JP7214981B2 - Resin composition, sheet laminate material, printed wiring board and semiconductor device - Google Patents

Resin composition, sheet laminate material, printed wiring board and semiconductor device Download PDF

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Description

本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、シート状積層材料、プリント配線板、及び半導体装置に関する。 The present invention relates to resin compositions. Furthermore, it relates to a sheet-like laminate material, a printed wiring board, and a semiconductor device.

プリント配線板の製造技術としては、内層基板上に絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。絶縁層は、一般に、樹脂組成物の硬化物により形成される。 As a technique for manufacturing a printed wiring board, a manufacturing method using a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked on an inner layer substrate is known. An insulating layer is generally formed from a cured product of a resin composition.

例えば、特許文献1には、(A)分子内に1つ以上のエチレン性不飽和結合を有するホスホナート化合物、(B)分子内に2つ以上のエチレン性不飽和結合および1つ以上の芳香族炭化水素又は脂環式炭化水素を有するラジカル重合性化合物、および、(C)無機充填材を含み、(A)成分と(B)成分が異なる化合物である、樹脂組成物が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses (A) a phosphonate compound having one or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule, (B) two or more ethylenically unsaturated bonds in the molecule and one or more aromatic Disclosed is a resin composition comprising a radically polymerizable compound having a hydrocarbon or an alicyclic hydrocarbon, and (C) an inorganic filler, wherein the (A) component and the (B) component are different compounds.

また、特許文献2には、(A)ラジカル重合性化合物、(B)エポキシ樹脂、(C)硬化剤及び(D)粗化成分を含有することを特徴とする樹脂組成物が開示されている。 Further, Patent Document 2 discloses a resin composition characterized by containing (A) a radically polymerizable compound, (B) an epoxy resin, (C) a curing agent, and (D) a roughening component. .

特開2016-210856号公報JP 2016-210856 A 特開2014-034580号公報JP 2014-034580 A

近年、誘電正接の低い絶縁層を形成できる樹脂組成物に対する要望が高まってきている。また、電子機器の小型化、高性能化が進み、プリント配線板においては、ビルドアップ層が複層化され、配線の微細化及び高密度化が求められている。 In recent years, there has been an increasing demand for a resin composition capable of forming an insulating layer with a low dielectric loss tangent. In addition, electronic devices are becoming more compact and higher in performance, and printed wiring boards are required to have multiple build-up layers and finer and higher density wiring.

配線の更なる微細化及び高密度化を達成するには、誘電正接が低く、スミア除去性に優れ、導体層との間の密着性に優れた硬化物を得ることができる樹脂組成物が求められる。また、密着性については、長寿命化の観点から、特に、高温高湿環境試験(HAST)後に密着性に優れることが求められる。しかし、これら全てを十分に満足させるには至っていないのが現状である。 In order to achieve further miniaturization and higher density of wiring, there is a demand for a resin composition that has a low dielectric loss tangent, excellent smear removability, and can provide a cured product with excellent adhesion to the conductor layer. be done. In addition, from the viewpoint of prolonging the adhesiveness, it is required that the adhesiveness is particularly excellent after a high-temperature high-humidity environment test (HAST). However, the current situation is that all of these are not fully satisfied.

したがって、本発明の課題は、誘電正接が低く、スミア除去性に優れ、導体層との間の密着性に優れる硬化物を得ることができる樹脂組成物;当該樹脂組成物を含有するシート状積層材料;当該樹脂組成物を用いて形成された硬化物からなる絶縁層を備えるプリント配線板;及び当該樹脂組成物の硬化物を含む半導体装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a resin composition that has a low dielectric loss tangent, is excellent in smear removal properties, and can provide a cured product having excellent adhesion to a conductor layer; a sheet-like laminate containing the resin composition The present invention provides a material; a printed wiring board provided with an insulating layer made of a cured product formed using the resin composition; and a semiconductor device containing the cured product of the resin composition.

本発明者らは、上記の課題につき鋭意検討した結果、(A)エポキシ樹脂、(B)ラジカル重合性不飽和基を有する樹脂、および(C)エポキシ樹脂硬化剤の組み合わせを特定の量で配合することにより、上記課題を実現し得ることを見出し、本発明を完成させるに至った。 As a result of extensive studies on the above problems, the present inventors have found that a combination of (A) an epoxy resin, (B) a resin having a radically polymerizable unsaturated group, and (C) an epoxy resin curing agent is blended in a specific amount. By doing so, the inventors have found that the above problems can be achieved, and have completed the present invention.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
[1] (A)エポキシ樹脂、(B)ラジカル重合性不飽和基を有する樹脂、および(C)エポキシ樹脂硬化剤を含む樹脂組成物であって、(A)成分が、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂を含み、(A-1)成分以外の(A)成分の含有量を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が2~250質量部であり、(B)成分の含有量を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が3~250質量部である、樹脂組成物。
[2] (A-1)成分が、2官能又は3官能のグリシジルアミン型エポキシ樹脂である、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が0.20~10質量部である、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (C)成分が、活性エステル系硬化剤、フェノール系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、及びベンゾオキサジン系硬化剤からなる群から選択される、[1]~[3]の何れかに記載の樹脂組成物。
[5] (B)成分が(メタ)アクリル酸エステルである、[1]~[4]の何れかに記載の樹脂組成物。
[6] (B)成分の含有量を100質量部とした場合、(A)成分の含有量が100~1000質量部である、[1]~[5]の何れかに記載の樹脂組成物。
[7] さらに(D)無機充填剤を含む、[1]~[6]の何れかに記載の樹脂組成物。
[8] 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(D)成分の含有量が、65質量部以上である、[7]に記載の樹脂組成物。
[9] さらに(E)熱可塑性樹脂を含む、[1]~[8]の何れかに記載の樹脂組成物。
[10] 導体層を形成するための絶縁層形成用である、[1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物。
[11] プリント配線板の絶縁層形成用である、[1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物。
[12] [1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。
[13] [1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を備えるプリント配線板。
[14] [1]~[9]の何れかに記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置。
That is, the present invention includes the following contents.
[1] A resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a resin having a radically polymerizable unsaturated group, and (C) an epoxy resin curing agent, wherein the component (A) is (A-1) When the content of component (A) other than component (A-1) containing glycidylamine-type epoxy resin is 100 parts by mass, the content of component (A-1) is 2 to 250 parts by mass, ( A resin composition in which the content of component (A-1) is 3 to 250 parts by mass when the content of component B) is 100 parts by mass.
[2] The resin composition according to [1], wherein component (A-1) is a difunctional or trifunctional glycidylamine type epoxy resin.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the content of component (A-1) is 0.20 to 10 parts by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass. thing.
[4] Any of [1] to [3], wherein component (C) is selected from the group consisting of active ester curing agents, phenolic curing agents, carbodiimide curing agents, and benzoxazine curing agents. The described resin composition.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], wherein the component (B) is a (meth)acrylic acid ester.
[6] The resin composition according to any one of [1] to [5], wherein the content of component (A) is 100 to 1000 parts by mass when the content of component (B) is 100 parts by mass. .
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], further comprising (D) an inorganic filler.
[8] The resin composition according to [7], wherein the content of component (D) is 65 parts by mass or more based on 100 parts by mass of non-volatile components in the resin composition.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], further comprising (E) a thermoplastic resin.
[10] The resin composition according to any one of [1] to [9], which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer.
[11] The resin composition according to any one of [1] to [9], which is for forming an insulating layer of a printed wiring board.
[12] A sheet-like laminate material containing the resin composition according to any one of [1] to [9].
[13] A printed wiring board comprising an insulating layer comprising a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [9].
[14] A semiconductor device comprising a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [9].

本発明の樹脂組成物によれば、誘電正接が低く、スミア除去性に優れ、導体層との間の密着性に優れる硬化物;当該樹脂組成物を含有するシート状積層材料;当該樹脂組成物を用いて形成された硬化物からなる絶縁層を備えるプリント配線板;及び当該樹脂組成物の硬化物を含む半導体装置を得ることができる。 According to the resin composition of the present invention, a cured product having a low dielectric loss tangent, excellent smear removal properties, and excellent adhesion to a conductor layer; a sheet-like laminate material containing the resin composition; the resin composition and a semiconductor device comprising a cured product of the resin composition.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。ただし、本発明は、下記実施形態及び例示物に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施され得る。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will now be described in detail with reference to its preferred embodiments. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and can be arbitrarily modified without departing from the scope of the claims of the present invention and their equivalents.

<樹脂組成物>
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)ラジカル重合性不飽和基を有する樹脂、および(C)エポキシ樹脂硬化剤を含む樹脂組成物であって、(A)成分が、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂を含み、(A-1)成分以外の(A)成分の含有量を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が2~250質量部であり、(B)成分の含有量を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が3~250質量部である。
<Resin composition>
The resin composition of the present invention comprises (A) an epoxy resin, (B) a resin having a radically polymerizable unsaturated group, and (C) an epoxy resin curing agent, wherein the component (A) is When the content of component (A) other than component (A-1) containing (A-1) glycidylamine type epoxy resin is 100 parts by mass, the content of component (A-1) is 2 to 250 mass parts. When the content of component (B) is 100 parts by mass, the content of component (A-1) is 3 to 250 parts by mass.

このような樹脂組成物を用いることにより、誘電正接が低く、導体層との間の密着性に優れ、スミア除去性に優れる硬化物を得ることが可能となるという本発明の所望の効果が得られる。 By using such a resin composition, it is possible to obtain the desired effect of the present invention that it is possible to obtain a cured product having a low dielectric loss tangent, excellent adhesion to the conductor layer, and excellent smear removal properties. be done.

本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)ラジカル重合性不飽和基を有する樹脂、および(C)エポキシ樹脂硬化剤に加えて、さらに任意の成分を含んでいてもよい。任意の成分としては、例えば、(D)無機充填材、(E)熱可塑性樹脂、(F)硬化促進剤、(G)重合開始剤、及び(H)その他の添加剤等が挙げられる。以下、樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 The resin composition of the present invention may further contain optional components in addition to (A) an epoxy resin, (B) a resin having a radically polymerizable unsaturated group, and (C) an epoxy resin curing agent. Examples of optional components include (D) an inorganic filler, (E) a thermoplastic resin, (F) a curing accelerator, (G) a polymerization initiator, and (H) other additives. Each component contained in the resin composition will be described in detail below.

<(A)エポキシ樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(A)成分として、エポキシ樹脂を含む。(A)成分は、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂を含み、さらに(A-1)成分とは別にその他のエポキシ樹脂を含む。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition of the present invention contains an epoxy resin as component (A). Component (A) contains (A-1) a glycidylamine type epoxy resin, and further contains other epoxy resins apart from component (A-1).

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、好ましくは2質量部以上、より好ましくは5質量部以上、さらに好ましくは8質量部以上である。その上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは60質量部以下、より好ましくは20質量部以下、さらに好ましくは15質量部以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of component (A) in the resin composition is preferably 2 mass from the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. parts or more, more preferably 5 parts by mass or more, and still more preferably 8 parts by mass or more. The upper limit is preferably 60 parts by mass or less, more preferably 20 parts by mass or less, and even more preferably 15 parts by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

(B)成分の含有量を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、密着性に優れた硬化物を得る観点から、好ましくは100質量部以上、より好ましくは150質量部以上、さらに好ましくは200質量部以上である。その上限は、誘電正接を低く抑えた硬化物を得る観点から、好ましくは1000質量部以下、より好ましくは800質量部以下、さらに好ましくは550質量部以下である。 When the content of component (B) is 100 parts by mass, the content of component (A) in the resin composition is preferably 100 parts by mass or more, more preferably 100 parts by mass or more, from the viewpoint of obtaining a cured product having excellent adhesion. is 150 parts by mass or more, more preferably 200 parts by mass or more. The upper limit is preferably 1000 parts by mass or less, more preferably 800 parts by mass or less, and even more preferably 550 parts by mass or less from the viewpoint of obtaining a cured product with a low dielectric loss tangent.

<(A-1)成分以外のエポキシ樹脂>
(A-1)成分以外のエポキシ樹脂(すなわち(A-1)成分以外の(A)成分)としては、例えば、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が挙げられる。(A-1)成分以外のエポキシ樹脂は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<Epoxy resin other than (A-1) component>
Epoxy resins other than component (A-1) (that is, component (A) other than component (A-1)) include, for example, bisphenol-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, trisphenol-type epoxy resins, and naphthol novolak. type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, tert-butyl-catechol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin , linear aliphatic epoxy resins, epoxy resins having a butadiene structure, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, naphthylene ether type epoxy resins resins, trimethylol-type epoxy resins, and tetraphenylethane-type epoxy resins. Epoxy resins other than component (A-1) may be used alone or in combination of two or more.

ビスフェノール型エポキシ樹脂は、ビスフェノール構造を有するエポキシ樹脂を指し、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂が挙げられる。 Bisphenol-type epoxy resins refer to epoxy resins having a bisphenol structure, and include, for example, bisphenol A-type epoxy resins, bisphenol F-type epoxy resins, bisphenol S-type epoxy resins, and bisphenol AF-type epoxy resins.

ビフェニル型エポキシ樹脂は、ビフェニル構造を有するエポキシ樹脂を指し、ここでビフェニル構造はアルキル基、アルコキシ基、アリール基等の置換基を有していてもよい。したがって、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂もビフェニル型エポキシ樹脂に含まれる。 A biphenyl-type epoxy resin refers to an epoxy resin having a biphenyl structure, where the biphenyl structure may have a substituent such as an alkyl group, an alkoxy group, or an aryl group. Therefore, bixylenol type epoxy resins and biphenyl aralkyl type epoxy resins are also included in biphenyl type epoxy resins.

(A-1)成分以外のエポキシ樹脂としては、芳香族系のエポキシ樹脂が好ましい。ここで、芳香族系のエポキシ樹脂とは、その分子内に芳香環を有するエポキシ樹脂を意味する。芳香環には、ベンゼン環等の単環構造だけでなく、ナフタレン環等の多環芳香族構造及び芳香族複素環構造も含まれる。中でも、(A-1)成分及び(B)成分との組み合わせにおいて優れた密着性を実現する観点から、(A-1)成分以外のエポキシ樹脂は、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂及びナフトール型エポキシ樹脂からなる群より選ばれる1種類以上が好ましく、ビスフェノール型エポキシ樹脂及びナフトール型エポキシ樹脂からなる群より選ばれる1種以上がより好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂及びナフトール型エポキシ樹脂からなる群より選ばれる1種以上がさらに好ましい。 As the epoxy resin other than the component (A-1), an aromatic epoxy resin is preferable. Here, the aromatic epoxy resin means an epoxy resin having an aromatic ring in its molecule. The aromatic ring includes not only monocyclic structures such as benzene ring but also polycyclic aromatic structures such as naphthalene ring and aromatic heterocyclic structures. Among them, from the viewpoint of achieving excellent adhesion in combination with components (A-1) and (B), epoxy resins other than component (A-1) are bisphenol type epoxy resins, biphenyl type epoxy resins, naphthyl One or more selected from the group consisting of rene ether-type epoxy resins, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins and naphthol-type epoxy resins is preferred, and one or more selected from the group consisting of bisphenol-type epoxy resins and naphthol-type epoxy resins is more preferred. , bisphenol A type epoxy resins and naphthol type epoxy resins.

(A-1)成分以外のエポキシ樹脂は、1分子中に2個以上のエポキシ基を有することが好ましい。(A-1)成分以外のエポキシ樹脂の不揮発成分を100質量%とした場合、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する(A-1)成分以外のエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上である。 Epoxy resins other than component (A-1) preferably have two or more epoxy groups in one molecule. When the non-volatile component of the epoxy resin other than the component (A-1) is 100% by mass, the ratio of the epoxy resin other than the component (A-1) having two or more epoxy groups in one molecule is preferably 50%. % by mass or more, more preferably 60% by mass or more, and even more preferably 70% by mass or more.

一般にエポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ともいう。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」ともいう。)とがある。本発明の樹脂組成物は、(A-1)成分以外のエポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂を単独で含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂を単独で含んでいてもよく、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含んでいてもよい。中でも、本発明の樹脂組成物は、(A-1)成分以外のエポキシ樹脂として、固体状エポキシ樹脂を単独、又は固体状エポキシ樹脂と液状エポキシ樹脂との組み合わせを含むことが好ましい。 Generally, epoxy resins include an epoxy resin that is liquid at a temperature of 20° C. (hereinafter also referred to as “liquid epoxy resin”) and an epoxy resin that is solid at a temperature of 20° C. (hereinafter also referred to as “solid epoxy resin”). be. The resin composition of the present invention may contain a liquid epoxy resin alone as an epoxy resin other than component (A-1), or may contain a solid epoxy resin alone. may be included in combination with a similar epoxy resin. Above all, the resin composition of the present invention preferably contains a solid epoxy resin alone or a combination of a solid epoxy resin and a liquid epoxy resin as the epoxy resin other than component (A-1).

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 The solid epoxy resin is preferably a solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups per molecule, more preferably an aromatic solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups per molecule.

固体状エポキシ樹脂としては、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂及びナフトール型エポキシ樹脂がより好ましく、ナフトール型エポキシ樹脂がさらに好ましい。 Solid epoxy resins include biphenyl-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins, cresol novolac-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, trisphenol-type epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, and biphenyl-type epoxy resins. Epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, bisphenol type epoxy resin, tetraphenylethane type epoxy resin are preferred, bixylenol type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin. Tetrafunctional epoxy resins and naphthol-type epoxy resins are more preferred, and naphthol-type epoxy resins are even more preferred.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032H」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-4700」、「HP-4710」(ナフタレン型4官能エポキシ樹脂);DIC社製の「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP-7200HH」、「HP-7200H」、「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000H」、「YX4000」、「YL6121」(ビフェニル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000HK」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂);が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include "HP4032H" (naphthalene-type epoxy resin) manufactured by DIC; "HP-4700" and "HP-4710" (naphthalene-type tetrafunctional epoxy resin) manufactured by DIC; "N-690" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; "N-695" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; "HP-7200" (dicyclopentadiene type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; DIC's "HP-7200HH", "HP-7200H", "EXA-7311", "EXA-7311-G3", "EXA-7311-G4", "EXA-7311-G4S", "HP6000" ( Naphthylene ether type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd. "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin); Nippon Kayaku Co., Ltd. "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin); "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3100" (biphenyl aralkyl type epoxy resin); Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN475V" (naphthol type epoxy resin); Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN485" (naphthol Novolak type epoxy resin); "YX4000H", "YX4000", "YL6121" (biphenyl type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "YX4000HK" (bixylenol type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "YX8800" (anthracene type epoxy resin); "PG-100" and "CG-500" (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Osaka Gas Chemicals; "YL7760" (bisphenol AF type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "YL7800" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (fluorene type epoxy resin); "jER1010" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (solid bisphenol A type epoxy resin); "jER1031S" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (tetraphenylethane type epoxy resin) ; These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する芳香族系の液状エポキシ樹脂がより好ましい。 The liquid epoxy resin is preferably a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule, more preferably an aromatic liquid epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂が特に好ましい。 Liquid epoxy resins include bisphenol-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, glycidyl ester-type epoxy resins, phenol novolak-type epoxy resins, alicyclic epoxy resins having an ester skeleton, cyclohexane-type epoxy resins, cyclohexanedimethanol-type epoxy resins, and butadiene structures are preferred, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin and naphthalene type epoxy resin are more preferred, and bisphenol A type epoxy resin is particularly preferred.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「jER828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂);などが挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include "HP4032", "HP4032D", and "HP4032SS" (naphthalene-type epoxy resins) manufactured by DIC; ", "Epikote 828EL" (bisphenol A type epoxy resin); "jER807" and "1750" (bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER152" (phenol novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "ZX1059" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. (mixture of bisphenol A type epoxy resin and bisphenol F type epoxy resin); "EX-721" manufactured by Nagase ChemteX Corporation (glycidyl ester type epoxy resin); Celoxide 2021P” (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton); “PB-3600” manufactured by Daicel Corporation (epoxy resin having a butadiene structure); “ZX1658” and “ZX1658GS” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co. 4-glycidylcyclohexane type epoxy resin); These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(A-1)成分以外のエポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの質量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、好ましくは1:0.1~1:15、より好ましくは1:0.5~1:10、さらに好ましくは1:1~1:8であり、特に好ましくは1:2~1:5である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との質量比が前記の範囲にあることにより、i)シート状積層材料の形態で使用する場合に適度な粘着性がもたらされる、ii)シート状積層材料の形態で使用する場合に十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する、並びにiii)十分な破断強度を有する絶縁層を得ることができるなどの効果が得られる。 When a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin is used as the epoxy resin other than the component (A-1), the mass ratio thereof (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably 1:0.1. to 1:15, more preferably 1:0.5 to 1:10, still more preferably 1:1 to 1:8, and particularly preferably 1:2 to 1:5. When the mass ratio of the liquid epoxy resin and the solid epoxy resin is within the above range, i) moderate adhesiveness is provided when used in the form of a sheet-like laminate material, and ii) the form of the sheet-like laminate material. When used in , sufficient flexibility can be obtained to improve handleability, and iii) an insulating layer having sufficient breaking strength can be obtained.

(A-1)成分以外のエポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50~5000g/eq、より好ましくは50~3000g/eq、さらに好ましくは80~2000g/eq、特に好ましくは110~1000g/eqである。エポキシ樹脂のエポキシ当量が前記の範囲にあることにより、樹脂組成物の硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層を得ることができる。なお、エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量であり、JIS K7236に従って測定することができる。 The epoxy equivalent of the epoxy resin other than component (A-1) is preferably 50 to 5000 g/eq, more preferably 50 to 3000 g/eq, still more preferably 80 to 2000 g/eq, and particularly preferably 110 to 1000 g/eq. be. When the epoxy equivalent of the epoxy resin is within the above range, the crosslink density of the cured product of the resin composition is sufficient, and an insulating layer with a small surface roughness can be obtained. The epoxy equivalent is the mass of a resin containing one equivalent of epoxy groups, and can be measured according to JIS K7236.

エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは100~5000であり、より好ましくは250~3000であり、さらに好ましくは400~1500である。なお、重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により測定されるポリスチレン換算の重量平均分子量である。 The weight average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably 100-5000, more preferably 250-3000, and still more preferably 400-1500. In addition, a weight average molecular weight is a weight average molecular weight of polystyrene conversion measured by the gel permeation chromatography (GPC) method.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(A-1)成分以外のエポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度及び絶縁信頼性を示す硬化物を得る観点から、好ましくは1.5質量部以上、より好ましくは2質量部以上、さらに好ましくは2.5質量部以上である。その上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは40質量部以下、より好ましくは20質量部以下、さらに好ましくは15質量部以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of the epoxy resin other than the component (A-1) in the resin composition is from the viewpoint of obtaining a cured product exhibiting good mechanical strength and insulation reliability. Therefore, it is preferably 1.5 parts by mass or more, more preferably 2 parts by mass or more, and still more preferably 2.5 parts by mass or more. The upper limit is preferably 40 parts by mass or less, more preferably 20 parts by mass or less, and even more preferably 15 parts by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

<(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂>
(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂とは、少なくとも1個のグリシジルアミノ基及び/又はジグリシジルアミノ基を含有するエポキシ樹脂をいう。グリシジルアミノ基には、1個のエポキシ基が、ジグリシジルアミノ基には、2個のエポキシ基が含まれる。
<(A-1) Glycidylamine type epoxy resin>
(A-1) Glycidylamine-type epoxy resin refers to an epoxy resin containing at least one glycidylamino group and/or diglycidylamino group. A glycidylamino group contains one epoxy group, and a diglycidylamino group contains two epoxy groups.

(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂は、耐熱性に優れた硬化物を得る観点から、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する2官能以上のグリシジルアミン型エポキシ樹脂であることが好ましく、1分子中に2個又は3個のエポキシ基を有する2官能又は3官能のグリシジルアミン型エポキシ樹脂であることがより好ましい。ここで、エポキシ基は、グリシジルアミノ基及びジグリシジルアミノ基由来のものに限られない。グリシジルアミン型エポキシ樹脂の不揮発成分を100質量部とした場合、2官能以上のグリシジルアミン型エポキシ樹脂の割合は、硬化物の耐熱性を高める観点から、好ましくは50質量部以上、より好ましくは60質量部以上、さらに好ましくは70質量部以上である。(A-1)成分は、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 (A-1) The glycidylamine-type epoxy resin is preferably a bifunctional or more glycidylamine-type epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule from the viewpoint of obtaining a cured product having excellent heat resistance. , more preferably a bifunctional or trifunctional glycidylamine type epoxy resin having 2 or 3 epoxy groups in one molecule. Here, epoxy groups are not limited to those derived from glycidylamino groups and diglycidylamino groups. When the non-volatile component of the glycidylamine type epoxy resin is 100 parts by mass, the ratio of the difunctional or higher glycidylamine type epoxy resin is preferably 50 parts by mass or more, more preferably 60 parts by mass, from the viewpoint of increasing the heat resistance of the cured product. It is at least 70 parts by mass, more preferably at least 70 parts by mass. The component (A-1) may be used alone or in combination of two or more.

(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂は、耐熱性をより向上させ、線熱膨張係数をより低くする観点から、分子内に芳香環を有することが好ましい。芳香環としては、ベンゼン環、ナフタレン環などが挙げられる。 (A-1) The glycidylamine type epoxy resin preferably has an aromatic ring in the molecule from the viewpoint of further improving heat resistance and lowering the coefficient of linear thermal expansion. Aromatic rings include a benzene ring and a naphthalene ring.

本発明の所望の効果を顕著に得る観点から好ましい(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂の例としては、下記式(a1)で表されるものが挙げられる。 Examples of preferred (A-1) glycidylamine type epoxy resins from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention include those represented by the following formula (a1).

Figure 0007214981000001
Figure 0007214981000001

式(a1)において、R11は、それぞれ独立に、グリシジルオキシ基、又はアルキル基を表す。R11がグリシジルオキシ基である場合、そのR11は、窒素原子とベンゼン環との結合部位を基準としてパラ位に結合していることが好ましい。また、R11がアルキル基である場合、そのR11は、窒素原子とベンゼン環との結合部位を基準として、オルト位に結合していることが好ましい。 In formula (a1), each R 11 independently represents a glycidyloxy group or an alkyl group. When R 11 is a glycidyloxy group, R 11 is preferably bonded at the para position relative to the bonding site between the nitrogen atom and the benzene ring. Moreover, when R 11 is an alkyl group, it is preferably bonded at the ortho position with respect to the bonding site between the nitrogen atom and the benzene ring.

アルキル基とは、直鎖又は分枝鎖の1価の脂肪族飽和炭化水素基をいう。炭素原子数1~10のアルキル基が好ましく、炭素原子数1~5のアルキル基がより好ましい。例えば、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、イソブチル、sec-ブチル、tert-ブチル、ペンチル、イソペンチル、ネオペンチル、1-エチルプロピル等が挙げられる。 An alkyl group refers to a linear or branched monovalent aliphatic saturated hydrocarbon group. An alkyl group having 1 to 10 carbon atoms is preferred, and an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms is more preferred. Examples include methyl, ethyl, propyl, isopropyl, butyl, isobutyl, sec-butyl, tert-butyl, pentyl, isopentyl, neopentyl, 1-ethylpropyl and the like.

式(a1)において、R12は、水素原子、又は1~3価の炭化水素基を表す。炭化水素基としては、例えば、アルキル基、アリール基等の1価の炭化水素基、アルキレン基、アリーレン基等の2価の炭化水素基が挙げられる。中でも、mが1である場合、本発明の所望の効果を得る観点から、R12としては、アルキル基が好ましく、メチル基がより好ましい。また、mが2である場合、本発明の所望の効果を得る観点から、R12としては、アルキレン基が好ましく、メチレン基がより好ましい。 In formula (a1), R 12 represents a hydrogen atom or a monovalent to trivalent hydrocarbon group. Examples of hydrocarbon groups include monovalent hydrocarbon groups such as alkyl groups and aryl groups, and divalent hydrocarbon groups such as alkylene groups and arylene groups. Among them, when m is 1, from the viewpoint of obtaining the desired effects of the present invention, R 12 is preferably an alkyl group, more preferably a methyl group. Further, when m is 2, from the viewpoint of obtaining the desired effect of the present invention, R 12 is preferably an alkylene group, more preferably a methylene group.

アリール基とは、1価の芳香族炭化水素基をいう。炭素原子数6~14のアリール基が好ましく、炭素原子数6~10のアリール基がより好ましい。例えば、フェニル、1-ナフチル、2-ナフチル、ビフェニリル、2-アンスリル等が挙げられる。 An aryl group refers to a monovalent aromatic hydrocarbon group. An aryl group having 6 to 14 carbon atoms is preferred, and an aryl group having 6 to 10 carbon atoms is more preferred. Examples include phenyl, 1-naphthyl, 2-naphthyl, biphenylyl, 2-anthryl and the like.

アルキレン基とは、直鎖又は分枝鎖の2価の脂肪族飽和炭化水素基をいう。炭素原子数1~10のアルキレン基が好ましく、炭素原子数1~5のアルキレン基がより好ましい。例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、ペンチレン基、へキシレン基、1,1-ジメチルエチレン基等が挙げられ、これらの結合位置は特に限定されない。 An alkylene group refers to a linear or branched divalent saturated aliphatic hydrocarbon group. An alkylene group having 1 to 10 carbon atoms is preferred, and an alkylene group having 1 to 5 carbon atoms is more preferred. Examples thereof include methylene group, ethylene group, propylene group, butylene group, pentylene group, hexylene group, 1,1-dimethylethylene group, etc., and the bonding positions thereof are not particularly limited.

アリーレン基とは、2価の芳香族炭化水素基をいう。炭素原子数6~14のアリーレン基が好ましく、炭素原子数6~10のアリーレン基がより好ましい。例えば、フェニレン基、ナフチレン基、ビフェニレン基等が挙げられ、これらの結合位置は特に限定されない。 An arylene group refers to a divalent aromatic hydrocarbon group. An arylene group having 6 to 14 carbon atoms is preferred, and an arylene group having 6 to 10 carbon atoms is more preferred. Examples include a phenylene group, a naphthylene group, a biphenylene group, and the like, and the bonding positions thereof are not particularly limited.

式(a1)において、nは、それぞれ独立に、0~4の整数を表す。中でも、nは、0~3の整数が好ましく、0~2の整数がより好ましく、0又は1がさらに好ましく、1が特に好ましい。 In formula (a1), each n independently represents an integer of 0 to 4. Among them, n is preferably an integer of 0 to 3, more preferably an integer of 0 to 2, still more preferably 0 or 1, and particularly preferably 1.

式(a1)において、mは、1~3の整数を表す。中でも、mは、1又は2が好ましく、1がさらに好ましい。 In formula (a1), m represents an integer of 1-3. Among them, m is preferably 1 or 2, more preferably 1.

(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「630」(下記式の通り)、「630LSD」、ADEKA社製の「EP3980S」(下記式の通り)、「EP3950S」、「EP3950L」、住友化学社製の「ELM-100」(下記式の通り)、「ELM-100H」、「ELM-434」(下記式の通り)、「ELM-434L」などが挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 (A-1) Specific examples of the glycidylamine type epoxy resin include "630" (according to the following formula) and "630LSD" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, "EP3980S" (according to the following formula) manufactured by ADEKA, " EP3950S", "EP3950L", Sumitomo Chemical's "ELM-100" (according to the following formula), "ELM-100H", "ELM-434" (according to the following formula), "ELM-434L", etc. be done. These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

Figure 0007214981000002
Figure 0007214981000002

Figure 0007214981000003
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Figure 0007214981000004
Figure 0007214981000004

Figure 0007214981000005
Figure 0007214981000005

(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50~5000g/eq、より好ましくは50~3000g/eq、さらに好ましくは60~2000g/eq、特に好ましくは70~1000g/eqである。グリシジルアミン型エポキシ樹脂のエポキシ当量が前記の範囲にあることにより、樹脂組成物の硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層を得ることができる。 (A-1) The epoxy equivalent of the glycidylamine type epoxy resin is preferably 50 to 5000 g/eq, more preferably 50 to 3000 g/eq, still more preferably 60 to 2000 g/eq, and particularly preferably 70 to 1000 g/eq. be. When the epoxy equivalent of the glycidylamine type epoxy resin is within the above range, the crosslink density of the cured product of the resin composition is sufficient, and an insulating layer with a small surface roughness can be obtained.

(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、好ましくは100~5000であり、より好ましくは250~3000であり、さらに好ましくは400~1500である。 (A-1) The weight average molecular weight (Mw) of the glycidylamine type epoxy resin is preferably 100 to 5,000, more preferably 250 to 3,000, still more preferably 400 to 1,500.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(A-1)成分の含有量は、硬化物のスミア除去性及び密着性を特に良好にする観点から、好ましくは0.10質量部以上、より好ましくは0.20質量部以上、さらに好ましくは0.25質量部以上である。その上限は、誘電正接を特に低く抑えた硬化物を得る観点から、好ましくは20質量部以下、より好ましくは10質量部以下、さらに好ましくは8質量部以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of the component (A-1) in the resin composition is preferably It is 0.10 parts by mass or more, more preferably 0.20 parts by mass or more, and still more preferably 0.25 parts by mass or more. The upper limit is preferably 20 parts by mass or less, more preferably 10 parts by mass or less, and even more preferably 8 parts by mass or less, from the viewpoint of obtaining a cured product with a particularly low dielectric loss tangent.

樹脂組成物中の(A-1)成分以外の(A)成分の含有量を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(A-1)成分の含有量は、スミア除去性及び密着性に優れた硬化物を得る観点から、2質量部以上であり、好ましくは5質量部以上であり、より好ましくは10質量部以上である。その上限は、誘電正接を低く抑えた硬化物を得る観点から、250質量部以下であり、好ましくは200質量部以下であり、より好ましくは100質量部以下である。 When the content of component (A) other than component (A-1) in the resin composition is 100 parts by mass, the content of component (A-1) in the resin composition is the smear removal property and adhesion From the viewpoint of obtaining a cured product having excellent properties, the amount is 2 parts by mass or more, preferably 5 parts by mass or more, and more preferably 10 parts by mass or more. The upper limit is 250 parts by mass or less, preferably 200 parts by mass or less, more preferably 100 parts by mass or less, from the viewpoint of obtaining a cured product with a low dielectric loss tangent.

樹脂組成物中の(B)成分の含有量を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(A-1)成分の含有量は、スミア除去性及び密着性に優れた硬化物を得る観点から、3質量部以上であり、好ましくは5質量部以上であり、より好ましくは10質量部以上であり、さらに好ましくは20質量部以上である。その上限は、誘電正接を低く抑えた硬化物を得る観点から、250質量部以下であり、好ましくは200質量部以下であり、より好ましくは100質量部以下であり、さらに好ましくは50質量部以下である。 When the content of component (B) in the resin composition is 100 parts by mass, the content of component (A-1) in the resin composition is from the viewpoint of obtaining a cured product with excellent smear removal properties and adhesion. Therefore, it is 3 parts by mass or more, preferably 5 parts by mass or more, more preferably 10 parts by mass or more, and still more preferably 20 parts by mass or more. The upper limit is 250 parts by mass or less, preferably 200 parts by mass or less, more preferably 100 parts by mass or less, and still more preferably 50 parts by mass or less, from the viewpoint of obtaining a cured product with a low dielectric loss tangent. is.

<(B)ラジカル重合性不飽和基を有する樹脂>
本発明の樹脂組成物は、(B)成分として、ラジカル重合性不飽和基を有する樹脂(以下「不飽和樹脂」ともいう)を含む。(B)成分が含まれることにより、誘電正接を低くできるとともに、スミア除去性に優れる硬化物を得ることが可能となる。
<(B) Resin Having a Radically Polymerizable Unsaturated Group>
The resin composition of the present invention contains a resin having a radically polymerizable unsaturated group (hereinafter also referred to as “unsaturated resin”) as the component (B). By containing the component (B), the dielectric loss tangent can be lowered, and a cured product with excellent smear removability can be obtained.

(B)不飽和樹脂を含む樹脂組成物の硬化物は、通常、(B)不飽和樹脂の不飽和結合部位が反応して形成される分子構造部位を含む。これにより、硬化物の極性が小さくなり、誘電正接の値を低く抑えることができる。 A cured product of a resin composition containing (B) an unsaturated resin usually contains a molecular structure site formed by reaction of an unsaturated bond site of the (B) unsaturated resin. As a result, the polarity of the cured product is reduced, and the value of the dielectric loss tangent can be kept low.

ラジカル重合性不飽和基は、(B)不飽和樹脂の1分子中に、1個だけ含まれていてもよく、複数個含まれていてもよい。(B)不飽和樹脂は、誘電正接を低くし、スミア除去性に優れる硬化物を得る観点から、1分子あたり2個以上のラジカル重合性不飽和基を有することが好ましい。 One molecule of the (B) unsaturated resin may contain only one radically polymerizable unsaturated group, or a plurality thereof may be contained. (B) The unsaturated resin preferably has two or more radically polymerizable unsaturated groups per molecule from the viewpoint of obtaining a cured product having a low dielectric loss tangent and excellent smear removability.

ラジカル重合性不飽和基は、炭素炭素二重結合を有する基が好ましい。ラジカル重合性不飽和基としては、例えば、アクリロイル基(-CO-CH=CH)、メタクリロイル基(-CO-C(CH)=CH)、スチリル基(-CH=CH-C)、アリル基(-CH-CH=CH)、マレイミド基(-NC)などが挙げられる。中でも、アクリロイル基又はメタクリロイル基が好ましい。すなわち、不飽和樹脂は、(メタ)アクリル酸エステルであることが好ましい。用語「(メタ)アクリル酸エステル」には、アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、及びこれらの組み合わせが包含される。 The radically polymerizable unsaturated group is preferably a group having a carbon-carbon double bond. Examples of the radically polymerizable unsaturated group include an acryloyl group (--CO--CH=CH 2 ), a methacryloyl group (--CO--C(CH 3 )=CH 2 ), a styryl group (--CH=CH--C 6 H 5 ), allyl group (--CH 2 --CH=CH 2 ), maleimide group (--NC 4 O 2 H 2 ), and the like. Among them, an acryloyl group or a methacryloyl group is preferable. That is, the unsaturated resin is preferably a (meth)acrylic acid ester. The term "(meth)acrylic acid ester" includes acrylic acid esters, methacrylic acid esters, and combinations thereof.

(B)不飽和樹脂は、誘電正接を低くし、スミア除去性に優れる硬化物を得る観点から、環状基を有することが好ましい。環状基としては、非芳香族環状基及び芳香族環状基のいずれであってもよい。中でも、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、非芳香族環状基であることが好ましい。 (B) The unsaturated resin preferably has a cyclic group from the viewpoint of obtaining a cured product having a low dielectric loss tangent and excellent smear removability. The cyclic group may be either a non-aromatic cyclic group or an aromatic cyclic group. Among them, a non-aromatic cyclic group is preferable from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

環状基は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは3員環以上、より好ましくは4員環以上、さらに好ましくは5員環以上であり、好ましくは25員環以下、より好ましくは20員環以下、さらに好ましくは15員環以下である。また、環状基としては、単環構造であってもよく、多環構造であってもよい。 From the viewpoint of significantly obtaining the desired effect of the present invention, the cyclic group is preferably a 3-membered ring or more, more preferably a 4-membered ring or more, still more preferably a 5-membered ring or more, and preferably a 25-membered ring or less. It is preferably a 20-membered ring or less, more preferably a 15-membered ring or less. Moreover, the cyclic group may have a monocyclic structure or a polycyclic structure.

環状基における環は、炭素原子以外にヘテロ原子により環の骨格が構成されていてもよい。ヘテロ原子としては、例えば、酸素原子、硫黄原子、窒素原子等が挙げられ、酸素原子が好ましい。ヘテロ原子は前記の環に1つ有していてもよく、2つ以上を有していてもよい。 The ring in the cyclic group may have a ring skeleton composed of heteroatoms other than carbon atoms. The heteroatom includes, for example, an oxygen atom, a sulfur atom, a nitrogen atom, etc., and an oxygen atom is preferred. The ring may have one heteroatom, or may have two or more.

環状基の具体例としては、下記の2価の基(i)~(xi)が挙げられる。中でも、環状基としては、(x)又は(xi)が好ましい。 Specific examples of the cyclic group include the following divalent groups (i) to (xi). Among them, (x) or (xi) is preferable as the cyclic group.

Figure 0007214981000006
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環状基は、置換基を有していてもよい。このような置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルキル基、アルコキシ基、アリール基、アリールアルキル基、シリル基、アシル基、アシルオキシ基、カルボキシ基、スルホ基、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、オキソ基等が挙げられ、アルキル基が好ましい。 The cyclic group may have a substituent. Examples of such substituents include halogen atoms, alkyl groups, alkoxy groups, aryl groups, arylalkyl groups, silyl groups, acyl groups, acyloxy groups, carboxy groups, sulfo groups, cyano groups, nitro groups, hydroxy groups, A mercapto group, an oxo group and the like can be mentioned, and an alkyl group is preferred.

アルコキシ基とは、酸素原子にアルキル基が結合して形成する1価の基をいう。炭素原子数1~10のアルコキシ基が好ましく、炭素原子数1~5のアルコキシ基がより好ましい。例えば、メトキシ、エトキシ、プロポキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、イソブトキシ、sec-ブトキシ、tert-ブトキシ、ペンチルオキシ等が挙げられる。 An alkoxy group refers to a monovalent group formed by bonding an alkyl group to an oxygen atom. An alkoxy group having 1 to 10 carbon atoms is preferred, and an alkoxy group having 1 to 5 carbon atoms is more preferred. Examples include methoxy, ethoxy, propoxy, isopropoxy, butoxy, isobutoxy, sec-butoxy, tert-butoxy, pentyloxy and the like.

アリールアルキル基とは、アルキル基の任意の水素原子がアリール基に置き換えられて形成する1価の基をいう。例えば、ベンジル基等が挙げられる。 An arylalkyl group refers to a monovalent group formed by replacing any hydrogen atom of an alkyl group with an aryl group. For example, a benzyl group and the like can be mentioned.

アシル基とは、RCO-(ここでRはアルキル基、アリール基、アリールアルキル基等を示す。)で表される基をいう。例えば、アセチル基、ベンゾイル基等が挙げられる。 The acyl group refers to a group represented by RCO- (wherein R represents an alkyl group, an aryl group, an arylalkyl group, etc.). Examples include acetyl group and benzoyl group.

ラジカル重合性不飽和基は、環状基に直接結合していてもよく、2価の連結基を介して結合していてもよい。2価の連結基としては、例えば、アルキレン基、アルケニレン基、アリーレン基、ヘテロアリーレン基、-C(=O)O-、-O-、-NHC(=O)-、-NC(=O)N-、-NHC(=O)O-、-C(=O)-、-S-、-SO-、-NH-等が挙げられ、これらを複数組み合わせた基であってもよい。 The radically polymerizable unsaturated group may be directly bonded to the cyclic group, or may be bonded via a divalent linking group. Examples of divalent linking groups include alkylene groups, alkenylene groups, arylene groups, heteroarylene groups, -C(=O)O-, -O-, -NHC(=O)-, and -NC(=O). Examples include N-, -NHC(=O)O-, -C(=O)-, -S-, -SO-, and -NH-, and may be a group combining a plurality of these.

アルケニレン基とは、少なくとも1つの炭素-炭素二重結合を有する直鎖又は分枝鎖の2価の不飽和炭化水素基をいう。炭素原子数2~10のアルキレン基が好ましく、炭素原子数2~5のアルキレン基がより好ましい。例えば、エテニル、1-プロペニル、2-プロペニル(アリル)、2-メチル-1-プロペニル、1-ブテニル、2-ブテニル、3-ブテニル、3-メチル-2-ブテニル、1-ペンテニル、2-ペンテニル、3-ペンテニル、4-ペンテニル等が挙げられる。 An alkenylene group refers to a linear or branched divalent unsaturated hydrocarbon group having at least one carbon-carbon double bond. An alkylene group having 2 to 10 carbon atoms is preferred, and an alkylene group having 2 to 5 carbon atoms is more preferred. For example, ethenyl, 1-propenyl, 2-propenyl (allyl), 2-methyl-1-propenyl, 1-butenyl, 2-butenyl, 3-butenyl, 3-methyl-2-butenyl, 1-pentenyl, 2-pentenyl , 3-pentenyl, 4-pentenyl and the like.

ヘテロアリーレン基としては、酸素原子、硫黄原子及び窒素原子から選択されるヘテロ原子を芳香環内に含む2価の芳香族複素環基をいう。5又は6員環のヘテロアリーレン基が好ましい。ヘテロ原子の数は、1~4個であることが好ましい。ピリジン-2,6-ジイル、チアゾール-5,4-ジイル等が挙げられる。 The heteroarylene group refers to a divalent aromatic heterocyclic group containing a heteroatom selected from an oxygen atom, a sulfur atom and a nitrogen atom in the aromatic ring. A 5- or 6-membered heteroarylene group is preferred. The number of heteroatoms is preferably 1-4. pyridine-2,6-diyl, thiazole-5,4-diyl and the like.

(B)不飽和樹脂は、下記式(1)で表される化合物であることが好ましい。 (B) The unsaturated resin is preferably a compound represented by the following formula (1).

Figure 0007214981000007
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(式(1)中、R及びRはそれぞれ独立にラジカル重合性不飽和基を表し、R及びRはそれぞれ独立に2価の連結基を表し、環Aは、環状基を表す。) (In formula (1), R 1 and R 4 each independently represent a radically polymerizable unsaturated group, R 2 and R 3 each independently represent a divalent linking group, and Ring A represents a cyclic group. .)

及びRはそれぞれ独立にラジカル重合性不飽和基を表し、アクリロイル基又はメタクリロイル基が好ましく、アクリロイル基がより好ましい。R及びRはそれぞれ独立に2価の連結基を表す。2価の連結基としては、上記の2価の連結基と同様である。環Aは、環状基を表す。環Aとしては、上記の環状基と同様である。環Aは、置換基を有していてもよい。置換基としては、上記の環状基が有していてもよい置換基と同様である。 R 1 and R 4 each independently represent a radically polymerizable unsaturated group, preferably an acryloyl group or a methacryloyl group, more preferably an acryloyl group. R 2 and R 3 each independently represent a divalent linking group. The divalent linking group is the same as the above divalent linking group. Ring A represents a cyclic group. Ring A is the same as the above cyclic group. Ring A may have a substituent. The substituent is the same as the substituent that the cyclic group may have.

式(1)で表される不飽和樹脂の具体例としては、新中村化学工業社製「A-DOG」(ジオキサンアクリルモノマーグリコールジアクリレート、数平均分子量326、下記式(2)で表される化合物)、新中村化学工業社製「A-DCP」(トリシクロデカンジメタノールジアクリレート、数平均分子量304、下記式(3)で表される化合物)等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 Specific examples of the unsaturated resin represented by formula (1) include Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. "A-DOG" (dioxane acrylic monomer glycol diacrylate, number average molecular weight 326, represented by the following formula (2) compound), Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. "A-DCP" (tricyclodecanedimethanol diacrylate, number average molecular weight 304, compound represented by the following formula (3)), etc., but are limited to these not a thing

Figure 0007214981000008
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Figure 0007214981000009
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式(1)で表される不飽和樹脂以外の不飽和樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製「YL7776」(ビキシレノールジアリルエーテル樹脂、数平均分子量331、下記式(4)で表される化合物)、日本化薬社製「MIR-3000-70MT」(ビフェニルマレイミド樹脂、下記式(5)で表される化合物)等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。 As a specific example of the unsaturated resin other than the unsaturated resin represented by formula (1), "YL7776" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (bixylenol diallyl ether resin, number average molecular weight 331, represented by the following formula (4) compound), “MIR-3000-70MT” (biphenylmaleimide resin, compound represented by the following formula (5)) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., but not limited thereto.

Figure 0007214981000010
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Figure 0007214981000011
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式(5)中、nは1~5を表す。 In formula (5), n represents 1-5.

(B)不飽和樹脂の数平均分子量は、好ましくは100以上、より好ましくは200以上であり、好ましくは10000以下、より好ましくは3000以下である。(B)不飽和樹脂の数平均分子量が前記の範囲にあることにより、樹脂ワニスの乾燥時の揮発を抑制したり、樹脂組成物の溶融粘度が過大となることを抑制したりできる。数平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値で測定できる。GPC法による数平均分子量の測定は、例えば、測定装置として島津製作所社製「LC-9A/RID-6A」を用い、カラムとして昭和電工社製「Shodex K-800P/K-804L/K-804L」を用い、移動相としてクロロホルムを用いて、カラム温度40℃にて測定できる。 (B) The unsaturated resin preferably has a number average molecular weight of 100 or more, more preferably 200 or more, and preferably 10,000 or less, more preferably 3,000 or less. (B) When the number average molecular weight of the unsaturated resin is within the above range, volatilization of the resin varnish during drying can be suppressed, and excessive melt viscosity of the resin composition can be suppressed. The number average molecular weight can be measured in terms of polystyrene by gel permeation chromatography (GPC). Measurement of the number average molecular weight by the GPC method, for example, using "LC-9A / RID-6A" manufactured by Shimadzu Corporation as a measuring device, "Shodex K-800P / K-804L / K-804L manufactured by Showa Denko Co., Ltd. as a column. ”, chloroform is used as a mobile phase, and the measurement can be performed at a column temperature of 40° C.

樹脂組成物中の樹脂成分を100質量部とした場合、(B)成分の含有量は、本発明の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1質量部以上、より好ましくは3質量部以上、さらに好ましくは5質量部以上である。その上限は、好ましくは30質量部以下、より好ましくは25質量部以下、さらに好ましくは20質量部以下である。樹脂組成物の「樹脂成分」とは、樹脂組成物に含まれる不揮発成分のうち、(D)無機充填材を除いた成分をいう。 When the resin component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of component (B) is preferably 1 part by mass or more, more preferably 3 parts by mass or more, from the viewpoint of significantly obtaining the effects of the present invention. More preferably, it is 5 parts by mass or more. The upper limit is preferably 30 parts by mass or less, more preferably 25 parts by mass or less, and even more preferably 20 parts by mass or less. The “resin component” of the resin composition refers to a non-volatile component contained in the resin composition, excluding (D) the inorganic filler.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(B)成分の含有量は、スミア除去性に優れ、誘電正接の低い硬化物をもたらす樹脂組成物を得る観点から、好ましくは1質量%以上、より好ましくは2質量%以上である。その上限は、樹脂組成物の相溶性を向上させてHAST後の密着性を特に高める観点から、好ましくは20質量%以下、より好ましくは15質量%以下、さらに好ましくは10質量%以下又は7質量%以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of the component (B) in the resin composition is excellent in smear removal, from the viewpoint of obtaining a resin composition that provides a cured product with a low dielectric loss tangent. , preferably 1% by mass or more, more preferably 2% by mass or more. The upper limit is preferably 20% by mass or less, more preferably 15% by mass or less, still more preferably 10% by mass or less, or 7% by mass, from the viewpoint of improving the compatibility of the resin composition and particularly enhancing the adhesion after HAST. % or less.

<(C)エポキシ樹脂硬化剤>
本発明の樹脂組成物は、(C)成分として、(C)エポキシ樹脂硬化剤を含む。(C)エポキシ樹脂硬化剤としては、エポキシ樹脂を硬化する機能を有する限り特に限定されず、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、活性エステル系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤が挙げられる。硬化剤は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
<(C) Epoxy resin curing agent>
The resin composition of the present invention contains (C) an epoxy resin curing agent as the (C) component. (C) The epoxy resin curing agent is not particularly limited as long as it has a function of curing the epoxy resin. hardeners and carbodiimide hardeners. The curing agent may be used singly or in combination of two or more.

エポキシ樹脂硬化剤としては、好ましくは、活性エステル系硬化剤、フェノール系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、及びベンゾオキサジン系硬化剤からなる群から選択される硬化剤である。 The epoxy resin curing agent is preferably a curing agent selected from the group consisting of active ester curing agents, phenolic curing agents, carbodiimide curing agents, and benzoxazine curing agents.

耐熱性に優れる硬化物を得る観点、低い誘電正接、優れたスミア除去性、導体層との間の優れた密着性を実現する観点から、(C)成分は、活性エステル系硬化剤を含むことが好ましい。全(C)成分を100質量部とした場合、活性エステル系硬化剤の含有量は、好ましくは60質量%以上、より好ましくは70質量%以上、さらに好ましくは75質量%以上である。 From the viewpoint of obtaining a cured product with excellent heat resistance, low dielectric loss tangent, excellent smear removability, and excellent adhesion to the conductor layer, the component (C) contains an active ester curing agent. is preferred. When the total amount of component (C) is 100 parts by mass, the content of the active ester curing agent is preferably 60% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, and still more preferably 75% by mass or more.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性を高める観点から、含窒素フェノール系硬化剤又は含窒素ナフトール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤又はトリアジン骨格含有ナフトール系硬化剤がより好ましい。中でも、耐熱性、耐水性、及び導体層との密着性を高度に満足させる観点から、トリアジン骨格含有フェノールノボラック樹脂が好ましい。フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成(株)製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬(株)製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金化学(株)製の「SN-170」、「SN-180」、「SN-190」、「SN-475」、「SN-485」、「SN-495」、「SN-375」、「SN-395」、DIC(株)製の「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-3018」、「LA-1356」、「TD2090」等が挙げられる。 As the phenolic curing agent and the naphtholic curing agent, a phenolic curing agent having a novolac structure or a naphtholic curing agent having a novolac structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. In addition, from the viewpoint of enhancing adhesion to the conductor layer, a nitrogen-containing phenolic curing agent or a nitrogen-containing naphthol curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenolic curing agent or a triazine skeleton-containing naphthol curing agent is more preferable. Among them, a triazine skeleton-containing phenol novolac resin is preferable from the viewpoint of highly satisfying heat resistance, water resistance, and adhesion to the conductor layer. Specific examples of phenol-based curing agents and naphthol-based curing agents include, for example, “MEH-7700”, “MEH-7810” and “MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. "NHN", "CBN", "GPH", Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "SN-170", "SN-180", "SN-190", "SN-475", "SN-485", "SN-495", "SN-375", "SN-395", "LA-7052", "LA-7054", "LA-3018", "LA-1356", "TD2090" manufactured by DIC Corporation ” and the like.

活性エステル系硬化剤としては、特に制限はないが、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 The active ester-based curing agent is not particularly limited, but generally contains an ester group with high reaction activity such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, esters of heterocyclic hydroxy compounds in one molecule. A compound having two or more is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and/or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferred, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound is more preferred. Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalin, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucine, Benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compound, phenol novolak, and the like. Here, the term "dicyclopentadiene-type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing one molecule of dicyclopentadiene with two molecules of phenol.

具体的には、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル化合物、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物がより好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン-ジシクロペンタレン-フェニレンからなる2価の構造単位を表す。 Specifically, an active ester compound containing a dicyclopentadiene type diphenol structure, an active ester compound containing a naphthalene structure, an active ester compound containing an acetylated product of phenol novolac, and an active ester compound containing a benzoylated product of phenol novolak are preferred. Among them, an active ester compound containing a naphthalene structure and an active ester compound containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure are more preferable. "Dicyclopentadiene-type diphenol structure" represents a divalent structural unit consisting of phenylene-dicyclopentalene-phenylene.

活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル化合物として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC-8000-65T」(DIC(株)製)、ナフタレン構造を含む活性エステル化合物として「EXB9416-70BK」(DIC(株)製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル化合物として「DC808」(三菱化学(株)製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル化合物として「YLH1026」(三菱化学(株)製)などが挙げられる。 Commercially available active ester curing agents include "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", and "HPC-8000-65T" (manufactured by DIC Corporation) as active ester compounds containing a dicyclopentadiene type diphenol structure. ), "EXB9416-70BK" (manufactured by DIC Corporation) as an active ester compound containing a naphthalene structure, "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester compound containing an acetylated phenol novolak, benzoyl of phenol novolac "YLH1026" (made by Mitsubishi Chemical Corporation) etc. are mentioned as an active-ester compound containing a compound.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、JFEケミカル社製の「JBZ-OP100D」、「ODA-BOZ」;昭和高分子(株)製の「HFB2006M」、四国化成工業(株)製の「P-d」、「F-a」などが挙げられる。 Specific examples of benzoxazine-based curing agents include "JBZ-OP100D" and "ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical Co., Ltd.; "HFB2006M" manufactured by Showa Polymer Co., Ltd.; -d”, “Fa”, and the like.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート(オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート))、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン(株)製の「PT30」及び「PT60」(いずれもフェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of cyanate ester curing agents include bisphenol A dicyanate, polyphenolcyanate (oligo(3-methylene-1,5-phenylenecyanate)), 4,4'-methylenebis(2,6-dimethylphenylcyanate), 4, 4′-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanatophenylmethane), bis(4-cyanate-3,5- Difunctional cyanate resins such as dimethylphenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatophenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanatophenyl)thioether, and bis(4-cyanatophenyl)ether, Polyfunctional cyanate resins derived from phenol novolak, cresol novolak, etc., and prepolymers obtained by partially triazine-forming these cyanate resins. Specific examples of the cyanate ester-based curing agent include "PT30" and "PT60" (both phenol novolak type polyfunctional cyanate ester resins) and "BA230" (a part or all of bisphenol A dicyanate) manufactured by Lonza Japan Co., Ltd. is triazined to form a trimer) and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル(株)製の「V-03」、「V-07」等が挙げられる。 Specific examples of carbodiimide-based curing agents include “V-03” and “V-07” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., and the like.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(C)成分の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは5質量%以上、より好ましくは8質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上である。その上限は、好ましくは40質量%以下、より好ましくは30質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of component (C) in the resin composition is preferably 5% by mass or more, more It is preferably 8% by mass or more, more preferably 10% by mass or more. The upper limit is preferably 40% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, and even more preferably 20% by mass or less.

(A)エポキシ樹脂と(C)エポキシ樹脂硬化剤との量比は、[エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.2~1:2の範囲が好ましく、1:0.3~1:1.5がより好ましく、1:0.4~1:1.2がさらに好ましい。ここで、硬化剤の反応基とは、活性水酸基、活性エステル基等であり、硬化剤の種類によって異なる。また、エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各エポキシ樹脂の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべてのエポキシ樹脂について合計した値であり、硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、得られる絶縁層の耐熱性がより向上する。 The ratio of (A) the epoxy resin to (C) the epoxy resin curing agent is [total number of epoxy groups in the epoxy resin]:[total number of reactive groups in the curing agent], and is 1:0.2 to A range of 1:2 is preferred, 1:0.3 to 1:1.5 is more preferred, and 1:0.4 to 1:1.2 is even more preferred. Here, the reactive group of the curing agent is an active hydroxyl group, an active ester group, or the like, and varies depending on the type of curing agent. Further, the total number of epoxy groups in the epoxy resin is the sum of the values obtained by dividing the solid mass of each epoxy resin by the epoxy equivalent for all epoxy resins, and the total number of reactive groups in the curing agent is It is a value obtained by dividing the solid content mass of each curing agent by the reactive group equivalent and totaling all the curing agents. By setting the amount ratio of the epoxy resin to the curing agent within such a range, the heat resistance of the obtained insulating layer is further improved.

<(D)無機充填材>
本発明の樹脂組成物は、(D)成分として、無機充填材をさらに含んでもよい。無機充填材を含むことにより、線熱膨張係数及び誘電正接が一層低い硬化物を実現し得る。
<(D) Inorganic filler>
The resin composition of the present invention may further contain an inorganic filler as component (D). By including an inorganic filler, a cured product having a lower coefficient of linear thermal expansion and a lower dielectric loss tangent can be achieved.

(D)無機充填材の材料は特に限定されないが、例えば、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられ、シリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。またシリカとしては球形シリカが好ましい。無機充填材は1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 (D) The material of the inorganic filler is not particularly limited, but examples include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, Boehmite, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate , titanium oxide, zirconium oxide, barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Silica is particularly preferred. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. As silica, spherical silica is preferable. An inorganic filler may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

(D)無機充填材の市販品としては、例えば、電化化学工業社製の「UFP-30」;新日鉄住金マテリアルズ社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」;デンカ社製の「UFP-30」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;アドマテックス社製の「SC2500SQ」、「SO-C4」、「SO-C2」、「SO-C1」;などが挙げられる。 (D) Commercially available inorganic fillers include, for example, “UFP-30” manufactured by Denka Kagaku Kogyo; “SP60-05” and “SP507-05” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials; "YC100C", "YA050C", "YA050C-MJE", "YA010C"; "UFP-30" manufactured by Denka; 5N”; Admatechs “SC2500SQ”, “SO-C4”, “SO-C2”, “SO-C1”;

無機充填材の平均粒径は、好ましくは4μm以下、より好ましくは3μm以下、さらに好ましくは2.5μm以下、さらにより好ましくは2μm以下、特に好ましくは1μm以下、0.7μm以下、又は0.5μm以下である。無機充填材の平均粒径の下限は、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.03μm以上、さらに好ましくは0.05μm以上、0.07μm以上、又は0.1μm以上である。無機充填材の平均粒径はミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的にはレーザー回折式粒度分布測定装置により、無機充填材の粒度分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材を超音波により水中に分散させたものを好ましく使用することができる。レーザー回折式粒度分布測定装置としては、(株)堀場製作所製「LA-500」、「LA-750」、「LA-950」等を使用することができる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 4 µm or less, more preferably 3 µm or less, still more preferably 2.5 µm or less, even more preferably 2 µm or less, and particularly preferably 1 µm or less, 0.7 µm or less, or 0.5 µm. It is below. The lower limit of the average particle size of the inorganic filler is preferably 0.01 µm or more, more preferably 0.03 µm or more, and still more preferably 0.05 µm or more, 0.07 µm or more, or 0.1 µm or more. The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler can be prepared on a volume basis using a laser diffraction particle size distribution measuring apparatus, and the median diameter can be used as the average particle size for measurement. As the measurement sample, one obtained by ultrasonically dispersing an inorganic filler in water can be preferably used. "LA-500", "LA-750", "LA-950" manufactured by Horiba, Ltd. and the like can be used as the laser diffraction particle size distribution analyzer.

無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、アルコキシシラン化合物、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤などの1種以上の表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業(株)製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業(株)製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業(株)製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM-7103」(3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 Inorganic fillers include aminosilane-based coupling agents, epoxysilane-based coupling agents, mercaptosilane-based coupling agents, alkoxysilane compounds, organosilazane compounds, titanate-based coupling agents, etc., from the viewpoint of improving moisture resistance and dispersibility. It is preferably treated with one or more surface treatment agents. Examples of commercially available surface treatment agents include "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. silane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "SZ-31" (hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-4803" (long-chain epoxy type silane coupling agent ), “KBM-7103” (3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., and the like.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、所定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量部は、0.2質量部~5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部~3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部~2質量部で表面処理されていることが好ましい。 From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the degree of surface treatment with the surface treatment agent is preferably within a predetermined range. Specifically, 100 parts by mass of the inorganic filler is preferably surface-treated with 0.2-5 parts by mass of a surface treatment agent, and is surface-treated with 0.2-3 parts by mass. preferably 0.3 parts by mass to 2 parts by mass of the surface treatment.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上がさらに好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度やシート形態での溶融粘度の上昇を防止する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下がさらに好ましい。 The degree of surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and more preferably 0.2 mg/m 2 from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of preventing an increase in the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in the form of a sheet, it is preferably 1 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and further preferably 0.5 mg/m 2 or less. preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、(株)堀場製作所製「EMIA-320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (eg, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25° C. for 5 minutes. After removing the supernatant liquid and drying the solid content, a carbon analyzer can be used to measure the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. As a carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba Ltd. can be used.

(D)無機充填材の比表面積は、本発明の効果をより向上させる観点から、好ましくは1m/g以上、より好ましくは1.5m/g以上、特に好ましくは2m/g以上である。上限に特段の制限は無いが、好ましくは20m/g以下、10m/g以下又は5m/g以下である。無機充填材の比表面積は、BET法によって測定できる。 (D) The specific surface area of the inorganic filler is preferably 1 m 2 /g or more, more preferably 1.5 m 2 /g or more, and particularly preferably 2 m 2 /g or more, from the viewpoint of further improving the effects of the present invention. be. Although there is no particular upper limit, it is preferably 20 m 2 /g or less, 10 m 2 /g or less, or 5 m 2 /g or less. The specific surface area of the inorganic filler can be measured by the BET method.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、樹脂組成物中の(D)無機充填材の含有量は、線熱膨張係数及び誘電正接の低い硬化物を得る観点から、好ましくは50質量%以上、より好ましくは55質量%以上、60質量%以上、65質量%以上である。その上限は、得られる硬化物の機械強度の観点から、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下、さらに好ましくは80質量%以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of the inorganic filler (D) in the resin composition is preferably 50 from the viewpoint of obtaining a cured product with a low linear thermal expansion coefficient and dielectric loss tangent. % by mass or more, more preferably 55% by mass or more, 60% by mass or more, or 65% by mass or more. The upper limit is preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, and even more preferably 80% by mass or less, from the viewpoint of the mechanical strength of the resulting cured product.

<(E)熱可塑性樹脂>
本発明の樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に(E)熱可塑性樹脂を含んでいてもよい。
<(E) Thermoplastic resin>
The resin composition of the present invention may further contain (E) a thermoplastic resin as an optional component in addition to the components described above.

(E)成分としての熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。中でも、本発明の所望の効果を顕著に得る観点、並びに、表面粗さが小さく導体層との密着性に特に優れる絶縁層を得る観点から、フェノキシ樹脂が好ましい。また、熱可塑性樹脂は、1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of thermoplastic resins as component (E) include phenoxy resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyimide resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, and polyphenylene ether resins. , polycarbonate resins, polyetheretherketone resins, polyester resins, and the like. Among them, the phenoxy resin is preferable from the viewpoint of obtaining the desired effects of the present invention remarkably and from the viewpoint of obtaining an insulating layer having a small surface roughness and particularly excellent adhesion to the conductor layer. Further, the thermoplastic resin may be used singly or in combination of two or more.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種類以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。 Examples of phenoxy resins include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, and terpene. Examples include phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of skeletons and trimethylcyclohexane skeletons. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group.

フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」;三菱ケミカル社製の「YL7500BH30」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」;等が挙げられる。 Specific examples of the phenoxy resin include Mitsubishi Chemical's "1256" and "4250" (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resins); Mitsubishi Chemical's "YX8100" (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin); Mitsubishi Chemical "YX6954" (bisphenolacetophenone skeleton-containing phenoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; "YL7769BH30", "YL6794", "YL7213", "YL7290" and "YL7482";

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000-2」、「電化ブチラール5000-A」、「電化ブチラール6000-C」、「電化ブチラール6000-EP」;積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX-5Z)、KSシリーズ(例えばKS-1)、BLシリーズ、BMシリーズ;等が挙げられる。 Examples of polyvinyl acetal resins include polyvinyl formal resins and polyvinyl butyral resins, and polyvinyl butyral resins are preferred. Specific examples of polyvinyl acetal resins include Denka Butyral 4000-2, Denka Butyral 5000-A, Denka Butyral 6000-C, and Denka Butyral 6000-EP manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. S-LEC BH series, BX series (eg BX-5Z), KS series (eg KS-1), BL series, BM series;

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006-37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002-12667号公報及び特開2000-319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyimide resin include "Ricacoat SN20" and "Ricacoat PN20" manufactured by Shin Nippon Rika. Specific examples of polyimide resins also include linear polyimides obtained by reacting bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, diisocyanate compounds and tetrabasic acid anhydrides (polyimides described in JP-A-2006-37083), and polysiloxane skeletons. Examples include modified polyimides such as polyimide containing (polyimides described in JP-A-2002-12667 and JP-A-2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of polyamide-imide resins include "VYLOMAX HR11NN" and "VYLOMAX HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of polyamideimide resins include modified polyamideimides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamideimides) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。 Specific examples of the polyethersulfone resin include "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and the like.

ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、三菱ガス化学社製のオリゴフェニレンエーテル・スチレン樹脂「OPE-2St 1200」等が挙げられる。 Specific examples of the polyphenylene ether resin include oligophenylene ether/styrene resin "OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., and the like.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.

(E)熱可塑性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは8,000以上、より好ましくは10,000以上、特に好ましくは20,000以上であり、好ましくは70,000以下、より好ましくは60,000以下、特に好ましくは50,000以下である。 (E) The weight average molecular weight (Mw) of the thermoplastic resin is preferably 8,000 or more, more preferably 10,000 or more, and particularly preferably 20,000 or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. is preferably 70,000 or less, more preferably 60,000 or less, and particularly preferably 50,000 or less.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(E)熱可塑性樹脂の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.1質量部以上、より好ましくは0.3質量部以上、さらに好ましくは0.5質量部以上である。その上限は、好ましくは5質量部以下、より好ましくは3質量部以下、さらに好ましくは1質量部以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of (E) the thermoplastic resin is preferably 0.1 parts by mass or more, more preferably 0.1 part by mass or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. is 0.3 parts by mass or more, more preferably 0.5 parts by mass or more. The upper limit is preferably 5 parts by mass or less, more preferably 3 parts by mass or less, and even more preferably 1 part by mass or less.

<(F)硬化促進剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に、(F)硬化促進剤を含んでいてもよい。
<(F) Curing accelerator>
The resin composition may further contain (F) a curing accelerator as an optional component in addition to the components described above.

硬化促進剤としては、例えば、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、グアニジン系硬化促進剤、金属系硬化促進剤等が挙げられる。中でも、リン系硬化促進剤、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤が好ましく、アミン系硬化促進剤、イミダゾール系硬化促進剤、金属系硬化促進剤がより好ましい。硬化促進剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of curing accelerators include phosphorus-based curing accelerators, amine-based curing accelerators, imidazole-based curing accelerators, guanidine-based curing accelerators, metal-based curing accelerators, and the like. Among them, phosphorus curing accelerators, amine curing accelerators, imidazole curing accelerators, and metallic curing accelerators are preferred, and amine curing accelerators, imidazole curing accelerators, and metallic curing accelerators are more preferred. The curing accelerator may be used singly or in combination of two or more.

リン系硬化促進剤としては、例えば、トリフェニルホスフィン、ホスホニウムボレート化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、n-ブチルホスホニウムテトラフェニルボレート、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩、(4-メチルフェニル)トリフェニルホスホニウムチオシアネート、テトラフェニルホスホニウムチオシアネート、ブチルトリフェニルホスホニウムチオシアネート等が挙げられ、トリフェニルホスフィン、テトラブチルホスホニウムデカン酸塩が好ましい。 Phosphorus curing accelerators include, for example, triphenylphosphine, phosphonium borate compounds, tetraphenylphosphonium tetraphenylborate, n-butylphosphonium tetraphenylborate, tetrabutylphosphonium decanoate, (4-methylphenyl)triphenylphosphonium thiocyanate. , tetraphenylphosphonium thiocyanate, and butyltriphenylphosphonium thiocyanate, and triphenylphosphine and tetrabutylphosphonium decanoate are preferred.

アミン系硬化促進剤としては、例えば、トリエチルアミン、トリブチルアミン等のトリアルキルアミン、4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)、ベンジルジメチルアミン、2,4,6,-トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセン等が挙げられ、4-ジメチルアミノピリジン、1,8-ジアザビシクロ(5,4,0)-ウンデセンが好ましい。 Examples of amine curing accelerators include trialkylamines such as triethylamine and tributylamine, 4-dimethylaminopyridine (DMAP), benzyldimethylamine, 2,4,6-tris(dimethylaminomethyl)phenol, 1, 8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene, etc., and 4-dimethylaminopyridine and 1,8-diazabicyclo(5,4,0)-undecene are preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、例えば、2-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-ウンデシルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-エチル-4’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジン、2,4-ジアミノ-6-[2’-メチルイミダゾリル-(1’)]-エチル-s-トリアジンイソシアヌル酸付加物、2-フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール、2,3-ジヒドロ-1H-ピロロ[1,2-a]ベンズイミダゾール、1-ドデシル-2-メチル-3-ベンジルイミダゾリウムクロライド、2-メチルイミダゾリン、2-フェニルイミダゾリン等のイミダゾール化合物及びイミダゾール化合物とエポキシ樹脂とのアダクト体が挙げられ、2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-フェニルイミダゾールが好ましい。 Examples of imidazole curing accelerators include 2-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl- 2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecyl imidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2′-ethyl-4′-methylimidazolyl-(1′)]-ethyl-s-triazine, 2,4- Diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine isocyanurate, 2-phenylimidazole isocyanurate, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole, 2- Phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole, 2,3-dihydro-1H-pyrrolo[1,2-a]benzimidazole, 1-dodecyl-2-methyl-3-benzylimidazolium chloride, 2-methylimidazoline , 2-phenylimidazoline and the like, and adducts of imidazole compounds and epoxy resins, with 2-ethyl-4-methylimidazole and 1-benzyl-2-phenylimidazole being preferred.

イミダゾール系硬化促進剤としては、市販品を用いてもよく、例えば、三菱ケミカル社製の「P200-H50」等が挙げられる。 As the imidazole-based curing accelerator, a commercially available product may be used, such as "P200-H50" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation.

グアニジン系硬化促進剤としては、例えば、ジシアンジアミド、1-メチルグアニジン、1-エチルグアニジン、1-シクロヘキシルグアニジン、1-フェニルグアニジン、1-(o-トリル)グアニジン、ジメチルグアニジン、ジフェニルグアニジン、トリメチルグアニジン、テトラメチルグアニジン、ペンタメチルグアニジン、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、7-メチル-1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エン、1-メチルビグアニド、1-エチルビグアニド、1-n-ブチルビグアニド、1-n-オクタデシルビグアニド、1,1-ジメチルビグアニド、1,1-ジエチルビグアニド、1-シクロヘキシルビグアニド、1-アリルビグアニド、1-フェニルビグアニド、1-(o-トリル)ビグアニド等が挙げられ、ジシアンジアミド、1,5,7-トリアザビシクロ[4.4.0]デカ-5-エンが好ましい。 Guanidine curing accelerators include, for example, dicyandiamide, 1-methylguanidine, 1-ethylguanidine, 1-cyclohexylguanidine, 1-phenylguanidine, 1-(o-tolyl)guanidine, dimethylguanidine, diphenylguanidine, trimethylguanidine, Tetramethylguanidine, Pentamethylguanidine, 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene, 7-methyl-1,5,7-triazabicyclo[4.4.0] Dec-5-ene, 1-methylbiguanide, 1-ethylbiguanide, 1-n-butylbiguanide, 1-n-octadecylbiguanide, 1,1-dimethylbiguanide, 1,1-diethylbiguanide, 1-cyclohexylbiguanide, 1 -allylbiguanide, 1-phenylbiguanide, 1-(o-tolyl)biguanide and the like, with dicyandiamide and 1,5,7-triazabicyclo[4.4.0]dec-5-ene being preferred.

金属系硬化促進剤としては、例えば、コバルト、銅、亜鉛、鉄、ニッケル、マンガン、スズ等の金属の、有機金属錯体又は有機金属塩が挙げられる。有機金属錯体の具体例としては、コバルト(II)アセチルアセトナート、コバルト(III)アセチルアセトナート等の有機コバルト錯体、銅(II)アセチルアセトナート等の有機銅錯体、亜鉛(II)アセチルアセトナート等の有機亜鉛錯体、鉄(III)アセチルアセトナート等の有機鉄錯体、ニッケル(II)アセチルアセトナート等の有機ニッケル錯体、マンガン(II)アセチルアセトナート等の有機マンガン錯体等が挙げられる。有機金属塩としては、例えば、オクチル酸亜鉛、オクチル酸錫、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、ステアリン酸スズ、ステアリン酸亜鉛等が挙げられる。 Metal-based curing accelerators include, for example, organometallic complexes or organometallic salts of metals such as cobalt, copper, zinc, iron, nickel, manganese, and tin. Specific examples of organometallic complexes include organocobalt complexes such as cobalt (II) acetylacetonate and cobalt (III) acetylacetonate, organocopper complexes such as copper (II) acetylacetonate, and zinc (II) acetylacetonate. organic zinc complexes such as iron (III) acetylacetonate; organic nickel complexes such as nickel (II) acetylacetonate; organic manganese complexes such as manganese (II) acetylacetonate; Examples of organic metal salts include zinc octoate, tin octoate, zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin stearate, and zinc stearate.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(F)硬化促進剤の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.001質量部以上、より好ましくは0.01質量部以上、さらに好ましくは0.05質量部以上である。その上限は、好ましくは1質量部以下、より好ましくは0.5質量部以下、さらに好ましくは0.1質量部以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of (F) the curing accelerator is preferably 0.001 parts by mass or more, more preferably 0.001 part by mass or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. is 0.01 parts by mass or more, more preferably 0.05 parts by mass or more. The upper limit is preferably 1 part by mass or less, more preferably 0.5 parts by mass or less, and even more preferably 0.1 part by mass or less.

<(G)重合開始剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に、(G)重合開始剤を含んでいてもよい。(G)重合開始剤は、通常(B)成分におけるラジカル重合性不飽和基の架橋を促進させる機能を有する。(G)重合開始剤は1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を併用してもよい。
<(G) Polymerization initiator>
The resin composition may further contain (G) a polymerization initiator as an optional component in addition to the components described above. (G) The polymerization initiator usually has a function of promoting cross-linking of the radically polymerizable unsaturated groups in the component (B). (G) The polymerization initiator may be used singly or in combination of two or more.

(G)重合開始剤としては、例えば、t-ブチルクミルパーオキシド、t-ブチルパーオキシアセテート、α,α’-ジ(t-ブチルパーオキシ)ジイソプロピルベンゼン、t-ブチルパーオキシラウレート、t-ブチルパーオキシ-2-エチルヘキサノエートt-ブチルパーオキシネオデカノエート、t-ブチルパーオキシベンゾエート等の過酸化物が挙げられる。 (G) Polymerization initiators include, for example, t-butyl cumyl peroxide, t-butyl peroxyacetate, α,α'-di(t-butylperoxy)diisopropylbenzene, t-butyl peroxylaurate, t -butylperoxy-2-ethylhexanoate, t-butylperoxyneodecanoate, t-butylperoxybenzoate and other peroxides.

(G)重合開始剤の市販品としては、例えば、日油社製の「パーブチルC」、「パーブチルA」、「パーブチルP」、「パーブチルL」、「パーブチルO」、「パーブチルND」、「パーブチルZ」、「パークミルP」、「パークミルD」等が挙げられる。 (G) Commercially available polymerization initiators include, for example, “Perbutyl C”, “Perbutyl A”, “Perbutyl P”, “Perbutyl L”, “Perbutyl O”, “Perbutyl ND” and “Perbutyl ND” manufactured by NOF Corporation. Perbutyl Z”, “Perbutyl P”, “Perkmyl D” and the like.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(G)重合開始剤の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.001質量部以上、より好ましくは0.01質量部以上、さらに好ましくは0.1質量部以上であり、好ましくは5質量部以下、より好ましくは1質量部以下、さらに好ましくは0.5質量部以下である。 When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of the polymerization initiator (G) is preferably 0.001 parts by mass or more, more preferably 0.001 part by mass or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. is 0.01 parts by mass or more, more preferably 0.1 parts by mass or more, preferably 5 parts by mass or less, more preferably 1 part by mass or less, and even more preferably 0.5 parts by mass or less.

<(H)その他の添加剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更にその他の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、有機充填材;増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤等の樹脂添加剤;などが挙げられる。これらの添加剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。それぞれの含有量は当業者であれば適宜設定できる。
<(H) Other Additives>
The resin composition may further contain other additives as optional components in addition to the components described above. Such additives include, for example, organic fillers; resin additives such as thickeners, antifoaming agents, leveling agents, adhesion imparting agents; and the like. These additives may be used singly or in combination of two or more. Each content can be appropriately set by those skilled in the art.

<樹脂組成物の調製及び物性>
本発明の樹脂組成物の調製方法は、特に限定されるものではなく、例えば、配合成分を、必要により溶媒等を添加し、回転ミキサー等を用いて混合・分散する方法が挙げられる。
<Preparation and physical properties of resin composition>
The method of preparing the resin composition of the present invention is not particularly limited, and examples thereof include a method of adding a solvent or the like to the compounding ingredients, if necessary, and mixing and dispersing using a rotating mixer or the like.

本発明の樹脂組成物によれば、誘電正接が低く、スミア除去性に優れ、導体層との間の密着性に優れる硬化物を得ることができる。このような優れた効果が得られる仕組みは、下記の通りであると、本発明者は推察する。ただし、本発明の技術的範囲は、下記に説明する仕組みによって制限されるものではない。 According to the resin composition of the present invention, it is possible to obtain a cured product having a low dielectric loss tangent, excellent smear removability, and excellent adhesion to the conductor layer. The present inventor presumes that the mechanism by which such excellent effects are obtained is as follows. However, the technical scope of the present invention is not limited by the mechanism described below.

本発明者の検討によれば、(A)エポキシ樹脂に(B)不飽和樹脂を組み合わせると、硬化物の誘電正接及びスミア除去性を改善できることが判明している。しかし、(A)エポキシ樹脂と(B)不飽和樹脂とは、通常、極性が異なるため、相溶性が低く、硬化物中において微小なレベルで分離し易い。よって、(A)エポキシ樹脂と(B)不飽和樹脂とを組み合わせて含む樹脂組成物の硬化物は、一般に、高温高湿環境試験によって機械的強度が低下し、層間剥離を生じ易くなる。そのため、従来は、高温高湿試験後に導体層との密着性に優れる硬化物を得ることが難しかった。 According to the studies of the present inventors, it has been found that combining (A) an epoxy resin with (B) an unsaturated resin can improve the dielectric loss tangent and the smear removability of the cured product. However, (A) the epoxy resin and (B) the unsaturated resin usually have different polarities, and thus have low compatibility and tend to separate at a minute level in the cured product. Therefore, a cured product of a resin composition containing a combination of (A) an epoxy resin and (B) an unsaturated resin generally has a reduced mechanical strength in a high-temperature, high-humidity environment test, and delamination is likely to occur. Therefore, conventionally, it has been difficult to obtain a cured product having excellent adhesion to the conductor layer after a high-temperature and high-humidity test.

これに対し、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂は、当該(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂以外の(A)エポキシ樹脂、及び、(B)不飽和樹脂の両方に対して相溶性に優れる。よって、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂を用いることにより、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂以外の(A)エポキシ樹脂と(B)不飽和樹脂との分離を抑制できるので、高温高湿試験による硬化物の機械的強度の低下を抑制できる。さらに、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂は、硬化物のスミア除去性及び密着性を改善する作用を有する。よって、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂以外の(A)エポキシ樹脂、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及び、(B)不飽和樹脂の適切な量での組み合わせによれば、良好な誘電正接及びスミア除去性を損なわずに層間剥離の抑制を行うことができるので、誘電正接、スミア除去性及び密着性のいずれにも優れる硬化物を実現できる。 On the other hand, (A-1) glycidylamine type epoxy resin is compatible with both (A) epoxy resin other than the (A-1) glycidylamine type epoxy resin and (B) unsaturated resin. Excellent for Therefore, by using (A-1) glycidylamine type epoxy resin, separation of (A) epoxy resin other than (A-1) glycidylamine type epoxy resin and (B) unsaturated resin can be suppressed. A decrease in the mechanical strength of the cured product due to a high-humidity test can be suppressed. Furthermore, (A-1) the glycidylamine type epoxy resin has the effect of improving the smear removability and adhesion of the cured product. Therefore, according to the combination of (A) epoxy resin other than (A-1) glycidylamine type epoxy resin, (A-1) glycidylamine type epoxy resin, and (B) unsaturated resin in appropriate amounts, Since delamination can be suppressed without impairing good dielectric loss tangent and smear removability, a cured product excellent in all of dielectric loss tangent, smear removability and adhesion can be realized.

本発明の樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層は、銅箔のような導体層との間の密着性(ピール強度)が優れるという特性を示す。高温高湿環境試験(HAST)前の銅箔密着性(密着強度)としては、好ましくは0.62kgf/cm以上、より好ましくは0.65kgf/cm以上、さらに好ましくは0.70kgf/cm以上である。HAST後の銅箔密着性としては、好ましくは0.25kgf/cm以上、より好ましくは0.30kgf/cm以上、さらに好ましくは0.35kgf/cm以上、特に好ましくは0.40kgf/cm以上である。一方、密着性(密着強度)の上限値は特に限定されないが、5kgf/cm以下等とし得る。前記の銅箔密着性は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 An insulating layer made of a cured product of the resin composition of the present invention exhibits excellent adhesion (peel strength) to a conductor layer such as a copper foil. The copper foil adhesion (adhesion strength) before the high temperature and high humidity environment test (HAST) is preferably 0.62 kgf/cm or more, more preferably 0.65 kgf/cm or more, and still more preferably 0.70 kgf/cm or more. be. The copper foil adhesion after HAST is preferably 0.25 kgf/cm or more, more preferably 0.30 kgf/cm or more, still more preferably 0.35 kgf/cm or more, and particularly preferably 0.40 kgf/cm or more. . On the other hand, the upper limit of adhesion (adhesion strength) is not particularly limited, but may be 5 kgf/cm or less. The copper foil adhesion can be measured according to the method described in the examples below.

本発明の樹脂組成物の硬化物は、誘電正接が低いという特定を示す。硬化物の誘電正接としては、好ましくは0.0054未満、より好ましくは0.0052未満、さらに好ましくは0.0050未満、0.0048未満である。一方、誘電正接の下限値は特に限定されないが、0.0001以上等とし得る。前記の誘電正接の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product of the resin composition of the present invention is characterized by a low dielectric loss tangent. The dielectric loss tangent of the cured product is preferably less than 0.0054, more preferably less than 0.0052, still more preferably less than 0.0050 and less than 0.0048. On the other hand, the lower limit of the dielectric loss tangent is not particularly limited, but may be 0.0001 or more. The dielectric loss tangent can be evaluated according to the method described in Examples below.

また、本発明の樹脂組成物の硬化物は、スミア除去性に優れるという特性を示す。硬化物の最大スミア長としては、5μm未満であることが好ましい。「最大スミア長」とは、ビア底面の円周から円中心へのスミアの最大長さを意味する。前記の最大スミア長の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 Moreover, the cured product of the resin composition of the present invention exhibits excellent smear removability. The maximum smear length of the cured product is preferably less than 5 µm. "Maximum smear length" means the maximum length of smear from the circumference of the bottom surface of the via to the center of the circle. The maximum smear length can be evaluated according to the method described in Examples below.

本発明の樹脂組成物は、誘電正接を低くできるとともに、スミア除去性及び密着性に優れた絶縁層をもたらすことができる。したがって、本発明の樹脂組成物は、絶縁用途の樹脂組成物として好適に使用することができる。具体的には、絶縁層上に形成される導体層(再配線層を含む)を形成するための当該絶縁層を形成するための樹脂組成物(導体層を形成するための絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。また、後述するプリント配線板において、プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。本発明の樹脂組成物はまた、接着フィルム、プリプレグ等のシート状積層材料、ソルダーレジスト、アンダーフィル材、ダイボンディング材、半導体封止材、穴埋め樹脂、部品埋め込み樹脂等、樹脂組成物が必要とされる用途の広範囲に使用できる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The resin composition of the present invention can reduce the dielectric loss tangent and can provide an insulating layer with excellent smear removal properties and adhesion. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for insulation. Specifically, a resin composition for forming an insulating layer for forming a conductor layer (including a rewiring layer) formed on an insulating layer (resin for forming an insulating layer for forming a conductor layer composition). Moreover, in the printed wiring board described later, it can be suitably used as a resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board (resin composition for forming an insulating layer of a printed wiring board). The resin composition of the present invention also includes adhesive films, sheet laminate materials such as prepreg, solder resists, underfill materials, die bonding materials, semiconductor sealing materials, hole-filling resins, component-embedding resins, and the like. Can be used for a wide range of applications.

また、例えば、以下の(1)~(6)工程を経て半導体チップパッケージが製造される場合、本発明の樹脂組成物は、再配線層を形成するための絶縁層としての再配線形成層用の樹脂組成物(再配線形成層形成用の樹脂組成物)、及び半導体チップを封止するための樹脂組成物(半導体チップ封止用の樹脂組成物)としても好適に使用することができる。半導体チップパッケージが製造される際、封止層上に更に再配線層を形成してもよい。
(1)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(2)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(3)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(4)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(5)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程、及び
(6)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程
Further, for example, when a semiconductor chip package is manufactured through the following steps (1) to (6), the resin composition of the present invention is used as an insulating layer for forming a rewiring layer. (a resin composition for forming a rewiring layer) and a resin composition for sealing a semiconductor chip (a resin composition for semiconductor chip sealing). A rewiring layer may be further formed on the encapsulation layer when the semiconductor chip package is manufactured.
(1) a step of laminating a temporary fixing film on a substrate;
(2) temporarily fixing the semiconductor chip on the temporary fixing film;
(3) forming a sealing layer on the semiconductor chip;
(4) a step of peeling the base material and the temporary fixing film from the semiconductor chip;
(5) forming a rewiring layer as an insulating layer on the surface of the semiconductor chip from which the substrate and the temporary fixing film have been removed; and (6) forming a rewiring layer as a conductor layer on the rewiring layer. forming process

また、本発明の樹脂組成物は、部品埋め込み性に良好な絶縁層をもたらすことから、プリント配線板が部品内蔵回路板である場合にも好適に使用することができる。 Moreover, since the resin composition of the present invention provides an insulating layer having good part-embedding properties, it can be suitably used when the printed wiring board is a component-embedded circuit board.

<シート状積層材料>
本発明の樹脂組成物は、ワニス状態で塗布して使用することもできるが、工業的には一般に、該樹脂組成物を含有するシート状積層材料の形態で用いることが好適である。
<Sheet-like laminated material>
Although the resin composition of the present invention can be applied in the form of a varnish, it is industrially preferably used in the form of a sheet-like laminated material containing the resin composition.

シート状積層材料としては、以下に示す接着フィルム(以下「樹脂シート」ともいう)、プリプレグが好ましい。 As the sheet-like laminate material, an adhesive film (hereinafter also referred to as a "resin sheet") and a prepreg are preferable.

一実施形態において、接着フィルムは、支持体と、該支持体と接合している樹脂組成物層(接着層)とを含んでなり、樹脂組成物層(接着層)が本発明の樹脂組成物から形成される。 In one embodiment, the adhesive film comprises a support and a resin composition layer (adhesive layer) bonded to the support, wherein the resin composition layer (adhesive layer) is the resin composition of the present invention. formed from

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化、及び当該樹脂組成物の硬化物が薄膜であっても絶縁性に優れた硬化物を提供できるという観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、5μm以上、10μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 50 μm or less, more It is preferably 40 μm or less. Although the lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, it can be usually 5 μm or more, 10 μm or more, or the like.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"). ), polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylic such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketones, polyimides, and the like. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and other metals (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. The release agent used in the release layer of the release layer-attached support includes, for example, one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . As the support with a release layer, a commercially available product may be used, for example, "SK-1" manufactured by Lintec Co., Ltd., "SK-1", " AL-5", "AL-7", Toray's "Lumirror T60", Teijin's "Purex", and Unitika's "Unipeel".

支持体の厚さは、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When a release layer-attached support is used, the thickness of the release layer-attached support as a whole is preferably within the above range.

一実施形態において、接着フィルムは、さらに必要に応じて、任意の層を含んでいてもよい。斯かる任意の層としては、例えば、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the adhesive film may further contain optional layers as needed. Examples of such an optional layer include a protective film conforming to the support provided on the surface of the resin composition layer not bonded to the support (that is, the surface opposite to the support). be done. Although the thickness of the protective film is not particularly limited, it is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, the surface of the resin composition layer can be prevented from being dusted or scratched.

接着フィルムは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the adhesive film, for example, a resin varnish is prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent, the resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and dried to form a resin composition layer. It can be manufactured by

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; cellosolve and butyl carbitol; carbitols; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be carried out by a known method such as heating or blowing hot air. The drying conditions are not particularly limited, but the resin composition layer is dried so that the content of the organic solvent is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, drying at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes The resin composition layer can be formed.

接着フィルムは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。接着フィルムが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 The adhesive film can be wound into a roll and stored. When the adhesive film has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

一実施形態において、プリプレグは、シート状繊維基材に本発明の樹脂組成物を含浸させて形成される。 In one embodiment, a prepreg is formed by impregnating a sheet-like fiber base material with the resin composition of the present invention.

プリプレグに用いるシート状繊維基材は特に限定されず、ガラスクロス、アラミド不織布、液晶ポリマー不織布等のプリプレグ用基材として常用されているものを用いることができる。プリント配線板の薄型化の観点から、シート状繊維基材の厚さは、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは30μm以下、特に好ましくは20μm以下である。シート状繊維基材の厚さの下限は特に限定されない。通常、10μm以上である。 The sheet-like fiber base material used for the prepreg is not particularly limited, and those commonly used as prepreg base materials such as glass cloth, aramid nonwoven fabric, and liquid crystal polymer nonwoven fabric can be used. From the viewpoint of thinning the printed wiring board, the thickness of the sheet-like fiber base material is preferably 50 μm or less, more preferably 40 μm or less, still more preferably 30 μm or less, and particularly preferably 20 μm or less. The lower limit of the thickness of the sheet-like fiber base material is not particularly limited. Usually, it is 10 μm or more.

プリプレグは、ホットメルト法、ソルベント法等の公知の方法により製造することができる。 A prepreg can be manufactured by a known method such as a hot melt method or a solvent method.

プリプレグの厚さは、上述の接着フィルムにおける樹脂組成物層と同様の範囲とし得る。 The thickness of the prepreg can be in the same range as the resin composition layer in the adhesive film described above.

(A)成分、(B)成分、及び(C)成分の組み合わせを特定の含有量で含む樹脂組成物を使用する本発明においては、ガラス転移温度が高く、誘電正接が低く、導体層との密着性が良好な硬化物をもたらす、プリント配線板の製造に際して極めて有用なシート状積層材料を実現することができる。 In the present invention using a resin composition containing a combination of components (A), (B), and (C) in a specific content, the glass transition temperature is high, the dielectric loss tangent is low, and the conductor layer and It is possible to realize a sheet-like laminated material that gives a cured product with good adhesion and is extremely useful in the production of printed wiring boards.

本発明のシート状積層材料は、プリント配線板の絶縁層を形成するため(プリント配線板の絶縁層用)に好適に使用することができ、プリント配線板の層間絶縁層を形成するため(プリント配線板の層間絶縁層用)により好適に使用することができる。 The sheet-like laminated material of the present invention can be suitably used for forming an insulating layer of a printed wiring board (for an insulating layer of a printed wiring board), and for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board (for a printed wiring board). for interlayer insulating layers of wiring boards).

<プリント配線板>
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物を硬化して得られた硬化物からなる絶縁層を含む。
<Printed wiring board>
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer made of a cured product obtained by curing the resin composition of the present invention.

プリント配線板は、例えば、上述の接着フィルムを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、接着フィルムを、接着フィルムの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を硬化(例えば熱硬化)して絶縁層を形成する工程
A printed wiring board can be produced, for example, using the above-described adhesive film by a method including the following steps (I) and (II).
(I) Step of laminating an adhesive film on the inner layer substrate so that the resin composition layer of the adhesive film is bonded to the inner layer substrate (II) Curing (for example, thermosetting) the resin composition layer to form an insulating layer process

工程(I)で用いる「内層基板」とは、プリント配線板の基板となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用してもよい。 The "inner layer substrate" used in step (I) is a member that serves as a printed wiring board substrate, and includes, for example, a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. etc. The substrate may also have a conductor layer on one or both sides thereof, and the conductor layer may be patterned. An inner layer substrate having conductor layers (circuits) formed on one side or both sides of the substrate is sometimes referred to as an "inner layer circuit board." Further, an intermediate product on which an insulating layer and/or a conductor layer are to be further formed when manufacturing a printed wiring board is also included in the "inner layer substrate" as used in the present invention. When the printed wiring board is a circuit board with built-in components, an inner layer board with built-in components may be used.

内層基板と接着フィルムの積層は、例えば、支持体側から接着フィルムを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。接着フィルムを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を接着フィルムに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に接着フィルムが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The lamination of the inner layer substrate and the adhesive film can be performed, for example, by thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for thermocompression bonding the adhesive film to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as “thermocompression member”) include heated metal plates (such as SUS end plates) and metal rolls (SUS rolls). Instead of directly pressing the thermocompression member onto the adhesive film, it is preferable to press the adhesive film through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the adhesive film can sufficiently follow the unevenness of the surface of the inner layer substrate.

内層基板と接着フィルムの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 Lamination of the inner layer substrate and the adhesive film may be carried out by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the thermocompression temperature is preferably in the range of 60° C. to 160° C., more preferably 80° C. to 140° C., and the thermocompression pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. .29 MPa to 1.47 MPa, and the heat pressing time is preferably 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be done with a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, a batch vacuum pressurized laminator, and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された接着フィルムの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated adhesive film may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment may be the same as the thermocompression bonding conditions for the lamination described above. Smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. Lamination and smoothing may be performed continuously using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and (II) or after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を硬化(例えば熱硬化)して絶縁層を形成する。樹脂組成物層の硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 In step (II), the resin composition layer is cured (for example, thermally cured) to form an insulating layer. Curing conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are usually employed when forming an insulating layer of a printed wiring board may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~210℃である。硬化時間は好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~100分間とすることができる。 For example, although the thermosetting conditions for the resin composition layer vary depending on the type of resin composition, etc., the curing temperature is preferably 120°C to 240°C, more preferably 150°C to 220°C, and still more preferably 170°C to 210°C. °C. The curing time can be preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 10 minutes to 100 minutes, even more preferably 15 minutes to 100 minutes.

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満、好ましくは60℃以上115℃未満、より好ましくは70℃以上110℃未満の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上、好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間予備加熱してもよい。 Before thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is cured at a temperature of 50° C. or higher and lower than 120° C., preferably 60° C. or higher and lower than 115° C., more preferably 70° C. or higher and lower than 110° C. Minutes or more, preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes, more preferably 15 minutes to 100 minutes, may be preheated.

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至工程(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(II)~工程(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層配線板を形成してもよい。 When manufacturing a printed wiring board, (III) the step of drilling holes in the insulating layer, (IV) the step of roughening the insulating layer, and (V) the step of forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art that are used in the manufacture of printed wiring boards. When the support is removed after step (II), the support may be removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or step ( It may be carried out between IV) and step (V). If necessary, the steps (II) to (V) of forming the insulating layer and the conductor layer may be repeated to form a multilayer wiring board.

他の実施形態において、本発明のプリント配線板は、上述のプリプレグを用いて製造することができる。製造方法は基本的に接着フィルムを用いる場合と同様である。 In another embodiment, the printed wiring board of the present invention can be manufactured using the prepreg described above. The manufacturing method is basically the same as in the case of using an adhesive film.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of making holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。通常、この工程(IV)において、スミアの除去も行われる。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. Smear is usually also removed in this step (IV). The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are commonly used in forming insulating layers of printed wiring boards can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralizing treatment with a neutralizing liquid in this order.

粗化処理に用いる膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。 The swelling liquid used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include alkaline solutions, surfactant solutions, etc., preferably alkaline solutions, more preferably sodium hydroxide solutions and potassium hydroxide solutions. preferable. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigans P" and "Swelling Dip Securigans SBU" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited, but can be performed, for example, by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 30.degree. C. to 90.degree. C. for 1 to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40° C. to 80° C. for 5 minutes to 15 minutes.

粗化処理に用いる酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウム又は過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~100℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。 The oxidizing agent used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60° C. to 100° C. for 10 to 30 minutes. Further, the permanganate concentration in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Security P" manufactured by Atotech Japan.

また、粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。 Moreover, as a neutralization liquid used for the roughening treatment, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, for example, "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. can be mentioned.

中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に5分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 The treatment with the neutralizing solution can be carried out by immersing the treated surface roughened with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30° C. to 80° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability, etc., a method of immersing an object roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40° C. to 70° C. for 5 to 20 minutes is preferable.

一実施形態において、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは0.5nm以上、より好ましくは1nm以上等とし得る。また、粗化処理後の絶縁層表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは0.5nm以上、より好ましくは1nm以上等とし得る。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)及び二乗平均平方根粗さ(Rq)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。 In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the insulating layer surface after roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more. The root mean square roughness (Rq) of the surface of the insulating layer after roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more. The arithmetic mean roughness (Ra) and root mean square roughness (Rq) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact surface roughness meter.

工程(V)は、導体層を形成する工程であり、絶縁層上に導体層を形成する。導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 Step (V) is a step of forming a conductor layer, in which the conductor layer is formed on the insulating layer. The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer may be, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, a nickel-chromium alloy, a copper- nickel alloys and copper-titanium alloys). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, nickel-chromium alloys, copper- Nickel alloys and copper/titanium alloy alloy layers are preferred, and single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel/chromium alloy alloy layers are more preferred, and copper single metal layers are preferred. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single layer structure or a multi-layer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different kinds of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm, depending on the desired printed wiring board design.

一実施形態において、導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができ、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductive layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of an insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method. It is preferably formed by a method. An example of forming a conductor layer by a semi-additive method is shown below.

まず、絶縁層の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a portion of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern. After forming a metal layer on the exposed plating seed layer by electroplating, the mask pattern is removed. After that, the unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed.

他の実施形態において、導体層は、金属箔を使用して形成してよい。金属箔を使用して導体層を形成する場合、工程(V)は、工程(I)と工程(II)の間に実施することが好適である。例えば、工程(I)の後、支持体を除去し、露出した樹脂組成物層の表面に金属箔を積層する。樹脂組成物層と金属箔との積層は、真空ラミネート法により実施してよい。積層の条件は、工程(I)について説明した条件と同様としてよい。次いで、工程(II)を実施して絶縁層を形成する。その後、絶縁層上の金属箔を利用して、サブトラクティブ法、モディファイドセミアディティブ法等の従来の公知の技術により、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 In other embodiments, the conductor layer may be formed using a metal foil. When forming the conductor layer using a metal foil, step (V) is preferably performed between step (I) and step (II). For example, after step (I), the support is removed and a metal foil is laminated on the exposed surface of the resin composition layer. Lamination of the resin composition layer and the metal foil may be carried out by a vacuum lamination method. The lamination conditions may be the same as those described for step (I). Then, step (II) is performed to form an insulating layer. After that, using the metal foil on the insulating layer, a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed by conventional known techniques such as the subtractive method and the modified semi-additive method.

金属箔は、例えば、電解法、圧延法等の公知の方法により製造することができる。金属箔の市販品としては、例えば、JX日鉱日石金属社製のHLP箔、JXUT-III箔、三井金属鉱山社製の3EC-III箔、TP-III箔等が挙げられる。 A metal foil can be manufactured by a known method such as an electrolysis method or a rolling method. Commercially available metal foils include, for example, HLP foil and JXUT-III foil manufactured by JX Nippon Mining & Metals Co., Ltd., 3EC-III foil and TP-III foil manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., and the like.

(A)成分、(B)成分、及び(C)成分の組み合わせを特定の含有量で含む本発明の樹脂組成物を使用してプリント配線板を製造する場合、導体層をメッキにより形成するか金属箔を使用して形成するかの別を問わず、導体層と絶縁層との密着性を著しく向上させることができる。 When producing a printed wiring board using the resin composition of the present invention containing a combination of components (A), (B), and (C) in a specific content, the conductor layer is formed by plating, or Adhesion between the conductor layer and the insulating layer can be remarkably improved regardless of whether or not they are formed using metal foil.

<半導体装置>
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
<Semiconductor device>
A semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical appliances (eg, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.) and vehicles (eg, motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. A "conducting part" is a "part where an electric signal is transmitted on a printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded part. Also, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The method of mounting a semiconductor chip when manufacturing a semiconductor device is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. (BBUL) mounting method, anisotropic conductive film (ACF) mounting method, non-conductive film (NCF) mounting method, and the like. Here, "a mounting method using a build-up layer without bumps (BBUL)" means "a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a concave portion of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected." is.

以下、本発明について、実施例を示して具体的に説明する。ただし、本発明は、以下に示す実施例に限定されるものではない。以下の説明において、量を表す「部」及び「%」は、別途明示のない限り、「質量部」及び「質量%」をそれぞれ意味する。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples. However, the present invention is not limited to the examples shown below. In the following description, "parts" and "%" representing amounts mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified.

まず、本明細書での物性評価における測定・評価方法について説明する。 First, the measurement/evaluation methods in the evaluation of physical properties in this specification will be described.

<銅箔密着性の測定のためのサンプルの作製>
(1)銅箔の下地処理
電解銅箔(三井金属鉱山(株)製「3EC-III」、厚さ35μm)の光沢面をマイクロエッチング剤(メック(株)製「CZ-8101」)に浸漬して銅表面に粗化処理(Ra値=1μm)を行い、次いで、防錆溶液(メック社製「CL8300」)を用いて防錆処理を施した。得られた銅箔をCZ銅箔という。さらに、130℃のオーブンで30分間加熱処理した。
<Preparation of sample for measuring copper foil adhesion>
(1) Surface treatment of copper foil Electrolytic copper foil (“3EC-III” manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd., thickness 35 μm) is immersed in a micro-etching agent (“CZ-8101” manufactured by MEC Co., Ltd.). Then, the copper surface was subjected to roughening treatment (Ra value=1 μm), and then to antirust treatment using an antirust solution (“CL8300” manufactured by MEC Co., Ltd.). The obtained copper foil is called CZ copper foil. Further, heat treatment was performed in an oven at 130° C. for 30 minutes.

(2)銅箔の積層と絶縁層形成
内層回路基板として、内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック社製「R1515A」)を準備した。次いで、下記の実施例および比較例で得られた樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター((株)名機製作所製「MVLP-500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路基板と接合するように、内層回路基板の両面に積層した。積層は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより実施した。積層後、PETフィルムを剥離した。露出した樹脂組成物層上に、CZ銅箔の処理面を、上記と同様の条件で、積層した。その後、190℃、90分の硬化条件で樹脂組成物層を硬化して絶縁層を形成することで、CZ銅箔/絶縁層/内層回路基板/絶縁層/CZ銅箔の構造を有するサンプルを作製した。
(2) Lamination of copper foil and formation of insulating layer As an inner layer circuit board, a glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.4 mm, Panasonic Co., Ltd.) on which an inner layer circuit was formed was used. "R1515A") was prepared. Then, the resin sheets obtained in the following Examples and Comparative Examples were processed using a batch-type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd.) so that the resin composition layer became the inner layer circuit board. It laminated|stacked on both surfaces of the inner layer circuit board so that it might join. Lamination was carried out by pressure bonding for 30 seconds at 100° C. and pressure of 0.74 MPa after reducing the pressure to 13 hPa or less for 30 seconds. After lamination, the PET film was peeled off. The treated surface of the CZ copper foil was laminated on the exposed resin composition layer under the same conditions as above. After that, the resin composition layer was cured under curing conditions of 190° C. for 90 minutes to form an insulating layer, thereby obtaining a sample having a structure of CZ copper foil/insulating layer/inner layer circuit board/insulating layer/CZ copper foil. made.

<高温高湿環境試験(HAST)前の銅箔密着性(密着性1)の測定>
作製したサンプルを150×30mmの小片に切断した。小片の銅箔部分に、カッターを用いて幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれて、銅箔の長さ方向にある一端を剥がしてつかみ具((株)TSE製「AC-50C-SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定した。こうして測定された荷重を、「密着性1」と称する。
<Measurement of copper foil adhesion (adhesion 1) before high temperature and high humidity environment test (HAST)>
The prepared samples were cut into 150 x 30 mm pieces. Using a cutter, cut the copper foil portion of the small piece with a width of 10 mm and a length of 100 mm. SL"), and using an Instron universal testing machine, the load when peeling off 35 mm in the vertical direction at a speed of 50 mm/min at room temperature was measured according to JIS C6481. The load thus measured is referred to as "adhesion 1".

<高温高湿環境試験(HAST)後の銅箔密着性(密着性2)の測定>
作製したサンプルに対して、高度加速寿命試験装置(楠本化成社製「PM422」)を用いて、130℃、85%RHの条件で100時間の高温高湿環境試験を実施した。その後、密着性1の測定と同様に、切込みをいれてから銅箔の長さ方向にある一端を剥がしてつかみ具((株)TSE製「AC-50C-SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定した。こうして測定された荷重を、「密着性2」と称する。
<Measurement of copper foil adhesion (adhesion 2) after high temperature and high humidity environment test (HAST)>
A high-temperature, high-humidity environment test was performed on the prepared samples under conditions of 130° C. and 85% RH for 100 hours using a highly accelerated life tester (“PM422” manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.). After that, in the same manner as in the measurement of adhesion 1, a cut was made and one end in the length direction of the copper foil was peeled off and gripped with a gripper ("AC-50C-SL" manufactured by TSE Co., Ltd.). Using a tester, the load was measured in accordance with JIS C6481 when a 35 mm strip was vertically peeled off at a rate of 50 mm/min at room temperature. The load thus measured is referred to as "adhesion 2".

密着性2における測定結果が0.25kgf/cm未満の場合を「×」とし、0.25kgf/cm以上の場合を「○」として評価した。 When the measurement result in adhesion 2 was less than 0.25 kgf/cm, it was evaluated as "x", and when it was 0.25 kgf/cm or more, it was evaluated as "good".

<誘電正接の測定>
実施例および比較例で得られた樹脂シートを、200℃にて90分間熱硬化させた後、PETフィルムを剥離して、硬化物性評価用サンプルを作製した。
<Measurement of dielectric loss tangent>
The resin sheets obtained in Examples and Comparative Examples were thermally cured at 200° C. for 90 minutes, and then the PET film was peeled off to prepare samples for evaluation of cured physical properties.

硬化物性評価用サンプルから、幅2mm、長さ80mmの試験片を切り取った。該試験片について、アジレントテクノロジーズ社製「HP8362B」を用いて、空洞共振摂動法により、測定周波数5.8GHz、測定温度23℃にて誘電正接を測定した。2本の試験片について測定を行い、平均値を算出した。 A test piece having a width of 2 mm and a length of 80 mm was cut from the cured physical property evaluation sample. The dielectric loss tangent of the test piece was measured at a measurement frequency of 5.8 GHz and a measurement temperature of 23° C. by the cavity resonance perturbation method using “HP8362B” manufactured by Agilent Technologies. Two test pieces were measured, and the average value was calculated.

誘電正接の平均値が0.0054未満の場合を「○」とし、0.0054以上の場合を「×」として評価した。 A case where the average value of the dielectric loss tangent was less than 0.0054 was evaluated as "good", and a case where it was 0.0054 or more was evaluated as "poor".

<スミア除去性及び算術平均粗さ(Ra)の評価>
(1)内装基板の下地処理
内層基板として、表面に銅箔を有するガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.8mm、パナソニック社製「R1515A」)を用意した。この内層基板の表面の銅箔を、マイクロエッチング剤(メック社製「CZ8101」)を用いて、銅エッチング量1μmにてエッチングして、粗化処理を行った。その後、190℃にて30分乾燥を行った。
<Evaluation of Smear Removability and Arithmetic Average Roughness (Ra)>
(1) Surface treatment of interior substrate As an inner layer substrate, a glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate having a copper foil on the surface (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.8 mm, manufactured by Panasonic “R1515A” ”) was prepared. The copper foil on the surface of the inner layer substrate was roughened by etching with a microetching agent (“CZ8101” manufactured by MEC Co., Ltd.) at a copper etching amount of 1 μm. After that, drying was performed at 190° C. for 30 minutes.

(2)樹脂シートの積層・硬化
上述した実施例及び比較例で得た樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ社製2ステージビルドアップラミネーター「CVP700」)を用いて、樹脂組成物層が前記の内層基板と接合するように、内層基板の両面にラミネートした。このラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、温度100℃、圧力0.74MPaにて30秒間圧着することにより、実施した。
(2) Lamination and curing of resin sheet The resin sheets obtained in the above-described Examples and Comparative Examples are laminated using a batch-type vacuum pressure laminator (2-stage build-up laminator "CVP700" manufactured by Nikko Materials Co., Ltd.). Both surfaces of the inner layer substrate were laminated so that the composition layer was bonded to the inner layer substrate. This lamination was carried out by pressure bonding for 30 seconds at a temperature of 100° C. and a pressure of 0.74 MPa after reducing the pressure to 13 hPa or less for 30 seconds.

次いで、ラミネートされた樹脂シートを、大気圧下、100℃、圧力0.5MPaにて60秒間、熱プレスして平滑化した。さらにこれを、130℃のオーブンに投入して30分間加熱し、次いで170℃のオーブンに移し替えて30分間加熱した。 Then, the laminated resin sheet was hot-pressed for 60 seconds at 100° C. under atmospheric pressure and a pressure of 0.5 MPa for smoothing. Further, this was put into a 130° C. oven and heated for 30 minutes, then transferred to a 170° C. oven and heated for 30 minutes.

(3)ビアホール形成
ビアメカニクス社製COレーザー加工機(LK-2K212/2C)を使用し、周波数2000Hzでパルス幅3μ秒、出力0.95W、ショット数3の条件で絶縁層を加工して、絶縁層表面におけるトップ径(直径)が50μm、絶縁層底面における直径が40μmのビアホールを形成した。トップ径とは、ビアホールの開口部の径を表す。さらにその後PETフィルムを剥離した。
(3) Via hole formation Using a CO 2 laser processing machine (LK-2K212/2C) manufactured by Via Mechanics Co., Ltd., the insulating layer was processed under the conditions of a frequency of 2000 Hz, a pulse width of 3 μs, an output of 0.95 W, and the number of shots of 3. , a via hole having a top diameter (diameter) of 50 μm on the surface of the insulating layer and a diameter of 40 μm on the bottom surface of the insulating layer. The top diameter represents the diameter of the opening of the via hole. After that, the PET film was peeled off.

(4)粗化処理
内層基板を、膨潤液であるアトテックジャパン社製のスエリングディップ・セキュリガントPに60℃で10分間浸漬した。次に、粗化液であるアトテックジャパン社製のコンセントレート・コンパクトP(KMnO:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に80℃で20分間浸漬した。最後に、中和液であるアトテックジャパン社製のリダクションソリューション・セキュリガントPに40℃で5分間浸漬した。得られた基板を評価基板Aとした。
(4) Roughening Treatment The inner layer substrate was immersed in a swelling liquid, Swelling Dip Securigant P manufactured by Atotech Japan, at 60° C. for 10 minutes. Next, it was immersed at 80° C. for 20 minutes in a roughening liquid Concentrate Compact P (KMnO 4 : 60 g/L, NaOH: 40 g/L aqueous solution) manufactured by Atotech Japan. Finally, it was immersed at 40° C. for 5 minutes in Reduction Solution Securigant P manufactured by Atotech Japan Co., Ltd., which is a neutralizing solution. The obtained substrate was designated as an evaluation substrate A.

<スミア除去性の評価>
評価基板Aのビアホールの底部の周囲を走査電子顕微鏡(SEM)にて観察し、得られた画像からビアホール底部の壁面からの最大スミア長を測定し、以下の基準で評価した。
○:最大スミア長が5μm未満。
×:最大スミア長が5μm以上。
<Evaluation of Smear Removability>
The periphery of the bottom of the via hole of evaluation substrate A was observed with a scanning electron microscope (SEM), and the maximum smear length from the wall surface of the bottom of the via hole was measured from the obtained image and evaluated according to the following criteria.
Good: The maximum smear length is less than 5 μm.
x: The maximum smear length is 5 μm or more.

<実施例1>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」、エポキシ当量180g/eq)5部、ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量330g/eq)15部、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)3部をメチルエチルケトン(MEK)30部に撹拌しながら加熱溶解し、その後室温にまで冷却した。得られた樹脂溶液に、活性エステル樹脂(DIC社製「HPC-8000-65T」、活性エステル基当量223g/eq、不揮発分65質量%のトルエン溶液)30部、フェノール樹脂(DIC社製「LA-3018-50P」、フェノール性水酸基当量151g/eq、不揮発分50質量%の2-メトキシプロパノール溶液)5部、アクリル酸エステル(新中村化学工業社製「A-DOG」、アクリル当量156g/eq)10部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7553BH30」、不揮発分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)5部、硬化促進剤(4-ジメチルアミノピリジン(DMAP)、不揮発分5質量%のMEK溶液)3部、ジクミルパーオキサイド(日油社製「パークミルD」)0.6部、アミン系シランカップリング剤(信越化学工業社製「KBM573」)で表面処理した球状シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm)120部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散した後に、カートリッジフィルター(ROKITECHNO社製「SHP020」)で濾過して、樹脂ワニス1を調製した。
<Example 1>
Bisphenol A type epoxy resin ("828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 180 g / eq) 5 parts, naphthol type epoxy resin (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN475V", epoxy equivalent 330 g / eq) 15 parts, glycidylamine type epoxy 3 parts of resin (“630” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent: 95 g/eq) was dissolved in 30 parts of methyl ethyl ketone (MEK) by heating with stirring, and then cooled to room temperature. The resulting resin solution was added with 30 parts of an active ester resin ("HPC-8000-65T" manufactured by DIC, active ester group equivalent of 223 g/eq, a toluene solution with a non-volatile content of 65% by mass), a phenol resin ("LA -3018-50P", phenolic hydroxyl equivalent 151 g / eq, 2-methoxypropanol solution with a non-volatile content of 50% by mass) 5 parts, acrylic acid ester (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. "A-DOG", acrylic equivalent 156 g / eq ) 10 parts, phenoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation "YL7553BH30", 1:1 solution of MEK and cyclohexanone with a nonvolatile content of 30% by mass) 5 parts, curing accelerator (4-dimethylaminopyridine (DMAP), nonvolatile content 5 mass % MEK solution) 3 parts, 0.6 parts of dicumyl peroxide (“Percumyl D” manufactured by NOF Corporation), spherical silica surface-treated with an amine-based silane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) ( 120 parts of "SO-C2" manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm) are mixed, and after uniformly dispersing with a high-speed rotating mixer, filtered through a cartridge filter ("SHP020" manufactured by ROKITECHNO) to obtain a resin varnish. 1 was prepared.

次いで、アルキド樹脂系離型層付きPETフィルム(リンテック社製「AL-5」、厚さ38μm)の離型層上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが40μmとなるように、樹脂ワニス1をダイコーターにて均一に塗布し、80~110℃(平均95℃)で5分間乾燥させて、樹脂シート1を作製した。 Next, on the release layer of a PET film with an alkyd resin release layer (“AL-5” manufactured by Lintec Corporation, thickness 38 μm), resin varnish was applied so that the thickness of the resin composition layer after drying was 40 μm. 1 was uniformly applied with a die coater and dried at 80 to 110° C. (average 95° C.) for 5 minutes to prepare a resin sheet 1.

<実施例2>
さらにカルボジイミド樹脂(日清紡ケミカル社製「V-03」、カルボジイミド基当量216g/eq、不揮発分50質量%のトルエン溶液)5部を加えた以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス2及び樹脂シート2を作製した。
<Example 2>
Further carbodiimide resin ("V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., carbodiimide group equivalent 216 g / eq, non-volatile content 50 wt% toluene solution) was added in the same manner as in Example 1 except that 5 parts of resin varnish 2 and resin Sheet 2 was produced.

<実施例3>
さらにベンゾオキサジン系硬化剤(JFEケミカル社製「ODA-BOZ」)3部を加えた以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス3及び樹脂シート3を作製した。
<Example 3>
Further, resin varnish 3 and resin sheet 3 were produced in the same manner as in Example 1, except that 3 parts of a benzoxazine-based curing agent ("ODA-BOZ" manufactured by JFE Chemical Co., Ltd.) was added.

<実施例4>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から0.5部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス4及び樹脂シート4を作製した。
<Example 4>
Resin varnish 4 and resin sheet were prepared in the same manner as in Example 1, except that the amount of glycidylamine-type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of 95 g/eq) was changed from 3 parts to 0.5 parts. 4 was produced.

<実施例5>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」、エポキシ当量180g/eq)を配合せず、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から10部に変更し、アクリル酸エステル(新中村化学工業社製「A-DOG」、アクリル当量156g/eq)の配合量を10部から5部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス5及び樹脂シート5を作製した。
<Example 5>
No bisphenol A type epoxy resin ("828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 180 g/eq) was added, and the amount of glycidylamine type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 95 g/eq) was added to 3. Same as in Example 1, except that the amount of acrylic acid ester ("A-DOG" manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd., acrylic equivalent 156 g / eq) was changed from 10 parts to 5 parts. Then, resin varnish 5 and resin sheet 5 were produced.

<実施例6>
ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量330g/eq)の配合量を15部から5部に変更し、活性エステル樹脂(DIC社製「HPC-8000-65T」、活性エステル基当量223g/eq、不揮発分65質量%のトルエン溶液)の配合量を30部から50部に変更した以外は、実施例5と同様にして樹脂ワニス6及び樹脂シート6を作製した。
<Example 6>
The amount of naphthol-type epoxy resin (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN475V", epoxy equivalent 330 g / eq) was changed from 15 parts to 5 parts, and active ester resin (manufactured by DIC "HPC-8000-65T", active ester A resin varnish 6 and a resin sheet 6 were produced in the same manner as in Example 5, except that the amount of the toluene solution having a base equivalent of 223 g/eq and a non-volatile content of 65% by mass was changed from 30 parts to 50 parts.

<実施例7>
アクリル酸エステル(新中村化学工業社製「A-DOG」、アクリル当量156g/eq)10部に代えて、アクリル酸エステル(共栄社化学社製「A-DCP」、アクリル当量152g/eq)10部を使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス7及び樹脂シート7を作製した。
<Example 7>
Acrylic ester (manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. "A-DOG", acrylic equivalent 156 g / eq) instead of 10 parts of acrylic ester (manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd. "A-DCP", acrylic equivalent 152 g / eq) 10 parts A resin varnish 7 and a resin sheet 7 were prepared in the same manner as in Example 1, except that .

<実施例8>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)3部に代えて、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(ADEKA社製「EP3980S」、エポキシ当量115g/eq)3部を使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス8及び樹脂シート8を作製した。
<Example 8>
Instead of 3 parts of glycidylamine type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 95 g/eq), 3 parts of glycidylamine type epoxy resin (ADEKA "EP3980S", epoxy equivalent 115 g/eq) was used. A resin varnish 8 and a resin sheet 8 were produced in the same manner as in Example 1 except for the above.

<実施例9>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)3部に代えて、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(住友化学社製「ELM-434」、エポキシ当量98g/eq)3部を使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス9及び樹脂シート9を作製した。
<Example 9>
Glycidylamine type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "630", epoxy equivalent 95 g / eq) instead of 3 parts, glycidyl amine type epoxy resin (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. "ELM-434", epoxy equivalent 98 g / eq) 3 parts A resin varnish 9 and a resin sheet 9 were produced in the same manner as in Example 1, except that .

<実施例10>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)3部に代えて、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(住友化学社製「ELM-100」、エポキシ当量105g/eq)3部を使用した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス10及び樹脂シート10を作製した。
<Example 10>
Glycidylamine type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation "630", epoxy equivalent 95 g / eq) instead of 3 parts, glycidylamine type epoxy resin (manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd. "ELM-100", epoxy equivalent 105 g / eq) 3 parts A resin varnish 10 and a resin sheet 10 were produced in the same manner as in Example 1, except that .

<比較例1>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)を配合しなかった以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス11及び樹脂シート11を作製した。
<Comparative Example 1>
A resin varnish 11 and a resin sheet 11 were produced in the same manner as in Example 1, except that a glycidylamine type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of 95 g/eq) was not added.

<比較例2>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から0.1部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス12及び樹脂シート12を作製した。
<Comparative Example 2>
Resin varnish 12 and resin sheet were prepared in the same manner as in Example 1, except that the amount of glycidylamine-type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of 95 g/eq) was changed from 3 parts to 0.1 parts. 12 was produced.

<比較例3>
グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から0.5部に変更し、アクリル酸エステル(新中村化学工業社製「A-DOG」、アクリル当量156g/eq)の配合量を10部から50部に変更し、球状シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm)の配合量を120部から200部に変更し、メチルエチルケトン(MEK)の使用量を30部から60部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス13及び樹脂シート13を作製した。
<Comparative Example 3>
The amount of glycidylamine type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 95 g / eq) was changed from 3 parts to 0.5 parts, and acrylic acid ester ("A-DOG" manufactured by Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. , Acrylic equivalent 156 g / eq) was changed from 10 parts to 50 parts, and the amount of spherical silica (“SO-C2” manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm) was changed from 120 parts to 200 parts. A resin varnish 13 and a resin sheet 13 were produced in the same manner as in Example 1, except that the amount of methyl ethyl ketone (MEK) used was changed from 30 parts to 60 parts.

<比較例4>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」、エポキシ当量180g/eq)の使用量を5部から15部に変更し、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から0.1部に変更し、アクリル酸エステル(新中村化学工業社製「A-DOG」、アクリル当量156g/eq)の配合量を10部から2部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス14及び樹脂シート14を作製した。
<Comparative Example 4>
The amount of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "828US", epoxy equivalent 180 g / eq) was changed from 5 parts to 15 parts, and glycidylamine type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "630", epoxy equivalent 95 g /eq) was changed from 3 parts to 0.1 parts, and the amount of acrylic acid ester (“A-DOG” manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., acrylic equivalent 156 g / eq) was changed from 10 parts to 2 parts. A resin varnish 14 and a resin sheet 14 were produced in the same manner as in Example 1, except for the change.

<比較例5>
ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量330g/eq)の配合量を15部から5部に変更し、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から30部に変更し、球状シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm)の配合量を120部から150部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス15及び樹脂シート15を作製した。
<Comparative Example 5>
The amount of naphthol-type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 330 g / eq) was changed from 15 parts to 5 parts, and glycidylamine-type epoxy resin (“630” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 95 g) was added. /eq) was changed from 3 parts to 30 parts, and the amount of spherical silica (“SO-C2” manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm) was changed from 120 parts to 150 parts. A resin varnish 15 and a resin sheet 15 were prepared in the same manner as in Example 1.

<比較例6>
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」、エポキシ当量180g/eq)の使用量を5部から15部に変更し、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から30部に変更し、球状シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm)の配合量を120部から200部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス16及び樹脂シート16を作製した。
<Comparative Example 6>
The amount of bisphenol A type epoxy resin (manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "828US", epoxy equivalent 180 g / eq) was changed from 5 parts to 15 parts, and glycidylamine type epoxy resin (Mitsubishi Chemical Co., Ltd. "630", epoxy equivalent 95 g /eq) was changed from 3 parts to 30 parts, and the amount of spherical silica (“SO-C2” manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm) was changed from 120 parts to 200 parts. A resin varnish 16 and a resin sheet 16 were prepared in the same manner as in Example 1.

<比較例7>
ナフトール型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学社製「ESN475V」、エポキシ当量330g/eq)の配合量を15部から5部に変更し、グリシジルアミン型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「630」、エポキシ当量95g/eq)の配合量を3部から30部に変更し、アクリル酸エステル(新中村化学工業社製「A-DOG」、アクリル当量156g/eq)の配合量を10部から30部に変更し、球状シリカ(アドマテックス社製「SO-C2」、平均粒径0.5μm)の配合量を120部から200部に変更した以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス17及び樹脂シート17を作製した。
<Comparative Example 7>
The amount of naphthol-type epoxy resin (“ESN475V” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent 330 g / eq) was changed from 15 parts to 5 parts, and glycidylamine-type epoxy resin (“630” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 95 g) was added. /eq) was changed from 3 parts to 30 parts, and the amount of acrylic acid ester ("A-DOG" manufactured by Shin-Nakamura Chemical Industry Co., Ltd., acrylic equivalent 156 g / eq) was changed from 10 parts to 30 parts. , Resin varnish 17 and resin sheet 17 in the same manner as in Example 1, except that the amount of spherical silica (“SO-C2” manufactured by Admatechs, average particle size 0.5 μm) was changed from 120 parts to 200 parts. was made.

実施例及び比較例の各評価結果を表1に示す。 Table 1 shows the evaluation results of Examples and Comparative Examples.

Figure 0007214981000012
Figure 0007214981000012

以上の結果より、(A)成分、(B)成分、及び(C)成分の組み合わせを特定の含有量で含む樹脂組成物を用いた場合に、誘電正接が低く、スミア除去性に優れ、導体層との間の密着性に優れる硬化物が得られることがわかる。 From the above results, when using a resin composition containing a combination of components (A), (B), and (C) in a specific content, the dielectric loss tangent is low, the smear removal property is excellent, and the conductor It can be seen that a cured product having excellent adhesion to the layer can be obtained.

実施例1~10において、(D)成分~(G)成分を含有しない場合でも、程度に差はあるものの、上記実施例同様の結果に帰着することを確認している。 In Examples 1 to 10, it has been confirmed that the same results as in the above Examples are obtained even when the components (D) to (G) are not contained, although there are differences in degree.

Claims (12)

(A)エポキシ樹脂、(B)アクリロイル基、及びメタクリロイル基から選ばれるラジカル重合性不飽和基を1分子あたり2個以上有し且つ環状基を有する樹脂、(C)エポキシ樹脂硬化剤、及び(D)無機充填剤を含む樹脂組成物であって、
(A)成分が、(A-1)グリシジルアミン型エポキシ樹脂、及び(A-1)成分以外のエポキシ樹脂を含み、
(A-1)成分以外の(A)成分の含有量を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が2~250質量部であり、
(B)成分の含有量を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が3~250質量部であり、
樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(A-1)成分の含有量が0.20~10質量部であり、
樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(D)成分の含有量が50~90質量部である、樹脂組成物。
(A) an epoxy resin, (B) a resin having two or more radically polymerizable unsaturated groups per molecule selected from acryloyl groups and methacryloyl groups and having a cyclic group , (C) an epoxy resin curing agent, and ( D) A resin composition containing an inorganic filler,
component (A) contains (A-1) a glycidylamine type epoxy resin and an epoxy resin other than component (A-1),
When the content of component (A) other than component (A-1) is 100 parts by mass, the content of component (A-1) is 2 to 250 parts by mass,
When the content of component (B) is 100 parts by mass, the content of component (A-1) is 3 to 250 parts by mass,
When the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass, the content of component (A-1) is 0.20 to 10 parts by mass,
A resin composition in which the content of component (D) is 50 to 90 parts by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100 parts by mass.
(A-1)成分が、2官能又は3官能のグリシジルアミン型エポキシ樹脂である、請求項1に記載の樹脂組成物。 2. The resin composition according to claim 1, wherein component (A-1) is a difunctional or trifunctional glycidylamine type epoxy resin. (C)成分が、活性エステル系硬化剤、フェノール系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、及びベンゾオキサジン系硬化剤からなる群から選択される、請求項1又は2に記載の樹脂組成物。 3. The resin composition according to claim 1, wherein component (C) is selected from the group consisting of active ester curing agents, phenolic curing agents, carbodiimide curing agents, and benzoxazine curing agents. (B)成分が(メタ)アクリル酸エステルである、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 4. The resin composition according to any one of claims 1 to 3 , wherein the component (B) is a (meth)acrylic acid ester. (B)成分の含有量を100質量部とした場合、(A)成分の含有量が100~1000質量部である、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 4 , wherein the content of component (A) is 100 to 1000 parts by mass when the content of component (B) is 100 parts by mass. 樹脂組成物中の不揮発成分を100質量部とした場合、(D)成分の含有量が、65質量部以上である、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 6. The resin composition according to any one of claims 1 to 5 , wherein the content of component (D) is 65 parts by mass or more based on 100 parts by mass of non-volatile components in the resin composition. さらに(E)熱可塑性樹脂を含む、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 6 , further comprising (E) a thermoplastic resin. 導体層を形成するための絶縁層形成用である、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 7 , which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer. プリント配線板の絶縁層形成用である、請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 7 , which is used for forming an insulating layer of a printed wiring board. 請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物を含有する、シート状積層材料。 A sheet-like laminate material containing the resin composition according to any one of claims 1 to 7 . 請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層を備えるプリント配線板。 A printed wiring board comprising an insulating layer comprising a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 7 . 請求項1~の何れか1項に記載の樹脂組成物の硬化物を含む、半導体装置。 A semiconductor device comprising a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 7 .
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