JP7206613B2 - resin composition - Google Patents

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本発明は、樹脂組成物に関する。さらには、本発明は、樹脂組成物を使用した、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置に関する。 The present invention relates to resin compositions. Furthermore, the present invention relates to resin sheets, printed wiring boards and semiconductor devices using the resin composition.

多層プリント配線板の製造技術として、絶縁層と導体層を交互に積み重ねるビルドアップ方式による製造方法が知られている。ビルドアップ方式による製造方法において、一般に、絶縁層は樹脂組成物を熱硬化させて形成される。 2. Description of the Related Art As a manufacturing technique for a multilayer printed wiring board, a manufacturing method using a build-up method in which insulating layers and conductor layers are alternately stacked is known. In the build-up manufacturing method, the insulating layer is generally formed by thermosetting a resin composition.

例えば、特許文献1には、(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル硬化剤、及び(C)硬化促進剤を含む樹脂組成物であって、(C)成分が、4位に電子求引基を有するピリジン化合物及び1位に電子求引基を有するイミダゾール化合物からなる群から選択される1種以上を含む樹脂組成物が開示されている。 For example, Patent Document 1 discloses a resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) an active ester curing agent, and (C) a curing accelerator, wherein the component (C) is an electron-withdrawing A resin composition containing one or more selected from the group consisting of a pyridine compound having a group and an imidazole compound having an electron-withdrawing group at the 1-position is disclosed.

特開2015-59170号公報JP 2015-59170 A

多層プリント配線板の製造に際し、絶縁層を形成するための樹脂組成物は、高温高湿環境下での環境試験(HAST試験)後においても、導体層との間の密着性に優れることが望ましい。 When manufacturing a multilayer printed wiring board, it is desirable that the resin composition for forming the insulating layer has excellent adhesion to the conductor layer even after an environmental test (HAST test) under a high-temperature and high-humidity environment. .

本発明の課題は、HAST試験後においても、導体層との間の密着性に優れる硬化物を得ることが可能な樹脂組成物;当該樹脂組成物を含む樹脂シート;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a resin composition capable of obtaining a cured product having excellent adhesion to a conductor layer even after the HAST test; a resin sheet containing the resin composition; An object of the present invention is to provide a printed wiring board having an insulating layer formed thereon, and a semiconductor device.

本発明者は、前記の課題を解決するべく鋭意検討した結果、環状アミノ基で置換されたピリジンを樹脂組成物に含有させることで、HAST試験後においても、導体層との間の密着性に優れる硬化物を得ることが可能となることを見い出し、本発明を完成させるに至った。すなわち、本発明は、下記の内容を含む。 As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors found that by including pyridine substituted with a cyclic amino group in the resin composition, the adhesion between the conductor layer and the conductor layer was improved even after the HAST test. The inventors have found that it is possible to obtain an excellent cured product, and have completed the present invention. That is, the present invention includes the following contents.

[1] (A)エポキシ樹脂、
(B)活性エステル系硬化剤、及び
(C)環状アミノ基で置換されたピリジン、を含有する樹脂組成物。
[2] (C)成分における環状アミノ基が、ピリジン環の4位に結合している、[1]に記載の樹脂組成物。
[3] (C)成分における環状アミノ基が、飽和環状アミノ基である、[1]又は[2]に記載の樹脂組成物。
[4] (C)成分における環状アミノ基が、5員環又は6員環の環状アミノ基である、[1]~[3]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5] さらに、(D)無機充填材を含有する、[1]~[4]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6] (D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、[5]に記載の樹脂組成物。
[7] 絶縁用途に用いる、[1]~[6]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8] 絶縁層形成用である、[1]~[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9] 導体層を形成するための絶縁層形成用である、[1]~[8]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10] 半導体チップの封止用である、[1]~[7]のいずれかに記載の樹脂組成物。
[11] 支持体と、該支持体上に設けられた、[1]~[10]のいずれかに記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。
[12] [1]~[10]のいずれかに記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。
[13] [12]に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。
[1] (A) epoxy resin,
A resin composition containing (B) an active ester curing agent and (C) pyridine substituted with a cyclic amino group.
[2] The resin composition according to [1], wherein the cyclic amino group in component (C) is bonded to the 4-position of the pyridine ring.
[3] The resin composition according to [1] or [2], wherein the cyclic amino group in component (C) is a saturated cyclic amino group.
[4] The resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the cyclic amino group in component (C) is a 5- or 6-membered cyclic amino group.
[5] The resin composition according to any one of [1] to [4], further comprising (D) an inorganic filler.
[6] The resin composition according to [5], wherein the content of component (D) is 50% by mass or more based on 100% by mass of non-volatile components in the resin composition.
[7] The resin composition according to any one of [1] to [6], which is used for insulation.
[8] The resin composition according to any one of [1] to [7], which is for forming an insulating layer.
[9] The resin composition according to any one of [1] to [8], which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer.
[10] The resin composition according to any one of [1] to [7], which is used for encapsulating semiconductor chips.
[11] A resin sheet comprising a support and a resin composition layer containing the resin composition according to any one of [1] to [10] provided on the support.
[12] A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to any one of [1] to [10].
[13] A semiconductor device including the printed wiring board according to [12].

本発明によれば、HAST試験後においても、導体層との間の密着性に優れる硬化物を得ることが可能な樹脂組成物;当該樹脂組成物を含む樹脂シート;当該樹脂組成物を用いて形成された絶縁層を備えるプリント配線板、及び半導体装置を提供できる。 According to the present invention, a resin composition capable of obtaining a cured product having excellent adhesion to a conductor layer even after the HAST test; a resin sheet containing the resin composition; A printed wiring board including the formed insulating layer and a semiconductor device can be provided.

以下、実施形態及び例示物を示して、本発明について詳細に説明する。ただし、本発明は、以下に挙げる実施形態及び例示物に限定されるものでは無く、本発明の特許請求の範囲及びその均等の範囲を逸脱しない範囲において任意に変更して実施しうる。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below with reference to embodiments and examples. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and can be arbitrarily modified without departing from the scope of the claims of the present invention and their equivalents.

[樹脂組成物]
本発明の樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂、(B)活性エステル硬化剤、及び(C)環状アミノ基で置換されたピリジンを含有する。(C)環状アミノ基で置換されたピリジンを樹脂組成物に含有させることで、HAST試験後においても、銅箔等の導体層との間の密着性に優れる硬化物を得ることが可能となる。さらには、得られた硬化物は、通常メッキ導体層との間のピール強度、及びHAST試験前の銅箔等の導体層との間のピール強度にも優れる。
[Resin composition]
The resin composition of the present invention contains (A) an epoxy resin, (B) an active ester curing agent, and (C) a pyridine substituted with a cyclic amino group. (C) By including pyridine substituted with a cyclic amino group in the resin composition, it is possible to obtain a cured product having excellent adhesion to a conductor layer such as a copper foil even after the HAST test. . Furthermore, the obtained cured product is excellent in peel strength between the normal plated conductor layer and peel strength between the conductor layer such as copper foil before the HAST test.

また、前記の樹脂組成物は、(A)~(C)成分に組み合わせて、更に任意の成分を含んでいてもよい。任意の成分としては、例えば、(D)無機充填材、(E)硬化剤、(F)熱可塑性樹脂、及び(G)その他の添加剤などが挙げられる。以下、本発明の樹脂組成物に含まれる各成分について詳細に説明する。 In addition, the resin composition may further contain optional components in combination with the components (A) to (C). Examples of optional components include (D) an inorganic filler, (E) a curing agent, (F) a thermoplastic resin, and (G) other additives. Each component contained in the resin composition of the present invention will be described in detail below.

<(A)エポキシ樹脂>
樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂を含有する。(A)エポキシ樹脂としては、例えば、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、tert-ブチル-カテコール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、線状脂肪族エポキシ樹脂、ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、スピロ環含有エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、トリメチロール型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂等が挙げられる。エポキシ樹脂は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(A) Epoxy resin>
The resin composition contains (A) an epoxy resin. (A) Epoxy resins include, for example, biphenyl type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, trisphenol type epoxy resin. resins, naphthol novolak-type epoxy resins, phenol novolak-type epoxy resins, tert-butyl-catechol-type epoxy resins, naphthalene-type epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, anthracene-type epoxy resins, glycidylamine-type epoxy resins, glycidyl ester-type epoxy resins, cresol novolak type epoxy resins, linear aliphatic epoxy resins, epoxy resins having a butadiene structure, alicyclic epoxy resins, heterocyclic epoxy resins, spiro ring-containing epoxy resins, cyclohexane type epoxy resins, cyclohexanedimethanol type epoxy resins, Naphthylene ether type epoxy resins, trimethylol type epoxy resins, tetraphenylethane type epoxy resins and the like can be mentioned. Epoxy resins may be used singly or in combination of two or more.

樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂として、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂を含むことが好ましい。本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、(A)エポキシ樹脂の不揮発成分100質量%に対して、1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ樹脂の割合は、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、特に好ましくは70質量%以上である。 The resin composition preferably contains an epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule as (A) the epoxy resin. From the viewpoint of obtaining the desired effects of the present invention remarkably, the ratio of the epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule to 100% by mass of the non-volatile components of the epoxy resin (A) is preferably 50% by mass. % or more, more preferably 60 mass % or more, and particularly preferably 70 mass % or more.

エポキシ樹脂には、温度20℃で液状のエポキシ樹脂(以下「液状エポキシ樹脂」ということがある。)と、温度20℃で固体状のエポキシ樹脂(以下「固体状エポキシ樹脂」ということがある。)とがある。樹脂組成物は、(A)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、固体状エポキシ樹脂のみを含んでいてもよいが、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて含むことが好ましい。(A)エポキシ樹脂として、液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いることで、後述する樹脂組成物層の可撓性を向上させたり、樹脂組成物の硬化物の破断強度を向上させたりできる。 Epoxy resins include liquid epoxy resins at a temperature of 20° C. (hereinafter sometimes referred to as “liquid epoxy resins”) and solid epoxy resins at a temperature of 20° C. (hereinafter sometimes referred to as “solid epoxy resins”). ). As the epoxy resin (A), the resin composition may contain only a liquid epoxy resin or only a solid epoxy resin, but may contain a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin. is preferred. (A) By using a combination of a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin as the epoxy resin, it is possible to improve the flexibility of the resin composition layer, which will be described later, and to improve the breaking strength of the cured product of the resin composition. can

液状エポキシ樹脂としては、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する液状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する芳香族系の液状エポキシ樹脂がより好ましい。ここで、「芳香族系」のエポキシ樹脂とは、その分子内に芳香環を有するエポキシ樹脂を意味する。 The liquid epoxy resin is preferably a liquid epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule, more preferably an aromatic liquid epoxy resin having two or more epoxy groups per molecule. Here, the “aromatic” epoxy resin means an epoxy resin having an aromatic ring in its molecule.

液状エポキシ樹脂としては、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、グリシジルアミン型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂、シクロヘキサン型エポキシ樹脂、シクロヘキサンジメタノール型エポキシ樹脂、及びブタジエン構造を有するエポキシ樹脂が好ましく、ビスフェノールA型エポキシ樹脂がより好ましい。 Examples of liquid epoxy resins include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol AF type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, glycidyl ester type epoxy resin, glycidyl amine type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, ester skeleton. An alicyclic epoxy resin, a cyclohexane type epoxy resin, a cyclohexanedimethanol type epoxy resin, and an epoxy resin having a butadiene structure are preferable, and a bisphenol A type epoxy resin is more preferable.

液状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「HP4032」、「HP4032D」、「HP4032SS」(ナフタレン型エポキシ樹脂);DIC社製の「EXA-850CRP」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「828US」、「jER828EL」、「825」、「エピコート828EL」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER807」、「1750」(ビスフェノールF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER152」(フェノールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「630」、「630LSD」(グリシジルアミン型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1059」(ビスフェノールA型エポキシ樹脂とビスフェノールF型エポキシ樹脂の混合品);ナガセケムテックス社製の「EX-721」(グリシジルエステル型エポキシ樹脂);ダイセル社製の「セロキサイド2021P」(エステル骨格を有する脂環式エポキシ樹脂);ダイセル社製の「PB-3600」(ブタジエン構造を有するエポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ZX1658」、「ZX1658GS」(液状1,4-グリシジルシクロヘキサン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of liquid epoxy resins include "HP4032", "HP4032D", and "HP4032SS" (naphthalene type epoxy resins) manufactured by DIC; "EXA-850CRP" (bisphenol A type epoxy resin) manufactured by DIC; "828US", "jER828EL", "825", "Epicoat 828EL" (bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "jER807" and "1750" (bisphenol F type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; Mitsubishi Chemical Corporation "jER152" (phenol novolac type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; "630" and "630LSD" (glycidylamine type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation; F-type epoxy resin mixture); "EX-721" (glycidyl ester type epoxy resin) manufactured by Nagase ChemteX; "Celoxide 2021P" manufactured by Daicel (alicyclic epoxy resin having an ester skeleton); Daicel "PB-3600" (epoxy resin having a butadiene structure) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

固体状エポキシ樹脂としては、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する固体状エポキシ樹脂が好ましく、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する芳香族系の固体状エポキシ樹脂がより好ましい。 The solid epoxy resin is preferably a solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups per molecule, more preferably an aromatic solid epoxy resin having 3 or more epoxy groups per molecule.

固体状エポキシ樹脂としては、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン型4官能エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリスフェノール型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールAF型エポキシ樹脂、テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂が好ましく、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、及びジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂がより好ましく、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、及びジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂がさらに好ましい。ビフェニル型エポキシ樹脂としては、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂等が挙げられる。 Solid epoxy resins include naphthalene-type epoxy resins, naphthalene-type tetrafunctional epoxy resins, cresol novolac-type epoxy resins, dicyclopentadiene-type epoxy resins, trisphenol-type epoxy resins, naphthol-type epoxy resins, biphenyl-type epoxy resins, and naphthylene. Ether-type epoxy resin, anthracene-type epoxy resin, bisphenol A-type epoxy resin, bisphenol AF-type epoxy resin, tetraphenylethane-type epoxy resin are preferred, biphenyl-type epoxy resin, naphthylene ether-type epoxy resin, and dicyclopentadiene-type epoxy resin. is more preferred, and biphenyl-type epoxy resins, naphthylene ether-type epoxy resins, and dicyclopentadiene-type epoxy resins are even more preferred. Biphenyl-type epoxy resins include biphenyl aralkyl-type epoxy resins and bixylenol-type epoxy resins.

固体状エポキシ樹脂の具体例としては、DIC社製の「N-690」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「N-695」(クレゾールノボラック型エポキシ樹脂);DIC社製の「HP7200」、「HP7200HH」、「HP7200H」(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂);DIC社製の「EXA-7311」、「EXA-7311-G3」、「EXA-7311-G4」、「EXA-7311-G4S」、「HP6000」(ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「EPPN-502H」(トリスフェノール型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC7000L」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);日本化薬社製の「NC3000H」、「NC3000」、「NC3000L」、「NC3100」(ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX4000HK」、「YX4000H」、「YX4000」、「YL6121」(ビキシレノール型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN475V」(ナフトール型エポキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「ESN485」(ナフトールノボラック型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8800」(アントラセン型エポキシ樹脂);大阪ガスケミカル社製の「PG-100」、「CG-500」;三菱ケミカル社製の「YL7760」(ビスフェノールAF型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YL7800」(フルオレン型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1010」(固体状ビスフェノールA型エポキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「jER1031S」(テトラフェニルエタン型エポキシ樹脂)等が挙げられる。これらは、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of solid epoxy resins include "N-690" (cresol novolak type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; "N-695" (cresol novolac type epoxy resin) manufactured by DIC Corporation; "HP7200" manufactured by DIC Corporation. ”, “HP7200HH”, “HP7200H” (dicyclopentadiene type epoxy resin); DIC “EXA-7311”, “EXA-7311-G3”, “EXA-7311-G4”, “EXA-7311-G4S” ", "HP6000" (naphthylene ether type epoxy resin); Nippon Kayaku "EPPN-502H" (trisphenol type epoxy resin); Nippon Kayaku "NC7000L" (naphthol novolac type epoxy resin); "NC3000H", "NC3000", "NC3000L", "NC3100" (biphenyl aralkyl type epoxy resins) manufactured by Nippon Kayaku; bixylenol type epoxy resin); Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN475V" (naphthol type epoxy resin); Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. "ESN485" (naphthol novolac type epoxy resin); type epoxy resin); "PG-100" and "CG-500" manufactured by Osaka Gas Chemicals; "YL7760" manufactured by Mitsubishi Chemical (bisphenol AF type epoxy resin); "YL7800" manufactured by Mitsubishi Chemical (fluorene type epoxy resin); "jER1010" (solid bisphenol A type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; "jER1031S" (tetraphenylethane type epoxy resin) manufactured by Mitsubishi Chemical; These may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(A)エポキシ樹脂として液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂とを組み合わせて用いる場合、それらの量比(液状エポキシ樹脂:固体状エポキシ樹脂)は、質量比で、好ましくは1:1~1:20、より好ましくは1:1~1:15、特に好ましくは1:1~1:10である。液状エポキシ樹脂と固体状エポキシ樹脂との量比が斯かる範囲にあることにより、本発明の所望の効果を顕著に得ることができる。さらに、通常は、樹脂シートの形態で使用する場合に、適度な粘着性がもたらされる。また、通常は、樹脂シートの形態で使用する場合に、十分な可撓性が得られ、取り扱い性が向上する。さらに、通常は、十分な破断強度を有する硬化物を得ることができる。 (A) When a liquid epoxy resin and a solid epoxy resin are used in combination as the epoxy resin, the ratio by mass (liquid epoxy resin: solid epoxy resin) is preferably 1:1 to 1:20. , more preferably 1:1 to 1:15, particularly preferably 1:1 to 1:10. The desired effect of the present invention can be remarkably obtained by setting the amount ratio of the liquid epoxy resin to the solid epoxy resin within such a range. In addition, it usually provides moderate tackiness when used in the form of a resin sheet. In addition, when used in the form of a resin sheet, sufficient flexibility is usually obtained, and handleability is improved. Furthermore, usually, a cured product having sufficient breaking strength can be obtained.

(A)エポキシ樹脂のエポキシ当量は、好ましくは50~5000、より好ましくは50~3000、さらに好ましくは80~2000、さらにより好ましくは110~1000である。この範囲となることで、樹脂組成物層の硬化物の架橋密度が十分となり、表面粗さの小さい絶縁層をもたらすことができる。エポキシ当量は、1当量のエポキシ基を含む樹脂の質量である。このエポキシ当量は、JIS K7236に従って測定することができる。 (A) The epoxy equivalent of the epoxy resin is preferably 50-5000, more preferably 50-3000, even more preferably 80-2000, still more preferably 110-1000. Within this range, the crosslink density of the cured product of the resin composition layer is sufficient, and an insulating layer with a small surface roughness can be obtained. Epoxy equivalent weight is the mass of resin containing one equivalent of epoxy groups. This epoxy equivalent can be measured according to JIS K7236.

(A)エポキシ樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは100~5000、より好ましくは250~3000、さらに好ましくは400~1500である。
樹脂の重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)法により、ポリスチレン換算の値として測定できる。
(A) The weight average molecular weight (Mw) of the epoxy resin is preferably 100 to 5000, more preferably 250 to 3000, still more preferably 400 to 1500, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.
The weight average molecular weight of the resin can be measured as a polystyrene-equivalent value by a gel permeation chromatography (GPC) method.

(A)エポキシ樹脂の含有量は、良好な機械強度、絶縁信頼性を示す絶縁層を得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは5質量%以上、さらに好ましくは10質量%以上である。エポキシ樹脂の含有量の上限は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは35質量%以下、より好ましくは30質量%以下、特に好ましくは25質量%以下である。 (A) From the viewpoint of obtaining an insulating layer exhibiting good mechanical strength and insulation reliability, the content of the epoxy resin is preferably 1% by mass or more, when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. It is preferably 5% by mass or more, more preferably 10% by mass or more. The upper limit of the epoxy resin content is preferably 35% by mass or less, more preferably 30% by mass or less, and particularly preferably 25% by mass or less, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention.

<(B)活性エステル系硬化剤>
樹脂組成物は、(B)活性エステル系硬化剤を含有する。(B)活性エステル系硬化剤は、1分子中に活性エステル基を1個以上有する活性エステル化合物である。
<(B) Active ester curing agent>
The resin composition contains (B) an active ester curing agent. (B) The active ester curing agent is an active ester compound having one or more active ester groups in one molecule.

(B)活性エステル系硬化剤としては、一般にフェノールエステル類、チオフェノールエステル類、N-ヒドロキシアミンエステル類、複素環ヒドロキシ化合物のエステル類等の、反応活性の高いエステル基を1分子中に2個以上有する化合物が好ましく用いられる。当該活性エステル系硬化剤は、カルボン酸化合物及び/又はチオカルボン酸化合物とヒドロキシ化合物及び/又はチオール化合物との縮合反応によって得られるものが好ましい。特に耐熱性向上の観点から、カルボン酸化合物とヒドロキシ化合物とから得られる活性エステル系硬化剤が好ましく、カルボン酸化合物とフェノール化合物及び/又はナフトール化合物とから得られる活性エステル系硬化剤がより好ましい。カルボン酸化合物としては、例えば安息香酸、酢酸、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸等が挙げられる。フェノール化合物又はナフトール化合物としては、例えば、ハイドロキノン、レゾルシン、ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、フェノールフタリン、メチル化ビスフェノールA、メチル化ビスフェノールF、メチル化ビスフェノールS、フェノール、o-クレゾール、m-クレゾール、p-クレゾール、カテコール、α-ナフトール、β-ナフトール、1,5-ジヒドロキシナフタレン、1,6-ジヒドロキシナフタレン、2,6-ジヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシベンゾフェノン、トリヒドロキシベンゾフェノン、テトラヒドロキシベンゾフェノン、フロログルシン、ベンゼントリオール、ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物、フェノールノボラック等が挙げられる。ここで、「ジシクロペンタジエン型ジフェノール化合物」とは、ジシクロペンタジエン1分子にフェノール2分子が縮合して得られるジフェノール化合物をいう。 (B) The active ester curing agent generally contains two highly reactive ester groups per molecule, such as phenol esters, thiophenol esters, N-hydroxyamine esters, and esters of heterocyclic hydroxy compounds. A compound having one or more is preferably used. The active ester curing agent is preferably obtained by a condensation reaction between a carboxylic acid compound and/or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound and/or a thiol compound. In particular, from the viewpoint of improving heat resistance, an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a hydroxy compound is preferred, and an active ester curing agent obtained from a carboxylic acid compound and a phenol compound and/or a naphthol compound is more preferred. Examples of carboxylic acid compounds include benzoic acid, acetic acid, succinic acid, maleic acid, itaconic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and pyromellitic acid. Examples of phenol compounds or naphthol compounds include hydroquinone, resorcinol, bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, phenolphthalin, methylated bisphenol A, methylated bisphenol F, methylated bisphenol S, phenol, o-cresol, m- cresol, p-cresol, catechol, α-naphthol, β-naphthol, 1,5-dihydroxynaphthalene, 1,6-dihydroxynaphthalene, 2,6-dihydroxynaphthalene, dihydroxybenzophenone, trihydroxybenzophenone, tetrahydroxybenzophenone, phloroglucine, Benzenetriol, dicyclopentadiene-type diphenol compound, phenol novolak, and the like. Here, the term "dicyclopentadiene-type diphenol compound" refers to a diphenol compound obtained by condensing one molecule of dicyclopentadiene with two molecules of phenol.

具体的には、(B)活性エステル系硬化剤としては、ジシクロペンタジエン型活性エステル系硬化剤、ナフタレン構造を含む活性エステル系硬化剤、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル系硬化剤、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル系硬化剤が好ましく、中でもナフタレン構造を含む活性エステル系硬化剤、ジシクロペンタジエン型活性エステル系硬化剤がより好ましく、ジシクロペンタジエン型活性エステル系硬化剤がさらに好ましい。ジシクロペンタジエン型活性エステル系硬化剤としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル系硬化剤が好ましい。「ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造」とは、フェニレン-ジシクロペンチレン-フェニレンからなる2価の構造単位を表す。 Specifically, the (B) active ester curing agent includes a dicyclopentadiene type active ester curing agent, an active ester curing agent containing a naphthalene structure, an active ester curing agent containing an acetylated phenol novolac, and a phenol An active ester-based curing agent containing a benzoylated novolak is preferred, among which an active ester-based curing agent including a naphthalene structure and a dicyclopentadiene-type active ester-based curing agent are more preferred, and a dicyclopentadiene-type active ester-based curing agent is even more preferred. . As the dicyclopentadiene-type active ester-based curing agent, an active ester-based curing agent containing a dicyclopentadiene-type diphenol structure is preferable. "Dicyclopentadiene-type diphenol structure" represents a divalent structural unit consisting of phenylene-dicyclopentylene-phenylene.

(B)活性エステル系硬化剤の市販品としては、ジシクロペンタジエン型ジフェノール構造を含む活性エステル系硬化剤として、「EXB9451」、「EXB9460」、「EXB9460S」、「HPC8000-65T」、「HPC8000H-65TM」、「EXB8000L-65TM」(DIC社製)、ナフタレン構造を含む活性エステル系硬化剤として「EXB8150-60T」、「EXB9416-70BK」(DIC社製)、フェノールノボラックのアセチル化物を含む活性エステル系硬化剤として「DC808」(三菱ケミカル社製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物を含む活性エステル系硬化剤として「YLH1026」(三菱ケミカル社製)、フェノールノボラックのアセチル化物である活性エステル系硬化剤として「DC808」(三菱ケミカル社製)、フェノールノボラックのベンゾイル化物である活性エステル系硬化剤として「YLH1026」(三菱ケミカル社製)、「YLH1030」(三菱ケミカル社製)、「YLH1048」(三菱ケミカル社製)等が挙げられる。 (B) Commercially available active ester curing agents include "EXB9451", "EXB9460", "EXB9460S", "HPC8000-65T", and "HPC8000H" as active ester curing agents containing a dicyclopentadiene type diphenol structure. -65TM", "EXB8000L-65TM" (manufactured by DIC Corporation), "EXB8150-60T" and "EXB9416-70BK" (manufactured by DIC Corporation) as active ester curing agents containing a naphthalene structure, activity containing acetylated phenol novolak "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an ester curing agent, "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation) as an active ester curing agent containing a benzoylated phenol novolak, and an active ester curing agent that is an acetylated phenol novolac. "DC808" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "YLH1026" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "YLH1030" (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation), "YLH1048" (Mitsubishi Chemical company) and the like.

(B)活性エステル系硬化剤と(A)エポキシ樹脂との量比は、[(A)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数]:[(B)活性エステル系硬化剤の反応基の合計数]の比率で、1:0.01~1:5の範囲が好ましく、1:0.05~1:2がより好ましく、1:0.1~1:1.5がさらに好ましい。ここで、(B)活性エステル系硬化剤の反応基とは、活性エステル基である。また、(A)エポキシ樹脂のエポキシ基の合計数とは、各成分の固形分質量をエポキシ当量で除した値をすべて合計した値であり、(B)活性エステル系硬化剤の反応基の合計数とは、各活性エステル系硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての活性エステル系硬化剤について合計した値である。エポキシ樹脂と活性エステル系硬化剤との量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。 The ratio of (B) active ester curing agent to (A) epoxy resin is [total number of epoxy groups in (A) epoxy resin]:[total number of reactive groups in (B) active ester curing agent]. is preferably in the range of 1:0.01 to 1:5, more preferably 1:0.05 to 1:2, even more preferably 1:0.1 to 1:1.5. Here, the reactive group of (B) the active ester-based curing agent is an active ester group. In addition, (A) the total number of epoxy groups in the epoxy resin is the sum of all the values obtained by dividing the solid mass of each component by the epoxy equivalent, and (B) the total number of reactive groups in the active ester curing agent. The number is the total value obtained by dividing the solid content mass of each active ester curing agent by the reactive group equivalent for all the active ester curing agents. By setting the ratio between the epoxy resin and the active ester curing agent within this range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

(B)活性エステル系硬化剤の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは1質量%以上、より好ましくは3質量%以上、さらに好ましくは5質量%以上である。また、上限は好ましくは30質量%以下、より好ましくは25質量%以下、さらに好ましくは20質量%以下である。(B)成分の含有量を斯かる範囲内とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。 (B) The content of the active ester curing agent is preferably 1% by mass or more, more preferably 3% by mass or more, and still more preferably 5% by mass or more, when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. is. Also, the upper limit is preferably 30% by mass or less, more preferably 25% by mass or less, and even more preferably 20% by mass or less. By setting the content of component (B) within this range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

<(C)環状アミノ基で置換されたピリジン>
樹脂組成物は、(C)環状アミノ基で置換されたピリジンを含有する。この(C)成分は、ピリジンの1以上の水素原子を、環状アミノ基で置換した分子構造を有する。環状アミノ基は、環状でないアミノ基よりも電子供与性が優れることから、環状でないアミノ基を有する硬化促進剤よりもエポキシ樹脂の硬化促進効果が向上する。よって、樹脂組成物を硬化させる際、(A)エポキシ樹脂と(B)活性エステル系硬化剤との反応がより促進した状態で硬化でき、HAST試験後においても、導体層との間の密着性を効果的に向上させることが可能となる。
<(C) Pyridine Substituted with a Cyclic Amino Group>
The resin composition contains (C) pyridine substituted with a cyclic amino group. This component (C) has a molecular structure in which one or more hydrogen atoms of pyridine are substituted with cyclic amino groups. A cyclic amino group is superior in electron-donating property to a non-cyclic amino group, so that the curing acceleration effect of the epoxy resin is improved as compared with a curing accelerator having a non-cyclic amino group. Therefore, when curing the resin composition, it can be cured in a state in which the reaction between (A) the epoxy resin and (B) the active ester curing agent is further accelerated, and even after the HAST test, the adhesion between the resin composition and the conductor layer can be effectively improved.

(C)成分は、環状アミノ基がピリジン環と直接結合していれば、HAST試験後においても導体層との間の密着性を向上させることが可能である。HAST試験後においても導体層との間の密着性をより向上させる観点から、環状アミノ基は、ピリジン環の2~6位のいずれかと結合していることが好ましく、ピリジン環の4位で結合していることがより好ましい。1つのピリジン環に置換する環状アミノ基の数は、1でもよく、2以上でもよい。また、2以上の環状アミノ基で置換されたピリジンにおいて、環状アミノ基は、ピリジン環に1種結合していてもよく、2種類以上結合していてもよい。中でも、密着性を効果的に向上させる観点から、ピリジン環1つあたり1つの環状アミノ基が置換していることが好ましい。 Component (C) can improve adhesion to the conductor layer even after the HAST test if the cyclic amino group is directly bonded to the pyridine ring. From the viewpoint of further improving the adhesion between the conductor layer even after the HAST test, the cyclic amino group is preferably bonded to any one of the 2 to 6 positions of the pyridine ring, and is bonded to the 4 position of the pyridine ring. It is more preferable to have The number of cyclic amino groups substituted on one pyridine ring may be one, or two or more. In pyridine substituted with two or more cyclic amino groups, one type of cyclic amino group or two or more types of cyclic amino groups may be bonded to the pyridine ring. Among them, from the viewpoint of effectively improving adhesion, it is preferable that one cyclic amino group is substituted for each pyridine ring.

環状アミノ基は、ピリジンに置換することができるものを用いることができ、例えば、HAST試験後においても導体層との間の密着性をより向上させる観点から、不飽和結合を有さない飽和環状アミノ基であることが好ましい。 As the cyclic amino group, one that can be substituted with pyridine can be used. An amino group is preferred.

環状アミノ基が有する窒素原子数は、HAST試験後においても導体層との間の密着性をより向上させる観点から、好ましくは1以上5以下、より好ましくは1以上3以下、さらに好ましくは1以上2以下、特に好ましくは1つである。 The number of nitrogen atoms possessed by the cyclic amino group is preferably 1 or more and 5 or less, more preferably 1 or more and 3 or less, still more preferably 1 or more, from the viewpoint of further improving the adhesion to the conductor layer even after the HAST test. 2 or less, preferably 1.

環状アミノ基の環1つを形成する原子数は、HAST試験後においても導体層との間の密着性をより向上させる観点から、好ましくは3員環以上、より好ましくは4員環以上、さらに好ましくは5員環以上であり、好ましくは10員環以下、より好ましくは8員環以下、さらに好ましくは6員環以下である。環状アミノ基の環1つを形成する原子数は、5員環又は6員環が特に好ましい。 The number of atoms forming one ring of the cyclic amino group is preferably a 3-membered ring or more, more preferably a 4-membered ring or more, from the viewpoint of further improving adhesion to the conductor layer even after the HAST test. It is preferably a 5-membered ring or more, preferably a 10-membered ring or less, more preferably an 8-membered ring or less, still more preferably a 6-membered ring or less. The number of atoms forming one ring of the cyclic amino group is particularly preferably a 5-membered ring or a 6-membered ring.

環状アミノ基における環を構成する原子は、HAST試験後においても導体層との間の密着性を向上させることが可能な原子を用いることができる。具体的には、環状アミノ基における環は、窒素原子、炭素原子、及びヘテロ原子から環の骨格が構成されることが好ましく、窒素原子及び炭素原子から環の骨格が構成されることがより好ましい。ヘテロ原子としては、例えば、酸素原子、硫黄原子等が挙げられる。ヘテロ原子は前記の環に1つ有していてもよく、2つ以上を有していてもよい。 Atoms that form the ring in the cyclic amino group can be atoms that can improve adhesion to the conductor layer even after the HAST test. Specifically, the ring in the cyclic amino group preferably has a ring skeleton composed of nitrogen atoms, carbon atoms, and heteroatoms, and more preferably has a ring skeleton composed of nitrogen atoms and carbon atoms. . Heteroatoms include, for example, an oxygen atom, a sulfur atom, and the like. The ring may have one heteroatom, or may have two or more.

このような環状アミノ基としては、例えば、ピロリジノ基、ピペリジノ基、モルホリノ基、ピペラジノ基等が挙げられる。中でも、HAST試験後においても導体層との間の密着性をより向上させる観点から、ピロリジノ基、ピペリジノ基が好ましい。 Such cyclic amino groups include, for example, a pyrrolidino group, a piperidino group, a morpholino group, a piperazino group and the like. Among them, a pyrrolidino group and a piperidino group are preferable from the viewpoint of further improving the adhesion to the conductor layer even after the HAST test.

(C)成分の具体例としては、4-ピロリジノピリジン、4-ピペリジノピリジン、4-モルホリノピリジン、4-(1-ピペラジニル)ピリジン等が挙げられる。中でも、4-ピロリジノピリジン、4-ピペリジノピリジンが好ましい。(C)成分は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。 Specific examples of component (C) include 4-pyrrolidinopyridine, 4-piperidinopyridine, 4-morpholinopyridine, 4-(1-piperazinyl)pyridine and the like. Among them, 4-pyrrolidinopyridine and 4-piperidinopyridine are preferred. (C) component may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more types.

(C)成分は置換基を有していてもよい。置換基は、ピリジン環に置換していてもよく、環状アミノ基に置換していてもよい。このような置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、アリール基、アリールアルキル基、シリル基、アシル基、アシルオキシ基、カルボキシ基、スルホ基、シアノ基、ニトロ基、ヒドロキシ基、メルカプト基、オキソ基等が挙げられる。 (C) Component may have a substituent. The substituent may be substituted on the pyridine ring or may be substituted on the cyclic amino group. Examples of such substituents include halogen atoms, alkoxy groups, aryl groups, arylalkyl groups, silyl groups, acyl groups, acyloxy groups, carboxy groups, sulfo groups, cyano groups, nitro groups, hydroxy groups, mercapto groups, An oxo group and the like can be mentioned.

(C)成分の含有量は、HAST試験後においても導体層との間の密着性を向上させる観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上である。上限は好ましくは5質量%以下、より好ましくは4質量%以下、さらに好ましくは3質量%以下である。 The content of component (C) is preferably 0.1% by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, from the viewpoint of improving the adhesion between the conductor layer even after the HAST test. Above, more preferably 0.5% by mass or more, still more preferably 1% by mass or more. The upper limit is preferably 5% by mass or less, more preferably 4% by mass or less, and even more preferably 3% by mass or less.

樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(A)成分の含有量(質量%)、(B)成分の含有量(質量%)、及び(C)成分の含有量(質量%)をそれぞれa、b及びcとしたとき、a/(b+c)は、HAST試験後においても導体層との間の密着性を向上させる観点から、好ましくは0.5以上、より好ましくは1以上、さらに好ましくは1.3以上である。上限は、好ましくは3以下、より好ましくは2以下、さらに好ましくは1以下である。 The content (% by mass) of component (A), the content (% by mass) of component (B), and the content (% by mass) of component (C) when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass ) are a, b, and c respectively, a/(b+c) is preferably 0.5 or more, more preferably 1 or more, from the viewpoint of improving the adhesion between the conductor layer even after the HAST test. , and more preferably 1.3 or more. The upper limit is preferably 3 or less, more preferably 2 or less, and even more preferably 1 or less.

<(D)無機充填材>
樹脂組成物は、(D)無機充填材を含有し得る。無機充填材の材料としては、無機化合物を用いる。無機充填材の材料の例としては、シリカ、アルミナ、ガラス、コーディエライト、シリコン酸化物、硫酸バリウム、炭酸バリウム、タルク、クレー、雲母粉、酸化亜鉛、ハイドロタルサイト、ベーマイト、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化マグネシウム、窒化ホウ素、窒化アルミニウム、窒化マンガン、ホウ酸アルミニウム、炭酸ストロンチウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カルシウム、チタン酸マグネシウム、チタン酸ビスマス、酸化チタン、酸化ジルコニウム、チタン酸バリウム、チタン酸ジルコン酸バリウム、ジルコン酸バリウム、ジルコン酸カルシウム、リン酸ジルコニウム、及びリン酸タングステン酸ジルコニウム等が挙げられる。これらの中でもシリカが特に好適である。シリカとしては、例えば、無定形シリカ、溶融シリカ、結晶シリカ、合成シリカ、中空シリカ等が挙げられる。また、シリカとしては、球状シリカが好ましい。(D)無機充填材は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(D) Inorganic filler>
The resin composition may contain (D) an inorganic filler. An inorganic compound is used as the material of the inorganic filler. Examples of inorganic filler materials include silica, alumina, glass, cordierite, silicon oxide, barium sulfate, barium carbonate, talc, clay, mica powder, zinc oxide, hydrotalcite, boehmite, aluminum hydroxide, Magnesium hydroxide, calcium carbonate, magnesium carbonate, magnesium oxide, boron nitride, aluminum nitride, manganese nitride, aluminum borate, strontium carbonate, strontium titanate, calcium titanate, magnesium titanate, bismuth titanate, titanium oxide, zirconium oxide , barium titanate, barium zirconate titanate, barium zirconate, calcium zirconate, zirconium phosphate, and zirconium tungstate phosphate. Among these, silica is particularly suitable. Examples of silica include amorphous silica, fused silica, crystalline silica, synthetic silica, and hollow silica. Moreover, as silica, spherical silica is preferable. (D) The inorganic filler may be used singly or in combination of two or more.

(D)無機充填材の市販品としては、例えば、電化化学工業社製の「UFP-30」;新日鉄住金マテリアルズ社製の「SP60-05」、「SP507-05」;アドマテックス社製の「YC100C」、「YA050C」、「YA050C-MJE」、「YA010C」;デンカ社製の「UFP-30」;トクヤマ社製の「シルフィルNSS-3N」、「シルフィルNSS-4N」、「シルフィルNSS-5N」;アドマテックス社製の「SC2500SQ」、「SOC4」、「SOC2」、「SOC1」;などが挙げられる。 (D) Commercially available inorganic fillers include, for example, “UFP-30” manufactured by Denka Kagaku Kogyo; “SP60-05” and “SP507-05” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Materials; "YC100C", "YA050C", "YA050C-MJE", "YA010C"; "UFP-30" manufactured by Denka; 5N"; "SC2500SQ", "SOC4", "SOC2", "SOC1" manufactured by Admatechs;

(D)無機充填材の平均粒径は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは0.01μm以上、より好ましくは0.05μm以上、特に好ましくは0.1μm以上であり、好ましくは5μm以下、より好ましくは2μm以下、さらに好ましくは1μm以下である。 (D) The average particle diameter of the inorganic filler is preferably 0.01 μm or more, more preferably 0.05 μm or more, and particularly preferably 0.1 μm or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention, It is preferably 5 µm or less, more preferably 2 µm or less, and still more preferably 1 µm or less.

(D)無機充填材の平均粒径は、ミー(Mie)散乱理論に基づくレーザー回折・散乱法により測定することができる。具体的には、レーザー回折散乱式粒径分布測定装置により、無機充填材の粒径分布を体積基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。測定サンプルは、無機充填材100mg、メチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散させたものを使用することができる。測定サンプルを、レーザー回折式粒径分布測定装置を使用して、使用光源波長を青色及び赤色とし、フローセル方式で(D)無機充填材の体積基準の粒径分布を測定し、得られた粒径分布からメディアン径として平均粒径を算出した。レーザー回折式粒径分布測定装置としては、例えば堀場製作所社製「LA-960」等が挙げられる。 (D) The average particle size of the inorganic filler can be measured by a laser diffraction/scattering method based on Mie scattering theory. Specifically, the particle size distribution of the inorganic filler is prepared on a volume basis using a laser diffraction/scattering type particle size distribution measuring device, and the median diameter can be used as the average particle size for measurement. A measurement sample can be obtained by weighing 100 mg of an inorganic filler and 10 g of methyl ethyl ketone in a vial and dispersing them with ultrasonic waves for 10 minutes. The measurement sample is measured using a laser diffraction particle size distribution measuring device, the wavelengths of the light source used are blue and red, and the volume-based particle size distribution of the inorganic filler (D) is measured by the flow cell method. The average particle size was calculated as the median size from the size distribution. Examples of the laser diffraction particle size distribution analyzer include "LA-960" manufactured by Horiba, Ltd., and the like.

(D)無機充填材の比表面積は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは1m/g以上、より好ましくは5m/g以上、特に好ましくは10m/g以上である。上限に特段の制限は無いが、好ましくは60m/g以下、50m/g以下又は40m/g以下である。比表面積は、BET法に従って、比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで得られる。 (D) The specific surface area of the inorganic filler is preferably 1 m 2 /g or more, more preferably 5 m 2 /g or more, and particularly preferably 10 m 2 /g or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. be. Although there is no particular upper limit, it is preferably 60 m 2 /g or less, 50 m 2 /g or less, or 40 m 2 /g or less. The specific surface area is obtained by adsorbing nitrogen gas on the sample surface using a specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountech) according to the BET method and calculating the specific surface area using the BET multipoint method. .

(D)無機充填材は、耐湿性及び分散性を高める観点から、表面処理剤で処理されていることが好ましい。表面処理剤としては、例えば、フッ素含有シランカップリング剤、アミノシラン系カップリング剤、エポキシシラン系カップリング剤、メルカプトシラン系カップリング剤、シラン系カップリング剤、アルコキシシラン、オルガノシラザン化合物、チタネート系カップリング剤等が挙げられる。また、表面処理剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を任意に組み合わせて用いてもよい。 (D) The inorganic filler is preferably treated with a surface treatment agent from the viewpoint of enhancing moisture resistance and dispersibility. Examples of surface treatment agents include fluorine-containing silane coupling agents, aminosilane coupling agents, epoxysilane coupling agents, mercaptosilane coupling agents, silane coupling agents, alkoxysilanes, organosilazane compounds, and titanate compounds. A coupling agent etc. are mentioned. Moreover, one type of surface treatment agent may be used alone, or two or more types may be used in combination.

表面処理剤の市販品としては、例えば、信越化学工業社製「KBM403」(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM803」(3-メルカプトプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBE903」(3-アミノプロピルトリエトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM573」(N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「SZ-31」(ヘキサメチルジシラザン)、信越化学工業社製「KBM103」(フェニルトリメトキシシラン)、信越化学工業社製「KBM-4803」(長鎖エポキシ型シランカップリング剤)、信越化学工業社製「KBM-7103」(3,3,3-トリフルオロプロピルトリメトキシシラン)等が挙げられる。 Examples of commercially available surface treatment agents include "KBM403" (3-glycidoxypropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM803" (3-mercaptopropyltrimethoxysilane) manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., Shin-Etsu Chemical Industry Co., Ltd. "KBE903" (3-aminopropyltriethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM573" (N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "SZ-31" ( Hexamethyldisilazane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM103" (phenyltrimethoxysilane), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM-4803" (long-chain epoxy type silane coupling agent), Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. "KBM- 7103” (3,3,3-trifluoropropyltrimethoxysilane).

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の分散性向上の観点から、所定の範囲に収まることが好ましい。具体的には、無機充填材100質量部は、0.2質量部~5質量部の表面処理剤で表面処理されていることが好ましく、0.2質量部~3質量部で表面処理されていることが好ましく、0.3質量部~2質量部で表面処理されていることが好ましい。 From the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler, the degree of surface treatment with the surface treatment agent is preferably within a predetermined range. Specifically, 100 parts by mass of the inorganic filler is preferably surface-treated with 0.2-5 parts by mass of a surface treatment agent, and is surface-treated with 0.2-3 parts by mass. preferably 0.3 parts by mass to 2 parts by mass of the surface treatment.

表面処理剤による表面処理の程度は、無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量によって評価することができる。無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、無機充填材の分散性向上の観点から、0.02mg/m以上が好ましく、0.1mg/m以上がより好ましく、0.2mg/m以上が更に好ましい。一方、樹脂ワニスの溶融粘度及びシート形態での溶融粘度の上昇を抑制する観点から、1mg/m以下が好ましく、0.8mg/m以下がより好ましく、0.5mg/m以下が更に好ましい。 The degree of surface treatment by the surface treatment agent can be evaluated by the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler is preferably 0.02 mg/m 2 or more, more preferably 0.1 mg/m 2 or more, and more preferably 0.2 mg/m 2 from the viewpoint of improving the dispersibility of the inorganic filler. The above is more preferable. On the other hand, from the viewpoint of suppressing the melt viscosity of the resin varnish and the melt viscosity in the sheet form, it is preferably 1 mg/m 2 or less, more preferably 0.8 mg/m 2 or less, and further preferably 0.5 mg/m 2 or less. preferable.

無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量は、表面処理後の無機充填材を溶剤(例えば、メチルエチルケトン(MEK))により洗浄処理した後に測定することができる。具体的には、溶剤として十分な量のMEKを表面処理剤で表面処理された無機充填材に加えて、25℃で5分間超音波洗浄する。上澄液を除去し、固形分を乾燥させた後、カーボン分析計を用いて無機充填材の単位表面積当たりのカーボン量を測定することができる。カーボン分析計としては、堀場製作所社製「EMIA-320V」等を使用することができる。 The amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler can be measured after the surface-treated inorganic filler is washed with a solvent (eg, methyl ethyl ketone (MEK)). Specifically, a sufficient amount of MEK as a solvent is added to the inorganic filler surface-treated with the surface treatment agent, and ultrasonic cleaning is performed at 25° C. for 5 minutes. After removing the supernatant liquid and drying the solid content, a carbon analyzer can be used to measure the amount of carbon per unit surface area of the inorganic filler. As a carbon analyzer, "EMIA-320V" manufactured by Horiba Ltd. can be used.

(D)無機充填材の含有量は、絶縁性を向上させる観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは50質量%以上、より好ましくは60質量%以上、より好ましくは65質量%以上、さらに好ましくは70質量%以上であり、好ましくは90質量%以下、より好ましくは85質量%以下、さらに好ましくは80質量%以下である。通常、(D)無機充填材の含有量が多いと密着性が低下する傾向にある。しかし、前記の樹脂組成物は(C)成分を含有するので、(D)無機充填材の含有量が多くても密着性は低下せず、HAST後の密着性を良好にすることが可能となる。 (D) The content of the inorganic filler is preferably 50% by mass or more, more preferably 60% by mass or more, when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, from the viewpoint of improving insulation properties. It is preferably 65% by mass or more, more preferably 70% by mass or more, preferably 90% by mass or less, more preferably 85% by mass or less, and even more preferably 80% by mass or less. Usually, when the content of (D) inorganic filler is large, the adhesion tends to decrease. However, since the resin composition contains the component (C), even if the content of the inorganic filler (D) is large, the adhesion does not decrease, and it is possible to improve the adhesion after HAST. Become.

<(E)硬化剤>
樹脂組成物は、(E)硬化剤を含有し得る。但し、(B)活性エステル系硬化剤は(E)硬化剤に含めない。(E)硬化剤としては、例えば、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、ベンゾオキサジン系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、カルボジイミド系硬化剤、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤などが挙げられる。中でも、絶縁信頼性を向上させる観点から、(E)硬化剤は、フェノール系硬化剤、ナフトール系硬化剤、シアネートエステル系硬化剤、及びカルボジイミド系硬化剤のいずれか1種以上であることが好ましく、フェノール系硬化剤及びカルボジイミド系硬化剤のいずれか1種以上であることがより好ましい。硬化剤は1種単独で用いてもよく、又は2種以上を併用してもよい。
<(E) Curing agent>
The resin composition may contain (E) a curing agent. However, the (B) active ester curing agent is not included in the (E) curing agent. (E) Curing agents include, for example, phenol-based curing agents, naphthol-based curing agents, benzoxazine-based curing agents, cyanate ester-based curing agents, carbodiimide-based curing agents, amine-based curing agents, and acid anhydride-based curing agents. mentioned. Among them, from the viewpoint of improving insulation reliability, the (E) curing agent is preferably one or more of a phenol-based curing agent, a naphthol-based curing agent, a cyanate ester-based curing agent, and a carbodiimide-based curing agent. , a phenol-based curing agent, and a carbodiimide-based curing agent. A single curing agent may be used alone, or two or more curing agents may be used in combination.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤としては、耐熱性及び耐水性の観点から、ノボラック構造を有するフェノール系硬化剤、又はノボラック構造を有するナフトール系硬化剤が好ましい。また、導体層との密着性の観点から、含窒素フェノール系硬化剤が好ましく、トリアジン骨格含有フェノール系硬化剤がより好ましい。 As the phenolic curing agent and the naphtholic curing agent, a phenolic curing agent having a novolac structure or a naphtholic curing agent having a novolac structure is preferable from the viewpoint of heat resistance and water resistance. From the viewpoint of adhesion to the conductor layer, a nitrogen-containing phenolic curing agent is preferable, and a triazine skeleton-containing phenolic curing agent is more preferable.

フェノール系硬化剤及びナフトール系硬化剤の具体例としては、例えば、明和化成社製の「MEH-7700」、「MEH-7810」、「MEH-7851」、日本化薬社製の「NHN」、「CBN」、「GPH」、新日鉄住金化学社製の「SN170」、「SN180」、「SN190」、「SN475」、「SN485」、「SN495」、「SN-495V」「SN375」、「SN395」、DIC社製の「TD-2090」、「LA-7052」、「LA-7054」、「LA-1356」、「LA-3018-50P」、「EXB-9500」等が挙げられる。 Specific examples of phenol-based curing agents and naphthol-based curing agents include "MEH-7700", "MEH-7810" and "MEH-7851" manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd., "NHN" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., "CBN", "GPH", "SN170", "SN180", "SN190", "SN475", "SN485", "SN495", "SN-495V", "SN375", "SN395" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd. , "TD-2090", "LA-7052", "LA-7054", "LA-1356", "LA-3018-50P", "EXB-9500" manufactured by DIC.

ベンゾオキサジン系硬化剤の具体例としては、昭和高分子社製の「HFB2006M」、四国化成工業社製の「P-d」、「F-a」が挙げられる。 Specific examples of the benzoxazine-based curing agent include "HFB2006M" manufactured by Showa High Polymer Co., Ltd., and "Pd" and "Fa" manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.

シアネートエステル系硬化剤としては、例えば、ビスフェノールAジシアネート、ポリフェノールシアネート、オリゴ(3-メチレン-1,5-フェニレンシアネート)、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルフェニルシアネート)、4,4’-エチリデンジフェニルジシアネート、ヘキサフルオロビスフェノールAジシアネート、2,2-ビス(4-シアネート)フェニルプロパン、1,1-ビス(4-シアネートフェニルメタン)、ビス(4-シアネート-3,5-ジメチルフェニル)メタン、1,3-ビス(4-シアネートフェニル-1-(メチルエチリデン))ベンゼン、ビス(4-シアネートフェニル)チオエーテル、及びビス(4-シアネートフェニル)エーテル等の2官能シアネート樹脂、フェノールノボラック及びクレゾールノボラック等から誘導される多官能シアネート樹脂、これらシアネート樹脂が一部トリアジン化したプレポリマーなどが挙げられる。シアネートエステル系硬化剤の具体例としては、ロンザジャパン社製の「PT30」及び「PT60」(フェノールノボラック型多官能シアネートエステル樹脂)、「ULL-950S」(多官能シアネートエステル樹脂)、「BA230」、「BA230S75」(ビスフェノールAジシアネートの一部又は全部がトリアジン化され三量体となったプレポリマー)等が挙げられる。 Examples of cyanate ester curing agents include bisphenol A dicyanate, polyphenolcyanate, oligo(3-methylene-1,5-phenylenecyanate), 4,4′-methylenebis(2,6-dimethylphenylcyanate), 4,4 '-ethylidene diphenyl dicyanate, hexafluorobisphenol A dicyanate, 2,2-bis(4-cyanate)phenylpropane, 1,1-bis(4-cyanatophenylmethane), bis(4-cyanate-3,5-dimethyl Bifunctional cyanate resins such as phenyl)methane, 1,3-bis(4-cyanatophenyl-1-(methylethylidene))benzene, bis(4-cyanatophenyl)thioether, and bis(4-cyanatophenyl)ether, phenol Polyfunctional cyanate resins derived from novolacs, cresol novolaks, etc., and prepolymers obtained by partially triazine-forming these cyanate resins. Specific examples of cyanate ester curing agents include "PT30" and "PT60" (phenol novolac type polyfunctional cyanate ester resins), "ULL-950S" (polyfunctional cyanate ester resins) and "BA230" manufactured by Lonza Japan. , "BA230S75" (a prepolymer in which part or all of bisphenol A dicyanate is triazined to form a trimer), and the like.

カルボジイミド系硬化剤の具体例としては、日清紡ケミカル社製の「V-03」、「V-07」等が挙げられる。 Specific examples of carbodiimide curing agents include "V-03" and "V-07" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., and the like.

アミン系硬化剤としては、1分子内中に1個以上のアミノ基を有する硬化剤が挙げられ、例えば、脂肪族アミン類、ポリエーテルアミン類、脂環式アミン類、芳香族アミン類等が挙げられ、中でも、本発明の所望の効果を奏する観点から、芳香族アミン類が好ましい。アミン系硬化剤は、第1級アミン又は第2級アミンが好ましく、第1級アミンがより好ましい。アミン系硬化剤の具体例としては、4,4’-メチレンビス(2,6-ジメチルアニリン)、ジフェニルジアミノスルホン、4,4’-ジアミノジフェニルメタン、4,4’-ジアミノジフェニルスルホン、3,3’-ジアミノジフェニルスルホン、m-フェニレンジアミン、m-キシリレンジアミン、ジエチルトルエンジアミン、4,4’-ジアミノジフェニルエーテル、3,3’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、2,2’-ジメチル-4,4’-ジアミノビフェニル、3,3’-ジヒドロキシベンジジン、2,2-ビス(3-アミノ-4-ヒドロキシフェニル)プロパン、3,3-ジメチル-5,5-ジエチル-4,4-ジフェニルメタンジアミン、2,2-ビス(4-アミノフェニル)プロパン、2,2-ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)プロパン、1,3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4-ビス(4-アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’-ビス(4-アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス(4-(4-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、ビス(4-(3-アミノフェノキシ)フェニル)スルホン、等が挙げられる。アミン系硬化剤は市販品を用いてもよく、例えば、日本化薬社製の「KAYABOND C-200S」、「KAYABOND C-100」、「カヤハードA-A」、「カヤハードA-B」、「カヤハードA-S」、三菱化学社製の「エピキュアW」等が挙げられる。 Amine-based curing agents include curing agents having one or more amino groups in one molecule, such as aliphatic amines, polyether amines, alicyclic amines, and aromatic amines. Among them, aromatic amines are preferred from the viewpoint of achieving the desired effects of the present invention. Amine-based curing agents are preferably primary amines or secondary amines, more preferably primary amines. Specific examples of amine-based curing agents include 4,4′-methylenebis(2,6-dimethylaniline), diphenyldiaminosulfone, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-diaminodiphenylsulfone, and 3,3′. -diaminodiphenyl sulfone, m-phenylenediamine, m-xylylenediamine, diethyltoluenediamine, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dimethyl- 4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-dihydroxybenzidine, 2,2-bis(3-amino-4-hydroxyphenyl)propane, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethane Diamine, 2,2-bis(4-aminophenyl)propane, 2,2-bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)propane, 1,3-bis(3-aminophenoxy)benzene, 1,3- bis(4-aminophenoxy)benzene, 1,4-bis(4-aminophenoxy)benzene, 4,4′-bis(4-aminophenoxy)biphenyl, bis(4-(4-aminophenoxy)phenyl)sulfone, bis(4-(3-aminophenoxy)phenyl)sulfone, and the like. Commercially available amine-based curing agents may be used. Kayahard AS", Mitsubishi Chemical's "Epicure W", and the like.

酸無水物系硬化剤としては、1分子内中に1個以上の酸無水物基を有する硬化剤が挙げられる。酸無水物系硬化剤の具体例としては、無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、メチルヘキサヒドロ無水フタル酸、メチルナジック酸無水物、水素化メチルナジック酸無水物、トリアルキルテトラヒドロ無水フタル酸、ドデセニル無水コハク酸、5-(2,5-ジオキソテトラヒドロ-3-フラニル)-3-メチル-3-シクロヘキセン-1,2-ジカルボン酸無水物、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、ベンソフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、オキシジフタル酸二無水物、3,3’-4,4’-ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,3,3a,4,5,9b-ヘキサヒドロ-5-(テトラヒドロ-2,5-ジオキソ-3-フラニル)-ナフト[1,2-C]フラン-1,3-ジオン、エチレングリコールビス(アンヒドロトリメリテート)、スチレンとマレイン酸とが共重合したスチレン・マレイン酸樹脂などのポリマー型の酸無水物などが挙げられる。 Acid anhydride curing agents include curing agents having one or more acid anhydride groups in one molecule. Specific examples of acid anhydride curing agents include phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, methylnadic anhydride, and hydrogenated methylnadic acid. anhydride, trialkyltetrahydrophthalic anhydride, dodecenylsuccinic anhydride, 5-(2,5-dioxotetrahydro-3-furanyl)-3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic anhydride, trianhydride mellitic acid, pyromellitic anhydride, benzophenonetetracarboxylic dianhydride, biphenyltetracarboxylic dianhydride, naphthalenetetracarboxylic dianhydride, oxydiphthalic dianhydride, 3,3'-4,4'- Diphenylsulfonetetracarboxylic dianhydride, 1,3,3a,4,5,9b-hexahydro-5-(tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl)-naphtho[1,2-C]furan-1 , 3-dione, ethylene glycol bis(anhydrotrimellitate), polymer-type acid anhydrides such as styrene/maleic acid resin obtained by copolymerizing styrene and maleic acid.

(A)エポキシ樹脂と(B)活性エステル系硬化剤及び(E)硬化剤との量比は、[(A)成分のエポキシ基の合計数]:[(B)及び(E)成分の反応基の合計数]の比率で、1:0.01~1:5の範囲が好ましく、1:0.05~1:2がより好ましく、1:0.1~1:1がさらに好ましい。硬化剤の反応基とは、フェノール性水酸基等であり、硬化剤の種類によって異なる。硬化剤の反応基の合計数とは、各硬化剤の固形分質量を反応基当量で除した値をすべての硬化剤について合計した値である。これら量比を斯かる範囲とすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。 The ratio of (A) epoxy resin to (B) active ester curing agent and (E) curing agent is [total number of epoxy groups in component (A)]:[reaction of components (B) and (E) total number of groups], the range is preferably from 1:0.01 to 1:5, more preferably from 1:0.05 to 1:2, and even more preferably from 1:0.1 to 1:1. The reactive group of the curing agent is a phenolic hydroxyl group or the like, and varies depending on the type of curing agent. The total number of reactive groups in the curing agent is the sum of the values obtained by dividing the solid mass of each curing agent by the reactive group equivalent for all curing agents. By setting the ratio of these amounts to such a range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

(E)硬化剤の含有量は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.1質量%以上、さらに好ましくは0.5質量%以上、より好ましくは1質量%以上である。上限は、好ましくは15質量%以下、より好ましくは10質量%以下、さらに好ましくは7質量%以下である。(E)硬化剤の含有量を斯かる範囲内にすることにより、樹脂組成物の硬化物の耐熱性がより向上する。 (E) The content of the curing agent is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.5% by mass or more, and more preferably 1% by mass when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass. That's it. The upper limit is preferably 15% by mass or less, more preferably 10% by mass or less, and even more preferably 7% by mass or less. (E) By setting the content of the curing agent within this range, the heat resistance of the cured product of the resin composition is further improved.

<(F)熱可塑性樹脂>
樹脂組成物は、(F)熱可塑性樹脂を含有し得る。(F)成分としての熱可塑性樹脂としては、例えば、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリブタジエン樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリスルホン樹脂、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、ポリエステル樹脂等が挙げられる。中でも、本発明の所望の効果を顕著に得る観点、並びに、表面粗さが小さく導体層との密着性に特に優れる絶縁層を得る観点から、フェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂が好ましい。また、熱可塑性樹脂は、1種類単独で用いてもよく、又は2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(F) Thermoplastic resin>
The resin composition may contain (F) a thermoplastic resin. Examples of thermoplastic resins as component (F) include phenoxy resins, polyvinyl acetal resins, polyolefin resins, polybutadiene resins, polyimide resins, polyamideimide resins, polyetherimide resins, polysulfone resins, polyethersulfone resins, and polyphenylene ether resins. , polycarbonate resins, polyetheretherketone resins, polyester resins, and the like. Among these resins, phenoxy resins and polyvinyl acetal resins are preferable from the viewpoints of significantly obtaining the desired effect of the present invention and obtaining an insulating layer having a small surface roughness and excellent adhesion to the conductor layer. Further, the thermoplastic resin may be used singly or in combination of two or more.

フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA骨格、ビスフェノールF骨格、ビスフェノールS骨格、ビスフェノールアセトフェノン骨格、ノボラック骨格、ビフェニル骨格、フルオレン骨格、ジシクロペンタジエン骨格、ノルボルネン骨格、ナフタレン骨格、アントラセン骨格、アダマンタン骨格、テルペン骨格、及びトリメチルシクロヘキサン骨格からなる群から選択される1種類以上の骨格を有するフェノキシ樹脂が挙げられる。フェノキシ樹脂の末端は、フェノール性水酸基、エポキシ基等のいずれの官能基でもよい。 Examples of phenoxy resins include bisphenol A skeleton, bisphenol F skeleton, bisphenol S skeleton, bisphenolacetophenone skeleton, novolac skeleton, biphenyl skeleton, fluorene skeleton, dicyclopentadiene skeleton, norbornene skeleton, naphthalene skeleton, anthracene skeleton, adamantane skeleton, and terpene. Examples include phenoxy resins having one or more skeletons selected from the group consisting of skeletons and trimethylcyclohexane skeletons. The terminal of the phenoxy resin may be any functional group such as a phenolic hydroxyl group or an epoxy group.

フェノキシ樹脂の具体例としては、三菱ケミカル社製の「1256」及び「4250」(いずれもビスフェノールA骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX8100」(ビスフェノールS骨格含有フェノキシ樹脂);三菱ケミカル社製の「YX6954」(ビスフェノールアセトフェノン骨格含有フェノキシ樹脂);新日鉄住金化学社製の「FX280」及び「FX293」;三菱ケミカル社製の「YL7500BH30」、「YX6954BH30」、「YX7553」、「YX7553BH30」、「YL7769BH30」、「YL6794」、「YL7213」、「YL7290」及び「YL7482」;等が挙げられる。 Specific examples of the phenoxy resin include Mitsubishi Chemical's "1256" and "4250" (both bisphenol A skeleton-containing phenoxy resins); Mitsubishi Chemical's "YX8100" (bisphenol S skeleton-containing phenoxy resin); Mitsubishi Chemical "YX6954" (bisphenolacetophenone skeleton-containing phenoxy resin) manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; "FX280" and "FX293" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.; "YL7769BH30", "YL6794", "YL7213", "YL7290" and "YL7482";

ポリビニルアセタール樹脂としては、例えば、ポリビニルホルマール樹脂、ポリビニルブチラール樹脂が挙げられ、ポリビニルブチラール樹脂が好ましい。ポリビニルアセタール樹脂の具体例としては、電気化学工業社製の「電化ブチラール4000-2」、「電化ブチラール5000-A」、「電化ブチラール6000-C」、「電化ブチラール6000-EP」;積水化学工業社製のエスレックBHシリーズ、BXシリーズ(例えばBX-5Z)、KSシリーズ(例えばKS-1)、BLシリーズ、BMシリーズ;等が挙げられる。 Examples of polyvinyl acetal resins include polyvinyl formal resins and polyvinyl butyral resins, and polyvinyl butyral resins are preferred. Specific examples of polyvinyl acetal resins include Denka Butyral 4000-2, Denka Butyral 5000-A, Denka Butyral 6000-C, and Denka Butyral 6000-EP manufactured by Sekisui Chemical Co., Ltd. S-LEC BH series, BX series (eg BX-5Z), KS series (eg KS-1), BL series, BM series;

ポリイミド樹脂の具体例としては、新日本理化社製の「リカコートSN20」及び「リカコートPN20」が挙げられる。ポリイミド樹脂の具体例としてはまた、2官能性ヒドロキシル基末端ポリブタジエン、ジイソシアネート化合物及び四塩基酸無水物を反応させて得られる線状ポリイミド(特開2006-37083号公報記載のポリイミド)、ポリシロキサン骨格含有ポリイミド(特開2002-12667号公報及び特開2000-319386号公報等に記載のポリイミド)等の変性ポリイミドが挙げられる。 Specific examples of the polyimide resin include "Ricacoat SN20" and "Ricacoat PN20" manufactured by Shin Nippon Rika. Specific examples of polyimide resins also include linear polyimides obtained by reacting bifunctional hydroxyl group-terminated polybutadiene, diisocyanate compounds and tetrabasic acid anhydrides (polyimides described in JP-A-2006-37083), and polysiloxane skeletons. Examples include modified polyimides such as polyimide containing (polyimides described in JP-A-2002-12667 and JP-A-2000-319386).

ポリアミドイミド樹脂の具体例としては、東洋紡社製の「バイロマックスHR11NN」及び「バイロマックスHR16NN」が挙げられる。ポリアミドイミド樹脂の具体例としてはまた、日立化成社製の「KS9100」、「KS9300」(ポリシロキサン骨格含有ポリアミドイミド)等の変性ポリアミドイミドが挙げられる。 Specific examples of polyamide-imide resins include "VYLOMAX HR11NN" and "VYLOMAX HR16NN" manufactured by Toyobo Co., Ltd. Specific examples of polyamideimide resins include modified polyamideimides such as "KS9100" and "KS9300" (polysiloxane skeleton-containing polyamideimides) manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.

ポリエーテルスルホン樹脂の具体例としては、住友化学社製の「PES5003P」等が挙げられる。 Specific examples of the polyethersulfone resin include "PES5003P" manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd., and the like.

ポリフェニレンエーテル樹脂の具体例としては、三菱ガス化学社製のオリゴフェニレンエーテル・スチレン樹脂「OPE-2St 1200」等が挙げられる。 Specific examples of the polyphenylene ether resin include oligophenylene ether/styrene resin "OPE-2St 1200" manufactured by Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc., and the like.

ポリスルホン樹脂の具体例としては、ソルベイアドバンストポリマーズ社製のポリスルホン「P1700」、「P3500」等が挙げられる。 Specific examples of the polysulfone resin include polysulfone "P1700" and "P3500" manufactured by Solvay Advanced Polymers.

(F)熱可塑性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、好ましくは8,000以上、より好ましくは10,000以上、特に好ましくは20,000以上であり、好ましくは70,000以下、より好ましくは60,000以下、特に好ましくは50,000以下である。 (F) The weight average molecular weight (Mw) of the thermoplastic resin is preferably 8,000 or more, more preferably 10,000 or more, and particularly preferably 20,000 or more, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. is preferably 70,000 or less, more preferably 60,000 or less, and particularly preferably 50,000 or less.

(F)熱可塑性樹脂の含有量は、本発明の所望の効果を顕著に得る観点から、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、好ましくは0.1質量%以上、より好ましくは0.5質量%以上、さらに好ましくは1質量%以上であり、好ましくは5質量%以下、より好ましくは2.5質量%以下、さらに好ましくは2質量%以下である。 (F) The content of the thermoplastic resin is preferably 0.1% by mass or more, more preferably 0.1% by mass or more, when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass, from the viewpoint of significantly obtaining the desired effects of the present invention. is 0.5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, preferably 5% by mass or less, more preferably 2.5% by mass or less, and even more preferably 2% by mass or less.

<(G)任意の添加剤>
樹脂組成物は、上述した成分以外に、任意の成分として、更に任意の添加剤を含んでいてもよい。このような添加剤としては、例えば、硬化促進剤((C)成分に該当するものは除く);有機充填材;有機銅化合物、有機亜鉛化合物及び有機コバルト化合物等の有機金属化合物;難燃剤、増粘剤、消泡剤、レベリング剤、密着性付与剤、着色剤等の樹脂添加剤;などが挙げられる。これらの添加剤は、1種類単独で用いてもよく、2種類以上を組み合わせて用いてもよい。
<(G) Optional Additives>
The resin composition may further contain optional additives as optional components in addition to the components described above. Such additives include, for example, curing accelerators (excluding those corresponding to component (C)); organic fillers; organometallic compounds such as organocopper compounds, organozinc compounds and organocobalt compounds; flame retardants, Resin additives such as thickeners, antifoaming agents, leveling agents, adhesion imparting agents, and coloring agents; These additives may be used singly or in combination of two or more.

<樹脂組成物の物性、用途>
樹脂組成物を100℃で30分間、その後180℃で30分間熱硬化させた硬化物は、メッキ導体層との間の密着性(ピール強度)に優れるという特性を示す。よって、前記の硬化物は、メッキ導体層とのピール強度に優れる絶縁層をもたらす。ピール強度としては、好ましくは0.3kgf/cm以上、より好ましくは0.4kgf/cm以上、さらに好ましくは0.5kgf/cm以上である。一方、ピール強度の上限値は特に限定されないが、2kgf/cm以下等とし得る。前記のピール強度の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。
<Physical properties and applications of the resin composition>
A cured product obtained by thermally curing the resin composition at 100° C. for 30 minutes and then at 180° C. for 30 minutes exhibits excellent adhesion (peel strength) to the plated conductor layer. Therefore, the cured product provides an insulating layer with excellent peel strength to the plated conductor layer. The peel strength is preferably 0.3 kgf/cm or more, more preferably 0.4 kgf/cm or more, and still more preferably 0.5 kgf/cm or more. On the other hand, the upper limit of the peel strength is not particularly limited, but may be 2 kgf/cm or less. The evaluation of the peel strength can be measured according to the method described in Examples below.

樹脂組成物を200℃で90分間熱硬化させた硬化物は、HAST試験前の銅箔との間の密着性(銅箔引き剥がし強度)に優れるという特性を示す。よって、前記の硬化物は、HAST試験前の銅箔との密着性に優れる絶縁層をもたらす。HAST試験前の銅箔との密着強度としては、好ましくは0.5kgf/cm以上、より好ましくは0.6kgf/cm以上、さらに好ましくは0.7kgf/cm以上である。一方、HAST試験前の密着強度の上限値は特に限定されないが、5kgf/cm以下等とし得る。前記のHAST試験前の密着強度の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product obtained by thermally curing the resin composition at 200° C. for 90 minutes exhibits excellent adhesion to the copper foil (copper foil peeling strength) before the HAST test. Therefore, the cured product provides an insulating layer having excellent adhesion to the copper foil before the HAST test. The adhesion strength to the copper foil before the HAST test is preferably 0.5 kgf/cm or more, more preferably 0.6 kgf/cm or more, and still more preferably 0.7 kgf/cm or more. On the other hand, the upper limit of the adhesion strength before the HAST test is not particularly limited, but may be 5 kgf/cm or less. The adhesion strength evaluation before the HAST test can be measured according to the method described in the examples below.

樹脂組成物を200℃で90分間熱硬化させた硬化物は、HAST試験後の銅箔との間の密着性(銅箔引き剥がし強度)に優れるという特性を示す。よって、前記の硬化物は、HAST試験後の銅箔との密着性に優れる絶縁層をもたらす。HAST試験後の銅箔との密着強度としては、好ましくは0.4kgf/cm以上、より好ましくは0.41kgf/cm以上、さらに好ましくは0.42kgf/cm以上である。一方、HAST試験後の密着強度の上限値は特に限定されないが、5kgf/cm以下等とし得る。前記のHAST試験後の密着強度の評価は、後述する実施例に記載の方法に従って測定することができる。 A cured product obtained by thermally curing the resin composition at 200° C. for 90 minutes exhibits excellent adhesion to the copper foil (copper foil peeling strength) after the HAST test. Therefore, the cured product provides an insulating layer having excellent adhesion to the copper foil after the HAST test. The adhesion strength to the copper foil after the HAST test is preferably 0.4 kgf/cm or more, more preferably 0.41 kgf/cm or more, and still more preferably 0.42 kgf/cm or more. On the other hand, the upper limit of the adhesion strength after the HAST test is not particularly limited, but may be 5 kgf/cm or less. The adhesion strength after the HAST test can be evaluated according to the method described in Examples below.

本発明の樹脂組成物は、HAST試験後においても、導体層との間の密着性に優れる絶縁層をもたらすことができる。したがって、本発明の樹脂組成物は、絶縁用途の樹脂組成物として好適に使用することができる。具体的には、絶縁層上に形成される導体層(再配線層を含む)を形成するための当該絶縁層を形成するための樹脂組成物(導体層を形成するための絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。
また、後述する多層プリント配線板において、多層プリント配線板の絶縁層を形成するための樹脂組成物(多層プリント配線板の絶縁層形成用樹脂組成物)、プリント配線板の層間絶縁層を形成するための樹脂組成物(プリント配線板の層間絶縁層形成用樹脂組成物)として好適に使用することができる。
The resin composition of the present invention can provide an insulating layer with excellent adhesion to the conductor layer even after the HAST test. Therefore, the resin composition of the present invention can be suitably used as a resin composition for insulation. Specifically, a resin composition for forming an insulating layer for forming a conductor layer (including a rewiring layer) formed on an insulating layer (resin for forming an insulating layer for forming a conductor layer composition).
Further, in the multilayer printed wiring board described later, the resin composition for forming the insulating layer of the multilayer printed wiring board (the resin composition for forming the insulating layer of the multilayer printed wiring board) and the interlayer insulating layer of the printed wiring board are formed. (a resin composition for forming an interlayer insulating layer of a printed wiring board).

また、例えば、以下の(1)~(6)工程を経て半導体チップパッケージが製造される場合、本発明の樹脂組成物は、再配線層を形成するための絶縁層としての再配線形成層用の樹脂組成物(再配線形成層形成用の樹脂組成物)、及び半導体チップを封止するための樹脂組成物(半導体チップ封止用の樹脂組成物)としても好適に使用することができる。場合によっては、封止層上に更に再配線層を形成してもよい。
(1)基材に仮固定フィルムを積層する工程、
(2)半導体チップを、仮固定フィルム上に仮固定する工程、
(3)半導体チップ上に封止層を形成する工程、
(4)基材及び仮固定フィルムを半導体チップから剥離する工程、
(5)半導体チップの基材及び仮固定フィルムを剥離した面に、絶縁層としての再配線形成層を形成する工程、及び
(6)再配線形成層上に、導体層としての再配線層を形成する工程
Further, for example, when a semiconductor chip package is manufactured through the following steps (1) to (6), the resin composition of the present invention is used as an insulating layer for forming a rewiring layer. (a resin composition for forming a rewiring layer) and a resin composition for sealing a semiconductor chip (a resin composition for semiconductor chip sealing). In some cases, a rewiring layer may be further formed on the sealing layer.
(1) a step of laminating a temporary fixing film on a substrate;
(2) temporarily fixing the semiconductor chip on the temporary fixing film;
(3) forming a sealing layer on the semiconductor chip;
(4) a step of peeling the base material and the temporary fixing film from the semiconductor chip;
(5) forming a rewiring layer as an insulating layer on the surface of the semiconductor chip from which the substrate and the temporary fixing film have been removed; and (6) forming a rewiring layer as a conductor layer on the rewiring layer. forming process

また、本発明の樹脂組成物は、部品埋め込み性に良好な絶縁層をもたらすことから、プリント配線板が部品内蔵回路板である場合にも好適に使用することができる。 Moreover, since the resin composition of the present invention provides an insulating layer having good part-embedding properties, it can be suitably used when the printed wiring board is a component-embedded circuit board.

[樹脂シート]
本発明の樹脂シートは、支持体と、該支持体上に設けられた、本発明の樹脂組成物で形成された樹脂組成物層を含む。
[Resin sheet]
The resin sheet of the present invention includes a support and a resin composition layer formed of the resin composition of the present invention provided on the support.

樹脂組成物層の厚さは、プリント配線板の薄型化、及び当該樹脂組成物の硬化物が薄膜であっても絶縁性に優れた硬化物を提供できるという観点から、好ましくは50μm以下、より好ましくは40μm以下、さらに好ましくは35μm以下、30μm以下、又は20μm以下である。樹脂組成物層の厚さの下限は、特に限定されないが、通常、5μm以上、10μm以上等とし得る。 The thickness of the resin composition layer is preferably 50 μm or less, more It is preferably 40 μm or less, more preferably 35 μm or less, 30 μm or less, or 20 μm or less. Although the lower limit of the thickness of the resin composition layer is not particularly limited, it can be usually 5 μm or more, 10 μm or more, or the like.

支持体としては、例えば、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔、離型紙が挙げられ、プラスチック材料からなるフィルム、金属箔が好ましい。 Examples of the support include a film made of a plastic material, a metal foil, and a release paper, and a film made of a plastic material and a metal foil are preferable.

支持体としてプラスチック材料からなるフィルムを使用する場合、プラスチック材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(以下「PET」と略称することがある。)、ポリエチレンナフタレート(以下「PEN」と略称することがある。)等のポリエステル、ポリカーボネート(以下「PC」と略称することがある。)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)等のアクリル、環状ポリオレフィン、トリアセチルセルロース(TAC)、ポリエーテルサルファイド(PES)、ポリエーテルケトン、ポリイミド等が挙げられる。中でも、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレートが好ましく、安価なポリエチレンテレフタレートが特に好ましい。 When a film made of a plastic material is used as the support, examples of the plastic material include polyethylene terephthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PET") and polyethylene naphthalate (hereinafter sometimes abbreviated as "PEN"). ), polycarbonate (hereinafter sometimes abbreviated as "PC"), acrylic such as polymethyl methacrylate (PMMA), cyclic polyolefin, triacetyl cellulose (TAC), polyether sulfide (PES), polyether ketones, polyimides, and the like. Among them, polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate are preferable, and inexpensive polyethylene terephthalate is particularly preferable.

支持体として金属箔を使用する場合、金属箔としては、例えば、銅箔、アルミニウム箔等が挙げられ、銅箔が好ましい。銅箔としては、銅の単金属からなる箔を用いてもよく、銅と他の金属(例えば、スズ、クロム、銀、マグネシウム、ニッケル、ジルコニウム、ケイ素、チタン等)との合金からなる箔を用いてもよい。 When a metal foil is used as the support, examples of the metal foil include copper foil and aluminum foil, with copper foil being preferred. As the copper foil, a foil made of a single metal of copper may be used, and a foil made of an alloy of copper and other metals (for example, tin, chromium, silver, magnesium, nickel, zirconium, silicon, titanium, etc.) may be used. may be used.

支持体は、樹脂組成物層と接合する面にマット処理、コロナ処理、帯電防止処理を施してあってもよい。 The support may be subjected to matte treatment, corona treatment, or antistatic treatment on the surface to be bonded to the resin composition layer.

また、支持体としては、樹脂組成物層と接合する面に離型層を有する離型層付き支持体を使用してもよい。離型層付き支持体の離型層に使用する離型剤としては、例えば、アルキド樹脂、ポリオレフィン樹脂、ウレタン樹脂、及びシリコーン樹脂からなる群から選択される1種以上の離型剤が挙げられる。離型層付き支持体は、市販品を用いてもよく、例えば、アルキド樹脂系離型剤を主成分とする離型層を有するPETフィルムである、リンテック社製の「SK-1」、「AL-5」、「AL-7」、東レ社製の「ルミラーT60」、帝人社製の「ピューレックス」、ユニチカ社製の「ユニピール」等が挙げられる。 Further, as the support, a support with a release layer having a release layer on the surface to be bonded to the resin composition layer may be used. The release agent used in the release layer of the release layer-attached support includes, for example, one or more release agents selected from the group consisting of alkyd resins, polyolefin resins, urethane resins, and silicone resins. . As the support with a release layer, a commercially available product may be used, for example, "SK-1" manufactured by Lintec Co., Ltd., "SK-1", " AL-5", "AL-7", Toray's "Lumirror T60", Teijin's "Purex", and Unitika's "Unipeel".

支持体の厚みとしては、特に限定されないが、5μm~75μmの範囲が好ましく、10μm~60μmの範囲がより好ましい。なお、離型層付き支持体を使用する場合、離型層付き支持体全体の厚さが上記範囲であることが好ましい。 The thickness of the support is not particularly limited, but is preferably in the range of 5 μm to 75 μm, more preferably in the range of 10 μm to 60 μm. When a release layer-attached support is used, the thickness of the release layer-attached support as a whole is preferably within the above range.

一実施形態において、樹脂シートは、さらに必要に応じて、その他の層を含んでいてもよい。斯かるその他の層としては、例えば、樹脂組成物層の支持体と接合していない面(即ち、支持体とは反対側の面)に設けられた、支持体に準じた保護フィルム等が挙げられる。保護フィルムの厚さは、特に限定されるものではないが、例えば、1μm~40μmである。保護フィルムを積層することにより、樹脂組成物層の表面へのゴミ等の付着やキズを抑制することができる。 In one embodiment, the resin sheet may further contain other layers as necessary. Such other layers include, for example, a protective film conforming to the support provided on the surface of the resin composition layer not bonded to the support (that is, the surface opposite to the support). be done. Although the thickness of the protective film is not particularly limited, it is, for example, 1 μm to 40 μm. By laminating the protective film, the surface of the resin composition layer can be prevented from being dusted or scratched.

樹脂シートは、例えば、有機溶剤に樹脂組成物を溶解した樹脂ワニスを調製し、この樹脂ワニスを、ダイコーター等を用いて支持体上に塗布し、更に乾燥させて樹脂組成物層を形成させることにより製造することができる。 For the resin sheet, for example, a resin varnish is prepared by dissolving a resin composition in an organic solvent, the resin varnish is applied onto a support using a die coater or the like, and dried to form a resin composition layer. It can be manufactured by

有機溶剤としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン(MEK)及びシクロヘキサノン等のケトン類;酢酸エチル、酢酸ブチル、セロソルブアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート及びカルビトールアセテート等の酢酸エステル類;セロソルブ及びブチルカルビトール等のカルビトール類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド(DMAc)及びN-メチルピロリドン等のアミド系溶剤等を挙げることができる。有機溶剤は1種単独で使用してもよく、2種以上を組み合わせて使用してもよい。 Examples of organic solvents include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone (MEK) and cyclohexanone; acetic acid esters such as ethyl acetate, butyl acetate, cellosolve acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate and carbitol acetate; cellosolve and butyl carbitol; carbitols; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; amide solvents such as dimethylformamide, dimethylacetamide (DMAc) and N-methylpyrrolidone. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type.

乾燥は、加熱、熱風吹きつけ等の公知の方法により実施してよい。乾燥条件は特に限定されないが、樹脂組成物層中の有機溶剤の含有量が10質量%以下、好ましくは5質量%以下となるように乾燥させる。樹脂ワニス中の有機溶剤の沸点によっても異なるが、例えば30質量%~60質量%の有機溶剤を含む樹脂ワニスを用いる場合、50℃~150℃で3分間~10分間乾燥させることにより、樹脂組成物層を形成することができる。 Drying may be carried out by a known method such as heating or blowing hot air. The drying conditions are not particularly limited, but the resin composition layer is dried so that the content of the organic solvent is 10% by mass or less, preferably 5% by mass or less. Although it varies depending on the boiling point of the organic solvent in the resin varnish, for example, when using a resin varnish containing 30% by mass to 60% by mass of the organic solvent, drying at 50 ° C. to 150 ° C. for 3 minutes to 10 minutes The resin composition layer can be formed.

樹脂シートは、ロール状に巻きとって保存することが可能である。樹脂シートが保護フィルムを有する場合、保護フィルムを剥がすことによって使用可能となる。 The resin sheet can be wound into a roll and stored. When the resin sheet has a protective film, it can be used by peeling off the protective film.

[プリント配線板]
本発明のプリント配線板は、本発明の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む。
[Printed wiring board]
The printed wiring board of the present invention includes an insulating layer formed from a cured product of the resin composition of the present invention.

プリント配線板は、例えば、上述の樹脂シートを用いて、下記(I)及び(II)の工程を含む方法により製造することができる。
(I)内層基板上に、樹脂シートの樹脂組成物層が内層基板と接合するように積層する工程
(II)樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する工程
A printed wiring board can be manufactured, for example, using the resin sheet described above by a method including the following steps (I) and (II).
(I) Step of laminating the resin composition layer of the resin sheet on the inner layer substrate such that the resin composition layer is bonded to the inner layer substrate (II) Step of thermally curing the resin composition layer to form an insulating layer

工程(I)で用いる「内層基板」とは、プリント配線板の基板となる部材であって、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。また、該基板は、その片面又は両面に導体層を有していてもよく、この導体層はパターン加工されていてもよい。基板の片面または両面に導体層(回路)が形成された内層基板は「内層回路基板」ということがある。またプリント配線板を製造する際に、さらに絶縁層及び/又は導体層が形成されるべき中間製造物も本発明でいう「内層基板」に含まれる。プリント配線板が部品内蔵回路板である場合、部品を内蔵した内層基板を使用し得る。 The "inner layer substrate" used in step (I) is a member that serves as a printed wiring board substrate, and includes, for example, a glass epoxy substrate, a metal substrate, a polyester substrate, a polyimide substrate, a BT resin substrate, and a thermosetting polyphenylene ether substrate. etc. The substrate may also have a conductor layer on one or both sides thereof, and the conductor layer may be patterned. An inner layer substrate having conductor layers (circuits) formed on one side or both sides of the substrate is sometimes referred to as an "inner layer circuit board." Further, an intermediate product on which an insulating layer and/or a conductor layer are to be further formed when manufacturing a printed wiring board is also included in the "inner layer substrate" as used in the present invention. When the printed wiring board is a circuit board with built-in components, an inner layer board with built-in components can be used.

内層基板と樹脂シートの積層は、例えば、支持体側から樹脂シートを内層基板に加熱圧着することにより行うことができる。樹脂シートを内層基板に加熱圧着する部材(以下、「加熱圧着部材」ともいう。)としては、例えば、加熱された金属板(SUS鏡板等)又は金属ロール(SUSロール)等が挙げられる。なお、加熱圧着部材を樹脂シートに直接プレスするのではなく、内層基板の表面凹凸に樹脂シートが十分に追随するよう、耐熱ゴム等の弾性材を介してプレスするのが好ましい。 The lamination of the inner layer substrate and the resin sheet can be performed, for example, by thermocompression bonding the resin sheet to the inner layer substrate from the support side. Examples of the member for thermocompression bonding the resin sheet to the inner layer substrate (hereinafter also referred to as "thermocompression bonding member") include heated metal plates (such as SUS end plates) and metal rolls (SUS rolls). Instead of pressing the thermocompression member directly onto the resin sheet, it is preferable to press through an elastic material such as heat-resistant rubber so that the resin sheet can sufficiently follow the uneven surface of the inner layer substrate.

内層基板と樹脂シートの積層は、真空ラミネート法により実施してよい。真空ラミネート法において、加熱圧着温度は、好ましくは60℃~160℃、より好ましくは80℃~140℃の範囲であり、加熱圧着圧力は、好ましくは0.098MPa~1.77MPa、より好ましくは0.29MPa~1.47MPaの範囲であり、加熱圧着時間は、好ましくは20秒間~400秒間、より好ましくは30秒間~300秒間の範囲である。積層は、好ましくは圧力26.7hPa以下の減圧条件下で実施する。 Lamination of the inner layer substrate and the resin sheet may be performed by a vacuum lamination method. In the vacuum lamination method, the thermocompression temperature is preferably in the range of 60° C. to 160° C., more preferably 80° C. to 140° C., and the thermocompression pressure is preferably 0.098 MPa to 1.77 MPa, more preferably 0. .29 MPa to 1.47 MPa, and the heat pressing time is preferably 20 seconds to 400 seconds, more preferably 30 seconds to 300 seconds. Lamination is preferably carried out under reduced pressure conditions of 26.7 hPa or less.

積層は、市販の真空ラミネーターによって行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、名機製作所社製の真空加圧式ラミネーター、ニッコー・マテリアルズ社製のバキュームアップリケーター、バッチ式真空加圧ラミネーター等が挙げられる。 Lamination can be done with a commercially available vacuum laminator. Commercially available vacuum laminators include, for example, a vacuum pressurized laminator manufactured by Meiki Seisakusho, a vacuum applicator manufactured by Nikko Materials, a batch vacuum pressurized laminator, and the like.

積層の後に、常圧下(大気圧下)、例えば、加熱圧着部材を支持体側からプレスすることにより、積層された樹脂シートの平滑化処理を行ってもよい。平滑化処理のプレス条件は、上記積層の加熱圧着条件と同様の条件とすることができる。平滑化処理は、市販のラミネーターによって行うことができる。なお、積層と平滑化処理は、上記の市販の真空ラミネーターを用いて連続的に行ってもよい。 After lamination, the laminated resin sheets may be smoothed under normal pressure (atmospheric pressure), for example, by pressing a thermocompression member from the support side. The pressing conditions for the smoothing treatment may be the same as the thermocompression bonding conditions for the lamination described above. Smoothing treatment can be performed with a commercially available laminator. Lamination and smoothing may be performed continuously using the above-mentioned commercially available vacuum laminator.

支持体は、工程(I)と工程(II)の間に除去してもよく、工程(II)の後に除去してもよい。 The support may be removed between steps (I) and (II) or after step (II).

工程(II)において、樹脂組成物層を熱硬化して絶縁層を形成する。樹脂組成物層の熱硬化条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常採用される条件を使用してよい。 In step (II), the resin composition layer is thermally cured to form an insulating layer. The thermosetting conditions for the resin composition layer are not particularly limited, and conditions that are commonly used for forming insulating layers of printed wiring boards may be used.

例えば、樹脂組成物層の熱硬化条件は、樹脂組成物の種類等によっても異なるが、硬化温度は好ましくは120℃~240℃、より好ましくは150℃~220℃、さらに好ましくは170℃~210℃である。硬化時間は好ましくは5分間~120分間、より好ましくは10分間~100分間、さらに好ましくは15分間~100分間とすることができる。 For example, although the thermosetting conditions for the resin composition layer vary depending on the type of resin composition, etc., the curing temperature is preferably 120°C to 240°C, more preferably 150°C to 220°C, and still more preferably 170°C to 210°C. °C. The curing time can be preferably 5 minutes to 120 minutes, more preferably 10 minutes to 100 minutes, even more preferably 15 minutes to 100 minutes.

樹脂組成物層を熱硬化させる前に、樹脂組成物層を硬化温度よりも低い温度にて予備加熱してもよい。例えば、樹脂組成物層を熱硬化させるのに先立ち、50℃以上120℃未満(好ましくは60℃以上115℃以下、より好ましくは70℃以上110℃以下)の温度にて、樹脂組成物層を5分間以上(好ましくは5分間~150分間、より好ましくは15分間~120分間、さらに好ましくは15分間~100分間)予備加熱してもよい。 Before thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer may be preheated at a temperature lower than the curing temperature. For example, prior to thermosetting the resin composition layer, the resin composition layer is cured at a temperature of 50° C. or higher and less than 120° C. (preferably 60° C. or higher and 115° C. or lower, more preferably 70° C. or higher and 110° C. or lower). Preheating may be performed for 5 minutes or more (preferably 5 minutes to 150 minutes, more preferably 15 minutes to 120 minutes, still more preferably 15 minutes to 100 minutes).

プリント配線板を製造するに際しては、(III)絶縁層に穴あけする工程、(IV)絶縁層を粗化処理する工程、(V)導体層を形成する工程をさらに実施してもよい。これらの工程(III)乃至工程(V)は、プリント配線板の製造に用いられる、当業者に公知の各種方法に従って実施してよい。なお、支持体を工程(II)の後に除去する場合、該支持体の除去は、工程(II)と工程(III)との間、工程(III)と工程(IV)の間、又は工程(IV)と工程(V)との間に実施してよい。また、必要に応じて、工程(II)~工程(V)の絶縁層及び導体層の形成を繰り返して実施し、多層配線板を形成してもよい。 When manufacturing a printed wiring board, (III) the step of drilling holes in the insulating layer, (IV) the step of roughening the insulating layer, and (V) the step of forming a conductor layer may be further carried out. These steps (III) to (V) may be carried out according to various methods known to those skilled in the art that are used in the manufacture of printed wiring boards. When the support is removed after step (II), the support may be removed between step (II) and step (III), between step (III) and step (IV), or step ( It may be carried out between IV) and step (V). If necessary, the steps (II) to (V) of forming the insulating layer and the conductor layer may be repeated to form a multilayer wiring board.

工程(III)は、絶縁層に穴あけする工程であり、これにより絶縁層にビアホール、スルーホール等のホールを形成することができる。工程(III)は、絶縁層の形成に使用した樹脂組成物の組成等に応じて、例えば、ドリル、レーザー、プラズマ等を使用して実施してよい。ホールの寸法や形状は、プリント配線板のデザインに応じて適宜決定してよい。 Step (III) is a step of making holes in the insulating layer, whereby holes such as via holes and through holes can be formed in the insulating layer. Step (III) may be performed using, for example, a drill, laser, plasma, or the like, depending on the composition of the resin composition used to form the insulating layer. The dimensions and shape of the holes may be appropriately determined according to the design of the printed wiring board.

工程(IV)は、絶縁層を粗化処理する工程である。通常、この工程(IV)において、スミアの除去も行われる。粗化処理の手順、条件は特に限定されず、プリント配線板の絶縁層を形成するに際して通常使用される公知の手順、条件を採用することができる。例えば、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理、中和液による中和処理をこの順に実施して絶縁層を粗化処理することができる。粗化処理に用いる膨潤液としては特に限定されないが、アルカリ溶液、界面活性剤溶液等が挙げられ、好ましくはアルカリ溶液であり、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液がより好ましい。市販されている膨潤液としては、例えば、アトテックジャパン社製の「スウェリング・ディップ・セキュリガンスP」、「スウェリング・ディップ・セキュリガンスSBU」等が挙げられる。膨潤液による膨潤処理は、特に限定されないが、例えば、30℃~90℃の膨潤液に絶縁層を1分間~20分間浸漬することにより行うことができる。絶縁層の樹脂の膨潤を適度なレベルに抑える観点から、40℃~80℃の膨潤液に絶縁層を5分間~15分間浸漬させることが好ましい。粗化処理に用いる酸化剤としては、特に限定されないが、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。アルカリ性過マンガン酸溶液等の酸化剤による粗化処理は、60℃~80℃に加熱した酸化剤溶液に絶縁層を10分間~30分間浸漬させて行うことが好ましい。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%~10質量%が好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、アトテックジャパン社製の「コンセントレート・コンパクトCP」、「ドージングソリューション・セキュリガンスP」等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。また、粗化処理に用いる中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、例えば、アトテックジャパン社製の「リダクションソリューション・セキュリガントP」が挙げられる。中和液による処理は、酸化剤による粗化処理がなされた処理面を30℃~80℃の中和液に5分間~30分間浸漬させることにより行うことができる。作業性等の点から、酸化剤による粗化処理がなされた対象物を、40℃~70℃の中和液に5分間~20分間浸漬する方法が好ましい。 Step (IV) is a step of roughening the insulating layer. Smear is usually also removed in this step (IV). The procedure and conditions of the roughening treatment are not particularly limited, and known procedures and conditions that are commonly used in forming insulating layers of printed wiring boards can be employed. For example, the insulating layer can be roughened by performing a swelling treatment with a swelling liquid, a roughening treatment with an oxidizing agent, and a neutralizing treatment with a neutralizing liquid in this order. The swelling liquid used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include alkaline solutions, surfactant solutions, etc., preferably alkaline solutions, more preferably sodium hydroxide solutions and potassium hydroxide solutions. preferable. Examples of commercially available swelling liquids include "Swelling Dip Securigans P" and "Swelling Dip Securigans SBU" manufactured by Atotech Japan. The swelling treatment with the swelling liquid is not particularly limited, but can be performed, for example, by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 30.degree. C. to 90.degree. C. for 1 to 20 minutes. From the viewpoint of suppressing the swelling of the resin of the insulating layer to an appropriate level, it is preferable to immerse the insulating layer in a swelling liquid at 40° C. to 80° C. for 5 minutes to 15 minutes. The oxidizing agent used in the roughening treatment is not particularly limited, but examples thereof include an alkaline permanganate solution in which potassium permanganate or sodium permanganate is dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide. The roughening treatment with an oxidizing agent such as an alkaline permanganate solution is preferably carried out by immersing the insulating layer in an oxidizing agent solution heated to 60° C. to 80° C. for 10 to 30 minutes. Further, the permanganate concentration in the alkaline permanganate solution is preferably 5% by mass to 10% by mass. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as "Concentrate Compact CP" and "Dosing Solution Security P" manufactured by Atotech Japan. Moreover, as a neutralization liquid used for the roughening treatment, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, for example, "Reduction Solution Securigant P" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. can be mentioned. The treatment with the neutralizing solution can be carried out by immersing the treated surface roughened with the oxidizing agent in the neutralizing solution at 30° C. to 80° C. for 5 to 30 minutes. From the viewpoint of workability, etc., a method of immersing an object roughened with an oxidizing agent in a neutralizing solution at 40° C. to 70° C. for 5 to 20 minutes is preferable.

一実施形態において、粗化処理後の絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは0.5nm以上、より好ましくは1nm以上等とし得る。また、粗化処理後の絶縁層表面の二乗平均平方根粗さ(Rq)は、好ましくは400nm以下、より好ましくは350nm以下、さらに好ましくは300nm以下である。下限については特に限定されないが、好ましくは0.5nm以上、より好ましくは1nm以上等とし得る。絶縁層表面の算術平均粗さ(Ra)及び二乗平均平方根粗さ(Rq)は、非接触型表面粗さ計を用いて測定することができる。 In one embodiment, the arithmetic mean roughness (Ra) of the insulating layer surface after roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more. The root mean square roughness (Rq) of the surface of the insulating layer after roughening treatment is preferably 400 nm or less, more preferably 350 nm or less, and even more preferably 300 nm or less. Although the lower limit is not particularly limited, it is preferably 0.5 nm or more, more preferably 1 nm or more. The arithmetic mean roughness (Ra) and root mean square roughness (Rq) of the insulating layer surface can be measured using a non-contact surface roughness meter.

工程(V)は、導体層を形成する工程であり、絶縁層上に導体層を形成する。導体層に使用する導体材料は特に限定されない。好適な実施形態では、導体層は、金、白金、パラジウム、銀、銅、アルミニウム、コバルト、クロム、亜鉛、ニッケル、チタン、タングステン、鉄、スズ及びインジウムからなる群から選択される1種以上の金属を含む。導体層は、単金属層であっても合金層であってもよく、合金層としては、例えば、上記の群から選択される2種以上の金属の合金(例えば、ニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金及び銅・チタン合金)から形成された層が挙げられる。中でも、導体層形成の汎用性、コスト、パターニングの容易性等の観点から、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金、銅・ニッケル合金、銅・チタン合金の合金層が好ましく、クロム、ニッケル、チタン、アルミニウム、亜鉛、金、パラジウム、銀若しくは銅の単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層がより好ましく、銅の単金属層が更に好ましい。 Step (V) is a step of forming a conductor layer, in which the conductor layer is formed on the insulating layer. The conductor material used for the conductor layer is not particularly limited. In a preferred embodiment, the conductor layer contains one or more selected from the group consisting of gold, platinum, palladium, silver, copper, aluminum, cobalt, chromium, zinc, nickel, titanium, tungsten, iron, tin and indium. Contains metal. The conductor layer may be a single metal layer or an alloy layer, and the alloy layer may be, for example, an alloy of two or more metals selected from the above group (for example, a nickel-chromium alloy, a copper- nickel alloys and copper-titanium alloys). Among them, from the viewpoint of versatility of conductor layer formation, cost, ease of patterning, etc., single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, nickel-chromium alloys, copper- Nickel alloys and copper/titanium alloy alloy layers are preferred, and single metal layers of chromium, nickel, titanium, aluminum, zinc, gold, palladium, silver or copper, or nickel/chromium alloy alloy layers are more preferred, and copper single metal layers are preferred. A metal layer is more preferred.

導体層は、単層構造であっても、異なる種類の金属若しくは合金からなる単金属層又は合金層が2層以上積層した複層構造であってもよい。導体層が複層構造である場合、絶縁層と接する層は、クロム、亜鉛若しくはチタンの単金属層、又はニッケル・クロム合金の合金層であることが好ましい。 The conductor layer may have a single layer structure or a multi-layer structure in which two or more single metal layers or alloy layers made of different kinds of metals or alloys are laminated. When the conductor layer has a multilayer structure, the layer in contact with the insulating layer is preferably a single metal layer of chromium, zinc or titanium, or an alloy layer of nickel-chromium alloy.

導体層の厚さは、所望のプリント配線板のデザインによるが、一般に3μm~35μm、好ましくは5μm~30μmである。 The thickness of the conductor layer is generally between 3 μm and 35 μm, preferably between 5 μm and 30 μm, depending on the desired printed wiring board design.

一実施形態において、導体層は、メッキにより形成してよい。例えば、セミアディティブ法、フルアディティブ法等の従来公知の技術により絶縁層の表面にメッキして、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができ、製造の簡便性の観点から、セミアディティブ法により形成することが好ましい。以下、導体層をセミアディティブ法により形成する例を示す。 In one embodiment, the conductor layer may be formed by plating. For example, a conductive layer having a desired wiring pattern can be formed by plating the surface of an insulating layer by a conventionally known technique such as a semi-additive method or a full-additive method. It is preferably formed by a method. An example of forming a conductor layer by a semi-additive method is shown below.

まず、絶縁層の表面に、無電解メッキによりメッキシード層を形成する。次いで、形成されたメッキシード層上に、所望の配線パターンに対応してメッキシード層の一部を露出させるマスクパターンを形成する。露出したメッキシード層上に、電解メッキにより金属層を形成した後、マスクパターンを除去する。その後、不要なメッキシード層をエッチング等により除去して、所望の配線パターンを有する導体層を形成することができる。 First, a plating seed layer is formed on the surface of the insulating layer by electroless plating. Next, a mask pattern is formed on the formed plating seed layer to expose a portion of the plating seed layer corresponding to a desired wiring pattern. After forming a metal layer on the exposed plating seed layer by electroplating, the mask pattern is removed. After that, the unnecessary plating seed layer is removed by etching or the like, and a conductor layer having a desired wiring pattern can be formed.

[半導体装置]
本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を含む。本発明の半導体装置は、本発明のプリント配線板を用いて製造することができる。
[Semiconductor device]
A semiconductor device of the present invention includes the printed wiring board of the present invention. The semiconductor device of the present invention can be manufactured using the printed wiring board of the present invention.

半導体装置としては、電気製品(例えば、コンピューター、携帯電話、デジタルカメラ及びテレビ等)及び乗物(例えば、自動二輪車、自動車、電車、船舶及び航空機等)等に供される各種半導体装置が挙げられる。 Examples of semiconductor devices include various semiconductor devices used in electrical appliances (eg, computers, mobile phones, digital cameras, televisions, etc.) and vehicles (eg, motorcycles, automobiles, trains, ships, aircraft, etc.).

本発明の半導体装置は、プリント配線板の導通箇所に、部品(半導体チップ)を実装することにより製造することができる。「導通箇所」とは、「プリント配線板における電気信号を伝える箇所」であって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。 The semiconductor device of the present invention can be manufactured by mounting a component (semiconductor chip) on a conductive portion of a printed wiring board. A "conducting part" is a "part where an electric signal is transmitted on a printed wiring board", and the place may be a surface or an embedded part. Also, the semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されないが、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法、等が挙げられる。ここで、「バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法」とは、「半導体チップをプリント配線板の凹部に直接埋め込み、半導体チップとプリント配線板上の配線とを接続させる実装方法」のことである。 The method of mounting a semiconductor chip when manufacturing a semiconductor device is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. (BBUL) mounting method, anisotropic conductive film (ACF) mounting method, non-conductive film (NCF) mounting method, and the like. Here, "a mounting method using a build-up layer without bumps (BBUL)" means "a mounting method in which a semiconductor chip is directly embedded in a concave portion of a printed wiring board and the semiconductor chip and wiring on the printed wiring board are connected." is.

以下、本発明について、実施例を示して具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものでは無い。以下の説明において、量を表す「部」及び「%」は、別途明示の無い限り、それぞれ「質量部」及び「質量%」を意味する。また、以下に説明する操作は、別途明示の無い限り、常温常圧の環境で行った。 EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples. In the following description, "parts" and "%" representing amounts mean "parts by mass" and "% by mass", respectively, unless otherwise specified. In addition, unless otherwise specified, the operations described below were performed in an environment of normal temperature and normal pressure.

[メッキ導体層の引き剥がし強さ(ピール強度)の測定]
<ピール強度測定用サンプルの調製>
(1)内層回路基板の下地処理
内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板厚み0.4mm、パナソニック社製R1515A)の両面をマイクロエッチング剤(メック社製メックエッチボンド「CZ-8101」)にて1μmエッチングして銅表面の粗化処理を行った。
[Measurement of peeling strength (peel strength) of plated conductor layer]
<Preparation of sample for peel strength measurement>
(1) Surface treatment of inner layer circuit board Both sides of the glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.4 mm, R1515A manufactured by Panasonic Corporation) on which the inner layer circuit is formed are coated with a microetching agent. (Mec Etch Bond "CZ-8101" manufactured by MEC Co.) was etched by 1 μm to roughen the copper surface.

(2)樹脂シートのラミネート
実施例及び比較例で作製した樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター(名機社製MVLP-500)を用いて、内層回路基板の両面にラミネートした。ラミネートは、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃、圧力0.74MPaで圧着することにより行った。
(2) Lamination of resin sheets The resin sheets prepared in Examples and Comparative Examples were laminated on both sides of an inner layer circuit board using a batch-type vacuum pressure laminator (MVLP-500 manufactured by Meiki Co., Ltd.). The lamination was carried out by reducing the pressure to 13 hPa or less for 30 seconds, and then press bonding for 30 seconds at 100° C. and a pressure of 0.74 MPa.

(3)樹脂組成物の硬化
ラミネートされた樹脂シートを、100℃、30分続けて180℃、30分の硬化条件で樹脂組成物を硬化して絶縁層を形成した。
(3) Curing of Resin Composition The laminated resin sheet was cured at 100° C. for 30 minutes and then at 180° C. for 30 minutes to cure the resin composition to form an insulating layer.

(4)粗化処理
絶縁層を形成した内層回路基板から支持体であるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した後、膨潤液である、アトテックジャパン社製のジエチレングリコールモノブチルエーテル含有のスエリングディップ・セキュリガントP(グリコールエーテル類、水酸化ナトリウムの水溶液)に、60℃で10分間浸漬させた。次に粗化液として、アトテックジャパン社製のコンセントレート・コンパクトP(KMnO:60g/L、NaOH:40g/Lの水溶液)に、80℃で20分間浸漬させた。最後に中和液として、アトテックジャパン社製のリダクションショリューシン・セキュリガントP(硫酸の水溶液)に40℃で5分間浸漬させた。その後80℃で30分乾燥した。
(4) Roughening treatment After peeling off the polyethylene terephthalate film as the support from the inner layer circuit board on which the insulating layer is formed, the swelling liquid Swelling Dip Securigant P (glycol) containing diethylene glycol monobutyl ether manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. It was immersed in an aqueous solution of ethers and sodium hydroxide) at 60°C for 10 minutes. Next, as a roughening liquid, it was immersed in Concentrate Compact P (KMnO 4 : 60 g/L, NaOH: 40 g/L aqueous solution) manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. at 80° C. for 20 minutes. Finally, as a neutralizing solution, it was immersed in Reduction Shoryusin Securigant P (aqueous solution of sulfuric acid) manufactured by Atotech Japan Co., Ltd. at 40° C. for 5 minutes. After that, it was dried at 80° C. for 30 minutes.

(5)セミアディティブ工法によるメッキ
この内層回路基板を、PdClを含む無電解メッキ用溶液に40℃で5分間浸漬させ、次に無電解銅メッキ液に25℃で20分間浸漬させた。150℃にて30分間加熱してアニール処理を行った後に、エッチングレジストを形成し、エッチングによるパターン形成の後に、硫酸銅電解メッキを行い、30μmの厚さで導体層を形成した。次に、アニール処理を200℃にて60分間行った。この基板を評価基板とした。
(5) Plating by semi-additive method This inner layer circuit board was immersed in an electroless plating solution containing PdCl 2 at 40°C for 5 minutes, and then immersed in an electroless copper plating solution at 25°C for 20 minutes. After annealing by heating at 150° C. for 30 minutes, an etching resist was formed, and after pattern formation by etching, copper sulfate electroplating was performed to form a conductor layer with a thickness of 30 μm. Annealing was then performed at 200° C. for 60 minutes. This substrate was used as an evaluation substrate.

<ピール強度の測定>
評価基板の導体層に、幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれ、この一端を剥がしてつかみ具(ティー・エス・イー社製、オートコム型試験機 AC-50C-SL)で掴み、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重(kgf/cm)を測定した。
<Measurement of peel strength>
A 10 mm wide and 100 mm long cut was made in the conductor layer of the evaluation board, and one end was peeled off and gripped with a gripper (Autocom type testing machine AC-50C-SL manufactured by TSE), At room temperature, the load (kgf/cm) when 35 mm was peeled off vertically at a rate of 50 mm/min was measured.

[銅箔引き剥がし強度、及び耐環境試験(HAST)後の銅箔引き剥がし強度の測定]
<銅箔引き剥がし強度の測定用サンプルの調製>
(1)銅箔の下地処理
三井金属鉱山社製「3EC-III」(電界銅箔、35μm)の光沢面をマイクロエッチング剤(メック社製メックエッチボンド「CZ-8101」)に浸漬して銅表面に粗化処理(Ra値=1μm)を行い、さらに防錆処理(CL8300)を施した。さらに、130℃のオーブンで30分間加熱処理した。この銅箔をCZ銅箔という。
[Measurement of Copper Foil Peeling Strength and Copper Foil Peeling Strength After Environmental Resistance Test (HAST)]
<Preparation of sample for measuring copper foil peel strength>
(1) Surface treatment of copper foil The glossy surface of “3EC-III” (electrolytic copper foil, 35 μm) manufactured by Mitsui Kinzoku Mining Co., Ltd. is immersed in a micro-etching agent (Mec Etch Bond “CZ-8101” manufactured by MEC Co., Ltd.). The surface was subjected to roughening treatment (Ra value=1 μm) and further to antirust treatment (CL8300). Further, heat treatment was performed in an oven at 130° C. for 30 minutes. This copper foil is called CZ copper foil.

(2)銅箔のラミネートと絶縁層形成
実施例及び比較例で作製した各樹脂シートを、バッチ式真空加圧ラミネーター(名機社製「MVLP-500」)を用いて、樹脂組成物層が内層回路を形成したガラス布基材エポキシ樹脂両面銅張積層板(銅箔の厚さ18μm、基板の厚さ0.4mm、パナソニック社製「R1515A」)と接合するように、前記の積層板の両面にラミネート処理した。ラミネート処理は、30秒間減圧して気圧を13hPa以下とした後、100℃、圧力0.74MPaで30秒間圧着することにより行った。ラミネート処理された樹脂シートから支持体であるポリエチレンテレフタレートフィルムを剥離した。その樹脂組成物層上に、CZ銅箔の処理面を、上記と同様の条件でラミネートした。そして、200℃、90分の硬化条件で樹脂組成物層を硬化して絶縁層を形成することで、サンプルを作製した。
(2) Lamination of copper foil and formation of an insulating layer Each resin sheet prepared in Examples and Comparative Examples is subjected to a batch-type vacuum pressure laminator ("MVLP-500" manufactured by Meiki Co., Ltd.) to form a resin composition layer. The laminate is bonded to a glass cloth-based epoxy resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, substrate thickness 0.4 mm, “R1515A” manufactured by Panasonic Corporation) on which an inner layer circuit is formed. Laminated on both sides. The lamination process was carried out by pressure bonding for 30 seconds at 100° C. and pressure of 0.74 MPa after reducing the pressure to 13 hPa or less for 30 seconds. A polyethylene terephthalate film as a support was peeled off from the laminated resin sheet. The treated surface of the CZ copper foil was laminated on the resin composition layer under the same conditions as above. Then, a sample was produced by curing the resin composition layer under curing conditions of 200° C. for 90 minutes to form an insulating layer.

<銅箔引き剥がし強度(密着性1)の測定>
作製したサンプルを150×30mmの小片に切断した。小片の銅箔部分に、カッターを用いて幅10mm、長さ100mmの部分の切込みをいれて、銅箔の一端を剥がしてつかみ具(ティー・エス・イー社製、オートコム型試験機、「AC-50C-SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定した。
<Measurement of copper foil peel strength (adhesion 1)>
The prepared samples were cut into 150 x 30 mm pieces. Using a cutter, cut the copper foil portion of the small piece with a width of 10 mm and a length of 100 mm. AC-50C-SL"), and using an Instron universal testing machine, at room temperature, the load when peeling off 35 mm in the vertical direction at a speed of 50 mm / min was measured in accordance with JIS C6481. .

<耐環境試験(HAST)後の銅箔引き剥がし強度(密着性2)の測定>
作製したサンプルを、高度加速寿命試験装置(楠本化成社製「PM422」)を用いて、130℃、85%RHの条件で100時間の加速環境試験を実施した。その後、密着性1の測定と同様に、銅箔の一端を剥がしてつかみ具(ティー・エス・イー社製、オートコム型試験機、「AC-50C-SL」)で掴み、インストロン万能試験機を用いて、室温中にて、50mm/分の速度で垂直方向に35mmを引き剥がした時の荷重をJIS C6481に準拠して測定した。
<Measurement of copper foil peel strength (adhesion 2) after environmental resistance test (HAST)>
The prepared sample was subjected to an accelerated environmental test for 100 hours under conditions of 130° C. and 85% RH using a highly accelerated life tester (“PM422” manufactured by Kusumoto Kasei Co., Ltd.). After that, as in the measurement of adhesion 1, one end of the copper foil was peeled off and gripped with a gripper (manufactured by TSE Co., Autocom type testing machine, "AC-50C-SL"), and the Instron universal test Using a machine, the load was measured in accordance with JIS C6481 when a 35 mm strip was vertically peeled off at a speed of 50 mm/min at room temperature.

また、密着性2における測定結果が0.40kgf/cm未満の場合を「×」とし、0.40kgf/cm以上の場合を「○」として評価した。 In addition, when the measurement result in adhesion 2 was less than 0.40 kgf/cm, it was evaluated as "x", and when it was 0.40 kgf/cm or more, it was evaluated as "good".

[無機充填材の平均粒径及び比表面積の測定]
<無機充填材の平均粒径の測定方法>
無機充填材100mg、及びメチルエチルケトン10gをバイアル瓶に秤取り、超音波にて10分間分散した。レーザー回折式粒径分布測定装置(堀場製作所社製「LA-960」)を使用して、使用光源波長を青色および赤色とし、フローセル方式で無機充填材の粒径分布を体積基準で測定した。得られた粒径分布から、メディアン径として、無機充填材の平均粒径を算出した。
[Measurement of average particle size and specific surface area of inorganic filler]
<Method for measuring average particle size of inorganic filler>
100 mg of the inorganic filler and 10 g of methyl ethyl ketone were weighed into a vial and dispersed with ultrasonic waves for 10 minutes. Using a laser diffraction particle size distribution analyzer ("LA-960" manufactured by Horiba Ltd.), the wavelength of the light source used was set to blue and red, and the particle size distribution of the inorganic filler was measured on a volume basis by a flow cell method. From the obtained particle size distribution, the average particle size of the inorganic filler was calculated as the median size.

<無機充填材の比表面積の測定方法>
BET全自動比表面積測定装置(マウンテック社製Macsorb HM-1210)を使用して、試料表面に窒素ガスを吸着させ、BET多点法を用いて比表面積を算出することで無機充填材の比表面積を測定した。
<Method for measuring specific surface area of inorganic filler>
Using a BET fully automatic specific surface area measuring device (Macsorb HM-1210 manufactured by Mountec Co.), nitrogen gas is adsorbed on the sample surface, and the specific surface area is calculated using the BET multipoint method to determine the specific surface area of the inorganic filler. was measured.

[実施例1]
ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「828US」、エポキシ当量約180)10部、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約269)20部、ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)10部、フェノキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YL7553BH30」、固形分30質量%のMEKとシクロヘキサノンの1:1溶液)10部を、ソルベントナフサ25部に撹拌しながら加熱溶解させた。室温にまで冷却後、そこへトリアジン骨格含有フェノール系硬化剤(DIC社製「LA-3018-50P」、水酸基当量約151の固形分50%の2-メトキシプロパノール溶液)10部、活性エステル型硬化剤(DIC社製「HPC8000-65T」、活性基当量約223の不揮発分65質量%のトルエン溶液)40部、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピロリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)8部、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業社製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積11.2m/g、アドマテックス社製「SOC2」)200部を混合し、高速回転ミキサーで均一に分散して、樹脂ワニスを作製した。
[Example 1]
Bisphenol A type epoxy resin ("828US" manufactured by Mitsubishi Chemical Co., Ltd., epoxy equivalent about 180) 10 parts, biphenyl aralkyl type epoxy resin (Nippon Kayaku "NC3000L", epoxy equivalent about 269) 20 parts, bixylenol type epoxy resin ("YX4000HK" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185) 10 parts, 10 parts of phenoxy resin ("YL7553BH30" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, 1:1 solution of MEK and cyclohexanone with a solid content of 30% by mass), solvent naphtha 25 The mixture was heated and dissolved while stirring. After cooling to room temperature, 10 parts of a triazine skeleton-containing phenolic curing agent (DIC's "LA-3018-50P", 2-methoxypropanol solution with a hydroxyl equivalent of about 151 and a solid content of 50%), active ester type curing. Agent ("HPC8000-65T" manufactured by DIC Corporation, a toluene solution with an active group equivalent of about 223 and a nonvolatile content of 65% by mass) 40 parts, a pyridine substituted with a cyclic amino group (4-pyrrolidinopyridine, solid content of 5% by mass) 1-Methoxy-2-propanol solution) 8 parts, spherical silica surface-treated with a phenylaminosilane coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., "KBM573") (average particle size 0.5 μm, specific surface area 11.2 m 2 /g, "SOC2" manufactured by Admatechs Co., Ltd.) was mixed and uniformly dispersed by a high-speed rotating mixer to prepare a resin varnish.

次いで、離型処理付きポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製「AL5」、厚さ38μm)の離型面上に、乾燥後の樹脂組成物層の厚みが30μmとなるように樹脂ワニスを均一に塗布し、80~120℃(平均100℃)で4分間乾燥させて、樹脂シートを作製した。 Next, a resin varnish was evenly applied onto the release surface of a release-treated polyethylene terephthalate film (“AL5” manufactured by Lintec, thickness 38 μm) so that the thickness of the resin composition layer after drying would be 30 μm. , 80 to 120° C. (average 100° C.) for 4 minutes to prepare a resin sheet.

4-ピロリジノピリジンの構造は以下のとおりである。

Figure 0007206613000001
The structure of 4-pyrrolidinopyridine is shown below.
Figure 0007206613000001

[実施例2]
実施例1において、活性エステル型硬化剤(DIC社製「HPC8000-65T」、活性基当量約223の不揮発分65質量%のトルエン溶液)40部を、活性エステル型硬化剤(DIC社製「EXB9416-70BK」、活性基当量約330の不揮発分70質量%のメチルイソブチルケトン溶液)38部に変え、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピロリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)の量を8部から12部に変えた。以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Example 2]
In Example 1, 40 parts of an active ester curing agent ("HPC8000-65T" manufactured by DIC, a toluene solution with an active group equivalent of about 223 and a nonvolatile content of 65% by mass) was added to an active ester curing agent ("EXB9416" manufactured by DIC). -70BK", a methyl isobutyl ketone solution with an active group equivalent weight of about 330 and a non-volatile content of 70% by mass), replaced by 38 parts of a pyridine substituted with a cyclic amino group (4-pyrrolidinopyridine, 1-methoxy with a solid content of 5% by mass -2-propanol solution) was changed from 8 parts to 12 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

[実施例3]
実施例1において、
1)ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000L」、エポキシ当量約269)の量を20部から10部に変え、
2)ビキシレノール型エポキシ樹脂(三菱ケミカル社製「YX4000HK」、エポキシ当量約185)10部を、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂(DIC社製「HP6000」、エポキシ当量約250)20部に変え、
3)さらに、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP7200HH」、エポキシ当量約283)5部を加えた。
以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Example 3]
In Example 1,
1) Change the amount of biphenyl aralkyl type epoxy resin (“NC3000L” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent of about 269) from 20 parts to 10 parts,
2) 10 parts of bixylenol type epoxy resin ("YX4000HK" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent of about 185) was changed to 20 parts of naphthylene ether type epoxy resin ("HP6000" manufactured by DIC Corporation, epoxy equivalent of about 250),
3) Furthermore, 5 parts of a dicyclopentadiene type epoxy resin (manufactured by DIC, "HP7200HH", epoxy equivalent: about 283) was added.
A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

[実施例4]
実施例1において、さらにカルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216、固形分50質量%のトルエン溶液)12部を加えた。以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Example 4]
In Example 1, 12 parts of a carbodiimide-based curing agent (“V-03” manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., active group equivalent weight: about 216, solid content: 50% by mass, toluene solution) was added. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

[実施例5]
実施例1において、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピロリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)8部を、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピペリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)8部に変えた。以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Example 5]
In Example 1, 8 parts of pyridine substituted with a cyclic amino group (4-pyrrolidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass) were added to pyridine substituted with a cyclic amino group (4- piperidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass)) was changed to 8 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

4-ピペリジノピリジンの構造は以下のとおりである。

Figure 0007206613000002
The structure of 4-piperidinopyridine is shown below.
Figure 0007206613000002

[実施例6]
実施例5において、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業社製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積11.2m/g、アドマテックス社製「SOC2」)の量を200部から100部に変えた。以上の事項以外は、実施例5と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Example 6]
In Example 5, spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 11.2 m 2 /g, Admatechs Co., Ltd.) surface-treated with a phenylaminosilane-based coupling agent (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM573”) "SOC2") was changed from 200 parts to 100 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 5 except for the above matters.

[実施例7]
実施例6において、
1)フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業社製、「KBM573」)で表面処理された球形シリカ(平均粒径0.5μm、比表面積11.2m/g、アドマテックス社製「SOC2」)100部を、フェニルアミノシラン系カップリング剤(信越化学工業社製、「KBM573」)で表面処理された球状シリカ(平均粒径0.3μm、比表面積30.7m/g、電気化学工業社製「UFP-30」)81部に変え、
2)環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピペリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)の量を8部から12部に変え、
3)さらにカルボジイミド系硬化剤(日清紡ケミカル社製「V-03」、活性基当量約216、固形分50質量%のトルエン溶液)12部を加えた。
以上の事項以外は、実施例6と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Example 7]
In Example 6,
1) Spherical silica (average particle diameter 0.5 μm, specific surface area 11.2 m 2 /g, Admatechs “SOC2”) surface-treated with a phenylaminosilane-based coupling agent (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “KBM573”) ) was added to 100 parts of spherical silica (average particle diameter 0.3 μm, specific surface area 30.7 m 2 /g, Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd.) surface-treated with a phenylaminosilane coupling agent (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) made "UFP-30") changed to 81 parts,
2) changing the amount of pyridine substituted with a cyclic amino group (4-piperidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass) from 8 parts to 12 parts;
3) Further, 12 parts of a carbodiimide-based curing agent ("V-03" manufactured by Nisshinbo Chemical Co., Ltd., a toluene solution having an active group equivalent of about 216 and a solid content of 50% by mass) was added.
A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 6 except for the above matters.

[比較例1]
実施例1において、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピロリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)8部を、硬化促進剤(N,N-ジメチル-4-アミノピリジン(DMAP)、固形分5質量%のMEK溶液)8部に変えた。以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Comparative Example 1]
In Example 1, 8 parts of pyridine substituted with a cyclic amino group (4-pyrrolidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass) was added to a curing accelerator (N,N-dimethyl-4 - Aminopyridine (DMAP), MEK solution with a solids content of 5% by weight)) was changed to 8 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

N,N-ジメチル-4-アミノピリジンの構造は以下のとおりである。

Figure 0007206613000003
The structure of N,N-dimethyl-4-aminopyridine is shown below.
Figure 0007206613000003

[比較例2]
実施例1において、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピロリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)8部を、硬化促進剤(4-ベンゾイルピリジン、固形分5質量%のMEK溶液)8部に変えた。以上の事項以外は、実施例1と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Comparative Example 2]
In Example 1, 8 parts of pyridine substituted with a cyclic amino group (4-pyrrolidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass) were added to a curing accelerator (4-benzoylpyridine, solid content 5 mass % MEK solution) was changed to 8 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 1 except for the above matters.

4-ベンゾイルピリジンの構造は以下のとおりである。

Figure 0007206613000004
The structure of 4-benzoylpyridine is shown below.
Figure 0007206613000004

[比較例3]
実施例7において、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピペリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)12部を、硬化促進剤(N,N-ジメチル-4-アミノピリジン、固形分5質量%のMEK溶液)12部に変えた。以上の事項以外は、実施例7と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Comparative Example 3]
In Example 7, 12 parts of pyridine substituted with a cyclic amino group (4-piperidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass) was added to a curing accelerator (N,N-dimethyl- 4-aminopyridine, MEK solution with a solid content of 5% by mass)) was changed to 12 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 7 except for the above matters.

[比較例4]
実施例7において、環状アミノ基が置換されたピリジン(4-ピペリジノピリジン、固形分5質量%の1-メトキシ-2-プロパノール溶液)12部を、硬化促進剤(4-ベンゾイルピリジン、固形分5質量%のMEK溶液)12部に変えた。以上の事項以外は、実施例7と同様にして樹脂ワニス、樹脂シートを作製した。
[Comparative Example 4]
In Example 7, 12 parts of pyridine substituted with a cyclic amino group (4-piperidinopyridine, 1-methoxy-2-propanol solution with a solid content of 5% by mass) was added to a curing accelerator (4-benzoylpyridine, solid 5% by weight MEK solution) was changed to 12 parts. A resin varnish and a resin sheet were produced in the same manner as in Example 7 except for the above matters.

Figure 0007206613000005
表中、「(D)成分の含有量(質量%)」は、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合の(D)成分の含有量を表す。
Figure 0007206613000005
In the table, "Content (% by mass) of component (D)" represents the content of component (D) when the non-volatile component in the resin composition is 100% by mass.

実施例1~7において、(D)成分~(F)成分を含有しない場合であっても、程度に差はあるものの、上記実施例と同様の結果に帰着することを確認している。 In Examples 1 to 7, even if the components (D) to (F) are not contained, it has been confirmed that the same results as in the above Examples are obtained, although there is a difference in degree.

Claims (14)

(A)エポキシ樹脂、
(B)活性エステル系硬化剤、及び
(C)環状アミノ基で置換されたピリジン、を含有する樹脂組成物であって、
(A)成分が、温度20℃で液状である液状エポキシ樹脂を含み、
(B)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、1質量%以上30質量%以下である樹脂組成物。
(A) an epoxy resin,
(B) an active ester curing agent, and (C) a pyridine substituted with a cyclic amino group, a resin composition containing
(A) component contains a liquid epoxy resin that is liquid at a temperature of 20 ° C.,
A resin composition in which the content of component (B) is 1% by mass or more and 30% by mass or less when the non-volatile component in the resin composition is taken as 100% by mass.
さらに、(D)無機充填材を含有する、請求項1に記載の樹脂組成物。 2. The resin composition according to claim 1, further comprising (D) an inorganic filler. (D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、請求項2に記載の樹脂組成物。 3. The resin composition according to claim 2, wherein the content of component (D) is 50% by mass or more based on 100% by mass of non-volatile components in the resin composition. (A)エポキシ樹脂、
(B)活性エステル系硬化剤、
(C)環状アミノ基で置換されたピリジン、及び
(D)無機充填材、を含有する樹脂組成物であって、
(A)成分が、温度20℃で液状である液状エポキシ樹脂を含み、
(D)成分の含有量が、樹脂組成物中の不揮発成分を100質量%とした場合、50質量%以上である、樹脂組成物。
(A) an epoxy resin,
(B) an active ester curing agent,
(C) a pyridine substituted with a cyclic amino group, and (D) an inorganic filler, a resin composition containing
(A) component contains a liquid epoxy resin that is liquid at a temperature of 20 ° C.,
A resin composition in which the content of component (D) is 50% by mass or more when the non-volatile component in the resin composition is taken as 100% by mass.
(C)成分における環状アミノ基が、ピリジン環の4位に結合している、請求項1~4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the cyclic amino group in component (C) is bonded to the 4-position of the pyridine ring. (C)成分における環状アミノ基が、飽和環状アミノ基である、請求項1~5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein the cyclic amino group in component (C) is a saturated cyclic amino group. (C)成分における環状アミノ基が、5員環又は6員環の環状アミノ基である、請求項1~6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 7. The resin composition according to any one of claims 1 to 6, wherein the cyclic amino group in component (C) is a 5- or 6-membered cyclic amino group. 絶縁用途に用いる、請求項1~7のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 7, which is used for insulation. 絶縁層形成用である、請求項1~8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 8, which is used for forming an insulating layer. 導体層を形成するための絶縁層形成用である、請求項1~9のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 9, which is used for forming an insulating layer for forming a conductor layer. 半導体チップの封止用である、請求項1~8のいずれか1項に記載の樹脂組成物。 The resin composition according to any one of claims 1 to 8, which is used for encapsulating semiconductor chips. 支持体と、該支持体上に設けられた、請求項1~11のいずれか1項に記載の樹脂組成物を含む樹脂組成物層とを含む、樹脂シート。 A resin sheet comprising a support and a resin composition layer containing the resin composition according to any one of claims 1 to 11 provided on the support. 請求項1~11のいずれか1項に記載の樹脂組成物の硬化物により形成された絶縁層を含む、プリント配線板。 A printed wiring board comprising an insulating layer formed from a cured product of the resin composition according to any one of claims 1 to 11. 請求項13に記載のプリント配線板を含む、半導体装置。 A semiconductor device comprising the printed wiring board according to claim 13 .
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