０．０１５インチ）の範囲の厚さ「ＴＴＬ」を有する。上部パッドアセンブリ５１０の所望の特性に応じて、他の適切な厚さが使用されてもよい。
［００１４７］下部パッド層５２０は、通常、合成材料を含む。適切な合成材料の非限定的な例は、ポリマー膜または熱可塑性膜などの膜、支持可能なポリマーを含むウェブなどを含む。適切な前駆体ウェブは、これらの材料のラミネートまたは調製物をさらに含む。一実施態様では、下部パッド層５２０は、ポリマーシートまたは膜である。適切なポリマー膜は、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビニルアルコール（ＰＶＡ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）（例えば、ＴＥＦＬＯＮ）、ポリアミド（例えば、ナイロン）、ポリウレタン、またはそれらの組み合わせなどの材料から成る熱可塑性膜を含む。適切なポリマー膜は、ポリマーの調製物または混合物を含むことができる。一実施態様では、下部パッド層５２０は、ポリプロピレン系シートである。
［００１４８］いくつかの実施態様では、上部パッド層５３０は、任意の適切な取り付け方法（例えば、ラミネート、接着剤による接着、両面テープ、感圧接着剤など）によって下部パッド層５２０に付着される。例えば、下部パッド層５２０の上面５２２は、上部パッド層５３０の底面５３６に付着されてもよい。
［００１４９］いくつかの実施態様では、上部パッドアセンブリ５１０は、任意の適切な取り付け方法（例えば、ラミネート、接着剤による接着、両面テープ、感圧接着剤など）によってプラテンインターフェースアセンブリ４２０に付着される。例えば、第１のプラテンインターフェース４５０の第１の表面４５２が、下部パッド層５２０の底面５１４に付着されてもよい。
［００１５０］いくつかの実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０の第１の表面４５２上のシリコーン層が、研磨中にプラテンインターフェースアセンブリ４２０を上部パッドアセンブリ５１０に結合するが、研磨荷重がかかっていない時に、プラテンインターフェースアセンブリ４２０および上部パッドアセンブリ５１０が互いから離れることを可能にし、それにより、研磨パッドをウェハ間で前進させることができるという利点がある。いくつかの実施態様では、シリコーンは、４０～５０デュロメータショアＡのシリコーンであり、圧縮下に置かれた場合、プラテンインターフェイスアセンブリ４２０と上部パッドアセンブリ５１０の底面５１４とを、単一の物品であるかのように効果的に結合させる、極めて高い横方向の摩擦を提供する。
［００１５１］いくつかの実施態様では、第１のプラテンインターフェース４５０の第１の表面４５２は、本明細書で議論されているような解放可能結合層４５５（図４Ｂ～図４Ｃ）と同様の解放可能取り付け層によって上部パッドアセンブリ５１０の底面５１４に解放可能に付着される。この構成では、プラテンインターフェースアセンブリ４２０は、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の下に配置されたプラテンアセンブリ（図示せず）の表面に固定的に取り付けられるか、結合されるか、または付着される。
［００１５２］図６Ａは、溝６３２が形成されたテクスチャ付き研磨表面６１２を有する改良された研磨物品６００ａの概略上面図である。一実施態様では、改良された研磨物品６００ａは、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００または改良された研磨物品５００の一部を形成するか、またはそれらの代わりに使用することができる。テクスチャ付き研磨表面６１２は、図４Ｅおよび図５Ｂに示されるような、テクスチャ付き研磨表面４１２およびテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。溝６３２は、上述のような、改良された研磨物品５００の溝５３２と同様の物理的寸法および特性を有し得る。改良された研磨物品６００ａの溝６３２のパターンは、２方向の溝（例えば、ｘ方向およびｙ方向の両方に延びる溝）を含む。図６ＡにはＸ－Ｙ溝パターンが描かれているが、本明細書で説明する実施態様は、正弦波、鋸歯、螺旋、六角形、円形、および研磨プロセス中に研磨されている基板１２２の下に閉じ込められた研磨スラリの「排出」を可能にする任意の他の溝パターンを含む他の溝パターンを想定している。加えて、各溝６３２の縁部は直線状縁部として描かれているが、本明細書に記載の実施態様は、１つ以上の湾曲縁部、円形縁部、正弦波縁部、および任意の他の非直線状縁部を含む他の縁部設計を想定していることを理解されたい。溝の縁部の形状を設計することは、研磨中にパッド表面に対して移動している研磨物品（例えば、基板またはウェハ）の縁部が、物品がパッド表面に押し付けられ、溝および溝の縁部を横切る方向（例えば、非平行方向）に移動している時に、溝の縁部（例えば、溝の後縁部）と衝突するのを防ぐのに、有益である。理論に拘束されるものではないが、基板の下の過剰な研磨スラリが、研磨プロセス中に基板の下から押し出されるように、溝は、研磨されている基板の下ではない領域と連通すべきであると、考えられている。
［００１５３］いくつかの実施態様では、改良された研磨物品に形成された溝の大部分の、水平方向の溝長さ６２１（例えば、ＸＹ平面内の長さ）、研磨中の基板の移動軸６２５に対する溝の向き、改良された研磨物品がロールツーロールパッド構成で割り送りされる軸（すなわち、図６Ｃの割り送り軸６２６）に対する溝の向き、および溝パターンが、研磨されている基板の下に閉じ込められたスラリが逃げるための経路を提供するように構成されていることを、保証することが望ましい。ほとんどの水性スラリ材料の非圧縮性の性質は、スラリの逃げ道が提供されない場合、改良された研磨物品の表面を横切って基板を「ハイドロプレーン」させる傾向があるため、移動している基板の下に閉じ込められたスラリの逃げ道を提供することにより、基板は、改良された研磨物品の表面に形成されたテクスチャのピークに、より均一に接触することができると、考えられている。したがって、いくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、基板の主要寸法Ｄ（図６Ｃ）（例えば、円形の半導体基板の直径）よりも長い、場合によっては、処理中に基板１２２を囲む保持リング３０９の外径よりも長い、少なくとも１つの溝を含む。いくつかの実施態様では、改良された研磨物品は、基板が改良された研磨物品に対して移動している間、各溝の少なくとも一部が常に基板の縁部を越えて延びるように、互いに対して配向された２つ以上の溝を含む。一実施態様では、処理中に基板が、改良された研磨物品に対して移動している時に、２つ以上の溝がそれぞれ反対方向に基板の縁部を越えて延びるように、２つ以上の溝が、互いに対して配向されている。
［００１５４］図６Ｂは、溝６４２が形成されたテクスチャ付き研磨表面６２２を有する改良された研磨物品６００ｂの概略上面図である。一実施態様では、改良された研磨物品６００ｂは、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００、または改良された研磨物品５００の一部を形成するか、またはそれらの代わりに使用することができる。テクスチャ付き研磨表面６２２は、改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２および改良された研磨物品５００のテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。溝６４２は、改良された研磨物品５００の溝５３２と同様である。改良された研磨物品６００ｂの溝６４２は、鋸歯状パターンの溝６４２を形成する。
［００１５５］図６Ｃは、中に形成された溝６５４の配列を含むテクスチャ付き研磨表面６５２を有するロールツーロールタイプの改良された研磨物品６００ｃの一部分の概略上面図である。一実施態様では、改良された研磨物品６００ｃは、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００、または改良された研磨物品５００の一部を形成するか、またはそれらの代わりに使用することができる。テクスチャ付き研磨表面６５２は、改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２および改良された研磨物品５００のテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。溝６５４は、改良された研磨物品５００の溝５３２と同様である。改良された研磨物品６００ｃの溝６５４は、割り送り軸６２６と直角に（例えば、改良された研磨物品６００ｃの長さ方向と直角に）および／または移動軸６２５と平行に揃えられた鋸歯状パターンの溝６５４を形成する。溝６５４は、改良された研磨物品６００ｄの幅方向に沿って延び、割り送り軸６２６方向に間隔を空けて配置されている。一実施態様では、溝６５４は、各個々の溝の幅よりも大きい溝間隔（隣接する溝の中心から中心までが測定される）を有する。一実施態様では、この溝パターンの溝６５４は、約０．０３０インチから約０．１９０インチの間の幅、および約０．５インチから約２．５インチの間の溝間隔または溝ピッチ（隣接する溝の中心から中心まで）を有する。別の実施態様では、各個々の溝６５４の幅は、隣接する溝間の溝間隔よりも大きい。
［００１５６］上述のように、いくつかの実施態様では、改良された研磨物品に形成された溝の大部分の、水平方向の溝長さ６２１（例えば、ＸＹ平面内の方向）、研磨中の基板の移動軸６２５に対する溝の向き、改良された研磨物品がロールツーロールパッド構成で割り送りされる軸に対する溝の向き、および溝パターンが、研磨されている基板の下に閉じ込められたスラリが逃げるための経路を提供するように構成されていることを、保証することが望ましい。ロールツーロール構成で使用される改良された研磨物品のいくつかの実施態様では、形成された溝の配列（例えば、鋸歯状パターンの溝６５４）の溝パターンおよび移動軸６２５に対する溝の向きが、研磨中に研磨パッドが所望の距離だけ増分されても、改良された研磨物品のロールの異なる部分で処理される各基板が、実質的に同じ研磨表面と溝の数を経験するようなものであることを、保証することが望ましい。
［００１５７］図６Ｄは、中に形成された溝６６４の配列を含むテクスチャ付き研磨表面６６２を有するロールツーロールタイプの改良された研磨物品６００ｄの一部分の概略上面図である。一実施態様では、改良された研磨物品６００ｄは、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００、または改良された研磨物品５００の一部を形成するか、またはそれらの代わりに使用することができる。テクスチャ付き研磨表面６６２は、改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２および改良された研磨物品５００のテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。溝６６４は、改良された研磨物品５００の溝５３２と同様である。改良された研磨物品６００ｄの溝６６４の配列は、割り送り軸６２６と平行に、かつ移動軸６２５と直角に配向された鋸歯状パターンの溝６５４を含む。溝６５４は、改良された研磨物品６００ｄの長さ方向に沿って（例えば、進行方向と平行に）延びる。一実施態様では、溝６６４は、各個々の溝の幅よりも大きい溝間隔（隣接する溝の中心から中心までが測定される）を有する。溝６６４の溝間隔は、幅方向に揃えられている。一実施態様では、この溝パターンの溝６６４は、約０．０６０インチの幅および約０．５インチの溝間隔（隣接する溝の中心から中心まで）を有する。別の実施態様では、各個々の溝６６４の幅は、隣接する溝間の溝間隔よりも大きい。
［００１５８］改良された研磨物品６００ｄのいくつかの実施態様では、割り送り軸６２６に沿って揃えられている溝６６４の１つ以上の列が、割り送り軸６２６と平行な経路６７０を提供するように、離間している。一例では、図６Ｄに示されるように、経路６７０は、溝が改良された研磨物品６００ｄの中心に配置されないように、改良された研磨物品６００ｄの中心に配置される。経路６７０は、改良された研磨物品６００ｄ内のフィーチャ（例えば、溝、表面トポグラフィ）からの障害物なしに光学式感知装置２２０が基板１２２を見るための光路を提供する。いくつかの実施態様では、この経路６７０は、改良された研磨物品６００ｄが割り送り軸６２６に沿って増分的に割り送りされている時に、光学式終点検出器によって提供される検査ビームが経路６７０の一部のみを通過し、したがって溝の一部を通過しないようにする幅を有する。一例では、この経路６７０は、約１ｍｍから約５ｍｍの間の幅を有する。改良された研磨物品に光路が存在しないいくつかの実施態様では、溝間隔は、改良された研磨物品６００ｄの表面全体にわたって一定であってもよい。この場合、改良された研磨物品が、研磨シーケンスの様々な段階で増分的に割り送りされる時に、光学式終点検出器によって提供される光学式検査ビームが、改良された研磨物品６００ｄの領域を通過し、かつ溝の１つ以上の部分も通過するが、この場合には、例えば溝の有無によって導入される材料の積み重ねの変化による検査ビームの強度の変化を避けるために、基板が研磨されている時、検査ビームが常に改良された研磨物品６００ｄの領域を通過するように、パッドを可変距離で割り送りするように、コントローラをプログラムすることができる。
［００１５９］図６Ｅは、中に形成された溝６６４の配列を含むテクスチャ付き研磨表面６７２を有するロールツーロールタイプの改良された研磨物品６００ｅの一部分の概略上面図である。一実施態様では、改良された研磨物品６００ｅは、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００、または改良された研磨物品５００の一部を形成するか、またはそれらの代わりに使用することができる。テクスチャ付き研磨表面６７２は、改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２および改良された研磨物品５００のテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。溝６７４は、改良された研磨物品５００の溝５３２と同様である。改良された研磨物品６００ｅの溝６７４の配列は、割り送り軸６７６と平行に、かつ改良された研磨物品６００ｅの長さ方向と平行に延びる正弦波パターンの溝６７４を形成する。いくつかの実施態様では、正弦波の周期は、正弦波の振幅の１～５倍である。溝６７４は、改良された研磨物品６００ｅの長さに沿って（例えば、進行方向（例えば、図４Ｃの方向Ａ）と平行に）延びる。一実施態様では、溝６７４は、各個々の溝の幅よりも大きい溝間隔（隣接する溝の中心から中心までが測定される）を有する。一実施態様では、この溝パターンの溝６７４は、約０．０６０インチの幅および約０．５インチの溝間隔（隣接する溝の中心から中心まで）を有する。別の実施態様では、各個々の溝６７４の幅は、隣接する溝間の溝間隔よりも大きい。いくつかの実施態様では、割り送り軸６７６に沿った中心線にある溝の列が、改良された研磨物品６００ｅの中心に沿った、溝のない経路６８０を有するように、離間している。いくつかの実施態様では、この経路６８０の幅は、約１ｍｍから約５ｍｍの間である。この経路６８０は、光学式感知装置２２０が基板１２２を見るための光路を提供する。光学式終点が使用されないいくつかの実施態様では、溝間隔は、改良された研磨物品６００ｅの表面全体にわたって一定であってもよい。
［００１６０］図６Ｆは、中に形成された溝６８４の配列を含むテクスチャ付き研磨表面６８２を有するロールツーロールタイプの改良された研磨物品６００ｆの一部分の概略上面図である。図６Ｇは、本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、図６Ｆの改良された研磨物品６００ｆの一部分の分解概略上面図である。一実施態様では、改良された研磨物品６００ｆは、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００、または改良された研磨物品５００の一部を形成するか、またはそれらの代わりに使用することができる。テクスチャ付き研磨表面６８２は、改良された研磨物品４００のテクスチャ付き研磨表面４１２および改良された研磨物品５００のテクスチャ付き研磨表面５１２のテクスチャと同様であってもよい。改良された研磨物品６００ｆの溝６８４は、割り送り軸６８６および長さ方向と直角に延びる鋸歯状パターンの溝６８４を形成する。しかしながら、改良された研磨物品６００ｃの溝６５４とは異なり、各溝６８４の各縁部６８８は、平坦または直線状の縁部を有さず、むしろ縁部６８８は、１つ以上の湾曲形状を有する。溝６８４は、研磨表面６８２から延びる側壁６８４Ａによって少なくとも部分的に画定され、側壁６８４Ａは、図６Ｇに示すように、通常、研磨表面６８２と直角に配置されている。溝６８４の両側に形成される縁部６８８は、溝６８４の側壁６８４Ａと研磨表面６８２との接合部に形成される。一構成では、溝６８４は、それぞれが研磨表面６８２に隣接して位置し、研磨表面６８２から延びる側壁６８４Ａを含み、研磨表面６８２と平行な平面（例えば、図６ＦのＸＹ平面）内に延びる長さを有し、側壁は、非直線状であり、したがって湾曲している。いくつかの実施態様では、各縁部２８８は、溝６５４の鋸歯状パターンに重ねられた正弦波模様を有するものとして記述される。研磨されている基板の前縁部が、平坦または直線状の縁部を有する横切る向きの溝の縁部と衝突し、それが研磨プロセスを混乱させ、基板上に粒子またはスクラッチを発生させる可能性があることを、発明者は発見した。しかしながら、湾曲した表面、または溝の縁部の中に内挿された時に基板の縁部に向かって湾曲しているように見える縁部を含む溝６８４は、移動している基板の前縁部の「引き込み」として機能する溝の部分を含み、したがって、処理中に基板の前縁部が溝の縁部（例えば、研磨中の基板の運動方向に対する溝の後縁部）と衝突することを防ぐ。
［００１６１］いくつかの実施形態では、溝６８４は、改良された研磨物品６００ｆの幅方向に沿って（例えば、進行方向と直角に）延びる。一実施態様では、溝６８４は、各個々の溝の幅よりも大きい溝間隔（隣接する溝の中心から中心までが測定される）を有する。一実施態様では、この溝パターンの溝６８４は、約０．０６０インチの幅および約０．５インチの溝間隔（隣接する溝の中心から中心まで）を有する。別の実施態様では、各個々の溝６８４の幅は、隣接する溝間の溝間隔よりも大きい。いくつかの実施態様では、割り送り軸６８６に沿った中心線にある溝の列が、経路６８０と同様に、改良された研磨物品６００ｆの中心に沿った、溝のない経路（図示せず）を有するように、離間している。別の実施形態では、溝６８４は、溝の鋸歯状パターンが割り送り軸６８６と平行な方向に沿って延びるように、配向されている。
［００１６２］図７Ａは、本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、改良された研磨物品を用いて研磨する方法７００を示すフローチャートである。改良された研磨物品は、本明細書に記載の改良された研磨物品（例えば、改良された研磨物品１２３、改良された研磨物品３２３、改良された研磨物品４００、または改良された研磨物品５００）のいずれであってもよい。この方法は、前述の改良された研磨物品のいずれかを使用して、図１～図３に示された研磨モジュールのいずれかを用いて実施することができる。しかしながら、議論を明瞭にするために、図７Ｂ～図７Ｃは、図７Ａに示されたプロセスステップの１つ以上を実行するために使用できるロールツーロール構成を示す。
［００１６３］図７Ｂ～図７Ｃは、異なる構成位置にある、図１の研磨プロセスモジュールのプラテンアセンブリ１３２の変形版の概略断面図である。図７Ｂおよび図７Ｃに示されたプラテンアセンブリ１３２の修正版は、ここではプラテンアセンブリ７３２と呼ばれ、図２に示されたプラテンアセンブリ１３２と同様であり、したがって、上述した同様の構成要素は、同様の参照番号を有しており、したがって、ここでは再度説明しない。プラテンアセンブリ７３２は、一般に、プラテン支持アセンブリ７５５と、キャリアヘッド３０８の使用により改良された研磨物品１２３のテクスチャ付き研磨表面４１２に押し付けられた基板上で研磨プロセスを実行するために使用される研磨物品制御アセンブリ７５６とを含む。プラテン支持アセンブリ７５５は、一般に、プラテンインターフェースアセンブリ２２６のプラテンインターフェース要素２４０およびサブプレート２３８を支持するために使用される、プラテンインターフェース支持体７７４、取り付けプレート７７２、および回転支持要素７７３を含む。プラテンインターフェース支持体７７４および取り付けプレート７７２は、上述のサブプレート２３８と同様であり、したがって、同様の特徴および流体管理システム２３２に結合された流体供給要素を含む構造要素である。一般に、回転支持要素７７３は、プラテン支持アセンブリ７５５および研磨物品制御アセンブリ７５６の構成要素がロータリアクチュエータ２２８によって回転軸２３５の周りに回転されることを可能にしながら、キャリアヘッド３０８（図７Ｂ）によってプラテン支持アセンブリ７５５に加えられる荷重を支持することができる１つ以上のベアリングまたは同様のデバイスを含む。
［００１６４］一般に、研磨物品制御アセンブリ７５６は、供給ロール２５４、モーター２２２、上部ガイド部材２０４および２１４、巻き取りロール２５２、モーター２２４、ならびにロール２５２、２５４のそれぞれに配置され、それらの間に延びる改良された研磨物品１２３の長さを構造的に支持および保持するように構成されたパッド支持要素７５８を含む。図７Ｂおよび図７Ｃに示されるように、アクチュエータ７７１は、パッド支持要素７５８、およびそれが支持する構成要素を、取り付けプレート７７２に対して上下させるように構成される。アクチュエータ７７１は、その時、改良された研磨物品１２３をプラテンインターフェース要素２４０の上面から分離させて、改良された研磨物品１２３がモーター２２２および２２４によって所望の距離だけ割り送りされることを可能にする。上述のように、いくつかの構成では、アクチュエータ７７１は、プラテンインターフェース要素２４０内の解放可能結合層４５５と改良された研磨物品１２３の上部パッド（例えば、上部パッド４１０または上部パッドアセンブリ５１０）の表面との間に形成された接着結合を破壊して、ギャップ４２５が形成されることを可能にするのに必要な力と少なくとも同じ大きさの荷重を加えるように構成される。モーター２２２および２２４はそれぞれ、以下でさらに説明される工程７４０中にアクチュエータ７７１が、改良された研磨物品１２３の上部パッドをプラテンインターフェース要素２４０から分離する時に、改良された研磨物品１２３が巻き取りロール２５２および供給ロール２５４からほどけるのを防止する保持力を生成するようなサイズである。
［００１６５］図７Ａに戻って、工程７１０において、基板１２２は、改良された研磨物品１２３に向かって押し付けられる。研磨物品１２３は、ポリマーシートから形成され、研磨表面から上方に延びるマイクロテクスチャ（例えば、複数の個別的要素）を含むテクスチャ付き研磨表面（例えば、テクスチャ付き研磨表面４１２または５１２）を有するポリマーシートを含む。一実施態様では、マイクロテクスチャは、望ましい形成技術（例えば、エンボス加工）によって形成される。いくつかの実施態様では、ポリマーシートは、研磨表面に形成された複数のマクロフィーチャ（例えば、溝）をさらに含む。一実施態様では、図７Ｂに示すように、ポリマーシートは、供給ロールと巻き取りロール（例えば、プラテンアセンブリ１３２の供給アセンブリ１５６および巻き取りアセンブリ１５８）の間に配置され、基板が、キャリアヘッド３０８によって改良された研磨物品１２３に向かって押し付けられる（図７Ｂ）。一実施態様では、ポリマーシートは、供給ロール上に配置される。一実施態様では、ポリマーシートは、約２０フィート～約１００フィートの長さを有する。
［００１６６］基板１２２は、必要に応じて、シリコン系材料または任意の適切な絶縁材料もしくは導電性材料とすることができる。一実施態様では、基板１２２は、結晶シリコン（例えば、Ｓｉ＜１００＞またはＳｉ＜１１１＞）、酸化ケイ素、歪みシリコン、シリコンゲルマニウム、ドープまたは非ドープポリシリコン、ドープまたは非ドープシリコンウェハ、パターニングされたまたはパターニングされていないウェハ、シリコンオンインシュレーター（ＳＯＩ）、炭素ドープ酸化ケイ素、窒化ケイ素、ドープされたシリコン、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、ガラス、サファイアなどの材料であってよい。基板１２２は、様々な寸法を有することができ、例えば２００ｍｍ、３００ｍｍ、４５０ｍｍまたは他の直径のウェハ、ならびに長方形または正方形のパネルであってもよい。特に明記しない限り、本明細書に記載の実施態様および例は、直径２００ｍｍ、直径３００ｍｍ、または直径４５０ｍｍの基板上で実施される。
［００１６７］研磨スラリが、テクスチャ付き研磨表面に送達される。研磨される材料と適合する任意の適切な研磨スラリが、使用されてもよい。一実施態様では、研磨スラリは、酸化剤、不動態化剤、ｐＨ緩衝剤、金属錯化剤、界面活性剤および研磨剤のうちの少なくとも１つを含む。一実施態様では、研磨スラリは、流体ノズル（例えば、流体ノズル１５４）を介してテクスチャ付き研磨表面に送達される。いくつかの実施態様では、基板１２２は、研磨スラリの送達後に、テクスチャ付き研磨表面と接触する。いくつかの実施態様では、基板１２２は、研磨スラリの送達前に、テクスチャ付き研磨表面と接触する。いくつかの実施態様では、基板１２２は、研磨スラリの送達中に、テクスチャ付き研磨表面と接触する。
［００１６８］基板１２２は、約１０ポンド／平方インチ（ｐｓｉｇ）未満（例えば、約９ｐｓｉｇ未満、約７ｐｓｉｇ未満、約５ｐｓｉｇ未満、または約２．５ｐｓｉｇ未満）の力でテクスチャ付き研磨表面に押し付けられてもよい。一実施態様では、力は、約１ｐｓｉｇから６ｐｓｉｇの間、例えば約１．８ｐｓｉｇである。
［００１６９］次に、工程７２０で、基板１２２とテクスチャ付き研磨表面との間に相対運動が与えられる。一実施態様では、キャリアヘッド３０８は、毎分約５０～１００回転、例えば毎分約３０～６０回転で回転し、一方、テクスチャ付き研磨表面は、ロータリアクチュエータ２２８を使用して、毎分約５０～１００回転、例えば毎分約７～３５回転で回転する。リニア研磨機が使用されるいくつかの実施態様では、プラテン、供給ロール、および巻き取りロールが、基板１２２に対してＺ軸の周りに回転する。
［００１７０］工程７３０で、基板１２２がポリマーシートの表面に押し付けられるように、基板１２２の表面に圧力を加えることにより、基板１２２の表面から材料が除去される。材料は、導電性材料（例えば、銅）、誘電性材料（例えば、酸化物または窒化物含有）、または導電性材料と誘電性材料の両方であってもよい。通常、スラリ流量が１００～３００ｍｌ／分の範囲であり、１５０ｍｌ／分が非常に一般的な値である従来のポリウレタン研磨物品と比較して、本明細書に記載の改良された研磨物品は、スラリ流量が１００ｍｌ／分未満の場合に、研磨性能にほとんど影響がなかった。
［００１７１］工程７４０において、リニア研磨プロセスが使用されるいくつかの実施態様では、ポリマーシートは、供給ロールに結合されたアクチュエータおよび／または巻き取りロールに結合されたアクチュエータの使用により、基板１２２から材料を除去する前に、除去している間に、および／または除去した後に、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に対して前進させられる。一実施態様では、前進させることは、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に対して約１ｍｍから約５ｍｍの間の増分距離だけポリマーシートを前進させることを含む。
［００１７２］方法７００の一実施形態では、工程７４０で、ポリマーシートは、１つ以上の基板１２２から材料を除去する前および／または除去した後にのみ、プラテンに対して前進（例えば、割り送り）させられる。一般に、工程７４０のこの変形例は、解放可能結合層４５５が、ポリマーシート（例えば、上部パッド４１０）の裏面とプラテンインターフェースアセンブリ４２０の表面との間に、それらと接触して配置されている場合に、解放可能結合層４５５の表面とポリマーシートとの間の境界面における材料の接着および／または弱い接着特性に打ち勝つために必要な大きなせん断力のために、必要とされる。接着結合強度が中程度から低い場合でも、研磨プロセス中、および／またはポリマーシートが解放可能結合層４５５と接触している間に、ポリマーシートとプラテンインターフェースアセンブリ４２０との間の動きを引き起こすのに必要な力は、薄い改良された研磨物品１２３を変形させ、および／または引き裂き、さらに、ポリマーシートを割り送りするのに必要なモーター２２２および２２４のサイズおよびコストを大幅に増加させる。したがって、工程７１０～７３０の材料除去プロセスが完了した後、工程７４０で、基板１２２およびキャリアヘッド３０８は、改良された研磨物品１２３のポリマーシートの表面から取り除かれ、その後、研磨モジュール１０６（図１）内の別の処理ステーションに移送される。次に、図７Ｃに示すように、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の上面と接触しているポリマーシートの部分が、プラテンインターフェースアセンブリ４２０の上面から分離されて、間隙４２５が形成される。間隙４２５は、アクチュエータ７７１を使用して、支持要素７５８をプラテンインターフェースアセンブリ４２０の表面に対して移動させることにより、形成される。次に、ポリマーシートは、供給ロールに結合されたアクチュエータおよび／または巻き取りロールに結合されたアクチュエータを使用して、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に対して増分距離だけ前進させられる。次に、アクチュエータ７７１が支持要素７５８を元の位置に戻し、したがって間隙４２５を除去することにより、ポリマーシートは、プラテンインターフェースアセンブリ４２０と再び接触する。次に、工程７１０～７３０の材料除去プロセスが、少なくとも１つの追加の基板１２２上で完了し、その後、工程７４０が再び完了する。
［００１７３］いくつかの実施形態において、流体管理システム２３２は、プラテンインターフェースアセンブリ４２０に形成された開口部２４２およびチャネル２３４を使用して、解放可能結合層４５５とポリマーシートとの境界面へガス（例えば、窒素）を正圧で送達することにより、解放可能結合層４５５からのポリマーシート（例えば、上部パッド４１０）の分離を少なくとも支援するように構成される。いくつかの実施形態では、流体管理システム２３２は、解放可能結合層４５５とポリマーシートとの境界面へのガスの送達により、工程７４０中に解放可能結合層４５５からポリマーシートを分離させるように、構成される。ポリマーシートを解放可能結合層４５５から完全に分離することができないと、システムがポリマーシートを割り送りする能力が阻害されることが、わかるであろう。
［００１７４］図７Ｂ～図７Ｃに示されている、プラテンアセンブリ７３２のパッド支持要素７５８およびロール２５２、２５４の構成は、工程７４０中に、改良された研磨物品が巻き取りロール２５２および／または供給ロール２５４からほどかれて、次いで巻き取りロール２５２および／または供給ロール２５４上に巻き直されることを必要としないので、間隙４２５を生成するために、改良された研磨物品１２３が、プラテンインターフェースアセンブリ４２０、ならびに巻き取りロール２５２および供給ロール２５４に対して持ち上げられる、または元の位置に戻されることを必要とする他の構成に勝る利点を有する。工程７４０中に、巻き取りロール２５２および／または供給ロール２５４から改良された研磨物品１２３の一部をほどいて、次に巻き取りロール２５２および／または供給ロール２５４上に改良された研磨物品１２３を巻き直すプロセスは、次の研磨ステップを実行するために、ポリマーシートがプラテンインターフェースアセンブリ４２０と接触するように戻された時に、Ｘ方向における、プラテンインターフェース要素２４０上の所望のまたは既知の横方向位置または点に対する改良された研磨物品１２３の使用済み部分および未使用部分の所望の相対位置に不確実性を生じさせる可能性がある。
［００１７５］図７Ｄは、本明細書に開示される１つ以上の実施態様による、上述のプラテンアセンブリ７３２の代替版または別の修正版を示す。この構成では、プラテンインターフェース要素２４０は、プラテン支持アセンブリ７５５内に凹んでおり、凹部領域７６１を形成および／または少なくとも部分的に画定し、その上に改良された研磨物品１２３が配置される。図７Ｅおよび図７Ｆは、本明細書で開示される１つ以上の実施態様による、２つの異なる構成位置での、図７Ｄに示す処理ステーションの概略側面断面図である。図７Ｅは、工程７２０および７３０中にキャリアヘッド３０８が基板１２２を改良された研磨物品１２３の研磨表面４１２に押し付ける動作により、改良された研磨物品１２３の一部が、凹部領域７６５内に、プラテンインターフェース要素２４０の上面に対して配置される、プラテンアセンブリ７３２の構成を示す。したがって、プラテンインターフェース要素２４０の一実施形態では、基板１２２が研磨表面４１２に押し付けられる時、改良された研磨物品１２３の裏面４１４が、凹部領域７６５の表面を画定する解放可能結合層４５５の上面４５５Ａの少なくとも一部に押し付けられる。解放可能結合層４５５の上面４５５Ａがプラテン支持アセンブリ７５５の上面７６３より下に凹んでいる距離７６２は、約０．０１０インチ～約０．２５インチに等しくすることができる。いくつかの実施態様では、距離７６２は、ほぼパッド本体４３０の厚さ「Ｔ」とパッド本体４３０の厚さ「Ｔ」の約１０倍との間にあるように設定される。
［００１７６］方法７００の別の実施形態では、工程７４０において、ポリマーシートは、１つ以上の基板１２２から材料を除去する前および／または後に、巻き取りロール２５２および供給ロール２５４にそれぞれ取り付けられたモーター２２４および２２２を用いて、プラテンアセンブリ７３２の代替版または修正版に対して前進（例えば、割り送り）させることができる。図７Ｆに示すように、巻き取りロール２５２および供給ロール２５４に反対方向にトルクを加えることにより、張力Ｆ３が、改良された研磨物品１２３に与えられ、これにより、改良された研磨物品１２３の「たるみ」が除去されるにつれて、改良された研磨物品１２３の裏面４１４が、解放可能結合層４５５の上面４５５Ａから分離され、したがって、間隙４２５が形成されることが可能になる。改良された研磨物品１２３が、解放可能結合層４５５の上面４５５Ａから分離されると、次に、改良された研磨物品１２３を所望の距離だけ前進させることができる。いくつかの実施形態において、流体管理システム２３２は、凹んでいるプラテンインターフェースアセンブリ４２０に形成された開口部２４２（図７Ｄ）の配列を使用して、解放可能結合層４５５とポリマーシートとの境界面へガス（例えば、窒素）を正圧で送達することにより、解放可能結合層４５５からのポリマーシート（例えば、上部パッド４１０）の分離を少なくとも支援するように構成される。いくつかの構成では、図７Ｇに示されるように、追従性のあるエラストマーシール７５９が、プラテン支持アセンブリ７５５の凹部領域７６１の縁部７６４またはその近くに配置され、プラテン支持アセンブリ７５５と改良された研磨物品１２３の裏面４１４との間にシールを形成することができる。プラテン支持アセンブリ７５５と改良された研磨物品１２３の裏面４１４との間に形成されたシールは、工程７４０中にガスが解放可能結合層４５５とポリマーシートとの境界面に供給される時に、制御可能な分離圧力が、改良された研磨物品の裏面４１４と解放可能結合層４５５の上面４５５Ａとの間に形成されることを、可能にする。
［００１７７］図８は、本明細書に記載の１つ以上の実施態様による、いくつかの応力サイクルにわたって測定されている、改良された研磨物品で使用することができるプラテンインターフェース材料の変位対応力のプロット８００を示す。プロット８００は、改良された研磨物品で使用されるプラテンインターフェース（例えば、白色繊維（ｗｈｉｔｅ ｆｉｂｅｒ）成分）についてある時間にわたって測定された複数の変位対応力曲線８１０～８５０を示している。曲線８１０は、研磨物品が新しい場合に、０．２ｐｓｉから４．５ｐｓｉまでの一定の力を加えることにより測定された変位対応力を示している。曲線８１０は、複数の使用サイクル後の同じパッドよりも、約０．２ｐｓｉから３．５ｐｓｉまでの試験荷重範囲において応力に対する変位が大きいことが、わかるであろう。曲線８２０、８３０、８４０、および最後に曲線８５０は、実行した応力サイクルの数を増加させながらが、プラテンインターフェース材料を使用して、曲線８１０を形成するために加えられたのと同じ一定の力を加えることにより測定された変位対応力を示す。この例では、サイクル数が増加するにつれて、プラテンインターフェース材料で測定された応力に対する変位の変化が減少することがわかる。本明細書に記載のプラテンインターフェース材料を使用した時に見られる、変位対応力曲線における経時的な小さい相対的変化は、より高いプロセス再現性および／またはプロセス変動の減少という形で、従来の研磨物品およびプラテンインターフェースを超える大きな利点を提供できると考えられている。約０．０１４インチの厚さを有する白色繊維プラテンインターフェースを含む図８に示す例は、プラテンインターフェース材料の耐用期間にわたる、約２．７５ｐｓｉの適用応力での応力に対する撓みにおいて約３３％の変化しか含まない。これは、従来の研磨物品の耐用期間にわたるパーセント変化において数桁の差があるかもしれない、従来の研磨物品（例えば、Ｄｏｗ（登録商標）ＩＣ１０１０（商標）パッド）で使用されるプラテンインターフェースにとって大きな違いであると考えられている。
［００１７８］図９は、本明細書に記載の１つ以上の実施態様による改良された研磨物品に使用できるプラテンインターフェース材料対現在利用可能な従来の研磨物品に使用される材料についての変位対応力の別のプロット９００を示す。トレース９１０は、市販の研磨物品で使用される材料について、応力の関数として変位を表す。トレース９２０は、本明細書に記載の改良された研磨物品と共に使用できる白色繊維プラテンインターフェースについて、応力の関数として変位を表す。気泡含有プラテンインターフェースを伴うＩＣ１０１０の研磨物品スタックの撓みは、約２．７５ｐｓｉで約１８７．５ミクロン撓み、改良された研磨物品は、その荷重条件で約１１２．５ミクロン撓み、すなわち撓みの変化は約１８６％である。応力に対する撓みの減少は、従来の研磨物品（例えば、Ｄｏｗ（登録商標）ＩＣ１０１０（商標）パッド）との大きな違いであり、ＣＭＰ研磨プロセス全体の安定性の向上に役立つと、考えられている。「より硬い」改良された研磨物品を使用した時のＣＭＰ研磨プロセスの結果は、今日、半導体基板上に形成された酸化物や金属の層を研磨した時に一般的に見られるディッシングや長距離平坦性の問題を解決するために、研磨物品を横方向に追従性のあるものにしようとする従来の理論に反するため、予期しないものである。
［００１７９］したがって、本開示の利点のいくつかには、ＣＭＰ後のウェハ上で測定される欠陥の減少が含まれる。ＣＭＰ後のウェハ上で測定される欠陥は、パッドコンディショニングのデブリや、場合によってはダイヤモンドディスクの材料（頻度は少ない）による悪影響を受けている。本明細書に記載の改良された研磨物品は、研磨性ダイヤモンドディスクコンディショニングを必要とせず、ウェハ欠陥の対応する減少をもたらす。加えて、本明細書に記載の改良された研磨物品の使用は、研磨プロセス中に使用される研磨スラリの量の減少をもたらす。典型的なポリウレタン研磨物品では、同心リングが、約３ミリメートルのピッチで研磨物品の表面に切り込まれている。これらの溝は、スラリを保持し、パッドコンディショニングからのパッドデブリを捕捉する。従来の研磨パッドがリンスされる時、リンス水は、パッドの溝からデブリを洗い流す。しかしながら、いくらかの水が溝に残っており、次のウェハ研磨ステップが開始される時に、研磨スラリの初期希釈に寄与する可能性がある。本明細書に記載の一実施態様では、改良された研磨物品は、溝を有さず、したがってパッドデブリも残留水からのスラリ希釈の可能性もない単層ポリマーシートである。別の実施態様では、改良された研磨物品は、１つ以上の溝、約０．００１インチ～約０．０２０インチの全厚、および約１ミクロン～約５０ミクロン、例えば約５～１０ミクロンの平均高さ「ｈ」を有する研磨表面テクスチャを有する少なくとも１つ以上のポリマーシートから形成される。本明細書に記載の一実施態様では、改良された研磨物品は、二層パッドの上層に穴を有する二層上部パッドを有する。
［００１８０］本開示のいくつかの実施態様のさらなる利点には、改善された終点検出が含まれる。いくつかの研磨プロセスでは、終点検出を使用して、研磨中の基板の表面の変化に基づいて特性を測定する。現在、これらの終点技術は、プロセス制御のために複雑な光学的終点の概念を使用している。現在の積層ポリウレタン研磨物品は、本質的に不透明であるため、これらの終点技術は通常、ポリウレタン研磨物品の表面に設置された１つ以上の透明窓を通して研磨中に基板の表面を監視する。本開示のいくつかの実施態様では、改良された研磨物品のポリマー材料は、光学的に透明であり、現在の終点ハードウェアを使用した研磨中の基板の表面の光学的監視を可能にする。いくつかの実施態様では、ポリマーシートの表面は、エンボス領域と、特に光学的終点ハードウェアが研磨中に基板の表面を監視するための非エンボス領域とを有している。
［００１８１］本開示またはその例示的な態様または実施態様の要素を導入する時、冠詞「ａ（１つの）」、「ａｎ（１つの）」、「ｔｈｅ（その）」および「ｓａｉｄ（前記）」は、その要素が１つ以上あることを意味するものとする。
［００１８２］「備える」、「含む」および「有する」という用語は、開放的であることが意図されており、列挙された要素以外の追加の要素が存在する可能性があることを意味する。
［００１８３］上記は、本発明の実施態様に向けられているが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなく、本発明の他のさらなる実施態様を考え出すこともでき、本発明の範囲は、以下の特許請求の範囲によって決定される。

Claims (31)

  1. 研磨プラテンに対して研磨物品を再配置するために、基板研磨処理の合間に割り送り軸に沿って割り送りされるように構成された化学機械研磨（ＣＭＰ）用の研磨物品であって、前記研磨物品が、実質的に無孔である中実ポリマー材料で形成されるポリマーシートを含み、前記ポリマーシートが、
    研磨表面と、当該研磨表面の反対側にある底面との間に規定される厚さであって、前記底面が、２マイクロインチ（０．０５マイクロメートル）から２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する表面粗さを有することにより、前記底面が、基板研磨処理中に前記ポリマーシートと前記研磨プラテンとの間の横方向の動きを防ぐように構成されている、厚さ、
    第１の方向に延びる長さ、
    前記第１の方向と直角である第２の方向に延びる幅であって、前記長さのせいぜい２分の１である幅、
    前記研磨表面に形成された複数の隆起した表面特徴の繰り返しパターンであって、２～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有し且つ４０μｍ未満の平均フィーチャスパンで均一に互いに離間している、複数の隆起した表面特徴の繰り返しパターン、及び
    前記研磨表面に形成された溝の配列であって、前記第１の方向または前記第２の方向に対して揃えられており、前記溝の深さ及び幅が、前記複数の隆起した表面特徴の繰り返しパターンの高さ及び幅よりも、２、３又は４桁大きい、溝の配列
    を備える、研磨物品。
  2. 前記厚さが、約０．４８ｍｍ以下である、請求項１に記載の研磨物品。
  3. 前記ポリマーシートが、ポリプロピレンおよびポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる群から選択される材料を含む、請求項１に記載の研磨物品。
  4. 研磨プラテンに対して研磨物品を再配置するために、基板研磨処理の合間に割り送り軸に沿って割り送りされるように構成された化学機械研磨（ＣＭＰ）用の研磨物品であって、
    実質的に無孔である中実ポリマー材料で形成されるポリマーシートであって、前記ポリマーシートが、
    第１の表面と第２の表面との間に規定される厚さであって、前記第１の表面は研磨表面であり、前記第２の表面は前記第１の表面の反対側にある、厚さ、
    前記割り送り軸と実質的に平行である第１の方向に延びる長さ、
    前記割り送り軸と直角である第２の方向に延びる幅であって、前記長さのせいぜい２分の１である幅、
    前記研磨表面に形成された複数の隆起した表面特徴の繰り返しパターンであって、２～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有し且つ４０μｍ未満の平均フィーチャスパンで均一に互いに離間している、複数の隆起した表面特徴の繰り返しパターン、及び
    前記研磨表面に形成された溝の配列であって、前記第１の方向または前記第２の方向に対して揃えられており、前記溝の深さ及び幅が、前記複数の隆起した表面特徴の繰り返しパターンの高さ及び幅よりも、２、３又は４桁大きい、溝の配列、
    を備える、ポリマーシートと、
    前記ポリマーシートの前記第２の表面に対向する第３の表面と、前記第３の表面の反対側に設けられた底面と、を有する解放可能結合層であって、前記ポリマーシートの前記第１の表面と前記底面とが互いに反対を向いている、解放可能結合層と、
    を備え、
    前記解放可能結合層が、基板研磨処理中に前記ポリマーシートと前記研磨プラテンとの間の横方向の動きを防ぐように構成され、基板研磨処理の合間に割り送りのために前記研磨プラテンから分離され、
    前記底面が、１．５１より大きい静止摩擦係数を有し、
    前記静止摩擦係数が、２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する物体の表面を前記底面に押し付けることにより測定される、研磨物品。
  5. 前記溝の配列が、前記研磨表面内に繰り返しの溝パターンを定めるように配置されている、請求項１に記載の研磨物品。
  6. 前記溝の配列における各溝が、前記研磨表面から前記底面に向かって内側に延びる湾曲した側壁によって画定される、請求項１に記載の研磨物品。
  7. 前記複数の隆起した表面特徴が、４５％～６５％の界面面積比、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、３０～５０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および３０～８０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）を備える、請求項１に記載の研磨物品。
  8. 前記複数の隆起した表面特徴が、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度を有し、２０～４０μｍの平均フィーチャスパンで互いに均一に離間している、請求項１に記載の研磨物品。
  9. 研磨プラテンに対してポリマーシートを再配置するために、基板研磨処理の合間に割り送り軸に沿って割り送りされるように構成されたポリマーシートであって、
    実質的に無孔である中実ポリマー材料、及び
    研磨表面と、２マイクロインチ（０．０５マイクロメートル）から２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する表面粗さを有することにより、基板研磨処理中に前記ポリマーシートと前記研磨プラテンとの間の横方向の動きを防ぐように構成されている反対側の底面との間に規定される厚さであって、約０．４６ｍｍ未満の厚さ、
    前記研磨表面に形成された複数の隆起した表面特徴であって、２～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有し且つ４０μｍ未満の平均フィーチャスパンで均一に互いに離間している、複数の隆起した表面特徴、及び
    前記研磨表面に形成された複数の溝であって、前記複数の溝の深さ及び幅が、前記複数の隆起した表面特徴の高さ及び幅よりも、２、３又は４桁大きい、複数の溝、
    を備えるポリマーシートを含む、化学機械研磨（ＣＭＰ）用の研磨物品。
  10. 前記ポリマーシートが、ポリプロピレンおよびポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）からなる群から選択される材料を含む、請求項９に記載の研磨物品。
  11. 前記複数の溝の各々が、前記研磨表面から前記ポリマーシート内のある深さまで延び、前記複数の溝が、前記研磨表面内に繰り返しの溝パターンを定めるように配置される、請求項９に記載の研磨物品。
  12. 前記複数の溝の各々が、前記研磨表面から前記底面に向かって内側に延びる湾曲した側壁によって画定される、請求項９に記載の研磨物品。
  13. 前記複数の隆起した表面特徴が、４５％～６５％の界面面積比、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度、３０～５０μｍの最大ピーク高さ（Ｓｐ）、および３０～８０μｍの最大ピット深さ（Ｓｖ）を有する、請求項９に記載の研磨物品。
  14. 前記複数の隆起した表面特徴が、１ミリメートル当たり３０～３５の平均ピーク密度を有し、２０～４０μｍの平均フィーチャスパンで互いに均一に離間している、請求項９に記載の研磨物品。
  15. 研磨プロセス中、プラテン上に配置された化学機械研磨（ＣＭＰ）用の研磨物品を支持するように構成された支持要素であって、
    前記研磨物品は、前記プラテンに対して前記研磨物品を再配置するために、基板研磨処理の合間に割り送り軸に沿って割り送りされるように構成され、実質的に無孔である中実ポリマー材料で形成されるポリマーシートであって、研磨表面、第１の方向に延びる長さ、及び、前記第１の方向と直角である第２の方向に延びる幅であって前記長さのせいぜい２分の１である幅を有し、２マイクロインチ（０．０５マイクロメートル）から２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する底面の表面粗さを有し、前記研磨表面に形成された複数の隆起した表面特徴であって、２～７μｍの算術平均高さ（Ｓａ）を有し且つ４０μｍ未満の平均フィーチャスパンで均一に互いに離間している、複数の隆起した表面特徴、及び、前記研磨表面に形成された複数の溝であって、前記複数の溝の深さ及び幅が、前記複数の隆起した表面特徴の高さ及び幅よりも、２、３又は４桁大きい、複数の溝を有する、ポリマーシートを含み、
    前記支持要素は、
    第１の表面と、反対側の第２の表面との間に規定される厚さを有する、ポリマー材料を含むプラテンインターフェース本体であって、前記プラテンインターフェース本体の前記第２の表面が、前記プラテンの表面の上に位置し、かつ前記プラテンの表面に面している、プラテンインターフェース本体、および
    前記第１の表面上に接着結合された解放可能結合層であって、前記プラテンインターフェース本体とは反対側を向き、前記研磨プロセス中に前記研磨物品を支持するように構成された研磨物品インターフェース面を有し、前記解放可能結合層と前記プラテンインターフェース本体との間の接着強度が前記研磨物品の前記底面と前記研磨物品インターフェース面との間の接着強度より大きい、解放可能結合層
    を備える、支持要素。
  16. 前記研磨物品インターフェース面が、１．５１より大きい静止摩擦係数を有し、前記静止摩擦係数が、２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する前記研磨物品の表面を前記研磨物品インターフェース面に押し付けることにより測定される、請求項１５に記載の支持要素。
  17. 前記研磨物品インターフェース面が、横方向１インチ当たり約２５オンス未満の接着結合強度を有する、請求項１５に記載の支持要素。
  18. 前記解放可能結合層が、スチレンブタジエン（ＳＢＲ）、ポリアクリル、ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡ）およびシリコーンからなる群から選択される材料を含む、請求項１５に記載の支持要素。
  19. 前記第１の表面が、２マイクロインチ（０．０５マイクロメートル）～２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する表面粗さを含む、請求項１５に記載の支持要素。
  20. 前記プラテンインターフェース本体が、ポリマーシートを含む第１のプラテンインターフェース要素、および繊維マットを含む第２のプラテンインターフェース要素を含む、請求項１５に記載の支持要素。
  21. 前記ポリマーシートが、約０．００１インチ（０．０２５ｍｍ）～約０．０３０インチ（０．７６２ｍｍ）の厚さ、および約５０～約６５ショアＤの硬さを有する、請求項２０に記載の支持要素。
  22. 前記繊維マットが、約２～約８オンス／平方ヤード（ＯＳＹ）の坪量、および約０．００５インチ（０．１３ｍｍ）～約０．０５０インチ（１．３ｍｍ）の厚さを有する、請求項２０に記載の支持要素。
  23. 前記第２の表面が、前記プラテンの前記表面に結合されたサブプレートに結合されている、請求項１５に記載の支持要素。
  24. 請求項１～１４のいずれか一項に記載の研磨物品を使用して基板を研磨する方法であって、
    前記研磨物品の底面を、プラテンインターフェース本体の解放可能結合層の表面上に配置することと、
    前記研磨物品の前記研磨表面に第１の基板を押し付けることにより、前記第１の基板の表面を研磨することと、
    前記解放可能結合層の前記表面から前記研磨物品の前記底面を分離することと、
    前記研磨物品を第１の方向に第１の距離だけ並進移動させることを含む、前記解放可能結合層の前記表面に対して前記研磨物品を再配置することと、
    前記研磨物品を再配置した後に、前記解放可能結合層の前記表面上に前記研磨物品の前記底面を配置することと、
    再配置された前記研磨物品の前記研磨表面に第２の基板を押し付けることにより、前記第２の基板の表面を研磨することと
    を含む方法。
  25. 前記第１の距離が、約０．１ｍｍ～約２０ｍｍである、請求項２４に記載の方法。
  26. 前記解放可能結合層の前記表面が、１．５１より大きい静止摩擦係数を有し、前記静止摩擦係数が、２００マイクロインチ（５．０８マイクロメートル）の算術平均高さ（Ｓａ）を有する前記研磨物品の表面を前記解放可能結合層の前記表面に押し付けることにより測定される、請求項２４に記載の方法。
  27. 前記解放可能結合層の前記表面が、横方向１インチ当たり約２５オンス未満の接着結合強度を有する、請求項２４に記載の方法。
  28. 前記解放可能結合層が、スチレンブタジエン（ＳＢＲ）、ポリアクリル、ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡ）およびシリコーンからなる群から選択される材料を含む、請求項２４に記載の方法。
  29. 請求項１～１４のいずれか一項に記載の研磨物品を使用して基板を研磨する方法であって、
    供給ロールと巻き取りロールとの間に配置された前記研磨物品を、プラテンの上に配置することと、
    前記研磨物品が前記プラテンの上に配置された後に、前記研磨物品、プラテン、供給ロールおよび巻き取りロールを中心軸の周りに回転させることと
    を含む方法。
  30. 前記研磨物品、プラテン、供給ロールおよび巻き取りロールが回転している間に、前記プラテンの上に配置された前記研磨物品の一部に基板を押し付けることと、
    前記基板が前記研磨物品の一部に押し付けられた後に、前記プラテンに対して約０．１ｍｍ～約２０ｍｍの間で前記研磨物品を前進させることと、
    をさらに含む、請求項２９に記載の方法。
  31. 複数の隆起した表面特徴が、エンボス加工プロセスによって形成される、請求項２９に記載の方法。
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