JP7221582B2 - electret sheet - Google Patents

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本発明は、エレクトレットシートに関する。 The present invention relates to an electret sheet.

エレクトレットシートは絶縁性の高分子材料に電荷を注入することにより、内部に永久帯電を付与した材料である。 An electret sheet is a material that is internally permanently charged by injecting an electric charge into an insulating polymer material.

合成樹脂製の発泡シートは気泡を形成している気泡膜及びこの近傍部を帯電させることによってセラミックスに匹敵する非常に高い圧電性を示すことが知られている。このような合成樹脂製の発泡シートを用いたエレクトレットは、その優れた感度を利用して音響ピックアップや各種圧力センサなどへの応用が提案されている。 It is known that a foamed sheet made of synthetic resin exhibits extremely high piezoelectricity comparable to that of ceramics by electrifying the cell membrane forming the cells and the vicinity thereof. Electrets using such synthetic resin foam sheets have been proposed to be applied to acoustic pickups, various pressure sensors, etc. by utilizing their excellent sensitivity.

エレクトレットシートとして、特許文献1には、塩素化ポリオレフィンが付与されているシートであって、かつ、該シートが1×10-10クーロン/cm2以上の表面電荷密度を有するエレクトレットシートが開示されている。 As an electret sheet, Patent Document 1 discloses an electret sheet which is a sheet to which chlorinated polyolefin is applied and which has a surface charge density of 1×10 −10 Coulomb/cm 2 or more. there is

特開平8-284063号公報JP-A-8-284063

しかしながら、特許文献1のエレクトレットシートは、高温環境下において圧電性が低下するという問題点を有している。 However, the electret sheet of Patent Document 1 has a problem that the piezoelectricity is lowered in a high-temperature environment.

本発明は、高温環境下においても高い圧電性を保持するエレクトレットシートを提供する。 The present invention provides an electret sheet that retains high piezoelectricity even in a high temperature environment.

本発明のエレクトレットシートは、帯電された多孔質シートを含み、25℃で且つ相対湿度60%における体積抵抗率が1.0×1015Ω・cm以上で且つ25℃で且つ相対湿度60%における絶縁破壊電圧が6kV以上であることを特徴とする。 The electret sheet of the present invention comprises a charged porous sheet, and has a volume resistivity of 1.0×10 15 Ω·cm or more at 25° C. and 60% relative humidity and at 25° C. and 60% relative humidity It is characterized by having a dielectric breakdown voltage of 6 kV or higher.

本発明のエレクトレットシートは、上述の如き構成を有していることから、高温環境下においても電荷の放出が低減されており、優れた圧電性を保持する。 Since the electret sheet of the present invention has the structure as described above, the discharge of electric charges is reduced even in a high-temperature environment, and excellent piezoelectricity is maintained.

本発明のエレクトレットシートは、帯電された多孔質シートを含む。多孔質シートとしては、内部に空隙部を有しておれば特に限定されないが、合成樹脂発泡シートが好ましい。合成樹脂発泡シートを構成する合成樹脂としては、特に限定されず、例えば、ポリエチレン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などのポリオレフィン系樹脂、ポリフッ化ビニリデン、ポリ乳酸、液晶樹脂などが挙げられ、ポリオレフィン系樹脂を含むことが好ましく、ポリプロピレン系樹脂を含むことがより好ましい。 The electret sheet of the present invention includes a charged porous sheet. The porous sheet is not particularly limited as long as it has voids inside, but a synthetic resin foam sheet is preferable. The synthetic resin constituting the synthetic resin foam sheet is not particularly limited, and examples thereof include polyolefin resins such as polyethylene resins and polypropylene resins, polyvinylidene fluoride, polylactic acid, and liquid crystal resins. It preferably contains a polypropylene-based resin, and more preferably contains a polypropylene-based resin.

合成樹脂は絶縁性に優れていることが好ましく、合成樹脂としては、JIS K6911に準拠して印可電圧500Vにて電圧印可1分後の体積固有抵抗値(以下、単に「体積固有抵抗値」という)が1.0×1010Ω・m以上である合成樹脂が好ましい。 It is preferable that the synthetic resin has excellent insulating properties, and the synthetic resin has a volume specific resistance value after 1 minute of voltage application at an applied voltage of 500 V in accordance with JIS K6911 (hereinafter simply referred to as "volume specific resistance value" ) of 1.0×10 10 Ω·m or more is preferred.

合成樹脂の上記体積固有抵抗値は、エレクトレットシートがより優れた圧電性を有することから、1.0×1012Ω・m以上が好ましく、1.0×1014Ω・m以上がより好ましい。 The volume resistivity of the synthetic resin is preferably 1.0×10 12 Ω·m or more, more preferably 1.0×10 14 Ω·m or more, because the electret sheet has superior piezoelectricity.

ポリエチレン系樹脂としては、エチレン単独重合体、又は、エチレン成分を50質量%を超えて含有するエチレンと少なくとも1種の炭素数が3~20のα―オレフィンとの共重合体を挙げることができる。エチレン単独重合体としては、高圧下でラジカル重合させた低密度ポリエチレン(LDPE)、中低圧で触媒存在下で重合させた中低圧法高密度ポリエチレン(HDPE)などを挙げることができる。エチレンとα-オレフィンを共重合させることで直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)を得ることができ、α―オレフィンとしては、プロピレン、1-ブテン、1-ペンテン、1-ヘキセン、4-メチル-1-ペンテン、1-オクテン、1-ノネン、1-デセン、1-テトラデセン、1-ヘキサデセン、1-オクタデセン、1-エイコセンなどが挙げられ、炭素数が4~10のα-オレフィンが好ましい。なお、直鎖状低密度ポリエチレン中におけるα-オレフィンの含有量は通常、1~15質量%である。 Examples of polyethylene-based resins include ethylene homopolymers, and copolymers of ethylene containing more than 50% by mass of ethylene component and at least one α-olefin having 3 to 20 carbon atoms. . Examples of ethylene homopolymers include low density polyethylene (LDPE) radically polymerized under high pressure, medium and low pressure high density polyethylene (HDPE) polymerized at medium and low pressure in the presence of a catalyst, and the like. Linear low-density polyethylene (LLDPE) can be obtained by copolymerizing ethylene and α-olefins, and α-olefins include propylene, 1-butene, 1-pentene, 1-hexene, 4-methyl- Examples include 1-pentene, 1-octene, 1-nonene, 1-decene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene, and 1-eicosene, and α-olefins having 4 to 10 carbon atoms are preferred. The α-olefin content in the linear low-density polyethylene is usually 1-15% by mass.

ポリプロピレン系樹脂としては、プロピレン成分を50質量%を超えて含有しておれば、特に限定されず、例えば、プロピレン単独重合体(ホモポリプロピレン)、プロピレンと少なくとも1種のプロピレン以外の炭素数が20以下のオレフィンとの共重合体などが挙げられる。なお、ポリプロピレン系樹脂は単独で用いられても二種以上が併用されてもよい。又、プロピレンと少なくとも1種のプロピレン以外の炭素数が20以下のオレフィンとの共重合体は、ブロック共重合体、ランダム共重合体の何れであってもよい。 The polypropylene-based resin is not particularly limited as long as it contains more than 50% by mass of the propylene component. Examples thereof include copolymers with the following olefins. Incidentally, the polypropylene-based resin may be used alone or in combination of two or more. The copolymer of propylene and at least one olefin having 20 or less carbon atoms other than propylene may be either a block copolymer or a random copolymer.

なお、プロピレンと共重合されるα-オレフィンとしては、例えば、エチレン、1-ブテン、1-ペンテン、4-メチル-1-ペンテン、1-ヘキセン、1-オクテン、1-ノネン、1-デセン、1-テトラデセン、1-ヘキサデセン、1-オクタデセン、1-エイコセンなどが挙げられる。 Examples of α-olefins to be copolymerized with propylene include ethylene, 1-butene, 1-pentene, 4-methyl-1-pentene, 1-hexene, 1-octene, 1-nonene, 1-decene, 1-tetradecene, 1-hexadecene, 1-octadecene, 1-eicosene and the like.

合成樹脂発泡シートの発泡倍率は3~15倍が好ましく、4~10倍がより好ましい。合成樹脂発泡シートの発泡倍率が3倍以上であると、エレクトレットシートの柔軟性が向上し、圧力に対する変形度合いが大きくなり、エレクトレットシートの圧電性が高くなり好ましい。合成樹脂発泡シートの発泡倍率が15倍以下であると、エレクトレットシートの機械的強度が向上し、圧縮永久歪みも小さくなり、エレクトレットシートは長期間に亘って優れた圧電性を維持し好ましい。なお、合成樹脂発泡シートの発泡倍率は、合成樹脂発泡シートを構成している合成樹脂全体の密度を合成樹脂発泡シートの密度で除した値をいう。 The expansion ratio of the synthetic resin foam sheet is preferably 3 to 15 times, more preferably 4 to 10 times. When the expansion ratio of the synthetic resin foam sheet is 3 times or more, the flexibility of the electret sheet is improved, the degree of deformation against pressure is increased, and the piezoelectricity of the electret sheet is increased, which is preferable. When the expansion ratio of the synthetic resin foam sheet is 15 times or less, the mechanical strength of the electret sheet is improved, the compression set is small, and the electret sheet maintains excellent piezoelectricity for a long period of time, which is preferable. The expansion ratio of a synthetic resin foamed sheet refers to a value obtained by dividing the density of the entire synthetic resin forming the synthetic resin foamed sheet by the density of the synthetic resin foamed sheet.

合成樹脂発泡シートの厚みは、10~300μmが好ましく、30~200μmがより好ましい。合成樹脂発泡シートの厚みが10μm以上であると、厚み方向の気泡数を確保することができ、エレクトレットシートの圧電性が向上し好ましい。合成樹脂発泡シートの厚みが300μm以下であると、エレクトレットシートの気泡壁に分極状態で効果的に帯電させることができ、エレクトレットシートの圧電性の安定性が向上し好ましい。 The thickness of the synthetic resin foam sheet is preferably 10-300 μm, more preferably 30-200 μm. When the thickness of the synthetic resin foam sheet is 10 µm or more, the number of cells in the thickness direction can be secured, and the piezoelectricity of the electret sheet is improved, which is preferable. When the thickness of the synthetic resin foam sheet is 300 μm or less, the cell walls of the electret sheet can be effectively charged in a polarized state, and the piezoelectric stability of the electret sheet is improved, which is preferable.

合成樹脂発泡シートの製造方法としては、特に限定されず、例えば、合成樹脂及び熱分解型発泡剤、並びに必要に応じて多官能モノマーを押出機に供給して熱分解型発泡剤の分解温度未満の温度にて溶融混練し押出機に取り付けたTダイから発泡性合成樹脂シートを押出し、この発泡性合成樹脂シートを必要に応じて架橋した上で、発泡性合成樹脂シートを熱分解型発泡剤の分解温度以上に加熱して発泡させて合成樹脂発泡シートを製造する方法が挙げられる。 The method for producing the synthetic resin foam sheet is not particularly limited. A foamable synthetic resin sheet is extruded from a T-die attached to a melt-kneading extruder at a temperature of , and after cross-linking the foamable synthetic resin sheet as necessary, the foamable synthetic resin sheet is treated with a thermally decomposable foaming agent. A method of producing a synthetic resin foamed sheet by heating to a decomposition temperature or higher to foam is exemplified.

熱分解型発泡剤としては、例えば、アゾジカルボンアミド、ベンゼンスルホニルヒドラジド、ジニトロソペンタメチレンテトラミン、トルエンスルホニルヒドラジド、4,4-オキシビス(ベンゼンスルホニルヒドラジド)などが挙げられる。 Thermal decomposition type blowing agents include, for example, azodicarbonamide, benzenesulfonylhydrazide, dinitrosopentamethylenetetramine, toluenesulfonylhydrazide, 4,4-oxybis(benzenesulfonylhydrazide) and the like.

合成樹脂発泡シートは多官能モノマーを用いて架橋されていることが好ましい。多官能モノマーを用いることによって、合成樹脂の架橋効率を向上させることができ、エレクトレットシートは、微弱な応力下においても優れた圧電性を発揮する。 The synthetic resin foam sheet is preferably crosslinked using a polyfunctional monomer. By using a polyfunctional monomer, the cross-linking efficiency of the synthetic resin can be improved, and the electret sheet exhibits excellent piezoelectricity even under weak stress.

多官能モノマーとしては、ジビニルベンゼン、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメリット酸トリアリルエステル、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、シアノエチルアクリレート、ビス(4-アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパンなどが挙げられる。なかでも、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジビニルベンゼン、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレートが好ましい。なお、(メタ)アクリレートは、メタクリレート又はアクリレートを意味する。 Polyfunctional monomers include divinylbenzene, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, 1,9-nonanediol di(meth)acrylate, triallyl trimellitate, tri ethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, cyanoethyl acrylate, bis(4-acryloxypolyethoxyphenyl)propane and the like. Among them, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, divinylbenzene, and 1,9-nonanediol di(meth)acrylate are preferred. (Meth)acrylate means methacrylate or acrylate.

多官能モノマーの量は、合成樹脂100質量部に対して0.1~10質量部が好ましく、0.5~8質量部が好ましい。多官能モノマーの量が0.1質量部以上であると、合成樹脂の架橋効率を十分に向上させることができる。多官能モノマーの量が10質量部以下であると、エレクトレットシートは、微弱な応力下においても優れた圧電性を発揮する。 The amount of the polyfunctional monomer is preferably 0.1 to 10 parts by mass, preferably 0.5 to 8 parts by mass, per 100 parts by mass of the synthetic resin. When the amount of the polyfunctional monomer is 0.1 parts by mass or more, the cross-linking efficiency of the synthetic resin can be sufficiently improved. When the amount of the polyfunctional monomer is 10 parts by mass or less, the electret sheet exhibits excellent piezoelectricity even under weak stress.

上記製造方法において、発泡性合成樹脂シートを養生することが好ましい。発泡性合成樹脂シートを養生することによって、合成樹脂中の残留歪みが開放され、得られる合成樹脂発泡シートの気泡が均一で且つ微細になり、得られるエレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。 In the above manufacturing method, it is preferable to cure the expandable synthetic resin sheet. By curing the foamable synthetic resin sheet, the residual strain in the synthetic resin is released, and the cells of the synthetic resin foamed sheet obtained become uniform and fine. retain their sexuality.

発泡性合成樹脂シートを養生するときの雰囲気温度は、20~70℃が好ましく、20~50℃がより好ましい。発泡性合成樹脂シートの養生温度は、20℃以上であると、養生時間を短縮することができ、合成樹脂発泡シートの製造効率が向上する。発泡性合成樹脂シートの養生温度は、70℃以下であると、合成樹脂発泡シートの気泡が均一となり、得られるエレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。 The ambient temperature for curing the expandable synthetic resin sheet is preferably 20 to 70°C, more preferably 20 to 50°C. When the curing temperature of the foamable synthetic resin sheet is 20° C. or higher, the curing time can be shortened, and the manufacturing efficiency of the synthetic resin foamed sheet is improved. When the curing temperature of the foamable synthetic resin sheet is 70° C. or less, the cells of the foamed synthetic resin sheet become uniform, and the resulting electret sheet maintains high piezoelectricity even in a high-temperature environment.

発泡性合成樹脂シートの養生時間は、1~120時間が好ましく、2~72時間がより好ましく、20~72時間が特に好ましい。発泡性合成樹脂シートの養生時間が1時間以上であると、得られる合成樹脂発泡シートの気泡が均一になり、得られるエレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。発泡性合成樹脂シートの養生時間が120時間以下であると、表面平滑性に優れた合成樹脂発泡シートを得ることができ、エレクトレットシートは、高温環境下においても高い圧電性を保持する。 The curing time of the expandable synthetic resin sheet is preferably 1 to 120 hours, more preferably 2 to 72 hours, and particularly preferably 20 to 72 hours. When the foamable synthetic resin sheet is cured for 1 hour or more, the resulting synthetic resin foamed sheet has uniform cells, and the resulting electret sheet retains high piezoelectricity even in a high-temperature environment. When the curing time of the foamable synthetic resin sheet is 120 hours or less, the synthetic resin foamed sheet having excellent surface smoothness can be obtained, and the electret sheet retains high piezoelectricity even in a high temperature environment.

合成樹脂発泡シートは、合成樹脂発泡シートの電荷保持力を向上させることができるので、延伸されていることが好ましく、一軸延伸されていることがより好ましく、押出方向に対して直交する方向にのみ一軸延伸されていることが特に好ましい。合成樹脂発泡シートの延伸方法としては、例えば、(1)合成樹脂発泡シートの長さ方向(押出方向)又は幅方向(押出方向に直交する方向)に延伸を行う一軸延伸法、(2)合成樹脂発泡シートの長さ方向(押出方向)及び幅方向(押出方向に直交する方向)の双方向に延伸を行う二軸延伸法、(3)合成樹脂発泡シートの幅方向(押出方向に直交する方向)を固定した状態で長さ方向(押出方向)に延伸を行う延伸法、及び(4)合成樹脂発泡シートの長さ方向(押出方向)を固定した状態で幅方向(押出方向に直交する方向)に延伸を行う延伸法などが挙げられる。 Since the synthetic resin foam sheet can improve the charge retention of the synthetic resin foam sheet, it is preferably stretched, more preferably uniaxially stretched, only in the direction perpendicular to the extrusion direction. It is particularly preferred that the film is uniaxially stretched. Examples of methods for stretching the synthetic resin foam sheet include (1) a uniaxial stretching method in which the synthetic resin foam sheet is stretched in the length direction (extrusion direction) or the width direction (direction perpendicular to the extrusion direction); (3) A biaxial stretching method in which the resin foam sheet is stretched in both the length direction (extrusion direction) and the width direction (perpendicular to the extrusion direction), (3) the width direction of the synthetic resin foam sheet (perpendicular to the extrusion direction) and (4) the width direction (perpendicular to the extrusion direction) with the length direction (extrusion direction) of the synthetic resin foam sheet fixed. direction), and the like.

多孔質シートを帯電させることによってエレクトレットシートが構成されている。多孔質シートを帯電させる方法としては、特に限定されず、例えば、多孔質シートに直流電界を加える方法などが挙げられる。 An electret sheet is constructed by electrifying a porous sheet. A method for charging the porous sheet is not particularly limited, and examples thereof include a method of applying a DC electric field to the porous sheet.

多孔質シートに直流電界を加える方法としては、特に限定されず、例えば、(1)多孔質シートを一対の平板電極で挟持し、帯電させたい表面に接触させている平板電極を高圧直流電源に接続すると共に他方の平板電極をアースし、多孔質シートに直流又はパルス状の高電圧を印加して合成樹脂に電荷を注入して多孔質シートを帯電させる方法、(2)多孔質シートの第一の面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、多孔質シートの第二の面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極又はワイヤー電極を配設し、針状電極の先端又はワイヤー電極の表面近傍への電界集中によりコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極又はワイヤー電極の極性により発生した空気イオンを反発させて多孔質シートを帯電させる方法などが挙げられる。 The method of applying a DC electric field to the porous sheet is not particularly limited, and includes, for example: (1) The porous sheet is sandwiched between a pair of flat plate electrodes, and the flat plate electrodes in contact with the surface to be charged are connected to a high-voltage DC power supply. (2) A method of charging the porous sheet by injecting electrical charges into the synthetic resin by applying a direct current or pulse-like high voltage to the porous sheet while grounding the other flat electrode. A needle-like electrode or a wire electrode having a grounded flat plate electrode superposed on one surface in close contact with the second surface of the porous sheet with a predetermined space therebetween and electrically connected to a DC high-voltage power supply. is arranged to generate corona discharge by electric field concentration near the tip of the needle electrode or the surface of the wire electrode, ionize the air molecules, and repel the air ions generated by the polarity of the needle electrode or wire electrode. a method of charging the porous sheet with a

多孔質シートに直流電界を加える時の直流処理電圧の絶対値は、5~40kVが好ましく、10~30kVがより好ましい。直流処理電圧を上記範囲に調整することによって、得られるエレクトレットシートの高温における圧電性の保持性が向上する。 The absolute value of the DC treatment voltage when applying a DC electric field to the porous sheet is preferably 5 to 40 kV, more preferably 10 to 30 kV. By adjusting the DC processing voltage within the above range, the retention of piezoelectricity of the resulting electret sheet at high temperatures is improved.

エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度60%における体積抵抗率は、1.0×1015Ω・cm以上であり、1.0×1015~1.0×1018Ω・cmが好ましく、1.0×1016~1.0×1018Ω・cmがより好ましい。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度60%における体積抵抗率が1.0×1015Ω・cm以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度60%における体積抵抗率が1.0×1018Ω・cm以下であると、エレクトレットシートの表面に静電気が発生し難くなり、内部電荷の放電が抑制され、エレクトレットシートの圧電性の保持性が向上するので好ましい。 The volume resistivity of the electret sheet at 25° C. and 60% relative humidity is 1.0×10 15 Ωcm or more, preferably 1.0×10 15 to 1.0×10 18 Ωcm. 0×10 16 to 1.0×10 18 Ω·cm is more preferable. When the electret sheet has a volume resistivity of 1.0×10 15 Ω·cm or more at 25° C. and a relative humidity of 60%, the electret sheet retains excellent piezoelectricity in a high-temperature atmosphere. If the electret sheet has a volume resistivity of 1.0×10 18 Ω·cm or less at 25° C. and a relative humidity of 60%, static electricity is less likely to occur on the surface of the electret sheet, and discharge of internal charges is suppressed. This is preferable because it improves the retention of the piezoelectricity of the electret sheet.

エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度90%における体積抵抗率は、1.0×1013Ω・cm以上が好ましく、1.0×1014~1.0×1018Ω・cmがより好ましく、1.0×1015~1.0×1018Ω・cmが特に好ましい。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度90%における体積抵抗率が1.0×1013Ω・cm以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度90%における体積抵抗率が1.0×1018Ω・cm以下であると、エレクトレットシートの表面に静電気が発生し難くなり、内部電荷の放電が抑制され、エレクトレットシートの圧電性の保持性が向上するので好ましい。 The volume resistivity of the electret sheet at 25° C. and 90% relative humidity is preferably 1.0×10 13 Ω·cm or more, more preferably 1.0×10 14 to 1.0×10 18 Ω·cm, 1.0×10 15 to 1.0×10 18 Ω·cm is particularly preferable. When the electret sheet has a volume resistivity of 1.0×10 13 Ω·cm or more at 25° C. and a relative humidity of 90%, the electret sheet retains excellent piezoelectricity in a high-temperature atmosphere. If the electret sheet has a volume resistivity of 1.0×10 18 Ω·cm or less at 25° C. and a relative humidity of 90%, static electricity is less likely to occur on the surface of the electret sheet, and discharge of internal charges is suppressed. This is preferable because it improves the retention of the piezoelectricity of the electret sheet.

エレクトレットシートの25℃、測定する相対湿度下における体積抵抗率は下記の要領で測定される。具体的には、10cm角の平面正方形状の試験片を得、この試験片を25℃、所定の相対湿度の雰囲気下で裏面電極上に載置して10分間放置した後、試験片上に表面電極を載置し、電極間に500V電圧を印加してから1分後の抵抗値(R[Ω])を測定し、体積抵抗率(ρ[Ω・cm])を下記式に基づいて算出した。測定時において、表裏電極によって試験片に加わる荷重が5kPa以下となるように調整した。
ρ=(π×d2/4t)×R
ρ:エレクトレットシートの体積抵抗率[Ω・cm]
π:円周率(3.14)
d:表面電極の直径(5[cm])
t:試験片の厚み(0.01[cm])
R:抵抗値([Ω])
エレクトレットシートの体積抵抗率の測定は、例えば、検出機(ADC社製 デジタル超高抵抗/微小電流計 8340A)、及び温度制御可能な測定用電極(ADC社製 レジスティビティチェンバ 12708)を用いて行うことができる。
The volume resistivity of the electret sheet at 25° C. under the relative humidity to be measured is measured in the following manner. Specifically, a 10 cm square planar test piece was obtained, and this test piece was placed on the back electrode in an atmosphere of 25° C. and a predetermined relative humidity and allowed to stand for 10 minutes. Place the electrodes and measure the resistance value (R [Ω]) one minute after applying a voltage of 500 V between the electrodes, and calculate the volume resistivity (ρ [Ω cm]) based on the following formula. bottom. During measurement, the load applied to the test piece by the front and back electrodes was adjusted to 5 kPa or less.
ρ=(π×d 2 /4t)×R
ρ: Volume resistivity of electret sheet [Ω cm]
π: Circumference ratio (3.14)
d: Diameter of surface electrode (5 [cm])
t: thickness of test piece (0.01 [cm])
R: Resistance value ([Ω])
The volume resistivity of the electret sheet is measured using, for example, a detector (digital ultra-high resistance/micro current meter 8340A manufactured by ADC) and a temperature-controllable measuring electrode (resistivity chamber 12708 manufactured by ADC). be able to.

エレクトレットシートの25℃及び測定する相対湿度における体積抵抗率を上述の範囲に制御する方法としては、特に限定されないが、例えば、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂の重量平均分子量を調整する方法、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂のメルトフローレイトを調整する方法などが挙げられる。 The method for controlling the volume resistivity of the electret sheet at 25° C. and the relative humidity to be measured within the above range is not particularly limited. Examples thereof include a method of adjusting the weight average molecular weight and a method of adjusting the melt flow rate of the synthetic resin forming the porous sheet forming the electret sheet.

エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度60%における絶縁破壊電圧は、6kV以上であり、6~12kVが好ましく、6~10kVが好ましい。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度60%における絶縁破壊電圧が6kV以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度60%における絶縁破壊電圧が12kV以下であると、エレクトレットシートの内部まで帯電させやすく、エレクトレットシートは優れた帯電性を有し好ましい。 The dielectric breakdown voltage of the electret sheet at 25° C. and 60% relative humidity is 6 kV or more, preferably 6 to 12 kV, more preferably 6 to 10 kV. When the electret sheet has a dielectric breakdown voltage of 6 kV or more at 25° C. and a relative humidity of 60%, the electret sheet has excellent retention of piezoelectricity in a high-temperature atmosphere. When the electret sheet has a dielectric breakdown voltage of 12 kV or less at 25° C. and a relative humidity of 60%, the inside of the electret sheet is easily electrified, and the electret sheet has excellent electrification properties, which is preferable.

エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度90%における絶縁破壊電圧は、4kV以上が好ましく、4~10kVがより好ましく、4~8kVが特に好ましい。エレクトレットシートの25℃で且つ相対湿度90%における絶縁破壊電圧が4kV以上であると、エレクトレットシートの高温雰囲気下における圧電性の保持性が優れている。エレクトレットシートの37℃における絶縁破壊電圧が10kV以下であると、エレクトレットシートの内部まで帯電させやすく、エレクトレットシートは優れた帯電性を有し好ましい。 The dielectric breakdown voltage of the electret sheet at 25° C. and 90% relative humidity is preferably 4 kV or more, more preferably 4 to 10 kV, and particularly preferably 4 to 8 kV. When the electret sheet has a dielectric breakdown voltage of 4 kV or more at 25° C. and a relative humidity of 90%, the electret sheet retains excellent piezoelectricity in a high-temperature atmosphere. When the dielectric breakdown voltage of the electret sheet at 37° C. is 10 kV or less, the inside of the electret sheet is easily electrified, and the electret sheet has excellent electrification properties, which is preferable.

なお、エレクトレットシートの25℃及び測定する相対湿度下における絶縁破壊電圧は下記の要領で測定された電圧をいう。具体的には、エレクトレットシートから一辺が50mmの平面正方形状の試験片を切り出す。一辺が50mmの平面正方形状の金属板及びアクリル板を用意する。試験片を25℃及び測定する相対湿度とした雰囲気下にて金属板とアクリル板とで挟持する。なお、試験片の厚みが減少しない程度(定圧荷重5kPa)に試験片を金属板とアクリル板とで挟持する。次に、アクリル板の中央部に形成された貫通孔内に電極を差し込み、電極を試験片に接触させ、直流電圧を試験片に印加する。印加した直流電圧によって30秒間通電がなければ、試験片に印加する直流電圧を0.5kVずつ上昇させていき、30秒未満で通電し絶縁破壊した時点において試験片に印加されている直流電圧を絶縁破壊電圧とする。エレクトレットシートの測定温度における絶縁破壊電圧は、例えば、菊水電子株式会社から商品名「TOS5101」にて市販されている測定装置を用いることができる。 Incidentally, the dielectric breakdown voltage of the electret sheet at 25° C. and relative humidity to be measured refers to the voltage measured in the following manner. Specifically, a planar square test piece having a side of 50 mm is cut out from the electret sheet. A flat square metal plate and an acrylic plate having a side of 50 mm are prepared. A test piece is sandwiched between a metal plate and an acrylic plate in an atmosphere of 25° C. and relative humidity to be measured. The test piece is sandwiched between the metal plate and the acrylic plate to such an extent that the thickness of the test piece does not decrease (constant pressure load of 5 kPa). Next, an electrode is inserted into a through hole formed in the center of the acrylic plate, the electrode is brought into contact with the test piece, and a DC voltage is applied to the test piece. If there is no current for 30 seconds due to the applied DC voltage, the DC voltage applied to the test piece is increased by 0.5 kV. It is the dielectric breakdown voltage. For the dielectric breakdown voltage of the electret sheet at the measurement temperature, for example, a measuring device commercially available from Kikusui Denshi Co., Ltd. under the trade name "TOS5101" can be used.

エレクトレットシートの25℃及び所定の相対湿度下における絶縁破壊電圧を上述の範囲に制御する方法としては、特に限定されないが、例えば、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂の体積抵抗率を調整する方法、エレクトレットシートを構成している多孔質シートを構成している合成樹脂の重量平均分子量を調整する方法などが挙げられる。 Although the method for controlling the dielectric breakdown voltage of the electret sheet at 25° C. and a predetermined relative humidity within the above range is not particularly limited, for example, the synthetic resin constituting the porous sheet constituting the electret sheet and a method of adjusting the weight average molecular weight of the synthetic resin forming the porous sheet forming the electret sheet.

25℃及び所定の相対湿度下において、エレクトレットシートの体積抵抗率及び絶縁破壊電圧が上記所定範囲であると、エレクトレットシートの高温時における保持性が向上するメカニズムは明確に分かっていないが、25℃及び所定の相対湿度下における体積抵抗率及び絶縁破壊電圧が上記範囲であると、高温になってエレクトレットシートを構成している多孔質シートの構成材料の分子運動が大きくなったとしても、分子間の隙間を所定の大きさに維持することができ、その結果、多孔質シート内に帯電させた電荷を高温時においても良好に保持することができるためであると考えられる。 If the volume resistivity and dielectric breakdown voltage of the electret sheet are within the above-specified ranges at 25°C and a predetermined relative humidity, the mechanism by which the retention of the electret sheet at high temperatures is improved is not clearly known. And when the volume resistivity and dielectric breakdown voltage under a predetermined relative humidity are within the above ranges, even if the molecular motion of the constituent materials of the porous sheet constituting the electret sheet increases due to high temperature, intermolecular It is believed that this is because the gap between the porous sheets can be maintained at a predetermined size, and as a result, the charge charged in the porous sheet can be retained well even at high temperatures.

エレクトレットシートの第一の面にシグナル電極を積層一体化し且つ第二の面にグランド電極を積層一体化することによって圧電センサが構成される。そして、グランド電極を基準電極としてシグナル電極の電位を測定することによって、圧電センサのエレクトレットシートにて発生した電位を測定することができる。 A piezoelectric sensor is constructed by laminating and integrating a signal electrode on a first surface of an electret sheet and a ground electrode on a second surface of the electret sheet. By measuring the potential of the signal electrode using the ground electrode as a reference electrode, the potential generated in the electret sheet of the piezoelectric sensor can be measured.

シグナル電極は、エレクトレットシートの第一の面に必要に応じて固定剤を介して積層一体化されている。同様に、グランド電極は、エレクトレットシートの第二の面に必要に応じて固定剤を介して積層一体化されている。なお、シグナル電極及びグランド電極としては、導電性を有しておれば、特に限定されず、例えば、銅箔、アルミニウム箔などの金属シート、導電性膜などが挙げられる。 The signal electrode is laminated and integrated on the first surface of the electret sheet via a fixing agent as necessary. Similarly, the ground electrode is integrally laminated on the second surface of the electret sheet via a fixing agent as required. The signal electrode and the ground electrode are not particularly limited as long as they have conductivity, and examples thereof include metal sheets such as copper foil and aluminum foil, and conductive films.

シグナル電極及びグランド電極を導電性膜で構成する場合、導電性膜は、電気絶縁シート上に形成された上で、エレクトレットシート上に積層一体化されもよいし、又は、エレクトレットシートの表面に直接、形成されてもよい。電気絶縁シート又はエレクトレットシート上に導電性膜を形成する方法としては、例えば、(1)電気絶縁シート又はエレクトレットシート上に、バインダー中に導電性微粒子を含有させてなる導電ペーストを塗布、乾燥させる方法、(2)電気絶縁シート又はエレクトレットシート上に蒸着によって電極を形成する方法などが挙げられる。 When the signal electrode and the ground electrode are composed of a conductive film, the conductive film may be formed on an electrically insulating sheet and then laminated and integrated on the electret sheet, or directly on the surface of the electret sheet. , may be formed. Methods for forming a conductive film on an electrical insulating sheet or electret sheet include, for example, (1) coating a conductive paste containing conductive fine particles in a binder on the electrical insulating sheet or electret sheet, and drying the paste; (2) a method of forming electrodes on an electrically insulating sheet or an electret sheet by vapor deposition;

電気絶縁シートとしては、電気絶縁性を有しておれば、特に限定されず、例えば、ポリイミドシート、ポリエチレンテレフタレートシート、ポリエチレンナフタレートシート、ポリ塩化ビニルシートなどが挙げられる。 The electric insulating sheet is not particularly limited as long as it has electric insulating properties, and examples thereof include polyimide sheets, polyethylene terephthalate sheets, polyethylene naphthalate sheets, and polyvinyl chloride sheets.

固定剤層を構成している固定剤は、反応系・溶剤系・水系・ホットメルト系の接着剤又は粘着剤から構成されており、エレクトレットシートの感度を維持する観点から、誘電率の低い固定剤が好ましい。 The fixing agent that constitutes the fixing agent layer is composed of reactive, solvent, water, or hot-melt adhesives or pressure-sensitive adhesives. agents are preferred.

次に本発明の実施例を説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。 EXAMPLES Next, examples of the present invention will be described, but the present invention is not limited to the following examples.

下記のポリプロピレン系樹脂A~E及びポリエチレン系樹脂A、Bを用意した。
〔ポリプロピレン系樹脂〕
プロピレン-エチレンランダム共重合体(ポリプロピレン系樹脂A、日本ポリプロ社製 商品名「ノバテックEG8B」、エチレン単位の含有量:5質量%)
プロピレン-エチレンランダム共重合体(ポリプロピレン系樹脂B、日本ポリプロ社製 商品名「ウィンテックWFW4」、エチレン単位の含有量:2質量%)
プロピレン-エチレンランダム共重合体(ポリプロピレン系樹脂C、日本ポリプロ社製 商品名「ウィンテックWFX4T」、エチレン単位の含有量:4質量%)
プロピレン-エチレンランダム共重合体(ポリプロピレン系樹脂D、日本ポリプロ社製 商品名「ウィンテックWEG7T」、エチレン単位の含有量:1質量%)
プロピレン-エチレンランダム共重合体E(ポリプロピレン系樹脂E、プライムポリマー社製 商品名「プライムポリプロB241」、エチレン単位の含有量:2.5質量%)
The following polypropylene resins A to E and polyethylene resins A and B were prepared.
[Polypropylene resin]
Propylene-ethylene random copolymer (polypropylene resin A, trade name "Novatec EG8B" manufactured by Japan Polypropylene Corporation, ethylene unit content: 5% by mass)
Propylene-ethylene random copolymer (polypropylene resin B, trade name “Wintec WFW4” manufactured by Japan Polypropylene Corporation, ethylene unit content: 2% by mass)
Propylene-ethylene random copolymer (polypropylene resin C, trade name “Wintech WFX4T” manufactured by Japan Polypropylene Corporation, ethylene unit content: 4% by mass)
Propylene-ethylene random copolymer (polypropylene resin D, trade name “Wintec WEG7T” manufactured by Japan Polypropylene Corporation, ethylene unit content: 1% by mass)
Propylene-ethylene random copolymer E (polypropylene resin E, trade name “Prime Polypro B241” manufactured by Prime Polymer Co., ethylene unit content: 2.5% by mass)

〔ポリエチレン系樹脂〕
直鎖状低密度ポリエチレン(ポリエチレン系樹脂A、エクソンケミカル社製 商品名「EXACT3027」)
低密度ポリエチレン(ポリエチレン系樹脂B、日本ポリプロ社製 商品名「ノバテックLE520H」)
[Polyethylene resin]
Linear low-density polyethylene (polyethylene resin A, trade name “EXACT3027” manufactured by Exxon Chemical)
Low-density polyethylene (polyethylene resin B, trade name “Novatec LE520H” manufactured by Japan Polypropylene)

(実施例1~5、比較例1、2)
ポリプロピレン系樹脂A~E、ポリエチレン系樹脂A、B、トリメチロールプロパントリメタクリレート、アゾジカルボンアミド及びフェノール系酸化防止剤を表1に示した所定量ずつ押出機に供給して溶融混練してTダイからシート状に押出し、厚みが180μmである発泡性樹脂シートを製造した。発泡性樹脂シートを一辺が30cmの平面正方形状に切り出した。
(Examples 1 to 5, Comparative Examples 1 and 2)
Polypropylene resins A to E, polyethylene resins A and B, trimethylolpropane trimethacrylate, azodicarbonamide and phenolic antioxidant are supplied to an extruder in predetermined amounts shown in Table 1, melt-kneaded, and T-die. A foamable resin sheet having a thickness of 180 μm was produced by extruding the resin into a sheet form. A flat square having a side of 30 cm was cut out from the expandable resin sheet.

得られた発泡性樹脂シートを雰囲気温度25℃にて48時間養生した。得られた発泡性樹脂シートの両面に電子線を加速電圧500kV及び強度25kGyの条件にて照射し、発泡性樹脂シートを構成しているポリオレフィン系樹脂を架橋した。架橋させた発泡性樹脂シートを250℃に加熱して発泡性樹脂シートを発泡させてポリオレフィン系樹脂発泡シートを得た。得られたポリオレフィン系樹脂発泡シートをその表面温度が130℃に維持された状態で自動一軸延伸装置(井元製作所社製 商品名「IMC-18C6型」)を用いて厚み200μmになるまで押出方向に対して直交する方向に延伸速度900mm/minにて一軸延伸して200μmのポリオレフィン系樹脂発泡シートを得た。なお、ポリオレフィン系樹脂発泡シートの発泡倍率及び厚みを表1に示した。 The obtained foamable resin sheet was cured at an ambient temperature of 25° C. for 48 hours. Both surfaces of the resulting foamable resin sheet were irradiated with electron beams at an acceleration voltage of 500 kV and an intensity of 25 kGy to crosslink the polyolefin resin constituting the foamable resin sheet. The crosslinked foamable resin sheet was heated to 250° C. to foam the foamable resin sheet to obtain a foamed polyolefin resin sheet. The obtained polyolefin resin foam sheet was stretched in the extrusion direction until the thickness became 200 μm using an automatic uniaxial stretching device (trade name “IMC-18C6 type” manufactured by Imoto Seisakusho Co., Ltd.) while the surface temperature was maintained at 130°C. It was uniaxially stretched at a stretching speed of 900 mm/min in a direction orthogonal to the other to obtain a 200 μm polyolefin resin foamed sheet. Table 1 shows the expansion ratio and thickness of the polyolefin resin foam sheet.

ポリオレフィン系樹脂発泡シートの第一の面に、アースされた平板電極を密着状態に重ね合わせ、ポリオレフィン系樹脂発泡シートの第二の面側に所定間隔を存して直流の高圧電源に電気的に接続された針状電極を配設し、針状電極の表面近傍への電界集中により、電圧-10kV、放電距離30mm及び電圧印可時間10秒の条件下にてコロナ放電を発生させ、空気分子をイオン化させて、針状電極の極性により発生した空気イオンを反発させてポリオレフィン系樹脂発泡シートに直流電界を加えて電荷を注入してポリオレフィン系樹脂発泡シートを全体的に帯電させた。ヒートガンを用いてポリオレフィン系樹脂発泡シートをその表面温度が40℃となるように維持しながら、ポリオレフィン系樹脂発泡シートに上記帯電処理を施した。その後、電荷を注入したポリオレフィン系樹脂発泡シートを、接地されたアルミニウム箔で包み込んだ状態で3時間に亘って保持してエレクトレットシートを得た。 A grounded flat plate electrode is placed in close contact with the first surface of the polyolefin resin foam sheet. A connected needle-like electrode is arranged, and an electric field is concentrated near the surface of the needle-like electrode to generate a corona discharge under the conditions of a voltage of -10 kV, a discharge distance of 30 mm, and a voltage application time of 10 seconds, thereby generating air molecules. After ionization, air ions generated by the polarity of the needle-like electrode were repulsed, and a DC electric field was applied to the polyolefin resin foam sheet to inject electric charge, thereby electrifying the polyolefin resin foam sheet as a whole. While maintaining the surface temperature of the polyolefin resin foam sheet at 40° C. using a heat gun, the polyolefin resin foam sheet was subjected to the charging treatment. After that, the polyolefin resin foam sheet into which the electric charge was injected was wrapped in a grounded aluminum foil and held for 3 hours to obtain an electret sheet.

得られたエレクトレットシートについて、25℃及び相対湿度60%における体積抵抗率、25℃及び相対湿度90%における体積抵抗率、25℃及び相対湿度60%における絶縁破壊電圧、並びに、25℃及び相対湿度90%における絶縁破壊電圧を上記の要領で、初期圧電定数d33及び高温圧電定数d33を下記の要領で測定し、その結果を表1に示した。 Regarding the obtained electret sheet, the volume resistivity at 25 ° C. and 60% relative humidity, the volume resistivity at 25 ° C. and 90% relative humidity, the dielectric breakdown voltage at 25 ° C. and 60% relative humidity, and 25 ° C. and relative humidity The dielectric breakdown voltage at 90% was measured as described above, and the initial piezoelectric constant d33 and high-temperature piezoelectric constant d33 were measured as described below.

(圧電定数d33)
エレクトレットシートから一辺が10mmの平面正方形状の試験片を切り出し、試験片の両面に金蒸着を施して試験体を作製した。
(piezoelectric constant d33)
A flat square test piece having a side of 10 mm was cut out from the electret sheet, and gold was deposited on both sides of the test piece to prepare a test piece.

試験体に加振機を用いて荷重Fが1N、動的荷重が±0.5N、周波数が30Hzの条件下にて押圧力を加え、その時に発生する電荷Q(クーロン)を計測した。電荷Q(クーロン)を荷重F(N)で除することによって圧電定数d33を算出した。なお、圧電定数dijはj方向の荷重、i方向の電荷を意味し、d33はエレクトレットシートの厚み方向の荷重及び厚み方向の電荷となる。 Using a vibrator, a pressing force was applied to the specimen under the conditions of a load F of 1 N, a dynamic load of ±0.5 N, and a frequency of 30 Hz, and the charge Q (coulomb) generated at that time was measured. The piezoelectric constant d33 was calculated by dividing the charge Q (coulomb) by the load F (N). The piezoelectric constant dij means the load in the j direction and the charge in the i direction, and d33 is the load in the thickness direction and the charge in the thickness direction of the electret sheet.

製造直後のエレクトレットシートの圧電定数d33を測定し、初期圧電定数d33とした。 The piezoelectric constant d33 of the electret sheet immediately after production was measured and taken as the initial piezoelectric constant d33.

エレクトレットシートをアルミニウム箔で包み込んだ状態で50℃及び相対湿度60%の恒温恒湿槽内に1週間に亘って放置した後、エレクトレットシートを23℃の恒温恒湿槽内に24時間に亘って放置した。このエレクトレットシートの圧電定数d33を測定し、高温圧電定数d33とした。 After the electret sheet was wrapped in aluminum foil and left in a constant temperature and humidity chamber at 50°C and a relative humidity of 60% for one week, the electret sheet was placed in a constant temperature and humidity chamber at 23°C for 24 hours. I left it. The piezoelectric constant d33 of this electret sheet was measured and defined as the high-temperature piezoelectric constant d33.

Figure 0007221582000001
Figure 0007221582000001

Claims (3)

帯電された合成樹脂発泡シートを含み、25℃で且つ相対湿度60%における体積抵抗率が1.0×1015Ω・cm以上で且つ25℃で且つ相対湿度60%における絶縁破壊電圧が6kV以上であり、発泡倍率が7.5倍以上であり、上記合成樹脂発泡シートは無機微粒子を含有していないことを特徴とするエレクトレットシート。 It contains a charged synthetic resin foam sheet, and has a volume resistivity of 1.0×10 15 Ω·cm or more at 25° C. and 60% relative humidity, and a dielectric breakdown voltage of 6 kV or more at 25° C. and 60% relative humidity. and an electret sheet characterized by having an expansion ratio of 7.5 times or more, and wherein the synthetic resin foam sheet does not contain inorganic fine particles. 25℃で且つ相対湿度90%における体積抵抗率が1.0×1013Ω・cm以上で且つ25℃で且つ相対湿度90%における絶縁破壊電圧が4kV以上であることを特徴とする請求項1に記載のエレクトレットシート。 A volume resistivity of 1.0×10 13 Ω·cm or more at 25° C. and 90% relative humidity, and a dielectric breakdown voltage of 4 kV or more at 25° C. and 90% relative humidity. Electret sheet described in . 合成樹脂発泡シートの厚みが10~300μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載のエレクトレットシート。 3. The electret sheet according to claim 1, wherein the synthetic resin foam sheet has a thickness of 10 to 300 μm.
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009253050A (en) 2008-04-07 2009-10-29 Asahi Glass Co Ltd Electret and electrostatic induction type conversion device
WO2015137351A1 (en) 2014-03-13 2015-09-17 積水化学工業株式会社 Electret sheet and piezoelectric sensor

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1984003193A1 (en) * 1983-02-04 1984-08-16 Minnesota Mining & Mfg Method and apparatus for manufacturing an electret filter medium
JP3286998B2 (en) * 1992-01-08 2002-05-27 東レ株式会社 Antibacterial electret material
WO2009128503A1 (en) * 2008-04-17 2009-10-22 旭硝子株式会社 Electret and electrostatic induction conversion device
JP5527211B2 (en) * 2008-09-19 2014-06-18 旭硝子株式会社 Electret, electrostatic induction conversion element, and method for manufacturing electret
JP2011216661A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Nitto Denko Corp Porous resin sheet for pyezoelectric/pyroelectric element, and method of manufacturing the same
CN103548103B (en) * 2011-04-21 2017-05-31 积水化学工业株式会社 Electret sheet
JP2014011282A (en) * 2012-06-29 2014-01-20 Sekisui Chem Co Ltd Electret sheet
JP2014034592A (en) * 2012-08-07 2014-02-24 Sekisui Chem Co Ltd Electret sheet
JPWO2014069477A1 (en) * 2012-10-31 2016-09-08 日本バルカー工業株式会社 Piezoelectric laminate
JP6018888B2 (en) * 2012-11-21 2016-11-02 積水化学工業株式会社 Electret sheet
JP6200799B2 (en) * 2012-12-27 2017-09-20 積水化学工業株式会社 Electret sheet
JP2014143369A (en) * 2013-01-25 2014-08-07 Sekisui Chem Co Ltd Electret sheet

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009253050A (en) 2008-04-07 2009-10-29 Asahi Glass Co Ltd Electret and electrostatic induction type conversion device
WO2015137351A1 (en) 2014-03-13 2015-09-17 積水化学工業株式会社 Electret sheet and piezoelectric sensor

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